JP6957331B2 - 基板作業装置 - Google Patents

Description

この発明は、基板作業装置に関し、特に、搬送ベルトを備える基板作業装置に関する。

従来、搬送ベルトを備える基板作業装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、回路基板に電子部品を実装する実装機（基板作業装置）が開示されている。この実装機には、回路基板を搬送するコンベアベルト（搬送ベルト）の張力を自動的に監視する張力監視装置が設けられている。初期伸びや経年劣化によりコンベアベルトが弛んだ場合、このコンベアベルトの弛みを調整するためである。この張力監視装置は、コンベアベルトの張力を測定する張力センサを備える。この特許文献１では、張力センサとして、たとえば、超音波を用いた非接触式のセンサや接触子を用いてコンベアベルトの振動数を測定するものが開示されている。これらの張力センサは、コンベアベルトを振動させてコンベアベルトの張力を測定すると考えられる。

特開２０１４−４１８６４号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載の張力センサのように、超音波や接触子を用いてコンベアベルトの張力を測定する場合、コンベアベルトを振動させなければ、コンベアベルトの張力を測定して張力の状態を判断することができないという問題点がある。また、超音波を用いた非接触式の張力センサや、接触子を用いてコンベアベルトの振動数を測定する張力センサが必要であり、張力センサの準備等のためにコストが掛かるという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、搬送ベルトを振動させなくても、搬送ベルトの張力の状態を測定して判断することが可能な基板作業装置を提供することである。

この発明の一の局面による基板作業装置は、部品が実装される基板に作業を行う基板作業装置であって、搬送対象物を搬送する搬送ベルトと、搬送ベルトの張力の状態を、搬送ベルトを上方または下方から押して押込方向に変形させてまたは搬送ベルトを上方へ引いて引張方向に変形させて測定するための張力状態測定部と、張力状態測定部により搬送ベルトを押込方向または引張方向に変形させたことに基づいて取得される測定値に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を判断する制御部と、部品を基板に実装するヘッドユニットと、を備え、ヘッドユニットは、複数のヘッドを含み、ヘッドは、張力状態測定部を兼ねる。

この発明の一の局面による基板作業装置では、上記のように、搬送ベルトの張力の状態を、搬送ベルトを上方または下方から押して押込方向に変形させてまたは搬送ベルトを上方へ引いて引張方向に変形させて測定するための張力状態測定部と、張力状態測定部により搬送ベルトを押込方向または引張方向に変形させたことに基づいて取得される測定値に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を判断する制御部と、を設ける。これにより、単に張力状態測定部により搬送ベルトを押込方向または引張方向に変形させるだけで、測定値を取得し、搬送ベルトの張力の状態を判断することができる。その結果、搬送ベルトを振動させなくても、搬送ベルトの張力の状態を測定して判断することができる。また、超音波を用いた非接触式の張力センサや、接触子を用いてコンベアベルトの振動数を測定する張力センサが不要であり、張力センサの準備等のためにコストが掛かることを防止することができる。また、判断された搬送ベルトの張力の状態に基づいて、搬送ベルトの張力を調整することができるので、搬送ベルトの張力の低下（搬送ベルトの弛み）に起因して、搬送ベルトが外れるなどの不具合が生じることを予防することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、制御部は、搬送ベルトが駆動されていない状態において、張力状態測定部により搬送ベルトを押込方向に変形させたことに基づいて取得される測定値としての電流値、または、張力状態測定部により搬送ベルトを引張方向に変形させたことに基づいて取得される測定値としての圧力値に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を判断するように構成されている。このように構成すれば、電流値または圧力値に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を容易に判断することができる。

この場合、好ましくは、張力状態測定部としてのヘッドは、駆動モータにより上下方向に移動されるように構成されており、制御部は、ヘッドを下降させることにより、ヘッドにより搬送ベルトを押込方向に変形させた際における、駆動モータの電流値に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を判断するように構成されている。このように構成すれば、既存のヘッドおよびこのヘッドを駆動する既存の駆動モータを兼用して、搬送ベルトの張力の状態を測定して判断することができるので、専用の張力センサを別途設ける必要がない。その結果、搬送ベルトの張力の状態を測定するための構成の増加およびこの構成の増加に伴う構成の複雑化を抑制しつつ、搬送ベルトの張力の状態を容易に測定して判断することができる。

上記圧力値に基づいて搬送ベルトの張力の状態を判断する構成において、好ましくは、張力状態測定部としてのヘッドは、駆動モータにより上下方向に移動されるように構成され、負圧供給部からの負圧により部品を吸着するように構成されており、制御部は、ヘッドにより搬送ベルトを吸着した状態でヘッドを上昇させることにより、ヘッドにより搬送ベルトを引張方向に変形させつつ、搬送ベルトの張力によりヘッドによる搬送ベルトの吸着が解除された際における、ヘッドの吸着用の圧力値の変化に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を判断するように構成されている。このように構成すれば、既存のヘッド、このヘッドを駆動する既存の駆動モータおよび既存の負圧供給部を兼用して、搬送ベルトの張力の状態を測定して判断することができるので、専用の張力センサを別途設ける必要がない。その結果、搬送ベルトの張力の状態を測定するための構成の増加およびこの構成の増加に伴う構成の複雑化を抑制しつつ、搬送ベルトの張力の状態を容易に測定して判断することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、搬送ベルトの張力を調整する張力調整部をさらに備え、制御部は、測定値に基づいて、張力調整部に搬送ベルトの張力を調整させる制御を行うように構成されている。このように構成すれば、張力調整部に搬送ベルトの張力を自動で調整させることができる。その結果、作業者が搬送ベルトの張力を調整するための器具を揃えて、搬送ベルトの張力を調整するという煩雑な手間を省くことができる。また、作業者が搬送ベルトの張力を調整する場合と異なり、搬送ベルトの張力の調整をする際、基板作業装置を停止させる必要がない。その結果、基板作業装置を停止可能なタイミング以外のタイミングにおいても、搬送ベルトの張力を調整することができる。これにより、搬送ベルトの調整タイミングの設定の自由度を向上させることができる。

この場合、好ましくは、制御部は、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整後、張力状態測定部に搬送ベルトの張力の状態を再び測定させる制御を行うように構成されている。このように構成すれば、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整後に、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができたか否かを確認することができる。その結果、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができなかったことを迅速に確認することができる。これにより、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができなかったことに対する次の動作（搬送ベルトの異常の通知など）を迅速に行うことができる。

