JP6944662B2 - 二酸化炭素ガスセンサ - Google Patents
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Description
(a)Ln2O2CO3で表される1以上の希土類金属オキシカルボナート(Lnは、Sc、Y、La、Ce、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Pr、Yb、Luから選択される1以上の希土類金属元素である)を含み、前記希土類金属オキシカルボナートの主成分が六方晶希土類金属オキシカルボナートである、または
(b)単斜晶サマリウムジオキシカルボナートを含む。
(a)525〜575℃において、5〜8時間加熱する工程、もしくは475〜525℃において、6〜20時間加熱する工程、もしくは425〜475℃において、2〜80時間加熱する工程により単斜晶ランタンジオキシカルボナートを得る工程、
(b)525〜575℃において、15〜20時間加熱する工程により単斜晶と六方晶の混在したランタンジオキシカルボナートを得る工程、または
(c)475〜575℃において、60〜80時間加熱する工程により六方晶ランタンジオキシカルボナートを得る工程
を含むことが好ましい。
本発明は第1実施形態によれば、CO2ガスセンサに関する。図1は、本実施形態の第1態様によるガスセンサの一例を示す概念的な断面図である。図1を参照すると、ガスセンサ1は、主として、ガス感知層1と、電極2と、絶縁基板3と、ヒーター層4とを備えている。なお、図1はガスセンサの構成を概念的に示したものであり、各部の大きさや厚さは厳密なものではなく、またその相対的な位置並びに大きさの関係等は図面に表示される態様に限定されるものではない。
センサ構造体を製造する工程においては、絶縁基板3の一方の主面にヒーター層4を形成し、他方の主面に電極2を形成する。絶縁基板3のへのヒーター層4と電極2の形成は通常行われている方法で実施することができる。また、ヒーター層4並びに電極2はそれぞれ、図示しない駆動処理部に通常行われている方法で接続することができる。なお、ヒーター層以外の加熱装置を備えるセンサ構造体も、一般的に用いられる方法で加熱装置を適切な場所に取り付け、駆動電源等と接続することができる。
エージング工程は任意選択的な工程であり、感知層の構成成分が単斜晶サマリウムジオキシカルボナートである場合には、実施しなくてもよい。先の工程において得られたセンサ構造体においては、ガス感知層1中の希土類金属オキシカルボナートは実質的に製膜前の結晶状態を維持している。したがって、六方晶の希土類金属オキシカルボナートを主成分とする感知層1をもつガスセンサを製造する場合であって、製膜前の感知層に単斜晶の希土類金属オキシカルボナート(単斜晶サマリウムジオキシカルボナートを除く)が含まれている場合には、次のエージングする工程を実施する。エージングする工程は、当該センサ構造体を、300〜3000ppmの二酸化炭素を含み、20℃における相対湿度が20%〜90%の気体雰囲気中、ガス感知層の温度が300〜400℃となる条件にて、48時間以上連続駆動することにより実施することができる。連続駆動時間は、例えば3日以上であってもよく、10日程度以下とすることができるが、これらには限定されない。エージング条件は、製膜されたガス感知層1中の単斜晶の含有割合によっても異なり、例えば、ガス感知層の希土類金属オキシカルボナートが100%単斜晶の場合に約7日間程度、80%単斜晶で約6日間程度、20%単斜晶で約2日間程度とすることができる。エージングは希土類金属オキシカルボナートの実質的に100%が六方晶になった時点で終了させることができるため、必要なエージング処理時間条件は、結晶構造変化をリアルタイムに分析可能なOperando−XRD装置等を用いた予備実験等により決定することもできる。製膜時に六方晶を主成分とする希土類金属オキシカルボナートを材料として形成したガス感知膜を備えるセンサにおいては、エージングを実施してもしなくてもよいが、エージングを実施してもよい。なお、単斜晶サマリウムジオキシカルボナートを主成分とする感知層1をもつガスセンサを製造する場合にも、エージングを実施してもよい。
本発明は第2実施形態によれば、希土類金属オキシカルボナートの製造方法に関する。Ln2O2CO3で表される希土類金属オキシカルボナート(Lnは先に定義したとおり)の製造方法は、希土類金属カルボン酸塩もしくは希土類金属炭酸塩またはその水和物を、気体雰囲気中、425〜575℃にて、2〜80時間、または5〜80時間加熱する工程を含む。
希土類金属オキシカルボナートの製造において、希土類金属が特にランタン(La)であり、出発物質がLa2[C2O4]3・nH2Oで表されるランタンオキサラート水和物またはLa[CH3COO]3・nH2Oで表される酢酸塩水和物の場合には、異なる結晶多形を選択的に製造することができる。すなわち、出発物質及び製造条件は、第2実施形態の範囲内で、温度及び時間の条件を変えることにより、単斜晶、六方晶、並びにこれらの混合物を作り分けることができる。
