JP6961775B2 - Optical film - Google Patents

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Description

本発明は、湿式プロセスで成膜された、透明性および反射防止性能に優れた光学膜に関する。 The present invention relates to an optical film formed by a wet process and having excellent transparency and antireflection performance.

フッ化マグネシウムは、広い透過波長範囲を持ち、かつ最も低い屈折率を有する材料であるため、光学用途の反射防止膜用の材料として広く使用されている。 Magnesium fluoride is a material having a wide transmission wavelength range and the lowest refractive index, and is therefore widely used as a material for antireflection films for optical applications.

フッ化マグネシウムを反射防止膜として使用する場合には、主として数種類の材料からなる多層膜の一層として用いられることが多い。この場合、多層膜の反射防止膜の原理としては、多層膜の層間での反射光同士の干渉によって反射を低減させるため、各層の屈折率を制御することが必須となっている。 When magnesium fluoride is used as an antireflection film, it is often used as one layer of a multilayer film mainly composed of several kinds of materials. In this case, as a principle of the antireflection film of the multilayer film, it is essential to control the refractive index of each layer in order to reduce the reflection due to the interference between the reflected lights between the layers of the multilayer film.

フッ化マグネシウムの成膜は、一般的には特許文献1に開示されているような真空蒸着による乾式プロセスで行なわれる。しかし、乾式プロセスは、大きい面積や曲率半径が小さいものに対しては均一塗布が困難であることや、生産コストが高いという問題があった。 The formation of magnesium fluoride is generally carried out by a dry process by vacuum vapor deposition as disclosed in Patent Document 1. However, the dry process has problems that uniform coating is difficult for a large area and a small radius of curvature, and the production cost is high.

一方、上記乾式プロセスにおける問題を解消する方法として、湿式プロセスによる成膜も報告されているが、湿式プロセスで得られる膜は、多孔質になり易く、膜の透明性が劣るという問題があった。 On the other hand, as a method for solving the problem in the dry process, film formation by a wet process has been reported, but the film obtained by the wet process tends to be porous and has a problem that the transparency of the film is inferior. ..

また、湿式プロセスで緻密な膜を得る方法として特許文献2が開示されているが、フッ化マグネシウムの原料の合成に関する情報が記載されていないため、真空蒸着に匹敵するような透明な膜を製造することができなかった。 Further, Patent Document 2 is disclosed as a method for obtaining a dense film by a wet process, but since information on the synthesis of a raw material for magnesium fluoride is not described, a transparent film comparable to vacuum vapor deposition is produced. Couldn't.

特開平11−223707号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-223707 特開昭59−213643号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-213643 特開2001−233611号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-233611 特開2008−139581号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-139581

したがって、本発明は、透明性と反射防止性に優れた光学膜を低コストで提供することを課題とする。 Therefore, it is an object of the present invention to provide an optical film having excellent transparency and antireflection property at low cost.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾルを用いた湿式プロセスにより、フッ化マグネシウムを成膜する場合に、ゾル溶液中で、粒子径が小さいトリフルオロ酢酸マグネシウムを用いることによって、上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of diligent studies to solve the above problems, the present inventors have made trifluoro having a small particle size in the sol solution when forming magnesium fluoride by a wet process using a trifluoromagnesium acetate sol. We have found that the above problems can be solved by using magnesium acetate, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は、フッ化マグネシウム層を含む光学膜を成膜するための溶液であって、ナノサイズのトリフルオロ酢酸マグネシウム微粒子と、3−メチル−2,4−ペンタンジオンと、溶媒と、を含むことを特徴とする溶液ある。 That is, the present invention is a solution for forming an optical film containing a magnesium fluoride layer, which comprises nano-sized magnesium acetate fine particles, 3-methyl-2,4-pentandione, a solvent, and the like. It is a solution characterized by containing.

また、本発明は、更にリフルオロ酢酸マグネシウム微粒子の平均粒子径が、5〜50nmの範囲であることが好ましい。 The present invention further average particle diameter of preparative trifluoroacetic acid magnesium particles, is preferably in the range of 5 to 50 nm.

本発明では、溶媒が、下記式で表されるハンセンパラメータ(δd,δp,δH)を有することが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the solvent has a Hansen parameter (δ d , δ p , δ H ) represented by the following formula.

15.0[MPa1/2] ≦δd ≦16.5[MPa1/2] (I)
4.0[MPa1/2] ≦δp ≦8.0[MPa1/2] (II)
9.0[MPa1/2] ≦δH ≦14.0[MPa1/2] (III)
15.0 [MPa 1/2 ] ≤δ d ≤16.5 [MPa 1/2 ] (I)
4.0 [MPa 1/2 ] ≤ δ p ≤ 8.0 [MPa 1/2 ] (II)
9.0 [MPa 1/2 ] ≤ δ H ≤ 14.0 [MPa 1/2 ] (III)

また、溶媒は、2−エチル−1−ブタノール、ブチルカルビトール、または1−ブトキシ−2−プロパノールであることが更に好ましい。 Further, the solvent is more preferably 2-ethyl-1-butanol, butyl carbitol, or 1-butoxy-2-propanol.

さらに、本発明では、液に含まれる前記トリフルオロ酢酸マグネシウム微粒子の含有量a[%]と、3−メチル−2,4−ペンタンジオンの含有量b[%]の関係が、下記式で表されることが好ましい。 Furthermore, in the present invention, the content of the trifluoroacetic acid magnesium particles contained in dissolved solution a and [%], the relationship of 3 content of methyl-2,4-pentanedione b [%] is the following formula It is preferably represented.

8.0≦a≦27.0 (IV)
2.0≦b≦6.0 (V)
a/b≧2 (VI)
8.0 ≤ a ≤ 27.0 (IV)
2.0 ≤ b ≤ 6.0 (V)
a / b ≧ 2 (VI)

本発明によれば、光学パネルや光学レンズに適用可能な、透明性および反射防止性能に優れた光学膜を低コストで提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an optical film having excellent transparency and antireflection performance, which can be applied to an optical panel or an optical lens, at low cost.

以下、本発明の実施の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。具体的に光学膜の詳細について説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not limited to the following embodiments. The details of the optical film will be specifically described.

本発明の光学膜は、フッ化マグネシウムを含み、フッ化マグネシウム層がナノサイズのトリフルオロ酢酸マグネシウム微粒子と、α置換βジケトンと、溶媒とを含むゾル溶液により成膜されたものである。具体的に、トリフルオロ酢酸マグネシウム、α置換βジケトン、および溶媒の詳細について、以下説明する。 The optical film of the present invention is formed by a sol solution containing magnesium fluoride and a magnesium fluoride layer containing nano-sized magnesium trifluoroacetate fine particles, α-substituted β-diketone, and a solvent. Specifically, details of the magnesium trifluoroacetate, the α-substituted β-diketone, and the solvent will be described below.

1.トリフルオロ酢酸マグネシウム
トリフルオロ酢酸マグネシウムは、湿式プロセスでフッ化マグネシウムを形成させるための前駆体であり、例えば下記反応式(1)の反応で得られる。
1. 1. Magnesium Trifluoroacetate Magnesium trifluoroacetate is a precursor for forming magnesium fluoride in a wet process, and is obtained by, for example, the reaction of the following reaction formula (1).