上記張力調整部をさらに備える構成において、好ましくは、制御部は、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができなかったと判断され、かつ、搬送ベルトを駆動する駆動モータの積算回転数が規定値以上である場合、作業者に搬送ベルトの交換を通知する制御を行い、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができなかったと判断され、かつ、駆動モータの積算回転数が規定値未満である場合、作業者に搬送ベルトの異常を通知する制御を行うように構成されている。このように、制御部を、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができなかったと判断され、かつ、搬送ベルトを駆動する駆動モータの積算回転数が規定値以上である場合、作業者に搬送ベルトの交換を通知する制御を行うように構成すれば、搬送ベルトの継時的な劣化によりこれ以上搬送ベルトの張力を調整できない場合に、作業者に搬送ベルトの交換を通知することができる。これにより、作業者は、搬送ベルトを交換すべきタイミングにおいて、搬送ベルトを交換すべきことを知ることができる。また、制御部を、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができなかったと判断され、かつ、駆動モータの積算回転数が規定値未満である場合、作業者に搬送ベルトの異常を通知する制御を行うように構成すれば、搬送ベルトの継時的な劣化がそれ程進行していないにもかかわらず搬送ベルトの張力を調整できない場合に、作業者に搬送ベルトの異常を通知することができる。これにより、作業者は、異物の付着などの搬送ベルトの異常が疑われるタイミングにおいて、搬送ベルトの異常を確認すべきことを知ることができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、制御部は、基板の生産切替時、生産開始時、または、生産終了時に、張力状態測定部に搬送ベルトの張力の状態を測定させる制御を行うように構成されている。このように構成すれば、基板の生産途中に張力状態測定部に搬送ベルトの張力の状態を測定させる場合と異なり、基板の生産を中断することがない。その結果、搬送ベルトの張力の測定のために基板の生産に要する時間が増加することを効果的に抑制することができる。

上記一の局面による基板作業装置において、好ましくは、搬送ベルトは、歯付きベルトである。このように構成すれば、張力状態測定部により搬送ベルトを押込方向または引張方向に変形させた際、歯付きベルトの歯により、歯付きベルトとしての搬送ベルトが滑ることを抑制することができる。その結果、搬送ベルトが測定時に滑ることに起因して測定精度が低下することを抑制することができる。

本発明によれば、上記のように、搬送ベルトを振動させなくても、搬送ベルトの張力の状態を測定して判断することが可能な基板作業装置を提供することができる。

第１および第２実施形態の基板作業装置を示す模式的な平面図である。 第１および第２実施形態の基板作業装置の制御的な構成を示すブロック図である。 第１実施形態の基板作業装置のヘッドおよび搬送部を示す模式的な側面図である。 第１実施形態の基板作業装置による搬送ベルトの張力の状態の測定動作を説明するための図である。 第１実施形態の基板作業装置による搬送ベルトの張力の状態の測定動作の基準値および測定値を説明するための図である。 第１実施形態の基板作業装置による搬送ベルトの張力の状態の測定値に基づく判断を説明するための図である。 第１実施形態の基板作業装置の張力調整部を説明するための模式的な図である。 第１実施形態の基板作業装置による搬送ベルトの張力の調整動作を説明するための図である。 第１実施形態の基板作業装置による張力状態測定処理を説明するためのフローチャートである。 第２実施形態の基板作業装置による搬送ベルトの張力の状態の測定動作を説明するための図である。 第２実施形態の基板作業装置による搬送ベルトの張力の状態の測定動作の基準値および測定値を説明するための図である。 参考例の基板作業装置の張力状態測定部および搬送部を示す模式的な側面図である。 参考例の基板作業装置による搬送ベルトの張力の状態の測定動作を説明するための図である。 第１および第２実施形態の変形例の基板作業装置による歯付きベルトを示す模式的な側面図である。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

［第１実施形態］
図１〜図８を参照して、本発明の一実施形態による基板作業装置１００の構成について説明する。なお、以下の説明では、基板搬送方向に沿う方向をＸ方向とし、水平面内でＸ方向と直交する方向をＹ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に直交する上下方向をＺ方向とする。

（基板作業装置の構成）
基板作業装置１００は、図１〜図３に示すように、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの部品Ｅ（電子部品）を、プリント基板などの基板Ｐに実装する装置である。

基板作業装置１００は、基台１と、搬送部２と、ヘッドユニット３と、ヘッド水平移動機構部４と、部品撮像部５と、基板撮像部６と、制御部７（図２参照）とを備える。

基台１は、基板作業装置１００において各構成要素を配置する基礎となる台である。基台１上には、搬送部２、レール部４２および部品撮像部５が設けられている。また、基台１内には、制御部７が設けられている。また、基台１には、Ｙ方向の両側（Ｙ１方向側およびＹ２方向側）に、部品供給部１１がそれぞれ配置されている。

部品供給部１１は、基板Ｐに実装される部品Ｅを供給する装置である。部品供給部１１は、複数のテープフィーダ１２およびトレイフィーダ１３を含む。テープフィーダ１２は、複数の部品Ｅを保持した部品供給テープ（図示せず）が巻き回されたリール（図示せず）を保持している。また、テープフィーダ１２は、ヘッドユニット３による部品Ｅの取出しのための部品保持動作に応じて、保持されたリールを回転させて部品供給テープを送り出すことにより、部品Ｅを供給するように構成されている。トレイフィーダ１３は、複数の部品Ｅを保持したトレイ１３ａを複数保持している。トレイフィーダ１３は、トレイ１３ａを一対の搬送ベルト１３ｂにより基台１上に搬送して供給することにより、部品Ｅを供給するように構成されている。なお、トレイ１３ａは、特許請求の範囲の「搬送対象物」の一例である。

搬送部２は、実装前の基板Ｐを搬入し、基板搬送方向（Ｘ方向）に搬送し、実装後の基板Ｐを搬出するように構成されている。また、搬送部２は、搬入された基板Ｐを実装停止位置Ａまで搬送するとともに、実装停止位置Ａにおいて基板固定機構（図示せず）により固定するように構成されている。また、搬送部２は、一対の搬送ベルト２１を含み、一対の搬送ベルト２１により、搬送ベルト２１上の基板Ｐを基板搬送方向に搬送するように構成されている。なお、搬送部２は、基板Ｐだけでなく、複数の基板Ｐを保持したパレット（図示せず）を搬送してもよい。また、基板Ｐおよびパレットは、特許請求の範囲の「搬送対象物」の一例である。

図３に示すように、搬送ベルト２１は、樹脂製またはゴム製の輪状の平ベルトである。搬送ベルト２１は、複数（６つ）のプーリ２２に掛け回されている。プーリ２２は、駆動プーリ２３を含む。駆動プーリ２３は、搬送ベルト２１を駆動するためのプーリである。駆動プーリ２３は、駆動プーリ２３の回転軸部２４を介して、駆動プーリ２３を回転させるための駆動モータ２５に接続されている。

搬送ベルト２１の上側部分２１ａは、ベルト支持部材２６により下側（Ｚ２方向側）から支持されている。搬送ベルト２１の上側部分２１ａは、基板Ｐが上側（Ｚ１方向側）に載置される基板Ｐの載置部分である。ベルト支持部材２６により搬送ベルト２１を支持することにより、基板Ｐを安定して搬送可能である。ベルト支持部材２６は、板状形状に形成されている。ベルト支持部材２６は、搬送ベルト２１の上側部分２１ａのＸ方向の一端の近傍に対応する位置から、搬送ベルト２１の上側部分２１ａのＸ方向の他端の近傍に対応する位置まで形成されている。なお、図３では、Ｙ１方向側の搬送ベルト２１を示している。

