JP6933359B2 - 酸化物半導体単結晶及びその製造方法、透明導電性材料、並びに透明導電性基板 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 269
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 66
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 15
- 239000004020 conductor Substances 0.000 title claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 61
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 42
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 40
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 37
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 35
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 30
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 27
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 9
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 29
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 26
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 18
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 17
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 8
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 7
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 6
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 5
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 239000004816 latex Substances 0.000 description 3
- 229920000126 latex Polymers 0.000 description 3
- 238000003746 solid phase reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000004857 zone melting Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000002329 Inga feuillei Species 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007507 annealing of glass Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007716 flux method Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000010671 solid-state reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 1
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
一方、集光式浮遊帯溶融法(フローティングゾーン法)によりCuAlO2単結晶を製造することが開示されている(例えば、特許文献1参照)。
本発明の一実施形態が解決しようとする課題は、従来のミクロンオーダーサイズの単結晶に比べて大サイズであり、1:1:1:4相の結晶(InGaZnO4)の占有率の高い酸化物半導体単結晶及びその製造方法を提供することにある。
本発明の他の実施形態が解決しようとする課題は、良好な導電性を有する透明導電性材料及び透明導電性基板を提供することにある。
<1> インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を下記式1で表されるモル比で含む試料棒を、集光式浮遊帯溶融法(フローティングゾーン法)により1気圧を越える圧力下、酸素含有雰囲気中で加熱し、加熱により生成した融液を冷却することにより、下記式2で表される組成を有する酸化物半導体の単結晶を製造する工程を含む酸化物半導体単結晶の製造方法である。
In:Ga:Zn=1:1:a ・・・式1
(InGaO3)m(ZnO)n ・・・式2
式1において、aは、組成中に占めるZnのモル比を表し、a>1を満たす。式2中、m及びnは、整数を表し、m≧1及びn≧1を満たす。
<7> 下記式2で表される組成を有し、かつ、a軸−b軸面方向の電気伝導度σabが50S/cm以上であり、c軸方向の電気伝導度σcが0.1S/cm〜1.0S/cmである、酸化物半導体単結晶である。
(InGaO3)m(ZnO)n ・・・式2
式2において、m及びnは、整数を表し、m≧1及びn≧1を満たす。
<10> 前記<7>又は前記<8>に記載の酸化物半導体単結晶を含む透明導電性基板である。
本発明の他の実施形態によれば、良好な導電性を有する透明導電性材料及び透明導電性基板が提供される。
本開示の酸化物半導体単結晶の製造方法は、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を下記式1で表されるモル比で含む試料棒を、フローティングゾーン法により1気圧を越える圧力下、酸素含有雰囲気中で加熱し、加熱により生成した融液を冷却することにより、下記式2で表される酸化物半導体の単結晶を製造する工程(以下、「単結晶製造工程」ともいう。)を含み、好ましくは製造された単結晶を熱処理する工程(以下、「熱処理工程」ともいう。)を含み、必要に応じて、更に他の工程を有していてもよい。
式1において、aは、組成中に占めるZnのモル比を表し、a>1を満たす。
(InGaO3)m(ZnO)n (式2)
式2において、m及びnは、それぞれ独立に整数を表し、m≧1及びn≧1を満たす。
IGZO系酸化物は、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を含む酸化物であり、含有元素のうち、In及びZnの酸化物は、Gaの酸化物に比べて蒸気圧が大きく、結晶育成中にIn及びZnの酸化物が蒸発して所期の組成を保持することが難しいとされてきた。特に組成中のZn成分は、含有比が低くなる傾向がある。
そのため、フローティングゾーン法のように高温環境で結晶を育成する方法は、蒸気圧の高い成分の蒸発を招き、蒸気圧の大きいIn及びZnの酸化物を含む単結晶の製造には、例えば固相反応法などの他の方法が適用されるのが一般的であった。
本開示における単結晶製造工程は、In(インジウム)、Ga(ガリウム)、及びZn(亜鉛)を式1で表されるモル比で含む試料棒を、フローティングゾーン法により1気圧を越える圧力下、酸素含有雰囲気中で加熱し、加熱により生成した融液を冷却することにより、式2で表される酸化物半導体の単結晶を製造する。
In:Ga:Zn=1:1:a 式1
(InGaO3)m(ZnO)n 式2
なお、式1において、aは、組成中に占めるZnのモル比を表し、a>1を満たす。式2において、m及びnは、それぞれ独立に整数を表し、m≧1及びn≧1を満たす。
IGZO系酸化物材料に含まれるIn及びZnの酸化物は、比較的蒸気圧が高く、蒸発しやすいため、通常はフローティングゾーン法による結晶化には適さない。
このような状況下、本開示の酸化物半導体単結晶の製造方法では、フローティングゾーン法を利用して結晶育成する際の石英管内の圧力を高め、単結晶の育成を行う。具体的には、1気圧を越える加圧雰囲気下で試料棒をフローティングゾーン法で加熱して融液にし、単結晶化を試みると、試料棒に含まれるIn及びZnの酸化物成分の蒸発が抑えられる。これにより、(InGaO3)m(ZnO)nで表され、かつ、バルク状の酸化物半導体の単結晶を製造することが可能になる。この際、単結晶の育成に用いる試料棒は、In及びGaに対してZnの含有濃度が高い組成を有していることが好ましい。
試料棒は、フローティングゾーン法で単結晶を育成する過程で形成する融液の原料となる試料であり、本開示における単結晶製造工程では、酸化状態で蒸発しやすいZn(下記の反応式参照)の試料棒中における含有比率を高める。
In2O3+Ga2O3+2ZnO → 2(InGaO3)ZnO
→ (InGaO3)2ZnO+ZnO↑
これにより、単結晶の育成過程でZnが蒸発等で特異的に減少する等が原因で、In及びGaに対して相対的にZnが不足することによって他の組成(例えば2:2:1:7相の結晶(In2Ga2ZnO7))が生成されやすくなることが抑制されるため、1:1:1:4相の結晶(InGaZnO4)の生成を促進することができる。
試料棒中のZnのモル比aは、1より大きい範囲であればバルク状の単結晶を得やすい。中でも、試料棒の組成中に占めるZnのモル比aとしては、1.05以上の範囲(In及びGaに対して5%以上多い範囲)が好ましく、1.10以上の範囲(In及びGaに対して10%以上多い範囲)がより好ましい。モル比aの上限は、特に制限されるものではなく、3.00以下としてもよい。
