JP6896326B2 - Processing equipment - Google Patents

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Description

本発明は、パッケージ基板に代表される板状の被加工物を加工するための加工装置に関する。 The present invention relates to a processing apparatus for processing a plate-shaped workpiece represented by a package substrate.

複数のデバイスチップが樹脂で封止されてなるパッケージ基板を各デバイスチップに対応するパッケージデバイスチップへと分割する際には、例えば、回転軸となるスピンドルに環状の切削ブレードが装着された切削装置を使用する。この用途では、分割の対象となるパッケージ基板に合わせて設計された専用のチャックテーブルを切削装置に設けることが多い（例えば、特許文献１参照）。 When dividing a package substrate in which a plurality of device chips are sealed with resin into package device chips corresponding to each device chip, for example, a cutting device in which an annular cutting blade is mounted on a spindle serving as a rotation axis. To use. In this application, the cutting apparatus is often provided with a dedicated chuck table designed according to the package substrate to be divided (see, for example, Patent Document 1).

上述のチャックテーブルは、パッケージ基板の分割予定ライン（ストリート）に対応する切削ブレード用の逃げ溝と、分割予定ラインによって区画されるパッケージ基板の各領域を吸引するための複数の吸引孔とを有しており、パッケージ基板を直に保持できる。そのため、汎用のチャックテーブルでパッケージ基板を保持する場合のように、チャックテーブルとパッケージ基板との間にテープを介在させる必要がなく、パッケージ基板の分割に係るコストを低く抑え易い。 The chuck table described above has a relief groove for a cutting blade corresponding to a planned division line (street) of the package substrate, and a plurality of suction holes for sucking each region of the package substrate partitioned by the planned division line. Therefore, the package substrate can be held directly. Therefore, unlike the case where the package substrate is held by a general-purpose chuck table, it is not necessary to insert a tape between the chuck table and the package substrate, and it is easy to keep the cost of dividing the package substrate low.

ところで、パッケージ基板に使用される封止用の樹脂は、熱等で収縮し易いので、パッケージ基板が変形して、実際の分割予定ラインが予め想定された位置からずれていることも多い。そのような場合に、例えば、チャックテーブの逃げ溝に合わせてパッケージ基板に切削ブレードを切り込ませてしまうと、実際の分割予定ラインとは異なる位置でパッケージ基板が切削され、パッケージデバイスチップが破損する。一方で、実際の分割予定ラインに合わせて切削ブレードを切り込ませると、チャックテーブルが破損してしまう。 By the way, since the sealing resin used for the package substrate is easily shrunk due to heat or the like, the package substrate is often deformed and the actual planned division line is deviated from the predetermined position. In such a case, for example, if the cutting blade is cut into the package substrate in accordance with the relief groove of the chuck table, the package substrate is cut at a position different from the actual planned division line, and the package device chip is damaged. To do. On the other hand, if the cutting blade is cut according to the actual scheduled division line, the chuck table will be damaged.

そこで、チャックテーブルの逃げ溝に対してパッケージ基板の分割予定ラインが平面視で重ならない場合（すなわち、逃げ溝と分割予定ラインとにずれがある場合）に、パッケージ基板に対するチャックテーブルの角度や位置を調整できる加工装置等が提案されている（例えば、特許文献２参照）。この加工装置では、パッケージ基板を撮像して得られる実際のチップパターンと基準パターンとを比較し、そのずれに応じてチャックテーブルの角度や位置を調整することで、逃げ溝に対して分割予定ラインを重ねるようにしている。 Therefore, when the planned division line of the package substrate does not overlap the relief groove of the chuck table in a plan view (that is, there is a deviation between the relief groove and the planned division line), the angle and position of the chuck table with respect to the package substrate. A processing device or the like capable of adjusting the above is proposed (see, for example, Patent Document 2). In this processing device, the actual chip pattern obtained by imaging the package substrate is compared with the reference pattern, and the angle and position of the chuck table are adjusted according to the deviation, so that the line to be divided with respect to the relief groove is planned. I try to overlap.

特開２０１１−４９１９３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-49193 特開２０１１−１１４０７０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-114070

しかしながら、上述のような加工装置では、チャックテーブルの角度や位置を調整しているにも関わらず、チャックテーブルが破損してしまうことがある。この問題は、パッケージデバイスチップのサイズが小さくなったり、分割予定ラインの数が増えたりするほど発生し易かった。 However, in the above-mentioned processing apparatus, the chuck table may be damaged even though the angle and position of the chuck table are adjusted. This problem was more likely to occur as the size of the packaged device chip became smaller and the number of lines to be divided increased.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チャックテーブルの破損を防止できる加工装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a processing apparatus capable of preventing damage to a chuck table.

本発明の一態様によれば、長手方向に延びる複数の長手側分割予定ラインと、該長手方向と交差する方向に延びる複数の短手側分割予定ラインと、を表面に有する被加工物の該長手側分割予定ラインに対応する長手側ブレード逃げ溝と、該短手側分割予定ラインに対応する短手側ブレード逃げ溝と、を保持面に備え、該保持面で該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該チャックテーブルを該保持面に平行な方向へ移動させる移動ユニットと、該チャックテーブルを該保持面に垂直な回転軸の周りに回転させる回転ユニットと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、該被加工物を該チャックテーブルに搬入し又は該チャックテーブルから搬出する搬送ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、該制御ユニットは、基準となる角度及び位置に合わせた該チャックテーブルの該保持面を撮像して得られる撮像画像から求めた該長手側ブレード逃げ溝の角度、位置、幅に関する情報と、該短手側ブレード逃げ溝の角度、位置、幅に関する情報と、を記憶する逃げ溝情報記憶部と、該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像して得られる撮像画像から求めた該長手側分割予定ラインの角度及び位置に関する情報と、該短手側分割予定ラインの角度及び位置に関する情報と、を記憶する分割予定ライン情報記憶部と、該逃げ溝情報記憶部と該分割予定ライン情報記憶部とに記憶された情報に基づき、該長手側分割予定ラインと該長手側ブレード逃げ溝とのずれ量と、該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝とのずれ量と、を算出するずれ量算出部と、該長手側分割予定ラインと該長手側ブレード逃げ溝とが重なるように該チャックテーブルと被加工物とを相対的に移動させて該被加工物に対する該チャックテーブルの角度、位置を調整する場合に、該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝とが重なるか否かを判定する判定部と、該判定部で該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝とが重ならないと判定された場合に、その旨をオペレータに報知する報知部と、を備え、該判定部で該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝とが重なると判定された場合に、該搬送ユニットで該被加工物を該チャックテーブルから該搬送ユニットで搬出した上で、該チャックテーブルを回転させ、該チャックテーブルを移動させ、又は被加工物を保持した搬送ユニットを移動させることで、該チャックテーブルに再び搬入される該被加工物の該長手側分割予定ラインと該長手側ブレード逃げ溝とが重なるように、該被加工物に対する該チャックテーブルの角度、位置を調整する加工装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, the workpiece having a plurality of longitudinal division schedule lines extending in the longitudinal direction and a plurality of short side division schedule lines extending in a direction intersecting the longitudinal direction on the surface. The holding surface is provided with a longitudinal blade relief groove corresponding to the longitudinal division scheduled line and a short blade relief groove corresponding to the short side split scheduled line, and the workpiece is held by the holding surface. A chuck table, a processing unit for processing the workpiece held on the chuck table, a moving unit for moving the chuck table in a direction parallel to the holding surface, and a chuck table perpendicular to the holding surface. A rotating unit that rotates around a rotating shaft, an imaging unit that images the work piece held on the chuck table, and a transport unit that carries the work piece into or out of the chuck table. A processing device including a control unit that controls each component, and the control unit is obtained from an image obtained by imaging the holding surface of the chuck table adjusted to a reference angle and position. A relief groove information storage unit that stores information on the angle, position, and width of the longitudinal blade relief groove and information on the angle, position, and width of the short side blade relief groove, and a relief groove information storage unit that is held on the chuck table. The division schedule for storing the information on the angle and position of the longitudinal division scheduled line and the information on the angle and position of the short side division schedule line obtained from the captured image obtained by imaging the workpiece. Based on the information stored in the line information storage unit, the relief groove information storage unit, and the division schedule line information storage unit, the amount of deviation between the longitudinal division schedule line and the longitudinal blade relief groove, and the short length. With the chuck table so that the deviation amount calculation unit for calculating the deviation amount between the hand side split scheduled line and the short side blade relief groove and the longitudinal side split schedule line and the longitudinal blade relief groove overlap with each other. Whether or not the short side split planned line and the short side blade relief groove overlap when the angle and position of the chuck table with respect to the work object are adjusted by relatively moving the work piece. The determination unit is provided with a determination unit for determining that, and a notification unit for notifying the operator when it is determined by the determination unit that the short-side split scheduled line and the short-side blade relief groove do not overlap. When the determination unit determines that the short side split line and the short side blade relief groove overlap, the transfer unit carries the workpiece from the chuck table to the transfer unit. After taking it out, the chuck table is rotated, the chuck table is moved, or the transport unit holding the workpiece is moved, so that the longitudinal side of the workpiece to be carried back into the chuck table is carried. as the dividing line and the longitudinal side blade clearance groove is heavy, the angle of the chuck table for the workpiece, the machining apparatus for adjusting the position are provided.

本発明の一態様において、該長手側分割予定ラインと該長手側ブレード逃げ溝との該ずれ量を算出する際に用いられる該長手側分割予定ラインは、複数の該長手側分割予定ラインの中央に位置する該長手側分割予定ラインであり、該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝との該ずれ量を算出する際に用いられる該短手側分割予定ラインは、複数の該短手側分割予定ラインの中央に位置する該短手側分割予定ラインであることが好ましい。 In one aspect of the present invention, the longitudinal division schedule line used in calculating the deviation amount between the longitudinal division schedule line and the longitudinal blade relief groove is the center of a plurality of the longitudinal division schedule lines. The long-side split schedule line located at, and the short-side split schedule line used when calculating the deviation amount between the short-side split schedule line and the short-side blade relief groove is a plurality of short-side split schedule lines. it is preferably the shorter side dividing line located in the middle of the short hand side dividing lines.

また、本発明の一態様において、該判定部は、該長手側分割予定ラインの長さと該短手側分割予定ラインの長さとの和に対する該長手側分割予定ラインの長さ及び該短手側分割予定ラインの長さに応じて該チャックテーブルの回転量を算出することが好ましい。 Further, in one aspect of the present invention, the determination unit determines the length of the longitudinal division scheduled line and the short side with respect to the sum of the length of the longitudinal division scheduled line and the length of the lateral division scheduled line. It is preferable to calculate the amount of rotation of the chuck table according to the length of the planned division line.

