JP6950204B2 - 異常判定システム - Google Patents

Description

本発明は、異常判定システムに関し、特に、建築物に適用される空調機で発生し得る空調異常や、配管等の流路に発生し得る異常を判定する異常判定システムに関する。

従来、ビル等の建築物に適用される空調機の異常判定システムとして、例えば、温度制御領域に配設された空調機と、該空調機に一対一対応で設けられた空調制御機と、該空調制御機から受信した温度値に基づいて当該空調制御機を遠隔制御可能に設置された中央制御ユニットとを備える空調制御システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。

この空調制御システムでは、温度センサの異常発生時であっても、空調制御機が正常温度に近似する温度を示す代替値（例えば＋２０℃）を集中制御ユニットに送信することで、空調機の通常運転を継続させる制御を行う。またこのとき、空調制御機は、温度センサが正常動作時に検出可能な値（例えば−１８０℃〜＋１８０℃）であって通常温度領域外となる予め定められた値（＋１８０℃）と、該予め定められた値に続けて生成された上記代替値との双方を、温度センサの温度値として中央制御ユニットに送信する。これにより、中央制御ユニットは、空調制御機から受信した温度センサの温度値が上記予め定められた値を含む場合には、温度センサが動作異常であると判定し得るとされている。

特開２００９−２０４２１３号公報

しかしながら、上述した空調制御システムでは、予め定められた値を用いて温度センサの動作異常を判定するのみであり、被検出対象物である空気の温度の異常発生を精度良く予見することはできず、空気温度の異常に起因する設備機器の故障を未然に防止することが困難である。

また、気体や液体などの被検出対象物の異常を精度良く予見するためには、被検出対象物の種類や環境等に応じて異常を判定する条件を個別に設定、変更する必要があるため、個別に設定された異常判定条件に応じたプログラムを都度構築しなければならず、その作業が煩雑である。

本発明の目的は、プログラムを新たに構築することなく、異常判定ルールを容易に設定、選択することができ、被検出対象物の異常を精度良く予見することができる異常判定システムを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の異常判定システムは、設備における被検出対象物の物理量を変更可能に配置された機器と、前記被検出対象物の物理量を検出する少なくとも１つの検出部と、前記少なくとも１つの検出部により検出された前記物理量に基づいて前記設備の異常を判定する異常判定制御部とを備える異常判定システムであって、前記異常判定制御部は、前記機器の動作状態を示すステータスデータを含むデータ抽出条件を設定するデータ抽出条件設定部と、前記少なくとも１つの検出部により検出された前記被検出対象物の物理量を示す物理量データのうち、前記データ抽出条件を満たす場合の物理量データを抽出し、当該抽出した物理量データに基づいて前記設備の異常判定に用いられる異常判定用データを作成する条件を設定する異常判定用データ作成条件設定部と、前記異常判定用データに基づいて、前記設備の異常を判定するための異常判定条件を設定するための異常判定条件設定部と、前記異常判定用データと前記異常判定条件に基づいて、前記設備の異常判定を行う異常判定部と、を備えることを特徴とする。

本発明の異常判定システムにおいては、前記データ抽出条件設定部は、前記物理量データが前記データ抽出条件を連続的に満たす場合に、前記物理量データが前記データ抽出条件を最初に満たしたときから所定時間経過後の物理量データが抽出されるように、抽出時間条件を更に設定することを特徴とする。

本発明の異常判定システムにおいては、前記機器は、建物に適用された空調制御システムにおいて前記建物の空調対象空間内の空気の温度を制御可能に設置された空調機であり、前記データ抽出条件設定部は、前記空調機の動作状態を示すステータスデータ及び所定温度データを含むデータ抽出条件を設定し、前記異常判定用データ作成条件設定部は、前記データ抽出条件を満たす場合における前記空調対象空間内の空気の温度等を抽出し、当該抽出した前記空調対象空間内の空気の温度等に基づいて前記異常判定用データを作成する条件を設定し、前記異常判定条件設定部は、作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定するための条件を設定する、ことを特徴とする。

本発明の異常判定システムにおいては、前記機器は、設備に設けられた流路において一の経路と他の経路との合流部に配設されたポンプ装置であり、前記データ抽出条件設定部は、前記ポンプ装置の動作状態を示すステータスデータに基づいてデータ抽出条件を設定し、前記異常判定用データ作成条件設定部は、前記データ抽出条件を満たす場合における前記一の経路を流れる第１流体の温度及び流量、前記他の流路を流れる第２流体の温度及び流量、並びに前記合流部を流れる第３流体の流量に基づいて、前記異常判定用データを作成する条件を設定し、前記異常判定条件設定部は、作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定するための条件を設定する、ことを特徴とする。

本発明の異常判定システムにおいては、前記異常判定用データ作成条件設定部は、前記データ抽出条件を満たす場合における前記一の経路を流れる第１流体の温度及び流量、前記他の流路を流れる第２流体の温度及び流量、並びに前記合流部を流れる第３流体の流量から算出される第３流体の予測温度と、前記第３流体の温度に基づく実温度との差が所定温度を超えたときの回数に基づいて前記異常判定用データを作成する条件を設定し、前記異常判定条件設定部は、作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定するための条件を設定する、ことを特徴とする。

以上のような本発明は、いずれの態様においても、上記異常判定システムの発明をコンピュータによって実行される異常判定方法、コンピュータに読み取り可能な記録媒体に記録されたプログラム、プログラムを記録したコンピュータに読み取り可能な記録媒体として捉えることも可能である。

本発明によれば、プログラムを新たに構築することなく、異常判定ルールを容易に設定、選択することができ、被検出対象物の異常を精度良く予見することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る異常判定システムの構成を示す概略図である。 図１における管理サーバの機能を概念的に示すブロック図である。 図１における管理サーバのデータ格納構成の具体例を示す図である。 本第１の実施の形態におけるデータ抽出条件及び異常判定用データ作成条件の具体例について説明するための図である。 本第１の実施の形態における異常判定処理の手順を示すフローチャートである。 図５における判定ルール設定処理の手順を示すフローチャートである。 図５における判定用データセット作成処理の手順を示すフローチャートである。 図５における異常判定実行処理の手順を示すフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態に係る異常判定システムの構成を示す概略図である。

以下、本発明の異常判定システムの実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

［１］第１の実施の形態
はじめに、図１から図８を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る異常判定システム１について説明する。

［１−１．異常判定システムの全体構成］
まず、図１を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る異常判定システムの全体構成について説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態に係る異常判定システム１の構成を示す概略図である。