Figure 0006961775
Figure 0006961775

<トリフルオロ酢酸マグネシウムの平均粒子径>
トリフルオロ酢酸マグネシウムの平均粒子径は、5nm〜50nmの範囲が好ましく、5nm〜30nmの範囲であることがより好ましい。平均粒子径が5nm以下では、成膜する際に所望の膜厚を形成させることが難しい。また、平均粒子径が50nmを超える場合は粒子間の隙間が大きくなり、緻密な膜が形成されない。
<Average particle size of magnesium trifluoroacetate>
The average particle size of magnesium trifluoroacetate is preferably in the range of 5 nm to 50 nm, and more preferably in the range of 5 nm to 30 nm. When the average particle size is 5 nm or less, it is difficult to form a desired film thickness when forming a film. Further, when the average particle size exceeds 50 nm, the gap between the particles becomes large and a dense film is not formed.

ここで、「平均粒子径」とは、動的光散乱方式の粒度分布測定装置により測定されたメディアン径(D50)のことを示す。 Here, the "average particle size" indicates the median diameter (D 50 ) measured by a dynamic light scattering type particle size distribution measuring device.

2.α置換βジケトン
α置換βジケトンは、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾルを調製する際に安定化剤として作用し、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル粒子の凝集を抑制するものである。α置換βジケトンは、下記一般式(1)で表されるものである。
2. α-substituted β-diketone The α-substituted β-diketone acts as a stabilizer when preparing the trifluoromagnesium acetate sol and suppresses the aggregation of the trifluoromagnesium acetate sol particles. The α-substituted β-diketone is represented by the following general formula (1).

Figure 0006961775
Figure 0006961775

[式中のR1、R2、R3は、それぞれ、同一または異なる炭素数1〜3のアルキル基である] [R 1 , R 2 , and R 3 in the formula are alkyl groups having the same or different carbon atoms 1 to 3, respectively].

上記式(1)において、R1、R2、R3の炭素鎖が長くなると、α置換βジケトンが、成膜後の膜中に残留するため光学特性が低下する。また、R1、R2、R3のアルキル基が存在しない場合は、溶液中でのトリフルオロ酢酸マグネシウムゾル粒子の分散安定化効果が不十分になるため、ゾル粒子の粒子径が大きくなる。α置換βジケトンの中では、特に3−メチル−2,4−ペンタンジオンが好ましい。 In the above formula (1), when the carbon chains of R 1 , R 2 , and R 3 become long, the α-substituted β-diketone remains in the film after the film formation, so that the optical characteristics deteriorate. Further, in the absence of the alkyl groups of R 1 , R 2 , and R 3 , the effect of stabilizing the dispersion of the trifluoromagnesium acetate sol particles in the solution becomes insufficient, so that the particle size of the sol particles becomes large. Among the α-substituted β-diketones, 3-methyl-2,4-pentandione is particularly preferable.

3.溶媒
溶媒は、有機溶媒が好ましい。有機溶媒としては、アルコール系溶媒、脂肪族系もしくは脂環族系の炭化水素系溶媒、各種の芳香族炭化水素系、各種のエステル系、各種のケトン系、各種のエーテル系、非プロトン性極性溶剤等が挙げられる。本発明の光学膜に用いられるトリフルオロ酢酸マグネシウムゾルを調製する際には、特定のハンセンパラメ−タ(δd,δp,δH)を有する溶媒を使用することが好ましい。分散項δdは15.0以上16.5以下が好ましく、極性項δpは4.0以上8.0以下が好ましく、水素結合項δHは9.0以上14.0以下が好ましい。
3. 3. Solvent The solvent is preferably an organic solvent. Organic solvents include alcohol-based solvents, aliphatic or alicyclic hydrocarbon-based solvents, various aromatic hydrocarbon-based solvents, various ester-based solvents, various ketone-based solvents, various ether-based solvents, and aprotic polarities. Examples include solvents. When preparing the trifluoromagnesium acetate sol used for the optical membrane of the present invention, it is preferable to use a solvent having a specific Hansen parameter (δ d , δ p , δ H). The dispersion term δ d is preferably 15.0 or more and 16.5 or less, the polar term δ p is preferably 4.0 or more and 8.0 or less, and the hydrogen bond term δ H is preferably 9.0 or more and 14.0 or less.

分散項が15.0未満の場合は、トリフルオロ酢酸マグネシウムが分散状態を保てずに析出してしまい、16.5より大きいと粒子径が大きくなり緻密な膜を形成することが難しい。また、極性項δpが4.0未満または8.0より大きい場合は、粒子径が大きくなり緻密な膜を形成することが難しい。また、同様に、水素結合項δHが9.0未満または14.0より大きい場合は、粒子径が大きくなり緻密な膜を形成することが難しい。 When the dispersion term is less than 15.0, magnesium trifluoroacetate precipitates without maintaining the dispersed state, and when it is larger than 16.5, the particle size becomes large and it is difficult to form a dense film. When the polar term δ p is less than 4.0 or larger than 8.0, the particle size becomes large and it is difficult to form a dense film. Similarly, when the hydrogen bond term δ H is less than 9.0 or larger than 14.0, the particle size becomes large and it is difficult to form a dense film.

好ましい溶媒としては、例えば2−エチルブタノ−ル、1−ブトキシ−2−プロパノール、ブチルカルビトール等を例示できる。これらの有機溶媒は、一種単独、または二種以上を組み合わせて用いてもよい。また、二種以上の溶媒を組合せて、上記ハンセンパラメ−タ(δd,δp,δH)を有する溶媒を適宜調製しても良い。 Preferred solvents include, for example, 2-ethylbutanol, 1-butoxy-2-propanol, butyl carbitol and the like. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more. Further, a solvent having the above Hansen parameters (δ d , δ p , δ H ) may be appropriately prepared by combining two or more kinds of solvents.

4.ゾル溶液
ゾル溶液は、トリフルオロ酢酸マグネシウム微粒子と、α置換βジケトンと、溶媒とを含む。以下、各成分の含有量、割合等を説明する。
4. Sol solution The sol solution contains trifluoromagnesium acetate fine particles, α-substituted β-diketone, and a solvent. Hereinafter, the content, ratio, etc. of each component will be described.

(1)トリフルオロ酢酸マグネシウムの含有量
ゾル溶液中のトリフルオロ酢酸マグネシウムの含有量a[%]は、5.0〜35.0%が好ましく、8.0%以上27.0%以下がより好ましい。含有量a[%]が5.0%未満の場合は、トリフルオロ酢酸マグネシウムの割合が少なすぎるため成膜性が低下してしまう。また、含有量a[%]が35.0%を超える場合は、溶液中のトリフルオロ酢酸マグネシウム量が過剰になるため、粒子同士の凝集が激しくなり溶液中での分散状態の安定性が低下する。
(1) Content of magnesium trifluoroacetate The content a [%] of magnesium trifluoroacetate in the sol solution is preferably 5.0 to 35.0%, more preferably 8.0% or more and 27.0% or less. preferable. If the content a [%] is less than 5.0%, the proportion of magnesium trifluoroacetate is too small and the film forming property is deteriorated. When the content a [%] exceeds 35.0%, the amount of magnesium trifluoroacetate in the solution becomes excessive, so that the particles aggregate with each other and the stability of the dispersed state in the solution decreases. do.

(2)α置換βジケトンの含有量
ゾル溶液中のα置換βジケトンの含有量b[%]は、0.7〜15.0%が好ましく、2.0%以上6.0%以下がより好ましい。含有量b[%]が0.7%未満の場合は、トリフルオロ酢酸マグネシウムに対してα置換βジケトンの割合が少なすぎるため、粒子同士の凝集が激しくなり溶液中での分散状態の安定性が低下する。また、含有量b[%]が15.0%を超える場合は、α置換βジケトンの含有量が過剰になるため、成膜後の膜中への残留により光学特性が低下する。
(2) Content of α-substituted β-diketone The content b [%] of α-substituted β-diketone in the sol solution is preferably 0.7 to 15.0%, more preferably 2.0% or more and 6.0% or less. preferable. When the content b [%] is less than 0.7%, the ratio of the α-substituted β-diketone to magnesium trifluoroacetate is too small, so that the particles aggregate with each other and the dispersion state in the solution is stable. Decreases. When the content b [%] exceeds 15.0%, the content of the α-substituted β-diketone becomes excessive, so that the optical properties deteriorate due to the residue in the film after the film formation.

