JP7018125B2 - ビーム画像システムのためのスイッチマトリクス設計 - Google Patents
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Description
[001] 本出願は、2017年9月18日に出願された米国出願62/560,122の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
第1の素子と第2の素子とを含む複数のセンシング素子を備えた基板と、
第1の素子と第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング素子と、を備え、
第1の素子が、第1の素子がビームを示す第1の荷電粒子を検出したことに応答して第1の信号を生成するように構成され、第2の素子が、第2の素子がビームを示す第2の荷電粒子を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成され、
スイッチング素子が、第1の信号及び第2の信号に基づいて制御されるように構成された、検出器。
スイッチング素子と、スイッチング素子を制御するように構成された1つ以上の回路とを含む回路ダイと、をさらに備えた、条項1に記載の検出器。
最上金属層と最下金属層との間のエリアが、断面が電荷キャリア領域である、条項1から6のいずれか一項に記載の検出器。
隣接する第1の素子と第2の素子とを含むセンシング素子のアレイを備えたセンサ層と、
第1の素子及び第2の素子に電気的に接続された1つ以上の回路を備えた回路層と、
第1の素子と第2の素子とを接続するように構成されスイッチング素子と、を備え、
1つ以上の回路が、
第1の素子が所定量のエネルギーを有する荷電粒子を受け取ったときに第1のステータスインジケータを生成し、
第2の素子が所定量のエネルギーを有する荷電粒子を受け取ったときに第2のステータスインジケータを生成し、
第1のステータスインジケータ及び第2のステータスインジケータに基づいてスイッチング素子を制御するように構成された、検出器。
第1の素子と第2の素子とを含む複数のセンシング素子を備えた検出器アレイと、
第1の素子と第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング素子と、
第1の素子がビームを示す第1の荷電粒子を検出したことに応答して第1の信号を生成し、第2の素子がビームを示す第2の荷電粒子を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成された1つ以上の回路と、
1つ以上の回路に接続されたコントローラと、を備える検出器システム。
1つ以上の回路が、指令信号に基づいてスイッチング素子を制御するように構成された、条項13から15のいずれか一項に記載のシステム。
並列アナログ信号処理経路アレイと、
並列アナログ-デジタル変換器アレイと、
デジタル制御ユニットと、をさらに備え、
信号調節回路アレイ、並列アナログ信号処理経路アレイ、並列アナログ-デジタル変換器アレイ、及びデジタル制御ユニットが、複数のチャネルを介して検出器アレイに接続され、複数のチャネルの数が第2の数以上である、条項17に記載のシステム。
第1の素子と第2の素子とを含む複数のセンシング素子を備えた基板と、
第1の素子と第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング素子と、を備え、
第1の素子が、第1の素子が入力を検出したことに応答して第1の信号を生成するように構成され、第2の素子が、第2の素子が入力を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成され、
スイッチング素子が、第1の素子と第2の素子とをグループ化するように構成された、検出器。
第2の素子に接続された第2の出力信号経路と、をさらに備え、
スイッチング素子が、第1の出力信号経路と第2の出力信号経路とを接続するように構成された、条項24に記載の検出器。
Claims (13)
- 第1の素子と第2の素子とを含む複数のセンシング素子を備えた基板と、
前記第1の素子と前記第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング素子と、を備え、
前記第1の素子が、前記第1の素子が第1の入力を検出したことに応答して第1の信号を生成するように構成され、前記第2の素子が、前記第2の素子が第2の入力を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成され、
前記第1の入力が、ビームを示す第1の荷電粒子であり、前記第2の入力が、前記ビームを示す第2の荷電粒子であり、
前記スイッチング素子が、前記複数のセンシング素子のそれぞれがビームスポット境界内に位置しているか否かの判断に基づいて、前記第1の素子と前記第2の素子とを含む前記複数のセンシング素子をグループ化するように構成され、
前記スイッチング素子が、前記グループ化に応答して、前記第1の信号、前記第2の信号、ならびに、前記第1の信号および前記第2の信号の合計、のいずれか1つに選択的に基づいて制御されるようにさらに構成された、検出器。 - 前記第1の素子に接続された第1の出力信号経路と、
前記第2の素子に接続された第2の出力信号経路と、をさらに備え、
前記スイッチング素子が、前記第1の出力信号経路と前記第2の出力信号経路とを接続するように構成された、請求項1に記載の検出器。 - 前記第1の信号及び前記第2の信号に基づいて前記スイッチング素子を制御するように構成された回路をさらに備え、前記判断は、前記回路により実行され、前記スイッチング素子に送られる、請求項1に記載の検出器。
- 前記スイッチング素子を備えた回路ダイをさらに備える、請求項1に記載の検出器。
- 前記スイッチング素子と、前記第1の出力信号経路と、前記第2の出力信号経路と、を備えた回路ダイをさらに備えた、請求項2に記載の検出器。
- 前記検出器が、第2の数のグループにグループ化されるように構成された第1の数の画素を備え、前記第2の数が前記第1の数より小さい、請求項1に記載の検出器。
- 第1の素子と第2の素子とを含む複数のセンシング素子を備えた検出器アレイと、
前記第1の素子と前記第2の素子とを接続するように構成されたスイッチング素子と、
前記第1の素子がビームを示す第1の荷電粒子を検出したことに応答して第1の信号を生成し、前記第2の素子が前記ビームを示す第2の荷電粒子を検出したことに応答して第2の信号を生成するように構成された回路と、
前記回路に接続され、前記複数のセンシング素子のそれぞれがビームスポット境界内に位置しているか否かの判断を行うコントローラと、を備え、
前記スイッチング素子が、前記判断に基づいて、前記第1の素子と前記第2の素子とを含む前記複数のセンシング素子をグループ化するようにさらに構成され、
前記スイッチング素子が、前記グループ化に応答して、前記第1の信号、前記第2の信号、ならびに、前記第1の信号および前記第2の信号の合計、のいずれか1つに選択的に基づいて制御されるようにさらに構成された、検出器システム。 - 前記スイッチング素子と前記回路とを備えた回路層をさらに備える、請求項7に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記第1の素子及び前記第2の素子の何れかのアドレスに基づいて前記スイッチング素子を制御するように構成された、請求項7に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記ビームに基づいた画像を取得し、前記画像に基づいて指令信号を生成するように構成され、
前記回路が、前記指令信号に基づいて前記スイッチング素子を制御するように構成された、請求項7に記載のシステム。 - 前記検出器アレイが、第2の数のグループにグループ化されるように構成された第1の数の画素を備え、前記第2の数が前記第1の数より小さい、請求項7に記載のシステム。
- 信号調節回路アレイと、
並列アナログ信号処理経路アレイと、
並列アナログ-デジタル変換器アレイと、
デジタル制御ユニットと、をさらに備え、
前記信号調節回路アレイ、前記並列アナログ信号処理経路アレイ、前記並列アナログ-デジタル変換器アレイ、及び前記デジタル制御ユニットが、複数のチャネルを介して前記検出器アレイに接続され、前記複数のチャネルの数が前記第2の数以上である、請求項11に記載のシステム。 - 前記コントローラが、前記回路の論理をオーバーライドするように構成された、請求項7に記載のシステム。
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