以下の本発明の第１の実施の形態では、建物のビルに適用された空調制御システム３に異常判定システム１を採用し、当該異常判定システム１が、建物のフロア２（以下、フロア２ａ，２ｂ，…，２ｎの各々を「フロア２」ともいう。）内の温度に基づいて、フロア２内の異常を判定する場合について説明する。

図１に示すように、異常判定システム１は、ビルの空調対象空間としての複数のフロア２毎に設けられた空調機４（以下、空調機４ａ，４ｂ，…，４ｎの各々を「空調機４」ともいう。）と、フロア２内の温度を検出する検出部５（以下、検出部５ａ，５ｂ，…，５ｎの各々を「検出部５」ともいう。）と、空調機４及び検出部５とインターネットを介して通信可能な管理サーバ６とを主要な構成要素として備えている。すなわち、異常判定システム１は、空調制御システム３（設備）における空気（被検出対象物）の物理量である温度及び風量を変更可能に配置された複数の空調機４ａ，４ｂ，・・・，４ｎと、空気の温度を検出する複数の検出部５ａ，５ｂ，・・・，５ｎと、該複数の検出部により検出された温度に基づいて空調制御システム３の異常を判定する管理サーバ６とを備えている。

空調機４は、それぞれ図示しない熱源機や室外機と接続されており、予め設定された設定温度に基づいて、熱源機や室外機から取り込まれた媒体で空気を冷却及び加熱等して給気する冷房運転及び暖房運転等の運転モードによってフロア２内の空気の温度を制御する。本実施形態では、空調機４と管理サーバ６とが電気的に接続され、空調機４の動作状態を示すステータスデータが管理サーバ６に送信される。なお、空調機４は、それぞれ個別に熱源機や室外機に接続されていてもよいし、複数の空調機４が１台の熱源機や室外機に接続されていてもよい。

検出部５は、空調機４の吸込口近傍に設けられた温度センサであり、フロア２内の温度を検出する。なお、検出部５は、空調機４の内部のみならず、空調機４の外部或いは空調機と別体でフロア２内に設けられていてもよい。

管理サーバ６は、例えば、図１に示すような汎用的なハードウェア構成を有するコンピュータによって構成されており、この管理サーバ６により、ソフトウェアによる情報処理がハードウェア資源を用いて具体的に実現される。

上記のように構成された異常判定システム１では、管理サーバ６は、空調機４の動作状態（例えば、ＯＮ又はＯＦＦ）を示すステータスデータ、検出部５により検出されたフロア２内の実温度を示す実温度データ、空調機４が給気する給気温度を示す給気温度データ、空調機４の設定温度を示す設定温度データ等の各種データからなる空調システムデータを受信する。そして、この空調システムデータを所定の時間毎（例えば、１０分毎）に記憶し、この記憶された空調システムデータに基づいてフロア２内の異常を判定する。

［１−２．管理サーバの機能］
次いで、図２を参照して管理サーバ６の機能について説明する。図２は、図１における管理サーバ６の機能を概念的に示すブロック図である。

図２に示すように、管理サーバ６は、異常判定制御部７と、記憶部２０と、通信Ｉ／Ｆ３１と、入力部３２と、表示部３４とを備えている。異常判定制御部７は、判定ルール設定部１０と、異常判定部９とを備えている。

判定ルール設定部１０は、上記空調システムデータに基づいてフロア２内の異常を判定する判定ルールを設定する機能部であり、データ抽出条件設定部１１と、異常判定用データ作成条件設定部１２と、異常判定条件設定部１３とを備えている。

データ抽出条件設定部１１は、空調機４の動作状態を示すステータスデータを含むデータ抽出条件を設定する機能部であり、継続回数設定部１４を備えている。このデータ抽出条件設定部１１では、例えば、空調システムデータの中から空調機４の動作状態がＯＮでありかつ給気温度が２０度以上である場合に、その時刻の空調システムデータを判定に利用するように、データ抽出条件を設定する。

継続回数設定部１４は、時間的条件を設定する機能部である。この継続回数設定部１４は、ステータスデータと給気温度データとがデータ抽出条件設定部１１で設定した設定条件を連続的に満たす場合に、ステータスデータと給気温度データとがデータ抽出条件を最初に満たしたときから所定時間経過後の異常判定用データが抽出されるように、抽出時間条件を設定する。

具体的には、例えば、ステータスデータ及び給気温度データがデータ抽出条件を最初に満たした時刻から５０分間経過後の異常判定用データが初めて抽出されるように設定する場合には、抽出時間条件として継続回数を６回と設定する。なお、以下では、抽出時間条件はデータ抽出条件に含まれる条件として説明する。

異常判定用データ作成条件設定部１２は、空調システムデータの中から、異常判定用データを作成する条件を設定する。例えば、異常判定用データ作成条件設定部１２は、データ抽出条件を満たす場合におけるフロア２内の空気の実温度等を抽出し、フロア２内の実温度と空調機４の設定温度との差を異常判定用データとする条件を設定する。

異常判定条件設定部１３は、異常判定用データ作成条件設定部１２で作成された異常判定用データの作成条件に基づいて設定される異常判定用データに基づいて、フロア２内の異常を判定するための異常判定条件を設定する。例えば、フロア２内の実温度と空調機４の設定温度との差が１以上の場合、フロア２内に異常が発生していると判定する異常判定条件を設定する。すなわち、異常判定条件設定部１３は、異常判定用データ作成条件設定部１２で作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定するための条件を設定する。

異常判定部９は、データ抽出条件設定部１１で作成されたデータ抽出条件と、異常判定用データ作成条件設定部１２で設定された異常判定用データ作成条件と、異常判定条件設定部１３で作成された異常判定条件に基づいて、空調制御システム３の異常判定を行う。

記憶部２０は、異常判定制御部７における処理を実現するための記憶領域であり、蓄積データ格納領域２１と、判定ルールデータ格納領域２２と、判定用データセットデータ格納領域２３と、判定専用データ格納領域２４と、１次判定データ格納領域２５と、２次判定データ格納領域２６と、３次判定データ格納領域２７とを備えている。

蓄積データ格納領域２１は、上記空調システムデータに含まれる、空調機４の動作状態を示すステータスデータと、検出部５により検出されたフロア２内の実温度を示す実温度データと、空調機４が給気する給気温度を示す給気温度データと、空調機４の設定温度を示す設定温度データ等の様々なデータを、所定の時間毎に累積的に格納する領域である。