本発明の一態様に係る加工装置は、長手側分割予定ラインと長手側ブレード逃げ溝とが重なるように被加工物に対するチャックテーブルの角度、位置を調整する場合に、短手側分割予定ラインと短手側ブレード逃げ溝とが重なるか否かを判定する判定部と、判定部で短手側分割予定ラインと短手側ブレード逃げ溝とが重ならないと判定された場合に、その旨をオペレータに報知する報知部と、を備えている。 In the processing apparatus according to one aspect of the present invention, when the angle and position of the chuck table with respect to the workpiece so as to overlap the longitudinal division schedule line and the longitudinal blade relief groove, the processing apparatus according to the short side division schedule line is used. When the judgment unit that determines whether or not the short side blade relief groove overlaps and the judgment unit determines that the short side split scheduled line and the short side blade relief groove do not overlap, the operator notifies that fact. It is equipped with a notification unit that notifies the user.

つまり、被加工物に対するチャックテーブルの角度、位置がずれている際に、被加工物を切削することでチャックテーブルの保持面に切削ブレードを切り込ませてしまう可能性の高い長手側分割予定ライン及び長手側ブレード逃げ溝を重視してチャックテーブルの角度、位置を調整し、その上で短手側分割予定ラインと短手側ブレード逃げ溝とが重ならない場合にはその旨が報知されるので、この場合に被加工物を無理に加工してチャックテーブルが破損することはない。このように、本発明の一態様に係る加工装置によれば、チャックテーブルの破損を防止できる。 That is, when the angle and position of the chuck table with respect to the workpiece are deviated, there is a high possibility that the cutting blade will be cut into the holding surface of the chuck table by cutting the workpiece. And, the angle and position of the chuck table are adjusted with an emphasis on the longitudinal blade relief groove, and if the short side split scheduled line and the short side blade relief groove do not overlap, that fact is notified. In this case, the chuck table will not be damaged by forcibly processing the workpiece. As described above, according to the processing apparatus according to one aspect of the present invention, damage to the chuck table can be prevented.

切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of a cutting apparatus schematically. 被加工物の構成例を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of the workpiece schematically. チャックテーブルの構成例を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structural example of a chuck table schematically. 制御ユニットの機能等を模式的に示すブロック図である。It is a block diagram which shows typically the function of a control unit. 図５（Ａ）は、逃げ溝情報取得ステップについて説明するための模式図であり、図５（Ｂ）は、被加工物搬入ステップについて説明するための模式図である。FIG. 5A is a schematic diagram for explaining the relief groove information acquisition step, and FIG. 5B is a schematic diagram for explaining the work piece loading step. 図６（Ａ）は、分割予定ライン情報取得ステップについて説明するための模式図であり、図６（Ｂ）は、被加工物搬出ステップ及び調整ステップについて説明するための模式図である。FIG. 6A is a schematic diagram for explaining the scheduled division line information acquisition step, and FIG. 6B is a schematic diagram for explaining the work piece unloading step and the adjusting step. 図７（Ａ）は、被加工物再搬入ステップについて説明するための模式図であり、図７（Ｂ）は、切削ステップについて説明するための模式図である。FIG. 7 (A) is a schematic diagram for explaining the work reloading step, and FIG. 7 (B) is a schematic diagram for explaining the cutting step.

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置（加工装置）２の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。基台４の上面前側には、被加工物１１を収容するための収容領域６が設けられている。この収容領域６は、複数の被加工物１１を積み重ねた状態で収容する。 An embodiment according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration example of a cutting device (processing device) 2 according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the cutting device 2 includes a base 4 that supports each structure. An accommodating area 6 for accommodating the workpiece 11 is provided on the front side of the upper surface of the base 4. The accommodating area 6 accommodates a plurality of workpieces 11 in a stacked state.

図２は、被加工物１１の構成例を模式的に示す斜視図である。被加工物１１は、例えば、平面視が矩形の板状に形成されたパッケージ基板である。この被加工物１１の表面１１ａ側は、長手方向Ｄ１に沿って延びる複数の長手側分割予定ライン（ストリート）１３ａと、長手方向Ｄ１と交差する短手方向Ｄ２に沿って延びる複数の短手側分割予定ライン（ストリート）１３ｂと、で複数の領域１５に区画されている。 FIG. 2 is a perspective view schematically showing a configuration example of the workpiece 11. The workpiece 11 is, for example, a package substrate formed in a rectangular plate shape in a plan view. The surface 11a side of the workpiece 11 has a plurality of longitudinal division planned lines (streets) 13a extending along the longitudinal direction D1 and a plurality of lateral sides extending along the lateral direction D2 intersecting the longitudinal direction D1. It is divided into a plurality of areas 15 by a planned division line (street) 13b.

各領域１５には、例えば、デバイスチップ（不図示）が樹脂によって封止されている。なお、本実施形態では、複数のデバイスチップが樹脂によって封止されたパッケージ基板を被加工物１１として用いるが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなるウェーハを被加工物１１として用いることもできる。 In each region 15, for example, a device chip (not shown) is sealed with a resin. In the present embodiment, a package substrate in which a plurality of device chips are sealed with a resin is used as the workpiece 11, but the material, shape, structure, size, etc. of the workpiece 11 are not limited. For example, a wafer made of a material such as a semiconductor, ceramics, resin, or metal can be used as the workpiece 11.

収容領域６の側方には、図１に示すように、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い開口４ａが形成されている。この開口４ａには、Ｘ軸移動テーブル８、Ｘ軸移動テーブル８をＸ軸方向に移動させるボールねじ式のＸ軸移動機構（移動ユニット）１０（図４参照）及びＸ軸移動機構１０を覆う防塵防滴カバー１２が設けられている。 As shown in FIG. 1, a long opening 4a is formed on the side of the accommodating region 6 in the X-axis direction (front-rear direction, machining feed direction). The opening 4a covers the X-axis moving table 8, the ball screw type X-axis moving mechanism (moving unit) 10 (see FIG. 4) for moving the X-axis moving table 8 in the X-axis direction, and the X-axis moving mechanism 10. A dust-proof and drip-proof cover 12 is provided.

Ｘ軸移動テーブル８の上方には、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル（保持テーブル）１４が設けられている。このチャックテーブル１４は、モータ等を含む回転駆動機構（回転ユニット）１６（図４参照）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１４は、上述のＸ軸移動機構１０によってＸ軸方向に移動する（加工送り）。なお、チャックテーブル１４の詳細については後述する。 A chuck table (holding table) 14 for holding the workpiece 11 is provided above the X-axis moving table 8. The chuck table 14 is connected to a rotation drive mechanism (rotation unit) 16 (see FIG. 4) including a motor and the like, and rotates around a rotation axis substantially parallel to the Z-axis direction (vertical direction). Further, the chuck table 14 is moved in the X-axis direction by the above-mentioned X-axis moving mechanism 10 (machining feed). The details of the chuck table 14 will be described later.

収容領域６の上方には、上述した被加工物１１を収容領域６からチャックテーブル１４へと搬送するための第１搬送ユニット１８が配置されている。第１搬送ユニット１８で搬送された被加工物１１は、例えば、表面１１ａ側が上方に露出するようにチャックテーブル１４に載せられる。 Above the accommodating area 6, a first conveying unit 18 for conveying the above-mentioned work piece 11 from the accommodating area 6 to the chuck table 14 is arranged. The workpiece 11 transported by the first transport unit 18 is placed on the chuck table 14 so that the surface 11a side is exposed upward, for example.

基台４の上面には、２組の切削ユニット（加工ユニット）２０を支持するための門型の支持構造２２が、開口４ａを跨ぐように配置されている。支持構造２２の前面上部には、各切削ユニット２０をＹ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる２組の切削ユニット移動機構（移動ユニット）２４が設けられている。 On the upper surface of the base 4, a gate-shaped support structure 22 for supporting two sets of cutting units (machining units) 20 is arranged so as to straddle the opening 4a. Two sets of cutting unit moving mechanisms (moving units) 24 for moving each cutting unit 20 in the Y-axis direction (left-right direction, indexing feed direction) and the Z-axis direction are provided on the upper front surface of the support structure 22.

各切削ユニット移動機構２４は、支持構造２２の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２６を共通に備えている。Ｙ軸ガイドレール２６には、各切削ユニット移動機構２４を構成するＹ軸移動プレート２８がスライド可能に取り付けられている。各Ｙ軸移動プレート２８の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられている。 Each cutting unit moving mechanism 24 commonly includes a pair of Y-axis guide rails 26 arranged in front of the support structure 22 and parallel to the Y-axis direction. A Y-axis moving plate 28 constituting each cutting unit moving mechanism 24 is slidably attached to the Y-axis guide rail 26. A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (rear surface side) of each Y-axis moving plate 28.

このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２６に平行なＹ軸ボールネジ３０がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールネジ３０の一端部には、Ｙ軸パルスモータ３２が連結されている。Ｙ軸パルスモータ３２でＹ軸ボールネジ３０を回転させれば、Ｙ軸移動プレート２８は、Ｙ軸ガイドレール２６に沿ってＹ軸方向に移動する。 A Y-axis ball screw 30 parallel to the Y-axis guide rail 26 is screwed into the nut portion. A Y-axis pulse motor 32 is connected to one end of each Y-axis ball screw 30. When the Y-axis ball screw 30 is rotated by the Y-axis pulse motor 32, the Y-axis moving plate 28 moves in the Y-axis direction along the Y-axis guide rail 26.

各Ｙ軸移動プレート２８の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３４が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３４には、Ｚ軸移動プレート３６がスライド可能に取り付けられている。各Ｚ軸移動プレート３６の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられている。 A pair of Z-axis guide rails 34 parallel to the Z-axis direction are provided on the surface (front surface) of each Y-axis moving plate 28. A Z-axis moving plate 36 is slidably attached to the Z-axis guide rail 34. A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (rear surface side) of each Z-axis moving plate 36.

このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３４に平行なＺ軸ボールネジ３８がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールネジ３８の一端部には、Ｚ軸パルスモータ４０が連結されている。Ｚ軸パルスモータ４０でＺ軸ボールネジ３８を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３６は、Ｚ軸ガイドレール３４に沿ってＺ軸方向に移動する。 A Z-axis ball screw 38 parallel to the Z-axis guide rail 34 is screwed into the nut portion. A Z-axis pulse motor 40 is connected to one end of each Z-axis ball screw 38. When the Z-axis ball screw 38 is rotated by the Z-axis pulse motor 40, the Z-axis moving plate 36 moves in the Z-axis direction along the Z-axis guide rail 34.

各Ｚ軸移動プレート３６の下部には、切削ユニット２０が設けられている。この切削ユニット２０は、回転軸となるスピンドル４２（図７（Ａ）等参照）を備えている。スピンドル４２の一端側には、円環状の切削ブレード４４が装着される。また、切削ユニット２０に隣接する位置には、被加工物１１等を撮像するための撮像ユニット（カメラ）４６が設けられている。 A cutting unit 20 is provided below each Z-axis moving plate 36. The cutting unit 20 includes a spindle 42 (see FIG. 7A and the like) that serves as a rotation axis. An annular cutting blade 44 is mounted on one end side of the spindle 42. Further, an imaging unit (camera) 46 for imaging the workpiece 11 and the like is provided at a position adjacent to the cutting unit 20.