図１および図２に示すように、ヘッドユニット３は、部品実装用のヘッドユニットである。ヘッドユニット３は、実装停止位置Ａにおいて固定された基板Ｐに部品Ｅを実装する。ヘッドユニット３は、複数（５つ）のヘッド（実装ヘッド）３１を含む。ヘッド３１の先端には、部品Ｅを保持（吸着）するためのノズル（吸着ノズル）３１ａが着脱可能に装着されている。ヘッド３１は、負圧供給部１００ａからの負圧により、ノズル３１ａに部品Ｅを保持（吸着）可能に構成されている。

また、ヘッドユニット３は、ヘッド３１を上下方向（Ｚ方向）に移動させるＺ軸モータ３２（図２参照）と、ヘッド３１をＺ方向に延びる回転軸線回りに回転させるＲ軸モータ３３（図２参照）とを含む。ヘッド３１は、Ｚ軸モータ３２により、部品Ｅを保持する際かまたは保持された部品Ｅを実装する際の下降位置と、保持された部品Ｅを基板Ｐに搬送する際の上昇位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている。また、ヘッド３１は、部品Ｅを保持した状態でＲ軸モータ３３により回転されることにより、保持している部品Ｅの向きを調整可能に構成されている。なお、Ｚ軸モータ３２は、特許請求の範囲の「駆動モータ」の一例である。

ヘッド水平移動機構部４は、ヘッドユニット３を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動させるように構成されている。ヘッド水平移動機構部４は、ヘッドユニット３を基板搬送方向（Ｘ方向）に移動可能に支持する支持部４１と、支持部４１をＹ方向に移動可能に支持するレール部４２とを含む。支持部４１は、基板搬送方向に延びるボールねじ軸４１ａと、ボールねじ軸４１ａを回転させるＸ軸モータ４１ｂとを有する。ヘッドユニット３には、支持部４１のボールねじ軸４１ａと係合するボールナット（図示せず）が設けられている。ヘッドユニット３は、Ｘ軸モータ４１ｂによりボールねじ軸４１ａが回転されることにより、ボールねじ軸４１ａと係合するボールナットとともに、支持部４１に沿って基板搬送方向に移動可能に構成されている。

レール部４２は、支持部４１のＸ方向の両端部をＹ方向に移動可能に支持する一対のガイドレール４２ａと、Ｙ方向に延びるボールねじ軸４２ｂと、ボールねじ軸４２ｂを回転させるＹ軸モータ４２ｃとを有する。支持部４１には、レール部４２のボールねじ軸４２ｂと係合するボールナット（図示せず）が設けられている。支持部４１は、Ｙ軸モータ４２ｃによりボールねじ軸４２ｂが回転されることにより、ボールねじ軸４２ｂと係合するボールナットとともに、レール部４２の一対のガイドレール４２ａに沿ってＹ方向に移動可能に構成されている。

ヘッド水平移動機構部４の支持部４１およびレール部４２により、ヘッドユニット３は、基台１上を水平方向に移動可能に構成されている。これにより、ヘッドユニット３のヘッド３１は、部品供給部１１の上方に移動して、部品供給部１１から供給される部品Ｅを保持（吸着）可能である。また、ヘッドユニット３のヘッド３１は、実装停止位置Ａにおいて固定された基板Ｐの上方に移動して、保持（吸着）された部品Ｅを基板Ｐに実装可能である。

部品撮像部５は、部品認識用のカメラである。部品撮像部５は、ヘッドユニット３のヘッド３１による部品Ｅの基板Ｐへの搬送中に、ヘッド３１のノズル３１ａに保持（吸着）された部品Ｅを撮像する。部品撮像部５は、基台１の上面上に固定されており、部品Ｅの下側（Ｚ２方向側）から、ヘッド３１のノズル３１ａに保持（吸着）された部品Ｅを撮像する。部品撮像部５による部品Ｅの撮像画像に基づいて、制御部７は、部品Ｅの保持状態（回転姿勢およびヘッド３１に対する保持位置）を取得（認識）する。

基板撮像部６は、基板認識用のカメラである。基板撮像部６は、ヘッドユニット３のヘッド３１による基板Ｐへの部品Ｅの実装開始前に、実装停止位置Ａにおいて固定された基板Ｐにおいて、基板Ｐの上面に付された位置認識マーク（フィデューシャルマーク）Ｆを撮像する。位置認識マークＦは、基板Ｐの位置を認識するためのマークである。基板撮像部６による位置認識マークＦの撮像画像に基づいて、制御部７は、実装停止位置Ａにおいて固定された基板Ｐの正確な位置および姿勢を取得（認識）する。

制御部７は、基板作業装置１００の動作を制御する制御回路である。制御部７は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、および、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）を含む。制御部７は、搬送部２、部品供給部１１、Ｘ軸モータ４１ｂおよびＹ軸モータ４２ｃなどを生産プログラムに従って制御することにより、ヘッドユニット３により基板Ｐに部品Ｅを実装させる制御を行うように構成されている。

（搬送ベルトの張力の状態の測定）
ここで、第１実施形態では、図３および図４に示すように、制御部７は、張力状態測定部８としてのヘッド３１により搬送ベルト２１を上方（Ｚ１方向側）から押して押込方向（Ｚ２方向）に変形させたことに基づいて取得される測定値に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断するように構成されている。制御部７は、基板Ｐの生産切替時、生産開始時、または、生産終了時に、張力状態測定部８としてのヘッド３１に搬送ベルト２１の張力の状態を測定させる制御を行うように構成されている。また、制御部７は、搬送ベルト２１上に基板Ｐが残存しておらず、かつ、搬送ベルト２１が駆動されていない（停止された）状態において、張力状態測定部８としてのヘッド３１に搬送ベルト２１の張力の状態を測定させる制御を行うように構成されている。

第１実施形態では、ヘッド３１は、搬送ベルト２１の張力の状態を、搬送ベルト２１を上方（Ｚ１方向側）から押して押込方向（Ｚ２方向）に変形させて測定するための張力状態測定部８として構成されている。張力状態測定部８としてのヘッド３１は、部品吸着用のノズル３１ａに代えて、張力状態測定用の測定具８ａが先端に装着されている。測定具８ａは、搬送ベルト２１を押込可能なように、少なくとも搬送ベルト２１と接触する先端部が棒状（柱状）に形成され、搬送ベルト２１を極力傷付けないように、先端が曲面等に形成されている。測定具８ａは、搬送ベルト２１の張力状態の測定に用いられない場合には、複数種類のノズル３１ａと共に、基板作業装置１００のノズルチェンジャ１ａ（図１参照）に配置されている。制御部７は、搬送ベルト２１の張力の状態の測定前に、ヘッド３１の先端に装着される装着具をノズル３１ａから測定具８ａに付け替える制御を行うように構成されている。