判定ルールデータ格納領域２２は、判定ルール設定部１０で設定された判定ルールデータを格納する領域である。具体的には、データ抽出条件設定部１１で設定したデータ抽出条件と、異常判定用データ作成条件設定部１２で作成した異常判定用データ作成条件と、異常判定条件設定部１３で設定した異常判定条件とを示す判定ルールデータを格納する領域である。この判定ルールデータ格納領域２２には、複数の判定ルール番号の各々に、データ抽出条件、異常判定用データ作成条件及び異常判定条件を示す判定ルールデータが紐付けられて格納されている。

判定用データセットデータ格納領域２３は、判定ルールデータ格納領域２２に格納された複数の判定ルール番号の中から空調機４の異常を判定するために指定された一の判定ルール番号に紐付けられたデータ抽出条件、異常判定用データ作成条件及び異常判定条件のそれぞれの項目に該当する各種収集データ番号を指定して、判定用データセットデータとして格納する領域である。この判定用データセットデータ格納領域２３には、指定された空調システムの各種収集データ番号が、判定用データセット番号で紐付けられて格納されている。

判定専用データ格納領域２４は、判定用データセットデータ格納領域２３に格納された収集データ番号と指定日時から、蓄積データ格納領域２１の空調システムデータを抽出し、判定専用データとして格納する領域である。

１次判定データ格納領域２５は、判定専用データ格納領域２４に格納された指定日時の判定専用データ（空調システムデータの一部）が抽出時間条件を除くデータ抽出条件を満たすか否かの判定結果（ＯＫ又はＮＧ）を格納する領域である。

２次判定データ格納領域２６は、１次判定データ格納領域２５に格納された判定結果（ＯＫ）のうち、抽出時間条件を満たすか否かの判定結果（ＯＫ又はＮＧ）を格納する領域である。

３次判定データ格納領域２７は、２次判定データ格納領域２６に格納された判定結果（ＯＫ）に対応する日時の空調機４の実温度データと、空調機４の設定温度データとを判定専用データ格納領域２４から抽出し、該抽出された実温度データ及び設定温度データを異常判定用データ作成条件に基づいて計算し、異常判定用データとして格納する領域である。

通信Ｉ／Ｆ３１は、空調機４及び検出部５と通信するための通信インターフェースである。具体的には、ステータスデータ、給気温度データ、設定温度データ及び実温度データ等が通信Ｉ／Ｆを介して空調機４及び検出部５から管理サーバ６に送信される。また、通信Ｉ／Ｆ３１は、空調機４を制御するための信号を出力する。具体的には、入力部３２で受け付けた操作入力に基づいて、空調機４の動作を制御する操作制御信号、空調機４の運転モードを制御する運転モード制御信号等を出力する。

入力部３２は、使用者の操作入力が行われるキーボードやマウスなどの機器である。具体的には、入力部３２での操作入力により、データ抽出条件設定部１１でデータ抽出条件が設定され、異常判定用データ作成条件設定部１２で異常判定用データ作成条件が設定され、異常判定条件設定部１３で異常判定条件が設定される。

表示部３４は、入力部３２での操作入力に基づく情報を表示し、空調機４の動作状態や運転モードの状態を表示し、また、異常判定部９により行われる空調機４の異常の判定結果等を表示するディスプレイである。

図２に示す異常判定制御部７の機能は、管理サーバ６に記憶されたソフトウェアによる情報処理が管理サーバ６のハードウェア資源を用いて実現するものである。例えば、異常判定部９は、管理サーバ６に記憶されたソフトウェアによりフロア２内の異常を判定する処理を実行するようにして実現する。

［１−３．管理サーバのデータ格納構成］
次いで、図３及び図４を参照して、管理サーバ６のデータ格納構成の具体例について説明する。図３は、図１における管理サーバ６の記憶部２０のデータ格納構成の具体例を示す図である。図４は、本第１の実施の形態におけるデータ抽出条件及び異常判定用データ作成条件の具体例を示す図である。

図３（ａ）に示すように、管理サーバ６では、入力部３２による操作入力に基づいて、判定ルール名称７１、データ抽出条件７２（以下、データ抽出条件７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，…，の各々を「データ抽出条件７２」ともいう。）、異常判定用データ作成条件７３（以下、異常判定用データ作成条件７３ａ，７３ｂ，７３ｃ，…，の各々を「異常判定用データ作成条件７３」ともいう。）及び異常判定条件７４（以下、異常判定条件７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，…，の各々を「異常判定条件７４」ともいう。）を設定することにより、判定ルール名称７１、データ抽出条件７２、異常判定用データ作成条件７３及び異常判定条件７４を、判定ルールデータ７５として判定ルール番号７６で紐付けて判定ルールデータ格納領域２２に格納する。

具体的には、判定ルール番号７６の「ＡＡ」に紐付けて、判定ルール名称７１として「室内温度判定」、データ抽出条件７２ａとして（動作状態Ａ１（空調機４がＯＮ））＝１（「１」は空調機４がＯＮを示す）、（給気温度Ａ２）＞２０（℃）、（継続回数）＝６（回）、異常判定用データ作成条件７３ａとして（フロア２内の実温度Ａ３）−（空調機４の設定温度Ａ４）＝（異常判定用データＨＤ）、異常判定条件７４ａとして、（異常判定用データＨＤ）＞１、又は−１＞（異常判定用データＨＤ）が設定され、これらのデータからなる判定ルールデータ７５が判定ルールデータ格納領域２２に格納される。

なお、判定ルールデータ格納領域２２には、複数の判定ルールデータ７５がそれぞれ判定ルール番号７６で紐付けて格納されており、データ抽出条件７２、異常判定用データ作成条件７３及び異常判定条件７４は、それぞれ複数種類設定されている中から入力部３２によりそれぞれいずれかを選択することにより設定してもよい。

図３（ｂ）に示すように、管理サーバ６では、空調機４の異常を判定するために用いる判定ルールデータ７５の各項目に該当するデータを指定するため、入力部３２による操作入力に基づいて判定ルール番号７６を指定する。また、判定ルールデータ７５の各項目に該当するデータを指定するのに用いられるデータを１セットとするための判定用データセット名称７７を入力或いは設定する。

そして、指定した判定ルール番号７６に対応する判定ルールデータ７５の各項目に該当する収集データ７８に対して収集データ番号を指定し、指定したデータ番号を判定用データセット番号７９で紐付けて、判定用データセットデータ格納領域２３に格納する。

具体的には、判定ルール番号７６の「ＡＡ」を指定し、判定ルール番号７６の「ＡＡ」に紐付けて格納された判定ルール名称７１、データ抽出条件７２ａ、異常判定用データ作成条件７３ａ及び異常判定条件７４ａを１セットとするための判定用データセット名称７７を示す「５階室内温度判定」を入力或いは設定する。