各切削ユニット移動機構２４でＹ軸移動プレート２８をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット２０及びカメラ４６は、Ｙ軸方向に移動する（割り出し送り）。また、各切削ユニット移動機構２４でＺ軸移動プレート３６をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット２０及びカメラ４６は、昇降する。 If the Y-axis moving plate 28 is moved in the Y-axis direction by each cutting unit moving mechanism 24, the cutting unit 20 and the camera 46 move in the Y-axis direction (indexing feed). Further, if the Z-axis moving plate 36 is moved in the Z-axis direction by each cutting unit moving mechanism 24, the cutting unit 20 and the camera 46 move up and down.

開口４ａに対して収容領域６と反対側の位置には、回収領域４８が設けられている。この回収領域４８は、被加工物１１を分割して得られる複数のパッケージデバイスチップを回収する。回収領域４８の上方には、被加工物１１を分割して得られる複数のパッケージデバイスチップをチャックテーブル１４から回収領域４８へと搬送するための第２搬送ユニット５０が配置されている。上述した各構成要素は、例えば、切削装置２内の制御ユニット５２で制御される。 A recovery area 48 is provided at a position opposite to the accommodation area 6 with respect to the opening 4a. The recovery area 48 collects a plurality of package device chips obtained by dividing the workpiece 11. Above the recovery region 48, a second transport unit 50 for transporting a plurality of package device chips obtained by dividing the workpiece 11 from the chuck table 14 to the recovery region 48 is arranged. Each of the above-mentioned components is controlled by, for example, a control unit 52 in the cutting device 2.

図３は、チャックテーブル１４の構成例を模式的に示す斜視図である。図３に示すように、チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持するための保持面１４ａになっている。この保持面１４ａは、Ｚ軸方向に対して概ね垂直である。すなわち、チャックテーブル１４の回転軸は、保持面１４ａに対して概ね垂直になる。 FIG. 3 is a perspective view schematically showing a configuration example of the chuck table 14. As shown in FIG. 3, the upper surface of the chuck table 14 is a holding surface 14a for holding the workpiece 11. The holding surface 14a is substantially perpendicular to the Z-axis direction. That is, the rotation axis of the chuck table 14 is substantially perpendicular to the holding surface 14a.

チャックテーブル１４の保持面１４ａ側には、被加工物１１の長手側分割予定ライン１３ａに対応する長手側ブレード逃げ溝１４ｂと、短手側分割予定ライン１３ｂに対応する短手側ブレード逃げ溝１４ｃと、が設けられている。長手側ブレード逃げ溝１４ｂ及び短手側ブレード逃げ溝１４ｃの上端は、保持面１４ａに開口している。この長手側ブレード逃げ溝１４ｂ及び短手側ブレード逃げ溝１４ｃによって、保持面１４ａは、分割後の被加工物１１に対応する複数の領域に区画される。 On the holding surface 14a side of the chuck table 14, the longitudinal blade relief groove 14b corresponding to the longitudinal division scheduled line 13a of the workpiece 11 and the short side blade relief groove 14c corresponding to the minor division scheduled line 13b And are provided. The upper ends of the longitudinal blade relief groove 14b and the lateral blade relief groove 14c are open to the holding surface 14a. The longitudinal blade relief groove 14b and the short side blade relief groove 14c divide the holding surface 14a into a plurality of regions corresponding to the work piece 11 after division.

長手側ブレード逃げ溝１４ｂ及び短手側ブレード逃げ溝１４ｃの幅は、切削ブレード４４の幅より０．１ｍｍ〜０．２ｍｍほど広い。例えば、切削ブレード４４の幅が０．１ｍｍ〜０．３ｍｍの場合には、長手側ブレード逃げ溝１４ｂ及び短手側ブレード逃げ溝１４ｃの幅は０．３ｍｍ〜０．７ｍｍほどになる。 The width of the longitudinal blade relief groove 14b and the lateral blade relief groove 14c is about 0.1 mm to 0.2 mm wider than the width of the cutting blade 44. For example, when the width of the cutting blade 44 is 0.1 mm to 0.3 mm, the width of the longitudinal blade relief groove 14b and the lateral blade relief groove 14c is about 0.3 mm to 0.7 mm.

そのため、長手側ブレード逃げ溝１４ｂ又は短手側ブレード逃げ溝１４ｃがＸ軸方向に対して僅かに傾いたとしても、チャックテーブル１４と切削ブレード４４とは必ずしも接触しない。通常、隣接する２本の長手側ブレード逃げ溝１４ｂの間隔はいずれも一定であり、複数の長手側ブレード逃げ溝１４ｂは互いに平行に形成されている。同様に、隣接する２本の短手側ブレード逃げ溝１４ｃの間隔はいずれも一定であり、複数の短手側ブレード逃げ溝１４ｃは互いに平行に形成されている。 Therefore, even if the longitudinal blade relief groove 14b or the short side blade relief groove 14c is slightly tilted with respect to the X-axis direction, the chuck table 14 and the cutting blade 44 do not necessarily come into contact with each other. Normally, the distance between the two adjacent longitudinal blade relief grooves 14b is constant, and the plurality of longitudinal blade relief grooves 14b are formed parallel to each other. Similarly, the distance between the two adjacent short-side blade relief grooves 14c is constant, and the plurality of short-side blade relief grooves 14c are formed parallel to each other.

また、長手側ブレード逃げ溝１４ｂ及び短手側ブレード逃げ溝１４ｃの深さは、例えば、切削ブレード４４の最大の切り込み深さより深い。よって、被加工物１１を長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂに沿って切削する際に切削ブレード４４を十分に深く切り込ませても、チャックテーブル１４と切削ブレード４４とが接触することはない。 Further, the depth of the longitudinal blade relief groove 14b and the lateral blade relief groove 14c is, for example, deeper than the maximum cutting depth of the cutting blade 44. Therefore, even if the cutting blade 44 is cut sufficiently deeply when the workpiece 11 is cut along the longitudinal side splitting line 13a and the short side splitting line 13b, the chuck table 14 and the cutting blade 44 are still in contact with each other. There is no contact.

長手側ブレード逃げ溝１４ｂ及び短手側ブレード逃げ溝１４ｃによって区画された各領域には、保持面１４ａに開口する吸引孔１４ｄが形成されている。各吸引孔１４ｄは、チャックテーブル１４の内部に形成された流路１４ｅ（図５（Ａ）等参照）やバルブ５４（図５（Ａ）等参照）等を介して、吸引源５６（図５（Ａ）等参照）に接続されている。そのため、チャックテーブル１４の保持面１４ａに被加工物１１を載せて、バルブ５４を開けば、被加工物１１をチャックテーブル１４により吸引、保持できる。 A suction hole 14d that opens into the holding surface 14a is formed in each region partitioned by the longitudinal blade relief groove 14b and the short side blade relief groove 14c. Each suction hole 14d is provided with a suction source 56 (see FIG. 5A, etc.) via a flow path 14e (see FIG. 5A, etc.) and a valve 54 (see FIG. 5A, etc.) formed inside the chuck table 14. (See (A) etc.). Therefore, if the workpiece 11 is placed on the holding surface 14a of the chuck table 14 and the valve 54 is opened, the workpiece 11 can be sucked and held by the chuck table 14.

図４は、制御ユニット５２の機能等を模式的に示すブロック図である。図４に示すように、制御ユニット５２は、Ｘ軸移動機構１０、回転駆動機構１６、第１搬送ユニット１８、切削ユニット２０、切削ユニット移動機構２４、撮像ユニット４６、第２搬送ユニット５０等の構成要素に接続されている。 FIG. 4 is a block diagram schematically showing the functions and the like of the control unit 52. As shown in FIG. 4, the control unit 52 includes an X-axis moving mechanism 10, a rotary drive mechanism 16, a first transport unit 18, a cutting unit 20, a cutting unit moving mechanism 24, an imaging unit 46, a second transport unit 50, and the like. Connected to a component.

この制御ユニット５２は、被加工物１１を適切に切削できるように各構成要素の動作等を制御する。また、制御ユニット５２は、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度や位置等を調整するために、逃げ溝情報記憶部５２ａ、分割予定ライン情報記憶部５２ｂ、ずれ量算出部５２ｃ、判定部５２ｄ、報知部５２ｅ等を備えている。 The control unit 52 controls the operation of each component so that the workpiece 11 can be appropriately cut. Further, the control unit 52 has a relief groove information storage unit 52a, a scheduled division line information storage unit 52b, a deviation amount calculation unit 52c, and a determination unit 52d in order to adjust the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11. , The notification unit 52e and the like are provided.

逃げ溝情報記憶部５２ａは、調整の基準となる長手側ブレード逃げ溝１４ｂの角度、位置、幅等に関する情報と、短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度、位置、幅等に関する情報と、を記憶する。なお、これらの情報は、例えば、基準となる角度及び位置に合わせた状態のチャックテーブル１４の保持面１４ａを撮像して得られる画像（撮像画像）から求められる。 The relief groove information storage unit 52a stores information on the angle, position, width, etc. of the longitudinal blade relief groove 14b, which is a reference for adjustment, and information on the angle, position, width, etc. of the short side blade relief groove 14c. To do. It should be noted that such information is obtained from, for example, an image (captured image) obtained by imaging the holding surface 14a of the chuck table 14 in a state adjusted to a reference angle and position.

分割予定ライン情報記憶部５２ｂは、チャックテーブル１４に保持された被加工物１１の長手側分割予定ライン１３ａの角度、位置に関する情報と、短手側分割予定ライン１３ｂの角度、位置に関する情報と、を記憶する。なお、これらの情報は、例えば、チャックテーブル１４に保持された状態の被加工物１１を撮像して得られる画像（撮像画像）から求められる。 The scheduled division line information storage unit 52b includes information on the angle and position of the longitudinal side scheduled division line 13a of the workpiece 11 held on the chuck table 14, information on the angle and position of the short side scheduled division line 13b, and information on the angle and position of the short side scheduled division line 13b. Remember. It should be noted that such information is obtained from, for example, an image (captured image) obtained by imaging the workpiece 11 held on the chuck table 14.

ずれ量算出部５２ｃは、逃げ溝情報記憶部５２ａと分割予定ライン情報記憶部５２ｂとに記憶された情報に基づいて、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとの角度ずれ量、位置ずれ量と、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとの角度ずれ量、位置ずれ量と、を算出する。 The deviation amount calculation unit 52c determines the amount of angular deviation between the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b based on the information stored in the relief groove information storage unit 52a and the division schedule line information storage unit 52b. The misalignment amount, the angle misalignment amount between the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c, and the misalignment amount are calculated.

