JP6939950B1 - Inspection equipment and inspection method - Google Patents

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Abstract

【課題】網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供する。【解決手段】網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、網目構造を撮像する撮像部と、物体と撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、撮像部が撮像した画像を解析して網目構造の状態を判定する処理部と、を有する検査装置。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique capable of appropriately inspecting clogging of a mesh structure or the like. SOLUTION: A holding portion for holding a plate-shaped object having a network structure in an upright state in a vertical direction, an imaging unit for imaging the network structure, a moving mechanism for moving a relative position between the object and the imaging unit, and the like. An inspection device including a processing unit that analyzes an image captured by the imaging unit and determines the state of the network structure. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、検査装置および検査方法に関する。 The present invention relates to an inspection device and an inspection method.

物体が有する網目構造により、粉体の分級が行われることがある(例えば特許文献1参照)。 Depending on the network structure of the object, the powder may be classified (see, for example, Patent Document 1).

特開2010−064049号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-064049

しかし、網目構造に目詰まり等が生じると、粉体の正確な分級を行えないおそれがある。本発明の目的は、網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供することである。 However, if the network structure is clogged or the like, there is a risk that the powder cannot be classified accurately. An object of the present invention is to provide a technique capable of appropriately inspecting clogging of a network structure or the like.

本発明の一態様によれば、
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、
前記網目構造を撮像する撮像部と、
前記物体と前記撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する処理部と、
を有する検査装置が提供される。
According to one aspect of the invention
A holding part that holds a plate-shaped object with a mesh structure in an upright position in the vertical direction,
An imaging unit that images the network structure and
A moving mechanism that moves the relative position between the object and the imaging unit,
A processing unit that analyzes the image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure, and
An inspection device having the above is provided.

本発明の他の態様によれば、
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程と、
前記網目構造を撮像する工程と、
前記物体と撮像部との相対位置を移動させる工程と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する工程と、
を有する検査方法が提供される。
According to another aspect of the invention
The process of holding a plate-shaped object with a mesh structure upright in the vertical direction, and
The process of imaging the network structure and
The step of moving the relative position between the object and the imaging unit, and
A step of analyzing an image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure,
An inspection method having the above is provided.

本発明によれば、網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a technique capable of appropriately inspecting clogging or the like of a network structure.

図1は、本発明の一実施形態に係る検査装置の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an inspection device according to an embodiment of the present invention. 図2は、本発明の一実施形態に係る検査装置の要部の構成例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration example of a main part of the inspection device according to the embodiment of the present invention. 図3は、本発明の一実施形態に係る検査装置におけるクランプ台の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a clamp base in the inspection device according to the embodiment of the present invention. 図4は、本発明の一実施形態に係る検査装置の要部の構成例を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic view showing a configuration example of a main part of the inspection device according to the embodiment of the present invention. 図5は、本発明の一実施形態に係る検査方法の一例を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing an example of an inspection method according to an embodiment of the present invention.

<物体の構成例>
例えば、粉体の製造工程では、その一工程において、所定の粒径の原料粉体の分級が行われる。分級は、例えば、図2に示すように、篩として機能する網目構造300を有する板状の物体(以下、「フランジ200」と称する場合がある。)を用いて行われる。しかし、網目構造300に目詰まり等が生じると、原料粉体の分級を良好に行えなくなってしまう。このため、網目構造300の状態(目詰まり等)を定期的に検査する必要がある。
<Example of object configuration>
For example, in the powder manufacturing process, the raw material powder having a predetermined particle size is classified in one step. For example, as shown in FIG. 2, the classification is performed using a plate-shaped object having a network structure 300 functioning as a sieve (hereinafter, may be referred to as “flange 200”). However, if the network structure 300 is clogged or the like, the raw material powder cannot be classified satisfactorily. Therefore, it is necessary to periodically inspect the state of the mesh structure 300 (clogging, etc.).

フランジ200は、例えば、図3に示すように、円形の枠1と、枠1よりも径の小さい同心円の枠2と、を有している。フランジ200は、枠1に網本体(網目構造300)を張り付けた後、枠1を合成樹脂により構成された部材で覆って形成されている。枠1,2は、金属材料により構成されている。網目構造300は、金属繊維により構成されている。フランジ200の直径は、0.7〜1.0mであり、網目構造300の網目は、50〜635メッシュである。 As shown in FIG. 3, the flange 200 has, for example, a circular frame 1 and a concentric frame 2 having a diameter smaller than that of the frame 1. The flange 200 is formed by attaching a net body (mesh structure 300) to the frame 1 and then covering the frame 1 with a member made of synthetic resin. The frames 1 and 2 are made of a metal material. The network structure 300 is made of metal fibers. The diameter of the flange 200 is 0.7 to 1.0 m, and the mesh of the mesh structure 300 is 50 to 635 mesh.

このように、フランジ200は大きいので、検査の際、フランジ200を検査装置にセットするのに作業者に大きな負担がかかってしまう。また、フランジ200の網目構造300が水平姿勢になるようにセットすると、網目構造300が撓んでしまう。本実施形態の検査装置は、フランジ200の網目構造300の状態を適切に検査するために構成されている。 As described above, since the flange 200 is large, it puts a heavy burden on the operator to set the flange 200 in the inspection device at the time of inspection. Further, if the mesh structure 300 of the flange 200 is set so as to be in a horizontal posture, the mesh structure 300 bends. The inspection device of the present embodiment is configured to appropriately inspect the state of the mesh structure 300 of the flange 200.

<本発明の一実施形態>
以下に、本発明の一実施形態について、図面を用いて説明する。
<One Embodiment of the present invention>
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

(1)検査装置の構成例
本実施形態の検査装置100は、図1に示すように、例えば、直立した状態の物体としてのフランジ200について、そのフランジ200が有する網目構造300の状態を判定するように構成されている。本明細書において、フランジ200が直立した状態とは、フランジ200が有する網目構造300の面が鉛直方向に沿って起立して配置された状態のことをいう。
(1) Configuration Example of Inspection Device As shown in FIG. 1, the inspection device 100 of the present embodiment determines, for example, the state of the mesh structure 300 of the flange 200 as an upright object. It is configured as follows. In the present specification, the state in which the flange 200 is upright means a state in which the surface of the mesh structure 300 of the flange 200 is arranged upright along the vertical direction.