次いで、判定ルールデータ７５の各項目に該当する収集データ７８、例えば動作状態Ａ１を示すステータスデータに対し、収集データ番号「０００１０９１１１」を、給気温度Ａ２を示す給気温度データに対し、収集データ番号「０００１１０１０２」を指定する。この収集データ番号は、建物のフロア２内の空調機４や検出部５毎に割り当てられた固有の番号であり、この収集データ番号に基づいてデータを識別することができる。そして、判定ルール番号７６「ＡＡ」、判定用データセット名称７７「５階室内温度判定」、及び収集データ番号「０００１０９１１１」，「０００１１０１０２」を、判定用データセット番号７９「５ＡＡ」で紐付けて、判定用データセットデータ格納領域２３に格納する。

図３（ｃ）に示すように、管理サーバ６では、入力部３２による操作入力に基づいて、判定用データセット名称７７を指定すると共に、異常を判定する期間８０を指定する。そして、収集データ７８の中から指定された期間８０（指定日時）に該当する収集データ番号に基づいて、判定専用データ８１を蓄積データ格納領域２１から抽出し、判定専用データ格納領域２４に格納する。

具体的には、異常を判定する期間として、例えば２０１７年１月１日２１時から２４時を指定した場合には、この期間に該当するデータとして、図４に示すように、２１時から２４時までの期間内で、１０分毎の空調機４の動作状態Ａ１（図４では、ＯＮ＝１、ＯＦＦ＝０）、給気温度Ａ２、実温度Ａ３、及び設定温度Ａ４を示す各種データが抽出され、判定専用データ８１として判定専用データ格納領域２４に格納される。

そして、判定専用データ８１が抽出時間条件を除くデータ抽出条件７２ａを満たすか否かを判定した結果を、１次データ９１ａとして１次判定データ格納領域２５に格納する。具体的には、図４に示すように、動作状態Ａ１と給気温度Ａ２がデータ抽出条件７２ａとして（動作状態Ａ１）＝１（「１」は空調機４がＯＮを示す）、（給気温度Ａ２）＞２０（℃）の場合、この条件を満たすか否かを所定時間毎（例えば、１０分毎）に判定し、条件を満たす場合に１次データ９１ａとして「○」を１次判定データ格納領域２５に格納する。

また、１次データ９１ａのうち、さらに抽出時間条件を満たすものを２次データ９１ｂとして２次判定データ格納領域２６に格納する。具体的には、図４に示すように、データ抽出条件７２ａが（継続回数）＝６（回）の場合、１次データ９１ａを所定時間毎に判定し、データ抽出条件７２ａを初めて満たした時間から継続的に当該条件を満たした回数が６回、換言すれば２２：３０から２３：２０までの間の１次データ９１ａを２次データ９１ｂとして２次判定データ格納領域２６に格納する。

さらに、２次データ９１ｂに該当する所定時間毎に、異常判定用データ作成条件７３の項目に該当する実温度データ９１ｃ，設定温度データ９１ｄを判定専用データ８１から抽出し、抽出した実温度データ９１ｃ，設定温度データ９１ｄに基づいて算出した値を３次データ９１ｅとして３次判定データ格納領域２７に格納する。

具体的には、図４に示すように、例えば異常判定用データ作成条件７３が（フロア２内の実温度Ａ３）−（空調機４の設定温度Ａ４）の場合、判定専用データ８１から２０１７年１月１日２２：３０から２３：２０までの１０分毎の実温度データ９１ｃ，設定温度データ９１ｄを抽出する。そして、１０分毎に算出した（フロア２内の実温度Ａ３）−（空調機４の設定温度Ａ４）＝（異常判定用データＨＤ）の値を、３次データ９１ｅとして３次判定データ格納領域２７に格納する。

そして、管理サーバ６では、３次データ９１ｅの値が異常判定条件７４に該当するか否かを判定する。具体的には、異常判定条件７４ａとして（異常判定用データＨＤ）＞１、又は−１＞（異常判定用データＨＤ）が設定されている場合、異常判定用データＨＤの値が１を超えるか又は−１未満の場合にはフロア２内に異常が発生していると判定する。図４に示す例では、２２：３０から２３：２０までの１０分毎の３次データ９１ｅの値の平均値が１を超えているため、フロア２内に異常が発生していると判定する。なお、この異常判定用データＨＤの値は、（Ａ３−Ａ４）そのものであってもよいし、（Ａ３−Ａ４）の平均値、偏差等であっても良い。

［１−４．異常判定処理］
次いで、図５から図８を参照して、異常判定制御部７で行われる異常判定処理について説明する。図５は、本第１の実施の形態における異常判定処理の手順を示すフローチャートである。図６は、図５における判定ルール設定処理の手順を示すフローチャート、図７は、図５における判定用データセット作成処理の手順を示すフローチャート、図８は、図５における異常判定実行処理の手順を示すフローチャートである。なお、図６及び図７は判定ルール設定部１０、図８は異常判定部９で実行される処理である。

図５に示すように、ステップＳ１において、異常判定制御部７は、判定ルール設定部１０に判定ルール設定処理を行わせる。この判定ルール設定処理では、フロア２内の異常を判定する判定ルールとして、データ抽出条件、異常判定用データ作成条件及び異常判定条件を設定する。

ステップＳ２において、異常判定制御部７は、判定ルール設定部１０に判定用データセット作成処理を行わせる。この判定用データセット作成処理では、ステップＳ１において設定された判定ルールの各項目に該当する１又は複数の収集データ番号を指定して、前記設備の異常を判定するための判定用データセットデータを作成する。

ステップＳ３において、異常判定制御部７は、異常判定部９に異常判定処理を行わせる。この異常判定処理では、ステップＳ２において作成された判定用データセットデータに基づいて、すなわち該判定用データセットデータに含まれる上記収集データ番号に基づいて作成された異常判定用データと、ステップＳ１において設定された判定ルールに含まれる上記異常判定条件とに基づいて、フロア２内の異常を判定する。

次いで、判定ルール設定処理について説明する。図６に示すように、判定ルール設定処理では、ステップＳ１１において、判定ルール設定部１０は、入力部３２による操作入力により判定ルールの設定を行うための設定画面を表示部３４に表示し、次のステップＳ１２に進む。すなわち、フロア２内の異常を判定する判定ルールを入力するための入力画面を表示部３４に表示する。