搬送ベルト２１の張力状態測定では、制御部７は、まず、測定具８ａが装着されたヘッド３１を測定位置に移動させる制御を行う。測定位置は、搬送ベルト２１の上方位置である。そして、制御部７は、ヘッド３１を搬送ベルト２１に向かって下降させる制御を行う。具体的には、制御部７は、予め決められた一定の押込量Ｄだけ搬送ベルト２１の上側部分２１ａを押込方向（Ｚ２方向）に変形させるように、ヘッド３１を搬送ベルト２１に向かって下降させる制御を行う。ヘッド３１が搬送ベルト２１に向かって下降されると、ヘッド３１に装着された測定具８ａが、搬送ベルト２１の上側部分２１ａに接触する。そして、測定具８ａと接触した搬送ベルト２１の上側部分２１ａは、測定具８ａにより押込方向に一定の押込量Ｄだけ変形される。なお、ヘッド３１が搬送ベルト２１の上側部分２１ａを押込方向に変形させることが可能なように、ベルト支持部材２６には、測定用切り欠き部２６ａが設けられている。測定用切り欠き部２６ａは、実装停止位置Ａよりも外側（上流側または下流側）の位置に形成されている。これにより、ベルト支持部材２６に測定用切り欠き部２６ａを設ける場合にも、実装停止位置Ａにおいては、ベルト支持部材２６により基板Ｐを安定して支持可能である。

そして、図５に示すように、制御部７は、測定具８ａが装着されたヘッド３１により搬送ベルト２１を押込方向（Ｚ２方向）に変形させた際における、ヘッド３１を駆動するＺ軸モータ３２の電流値Ｉａを測定値として取得する。そして、制御部７は、測定値としてのＺ軸モータ３２の電流値Ｉａに基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断する。

具体的には、制御部７は、測定値としての電流値Ｉａと、基準値としての電流値Ｉｒとを比較することにより、搬送ベルト２１の張力の状態を判断する。基準値としての電流値Ｉｒは、基準状態（張力の状態が正常な状態）の搬送ベルト２１について予め測定されたＺ軸モータ３２の電流値Ｉａである。搬送ベルト２１の張力が基準状態の搬送ベルト２１の張力よりも低下している場合、測定値としての電流値Ｉａは、基準値としての電流値Ｉｒよりも小さくなる。また、搬送ベルト２１の張力が基準状態の搬送ベルト２１の張力よりも増加している場合、測定値としての電流値Ｉａは、基準値としての電流値Ｉｒよりも大きくなる。なお、図５および図６では、測定値としての電流値Ｉａが基準値としての電流値Ｉｒよりも小さい場合を示している。

図６に示すように、制御部７は、測定値としての電流値Ｉａが基準値としての電流値Ｉｒに対して設定された所定のしきい値範囲内である場合、搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態であると判断する。また、制御部７は、測定値としての電流値Ｉａが所定のしきい値範囲外である場合、搬送ベルト２１の張力の状態が異常な状態であると判断する。測定値としての電流値Ｉａが所定のしきい値範囲外である場合とは、測定値としての電流値Ｉａが所定のしきい値範囲の上限値を上回る場合、および、測定値としての電流値Ｉａが所定のしきい値範囲の下限値を下回る場合を含む。

（搬送ベルトの張力の調整）
また、本実施形態では、図３および図７に示すように、搬送ベルト２１の張力を調整する張力調整部９が設けられている。張力調整部９は、輪状の搬送ベルト２１の輪の外側に配置されている。張力調整部９は、搬送ベルト２１の下側部分２１ｂよりも下側（Ｚ２方向側）に配置されている。これにより、張力調整部９を搬送ベルト２１の輪の内側に配置する場合や、搬送ベルト２１の上側部分２１ａよりも上側に配置する場合に比べて、張力調整部９を配置するスペースを容易に確保可能である。

張力調整部９は、張力調整用のプーリ９１を含む。プーリ９１は、搬送ベルト２１が掛け回されたプーリ２２のうちの一部（１つ）である。プーリ９１は、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。プーリ９１は、上下方向に移動して搬送ベルト２１との接触状態を変化させることにより、搬送ベルト２１の張力を調整可能に構成されている。具体的には、プーリ９１は、上方向（Ｚ１方向）に移動することにより、搬送ベルト２１を下方（Ｚ２方向側）から押して押込方向（Ｚ１方向）に変形させて、搬送ベルト２１の張力を増加させる。また、プーリ９１は、下方向（Ｚ２方向）に移動することにより、搬送ベルト２１の押込方向への変形を弛めて、搬送ベルト２１の張力を低下させる。

また、張力調整部９は、プーリ９１を上下方向に移動させるプーリ駆動機構９２を含む。プーリ駆動機構９２は、偏心カムとしての押し当て部材９２ａと、押し当て部材９２ａを回転させる駆動モータ９２ｂと、押し当て部材９２ａと駆動モータ９２ｂとを接続する回転軸部９２ｃとを有する。押し当て部材９２ａは、プーリ９１に押し当てられる部材である。押し当て部材９２ａは、プーリ９１に押し当てられる場合、プーリ９１の軸部（プーリシャフト）９１ａに接触する。軸部９１ａは、搬送ベルト２１に接触するプーリ９１の外輪９１ｂを回転可能に支持する軸部である。押し当て部材９２ａをプーリ９１の軸部９１ａに押し当てることにより、押し当て部材９２ａをプーリ９１の外輪９１ｂに押し当てる場合と異なり、押し当て部材９２ａによりプーリ９１の外輪９１ｂの回転が阻害されることを抑制可能である。

図８に示すように、プーリ駆動機構９２は、回転軸部９２ｃを介して駆動モータ９２ｂにより押し当て部材９２ａを回転させることにより、プーリ９１を上下方向に移動させる。具体的には、プーリ駆動機構９２は、押し当て部材９２ａを所定の方向（図８では、時計回り方向）に回転させることにより、プーリ９１を上方向に移動させる。また、プーリ駆動機構９２は、押し当て部材９２ａを所定の方向とは反対方向に回転させることにより、押し当て部材９２ａによるプーリ９１の軸部９１ａへの力を弛めて、プーリ９１を下方向に移動させる。

制御部７は、測定値としての電流値Ｉａに基づいて、張力調整部９に搬送ベルト２１の張力を調整させる制御を行うように構成されている。具体的には、制御部７は、測定値としての電流値Ｉａに基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態が異常な状態であると判断された場合、張力調整部９に搬送ベルト２１の張力を調整させる制御を行うように構成されている。この場合、制御部７は、搬送ベルト２１の張力が基準状態の搬送ベルト２１の張力に近付くように、張力調整部９に搬送ベルト２１の張力を調整させる制御を行うように構成されている。

たとえば、制御部７は、搬送ベルト２１の張力の状態が異常な状態であると判断され、かつ、測定値としての電流値Ｉａが所定のしきい値範囲の下限値を下回る場合、搬送ベルト２１の張力が増加するように、張力調整部９に搬送ベルト２１の張力を調整させる制御を行う。これにより、搬送ベルト２１の張力が基準状態の搬送ベルト２１の張力よりも過度に低下している場合、制御部７からの駆動信号に基づいて駆動モータ９２ｂにより押し当て部材９２ａを図８の矢印に示した方向に回動させ、 搬送ベルト２１の張力を増加させて、搬送ベルト２１の張力を基準状態の搬送ベルト２１の張力に近付けることが可能である。

