JP6887360B2 - Method for manufacturing polarizing device and photoalignment film - Google Patents

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本発明は、偏光装置、及び光配向膜の製造方法に関する。 The present invention relates to a polarizing device and a method for producing a photoalignment film.

従来、液晶分子を配向させる配向膜を形成するため、ラビング処理が配向膜に行われてきた。近年、ラビング処理に代えて、透明樹脂フィルム、又はガラス基板に光配向膜を形成し、直線偏光紫外線を、配向膜に照射し、配向を行う光配向処理が行われている。 Conventionally, in order to form an alignment film for aligning liquid crystal molecules, a rubbing treatment has been performed on the alignment film. In recent years, instead of the rubbing treatment, a photoalignment treatment is performed in which a photoalignment film is formed on a transparent resin film or a glass substrate, and the alignment film is irradiated with linearly polarized ultraviolet rays to perform orientation.

光配向処理では、一般的に直線偏光を得るために、一方向に沿って並べられた複数のワイヤーグリッド偏光子と、紫外線を放射する光源と、を備える偏光光照射装置が用いられる。しかしながら、偏光子の製作工程において、偏光子の偏光方向にバラツキを含む場合がある。そのため、各偏光子の偏光方向を調整する機構を偏光光照射装置に設けることが提案されている。 In the photoalignment process, in order to obtain linearly polarized light, a polarized light irradiation device including a plurality of wire grid polarizers arranged in one direction and a light source that emits ultraviolet rays is generally used. However, in the process of manufacturing the polarizer, there may be variations in the polarization direction of the polarizer. Therefore, it has been proposed to provide a mechanism for adjusting the polarization direction of each polarizer in the polarized light irradiation device.

例えば、特許文献1には、偏光子の対向する2辺の一方の辺に当接された調整部と弾性部と、他方の辺に当接された支持部とを備える機構が開示されている。この機構は、調整部の突出部の長さを調整することにより、支持部を支点に偏光子を回転移動させて、偏光子の偏光方向を調整する。 For example, Patent Document 1 discloses a mechanism including an adjusting portion and an elastic portion abutting on one side of two opposing sides of a polarizer, and a supporting portion abutting on the other side. .. In this mechanism, by adjusting the length of the protruding portion of the adjusting portion, the polarizing element is rotationally moved around the supporting portion as a fulcrum, and the polarization direction of the polarizer is adjusted.

特開2017−058622号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-058622

特許文献1に記載された機構では、一方の辺と当接する調整部と弾性部と、他方の辺に当接する支持部とを利用して偏光子を回転移動させている。そのため、一方の辺又は他方の辺に何らかの力が加わると、その力が偏光子に加わり、偏光子に破損等が生じる原因となる。特に、各偏光子の周縁を、それぞれ保持する枠部を有しない場合、偏光子は破損等を生じやすくなる。 In the mechanism described in Patent Document 1, the polarizer is rotationally moved by using an adjusting portion and an elastic portion that come into contact with one side and a supporting portion that comes into contact with the other side. Therefore, when some force is applied to one side or the other side, the force is applied to the polarizer, which causes damage to the polarizer or the like. In particular, when the peripheral edge of each polarizer does not have a frame portion for holding the peripheral edge of each polarizer, the polarizer is liable to be damaged.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、偏光子に加わる力を低減できる調整機構を備える偏光装置、及び光配向膜の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a polarizing device provided with an adjusting mechanism capable of reducing a force applied to a polarizer, and a method for manufacturing a photoalignment film.

第1の態様に係る偏光装置は、一方向に配列された複数の四角形の偏光子と、偏光子の一辺の側に配置され、偏光子を回転させる調整機構と、を備える光源からの光を偏光する偏光装置であって、調整機構は、偏光子の対向する面を把持する把持部と、把持部に配置された支点と、支点を中心に把持部を回転させる作動部と、を備える。 The polarizing device according to the first aspect emits light from a light source including a plurality of rectangular polarizing elements arranged in one direction and an adjusting mechanism arranged on one side of the polarizing elements to rotate the polarizing elements. A polarizing device that polarizes, the adjusting mechanism includes a grip portion that grips the opposing surfaces of the polarizer, a fulcrum that is arranged on the grip portion, and an actuating portion that rotates the grip portion around the fulcrum.

第2の態様に係る偏光装置において、偏光子の一辺と対向する他辺に配置され、偏光子の他辺の側を支持する支持部を備える。 In the polarizing device according to the second aspect, a support portion is provided which is arranged on the other side facing one side of the polarizer and supports the other side of the polarizer.

第3の態様に係る偏光装置において、支持部が、溝付きのローラと、ローラを調整機構の側に付勢する弾性部材と、を備える。 In the polarizing device according to the third aspect, the support portion includes a grooved roller and an elastic member that urges the roller to the side of the adjusting mechanism.

