JP6900767B2 - Glass roll manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、表面に透明導電膜が形成されたガラスフィルムにより構成されるガラスロール及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a glass roll composed of a glass film having a transparent conductive film formed on its surface and a method for producing the same.

周知のように、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの薄型表示機器、さらには近年急速に普及しているスマートフォンやタブレット型ＰＣなどのモバイル機器は、軽量であることが要求される。そのため、これらの機器に採用されるガラス基板としては、フィルム状に薄板化されたガラスフィルムが使用されつつある。このガラスフィルムは、最終製品の段階では、略矩形状等の形態をなすが、それ以前の製造工程や各種処理工程などの段階では、帯状の形態をなすものとして取り扱われている。 As is well known, thin display devices such as liquid crystal displays and organic EL displays, and mobile devices such as smartphones and tablet PCs, which have rapidly become widespread in recent years, are required to be lightweight. Therefore, as the glass substrate used in these devices, a glass film thinned into a film is being used. This glass film has a substantially rectangular shape at the stage of the final product, but is treated as having a strip shape at the stage of the manufacturing process and various processing processes before that.

この種のガラスフィルムは、適切な可撓性を有することから、保管時や輸送時等の利便性を考慮して、巻芯等の廻りにロール状に巻き取ったガラスロールの形態とすることが通例となっている。ガラスフィルムをガラスロールの形態としておけば、保管性等に優れるだけでなく、略矩形状等のガラスフィルムを多数枚に亘って切り出すことも容易に行い得る。 Since this type of glass film has appropriate flexibility, it should be in the form of a glass roll wound around a core or the like in a roll shape in consideration of convenience during storage and transportation. Is customary. If the glass film is in the form of a glass roll, not only is it excellent in storage stability, but it is also possible to easily cut out a large number of glass films having a substantially rectangular shape or the like.

ガラスロールの表面には、各種機器における様々な機能を具備させるために、機能性膜が形成される。機能性膜を高性能にするために、ガラスフィルムを加熱しながら成膜する場合がある。例えば特許文献１には、基板ロールから供給されるガラスフィルム（ガラスシート）を、３００℃以上に加熱されたキャンを用いて加熱し、このガラスフィルムの表面に、スパッタリング法により透明導電膜（例えばインジウムスズ酸化物）を形成する方法が開示されている。 A functional film is formed on the surface of the glass roll in order to provide various functions in various devices. In order to improve the performance of the functional film, the glass film may be formed while being heated. For example, in Patent Document 1, a glass film (glass sheet) supplied from a substrate roll is heated by using a can heated to 300 ° C. or higher, and a transparent conductive film (for example, a transparent conductive film (for example)) is formed on the surface of the glass film by a sputtering method. A method for forming indium tin oxide) is disclosed.

特開２００７−１１９３２２号公報JP-A-2007-119322

ガラスフィルムは、樹脂フィルムと比較して耐熱性に優れるため、上記のように加熱成膜を行う場合に特に適している。その一方で、ガラスフィルムは機械的強度が低いため、上記構成のガラスロールから膜付ガラスフィルムを引き出して各種機器の製造工程を行う場合に、損傷するおそれがある。 Since the glass film has excellent heat resistance as compared with the resin film, it is particularly suitable for heat film formation as described above. On the other hand, since the glass film has low mechanical strength, it may be damaged when the glass film with a film is pulled out from the glass roll having the above configuration and the manufacturing process of various devices is performed.

本発明は上記の事情に鑑みて為されたものであり、透明導電膜が形成されたガラスフィルムによって構成されるガラスロールの損傷を防止することを技術的課題とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is a technical subject to prevent damage to a glass roll made of a glass film on which a transparent conductive film is formed.

本発明は上記の課題を解決するためのものであり、帯状のガラスフィルムをロール状に巻き取ってなるガラスロールの製造方法であって、帯状の第一ガラスフィルムを所定の方向に送り出すガラスフィルム供給工程と、前記第一ガラスフィルムの一方の面に透明導電膜を加熱成膜して第二ガラスフィルムを形成する成膜工程と、粘着面を有する帯状の保護フィルムを前記第二ガラスフィルムの他方の面に重ねて第三ガラスフィルムを形成する保護フィルム供給工程と、前記第三ガラスフィルムをロール状に巻き取る巻取工程と、を備えることを特徴とする。 The present invention is for solving the above-mentioned problems, and is a method for manufacturing a glass roll formed by winding a strip-shaped glass film into a roll shape, and is a glass film for feeding the strip-shaped first glass film in a predetermined direction. A supply step, a film forming step of forming a second glass film by heating a transparent conductive film on one surface of the first glass film, and a strip-shaped protective film having an adhesive surface of the second glass film. It is characterized by comprising a protective film supply step of forming a third glass film on the other surface and a winding step of winding the third glass film in a roll shape.

上記のように、第二ガラスフィルムの他方の面に保護フィルムを重ねて第三ガラスフィルムとすることで、ガラスフィルムを保護フィルムによって保護できる。この第三ガラスフィルムにより構成されるガラスロールは、保護フィルムによってガラスフィルムを保護した状態で各種機器の製造関連処理を実施できる。これにより、処理中におけるガラスフィルムの損傷を防止できる。 As described above, the glass film can be protected by the protective film by superimposing the protective film on the other surface of the second glass film to form the third glass film. The glass roll composed of the third glass film can carry out manufacturing-related processing of various devices while the glass film is protected by the protective film. This makes it possible to prevent damage to the glass film during processing.

本発明に係るガラスロールの製造方法では、前記成膜工程後の前記第二ガラスフィルムをロール状に巻き取る仮巻取工程と、前記仮巻取工程により構成される仮ガラスロールから前記第二ガラスフィルムを引き出して所定の方向に送り出す第二ガラスフィルム供給工程と、前記第二ガラスフィルム供給工程後に前記第三ガラスフィルムを形成する前記保護フィルム供給工程と、を備えてもよい。 In the method for producing a glass roll according to the present invention, the second glass roll is composed of a temporary winding step of winding the second glass film into a roll shape after the film forming step and a temporary glass roll composed of the temporary winding step. A second glass film supply step of pulling out the glass film and feeding it in a predetermined direction, and the protective film supply step of forming the third glass film after the second glass film supply step may be provided.

また、前記巻取工程では、前記保護フィルムが外側となるように前記第三ガラスフィルムをロール状に巻き取ることが好ましい。これにより、ガラスロールの状態のガラスフィルムが破断するのを好適に防止することができる。 Further, in the winding step, it is preferable to wind the third glass film in a roll shape so that the protective film is on the outside. This makes it possible to preferably prevent the glass film in the state of the glass roll from breaking.

また、前記保護フィルム供給工程は、前記第三ガラスフィルムを巻き取る巻芯と、前記保護フィルムを案内するガイドローラとによって前記第二ガラスフィルム及び前記保護フィルムを挟むことにより前記第三ガラスフィルムを形成することが望ましい。このように、第三ガラスフィルムの巻芯とガイドローラとによって、第二ガラスフィルムと前記保護フィルムとを挟むことで、第二ガラスフィルムに対して保護フィルムを確実かつ正確に重ねることができる。また、第三ガラスフィルムの形成に巻芯を利用することで、ガイドローラの構成を簡素化できる。 Further, in the protective film supply step, the third glass film is sandwiched between the winding core for winding the third glass film and the guide roller for guiding the protective film, thereby sandwiching the second glass film and the protective film. It is desirable to form. In this way, by sandwiching the second glass film and the protective film between the core of the third glass film and the guide roller, the protective film can be reliably and accurately overlapped with the second glass film. Further, by using the winding core for forming the third glass film, the configuration of the guide roller can be simplified.