また、たとえば、制御部７は、搬送ベルト２１の張力の状態が異常な状態であると判断され、かつ、測定値としての電流値Ｉａが所定のしきい値範囲の上限値を上回る場合、搬送ベルト２１の張力が低下するように、張力調整部９に搬送ベルト２１の張力を調整させる制御を行う。これにより、搬送ベルト２１の張力が基準状態の搬送ベルト２１の張力よりも過度に増加している場合、制御部７からの駆動信号に基づいて駆動モータ９２ｂにより押し当て部材９２ａを図８の矢印に示した方向とは反対方向に回動させ、搬送ベルト２１の張力を低下させて、搬送ベルト２１の張力を基準状態の搬送ベルト２１の張力に近付けることが可能である。

なお、測定値としての電流値Ｉａに基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態であると判断された場合には、張力調整部９に搬送ベルト２１の張力を調整させる制御は行われない。

また、第１実施形態では、制御部７は、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整後、連続して、張力状態測定部８としてのヘッド３１に搬送ベルト２１の張力の状態を再び測定させる制御を行うように構成されている。再測定における測定動作は、上記した初回の測定動作と同様であるので、詳細な説明は省略する。再測定では、制御部７は、測定動作における、Ｚ軸モータ３２の電流値Ｉａを再測定の測定値として取得する。

制御部７は、再測定の測定値としての電流値Ｉａが所定のしきい値範囲外である場合、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断するように構成されている。つまり、制御部７は、初回の測定、および、再測定のいずれにおいても、搬送ベルト２１の張力の状態が異常な状態であると判断された場合、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断するように構成されている。

また、本実施形態では、制御部７は、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断された場合、作業者に搬送ベルト２１に関する警告情報を通知する制御を行うように構成されている。具体的には、制御部７は、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断された場合、搬送ベルト２１を駆動する駆動モータ２５の積算回転数に応じて、作業者に異なる種類の警告情報を通知する制御を行うように構成されている。なお、駆動モータ２５の積算回転数は、たとえば、搬送ベルト２１の使用開始時点から測定時点までの間の駆動モータ２５の積算回転数である。

制御部７は、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断され、かつ、駆動モータ２５の積算回転数が予め決められた規定値以上である場合、作業者に搬送ベルト２１の交換を促す警告情報を通知する制御を行うように構成されている。また、制御部７は、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断され、かつ、駆動モータ２５の積算回転数が予め決められた規定値未満である場合、作業者に搬送ベルト２１の異常を知らせる警告情報を通知する制御を行うように構成されている。この場合、作業者に張力調整部９の異常を知らせる警告情報を通知する制御が行われてもよい。警告情報は、たとえば、基板作業装置１００のモニタなどの表示部に表示されることにより、作業者に通知される。

（張力状態測定処理）
次に、図９を参照して、第１実施形態の基板作業装置１００による張力状態測定、張力状態の判定、及び作業者への通知の処理（以下、単に「張力状態測定処理」という）をフローチャートに基づいて説明する。フローチャートの各処理は、制御部７により行われる。

図９に示すように、まず、ステップＳ１において、タイミングが測定タイミングであるか否かが判断される。ステップＳ１では、タイミングが、測定タイミングとしての生産切替時、生産開始時または生産終了時であるか否かが判断される。タイミングが測定タイミングではないと判断された場合、張力状態測定処理が終了される。

また、ステップＳ１において、タイミングが測定タイミングであると判断された場合、ステップＳ２に進む。

そして、ステップＳ２において、搬送ベルト２１上に基板Ｐが残存しているか否かが判断される。搬送ベルト２１上に基板Ｐが残存していると判断された場合、ステップＳ３に進む。そして、ステップＳ３において、基板Ｐを下流側に搬送して搬送ベルト２１上から除去する処理が行われる。そして、ステップＳ４に進む。

また、ステップＳ２において、搬送ベルト２１上に基板Ｐが残存していないと判断された場合、ステップＳ３の処理を行うことなく、ステップＳ４に進む。なお、搬送ベルト２１上に基板Ｐが残存していると判断された場合、基板Ｐを除去する処理を行うことなく、張力状態測定処理を終了させて、測定をスキップしてもよい。

そして、ステップＳ４において、測定具８ａが装着されたヘッド３１が測定位置（搬送ベルト２１の上方位置）に移動される。

そして、ステップＳ５において、測定具８ａが装着されたヘッド３１により搬送ベルト２１の張力の状態が測定される。

そして、ステップＳ６において、測定値としての電流値Ｉａと、基準値としての電流値Ｉｒとが比較される。

そして、ステップＳ７において、ステップＳ６の比較結果に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態であるか否かが判断される。搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態であると判断された場合、搬送ベルト２１の張力を調整する必要がないため、張力状態測定処理が終了される。

また、ステップＳ７において、搬送ベルト２１の張力の状態が異常な状態であると判断された場合、ステップＳ８に進む。

そして、ステップＳ８において、張力調整部９により搬送ベルト２１の張力が調整される。

そして、ステップＳ９において、測定具８ａが装着されたヘッド３１により搬送ベルト２１の張力の状態が再び測定される。

そして、ステップＳ１０において、再測定における測定値としての電流値Ｉａと、基準値としての電流値Ｉｒとが比較される。

そして、ステップＳ１１において、ステップＳ１０の比較結果に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態であるか否かが判断される。搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態であると判断された場合、搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態に調整されたため、張力状態測定処理が終了される。

また、ステップＳ１１において、搬送ベルト２１の張力の状態が異常な状態であると判断された場合、ステップＳ１２に進む。

そして、ステップＳ１２において、搬送ベルト２１を駆動する駆動モータ２５の積算回転数が規定値以上であるか否かが判断される。駆動モータ２５の積算回転数が規定値未満であると判断された場合、ステップＳ１３に進む。

そして、ステップＳ１３において、搬送ベルト２１の異常を知らせる警告情報が作業者に通知される。その後、張力状態測定処理が終了される。

また、ステップＳ１２において、駆動モータ２５の積算回転数が規定値以上であると判断された場合、ステップＳ１４に進む。

そして、ステップＳ１４において、搬送ベルト２１の交換を促す警告情報が作業者に通知される。その後、張力状態測定処理が終了される。なお、ステップＳ１４において、搬送ベルト２１の交換を促す警告情報が作業者に通知された後、この警告情報による警告状態が解除されるまでは、測定タイミングであっても、次の搬送ベルト２１の張力の状態の測定が行われないようにしてもよい。

