JP6953546B2 - ナノポアウェル構造および方法 - Google Patents
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Description
− 基板の上部に配置された導電層と、導電層を覆う第1の誘電体層と、第1の誘電体層の開口部内の導電層上に配置された多孔質電極層と、を含むデバイス構造を提供するステップと、
− 多孔質TiN電極層上に犠牲層を形成するステップと、
− 犠牲層上に第2の誘電体層を形成するステップと、
− 第2の誘電体層の一部を除去して空洞を形成し、犠牲層の一部を露出させるステップと、
− 犠牲層の露出部分を除去して多孔質TiN電極層の一部を露出させてウェルを形成するステップと、
を含み、
ウェルは、多孔質TiN電極層の上面によって形成される底部ベースと、第2の誘電体層によって形成されるウェル側壁とを含み、それにより、多孔質TiN電極層は、ウェルの形成中に第2の誘電体層と接触することを防ぐ。
− 基板の上部に配置された導電層を有する基板を提供するステップと、
− 導電層上に電極層を形成するステップと、
− 電極層上に第1の誘電体層を形成するステップと、
− 第1の誘電体層をパターニングして、その上面よりも広いベースを有する犠牲構造体を形成するステップと、
− 犠牲構造を囲む電極層の上に第2の誘電体層を形成するステップと、
− 犠牲構造を除去して、電極層の底部ベースおよび第2の誘電体層のウェル側壁を含むウェルを形成するステップであって、ウェル側壁はリエントラントプロファイルを有する、ステップと、
を含む。
− 基板を覆う導電層を形成するステップと、
− 導電層の上に第1の誘電体層を形成するステップであって、第1の誘電体層の開口部は導電層の一部を露出させる、ステップと、
− 第1の誘電体層と、第1の誘電体層の開口部に露出した導電層の一部との上に多孔質電極を形成するステップと、
− 多孔質電極の上に第2の誘電体層を形成するステップと、
− 第2の誘電体層内に空洞を形成してウェルを形成するステップであって、多孔質電極はウェルの底部を形成する、ステップと、
− 硝酸およびHFを含む混合物で電極を露出させて、電極の多孔度を高めるステップと、を含む。
[0038]「ナノポア」とは、膜に形成されるか、さもなければ提供されるポア、チャネルまたは通路を指す。膜は、脂質二重層などの有機膜、または高分子材料で形成された膜などの合成膜であり得る。ナノポアは、例えば相補型金属酸化物半導体(CMOS)または電界効果トランジスタ(FET)回路などの検知回路または検知回路に結合された電極に隣接してまたは近接して配置することができる。いくつかの例において、ナノポアは、0.1ナノメートル(nm)〜約1000nmのオーダーの特徴的な幅または直径を有する。一部のナノポアはタンパク質である。
[0042]ナノポアデバイスでは、誘電体層のウェル上に膜を形成することができる。例えば、膜は、誘電体層の上に形成された脂質単層を含むことができる。膜がウェルの開口部に達すると、脂質単層は、ウェルの開口部に広がる脂質二重層に移行する可能性がある。ウェルおよびウェルを形成する材料の形状は、膜の形成と膜のナノポアの挿入において重要な役割を果たす。さらに、ウェルを形成する材料間の相互作用も、ナノポアデバイスの動作に影響を与える可能性がある。
[0044]このセクションは、ナノポアセルの動作、セル構造および使用法、ならびに信号を測定するための回路の紹介を含む。作用電極での静電容量効果(二重層静電容量と呼ばれる)を説明し、測定を改善するための多孔質作用電極を構築するプロセスの例を説明する。
[0045]図1は、ナノポアベースのシーケンスチップを形成するセルのアレイ内のセル100の実施形態を示す。膜102は、セルの表面上に形成される。いくつかの実施形態では、膜102は脂質二重層である。タンパク質ナノポア膜貫通分子複合体(PNTMC)および目的の検体(例えば、DNAなどの単一ポリマー分子)を含むバルク電解質114は、セルの表面に直接配置することができる。エレクトロポレーションにより、単一のPNTMC104を膜102に挿入することができる。アレイ内の個々の膜は、化学的にも電気的にも相互に接続されていない。したがって、アレイ内の各セルは独立したシーケンスマシンであり、PNTMCに関連付けられた単一ポリマー分子に固有のデータを生成する。PNTMC104は、別の不浸透性の二重層を通るイオン電流を調節することができる。