本発明に係るガラスロールの製造方法において、前記成膜工程は、真空チャンバ内でスパッタリング法により前記透明導電膜を前記第一ガラスフィルムに形成することが望ましい。スパッタリング法により、第一ガラスフィルムに透明導電膜を加熱成膜することで、第一ガラスフィルムから剥離し難い強固な透明導電膜を形成するとともに、当該透明導電膜の低抵抗化を実現できる。すなわち、前記透明導電膜は、単層で構成した場合にシート抵抗を２０Ω／□以下の低抵抗とすることが可能になる。 In the method for producing a glass roll according to the present invention, it is desirable that the transparent conductive film is formed on the first glass film by a sputtering method in the vacuum chamber in the film forming step. By heat-forming a transparent conductive film on the first glass film by a sputtering method, a strong transparent conductive film that is difficult to peel off from the first glass film can be formed, and the resistance of the transparent conductive film can be reduced. That is, when the transparent conductive film is composed of a single layer, the sheet resistance can be as low as 20 Ω / □ or less.

本発明は上記の課題を解決するためのものであり、帯状のガラスフィルムがロール状に巻き取られたガラスロールにおいて、前記ガラスフィルムの一方の面に形成される透明導電膜と、前記ガラスフィルムの他方の面に重ねられるとともに粘着面を有する保護フィルムと、を備え、前記透明導電膜は単層であってシート抵抗が２０Ω／□以下であることを特徴とする。 The present invention is for solving the above-mentioned problems, and in a glass roll in which a strip-shaped glass film is wound into a roll, a transparent conductive film formed on one surface of the glass film and the glass film. A protective film that is laminated on the other surface of the glass and has an adhesive surface is provided, and the transparent conductive film is a single layer and has a sheet resistance of 20 Ω / □ or less.

上記の構成によれば、ガラスフィルムの他方の面に保護フィルムを重ねることで、当該ガラスフィルムを保護できる。したがって、本発明に係るガラスロールは、ガラスフィルムの損傷を防止しながらガラスフィルムの透明導電膜に所定の製造関連処理を行うことができる。また、透明導電膜は、単層で構成した場合のシート抵抗が２０Ω／□以下とされることから、各種機器の電極等に好適に使用され得る。 According to the above configuration, the glass film can be protected by superimposing the protective film on the other surface of the glass film. Therefore, the glass roll according to the present invention can perform a predetermined manufacturing-related treatment on the transparent conductive film of the glass film while preventing damage to the glass film. Further, since the transparent conductive film has a sheet resistance of 20 Ω / □ or less when it is composed of a single layer, it can be suitably used for electrodes and the like of various devices.

上記構成のガラスロールにおいて、前記保護フィルムが外側となるように前記ガラスフィルムが巻き取られていることが好ましい。これにより、ガラスロールの状態のガラスフィルムが破断するのを防止することができる。 In the glass roll having the above structure, it is preferable that the glass film is wound so that the protective film is on the outside. As a result, it is possible to prevent the glass film in the state of the glass roll from breaking.

本発明によれば、透明導電膜が形成されたガラスフィルムによって構成されるガラスロールの損傷を防止できる。 According to the present invention, it is possible to prevent damage to the glass roll made of the glass film on which the transparent conductive film is formed.

ガラスロールの側面図である。It is a side view of a glass roll. ガラスロールの製造装置を示す側面断面図である。It is a side sectional view which shows the manufacturing apparatus of a glass roll. ガラスロールの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of a glass roll. 他の形態に係るガラスロールの製造装置の一部を示す側面断面図である。It is a side sectional view which shows a part of the glass roll manufacturing apparatus which concerns on other forms. ガラスロールの製造装置の一部を示す側面図である。It is a side view which shows a part of the glass roll manufacturing apparatus. ガラスロールの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of a glass roll.

以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図３は、本発明に係るガラスロール及びその製造方法に係る第一実施形態を示す。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 3 show a first embodiment of a glass roll according to the present invention and a method for producing the same.

図１に示すように、ガラスロール１は、帯状のガラスフィルム２の一方の面（以下、「第一の面」という）２ａに透明導電膜３を成膜し、他方の面（以下「第二の面」という）２ｂに保護フィルム４を重ねた状態で、巻芯５の周囲にロール状に巻き取ったものである。本実施形態に係るガラスロール１では、ガラスフィルム２の第一の面２ａが内周面となり、第二の面２ｂが外周面となるように構成される。すなわち、ガラスフィルム２の内側（第一の面２ａ）に透明導電膜３が形成され、外側（第二の面２ｂ）に保護フィルム４が重ねられる。 As shown in FIG. 1, in the glass roll 1, a transparent conductive film 3 is formed on one surface (hereinafter, referred to as “first surface”) 2a of the strip-shaped glass film 2, and the transparent conductive film 3 is formed on the other surface (hereinafter, “first surface”). With the protective film 4 overlaid on 2b) (referred to as the "second surface"), the protective film 4 is wound around the winding core 5 in a roll shape. In the glass roll 1 according to the present embodiment, the first surface 2a of the glass film 2 is an inner peripheral surface, and the second surface 2b is an outer peripheral surface. That is, the transparent conductive film 3 is formed on the inside (first surface 2a) of the glass film 2, and the protective film 4 is laminated on the outside (second surface 2b).

ガラスフィルム２の厚みは、５００μｍ以下とされ、好ましくは１０μｍ以上３００μｍ以下とされ、最も好ましくは３０μｍ以上２００μｍ以下である。 The thickness of the glass film 2 is 500 μm or less, preferably 10 μm or more and 300 μm or less, and most preferably 30 μm or more and 200 μm or less.

ガラスフィルム２の材質としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。ガラスフィルム２として無アルカリガラスを使用することで、化学的に安定したガラスとすることができる。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。 As the material of the glass film 2, silicate glass and silica glass are used, preferably borosilicate glass, sodalime glass, aluminosilicate glass, and chemically strengthened glass are used, and most preferably non-alkali glass is used. .. By using non-alkali glass as the glass film 2, a chemically stable glass can be obtained. Here, the non-alkali glass is a glass that does not substantially contain an alkaline component (alkali metal oxide), and specifically, a glass having a weight ratio of an alkaline component of 3000 ppm or less. is there. The weight ratio of the alkaline component in the present invention is preferably 1000 ppm or less, more preferably 500 ppm or less, and most preferably 300 ppm or less.

ガラスフィルム２は、公知のフロート法、ロールアウト法、スロットダウンドロー法、リドロー法等により成形できるが、オーバーフローダウンドロー法によって成形されていることが好ましい。オーバーフローダウンドロー法は、断面が略くさび形の成形体の上部に設けられたオーバーフロー溝に溶融ガラスを流し込み、このオーバーフロー溝から両側に溢れ出た溶融ガラスを成形体の両側の側壁部に沿って流下させながら、成形体の下端部で融合一体化し、一枚のガラスフィルム２を連続成形するというものである。 The glass film 2 can be formed by a known float method, rollout method, slot down draw method, redraw method, or the like, but it is preferably formed by the overflow down draw method. In the overflow down draw method, molten glass is poured into an overflow groove provided in the upper part of a molded body having a substantially wedge-shaped cross section, and the molten glass overflowing from the overflow groove on both sides is flowed along the side walls on both sides of the molded body. While flowing down, it is fused and integrated at the lower end of the molded body to continuously mold one glass film 2.