第4の態様に係る偏光装置において、把持部が、偏光子の一辺の長さに対して50%以上80%以下の長さを有する。 In the polarizing device according to the fourth aspect, the grip portion has a length of 50% or more and 80% or less with respect to the length of one side of the polarizer.

第5の態様に係る偏光装置において、隣接する偏光子が、偏光子の厚み方向において距離を置いて配置される。 In the polarizing device according to the fifth aspect, adjacent polarizing elements are arranged at a distance in the thickness direction of the polarizing elements.

第6の態様に係る偏光装置において、隣接する偏光子が、偏光子を平面視で一部重なり合う。 In the polarizing device according to the sixth aspect, adjacent polarizers partially overlap the polarizer in a plan view.

第7の態様に係る偏光装置において、作動部が、付勢機構と付勢機構に対して動作する送りネジとを有する。 In the polarizing device according to the seventh aspect, the operating portion has an urging mechanism and a feed screw that operates with respect to the urging mechanism.

第8の態様に係る偏光装置において、送りネジの長さ方向が、複数の偏光子の配列された一方向と平行である。 In the polarizing device according to the eighth aspect, the length direction of the lead screw is parallel to one direction in which a plurality of polarizers are arranged.

第9の態様に係る偏光装置において、偏光子が、ワイヤーグリッド偏光子である。 In the polarizing device according to the ninth aspect, the polarizer is a wire grid polarizer.

第10の態様に係る光配向膜の製造方法は、表面に光配向膜用材料が形成された対象物を搬送するステップと、光源からの光を、上記の偏光装置を介して偏光し、偏光した光を光配向膜用材料に照射するステップと、を含む。 The method for producing a photoalignment film according to a tenth aspect includes a step of transporting an object having a photoalignment film material formed on its surface, and polarization of light from a light source via the above-mentioned polarizing device. Includes a step of irradiating the material for the photoalignment film with the resulting light.

本発明によれば、偏光子に加わる力を低減できる調整機構を備える偏光装置、及び光配向膜の製造方法を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a polarizing device provided with an adjusting mechanism capable of reducing a force applied to a polarizer, and a method for manufacturing a photoalignment film.

図1は、実施形態の偏光装置を含む製造設備の全体の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of the entire manufacturing facility including the polarizing device of the embodiment. 図2は、ワイヤーグリッド偏光子を取り付ける前の偏光装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the polarizing device before attaching the wire grid polarizer. 図3は、図2のA−A線に沿う断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 図4は、ワイヤーグリッド偏光子を取り付けた状態の偏光装置の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a polarizing device with a wire grid polarizer attached. 図5は、図4のB−B線に沿う断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 図6は、ワイヤーグリッド偏光子を取り付けた状態の偏光装置の平面図である。FIG. 6 is a plan view of a polarizing device with a wire grid polarizer attached. 図7は、図6のC−C線に沿う断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 図8は調整機構の平面図である。FIG. 8 is a plan view of the adjustment mechanism. 図9は調整機構の側面図である。FIG. 9 is a side view of the adjusting mechanism. 図10は、複数のワイヤーグリッド偏光子を取り付けた状態の偏光装置の平面図である。FIG. 10 is a plan view of a polarizing device in a state where a plurality of wire grid polarizers are attached. 図11は、図10のD−D線に沿う断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. 図12は、調整機構によりワイヤーグリッド偏光子を回転させた状態を示す平面図である。FIG. 12 is a plan view showing a state in which the wire grid polarizer is rotated by the adjusting mechanism. 図13は、別の調整機構の平面図である。FIG. 13 is a plan view of another adjustment mechanism.

以下、添付図面にしたがって本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施形態により説明される。本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、実施形態以外の他の実施形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention will be described by the following preferred embodiments. Changes can be made by many methods without departing from the scope of the present invention, and embodiments other than the embodiment can be used. Therefore, all modifications within the scope of the present invention are included in the claims.

図1は、実施形態の偏光装置を含む製造設備の全体の概略図である。図1に示されるように、製造設備1は、ワークWを送り出す送り出しローラ10と、送り出しローラ10から送り出されたワークWを巻き取る巻取りローラ12と、を備える。ワークWは、表面に光配向膜が形成された対象物である。製造設備1は、送り出しローラ10と巻取りローラ12との間に設置された偏光光照射装置20を備える。 FIG. 1 is a schematic view of the entire manufacturing facility including the polarizing device of the embodiment. As shown in FIG. 1, the manufacturing facility 1 includes a delivery roller 10 that sends out the work W, and a take-up roller 12 that winds up the work W sent out from the delivery roller 10. The work W is an object having a photoalignment film formed on its surface. The manufacturing equipment 1 includes a polarized light irradiation device 20 installed between the delivery roller 10 and the take-up roller 12.