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第１実施形態では、上記のように、搬送ベルト２１の張力の状態を、搬送ベルト２１を上方から押して押込方向に変形させて測定するための張力状態測定部８と、張力状態測定部８により搬送ベルト２１を押込方向に変形させたことに基づいて取得される測定値に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断する制御部７と、を設ける。これにより、単に張力状態測定部８により搬送ベルト２１を押込方向に変形させるだけで、測定値を取得し、搬送ベルト２１の張力の状態を判断することができる。その結果、搬送ベルト２１を振動させなくても、搬送ベルト２１の張力の状態を測定して判断することができる。また、判断された搬送ベルト２１の張力の状態に基づいて、搬送ベルト２１の張力を調整することができるので、搬送ベルト２１の張力の低下（搬送ベルト２１の弛み）に起因して、搬送ベルト２１が外れるなどの不具合が生じることを予防することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、制御部７を、搬送ベルト２１が駆動されていない状態において、張力状態測定部８により搬送ベルト２１を押込方向に変形させたことに基づいて取得される測定値としての電流値Ｉａに基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断するように構成する。これにより、電流値Ｉａに基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を容易に判断することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、張力状態測定部８を、Ｚ軸モータ３２により上下方向に移動されるように構成され、部品Ｅを実装するヘッド３１を含むように構成する。また、制御部７を、ヘッド３１を下降させることにより、ヘッド３１により搬送ベルト２１を押込方向に変形させた際における、Ｚ軸モータ３２の電流値Ｉａに基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断するように構成する。これにより、既存のヘッド３１およびこのヘッド３１を駆動する既存のＺ軸モータ３２を兼用して、搬送ベルト２１の張力の状態を測定して判断することができるので、専用の張力センサを別途設ける必要がない。その結果、搬送ベルト２１の張力の状態を測定するための構成の増加およびこの構成の増加に伴う構成の複雑化を抑制しつつ、搬送ベルト２１の張力の状態を容易に測定して判断することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、基板作業装置１００を、搬送ベルト２１の張力を調整する張力調整部９を備えるように構成する。また、制御部７を、測定値に基づいて、張力調整部９に搬送ベルト２１の張力を調整させる制御を行うように構成する。これにより、張力調整部９に搬送ベルト２１の張力を自動で調整させることができる。その結果、作業者が搬送ベルト２１の張力を調整するための器具を揃えて、搬送ベルト２１の張力を調整するという煩雑な手間を省くことができる。また、作業者が搬送ベルト２１の張力を調整する場合と異なり、搬送ベルト２１の張力の調整をする際、基板作業装置１００を停止させる必要がない。その結果、基板作業装置１００を停止可能なタイミング以外のタイミングにおいても、搬送ベルト２１の張力を調整することができる。これにより、搬送ベルト２１の調整タイミングの設定の自由度を向上させることができる。

また、第１実施形態では、上記のように、制御部７を、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整後、張力状態測定部８に搬送ベルト２１の張力の状態を再び測定させる制御を行うように構成する。これにより、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整後に、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができたか否かを確認することができる。その結果、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったことを迅速に確認することができる。これにより、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったことに対する次の動作（搬送ベルト２１の異常の通知など）を迅速に行うことができる。

また、第１実施形態では、上記のように、制御部７を、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断され、かつ、搬送ベルト２１を駆動する駆動モータ２５の積算回転数が規定値以上である場合、作業者に搬送ベルト２１の交換を通知する制御を行い、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断され、かつ、駆動モータ２５の積算回転数が規定値未満である場合、作業者に搬送ベルト２１の異常を通知する制御を行うように構成する。このように、制御部７を、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断され、かつ、搬送ベルト２１を駆動する駆動モータ２５の積算回転数が規定値以上である場合、作業者に搬送ベルト２１の交換を通知する制御を行うように構成することにより、搬送ベルト２１の継時的な劣化によりこれ以上搬送ベルト２１の張力を調整できない場合に、作業者に搬送ベルト２１の交換を通知することができる。これにより、作業者は、搬送ベルト２１を交換すべきタイミングにおいて、搬送ベルト２１を交換すべきことを知ることができる。また、制御部７を、張力調整部９による搬送ベルト２１の張力の調整ができなかったと判断され、かつ、駆動モータ２５の積算回転数が規定値未満である場合、作業者に搬送ベルト２１の異常を通知する制御を行うように構成することにより、搬送ベルト２１の継時的な劣化がそれ程進行していないにもかかわらず搬送ベルト２１の張力を調整できない場合に、作業者に搬送ベルト２１の異常を通知することができる。これにより、作業者は、異物の付着などの搬送ベルト２１の異常が疑われるタイミングにおいて、搬送ベルト２１の異常を確認すべきことを知ることができる。

また、第１実施形態では、上記のように、制御部７を、基板Ｐの生産切替時、生産開始時、または、生産終了時に、張力状態測定部８に搬送ベルト２１の張力の状態を測定させる制御を行うように構成する。これにより、基板Ｐの生産途中に張力状態測定部８に搬送ベルト２１の張力の状態を測定させる場合と異なり、基板Ｐの生産を中断することがない。その結果、搬送ベルト２１の張力の測定のために基板Ｐの生産に要する時間が増加することを効果的に抑制することができる。

［第２実施形態］
次に、図１、図２、図１０および図１１を参照して、第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、ヘッドにより搬送ベルトを押込方向に変形させて搬送ベルトの張力の状態を測定した上記第１実施形態と異なり、ヘッドにより搬送ベルトを引張方向に変形させて搬送ベルトの張力の状態を測定する例について説明する。なお、上記第１実施形態と同一の構成については、図中において同じ符号を付して図示し、その説明を省略する。

（基板作業装置の構成）
第２実施形態による基板作業装置２００は、図１および図２に示すように、制御部１０７を備える点で、上記第１実施形態の基板作業装置１００と相違する。

第２実施形態では、図１０に示すように、制御部１０７は、張力状態測定部１０８としてのヘッド３１により搬送ベルト２１を上方（Ｚ１方向側）へ引いて引張方向（Ｚ１方向）に変形させたことに基づいて取得される測定値に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断するように構成されている。

第２実施形態では、ヘッド３１は、搬送ベルト２１の張力の状態を、搬送ベルト２１を上方（Ｚ１方向側）へ引いて引張方向（Ｚ１方向）に変形させて測定するための張力状態測定部１０８として構成されている。張力状態測定部１０８としてのヘッド３１は、部品吸着用のノズル３１ａが先端に装着されている。

搬送ベルト２１の張力状態測定では、制御部１０７は、まず、ノズル３１ａが装着されたヘッド３１を測定位置に移動させる制御を行う。測定位置は、搬送ベルト２１の上方位置である。そして、制御部１０７は、ヘッド３１を搬送ベルト２１に向かって下降させる制御を行う。具体的には、制御部１０７は、ヘッド３１のノズル３１ａが搬送ベルト２１の上側部分２１ａの上面に接触するまで、ヘッド３１を搬送ベルト２１に向かって下降させる制御を行う。そして、制御部１０７は、負圧供給部１００ａからの負圧により、ヘッド３１のノズル３１ａに搬送ベルト２１の上側部分２１ａを吸着させる制御を行う。