このようなフランジ200の網目構造300の状態を判定するために、検査装置100は、保持部10と、撮像部11と、光源12と、移動機構13と、処理部14と、を有して構成されている。 In order to determine the state of the mesh structure 300 of the flange 200, the inspection device 100 includes a holding unit 10, an imaging unit 11, a light source 12, a moving mechanism 13, and a processing unit 14. It is configured.

本明細書において、鉛直方向をZ方向とし、フランジ200の面内方向において、Z方向に直交する方向をX方向とし、フランジ200の面内方向と直交する方向をY方向とする。ここで、フランジ200の面内方向とは、フランジ200の平面内の方向、すなわち、フランジ200の平面に沿った方向のことである。 In the present specification, the vertical direction is the Z direction, the in-plane direction of the flange 200 is the X direction, and the direction orthogonal to the Z direction is the Y direction. Here, the in-plane direction of the flange 200 is a direction in the plane of the flange 200, that is, a direction along the plane of the flange 200.

図2に示すように、保持部10は、フランジ200を鉛直方向(Z方向)に直立した状態で保持するように構成されている。保持部10は、クランプ台Aとしてのクランプ台20と、クランプ台Bとしてのクランプ台30と、を有している。具体的には、保持部10は、2つのクランプ台20と、1つのクランプ台30と、を有しており、クランプ台30は、2つのクランプ台20の間に位置するように設けられている。図3と図4に示すように、クランプ台20は、後述するトグルクランプ5とは別に、フランジ200の枠2の外周端を支える支持面Sを有している。支持面S上に枠2の外周端を載置することにより、フランジ200のZ方向位置を確定することができる。このような2つのクランプ台20を離間した2か所に配置することにより、2つのクランプ台20に保持されるフランジ200の中心位置が決定される。クランプ台20と同様に、クランプ台30も、図3と図4に示すように、支持面Tを有している。ただし、上述したように、2つのクランプ台20の支持面S上に、フランジ200の枠2の外周端を載置することにより、フランジ200のZ方向位置を確定することができる。従って、クランプ台30の支持面Tでフランジ200の枠2を保持する必要はなく、クランプ台30の支持面Tは、フランジ200の枠2の外周端からZ方向に、例えば、0.1〜5mmの隙間を空けて位置するように配置されている。 As shown in FIG. 2, the holding portion 10 is configured to hold the flange 200 in an upright state in the vertical direction (Z direction). The holding portion 10 has a clamp base 20 as a clamp base A and a clamp base 30 as a clamp base B. Specifically, the holding portion 10 has two clamp bases 20 and one clamp base 30, and the clamp base 30 is provided so as to be located between the two clamp bases 20. There is. As shown in FIGS. 3 and 4, the clamp base 20 has a support surface S that supports the outer peripheral end of the frame 2 of the flange 200, in addition to the toggle clamp 5 described later. By placing the outer peripheral end of the frame 2 on the support surface S, the position of the flange 200 in the Z direction can be determined. By arranging the two clamp bases 20 at two positions separated from each other, the center position of the flange 200 held by the two clamp bases 20 is determined. Like the clamp base 20, the clamp base 30 also has a support surface T as shown in FIGS. 3 and 4. However, as described above, the Z-direction position of the flange 200 can be determined by placing the outer peripheral end of the frame 2 of the flange 200 on the support surfaces S of the two clamp bases 20. Therefore, it is not necessary to hold the frame 2 of the flange 200 on the support surface T of the clamp base 30, and the support surface T of the clamp base 30 is in the Z direction from the outer peripheral end of the frame 2 of the flange 200, for example, 0.1 to 0. It is arranged so as to be located with a gap of 5 mm.

図3と図4に示すように、クランプ台20には、クランプゴム21と、クランプレバー22と、を有するトグルクランプ5が設けられている。クランプレバー22を操作することにより、クランプゴム21がフランジ200の枠1近傍を把持するクランプ状態と、クランプゴム21がフランジ200を把持しない非クランプ状態とを切り替えるように構成されている。また、クランプ台20において、トグルクランプ5は、支点を中心に揺動するアーム24の揺動端側に取り付けられており、アーム24に連結するアーム23のノブ25を操作してアーム23を矢印A方向に移動させると、アーム24が矢印B方向に移動するように構成されている。同様に、アーム23を矢印C方向に移動させると、アーム24が矢印D方向に移動するように構成されている。これにより、クランプ台20は、クランプ位置、すなわち、フランジ200の枠2の外周端を支える支持面Sの位置と、クランプゴム21がフランジ200を把持する位置と、を変更することができるので、異なる大きさのフランジ200に対応することが可能となる。 As shown in FIGS. 3 and 4, the clamp base 20 is provided with a toggle clamp 5 having a clamp rubber 21 and a clamp lever 22. By operating the clamp lever 22, the clamp rubber 21 is configured to switch between a clamped state in which the flange 200 grips the vicinity of the frame 1 and a non-clamped state in which the clamp rubber 21 does not grip the flange 200. Further, in the clamp base 20, the toggle clamp 5 is attached to the swing end side of the arm 24 that swings around the fulcrum, and the knob 25 of the arm 23 connected to the arm 24 is operated to move the arm 23 with an arrow. When moved in the A direction, the arm 24 is configured to move in the arrow B direction. Similarly, when the arm 23 is moved in the direction of arrow C, the arm 24 is configured to move in the direction of arrow D. As a result, the clamp base 20 can change the clamp position, that is, the position of the support surface S that supports the outer peripheral end of the frame 2 of the flange 200, and the position where the clamp rubber 21 grips the flange 200. It is possible to handle flanges 200 of different sizes.

図4に示すように、クランプ台30は、主として、クランプゴム26と、クランプレバー27と、を有するトグルクランプ6が設けられている。クランプ台20と同様に、クランプレバー27を操作することにより、クランプ状態と非クランプ状態とを切り替えるように構成されている。クランプ台30は、フランジ200の面内方向と直交する方向(Y方向)の位置を規定するように構成されている。また、上述したように、クランプ台20とクランプ台30は、Y方向の位置が揃うように、X方向に沿って一列に配置されている。これらにより、クランプ台30は、フランジ200をY方向に傾かないように保持することができる。 As shown in FIG. 4, the clamp base 30 is mainly provided with a toggle clamp 6 having a clamp rubber 26 and a clamp lever 27. Similar to the clamp base 20, the clamp lever 27 is operated to switch between the clamped state and the non-clamped state. The clamp base 30 is configured to define a position in a direction (Y direction) orthogonal to the in-plane direction of the flange 200. Further, as described above, the clamp base 20 and the clamp base 30 are arranged in a row along the X direction so that the positions in the Y direction are aligned. As a result, the clamp base 30 can hold the flange 200 so as not to tilt in the Y direction.