図1に示されるワークWは、2つの表面(主面)を持ち、可撓性の連続した帯状の膜厚の薄い部材であり、ウェブとも称される。ワークWの材質として樹脂フィルムを挙げることができる。ワークWはウェブに限定されず、例えば、剛性を有する平板状のガラス基板等であってもよい。 The work W shown in FIG. 1 has two surfaces (main surfaces), is a flexible continuous band-shaped thin member, and is also called a web. A resin film can be mentioned as the material of the work W. The work W is not limited to the web, and may be, for example, a rigid flat glass substrate or the like.

ワークWは、送り出しローラ10から巻取りローラ12に、搬送方向MD(Machine Direction)に沿って、連続的に水平方向に搬送される。 The work W is continuously and horizontally transported from the feeding roller 10 to the winding roller 12 along the transport direction MD (Machine Direction).

偏光光照射装置20は、光を放射する棒状の光源22と、光源22を覆う反射鏡24と、を備える。光源22、及び反射鏡24は、搬送方向MDに直交する幅方向TD(Transverse Direction)に延び、ワークWの幅よりも大きい長さを有している。 The polarized light irradiation device 20 includes a rod-shaped light source 22 that emits light and a reflector 24 that covers the light source 22. The light source 22 and the reflecting mirror 24 extend in the width direction TD (Transverse Direction) orthogonal to the transport direction MD, and have a length larger than the width of the work W.

光源22として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)光源、エキシマレーザー発生装置などを用いることができる。240nm以上450nm以下の波長を有する紫外線と称される光が、光源22から放射される。 As the light source 22, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a chemical lamp, a light emitting diode (LED) light source, an excimer laser generator, or the like can be used. Light having a wavelength of 240 nm or more and 450 nm or less, which is called ultraviolet light, is emitted from the light source 22.

反射鏡24は、楕円の一部、又は放物線の断面形状を有する。反射鏡24は、光源22から放射される光を反射し、光源22からの光を効率的にワークWに導く。 The reflector 24 has a part of an ellipse or a parabolic cross-sectional shape. The reflector 24 reflects the light emitted from the light source 22 and efficiently guides the light from the light source 22 to the work W.

偏光光照射装置20は、光源22とワークWとの間に配置されたルーバ26を備える。ルーバ26は光源22に沿って配置され、ワークWの幅と略同じ長さを有する。ルーバ26は、光源22から照射される光、及び反射鏡24から反射される光の中から、ワークWに対して所定の角度の光のみを通過させる。例えば、ルーバ26は、ワークWの主面に対して直交する光を通過させる。 The polarized light irradiation device 20 includes a louver 26 arranged between the light source 22 and the work W. The louver 26 is arranged along the light source 22 and has a length substantially the same as the width of the work W. The louver 26 allows only light at a predetermined angle with respect to the work W from among the light emitted from the light source 22 and the light reflected from the reflecting mirror 24. For example, the louver 26 passes light orthogonal to the main surface of the work W.

偏光光照射装置20は、ルーバ26とワークWとの間に偏光装置30を備える。偏光装置30は、偏光子として複数のワイヤーグリッド偏光子32と、複数のワイヤーグリッド偏光子32を保持するためのフレーム34と、を備える。複数のワイヤーグリッド偏光子32は、光源22に対向するように、幅方向TDに沿って配列される。フレーム34は、複数のワイヤーグリッド偏光子32を保持するため幅方向TDに沿って延びる。フレーム34には、幅方向TDに沿って延びる矩形の開口が形成されている。複数のワイヤーグリッド偏光子32は、開口に位置合わせされ、フレーム34により保持される。複数のワイヤーグリッド偏光子32は、フレーム34の開口を介してワークWに対向する。 The polarized light irradiation device 20 includes a polarizing device 30 between the louver 26 and the work W. The polarizing device 30 includes a plurality of wire grid polarizers 32 as polarizers and a frame 34 for holding the plurality of wire grid polarizers 32. The plurality of wire grid polarizers 32 are arranged along the width direction TD so as to face the light source 22. The frame 34 extends along the width direction TD to hold the plurality of wire grid polarizers 32. The frame 34 is formed with a rectangular opening extending along the width direction TD. The plurality of wire grid polarizers 32 are aligned with the openings and held by the frame 34. The plurality of wire grid polarizers 32 face the work W through the openings of the frame 34.

ワイヤーグリッド偏光子32は、対向する面を有する平板状のガラス基板と、ガラス基板の表面に形成され、一定の間隔で平行に配列された複数の直線状の金属細線と、により構成される。ワイヤーグリッド偏光子32は、入射光の中で、金属細線の長手方向に平行な偏光成分を反射、又は吸収し、金属細線の長手方向に直交する偏光成分を透過するので、ワイヤーグリッド偏光子32により直線偏光光を得ることができる。すわなち、ワイヤーグリッド偏光子32は光源22からの光を偏光することができる。光を偏光することができる限り偏光子はワイヤーグリッド偏光子32に限定されない。 The wire grid polarizer 32 is composed of a flat glass substrate having opposite surfaces and a plurality of linear metal wires formed on the surface of the glass substrate and arranged in parallel at regular intervals. Since the wire grid polarizer 32 reflects or absorbs a polarizing component parallel to the longitudinal direction of the fine metal wire and transmits a polarizing component orthogonal to the longitudinal direction of the thin metal wire in the incident light, the wire grid polarizer 32 is transmitted. Therefore, linearly polarized light can be obtained. That is, the wire grid polarizer 32 can polarize the light from the light source 22. The polarizer is not limited to the wire grid polarizer 32 as long as the light can be polarized.