(3)トリフルオロ酢酸マグネシウムとα置換βジケトンの割合
上記a[%]とb[%]の割合、a/bは、0.7以上が好ましく、2.0以上がより好ましい。a/bが0.7未満の場合は、トリフルオロ酢酸マグネシウムに対するα置換βジケトンの割合が少なすぎるため、ゾル粒子同士の凝集が激しくなり、溶液中での分散状態の安定性が低下する。また、分散状態の安定性のためには、a/bは、30.0以下が好ましく、10.0以下がより好ましい。
(3) Ratio of magnesium trifluoroacetate and α-substituted β-diketone The ratio of a [%] and b [%], a / b, is preferably 0.7 or more, more preferably 2.0 or more. When a / b is less than 0.7, the ratio of the α-substituted β-diketone to magnesium trifluoroacetate is too small, so that the sol particles aggregate with each other and the stability of the dispersed state in the solution decreases. Further, for the stability of the dispersed state, a / b is preferably 30.0 or less, more preferably 10.0 or less.

5.光学膜の層構成
光学膜は、フッ化マグネシウム層の単層で構成されても良いが、他の材料より成る層を含む2層以上の層で構成されても良い。2層以上から構成される光学膜の場合は、反射防止性能をより向上させるために、空孔を有する層を含むことが好ましい。さらに、この空孔を有する層はフッ化マグネシウム層の上部に形成されていることが好ましい。そして、空孔を有する層が、フッ化マグネシウム層よりも表層側にくるように使用される。
5. Layer structure of optical film The optical film may be composed of a single layer of magnesium fluoride layer, or may be composed of two or more layers including a layer made of other materials. In the case of an optical film composed of two or more layers, it is preferable to include a layer having pores in order to further improve the antireflection performance. Further, the layer having the pores is preferably formed on the upper part of the magnesium fluoride layer. Then, the layer having pores is used so as to be closer to the surface layer than the magnesium fluoride layer.

屈折率調整層として、ZrO2、Al23などの無機酸化物の層をさらに形成してもよい。使用する無機酸化物等は、透過率の観点から、平均粒子径は150nm以下が好ましく、50nm以下がより好ましい。 As the refractive index adjusting layer, a layer of an inorganic oxide such as ZrO 2 or Al 2 O 3 may be further formed. From the viewpoint of transmittance, the inorganic oxide or the like used preferably has an average particle size of 150 nm or less, more preferably 50 nm or less.

空孔を有する層は、空孔に含まれる空気(屈折率1.0)によって屈折率を下げることができる。空孔を形成する手段としては、内部に空孔を有し、この空孔の外側の周囲にシェルを有する粒子からなる中空粒子により形成する方法が挙げられる。また、中実の球状粒子若しくは鎖状などの異形状粒子同士の隙間に空孔を形成する方法、又は層を成膜する際の溶媒などの揮発により空孔を形成する方法などが挙げられる。これらの中では、より空孔率が高く低屈折率が得られる方法としては、中空粒子により空孔を形成する方法が好ましい。 The layer having pores can have its refractive index lowered by the air contained in the pores (refractive index 1.0). As a means for forming the vacancies, there is a method of forming the vacancies by hollow particles composed of particles having vacancies inside and having a shell around the outside of the vacancies. Further, a method of forming pores in the gaps between solid spherical particles or irregularly shaped particles such as chains, a method of forming pores by volatilization of a solvent or the like when forming a layer, and the like can be mentioned. Among these, as a method for obtaining a higher porosity and a lower refractive index, a method of forming pores with hollow particles is preferable.

中空粒子を構成する材質としては、低屈折率のものが好ましい。材質としては、例えば、SiO2、フッ化マグネシウムなどの無機材料、フッ素、シリコーンなどの有機樹脂等が挙げられる。これらの中では、粒子の製造が容易であるSiO2がより好ましい。SiO2の中空粒子の製造方法としては、例えば、特許文献3や、特許文献4等に記載されている方法で作製することが可能である。中空粒子により、基材表面に対して平行方向に整列された粒子が複数段積み重なって形成された層の屈折率を下げることが可能となる。 As the material constituting the hollow particles, a material having a low refractive index is preferable. Examples of the material include inorganic materials such as SiO 2 , magnesium fluoride, and organic resins such as fluorine and silicone. Among these, SiO 2 is more preferable because it is easy to produce particles. As a method for producing the hollow particles of SiO 2 , for example, the hollow particles can be produced by the methods described in Patent Document 3, Patent Document 4, and the like. The hollow particles make it possible to reduce the refractive index of a layer formed by stacking a plurality of particles aligned in a direction parallel to the surface of a base material.

前記中空粒子の平均粒子径は、15nm以上100nm以下、好ましくは15nm以上60nm以下が望ましい。中空粒子の平均粒子径が15nm未満の場合は、コアとなる粒子を安定的に作ることが難しい。また、中空粒子の平均粒子径が100nmを超える場合は、粒子間の空隙が大きくなるため、大きなボイドが発生しやすく、また粒子の大きさに伴う散乱が発生する。 The average particle size of the hollow particles is preferably 15 nm or more and 100 nm or less, preferably 15 nm or more and 60 nm or less. When the average particle size of the hollow particles is less than 15 nm, it is difficult to stably produce core particles. Further, when the average particle size of the hollow particles exceeds 100 nm, the voids between the particles become large, so that large voids are likely to be generated, and scattering is generated according to the size of the particles.

ここで中空粒子の「平均粒子径」とは、平均フェレ径である。この平均フェレ径は透過電子顕微鏡像によって観察したものを画像処理によって測定することができる。画像処理方法としては、image Pro PLUS(メディアサイバネティクス社製)など市販の画像処理を用いることができる。所定の画像領域において、必要であれば適宜コントラスト調整を行い、粒子測定によって各粒子の平均フェレ径を測定し、平均値を算出し求めることができる。 Here, the "average particle size" of the hollow particles is the average ferret diameter. This average ferret diameter can be measured by image processing as observed by a transmission electron microscope image. As the image processing method, a commercially available image processing such as image Pro PLUS (manufactured by Media Cybernetics) can be used. In a predetermined image region, if necessary, the contrast is adjusted as appropriate, the average ferret diameter of each particle is measured by particle measurement, and the average value can be calculated and obtained.

前記中空粒子のシェルの厚みは、平均粒子径の10%以上50%以下、好ましくは2
0%以上35%以下が望ましい。シェルの厚みが10%未満であると、粒子の強度が不足する。また、シェルの厚みが50%を超えると、中空の効果が屈折率に顕著には現れなくなる。
The thickness of the shell of the hollow particles is 10% or more and 50% or less, preferably 2 of the average particle size.
0% or more and 35% or less is desirable. If the thickness of the shell is less than 10%, the strength of the particles will be insufficient. Further, when the thickness of the shell exceeds 50%, the hollow effect does not appear remarkably in the refractive index.

