JP6952844B2 - 極端紫外光源におけるターゲット膨張率制御 - Google Patents
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Description
本願は、「TARGET EXPANSION RATE CONTROL IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE」と題され2015年8月12日に提出された米国出願第14/824,141号、及び「STABILIZING EUV LIGHT POWER IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE」と題され2015年8月12日に提出された米国出願第14/824,147号の利益を主張するものであり、両文献は参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (15)
- プラズマに変換されたときに極端紫外線(EUV)光を放出する成分を含むターゲット材料を提供すること、
第1の放射ビームを前記ターゲット材料の方に誘導してエネルギを前記ターゲット材料へと送出し、前記ターゲット材料の幾何分布を修正して修正されたターゲットを形成すること、
前記修正されたターゲットの少なくとも一部をEUV光を放出するプラズマに変換する第2の放射ビームを、前記修正されたターゲットの方に誘導すること、
前記修正されたターゲットの大きさを測定すること、
前記修正されたターゲットの前記測定された大きさを分析すること、
前記第1の放射ビームから前記ターゲット材料に送出される放射露光の量を、前記修正されたターゲットの前記測定された大きさの分析に基づいて所定の放射露光の範囲内に制御すること、及び
前記ターゲット材料の位置を測定すること、
を備える方法。 - 前記修正されたターゲットの前記大きさを測定することは、シャドウグラフ技術を用いることを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記修正されたターゲットの前記大きさを測定することは、前記第2の放射ビームが前記修正されたターゲットの少なくとも一部をプラズマに変換する前の前記修正されたターゲットの前記大きさを測定することを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記修正されたターゲットはディスク形状を有し、前記修正されたターゲットの前記ディスク形状の角度配向は、前記ターゲット材料に衝突する際の前記第1の放射ビームの位置に依存する、請求項1に記載の方法。
- 第1の放射ビームを受信する初期ターゲットロケーションと第2の放射ビームを受信するターゲットロケーションとを定義するチャンバと、
プラズマに変換されたときに極端紫外線(EUV)光を放出する材料を含むターゲット材料を前記初期ターゲットロケーションに提供するように構成されたターゲット材料デリバリシステムと、
第1の放射ビームを光学源から前記初期ターゲットロケーションの方に誘導してエネルギを前記ターゲット材料へと送出し、前記ターゲット材料の幾何分布を修正して修正されたターゲットを形成するように、及び、
第2の放射ビームを前記光学源から前記ターゲットロケーションの方に誘導して、前記修正されたターゲットの少なくとも一部をEUV光を放出するプラズマに変換するように構成された光操向システムと、
前記修正されたターゲットの大きさを測定するように構成された測定システムと、
前記ターゲット材料デリバリシステムと、前記光学源と、前記光操向システムと、前記測定システムとに接続され、前記測定された大きさを前記測定システムから受信するように、前記受信し測定された大きさを分析するように、及び、一又は複数の信号を前記光学源に送信して、前記第1の放射ビームから前記ターゲット材料へと送出される放射露光の量を前記測定された大きさの分析に基づいて制御するように構成された制御システムと、
ターゲット位置に対する前記ターゲット材料の位置を測定するように構成された別の測定システムと、
を備える装置。 - 前記測定システムは、パルスバックライト照明装置及びカメラを含む、請求項5に記載の装置。
- 前記測定システムは、シャドウグラフ技術を用いる、請求項6に記載の装置。
- 前記制御システムは、前記測定された位置を前記別の測定システムから受信するように、前記受信し測定された位置を分析するように、及び、一又は複数の信号を前記光学源に送信して、前記第1の放射ビームから前記ターゲット材料へと送出される前記放射露光の量を前記測定された大きさの分析及び前記測定された位置の分析に基づいて制御するように構成される、請求項5に記載の装置。
- 第1の放射ビームを受信する初期ターゲットロケーションと第2の放射ビームを受信するターゲットロケーションとを定義するチャンバと、
プラズマに変換されたときに極端紫外線(EUV)光を放出する材料を含むターゲット材料を前記初期ターゲットロケーションに提供するように構成されたターゲット材料デリバリシステムと、
前記第1の放射ビーム及び前記第2の放射ビームを生成するように構成された光学源と、
前記第1の放射ビームを前記初期ターゲットロケーションの方に誘導してエネルギを前記ターゲット材料へと送出し、前記ターゲット材料の幾何分布を修正して修正されたターゲットを形成するように、及び、