以上のように、本実施形態では、フランジ200をZ方向に直立させて保持部10に保持させることができるので、フランジ200をX方向に平置きする場合よりもフランジ200の設置面積を小さくすることができる。これにより、検査装置100を小型化することができる。また、フランジ200をZ方向に直立させて保持部10に保持させることができるので、フランジ200をX方向に平置きする場合に生じる網目構造300の撓みを防止することができる。また、保持部10にフランジ200を保持させるときは、3つのクランプ台20,30にフランジ200を仮置きし、その後、クランプレバー22等を操作してフランジ200を固定することができるので、少ない人数で作業をすることができる。 As described above, in the present embodiment, since the flange 200 can be upright in the Z direction and held by the holding portion 10, the installation area of the flange 200 is smaller than that in the case where the flange 200 is placed flat in the X direction. be able to. As a result, the inspection device 100 can be miniaturized. Further, since the flange 200 can be upright in the Z direction and held by the holding portion 10, it is possible to prevent the mesh structure 300 from bending when the flange 200 is placed flat in the X direction. Further, when the holding portion 10 holds the flange 200, the flange 200 can be temporarily placed on the three clamp bases 20 and 30, and then the clamp lever 22 or the like can be operated to fix the flange 200, which is less. You can work with a large number of people.

図1に示すように、撮像部11は、その撮像方向が、フランジ200の網目構造300と直交するように配置されている。撮像部11は、フランジ200の網目構造300を撮像するように構成されている。撮像部11は、例えば、CCD(Charged Coupled Device)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等のイメージセンサを有するカメラを用いることができる。撮像部11は、撮像部11(カメラ)に備えられた不図示のレンズが集光した光を、不図示のイメージセンサによって電気信号に変換することにより、網目構造300を撮像することができる。なお、本明細書において、撮像方向とは、撮像部11がフランジ200を撮像する方向であり、撮像部11の光軸方向と言い換えることができる。 As shown in FIG. 1, the imaging unit 11 is arranged so that the imaging direction thereof is orthogonal to the mesh structure 300 of the flange 200. The imaging unit 11 is configured to image the mesh structure 300 of the flange 200. As the imaging unit 11, for example, a camera having an image sensor such as a CCD (Charged Coupled Device) or a CMOS (Complementary Metal Oxide Sensor) can be used. The imaging unit 11 can image the network structure 300 by converting the light collected by the lens (not shown) provided in the imaging unit 11 (camera) into an electric signal by an image sensor (not shown). In the present specification, the imaging direction is the direction in which the imaging unit 11 images the flange 200, which can be rephrased as the optical axis direction of the imaging unit 11.

光源12は、フランジ200を挟んで撮像部11と向かい合う位置に配置されており、後述する第1移動機構43により、撮像部11と一緒に移動するように構成されている。光源12は、撮像方向に平行な光を照射するように構成されている。光源12が照射した光は、網目構造300越しに撮像部11に入射する。光源12としては、例えば、狭指向角タイプのLEDを用いることができる。また、光源12は、光源12が照射する光を平行光化するコリメータレンズを有していてもよい。 The light source 12 is arranged at a position facing the image pickup unit 11 with the flange 200 interposed therebetween, and is configured to move together with the image pickup unit 11 by the first moving mechanism 43 described later. The light source 12 is configured to irradiate light parallel to the imaging direction. The light emitted by the light source 12 is incident on the imaging unit 11 through the network structure 300. As the light source 12, for example, a narrow directivity angle type LED can be used. Further, the light source 12 may have a collimator lens that parallelizes the light emitted by the light source 12.

移動機構13は、固定されたフランジ200(網目構造300)に対して、撮像部11の位置を移動させるように構成されている。図1に示すように、移動機構13は、第1移動機構43と第2移動機構53とを有している。第1移動機構43は、撮像部11と光源12とを一緒にZ方向に移動するように構成されている。第2移動機構53は、撮像部11と光源12とを一緒にX方向に移動するように構成されている。具体的には、第2移動機構53は、撮像台15上、光源台16上にそれぞれ配置されており、それぞれの第2移動機構53上には、第1移動機構43がそれぞれ配置されている。すなわち、第2移動機構53は、第1移動機構43をX方向に移動させることにより、間接的に撮像部11と光源12とをX方向に移動させることができるように構成されている。このように、第2移動機構53が、撮像部11と光源12とをX方向に移動させつつ、第1移動機構43が、撮像部11と光源12とをZ方向に移動させるようことができる。第1移動機構43と第2移動機構53とは、それぞれ、電動モータや送りネジ等を組み合わせて構成することができる。 The moving mechanism 13 is configured to move the position of the imaging unit 11 with respect to the fixed flange 200 (mesh structure 300). As shown in FIG. 1, the moving mechanism 13 has a first moving mechanism 43 and a second moving mechanism 53. The first moving mechanism 43 is configured to move the imaging unit 11 and the light source 12 together in the Z direction. The second moving mechanism 53 is configured to move the imaging unit 11 and the light source 12 together in the X direction. Specifically, the second moving mechanism 53 is arranged on the image pickup table 15 and the light source table 16, respectively, and the first moving mechanism 43 is arranged on each of the second moving mechanisms 53. .. That is, the second moving mechanism 53 is configured so that the imaging unit 11 and the light source 12 can be indirectly moved in the X direction by moving the first moving mechanism 43 in the X direction. In this way, the second moving mechanism 53 can move the imaging unit 11 and the light source 12 in the X direction, while the first moving mechanism 43 can move the imaging unit 11 and the light source 12 in the Z direction. .. The first moving mechanism 43 and the second moving mechanism 53 can be configured by combining an electric motor, a feed screw, or the like, respectively.