[0048]図3は、作用電極(例えば、高い電気化学静電容量を有するTiN)を含むナノポアベースのシーケンスチップの電気化学セル300の実施形態を示す。セル300は、導電層または金属層301を含む。金属層301は、セル300をナノポアベースのシーケンスチップの残りの部分に接続する。いくつかの実施形態において、金属層301は、CMOSチップの上部金属(例えば、下にある回路の金属6層M6)である。セル300はさらに、金属層301の上に作用電極302および誘電体層303を含む。いくつかの実施形態では、作用電極302は形状が円形または八角形であり、誘電体層303は作用電極302を囲む壁を形成する。セル300は、作用電極302および誘電体層303の上に誘電体層304をさらに含む。誘電体層304は、ウェル305を囲む絶縁壁を形成する。
[0057]図4は、ナノポアベースのシーケンスチップのセル内の回路400の実施形態を示し、ナノポアに印加される電圧または電流は、ナノポアが特定の検出可能な状態にある期間にわたって変化するように構成することができる。図4では、膜に挿入されたナノポアおよびナノポアを囲む液体を示す代わりに、電気モデル402はナノポアおよび膜の電気特性を表し、電気モデル414は作用電極の電気特性を表す。
[0061]作用電極が高い静電容量を有することが望ましく、それによりスイッチ408の開閉を伴う複数の測定後の電荷蓄積の結果として電圧レベルをわずかに移動させることができる回路上のインピーダンス効果を低減する。
[0064]図7は、電気化学静電容量が増加したTiN作用電極を含むナノポアベースのシーケンスチップの電気化学セルを構築するプロセスの実施形態を示す。電気化学静電容量の増加は、多孔質構造および増加した表面積を有する他の電極でも実現することができる。
[0073]図9A〜9Eは、本発明の様々な実施形態によるナノポアセルで使用できるウェルの様々な形状の簡略化された断面図である。ナノポアセルは、誘電体層内に形成されたウェル側壁とウェルの底部の作用電極を有するウェルを有する。ウェルの形状は、ナノポアデバイスの形成とその性能に影響を与える可能性がある。図9Aは、誘電体層の上面とウェル側壁との間の角と側壁の傾斜とによってウェルの形状を説明できることを示している。図9Bおよび9Cは、ウェルエッジの角度が90°以上のウェルを示しており、図9Dおよび9Eは、ウェルエッジの角度が90°未満のウェルを示している(リエントラントプロファイル)。ウェルの側壁は、まっすぐ、斜め、または曲線状にすることができる。ウェルの形状は、ウェルを形成する材料とプロセス条件によって影響を受ける場合がある。ウェル性能に対するウェル形状の影響についても説明する。
[0074]図9Aは、電極910の上にあるウェル911を示す。ウェル911は、誘電材料層913に囲まれている。誘電材料層913は、側壁面914および上面915を有する。側壁面914と上面915との間のウェルエッジに形成される角度は、角度θとして特徴付けられ得る。側壁面914と上面915との交点に形成される角は、曲率半径rによって記述することができる。図9Aでは、角度θは実質的に90°であり、ウェルエッジの角は比較的小さい曲率半径rで丸くなっている。
[0077]図9Bは、電極920の上にあるウェル921を示す。ウェル921は、誘電材料層923に囲まれている。誘電材料層923は、側壁面924および上面925を有する。側壁面924と上面925との間のウェルエッジに形成される角度は、90°の角度θとして特徴付けられ得る。側壁面924と上面925との交点に形成される角は、曲率半径rによって記述することができる。例えば、曲率半径rは10Å程度に小さくすることができる。図9Bのウェル構造は、例えば、誘電体層のRIEエッチングによって形成することができる。鋭い角は、二層膜の形成を促進することができる。
[0079]図9Dは、電極940の上にあるウェル941を示す。ウェル941は、誘電材料層943によって囲まれている。誘電材料層943は、側壁面944および上面945を有する。図9Dにおいて、ウェル910はリエントラントウェルエッジプロファイルを有し、側壁面944と上面945との間のウェルエッジに形成される角度は、90°未満の角度θとして特徴付けることができる。側壁面944と上面945との交点に形成される角は、小さな曲率半径rによって記述することができる。鋭い角は、二層膜の形成を促進することができる。さらに、リエントラントウェルプロファイルは、上部開口面積よりも大きな底部面積を提供することもできる。図9Dのウェル構造はまた、上部開口でより小さな二層膜静電容量を提供し、作用電極でより大きな二重層静電容量を提供する。図9Dのウェル構造を形成する方法は、以下のセクションで説明される。