第2実施形態に示した希土類金属オキシカルボナートの製造において、希土類金属が特にサマリウム(Sm)であり、出発物質がSm[CH3COO]3・nH2Oで表されるサマリウムアセテート水和物またはSm2[C2O4]3・nH2Oで表されるサマリウムオキサラート水和物の場合には、所定の加熱条件により、単斜晶のサマリウムジオキシカルボナートを選択的に製造することができる。すなわち、出発物質及び製造条件は第2実施形態の範囲内で、温度及び時間を特定の値とすることにより、単斜晶サマリウムジオキシカルボナートを得ることができる。
希土類元素がランタン(La)である希土類オキシカルボナートを製造することを目的として、出発物質の異なる2つの合成ルートを検討した。図3に水酸化物を出発物質とする合成ルート(ルート1)と、オキサラート水和物を出発物質とする合成ルート(ルート2)を示す。ルート1では市販のLa(OH)3(アルドリッチ製)の固体粉末、ルート2では市販のLa2[C2O4]3・nH2O(アルドリッチ製)の固体粉末を出発物質とした。出発物質の粉末をアルミナ容器に入れ、加熱炉を用いて加熱した。加熱炉には、加熱の間、大気をポンプにて継続的に供給した。加熱時間及び加熱温度は、ルート1については表1、ルート2については表2に示すとおりとした。
一方、水酸化物を出発物質として得られた六方晶ランタンジオキシカルボナートには、スポンジ状のマイクロポアは見られなかった。
図1に示すガスセンサ構造体を製造した。絶縁基板3としては厚みが900μmのアルミナ基板を用い、絶縁基板3の一方の主面に厚みが5μmのPtヒーターを設けた。電極2は厚みが5μmの櫛歯状のPt膜を用い、櫛歯間のギャップは10μmとした。ガス感知層1は、(1)において製造したランタンジオキシカルボナートの固体粉末と、プロパン1,2ジオールとを30Hzの振動ミルで30分混合し、得られたペーストをPt電極2を設けた絶縁基板3上にスクリーン印刷することにより製造した。絶縁基板3からの厚みは50μmとした。表1中の#1で示される六方晶ランタンジオキシカルボナート、並びに表2中の生成物(c)、(e)、(f)、(h)、(i)のそれぞれを用いてガス感知層1を製膜したガスセンサを製造した。
製造したセンサ構造体の長期安定性を評価するための加速耐久試験として、所定の条件でエージングし、試験前後のCO2感度特性を評価した。測定対象のセンサ構造体では、ガス感知層1の材料として、表1中の#1の生成物及び表2中の(e)、(f)、(h)を用いた。耐久試験は、20℃における相対湿度80%、二酸化炭素濃度300ppmの条件で72時間にわたってヒーター層を350℃に駆動することによって実施した。なお、この耐久試験条件は、本発明における、ガスセンサの初期特性安定化のためのエージング条件と概ね同等の条件である。ガスセンサの特性はガス感知層のDC抵抗(Rs)により評価した。耐久試験前のDC抵抗と二酸化炭素濃度の関係を図4(A)、耐久試験後の関係を図4(B)に示す。図4(A)、(B)の結果は、六方晶ランタンジオキシカルボナートからなる#1及び(f)の生成物は耐久試験後もCO2感度特性(DC抵抗)が変わらず安定であったのに対し、生成物(h)及び(e)は抵抗が大きく上昇していることを示している。また、X線結晶回折により調べた結果、耐久試験前に単斜晶ランタンジオキシカルボナートから構成されていた生成物(h)、(i)及び(e)からなるガス感知層は、耐久試験後には単斜晶と六方晶が混在する状態となっていた。一方、耐久試験前に六方晶ランタンジオキシカルボナートから構成されていた#1及び(f)のガス感知層は、耐久試験後も変化が無かった。
次いで、エージングの条件と、ガス感知層を構成するランタンジオキシカルボナートの結晶構造変化の関係を調べた。測定は、エージング処理中の構造変化とセンサ抵抗値の変化を同時にリアルタイムに分析可能なOperando−XRD装置により行った。ガス感知層の製膜時材料としては、表2中の生成物(e)を用いた。本実験におけるサンプル#1のエージングの条件は、開始から56時間まではCO2濃度300ppm、20℃における相対湿度50%、駆動温度350℃とし、56時間以降は、CO2濃度1000ppm、20℃における相対湿度0%、350℃とした。本実験におけるサンプル#2のエージングの条件は、CO2濃度3000ppm、20℃における相対湿度80%、350℃とし、途中でエージング条件は変更しなかった。結果を図6に示す。
この材料系ではCO2濃度のみならず、湿度によりセンサ抵抗値が変化することがわかった。しかし、このままの特性では、実用上は別途湿度センサを用意して湿度補正する必要がある。図7に示すように湿度に対する感度が高い温度と、CO2に対する感度の高い温度があれば、それらの2ポイントで検知することで、湿度とCO2濃度を同時に一つのセンサで検出できる可能性を見出した。このような特性について、以下の実験を行った。
