JP6934252B2 - 極低温用温度センサー - Google Patents
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Description
以下に、本発明の極低温用温度センサー1の実施例において、極低温における測定温度誤差と、温度変化に対する安定性を評価した試験結果を示す。ここで前述した充填材5を用いた極低温用温度センサーを実施例とし、充填材5の換わりに無機絶縁粉末(酸化マグネシウム)を充填したものを比較例1、極低温においてひび割れなど発生せず安定であり熱膨張係数が小さいエポキシ樹脂を充填したものを比較例2、常温用グリース(「Apiezon(登録商標:M & I Materials Limited)グリース M」を充填した例を比較例3とする。なお、実施例、比較例1〜3の感温素子はいずれも薄膜型測温抵抗体素子を用い、サンプル数は3とした。
<極低温における温度測定誤差>
一般的に温度を測定する際は、温度センサーに定電流を流しその両端の電圧降下を測定する電圧降下法を用いて抵抗値を測定して温度に換算されるが、温度センサーに電流を流すという手法上、感温素子からは電流の大きさに応じたジュール熱が発生し、測定電流が大きいほど真の温度からプラス側に誤差が生じる。この時、温度センサーの熱伝導率が高ければ発生したジュール熱は適切に外部に排出され、温度測定誤差は小さくなる。しかし、温度センサーの熱伝導率が低ければ発生したジュール熱は適切に外部に排出されず温度センサー内部に籠もり、大きな温度測定誤差が生じる。極低温においても高い熱伝導率を有し、温度測定誤差が小さいほど温度センサーとして優秀であると言える。また、熱伝導率が高いことは測定対象の温度変化に対する追従性も良く、温度測定の応答速度が早いという副次的な効果もある。
極低温用温度センサーは、例えばクライオスタットの温度管理に使用される場合、運転時には極低温に晒され、運転停止時には常温付近に戻るというような使い方をされる。そのため、極低温用温度センサーは常温(25℃)から極低温(−269℃)という300℃に近い大きな温度変化に繰り返し晒されることになる。この時、感温素子は充填材との熱膨張係数の違いによる熱応力を受けるなどして抵抗値が変化してしまう場合があり、この抵抗値の変化は温度測定誤差の要因となる。つまり、大きな温度変化に晒されても感温素子の抵抗値の変化が小さい(安定している)ほど、温度センサーとしてより優秀であると言える。
以上の2つの試験結果において、実施例は極低温における測定温度誤差と温度変化に対する安定性ともに比較例1〜比較例3よりも優れた特性を有していることが示された。
3:感温素子,4:リード線,5:充填材,6:接着剤
Claims (5)
- 一端側が封止され他端側に開口を有する中空状の保護管と、前記保護管内に配置される感温素子と、前記感温素子に接続され前記開口から前記保護管の外に引き出されるリード線とを備え、前記保護管内に、−269℃(4K)で柔軟性を有し且つ電気的絶縁性を有する炭化水素系の高真空グリースを充填していることを特徴とする極低温用温度センサー。
- 前記開口をエポキシ系接着剤で封止することを特徴とする請求項1記載の極低温用温度センサー。
- 前記感温素子が薄膜型測温抵抗体であることを特徴とする請求項1又は2記載の極低温用温度センサー。
- 前記薄膜型測温抵抗体の抵抗回路を構成する金属が白金であることを特徴とする請求項3記載の極低温用温度センサー。
- 前記薄膜型測温抵抗体の0℃における抵抗値が1000Ω〜10000Ωであることを特徴とする請求項4記載の極低温用温度センサー。
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