そして、制御部１０７は、ヘッド３１のノズル３１ａにより搬送ベルト２１の上側部分２１ａを吸着した状態で、ヘッド３１を上昇させる制御を行う。これにより、制御部１０７は、ヘッド３１により搬送ベルト２１の上側部分２１ａを引張方向（Ｚ１方向）に変形させる制御を行う。また、制御部１０７は、ヘッド３１により搬送ベルト２１の上側部分２１ａを引張方向（Ｚ１方向）に変形させつつ、少なくとも搬送ベルト２１の張力によりヘッド３１のノズル３１ａによる搬送ベルト２１の吸着が解除されるまで、ヘッド３１を上昇させる制御を行う。つまり、制御部１０７は、少なくともヘッド３１のノズル３１ａに吸着された搬送ベルト２１がヘッド３１のノズル３１ａから離れるまで、ヘッド３１を上昇させる制御を行う。

そして、図１１に示すように、制御部１０７は、ノズル３１ａが装着されたヘッド３１により搬送ベルト２１を引張方向（Ｚ１方向）に変形させつつ、搬送ベルト２１の張力によりヘッド３１のノズル３１ａによる搬送ベルト２１の吸着が解除された際における、ヘッド３１の吸着用の圧力値の変化に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断する。

具体的には、制御部１０７は、ヘッド３１の吸着用の圧力値の変化に基づいて、圧力値が変化した時のヘッド３１の高さ位置Ｈａを測定値として取得する。そして、制御部１０７は、測定値としての高さ位置Ｈａと、基準値としての高さ位置Ｈｒとを比較することにより、搬送ベルト２１の張力の状態を判断する。基準値としての高さ位置Ｈｒは、基準状態（張力の状態が正常な状態）の搬送ベルト２１について予め測定されたヘッド３１の高さ位置Ｈａである。搬送ベルト２１の張力が基準状態の搬送ベルト２１の張力よりも低下している場合、測定値としての高さ位置Ｈａは、基準値としての高さ位置Ｈｒよりも高くなる。また、搬送ベルト２１の張力が基準状態の搬送ベルト２１の張力よりも増加している場合、測定値としての高さ位置Ｈａは、基準値としての高さ位置Ｈｒよりも低くなる。なお、図１１では、測定値としての高さ位置Ｈａが基準値としての高さ位置Ｈｒよりも高い場合を示している。そして、制御部１０７は、測定値としての高さ位置Ｈａに基づいて、上記第１実施形態と同様に、搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態であるか否かを判断する。

なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第２実施形態では、上記のように、制御部１０７を、搬送ベルト２１が駆動されていない状態において、張力状態測定部１０８により搬送ベルト２１を引張方向に変形させたことに基づいて取得される測定値としての圧力値に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断するように構成する。これにより、圧力値に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を容易に判断することができる。

また、第２実施形態では、上記のように、張力状態測定部１０８を、Ｚ軸モータ３２により上下方向に移動されるように構成され、負圧供給部１００ａからの負圧により部品を吸着するヘッド３１を含むように構成する。また、制御部１０７を、ヘッド３１により搬送ベルト２１を吸着した状態でヘッド３１を上昇させることにより、ヘッド３１により搬送ベルト２１を引張方向に変形させつつ、搬送ベルト２１の張力によりヘッド３１による搬送ベルト２１の吸着が解除された際における、ヘッド３１の吸着用の圧力値の変化に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断するように構成する。これにより、既存のヘッド３１、このヘッド３１を駆動する既存のＺ軸モータ３２および既存の負圧供給部１００ａを兼用して、搬送ベルト２１の張力の状態を測定して判断することができるので、専用の張力センサを別途設ける必要がない。その結果、搬送ベルト２１の張力の状態を測定するための構成の増加およびこの構成の増加に伴う構成の複雑化を抑制しつつ、搬送ベルト２１の張力の状態を容易に測定して判断することができる。

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

［参考例］
次に、図１２および図１３を参照して、参考例について説明する。この参考例では、基板作業装置がヘッドを備える装置であった上記第１および第２実施形態と異なり、基板作業装置がヘッドを備えない装置である例について説明する。

（基板作業装置の構成）
参考例による基板作業装置３００は、図１２に示すように、基板を検査する装置であって、水平方向および上下方向に移動するヘッドを備えない検査装置である。基板作業装置３００は、検査部２０１と、搬送部２０２と、制御部２０３とを備える。検査部２０１は、基板を撮像する撮像部２０１ａと、撮像部２０１ａによる撮像の際の照明光を照射する複数の照明部２０１ｂとを含む。搬送部２０２は、上記第１実施形態の搬送部２と実質的に同様の構成である。このため、図中において各構成には同じ符号を付し、その説明を省略する。制御部２０３は、撮像部２０１ａによる基板の撮像結果に基づいて、基板を検査する。たとえば、制御部２０３は、撮像部２０１ａによる基板の撮像結果に基づいて、基板上の部品や接合材（はんだなど）の状態を検査する。

参考例では、基板作業装置３００は、搬送ベルト２１の張力の状態の測定の専用の張力状態測定部２０４を備える。張力状態測定部２０４は、測定位置（搬送ベルト２１の上方位置、測定用切り欠き部２６ａの上方位置）に固定的に配置されている。張力状態測定部２０４は、搬送ベルト２１を上方（Ｚ１方向側）から押して押込方向（Ｚ２方向）に変形させるための押込部２０４ａと、押込部２０４ａを上下方向（Ｚ方向）に移動させる駆動モータ２０４ｂとを含む。押込部２０４ａは、搬送ベルト２１を押込可能なように、少なくとも搬送ベルト２１と接触する先端部が棒状（柱状）に形成されている。

搬送ベルト２１の張力状態測定は、上記第１実施形態と略同様である。つまり、図１３に示すように、制御部２０３は、押込部２０４ａを搬送ベルト２１に向かって下降させる制御を行う。具体的には、制御部２０３は、予め決められた一定の押込量Ｄだけ搬送ベルト２１の上側部分２１ａを押込方向（Ｚ２方向）に変形させるように、押込部２０４ａを搬送ベルト２１に向かって下降させる制御を行う。押込部２０４ａが搬送ベルト２１に向かって下降されると、押込部２０４ａの先端が、搬送ベルト２１の上側部分２１ａに接触する。そして、押込部２０４ａの先端と接触した搬送ベルト２１の上側部分２１ａは、押込部２０４ａの先端により押込方向に一定の押込量Ｄだけ変形される。

そして、制御部２０３は、押込部２０４ａにより搬送ベルト２１を押込方向（Ｚ２方向）に変形させた際における、押込部２０４ａを駆動する駆動モータ２０４ｂの電流値を測定値として取得する。そして、制御部２０３は、測定値としての駆動モータ２０４ｂの電流値に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態が正常な状態であるか否かを判断する。

なお、参考例のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

（参考例の効果）
参考例では、以下のような効果を得ることができる。

参考例では、上記のように、張力状態測定部２０４を、搬送ベルト２１の張力の状態の測定の専用の押込部２０４ａを含むように構成する。また、制御部２０３を、押込部２０４ａを下降させることにより、押込部２０４ａにより搬送ベルト２１を押込方向に変形させた際における、押込部２０４ａを上下方向に駆動する駆動モータ２０４ｂの電流値に基づいて、搬送ベルト２１の張力の状態を判断するように構成する。これにより、基板作業装置３００がヘッドを備えていない場合にも、専用の押込部２０４ａにより、搬送ベルト２１の張力の状態を容易に測定して判断することができる。