図1に示されるように、ワイヤーグリッド偏光子32は、平面視で矩形である。一つのワイヤーグリッド偏光子32は、その面内で複数の金属細線は平行である、ワイヤーグリッド偏光子32の偏光方向は一定である。別のワイヤーグリッド偏光子32においても、面内で複数の金属細線は平行である。一方で、ワイヤーグリッド偏光子32同士を比較すると、ワイヤーグリッド偏光子32の製作工程における加工精度等により、それぞれの金属細線の平行方向はバラツキを有する場合がある。そのため、ワイヤーグリッド偏光子32同士は、偏光方向にバラツキを有する懸念がある。そこで、後述する調整機構(不図示)により、各ワイヤーグリッド偏光子32の偏光方向が調整される。 As shown in FIG. 1, the wire grid polarizer 32 is rectangular in a plan view. In one wire grid polarizer 32, a plurality of thin metal wires are parallel in the plane, and the polarization direction of the wire grid polarizer 32 is constant. In another wire grid polarizer 32, the plurality of thin metal wires are parallel in the plane. On the other hand, when the wire grid polarizers 32 are compared with each other, the parallel directions of the respective thin metal wires may vary depending on the processing accuracy in the manufacturing process of the wire grid polarizer 32 and the like. Therefore, there is a concern that the wire grid polarizers 32 have variations in the polarization direction. Therefore, the polarization direction of each wire grid polarizer 32 is adjusted by an adjustment mechanism (not shown) described later.

図1の実施態様ではワイヤーグリッド偏光子32を、平面視で矩形としたが、配置や設計上の要請からその形状を変更することができる。例えば、ワイヤーグリッド偏光子32は、平面視で平行四辺形又はひし形等の四角形のものでもよく、さらには四角形の角部を面取りした形状も用いることができる。 In the embodiment of FIG. 1, the wire grid polarizer 32 is rectangular in a plan view, but its shape can be changed depending on the arrangement and design requirements. For example, the wire grid polarizer 32 may be a quadrangle such as a parallelogram or a rhombus in a plan view, and a shape in which the corners of the quadrangle are chamfered can also be used.

必要に応じて、長波長カットフィルター、短波長カットフィルター、バンドパスフィルターのような分光フィルターが、光源22と偏光装置30との間に配置される。分光フィルターは、光源22、及び反射鏡24から偏光装置30に入射される光の波長を調整できる。 If necessary, a spectroscopic filter such as a long wavelength cut filter, a short wavelength cut filter, and a bandpass filter is arranged between the light source 22 and the polarizing device 30. The spectroscopic filter can adjust the wavelength of the light incident on the polarizing device 30 from the light source 22 and the reflecting mirror 24.

図1を参照して、光配向膜の製造方法について説明する。光配向膜の製造方法は、表面に光配向膜用材料が形成された対象物を搬送するステップと、偏光装置を介して光源からの光を偏光し、偏光した光を光配向膜用材料に照射するステップと、を含む。第1に、表面に光配向膜用材料が形成されたワークWを、送り出しローラ10から巻取りローラ12に搬送する。送り出しローラ10にセットされるワークWの表面には、予め光配向膜用材料が形成される。 A method for producing a photoalignment film will be described with reference to FIG. The method for producing a photoalignment film consists of a step of transporting an object having a photoalignment film material formed on its surface, a polarization of light from a light source via a polarizing device, and the polarized light being used as a photoalignment film material. Including the step of irradiating. First, the work W on which the material for the photoalignment film is formed is conveyed from the feeding roller 10 to the winding roller 12. A material for a photoalignment film is formed in advance on the surface of the work W set on the delivery roller 10.

光配向膜は、光配向処理により製造された配向膜を意味する。光配向膜用材料は、光配向膜を製造するための材料を意味する。 The photo-alignment film means an alignment film produced by a photo-alignment treatment. The material for a photoalignment film means a material for producing a photoalignment film.