組成中のZnのモル比aが1.05以上の範囲であると、2:2:1:7相の結晶(In2Ga2ZnO7)等の他の組成の生成がより抑えられ、1:1:1:4相の単結晶(InGaZnO4結晶)がより安定的に得られやすくなる。
mの範囲としては、1〜3であってもよく、1〜2であってもよい。
nの範囲としては、特に制限はなく、1〜5であってもよく、1〜3であってもよく、1〜2であってもよい。
m及びnの好ましい範囲は、mが1〜2であり、かつ、nが1〜2である範囲としてもよい。半導体材料として好適な組成の一つとして、m及びnは、m=n=1(即ち、1:1:1:4相の単結晶(InGaZnO4結晶))であってもよい。
加圧雰囲気下で融液を生成して単結晶化する際の圧力は、上記と同様の理由から、5気圧以上が好ましく、7気圧以上がより好ましい。圧力の上限は、装置の性能上の点で、9気圧以下とされてもよい。
例えば石英管に大気を一端から供給する場合、管内の圧力は、装置に取り付けた圧力計によって把握することができる。
融液を生成する管内の酸素含有雰囲気中の酸素含有量は、酸素欠陥の少ない単結晶を得る観点から、体積基準で21%〜100%の範囲が好ましい。
融液が生成される管内の酸素濃度は、原理的には酸素分圧依存性を持つジルコニア固体電解質を利用した素子を利用するジルコニア式酸素濃度計にて求められる値であり、例えば、横河電気株式会社の一体型ジルコニア酸素濃度計ZR202Gを用いて測定することができる。
加熱温度は、装置中のランプに供給する電力に相関するものであり、ランプ出力を変化させることにより加熱温度を調整することができる。ランプの電力は、400W〜800Wの範囲としてよい。
試料棒を部分的に加熱して融液部を形成して単結晶を育成する場合、例えば図1に示すように、ハロゲンランプ等の光源からの光を回転楕円体ミラーによって集光し、溶融場である石英管内において多結晶で作った試料棒の一部を融液の状態で保持することが好ましい。この際、試料棒の融液部の状態を適宜観察し、確認しながら、ランプの出力を調節することが好ましい。
ランプ出力が大きくなり過ぎないように調節することで、融液量が増え過ぎるのを回避し、融液が垂れることを防止することができる。また、ランプ出力が小さくなり過ぎないように調節することで、融液が不足しない範囲に保持でき、融液が少なくなり過ぎて上下軸が衝突して軸がぶれるのを回避することができる。
フローティングゾーン法による場合、例えば図2Aに示すように、融液部を表面張力によって支えながら、試料棒を移動させて全体を下方に移動させることで融液部を冷却して単結晶を製造する。
まず初めに、試料棒を作製するためのInGaZnO4多結晶を作製する。即ち、
出発物質を秤量し、秤量した出発物質に溶媒を加えて混合し、混合した溶媒は蒸発除去する。混合方法には、特に制限はなく、例えば、乳鉢を用い、乳棒を用いて混合してもよい。
混合は、溶媒を加えて行う湿式混合が好ましい。湿式混合によると、粉体をより均一に混合できる点で有利である。
混合時に用いる溶媒としては、出発物質との反応性が低い溶媒が好ましく、例えば、アルコール溶媒(例えばエタノール)、ケトン溶媒(例えばアセトン)等を用いることができる。中でも、混合時又は混合終了後に容易に蒸発する溶媒が好ましく、アルコール溶媒は好ましい。
また、混合時に用いる溶媒の混合量としては、出発物質の合計質量に対して、70質量%〜150質量%が好ましく、80質量%〜120質量%がより好ましい。
到達温度:700℃〜900℃
到達温度での保持時間:20時間〜25時間(加熱温度に依存する)
昇温速度:300℃/h〜500℃/h
降温速度:炉冷(炉内放冷)
試料棒におけるZnの配合比率は、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2(モル比)である正規組成比よりも多くなるように調整される。
試料棒としては、ロッド形状のロッド試料を用いることができる。
擂潰は、出発物質を混ぜることに加え、出発物質をなるべく細かく砕いて粒径を小さくすることを目的として行う。つまり、擂潰は、強い力で擂り潰しながら混ぜる作業である。この点、各出発物質を均一に混ぜることを目的とする混合とは区別される。擂潰により、出発物質の粒子が細かくなり、表面積が増えて反応性を高め、また、均一性を向上させることができる。
焼成温度:1000℃〜1300℃
焼成時間(到達温度での保持時間):45時間〜50時間(焼成温度に依存する)
昇温速度:600℃/h〜650℃/h
降温速度:炉冷(炉内放冷)
続いて、得られた多結晶試料に静水圧をかけ、静水圧によって全方向から均等に圧力をかけて所望形状に押し固めて成形する。