なお、参考例のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更（変形例）が含まれる。

また、上記第１および第２実施形態では、基板またはパレットを搬送する搬送ベルトの張力の状態が測定され、張力が調整される例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、トレイ１３ａを搬送する搬送ベルト１３ｂ（図１参照）の張力の状態が測定され、張力が調整されてもよい。

また、上記第１実施形態では、制御部が、ヘッド（押込部）により搬送ベルトを押込方向に変形させた際における、Ｚ軸モータ（駆動モータ）の電流値に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を判断する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ヘッド（押込部）の先端に圧電素子を設けた構成において、制御部が、ヘッド（押込部）により搬送ベルトを押込方向に変形させた際における、圧電素子の電流値に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を判断してもよい。この場合、制御部が、圧電素子の電圧値に基づいて、搬送ベルトの張力の状態を判断してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、基板作業装置が、張力調整部を備える例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板作業装置が、張力調整部を必ずしも備えている必要はない。張力調整部を備えていない場合には、搬送ベルトの張力の状態が異常な状態であると判断された場合、搬送ベルトの張力の調整を行うことなく、作業者に搬送ベルトに関する警告情報を通知してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整後、張力状態測定部により搬送ベルトの張力の状態が再測定される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整後、張力状態測定部により搬送ベルトの張力の状態が再測定されなくてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、張力調整部が、張力調整用のプーリと、偏心カムとしての押し当て部材を有するプーリ移動機構とを含む例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、張力調整部は、搬送ベルトの張力を調整可能であれば、どのような構成であってもよい。たとえば、張力調整部が、押し当て部材を介して張力調整用のプーリを駆動する構成ではなく、張力調整用のプーリ自体を直接的に駆動モータで駆動する構成であってもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、生産切替時、生産開始時、または、生産終了時に、張力状態測定部により搬送ベルトの張力の状態が測定される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、生産切替時、生産開始時、または、生産終了時以外のタイミングに、張力状態測定部により搬送ベルトの張力の状態が測定されてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、搬送ベルトが、平ベルトにより構成される例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１４に示す変形例の搬送ベルト１２１のように、搬送ベルトが、歯付きベルトにより構成されていてもよい。これにより、張力状態測定部により搬送ベルトを押込方向または引張方向に変形させた際、歯付きベルトの歯により、歯付きベルトとしての搬送ベルト１２１が滑ることを抑制することができる。その結果、搬送ベルト１２１が測定時に滑ることに起因して測定精度が低下することを抑制することができる。

また、上記第１および第２実施形態では、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができなかったと判断された場合、搬送ベルトを駆動する駆動モータの積算回転数に応じて、作業者に異なる種類の警告情報が通知される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、張力調整部による搬送ベルトの張力の調整ができなかったと判断された場合、搬送ベルトの交換後のプーリ２２（図３参照）の積算回転数に応じて、作業者に異なる種類の警告情報が通知されてもよい。

また、上記第１実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

７、１０７、２０３ 制御部
８、１０８、２０４ 張力状態測定部
９ 張力調整部
１３ａ トレイ（搬送対象物）
２１、１２１ 搬送ベルト
３１ ヘッド
３２ Ｚ軸モータ（駆動モータ）
１００、２００、３００ 基板作業装置
１００ａ 負圧供給部
２０４ａ 押込部
２０４ｂ 駆動モータ
Ｅ 部品
Ｐ 基板（搬送対象物）

Claims (9)

1. 部品が実装される基板に作業を行う基板作業装置であって、
   搬送対象物を搬送する搬送ベルトと、
   前記搬送ベルトの張力の状態を、前記搬送ベルトを上方または下方から押して押込方向に変形させてまたは前記搬送ベルトを上方へ引いて引張方向に変形させて測定するための張力状態測定部と、
   前記張力状態測定部により前記搬送ベルトを前記押込方向または前記引張方向に変形させたことに基づいて取得される測定値に基づいて、前記搬送ベルトの張力の状態を判断する制御部と、
   前記部品を前記基板に実装するヘッドユニットと、を備え、
   前記ヘッドユニットは、複数のヘッドを含み、
   前記ヘッドは、前記張力状態測定部を兼ねる、基板作業装置。
2. 前記制御部は、前記搬送ベルトが駆動されていない状態において、前記張力状態測定部により前記搬送ベルトを前記押込方向に変形させたことに基づいて取得される前記測定値としての電流値、または、前記張力状態測定部により前記搬送ベルトを前記引張方向に変形させたことに基づいて取得される前記測定値としての圧力値に基づいて、前記搬送ベルトの張力の状態を判断するように構成されている、請求項１に記載の基板作業装置。
3. 前記張力状態測定部としての前記ヘッドは、駆動モータにより上下方向に移動されるように構成されており、
   前記制御部は、前記ヘッドを下降させることにより、前記ヘッドにより前記搬送ベルトを前記押込方向に変形させた際における、前記駆動モータの電流値に基づいて、前記搬送ベルトの張力の状態を判断するように構成されている、請求項２に記載の基板作業装置。
4. 前記張力状態測定部としての前記ヘッドは、駆動モータにより上下方向に移動されるように構成され、負圧供給部からの負圧により前記部品を吸着するように構成されており、
   前記制御部は、前記ヘッドにより前記搬送ベルトを吸着した状態で前記ヘッドを上昇させることにより、前記ヘッドにより前記搬送ベルトを前記引張方向に変形させつつ、前記搬送ベルトの張力により前記ヘッドによる前記搬送ベルトの吸着が解除された際における、前記ヘッドの吸着用の圧力値の変化に基づいて、前記搬送ベルトの張力の状態を判断するように構成されている、請求項２に記載の基板作業装置。
5. 前記搬送ベルトの張力を調整する張力調整部をさらに備え、
   前記制御部は、前記測定値に基づいて、前記張力調整部に前記搬送ベルトの張力を調整させる制御を行うように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板作業装置。
6. 前記制御部は、前記張力調整部による前記搬送ベルトの張力の調整後、前記張力状態測定部に前記搬送ベルトの張力の状態を再び測定させる制御を行うように構成されている、請求項５に記載の基板作業装置。
7. 前記制御部は、前記張力調整部による前記搬送ベルトの張力の調整ができなかったと判断され、かつ、前記搬送ベルトを駆動する駆動モータの積算回転数が規定値以上である場合、作業者に前記搬送ベルトの交換を通知する制御を行い、前記張力調整部による前記搬送ベルトの張力の調整ができなかったと判断され、かつ、前記駆動モータの積算回転数が前記規定値未満である場合、前記作業者に前記搬送ベルトの異常を通知する制御を行うように構成されている、請求項５または６に記載の基板作業装置。
8. 前記制御部は、前記基板の生産切替時、生産開始時、または、生産終了時に、前記張力状態測定部に前記搬送ベルトの張力の状態を測定させる制御を行うように構成されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板作業装置。
9. 前記搬送ベルトは、歯付きベルトである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の基板作業装置。

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