光配向膜用材料としては、例えば、特開2006−285197号公報、特開2007−76839号公報、特開2007−138138号公報、特開2007−94071号公報、特開2007−121721号公報、特開2007−140465号公報、特開2007−156439号公報、特開2007−133184号公報、特開2009−109831号公報、特許第3883848号、特許第4151746号に記載のアゾ化合物、特開2002−229039号公報に記載の芳香族エステル化合物、特開2002−265541号公報、特開2002−317013号公報に記載の光配向性単位を有するマレイミド、及び/又はアルケニル置換ナジイミド化合物、特許第4205195号、特許第4205198号に記載の光架橋性シラン誘導体、特表2003−520878号公報、特表2004−529220号公報、特許第4162850号に記載の光架橋性ポリイミド、ポリアミド、又はエステル、特開平9−118717号公報、特表平10−506420号公報、特表2003−505561号公報、WO2010/150748号、特開2013−177561号公報、特開2014−12823号公報に記載の光二量化可能な化合物、特にシンナメート化合物、カルコン化合物、クマリン化合物が挙げられる。特に好ましい例としては、アゾ化合物、光架橋性ポリイミド、ポリアミド、エステル、シンナメート化合物、カルコン化合物が挙げられる。 Examples of the material for the photoalignment film include JP-A-2006-285197, JP-A-2007-76839, JP-A-2007-138138, JP-A-2007-94071, and JP-A-2007-121721. The azo compounds described in JP-A-2007-140465, JP-A-2007-156439, JP-A-2007-133184, JP-A-2009-109831, Patent No. 3883848, and Patent No. 4151746, JP-A-2002. Aromatic ester compounds described in JP-A-229039, maleimides having photoorientation units described in JP-A-2002-265541 and JP-A-2002-3170113, and / or alkenyl-substituted nadiimide compounds, Patent No. 4205195. , Photocrossable silane derivative described in Japanese Patent No. 4205198, Photocrossable polyimide, polyamide, or ester described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-520878, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-522220, Patent No. 4162850, JP-A-9. Photodimerizable compounds described in JP-A-118717, JP-A-10-506420, JP-A-2003-505561, WO2010 / 150748, JP-A-2013-177561, and JP-A-2014-12823. In particular, a synchromate compound, a chalcone compound, and a coumarin compound can be mentioned. Particularly preferred examples include azo compounds, photocrosslinkable polyimides, polyamides, esters, synnamate compounds, and chalcone compounds.

光配向膜用材料を対象物の表面に形成する方法としては、カーテンコーティング法、ディップコーティング法、スピンコーティング法、印刷コーティング法、スプレーコーティング法、スロットコーティング法、ロールコーティング法、スライドコーティング法、ブレードコーティング法、グラビアコーティング法、ワイヤーバー法等の公知の方法が挙げられる。ワークWを搬送する過程で、光配向膜用材料を対象物の表面に形成してもよい。 As a method for forming a material for a photoalignment film on the surface of an object, a curtain coating method, a dip coating method, a spin coating method, a print coating method, a spray coating method, a slot coating method, a roll coating method, a slide coating method, and a blade are used. Known methods such as a coating method, a gravure coating method, and a wire bar method can be mentioned. In the process of transporting the work W, a material for a photoalignment film may be formed on the surface of the object.

ワークWの搬送途中に偏光光照射装置20が配置されている。光源22からの光が偏光装置30を介して偏光され、偏光された光が光配向膜に照射される。送り出しローラ10から巻取りローラ12に搬送する。 A polarized light irradiation device 20 is arranged during the transfer of the work W. The light from the light source 22 is polarized through the polarizing device 30, and the polarized light is applied to the photoalignment film. It is conveyed from the delivery roller 10 to the take-up roller 12.

光源22からの光が偏光装置30を介して偏光され、偏光された光が光配向膜に照射される。偏光装置30に備えられる複数のワイヤーグリッド偏光子32は、後述する調整機構により調整され、各ワイヤーグリッド偏光子32の偏光方向は一定の範囲内に揃えられる。 The light from the light source 22 is polarized through the polarizing device 30, and the polarized light is applied to the photoalignment film. The plurality of wire grid polarizers 32 provided in the polarizing device 30 are adjusted by an adjustment mechanism described later, and the polarization directions of the respective wire grid polarizers 32 are aligned within a certain range.

偏光方向を一定の範囲に揃えた複数のワイヤーグリッド偏光子32から偏光された光が、光配向膜用材料に照射されるので、特性の安定した光配向膜を製造することができる。 Since the light polarized from the plurality of wire grid polarizers 32 whose polarization directions are aligned in a certain range is applied to the material for the photoalignment film, it is possible to manufacture a photoalignment film having stable characteristics.

次に、実施形態に係る偏光装置30について図を参照して説明する。図2は、ワイヤーグリッド偏光子32を取り付ける前の偏光装置30の平面図である。偏光装置30は、フレーム34を備える。フレーム34には、フレーム34に沿って矩形の開口36が形成される。フレーム34は金属製であり、ステンレス鋼、アルミニウム等を使用することができ、アルミニウム製が特に好ましい。 Next, the polarizing device 30 according to the embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a plan view of the polarizing device 30 before attaching the wire grid polarizer 32. The polarizing device 30 includes a frame 34. A rectangular opening 36 is formed in the frame 34 along the frame 34. The frame 34 is made of metal, and stainless steel, aluminum, or the like can be used, and aluminum is particularly preferable.