そして、得られた試料棒を,フローティングゾーン法を利用して単結晶を育成する装置にセットし、1気圧を越える圧力下、酸素含有雰囲気中で加熱し、加熱により生成した融液を冷却することにより、酸化物半導体の単結晶を製造する。試料棒の一端に相手材として配置される種結晶は、設置されてもされていなくてもよい。種結晶を設置しない場合は多結晶棒を相手材として設置することが好ましい。
なお、InGaZnO4は、下記式(a)で示す化学反応式にて生成される。
In2O3+Ga2O3+2ZnO → 2InGaZnO4 式(a)
単結晶の組成は、m=1の組成であってもよい。具体的には下記で表される。
InGaO3(ZnO)n (n≧1)
また、単結晶の組成は、m=n=1であるInGaZnO4であってもよい。
本開示の酸化物半導体単結晶の製造方法では、上記の単結晶製造工程の後工程として、単結晶製造工程で製造された単結晶を熱処理する熱処理工程を更に設けてもよい。
単結晶製造工程で製造された単結晶を熱処理に供することによって、バルク状の単結晶の色味及び導電性の調整を行うことが可能である。
熱処理の温度が250℃以上であることで、導電性の程度を調整することが可能である。また、単結晶に酸素欠損がある場合は、結晶への酸素の導入で酸素欠損が補われ、単結晶の色相を調整(例えば着色のない結晶にする)ことができる。
上記のうち、熱処理の温度としては、酸素の導入による単結晶の色相及び電導性の調整が行いやすい理由から、250℃〜1000℃の範囲がより好ましく、250℃を超え500℃以下の範囲がより好ましい。
なお、熱処理の温度域が1000℃以下であると、加熱炉の温度上の制約の観点から有利である。
本開示の酸化物半導体単結晶は、式2で表される組成を有し、かつ、a軸−b軸面方向の電気伝導度σaが50S/cm以上であり、c軸方向の電気伝導度σcが0.1S/cm〜1.0S/cmである。
(InGaO3)m(ZnO)n ・・・式2
式2において、m及びnは、それぞれ独立に整数を表し、m≧1及びn≧1を満たす。
式2で表される組成を有する酸化物半導体単結晶の例としては、1:1:1:4相の結晶(InGaZnO4)、2:2:1:7相の結晶(In2Ga2ZnO7)、1:1:2:5相の結晶(InGaZn2O5)等が含まれる。
酸化物半導体単結晶の中でも、1:1:1:4相の結晶(InGaZnO4)は好適である。
従来から知られたIGZO系酸化物材料は、ミクロンサイズの単結晶が製造されるに留るものであり、従って単結晶のa軸−b軸面に直交するc軸方向の電気伝導性は測定がなされていない。これに対し、本開示の酸化物半導体単結晶は、c軸方向に0.1S/cm〜1.0S/cmの電気伝導度σcを有している。即ち、本開示の酸化物半導体単結晶は、オーダーが異なるものの、a軸−b軸面方向とc軸方向とにおいて電気伝導性を示す。具体的には、本開示の酸化物半導体単結晶は、c軸方向に、a軸−b軸面方向の電気伝導性に対して数オーダー異なるが、0.1S/cm以上の電気伝導度を有している。
単結晶の最大長さは、定規により測定することが可能である。
熱処理前における電気伝導度としては、0.1S/cm〜1.0S/cmが好適である。また、熱処理を施した後の電気伝導度としては、0.01S/cm〜0.1S/cmの範囲が好適である。
本開示の透明導電性材料は、既述の本開示の酸化物半導体単結晶を含むものである。
既述の本開示の酸化物半導体単結晶が含まれることにより、本開示の透明導電性材料は(InGaO3)m(ZnO)nで表される組成の単結晶をバルク状結晶として含むので、所望とする導電性を得やすく、用途に応じた形状に加工しやすい。
なお、光の透過率は、以下の方法で測定される値である。
厚さ0.195mm、a軸−b軸面方向の大きさが2mm×3mmの単結晶試料に対し、分光光度計U−3010(株式会社日立ハイテクサイエンス製、光源:D2ランプ(170nm〜400nm)及びWIランプ(370nm〜900nm))を用いて下記条件にて透過率を測定する。この際、光源のランプを低波長領域と高波長領域とに自動で切り替え、それぞれ2回ずつ測定を行った後、2つの測定値の平均値を透過率とする。
<条件>
スリット幅:1nm
スキャンスピード:300nm/min
測定波長:200nm〜850nm
光源の切り替え波長:330nm
本開示の透明導電性基板は、既述の本開示の酸化物半導体単結晶を含むものであり、本開示の酸化物半導体単結晶からなるものでもよい。なお、「透明」とは、既述した通りである。
本開示の透明導電性基板は、既述の本開示の酸化物半導体単結晶が含まれることにより、(InGaO3)m(ZnO)nで表される組成の単結晶をバルク状結晶として含む。これにより、所望とする導電性を得やすく、用途に応じた形状に加工しやすい。
既述の酸化物半導体単結晶を透明導電性基板としてそのまま用いることも可能であり、この場合の透明導電性基板の厚みは、酸化物半導体単結晶の大きさに由来して数十ミリ〜数ミクロンの広範な範囲で任意に選択することができる。