判定部５２ｄは、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度、位置の調整を適切に行えるか否かを判定する。具体的には、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとが重なるように、チャックテーブル１４を回転させ、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させ、又は被加工物１１を保持した第１搬送ユニット１８をＹ軸方向に移動させる場合に、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重なるか否かを判定する。 The determination unit 52d determines whether or not the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 can be appropriately adjusted. Specifically, the chuck table 14 was rotated so that the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b overlap, the chuck table 14 was moved in the X-axis direction, or the workpiece 11 was held. When the first transport unit 18 is moved in the Y-axis direction, it is determined whether or not the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c overlap.

報知部５２ｅは、判定部５２ｄがチャックテーブル１４の角度、位置の調整を適切に行えないと判定した場合に、その旨をオペレータ等に報知（通知）する。具体的には、報知部５２ｅは、判定部５２ｄにおいて短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重ならないと判定された場合に、その旨をオペレータ等に報知する。報知の方法に特段の制限はないが、例えば、警告音の発生、音声アナウンス、警告灯の点灯（点滅）、画像（映像）の表示、等の方法を用いることができる。 When the determination unit 52d determines that the angle and position of the chuck table 14 cannot be adjusted appropriately, the notification unit 52e notifies (notifies) the operator or the like to that effect. Specifically, when the determination unit 52d determines that the short-side split scheduled line 13b and the short-side blade relief groove 14c do not overlap, the notification unit 52e notifies the operator or the like to that effect. The method of notification is not particularly limited, but for example, a method such as generation of a warning sound, voice announcement, lighting (blinking) of a warning light, display of an image (video), or the like can be used.

次に、上述した切削装置２で被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度及び位置を調整する調整方法、並びに、この切削装置２を用いて被加工物１１を加工（切削）する加工方法について説明する。 Next, an adjustment method for adjusting the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 with the cutting device 2 described above, and a machining method for machining (cutting) the workpiece 11 with the cutting device 2 will be described. To do.

本実形態に係るチャックテーブル１４の調整方法、及び被加工物１１の加工方法では、まず、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度及び位置を調整する際の基準となる長手側ブレード逃げ溝１４ｂ及び短手側ブレード逃げ溝１４ｃの情報を取得する逃げ溝情報取得ステップを行う。図５（Ａ）は、逃げ溝情報取得ステップについて説明するための模式図である。 In the method of adjusting the chuck table 14 and the method of processing the workpiece 11 according to the present embodiment, first, the longitudinal blade relief groove 14b, which is a reference when adjusting the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11. And the relief groove information acquisition step of acquiring the information of the short side blade relief groove 14c is performed. FIG. 5A is a schematic diagram for explaining the relief groove information acquisition step.

この逃げ溝情報取得ステップでは、まず、チャックテーブル１４の向き（角度）を基準の角度に合わせる。基準の角度に特段の制限はないが、本実施形態では、Ｘ軸方向に対して長手側ブレード逃げ溝１４ｂが平行になる向きを基準の角度とする。同様に、チャックテーブル１４を基準の位置に合わせる。 In this relief groove information acquisition step, first, the direction (angle) of the chuck table 14 is adjusted to the reference angle. The reference angle is not particularly limited, but in the present embodiment, the direction in which the longitudinal blade relief groove 14b is parallel to the X-axis direction is used as the reference angle. Similarly, the chuck table 14 is aligned with the reference position.

次に、チャックテーブル１４に対して撮像ユニット４６を相対的に移動させて、角度及び位置を調整する際の基準となる任意の長手側ブレード逃げ溝１４ｂ又は短手側ブレード逃げ溝１４ｃの上方に撮像ユニット４６を位置付ける。そして、この撮像ユニット４６でチャックテーブル１４の保持面１４ａ側を撮像する。これにより、長手側ブレード逃げ溝１４ｂ又は短手側ブレード逃げ溝１４ｃが写った画像（撮像画像）を形成できる。 Next, the imaging unit 46 is moved relative to the chuck table 14 to be above an arbitrary longitudinal blade relief groove 14b or a lateral blade relief groove 14c that serves as a reference when adjusting the angle and position. Position the imaging unit 46. Then, the image pickup unit 46 images the holding surface 14a side of the chuck table 14. As a result, it is possible to form an image (captured image) in which the longitudinal blade relief groove 14b or the short side blade relief groove 14c is captured.

その後、撮像ユニット４６で形成された画像から、長手側ブレード逃げ溝１４ｂの角度、位置、幅に関する情報や、短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度、位置、幅に関する情報を取得する。例えば、保持面１４ａを撮像する際のチャックテーブル１４と撮像ユニット４６との位置関係や、撮像ユニット４６の視野の範囲（長さや広さ）等は既知である。 After that, information on the angle, position, and width of the longitudinal blade relief groove 14b and information on the angle, position, and width of the short side blade relief groove 14c are acquired from the image formed by the imaging unit 46. For example, the positional relationship between the chuck table 14 and the imaging unit 46 when imaging the holding surface 14a, the range (length and width) of the field of view of the imaging unit 46, and the like are known.

よって、長手側ブレード逃げ溝１４ｂが写った画像から、エッジ検出等の方法で長手側ブレード逃げ溝１４ｂを見つけ出し、その座標等の情報を取得することで、長手側ブレード逃げ溝１４ｂの角度、位置、幅を算出できる。同様に、短手側ブレード逃げ溝１４ｃが写った画像から、エッジ検出等の方法で短手側ブレード逃げ溝１４ｃを見つけ出し、その座標等の情報を取得することで、短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度、位置、幅を算出できる。 Therefore, the angle and position of the longitudinal blade relief groove 14b are obtained by finding the longitudinal blade relief groove 14b from the image showing the longitudinal blade relief groove 14b by a method such as edge detection and acquiring information such as the coordinates thereof. , The width can be calculated. Similarly, from the image showing the short side blade relief groove 14c, the short side blade relief groove 14c is found by a method such as edge detection, and information such as the coordinates thereof is acquired to obtain the short side blade relief groove 14c. The angle, position, and width of can be calculated.

このようにして算出された長手側ブレード逃げ溝１４ｂの角度、位置、幅に関する情報と、短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度、位置、幅に関する情報とは、上述した逃げ溝情報記憶部５２ａに記憶される。 The information regarding the angle, position, and width of the longitudinal blade relief groove 14b calculated in this way and the information regarding the angle, position, and width of the short side blade relief groove 14c are stored in the above-mentioned relief groove information storage unit 52a. It will be remembered.

なお、基準となる長手側ブレード逃げ溝１４ｂ及び基準となる短手側ブレード逃げ溝１４ｃの選び方（位置や本数）に特段の制限はないが、例えば、後の分割予定ライン情報取得ステップで対象とする長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂに対応するものを選ぶと良い。具体的には、例えば、後の分割予定ライン情報取得ステップで被加工物１１の中央に存在する長手側分割予定ライン１３ａを対象とする場合には、チャックテーブル１４の中央に存在する長手側ブレード逃げ溝１４ｂを基準として選ぶと良い。 There are no particular restrictions on how to select the reference longitudinal blade relief groove 14b and the reference short side blade relief groove 14c (position and number), but for example, it will be targeted in the later division schedule line information acquisition step. It is preferable to select the line corresponding to the long-side planned division line 13a and the short-side side split scheduled line 13b. Specifically, for example, when the longitudinal division schedule line 13a existing in the center of the workpiece 11 is targeted in the later division schedule line information acquisition step, the longitudinal blade existing in the center of the chuck table 14 is targeted. It is recommended to select the escape groove 14b as a reference.

同様に、例えば、後の分割予定ライン情報取得ステップで被加工物１１の中央に存在する短手側分割予定ライン１３ｂを対象とする場合には、チャックテーブル１４の中央に存在する短手側ブレード逃げ溝１４ｃを基準として選ぶと良い。これにより、長手側ブレード逃げ溝１４ｂと長手側分割予定ライン１３ａとの比較や、短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとの比較が容易になる。 Similarly, for example, when the short-side split schedule line 13b existing in the center of the workpiece 11 is targeted in the later split schedule line information acquisition step, the short-side blade existing in the center of the chuck table 14 is targeted. It is recommended to select the escape groove 14c as a reference. This facilitates the comparison between the longitudinal blade relief groove 14b and the longitudinal division scheduled line 13a, and the comparison between the short side blade relief groove 14c and the short side division scheduled line 13b.

逃げ溝情報取得ステップの後には、チャックテーブル１４に被加工物１１を搬入する被加工物搬入ステップを行う。図５（Ｂ）は、被加工物搬入ステップについて説明するための模式図である。被加工物搬入ステップでは、まず、収容領域６に収容されている被加工物１１の表面１１ａ側を第１搬送ユニット１８で保持し、裏面１１ｂ側が保持面１４ａに接触するように被加工物１１をチャックテーブル１４に載せる（搬入する）。 After the relief groove information acquisition step, a work piece carrying-in step of carrying the work piece 11 into the chuck table 14 is performed. FIG. 5 (B) is a schematic view for explaining the work loading step. In the work piece loading step, first, the front surface 11a side of the work piece 11 housed in the storage area 6 is held by the first transport unit 18, and the work piece 11 is brought into contact with the holding surface 14a so that the back surface 11b side is in contact with the holding surface 14a. Is placed (carried in) on the chuck table 14.

ここで、第１搬送ユニット１８は、予め決められた位置に被加工物１１を搬入するように制御ユニット５２で制御されている。そのため、被加工物１１は、例えば、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとが平面視で概ね重なり、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが平面視で概ね重なるようにチャックテーブル１４に載せられる。被加工物１１をチャックテーブル１４に載せた後には、バルブ５４を開いて被加工物１１に吸引源５６の負圧を作用させる。 Here, the first transport unit 18 is controlled by the control unit 52 so as to carry the workpiece 11 into a predetermined position. Therefore, in the workpiece 11, for example, the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b substantially overlap in a plan view, and the short side division scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c are in a plan view. It is placed on the chuck table 14 so as to be substantially overlapped with each other. After the workpiece 11 is placed on the chuck table 14, the valve 54 is opened to apply the negative pressure of the suction source 56 to the workpiece 11.

被加工物搬入ステップの後には、チャックテーブル１４に保持された被加工物１１の長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂに関する情報を取得する分割予定ライン情報取得ステップを行う。図６（Ａ）は、分割予定ライン情報取得ステップについて説明するための模式図である。 After the work piece loading step, a division schedule line information acquisition step for acquiring information on the longitudinal side split schedule line 13a and the short side split schedule line 13b of the work piece 11 held on the chuck table 14 is performed. FIG. 6A is a schematic diagram for explaining the planned division line information acquisition step.