処理部14は、撮像部11から送信された画像を解析して、網目構造300の状態を判定する。そのために、処理部14は、例えば、撮像部11と、光源12と、移動機構13と、データを送受信可能なように構成されており、これらの各部へ動作指示を送信するとともに、撮像部11から撮像画像を受信するようになっている。これにより、処理部14は、撮像部11が網目構造300のどの部分を撮像しているかを把握しつつ、撮像部11から送信された画像の解析を行うことができる。このような処理部14としては、例えば、所定のプログラムを必要に応じて実行するコンピュータを用いることができる。なお、処理部14が行う画像解析については、詳細を後述する。 The processing unit 14 analyzes the image transmitted from the imaging unit 11 to determine the state of the network structure 300. Therefore, the processing unit 14 is configured to be capable of transmitting and receiving data to, for example, an imaging unit 11, a light source 12, and a moving mechanism 13, and transmits operation instructions to each of these units while also transmitting an operation instruction to the imaging unit 11. The captured image is received from. As a result, the processing unit 14 can analyze the image transmitted from the image pickup unit 11 while grasping which part of the network structure 300 the image pickup unit 11 is capturing. As such a processing unit 14, for example, a computer that executes a predetermined program as needed can be used. The details of the image analysis performed by the processing unit 14 will be described later.

(2)検査装置を用いた検査方法
本実施形態の検査装置100を用いたフランジ200が有する網目構造300の状態の検査方法について説明する。
(2) Inspection Method Using Inspection Device An inspection method for the state of the mesh structure 300 of the flange 200 using the inspection device 100 of the present embodiment will be described.

図5は、本実施形態の検査方法の一例を示すフローチャートである。本実施形態の検査方法は、例えば、設定工程S101と、移動・撮像工程S102と、撮像判断工程S103と、処理工程S104と、を有する。 FIG. 5 is a flowchart showing an example of the inspection method of the present embodiment. The inspection method of the present embodiment includes, for example, a setting step S101, a moving / imaging step S102, an imaging determination step S103, and a processing step S104.

以下の説明では、第1移動機構43の移動方向であるZ方向を上下方向とし、Y方向を前後方向とし、第2移動機構53の移動方向であるX方向を左右方向とする。また、上下方向の一方側であるZ1方向側を「上」側とし、上下方向の他方側であるZ2方向側を「下」側とする。左右方向の一方側であるX1方向側を「右」側とし、左右方向の他方側であるX2方向側を「左」側とする。前後方向の一方側であるY1方向側を「前」側とし、前後方向の他方側であるY2方向側を「後ろ」側とする(図2参照)。 In the following description, the Z direction, which is the moving direction of the first moving mechanism 43, is the vertical direction, the Y direction is the front-back direction, and the X direction, which is the moving direction of the second moving mechanism 53, is the left-right direction. Further, the Z1 direction side, which is one side in the vertical direction, is referred to as the "upper" side, and the Z2 direction side, which is the other side in the vertical direction, is referred to as the "lower" side. The X1 direction side, which is one side in the left-right direction, is the "right" side, and the X2 direction side, which is the other side in the left-right direction, is the "left" side. The Y1 direction side, which is one side in the front-rear direction, is the "front" side, and the Y2 direction side, which is the other side in the front-rear direction, is the "rear" side (see FIG. 2).

(設定工程S101)
設定工程S101では、保持部10(クランプ台20,30)を用いてフランジ200を保持する。具体的には、図2に示すように、フランジ200(網目構造300)が直立した状態となるように、フランジ200を保持部10に保持させる。このように保持部10を用いることにより、フランジ200を前後に傾かないように保持することができる。フランジ200の保持部10への設置は、検査装置100の操作者(作業者)が行うようにすればよいが、専用の搬送ロボットを用いて行うようにしてもよい。
(Setting step S101)
In the setting step S101, the flange 200 is held by using the holding portions 10 (clamp bases 20 and 30). Specifically, as shown in FIG. 2, the flange 200 is held by the holding portion 10 so that the flange 200 (mesh structure 300) is in an upright state. By using the holding portion 10 in this way, the flange 200 can be held so as not to be tilted back and forth. The flange 200 may be installed on the holding portion 10 by an operator (operator) of the inspection device 100, but may be installed by using a dedicated transfer robot.

(移動・撮像工程S102)
移動・撮像工程S102では、まず、フランジ200のX1方向右端における接線と、フランジ200のZ1方向上端における接線と、のXZ平面上での交点Pと対応する位置(以下、「開始位置」と称する場合がある。)に、撮像部11と光源12とを移動機構13により移動させる。そして、開始位置において撮像部11を用いて撮像をした後、移動機構13によるフランジ200に対する撮像部11の位置移動と、撮像部11による撮像と、を繰り返し行う。
(Movement / Imaging Step S102)
In the moving / imaging step S102, first, a position corresponding to the intersection P of the tangent line at the right end of the flange 200 in the X1 direction and the tangent line at the upper end of the flange 200 in the Z1 direction on the XZ plane (hereinafter referred to as “start position”). In some cases), the imaging unit 11 and the light source 12 are moved by the moving mechanism 13. Then, after taking an image using the image pickup unit 11 at the start position, the position movement of the image pickup unit 11 with respect to the flange 200 by the moving mechanism 13 and the image pickup by the image pickup unit 11 are repeatedly performed.

具体的には、開始位置において、撮像部11により所定の領域を撮像した後、第1移動機構43により撮像部11と光源12とをZ2方向(下側)へ所定の距離だけ移動させて、撮像部11によりフランジ200(網目構造300)についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部11と光源12とがフランジ200のZ2方向の下端に到達するまで繰り返す。 Specifically, at the start position, after the imaging unit 11 images a predetermined region, the first moving mechanism 43 moves the imaging unit 11 and the light source 12 in the Z2 direction (lower side) by a predetermined distance. The image pickup unit 11 takes an image of the flange 200 (mesh structure 300). These operations are repeated until the imaging unit 11 and the light source 12 reach the lower end of the flange 200 in the Z2 direction.

撮像部11と光源12とがフランジ200のZ2方向の下端に到達したら、第2移動機構53により撮像部11と光源12とをX2方向(左側)へ所定の距離だけ移動させる。そして、撮像部11により所定の領域を撮像した後、第1移動機構43により撮像部11と光源12とをZ1方向(上側)へ所定の距離だけ移動させて、撮像部11によりフランジ200についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部11と光源12とがフランジ200のZ1方向の上端に到達するまで繰り返す。以上の動作を動作Aと称する。 When the image pickup unit 11 and the light source 12 reach the lower end of the flange 200 in the Z2 direction, the second movement mechanism 53 moves the image pickup unit 11 and the light source 12 in the X2 direction (left side) by a predetermined distance. Then, after imaging a predetermined region by the imaging unit 11, the imaging unit 11 and the light source 12 are moved in the Z1 direction (upper side) by a predetermined distance by the first moving mechanism 43, and the flange 200 is moved by the imaging unit 11. Take an image. These operations are repeated until the imaging unit 11 and the light source 12 reach the upper end of the flange 200 in the Z1 direction. The above operation is referred to as operation A.