本実施例では、フローティングゾーン法により、石英管内に配置した試料棒(ロッド状試料)を融かして融液とし、石英管内のガス圧を0.9MPaとして結晶育成した場合を示す。
原料となる試料棒には、正規組成比(In:Ga:Zn=1:1:1[モル比])よりもZnの混合比が10mol%多いロッド状試料(In:Ga:Zn=1:1:1.1[モル比])を用いた。
出発物質として、In2O3(純度:99.99%、フルウチ化学株式会社)、Ga2O3(純度:99.99%、フルウチ化学株式会社)、ZnO(純度:99.99%、株式会社高純度化学研究所)の粉末を用いた。
上記の出発物質を混合する前に、出発物質中の水分及び不純物を取り除くため、各出発物質をそれぞれアルミナ(Al2O3)製のるつぼに入れ、電気炉中にて温度800℃で24時間加熱した。具体的には、2時間かけて800℃まで温度を上げ、800℃で24時間保った後、炉冷(ヒーターを切り、炉の中で自然に冷やすこと)し、約1日かけて室温(25℃)まで冷やした。
出発物質の混合比は、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2.2(mol比)であり、正規組成比(In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2)よりもZnの配合比率を増やしてある。
エタノールが完全に蒸発した後、乳鉢内の出発物質をさらに2時間擂潰した。
<測定条件>
測定モード:2θ/θ測定のFixed Time(FT)モード
0.01°ステップごとの計数時間:1秒
測定範囲:4°≦2θ≦90°
光源:CuKα線(λ=1.5418Å)
発散スリットの発散角:1°
散乱スリットの散乱角:1°
受光スリット:0.15mm
フローティングゾーン(FZ)法による単結晶育成のため、上記の多結晶試料をロッド状に成形した。
まず、粉末状の多結晶試料を直径6mmのラテックスチューブに詰め、30分間真空引きを施した。真空引きが施されたチューブは、開口部を閉塞した後に15分間、18MPaの静水圧を加えた。具体的には、開口部が閉塞されたラテックスチューブを、水の入った筒の中に入れ、ピストンの要領で水に圧力をかけて加圧した。この際、多結晶試料は、静水圧によって全方向から均等に圧力がかけられるので、チューブの形状(ロッド状)に押し固められて成形される。
ロッド状に成形された多結晶試料をラテックスチューブから取り出し、アルミナ製の容器に入れて電気炉にて1250℃で1日間焼結した。この際、2時間かけて1250℃まで昇温し、1250℃で24時間保った後、炉冷で約1日かけて室温(25℃)まで冷やした。このようにして、ロッド状の試料棒(ロッド状試料;直径6mm、長さ90mm)を作製した。
そして、ロッド状試料を、図1に示す構造を有するフローティングゾーン装置の石英管内にセットした。
フローティングゾーン装置の石英管内に、図1、図2A及び図2Bに示すように、上軸及び下軸の両方に試料棒として上記ロッド試料をセットし、石英管内に乾燥空気フローで0.9MPa(9気圧)のガス圧をかけて単結晶の育成を行った。
なお、単結晶の育成開始にあたり、ロッド試料のセット前に、まず光が試料棒の1点に集光するようにハロゲンランプの調節を行い、ロッド試料を石英管内にセットして軸を回転させながら上下軸の回転軸を一致させ、傾かないように調節した。
なお、ロッド試料の融液部の組成比を均一化し、かつ、光の照射による温度分布を均一化する観点から、図2Bに示すように、上下軸を左右逆方向に回転させた。
<育成条件>
石英管内のガス圧:0.9MPa(9気圧)
ロッド試料の組成:mol比でIn2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2.2
上軸回転数:16.00rpm(rotation per minutes)
下軸回転数:14.00rpm
シャフトスピード:1.90mm/h
ギャップ調整速度:2.00mm/h
ランプ:1500Wのハロゲンランプ2個(左右に1つずつ)
(a)は、融液がまだ見られない時期の様子を示し、この時点ではランプ出力を605Wとした。
(b)は、ロッド試料の表面に融液が現れ始めた際の様子を示し、この時点ではランプ出力を743Wとした。
(c)は、上軸ロッドの下端部分が完全に融液となっている様子を示し、この時点ではランプ出力を781Wとした。
(d)は、上軸と下軸を結合して結晶育成を開始した際の様子を示し、この時点ではランプ出力を758Wとした。
(e)は、結晶の育成開始から12時間経過後、結晶が23mm成長した後の様子を示し、この時点ではランプ出力を745Wとした。
上記のように、結晶の育成開始から約3時間の間は、ランプ出力を700W〜750Wにて微調整を続けた後、745Wで一定に保ち、約15時間単結晶の育成を行った。結晶の育成時間は、合計で18時間である。なお、ランプは左右1つずつあるため、合計1490W(=745W×2)である。
以上のようにして単結晶を育成し、最大長さが約35mmの単結晶試料(IGZO系酸化物単結晶)を製造した(単結晶製造工程)。