オーバーフローダウンドロー法により、厚み３００μｍ以下のガラスフィルム２を大量かつ安価に作製することができる。これにより作製されたガラスフィルム２は、研磨や研削、ケミカルエッチング等によってガラスフィルム２の厚みの調整をする必要がない。また、オーバーフローダウンドロー法は、成形時にガラスフィルム２の両面が成形体と接触しない成形法であり、得られたガラスフィルム２の両面（透光面）は火造り面となり、研磨しなくても高い表面品位を得ることができる。 By the overflow down draw method, a glass film 2 having a thickness of 300 μm or less can be produced in large quantities and at low cost. The glass film 2 produced thereby does not need to adjust the thickness of the glass film 2 by polishing, grinding, chemical etching, or the like. Further, the overflow down draw method is a molding method in which both sides of the glass film 2 do not come into contact with the molded body during molding, and both sides (transmissive surfaces) of the obtained glass film 2 are fire-made surfaces, and do not need to be polished. High surface quality can be obtained.

透明導電膜３の厚みは、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下がより好ましく、最も好ましくは、１００ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。また、ガラスフィルム２に形成された透明導電膜３のシート抵抗は、２０Ω／□以下であることが好ましく、より好ましくは、１５Ω／□以下である。 The thickness of the transparent conductive film 3 is preferably 10 nm or more and 1000 nm or less, more preferably 50 nm or more and 500 nm or less, and most preferably 100 nm or more and 300 nm or less. The sheet resistance of the transparent conductive film 3 formed on the glass film 2 is preferably 20 Ω / □ or less, more preferably 15 Ω / □ or less.

透明導電膜３の材質としては、透光性及び導電性を有するものであれば、特に限定されない。透明導電膜３は、例えば、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、フッ素ドープスズ酸化物（ＦＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ亜鉛酸化物（ＡＺＯ）などにより構成される。 The material of the transparent conductive film 3 is not particularly limited as long as it has translucency and conductivity. The transparent conductive film 3 is composed of, for example, indium tin oxide (ITO), fluorine-doped tin oxide (FTO), indium zinc oxide (IZO), aluminum-doped zinc oxide (AZO), and the like.

保護フィルム４は、一方の面４ａが粘着面とされている。粘着面は、ガラスフィルム２の第二の面２ｂに接触する。粘着面の粘着力は、ガラスロール１に対して各種機器の製造関連処理が行われた後に、ガラスフィルム２から剥離できる程度に設定されることが望ましい。この粘着力は、０．００１Ｎ／２５ｍｍ以上１．５Ｎ／２５ｍｍ以下とされることが好ましいが、この範囲に限定されない。また、保護フィルム４の厚みは、１０μｍ以上１０００μｍ以下が好ましく、より好ましくは、２０μｍ以上５００μｍ以下である。 One surface 4a of the protective film 4 is an adhesive surface. The adhesive surface contacts the second surface 2b of the glass film 2. It is desirable that the adhesive strength of the adhesive surface is set to such that it can be peeled off from the glass film 2 after the glass roll 1 is subjected to manufacturing-related processing of various devices. This adhesive strength is preferably 0.001 N / 25 mm or more and 1.5 N / 25 mm or less, but is not limited to this range. The thickness of the protective film 4 is preferably 10 μm or more and 1000 μm or less, more preferably 20 μm or more and 500 μm or less.

保護フィルム４の材質としては、例えば、アイオノマーフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム、エチレン−ビニルアルコール共重合体フィルム、エチレン−メタクリル酸共重合体フィルム、ナイロン(登録商標)フィルム（ポリアミドフィルム）、ポリイミドフィルム、セロファンなどの有機樹脂フィルム（合成樹脂フィルム）などを使用でき、ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）を使用することが好ましい。 Examples of the material of the protective film 4 include ionomer film, polyethylene film, polypropylene film, polyvinyl chloride film, polyvinylidene chloride film, polyvinyl alcohol film, polyester film, polycarbonate film, polystyrene film, polyacrylonitrile film, and vinyl ethylene acetate. Uses polymer film, ethylene-vinyl alcohol copolymer film, ethylene-methacrylic acid copolymer film, nylon (registered trademark) film (polyamide film), polyimide film, organic resin film such as cellophane (synthetic resin film), etc. Therefore, it is preferable to use a polyethylene terephthalate film (PET film).

巻芯５は、この実施形態では、中空の円筒状を呈しているが、中実の円柱状であってもよい。巻芯５の材質は、特に限定されるものではないが、例えば、アルミニウム合金、ステンレス鋼、マンガン鋼、炭素鋼等の金属、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ジリアルテレフタレート樹脂等の熱硬化性樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ＡＳ樹脂、ＡＢＳ樹脂、メタクリル樹脂、塩化ビニル等の熱可塑性樹脂、もしくはこれらの熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂にガラス繊維や炭素繊維などの強化繊維を混合した強化プラスチック、紙管等を使用することができる。 In this embodiment, the winding core 5 has a hollow cylindrical shape, but may have a solid cylindrical shape. The material of the winding core 5 is not particularly limited, but for example, metal such as aluminum alloy, stainless steel, manganese steel, carbon steel, phenol resin, urea resin, melamine resin, unsaturated polyester resin, epoxy resin, etc. Thermocurable resins such as polyurethane and girial terephthalate resin, thermoplastic resins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene, AS resin, ABS resin, methacrylic resin, vinyl chloride, or glass fibers in these thermocurable resins and thermoplastic resins. Reinforced plastic mixed with reinforcing fibers such as carbon fiber and carbon fiber, paper tube, etc. can be used.

なお、以下の説明では、母材となるガラスフィルムを第一ガラスフィルム２Ａといい、第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３が形成されたものを第二ガラスフィルム２Ｂという。また、第二ガラスフィルム２Ｂに保護フィルム４が重ねられた積層体（ガラスフィルム２、透明導電膜３及び保護フィルム４からなる積層体）を第三ガラスフィルム２Ｃという。 In the following description, the glass film used as the base material is referred to as the first glass film 2A, and the one in which the transparent conductive film 3 is formed on the first glass film 2A is referred to as the second glass film 2B. Further, a laminate in which the protective film 4 is laminated on the second glass film 2B (a laminate composed of the glass film 2, the transparent conductive film 3 and the protective film 4) is referred to as a third glass film 2C.

図２は、本実施形態におけるガラスロール１の製造装置６を示す。製造装置６は、成膜装置７と、保護フィルム供給装置８とを備える。成膜装置７は、真空チャンバ９を有する。真空チャンバ９は、ガラスフィルム供給室９ａと、成膜室９ｂと、ガラスフィルム回収室９ｃとを有する。 FIG. 2 shows the manufacturing apparatus 6 for the glass roll 1 in the present embodiment. The manufacturing apparatus 6 includes a film forming apparatus 7 and a protective film supply apparatus 8. The film forming apparatus 7 has a vacuum chamber 9. The vacuum chamber 9 has a glass film supply chamber 9a, a film formation chamber 9b, and a glass film recovery chamber 9c.