撮像部11と光源12とがフランジ200のZ1方向の上端に到達したら、第2移動機構53により撮像部11と光源12とをさらにX2方向(左側)へ所定の距離だけ移動させる。そして、撮像部11により所定の領域を撮像した後、第1移動機構43により撮像部11と光源12とをZ2方向(下側)へ所定の距離だけ移動させて、撮像部11によりフランジ200についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部11と光源12とがフランジ200のZ2方向の下端に到達するまで繰り返す。以上の動作を動作Bと称する。 When the image pickup unit 11 and the light source 12 reach the upper end of the flange 200 in the Z1 direction, the second movement mechanism 53 further moves the image pickup unit 11 and the light source 12 in the X2 direction (left side) by a predetermined distance. Then, after imaging a predetermined region by the imaging unit 11, the imaging unit 11 and the light source 12 are moved in the Z2 direction (lower side) by a predetermined distance by the first moving mechanism 43, and the flange 200 is moved by the imaging unit 11. Is imaged. These operations are repeated until the imaging unit 11 and the light source 12 reach the lower end of the flange 200 in the Z2 direction. The above operation is referred to as operation B.

上述した動作A,Bを、例えば、フランジ200のX2方向左端における接線と、フランジ200のZ2方向下端における接線と、のXZ平面上での交点Qと対応する位置(以下、「終了位置」と称する場合がある。)に、撮像部11と光源12とが移動機構13により移動されるまで繰り返す。これにより、撮像部11は、網目構造300のXZ平面の全域を隈なく撮像することができる。 The above-mentioned operations A and B are, for example, positions corresponding to the intersection Q of the tangent line at the left end of the flange 200 in the X2 direction and the tangent line at the lower end of the flange 200 in the Z2 direction on the XZ plane (hereinafter, "end position"). The image pickup unit 11 and the light source 12 are repeated until they are moved by the moving mechanism 13. As a result, the image pickup unit 11 can take an entire image of the entire XZ plane of the network structure 300.

つまり、移動機構13(第1移動機構43と第2移動機構53)は、直交二軸駆動なので、その動作範囲が矩形状となるが、その動作範囲の矩形内にフランジ200の円形状の外周端が内包されていれば、撮像部11がフランジ200(網目構造300)の全域を隈なく撮像することができる。その場合に、本実施形態のように、移動機構13の動作範囲(矩形状)をフランジ200(円形状)に外接するようにすることで、移動機構13の動作範囲を最も小さくできる。 That is, since the moving mechanism 13 (the first moving mechanism 43 and the second moving mechanism 53) is orthogonally biaxially driven, its operating range is rectangular, but the circular outer circumference of the flange 200 is within the rectangular of the operating range. If the end is included, the image pickup unit 11 can take an image of the entire area of the flange 200 (mesh structure 300). In that case, the operating range of the moving mechanism 13 can be minimized by circumscribing the operating range (rectangular shape) of the moving mechanism 13 to the flange 200 (circular shape) as in the present embodiment.

(撮像判断工程S103)
撮像判断工程S103では、撮像部11が網目構造300の全域を隈なく撮像したか否かを判断する。具体的には、例えば、処理部14が撮像部11から受信した網目構造300の撮像画像の部分データ(矩形領域)を合成して、網目構造300の全体画像を構成することができるか否かを判断する。網目構造300の全体画像を構成できる判断した場合は、次の処理工程S104に進む。網目構造300の全体画像を構成できないと判断した場合は、移動・撮像工程S102を再び行う。
(Imaging determination step S103)
In the imaging determination step S103, it is determined whether or not the imaging unit 11 has completely imaged the entire area of the network structure 300. Specifically, for example, whether or not the processing unit 14 can synthesize the partial data (rectangular region) of the captured image of the network structure 300 received from the imaging unit 11 to form the entire image of the network structure 300. To judge. When it is determined that the entire image of the mesh structure 300 can be constructed, the process proceeds to the next processing step S104. If it is determined that the entire image of the network structure 300 cannot be formed, the moving / imaging step S102 is performed again.

(処理工程S104)
処理工程S104では、撮像部11から送信された画像を解析して、網目構造300の状態を判定する。具体的には、合成した矩形領域を構成する各画素のデータを解析する。例えば、各画素のデータの値の範囲を「0〜100」とし、フランジ200によって遮られない部分(例えば開始位置)の値を「95以上」、フランジ200の枠部によって完全に遮られる部分の値を「5未満」とすると、「95」と「5」の境界を抽出することでフランジ200の外周端縁を認識することができる。そして、フランジ200の領域内で、「5未満」の部分(枠部)を除く範囲が網目構造300の領域である。その網目構造300の領域内で、所定の範囲(例えば「40〜70」)内であれば網目構造300に目詰まりも穴開きもない状態と判定し、当該所定の範囲未満であれば網目構造300に目詰まりが生じている状態と判定し、当該所定の範囲を超えていれば網目構造300に穴があいている状態と判定する。
(Processing step S104)
In the processing step S104, the image transmitted from the imaging unit 11 is analyzed to determine the state of the network structure 300. Specifically, the data of each pixel constituting the combined rectangular region is analyzed. For example, the value range of the data of each pixel is "0 to 100", the value of the portion not blocked by the flange 200 (for example, the start position) is "95 or more", and the portion completely blocked by the frame portion of the flange 200. When the value is set to "less than 5", the outer peripheral edge of the flange 200 can be recognized by extracting the boundary between "95" and "5". Then, within the region of the flange 200, the range excluding the portion (frame portion) of "less than 5" is the region of the mesh structure 300. Within the region of the mesh structure 300, if it is within a predetermined range (for example, "40 to 70"), it is determined that the mesh structure 300 is not clogged or perforated, and if it is less than the predetermined range, the mesh structure is not clogged or perforated. It is determined that the 300 is clogged, and if it exceeds the predetermined range, it is determined that the network structure 300 has a hole.

(3)本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
(3) Effects of the present embodiment According to the present embodiment, one or more of the following effects are exhibited.