希土類元素がランタン(La)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)である希土類オキシカルボナートを製造した。La2[C2O4]3・nH2O(ランタンオキサラート、シュウ酸塩、アルドリッチ製)、Nd[CH3COO]3・nH2O(ネオジムアセテート、酢酸塩、アルドリッチ製)、Sm[CH3COO]3・nH2O(サマリウムアセテート、酢酸塩、アルドリッチ製)の固体粉末を出発物質とした。出発物質の粉末をアルミナ容器に入れ、加熱炉を用いて加熱した。加熱炉には、加熱の間、大気をポンプにて継続的に供給した。加熱時間及び加熱温度は、表3に示すとおりとした。得られた生成物は、XRDにより結晶構造解析した。Laは以下の全ての条件で、Ndは500℃18h、Smは450℃18hまでオキシカルボナートが安定であった。
表中、mは単斜晶の希土類オキシカルボナート、hは六方晶の希土類オキシカルボナート、oxはオキサラート水和物、acはアセテート水和物を表す。また、「−」は該当する条件では加熱実験を実施しなかったことを表す。
上記実施例(2)と同様にして、図1に示すガスセンサ構造体を製造した。絶縁基板3、Ptヒーター、電極2の仕様も上記実施例(2)と同様とした。ガス感知層1は、実施例(1)において製造した、550℃で72h加熱したランタンジオキシカルボナート(六方晶)の固体粉末、及び450℃で18h加熱したネオジム及びサマリウムジオキシカルボナート(単斜晶)の固体粉末を用いた。これらの固体粉末を、プロパン1,2ジオールとを30Hzの振動ミルで30分混合し、得られたペーストをPt電極2を設けた絶縁基板3上にスクリーン印刷することによりガス感知層を製造した。絶縁基板3からの厚みは50μmとした。
製造したセンサの、CO2濃度1000ppm、20℃、相対湿度50%RH、駆動温度300℃において測定した場合のDC抵抗値から、CO2ガス感度RCO2 1000ppm/R0を得た。RCO2 1000ppm/R0は、上記実施例(3)と同様に定義される。同様に、濃度勾配αを得た。濃度勾配αの値も、上記実施例(3)と同様に定義される。図11(A)、図11(B)は、それぞれ感知層が希土類オキシカルボナート(La2O2CO3、Nd2O2CO3、Sm2O2CO3)から構成されるセンサのCO2ガス感度、濃度勾配αを比較した結果を示す。CO2感度ガス、濃度勾配αとも、La2O2CO3(六方晶)>Nd2O2CO3(単斜晶)>Sm2O2CO3(単斜晶)の順であった。
耐久性に優れるランタンジオキシカルボナート、およびサマリウムジオキシカルボナートを感知層とするセンサについて、ガス選択性と高濃度までのCO2勾配について評価した。図12(A)はランタンジオキシカルボナートを感知層とするセンサ、図12(B)はサマリウムジオキシカルボナートを感知層とするセンサについて、CO2、H2、CO、エタノール(EtOH)の4種のガスの各ガス濃度に対するガス感度の変化について示す。ガス感度Rg/R0は、(所定の各ガスでセンサを駆動したときのセンサのDC抵抗値)/(CO2を含まない空気中でセンサを駆動したときのセンサのDC抵抗値)を表す。測定は、20℃、相対湿度50%RH、駆動温度300℃で行った。いずれのセンサも、CO2感度は10,000ppmまで両対数グラフ上において線形で勾配は変わらなかった。
2 電極
3 絶縁基板
4 ヒーター層
11 ガス感知層
12a 電極
12b 接合層
13 絶縁基板
14 ヒーター層
15 熱絶縁支持層
16 Si基板
Claims (10)
- 絶縁基板と、前記絶縁基板の一方の主面に電極を介して形成されたガス感知層と
を備える二酸化炭素ガスセンサであって、
前記ガス感知層が、
(a)Ln2O2CO3で表される1以上の希土類金属オキシカルボナート(Lnは、Sc、Y、La、Ce、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Pr、Yb、Luから選択される1以上の希土類金属元素である)を含み、前記希土類金属オキシカルボナートの主成分が六方晶希土類金属オキシカルボナートである、または
(b)単斜晶サマリウムジオキシカルボナートを含む、
ガスセンサ。 - 前記ガス感知層が、六方晶ランタンジオキシカルボナートまたは単斜晶サマリウムジオキシカルボナートを含む、請求項1に記載のガスセンサ。
- 二酸化炭素ガスセンサの製造方法であって、
絶縁基板と、前記絶縁基板の一方の主面に電極を介して形成されたガス感知層であって、Ln2O2CO3で表される1以上の希土類金属オキシカルボナート(Lnは、Sc、Y、La、Ce、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Pr、Yb、Luから選択される1以上の希土類金属元素である)を含むガス感知層とを含むセンサ構造体を製造する工程と、
前記センサ構造体をエージングする工程を含み、