開口36を挟んで、対向する位置に調整機構40と、支持部60とが配置される。複数の調整機構40が、開口36の長手方向に沿って、所定間隔で配置される。複数の調整機構40は、開口36に対して同じ側に配置される。実施形態では、1個の調整機構40に対して2個の支持部60が配置される。また、複数の支持部60は、調整機構40と反対側であって、開口36に対して同じ側に配置される。 The adjusting mechanism 40 and the support portion 60 are arranged at positions facing each other with the opening 36 interposed therebetween. A plurality of adjusting mechanisms 40 are arranged at predetermined intervals along the longitudinal direction of the opening 36. The plurality of adjusting mechanisms 40 are arranged on the same side with respect to the opening 36. In the embodiment, two support portions 60 are arranged for one adjustment mechanism 40. Further, the plurality of support portions 60 are arranged on the opposite side of the adjusting mechanism 40 and on the same side with respect to the opening 36.

調整機構40は、ワイヤーグリッド偏光子32(不図示)の対向する面を把持する把持部41を備える。把持部41には、把持部41の両端部から等距離にある支点42が設けられる。支点42は、把持部41を回転自在に支持する。支点42は、把持部41の回転中心となる。支点42は、フレーム34の平面に対して垂直に固定される。支点42と把持部41とは垂直であり、把持部41とフレーム34の平面とは平行となる。 The adjusting mechanism 40 includes a grip portion 41 that grips the facing surfaces of the wire grid polarizer 32 (not shown). The grip portion 41 is provided with fulcrums 42 equidistant from both ends of the grip portion 41. The fulcrum 42 rotatably supports the grip portion 41. The fulcrum 42 is the center of rotation of the grip portion 41. The fulcrum 42 is fixed perpendicular to the plane of the frame 34. The fulcrum 42 and the grip portion 41 are perpendicular to each other, and the grip portion 41 and the plane of the frame 34 are parallel to each other.

実施形態においては調整機構40を左右対称として、把持部41の支点42は把持部41の両端部から等距離としたが、これに限られない。調整機構40を左右非対称に設計することもでき、この場合、把持部41の両端部から等距離に支点42を設ける必要はない。 In the embodiment, the adjusting mechanism 40 is symmetrical, and the fulcrum 42 of the grip portion 41 is equidistant from both ends of the grip portion 41, but the present invention is not limited to this. The adjusting mechanism 40 can be designed asymmetrically, and in this case, it is not necessary to provide the fulcrums 42 at equal distances from both ends of the grip portion 41.

平面視で、把持部41に対して垂直で、支点42を挟んで開口36と反対側に延びる延長部43を、把持部41は備える。したがって、把持部41は、全体として略T字型の形状を有する。 The grip portion 41 includes an extension portion 43 that is perpendicular to the grip portion 41 in a plan view and extends to the opposite side of the opening 36 with the fulcrum 42 in between. Therefore, the grip portion 41 has a substantially T-shaped shape as a whole.

延長部43を挟んで、作動部を構成する付勢機構44と、付勢機構44に対し動作する送りネジ45とが、対向配置される。 The urging mechanism 44 that constitutes the operating portion and the feed screw 45 that operates with respect to the urging mechanism 44 are arranged so as to face each other with the extension portion 43 interposed therebetween.

付勢機構44は、支点42を回転中心とする一定方向の回転力を、把持部41に付与する部材である。実施形態では、付勢機構44が延長部43を付勢することにより、把持部41に回転力が付与される。 The urging mechanism 44 is a member that applies a rotational force in a certain direction about the fulcrum 42 to the grip portion 41. In the embodiment, the urging mechanism 44 urges the extension portion 43 to apply a rotational force to the grip portion 41.

付勢機構44は、例えば、コイルバネ44Aと、コイルバネ44Aを収容する収容部44Bとを備える。付勢機構44は、把持部41の一部である延長部43を付勢することができれば、その構造は限定されない。例えば、コイルバネと、コイルバネにより付勢されるピンと、を含むプランジャーであってもよい。 The urging mechanism 44 includes, for example, a coil spring 44A and an accommodating portion 44B for accommodating the coil spring 44A. The structure of the urging mechanism 44 is not limited as long as the extension portion 43, which is a part of the grip portion 41, can be urged. For example, it may be a plunger including a coil spring and a pin urged by the coil spring.

送りネジ45は、付勢機構44により付与される一定方向の回転力とは反対方向の回転力を、把持部41に付与する部材である。送りネジ45を動作させることにより、把持部41に付与される回転方向、及び回転力の大きさが調整される。 The feed screw 45 is a member that applies a rotational force in a direction opposite to the rotational force in a fixed direction applied by the urging mechanism 44 to the grip portion 41. By operating the feed screw 45, the rotation direction and the magnitude of the rotational force applied to the grip portion 41 are adjusted.

