JP6898797B2 - 真空吸着装置 - Google Patents
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Description
表面(例えば、実施形態の表面2a。以下同一。)、裏面(例えば、実施形態の裏面2b。以下同一。)、前記表面及び前記裏面を連通させる連通孔(例えば、実施形態の連通孔4。以下同一。)、を有する基材(例えば、実施形態の基材2。以下同一。)と、
前記基材の表面上に配置された溶射膜(例えば、実施形態の溶射膜3。以下同一。)と、を備える真空吸着装置(例えば、実施形態の真空吸着装置1。以下同一。)であって、
前記連通孔の表面側の開口部(例えば、実施形態の座ぐり部5。以下同一。)には、該開口部を少なくとも部分的に塞ぐように多孔質体(例えば、実施形態の多孔質体6。以下同一。)が配置され、
前記多孔質体の表面(例えば、実施形態の表面6a。以下同一。)上には前記溶射膜が配置されており、
前記溶射膜は前記連通孔上に少なくとも位置していることを特徴とする。
また、連通孔上の溶射膜を多孔質体で支えているため、連通孔からのガスの吸引力も適切に維持することができる。
前記連通孔の前記基材の表面側には、前記連通孔の径よりも大径の座ぐり部(例えば、実施形態の座ぐり部5。以下同一。)が設けられ、前記座ぐり部には、前記連通孔よりも大径の前記多孔質体が配置されていることが好ましい。
図1は第1実施形態の真空吸着装置1の一部を断面で示している。図2は第1実施形態の真空吸着装置を模式的に示す平面図である。第1実施形態の真空吸着装置1は、表面2a及び裏面2bを有する円盤形状の基材2と、基材2の表面2a上に配置された溶射膜3とを備える。
作動ガス:Ar、O2
スキャン速度:100〜1000m/s
溶射距離:80mm
溶射速度:150〜330m/s
電流:80〜110A
電圧:240〜280V
電力:19〜31kW。
座ぐり部5には、連通孔4の表面2a側の開口部を少なくとも一部塞ぐようにして、連通孔4よりも大径の多孔質体6が圧入又は配置されている。これにより、連通孔4に対して吸着力が作用する領域を広く確保することができ、吸引力を適切に分布させることができる。
作成した真空吸着装置1は表面2a側にシリコンウェハを載置し、裏面2b側から排気設備(例えば、真空ポンプ)を接続して排気を行い、排気時に排気設備に流入する気体流量を測定した。
ウェハの裏面のキズの評価としてシリコンウェハを真空吸着及び大気解放後、ウェハ裏面のスクラッチの評価を行った。評価基準は、JIS H0614に準拠した。
図5は、第2実施形態の真空吸着装置1の基材2を模式的に示す平面図である。第2実施形態の基材は、図示省略した直径0.2mmの連通孔と連通する溝部8が設けられている。溝部8は、幅0.2mmに設定されている。他の構成は、第1実施形態の実施例8と同一である。
Claims (6)
- 表面、裏面、前記表面及び前記裏面を連通させる連通孔、を有する基材と、
前記基材の表面上に配置された溶射膜と、を備える真空吸着装置であって、
前記連通孔の表面側の開口部には、該開口部を少なくとも部分的に塞ぐように多孔質体が配置され、
前記多孔質体の表面上には前記溶射膜が配置されており、
前記溶射膜は前記連通孔上に少なくとも位置していることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1に記載の真空吸着装置であって、
前記連通孔の前記基材の表面側には、前記連通孔の径よりも大径の座ぐり部が設けられ、
前記座ぐり部には、前記連通孔よりも大径の前記多孔質体が配置されていることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1または請求項2に記載の真空吸着装置であって、
前記多孔質体の表面は、前記基材の表面と略面一であることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1から請求項3の何れか1項に記載の真空吸着装置であって、
前記多孔質体は、気孔径5〜50μmであり、
前記多孔質体には、前記連通孔に連通する直径0.2mm以下の貫通孔が設けられていることを特徴とする真空吸着装置。 - 表面、裏面、前記表面及び前記裏面を連通させる連通孔、を有する基材と、
前記表面上に配置された溶射膜とを備える真空吸着装置であって、
前記連通孔の表面側の開口部の直径は溶射膜の厚みの2/3以下であり、かつ溶射膜の厚みは600μm以下であり、
前記溶射膜は前記連通孔上に少なくとも位置していることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項5に記載の真空吸着装置であって、
前記基材の前記連通孔の表面側の開口部は、直径0.2mm以下であることを特徴とする真空吸着装置。
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