前記エージングする工程が、前記センサ構造体を、300〜3000ppmの二酸化炭素を含み、湿度が20%〜90%の気体雰囲気中、前記ガス感知層を300〜400℃に加熱する条件下で、48時間以上連続駆動する工程を含む製造方法。 - 前記センサ構造体を製造する工程において、前記希土類金属オキシカルボナートが、単斜晶希土類金属オキシカルボナートを含む、請求項3に記載の製造方法。
- 二酸化炭素ガスセンサの製造方法であって、
絶縁基板と、前記絶縁基板の一方の主面に電極を介して形成されたガス感知層であって、単斜晶サマリウムジオキシカルボナートを含むガス感知層とを含むセンサ構造体を製造する工程を含む製造方法。 - 二酸化炭素ガスセンサのエージング方法であって、
絶縁基板と、前記絶縁基板の一方の主面に電極を介して形成されたガス感知層であって、Ln2O2CO3で表される1以上の希土類金属オキシカルボナート(Lnは、Sc、Y、La、Ce、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Pr、Yb、Luから選択される1以上の希土類金属元素である)を含むガス感知層とを含む二酸化炭素ガスセンサを、300〜3000ppmの二酸化炭素を含み、湿度が20%〜90%の気体雰囲気中、前記ガス感知層を300〜400℃に加熱する条件下で48時間以上連続駆動する工程を含む方法。 - Ln2O2CO3で表される1以上の希土類金属オキシカルボナート(Lnは、Sc、Y、La、Ce、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Pr、Yb、Luから選択される1以上の希土類金属元素である)の製造方法であって、
希土類金属カルボン酸塩またはその水和物を、425〜575℃にて、2〜80時間加熱する工程を含む製造方法。 - La2O2CO3で表されるランタンジオキシカルボナートの結晶多形を選択的に製造
する方法であって、
La[CH3COO]3・nH2Oで表されるランタンアセテート水和物またはLa2[C2O4]3・nH2Oで表されるランタンオキサラート水和物を、350〜500ppmの二酸化炭素を含む気体雰囲気中、425〜575℃の加熱温度にて、2〜80時間加熱する工程を含み、
前記加熱温度及びまたは前記加熱時間を調節することにより、単斜晶、六方晶、及びこれらが混在するランタンオキシカルボナートを選択的に製造する方法。 - 請求項8に記載の製造方法であって、
(a)525〜575℃において、5〜8時間加熱する工程、もしくは475〜525℃において、6〜20時間加熱する工程、もしくは425〜475℃において、2〜80時間加熱する工程により単斜晶ランタンジオキシカルボナートを得る工程、
(b)525〜575℃において、15〜20時間加熱する工程により単斜晶と六方晶の混在したランタンジオキシカルボナートを得る工程、または
(c)475〜575℃において、60〜80時間加熱する工程により六方晶ランタンジオキシカルボナートを得る工程
を含む製造方法。 - Sm2O2CO3で表される単斜晶サマリウムジオキシカルボナートを選択的に製造する方法であって、
Sm[CH3COO]3・nH2Oで表されるサマリウムアセテート水和物またはSm2[C2O4]3・nH2Oで表されるサマリウムオキサラート水和物を、350〜500ppmの二酸化炭素を含む気体雰囲気中、425〜475℃の加熱温度にて、2〜80時間加熱する工程を含む方法。
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US5686198A (en) * | 1996-02-29 | 1997-11-11 | Westinghouse Electric Corporation | Low cost stable air electrode material for high temperature solid oxide electrolyte electrochemical cells |
DE19937107A1 (de) * | 1999-08-06 | 2001-02-08 | Basf Ag | Katalysator mit bimodaler Porenradienverteilung |
US6403523B1 (en) * | 2000-09-18 | 2002-06-11 | Union Carbide Chemicals & Plastics Technology Corporation | Catalysts for the oxidative dehydrogenation of hydrocarbons |
WO2003042681A1 (fr) * | 2001-11-14 | 2003-05-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Capteur de gaz et procede de fabrication d'un capteur de gaz |
JP4211254B2 (ja) * | 2001-12-04 | 2009-01-21 | 関西電力株式会社 | 固体酸化物形燃料電池 |