ガラスフィルム供給室９ａには、第一ガラスフィルム２Ａを巻芯５Ａによりロール状に巻き取った母材ガラスロール１Ａが配置される。巻芯５Ａの回転により、母材ガラスロール１Ａから引き出される第一ガラスフィルム２Ａが、ガラスフィルム供給室９ａから成膜室９ｂへと供給される。 In the glass film supply chamber 9a, a base glass roll 1A in which the first glass film 2A is wound into a roll by a winding core 5A is arranged. The first glass film 2A drawn from the base glass roll 1A is supplied from the glass film supply chamber 9a to the film forming chamber 9b by the rotation of the winding core 5A.

成膜室９ｂには、第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに透明導電膜３を形成する成膜部１０が配置される。成膜部１０は、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法等の各種成膜法により、第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３を形成できる。本実施形態では、スパッタリング法により透明導電膜３としてのＩＴＯ膜を形成する場合について説明する。 In the film forming chamber 9b, a film forming section 10 that forms the transparent conductive film 3 on the first surface 2a of the first glass film 2A is arranged. The film forming section 10 can form the transparent conductive film 3 on the first glass film 2A by various film forming methods such as a sputtering method, a vapor deposition method, and a CVD method. In the present embodiment, the case where the ITO film as the transparent conductive film 3 is formed by the sputtering method will be described.

成膜部１０は、イオンビームスパッタ装置やマグネトロンスパッタ装置などにより構成される。スパッタ装置としての成膜部１０は、ターゲットを含むスパッタ源１１と、第一ガラスフィルム２Ａを支持する加熱ローラ１２とを主に備える。 The film forming section 10 is composed of an ion beam sputtering device, a magnetron sputtering device, and the like. The film forming unit 10 as a sputtering apparatus mainly includes a sputtering source 11 including a target and a heating roller 12 that supports the first glass film 2A.

スパッタ源１１は、ターゲットから飛散するスパッタ粒子（ＩＴＯ粒子）が第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに付着するように、加熱ローラ１２から一定の間隔をおいて配置される。 The sputter source 11 is arranged at regular intervals from the heating roller 12 so that the sputter particles (ITO particles) scattered from the target adhere to the first surface 2a of the first glass film 2A.

加熱ローラ１２は、第一ガラスフィルム２Ａを支持する円筒状のローラ本体１３と、このローラ本体１３を加熱するヒータ１４とを備える。ローラ本体１３は、ガラス又はセラミックスにより構成される。ローラ本体１３は、軸部１５により回転自在に支持される。 The heating roller 12 includes a cylindrical roller body 13 that supports the first glass film 2A, and a heater 14 that heats the roller body 13. The roller body 13 is made of glass or ceramics. The roller body 13 is rotatably supported by the shaft portion 15.

ヒータ１４は、ローラ本体１３を加熱すべく、当該ローラ本体１３の内側に配置される。ヒータ１４は、例えば赤外線ヒータ又は近赤外線ヒータにより構成されるが、これらに限定されるものではない。 The heater 14 is arranged inside the roller body 13 in order to heat the roller body 13. The heater 14 is composed of, for example, an infrared heater or a near-infrared heater, but is not limited thereto.

成膜部１０によって第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３が形成されることで、第二ガラスフィルム２Ｂが構成される。第二ガラスフィルム２Ｂは、ガラスフィルム回収室９ｃへと搬送され、その後、保護フィルム４が重ねられて第三ガラスフィルム２Ｃとなる。 The second glass film 2B is formed by forming the transparent conductive film 3 on the first glass film 2A by the film forming portion 10. The second glass film 2B is transported to the glass film recovery chamber 9c, and then the protective film 4 is laminated to form the third glass film 2C.

真空チャンバ９のガラスフィルム回収室９ｃには、第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取る巻芯５と、保護フィルム供給装置８とが配置される。巻芯５は、第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取ることにより、最終形態としてのガラスロール１を形成する。母材ガラスロール１Ａ及びガラスロール１は、ロールトゥロール（Ｒｏｌｌ ｔｏ Ｒｏｌｌ）方式により、各ガラスフィルム２Ａ〜２Ｃを連続的に搬送するように構成される。 In the glass film recovery chamber 9c of the vacuum chamber 9, a winding core 5 for winding the third glass film 2C and a protective film supply device 8 are arranged. The winding core 5 forms the glass roll 1 as the final form by winding the third glass film 2C. The base glass roll 1A and the glass roll 1 are configured to continuously convey the glass films 2A to 2C by a roll-to-roll method.

保護フィルム供給装置８は、保護フィルムロール１６と、ガイドローラ１７と、ガイドローラ１７の支持機構１８とを備える。 The protective film supply device 8 includes a protective film roll 16, a guide roller 17, and a support mechanism 18 for the guide roller 17.

保護フィルムロール１６は、ガラスロール１の上方に配置されるが、この構成に限定されない。保護フィルムロール１６は、ガラスロール１の下流側の位置又は下方位置に設けられてもよい。 The protective film roll 16 is arranged above the glass roll 1, but is not limited to this configuration. The protective film roll 16 may be provided at a position on the downstream side or a position below the glass roll 1.

ガイドローラ１７は、一個のローラにより構成される。ガイドローラ１７は、ガラスロール１の巻芯５とともに、第三ガラスフィルム２Ｃと保護フィルム４とを挟むように構成される。ガイドローラ１７は、ガラスロール１の巻芯５よりも上方に配されるが、この位置に限定されない。ガイドローラ１７のローラ面１７ａは、緩衝材により構成される。緩衝材は、ゴムその他の弾性体により構成されることが望ましい。 The guide roller 17 is composed of one roller. The guide roller 17 is configured to sandwich the third glass film 2C and the protective film 4 together with the winding core 5 of the glass roll 1. The guide roller 17 is arranged above the winding core 5 of the glass roll 1, but is not limited to this position. The roller surface 17a of the guide roller 17 is made of a cushioning material. The cushioning material is preferably made of rubber or other elastic body.

支持機構１８は、ガイドローラ１７を回転自在に支持する支持部材１９と、この支持部材１９を回動自在に支持する支持軸２０とを備える。ガイドローラ１７は、支持部材１９を介して支持軸２０まわりに作用するモーメントにより、適度な押圧力でガラスロール１の一部に接触する。また、ガイドローラ１７は、この支持機構１８により、製造途中におけるガラスロール１の外径の拡大に追従して移動するように支持される。 The support mechanism 18 includes a support member 19 that rotatably supports the guide roller 17, and a support shaft 20 that rotatably supports the support member 19. The guide roller 17 comes into contact with a part of the glass roll 1 with an appropriate pressing force by a moment acting around the support shaft 20 via the support member 19. Further, the guide roller 17 is supported by the support mechanism 18 so as to move following the expansion of the outer diameter of the glass roll 1 during manufacturing.

以下、本実施形態におけるガラスロール１の製造方法について説明する。本方法は、図３に示すように、ガラスフィルム供給工程と、成膜工程と、保護フィルム供給工程と、巻取工程とを備える。 Hereinafter, the method for producing the glass roll 1 in the present embodiment will be described. As shown in FIG. 3, this method includes a glass film supply step, a film forming step, a protective film supply step, and a winding step.

ガラスフィルム供給工程では、ガラスフィルム供給室９ａに配置される母材ガラスロール１Ａから第一ガラスフィルム２Ａが引き出され、下流側の成膜室９ｂ内の成膜部１０へと送られる。 In the glass film supply step, the first glass film 2A is pulled out from the base glass roll 1A arranged in the glass film supply chamber 9a and sent to the film forming portion 10 in the film forming chamber 9b on the downstream side.

