JP6909551B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、被覆材料、例えば、リジッド基板やフレキシブル基板に形成された銅箔等の導体回路パターンを備えたプリント配線板の該導体回路パターンを被覆するための絶縁被覆材料に用いる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物をフィルムに塗布した塗膜を有するドライフィルム及び該感光性樹脂組成物を光硬化させた硬化物を被覆したプリント配線板に関するものである。 The present invention is a photosensitive resin composition used as a coating material, for example, an insulating coating material for coating a conductor circuit pattern of a printed wiring board having a conductor circuit pattern such as a copper foil formed on a rigid substrate or a flexible substrate. The present invention relates to a dry film having a coating film obtained by applying the photosensitive resin composition to a film, and a printed wiring board coated with a cured product obtained by photocuring the photosensitive resin composition.

基板上には導体(例えば、銅箔)の回路パターンが形成され、該回路パターンのはんだ付けランドに電子部品をはんだ付けにより搭載し、はんだ付けランドを除く回路部分は保護膜としての絶縁被膜で被覆される。絶縁被膜として、カルボキシル基含有感光性樹脂と、エポキシ化合物と、光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物の硬化膜が使用されることがある。また、近年、電子機器の高性能化により、プリント配線板には電子部品が、ますます高密度に搭載されている。従って、絶縁被膜には、優れた解像性が要求されることがある。絶縁被膜に優れた解像性を付与するために、絶縁被膜にアンダーカットが発生するのを抑制することが要求されることがある。 A circuit pattern of a conductor (for example, copper foil) is formed on the substrate, electronic components are mounted on the soldered lands of the circuit pattern by soldering, and the circuit part excluding the soldered lands is covered with an insulating film as a protective film. It is covered. As the insulating film, a cured film of a photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing photosensitive resin, an epoxy compound, and a photopolymerization initiator may be used. Moreover, in recent years, due to the high performance of electronic devices, electronic components are mounted on printed wiring boards at an increasing density. Therefore, the insulating coating may be required to have excellent resolution. In order to impart excellent resolution to the insulating film, it may be required to suppress the occurrence of undercut in the insulating film.

硬化膜のアンダーカットを抑制するための感光性樹脂組成物として、例えば、(A)カルボキシル基含有感光性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)エポキシ樹脂、(D)(メタ)アクリルモノマーを含有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物であって、(B)光重合開始剤として、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤を含有し、かつ、(C)エポキシ樹脂として、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂を含有するアルカリ現像型感光性樹脂組成物が提案されている(特許文献1)。 Examples of the photosensitive resin composition for suppressing the undercut of the cured film include (A) a carboxyl group-containing photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) an epoxy resin, and (D) (meth) acrylic. An alkali-developable photosensitive resin composition containing a monomer, which contains an acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator as (B) a photopolymerization initiator and (C) as an epoxy resin, bisphenol A novolac. An alkali-developable photosensitive resin composition containing a type epoxy resin has been proposed (Patent Document 1).

一方で、導体回路パターンの高さが通常よりも高く(例えば、40μm程度の高さ)設計されているプリント配線板が用いられることがあり、このようなプリンタ配線板にも絶縁被覆を被覆する必要がある。この場合、プリント配線板に絶縁被覆の厚さを厚く(例えば、40μm以上の厚さ)塗工する必要がある。 On the other hand, a printed wiring board designed so that the height of the conductor circuit pattern is higher than usual (for example, a height of about 40 μm) may be used, and such a printer wiring board is also coated with an insulating coating. There is a need. In this case, it is necessary to apply a thick insulating coating (for example, a thickness of 40 μm or more) to the printed wiring board.

しかし、絶縁被覆の厚さを厚く(例えば、40μm以上の厚さ)塗工すると、活性エネルギー線(例えば、紫外線)が、感光性樹脂組成物の塗膜の下部まで透過しにくくなってしまう。活性エネルギー線が塗膜の下部まで透過しにくくなると、塗膜の下部における光硬化が十分ではなくなり、硬化塗膜にアンダーカットが生じてしまう。特に、生産効率向上等のために活性エネルギー線の露光量を低減すると、硬化塗膜にアンダーカットが生じ易くなってしまう。特許文献1では、厚く塗工された塗膜の下部における光硬化性を向上させてアンダーカットを抑制することに改善の余地があった。 However, when the insulating coating is applied with a thick thickness (for example, a thickness of 40 μm or more), it becomes difficult for the active energy rays (for example, ultraviolet rays) to penetrate to the lower part of the coating film of the photosensitive resin composition. If it becomes difficult for the active energy rays to penetrate to the lower part of the coating film, the photocuring at the lower part of the coating film becomes insufficient, and an undercut occurs in the cured coating film. In particular, if the exposure amount of the active energy rays is reduced in order to improve production efficiency or the like, undercuts are likely to occur in the cured coating film. In Patent Document 1, there is room for improvement in improving the photocurability at the lower part of the thickly coated coating film and suppressing undercut.

特開2015―064546号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-064546

上記事情に鑑み、本発明は、基板上に厚く(例えば、40μm以上の厚さ)塗膜を形成しても、硬化塗膜のアンダーカットを抑制できる感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物をフィルムに塗布した塗膜を有するドライフィルム、該感光性樹脂組成物の光硬化膜を有するプリント配線板を提供することを目的とする。 In view of the above circumstances, the present invention is a photosensitive resin composition capable of suppressing undercut of a cured coating film even if a thick coating film (for example, a thickness of 40 μm or more) is formed on the substrate. An object of the present invention is to provide a dry film having a coating film coated with an object, and a printed wiring board having a photocurable film of the photosensitive resin composition.

本発明の構成の要旨は、以下の通りである。
[1](A)カルボキシル基含有感光性樹脂と、(B)エポキシ化合物と、(C)反応性希釈剤と、(D)光重合開始剤と、を含有し、
前記(A)カルボキシル基含有感光性樹脂が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.050以下であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有する感光性樹脂組成物。
[2]前記(A)カルボキシル基含有感光性樹脂が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.500以上であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有する[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3]前記(B)エポキシ化合物が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が3.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.070以下であるエポキシ化合物を含有する[1]または[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[4]前記0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が3.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.070以下であるエポキシ化合物が、ナフタレン型エポキシ樹脂である[3]に記載の感光性樹脂組成物。
[5]前記(D)光重合開始剤が、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤を含有する[1]乃至[4]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[6]前記(D)光重合開始剤が、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤とを含有する[1]乃至[4]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[7][1]乃至[6]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物をフィルムに塗布した塗膜を有するドライフィルム。
[8][1]乃至[6]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物の光硬化膜を有するプリント配線板。
The gist of the structure of the present invention is as follows.
[1] Containing (A) a carboxyl group-containing photosensitive resin, (B) an epoxy compound, (C) a reactive diluent, and (D) a photopolymerization initiator.
The maximum value of the absorbance of the (A) carboxyl group-containing photosensitive resin in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 1.000 or more. A photosensitive resin composition containing a carboxyl group-containing photosensitive resin having a maximum absorbance of 360 nm or more of 0.050 or less.
[2] The maximum value of the absorbance of the (A) carboxyl group-containing photosensitive resin in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 1. The photosensitive resin composition according to [1], which contains a carboxyl group-containing photosensitive resin having an amount of .500 or more.
[3] The maximum absorbance of the epoxy compound (B) in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 3.000 or more. The photosensitive resin composition according to [1] or [2], which contains an epoxy compound having a maximum absorbance of 360 nm or more and 0.070 or less.
[4] The maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using the 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 3.000 or more and the maximum value of the absorbance of 360 nm or more. The photosensitive resin composition according to [3], wherein the epoxy compound having a value of 0.070 or less is a naphthalene-type epoxy resin.
[5] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the (D) photopolymerization initiator contains an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator.
[6] The above-mentioned one of [1] to [4], wherein the (D) photopolymerization initiator contains an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and an oxime ester-based photopolymerization initiator. Photosensitive resin composition.
[7] A dry film having a coating film coated with the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6].
[8] A printed wiring board having a photocurable film of the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6].

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(A)カルボキシル基含有感光性樹脂が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.050以下であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有することにより、基板上に厚く(例えば、40μm以上の厚さ)硬化塗膜を形成しても、硬化塗膜のアンダーカットを抑制できる。 According to the aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the (A) carboxyl group-containing photosensitive resin is 300 nm or more and 360 nm measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution. By containing a carboxyl group-containing photosensitive resin having a maximum absorbance of 1.000 or more and 360 nm or more and a maximum absorbance of 0.050 or less in the following range, the substrate is thickened (for example, 40 μm or more). Thickness) Even if a cured coating film is formed, undercutting of the cured coating film can be suppressed.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(A)カルボキシル基含有感光性樹脂が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.500以上であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有することにより、基板上に厚く硬化塗膜を形成しても、硬化塗膜のアンダーカットを確実に抑制できる。 According to the aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the (A) carboxyl group-containing photosensitive resin is 300 nm or more and 360 nm measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution. By containing a carboxyl group-containing photosensitive resin having a maximum absorbance in the following range of 1.500 or more, undercutting of the cured coating film is surely suppressed even if a thick cured coating film is formed on the substrate. can.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(B)エポキシ化合物が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が3.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.070以下であるエポキシ化合物を含有することにより、基板上に厚く硬化塗膜を形成しても、硬化塗膜のアンダーカットをより確実に抑制でき、より優れたライン形状を得ることができる。 According to the aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the epoxy compound (B) is in the range of 300 nm or more and 360 nm or less as measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution. By containing an epoxy compound having a maximum absorbance of 3.000 or more and a maximum absorbance of 360 nm or more and 0.070 or less, even if a thick cured coating is formed on the substrate, the cured coating is under. Cutting can be suppressed more reliably, and a better line shape can be obtained.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(D)光重合開始剤が、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤とを含有することにより、基板上に厚く硬化塗膜を形成しても、硬化塗膜のアンダーカットをより確実に抑制できる。 According to the aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the photopolymerization initiator (D) contains an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and an oxime ester-based photopolymerization initiator on the substrate. Even if a thick cured coating film is formed, the undercut of the cured coating film can be suppressed more reliably.

次に、本発明の感光性樹脂組成物について、以下に詳細を説明する。本発明の感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有感光性樹脂と、(B)エポキシ化合物と、(C)反応性希釈剤と、(D)光重合開始剤と、を含有し、前記(A)カルボキシル基含有感光性樹脂が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.050以下であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有する。 Next, the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail below. The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) a carboxyl group-containing photosensitive resin, (B) an epoxy compound, (C) a reactive diluent, and (D) a photopolymerization initiator. The maximum absorbance of the carboxyl group-containing photosensitive resin (A) in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 1.000 or more. It contains a carboxyl group-containing photosensitive resin having a maximum absorbance of 360 nm or more and 0.050 or less.