[0081]ウェルの様々な部分の表面特性は、ナノポアデバイスの形成およびその性能に影響を及ぼし得る。例えば、二重層の形成を促進するために、水性溶媒により湿潤可能な作用電極を持つことが望ましい。固体表面の濡れ性は、その表面エネルギーによって決まり、多くの場合、水接触角によって特徴付けられる。一般に、水接触角が90°未満の場合、固体表面は親水性と見なされ、水接触角が90°より大きい場合、固体表面は疎水性と見なされる。したがって、作用電極は親水性であることが望ましく、これは40°未満の水接触角を特徴とし得る。場合によっては、水接触角が70°未満の場合、表面は親水性と見なすことができる。その他の場合、水接触角が90°未満の場合、表面は親水性と見なすことができる。作用電極の静電容量が増加するため作用電極は親水性であることが望ましく、それにより回路でのインピーダンス効果が減少し、スイッチ408の開閉を伴う複数の測定の後、電荷の蓄積の結果として電圧レベルがわずかに移動する可能性がある。
[0086]図10Aは、電極1010の上にあるウェル1011を示す。ウェル1011は、誘電体層1013によって囲まれている。誘電体層1013は、側壁面1014および上面1015を有する。図10Aでは、電極1010の上面は、斜線のマークで示されるように親水性である。黒い実線で示されているように、ウェル側壁面1014および上面1015は疎水性である。この構造では、ウェルは、例えばTiN電極などの親水性電極上の疎水性誘電材料(例えば、ポリイミド)で作成することができる。あるいは、酸化物層にウェルを形成し、次にシラン処理を使用して酸化物表面を疎水性に変換することができる。上記のように、親水性の作用電極は、溶媒との接触を形成するためにウェル内の溶媒の湿潤を促進し、疎水性の上部ウェル表面は、二層膜の形成に望ましい。図3に関連して上で説明したように、膜は、誘電体層1013の上部に形成され、ウェル1011全体に広がり得る。例えば、膜は、疎水性上面1015の上部に形成された脂質単層を含み得る。膜がウェル1013の開口部に達すると、脂質単層は、ウェルの開口部に広がる脂質二重層に移行し得る。疎水性表面(例えば、層または層上のコーティング/フィルムから)を有すると、脂質単層の形成および脂質単層から脂質二重層への移行が促進され得る。
[0087]図10Bは、電極1020の上にあるウェル1021を示す。ウェル1021は、誘電材料層1023によって囲まれている。誘電材料層1023は、側壁面1024および上面1025を有する。図10Bでは、電極1020の上面は、斜線のマークで示されるように親水性である。黒い実線で示されるように、ウェル側壁面1024の上部およびウェル上部面1025は疎水性である。しかしながら、斜線のマークで示されるように、ウェル側壁面1024の下部は親水性である。図10Aのウェル構造と同様に、図10Bでは、親水性作用電極は、ウェル内の溶媒の湿潤を促進し、疎水性の上部ウェル表面は、二層膜の形成に望ましい。この構造は、ウェルに親水性ライナーを使用することによって形成することができる。また、電極に最も近い親水性材料と上部の疎水性材料を含むフィルムスタックを使用して作成することもできる。これにより、ウェル(特に非常に小さなウェル)と電極の濡れ性が向上し得る。
[0089]図10Dは、図10Aのウェルと同様の表面特性を有するリエントラントウェルを示す。図10Dは、電極1040の上にあるリエントラントウェル1041を示す。ウェル1041は、誘電材料層1043によって囲まれている。誘電材料層1043は、側壁面1044と上面1045とを有する。図10Aでは、電極1040の上面は、斜線のマークで示されるように親水性である。黒色の実線で示されているように、ウェル側壁面1044および上面1055は疎水性である。