成膜工程では、ガラスフィルム供給室９ａから供給される第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに、成膜部１０によって透明導電膜３を形成する。成膜室９ｂでは、図示しない真空ポンプによって所定の真空度に設定されるとともに、アルゴンガス等の不活性ガスが供給される。成膜部１０は、スパッタ源１１からスパッタ粒子（例えばＩＴＯ粒子）を飛散させ、第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに順次付着させる。 In the film forming step, the transparent conductive film 3 is formed by the film forming section 10 on the first surface 2a of the first glass film 2A supplied from the glass film supply chamber 9a. In the film forming chamber 9b, a predetermined degree of vacuum is set by a vacuum pump (not shown), and an inert gas such as argon gas is supplied. The film forming section 10 scatters sputtered particles (for example, ITO particles) from the sputter source 11 and sequentially adheres them to the first surface 2a of the first glass film 2A.

加熱ローラ１２のローラ本体１３は、図示しない駆動源により軸部１５を駆動することで、第一ガラスフィルム２Ａの搬送方向に沿うように所定の方向（図２における矢印Ｒの方向）に回転する。ローラ本体１３の一部は、第一ガラスフィルム２Ａの第二の面２ｂに接触している。ローラ本体１３は、その回転により、第一ガラスフィルム２Ａを下流側（ガラスフィルム回収室９ｃ側）に案内する。 The roller body 13 of the heating roller 12 rotates in a predetermined direction (direction of arrow R in FIG. 2) along the transport direction of the first glass film 2A by driving the shaft portion 15 with a drive source (not shown). .. A part of the roller body 13 is in contact with the second surface 2b of the first glass film 2A. The roller body 13 guides the first glass film 2A to the downstream side (glass film recovery chamber 9c side) by its rotation.

ローラ本体１３は、ヒータ１４によって所定の温度に加熱されている。ローラ本体１３の温度は、例えば２００℃以上５００℃以下に設定されるが、この範囲に限定されない。これにより、ローラ本体１３は、第一ガラスフィルム２Ａを加熱しながら下流側に案内する。第一ガラスフィルム２Ａは、ローラ本体１３によって、１５０℃以上に加熱される。スパッタ粒子がＩＴＯである場合、第一ガラスフィルム２Ａは、２００℃以上に加熱されることが望ましく、２５０℃に加熱されることが更に望ましく、３００℃以上に加熱されることが最も望ましい。第一ガラスフィルム２Ａによって加熱されることで、当該第一ガラスフィルム２Ａに付着したＩＴＯ粒子が結晶化し、低抵抗（２０Ω／□以下）の透明導電膜３が形成される。以上により、第二ガラスフィルム２Ｂが形成される。 The roller body 13 is heated to a predetermined temperature by the heater 14. The temperature of the roller body 13 is set to, for example, 200 ° C. or higher and 500 ° C. or lower, but is not limited to this range. As a result, the roller body 13 guides the first glass film 2A to the downstream side while heating it. The first glass film 2A is heated to 150 ° C. or higher by the roller body 13. When the sputtered particles are ITO, the first glass film 2A is preferably heated to 200 ° C. or higher, more preferably 250 ° C. or higher, and most preferably 300 ° C. or higher. By being heated by the first glass film 2A, the ITO particles adhering to the first glass film 2A crystallize, and a transparent conductive film 3 having a low resistance (20 Ω / □ or less) is formed. As a result, the second glass film 2B is formed.

保護フィルム供給工程では、保護フィルム供給装置８における保護フィルムロール１６の巻芯２１の回転とともに、保護フィルム４が引き出される。保護フィルム４及び第二ガラスフィルム２Ｂは、ガイドローラ１７とガラスロール１の巻芯５とによって挟まれる。これにより、保護フィルム４の一方の面４ａ（粘着面）は、第二ガラスフィルム２Ｂの外周面である第二の面２ｂに接着される。これにより、第三ガラスフィルム２Ｃの形成が開始される。 In the protective film supply step, the protective film 4 is pulled out as the winding core 21 of the protective film roll 16 in the protective film supply device 8 rotates. The protective film 4 and the second glass film 2B are sandwiched between the guide roller 17 and the core 5 of the glass roll 1. As a result, one surface 4a (adhesive surface) of the protective film 4 is adhered to the second surface 2b, which is the outer peripheral surface of the second glass film 2B. As a result, the formation of the third glass film 2C is started.

巻取工程では、保護フィルム供給工程を経て形成される第三ガラスフィルム２Ｃを巻芯５の回転により即座に巻き取る。これにより、巻芯５の周囲にガラスロール１が形成される。ガラスロール１は、巻芯５の回転に応じてその外径を拡大する。 In the winding step, the third glass film 2C formed through the protective film supply step is immediately wound by the rotation of the winding core 5. As a result, the glass roll 1 is formed around the winding core 5. The outer diameter of the glass roll 1 is increased in accordance with the rotation of the winding core 5.

このとき、保護フィルム供給装置８のガイドローラ１７は、ガラスロール１の外径の拡大に追従して外方に移動する。支持機構１８の支持部材１９は、ガイドローラ１７を移動させるべく、支持軸２０の周りに（時計回りに）回動する。すなわち、ガイドローラ１７は、ガラスロール１の外径の拡大に応じて、図２において実線で示す位置から二点鎖線で示す位置へと移動する。これにより、ガイドローラ１７は、ガラスロール１に過度な押圧力を加えることなく、保護フィルム４を第二ガラスフィルム２Ｂに確実に接触させる。 At this time, the guide roller 17 of the protective film supply device 8 moves outward following the expansion of the outer diameter of the glass roll 1. The support member 19 of the support mechanism 18 rotates (clockwise) around the support shaft 20 in order to move the guide roller 17. That is, the guide roller 17 moves from the position shown by the solid line in FIG. 2 to the position shown by the alternate long and short dash line in accordance with the expansion of the outer diameter of the glass roll 1. As a result, the guide roller 17 ensures that the protective film 4 is brought into contact with the second glass film 2B without applying an excessive pressing force to the glass roll 1.

巻芯５が所定長さの第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取ることにより、巻取工程が終了し、本実施形態に係るガラスロール１が完成する。 When the winding core 5 winds up the third glass film 2C having a predetermined length, the winding step is completed and the glass roll 1 according to the present embodiment is completed.

なお、その後の工程において、ガラスロール１から第三ガラスフィルム２Ｃが引き出され、フォトリソグラフィ等の手段により、透明導電膜３に所定の回路パターン（例えば電極パターン）が形成される。所定の製造関連処理が実行されると、保護フィルム４は、ガラスフィルム２から除去（剥離）される。 In the subsequent steps, the third glass film 2C is pulled out from the glass roll 1, and a predetermined circuit pattern (for example, an electrode pattern) is formed on the transparent conductive film 3 by means such as photolithography. When a predetermined manufacturing-related process is executed, the protective film 4 is removed (peeled) from the glass film 2.