前記中実の球状粒子又は鎖状などの異形状粒子を構成する材料としては、前記中空粒子と同様にSiO2、フッ化マグネシウムなどの無機材料、フッ素、シリコーンなどの有機樹脂等が挙げられる。これらの中では、粒子の製造が容易であるSiO2がより好ましい。 Examples of the material constituting the solid spherical particles or irregularly shaped particles such as chains include inorganic materials such as SiO 2 and magnesium fluoride, and organic resins such as fluorine and silicone, as in the case of the hollow particles. Among these, SiO 2 is more preferable because it is easy to produce particles.

前記中実の球状粒子又は鎖状などの粒子径は、10nm以上100nm以下、好ましくは10nm以上60nm以下が望ましい。平均粒子径が10nm未満の場合は、粒子同士の隙間に空孔を安定的に作ることが難しい。また100nmを超える場合、粒子間の空隙が大きくなるため、大きなボイドが発生しやすく、また粒子の大きさに伴う散乱が発生する。 The particle size of the solid spherical particles or chain-like particles is preferably 10 nm or more and 100 nm or less, preferably 10 nm or more and 60 nm or less. When the average particle size is less than 10 nm, it is difficult to stably create pores in the gaps between the particles. On the other hand, when it exceeds 100 nm, the voids between the particles become large, so that large voids are likely to be generated, and scattering is generated according to the size of the particles.

空孔を有する層については、中空粒子又は球状若しくは異形状粒子のみによって形成してもよいが、バインダーにより粒子を固定する方法が好ましい。バインダーとしては、粒子を固定できるものであれば特に限定されるものではない。 The layer having pores may be formed only of hollow particles or spherical or irregularly shaped particles, but a method of fixing the particles with a binder is preferable. The binder is not particularly limited as long as it can fix the particles.

6.光学膜の成膜方法
本発明の光学膜は、上記のゾル溶液を基材に塗布し、塗布した基材を加熱して製造することが出来る。上記で調製したゾル溶液は、光学素子上に塗布することで成膜される。塗布膜を形成する方法として、例えばディッピング法、スピンコート法、スプレー法、印刷法、フローコート法、ならびにこれらの併用等、既知の塗布手段を適宜採用することができる。膜厚は、ディッピング法における引き上げ速度やスピンコート法における基板回転速度などを変化させることと、塗布溶液の濃度を変えることにより制御することが可能である。
6. Method for forming an optical film The optical film of the present invention can be produced by applying the above sol solution to a base material and heating the applied base material. The sol solution prepared above is formed by applying it on an optical element. As a method for forming the coating film, known coating means such as a dipping method, a spin coating method, a spray method, a printing method, a flow coating method, and a combination thereof can be appropriately adopted. The film thickness can be controlled by changing the pulling speed in the dipping method, the substrate rotation speed in the spin coating method, and the like, and changing the concentration of the coating solution.

本発明における基材としては、ガラスが挙げられる。 Examples of the base material in the present invention include glass.

光学膜と基材表面の間に中間層がある場合は、無機酸化物または無機化合物を加熱して、溶融、蒸発または昇華させて、基材表面に蒸発、昇華した粒子を付着、堆積させて成膜させる真空蒸着などの乾式プロセスを用いて、中間層の成膜できる。また、無機酸化物または無機化合物、溶剤を含有した成膜液を、基材表面上に、ディッピング法、スピンコート法、スプレー法、印刷法、フローコート法などの湿式プロセスで、塗工した後、乾燥する工程を有する方法を用いても良い。また、光学膜の成膜方法は、基材表面上もしくは中間層上に、前記トリフルオロ酢酸マグネシウム溶液を、ディッピング法、スピンコート法、スプレー法、印刷法、フローコート法などの湿式プロセスで塗工した後、加熱あるいは乾燥する工程を有する方法が好ましい。尚、成膜方法については、これらの方法に限定されるものではない。 If there is an intermediate layer between the optical film and the surface of the substrate, the inorganic oxide or compound is heated to melt, evaporate or sublimate, and the evaporated or sublimated particles adhere to and deposit on the surface of the substrate. The intermediate layer can be formed by using a dry process such as vacuum deposition. Further, after applying a film-forming liquid containing an inorganic oxide, an inorganic compound, or a solvent on the surface of the base material by a wet process such as a dipping method, a spin coating method, a spray method, a printing method, or a flow coating method. , A method having a drying step may be used. The optical film is formed by applying the trifluoromagnesium acetate solution on the surface of the substrate or the intermediate layer by a wet process such as a dipping method, a spin coating method, a spray method, a printing method, or a flow coating method. A method having a step of heating or drying after the work is preferable. The film forming method is not limited to these methods.

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、その要旨を超えない限り、下記の実施例によって何ら限定されるものではない。なお、成分量に関して「部」及び「%」と記載しているものは、特に断らない限り質量基準である。平均粒子径は、ナノ粒子粒度分布測定器(商品名「UPA−EX250」、日機装社製)を使用して測定した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples as long as the gist thereof is not exceeded. In addition, what is described as "part" and "%" regarding the amount of a component is based on mass unless otherwise specified. The average particle size was measured using a nanoparticle particle size distribution measuring device (trade name "UPA-EX250", manufactured by Nikkiso Co., Ltd.).

[実施例1]
(1)材料の調製
<α置換βジケトンの合成>
α置換βジケトンとして、3−メチル−2,4−ペンタンジオンを合成した。
[Example 1]
(1) Preparation of materials <Synthesis of α-substituted β-diketone>
3-Methyl-2,4-pentandione was synthesized as an α-substituted β-diketone.

Figure 0006961775
Figure 0006961775

温度計、還流管、滴下ろうと及び攪拌装置を備えた反応容器に、炭酸カリウム100部(塩基触媒)、アセトン200部(溶媒)を加えて攪拌を行った。続いて、攪拌しながらアセチルアセトン100部(基質)を加えて、その後ヨ−ドメタン200部(反応物)を滴下して水浴で55〜60℃に保ちながら6時間反応させた。その後、吸引ろ過を行い、不溶成分を除去して得られたろ液を、ロータリーエバポレーターを用いて濃縮し、得られた濃縮液を減圧蒸留することによって、3−メチル−2,4−ペンタンジオンを得た。 To a reaction vessel equipped with a thermometer, a reflux tube, a dropping funnel and a stirrer, 100 parts of potassium carbonate (base catalyst) and 200 parts of acetone (solvent) were added and stirred. Subsequently, 100 parts (substrate) of acetylacetone was added with stirring, and then 200 parts (reactant) of iodine methane was added dropwise, and the mixture was reacted in a water bath at 55-60 ° C. for 6 hours. Then, suction filtration is performed to remove insoluble components, and the obtained filtrate is concentrated using a rotary evaporator, and the obtained concentrate is distilled under reduced pressure to obtain 3-methyl-2,4-pentandione. Obtained.

<トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液の調製> <Preparation of trifluoromagnesium acetate sol solution>

Figure 0006961775
Figure 0006961775

温度計、滴下ろうと及び攪拌装置を備えた反応容器に、マグネシウムジエトキシド5部(基質)、2−エチル1−ブタノ−ル119部(溶剤)、3−メチル−2,4−ペンタンジオン9部(安定化剤)を加えて100rpmで攪拌を行った。続いて、攪拌しながらトリフルオロ酢酸(反応物)11部を85分かけて滴下した後、水浴で25℃に保ちながら反応を行い、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液を得た。 In a reaction vessel equipped with a thermometer, a dropping funnel and a stirrer, 5 parts of magnesium diethoxydo (substrate), 119 parts of 2-ethyl1-butanol (solvent), 3-methyl-2,4-pentandione 9 A portion (stabilizer) was added and stirring was performed at 100 rpm. Subsequently, 11 parts of trifluoroacetic acid (reactant) was added dropwise over 85 minutes with stirring, and then the reaction was carried out while keeping the temperature at 25 ° C. in a water bath to obtain a trifluoromagnesium acetate sol solution.

