JP6918243B1 - 光パターン生成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
この発明に係る光パターン生成装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光源が出射したレーザ光を偏向させる光スキャナと、それぞれが、通過したレーザ光が所定の光パターンを像面上に形成するように、光スキャナが偏向させたレーザ光の位相分布又は強度分布のうちの少なくとも一方を変調する複数の回折光学素子要素から構成されている回折光学素子部と、光スキャナが、レーザ光源が出射したレーザ光を、任意のタイミングで、複数の回折光学素子要素のうちの任意の回折光学素子要素に向けて偏向させるように、光スキャナの偏向方向と、光スキャナの偏向方向を変更するタイミングとを制御する光スキャナドライバと、を備え、光スキャナは、レーザ光源が出射したレーザ光を、複数の回折光学素子要素のうちの任意の回折光学素子要素に向けて偏向させるように、レーザ光源が出射したレーザ光を偏向させる偏向方向を変更可能であり、光スキャナドライバは、複数の回折光学素子要素のうちで、光スキャナが偏向させたレーザ光が通過する回折光学素子要素が任意の順序で連続的に切り替わることによって像面上に表示される光パターンが切り替わるように、光スキャナの偏向方向と、光スキャナの偏向方向を変更するタイミングとを制御し、像面上の同一の位置にアニメーションを表示し、光スキャナと回折光学素子部との間には、光スキャナが偏向させたレーザ光を、任意の回折光学素子要素に入射する入射角度が光スキャナの偏向方向に依らず一定である平行光に変換する入射角補正光学系が設置されており、回折光学素子部と像面との間には、任意の回折光学素子要素から出射した平行光を、通過した回折光学素子要素に依らずに像面上の同一の位置に集光させる再集光光学系が設置されている。
実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係る光パターン生成装置100の構成を示す図である。図1が示すように、光パターン生成装置100は、レーザ光源1、レーザドライバ2、集光光学系3、光スキャナ4、光スキャナドライバ6、回折光学素子部7、及び制御部8を備えている。なお、後述する回折光学素子部7から出射されるレーザ光の光路上には、像面9が設置されている。
集光光学系3は、レーザ光源1が出射するレーザ光の光路上に設置されている。集光光学系3は、レーザ光源1が出射したレーザ光を像面9上に集光する光に変換する。集光光学系3は、例えば、透過したレーザ光を屈折させるレンズ等の光学素子、又は、レーザ光を反射するミラー等の光学素子である。
上記の構成によれば、像面9上に光パターンを好適に表示することができる。
上記の構成によれば、像面9上に所定の光パターンを好適に表示することができる。
実施の形態1に係る光パターン生成装置100では、光スキャナ4がレーザ光を偏向させるため、回折光学素子部7に対するレーザ光の入射角が、光スキャナ4の偏向方向に応じて異なる。そのため、図3が示すように、像面9上において、表示される光パターンの位置が異なってしまうという問題がある。実施の形態2に係る光パターン生成装置では、当該問題を解決するために、実施の形態1に係る回折光学素子部7の構成とは異なる構成の補償構造付きの回折光学素子部を用いる。
図4は、実施の形態2に係る光パターン生成装置101の構成を示す図である。光パターン生成装置101は、回折光学素子部7の代わりに、回折光学素子部20を備えていること以外は、実施の形態1に係る光パターン生成装置100の構成と同様の構成を有している。
sin(θin) = mλ/p - sin(θout) ・・・(1)
上述の通り、実施の形態1に係る光パターン生成装置100では、像面9上において、表示される光パターンの位置が異なってしまうという問題がある。実施の形態3に係る光パターン生成装置は、当該問題を解決するために、入射角補正光学系及び再集光光学系をさらに備えている。
図9は、実施の形態3に係る光パターン生成装置102の構成を示す図である。実施の形態1に係る光パターン生成装置100の構成と比較して、光パターン生成装置102は、集光光学系3の代わりにコリメート光学系30を備えている。また、光パターン生成装置102は、入射角補正光学系31及び再集光光学系32をさらに備えている。
なお、レーザ光源1が平行光を生成する機能を有する場合、光パターン生成装置102は、コリメート光学系30を備えていなくてもよい。これにより、光学系の部品点数を減らすことができ、低コスト化及び小型化を実現することができる。