以上説明した本実施形態に係るガラスロール１の製造方法によれば、ガラスフィルム２に保護フィルム４を重ねることにより、当該ガラスフィルム２を保護できる。これにより、各種機器の製造関連工程におけるガラスフィルム２の損傷を防止できる。また、巻取工程において、保護フィルム４が外側となるように第三ガラスフィルムを巻き取ることで、ガラスロール１が構成された際、ガラスフィルム２の第二の面２ｂに引張応力が作用するが、保護フィルム４により、ガラスフィルム２の第二の面２ｂを適切に保護できる。これにより、ガラスロール２の状態のガラスフィルム２が破断するのを効果的に防止することができる。さらに、ガラスフィルム２の第一の面２ａに形成される透明導電膜３は、加熱成膜されることから、２０Ω／□以下という低抵抗を実現でき、各種機器の電極等に好適に使用され得る。 According to the method for producing a glass roll 1 according to the present embodiment described above, the glass film 2 can be protected by superimposing the protective film 4 on the glass film 2. This makes it possible to prevent damage to the glass film 2 in the manufacturing-related processes of various devices. Further, in the winding step, by winding the third glass film so that the protective film 4 is on the outside, when the glass roll 1 is formed, a tensile stress acts on the second surface 2b of the glass film 2. However, the protective film 4 can appropriately protect the second surface 2b of the glass film 2. As a result, it is possible to effectively prevent the glass film 2 in the state of the glass roll 2 from breaking. Further, since the transparent conductive film 3 formed on the first surface 2a of the glass film 2 is formed by heating, a low resistance of 20Ω / □ or less can be realized, and it is suitably used for electrodes and the like of various devices. obtain.

また、保護フィルム供給工程を真空チャンバ９内で行うことにより、ガラスロール１の製造効率を向上させることができる。さらに、保護フィルム供給装置８を成膜装置７の真空チャンバ９内に配置することにより、製造装置６を小型化できる。 Further, by performing the protective film supply step in the vacuum chamber 9, the production efficiency of the glass roll 1 can be improved. Further, by arranging the protective film supply device 8 in the vacuum chamber 9 of the film forming apparatus 7, the manufacturing apparatus 6 can be miniaturized.

図４乃至図６は、ガラスロール及びその製造方法の第二実施形態を示す。 4 to 6 show a second embodiment of the glass roll and its manufacturing method.

ガラスロール１の製造装置６は、成膜装置７と、保護フィルム供給装置８とを個別に備える。図４に示すように、成膜装置７の真空チャンバ９は、第一実施形態と同様に、ガラスフィルム供給室９ａ、成膜室９ｂ及びガラスフィルム回収室９ｃを備える。第一実施形態と同様に、ガラスフィルム供給室９ａには、母材ガラスロール１Ａが配置され、成膜室９ｂには、成膜部１０が設けられる。 The glass roll 1 manufacturing apparatus 6 individually includes a film forming apparatus 7 and a protective film supply apparatus 8. As shown in FIG. 4, the vacuum chamber 9 of the film forming apparatus 7 includes a glass film supply chamber 9a, a film forming chamber 9b, and a glass film recovery chamber 9c, as in the first embodiment. Similar to the first embodiment, the base glass roll 1A is arranged in the glass film supply chamber 9a, and the film forming section 10 is provided in the film forming chamber 9b.

ガラスフィルム回収室９ｃには、保護フィルム供給装置８が設けられていない。ガラスフィルム回収室９ｃには、第二ガラスフィルム２Ｂを巻き取る巻芯５Ｂが配される。巻芯５Ｂが第二ガラスフィルム２Ｂを巻き取ることにより、その周囲に仮ガラスロール１Ｂが形成される。成膜装置７におけるその他の構成は、第一実施形態と同じである。 The protective film supply device 8 is not provided in the glass film recovery chamber 9c. In the glass film recovery chamber 9c, a winding core 5B for winding the second glass film 2B is arranged. When the winding core 5B winds up the second glass film 2B, a temporary glass roll 1B is formed around the winding core 5B. Other configurations in the film forming apparatus 7 are the same as those in the first embodiment.

保護フィルム供給装置８は、成膜装置７における真空チャンバ９の外側であって、当該成膜装置７の近傍位置に配される。図５に示すように、保護フィルム供給装置８は、保護フィルムロール１６と、保護フィルム４を案内するガイドローラ１７とを備える。保護フィルムロール１６は、保護フィルム４を巻芯２１によって巻き取ることにより構成される。ガイドローラ１７は、ニップローラにより構成されるが、この構成に限定されない。 The protective film supply device 8 is located outside the vacuum chamber 9 of the film forming apparatus 7 and in the vicinity of the film forming apparatus 7. As shown in FIG. 5, the protective film supply device 8 includes a protective film roll 16 and a guide roller 17 for guiding the protective film 4. The protective film roll 16 is configured by winding the protective film 4 by a winding core 21. The guide roller 17 is composed of a nip roller, but is not limited to this configuration.

図５に示すように、仮ガラスロール１Ｂ及びガラスロール１は、ロールトゥロール方式により連結されており、保護フィルムロール１６は、仮ガラスロール１Ｂとガラスロール１との間に配置される。保護フィルム供給装置８は、ガイドローラ１７を介して、巻芯５Ｂの回転に伴って仮ガラスロール１Ｂから引き出された第二ガラスフィルム２Ｂに、保護フィルムロール１６から引き出された保護フィルム４を接触させる。これにより、ガイドローラ１７の下流側において、第三ガラスフィルム２Ｃが連続的に形成される。巻芯５は、この第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取ることで、その周囲にガラスロール１を構成する。 As shown in FIG. 5, the temporary glass roll 1B and the glass roll 1 are connected by a roll-to-roll method, and the protective film roll 16 is arranged between the temporary glass roll 1B and the glass roll 1. The protective film supply device 8 contacts the protective film 4 drawn from the protective film roll 16 with the second glass film 2B drawn from the temporary glass roll 1B as the winding core 5B rotates via the guide roller 17. Let me. As a result, the third glass film 2C is continuously formed on the downstream side of the guide roller 17. The winding core 5 forms a glass roll 1 around the third glass film 2C by winding the third glass film 2C.

以下、上記構成の製造装置６により、ガラスロール１を製造する方法について説明する。 Hereinafter, a method of manufacturing the glass roll 1 by the manufacturing apparatus 6 having the above configuration will be described.

本方法は、図６に示すように、第一ガラスフィルム２Ａを供給する第一ガラスフィルム供給工程と、第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３を形成する成膜工程と、成膜工程後に第二ガラスフィルム２Ｂを仮ガラスロール１Ｂとして回収する第一巻取工程と、仮ガラスロール１Ｂから第二ガラスフィルム２Ｂを引き出して供給する第二ガラスフィルム供給工程と、第二ガラスフィルム２Ｂに保護フィルム４を重ねて第三ガラスフィルム２Ｃを構成する保護フィルム供給工程と、第三ガラスフィルム２Ｃをガラスロール１として回収する第二巻取工程とを備える。 As shown in FIG. 6, this method includes a first glass film supply step of supplying the first glass film 2A, a film forming step of forming a transparent conductive film 3 on the first glass film 2A, and a first step after the film forming step. (2) A first winding step of collecting the glass film 2B as a temporary glass roll 1B, a second glass film supply step of pulling out and supplying the second glass film 2B from the temporary glass roll 1B, and a protective film on the second glass film 2B. It includes a protective film supply step of stacking 4 to form a third glass film 2C, and a second winding step of collecting the third glass film 2C as a glass roll 1.