(A)カルボキシル基含有感光性樹脂
カルボキシル基含有感光性樹脂は、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.050以下であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有する。(A)カルボキシル基含有感光性樹脂として、上記吸光度を有するカルボキシル基含有感光性樹脂が用いられることにより、紫外線(例えば、波長300〜400nmの範囲)を照射させて基板上に厚い(例えば、40μm以上の厚さ)光硬化膜を形成する際に、感光性樹脂組成物の感光性が向上して、アンダーカットを抑制することに寄与する。
(A) Carboxylic group-containing photosensitive resin The carboxyl group-containing photosensitive resin has a maximum absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less as measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution. Contains a carboxyl group-containing photosensitive resin having a maximum absorbance of 1.000 or more and 360 nm or more and 0.050 or less. (A) As the carboxyl group-containing photosensitive resin, the carboxyl group-containing photosensitive resin having the above-mentioned absorbance is used, so that it is irradiated with ultraviolet rays (for example, in the wavelength range of 300 to 400 nm) and is thick (for example, 40 μm) on the substrate. (Thickness above) When forming the photocurable film, the photosensitivity of the photosensitive resin composition is improved, which contributes to suppressing undercut.

カルボキシル基含有感光性樹脂は、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.000以上であれば、特に限定されないが、紫外線に対する感光性がより向上してアンダーカットをより抑制する点から、1.200以上がより好ましく、1.400以上がさらに好ましく、1.500以上が特に好ましい。一方で、カルボキシル基含有感光性樹脂の0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値の上限は、特に限定されないが、例えば、3.000が挙げられる。 The carboxyl group-containing photosensitive resin has a maximum absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution as long as it is 1.000 or more. Although not particularly limited, 1.200 or more is more preferable, 1.400 or more is further preferable, and 1.500 or more is particularly preferable, from the viewpoint of further improving the photosensitivity to ultraviolet rays and further suppressing undercut. On the other hand, the upper limit of the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution of a carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited. However, for example, 3.000 can be mentioned.

また、カルボキシル基含有感光性樹脂は、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された360nm以上の吸光度の最大値が0.050以下であれば、特に限定されないが、感光性樹脂組成物の紫外線に対する感光性をより向上させる点から、0.040以下がより好ましく、0.035以下がさらに好ましく、0.020以下が特に好ましい。一方で、カルボキシル基含有感光性樹脂の0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された360nm以上の吸光度の最大値の下限は、特に限定されないが、例えば、0.001が挙げられる。 The carboxyl group-containing photosensitive resin is particularly limited as long as the maximum value of absorbance of 360 nm or more measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 0.050 or less. However, from the viewpoint of further improving the photosensitivity of the photosensitive resin composition to ultraviolet rays, 0.040 or less is more preferable, 0.035 or less is further preferable, and 0.020 or less is particularly preferable. On the other hand, the lower limit of the maximum value of the absorbance of 360 nm or more measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution of a carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited, but for example. 0.001 is mentioned.

カルボキシル基含有感光性樹脂の化学構造は、特に限定されず、例えば、感光性の不飽和二重結合を1個以上と遊離のカルボキシル基を有する樹脂が挙げられる。カルボキシル基含有感光性樹脂としては、例えば、1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部に、アクリル酸やメタクリル酸(以下、「(メタ)アクリル酸」ということがある。)等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させて、エポキシ(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成したラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂の水酸基に、多塩基酸又はその無水物を反応させることで得られる、多塩基酸変性エポキシ(メタ)アクリレート等の多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂などを挙げることができる。 The chemical structure of the carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited, and examples thereof include resins having one or more photosensitive unsaturated double bonds and a free carboxyl group. Examples of the carboxyl group-containing photosensitive resin include acrylic acid and methacrylic acid (hereinafter, "(meth) acrylic acid") in at least a part of the epoxy groups of the polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. A radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as) is reacted to obtain a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin such as epoxy (meth) acrylate, and the resulting radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is obtained. A polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin such as a polybasic acid-modified epoxy (meth) acrylate obtained by reacting a hydroxyl group of a carboxylic oxide epoxy resin with a polybasic acid or an anhydride thereof. Can be mentioned.

前記多官能エポキシ樹脂は、2官能以上のエポキシ樹脂であれば、化学構造は、特に限定されない。また、多官能エポキシ樹脂のエポキシ当量は、特に限定されず、例えば、その上限値は、3000g/eqが好ましく、2000g/eqがより好ましく、1000g/eqがさらに好ましく、500g/eqが特に好ましい。一方で、その下限値は、100g/eqが好ましく、200g/eqが特に好ましい。 The chemical structure of the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited as long as it is a bifunctional or higher functional epoxy resin. The epoxy equivalent of the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited, and for example, the upper limit thereof is preferably 3000 g / eq, more preferably 2000 g / eq, further preferably 1000 g / eq, and particularly preferably 500 g / eq. On the other hand, the lower limit is preferably 100 g / eq, and particularly preferably 200 g / eq.

多官能エポキシ樹脂としては、例えば、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂等のゴム変性エポキシ樹脂、ε−カプロラクトン変性エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のフェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルト−クレゾールノボラック型等のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、環状脂肪族多官能エポキシ樹脂、グリシジルエステル型多官能エポキシ樹脂、グリシジルアミン型多官能エポキシ樹脂、複素環式多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボラック型エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型エポキシ樹脂等を挙げることができる。また、これらの樹脂に、さらにBr、Cl等のハロゲン原子を導入したものを使用してもよい。これらの多官能エポキシ樹脂は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the polyfunctional epoxy resin include rubber-modified epoxy resins such as biphenyl aralkyl type epoxy resin, phenyl aralkyl type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, and silicone-modified epoxy resin, ε. -Caprolactone-modified epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin such as bisphenol F type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin such as ortho-cresol novolac type, bisphenol A novolac type epoxy resin, cyclic aliphatic polyfunctional Examples thereof include epoxy resins, glycidyl ester-type polyfunctional epoxy resins, glycidylamine-type polyfunctional epoxy resins, heterocyclic polyfunctional epoxy resins, bisphenol-modified novolak-type epoxy resins, and polyfunctional-modified novolac-type epoxy resins. Further, those resins in which halogen atoms such as Br and Cl are further introduced may be used. These polyfunctional epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.

ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸は、特に限定されず、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、チグリン酸、アンゲリカ酸、桂皮酸などを挙げることができる。このうち、入手と取り扱いが容易である点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。これらのラジカル重合性不飽和モノカルボン酸は、単独で使用してもよく、また2種以上を併用してもよい。 The radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is not particularly limited, and examples thereof include (meth) acrylic acid, crotonic acid, tiglic acid, angelic acid, and cinnamic acid. Of these, (meth) acrylic acid is preferable because it is easy to obtain and handle. These radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

多官能エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸とを反応させる方法は、特に限定されず、例えば、多官能エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸とを適当な希釈剤中で溶解させて加熱する方法が挙げられる。 The method for reacting the polyfunctional epoxy resin with the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is not particularly limited, and for example, the polyfunctional epoxy resin and the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid are dissolved in an appropriate diluent. There is a method of heating.

多塩基酸または多塩基酸無水物が、前記多官能エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応により生成した水酸基に付加反応することで、ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂に遊離のカルボキシル基が導入される。多塩基酸または多塩基酸無水物は、特に限定されず、飽和、不飽和のいずれも使用可能である。多塩基酸には、例えば、コハク酸、マレイン酸、アジピン酸、クエン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸等のテトラヒドロフタル酸類、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸等のヘキサヒドロフタル酸類、メチルテトラヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸等のテトラヒドロフタル酸類、トリメリット酸、ピロメリット酸及びジグリコール酸等が挙げられる。多塩基酸無水物としては、上記した多塩基酸の無水物が挙げられる。これらの化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂と多塩基酸または多塩基酸無水物とを反応させる方法は、特に限定されず、例えば、ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂と多塩基酸または多塩基酸無水物とを適当な希釈剤中で溶解させて加熱する方法が挙げられる。 The polybasic acid or polybasic acid anhydride undergoes an addition reaction with a hydroxyl group generated by the reaction of the polyfunctional epoxy resin with the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid to form a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin. A free carboxyl group is introduced. The polybasic acid or polybasic acid anhydride is not particularly limited, and either saturated or unsaturated can be used. Polybasic acids include, for example, succinic acid, maleic acid, adipic acid, citric acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4-. Tetrahydrophthalates such as ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, hexahydro such as 4-ethylhexahydrophthalic acid Examples thereof include tetrahydrophthalic acids such as phthalic acids, methyltetrahydrophthalic acid, endomethylenetetrahydrophthalic acid and methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid and diglycolic acid. Examples of the polybasic acid anhydride include the above-mentioned polybasic acid anhydride. These compounds may be used alone or in combination of two or more. The method for reacting the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin with the polybasic acid or the polybasic acid anhydride is not particularly limited, and for example, the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin is reacted with the polybasic acid or poly. Examples thereof include a method in which the basic acid anhydride is dissolved in an appropriate diluent and heated.

上記した多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂もカルボキシル基含有感光性樹脂として使用できるが、上記のようにして得られた多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂のカルボキシル基の一部に、1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物を付加反応させて得られる、ラジカル重合性不飽和基をさらに付加した多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を使用してもよい。ラジカル重合性不飽和基をさらに付加した多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂は、多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂にラジカル重合性不飽和基がさらに導入されているので、多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂よりも、感光性がさらに向上したカルボキシル基含有感光性樹脂である。 The above-mentioned polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin can also be used as a carboxyl group-containing photosensitive resin, but a part of the carboxyl groups of the polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin obtained as described above. A polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy obtained by further adding a radically polymerizable unsaturated group, which is obtained by an addition reaction of a compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group. A resin may be used. The polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin to which a radically polymerizable unsaturated group is further added has a radically polymerizable unsaturated group further introduced into the polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin. Therefore, it is a carboxyl group-containing photosensitive resin having further improved photosensitivity as compared with the polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin.

1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物としては、例えば、グリシジル化合物を挙げることができる。グリシジル化合物としては、例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールトリアクリレートモノグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールトリメタクリレートモノグリシジルエーテル等が挙げられる。なお、グリシジル基は1分子中に複数有していてもよい。上記した1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂と、1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物と、を反応させる方法は、特に限定されず、例えば、多塩基酸変性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂と1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基を有する化合物とを、適当な希釈剤中で溶解させて加熱する方法が挙げられる。 Examples of the compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group include glycidyl compounds. Examples of the glycidyl compound include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, pentaerythritol triacrylate monoglycidyl ether, pentaerythritol trimethacrylate monoglycidyl ether and the like. In addition, a plurality of glycidyl groups may be contained in one molecule. The above-mentioned compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group may be used alone or in combination of two or more. The method for reacting the polybasic acid-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin with a compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group is not particularly limited, and for example, the polybasic acid-modified unsaturated group is used. Examples thereof include a method in which a saturated monocarboxylic oxide epoxy resin and a compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group are dissolved in an appropriate diluent and heated.