上記で得られた単結晶試料に対して、以下に示す測定を行った。
単結晶試料をメノウ製の乳鉢で細かく粉砕し、粉末状にした。粉末状にした単結晶試料をスライドガラスに載せ、XRD回折装置(Rigaku製、RINT2500V)にて解析を行った。測定は、2θ/θ測定のFixed Time(FT)モードで行った。
<測定条件>
0.01°ステップごとの計数時間:1秒
測定範囲:4°≦2θ≦90°
光源:CuKα線(λ=1.5418Å)
発散スリットの発散角:1°
散乱スリットの散乱角:1°
受光スリット:0.15mm
大きさ1mm〜3mmの単結晶試料に対し、4端子法を用いて室温(25℃)で伝導度を測定した。c軸方向の電気伝導度を測定する場合は、c軸と垂直な方向に結晶面を持つ板状試料の一方面に電圧と電流の端子を1つずつ互いに平行に配置し、他方面に残りの2つの端子を同様に互いに平行になるように配置し、さらに電流の端子間を結ぶ線と電圧の端子間を結ぶ線とが交差するように端子を配置して、測定を行った。
厚さ0.195mm、a軸−b軸面方向の大きさが2mm×3mmの単結晶試料を用い、分光光度計U−3010(株式会社日立ハイテクサイエンス製、光源:D2ランプ(170nm〜400nm)及びWIランプ(370nm〜900nm))にて下記条件で光の透過率を測定した。この際、光源のランプを低波長領域と高波長領域とに自動で切り替え、それぞれ2回ずつ測定を行った後、2つの測定値の平均値を透過率とした。
<条件>
スリット幅:1nm
スキャンスピード:300nm/min
測定波長:200nm〜850nm
光源の切り替え波長:330nm
1)本実施例では、上記の通り、最大長さの辺長が約35mmである大サイズのバルク状単結晶試料(IGZO系酸化物単結晶)が得られた。
2)XRD回折の結果(粉末状にした単結晶試料の結果)を図4に示す。図4に示すように、(InGaO3)2ZnO相を含まないInGaZnO4単結晶が得られていることが確認された。
なお、図4には、単結晶を粉砕して粉末状にして測定した上記結果との対比のため、単結晶を粉砕せずにバルク単結晶のままXRD測定を行った結果も示している。
バルク結晶のまま測定したXRD回折による解析では、c軸方向と垂直な結晶面が試料台と平行になるように試料を設置し、測定を行った。この場合、図4に示される通り、c軸方向と垂直な結晶面に由来する回折ピーク(00n(n:整数)で表されるピーク)しか現れていないということは、結晶全域にわたって結晶面が揃っていることを意味する。したがって、本実施例では、単結晶が得られていることが裏付けられた。
一辺の長さが2mm程の薄い板状の単結晶片をスライドガラスに載せ、上記と同じXRD回折装置にて解析を行った。測定は、2θ/θ測定の連続測定モードで行った。
<測定条件>
スキャンスピード:4°/分
測定範囲:6°≦2θ≦90°
光源:CuKα線(λ=1.5418Å)
発散スリットの発散角:0.5°
受光スリットの散乱角:0.5°
受光スリット:0.15 mm
また、単結晶試料にアニール処理を施した後の電気伝導度は、a軸−b軸面方向の電気伝導度σabが50S/cm〜200S/cmであり、c軸方向の電気伝導度σcが0.1S/cmであり、アニール処理後も良好な電気伝導性を示した。
4)単結晶試料をアニール処理したところ、青味がかった透明な単結晶から無色透明な単結晶に変化した。これより、実施例1で製造された単結晶試料は、結晶中に酸素欠損があることが認められた。
5)単結晶試料は、図5Aに示すように、青味着色のある透明性であり、厚さ0.195mmの試料では透過率は50%であり、高い透明性を有する単結晶であることが確認された。
また、アニール処理を施した単結晶試料では、図5Bに示すように、青味がなくなって無色の透明性となり、透過率が85%である高い透明性を示した。
図6にアニール前後のそれぞれの透過率を示す。図6に顕著に現れるように、400nm〜850nm近傍の全域に渡って透過率の向上が認められた。特に、620nm〜780nm付近の吸収がアニール処理によって無くなり、可視光領域の全域で高い透過率を示した。
実施例1において、石英管内のガス圧を0.9MPaから0.8MPaに変更したこと以外は、実施例1と同様にして単結晶を育成し、最大長さが約30mmの単結晶試料を製造した。
実施例1において、出発物質の混合比(mol比)を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2.2からIn2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2に変更し、かつ、石英管内のガス圧を0.9MPaから大気圧に変更したこと以外は、実施例1と同様にして結晶の育成を試み、IGZO系酸化物結晶を製造した。
また、得られた酸化物結晶は、最大長さが約30mmの結晶物であり、実施例1のような単相からなる大きなバルク状の単結晶を得るまでには至らなかった。