分割予定ライン情報取得ステップでは、まず、チャックテーブル１４に対して撮像ユニット４６を相対的に移動させて、対象となる任意の長手側分割予定ライン１３ａ又は短手側分割予定ライン１３ｂの延長線上でデバイスチップが封止されていない外側の領域に形成されたターゲットパターン（不図示）の上方に撮像ユニット４６を位置付ける。そして、この撮像ユニット４６で被加工物１１の表面１１ａ側を撮像する。これにより、実際の長手側分割予定ライン１３ａ又は短手側分割予定ライン１３ｂに対応するターゲットパターンが写った画像（撮像画像）を形成できる。 In the planned division line information acquisition step, first, the imaging unit 46 is moved relative to the chuck table 14 on an extension line of an arbitrary longitudinal division schedule line 13a or a short side division schedule line 13b to be targeted. The imaging unit 46 is positioned above a target pattern (not shown) formed in the outer region where the device chip is not sealed. Then, the image pickup unit 46 images the surface 11a side of the workpiece 11. As a result, it is possible to form an image (captured image) in which the target pattern corresponding to the actual longitudinal division schedule line 13a or the short side division schedule line 13b is captured.

その後、撮像ユニット４６で形成された画像から、対象となる長手側分割予定ライン１３ａの角度、位置に関する情報や、対象となる短手側分割予定ライン１３ｂの角度、位置に関する情報を取得する。上述のように、保持面１４ａを撮像する際のチャックテーブル１４と撮像ユニット４６との位置関係や、撮像ユニット４６の視野の範囲（長さや広さ）等は既知である。 After that, from the image formed by the image pickup unit 46, information on the angle and position of the target longitudinal division scheduled line 13a and information on the angle and position of the target short side division schedule line 13b are acquired. As described above, the positional relationship between the chuck table 14 and the imaging unit 46 when imaging the holding surface 14a, the range (length and width) of the field of view of the imaging unit 46, and the like are known.

よって、長手側分割予定ライン１３ａに対応するターゲットパターンが写った画像から、パターンマッチング等の方法で長手側分割予定ライン１３ａの座標等の情報を取得することで、長手側分割予定ライン１３ａの角度、位置を算出できる。同様に、短手側分割予定ライン１３ｂに対応するターゲットパターンが写った画像から、パターンマッチング等の方法で短手側分割予定ライン１３ｂの座標等の情報を取得することで、短手側分割予定ライン１３ｂの角度、位置を算出できる。 Therefore, the angle of the longitudinal division schedule line 13a can be obtained by acquiring information such as the coordinates of the longitudinal division schedule line 13a from the image showing the target pattern corresponding to the longitudinal division schedule line 13a by a method such as pattern matching. , The position can be calculated. Similarly, by acquiring information such as the coordinates of the short side division schedule line 13b from the image showing the target pattern corresponding to the short side division schedule line 13b by a method such as pattern matching, the short side division schedule is planned. The angle and position of the line 13b can be calculated.

このようにして算出された長手側分割予定ライン１３ａの角度、位置に関する情報と、短手側分割予定ライン１３ｂの角度、位置に関する情報とは、上述した分割予定ライン情報記憶部５２ｂに記憶される。 The information regarding the angle and position of the long-side scheduled division line 13a calculated in this manner and the information regarding the angle and position of the short-side scheduled division line 13b are stored in the above-described division schedule line information storage unit 52b. ..

なお、対象となる長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂの選び方（位置や本数）に特段の制限はないが、例えば、被加工物１１の中央に存在する長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂを対象に選ぶと良い。被加工物１１の中央では、被加工物１１の伸縮や歪みに伴う長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂの伸縮や歪みが平均化されるためである。 There are no particular restrictions on how to select the target longitudinal side division schedule line 13a and the short side division schedule line 13b (position and number), but for example, the longitudinal side division schedule line existing in the center of the workpiece 11 It is preferable to select 13a and the line 13b scheduled to be divided on the short side. This is because, at the center of the workpiece 11, the expansion and contraction and strain of the longitudinal division scheduled line 13a and the lateral division scheduled line 13b due to the expansion and contraction and strain of the workpiece 11 are averaged.

具体的には、例えば、図２のように、複数の長手側分割予定ライン１３ａの中央（領域Ａ）に位置する長手側分割予定ライン１３ａを対象に選ぶと良い。また、例えば、複数の短手側分割予定ライン１３ｂの中央（領域Ｂ）に位置する短手側分割予定ライン１３ｂを対象に選ぶと良い。このように、被加工物１１の中央に存在する長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂを対象に選ぶことで、例えば、被加工物１１が扇状に変形するような場合でも、全ての長手側分割予定ライン１３ａ及び全ての短手側分割予定ライン１３ｂに対して平均的にずれを補正できる。 Specifically, for example, as shown in FIG. 2, it is preferable to select the longitudinal division scheduled line 13a located at the center (region A) of the plurality of longitudinal division scheduled lines 13a. Further, for example, it is preferable to select the short side division schedule line 13b located at the center (region B) of the plurality of short side division schedule lines 13b as a target. In this way, by selecting the longitudinal division scheduled line 13a and the lateral division scheduled line 13b existing in the center of the workpiece 11 as targets, for example, even when the workpiece 11 is deformed into a fan shape, for example, even if the workpiece 11 is deformed into a fan shape. The deviation can be corrected on average for all the scheduled lines 13a on the longitudinal side and all the scheduled lines 13b on the short side.

分割予定ライン情報取得ステップの後には、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとの角度ずれ量（例えば、Δθ１）及び位置ずれ量（例えば、ΔＸ１、ΔＹ１）と、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとの角度ずれ量（例えば、Δθ２）及び位置ずれ量（例えば、ΔＸ２、ΔＹ２）と、を算出するずれ量算出ステップを行う。 After the planned division line information acquisition step, the angle deviation amount (for example, Δθ1) and the misalignment amount (for example, ΔX1, ΔY1) between the longitudinal side division schedule line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b, and the short side division A deviation amount calculation step is performed to calculate the angle deviation amount (for example, Δθ2) and the positional deviation amount (for example, ΔX2, ΔY2) between the planned line 13b and the short side blade relief groove 14c.

具体的には、逃げ溝情報記憶部５２ａと分割予定ライン情報記憶部５２ｂとに記憶された情報に基づき、ずれ量算出部５２ｃが角度ずれ量及び位置ずれ量を算出する。すなわち、ずれ量算出部５２ｃは、基準となる長手側ブレード逃げ溝１４ｂの角度と、長手側分割予定ライン１３ａの角度とを比較して、その角度ずれ量を算出する。また、ずれ量算出部５２ｃは、基準となる長手側ブレード逃げ溝１４ｂの位置と、長手側分割予定ライン１３ａの位置とを比較して、その位置ずれ量を算出する。 Specifically, the deviation amount calculation unit 52c calculates the angle deviation amount and the position deviation amount based on the information stored in the relief groove information storage unit 52a and the scheduled division line information storage unit 52b. That is, the deviation amount calculation unit 52c compares the angle of the longitudinal blade relief groove 14b, which is a reference, with the angle of the longitudinal division scheduled line 13a, and calculates the angular deviation amount. Further, the deviation amount calculation unit 52c compares the position of the longitudinal blade relief groove 14b, which is a reference, with the position of the longitudinal division scheduled line 13a, and calculates the displacement amount.

同様に、ずれ量算出部５２ｃは、基準となる短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度と、短手側分割予定ライン１３ｂの角度とを比較して、その角度ずれ量を算出する。また、ずれ量算出部５２ｃは、基準となる短手側ブレード逃げ溝１４ｃの位置と、短手側分割予定ライン１３ｂの位置とを比較して、その位置ずれ量を算出する。 Similarly, the deviation amount calculation unit 52c compares the angle of the short side blade relief groove 14c, which is a reference, with the angle of the short side division scheduled line 13b, and calculates the angle deviation amount. Further, the deviation amount calculation unit 52c compares the position of the short side blade relief groove 14c, which is a reference, with the position of the short side division scheduled line 13b, and calculates the displacement amount.

ずれ量算出ステップの後には、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度及び位置の調整を適切に行えるか否かを判定する判定ステップを行う。具体的には、被加工物１１とチャックテーブル１４との角度、位置の関係を調整して長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとを重ねる場合に、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重なるか否かを判定部５２ｄで判定する。 After the deviation amount calculation step, a determination step is performed to determine whether or not the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 can be appropriately adjusted. Specifically, when the relationship between the angle and position of the workpiece 11 and the chuck table 14 is adjusted so that the longitudinal side split planned line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b are overlapped, the short side split scheduled line 13b The determination unit 52d determines whether or not the short side blade escape groove 14c overlaps with the short side blade relief groove 14c.

例えば、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとの角度ずれ量がΔθ１の場合には、チャックテーブル１４をΔθの回転量で回転させることで、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとを重ねられると考えられる。よって、判定部５２ｄは、チャックテーブル１４側をΔθの回転量で回転させた場合に、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重なるか否かを判定する。 For example, when the amount of angular deviation between the longitudinal split line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b is Δθ1, the chuck table 14 is rotated by the rotation amount of Δθ to rotate the chuck table 14 with the longitudinal split line 13a and the longitudinal side. It is considered that the blade escape groove 14b can be overlapped. Therefore, the determination unit 52d determines whether or not the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c overlap when the chuck table 14 side is rotated by the rotation amount of Δθ.

具体的には、まず、逃げ溝情報記憶部５２ａに記憶されている短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度、位置から、チャックテーブル１４をΔθの回転量で回転させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度、位置を求める。そして、逃げ溝情報記憶部５２ａに記憶されている短手側ブレード逃げ溝１４ｃの幅を考慮して、回転させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃに短手側分割予定ライン１３ｂが重なるか否かを判定する。 Specifically, first, from the angle and position of the short side blade relief groove 14c stored in the relief groove information storage unit 52a, the short side blade escape after rotating the chuck table 14 by the rotation amount of Δθ. Find the angle and position of the groove 14c. Then, in consideration of the width of the short side blade relief groove 14c stored in the relief groove information storage unit 52a, does the short side split scheduled line 13b overlap the short side blade relief groove 14c after rotation? Judge whether or not.

すなわち、回転させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃの情報と、分割予定ライン情報記憶部５２ｂに記憶されている短手側分割予定ライン１３ｂの情報と、を比較して、短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとが重なるか否かを判定する。 That is, the information of the short side blade relief groove 14c after rotation is compared with the information of the short side scheduled division line 13b stored in the split scheduled line information storage unit 52b, and the short side blade is compared. It is determined whether or not the relief groove 14c and the short side split scheduled line 13b overlap.

ここで、回転させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃに対して短手側分割予定ライン１３ｂがＸ軸方向にずれている場合には、例えば、被加工物１１を第１搬送ユニット１８でチャックテーブル１４から搬出した後にチャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させ、被加工物１１を再びチャックテーブル１４に搬入することで短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとを容易に重ねられる。 Here, when the short-side split scheduled line 13b is deviated in the X-axis direction with respect to the short-side blade relief groove 14c after rotation, for example, the workpiece 11 is transferred by the first transport unit 18. The chuck table 14 is moved in the X-axis direction after being carried out from the chuck table 14, and the workpiece 11 is carried back into the chuck table 14 to facilitate the short side blade relief groove 14c and the short side split scheduled line 13b. It is layered on.

