JP6920545B2 - フィールドプログラマブル検出器アレイ - Google Patents
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Description
[001] この出願は、2017年9月18日に出願された米国出願62/560,135の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
1. 検出器であって、
第1の素子と第2の素子とを含む複数の感知素子と、第1の素子と第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング領域と、を備えた基板を備え、
第1の素子が、第1の素子がビームを示す第1の荷電粒子を検出したことに応答して第1の信号を生成するように構成され、第2の素子が、第2の素子がビームを示す第2の荷電粒子を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成され、
スイッチング領域が、第1の信号及び第2の信号に基づいて制御されるように構成された、検出器。
スイッチング領域を制御するように構成された1つ以上の回路を含む回路ダイと、をさらに備えた、条項1に記載の検出器。
最上金属層と最下金属層との間の全エリアが、断面が電荷キャリア領域である、条項1から6のいずれか一項に記載の検出器。
センサ層であって、
隣接する第1の素子と第2の素子とを含む感知素子のアレイと、
第1の素子と第2の素子との間のスイッチング領域と、を備えたセンサ層と、
第1の素子及び第2の素子に電気的に接続された1つ以上の回路を備えた回路層と、を備え、1つ以上の回路が、
第1の素子が所定量のエネルギーを有する荷電粒子を受け取ったときに第1のステータスインジケータを生成し、
第2の素子が所定量のエネルギーを有する荷電粒子を受け取ったときに第2のステータスインジケータを生成し、
第1のステータスインジケータ及び第2のステータスインジケータに基づいてスイッチング領域を制御するように構成された、検出器。
第1の状態において、スイッチング領域がアクティブグループの一部であり、
第2の状態において、スイッチング領域が非アクティブグループの一部である、条項9に記載の検出器。
第1の素子と第2の素子とを含む複数の感知素子と、第1の素子と第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング領域と、を備えた検出器アレイと、
第1の素子がビームを示す第1の荷電粒子を検出したことに応答して第1の信号を生成し、第2の素子がビームを示す第2の荷電粒子を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成された1つ以上の回路と、
1つ以上の回路の何れかに接続されたコントローラと、を備える検出器システム。
1つ以上の回路が、指令信号に基づいてスイッチング領域を制御するように構成された、条項13及び14のいずれか一項に記載のシステム。
並列アナログ信号処理経路アレイと、
並列アナログデジタル変換器アレイと、
デジタル制御ユニットと、をさらに備え、
信号調節回路アレイ、並列アナログ信号処理経路アレイ、並列アナログデジタル変換器アレイ、及びデジタル制御ユニットが、複数のチャネルを介して検出器アレイに接続され、複数のチャネルの数が第2の数以上である、条項16に記載のシステム。
Claims (15)
- 検出器であって、
第1の素子と第2の素子とを含む複数の感知素子と、前記第1の素子と前記第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング領域と、を備えた基板を備え、
前記第1の素子が、前記第1の素子がビームを示す第1の荷電粒子を検出したことに応答して第1の信号を生成するように構成され、前記第2の素子が、前記第2の素子が前記ビームを示す第2の荷電粒子を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成され、
前記スイッチング領域が、前記第1の信号及び前記第2の信号に基づいて制御されるように構成され、
前記第1の素子及び前記第2の素子は隣り合い、前記スイッチング領域は前記第1の素子と前記第2の素子との間にある、検出器。 - 前記基板を含むセンサダイと、
前記スイッチング領域を制御するように構成された回路を含む回路ダイと、をさらに備えた、請求項1に記載の検出器。 - 前記スイッチング領域を制御するように構成された前記回路が複数の回路を備える、請求項2に記載の検出器。
- 前記スイッチング領域が、前記第1の素子と前記第2の素子とを接続するように構成されたスイッチを備える、請求項2に記載の検出器。
- 前記基板が、前記スイッチング領域の電荷キャリアを輸送するように構成されたダイオードを備える、請求項1に記載の検出器。
- 前記第1の素子が、前記第1の素子が第1の所定量のエネルギーを有する荷電粒子を受け取ったことに応答して前記第1の信号を生成するように構成され、前記第2の素子が、第2の所定量のエネルギーを有する荷電粒子を受け取ったことに応答して前記第2の信号を生成するように構成された、請求項5に記載の検出器。
- 前記荷電粒子が電子であり、前記第1の所定量のエネルギー及び前記第2の所定量のエネルギーがともに同じ所定量のエネルギーである、請求項6に記載の検出器。
- 前記基板が、厚さ方向に、検出面として構成された最上金属層と、最下金属層とを備え、
前記最上金属層と前記最下金属層との間の全エリアが、断面が電荷キャリア領域である、請求項1に記載の検出器。 - 前記スイッチング領域が電界効果トランジスタを備え、前記電界効果トランジスタが、前記最下金属層に作られたゲート、又は前記最下金属層に作られた前記ゲートのコンタクトを備える、請求項8に記載の検出器。
- 検出器システムであって、
第1の素子と第2の素子とを含む複数の感知素子と、前記第1の素子と前記第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング領域と、を備えた検出器アレイと、
前記第1の素子がビームを示す第1の荷電粒子を検出したことに応答して第1の信号を生成し、前記第2の素子が前記ビームを示す第2の荷電粒子を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成された回路と、
前記回路に接続されたコントローラと、を備え、
前記第1の素子及び前記第2の素子は隣り合い、前記スイッチング領域は前記第1の素子と前記第2の素子との間にある、検出器システム。 - 前記コントローラが、前記第1の素子及び前記第2の素子の何れかのアドレスに基づいて前記スイッチング領域を制御するように構成された、請求項10に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記ビームに基づいて画像を取得し、前記画像に基づいて指令信号を生成するように構成され、
前記回路が、前記指令信号に基づいて前記スイッチング領域を制御するように構成された、請求項10に記載のシステム。 - 前記検出器アレイが、第2の数のグループにグループ化されるように構成された第1の数の画素を備え、前記第2の数が前記第1の数より小さい、請求項10に記載のシステム。
- 信号調節回路アレイと、
並列アナログ信号処理経路アレイと、
並列アナログデジタル変換器アレイと、
デジタル制御ユニットと、をさらに備え、
前記信号調節回路アレイ、前記並列アナログ信号処理経路アレイ、前記並列アナログデジタル変換器アレイ、及び前記デジタル制御ユニットが、複数のチャネルを介して前記検出器アレイに接続され、前記複数のチャネルの数が前記第2の数以上である、請求項13に記載のシステム。 - 前記第1の信号を生成するように構成された前記回路が複数の回路を備え、前記回路に接続されている前記コントローラが、前記複数の回路の何れかに接続されている前記コントローラを含む、請求項10に記載のシステム。
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