(2)光学膜の製造
基板(スライドガラス 水縁磨 材質:ソーダガラス 角型 3t×40×40mm)をイソプロピルアルコールで30分間超音波洗浄、乾燥させた後、30分間オゾン洗浄、基板洗浄用スプレーでゴミを取り除き、コーティング用ガラス基板とした。このコーティング用ガラス基板上に、上記トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液0.3mlを、スピンコート装置(商品名:「1H−D7」、ミカサ(株)製)を用い、回転数4000pm、90秒間でスピンコートした。その後、250℃にて2時間焼成し、光学膜を製造した(表1中、層構成A)。
(2) Manufacture of optical film The substrate (slide glass water edge polishing material: soda glass square 3t x 40 x 40mm) is ultrasonically cleaned and dried with isopropyl alcohol for 30 minutes, then ozone cleaning and substrate cleaning spray for 30 minutes. The dust was removed with a glass substrate for coating. On this coating glass substrate, 0.3 ml of the above trifluoromagnesium acetate sol solution is spun using a spin coating device (trade name: "1HD7", manufactured by Mikasa Co., Ltd.) at a rotation speed of 4000 pm in 90 seconds. I coated it. Then, it was calcined at 250 degreeC for 2 hours to produce an optical film (layer structure A in Table 1).

[実施例2]
仕込み量を、マグネシウムジエトキシド17部、2−エチル1−ブタノール82部、3−メチル−2,4−ペンタンジオン9部、トリフルオロ酢酸(反応物)36部に変更した以外は、実施例1と同様の方法にて、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同じ方法にて成膜して、光学膜を製造した。
[Example 2]
Examples except that the amount charged was changed to 17 parts of magnesium diethoxydo, 82 parts of 2-ethyl1-butanol, 9 parts of 3-methyl-2,4-pentandione, and 36 parts of trifluoroacetic acid (reactant). A trifluoromagnesium acetate sol solution was prepared in the same manner as in 1. Then, a film was formed by the same method as in Example 1 to produce an optical film.

[実施例3]
仕込み量を、マグネシウムジエトキシド4部、2−エチル1−ブタノール123部、3−メチル−2,4−ペンタンジオン9部、トリフルオロ酢酸(反応物)8部に変更した以外は、実施例1と同様にして、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同じ方法にて成膜して、光学膜を製造した。
[Example 3]
Examples except that the amount charged was changed to 4 parts of magnesium diethoxydo, 123 parts of 2-ethyl1-butanol, 9 parts of 3-methyl-2,4-pentandione, and 8 parts of trifluoroacetic acid (reactant). A trifluoromagnesium acetate sol solution was prepared in the same manner as in 1. Then, a film was formed by the same method as in Example 1 to produce an optical film.

[実施例4]
仕込み量を、マグネシウムジエトキシド20部、2−エチル1−ブタノール74部、3−メチル−2,4−ペンタンジオン9部、トリフルオロ酢酸(反応物)41部に変更した以外は、実施例1と同様にして、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同じ方法にて成膜して、光学膜を製造した。
[Example 4]
Examples except that the amount charged was changed to 20 parts of magnesium diethoxydo, 74 parts of 2-ethyl1-butanol, 9 parts of 3-methyl-2,4-pentandione, and 41 parts of trifluoroacetic acid (reactant). A trifluoromagnesium acetate sol solution was prepared in the same manner as in 1. Then, a film was formed by the same method as in Example 1 to produce an optical film.

[実施例5]
(1)材料の調製
<中空粒子液の調製>
中空シリカスラリーIPA分散液(日揮触媒化成株式会社製 スルーリア1110、平
均フェレ径55nm、固形分濃度20.5wt%、)4.5重量部に1−エトキシ−2−プロパノール9.00重量部100mlのナスフラスコに入れ、エバポレーターにて濃縮し、溶媒を1−エトキシ−2−プロパノールに置換した。その後、1−エトキシ−2−プロパノール11.0重量部、1−ブトキシ−2−プロパノール15.0重量部、2―エチルブタノール13.5重量部添加して、1.9wt%の中空粒子液を調製した。
[Example 5]
(1) Preparation of material <Preparation of hollow particle liquid>
Hollow silica slurry IPA dispersion (Thruria 1110 manufactured by JGC Catalysts and Chemicals Co., Ltd., average ferre diameter 55 nm, solid content concentration 20.5 wt%,) 4.5 parts by weight and 9.00 parts by weight of 1-ethoxy-2-propanol 100 ml. It was placed in a eggplant flask, concentrated by an evaporator, and the solvent was replaced with 1-ethoxy-2-propanol. Then, 11.0 parts by weight of 1-ethoxy-2-propanol and 15.0 parts by weight of 1-butoxy-2-propanol were added to add 13.5 parts by weight of 2-ethylbutanol to obtain a 1.9 wt% hollow particle solution. Prepared.

<バインダー液の調製>
シリコーンレジン(信越化学工業株式会社製 KR−311)1質量部にキシレン75質量部添加し、0.8wt%のバインダー液を調製した。
<Preparation of binder solution>
75 parts by mass of xylene was added to 1 part by mass of a silicone resin (KR-311 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) to prepare a 0.8 wt% binder solution.

なお、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液は、実施例2と同様の方法にて調製した。 The trifluoromagnesium acetate sol solution was prepared in the same manner as in Example 2.

(2)光学膜の製造
実施例1と同じ方法にて成膜したフッ化マグネシウム層の上に、上記中空粒子液0.3mlを、スピンコート装置を用い、回転数2000rpm、90秒間でスピンコートした。その上にバインダー液0.3mlを、スピンコート装置を用い、回転数2000rpm、90秒間でスピンコートし、200℃で2時間加熱処理を施し光学膜を得た(表1中、層構成B)。
(2) Production of Optical Film On the magnesium fluoride layer formed by the same method as in Example 1, 0.3 ml of the above hollow particle solution is spin-coated at a rotation speed of 2000 rpm for 90 seconds using a spin coater. bottom. 0.3 ml of the binder solution was spin-coated on the binder solution at a rotation speed of 2000 rpm for 90 seconds and heat-treated at 200 ° C. for 2 hours to obtain an optical film (layer structure B in Table 1). ..

[実施例6]
(1)材料の調製
<シリカ粒子分散溶液の調製>
温度計及び攪拌装置を備えた反応容器に、ケイ酸エチル95部(基質)、0.1%塩酸水溶液85部を加え、水浴を20℃に保ちながら200rpmで攪拌し60分間反応させた。得られた溶液を耐熱容器に移し、200℃のオーブンで2時間縮合反応を進めバルク状のシリカを得た。得られたシリカを、ボールミル(入江商会社製V−1ML)を用い鋼球ボールにてポット内で粉砕し、粉砕したシリカ粉末20部を2−プロパノール180部に分散させた。得られたシリカ分散溶液を、湿式粉砕装置(株式会社スギノマシン社製 HJP−25001)にてさらに微粒子化し、固形分10wt%(平均粒子径13nm)のシリカ粒子分散溶液を得た。
[Example 6]
(1) Preparation of materials <Preparation of silica particle dispersion solution>
To a reaction vessel equipped with a thermometer and a stirrer, 95 parts of ethyl silicate (substrate) and 85 parts of a 0.1% hydrochloric acid aqueous solution were added, and the mixture was stirred at 200 rpm while keeping the water bath at 20 ° C. and reacted for 60 minutes. The obtained solution was transferred to a heat-resistant container, and a condensation reaction was carried out in an oven at 200 ° C. for 2 hours to obtain bulk silica. The obtained silica was pulverized in a pot with a steel ball using a ball mill (V-1ML manufactured by Irie Trading Co., Ltd.), and 20 parts of the pulverized silica powder was dispersed in 180 parts of 2-propanol. The obtained silica dispersion solution was further atomized by a wet pulverizer (HJP-25001 manufactured by Sugino Machine Limited) to obtain a silica particle dispersion solution having a solid content of 10 wt% (average particle diameter 13 nm).