一方で、回転させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃに対して短手側分割予定ライン１３ｂがＹ軸方向にずれている場合には、例えば、被加工物１１を第１搬送ユニット１８でチャックテーブル１４から搬出した後に搬送ユニット１８をＹ軸方向に移動させ、被加工物１１を再びチャックテーブル１４に搬入することで短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとを容易に重ねられる。 On the other hand, when the short side split scheduled line 13b is deviated in the Y-axis direction with respect to the short side blade relief groove 14c after rotation, for example, the workpiece 11 is transferred by the first transport unit 18. The transport unit 18 is moved in the Y-axis direction after being carried out from the chuck table 14, and the workpiece 11 is carried back into the chuck table 14 to facilitate the short side blade relief groove 14c and the short side split scheduled line 13b. It is layered on.

よって、これらの場合にも、短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとが重なると判定する。すなわち、回転させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃの位置と、分割予定ライン情報記憶部５２ｂに記憶されている短手側分割予定ライン１３ｂの位置とが、Ｘ軸方向又はＹ軸方向にずれている場合には、短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとが重なると判定する。 Therefore, even in these cases, it is determined that the short side blade relief groove 14c and the short side split scheduled line 13b overlap. That is, the position of the short side blade relief groove 14c after rotation and the position of the short side scheduled division line 13b stored in the planned division line information storage unit 52b are in the X-axis direction or the Y-axis direction. If they are misaligned, it is determined that the short side blade relief groove 14c and the short side split scheduled line 13b overlap.

なお、制御ユニット５２は、回転させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとのＸ軸方向又はＹ軸方向のずれ量を記憶しておく。このずれ量は、実際の調整に用いられる。 The control unit 52 stores the amount of deviation in the X-axis direction or the Y-axis direction between the short-side blade relief groove 14c and the short-side split scheduled line 13b after rotation. This amount of deviation is used for actual adjustment.

同様に、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとの角度ずれ量がΔθ１で、位置ずれ量がΔＸ１、ΔＹ１の場合には、チャックテーブル１４をΔθの回転量で回転させ、チャックテーブル１４をΔＸ１の移動量でＸ軸方向に移動させ、被加工物１１（第１搬送ユニット１８）をΔＹ２の移動量でＹ軸方向に移動させることで、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとを重ねられると考えられる。 Similarly, when the angular deviation amount between the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b is Δθ1 and the positional deviation amounts are ΔX1 and ΔY1, the chuck table 14 is rotated by the rotation amount of Δθ to chuck. By moving the table 14 in the X-axis direction with the movement amount of ΔX1 and moving the workpiece 11 (first transport unit 18) in the Y-axis direction with the movement amount of ΔY2, the longitudinal side split scheduled line 13a and the longitudinal side It is considered that the blade escape groove 14b can be overlapped.

よって、判定部５２ｄは、チャックテーブル１４側をΔθの回転量で回転させ、チャックテーブル１４をΔＸ１の移動量でＸ軸方向に移動させ、被加工物１１（第１搬送ユニット１８）をΔＹ２の移動量でＹ軸方向に移動させた場合に、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重なるか否かを判定する。 Therefore, the determination unit 52d rotates the chuck table 14 side with a rotation amount of Δθ, moves the chuck table 14 with the movement amount of ΔX1 in the X-axis direction, and moves the workpiece 11 (first transport unit 18) of ΔY2. It is determined whether or not the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c overlap when the movement amount is moved in the Y-axis direction.

具体的には、まず、逃げ溝情報記憶部５２ａに記憶されている短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度、位置から、チャックテーブル１４をΔθの回転量で回転させ、チャックテーブル１４をΔＸ１の移動量でＸ軸方向に移動させた後の、短手側ブレード逃げ溝１４ｃの角度、位置を求める。 Specifically, first, the chuck table 14 is rotated by a rotation amount of Δθ from the angle and position of the short side blade relief groove 14c stored in the relief groove information storage unit 52a, and the chuck table 14 is moved by ΔX1. The angle and position of the short side blade relief groove 14c after being moved in the X-axis direction by the amount are obtained.

また、分割予定ライン情報記憶部５２ｂに記憶されている短手側分割予定ライン１３ｂの角度、位置から、被加工物１１（第１搬送ユニット１８）をΔＹ２の移動量でＹ軸方向に移動させた後の短手側分割予定ライン１３ｂの角度、位置を求める。 Further, the workpiece 11 (first transport unit 18) is moved in the Y-axis direction by the movement amount of ΔY2 from the angle and position of the short side scheduled division line 13b stored in the scheduled division line information storage unit 52b. The angle and position of the line 13b scheduled to be divided on the short side after the operation are obtained.

そして、逃げ溝情報記憶部５２ａに記憶されている短手側ブレード逃げ溝１４ｃの幅を考慮して、回転、移動させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃに、移動させた後の短手側分割予定ライン１３ｂが重なるか否かを判定する。すなわち、回転、移動させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃの情報と、移動させた後の短手側分割予定ライン１３ｂの情報と、を比較して、短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとが重なるか否かを判定する。 Then, in consideration of the width of the short side blade relief groove 14c stored in the relief groove information storage unit 52a, the short side after being moved to the short side blade relief groove 14c after being rotated and moved. It is determined whether or not the side division scheduled lines 13b overlap. That is, the information on the short side blade relief groove 14c after being rotated and moved is compared with the information on the short side split scheduled line 13b after being moved, and the short side blade relief groove 14c and the short side are compared. It is determined whether or not the line 13b scheduled to be divided on the hand side overlaps.

なお、この場合にも、回転、移動させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃの位置と、移動させた後の短手側分割予定ライン１３ｂの位置とが、Ｘ軸方向又はＹ軸方向にずれている場合には、短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとが重なると判定する。制御ユニット５２は、回転、移動させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃと、移動させた後の短手側分割予定ライン１３ｂとのＸ軸方向又はＹ軸方向のずれ量を記憶しておく。このずれ量は、実際の調整に用いられる。 Also in this case, the position of the short side blade relief groove 14c after rotation and movement and the position of the short side split scheduled line 13b after moving are in the X-axis direction or the Y-axis direction. If they are misaligned, it is determined that the short side blade relief groove 14c and the short side split scheduled line 13b overlap. The control unit 52 stores the amount of deviation in the X-axis direction or the Y-axis direction between the short-side blade relief groove 14c after rotation and movement and the short-side split scheduled line 13b after movement. .. This amount of deviation is used for actual adjustment.

長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとを重ねた状態で、短手側ブレード逃げ溝１４ｃと短手側分割予定ライン１３ｂとが重なるということは、そのような調整によってチャックテーブル１４を破損させることなく被加工物１１を加工できることを意味する。 The fact that the short side blade relief groove 14c and the short side split planned line 13b overlap with each other in a state where the long side split scheduled line 13a and the long side blade relief groove 14b are overlapped with each other means that the chuck table 14 is adjusted by such adjustment. It means that the workpiece 11 can be processed without damaging the work piece 11.

つまり、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重なるという判定は、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度及び位置の調整を適切に行うことができ、調整後に被加工物１１を長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂに沿って切削してもチャックテーブル１４の保持面１４ａを切削して傷つけない、という判定に相当する。一方で、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重ならないという判定は、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度及び位置の調整を適切に行えず、調整後に被加工物１１を長手側分割予定ライン１３ａ及び短手側分割予定ライン１３ｂに沿って切削するとチャックテーブル１４の保持面１４ａを切削して傷つける、という判定に相当する。 That is, the determination that the short-side split scheduled line 13b and the short-side blade relief groove 14c overlap can appropriately adjust the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11, and can be processed after the adjustment. It corresponds to the determination that the holding surface 14a of the chuck table 14 is not damaged even if the object 11 is cut along the long-side scheduled division line 13a and the short-side side split scheduled line 13b. On the other hand, the determination that the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c do not overlap means that the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 cannot be properly adjusted, and the work is processed after the adjustment. It corresponds to the determination that when the object 11 is cut along the longitudinal side split scheduled line 13a and the short side split scheduled line 13b, the holding surface 14a of the chuck table 14 is cut and damaged.

被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度、位置の調整を適切に行えないと判定された場合には、次に、その旨をオペレータ等に報知（通知）する報知ステップを行う。すなわち、判定部５２ｄにおいて短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重ならないと判定された場合に、報知部５２ｅは、その旨をオペレータ等に報知する。 If it is determined that the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 cannot be adjusted appropriately, then a notification step is performed to notify (notify) the operator or the like to that effect. That is, when the determination unit 52d determines that the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c do not overlap, the notification unit 52e notifies the operator or the like to that effect.

報知部５２ｅからの報知に基づき、例えば、オペレータは、対象の被加工物１１の加工を停止させることができる。そのため、この被加工物１１を無理に加工してチャックテーブル１４が破損してしまうことはない。なお、制御ユニット５２は、報知部５２ｅによる報知に合わせて、切削装置２による被加工物１１の加工を停止させても良い。 Based on the notification from the notification unit 52e, for example, the operator can stop the processing of the target work piece 11. Therefore, the chuck table 14 is not damaged by forcibly processing the workpiece 11. The control unit 52 may stop the machining of the workpiece 11 by the cutting device 2 in accordance with the notification by the notification unit 52e.

これに対して、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度、位置の調整を適切に行えると判定された場合、すなわち、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重なると判定された場合には、次に、被加工物１１をチャックテーブル１４から搬出する被加工物搬出ステップを行う。図６（Ｂ）は、被加工物搬出ステップ等について説明するための模式図である。 On the other hand, when it is determined that the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 can be adjusted appropriately, that is, when the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c overlap. If it is determined, next, a work piece unloading step of carrying out the work piece 11 from the chuck table 14 is performed. FIG. 6B is a schematic view for explaining a work piece unloading step and the like.

被加工物搬出ステップでは、まず、バルブ５４を開いて吸引源５６の負圧を遮断する。次に、保持面１４ａ上の被加工物１１の表面１１ａ側を第１搬送ユニット１８で保持し、この被加工物１１をチャックテーブル１４から持ち上げる（搬出する）。なお、この被加工物搬出ステップでは、少なくとも、チャックテーブル１４の回転及び移動に影響が出ない程度に被加工物１１をチャックテーブル１４から持ち上げることができれば良い。 In the work piece unloading step, first, the valve 54 is opened to shut off the negative pressure of the suction source 56. Next, the surface 11a side of the workpiece 11 on the holding surface 14a is held by the first transport unit 18, and the workpiece 11 is lifted (carried out) from the chuck table 14. In this work piece unloading step, it is sufficient that the work piece 11 can be lifted from the chuck table 14 at least to the extent that the rotation and movement of the chuck table 14 are not affected.