ステップＳ１２において、判定ルール設定部１０は、入力部３２による操作入力に基づいて判定ルール名称７１を設定し、次のステップＳ１３に進む。

ステップＳ１３において、判定ルール設定部１０は、入力部３２による操作入力に基づいて、データ抽出条件７２を設定する処理をデータ抽出条件設定部１１に行わせ、次のステップＳ１４に進む。

また、ステップＳ１３において、判定ルール設定部１０は、入力部３２による操作入力に基づいて、データ抽出条件を最初に満たしたときから所定時間経過後の空調機４の動作状態を示すステータスデータと、給気温度を示す給気温度データとが抽出されるように抽出時間条件を設定する処理を継続回数設定部１４に行わせ、次のステップＳ１４に進む。

ステップＳ１４において、判定ルール設定部１０は、入力部３２による操作入力に基づいて、異常判定用データ作成条件７３を設定する処理を行わせ、次のステップＳ１５に進む。

ステップＳ１５において、判定ルール設定部１０は、入力部３２による操作入力に基づいて、異常判定条件７４を設定する処理を異常判定条件設定部１３に行わせ、ステップＳ１６に進む。

ステップＳ１６において、判定ルール設定部１０は、ステップＳ１２からステップＳ１５までの処理において設定した判定ルール名称７１、データ抽出条件７２、異常判定用データ作成条件７３及び異常判定条件７４を、判定ルールデータ７５として判定ルール番号７６で紐付けて判定ルールデータ格納領域２２に格納する。

次いで、判定用データセット作成処理について説明する。図７に示すように、判定用データセット作成処理では、ステップＳ２１において、判定ルール設定部１０は、空調機４の異常を判定するために用いる判定ルールデータ７５の各項目に該当するデータを指定するため、入力部３２による操作入力を行うための設定画面を表示部３４に表示し、次のステップＳ２２に進む。

ステップＳ２２において、判定ルール設定部１０は、入力部３２による操作入力に基づいて判定ルール番号７６を設定し、次のステップＳ２３に進む。

ステップＳ２３において、判定ルール設定部１０は、入力部３２による操作入力に基づいて、判定ルール番号７６に対応する判定ルールデータ７５を設定するのに用いられるデータを１セットとするための判定用データセット名称７７を設定し、次のステップＳ２４に進む。

ステップＳ２４において、判定ルール設定部１０は、ステップＳ２２において設定した判定ルール番号７６に紐付けされた判定ルールに基づく収集データ番号を指定する。

ステップＳ２５において、判定ルール設定部１０は、ステップＳ２２からステップＳ２４までの処理において設定した判定ルール番号７６と、判定用データセット名称７７と、収集データ番号とを、判定用データセット番号７９で紐付けて、判定用データセットデータとして判定用データセットデータ格納領域２３に格納し、判定用データセット作成処理を終了する。

次いで、異常判定実行処理について説明する。図８に示すように、異常判定実行処理では、ステップＳ３１において、異常判定部９は、空調機４の異常判定を行わせるための受付画面を表示部３４に表示し、次のステップＳ３２に進む。

ステップＳ３２において、異常判定部９は、図６のステップＳ１２で設定した判定ルール名称７１を指定し、次のステップＳ３３に進む。

ステップＳ３３において、異常判定部９は、ステップＳ２３で設定した判定用データセット名称７７を指定し、次のステップＳ３４に進む。

ステップＳ３４において、異常判定部９は、入力部３２による操作入力に基づいて判定する期間８０を指定し、次のステップＳ３５に進む。

ステップＳ３５において、異常判定部９は、ステップＳ２５で格納された収集データ番号とステップＳ３４で指定された期間８０とに基づいて、該指定された期間８０に該当する判定専用データ８１を蓄積データ格納領域２１から抽出し、判定専用データ格納領域２４に格納して、次のステップＳ３６に進む。

ステップＳ３６において、異常判定部９は、判定専用データ８１のうち抽出時間条件を除くデータ抽出条件７２ａを満たす判定結果（ＯＫ）を、１次データ９１ａとして１次判定データ格納領域２５に格納し、次のステップＳ３７に進む。

ステップＳ３７において異常判定部９は、ステップＳ３６で１次判定データ格納領域２５に格納した１次データ９１ａのうち、抽出時間条件を満たす判定結果（ＯＫ）を、２次データ９１ｂとして２次判定データ格納領域２６に格納し、次のステップＳ３８に進む。

ステップＳ３８において、異常判定部９は、ステップＳ３７で２次判定データ格納領域２６に格納した２次データ９１ｂに該当する時刻毎の実温度データ９１ｃ，設定温度データ９１ｄを判定専用データ８１から抽出し、抽出した実温度データ９１ｃ，設定温度データ９１ｄに、異常判定用データ作成条件７３で設定された計算式を適用して算出した値（例えば、ＨＤ＝Ａ３−Ａ４）を、３次データ９１ｅとして３次判定データ格納領域２７に格納し、次のステップＳ３９に進む。

ステップＳ３９において、異常判定部９は、３次データ９１ｅの値、すなわち異常判定用データＨＤが異常判定条件７４を満たすか否かの判定を実行し、異常判定実行処理を終了する。すなわち、異常判定部９は、３次データ９１ｅの値が異常判定条件７４で設定された条件式を満たさない場合にはフロア２内に異常が発生していないと判定し、３次データ９１ｅの値が上記条件式を満たす場合にはフロア２内に異常が発生していると判定する。これにより、フロア２内に異常が発生していると判断した場合には、フロア２内に配置された空調機４や検出部５の異常を調べる契機となり、空調機４や検出部５の故障を未然に防止することができる。

上記の異常判定処理によれば、建物のフロア２内の空調制御システム３における異常を判定する際、データ抽出条件、異常判定用データ作成条件及び異常判定条件を個別に設定、選択することできるので、異常判定ルールを容易に設定、選択することができ、また、空調制御システム３の異常を精度良く予見することができる。

また、データ抽出条件、異常判定用データ作成条件及び異常判定条件のうちのいずれか又は複数を変更するだけで異常判定ルールを変更できるので、ベースとなる異常判定用プログラムを新たに構築することなく、判定ルールを容易に変更することができる。

［２］第２の実施の形態
次いで、図９を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る異常判定システム１００について説明する。なお、第２の実施の形態に係る異常判定システム１００は、プラント等に適用された配管制御システム１０１において、当該配管制御システム１０１における流路内の液体（被検出対象物）の物理量である流量を変更可能に設けられたポンプ装置と、液体の温度及び流量をそれぞれ検出する２つの検出部と、該２つの検出部により検出された液体の温度及び流量に基づいてプラントの配管１０２或いはその近傍の異常を判定するものである。以下では、第１の実施の形態に係る異常判定システム１と同等の構成等については説明を省略するものとし、第１の実施の形態に係る異常判定システム１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明する。