また、カルボキシル基含有感光性樹脂として、酸変性ウレタン化エポキシ(メタ)アクリレート樹脂等の酸変性ウレタン化不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を使用してもよい。酸変性ウレタン化不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂は、例えば、上記のようにしてラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得、生成した水酸基に、上記した多塩基酸又は多塩基酸無水物と1分子中に2つ以上のイソシアネート基を有する化合物とを反応させることで得られる化学構造を有している。 Further, as the carboxyl group-containing photosensitive resin, an acid-modified urethanized unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin such as an acid-modified urethanized epoxy (meth) acrylate resin may be used. The acid-modified urethane-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin is, for example, obtained by obtaining a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin as described above, and the generated hydroxyl group is mixed with the above-mentioned polybasic acid or polybasic acid anhydride. It has a chemical structure obtained by reacting with a compound having two or more isocyanate groups in one molecule.

1分子中に2つ以上のイソシアネート基を有する化合物としては、特に限定されないが、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネアート(HDI)、イソホロンジイソシアネート(IPDI)、メチレンジイソシアネート(MDI)、メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート、トリメチルヘキサメチルジイソシアネート、ヘキサンジイソシアネート、ヘキサメチルアミンジイソシアネート、メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート、トルエンジイソシアネート、1,2−ジフェニルエタンジイソシアネート、1,3−ジフェニルプロパンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメチルジイソシアネートなどのジイソシアネートが挙げられる。これらの化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 The compound having two or more isocyanate groups in one molecule is not particularly limited, and for example, hexamethylene diisocyanate (HDI), isophorone diisocyanate (IPDI), methylene diisocyanate (MDI), methylenebiscyclohexylisocyanate, etc. Examples thereof include diisocyanates such as trimethylhexamethyl diisocyanate, hexane diisocyanate, hexamethylamine diisocyanate, methylenebiscyclohexylisocyanate, toluenediisocyanate, 1,2-diphenylethanediisocyanate, 1,3-diphenylpropanediisocyanate, diphenylmethane diisocyanate and dicyclohexylmethyldiisocyanate. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

本発明においては、上記した酸変性ウレタン化不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂もカルボキシル基含有感光性樹脂として使用できるが、必要に応じて、上記した酸変性ウレタン化不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂のカルボキシル基に、上記した1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物を反応させることにより、ラジカル重合性不飽和基を更に導入し、感光性をより向上させたカルボキシル基含有感光性樹脂としてもよい。 In the present invention, the above-mentioned acid-modified urethane-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin can also be used as a carboxyl group-containing photosensitive resin, but if necessary, the above-mentioned carboxyl of the acid-modified urethane-modified unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin can be used. By reacting the above-mentioned compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups with an epoxy group, a radically polymerizable unsaturated group is further introduced, and a carboxyl group-containing photosensitive member having further improved photosensitivity is introduced. It may be a sex resin.

また、カルボキシル基含有感光性樹脂として、a)1分子中に2つ以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂とb)カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上である少なくとも1種のカルボン酸とc)ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応生成物である不飽和カルボン酸化エポキシ樹脂に、d)多塩基酸及び/または多塩基酸無水物を付加させて得られる長鎖炭化水素構造含有樹脂が挙げられる。長鎖炭化水素構造含有樹脂は、長鎖炭化水素構造を有することから、その硬化物に優れた柔軟性と絶縁信頼性を付与することができる。 Further, as the carboxyl group-containing photosensitive resin, a) a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule and b) at least one carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group. And c) A long-chain hydrocarbon structure obtained by adding d) a polybasic acid and / or a polybasic acid anhydride to an unsaturated carboxylic oxide epoxy resin which is a reaction product with a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid. Containing resin can be mentioned. Since the long-chain hydrocarbon structure-containing resin has a long-chain hydrocarbon structure, it is possible to impart excellent flexibility and insulation reliability to the cured product.

a)1分子中に2つ以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂
1分子中に2つ以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂としては、上記した各種多官能性エポキシ樹脂が挙げられる。これらのうち、感光性樹脂組成物の硬化物の感光性、柔軟性及び絶縁信頼性の点から、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂が好ましい。
a) Polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule Examples of the polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule include the above-mentioned various polyfunctional epoxy resins. Of these, the biphenyl aralkyl type epoxy resin and the dicyclopentadiene type epoxy resin are preferable from the viewpoint of the photosensitivity, flexibility and insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition.

b)カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上である少なくとも1種のカルボン酸
カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上であるカルボン酸は、多官能エポキシ樹脂のエポキシ基に反応して、エポキシ樹脂に上記カルボン酸由来の長鎖炭化水素構造が導入されることで、感光性樹脂を含む感光性樹脂組成物の硬化物の柔軟性、絶縁信頼性を向上させることができる。カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上であるカルボン酸は、特に限定されず、飽和、不飽和のいずれも使用可能であり、直鎖状、分岐状のいずれも使用可能である。上記カルボン酸には、例えば、炭素数が10以上の一塩基酸、炭素数20以上の二塩基酸が挙げられ、柔軟性と指触乾燥性の両立の点から、上記一塩基酸及び二塩基酸は、直鎖状または炭素数2以下の側鎖を2本以下有する分岐状が好ましい。
b) At least one carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group A carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group reacts with the epoxy group of the polyfunctional epoxy resin. By introducing the long-chain hydrocarbon structure derived from the carboxylic acid into the epoxy resin, the flexibility and insulation reliability of the cured product of the photosensitive resin composition containing the photosensitive resin can be improved. The carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group is not particularly limited, and either saturated or unsaturated can be used, and either linear or branched can be used. Examples of the carboxylic acid include a monobasic acid having 10 or more carbon atoms and a dibasic acid having 20 or more carbon atoms. From the viewpoint of both flexibility and dryness to the touch, the monobasic acid and diprotic acid are used. The acid is preferably linear or branched with two or less side chains having 2 or less carbon atoms.

また、長鎖カルボン酸由来の長鎖炭化水素構造をエポキシ樹脂に導入しつつ、上記エポキシ樹脂の異なるエポキシ基が長鎖炭化水素構造を有するカルボン酸を介して相互に結合することで、エポキシ樹脂が有する比較的剛直な骨格が、長鎖カルボン酸由来の柔軟性の高い長鎖炭化水素骨格にて共有結合により架橋された構成とすることができる。結果として、硬化物の柔軟性、耐熱性及び耐薬品性に優れた構造をエポキシ樹脂に付与する点から、長鎖カルボン酸は少なくとも1種の二塩基酸を含有させてもよい。さらに、本発明では、長鎖カルボン酸に由来する柔軟性の高い長鎖炭化水素骨格を多く導入することで硬化物の柔軟性を向上させることができるところ、上記したカルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上である二塩基酸に加えて、カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上である一塩基酸を併用することにより、長鎖カルボン酸と多官能エポキシ樹脂とエチレン性不飽和基含有カルボン酸との反応生成物の分子量を、長鎖カルボン酸に由来する成分の組成比率を向上させながら適度に制御することができる。このように、分子量を適度に調整することで、乾燥後の塗膜の指触乾燥性と弱アルカリ現像液への溶解性(すなわちアルカリ現像性)と硬化物の柔軟性との両立が可能となる。 Further, while introducing a long-chain hydrocarbon structure derived from a long-chain carboxylic acid into an epoxy resin, different epoxy groups of the epoxy resin are bonded to each other via a carboxylic acid having a long-chain hydrocarbon structure to form an epoxy resin. The relatively rigid skeleton of the long-chain carboxylic acid can be covalently bridged with a highly flexible long-chain hydrocarbon skeleton derived from a long-chain carboxylic acid. As a result, the long-chain carboxylic acid may contain at least one dibasic acid from the viewpoint of imparting a structure excellent in flexibility, heat resistance and chemical resistance to the cured product to the epoxy resin. Further, in the present invention, the flexibility of the cured product can be improved by introducing a large amount of highly flexible long-chain hydrocarbon skeleton derived from a long-chain carboxylic acid. However, the carbon per carboxyl group described above can be improved. By using a monobasic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group in combination with a dibasic acid having 10 or more, a long-chain carboxylic acid, a polyfunctional epoxy resin, and an ethylenically unsaturated group are used in combination. The molecular weight of the reaction product with the contained carboxylic acid can be appropriately controlled while improving the composition ratio of the component derived from the long-chain carboxylic acid. By appropriately adjusting the molecular weight in this way, it is possible to achieve both the touch-drying property of the coating film after drying, the solubility in a weak alkaline developer (that is, the alkaline developability), and the flexibility of the cured product. Become.

カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上であるカルボン酸の具体例には、一塩基酸としては、カプリン酸(デカン酸:C10)、ウンデシル酸(C11)、ラウリン酸(ドデカン酸:C12)、トリデシル酸(C13)、ミリスチン酸(C14)、ペンタデシル酸(C15)、パルミチン酸(ヘキサデカン酸:C16)、マルガリン酸(ヘプタデカン酸:C17)、ステアリン酸(C18)、ツベルクロスステアリン酸(C19)、アラキジン酸(C20)、ベヘニン酸(C22),トリコシル酸(C23)、テトラコサン酸(C24)、ヘキサコサン酸(C26)、オクタコサン酸(C28)、トリアコンタン酸(C30)等が挙げられる。 Specific examples of carboxylic acids having 10 or more carbon atoms per carboxyl group include capric acid (decanoic acid: C10), undecanoic acid (C11), and lauric acid (dodecanoic acid: C12) as monobasic acids. , Tridecanoic acid (C13), myristic acid (C14), pentadecanoic acid (C15), palmitic acid (hexadecanoic acid: C16), margaric acid (heptadecanoic acid: C17), stearic acid (C18), tubercrostearic acid (C19) , Arakidic acid (C20), behenic acid (C22), tricosyl acid (C23), tetracosanoic acid (C24), hexacosanoic acid (C26), octacosanoic acid (C28), triaconic acid (C30) and the like.

二塩基酸としては、例えば、エイコサン二酸(C20)、エチルオクタデカン二酸(C20)、エイコサジエン二酸(C20)、ビニルオクタデカエン二酸(C20)、ジメチルエイコサジエン二酸(C22)、ジメチルエイコサン二酸(C22)、ジフェニルヘキサデカン二酸(C28)、オレイン酸(C18)等の不飽和脂肪酸の二量体化反応によるC36ダイマー酸等を挙げることができる。上記したカルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上であるカルボン酸は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。なお、必要に応じて、カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上である少なくとも1種のカルボン酸と、カルボキシル基1つあたりの炭素数が9以下である少なくとも1種の一塩基酸及び/または二塩基酸と、を併用してもよい。 Examples of the dibasic acid include eikosan diic acid (C20), ethyl octadecane diic acid (C20), eikosadien diic acid (C20), vinyl octadecaene diic acid (C20), dimethyleicosa diene diic acid (C22), and the like. Examples thereof include C36 dimer acid produced by a dimerization reaction of unsaturated fatty acids such as dimethyleicosane diic acid (C22), diphenylhexadecan diic acid (C28) and oleic acid (C18). The above-mentioned carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group may be used alone or in combination of two or more. If necessary, at least one carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group, and at least one monobasic acid having 9 or less carbon atoms per carboxyl group and / or Alternatively, a dibasic acid may be used in combination.

