JP6946140B2 - 吸着ノズルおよび部品装着機 - Google Patents

Description

本発明は、吸着ノズルおよび部品装着機に関するものである。

吸着ノズルは、回路基板に部品を装着する部品装着機の装着ヘッドに取り付けられる。吸着ノズルは、負圧エアを供給されて部品を吸着して保持する。吸着ノズルには、対象とする部品の種別に応じて種々の形状や寸法が存在する。特許文献１には、比較的大型の部品であって、部品の幅に対して長手方向の長さがある程度長い細長い部品を、複数の吸着ノズルを用いて保持する構成が開示されている。

特開２００３−００８２９３号公報

ところで、基板製品の多品種化や生産ラインの自動化などに伴って部品装着機が装着可能とする部品の多様化が要求される。このような部品には、部品の幅に対して長手方向の長さが長い長尺部品が含まれることがある。長尺部品は、汎用的な部品と比較して弾性変形しやすく、変形した状態で吸着ノズルにより採取され、その状態で回路基板に装着されることがある。そうすると、長尺部品の一部が隣り合う部品と接近し過ぎるなど装着不良を発生させるおそれがある。

本明細書は、対象とする長尺部品を好適に採取できるとともに、本来の形状に復帰した状態で回路基板に装着可能な吸着ノズルおよび部品装着機を提供することを目的とする。

本明細書で開示する吸着ノズルは、長手方向に直交する方向の幅に対して長手方向の長さが長い長尺部品を負圧エアにより吸着して保持する吸着ノズルであって、負圧エアを流通させるエア通路の開口部がそれぞれ形成され、前記長尺部品の上面のうち互いに離間した複数箇所を吸着する複数の吸着部を備え、複数の前記吸着部のそれぞれは、前記長尺部品を吸着した状態において前記長尺部品の弾性復帰を許容する。

本明細書で開示する部品装着機は、上記の前記吸着ノズルと、前記吸着ノズルにより吸着された前記長尺部品を回路基板に装着する装着処理を実行する制御装置と、を備える。

このような吸着ノズルおよび部品装着機の構成によると、長尺部品は、長手方向に互いに離間した複数の吸着部に吸着して保持される。このとき、長尺部品のうち複数の吸着部のいずれにも接触していない部分が吸着等によって規正されておらず、長尺部品を弾性復帰しやすい状態で保持することができる。これにより、吸着ノズルは、仮に長尺部品を弾性変形した状態で採取したとしても、搬送中に長尺部品の弾性復帰を促すことができる。よって、吸着ノズルは、複数の吸着部によって長尺部品を好適に採取できるとともに、本来の形状に復帰した状態で回路基板に装着可能とすることができる。結果として、装着処理の精度を向上できる。

実施形態における吸着ノズルを用いて装着処理を実行する部品装着機の構成を示す平面図である。 図１におけるトレイの一部および長尺部品を示す平面図である。 図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す拡大図である。 図１における装着ヘッドおよび吸着ノズルを示す側面図である。 図４におけるＶ方向視の吸着ノズルであり、長尺部品を透視して示す図である。 吸着ノズルに保持された長尺部品の弾性復帰の前後の状態を実際の変形量を誇張して示す図である。

１．実施形態
１−１．部品装着機の構成
部品装着機１は、図１に示すように、基板搬送装置１０、部品供給装置２０、部品移載装置３０、部品カメラ６１、基板カメラ６２、および制御装置７０を備える。基板搬送装置１０は、ベルトコンベアなどにより構成され、回路基板（以下、単に「基板」と称する）９０を搬送方向へと順次搬送する。基板搬送装置１０は、部品装着機１の機内に基板９０を搬入するとともに、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１０は、部品装着機１による部品の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１の機外に搬出する。

部品供給装置２０は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置２０は、Ｘ軸方向に並んでセットされたフィーダ２１を有する。フィーダ２１は、多数の部品が収納されたキャリアテープを送り移動させて、フィーダ２１の先端側に位置する供給位置において部品を採取可能に供給する。また、部品供給装置２０は、例えばジャンパー部品やリード部品などの比較的大型の電子部品を、パレット２２に載置されたトレイ２５上に並べた状態で供給する。