第一ガラスフィルム供給工程及び成膜工程は、第一実施形態のガラスフィルム供給工程及び成膜工程と同様に、成膜装置７における真空チャンバ９のガラスフィルム供給室９ａに配置される母材ガラスロール１Ａから第一ガラスフィルム２Ａを引き出して成膜室９ｂへと供給し、成膜部１０によって、第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに透明導電膜３を形成する。これにより、第二ガラスフィルム２Ｂが形成される。 The first glass film supply step and the film forming step are the base glass arranged in the glass film supply chamber 9a of the vacuum chamber 9 in the film forming apparatus 7 as in the glass film supply step and the film forming step of the first embodiment. The first glass film 2A is pulled out from the roll 1A and supplied to the film forming chamber 9b, and the film forming section 10 forms the transparent conductive film 3 on the first surface 2a of the first glass film 2A. As a result, the second glass film 2B is formed.

第一巻取工程は、第三ガラスフィルム２Ｃを巻芯５によって巻き取る前に、第二ガラスフィルム２Ｂを別の巻芯５Ｂにより、仮に巻き取る工程（仮巻取工程）である。第一巻取工程では、成膜室９ｂを通過した第二ガラスフィルム２Ｂがガラスフィルム回収室９ｃに導入され、巻芯５Ｂによって巻き取られる。巻芯５Ｂは、第二ガラスフィルム２Ｂを巻き取るように、図示しない駆動源によって回転駆動される。これにより、巻芯５Ｂの周囲に仮ガラスロール１Ｂが形成される。仮ガラスロール１Ｂは、巻芯５Ｂの回転に伴って徐々に外径を拡大する。巻芯５Ｂが所定長さの第二ガラスフィルム２Ｂを巻き取ると、第一巻取工程が終了する。その後、仮ガラスロール１Ｂは、ガラスフィルム回収室９ｃから取り出される。 The first winding step is a step of temporarily winding the second glass film 2B by another winding core 5B (temporary winding step) before winding the third glass film 2C by the winding core 5. In the first winding step, the second glass film 2B that has passed through the film forming chamber 9b is introduced into the glass film recovery chamber 9c and wound by the winding core 5B. The winding core 5B is rotationally driven by a drive source (not shown) so as to wind up the second glass film 2B. As a result, the temporary glass roll 1B is formed around the winding core 5B. The outer diameter of the temporary glass roll 1B gradually increases as the winding core 5B rotates. When the winding core 5B winds up the second glass film 2B having a predetermined length, the first winding step is completed. After that, the temporary glass roll 1B is taken out from the glass film recovery chamber 9c.

第二ガラスフィルム供給工程では、ガラスフィルム回収室９ｃから取り出された仮ガラスロール１Ｂから第二ガラスフィルム２Ｂが引き出され、下流側の保護フィルム供給装置８に供給される。 In the second glass film supply step, the second glass film 2B is pulled out from the temporary glass roll 1B taken out from the glass film recovery chamber 9c and supplied to the protective film supply device 8 on the downstream side.

保護フィルム供給工程では、保護フィルムロール１６から保護フィルム４が引き出される。保護フィルム４は、ガイドローラ１７（ニップローラ）によって第二ガラスフィルム２Ｂとともに挟まれる。これにより、保護フィルム４の一方の面４ａ（粘着面）が第二ガラスフィルム２Ｂの第二の面２ｂに接着する。以上により、第三ガラスフィルム２Ｃが形成される。 In the protective film supply step, the protective film 4 is pulled out from the protective film roll 16. The protective film 4 is sandwiched together with the second glass film 2B by the guide roller 17 (nip roller). As a result, one surface 4a (adhesive surface) of the protective film 4 adheres to the second surface 2b of the second glass film 2B. As a result, the third glass film 2C is formed.

第二巻取工程では、第三ガラスフィルム２Ｃを巻芯５によって巻き取る。巻芯５は、図示しない駆動源により回転駆動される。これにより、巻芯５の周囲にガラスロール１が形成される。ガラスロール１は、巻芯５の回転に伴って徐々に外径を拡大する。巻芯５が所定長さの第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取ると、第二巻取工程が終了し、ガラスロール１が完成する。 In the second winding step, the third glass film 2C is wound by the winding core 5. The winding core 5 is rotationally driven by a drive source (not shown). As a result, the glass roll 1 is formed around the winding core 5. The outer diameter of the glass roll 1 gradually increases as the winding core 5 rotates. When the winding core 5 winds up the third glass film 2C having a predetermined length, the second winding step is completed and the glass roll 1 is completed.

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 The present invention is not limited to the configuration of the above embodiment, and is not limited to the above-mentioned action and effect. The present invention can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention.

上記の実施形態では、真空チャンバ９内に母材ガラスロール１Ａを配置し、ロールトゥロール方式により、第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３を形成する例を示したが、この構成に限定されない。例えば、オーバーフローダウンドロー法により連続的に成形されるガラスフィルム２（第一ガラスフィルム２Ａ）を真空チャンバ９内に導入し、当該ガラスフィルム２に透明導電膜３を形成してもよい。この場合、母材ガラスロール１Ａが使用されることなく、第二ガラスフィルム２Ｂが形成される。 In the above embodiment, an example is shown in which the base glass roll 1A is arranged in the vacuum chamber 9 and the transparent conductive film 3 is formed on the first glass film 2A by the roll-to-roll method, but the present invention is not limited to this configuration. .. For example, the glass film 2 (first glass film 2A) continuously formed by the overflow down draw method may be introduced into the vacuum chamber 9 to form the transparent conductive film 3 on the glass film 2. In this case, the second glass film 2B is formed without using the base glass roll 1A.

上記の実施形態では、ヒータ１４で加熱されたローラ本体１３によって第一ガラスフィルム２Ａを加熱する例を示したが、この構成に限定されない。例えば、真空チャンバ９の成膜室９ｂ内において、第一ガラスフィルム２Ａの近傍にヒータ１４を配置し、このヒータ１４によって第一ガラスフィルム２Ａを加熱してもよい。 In the above embodiment, an example in which the first glass film 2A is heated by the roller body 13 heated by the heater 14 is shown, but the present invention is not limited to this configuration. For example, in the film forming chamber 9b of the vacuum chamber 9, a heater 14 may be arranged in the vicinity of the first glass film 2A, and the first glass film 2A may be heated by the heater 14.

上記の実施形態では、ガラスフィルム２の第一の面２ａのみに透明導電膜３が形成されたガラスロール１を例示したが、これに限定されず、ガラスフィルム２の両面２ａ，２ｂに透明導電膜３が形成されてもよい。 In the above embodiment, the glass roll 1 in which the transparent conductive film 3 is formed only on the first surface 2a of the glass film 2 is illustrated, but the present invention is not limited to this, and the transparent conductivity is transmitted to both sides 2a and 2b of the glass film 2. The film 3 may be formed.

上記の実施形態では、保護フィルム４の一方の面４ａを粘着面として、第一ガラスフィルム２Ａの第二の面２ｂに接着した例を示したが、この構成に限定されない。保護フィルム４の両面を粘着面として、ガラスロール１において、保護フィルム４の他方の面を透明導電膜３に接着させてもよい。この場合、保護フィルム４の一方の面４ａの粘着力を、他方の面の粘着力よりも大きく設定することが望ましい。 In the above embodiment, an example is shown in which one surface 4a of the protective film 4 is used as an adhesive surface and adhered to the second surface 2b of the first glass film 2A, but the present invention is not limited to this configuration. With both sides of the protective film 4 as adhesive surfaces, the other surface of the protective film 4 may be adhered to the transparent conductive film 3 in the glass roll 1. In this case, it is desirable to set the adhesive force of one surface 4a of the protective film 4 to be larger than the adhesive force of the other surface.