感光性樹脂中における、カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上であるカルボン酸の割合(仕込み割合)は、特に限定されないが、その下限値は、柔軟性と絶縁信頼性をより向上させ、また、多塩基酸及び/または多塩基酸無水物の導入量を調整して固形分酸価を調整する点から15質量%が好ましく、18質量%が特に好ましい。一方で、その上限値は、エチレン性不飽和基含有カルボン酸の導入量(すなわち、感光性)を維持し、また、多塩基酸及び/または多塩基酸無水物の導入量を調整して固形分酸価を調整する点から25質量%が好ましく、20質量%が特に好ましい。 The ratio (preparation ratio) of the carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group in the photosensitive resin is not particularly limited, but the lower limit thereof further improves flexibility and insulation reliability. Further, 15% by mass is preferable, and 18% by mass is particularly preferable, from the viewpoint of adjusting the introduction amount of the polybasic acid and / or the polybasic acid anhydride to adjust the solid acid value. On the other hand, the upper limit is that the amount of the ethylenically unsaturated group-containing carboxylic acid introduced (that is, photosensitive) is maintained, and the amount of the polybasic acid and / or the polybasic acid anhydride introduced is adjusted to be solid. From the viewpoint of adjusting the acid anhydride value, 25% by mass is preferable, and 20% by mass is particularly preferable.

c)ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸
ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸としては、上記した各種ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を挙げることができる。感光性樹脂中における、ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸の割合(仕込み割合)は、特に限定されないが、その下限値は、感度をより向上させ、また、多塩基酸及び/または多塩基酸無水物の導入量と固形分酸価を調整する点から2.0質量%が好ましく、3.0質量%が特に好ましい。一方で、その上限値は、カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上であるカルボン酸の導入量を維持し、また、多塩基酸及び/または多塩基酸無水物の導入量を調整して固形分酸価を調整する点から10質量%が好ましく、5.0質量%が特に好ましい。
c) Radical-polymerizable unsaturated monocarboxylic acid Examples of the radical-polymerizable unsaturated monocarboxylic acid include the above-mentioned various radical-polymerizable unsaturated monocarboxylic acids. The ratio (preparation ratio) of the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid in the photosensitive resin is not particularly limited, but the lower limit thereof further improves the sensitivity and polybasic acid and / or polybasic acid anhydride. 2.0% by mass is preferable, and 3.0% by mass is particularly preferable, from the viewpoint of adjusting the amount of the substance introduced and the solid acid value. On the other hand, the upper limit is maintained by maintaining the amount of carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group, and adjusting the amount of polybasic acid and / or polybasic acid anhydride introduced. From the viewpoint of adjusting the solid content acid value, 10% by mass is preferable, and 5.0% by mass is particularly preferable.

d)多塩基酸及び/または多塩基酸無水物
多塩基酸、多塩基酸無水物としては、上記した各種多塩基酸と多塩基酸無水物を挙げることができる。感光性樹脂中における、多塩基酸及び/または多塩基酸無水物の割合(仕込み割合)は、特に限定されないが、その下限値は、良好なアルカリ現像性と固形分酸価を調整する点から7.0質量%が好ましく、9.0質量%が特に好ましい。一方で、その上限値は、絶縁信頼性の低下を確実に防止し、固形分酸価を調整する点から16質量%が好ましく、14質量%が特に好ましい。
d) Polybasic acid and / or polybasic acid anhydride Examples of the polybasic acid and polybasic acid anhydride include the above-mentioned various polybasic acids and polybasic acid anhydrides. The ratio (preparation ratio) of polybasic acid and / or polybasic acid anhydride in the photosensitive resin is not particularly limited, but the lower limit thereof is from the viewpoint of adjusting good alkali developability and solid acid value. 7.0% by mass is preferable, and 9.0% by mass is particularly preferable. On the other hand, the upper limit value is preferably 16% by mass, particularly preferably 14% by mass, from the viewpoint of surely preventing a decrease in insulation reliability and adjusting the solid acid value.

カルボキシル基含有感光性樹脂の酸価は、特に限定されず、例えば、その下限値は、確実にアルカリ現像性を得る点から30mgKOH/gが好ましく、40mgKOH/gが特に好ましい。一方で、酸価の上限値は、例えば、アルカリ現像液による露光部の溶解防止の点から200mgKOH/gが好ましく、光硬化物の耐湿性と電気特性の劣化を防止する点から150mgKOH/gが特に好ましい。 The acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited, and for example, the lower limit thereof is preferably 30 mgKOH / g and particularly preferably 40 mgKOH / g from the viewpoint of reliably obtaining alkali developability. On the other hand, the upper limit of the acid value is preferably 200 mgKOH / g from the viewpoint of preventing dissolution of the exposed portion by the alkaline developer, and 150 mgKOH / g from the viewpoint of preventing deterioration of the moisture resistance and electrical characteristics of the photocured product. Especially preferable.

また、カルボキシル基含有感光性樹脂の質量平均分子量は、特に限定されず、例えば、その下限値は、光硬化物の強靭性及び指触乾燥性の点から6000が好ましく、7000がより好ましく、8000が特に好ましい。一方で、質量平均分子量の上限値は、例えば、円滑なアルカリ現像性の点から200000が好ましく、100000がより好ましく、50000が特に好ましい。なお、「質量平均分子量」は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いて、常温で測定し、ポリスチレン換算にて算出される質量平均分子量を意味する。 The mass average molecular weight of the carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited. For example, the lower limit thereof is preferably 6000, more preferably 7000, and 8000 from the viewpoint of toughness and dryness to the touch of the photocured product. Is particularly preferable. On the other hand, the upper limit of the mass average molecular weight is, for example, preferably 200,000, more preferably 100,000, and particularly preferably 50,000 from the viewpoint of smooth alkali developability. The "mass average molecular weight" means a mass average molecular weight measured at room temperature using gel permeation chromatography (GPC) and calculated in terms of polystyrene.

カルボキシル基含有感光性樹脂は、上記各原材料を用いて上記反応工程にて合成してもよく、上市されているカルボキシル基含有感光性樹脂を使用してもよい。上市されているカルボキシル基含有感光性樹脂としては、例えば、「KAYARAD ZCR−1569H」(日本化薬株式会社)を挙げることができる。 The carboxyl group-containing photosensitive resin may be synthesized in the above reaction step using each of the above raw materials, or a commercially available carboxyl group-containing photosensitive resin may be used. Examples of the carboxyl group-containing photosensitive resin on the market include "KAYARAD ZCR-1569H" (Nippon Kayaku Co., Ltd.).

A成分のカルボキシル基含有感光性樹脂としては、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.050以下であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有していればよく、従って、上記吸光度を有するカルボキシル基含有感光性樹脂と上記吸光度を有さないカルボキシル基含有感光性樹脂とを併用してもよい。 As the carboxyl group-containing photosensitive resin of component A, the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 1.000 or more. It suffices to contain a carboxyl group-containing photosensitive resin having a maximum absorbance of 360 nm or more of 0.050 or less. Therefore, a carboxyl group-containing photosensitive resin having the above absorbance and a carboxyl group having no absorbance. It may be used in combination with the contained photosensitive resin.

(B)エポキシ化合物
エポキシ化合物は、硬化塗膜の架橋密度を上げて十分な強度の硬化塗膜を得るためのものである。エポキシ化合物としては、例えば、エポキシ樹脂を挙げることができる。エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂等のゴム変性エポキシ樹脂、ε−カプロラクトン変性エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のフェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルト−クレゾールノボラック型等のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、環状脂肪族多官能エポキシ樹脂、グリシジルエステル型多官能エポキシ樹脂、グリシジルアミン型多官能エポキシ樹脂、複素環式多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボラック型エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型エポキシ樹脂、ダイマー酸グリシジルエステル型エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらの化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
(B) Epoxy compound The epoxy compound is for increasing the crosslink density of the cured coating film to obtain a cured coating film having sufficient strength. Examples of the epoxy compound include an epoxy resin. The epoxy resin is not particularly limited, and is, for example, a rubber-modified epoxy such as a biphenyl aralkyl type epoxy resin, a phenyl aralkyl type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, or a silicone modified epoxy resin. Resin, ε-caprolactone-modified epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin and other phenol novolac type epoxy resin, ortho-cresol novolac type and other cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, cyclic fat Group polyfunctional epoxy resin, glycidyl ester type polyfunctional epoxy resin, glycidylamine type polyfunctional epoxy resin, heterocyclic polyfunctional epoxy resin, bisphenol modified novolac type epoxy resin, polyfunctional modified novolac type epoxy resin, dimer acid glycidyl ester type Epoxy resin and the like can be mentioned. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、紫外線(例えば、波長300〜400nmの範囲)を照射させて基板上に厚い(例えば、40μm以上の厚さ)光硬化膜を形成する際に、感光性樹脂組成物の感光性が向上してアンダーカットの抑制に寄与する点から、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が2.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.100以下であるエポキシ化合物が好ましく、前記300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が2.500以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.080以下であるエポキシ化合物がより好ましく、前記300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が3.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.070以下であるエポキシ化合物が特に好ましい。また、前記300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が3.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.070以下であるエポキシ化合物としては、アンダーカットをより確実に抑制する点から、ナフタレン型エポキシ樹脂が特に好ましい。 Of these, when a thick (for example, 40 μm or more) photocurable film is formed on the substrate by irradiating with ultraviolet rays (for example, in the wavelength range of 300 to 400 nm), the absorbance of the photosensitive resin composition becomes high. The maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 2.000 from the viewpoint of improving and contributing to the suppression of undercut. The epoxy compound having a maximum absorbance of 360 nm or more is 0.100 or less is preferable, and the maximum absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm is 2.500 or more and the maximum absorbance of 360 nm or more is 0.080. The following epoxy compounds are more preferable, and the epoxy compounds having a maximum absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less of 3.000 or more and a maximum absorbance of 360 nm or more of 0.070 or less are particularly preferable. Further, as an epoxy compound having a maximum absorbance of 3.000 or more and 360 nm or more and a maximum absorbance of 0.070 or less in the range of 300 nm or more and 360 nm or less, undercut can be suppressed more reliably. Naphthalene type epoxy resin is particularly preferable.

なお、エポキシ化合物について、前記300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値の上限は、特に限定されないが、例えば、5.000が挙げられる。また、エポキシ化合物の前記360nm以上の吸光度の最大値の下限は、特に限定されないが、例えば、0.001が挙げられる。 Regarding the epoxy compound, the upper limit of the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less is not particularly limited, and examples thereof include 5.000. The lower limit of the maximum value of the absorbance of the epoxy compound of 360 nm or more is not particularly limited, and examples thereof include 0.001.