部品供給装置２０は、上下方向に区画された収納棚２３に複数のパレット２２を収納し、装着処理に応じて所定のパレット２２を引き出してジャンパー部品などの電子部品を供給する。本実施形態において、トレイ２５は、図２に示すように、ジャンパー部品などの長尺部品８０を個々に収納可能な長細い収納部２５１が並んで形成されている。トレイ２５には、収納部２５１に収納された長尺部品８０の水平方向の移動を規制するように、トレイ２５の底部から上方に突起する突起部２５２が形成されている。長尺部品８０の詳細については吸着ノズル５０の詳細構成において説明する。

部品移載装置３０は、ヘッド駆動装置３１および移動台３２を備える。ヘッド駆動装置３１は、直動機構により移動台３２を水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動可能に構成されている。移動台３２には、図示しないクランプ部材により装着ヘッド４０が交換可能に固定される。装着ヘッド４０は、部品供給装置２０により供給される部品を採取して基板９０の所定の装着位置に装着する。

装着ヘッド４０には、１または複数の吸着ノズル５０が着脱可能に設けられる。本実施形態において、装着ヘッド４０は、１つの吸着ノズル５０をＺ軸方向に移動可能に、且つＺ軸に平行なθ軸周りに回転可能に保持する。装着ヘッド４０は、図示しないバルブの切り換えによって、負圧エア供給源４１に接続された負圧エア通路と吸着ノズル５０のエア通路５３とを連通させて、吸着ノズル５０に負圧エアを供給する。上記の負圧エア供給源４１は、例えば装着ヘッド４０の内部に設けられた負圧ポンプ等により構成される。吸着ノズル５０の詳細構成については後述する。

部品カメラ６１、および基板カメラ６２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子を有するデジタル式の撮像装置である。部品カメラ６１、および基板カメラ６２は、外部入力される制御信号に基づいて撮像を行う。部品カメラ６１、および基板カメラ６２は、撮像により取得した画像データを送出する。

部品カメラ６１は、光軸がＺ軸方向の上向きとなるように部品装着機１の基台に固定されている。部品カメラ６１は、吸着ノズル５０に保持された部品を下方から撮像可能に構成されている。基板カメラ６２は、光軸がＺ軸方向の下向きとなるように部品移載装置３０の移動台３２に設けられる。基板カメラ６２は、基板９０を上方から撮像可能に構成されている。

制御装置７０は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成される。制御装置７０は、基板９０に部品を装着する装着処理において、部品装着機１に複数設けられた各種センサから出力される情報、画像処理などによる認識処理の結果を入力する。そして、制御装置７０は、制御プログラムや予め設定されている規定の装着条件などに基づいて、部品移載装置３０へと制御信号を送出する。これにより、装着ヘッド４０に保持された吸着ノズル５０の位置および回転角度が制御される。

具体的には、制御装置７０は、部品供給装置２０により供給された部品を、負圧エアを供給された吸着ノズル５０により吸着して、部品カメラ６１により撮像する。制御装置７０は、部品カメラ６１の撮像により取得した画像データに基づいて、吸着ノズル５０に対する部品の姿勢を認識する。このとき、制御装置７０は、例えば基板９０に対する位置決めの基準位置となる部品の部位や、部品の外観で特徴的な部位を画像処理により認識することによって、部品の姿勢を認識する。

そして、制御装置７０は、図４に示すように、基板９０における所定位置の上方へと装着ヘッド４０を移動させる。このとき、制御装置７０は、画像処理により認識された部品の姿勢に基づいて吸着ノズル５０の位置および角度を補正する。そして、制御装置７０は、吸着ノズル５０を下降させて基板９０に部品を装着する。基板９０に装着された部品は、例えば基板９０の上面に予め塗布されている接合材（例えば、クリームはんだ）の粘性などによるタック力で保持される。制御装置７０は、上記のようなピックアンドプレースサイクルを繰り返すことにより、基板９０に部品を装着する装着処理を実行する。

１−２．吸着ノズル５０の詳細構成
吸着ノズル５０は、装着対象の部品に応じて種類を選択され、装着ヘッド４０に手動または自動で取り付けられる。装着対象となる部品には、フィーダ２１に装填されたキャリアテープに収容された部品や、トレイ２５などに並べて載置された状態で供給される比較的大型のジャンパー部品やリード部品が含まれる。なお、部品供給装置２０は、上記の他に、長尺部品８０をキャリアテープのキャビティに収納してフィーダ２１により供給する構成も採用し得る。