［２−１．異常判定システムの全体構成］
図９に示すように、異常判定システム１００は、設備に設けられたプラントの配管１０２の流路において一の経路１０３ａと他の経路１０３ｂとの合流部１０３ｃに設けられたポンプ装置１０４と、ポンプ装置１０４とインターネットを介して通信可能な管理サーバ６とを主要な構成要素として備えている。尚、図９では２経路から１経路となる合流部を例に挙げて説明しているが、これに限らず、１経路から２経路となる分岐部に異常判定システムが適用されてもよい。また、複数経路から複数経路となる合流・分岐部に異常判定システムが適用されてもよい。

一の経路１０３ａには、一の経路１０３ａを流れる第１流体の温度を検出する温度センサである第１温度検出部１０４ａと、一の経路１０３ａを流れる第１流体の流量を検出する流量センサである第１流量検出部１０４ｂとが設けられている。

他の経路１０３ｂには、他の経路１０３ｂを流れる第２流体の温度を検出する温度センサである第２温度検出部１０５ａと、他の経路１０３ｂを流れる第２流体の流量を検出する流量センサである第２流量検出部１０５ｂとが設けられている。

合流部１０３ｃには、第１流体及び第２流体の上流側から下流側への流体の流す動力としてのポンプ装置１０４と、合流部１０３ｃを流れる第３流体の温度を検出する温度センサである合流温度検出部１０６ａと、合流部１０３ｃを流れる第３流体の流量を検出する流量センサである合流流量検出部１０６ｂとが設けられている。

管理サーバ６は、ポンプ装置１０４の動作状態（ＯＮ又はＯＦＦ）、第１温度検出部１０４ａ、第２温度検出部１０５ａ及び合流温度検出部１０６ａにより検出された流体の温度、並びに第１流量検出部１０４ｂ、第２流量検出部１０５ｂ、合流流量検出部１０６ｂにより検出された流量を示す各種データからなる配管システムデータを、ポンプ装置或いは各検知部から受信する。そして、この配管システムデータを所定の時間毎（以下、１０分毎）に記憶し、この記憶した配管システムデータに基づいてプラントの異常を判定する。

［２−２．異常判定処理］
次いで、管理サーバ６で行われるポンプ装置１０４の異常判定処理について説明する。はじめに、管理サーバ６は、ポンプ装置１０４の異常を判定する判定ルールとして、データ抽出条件、異常判定用データ作成条件及び異常判定条件を設定する判定ルール設定処理を行う。

管理サーバ６は、ポンプ装置１０４の動作状態を示すステータスデータに基づいてデータ抽出条件を設定する。例えば、（ポンプ装置１０４の動作状態Ａ４）＝１（「１」はポンプ装置１０４がＯＮであることを示す）、（ポンプ装置１０４の動作継続回数）＝６（回）を設定する。すなわち、配管システムデータを１０分毎に管理サーバ６で記憶している場合において、ポンプ装置１０４が５０分連続して動作していることをデータ作成条件として設定する。

また、管理サーバ６は、上記データ抽出条件を満たす場合における一の経路１０３ａを流れる第１流体の温度及び流量、並びに他の経路１０３ｂを流れる第２流体の温度及び流量、並びに合流部１０３ｃを流れる第３流体の流量に基づいて、異常判定用データを作成する。例えば、第１流体の温度及び流量、第２流体の温度及び流量並びに合流部１０３ｃを流れる第３流体の流量から算出される第３流体の予想温度と第３流体の実温度との差が１℃を超えたときの回数を設定する。

具体的には、（合流部１０３ｃを流れる流体の温度Ａ１）＞（第１流体の温度Ａ２×第１流体の流量Ａ６）＋（第２流体の温度Ａ３×第２流体の流量Ａ７）／（合流部１０３ｃを流れる流体の流量Ａ５）＋１を満たすか、又は、（第１流体の温度Ａ２×第１流体の流量Ａ６）＋（第２流体の温度Ａ３×第２流体の流量Ａ７）／（合流部１０３ｃを流れる流体の流量Ａ５）−１＞（合流部１０３ｃを流れる流体の温度Ａ１）を満たすときにカウントし、カウントされた回数（合計個数）を、異常判定用データとする。

そして、プラントの配管１０２を含むプラントの異常を判定するための異常判定条件を設定する。例えば、異常判定条件を（異常判定用データ）≧１と設定した場合、１日のうち１回でも異常判定条件を満たしたときに、プラントの配管１０２或いはその近傍に異常が発生していると判定する。

上記のように設定された判定ルールは、判定ルールデータ７５として判定ルール番号７６で紐付けて判定ルールデータ格納領域２２に格納される（図２及び図３参照）。なお、判定ルールデータ格納領域２２には、複数の判定ルールデータが格納されており、データ抽出条件、異常判定用データ及び異常判定条件は、それぞれ複数種類設定されている中から入力部３２（図２参照）でいずれかを選択することにより設定してもよい。

次いで、管理サーバ６は、上記設定された判定ルールの各項目に該当する１又は複数の収集データ番号を指定して、プラントの異常を判定するための判定用データセットデータを作成する判定用データセット作成処理を実行するが、判定用データセット作成処理は、上述した第１の実施の形態における判定用データセット作成処理と概略同様の処理であるため、説明を省略する。

その後、管理サーバ６は、判定用データセット作成処理において作成された判定用データセットデータに基づいて、プラントの異常を判定する処理を実行する。すなわち、異常判定条件を満たす場合に、プラントの配管１０２或いはその近傍に異常が発生していると判定する。

具体的には、異常判定条件を１回も満たさない場合にはプラントの配管１０２の流路を流れる流体に異常が発生していないと判定し、異常判定条件を１回でも満たした場合にはプラントの配管１０２或いはその近傍に異常が発生していると判断する。すなわち、プラントの配管１０２の流路を流れる流体の温度が高い又は低い、流量が多い又は少ない等の異常が発生していると判定する。

上記の異常判定処理によれば、プラントの配管１０２或いはその近傍における異常を判定する際、データ抽出条件、異常判定用データ作成条件及び異常判定条件を個別に設定、選択することができるので、異常判定ルールを容易に設定、選択することができ、また、プラントの配管１０２或いはその近傍の異常を精度良く予見することができる。