エポキシ化合物の配合量は、特に限定されないが、例えば、その下限値は、より確実に光硬化膜の強度を得る点から、カルボキシル基含有感光性樹脂(固形分)100質量部に対して、15質量部が好ましく、18質量部がより好ましく、20質量部が特に好ましい。一方で、エポキシ化合物の配合量の上限値は、優れた現像性を得る点から、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して、100質量部が好ましく、50質量部がより好ましく、30質量部が特に好ましい。 The blending amount of the epoxy compound is not particularly limited, but for example, the lower limit thereof is 15 with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin (solid content) from the viewpoint of obtaining the strength of the photocurable film more reliably. It is preferably parts by mass, more preferably 18 parts by mass, and particularly preferably 20 parts by mass. On the other hand, the upper limit of the blending amount of the epoxy compound is preferably 100 parts by mass, more preferably 50 parts by mass, and 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin from the viewpoint of obtaining excellent developability. Part is particularly preferable.

(C)反応性希釈剤
反応性希釈剤とは、例えば、光重合性モノマーであり、1分子当たり少なくとも1つ、好ましくは1分子当たり2つ以上の重合性二重結合を有する化合物である。反応性希釈剤は、感光性樹脂組成物の光硬化を補強して、十分な解像性、耐酸性、耐熱性、耐アルカリ性などを有する硬化物を得るために寄与する。
(C) Reactive Diluent The reactive diluent is, for example, a photopolymerizable monomer and is a compound having at least one polymerizable double bond per molecule, preferably two or more polymerizable double bonds per molecule. The reactive diluent reinforces the photocuring of the photosensitive resin composition and contributes to obtain a cured product having sufficient resolution, acid resistance, heat resistance, alkali resistance and the like.

反応性希釈剤としては、例えば、単官能の(メタ)アクリレート化合物、2官能以上の(メタ)アクリレート化合物を挙げることができる。(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ジエチレングルコールモノ(メタ)アクリレート、2‐ヒドロキシ‐3‐フェノキシプロピル(メタ)アクリルレート等の単官能(メタ)アクリレート化合物、1,4‐ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6‐ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性燐酸ジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート等の2官能(メタ)アクリレート化合物、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の3官能以上の(メタ)アクリレート化合物が挙げられる。また、単官能または2官能以上のウレタン(メタ)アクリレート化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。反応性希釈剤の含有量は、特に限定されないが、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して、5.0質量部〜100質量部が好ましく、10質量部〜50質量部が特に好ましい。 Examples of the reactive diluent include a monofunctional (meth) acrylate compound and a bifunctional or higher functional (meth) acrylate compound. Examples of the (meth) acrylate compound include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, diethylene glucol mono (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylic rate and the like. Monofunctional (meth) acrylate compound, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, neo Pentyl glycol adipate di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate of hydroxypivalate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, ethylene oxide-modified di (meth) acrylate, cyclohexyl di (meth) acrylate, Bifunctional (meth) acrylate compounds such as isocyanurate di (meth) acrylate, trimethyl propantri (meth) acrylate, ditrimethylolpropantetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth). Trifunctional or higher functional acrylates, propylene oxide-modified trimethylolpropantri (meth) acrylates, tris (acryloxyethyl) isocyanurates, propionic acid-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylates, dipentaerythritol hexa (meth) acrylates, etc. Meta) acrylate compounds can be mentioned. Further, monofunctional or bifunctional or higher functional urethane (meth) acrylate compounds and the like can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. The content of the reactive diluent is not particularly limited, but is preferably 5.0 parts by mass to 100 parts by mass, and particularly preferably 10 parts by mass to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin.

(D)光重合開始剤
光重合開始剤の化学構造は、特に限定されず、いずれも使用可能であるが、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/またはオキシムエステル系光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としてα−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/またはオキシムエステル系光重合開始剤を配合することにより、基板上に厚い(例えば、40μm以上の厚さ)光硬化膜を形成する際に、本発明の感光性樹脂組成物の紫外線に対する感光性がさらに向上して、光硬化物のライン幅の増大抑制とより確実なアンダーカットの抑制に寄与する。これは、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及びオキシムエステル系光重合開始剤は、いずれも、主に、380nm以上の波長にてその機能が発揮されることに関係すると考えられる。このうち、少なくともα−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤を含有することがより好ましく、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤を含有することが特に好ましい。
(D) Photopolymerization Initiator The chemical structure of the photopolymerization initiator is not particularly limited, and any of them can be used, but an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and / or an oxime ester-based photopolymerization initiator may be used. It is preferable to contain it. By blending an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and / or an oxime ester-based photopolymerization initiator as the photopolymerization initiator, a thick (for example, a thickness of 40 μm or more) photocurable film is formed on the substrate. At that time, the photosensitivity of the photosensitive resin composition of the present invention to ultraviolet rays is further improved, which contributes to the suppression of the increase in the line width of the photocured product and the more reliable suppression of the undercut. It is considered that this is related to the fact that the α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and the oxime ester-based photopolymerization initiator both exhibit their functions mainly at wavelengths of 380 nm or more. Of these, it is more preferable to contain at least an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator, and it is particularly preferable to contain an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and an oxime ester-based photopolymerization initiator.

α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン等を挙げることができる。これらのα−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- [4- (methylthio). Phenyl] -2-morpholinopropan-1-one and the like can be mentioned. These α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

オキシムエステル系光重合開始剤は、分子中にオキシムエステル基を有する光重合開始剤である。オキシムエステル系光重合開始剤としては、例えば、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)〕、エタノン1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(0−アセチルオキシム)、2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、1,8−オクタンジオン,1,8−ビス[9−エチル−6−ニトロ−9H−カルバゾール−3−イル]−,1,8−ビス(O−アセチルオキシム)、1,8−オクタンジオン,1,8−ビス[9−(2−エチルヘキシル)−6−ニトロ−9H−カルバゾール−3−イル]−,1,8−ビス(O−アセチルオキシム)、(Z) −(9−エチル−6−ニトロ−9H−カルバゾール−3−イル)(4−((1−メトキシプロパン−2−イル)オキシ) −2−メチルフェニル)メタノン O−アセチルオキシム等を挙げることができる。これらのオキシムエステル系光重合開始剤は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 The oxime ester-based photopolymerization initiator is a photopolymerization initiator having an oxime ester group in the molecule. Examples of the oxime ester-based photopolymerization initiator include 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], and ethanone 1- [9-ethyl-6- (2). -Methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl] -1- (0-acetyloxime), 2- (acetyloxyiminomethyl) thioxanthene-9-one, 1,8-octanedione, 1,8-bis [9-Ethyl-6-nitro-9H-carbazole-3-yl]-, 1,8-bis (O-acetyloxime), 1,8-octanedione, 1,8-bis [9- (2-ethylhexyl) ) -6-Nitro-9H-carbazole-3-yl]-, 1,8-bis (O-acetyloxime), (Z)-(9-ethyl-6-nitro-9H-carbazole-3-yl) ( 4-((1-methoxypropan-2-yl) oxy) -2-methylphenyl) metanone O-acetyloxime and the like can be mentioned. These oxime ester-based photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤を含有する場合、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤/オキシムエステル系光重合開始剤の質量比は、特に限定されないが、10〜50の範囲が好ましく、20〜40の範囲がより好ましく、25〜35の範囲が特に好ましい。 When the α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and the oxime ester-based photopolymerization initiator are contained, the mass ratio of the α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator / oxime ester-based photopolymerization initiator is not particularly limited. , 10-50 is preferred, 20-40 is more preferred, and 25-35 is particularly preferred.

また、本発明では、光重合開始剤として、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及びオキシムエステル系光重合開始剤以外の光重合開始剤(他の光重合開始剤)を配合してもよい。また、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/またはオキシムエステル系光重合開始剤に加えて、さらに他の光重合開始を配合してもよい。他の光重合開始剤としては、公知のものを使用でき、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン‐n‐ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、2,2‐ジメトキシ‐2‐フェニルアセトフェノン、2,2‐ジエトキシ‐2‐フェニルアセトフェノン、2‐ヒドロキシ‐2‐メチル‐1‐フェニルプロパン‐1‐オン、1‐ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、4‐(2‐ヒドロキシエトキシ)フェニル‐2‐(ヒドロキシ‐2‐プロピル)ケトン、ベンゾフェノン、p‐フェニルベンゾフェノン、4,4′‐ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロルベンゾフェノン、2‐メチルアントラキノン、2‐エチルアントラキノン、2‐ターシャリーブチルアントラキノン、2‐アミノアントラキノン、2‐メチルチオキサントン、2‐エチルチオキサントン、2‐クロルチオキサントン、2,4‐ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、P‐ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイド、(2,4,6‐トリメチルベンゾイル)エトキシフェニルフォスフィンオキサイド等を挙げることができる。これらの他の光重合開始剤は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Further, in the present invention, a photopolymerization initiator (another photopolymerization initiator) other than the α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and the oxime ester-based photopolymerization initiator may be blended as the photopolymerization initiator. .. Further, in addition to the α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and / or the oxime ester-based photopolymerization initiator, another photopolymerization initiator may be further blended. As other photopolymerization initiators, known ones can be used, for example, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, acetophenone, dimethylaminoacetophenone, 2, 2-Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 4- (2-hydroxy) Ethoxy) Phenyl-2- (hydroxy-2-propyl) ketone, benzophenone, p-phenylbenzophenone, 4,4'-diethylaminobenzophenone, dichlorobenzophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-terchary butyl anthraquinone , 2-Aminoanthraquinone, 2-Methylthioxanthone, 2-Ethylthioxanthone, 2-Chlorthioxanthone, 2,4-Dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, benzyldimethylketal, acetphenonedimethylketal, ethyl P-dimethylaminobenzoate Estel, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide , (2,4,6-trimethylbenzoyl) ethoxyphenylphosphine oxide and the like. These other photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤の配合量は、特に限定されないが、例えば、その下限値は、アンダーカットをより抑制する点から、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して0.7質量部が好ましく、1.0質量部が特に好ましい。一方で、光重合開始剤の配合量の上限値は、例えば、硬化塗膜のライン幅が増大して寸法精度が低下してしまうことを確実に防止する点から、カルボキシル基含有感光性樹脂100質量部に対して10質量部が好ましく、6.0質量部が特に好ましい。 The blending amount of the photopolymerization initiator is not particularly limited, but for example, the lower limit thereof is preferably 0.7 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing photosensitive resin from the viewpoint of further suppressing undercut. 1.0 part by mass is particularly preferable. On the other hand, the upper limit of the blending amount of the photopolymerization initiator is, for example, the carboxyl group-containing photosensitive resin 100 from the viewpoint of surely preventing the line width of the cured coating film from increasing and the dimensional accuracy from decreasing. 10 parts by mass is preferable with respect to parts by mass, and 6.0 parts by mass is particularly preferable.

本発明では、上記(A)成分〜(D)成分の他に、必要に応じて、他の成分、例えば、体質顔料、難燃剤、硬化促進剤、添加剤、着色剤、非反応性希釈剤等を、適宜、配合してもよい。 In the present invention, in addition to the above components (A) to (D), other components such as extender pigments, flame retardants, curing accelerators, additives, colorants, and non-reactive diluents are required. Etc. may be appropriately blended.

体質顔料としては、例えば、タルク、硫酸バリウム、疎水性シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、マイカ等を挙げることができる。 Examples of the extender pigment include talc, barium sulfate, hydrophobic silica, alumina, aluminum hydroxide, mica and the like.