本実施形態の吸着ノズル５０は、ジャンパー部品などの長尺部品８０を対象とした専用の保持部材である。本実施形態において、長尺部品８０は、図２に示すように、２つの端子部８１，８２と、本体部８３とを有する。２つの端子部８１，８２のそれぞれは、長尺部品８０の両端部に形成され、装着される基板９０の電極９１，９２（図４を参照）に電気的に接続される部位である。

長尺部品８０の本体部８３は、２つの端子部８１，８２を連結する。本実施形態において、本体部８３は、図２に示すように、長尺部品８０の長手方向に延伸し、上方視で直線状に形成される。また、本実施形態において、本体部８３の幅Ｄ１は、何れの部位においても等しく形成されており、長尺部品８０の最小幅Ｄｍに相当する（Ｄｍ＝Ｄ１）。ここで、本実施形態においては、長尺部品８０は、最小幅Ｄｍに対して長手方向の長さＬｔが４０倍以上となっている（Ｌｔ≧４０＊Ｄｍ）。

本実施形態において、長尺部品８０は、導電性を有する例えば金属材料により形成される。また、長尺部品８０は、図２に示すように、部品供給装置２０におけるトレイ２５の収納部２５１に載置された状態で供給される。そのため、長尺部品８０は、吸着ノズル５０により吸着される際に吸着ノズル５０から受ける外力によってトレイ２５に押圧されて弾性変形し得る弾性を有する。

より詳細には、本実施形態において、長尺部品８０は、図３に示すように、長手方向に垂直な断面が矩形状を呈し、厚みが長尺部品８０の最小幅Ｄｍよりも小さく形成されている。さらに、トレイ２５の突起部２５２は、長尺部品８０の水平方向の移動を規制する側面が傾斜している。そのため、トレイ２５の振動などによって長尺部品８０の一部が突起部２５２の側面に僅かに乗り上げた状態で供給されていると（図３の破線で示す長尺部品８０を参照）、上方から吸着ノズル５０から外力を加えられた際に上方視において弾性変形し得る（図６の破線で示す長尺部品８０を参照）。

上記のように、最小幅Ｄｍに対して長さＬｔが長い長尺部品８０は、曲げ剛性が小さく、吸着の際の外力の他に、例えば部品供給装置２０のトレイ２５における収納状態によっては弾性変形した状態で供給され得る。ここで、上記のような長尺部品８０の変形は、一時的な弾性変形であることから、例えば長尺部品８０がトレイ２５から取り出された後に本来の形状に弾性復帰することが期待される。

しかしながら、汎用的な吸着ノズルを長尺部品８０の形状に合わせて構成すると、吸着力に対して長尺部品８０の弾性力が小さい。そのため、長尺部品８０は、弾性変形した状態で吸着ノズルに採取されると、その状態を吸着力により維持され基板９０に装着されることがある。さらに、基板９０に装着された後も上記のタック力に対して長尺部品８０の弾性力が小さいと、長尺部品８０は、弾性変形した状態を維持されることになる。

そこで、本実施形態の吸着ノズル５０は、上記のような長尺部品８０が採取時に弾性変形していたとしても、長尺部品８０を採取してから装着するまでの搬送中に、長尺部品８０の弾性力により本来の形状に復帰可能とする構成を採用する。具体的には、吸着ノズル５０は、図４に示すように、胴体軸５１と、ノズル本体５２と、エア通路５３と、２つの吸着部５４と、２つの支持部５５とを備える。

胴体軸５１は、筒状に形成され、装着ヘッド４０に着脱可能に取り付けられる部位である。ノズル本体５２は、全体形状としてはブロック状に形成されている。エア通路５３は、上記のように装着ヘッド４０のバルブの切り換えにより負圧エア通路と連通する。エア通路５３は、胴体軸５１の筒状内面により一部を形成され、ノズル本体５２の内部にて長手方向（図４の左右方向）に分岐する。

