JP6932601B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
複数のメインプーリー132の直径がすべて同じである場合、複数の可動ガイドレール110Mは、同じ距離だけ移動する。そのため、一括変更後の複数の搬送路120の幅Wは、固定ガイドレール110Fとこれに隣接する可動ガイドレール110MAとで挟まれる領域に形成される搬送路120を除き、変化しない。つまり、この場合、隣接する可動ガイドレール110M間に挟まれる領域に形成される搬送路120の幅Wを変えることなく、可動ガイドレール110Mの位置を一括して変更することができる。
110:ガイドレール
110F:固定ガイドレール
110M:可動ガイドレール
110MA:第1ガイドレール
110MB:第2ガイドレール
110MC:第3ガイドレール
110MD:第4ガイドレール
120:搬送路
120A:第1搬送路
120B:第2搬送路
120C:第3搬送路
120D:第4搬送路
130:一括変更手段
131:駆動ロッド
132:メインプーリー
132A:第1プーリー
132B:第2プーリー
132C:第3プーリー
132D:第4プーリー
133:ベルト
134:係合部材
135:従プーリー
136:従ロッド
200:ワーク(基板)
300:プラズマ処理装置
310:ベース
311:基板載置部
312:ガイド部材
320:蓋
330:処理室
Claims (2)
- 互いに平行に配置される3以上のガイドレールを備えており、隣接する前記ガイドレールに挟まれる領域に形成される複数の搬送路に沿って、複数のワークを搬送する搬送装置であって、
一方の最外に位置する前記ガイドレールの位置が固定されているとともに、他の2以上の前記ガイドレールが、前記ガイドレールの長手方向と交差する方向に可動であり、
複数の可動な前記ガイドレールを移動させて、その位置を一括して変更する一括変更手段を備え、
前記一括変更手段が、
回転可能なロッドと、
前記ロッドに固定され、前記ロッドとともに回転する複数のプーリーと、
複数の前記プーリーのそれぞれに捲回され、前記プーリーの回転に応じて回転する複数のベルトと、
複数の前記ベルトをそれぞれ、可動な前記ガイドレールに係合させる複数の係合部材と、を備える、搬送装置。 - 複数の前記プーリーの直径がそれぞれ異なっており、
複数の前記プーリーを、当該プーリーが作用する可動な前記ガイドレールと固定された前記ガイドレールとの距離が近い順に並べたとき、
1番目の前記プーリーの直径D1と、n番目(n≧2)の前記プーリーの直径Dnとの関係が、Dn=n×D1を満たす、請求項1に記載の搬送装置。
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