難燃剤としては、例えば、リン系の難燃剤を挙げることができる。リン系の難燃剤としては、例えば、トリス(クロロエチル)ホスフェート、トリス(2,3−ジクロロプロピル)ホスフェート、トリス(2−クロロプロピル)ホスフェート、トリス(2,3−ブロモプロピル)ホスフェート、トリス(ブロモクロロプロピル)ホスフェート、2,3−ジブロモプロピル−2,3−クロロプロピルホスフェート、トリス(トリブロモフェニル)ホスフェート、トリス(ジブロモフェニル)ホスフェート、トリス(トリブロモネオペンチル)ホスフェートなどの含ハロゲン系リン酸エステル;トリメチルホスフェート、トリエチルホスフェート、トリブチルホスフェート、トリオクチルホスフェート、トリブトキシエチルホスフェートなどのノンハロゲン系脂肪族リン酸エステル;トリフェニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、ジクレジルフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、キシレニルジフェニルホスフェート、トリス(イソプロピルフェニル)ホスフェート、イソプロピルフェニルジフェニルホスフェート、ジイソプロピルフェニルフェニルホスフェート、トリス(トリメチルフェニル)ホスフェート、トリス(t−ブチルフェニル)ホスフェート、ヒドロキシフェニルジフェニルホスフェート、オクチルジフェニルホスフェートなどのノンハロゲン系芳香族リン酸エステル;トリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスジフェニルホスフィン酸アルミニウム、ビスジエチルホスフィン酸亜鉛、ビスメチルエチルホスフィン酸亜鉛、ビスジフェニルホスフィン酸亜鉛、ビスジエチルホスフィン酸チタニル、テトラキスジエチルホスフィン酸チタン、ビスメチルエチルホスフィン酸チタニル、テトラキスメチルエチルホスフィン酸チタン、ビスジフェニルホスフィン酸チタニル、テトラキスジフェニルホスフィン酸チタンなどのホスフィン酸の金属塩、ジフェニルビニルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイド、トリアルキルホスフィンオキサイド、トリス(ヒドロキシアルキル)ホスフィンオキサイド等のホスフィンオキサイド系化合物等が挙げられる。 Examples of the flame retardant include a phosphorus-based flame retardant. Examples of phosphorus-based flame retardants include tris (chloroethyl) phosphate, tris (2,3-dichloropropyl) phosphate, tris (2-chloropropyl) phosphate, tris (2,3-bromopropyl) phosphate, and tris (bromo). Halogen-containing phosphates such as chloropropyl) phosphate, 2,3-dibromopropyl-2,3-chloropropyl phosphate, tris (tribromophenyl) phosphate, tris (dibromophenyl) phosphate, and tris (tribromoneopentyl) phosphate. Esters; non-halogen aliphatic phosphates such as trimethyl phosphate, triethyl phosphate, tributyl phosphate, trioctyl phosphate, tributoxyethyl phosphate; triphenyl phosphate, credyl diphenyl phosphate, dicredyl phenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylate Nylphosphate, xylenyldiphenyl phosphate, tris (isopropylphenyl) phosphate, isopropylphenyldiphenyl phosphate, diisopropylphenylphenyl phosphate, tris (trimethylphenyl) phosphate, tris (t-butylphenyl) phosphate, hydroxyphenyldiphenyl phosphate, octyldiphenyl phosphate Non-halogen aromatic phosphates such as aluminum trisdiphenylphosphine, aluminum trismethylethylphosphine, aluminum trisdiphenylphosphine, zinc bisdiphenylphosphine, zinc bismethylethylphosphine, zinc bisdiphenylphosphine, bisdiethyl Metal salts of phosphinic acids such as titanyl phosphine, titanium tetrakisethyl phosphine, titanyl bismethylethyl phosphine, titanium tetrakismethylethyl phosphine, titanyl bisdiphenylphosphine, titanium tetrakisdiphenyl phosphine, diphenylvinylphosphine oxide, triphenyl Examples thereof include phosphine oxide-based compounds such as phosphine oxide, trialkylphosphine oxide, and tris (hydroxyalkyl) phosphine oxide.

硬化促進剤としては、ジシアンジアミド(DICY)及びその誘導体、メラミン及びその誘導体、三フッ化ホウ素−アミンコンプレックス、有機酸ヒドラジド、ジアミノマレオニトリル(DAMN)及びその誘導体、グアナミン及びその誘導体、アミンイミド(AI)並びにポリアミン等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include dicyandiamide (DICY) and its derivatives, melamine and its derivatives, boron trifluoride-amine complex, organic acid hydrazide, diaminomaleonitrile (DAMN) and its derivatives, guanamine and its derivatives, and amineimide (AI). In addition, polyamine and the like can be mentioned.

添加剤には、シリコーン系、炭化水素系及びアクリル系等の消泡剤、チキソトロピー剤、酸化防止剤などを挙げることができる。 Examples of the additive include silicone-based, hydrocarbon-based and acrylic-based defoaming agents, thixotropy agents, antioxidants and the like.

着色剤は、顔料、色素等、特に限定されない。また、着色剤の色彩は、白色着色剤、青色着色剤、緑色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤、黒色着色剤、赤色着色剤等、いずれの色彩も使用可能である。上記着色剤には、例えば、白色着色剤である酸化チタン、黒色着色剤であるカーボンブラック、アセチレンブラック等の無機系着色剤を挙げることができる。また、緑色着色剤であるフタロシアニングリーン、青色着色剤であるフタロシアニンブルーやリオノールブルー等のフタロシアニン系等の有機系着色剤を挙げることができる。 The colorant is not particularly limited, such as a pigment and a pigment. Further, as the color of the colorant, any color such as a white colorant, a blue colorant, a green colorant, a yellow colorant, a purple colorant, a black colorant, and a red colorant can be used. Examples of the colorant include inorganic colorants such as titanium oxide which is a white colorant, carbon black which is a black colorant, and acetylene black. In addition, organic colorants such as phthalocyanine green which is a green colorant and phthalocyanine type such as phthalocyanine blue and lionol blue which are blue colorants can be mentioned.

非反応性希釈剤は、感光性樹脂組成物の粘度、乾燥性、塗工性等を調節するためのものである。非反応性希釈剤として、例えば、有機溶剤を挙げることができる。有機溶剤には、例えば、メチルエチルケトン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、シクロヘキサノール等のアルコール類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルジグリコールアセテート等のエステル類等を挙げることができる。これらは、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 The non-reactive diluent is for adjusting the viscosity, dryness, coatability, etc. of the photosensitive resin composition. Examples of the non-reactive diluent include organic solvents. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, alcohols such as methanol, n-propanol, isopropanol and cyclohexanol, and alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane and methylcyclohexane. Classes, cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve, carbitols such as carbitol and butylcarbitol, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl di Examples thereof include esters such as glycol acetate. These may be used alone or in combination of two or more.

上記した本発明の感光性樹脂組成物の製造方法は、特定の方法に限定されず、例えば、上記各成分を所定割合で配合後、常温(例えば、25℃)にて、三本ロール、ボールミル、サンドミル等の混練手段、またはスーパーミキサー、プラネタリーミキサー等の攪拌手段により混練または混合して製造することができる。また、前記混練または混合の前に、必要に応じて、予備混練または予備混合してもよい。 The method for producing the photosensitive resin composition of the present invention described above is not limited to a specific method. For example, after blending each of the above components in a predetermined ratio, at room temperature (for example, 25 ° C.), a three-roll or ball mill , Sand mill or the like, or kneading or mixing by a stirring means such as a super mixer or a planetary mixer. Further, before the kneading or mixing, pre-kneading or pre-mixing may be performed, if necessary.

次に、上記した本発明の感光性樹脂組成物の使用方法例について説明する。ここでは、まず、銅箔等の導体箔をエッチングして形成した高さ方向の寸法が大きい回路パターン(例えば、40μm程度の高さの回路パターン)を有するプリント配線板上に、本発明の感光性樹脂組成物を塗工して、絶縁被膜(例えば、ソルダーレジスト膜)を形成する方法を例にとって説明する。 Next, an example of how to use the photosensitive resin composition of the present invention described above will be described. Here, first, the photosensitive member of the present invention is exposed on a printed wiring board having a circuit pattern having a large dimension in the height direction (for example, a circuit pattern having a height of about 40 μm) formed by etching a conductor foil such as copper foil. A method of applying the sex resin composition to form an insulating film (for example, a solder resist film) will be described as an example.

導体箔の回路パターンを有するプリント配線板上に、上記感光性樹脂組成物を、スクリーン印刷、スプレーコータ、バーコータ、アプリケータ、ブレードコータ、ナイフコータ、ロールコータ、グラビアコータ等の公知の方法を用いて所望の厚さ(例えば、40μm以上の厚さ)に塗布する。塗布後、必要に応じて、感光性樹脂組成物中の非反応性希釈剤(有機溶剤)を揮散させるために60〜100℃程度の温度で15〜60分間程度加熱する予備乾燥を行い、感光性樹脂組成物から非反応性希釈剤を揮発させて塗膜の表面をタックフリーの状態にする。塗布した感光性樹脂組成物上に、前記回路パターンのランド以外を透光性にしたパターンを有するネガフィルムを密着させ、その上から紫外線(例えば、波長300〜400nmの範囲)を照射させて、前記ランド以外の塗膜部分を光硬化させる。次に、前記ランドに対応する非露光領域を希アルカリ水溶液で除去することにより塗膜が現像される。現像方法には、スプレー法、シャワー法等が用いられ、使用される希アルカリ水溶液としては、例えば、0.5〜5質量%の炭酸ナトリウム水溶液が挙げられる。次いで、130〜170℃の熱風循環式の乾燥機等で20〜80分間ポストキュア(熱硬化処理)を行うことにより、プリント配線板上に、目的とする回路パターンを有する硬化塗膜であるソルダーレジスト膜を形成させることができる。なお、ネガフィルムの上から紫外線を照射させることに代えて、ネガフィルムを用いずに、直描露光装置を用いて紫外線を照射してもよい。 The above photosensitive resin composition is applied onto a printed wiring board having a circuit pattern of a conductor foil by using a known method such as screen printing, spray coater, bar coater, applicator, blade coater, knife coater, roll coater, and gravure coater. It is applied to a desired thickness (for example, a thickness of 40 μm or more). After coating, if necessary, pre-drying is performed by heating at a temperature of about 60 to 100 ° C. for about 15 to 60 minutes in order to volatilize the non-reactive diluent (organic solvent) in the photosensitive resin composition. The non-reactive diluent is volatilized from the sex resin composition to make the surface of the coating film tack-free. A negative film having a translucent pattern other than the land of the circuit pattern is brought into close contact with the coated photosensitive resin composition, and ultraviolet rays (for example, a wavelength in the range of 300 to 400 nm) are irradiated from above. The coating film portion other than the land is photocured. Next, the coating film is developed by removing the non-exposed region corresponding to the land with a dilute alkaline aqueous solution. A spray method, a shower method, or the like is used as the developing method, and examples of the dilute alkaline aqueous solution used include a 0.5 to 5% by mass sodium carbonate aqueous solution. Next, by performing post-cure (thermosetting treatment) for 20 to 80 minutes in a hot air circulation type dryer or the like at 130 to 170 ° C., a solder which is a cured coating film having a desired circuit pattern on a printed wiring board. A resist film can be formed. Instead of irradiating the negative film with ultraviolet rays, the ultraviolet rays may be irradiated using a direct drawing exposure apparatus without using the negative film.