被加工物搬出ステップの後には、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度及び位置を調整する調整ステップを行う。この調整ステップでは、上述の判定ステップで長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとを重ねるために設定されたチャックテーブル１４の回転量に合わせて、チャックテーブル１４を回転させる。 After the work piece unloading step, an adjustment step for adjusting the angle and position of the chuck table 14 with respect to the work piece 11 is performed. In this adjustment step, the chuck table 14 is rotated according to the rotation amount of the chuck table 14 set for overlapping the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b in the determination step described above.

また、上述の判定ステップで長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとを重ねるために設定されたチャックテーブル１４の移動量に合わせて、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させる。更に、上述の判定ステップで長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとを重ねるために設定された搬送ユニット１８の移動量に合わせて、搬送ユニット１８をＹ軸方向へ移動させる。 Further, the chuck table 14 is moved in the X-axis direction according to the movement amount of the chuck table 14 set for overlapping the longitudinal side split scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b in the above-mentioned determination step. Further, the transport unit 18 is moved in the Y-axis direction according to the movement amount of the transport unit 18 set for overlapping the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b in the above-mentioned determination step.

なお、上述の判定ステップにおいて、回転、移動させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃと、移動させた後の短手側分割予定ライン１３ｂとがＸ軸方向にずれていた場合には、そのずれ量を加味してチャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させる。また、上述の判定ステップにおいて、回転、移動させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃと、移動させた後の短手側分割予定ライン１３ｂとがＹ軸方向にずれていた場合には、そのずれ量を加味して搬送ユニット１８をＹ軸方向へ移動させる。 In the above-mentioned determination step, if the short side blade relief groove 14c after being rotated and moved and the short side split scheduled line 13b after being moved are deviated in the X-axis direction, the difference is found. The chuck table 14 is moved in the X-axis direction in consideration of the amount of deviation. Further, in the above-mentioned determination step, if the short side blade relief groove 14c after being rotated and moved and the short side split scheduled line 13b after being moved are deviated in the Y-axis direction, the same is determined. The transport unit 18 is moved in the Y-axis direction in consideration of the amount of deviation.

調整ステップの後には、被加工物１１を再びチャックテーブル１４に搬入する被加工物再搬入ステップを行う。図７（Ａ）は、被加工物再搬入ステップについて説明するための模式図である。この被加工物再搬入ステップでは、第１搬送ユニット１８に保持されている被加工物１１の裏面１１ｂ側が保持面１４ａに接触するように、この被加工物１１をチャックテーブル１４に載せる（搬入する）。 After the adjustment step, a work piece re-carrying step of carrying the work piece 11 back into the chuck table 14 is performed. FIG. 7A is a schematic view for explaining the step of re-carrying the workpiece. In this work piece re-carrying step, the work piece 11 is placed (carried in) on the chuck table 14 so that the back surface 11b side of the work piece 11 held by the first transport unit 18 comes into contact with the holding surface 14a. ).

第１搬送ユニット１８は、予め決められた位置に被加工物１１を搬入するように制御ユニット５２で制御されており、上述した調整ステップでの調整（すなわち、搬送ユニット１８のＹ軸方向への移動量）に応じた位置に被加工物１１を搬入する。 The first transfer unit 18 is controlled by the control unit 52 so as to carry the workpiece 11 into a predetermined position, and is adjusted in the above-mentioned adjustment step (that is, in the Y-axis direction of the transfer unit 18). The workpiece 11 is carried in at a position corresponding to the amount of movement).

そのため、被加工物１１をチャックテーブル１４に載せると、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとが平面視で重なり、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが平面視で重なることになる。被加工物１１をチャックテーブル１４に載せた後には、バルブ５４を開いて被加工物１１に吸引源５６の負圧を作用させる。以上により、本実施形態に係るチャックテーブル１４の調整方法が完了する。 Therefore, when the workpiece 11 is placed on the chuck table 14, the longitudinal split line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b overlap in a plan view, and the short side split line 13b and the short blade relief groove 14c overlap. Will overlap in a plan view. After the workpiece 11 is placed on the chuck table 14, the valve 54 is opened to apply the negative pressure of the suction source 56 to the workpiece 11. As described above, the adjustment method of the chuck table 14 according to the present embodiment is completed.

本実施形態に係る被加工物１１の加工方法では、上述した被加工物再搬入ステップに続いて、被加工物１１を加工（切削）する加工ステップ（切削ステップ）を行う。図７（Ｂ）は、加工ステップについて説明するための模式図である。加工ステップでは、例えば、チャックテーブル１４を回転させて、任意の長手側分割予定ライン１３ａの伸長する方向を切削装置２のＸ軸方向に合わせる。 In the processing method of the workpiece 11 according to the present embodiment, a machining step (cutting step) for machining (cutting) the workpiece 11 is performed following the above-mentioned step of reloading the workpiece 11. FIG. 7B is a schematic view for explaining the machining step. In the machining step, for example, the chuck table 14 is rotated so that the extension direction of the arbitrary longitudinal division scheduled line 13a is aligned with the X-axis direction of the cutting device 2.

また、チャックテーブル１４及び切削ユニット２０を相対的に移動させて、例えば、任意の長手側分割予定ライン１３ａの延長線上に切削ブレード４４の位置を合わせる。そして、切削ブレード４４の下端を被加工物１１の裏面１１ｂより低い位置まで移動させる。 Further, the chuck table 14 and the cutting unit 20 are relatively moved to align the cutting blade 44 with, for example, an extension line of an arbitrary longitudinal division scheduled line 13a. Then, the lower end of the cutting blade 44 is moved to a position lower than the back surface 11b of the workpiece 11.

その後、切削ブレード４４を回転させながら、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させる。これにより、任意の長手側分割予定ライン１３ａに沿って切削ブレード４４を切り込ませ、被加工物１１を切断できる。 After that, the chuck table 14 is moved in the X-axis direction while rotating the cutting blade 44. As a result, the cutting blade 44 can be cut along the arbitrary longitudinal division scheduled line 13a, and the workpiece 11 can be cut.

この動作を繰り返し、全ての長手側分割予定ライン１３ａに沿って被加工物１１を切断、分割した後には、チャックテーブル１４を回転させて、任意の短手側分割予定ライン１３ｂの伸長する方向を切削装置２のＸ軸方向に合わせる。 This operation is repeated to cut and divide the workpiece 11 along all the longitudinal division schedule lines 13a, and then the chuck table 14 is rotated to determine the extending direction of the arbitrary short side division schedule line 13b. Align with the X-axis direction of the cutting device 2.

また、チャックテーブル１４及び切削ユニット２０を相対的に移動させて、任意の短手側分割予定ライン１３ｂの延長線上に切削ブレード４４の位置を合わせる。そして、切削ブレード４４の下端を被加工物１１の裏面１１ｂより低い位置まで移動させる。 Further, the chuck table 14 and the cutting unit 20 are relatively moved to align the cutting blade 44 on the extension line of the arbitrary short side split scheduled line 13b. Then, the lower end of the cutting blade 44 is moved to a position lower than the back surface 11b of the workpiece 11.

その後、切削ブレード４４を回転させながら、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させる。これにより、任意の短手側分割予定ライン１３ｂに沿って切削ブレード４４を切り込ませ、被加工物１１を切断できる。この動作を繰り返し、全ての短手側分割予定ライン１３ｂに沿って被加工物１１が切断、分割されると、加工ステップは終了する。 After that, the chuck table 14 is moved in the X-axis direction while rotating the cutting blade 44. As a result, the cutting blade 44 can be cut along the arbitrary short side split scheduled line 13b, and the workpiece 11 can be cut. When this operation is repeated and the workpiece 11 is cut and divided along all the short side division schedule lines 13b, the processing step ends.

以上のように、本実施形態に係る切削装置（加工装置）２は、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとが重なるように被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度、位置を調整する場合に、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重なるか否かを判定する判定部５２ｄと、判定部５２ｄで短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重ならないと判定された場合に、その旨をオペレータに報知する報知部５２ｅと、を備えている。 As described above, the cutting apparatus (processing apparatus) 2 according to the present embodiment sets the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 so that the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b overlap. When making adjustments, the determination unit 52d determines whether or not the short-side split scheduled line 13b and the short-side blade relief groove 14c overlap, and the determination unit 52d determines whether the short-side split schedule line 13b and the short-side blade escape groove 14c overlap. When it is determined that the escape groove 14c does not overlap, the notification unit 52e is provided to notify the operator to that effect.

つまり、被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度、位置がずれている際に、被加工物１１を切削することでチャックテーブル１４の保持面１４ａに切削ブレード４４を切り込ませてしまう可能性の高い長手側分割予定ライン１３ａ及び長手側ブレード逃げ溝１４ｂを重視して被加工物１１に対するチャックテーブル１４の角度、位置を調整し、その上で短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重ならない場合にはその旨が報知されるので、この場合に被加工物１１を無理に加工してチャックテーブル１４が破損することはない。 That is, when the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 are deviated, there is a possibility that the cutting blade 44 may be cut into the holding surface 14a of the chuck table 14 by cutting the workpiece 11. Adjust the angle and position of the chuck table 14 with respect to the workpiece 11 with an emphasis on the high longitudinal division schedule line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b, and then adjust the short side division schedule line 13b and the short side blade relief. If the grooves 14c do not overlap with each other, a notification to that effect is given. In this case, the workpiece 11 is not forcibly machined and the chuck table 14 is not damaged.

なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、被加工物１１を切削ブレード４４で切削する切削装置２について説明しているが、本発明の加工装置は、被加工物１１をレーザービームで加工するレーザー加工装置等でも良い。 The present invention is not limited to the description of the above embodiment, and can be implemented with various modifications. For example, in the above embodiment, the cutting device 2 that cuts the workpiece 11 with the cutting blade 44 is described, but the machining apparatus of the present invention may also be a laser machining apparatus that processes the workpiece 11 with a laser beam. good.

また、上記実施形態の判定ステップでは、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとの関係のみを考慮して、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとを重ねた場合に、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとが重なるか否かを判定しているが、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとの重ね方に制限はない。 Further, in the determination step of the above embodiment, when the longitudinal division planned line 13a and the longitudinal blade escape groove 14b are overlapped with each other in consideration of only the relationship between the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b. In addition, it is determined whether or not the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c overlap, but there is a limitation on how the longitudinal side split scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b overlap. Absent.

例えば、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとの関係を加味して、チャックテーブル１４の回転量、チャックテーブル１４の移動量、被加工物１１（第１搬送ユニット１８）の移動量を設定（算出）しても良い。具体的には、例えば、長手側分割予定ライン１３ａの長さと短手側分割予定ライン１３ｂの長さとの和に対する長手側分割予定ライン１３ａの長さ及び短手側分割予定ライン１３ｂの長さに応じて、チャックテーブル１４の回転量を設定することが考えられる。 For example, considering the relationship between the short side split scheduled line 13b and the short side blade relief groove 14c, the amount of rotation of the chuck table 14, the amount of movement of the chuck table 14, and the workpiece 11 (first transport unit 18). You may set (calculate) the amount of movement of. Specifically, for example, the length of the long-side planned division line 13a and the length of the short-side planned division line 13b with respect to the sum of the length of the long-side planned division line 13a and the length of the short-side planned division line 13b. It is conceivable to set the amount of rotation of the chuck table 14 accordingly.