前記第2の放射ビームを前記ターゲットロケーションの方に誘導して、前記修正されたターゲットの少なくとも一部をEUV光を放出するプラズマに変換するように構成された光操向システムと、
前記ターゲット材料と前記第1の放射ビームに関して前記修正されたターゲットとのうち一又は複数に関連する特性を測定するように各々が構成される一組の測定サブシステムを含む測定システムと、
前記ターゲット材料デリバリシステムと、前記光学源と、前記光操向システムと、前記測定システムとに接続され、前記測定された特性を前記測定システムの前記測定サブシステムの各々から受信するように、前記受信した特徴を分析するように、及び、一又は複数の信号を前記光学源に送信して、前記第1の放射ビームから前記ターゲット材料へと送出される放射露光の量を前記測定し受信した特性の分析に基づいて制御するように構成された制御システムと、
を備える装置。 - プラズマに変換されたときに極端紫外線(EUV)光を放出する成分を含むターゲット材料を提供すること、
第1の放射ビームを前記ターゲット材料の方に誘導してエネルギを前記ターゲット材料へと送出し、前記ターゲット材料の幾何分布を修正して修正されたターゲットを形成すること、
前記修正されたターゲットの少なくとも一部をEUV光を放出するプラズマに変換する第2の放射ビームを、前記修正されたターゲットの方に誘導すること、
前記ターゲット材料と前記第1の放射ビームに関して前記修正されたターゲットとのうち一又は複数に関連する一又は複数の特性を測定すること、
前記ターゲット材料と前記第1の放射ビームに関して前記修正されたターゲットとのうち一又は複数に関連する、前記測定された一又は複数の特性を分析すること、
前記修正されたターゲットの幾何学的な膨張率を、前記一又は複数の測定された特性の分析に基づいて制御し、それによって前記修正されたターゲットと前記第2の放射ビームとの相互作用によって生じるプラズマから変換されたEUV光の量を増大させること、及び
前記ターゲット材料の位置を測定すること、
を備える方法。 - 第1の放射ビームを受信するように構成された初期ターゲットロケーションと第2の放射ビームを受信するように構成されたターゲットロケーションとを定義するチャンバと、
プラズマに変換されたときに極端紫外線(EUV)光を放出する材料を含むターゲット材料を前記初期ターゲットロケーションに提供するように構成されたターゲット材料デリバリシステムと、
前記第1の放射ビームを前記初期ターゲットロケーション内の前記ターゲット材料と相互作用させてエネルギを前記ターゲット材料へと送出し、前記ターゲット材料の幾何分布を修正して修正されたターゲットを形成するように、及び、
前記第2の放射ビームを前記ターゲットロケーション内の前記修正されたターゲットと相互作用させて、前記修正されたターゲットの少なくとも一部をEUV光を放出するプラズマに変換するように構成された光学配置と、
前記修正されたターゲットの空間的な観点を各々が測定するように構成された2つの測定システムと、
前記ターゲット材料デリバリシステムと、前記光学配置と、前記測定システムとに接続され、測定データを前記2つの測定システムから受信するように、及び、一又は複数の信号を前記光学配置に送信して、放射ビームを前記受信した測定データに基づいて制御するように構成された制御システムと、
を備える装置。 - 各測定システムは、バックライト照明装置及びカメラを含む、請求項11に記載の装置。
- 前記光学配置及び前記制御システムと通信するビーム調整システムをさらに備え、前記制御システムは、前記一又は複数の信号を前記光学配置に送信して、一又は複数の信号を前記ビーム調整システムに送信することにより前記放射ビームを前記受信した測定データに基づいて制御するように構成されている、請求項11に記載の装置。
- 各測定システムは、シャドウグラフ技術を用いる、請求項11に記載の装置。
- 第1の放射ビームを受信する初期ターゲットロケーションと第2の放射ビームを受信するターゲットロケーションとを定義するチャンバと、
プラズマに変換されたときに極端紫外線(EUV)光を放出する材料を含むターゲット材料を前記初期ターゲットロケーションに提供するように構成されたターゲット材料デリバリシステムと、
第1の放射ビームを光学源から前記初期ターゲットロケーションの方に誘導してエネルギを前記ターゲット材料へと送出し、前記ターゲット材料の幾何分布を修正して修正されたターゲットを形成するように、及び、
第2の放射ビームを前記光学源から前記ターゲットロケーションの方に誘導して、前記修正されたターゲットの少なくとも一部をEUV光を放出するプラズマに変換するように構成された光操向システムと、
前記修正されたターゲットの大きさを測定するように構成された測定システムと、
前記ターゲット材料デリバリシステムと、前記光学源と、前記光操向システムと、前記測定システムとに接続され、前記測定された大きさを前記測定システムから受信するように、前記受信し測定された大きさを分析するように、及び、一又は複数の信号を前記光学源に送信して、前記第1の放射ビームから前記ターゲット材料へと送出される放射露光の量を前記測定された大きさの分析に基づいて制御するように構成された制御システムと、
を備え,
前記測定システムは、パルスバックライト照明装置及びカメラを含む、装置。
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