２つの吸着部５４は、図５に示すように、負圧エアを流通させるエア通路５３の開口部５４１がそれぞれ形成される。２つの吸着部５４は、長尺部品８０の上面のうち互いに離間した複数箇所（本実施形態において２箇所）を吸着する。ここで、吸着部５４における吸着力は、エア通路５３の開口面積（開口部５４１の面積）および吸着ノズル５０に供給される負圧エアの空気圧によって定まる。本実施形態においてエア通路５３の開口面積、および吸着部５４の下面のうち開口部５４１を除いた接触面における摩擦係数は、吸着部５４における吸着力が長尺部品８０の弾性復帰を許容するように設定される。これにより、２つの吸着部５４のそれぞれは、長尺部品８０を吸着した状態において長尺部品８０の弾性復帰を許容する。

また、２つの吸着部５４は、互いの離間距離Ｌｓが長尺部品８０の長手方向の長さＬｔの８０％以上であり、長さＬｔ以下である（Ｌｔ≧Ｌｓ≧０．８＊Ｌｔ）。つまり、長尺部品８０に専用の吸着ノズル５０は、本実施形態において、２箇所の吸着部５４のみで長尺部品８０を吸着して保持し、それ以外の部位について負圧エアによる吸着力が及ばないようにしている。

ここで、長尺部品８０には、装着される基板９０に対する位置決めの基準位置Ｐｓ１，Ｐｓ２が複数設定されている。具体的には、長尺部品８０がジャンパー部品として機能するように、長尺部品８０の２つの端子部８１，８２が基準位置Ｐｓ１，Ｐｓ２にそれぞれ設定されている。２つの吸着部５４のそれぞれは、長尺部品８０の２つの基準位置Ｐｓ１，Ｐｓ２に対応して配置される。

上記のような構成によると、２つの吸着部５４は、長尺部品８０の２つの基準位置Ｐｓ１，Ｐｓ２である２つの端子部８１，８２の上面８１１，８２１を吸着する。長尺部品８０の基準位置Ｐｓ１，Ｐｓ２は、上述したように、搬送中の画像処理において吸着ノズル５０による保持状態を認識するために重要な部位である。そのため、長尺部品８０の基準位置Ｐｓ１，Ｐｓ２を吸着ノズル５０に対して変位しづらくなるように、対応する上面８１１，８２１を吸着部５４にそれぞれ保持させることによって、装着精度の向上を図ることができる。

２つの支持部５５のそれぞれは、図５に示すように、２つの吸着部５４の間に配置される。２つの支持部５５のそれぞれは、主として、長尺部品８０の採取時および装着時において、長尺部品８０の上面に接触して長尺部品８０を支持する。本実施形態において、長尺部品８０には、装着される基板９０に予め塗布された接合材９３により接合される２つの接合位置Ｐｊが設定される（図４および図５を参照）。

つまり、長尺部品８０における２つの接合位置Ｐｊは、基板９０と電気的に接合されるか否かを問わず、接合材９３によって基板９０に固定される位置である。２つの支持部５５は、長尺部品８０の２つの接合位置Ｐｊに対応して配置される。本実施形態において、２つの接合位置Ｐｊは、２つの電極９２の間に等間隔で配置される。

上記のように、基板９０に装着される長尺部品８０は、端子部８１，８２に加えて接合材９３を用いて部分的に基板９０に接続される１以上の接合位置Ｐｊが設定されることがある。このような場合に、吸着ノズル５０は、長尺部品８０を基板９０に装着する際に、接合位置Ｐｊの下面を接合材９３に圧着させるように外力を上方から付与することが望ましい。そこで、本体部８３の上面のうち２つの接合位置Ｐｊに対応する部位を２つの支持部５５が支持することによって、長尺部品８０の装着時において長尺部品８０の変位や変形を抑制しつつ、２つの接合位置Ｐｊの下面を接合材９３に圧着できる。これにより、装着動作の確実性を向上できる。

なお、上記の２つの支持部５５は、長尺部品８０の上面に対する接触のみによって長尺部品８０を支持する。換言すると、２つの支持部５５には、例えばエア通路５３の開口部が補助的に設けられることなく、単に接触のみによって長尺部品を支持する。但し、「接触のみ」との構成は、長尺部品８０の弾性力と比較して無視できる程度に小さい力（例えば、僅かな静電気により作用する力）を除外する意味ではない。