なお、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液は、実施例2と同様の方法にて調製した。また、バインダー液は、実施例5と同じ方法にて調製した。 The trifluoromagnesium acetate sol solution was prepared in the same manner as in Example 2. The binder liquid was prepared by the same method as in Example 5.

(2)光学膜の製造
実施例1と同じ方法にて成膜したフッ化マグネシウム層の上に、上記シリカ粒子溶液0.3mlを、スピンコート装置を用い、回転数2000rpm、90秒間でスピンコートした。その上に、バインダー液0.3mlを、スピンコート装置を用い、回転数2000rpm、90秒間でスピンコートし、200℃で2時間加熱処理を施し光学膜を得た(表1中、層構成C)。
(2) Production of Optical Film On the magnesium fluoride layer formed by the same method as in Example 1, 0.3 ml of the silica particle solution was spin-coated at a rotation speed of 2000 rpm for 90 seconds using a spin coater. bottom. A binder solution of 0.3 ml was spin-coated on the binder solution at a rotation speed of 2000 rpm for 90 seconds and heat-treated at 200 ° C. for 2 hours to obtain an optical film (in Table 1, layer structure C). ).

[実施例7]
(1)材料の調製
<ZrO2分散溶液の調製>
温度計、滴下ろうと及び攪拌装置を備えた反応容器に、ジルコニウムテトラ−n−ブトキシド30部(基質)、2−エチル−1−ブタノ−ル70部(溶剤)、3−メチル−2,4−ペンタンジオン5部(安定化剤)を加えて60rpmで攪拌を行った。これとは別に、温度計及び攪拌装置を備えた反応容器に、0.01Nの塩酸2部(酸触媒)、2−エチル−1−ブタノ−ル130部(溶剤)、1−エトキシ−2−プロパノール90部(溶剤)を加えて、振とうすることで酸触媒溶液を調整した。調整した酸触媒溶液を、上記ジルコニウムテトラ−n−ブトキシド溶液に加えて120rpmで攪拌することで、ZrO2分散溶液を得た。
[Example 7]
(1) Preparation of materials <Preparation of ZrO 2 dispersion solution>
In a reaction vessel equipped with a thermometer, a dropping funnel and a stirrer, 30 parts of zirconium tetra-n-butoxide (substrate), 70 parts of 2-ethyl-1-butanol (solvent), 3-methyl-2,4- Five parts of pentangion (stabilizer) was added, and the mixture was stirred at 60 rpm. Separately, in a reaction vessel equipped with a thermometer and a stirrer, 2 parts of 0.01N hydrochloric acid (acid catalyst), 130 parts of 2-ethyl-1-butanol (solvent), 1-ethoxy-2- An acid catalyst solution was prepared by adding 90 parts of propanol (solvent) and shaking. The prepared acid catalyst solution was added to the above zirconium tetra-n-butoxide solution and stirred at 120 rpm to obtain a ZrO 2 dispersion solution.

なお、トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液は、実施例2と同様の方法で調製した。 The trifluoromagnesium acetate sol solution was prepared in the same manner as in Example 2.

(2)光学膜の製造
基板(スライドガラス 水縁磨 材質:ソーダガラス 角型 3t×40×40mm)をイソプロピルアルコールで30分間超音波洗浄、乾燥させた後、30分間オゾン洗浄することによって基板洗浄用スプレーでゴミを取り除き、コーティング用ガラス基板とした。このコーティング用ガラス基板上に、上記ZrO2分散溶液0.3mlを、スピンコート装置(商品名:「1H−D7」、ミカサ(株)製)を用い、回転数2000rpm、60秒間でスピンコートし、200℃にて2時間焼成した。その膜上に上記トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液0.3mlを、スピンコート装置を用い、回転数2000rpm、90秒間でスピンコートし250℃で2時間焼成させた。その膜上にさらに、前記工程を繰り返すことによってZrO2層とフッ化マグネシウム層が繰り返された12層の光学膜を形成した(表1中、層構成D)。
(2) Manufacture of optical film Substrate (slide glass water edge polishing material: soda glass square 3t x 40 x 40mm) is ultrasonically cleaned with isopropyl alcohol for 30 minutes, dried, and then ozone cleaned for 30 minutes to clean the substrate. Dust was removed with a spray to make a glass substrate for coating. On this coating glass substrate, 0.3 ml of the above ZrO 2 dispersion solution was spin-coated at a rotation speed of 2000 rpm for 60 seconds using a spin coating device (trade name: "1HD7", manufactured by Mikasa Co., Ltd.). , 200 ° C. for 2 hours. 0.3 ml of the above trifluoromagnesium acetate sol solution was spin-coated on the film at a rotation speed of 2000 rpm for 90 seconds and fired at 250 ° C. for 2 hours. By repeating the above steps, a 12-layer optical film in which the ZrO 2 layer and the magnesium fluoride layer were repeated was further formed on the film (layer structure D in Table 1).

[実施例8]
(1)材料の調製
トリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液は、実施例2と同じ方法にて調製した。また、ZrO2分散溶液は、実施例6と同様にして分散溶液を調製した。
[Example 8]
(1) Preparation of Material The trifluoromagnesium acetate sol solution was prepared by the same method as in Example 2. As the ZrO 2 dispersion solution, a dispersion solution was prepared in the same manner as in Example 6.

(2)光学膜の製造
実施例6と同様にして12層の光学膜を形成した最上層に、実施例5と同様にして調整した中空粒子溶液0.3mlを、スピンコート装置を用い、回転数2000rpm、60秒間でスピンコートし200℃で2時間焼成し光学膜を形成した(表1中、層構成E)。
(2) Production of Optical Film To the uppermost layer in which 12 optical films were formed in the same manner as in Example 6, 0.3 ml of a hollow particle solution prepared in the same manner as in Example 5 was rotated using a spin coating device. An optical film was formed by spin coating at several 2000 rpm for 60 seconds and firing at 200 ° C. for 2 hours (Table 1, layer structure E).

なお、各実施例の層構成(下記の表1に示されるA〜Eの層)を表3に示す。 The layer structure of each example (layers A to E shown in Table 1 below) is shown in Table 3.