(a)本実施形態の処理部14は、撮像部11が撮像した画像を解析して網目構造300の状態を判定するように構成されている。具体的には、処理部14は、撮像部11から送信された画像の構成データを、予め設定された判定基準と対比することにより、網目構造300の状態(例えば、正常状態、目詰まり状態、穴あき状態のいずれに該当するか)を判定する。これにより、人為的な判定のバラツキやフランジ200のサイズ違い等の影響を排除しつつ定量的な判定を行うことが可能となる。このように、判定の定量化によって検査の適切化を図ることができる。 (A) The processing unit 14 of the present embodiment is configured to analyze the image captured by the imaging unit 11 to determine the state of the network structure 300. Specifically, the processing unit 14 compares the configuration data of the image transmitted from the imaging unit 11 with the preset determination criteria to obtain a state of the network structure 300 (for example, a normal state, a clogging state, etc.). Which of the perforated states it corresponds to) is determined. As a result, it is possible to make a quantitative judgment while eliminating the influence of artificial judgment variation and the size difference of the flange 200. In this way, it is possible to optimize the inspection by quantifying the determination.

また、本実施形態の保持部10は、フランジ200を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されているので、フランジ200をX方向に平置きする場合よりもフランジ200の設置面積を小さくすることができる。これにより、検査装置100を小型化することができる。このように検査装置100を小型化することにより、検査スペースの省スペース化を図る場合であっても、検査を適切に行うことができる。 Further, since the holding portion 10 of the present embodiment is configured to hold the flange 200 in an upright state in the vertical direction, the installation area of the flange 200 is smaller than that in the case where the flange 200 is placed flat in the X direction. can do. As a result, the inspection device 100 can be miniaturized. By downsizing the inspection device 100 in this way, even when the inspection space is to be saved, the inspection can be appropriately performed.

本実施形態の保持部10は、フランジ200を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されている。これにより、フランジ200の撮像中に、フランジ200に付着した粉体が撮像部11や光源12に落下するおそれがない。従って、処理部14は、光源12等に落下した粉体の影響を受けずに正確な画像解析を行うことができるので、網目構造300の検査を高精度に行うことができる。また、フランジ200の撮像中に、撮像部11や光源12の清掃を頻繁に行う必要がないので、検査を効率よく行うことができる。このような高精度化や効率化等によっても、検査の適切化を図ることができる。 The holding portion 10 of the present embodiment is configured to hold the flange 200 in an upright state in the vertical direction. As a result, there is no possibility that the powder adhering to the flange 200 will fall on the imaging unit 11 or the light source 12 during the imaging of the flange 200. Therefore, since the processing unit 14 can perform accurate image analysis without being affected by the powder dropped on the light source 12 or the like, the network structure 300 can be inspected with high accuracy. Further, since it is not necessary to frequently clean the imaging unit 11 and the light source 12 during the imaging of the flange 200, the inspection can be performed efficiently. The inspection can be made more appropriate by improving the accuracy and efficiency.

本実施形態の保持部10は、フランジ200を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されているので、フランジ200をX方向に平置きする場合に生じる網目構造300の撓みを防止することができる。結果として、高精度の検査、検査の効率化を実現することができ、検査の適切化を図る上で非常に有用である。 Since the holding portion 10 of the present embodiment is configured to hold the flange 200 in an upright state in the vertical direction, it is necessary to prevent the mesh structure 300 from bending when the flange 200 is placed flat in the X direction. Can be done. As a result, high-precision inspection and efficiency of inspection can be realized, which is very useful for optimizing inspection.

本実施形態の移動機構13は、フランジ200と撮像部11との相対位置を移動させるように構成されている。これにより、フランジ200を領域ごとに撮像することができ、フランジ200の全域を一度に撮像しなくてもよいので、フランジ200の全域が一つの画角内に収まるように、撮像部11の光学系を設定する必要がない。従って、必要以上に高解像度の撮像部11を用いる必要はなく、簡素かつ低コストの構成の撮像部11により検査を行うことができる。このように、簡素かつ低コストの構成の撮像部11を用いる場合であっても、検査を適切に行うことができる。 The moving mechanism 13 of the present embodiment is configured to move the relative position between the flange 200 and the imaging unit 11. As a result, the flange 200 can be imaged for each region, and the entire area of the flange 200 does not have to be imaged at once. Therefore, the optics of the imaging unit 11 so that the entire area of the flange 200 is within one angle of view. There is no need to set the system. Therefore, it is not necessary to use the imaging unit 11 having a higher resolution than necessary, and the inspection can be performed by the imaging unit 11 having a simple and low-cost configuration. As described above, even when the imaging unit 11 having a simple and low-cost configuration is used, the inspection can be appropriately performed.

(b)本実施形態の保持部10は、2つのクランプ台20と1つのクランプ台30とを有している。従って、保持部10にフランジ200を保持させるときは、3つのクランプ台20,30にフランジ200を仮置きし、その後、クランプレバーを操作してフランジ200を固定することができるので、作業の少人数化を図ることができる。 (B) The holding portion 10 of the present embodiment has two clamp bases 20 and one clamp base 30. Therefore, when the holding portion 10 holds the flange 200, the flange 200 can be temporarily placed on the three clamp bases 20 and 30, and then the clamp lever can be operated to fix the flange 200, which requires less work. The number of people can be increased.

また、本実施形態の2つのクランプ台20は、クランプ位置を変更可能に構成されているので、検査装置100は、異なる大きさのフランジ200にも対応することができる。 Further, since the two clamp bases 20 of the present embodiment are configured so that the clamp positions can be changed, the inspection device 100 can handle flanges 200 of different sizes.

(c)本実施形態のクランプ台30は、フランジ200の面内方向と直交する方向(Y方向)の位置を規定するように構成されている。これにより、フランジ200をY方向に傾かないように保持することができ、フランジ200と撮像部11との距離を一定に保つことができるので、網目構造300の検査を高精度に行うことができ、検査を適切に行う上で非常に有用である。 (C) The clamp base 30 of the present embodiment is configured to define a position in a direction (Y direction) orthogonal to the in-plane direction of the flange 200. As a result, the flange 200 can be held so as not to be tilted in the Y direction, and the distance between the flange 200 and the imaging unit 11 can be kept constant, so that the mesh structure 300 can be inspected with high accuracy. , Very useful for proper inspection.