このような構成からなる吸着ノズル５０により長尺部品８０が採取された際に、図６の破線で示すように水平方向に弾性変形していたものとする。なお、図６の破線で示す弾性変形した長尺部品８０は、変形量を誇張されており、実際の変形量はこれよりも小さい。弾性変形した長尺部品８０は、両端の端子部８１，８２を吸着部５４により吸着されて、吸着ノズル５０の上昇に伴ってトレイ２５から採取される。

このとき、長尺部品８０は、両端以外の部位が吸着ノズル５０により規正されていないため、図６の実線で示すように、本来の形状に弾性復帰する。このとき、長尺部品８０が弾性復帰する際の２つの端子部８１，８２は、２つの吸着部５４におけるエア通路５３の開口面積および接触面の摩擦係数が適宜設定されていることから、２つの吸着部５４を中心とする僅かな回転をそれぞれ許容される。吸着ノズル５０は、弾性復帰した長尺部品８０と吸着部５４の接触面との摩擦力、および負圧エアによる吸着力により長尺部品８０を保持する。これにより、弾性復帰した長尺部品８０は、装着処理における搬送中に吸着部５４から位置ずれしないように保持される。

ここで、長尺部品８０のうち両端以外の弾性変形した部位に対して、仮に補助的な負圧エアによって吸着力を付与すると、長尺部品８０の弾性力が小さいことから本来の形状への復帰が抑制される。これに対して、本実施形態において、長尺部品８０に接触し得る２つの支持部５５は、長尺部品８０の上面に対する接触のみによって長尺部品８０を支持するので、長尺部品８０の弾性力が小さい場合でも変形した長尺部品８０の弾性復帰を抑制しない構成となっている。

また、長尺部品８０の弾性復帰は、長尺部品８０がトレイ２５から取り出された直後に発生し、遅くとも長尺部品８０が部品カメラ６１の上方まで移動して撮像されるまでの間には完了している。これにより、長尺部品８０は、基準位置Ｐｓ１，Ｐｓ２を吸着部５４により吸着された状態で、且つ本来の形状に復帰した状態で部品カメラ６１により撮像される。そして、長尺部品８０は、その状態を維持して基板９０の所定位置に装着される。

このとき、２つの支持部５５は、長尺部品８０の上面のうち２つの接合位置Ｐｊに対応する部位を支持し、弾性復帰した長尺部品８０の変位や変形を抑制する。さらに、２つの支持部５５は、２つの接合位置Ｐｊを基板９０側に押圧して、２つの接合位置Ｐｊを接合材９３に圧着させる。同様に、２つの吸着部５４は、長尺部品８０の２つの端子部８１，８２に接触し、端子部８１，８２を基板９０側に押圧して、端子部８１，８２を接合材９３に圧着させる。

なお、２つの支持部５５は、装着時の他に採取時においても長尺部品８０の上面に接触してトレイ２５側に押圧する。これにより、２つの支持部５５は、長尺部品８０を支持して吸着部５４における吸着を安定させることができる。また、長尺部品８０が供給状態で弾性変形している場合には、長尺部品８０に下方への外力を付与することにより、長尺部品８０がトレイ２５の底部の形状に倣わせて、本来の形状への復帰を促すことができる。

２．実施形態の変形態様
実施形態において、長尺部品８０は、ジャンパー部品であるものとした。これに対して、長尺部品８０は、実施形態において定義したもの含まれるのであれば、種々の部品が想定される。また、長尺部品８０の材料についても金属に限られず、吸着ノズル５０に保持された状態で水平方向に弾性変形し得るものであれば、樹脂などの材料により形成されてもよい。

このような長尺部品８０は、トレイ２５に載置された状態で供給される他に、上述したようにキャリアテープのキャビティに収納された状態で供給されてもよい。さらに、長尺部品８０の基準位置は、長尺部品８０の種別に応じて適宜設定され得る。具体的には、長尺部品８０の基準位置は、端子部８１，８２の他に、部品の外観で特徴的な部位であったり、基板９０の取付穴に係合される係合部であったりすることが想定される。これに伴い、専用の吸着ノズル５０は、設定された基準位置に対応して複数の吸着部５４が配置されるようにしてもよい。

なお、実施形態において吸着部５４の数量を２としたが、長尺部品８０が最小幅Ｄｍに対して長手方向の長さＬｔが非常に長い場合などは、吸着部５４の数量を３以上としてもよい。このような構成によると、隣り合う吸着部５４の間において、それぞれ長尺部品８０の部位を本来の形状に弾性復帰させることができる。