送りネジ45は、例えば、微細な送りができるマイクロメータヘッドを適用できる。マイクロメータヘッドである場合、シンブル45Aを回転させることによりスピンドル45Bを前進、又は後退させることができる。スピンドル45Bを前進、又は後退する長さにより、作動部は、把持部41に付与される回転方向、及び回転力の大きさを調整できる。延長部43が付勢機構44により付勢されているので、延長部43は送りネジ45の動きに正確に追従する。したがって、把持部41の角度を安定して維持、変更できる。 As the lead screw 45, for example, a micrometer head capable of fine feed can be applied. In the case of a micrometer head, the spindle 45B can be moved forward or backward by rotating the thimble 45A. Depending on the length of moving the spindle 45B forward or backward, the operating portion can adjust the rotational direction applied to the grip portion 41 and the magnitude of the rotational force. Since the extension portion 43 is urged by the urging mechanism 44, the extension portion 43 accurately follows the movement of the feed screw 45. Therefore, the angle of the grip portion 41 can be stably maintained and changed.

図2に示されるように、延長部43を挟んで、コイルバネ44Aとスピンドル45Bとは直線状に配置される。但し、把持部41の回転方向、及び回転力の大きさが調整できれば、両者の位置関係は直線状に限定されない。 As shown in FIG. 2, the coil spring 44A and the spindle 45B are arranged linearly with the extension portion 43 interposed therebetween. However, if the rotational direction of the grip portion 41 and the magnitude of the rotational force can be adjusted, the positional relationship between the two is not limited to a linear shape.

図2に示されるように、支持部60は、フレーム34に設けられた固定部37に取り付けられる。支持部60は、一端にヘッドを有するピン61を備える。ピン61は、固定部37の貫通孔(不図示)を通り抜けて、調整機構40の側に延びる。ピン61のヘッドは、貫通孔を通り抜けない。 As shown in FIG. 2, the support portion 60 is attached to a fixing portion 37 provided on the frame 34. The support portion 60 includes a pin 61 having a head at one end. The pin 61 passes through a through hole (not shown) of the fixing portion 37 and extends toward the adjusting mechanism 40. The head of the pin 61 does not pass through the through hole.

ピン61は、ヘッドと反対の端の側に、支持部材62に支持された溝付きローラ63を備える。支持部材62は溝付きローラ63を回転自在に支持する。ピン61には、弾性部材としてコイルバネ64が備えられる。コイルバネ64は、固定部37と支持部材62と間の位置に設けられる。コイルバネ64は、溝付きローラ63を、調整機構40の側に付勢する。 The pin 61 includes a grooved roller 63 supported by the support member 62 on the side opposite to the head. The support member 62 rotatably supports the grooved roller 63. The pin 61 is provided with a coil spring 64 as an elastic member. The coil spring 64 is provided at a position between the fixing portion 37 and the support member 62. The coil spring 64 urges the grooved roller 63 toward the adjusting mechanism 40.

図3は、A−A線に沿う断面図である。図2、及び図3に示されるように、調整機構40の把持部41は、ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面を把持するため、平面視で矩形の金属製のプレート46と、プレート46を固定するための2個のネジ47と、ブロック48とにより構成される。プレート46は平板状である。 FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA. As shown in FIGS. 2 and 3, the gripping portion 41 of the adjusting mechanism 40 grips the opposing surfaces of the wire grid polarizer 32 by holding a rectangular metal plate 46 and a plate 46 in a plan view. It is composed of two screws 47 for fixing and a block 48. The plate 46 has a flat plate shape.

図3に示されるように、ブロック48は、プレート46を位置決めするための第1段差49を有する。プレート46は、第1段差49にプレート46の一辺を接触させた状態で、ネジ47により、ブロック48に固定される。ブロック48は、開口36(図2参照)に近い側に第2段差50を有する。プレート46が固定される固定面51と反対面を設置した状態では、第2段差50は第1段差49より低い位置にある。後述するように、第2段差50を有するブロック48とプレート46とにより空間Sが形成され、ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面が把持される。 As shown in FIG. 3, the block 48 has a first step 49 for positioning the plate 46. The plate 46 is fixed to the block 48 by screws 47 in a state where one side of the plate 46 is in contact with the first step 49. The block 48 has a second step 50 on the side closer to the opening 36 (see FIG. 2). The second step 50 is lower than the first step 49 when the surface opposite to the fixed surface 51 to which the plate 46 is fixed is installed. As will be described later, a space S is formed by the block 48 having the second step 50 and the plate 46, and the facing surfaces of the wire grid polarizer 32 are gripped.

支持部60にピン61は、固定部37の貫通孔37Aを超えて延び、支持部材62に固定される。支持部材62は、断面視で、互いに直交する部材からなり、L字型の形状を有している。溝付きローラ63は、支持部材62の一方の部材で、ピン61と略同じ高さの平行な平面を設けられる。実施形態では、溝付きローラ63は、ローラの全周に溝65が形成される。 The pin 61 extends beyond the through hole 37A of the fixing portion 37 to the supporting portion 60 and is fixed to the supporting member 62. The support member 62 is a member that is orthogonal to each other in a cross-sectional view, and has an L-shape. The grooved roller 63 is one member of the support member 62, and is provided with a parallel flat surface having substantially the same height as the pin 61. In the embodiment, the grooved roller 63 has a groove 65 formed on the entire circumference of the roller.