次に、複数の回折光学素子要素10のうちの第1の回折光学素子要素は、通過したレーザ光が第1の光パターンを像面9上に形成するように、入射角補正光学系31から出射されたレーザ光の位相分布又は強度分布のうちの少なくとも一方を変調する。
図10が示すように、第1の具体例に係る入射角補正光学系31は、テレセントリック光学系33と、コリメート光学系アレー34とから構成されている。
図11が示すように、第2の具体例に係る入射角補正光学系31は、プリズムアレー35から構成されている。プリズムアレー35は、光スキャナ4が偏向させたレーザ光を、複数の回折光学素子要素10のうちの任意の回折光学素子要素に入射する入射角度が光スキャナ4の偏向方向に依らず一定である平行光に変換する。なお、プリズムアレー35の各光軸は、平行であるものとする。
実施の形態3では、レーザ光源1と光スキャナ4との間に、コリメート光学系30が設置されている構成について説明した。実施の形態4では、レーザ光源1と光スキャナ4との間に光スキャナ集光光学系が設置されている構成について説明する。
図12は、実施の形態4に係る光パターン生成装置103の構成を示す図である。実施の形態1に係る光パターン生成装置100の構成と比較して、光パターン生成装置103は、集光光学系3の代わりに光スキャナ集光光学系40を備えている。また、光パターン生成装置103は、光スキャナコリメート光学系41及び再集光光学系32をさらに備えている。
次に、複数の回折光学素子要素10のうちの第1の回折光学素子要素は、通過したレーザ光が第1の光パターンを像面9上に形成するように、光スキャナコリメート光学系41から出射されたレーザ光の位相分布又は強度分布のうちの少なくとも一方を変調する。
実施の形態3及び実施の形態4では、回折光学素子部7と像面9との間に再集光光学系32が設置されている構成について説明した。実施の形態5では、回折光学素子部7と像面9との間に可変焦点光学系が設置されている構成について説明する。
図13は、実施の形態5に係る光パターン生成装置104の構成を示す図である。実施の形態3に係る光パターン生成装置102の構成と比較して、光パターン生成装置104は、再集光光学系32の代わりに可変焦点光学系50を備えている。また、光パターン生成装置104は、焦点調整ドライバ51をさらに備えている。
次に、複数の回折光学素子要素10のうちの第1の回折光学素子要素は、通過したレーザ光が第1の光パターンを像面52上に形成するように、入射角補正光学系31から出射されたレーザ光の位相分布又は強度分布のうちの少なくとも一方を変調する。
以上のように、実施の形態5に係る光パターン生成装置104は、光スキャナ4と回折光学素子部7との間には、光スキャナ4が偏向させたレーザ光が複数の回折光学素子要素10のうちの任意の回折光学素子要素に入射する入射角度を、光スキャナ4の偏向方向に依らず一定にする入射角補正光学系31が設置されており、回折光学素子部7と像面9との間には、複数の回折光学素子要素10のうちの任意の回折光学素子要素を通過したレーザ光を任意の像面上における同一の位置に集光させるように、焦点距離が変更可能な可変焦点光学系50が設置されている。
光パターン生成装置104が置かれた状況又は光パターン生成装置104の用途によって、光パターン生成装置104と像面との間の距離は変動し得る。しかし、上記の構成によれば、可変焦点光学系50の焦点距離を変更することで、変動後の像面に光パターンを表示することができる。つまり、光パターン生成装置104は、種々の状況又は種々の用途に対応できる。
上記の構成によれば、可変焦点光学系50の焦点距離を好適に変更することができ、任意の像面上における同一の位置に光パターンを表示することができる。
上記の各構成によれば、実施の形態5に係る光パターン生成装置104が奏する各効果と同様の効果を奏する。
なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
Claims (7)
- レーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源が出射したレーザ光を偏向させる光スキャナと、
それぞれが、通過したレーザ光が所定の光パターンを像面上に形成するように、前記光スキャナが偏向させたレーザ光の位相分布又は強度分布のうちの少なくとも一方を変調する複数の回折光学素子要素から構成されている回折光学素子部と、
前記光スキャナが、前記レーザ光源が出射したレーザ光を、任意のタイミングで、前記複数の回折光学素子要素のうちの任意の回折光学素子要素に向けて偏向させるように、前記光スキャナの偏向方向と、前記光スキャナの偏向方向を変更するタイミングとを制御する光スキャナドライバと、を備え、
前記光スキャナは、前記レーザ光源が出射したレーザ光を、前記複数の回折光学素子要素のうちの任意の回折光学素子要素に向けて偏向させるように、前記レーザ光源が出射したレーザ光を偏向させる偏向方向を変更可能であり、