(d)本実施形態の第1移動機構43は、撮像部11と光源12とを一緒にZ方向に移動するように構成されており、第2移動機構53は、撮像部11と光源12とを一緒にX方向に移動するように構成されている。このように、移動機構13(第1移動機構43と第2移動機構53)は、直交二軸駆動であり、第1移動機構43と第2移動機構53との動作を繰り返すことにより、撮像部11は、フランジ200(網目構造300)の全域を隈なく撮像することができる。また、比較的サイズの大きいフランジ200を移動させずに、比較的サイズの小さい撮像部11と光源12を移動させるように構成されているので、検査装置100の構成をより簡素にすることができる。このように、簡素な構成の検査装置100を用いる場合であっても、検査を適切に行うことができる。 (D) The first moving mechanism 43 of the present embodiment is configured to move the imaging unit 11 and the light source 12 together in the Z direction, and the second moving mechanism 53 includes the imaging unit 11 and the light source 12. Are configured to move together in the X direction. As described above, the moving mechanism 13 (the first moving mechanism 43 and the second moving mechanism 53) is an orthogonal biaxial drive, and by repeating the operation of the first moving mechanism 43 and the second moving mechanism 53, the imaging unit Reference numeral 11 can capture the entire area of the flange 200 (mesh structure 300). Further, since the relatively small image pickup unit 11 and the light source 12 are configured to move without moving the relatively large flange 200, the configuration of the inspection device 100 can be further simplified. .. As described above, even when the inspection device 100 having a simple structure is used, the inspection can be appropriately performed.

(e)本実施形態の検査装置100は、フランジ200を挟んで撮像部11と対向する位置で、フランジ200に対して光を照射する光源12を有している。これにより、網目構造300の画像に表された光の量に基づいて、網目構造300の状態を判定することができる。すなわち、網目構造300の画像のパターン認識や形状解析等を要することなく、画像の輝度(明度)データのみで、網目構造300の状態を定量的に判定することができる。結果として、検査の効率化を実現することができ、このことは、検査の適切化を図る上で非常に有用である。 (E) The inspection device 100 of the present embodiment has a light source 12 that irradiates the flange 200 with light at a position facing the imaging unit 11 with the flange 200 in between. Thereby, the state of the network structure 300 can be determined based on the amount of light represented in the image of the network structure 300. That is, the state of the network structure 300 can be quantitatively determined only by the brightness (brightness) data of the image without requiring pattern recognition, shape analysis, or the like of the image of the network structure 300. As a result, the efficiency of the inspection can be realized, which is very useful for the optimization of the inspection.

(f)本実施形態の検査装置100は、粉体を分級する篩(フランジ200)を検査するように構成されている。検査装置100により、フランジ200の交換時期を明確に判断することができ、正確な粉体の分級を実現することができる。 (F) The inspection device 100 of the present embodiment is configured to inspect a sieve (flange 200) for classifying powder. The inspection device 100 can clearly determine the replacement time of the flange 200, and can realize accurate powder classification.

<本発明の他の実施形態>
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
<Other Embodiments of the Present Invention>
Although the embodiments of the present invention have been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist thereof.

上述の実施形態では、光源12を有する検査装置100を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、光源12を有しない検査装置100を用いてもよい。但し、フランジ200を挟んで撮像部11と対向する位置に配置された光源12を有する方が、網目構造300の画像に表された光の量のみに基づいて、定量的に網目構造300の状態を判定することができ、検査の適切化を図る上で有用である。 In the above-described embodiment, the inspection device 100 having the light source 12 has been described as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, the inspection device 100 that does not have the light source 12 may be used. However, it is better to have the light source 12 arranged at a position facing the imaging unit 11 with the flange 200 in between, so that the state of the network structure 300 is quantitatively based only on the amount of light shown in the image of the network structure 300. Can be determined, which is useful for optimizing the inspection.

また、上述の実施形態では、第1移動機構43により、撮像部11と光源12とをZ方向に移動させ、第2移動機構53により、撮像部11と光源12とをX方向に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、第1移動機構43により、撮像部11と光源12とを、Z方向以外のフランジ200の面内方向の一方向に移動させ、第2移動機構53により、撮像部11と光源12とを当該一方向と直交する方向に移動させるようにしてもよい。この場合においても、撮像部11は、フランジ200(網目構造300)の全域を隈なく撮像することができる。 Further, in the above-described embodiment, the first moving mechanism 43 moves the imaging unit 11 and the light source 12 in the Z direction, and the second moving mechanism 53 moves the imaging unit 11 and the light source 12 in the X direction. However, the present invention is not limited to this. For example, the first moving mechanism 43 moves the imaging unit 11 and the light source 12 in one direction in the in-plane direction of the flange 200 other than the Z direction, and the second moving mechanism 53 moves the imaging unit 11 and the light source 12 to each other. It may be moved in a direction orthogonal to the one direction. Even in this case, the image pickup unit 11 can take an image of the entire area of the flange 200 (mesh structure 300).

また、上述の実施形態では、固定されたフランジ200(網目構造300)に対し、移動機構13により、撮像部11と光源12とをX方向とZ方向に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、所定の移動機構により、フランジ200をX方向に移動させ、第1移動機構43により、撮像部11と光源12とをZ方向に移動させるようにしてもよい。また、所定の2つの移動機構により、フランジ200をX方向とZ方向にそれぞれ移動させるように構成させるようにしてもよい。これらの場合においても、撮像部11は、フランジ200(網目構造300)の全域を隈なく撮像することができる。 Further, in the above-described embodiment, the case where the image pickup unit 11 and the light source 12 are moved in the X direction and the Z direction by the moving mechanism 13 with respect to the fixed flange 200 (mesh structure 300) has been described. Is not limited to this. For example, the flange 200 may be moved in the X direction by a predetermined moving mechanism, and the imaging unit 11 and the light source 12 may be moved in the Z direction by the first moving mechanism 43. Further, the flange 200 may be configured to move in the X direction and the Z direction by two predetermined moving mechanisms, respectively. Even in these cases, the image pickup unit 11 can take an image of the entire area of the flange 200 (mesh structure 300).