実施例1において、出発物質の混合比(mol比)を、In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2.2からIn2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:2に変更したこと以外は、実施例1と同様にして単結晶の育成を試み、IGZO系酸化物結晶を製造した。
また、得られた酸化物結晶は、最大長さが約30mmの結晶物であり、実施例1のような単相からなる大きなバルク状の単結晶を得るまでには至らなかった。
14 回転楕円体ミラー
16 石英管
18 種結晶
20 ロッド状試料棒
Claims (9)
- インジウム(In)、ガリウム(Ga)、及び亜鉛(Zn)を下記式1で表されるモル比で含む試料棒を、フローティングゾーン法により1気圧を越える圧力下、酸素含有雰囲気中で加熱し、加熱により生成した融液を冷却することにより、InGaZnO 4 の組成を有する酸化物半導体の単結晶を製造する工程を含む、酸化物半導体単結晶の製造方法。
In:Ga:Zn=1:1:a ・・・式1
〔式1中、aは、組成中に占めるZnのモル比を表し、a>1を満たす。〕 - 前記圧力が、5気圧以上である請求項1に記載の酸化物半導体単結晶の製造方法。
- 前記aが、1.05以上である請求項1又は請求項2に記載の酸化物半導体単結晶の製造方法。
- 前記単結晶を製造する工程の後、更に、製造された前記単結晶を酸素含有雰囲気下、250℃以上の温度域で熱処理する工程を含む請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の酸化物半導体単結晶の製造方法。
- 前記熱処理する工程は、酸素含有雰囲気中の酸素濃度を、体積基準で21%〜100%の範囲で調節しながら熱処理する請求項4に記載の酸化物半導体単結晶の製造方法。
- 下記式2で表される組成を有し、かつ、a軸−b軸面方向の電気伝導度σabが50S/cm以上であり、c軸方向の電気伝導度σcが0.1S/cm〜1.0S/cmである、酸化物半導体単結晶。
(InGaO3)m(ZnO)n ・・・式2
〔式2中、m及びnは、整数を表し、m≧1及びn≧1を満たす。〕 - 前記式2中のm及びnが、m=n=1を満たす請求項6に記載の酸化物半導体単結晶。
- 請求項6又は請求項7に記載の酸化物半導体単結晶を含む透明導電性材料。
- 請求項6又は請求項7に記載の酸化物半導体単結晶を含む透明導電性基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018177621A JP2018177621A (ja) | 2018-11-15 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6933359B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0244256B2 (ja) * | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244258B2 (ja) * | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244260B2 (ja) * | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244262B2 (ja) * | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) * | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JP2004134454A (ja) * | 2002-10-08 | 2004-04-30 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 熱電変換材料及びその製造方法 |
JP5138163B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2013-02-06 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ |
US9663405B2 (en) * | 2009-06-05 | 2017-05-30 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Oxide sintered compact, its production method, and raw material powder for producing oxide sintered compact |
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