上記の実施形態では、ガラスフィルム２の内側（第一の面２ａ）に透明導電膜３が形成され、外側（第二の面２ｂ）に保護フィルム４が重ねられたガラスロール１を例示したが、この構成には限定されない。ガラスフィルム２の内側に保護フィルム４が重ねられ、ガラスフィルム２の外側に透明導電膜３が形成されたガラスロール１でも良い。 In the above embodiment, the glass roll 1 in which the transparent conductive film 3 is formed on the inside (first surface 2a) of the glass film 2 and the protective film 4 is laminated on the outside (second surface 2b) has been illustrated. , Not limited to this configuration. A glass roll 1 in which the protective film 4 is laminated on the inside of the glass film 2 and the transparent conductive film 3 is formed on the outside of the glass film 2 may be used.

上記の実施形態では、第一ガラスフィルム２Ａ（ガラスフィルム２）のみからなる母材ガラスロール１Ａを例示したが、この構成に限定されない。母材ガラスロール１Ａは、母材となるガラスフィルム２に、ＰＥＴ等の樹脂からなる帯状の緩衝フィルムを重ねたものをロール状に構成したものであってもよい。この場合、ガラスフィルム供給工程において、真空チャンバ９のガラスフィルム供給室９ａにおいて、母材ガラスロール１Ａから引き出された第一ガラスフィルム２Ａと緩衝フィルムとを分離させ、緩衝フィルムをガラスフィルム供給室９ａ内において巻芯等により巻き取ることが望ましい。また、仮ガラスロール１Ｂの作製時にもＰＥＴ等の樹脂からなる帯状の緩衝フィルムを適宜重ねても良い。 In the above embodiment, the base glass roll 1A composed of only the first glass film 2A (glass film 2) is illustrated, but the configuration is not limited to this. The base material glass roll 1A may be formed by stacking a strip-shaped cushioning film made of a resin such as PET on a glass film 2 as a base material in a roll shape. In this case, in the glass film supply step, in the glass film supply chamber 9a of the vacuum chamber 9, the first glass film 2A drawn from the base glass roll 1A and the buffer film are separated, and the buffer film is separated into the glass film supply chamber 9a. It is desirable to wind it up with a winding core or the like inside. Further, when producing the temporary glass roll 1B, a band-shaped cushioning film made of a resin such as PET may be appropriately laminated.

また、帯状のガラスフィルム２の始端部及び終端部には、巻芯５，５Ａ、５Ｂとガラスフィルム２（２Ａ〜２Ｃ）とを連結するためのリーダ（例えば帯状の樹脂フィルム）が取り付けられてもよい。 Further, a reader (for example, a strip-shaped resin film) for connecting the winding cores 5, 5A and 5B and the glass film 2 (2A to 2C) is attached to the start end portion and the end portion of the strip-shaped glass film 2. May be good.

１ ガラスロール
２ ガラスフィルム
２ａ ガラスフィルムの一方の面
２ｂ ガラスフィルムの他方の面
２Ａ 第一ガラスフィルム
２Ｂ 第二ガラスフィルム
２Ｃ 第三ガラスフィルム
３ 透明導電膜
４ 保護フィルム
４ａ 粘着面
５ 第三ガラスフィルムの巻芯
９ 真空チャンバ 1 Glass roll 2 Glass film 2a One side of glass film 2b The other side of glass film 2A First glass film 2B Second glass film 2C Third glass film 3 Transparent conductive film 4 Protective film 4a Adhesive surface 5 Third glass film Winding core 9 Vacuum chamber

Claims (7)

帯状のガラスフィルムをロール状に巻き取ってなるガラスロールの製造方法であって、
帯状の第一ガラスフィルムを所定の方向に送り出すガラスフィルム供給工程と、
前記第一ガラスフィルムの一方の面に透明導電膜を加熱成膜して第二ガラスフィルムを形成する成膜工程と、
前記成膜工程後に、粘着面を有する帯状の保護フィルムを前記第二ガラスフィルムの他方の面に重ねて第三ガラスフィルムを形成する保護フィルム供給工程と、
前記第三ガラスフィルムをロール状に巻き取る巻取工程と、を備えることを特徴とするガラスロールの製造方法。 It is a method for manufacturing a glass roll formed by winding a strip-shaped glass film into a roll.
A glass film supply process that feeds a strip of first glass film in a predetermined direction,
A film forming step of forming a second glass film by heating a transparent conductive film on one surface of the first glass film.
After the film forming step, a protective film supply step of superimposing a strip-shaped protective film having an adhesive surface on the other surface of the second glass film to form a third glass film, and
A method for producing a glass roll, which comprises a winding step of winding the third glass film into a roll shape. 前記巻取工程では、前記保護フィルムが外側となるように前記第三ガラスフィルムをロール状に巻き取ることを特徴とする請求項１に記載のガラスロールの製造方法。 The method for manufacturing a glass roll according to claim 1, wherein in the winding step, the third glass film is wound in a roll shape so that the protective film is on the outside. 前記保護フィルム供給工程は、前記第三ガラスフィルムを巻き取る巻芯と、前記保護フィルムを案内するガイドローラとによって前記第二ガラスフィルム及び前記保護フィルムを挟むことにより前記第三ガラスフィルムを形成する請求項１又は２に記載のガラスロールの製造方法。 In the protective film supply step, the third glass film is formed by sandwiching the second glass film and the protective film between a winding core for winding the third glass film and a guide roller for guiding the protective film. The method for producing a glass roll according to claim 1 or 2. 前記成膜工程は、真空チャンバ内でスパッタリング法により前記透明導電膜を前記第一ガラスフィルムに形成する請求項１から３のいずれか一項に記載のガラスロールの製造方法。 The method for producing a glass roll according to any one of claims 1 to 3 , wherein the film forming step is a method of forming the transparent conductive film on the first glass film by a sputtering method in a vacuum chamber. 前記真空チャンバ内で、前記保護フィルム供給工程と前記巻取工程を行うことを特徴とする請求項４に記載のガラスロールの製造方法。The method for producing a glass roll according to claim 4, wherein the protective film supply step and the winding step are performed in the vacuum chamber. 前記成膜工程後の前記第二ガラスフィルムをロール状に巻き取る仮巻取工程と、
前記仮巻取工程により構成される仮ガラスロールから前記第二ガラスフィルムを引き出して所定の方向に送り出す第二ガラスフィルム供給工程と、
前記第二ガラスフィルム供給工程後に前記第三ガラスフィルムを形成する前記保護フィルム供給工程と、を備える請求項１から４のいずれか一項に記載のガラスロールの製造方法。 A temporary winding step of winding the second glass film in a roll shape after the film forming step, and a temporary winding step.
A second glass film supply step of pulling out the second glass film from the temporary glass roll configured by the temporary winding step and feeding the second glass film in a predetermined direction,
The method for producing a glass roll according to any one of claims 1 to 4, further comprising the protective film supply step of forming the third glass film after the second glass film supply step. 前記透明導電膜は、単層であってシート抵抗が２０Ω／□以下である請求項１から６のいずれか一項に記載のガラスロールの製造方法。 The method for producing a glass roll according to any one of claims 1 to 6 , wherein the transparent conductive film is a single layer and has a sheet resistance of 20 Ω / □ or less.
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