Figure 0006961775
Figure 0006961775

[実施例9]
溶剤を2−エチル1−ブタノール88部、安定化剤を3−メチル−2,4−ペンタンジオン3部に変更した以外は、実施例2と同様にしてトリフルオロ酢酸マグネシウムゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 9]
A trifluoromagnesium acetate sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 88 parts of 2-ethyl1-butanol and the stabilizer was changed to 3 parts of 3-methyl-2,4-pentanedione. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例10]
溶剤を2−エチル1−ブタノール85部、安定化剤を3−メチル−2,4−ペンタンジオン6部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 10]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 85 parts of 2-ethyl1-butanol and the stabilizer was changed to 6 parts of 3-methyl-2,4-pentanedione. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例11]
溶剤を2−エチル1−ブタノール90部、安定化剤を3−メチル−2,4−ペンタンジオン1部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 11]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 90 parts of 2-ethyl1-butanol and the stabilizer was changed to 1 part of 3-methyl-2,4-pentanedione. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例12]
溶剤を2−エチル1−ブタノール77部、安定化剤を3−メチル−2,4−ペンタンジオン14部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 12]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 77 parts of 2-ethyl1-butanol and the stabilizer was changed to 14 parts of 3-methyl-2,4-pentanedione. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例13]
安定化剤の3−メチル−2,4−ペンタンジオンを、5−メチルヘキサン−2,4−ジオンに変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 13]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the stabilizer 3-methyl-2,4-pentanedione was changed to 5-methylhexane-2,4-dione. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例14]
溶剤をブチルカルビトール82部に変更した以外は前述の実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 14]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 described above except that the solvent was changed to 82 parts of butyl carbitol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例15]
溶剤を1−ブトキシ−2−プロパノール82部に変更した以外は前述の実施例2と同様にしてゾルを調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 15]
A sol was prepared in the same manner as in Example 2 above, except that the solvent was changed to 82 parts of 1-butoxy-2-propanol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例16]
溶剤をメチルカルビトール82部に変更した以外は前述の実施例2と同様にしてゾルを調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 16]
A sol was prepared in the same manner as in Example 2 described above except that the solvent was changed to 82 parts of methyl carbitol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例17]
溶剤をn−ペンタノ−ル25部、酢酸58部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 17]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 25 parts of n-pentanol and 58 parts of acetic acid. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例18]
溶剤をn−ペンタノ−ル41部、シクロヘキサノン41部からなる混合溶媒に変更した以外は前述の実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 18]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 described above, except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 41 parts of n-pentanol and 41 parts of cyclohexanone. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例19]
溶剤をn−ペンタノ−ル4部、酢酸78部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 19]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 4 parts of n-pentanol and 78 parts of acetic acid. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例20]
溶剤をメチルカルビトール82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 20]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of methyl carbitol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例21]
溶剤をn−ヘキサノ−ル82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 21]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of n-hexanol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例22]
溶剤をN,N−ジメチルホルムアミド33部、1−ブトキシ−2−プロパノ−ル49部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 22]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 33 parts of N, N-dimethylformamide and 49 parts of 1-butoxy-2-propanol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例23]
溶剤をメチルイソブチルカルビト−ル82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 23]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of methylisobutylcarbitol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例24]
溶剤をn−ペンタノ−ル82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 24]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of n-pentanol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例25]
溶剤をn−ペンタノ−ル41部、メチルイソブチルケトン41部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 25]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 41 parts of n-pentanol and 41 parts of methyl isobutyl ketone. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例26]
溶剤を1−メトキシ−2−プロパノ−ル82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 26]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of 1-methoxy-2-propanol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例27]
溶剤をメチルイソブチルケトン82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 27]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of methyl isobutyl ketone. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例28]
溶剤をエチレングリコ−ル82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 28]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of ethylene glycol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例29]
溶剤をヘキサン82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 29]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of hexane. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例30]
溶剤をエチレングリコ−ル49部、トルエン33部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 30]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 49 parts of ethylene glycol and 33 parts of toluene. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例31]
溶剤をエチレングリコ−ル12部、イソオクチルアルコ−ル70部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 31]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 12 parts of ethylene glycol and 70 parts of isooctyl alcohol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例32]
溶剤をイソオクチルアルコ−ル49部、ジエチルエ−テル33部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 32]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 49 parts of isooctyl alcohol and 33 parts of diethyl ether. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例33]
溶剤をエタノ−ル82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 33]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of etanol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例34]
溶剤を酢酸ブチル82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 34]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of butyl acetate. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例35]
溶剤をN,N−ジメチルホルムアミド82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 35]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of N, N-dimethylformamide. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例36]
溶剤をトルエン41部、2−プロパノ−ル41部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 36]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 41 parts of toluene and 41 parts of 2-propanol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例37]
溶剤をシクロオクタノン82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 37]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of cyclooctanone. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例38]
溶剤をシクロヘキサノン82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 38]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of cyclohexanone. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例39]
溶剤をイソオクチルアルコ−ル54部、ヘキサン29部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 39]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 54 parts of isooctyl alcohol and 29 parts of hexane. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例40]
溶剤をメチルエチルケトン82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 40]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of methyl ethyl ketone. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例41]
溶剤をブチルセロソルブ54部、キシレン29部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 41]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 54 parts of butyl cellosolve and 29 parts of xylene. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例42]
溶剤をイソオクチルアルコ−ル49部、アセトン33部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 42]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 49 parts of isooctyl alcohol and 33 parts of acetone. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例43]
溶剤をイソオクチルアルコ−ル66部、メタノ−ル16部からなる混合溶媒に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 43]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to a mixed solvent consisting of 66 parts of isooctyl alcohol and 16 parts of methanol. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[実施例44]
溶剤をトルエン82部に変更した以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Example 44]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the solvent was changed to 82 parts of toluene. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[比較例1]
安定化剤の3−メチル−2,4−ペンタンジオンを加えないこと以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Comparative Example 1]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the stabilizers 3-methyl-2 and 4-pentandione were not added. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1.

[比較例2]
安定化剤の3−メチル−2,4−ペンタンジオンを無水酢酸に変更したこと以外は、実施例2と同様にしてゾル溶液を調製した。そして、前述の実施例1と同様の方法にて光学膜を形成した。
[Comparative Example 2]
A sol solution was prepared in the same manner as in Example 2 except that the stabilizer 3-methyl-2,4-pentandione was changed to acetic anhydride. Then, an optical film was formed by the same method as in Example 1 described above.

[参考例1]
<光学膜の製造>
基板(スライドガラス 水縁磨 材質:ソーダガラス 角型 3t×40×40mm)をイソプロピルアルコールで30分間超音波洗浄、乾燥させた後、30分間オゾン洗浄することによって基板洗浄用スプレーでゴミを取り除き、コーティング用ガラス基板とした。このコーティング用ガラス基板上に、真空蒸着法によりフッ化マグネシウム層を形成した。
[Reference example 1]
<Manufacturing of optical film>
The substrate (slide glass water edge polishing material: soda glass square 3t x 40 x 40mm) is ultrasonically cleaned with isopropyl alcohol for 30 minutes, dried, and then ozone-cleaned for 30 minutes to remove dust with a substrate cleaning spray. It was used as a glass substrate for coating. A magnesium fluoride layer was formed on this coating glass substrate by a vacuum vapor deposition method.

表2にトリフルオロ酢酸マグネシウム溶液の組成および溶液中のトリフルオロ酢酸マグネシウム粒子の平均粒子径を示す。 Table 2 shows the composition of the trifluoromagnesium acetate solution and the average particle size of the trifluoromagnesium acetate particles in the solution.

Figure 0006961775
Figure 0006961775

Figure 0006961775
Figure 0006961775

<光学膜の評価>
光学膜の評価は、以下の4つの点に関して行った。
(1)フッ化マグネシウム層の屈折率(評価1)
光学膜中のフッ化マグネシウム層の屈折率は、自動多入射角分光エリプソメーターV−VASE(ジェーエーウーラム社製)を用い、波長550nmの値を測定した。結果を表3に示す。
<Evaluation of optical film>
The optical film was evaluated with respect to the following four points.
(1) Refractive index of magnesium fluoride layer (evaluation 1)
The refractive index of the magnesium fluoride layer in the optical film was measured at a wavelength of 550 nm using an automatic multi-incident angle spectroscopic ellipsometer V-VASE (manufactured by JA Woolam). The results are shown in Table 3.