また、実施形態において、長尺部品８０の本体部８３は、直線状に形成される構成とした。これに対して、本体部８３は、上方視において屈曲する１以上の屈曲部を有してもよい。上記の屈曲部は、例えば基板９０の配線や装着される他の部品との位置関係に応じて形成される。上記の屈曲部は、長尺部品８０の延伸方向を長手方向に直交する方向（９０度方向）に屈曲させる形状、斜め方向に屈曲した形状、円弧状に形成され得る。

また、吸着部５４は、２つの支持部５５を備える構成とした。これに対して、対象とする長尺部品８０における本体部８３の形状、例えば屈曲部の数量（または屈曲部同士を接続する延伸部の数量）、および接合位置Ｐｊの数量などに応じて、適宜支持部５５を設ける構成としてもよい。また、吸着ノズル５０の支持部５５は、長尺部品８０と接触する下面の形状が平面である他に、円弧凸状としてもよいし、尖端状としてもよい。さらに、吸着ノズル５０の支持部５５は、長尺部品８０の長手方向にある程度の長さを有するように形成されてもよい。このような構成においても、実施形態と同様の効果を奏する。

１：部品装着機、 ５０：吸着ノズル、 ５１：胴体軸、 ５２：ノズル本体、 ５３：エア通路、 ５４：吸着部、 ５４１：開口部、 ５５：支持部、 ７０：制御装置、 ８０：長尺部品、 ８１，８２：端子部、 ８１１，８２１：上面、 ８３：本体部、 ９０：基板（回路基板）、 ９１，９２：電極、 ９３：接合材、 Ｐｓ１，Ｐｓ２：基準位置、 Ｐｊ：接合位置、 Ｄ１：（長尺部品の）幅、 Ｄｍ：（長尺部品の）最小幅、 Ｌｔ：（長尺部品の）長さ、 Ｌｓ：（２つの吸着部の）離間距離

Claims (9)

1. 長手方向に直交する方向の幅よりも長手方向の長さが長い長尺部品を負圧エアにより吸着して保持する吸着ノズルであって、
   負圧エアを流通させるエア通路の開口部がそれぞれ形成され、前記長尺部品の上面のうち互いに離間した複数箇所を吸着する複数の吸着部を備え、
   複数の前記吸着部のそれぞれは、前記長尺部品を吸着した状態において前記長尺部品の弾性復帰を許容する、吸着ノズル。
2. 前記長尺部品には、装着される回路基板に対する位置決めの基準位置が複数設定され、
   複数の前記吸着部のそれぞれは、前記長尺部品の複数の前記基準位置に対応して配置される、請求項１に記載の吸着ノズル。
3. 複数の前記吸着部の数量は２であり、互いの離間距離が前記長尺部品の長手方向の長さの８０％以上である、請求項１または２に記載の吸着ノズル。
4. 前記吸着ノズルは、複数の前記吸着部の間に配置され、前記長尺部品の前記上面に接触して前記長尺部品を支持する１以上の支持部をさらに備える、請求項１−３の何れか一項に記載の吸着ノズル。
5. 前記長尺部品には、装着される回路基板に予め塗布された接合材により接合される接合位置が設定され、
   前記支持部は、前記長尺部品の前記接合位置に対応して配置される、請求項４に記載の吸着ノズル。
6. 前記支持部は、前記長尺部品の前記上面に対する接触のみによって前記長尺部品を支持する、請求項４または５に記載の吸着ノズル。
7. 前記長尺部品は、長手方向に直交する方向の最小幅に対して長手方向の長さが４０倍以上である、請求項１−６の何れか一項に記載の吸着ノズル。
8. 前記長尺部品は、載置された状態で供給され、前記吸着ノズルにより吸着される際に前記吸着ノズルから受ける外力によって押圧されて弾性変形し得る弾性を有する、請求項１−７の何れか一項に記載の吸着ノズル。
9. 請求項１−８の何れか一項に記載の前記吸着ノズルと、
   前記吸着ノズルにより吸着された前記長尺部品を回路基板に装着する装着処理を実行する制御装置と、
   を備える部品装着機。

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