US20060083791A1 (en) * | 2002-05-24 | 2006-04-20 | Moerck Rudi E | Rare earth metal compounds methods of making, and methods of using the same |
US20040161474A1 (en) * | 2002-05-24 | 2004-08-19 | Moerck Rudi E. | Rare earth metal compounds methods of making, and methods of using the same |
AU2003270626A1 (en) * | 2002-09-16 | 2004-04-30 | The University Of Iowa Research Foundation | Magnetically modified electrodes as well as methods of making and using the same |
EP1567451A2 (en) * | 2002-12-02 | 2005-08-31 | Altair Nanomaterials Inc. | Rare earth compositions and structures for removing phosphates from water |
JP4063658B2 (ja) | 2002-12-26 | 2008-03-19 | フィガロ技研株式会社 | 固体電解質型炭酸ガスセンサ素子 |
US8079256B2 (en) * | 2006-02-22 | 2011-12-20 | Testo Ag | Gas sensor and method for its production |
JP4274489B2 (ja) * | 2006-10-25 | 2009-06-10 | クロリンエンジニアズ株式会社 | 水素発生用電極およびその製造方法 |
CN101809436A (zh) * | 2007-09-11 | 2010-08-18 | 学校法人立命馆 | 半导体式气体传感器及其制造方法 |
CN101139523B (zh) * | 2007-10-16 | 2010-05-19 | 上海师范大学 | 短波紫外线激发的绿光发光材料及其应用 |
CN101200375A (zh) * | 2007-11-16 | 2008-06-18 | 北京矿冶研究总院 | 纳米含锆系列热障涂层材料制备方法 |
CN101619212B (zh) * | 2008-07-03 | 2013-09-25 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 碳酸氧化镧基纳米荧光粉体及其制备方法 |
CN101428223B (zh) * | 2008-12-05 | 2011-09-07 | 厦门大学 | 一种光催化剂及其制备方法 |
TWI446916B (zh) * | 2010-05-12 | 2014-08-01 | Spectrum Pharmaceuticals Inc | 鹼式碳酸鑭、碳酸氧鑭及其製備方法及用途 |
US20120294793A1 (en) * | 2011-05-19 | 2012-11-22 | The Governors Of The University Of Alberta | Production of graphene sheets and ribbons |
CN104119900A (zh) * | 2013-04-26 | 2014-10-29 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种掺杂钐的空心结构Sr2CeO4发光材料及其制备方法 |
CN104129810A (zh) * | 2013-05-02 | 2014-11-05 | 南京大学 | 纯单斜晶相的刺球状碳酸氧镧(La2O2CO3)三维多级结构的制备 |
CN103482969A (zh) * | 2013-09-12 | 2014-01-01 | 钢铁研究总院 | 一种铁氧体吸波材料及其制备方法 |
EP2910940A1 (en) * | 2014-02-19 | 2015-08-26 | ETH Zurich | Composition of a poly ionic liquid and a metal compound for the detection of CO2 gas at low temperatures |
KR101793530B1 (ko) * | 2016-01-14 | 2017-11-06 | 울산대학교 산학협력단 | 글리세롤 및 이산화탄소로부터 글리세롤 카보네이트를 제조하기 위한 촉매 및 이의 제조방법 |
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