(2)反射率(評価2)
反射分光膜厚計(大塚電子株式会社製 FE3000)を用い、入射角0度において、350nm〜550nmの波長領域における、光学膜の反射率挙動を測定し、以下に示す評価基準にしたがって光学膜の反射率を評価した。結果を表3に示す。また、各光学膜の層構成については表3に示す通りである。
(2) Reflectance (evaluation 2)
Using a reflection spectroscopic film thickness meter (FE3000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), the reflectance behavior of the optical film in the wavelength range of 350 nm to 550 nm was measured at an incident angle of 0 degrees, and the optical film was measured according to the evaluation criteria shown below. The reflectance was evaluated. The results are shown in Table 3. The layer structure of each optical film is as shown in Table 3.

◎ :波長350nm〜550nmの範囲における最大反射率が1%未満であり、且つ、波長350nm〜550nmの範囲における反射率の差(反射率最大値−反射率最小値)が0.5%以下である。
○ :波長350nm〜550nmの範囲における最大反射率が1%未満であり、且つ、波長350nm〜550nmの範囲における反射率の差(反射率最大値−反射率最小値)が0.5%を超え1%未満である。
△ :波長350nm〜550nmの範囲における最大反射率が1%以上2%未満である。
△×:波長350nm〜550nmの範囲における最大反射率が2%以上4%未満である。
× :波長350nm〜550nmの範囲における最大反射率が4%以上である。
⊚: The maximum reflectance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is less than 1%, and the difference in reflectance (maximum reflectance-minimum reflectance) in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is 0.5% or less. be.
◯: The maximum reflectance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is less than 1%, and the difference in reflectance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm (maximum reflectance-minimum reflectance) exceeds 0.5%. It is less than 1%.
Δ: The maximum reflectance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is 1% or more and less than 2%.
Δ ×: The maximum reflectance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is 2% or more and less than 4%.
X: The maximum reflectance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is 4% or more.

(3)透過率(評価3)
分光光度計UV−Vis(株式会社日立ハイテクサイエンス製 U−3310)を用い、入射角0度において、350nm〜550nmの波長領域における、光学膜の透過率挙動を測定し、以下に示す評価基準にしたがって光学膜の透過率を評価した。結果を表3に示す。また、各光学膜の層構成については表1に示す通りである。
(3) Transmittance (evaluation 3)
Using a spectrophotometer UV-Vis (U-3310 manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.), the transmittance behavior of the optical film in the wavelength range of 350 nm to 550 nm was measured at an incident angle of 0 degrees, and the evaluation criteria shown below were used. Therefore, the transmittance of the optical film was evaluated. The results are shown in Table 3. The layer structure of each optical film is as shown in Table 1.

◎ :波長350nm〜550nmの範囲における最低透過率が98%以上である。
○ :波長350nm〜550nmの範囲における最低透過率が96%以上98%未満である。
△ :波長350nm〜550nmの範囲における最低透過率が94%以上96%未満である。
× :波長350nm〜550nmの範囲における最低透過率が94%未満である。
⊚: The minimum transmittance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is 98% or more.
◯: The minimum transmittance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is 96% or more and less than 98%.
Δ: The minimum transmittance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is 94% or more and less than 96%.
X: The minimum transmittance in the wavelength range of 350 nm to 550 nm is less than 94%.

(4)成膜性(評価4)
フッ化マグネシウム層の成膜後の外観を、目視およびレーザー顕微鏡VK−9510(株式会社キーエンス社製)にて観察し、以下の評価基準にしたがって、フッ化マグネシウム層の成膜性を評価した。結果を表3に示す。
(4) Film formation property (evaluation 4)
The appearance of the magnesium fluoride layer after film formation was visually observed and observed with a laser microscope VK-9510 (manufactured by KEYENCE CORPORATION), and the film forming property of the magnesium fluoride layer was evaluated according to the following evaluation criteria. The results are shown in Table 3.

○ :均一に成膜できている
△ :部分的に膜厚の差がある
× :塗工されていない部分がある。
◯: Uniform film formation is formed Δ: There is a partial difference in film thickness ×: There is a part that has not been coated.

Figure 0006961775
Figure 0006961775

Figure 0006961775
Figure 0006961775

表3に示す評価結果から明らかなように、実施例1〜44の光学膜では、緻密な膜で成膜性が良好であり、透明性と反射防止性能に優れた光学膜を得ることが出来た。 As is clear from the evaluation results shown in Table 3, the optical films of Examples 1 to 44 are dense films and have good film forming properties, and can obtain optical films having excellent transparency and antireflection performance. rice field.

本発明の光学膜は、透明性と反射防止性に優れており、ディスプレイ装置などの光学パネルや監視カメラなどの光学レンズに適用できる。 The optical film of the present invention is excellent in transparency and antireflection, and can be applied to an optical panel such as a display device and an optical lens such as a surveillance camera.

Claims (5)

フッ化マグネシウム層を含む光学膜を成膜するための溶液であって、ナノサイズのトリフルオロ酢酸マグネシウム微粒子と、3−メチル−2,4−ペンタンジオンと、溶媒と、を含むことを特徴とする A solution for forming an optical film containing a magnesium fluoride layer, and comprising a magnesium trifluoroacetate fine nano-sized, and 3-methyl-2,4-pentanedione, and a solvent soluble liquid. 前記トリフルオロ酢酸マグネシウム微粒子の平均粒子径が、5〜50nmの範囲である請求項1記載の溶液The solution according to claim 1, wherein the average particle size of the trifluoromagnesium acetate fine particles is in the range of 5 to 50 nm. 前記溶媒が、下記式で表されるハンセンパラメータ(δd,δp,δH)を有することを
特徴とする請求項1または2に記載の溶液
15.0[MPa1/2] ≦δd ≦16.5[MPa1/2] (I)
4.0[MPa1/2] ≦δp ≦ 8.0[MPa1/2] (II)
9.0[MPa1/2] ≦δH ≦14.0[MPa1/2] (III)
The solution according to claim 1 or 2 , wherein the solvent has a Hansen parameter (δd, δp, δH) represented by the following formula.
15.0 [MPa 1/2 ] ≤δ d ≤16.5 [MPa 1/2 ] (I)
4.0 [MPa 1/2 ] ≤ δ p ≤ 8.0 [MPa 1/2 ] (II)
9.0 [MPa 1/2 ] ≤ δ H ≤ 14.0 [MPa 1/2 ] (III)
前記溶媒が、2−エチル−1−ブタノール、ブチルカルビトール、または1−ブトキシ
−2−プロパノールである請求項1乃至3の何れか一項に記載の溶液
The solution according to any one of claims 1 to 3 , wherein the solvent is 2-ethyl-1-butanol, butyl carbitol, or 1-butoxy-2-propanol.
前記液に含まれる前記トリフルオロ酢酸マグネシウム微粒子の含有量a[%]と、3−メチル−2,4−ペンタンジオンの含有量b[%]の関係が、下記式で表される請求項1乃至4の何れか一項に記載の溶液
8.0≦a≦27.0 (IV)
2.0≦b≦6.0 (V)
a/b≧2 (VI)
Claims and content a [%] of the magnesium trifluoroacetate fine particles contained in the solvent liquid, the relationship of 3 content of methyl-2,4-pentanedione b [%] is represented by the following formula The solution according to any one of 1 to 4 .
8.0 ≤ a ≤ 27.0 (IV)
2.0 ≤ b ≤ 6.0 (V)
a / b ≧ 2 (VI)
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