特に、多数の合流・分岐部が配された大規模プラントに配管制御システム１０１が適用される場合、従来の配管制御システムでは、最下流の流体に生じた異常を発見しても、流路が多数あるため、プラントの何れの部分に異常が発生しているのかを特定することは不可能である。一方、上述した異常判定システム１００を各合流部・分岐部に適用すれば、異常が発生している配管或いはその近傍の部分を特定することができる。

［３．他の実施の形態］
なお、上述した実施の形態における異常判定システム１，１００は、空調機４又はポンプ装置１０４の異常を判定する場合について説明したが、例えば、除湿器、加湿器、換気装置、空気清浄装置、扇風機等の他の機器の異常を判定するのに用いてもよい。

また、上述した実施の形態におけるデータ抽出条件、異常判定用データ作成条件、異常条件は例示であり、任意に設定することができる。また、データ抽出条件、異常判定用データ作成条件、異常条件はそれぞれ複数設定してもよい。さらに、データ抽出条件、異常判定用データ作成条件、異常条件を複数設定する場合には、ＡＮＤ又はＯＲの条件をさらに設定してもよい。

さらに、上述した第２の実施の形態では、異常判定用データ作成条件は、第１流体の温度及び流量、第２流体の温度及び流量、合流部１０３ｃを流れる流体の流量との関係で導き出される予想温度が実際の温度より１度以上の差がある回数である場合について説明しているが、これに限らず、ポンプ装置１０４のバルブ開度が所定の割合を連続して超えている回数を異常判定用データ作成条件としてもよい。

また、上記異常判定システム１，１００の発明をコンピュータによって実行される異常判定方法、コンピュータに読み取り可能な記録媒体に記録されたプログラム、プログラムを記録したコンピュータに読み取り可能な記録媒体として捉えても、上述した実施の形態と同様の作用効果が得られる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に係る異常判定システム１，１００に限定されるものではなく、本発明の概念及び特許請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含む。また、上述した課題及び効果の少なくとも一部を奏するように、各構成を適宜選択的に組み合わせてもよい。

１，１００ 異常判定システム
２ フロア（第１の実施の形態）
３ 空調制御システム（第１の実施の形態）
４ 空調機（第１の実施の形態）
５ 検出部（第１の実施の形態）
６ 管理サーバ
７ 異常判定制御部
９ 異常判定部
１０ 判定ルール設定部
１１ データ抽出条件設定部
１２ 異常判定用データ作成条件設定部
１３ 異常判定条件設定部
１４ 継続回数設定部
２０ 記憶部
２１ 蓄積データ格納領域
２２ 判定ルールデータ格納領域
２３ 判定用データセットデータ格納領域
２４ 判定専用データ格納領域
２５ １次判定データ格納領域
２６ ２次判定データ格納領域
２７ ３次判定データ格納領域
３１ 通信Ｉ／Ｆ
３２ 入力部
３４ 表示部
７１ 判定ルール名称
７２ データ抽出条件
７３ 異常判定用データ作成条件
７４ 異常判定条件
７５ 判定ルールデータ
７６ 判定ルール番号
７７ 判定用データセット名称
７８ 収集データ
７９ 判定用データセット番号
８０ 期間
８１ 判定専用データ
９１ａ １次データ
９１ｂ ２次データ
９１ｃ 実温度データ
９１ｄ 実設定温度データ
９１ｅ ３次データ
１０１ 配管制御システム（第２の実施の形態）
１０２ プラントの配管（第２の実施の形態）
１０３ａ 経路（第２の実施の形態）
１０３ｂ 経路（第２の実施の形態）
１０３ｃ 合流部（第２の実施の形態）
１０４ ポンプ装置（第２の実施の形態）
１０４ａ 第１温度検出部（第２の実施の形態）
１０４ｂ 第１流量検出部（第２の実施の形態）
１０５ａ 第２温度検出部（第２の実施の形態）
１０５ｂ 第２流量検出部（第２の実施の形態）
１０６ａ 合流温度検出部（第２の実施の形態）
１０６ｂ 合流流量検出部（第２の実施の形態）

Claims (8)