[0091]上述のように、ナノポアウェルは、スポンジ状で多孔質の作用電極と疎水性誘電体層によって画定され得る。作用電極(例えば、TiN)にスポンジ状で多孔質の材料を使用すると、ナノポアセルの表面積が大きくなり、二重層静電容量が大きくなる。しかしながら、疎水性誘電体層(例えば、ポリイミド層または他の疎水性層)が多孔質電極上に直接形成される場合、疎水性誘電材料の残留物は、多孔質電極の間隙または空洞、例えばTiN電極の柱状構造内に埋め込まれ得る。有機残留物は、電極表面の濡れ性を低下させ、流体が電極の表面に接触するのを防ぐ。その結果、有効表面積が減少し、電解質−電極界面での二重層静電容量が大幅に低下する可能性がある。この問題を軽減するために、SiO2層などの薄いバッファまたは犠牲誘電体層を電極上に形成して、ポリイミド層の堆積などの後続処理の前に電極の表面を保護することができる。ウェルが形成された後、薄い犠牲誘電体層を電極の上面から除去することができる。薄いバッファまたは犠牲誘電体層は、ウェル形成プロセス中に疎水性層から多孔質電極層を保護するのに役立つ。
1.製造方法
[0092]図11A−11Fは、多孔質作用電極を保護するためのバッファを含むナノポアベースのシーケンスチップの電気化学セルを構築するプロセスの実施形態を示す。作用電極の形成後、バッファ層が作用電極上に形成され、次に疎水性誘電体層がバッファ層上に形成される。疎水性誘電体層をエッチングしてウェルの空洞を形成した後、バッファ層を除去して作用電極を露出させる。このプロセスの間、疎水性誘電材料は、ウェルの底部で作用電極との直接接触を形成しない。バッファ層は、有機残留物が多孔質作用電極に埋め込まれるのを防ぐことができる。
[0101]図11Fは、基板の上部に配置された導電層1102と、導電層上に配置された多孔質窒化チタン(TiN)電極層1110とを含むナノポアセル1100を示す。上述のように、ナノポアセルは、ナノポアセルの動作を制御するための回路を含む基板、例えばCMOS基板の上に形成することができる。導電層1102は、下にある回路の上部金属層であり得る。簡単にするために、基板は図11Fには示されていない。第1の誘電体層1111、例えば、酸化シリコン層がTiN電極層上に配置され、ポリイミド層1112が第1の誘電体層上に配置される。ポリイミド層および第1の誘電体層1111に空洞またはウェル1114が形成され、空洞はTiN電極層の一部を露出させる。ウェルは、TiN電極層の露出部分上の空洞によって形成される。図11Fに示すように、ウェル1114は、TiN電極層によって形成された底部ベースを有し、ウェル側壁は、第1の誘電体層1111上のポリイミド層によって形成される。
[0103]上記の実施形態は、多孔質電極材料を保護して、その高い電気二重層静電容量を維持する方法に関する。多孔質電極材料は、保護されていない場合、二重層静電容量を大幅に減少させる酸化とポリマーの挿入の影響を受けやすい。例えば、酸化膜または他の誘電体膜を保護層として電極表面に堆積させることができ、これはチップの使用準備が整ったときに除去される。
[0105]図13A−13Gは、セル製造中に多孔質作用電極を保護するための犠牲金属層を含むナノポアベースのシーケンスチップの電気化学セルを構築するプロセスを示す。一実施形態では、多孔質作用電極の形成後、犠牲金属層が作用電極上に形成され、次いで疎水性誘電体層が犠牲金属層上に形成される。疎水性誘電体層をエッチングしてウェルの空洞を形成した後、犠牲金属層を除去して作用電極を露出させる。このプロセスの間、疎水性誘電材料は、ウェルの底部で作用電極との直接接触を形成しない。犠牲金属層は、有機残留物が多孔質作用電極に埋め込まれるのを防ぐことができる。図13A−13Gに示す例では、チタン層が犠牲金属層として使用される。しかしながら、他の適切な金属または金属合金層も使用することができることが理解される。
[0113]図14Aおよび14Bは、図13A−13Gに示されたデバイス構造の一例を示すSEM(走査型電子顕微鏡)画像である。デバイス構造には、約700nmの多孔質TiN電極層上に堆積された約250nmのチタンキャップ層が含まれる。図14Aは、堆積されたチタン層の表面の上面図である。図14Bは、多孔質TiN電極層上に堆積されたチタンキャップ層の一部の断面図である。Ti層は、多孔質TiN層の表面のみを覆い、多孔質構造の間隙を埋めないことがわかる。