また、上述の実施形態では、撮像部11の撮像開始点を交点Pとし、撮像部11の撮像終了点を交点Qする場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。撮像開始点と撮像終了点は、検査対象であるフランジ200の交点P,Qよりも外方側にあれば特に限定されない。従って、例えば、予め検査対象となるフランジ200のうち、最もサイズの大きいフランジ200に合わせて撮像開始点と撮像終了点の設定しておくことで、サイズの異なるフランジ200を検査するたび毎にこれらを設定し直す必要がない。これにより、効率的に検査をすることができ、検査の適切化を図る上で有用である。一方、サイズの異なるフランジ200毎に対応する移動機構13の動作範囲を設定し、移動機構13の無駄な動作を省くようにすることも検査の効率化につながり、検査の適切化を図る上で有用である。 Further, in the above-described embodiment, the case where the imaging start point of the imaging unit 11 is set as the intersection P and the imaging end point of the imaging unit 11 is set as the intersection Q has been described, but the present invention is not limited to this. The imaging start point and imaging end point are not particularly limited as long as they are on the outer side of the intersections P and Q of the flange 200 to be inspected. Therefore, for example, by setting the imaging start point and the imaging end point according to the flange 200 having the largest size among the flanges 200 to be inspected in advance, each time the flanges 200 having different sizes are inspected, these are set. There is no need to reset. As a result, the inspection can be performed efficiently, which is useful for optimizing the inspection. On the other hand, setting the operating range of the moving mechanism 13 corresponding to each of the flanges 200 having different sizes to eliminate unnecessary operation of the moving mechanism 13 also leads to the efficiency of the inspection and makes the inspection appropriate. It is useful.

また、上述の実施形態では、撮像部11は、Z方向に移動した後、停止して撮像し、その後またZ方向に移動し、停止して撮像を繰り返す間欠動作をする場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、撮像部11は、Z方向に移動しながら連写する、という連続的な動作を行うようにしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the case where the imaging unit 11 moves in the Z direction, then stops and takes an image, then moves in the Z direction again, stops, and repeats the imaging has been described. The present invention is not limited to this. For example, the imaging unit 11 may perform a continuous operation of continuously shooting while moving in the Z direction.

100 検査装置
1 枠
2 枠
5 トグルクランプ
6 トグルクランプ
10 保持部
11 撮像部
12 光源
13 移動機構
14 処理部
15 撮像台
16 照明台
20 クランプ台
S 支持面
T 支持面
21 クランプゴム
22 クランプレバー
23 アーム
24 アーム
25 ノブ
26 クランプゴム
27 クランプレバー
30 クランプ台
43 第1移動機構
53 第2移動機構
200 フランジ
300 網目構造
100 Inspection device 1 Frame 2 Frame 5 Toggle clamp 6 Toggle clamp 10 Holding part 11 Imaging unit 12 Light source 13 Moving mechanism 14 Processing unit 15 Imaging stand 16 Lighting stand 20 Clamp stand S Support surface T Support surface 21 Clamp rubber 22 Clamp lever 23 Arm 24 Arm 25 Knob 26 Clamp rubber 27 Clamp lever 30 Clamp base 43 First movement mechanism 53 Second movement mechanism 200 Flange 300 Mesh structure

Claims (7)

網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、
前記網目構造を撮像する撮像部と、
前記物体と前記撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する処理部と、
を有し、
前記保持部は、複数のクランプ台を有し、
前記複数のクランプ台のうちの少なくとも2つのクランプ台Aは、前記物体の鉛直方向位置を確定するように構成されており、
前記複数のクランプ台のうちの前記クランプ台Aとは異なるクランプ台Bは、前記2つのクランプ台Aの間に設けられ、前記物体の面内方向と直交する方向の位置を規定するように構成されている、
検査装置。
A holding part that holds a plate-shaped object with a mesh structure in an upright position in the vertical direction,
An imaging unit that images the network structure and
A moving mechanism that moves the relative position between the object and the imaging unit,
A processing unit that analyzes the image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure, and
Have a,
The holding portion has a plurality of clamp bases and has a plurality of clamp bases.
At least two clamp bases A of the plurality of clamp bases are configured to determine the vertical position of the object.
The clamp base B, which is different from the clamp base A among the plurality of clamp bases, is provided between the two clamp bases A and is configured to define a position in a direction orthogonal to the in-plane direction of the object. Has been
Inspection equipment.
前記クランプ台Aは、前記物体の大きさに応じてクランプ位置を変更可能に構成されている、
請求項1に記載の検査装置。
The clamp base A is configured so that the clamp position can be changed according to the size of the object.
The inspection device according to claim 1.
前記移動機構は、前記撮像部を前記物体の面内方向の一方向に移動させる第1移動機構と、前記撮像部を前記一方向と直交する方向に移動させる第2移動機構と、を有する、
請求項1または2に記載の検査装置。
The moving mechanism includes a first moving mechanism that moves the imaging unit in one direction in the in-plane direction of the object, and a second moving mechanism that moves the imaging unit in a direction orthogonal to the one direction.
The inspection device according to claim 1 or 2.
前記一方向は、鉛直方向である、
請求項項に記載の検査装置。
The one direction is the vertical direction,
The inspection device according to claim 3.
前記物体を挟んで前記撮像部と対向する位置で、前記物体に対して光を照射する光源をさらに有し、
前記撮像部は、前記網目構造を通過した前記光源からの光を受光し、
前記処理部は、前記撮像部が受光した光の量を解析して前記網目構造の状態を判定する、
請求項1〜のいずれか1項に記載の検査装置。
Further having a light source for irradiating the object with light at a position facing the imaging unit with the object in between.
The imaging unit receives light from the light source that has passed through the network structure, and receives light.
The processing unit analyzes the amount of light received by the imaging unit to determine the state of the network structure.
The inspection device according to any one of claims 1 to 4.
前記物体は、粉体を分級する篩である、
請求項1〜のいずれか1項に記載の検査装置。
The object is a sieve for classifying powders,
The inspection device according to any one of claims 1 to 5.
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程と、
前記網目構造を撮像する工程と、
前記物体と撮像部との相対位置を移動させる工程と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する工程と、
を有し、
前記物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程では、少なくとも2つのクランプ台Aにより、前記物体の鉛直方向位置を確定し、前記2つのクランプ台Aの間に設けられ、前記クランプ台Aとは異なるクランプ台Bにより、前記物体の面内方向と直交する方向の位置を規定する、
検査方法。
The process of holding a plate-shaped object with a mesh structure upright in the vertical direction, and
The process of imaging the network structure and
The step of moving the relative position between the object and the imaging unit, and
A step of analyzing an image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure,
Have a,
In the step of holding the object upright in the vertical direction, at least two clamp bases A determine the vertical position of the object, and the object is provided between the two clamp bases A and the clamp base A. Defines the position of the object in a direction orthogonal to the in-plane direction by a different clamp base B.
Inspection method.
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