例えば、長手側分割予定ライン１３ａの長さがｘ、短手側分割予定ライン１３ｂの長さがｙ、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとの角度ずれ量がΔθ１、短手側分割予定ライン１３ｂと短手側ブレード逃げ溝１４ｃとの角度ずれ量がΔθ２の場合には、Δθ１・ｘ／（ｘ＋ｙ）＋Δθ２・ｙ／（ｘ＋ｙ）の値をチャックテーブル１４の回転量に設定する。 For example, the length of the longitudinal division schedule line 13a is x, the length of the short side division schedule line 13b is y, the angle deviation between the longitudinal side division schedule line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b is Δθ1, and the short side is short. When the amount of angular deviation between the scheduled side division line 13b and the short side blade relief groove 14c is Δθ2, the value of Δθ1 · x / (x + y) + Δθ2 · y / (x + y) is set as the rotation amount of the chuck table 14. To do.

このように、長手側分割予定ライン１３ａの長さと短手側分割予定ライン１３ｂの長さとの比率に応じてチャックテーブル１４の回転量を設定することで、回転させた後の短手側ブレード逃げ溝１４ｃに対して短手側分割予定ライン１３ｂが重なり易くなる。ただし、この場合にも、長手側分割予定ライン１３ａと長手側ブレード逃げ溝１４ｂとが重なっていなくてはならない。 In this way, by setting the amount of rotation of the chuck table 14 according to the ratio between the length of the long-side scheduled split line 13a and the length of the short-side scheduled split line 13b, the short-side blade escapes after rotation. The short side split line 13b is likely to overlap the groove 14c. However, also in this case, the longitudinal division scheduled line 13a and the longitudinal blade relief groove 14b must overlap.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, etc. according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

２ 切削装置（加工装置）
４ 基台
４ａ 開口
６ 収容領域
８ Ｘ軸移動テーブル
１０ Ｘ軸移動機構（移動ユニット）
１２ 防塵防滴カバー
１４ チャックテーブル
１４ａ 保持面
１４ｂ 長手側ブレード逃げ溝
１４ｃ 短手側ブレード逃げ溝
１４ｄ 吸引孔
１４ｅ 流路
１６ 回転駆動機構（回転ユニット）
１８ 第１搬送ユニット
２０ 切削ユニット（加工ユニット）
２２ 支持構造
２４ 切削ユニット移動機構（移動ユニット）
２６ Ｙ軸ガイドレール
２８ Ｙ軸移動プレート
３０ Ｙ軸ボールネジ
３２ Ｙ軸パルスモータ
３４ Ｚ軸ガイドレール
３６ Ｚ軸移動プレート
３８ Ｚ軸ボールネジ
４０ Ｚ軸パルスモータ
４２ スピンドル
４４ 切削ブレード
４６ 撮像ユニット（カメラ）
４８ 回収領域
５０ 第２搬送ユニット
５２ 制御ユニット
５２ａ 逃げ溝情報記憶部
５２ｂ 分割予定ライン情報記憶部
５２ｃ ずれ量算出部
５２ｄ 判定部
５２ｅ 報知部
５４ バルブ
５６ 吸引源
１１ 被加工物
１１ａ 表面
１１ｂ 裏面
１３ａ 長手側分割予定ライン（ストリート）
１３ｂ 短手側分割予定ライン（ストリート）
１５ 領域 2 Cutting equipment (processing equipment)
4 Base 4a Opening 6 Accommodation area 8 X-axis moving table 10 X-axis moving mechanism (moving unit)
12 Dust-proof and drip-proof cover 14 Chuck table 14a Holding surface 14b Long-side blade relief groove 14c Short-side blade relief groove 14d Suction hole 14e Flow path 16 Rotation drive mechanism (rotation unit)
18 1st transport unit 20 Cutting unit (machining unit)
22 Support structure 24 Cutting unit movement mechanism (movement unit)
26 Y-axis guide rail 28 Y-axis moving plate 30 Y-axis ball screw 32 Y-axis pulse motor 34 Z-axis guide rail 36 Z-axis moving plate 38 Z-axis ball screw 40 Z-axis pulse motor 42 Spindle 44 Cutting blade 46 Imaging unit (camera)
48 Recovery area 50 Second transport unit 52 Control unit 52a Relief groove information storage unit 52b Scheduled division line information storage unit 52c Misalignment amount calculation unit 52d Judgment unit 52e Notification unit 54 Valve 56 Suction source 11 Work piece 11a Front surface 11b Back surface 13a Longitudinal Scheduled side split line (street)
13b Line to be split on the short side (street)
15 areas

Claims (3)

長手方向に延びる複数の長手側分割予定ラインと、該長手方向と交差する方向に延びる複数の短手側分割予定ラインと、を表面に有する被加工物の該長手側分割予定ラインに対応する長手側ブレード逃げ溝と、該短手側分割予定ラインに対応する短手側ブレード逃げ溝と、を保持面に備え、該保持面で該被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該チャックテーブルを該保持面に平行な方向へ移動させる移動ユニットと、該チャックテーブルを該保持面に垂直な回転軸の周りに回転させる回転ユニットと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、該被加工物を該チャックテーブルに搬入し又は該チャックテーブルから搬出する搬送ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、
基準となる角度及び位置に合わせた該チャックテーブルの該保持面を撮像して得られる撮像画像から求めた該長手側ブレード逃げ溝の角度、位置、幅に関する情報と、該短手側ブレード逃げ溝の角度、位置、幅に関する情報と、を記憶する逃げ溝情報記憶部と、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像して得られる撮像画像から求めた該長手側分割予定ラインの角度及び位置に関する情報と、該短手側分割予定ラインの角度及び位置に関する情報と、を記憶する分割予定ライン情報記憶部と、
該逃げ溝情報記憶部と該分割予定ライン情報記憶部とに記憶された情報に基づき、該長手側分割予定ラインと該長手側ブレード逃げ溝とのずれ量と、該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝とのずれ量と、を算出するずれ量算出部と、
該長手側分割予定ラインと該長手側ブレード逃げ溝とが重なるように該チャックテーブルと被加工物とを相対的に移動させて該被加工物に対する該チャックテーブルの角度、位置を調整する場合に、該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝とが重なるか否かを判定する判定部と、
該判定部で該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝とが重ならないと判定された場合に、その旨をオペレータに報知する報知部と、を備え、
該判定部で該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝とが重なると判定された場合に、該搬送ユニットで該被加工物を該チャックテーブルから該搬送ユニットで搬出した上で、該チャックテーブルを回転させ、該チャックテーブルを移動させ、又は被加工物を保持した搬送ユニットを移動させることで、該チャックテーブルに再び搬入される該被加工物の該長手側分割予定ラインと該長手側ブレード逃げ溝とが重なるように、該被加工物に対する該チャックテーブルの角度、位置を調整することを特徴とする加工装置。 A length corresponding to the longitudinal division schedule line of the workpiece having a plurality of longitudinal division schedule lines extending in the longitudinal direction and a plurality of short side division schedule lines extending in a direction intersecting the longitudinal direction on the surface. A chuck table having a side blade relief groove and a short side blade relief groove corresponding to the planned division line on the short side on the holding surface, and holding the workpiece on the holding surface, and holding the work piece on the chuck table. A processing unit for processing the work piece, a moving unit for moving the chuck table in a direction parallel to the holding surface, and a rotating unit for rotating the chuck table around a rotation axis perpendicular to the holding surface. An imaging unit that images the work piece held on the chuck table, a transport unit that carries the work piece into or out of the chuck table, and a control unit that controls each component. It is a processing device equipped with
The control unit is
Information on the angle, position, and width of the longitudinal blade relief groove obtained from the image obtained by imaging the holding surface of the chuck table according to the reference angle and position, and the short side blade relief groove. An escape groove information storage unit that stores information about the angle, position, and width of the
Information on the angle and position of the longitudinal division scheduled line and information on the angle and position of the short side division schedule line obtained from an image obtained by imaging the workpiece held on the chuck table. The division schedule line information storage unit that stores ,, and
Based on該逃up groove information storage unit and the dividing line information storage unit and the information stored, and the amount of deviation between the longitudinal side dividing line and the longitudinal side blade relief groove, a short-hand side dividing lines A deviation amount calculation unit for calculating the deviation amount from the short side blade relief groove, and
When adjusting the angle and position of the chuck table with respect to the workpiece by relatively moving the chuck table and the workpiece so that the longitudinal division scheduled line and the longitudinal blade relief groove overlap. , A determination unit for determining whether or not the short side split scheduled line and the short side blade relief groove overlap.
When the determination unit determines that the short side division scheduled line and the short side blade relief groove do not overlap, a notification unit for notifying the operator to that effect is provided.
When the determination unit determines that the short-side split scheduled line and the short-side blade relief groove overlap, the transfer unit carries out the workpiece from the chuck table with the transfer unit. By rotating the chuck table, moving the chuck table, or moving the transport unit holding the workpiece, the line to be divided on the longitudinal side of the workpiece to be carried back into the chuck table the long as the hand-side blade clearance groove is heavy, the angle of the chuck table for the workpiece, machining apparatus characterized by adjusting the position. 該長手側分割予定ラインと該長手側ブレード逃げ溝との該ずれ量を算出する際に用いられる該長手側分割予定ラインは、複数の該長手側分割予定ラインの中央に位置する該長手側分割予定ラインであり、
該短手側分割予定ラインと該短手側ブレード逃げ溝との該ずれ量を算出する際に用いられる該短手側分割予定ラインは、複数の該短手側分割予定ラインの中央に位置する該短手側分割予定ラインであることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。 The longitudinal division schedule line used in calculating the amount of deviation between the longitudinal division schedule line and the longitudinal blade relief groove is the longitudinal division scheduled line located at the center of a plurality of the longitudinal division schedule lines. It is a planned line,
The short-side split schedule line used in calculating the amount of deviation between the short-side split schedule line and the short-side blade relief groove is located at the center of a plurality of short-side split schedule lines. processing apparatus according to claim 1, characterized in that the said shorter side dividing lines. 該判定部は、該長手側分割予定ラインの長さと該短手側分割予定ラインの長さとの和に対する該長手側分割予定ラインの長さ及び該短手側分割予定ラインの長さに応じて該チャックテーブルの回転量を算出することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の加工装置。 The determination unit depends on the length of the longitudinal division schedule line and the length of the short side division schedule line with respect to the sum of the length of the longitudinal side division schedule line and the length of the short side division schedule line. The processing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the amount of rotation of the chuck table is calculated.
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