[0115]図13A−13Gにおいて上記で説明したプロセスのいくつかの実施形態では、Tiキャップ層は、多孔質TiN電極層とともにその場で堆積され、多孔質TiN電極層を周囲への露出から保護することができる。あるいは、Tiキャップ層と多孔質TiN電極層を別々に形成することができる。さらに、多孔質TiN電極が既に堆積されパターニングされた後に、Tiキャップを堆積することができる。例えば、研磨(CMP)プロセスを使用して多孔質TiN電極を形成するプロセスが図7に記載されており、図11Aおよび16Aで参照されている。図11Aまたは図16Aに示されるように平坦化された多孔質TiN電極から開始し、ウェルを形成するためのポリイミド層の堆積の前に、Tiキャップ層を堆積し、次いでパターニングすることができる。
[0117]上述のように、リエントラントプロファイルおよびウェルの疎水性上面を有する鋭い角を有するナノポアウェルは、二層形成において利点を提供し、二層寿命および安定性などのセル性能を改善することができる。したがって、疎水性材料を使用してリエントラントウェル構造を形成する方法が望ましい。例えば、疎水性材料は、ポリイミドまたはSU−8のようなネガティブフォトリソグラフィー材料であり得る。例としてポリイミドを使用した方法を以下に説明する。いくつかの実施形態において、リエントラントウェル構造は、マンドレル構造を有する犠牲誘電体構造を使用して形成される。マンドレル構造は、犠牲構造の周囲にポリイミド層が形成される前に形成することができる。犠牲構造は、上部領域よりも下部領域が広くなっている。結果として、犠牲構造が除去された後、残りのポリイミド層は、狭い開口部と広いベースを備えた空洞を有し、リエントラントウェルを形成する。追加の利点として、誘電犠牲構造は、ポリイミド層の形成中に下にある電極を保護するのに役立つ。
[0118]図16A〜16Fは、リエントラントウェルプロファイルを含むナノポアベースのシーケンスチップの電気化学セルを構築するプロセスを示す。
[0126]図16Fは、基板の上部に配置された導電層1602と、導電層上に配置された窒化チタン(TiN)電極層1610とを含むナノポアセル1600を示す。上述のように、ナノポアセルは、ナノポアセルの動作を制御するための回路を含む基板、例えばCMOS基板の上部に形成することができる。導電層1602は、下にある回路の上部金属層であり得る。簡単にするために、基板は図16Fには示されていない。ポリイミド層1612は、TiN電極層1610上に配置される。空洞またはウェル1614は、TiN電極層の一部を露出させるためにポリイミド層に形成される。リエントラントプロファイルを有するウェルは、TiN電極層の露出部分上の空洞により形成される。図16Eにおいて、ウェル1614は、TiN電極層によって形成されるより広い底部ベースと、鋭い角1617を有する狭い上部開口部とを有することがわかる。
[0128]例えば、図7、11、13、および16における上記の方法では、研磨方法を使用することができる。例えば、図7では、ステップCとステップDとの間で、研磨方法(例えば、CMP)を使用して余分な作用電極(TiN)材料を除去し、隣接する誘電体層の上面と実質的に同一平面である上面を有する作用電極710を形成することができる。以下に説明する実施形態では、作用電極は、研磨方法を使用せずに形成される。この方法は、より多くの作用電極表面積とより良いプロセス制御を提供することができる。
[0129]図17A−17Gは、研磨方法を使用せずにナノポアベースのシーケンスチップの電気化学セルを構築するプロセスを示す。このプロセスは、セル製造中に多孔質作用電極を保護するための犠牲層も含む。一実施形態では、多孔質作用電極の形成後、犠牲層が作用電極上に形成される。犠牲層および作用電極は、研磨プロセスの代わりにリソグラフィープロセスを使用してパターニングすることができる。次に、犠牲層上に疎水性誘電体層が形成される。疎水性誘電体層をエッチングしてウェルの空洞を形成した後、犠牲層を除去して作用電極を露出させる。このプロセスの間、疎水性誘電材料は、ウェルの底部で作用電極との直接接触を形成しない。犠牲層は、有機残留物が多孔質作用電極に埋め込まれるのを防ぐことができる。図17A−17Gに示す例では、酸化シリコン層が犠牲金属層として使用される。しかしながら、窒化ケイ素を含む他の適切な誘電材料、または誘電材料の組み合わせも使用することができることが理解される。さらに、図13A−13Gに関連して上記で説明したものなどの金属、または金属合金層も使用することができる。