1. 設備における被検出対象物の物理量を変更可能に配置された機器と、前記被検出対象物の物理量を検出する少なくとも１つの検出部と、前記少なくとも１つの検出部により検出された前記物理量に基づいて前記設備の異常を判定する異常判定制御部とを備える異常判定システムであって、
   前記異常判定制御部は、
   前記機器の動作状態を示すステータスデータを含むデータ抽出条件を設定するデータ抽出条件設定部と、
   前記少なくとも１つの検出部により検出された前記被検出対象物の物理量を示す物理量データのうち、前記データ抽出条件を満たす場合の物理量データを抽出し、当該抽出した物理量データに基づいて前記設備の異常判定に用いられる異常判定用データを作成する条件を設定する異常判定用データ作成条件設定部と、
   前記異常判定用データについて、前記設備の異常を判定するための異常判定条件を設定するための異常判定条件設定部と、
   前記異常判定用データと前記異常判定条件に基づいて、前記設備の異常判定を行う異常判定部と、を備え、
   前記被検出対象物は、前記設備に設けられた流路を流れる流体であり、
   前記機器は、前記流路における前記被検出対象物の流量を変更可能な流体供給装置であり、
   前記流路は、第１経路と、第２経路と、前記第１経路の端部と前記第２経路の端部とが接続される第３経路と、を有し、
   前記少なくとも１つの検出部は、前記第１経路を流れる第１流体の温度及び流量、前記第２経路を流れる第２流体の温度及び流量、並びに前記第３経路を流れる第３流体の温度及び流量を検出可能に構成され、
   前記データ抽出条件設定部は、前記流体供給装置の動作状態を示すステータスデータに基づいてデータ抽出条件を設定し、
   前記異常判定用データ作成条件設定部は、前記データ抽出条件を満たす場合における前記第１流体の温度及び流量、前記第２流体の温度及び流量、並びに前記第３流体の温度及び流量に基づいて前記異常判定用データを作成する条件を設定し、
   前記異常判定条件設定部は、作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定する
   ための条件を設定する、ことを特徴とする異常判定システム。
2. 前記データ抽出条件設定部は、前記物理量データが前記データ抽出条件を連続的に満たす場合に、前記物理量データが前記データ抽出条件を最初に満たしたときから所定時間経過後の物理量データが抽出されるように、抽出時間条件を設定することを特徴とする、請求項１記載の異常判定システム。
3. 前記第３経路は、前記第１経路と前記第２経路とが合流する合流部であり、
   前記流体供給装置は、前記合流部に配設され、
   前記異常判定用データ作成条件設定部は、前記データ抽出条件を満たす場合における前記第１流体の温度及び流量、前記第２流体の温度及び流量、並びに前記第３流体の流量から算出される第３流体の予測温度と、前記第３流体の温度に基づく実温度との差が所定温度を超えたときの回数に基づいて前記異常判定用データを作成する条件を設定し、前記異常判定条件設定部は、作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定するための条件を設定する、ことを特徴とする、請求項１又は２記載の異常判定システム。
4. 設備における被検出対象物の物理量である第１物理量を変更可能に配置された機器と、前記第１物理量を検出する検出部と、前記検出部により検出された前記第１物理量に基づいて前記設備の異常を判定する異常判定制御部とを備える異常判定システムであって、
   前記異常判定制御部は、
   前記機器の動作状態を示すステータスデータと前記機器における前記被検出対象物の物理量であって前記第１物理量を変更可能な第２物理量とを含むデータ抽出条件を設定するデータ抽出条件設定部と、
   前記第１物理量と前記第２物理量とを示す物理量データのうち、前記データ抽出条件を満たす場合の物理量データを抽出し、当該抽出した物理量データに基づいて前記設備の異常判定に用いられる異常判定用データを作成する条件を設定する異常判定用データ作成条件設定部と、
   前記異常判定用データについて、前記設備の異常を判定するための異常判定条件を設定するための異常判定条件設定部と、
   前記異常判定用データと前記異常判定条件に基づいて、前記設備の異常判定を行う異常判定部と、を備え、
   前記データ抽出条件設定部は、前記データ抽出条件が連続的に満たされる場合に、前記データ抽出条件が最初に満たされたときから所定時間経過後の前記第１物理量と前記第２物理量が抽出されるように、抽出時間条件を設定する、ことを特徴とする異常判定システム。
5. 前記機器は、建物に適用された空調制御システムにおいて前記建物の空調対象空間内の空気の温度を制御可能に設置された空調機であり、
   前記第１物理量は、前記空調対象空間内における空気の温度であり、
   前記第２物理量は、前記空調機が給気する給気温度であり、
   前記データ抽出条件設定部は、前記空調機の動作状態を示すステータスデータ及び前記給気温度を示す給気温度データを含むデータ抽出条件を設定し、
   前記異常判定用データ作成条件設定部は、前記データ抽出条件を満たす場合における前記空気の温度と前記給気温度とを抽出し、当該抽出した空気の温度と給気温度とに基づいて前記異常判定用データを作成する条件を設定し、
   前記異常判定条件設定部は、作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定するための条件を設定する、ことを特徴とする、請求項４記載の異常判定システム。
6. コンピュータによって実行される、設備における被検出対象物の物理量に基づいて前記設備の異常を判定する異常判定方法であって、
   前記物理量を変更可能に配置された機器の動作状態を示すステータスデータを含むデータ抽出条件を設定するデータ抽出条件設定ステップと、
   少なくとも１つの検出部により検出された前記被検出対象物の物理量を示す物理量データのうち、前記データ抽出条件を満たす場合の物理量データを抽出し、当該抽出した物理量データに基づいて前記設備の異常判定に用いられる異常判定用データを作成する条件を設定する異常判定用データ作成条件設定ステップと、
   前記異常判定用データについて、前記設備の異常を判定するための異常判定条件を設定するための異常判定条件設定ステップと、
   前記異常判定用データと前記異常判定条件に基づいて、前記設備の異常判定を行う異常判定ステップと、を有し、
   前記被検出対象物は、前記設備に設けられた流路を流れる流体であり、
   前記機器は、前記流路における前記被検出対象物の流量を変更可能な流体供給装置であり、
   前記流路は、第１経路と、第２経路と、前記第１経路の端部と前記第２経路の端部とが接続される第３経路と、を有し、
   前記少なくとも１つの検出部は、前記第１経路を流れる第１流体の温度及び流量、前記第２経路を流れる第２流体の温度及び流量、並びに前記第３経路を流れる第３流体の温度及び流量を検出可能に構成され、
   前記データ抽出条件設定ステップでは、前記流体供給装置の動作状態を示すステータスデータに基づいてデータ抽出条件を設定し、
   前記異常判定用データ作成条件設定ステップでは、前記データ抽出条件を満たす場合における前記第１流体の温度及び流量、前記第２流体の温度及び流量、並びに前記第３流体の温度及び流量に基づいて前記異常判定用データを作成する条件を設定し、
   前記異常判定条件設定ステップでは、作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定するための条件を設定する、ことを特徴とする、異常判定方法。
7. 設備における被検出対象物の物理量に基づいて前記設備の異常を判定する異常判定方法をコンピュータに実行させる、コンピュータに読み取り可能な記録媒体に記録されたプログラムであって、
   前記物理量を変更可能に配置された機器の動作状態を示すステータスデータを含むデータ抽出条件を設定するデータ抽出条件設定ステップと、
   少なくとも１つの検出部により検出された前記被検出対象物の物理量を示す物理量データのうち、前記データ抽出条件を満たす場合の物理量データを抽出し、当該抽出した物理量データに基づいて前記設備の異常判定に用いられる異常判定用データを作成する条件を設定する異常判定用データ作成条件設定ステップと、
   前記異常判定用データについて、前記設備の異常を判定するための異常判定条件を設定するための異常判定条件設定ステップと、
   前記異常判定用データと前記異常判定条件に基づいて、前記設備の異常判定を行う異常判定ステップと、を備え、
   前記被検出対象物は、前記設備に設けられた流路を流れる流体であり、
   前記機器は、前記流路における前記被検出対象物の流量を変更可能な流体供給装置であり、
   前記流路は、第１経路と、第２経路と、前記第１経路の端部と前記第２経路の端部とが接続される第３経路と、を有し、
   前記少なくとも１つの検出部は、前記第１経路を流れる第１流体の温度及び流量、前記第２経路を流れる第２流体の温度及び流量、並びに前記第３経路を流れる第３流体の温度及び流量を検出可能に構成され、
   前記データ抽出条件設定ステップでは、前記流体供給装置の動作状態を示すステータスデータに基づいてデータ抽出条件を設定し、
   前記異常判定用データ作成条件設定ステップでは、前記データ抽出条件を満たす場合に
   おける前記第１流体の温度及び流量、前記第２流体の温度及び流量、並びに前記第３流体の温度及び流量に基づいて前記異常判定用データを作成する条件を設定し、
   前記異常判定条件設定ステップでは、作成された異常判定用データの正常或いは異常を判定するための条件を設定する、ことを特徴とする、プログラム。
8. 請求項７記載のプログラムを記録したコンピュータに読み取り可能な記録媒体。

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