前記光スキャナドライバは、前記複数の回折光学素子要素のうちで、前記光スキャナが偏向させたレーザ光が通過する回折光学素子要素が任意の順序で連続的に切り替わることによって前記像面上に表示される光パターンが切り替わるように、前記光スキャナの偏向方向と、前記光スキャナの偏向方向を変更するタイミングとを制御し、前記像面上の同一の位置にアニメーションを表示し、
前記複数の回折光学素子要素は、それぞれ、周期的に分割された微小な部分を複数有し、通過したレーザ光が所定の光パターンを前記像面上の同一の位置に形成するように、当該複数の部分の各部分の幅であるピッチが設定されていることを特徴とする、光パターン生成装置。 - 内部メモリまたは外部から入力された信号に基づいて、前記光スキャナドライバに指示する前記光スキャナの偏向方向を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、内部メモリまたは外部から入力された信号に応じて、前記光スキャナドライバに指示する光スキャナの偏向方向を制御することで、前記像面上の同一の位置に表示されるアニメーションの種類を任意に変更することを特徴とする、請求項1に記載の光パターン生成装置。 - レーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源が出射したレーザ光を偏向させる光スキャナと、
それぞれが、通過したレーザ光が所定の光パターンを像面上に形成するように、前記光スキャナが偏向させたレーザ光の位相分布又は強度分布のうちの少なくとも一方を変調する複数の回折光学素子要素から構成されている回折光学素子部と、
前記光スキャナが、前記レーザ光源が出射したレーザ光を、任意のタイミングで、前記複数の回折光学素子要素のうちの任意の回折光学素子要素に向けて偏向させるように、前記光スキャナの偏向方向と、前記光スキャナの偏向方向を変更するタイミングとを制御する光スキャナドライバと、を備え、
前記光スキャナは、前記レーザ光源が出射したレーザ光を、前記複数の回折光学素子要素のうちの任意の回折光学素子要素に向けて偏向させるように、前記レーザ光源が出射したレーザ光を偏向させる偏向方向を変更可能であり、
前記光スキャナドライバは、前記複数の回折光学素子要素のうちで、前記光スキャナが偏向させたレーザ光が通過する回折光学素子要素が任意の順序で連続的に切り替わることによって前記像面上に表示される光パターンが切り替わるように、前記光スキャナの偏向方向と、前記光スキャナの偏向方向を変更するタイミングとを制御し、前記像面上の同一の位置にアニメーションを表示し、
前記光スキャナと前記回折光学素子部との間には、前記光スキャナが偏向させたレーザ光を、前記任意の回折光学素子要素に入射する入射角度が前記光スキャナの偏向方向に依らず一定である平行光に変換する入射角補正光学系が設置されており、
前記回折光学素子部と前記像面との間には、前記任意の回折光学素子要素から出射した平行光を、通過した回折光学素子要素に依らずに前記像面上の同一の位置に集光させる再集光光学系が設置されていることを特徴とする、光パターン生成装置。 - 内部メモリまたは外部から入力された信号に基づいて、前記光スキャナドライバに指示する前記光スキャナの偏向方向を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、内部メモリまたは外部から入力された信号に応じて、前記光スキャナドライバに指示する光スキャナの偏向方向を制御することで、前記像面上の同一の位置に表示されるアニメーションの種類を任意に変更することを特徴とする、請求項3に記載の光パターン生成装置。 - 前記入射角補正光学系は、前記光スキャナが偏向させたレーザ光の主光線を光軸と平行にさせるテレセントリック光学系と、当該テレセントリック光学系が主光線を光軸と平行にさせたレーザ光を平行光に変換するコリメート光学系アレーとから構成されていることを特徴とする、請求項3に記載の光パターン生成装置。
- 前記入射角補正光学系は、前記光スキャナが偏向させたレーザ光を、前記任意の回折光学素子要素に入射する入射角度が前記光スキャナの偏向方向に依らず一定である平行光に変換するプリズムアレーから構成されていることを特徴とする、請求項3に記載の光パターン生成装置。
- 前記再集光光学系は、前記任意の回折光学素子要素を通過したレーザ光を任意の像面上における同一の位置に集光させるように、焦点距離が変更可能な可変焦点光学系であることを特徴とする、請求項3に記載の光パターン生成装置。
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