次に、導体箔をエッチングして形成した高さ方向の寸法が大きい回路パターン(例えば、40μm程度の高さの回路パターン)を有するプリント配線板上に、本発明の感光性樹脂組成物を塗工したドライフィルムを用いて、絶縁被膜(例えば、ソルダーレジスト膜)を形成する方法を説明する。 Next, the photosensitive resin composition of the present invention is applied onto a printed wiring board having a circuit pattern having a large height dimension (for example, a circuit pattern having a height of about 40 μm) formed by etching a conductor foil. A method of forming an insulating film (for example, a solder resist film) using the processed dry film will be described.

ドライフィルムは、支持フィルム(例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエステルフィルム等の熱可塑性フィルム)と、支持フィルムに塗工された絶縁被膜(例えば、ソルダーレジスト層)と、絶縁被膜を保護するカバーフィルム(例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム)と、を有する積層構造となっている。支持フィルム上に感光性樹脂組成物を、ローラコート法等の公知の方法で所望の厚さ(例えば、40μm以上の厚さ)に塗工後、塗膜を乾燥処理して支持フィルム上に絶縁被膜を形成する。その後、絶縁被膜上にカバーフィルムを積層することでドライフィルムを作製できる。上記ドライフィルムのカバーフィルムを剥がしながら絶縁被膜とプリント配線板をはり合わせることで、プリント配線板上に絶縁被膜を形成する。その後、上記と同様に、露光、現像、ポストキュアの各工程を行なうことで、プリント配線板上に目的とする回路パターンを有するソルダーレジスト膜を形成させることができる。 The dry film includes a support film (for example, a thermoplastic film such as a polyethylene terephthalate film or a polyester film), an insulating film coated on the support film (for example, a solder resist layer), and a cover film for protecting the insulating film (for example). , Polyethylene film, polypropylene film), and has a laminated structure. After applying the photosensitive resin composition on the support film to a desired thickness (for example, a thickness of 40 μm or more) by a known method such as a roller coating method, the coating film is dried and insulated on the support film. Form a film. After that, a dry film can be produced by laminating a cover film on the insulating film. An insulating film is formed on the printed wiring board by sticking the insulating film and the printed wiring board together while peeling off the cover film of the dry film. After that, by performing each of the exposure, development, and post-cure steps in the same manner as described above, a solder resist film having a desired circuit pattern can be formed on the printed wiring board.

次に、本発明の実施例を説明するが、本発明はその趣旨を超えない限り、これらの例に限定されるものではない。 Next, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these examples as long as the gist of the present invention is not exceeded.

実施例1〜9、比較例1〜4
下記表1に示す各成分を下記表1に示す配合割合にて配合し、3本ロールを用いて室温にて混合分散させて、実施例1〜9、比較例1〜4にて使用する感光性樹脂組成物を調製した。下記表1に示す各成分の配合量は、特に断りのない限り質量部を示す。なお、下記表1中の配合量の空欄部は、配合なしを意味する。また、下記表2に、カルボキシル基含有感光性樹脂の0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された所定波長の吸光度、エポキシ化合物の0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された所定波長の吸光度を記載した。紫外可視分光光度計は、株式会社日立製作所のU−3310型分光光度計を使用した。分光光度計の設定パラメータは、測定波長範囲230nm〜400nm、サンプリング間隔1.0nm、スリット2nm、セル長10mmとした。
Examples 1-9, Comparative Examples 1-4
Each component shown in Table 1 below is blended in the blending ratio shown in Table 1 below, mixed and dispersed at room temperature using three rolls, and the photosensitivity used in Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 4 is used. A sex resin composition was prepared. Unless otherwise specified, the blending amount of each component shown in Table 1 below is shown in parts by mass. In addition, the blank part of the blending amount in Table 1 below means that there is no blending. Further, in Table 2 below, the absorbance at a predetermined wavelength measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyl diglycol acetate solution of a carboxyl group-containing photosensitive resin, and 0.1 mass% ethyl of an epoxy compound. The absorbance at a predetermined wavelength measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a diglycol acetate solution is described. As the ultraviolet-visible spectrophotometer, a U-3310 type spectrophotometer manufactured by Hitachi, Ltd. was used. The setting parameters of the spectrophotometer were a measurement wavelength range of 230 nm to 400 nm, a sampling interval of 1.0 nm, a slit of 2 nm, and a cell length of 10 mm.

Figure 0006909551
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なお、表1中の各成分についての詳細は、以下の通りである。
(A)カルボキシル基含有感光性樹脂
・KAYARAD ZCR−1569H:固形分率68質量%、エチルジグリコールアセテート32質量%、日本化薬株式会社
・合成樹脂A−1
撹拌翼、温度計、還流管と窒素導入管を備えた300mlの4つ口セパラブルフラスコに、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂NC−3000(エポキシ基:0.383mol、日本化薬株式会社)を106.1g、ドデカン酸(カルボン酸:0.123mol、キシダ化学株式会社)を24.6g、アジピン酸(カルボン酸:0.115mol、キシダ化学株式会社)を8.4g、エチルジグリコールアセテート(三洋化成品株式会社)を66.1g、それぞれ加え、窒素・酸素混合気体雰囲気下110℃で30分間撹拌し、混合溶解させた。次いで、反応液の液温を115℃に昇温したのちに、4-メトキシフェノール(キシダ化学株式会社)0.3g、アクリル酸(カルボン酸:0.145mol、大阪有機化学工業株式会社)10.4g、トリフェニルホスフィン(キシダ化学株式会社)0.9gを投入した。115℃で8時間撹拌し、酸価測定を行いカルボン酸が完全に消失していることを確認した。次いで、大気雰囲気下、シクロヘキサン−1,2,4−トリカルボン酸−1,2−無水物(H−TMAn−S)(カルボン酸無水物:0.125mol、三菱ガス化学株式会社)24.8g、ジエチルジグリコール(日本乳化剤株式会社)16.5gを加え、100℃で2時間撹拌したのちに、FT−IR(赤外分光光度計)で反応終了を確認し、実施例で配合する感光性樹脂A−1を258.0g得た。質量平均分子量(Mw)は9100、固形分率は68質量%であった。
The details of each component in Table 1 are as follows.
(A) Carboxylic group-containing photosensitive resin KAYARAD ZCR-1569H: Solid content 68% by mass, ethyl diglycol acetate 32% by mass, Nippon Kayaku Co., Ltd. Synthetic resin A-1
Biphenylaralkyl type epoxy resin NC-3000 (epoxy group: 0.383 mol, Nippon Kayaku Co., Ltd.) was placed in a 300 ml 4-port separable flask equipped with a stirring blade, a thermometer, a perfusion tube and a nitrogen introduction tube. 1 g, dodecanoic acid (carboxylic acid: 0.123 mol, Kishida Chemical Co., Ltd.) 24.6 g, adipic acid (carboxylic acid: 0.115 mol, Kishida Chemical Co., Ltd.) 8.4 g, ethyldiglycol acetate (Sanyo Kasei) 66.1 g of each was added, and the mixture was mixed and dissolved by stirring at 110 ° C. for 30 minutes in a nitrogen / oxygen mixed gas atmosphere. Next, after raising the temperature of the reaction solution to 115 ° C., 0.3 g of 4-methoxyphenol (Kishida Chemical Co., Ltd.) and acrylic acid (carboxylic acid: 0.145 mol, Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) 10. 4 g and 0.9 g of triphenylphosphine (Kishida Chemical Co., Ltd.) were added. The mixture was stirred at 115 ° C. for 8 hours, and the acid value was measured to confirm that the carboxylic acid had completely disappeared. Next, under an air atmosphere, 24.8 g of cyclohexane-1,2,4-tricarboxylic acid-1,2-anhydride (H-TMAn-S) (carboxylic acid anhydride: 0.125 mol, Mitsubishi Gas Chemicals Co., Ltd.), After adding 16.5 g of diethyldiglycol (Nippon Embroidery Co., Ltd.) and stirring at 100 ° C. for 2 hours, the completion of the reaction is confirmed by FT-IR (infrared spectrophotometer), and the photosensitive resin to be blended in the examples. 258.0 g of A-1 was obtained. The mass average molecular weight (Mw) was 9100, and the solid content was 68% by mass.

(B)エポキシ化合物
・EPICRON 850−S、HP−4032:DIC株式会社
・YX−4000K、jER871:三菱ケミカル株式会社
・NC−3000:日本化薬株式会社
(C)反応性希釈剤
・EBERCRYL8405:ダイセル・オルネクス株式会社
(D)光重合開始剤
・NCI−831:オキシムエステル系光重合開始剤、株式会社ADEKA
・OXE−02:オキシムエステル系光重合開始剤、BASFジャパン株式会社
・Irgacure 369:α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、BASFジャパン株式会社
(B) Epoxy compound ・ EPICRON 850-S, HP-4032: DIC Corporation ・ YX-4000K, jER871: Mitsubishi Chemical Co., Ltd. ・ NC-3000: Nippon Kayaku Co., Ltd.・ Ornex Co., Ltd. (D) Photopolymerization initiator ・ NCI-831: Oxym ester-based photopolymerization initiator, ADEKA Co., Ltd.
OXE-02: Oxime Ester Photopolymerization Initiator, BASF Japan Ltd. ・ Irgacare 369: α-Aminoalkylphenone Photopolymerization Initiator, BASF Japan Ltd.

体質顔料
・ハイジライト H42M:昭和電工株式会社
難燃剤
・エクソリット OP−935:クラリアントジャパン株式会社
硬化促進剤
・メラミン:日産化学工業株式会社
・DICY−7:三菱ケミカル株式会社
添加剤
・X−50−1095C:消泡剤、信越化学工業株式会社
着色剤
・デンカブラック:デンカ株式会社
非反応性希釈剤
・EDGAC:三洋化成品株式会社
Constituent pigment, Heidilite H42M: Showa Denko Co., Ltd. Flame retardant, Exolit OP-935: Clariant Japan Co., Ltd. Hardening accelerator, Melamine: Nissan Chemical Industry Co., Ltd., DICY-7: Mitsubishi Chemical Co., Ltd. Additive, X-50- 1095C: Antifoaming agent, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Coloring agent / Denka Black: Denka Co., Ltd. Non-reactive diluent / EDGAC: Sanyo Kaseihin Co., Ltd.