[0138]図17Hは、基板1701と、基板1701の上部に配置された導電層1702と、導電層1702を覆う第1の誘電体層1703とを含むナノポアセル1700を示している。図17Aに示すように、第1の誘電体層は、導電層の一部を露出させる開口部を有する。電極層1710は、第1の誘電体層1703の開口部内に配置される。電極層は、第1の誘電体層1703の一部と重なるように第1の誘電体層1703を覆って延びるオーバーハング部分1717を有する。第2の誘電体層1714は、第1の誘電体層1703上に配置される。第2の誘電体層1714の空洞1716は、電極層1710の一部を露出させる。空洞は、電極のオーバーハング部分1717の上の第2の誘電体層1714のアンダーカット部分1718を含む。ナノポアセル1700は、電極層1710の上面によって形成される底部ベース1721と、第2の誘電体層1714によって形成されるウェル側壁1723とを有する空洞1716によって形成されるウェルを含む。
[0142]いくつかの実施形態は、多孔質電極の多孔度を増加させることができ、それにより、二重層静電容量を増加させるための有効面積を増加させる。上記のいくつかの例では、保護薄膜が多孔質電極上に堆積され、ウェル境界を形成するポリイミドなどの有機膜から多孔質電極を保護する。保護膜または犠牲膜は、高濃度のフッ化水素酸(HF)を含む化学物質(混合物)で除去することができる。電極をエッチングし、プロセスで多孔度を高めることにより、保護膜除去の化学的性質を拡張して、電極の二重層静電容量を増加させることができる。しかしながら、高濃度のHFは、下にあるデバイスのパッシベーション誘電体に対して非選択的である可能性があり、したがって、長時間にわたって適用すると短絡のリスクが生じる。改良された表面処理方法を以下に説明する。
[0143]図18Aおよび18Bは、表面処理に適した代表的なナノポアデバイス構造の断面図である。図18Aは、図17Hまたは図13Gに示されたデバイスと同様のナノポアデバイス1800を示し、研磨は作用電極を形成するために使用されてもされなくてもよい。図18Bは、図7または11Fに示されたデバイスと同様のナノポアデバイス1850を示し、研磨方法は作用電極を形成するために使用されてもされなくてもよい。図18Aでは、構成要素は、図17Hの対応する構成要素と同じ参照番号で識別される。図18Bでは、構成要素は、図11Fの対応する構成要素と同じ参照番号で識別される。図18Aおよび18Bの両方において、矢印1830は、新しい表面処理における化学物質の適用に対応する。
[0152]図21は、ナノポアデバイスの二重層静電容量を増加させるための表面処理の結果を示すSEM(走査型電子顕微鏡)画像を提供する。保護酸化膜を除去するために3つのナノポアデバイス、A、B、およびC(図18Aに示すデバイス1800、図18Bに示すデバイス1850、または図17Hに示すデバイス1700など)を同量のBOE(緩衝酸化物エッチング)で10分間処理した。その後、3つのデバイスを、異なる時間、追加のHNO3/HF化学物質を用いて処理した。デバイスAは追加のHNO3/HF処理を受けず、デバイスBは追加の5分間のHNO3/HF処理を受け、デバイスCは追加の15分間のHNO3/HF処理を受けた。
Claims (15)
- 基板と、
前記基板の上部を覆って配置された導電層と、
前記導電層を覆う第1の誘電体層であって、前記導電層の一部を露出させる開口部を有する前記第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層の前記開口部内に配置された電極層であって、前記第1の誘電体層の上に延びるオーバーハング部分を有する前記電極層と、
前記第1の誘電体層上に配置された第2の誘電体層と、
前記第2の誘電体層内の空洞であって、前記電極層の少なくとも一部を露出させ、前記電極の前記オーバーハング部分の上の前記第2の誘電体層のアンダーカット部分を含む前記空洞と、
前記空洞によって形成されたウェルであって、前記電極層の上面によって形成された底部ベースと、前記第2の誘電体層によって形成されたウェル側壁とを有する前記ウェルと、
を含む、ナノポアセル。 - 前記電極層が、多孔質TiN(窒化チタン)を含む、請求項1に記載のナノポアセル。
- 前記第2の誘電体層が、ポリイミドまたは有機材料を含む、請求項1または2に記載のナノポアセル。
- 前記第1の誘電体層が、酸化物層を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載のナノポアセル。