(A)成分以外のカルボキシル基含有感光性樹脂
・ZAR−2000、FLX−2089:日本化薬株式会社
・RC−301:DIC株式会社
Carboxyl group-containing photosensitive resin other than the component (A) ZAR-2000, FLX-2089: Nippon Kayaku Co., Ltd. RC-301: DIC Corporation

試験体作製工程
基板:ポリイミドフィルム(新日鉄住金化学株式会社の「ESPANEX」、銅箔(導体)の厚さ12μm、ポリイミドフィルムの厚さ25μm)
表面処理:3質量%硫酸処理
印刷法:スクリーン印刷
DRY膜厚:20μm及び40μm
予備乾燥:80℃、20分
露光:塗膜上に100mJ/cm、株式会社オーク製作所 DI紫外線露光装置 「Mms60」(光源は高圧水銀灯)
現像:1質量%炭酸ナトリウム水溶液 温度30℃、スプレー圧0.2MPa、現像時間60秒
ポストキュア:150℃、60分
Specimen manufacturing process Substrate: Polyimide film ("ESPANEX" from Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., copper foil (conductor) thickness 12 μm, polyimide film thickness 25 μm)
Surface treatment: 3% by mass sulfuric acid treatment Printing method: Screen printing DRY film thickness: 20 μm and 40 μm
Pre-drying: 80 ° C, 20 minutes Exposure: 100 mJ / cm 2 on the coating film, ORC Manufacturing Co., Ltd. DI UV exposure device "Mms60" (light source is high-pressure mercury lamp)
Development: 1 mass% sodium carbonate aqueous solution Temperature 30 ° C, spray pressure 0.2 MPa, development time 60 seconds Post cure: 150 ° C, 60 minutes

評価項目
(1)感度
感光性樹脂組成物を塗工した基板を80℃、20分予備乾燥した後に、感度測定用ステップタブレット(コダック14段)を塗膜上に設置し、感度測定用ステップタブレットを通して、波長のメインピ−クが365nmである紫外線を、100mJ/cm照射したものをテストピ−ス(DRY膜厚は20μm)とした。上記照射光量は、株式会社オ−ク製作所の積算光量計を用いて測定した。紫外線を露光後、上記試験体作製工程に準じて、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液(温度30℃)を用い、0.2MPaのスプレー圧で、60秒間、現像を行い、露光部分の除去されない部分を数字(ステップ数)で表した。ステップ数が大きいほど感光特性が良好であることを示す。
Evaluation items (1) Sensitometry After pre-drying the substrate coated with the photosensitive resin composition at 80 ° C. for 20 minutes, a step tablet for sensitivity measurement (14 steps of Kodak) is placed on the coating film, and a step tablet for sensitivity measurement is placed. A test pace (DRY film thickness is 20 μm) was obtained by irradiating 100 mJ / cm 2 of ultraviolet rays having a wavelength main peak of 365 nm. The amount of irradiation light was measured using an integrated light meter manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. After exposure to ultraviolet rays, development is carried out for 60 seconds at a spray pressure of 0.2 MPa using a 1 mass% sodium carbonate aqueous solution (temperature 30 ° C.) according to the above-mentioned test specimen preparation step, and the exposed portion is not removed. Was expressed as a number (number of steps). The larger the number of steps, the better the photosensitive characteristics.

(2)アンダーカット
ライン間隔200μmのフォトマスクを介して形成した露光部の残存ラインの断面(DRY膜厚40μm)について、金属顕微鏡(オリンパス株式会社、STM6)を用いて、その最大幅(a)と最小幅(b)を測定し、その差((a)−(b))を算出することで、アンダーカットを測定した。
(2) The maximum width (a) of the cross section (DRY film thickness 40 μm) of the remaining line of the exposed portion formed through the photomask having an undercut line interval of 200 μm using a metallurgical microscope (Olympus Corporation, STM6). And the minimum width (b) were measured, and the difference ((a)-(b)) was calculated to measure the undercut.

評価結果を、上記表1に示す。 The evaluation results are shown in Table 1 above.

上記表1、2に示すように、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.050以下であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有する実施例1〜9では、感度が6段〜9段と良好であり、アンダーカットを15μm以下に抑制できた。特に、300nm以上360nm以下の範囲の前記吸光度の最大値が1.591である実施例1、3は、300nm以上360nm以下の範囲の前記吸光度の最大値が1.489である実施例2、4と比較して、アンダーカットをさらに抑制することができた。 As shown in Tables 1 and 2 above, the maximum value of absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 1.000 or more and 360 nm. In Examples 1 to 9 containing the carboxyl group-containing photosensitive resin having the above maximum absorbance of 0.050 or less, the sensitivity was as good as 6 to 9 steps, and the undercut could be suppressed to 15 μm or less. .. In particular, Examples 1 and 3 in which the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less is 1.591, and Examples 2 and 4 in which the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less is 1.489. In comparison with, the undercut could be further suppressed.

また、300nm以上360nm以下の範囲の前記吸光度の最大値が2.547、360nm以上の前記吸光度の最大値が0.018であるエポキシ化合物に加えて、300nm以上360nm以下の範囲の前記吸光度の最大値が3.460、360nm以上の前記吸光度の最大値が0.050であるエポキシ化合物を併用した実施例7は、300nm以上360nm以下の範囲の前記吸光度の最大値が0.029であるエポキシ化合物を併用した実施例1、300nm以上360nm以下の範囲の前記吸光度の最大値が2.206であるエポキシ化合物を併用した実施例8、300nm以上360nm以下の範囲の前記吸光度の最大値が0.184であるエポキシ化合物を併用した実施例9と比較して、アンダーカットをさらに抑制することができた。 Further, in addition to the epoxy compound in which the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less is 2.547 and the maximum value of the absorbance in the range of 360 nm or more is 0.018, the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less is the maximum. In Example 7 in which the epoxy compound having a value of 3.460 and 360 nm or more and the maximum value of the absorbance of 0.050 was used in combination, the epoxy compound having the maximum value of the absorbance of 0.029 in the range of 300 nm or more and 360 nm or less was used. Example 1, the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less is 2.206. Example 8, the maximum value of the absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less is 0.184. As compared with Example 9 in which the above epoxy compound was used in combination, the undercut could be further suppressed.

一方で、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が0.038以下、360nm以上の吸光度の最大値が0.004であるカルボキシル基含有感光性樹脂を使用した比較例1〜4では、アンダーカットが30μm以上となり、アンダーカットを抑制できなかった。 On the other hand, the maximum absorbance in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 0.038 or less, and the maximum absorbance of 360 nm or more is In Comparative Examples 1 to 4 using the carboxyl group-containing photosensitive resin of 0.004, the undercut was 30 μm or more, and the undercut could not be suppressed.

本発明の感光性樹脂組成物は、基板上に厚く(例えば、40μm以上の厚さ)硬化塗膜を形成しても、硬化塗膜のアンダーカットを抑制できるので、例えば、プリント配線板に形成するソルダーレジスト等の保護膜の分野、特に、銅箔の厚みが通常よりも厚いプリント配線板に感光性樹脂組成物を塗工して保護膜を形成する分野や、感光性樹脂組成物をフィルムに塗布した塗膜を有するドライフィルムを銅箔の厚みが通常よりも厚い基板に施与する分野で利用価値が高い。 The photosensitive resin composition of the present invention can suppress undercut of the cured coating film even if a thick cured coating film (for example, a thickness of 40 μm or more) is formed on the substrate. Therefore, the photosensitive resin composition is formed on a printed wiring board, for example. The field of protective films such as solder resists, especially the field of coating a photosensitive resin composition on a printed wiring board with a thicker copper foil than usual to form a protective film, and the field of filming a photosensitive resin composition. It is highly useful in the field of applying a dry film having a coating film applied to a substrate having a thickness of a copper foil thicker than usual.

Claims (6)

(A)カルボキシル基含有感光性樹脂と、(B)エポキシ化合物と、(C)反応性希釈剤と、(D)光重合開始剤と、を含有し、
前記(A)カルボキシル基含有感光性樹脂が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.050以下であり
前記(A)カルボキシル基含有感光性樹脂が、1分子中にエポキシ基を2個以上有するビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部にラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させてラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成したラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂の水酸基に、多塩基酸若しくはその無水物を反応させることで得られる多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂、並びに/またはa)1分子中に2つ以上のエポキシ基を有するビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂とb)カルボキシル基1つあたりの炭素数が10以上である少なくとも1種のカルボン酸とc)ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応生成物である不飽和カルボン酸化エポキシ樹脂に、d)多塩基酸及び/若しくは多塩基酸無水物を付加させて得られる長鎖炭化水素構造含有樹脂であり、
前記(B)エポキシ化合物が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が3.000以上、360nm以上の吸光度の最大値が0.070以下であるナフタレン型エポキシ樹脂を含有する感光性樹脂組成物。
It contains (A) a carboxyl group-containing photosensitive resin, (B) an epoxy compound, (C) a reactive diluent, and (D) a photopolymerization initiator.
The maximum absorbance of the carboxyl group-containing photosensitive resin (A) in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 1.000 or more. The maximum value of absorbance above 360 nm is 0.050 or less .
The carboxyl group-containing photosensitive resin (A) undergoes radical polymerization by reacting at least a part of the epoxy groups of the biphenyl aralkyl type epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule with a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid. A polybasic acid-modified radically polymerizable non-constituent obtained by obtaining a sex-unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin and reacting a hydroxyl group of the produced radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxide epoxy resin with a polybasic acid or an anhydride thereof. Saturated monocarboxylic oxide epoxy resin and / or a) biphenyl aralkyl type epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule and b) at least one carboxylic acid having 10 or more carbon atoms per carboxyl group. A long-chain hydrocarbon obtained by adding d) a polybasic acid and / or a polybasic acid anhydride to an unsaturated carboxylic oxide epoxy resin which is a reaction product of an acid and c) a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid. It is a structure-containing resin
The maximum value of the absorbance of the epoxy compound (B) in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 3.000 or more and 360 nm or more. A photosensitive resin composition containing a naphthalene-type epoxy resin having a maximum absorbance of 0.070 or less.
前記(A)カルボキシル基含有感光性樹脂が、0.1質量%エチルジグリコールアセテート溶液を用いて紫外可視分光光度計で測定された300nm以上360nm以下の範囲の吸光度の最大値が1.500以上であるカルボキシル基含有感光性樹脂を含有する請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The maximum value of the absorbance of the (A) carboxyl group-containing photosensitive resin in the range of 300 nm or more and 360 nm or less measured by an ultraviolet-visible spectrophotometer using a 0.1 mass% ethyldiglycol acetate solution is 1.500 or more. The photosensitive resin composition according to claim 1, which contains a carboxyl group-containing photosensitive resin. 前記(D)光重合開始剤が、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤を含有する請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 , wherein the (D) photopolymerization initiator contains an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator. 前記(D)光重合開始剤が、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤とオキシムエステル系光重合開始剤とを含有する請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 , wherein the (D) photopolymerization initiator contains an α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator and an oxime ester-based photopolymerization initiator. 請求項1乃至のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物をフィルムに塗布した塗膜を有するドライフィルム。 A dry film having a coating film coated with the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4. 請求項1乃至のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の光硬化膜を有するプリント配線板。 A printed wiring board having a photocurable film of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4.
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