- 基板と、
前記基板の上部に配置された導電層と、
前記導電層上に配置された電極層と、
前記電極層上に配置された誘電体層と、
前記誘電体層内の空洞であって、前記電極層の一部を露出させる前記空洞と、
前記空洞内に形成されたウェルであって、前記誘電体層によって形成されたウェル側壁と、前記電極層の露出部分上のウェル底部とを有する前記ウェルと、
を含み、
前記誘電体層の上面と前記ウェル側壁との間の角が、20μm未満の曲率半径rによって特徴付けられ、前記誘電体層の前記上面と前記ウェル側壁との間の角度が、角度θによって特徴付けられる、
ナノポアセル。 - 前記ウェル側壁がリエントラントプロファイルを有する、請求項5に記載のナノポアセル。
- 前記リエントラントプロファイルが凹状である、請求項6に記載のナノポアセル。
- 前記ウェル底部が親水性であり、前記ウェル側壁が疎水性である、請求項5〜7のいずれか1項に記載のナノポアセル。
- 前記ウェル底部が親水性であり、前記ウェル側壁の下部が親水性であり、前記ウェル側壁の上部が疎水性である、請求項5〜7のいずれか1項に記載のナノポアセル。
- 前記ウェル底部が親水性であり、前記ウェル側壁が親水性であり、前記誘電体層の前記上面が疎水性である、請求項5〜7のいずれか1項に記載のナノポアセル。
- 前記電極層が、前記ウェル側壁の下部を覆うように延びる、請求項5〜10のいずれか1項に記載のナノポアセル。
- 基板の上部に配置された導電層と、
前記導電層を覆う第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層の開口部内の前記導電層上に配置された多孔質電極層と、
を含むデバイス構造を提供するステップと、
前記多孔質電極層上にチタン層である犠牲層を形成するステップと、
前記犠牲層上に第2の誘電体層を形成するステップと、
前記第2の誘電体層の一部を除去して空洞を形成し、前記犠牲層の一部を露出させるステップと、
前記犠牲層の露出部分を除去して前記多孔質TiN電極層の一部を露出させてウェルを形成するステップと、
を含み、
前記ウェルが、前記多孔質TiN電極層の上面によって形成される底部ベースと、前記第2の誘電体層によって形成されるウェル側壁とを含み、それにより、前記多孔質TiN電極層が、前記ウェルの形成中に前記第2の誘電体層と接触することを防ぐ、
ナノポアセルを形成する方法。 - 基板の上部に配置された導電層を有する基板を提供するステップと、
前記導電層上に電極層を形成するステップと、
前記電極層上に第1の誘電体層を形成するステップと、
第1の誘電体層をパターニングして、その上面よりも広いベースを有する犠牲構造体を形成するステップと、
前記犠牲構造を囲む前記電極層の上に第2の誘電体層を形成するステップと、
前記犠牲構造を除去して、前記電極層の底部ベースおよび前記第2の誘電体層のウェル側壁を含むウェルを形成するステップであって、前記ウェル側壁はリエントラントプロファイルを有する前記ステップと、
を含む、ナノポアセルを形成する方法。 - 基板と、
前記基板の上部に配置された導電層と、
前記導電層上に配置された電極層と、
前記電極層上に配置された誘電体層と、
前記誘電体層内の空洞であって、前記電極層の一部を露出させる前記空洞と、
前記電極層の露出部分上の前記空洞によって形成されたウェルであって、底部ベースとして前記電極層の前記露出部分と、上部開口部から前記底部ベースまで延びてリエントラントプロファイルを形成する側壁とを有し、前記底部ベースが、前記上部開口部よりも広い前記ウェルと、
を含む、ナノポアセル。 - 基板を覆う導電層を形成するステップと、
前記導電層の上に第1の誘電体を形成するステップであって、前記第1の誘電体層の開口部は前記導電層の一部を露出させる前記ステップと、
前記第1の誘電体層と、前記第1の誘電体層の前記開口部に露出した前記導電層の一部との上に多孔質電極を形成するステップと、
前記多孔質電極の上に第2の誘電体層を形成するステップと、
前記第2の誘電体層内に空洞を形成してウェルを形成するステップであって、前記多孔質電極は前記ウェルの前記底部を形成する前記ステップと、
硝酸およびHFを含む混合物で前記電極を露出させて、前記電極の多孔度を高めるステップと、
を含む、ナノポアセルを形成する方法。
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