図4は、1個のワイヤーグリッド偏光子32を取り付けた状態の偏光装置30の平面図である。図4に示されるように、把持部41は、ブロック48からプレート46を取り外した状態である。ブロック48には、ネジ47を螺合するため2個のネジ穴52を有する。 FIG. 4 is a plan view of the polarizing device 30 in a state where one wire grid polarizer 32 is attached. As shown in FIG. 4, the grip portion 41 is in a state where the plate 46 is removed from the block 48. The block 48 has two screw holes 52 for screwing the screws 47.

ワイヤーグリッド偏光子32の一辺32Aが、ブロック48の第2段差50に接触される。これにより、把持部41を構成するブロック48とワイヤーグリッド偏光子32との位置決めがなされる。実施形態のワイヤーグリッド偏光子32は、その周縁を保持するための枠部を備えていない。 One side 32A of the wire grid polarizer 32 is brought into contact with the second step 50 of the block 48. As a result, the block 48 constituting the grip portion 41 and the wire grid polarizer 32 are positioned. The wire grid polarizer 32 of the embodiment does not include a frame portion for holding the peripheral edge thereof.

支持部60に備えられるコイルバネ64が縮められ、溝付きローラ63を支持する支持部材62は固定部37の側に移動する。ワイヤーグリッド偏光子32の一辺32Aに対向する他辺32Bの側が溝付きローラ63の溝65の間に位置される。ワイヤーグリッド偏光子32が溝付きローラ63により支持される。支持部60に備えられるコイルバネ64の付勢力は大きくないので、ローラ63からワイヤーグリッド偏光子32の他辺32Bには、ほとんど力が加わらない。 The coil spring 64 provided in the support portion 60 is contracted, and the support member 62 that supports the grooved roller 63 moves to the side of the fixing portion 37. The side of the other side 32B facing one side 32A of the wire grid polarizer 32 is located between the grooves 65 of the grooved roller 63. The wire grid polarizer 32 is supported by the grooved roller 63. Since the urging force of the coil spring 64 provided in the support portion 60 is not large, almost no force is applied from the roller 63 to the other side 32B of the wire grid polarizer 32.

図5は、図4のB−B線に沿う断面図である。図5に示されるように、ワイヤーグリッド偏光子32の一辺32Aの側において、対向する面の一方面32Cがブロック48により支持される。 FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. As shown in FIG. 5, on the side of one side 32A of the wire grid polarizer 32, one side 32C of the facing surface is supported by the block 48.

ワイヤーグリッド偏光子32の一辺32Aと第2段差50とが接触した状態において、ワイヤーグリッド偏光子32の厚さTは、第2段差50の高さHより大きい。ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面の他方面32Dは、固定面51から突出する。 In a state where one side 32A of the wire grid polarizer 32 and the second step 50 are in contact with each other, the thickness T of the wire grid polarizer 32 is larger than the height H of the second step 50. The other surface 32D of the opposite surface of the wire grid polarizer 32 projects from the fixed surface 51.

また、ワイヤーグリッド偏光子32の他辺32Bの側において、一方面32Cが溝付きローラ63により支持される。 Further, on the side of the other side 32B of the wire grid polarizer 32, one surface 32C is supported by the grooved roller 63.

図6は、1個のワイヤーグリッド偏光子32を取り付けた状態の偏光装置30の平面図である。図6に示されるように、プレート46が、ブロック48の第1段差49に接触される。これにより、ブロック48とプレート46との位置決めがなされる。2個のネジ47によりプレート46がブロック48に固定される。 FIG. 6 is a plan view of the polarizing device 30 with one wire grid polarizer 32 attached. As shown in FIG. 6, the plate 46 is brought into contact with the first step 49 of the block 48. As a result, the block 48 and the plate 46 are positioned. The plate 46 is fixed to the block 48 by the two screws 47.

図7は、図6のC−C線に沿う断面図である。図7に示されるように、ネジ47よりプレート46がブロック48に固定されると、ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面(一方面32C及び他方面32D)が、プレート46とブロック48とにより把持される。上述したように、ワイヤーグリッド偏光子32の厚さTが、第2段差50の高さHより大きいので、ワイヤーグリッド偏光子32の他方面32Dとプレート46との接触が、より確実となる。したがって、把持部41がワイヤーグリッド偏光子32の対向する面を確実に保持することが可能となる。ネジ47の締め込み量を調整することにより、ワイヤーグリッド偏光子32を把持する力を調整することができる。 FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. As shown in FIG. 7, when the plate 46 is fixed to the block 48 by the screw 47, the facing surfaces (one surface 32C and the other surface 32D) of the wire grid polarizer 32 are gripped by the plate 46 and the block 48. Will be done. As described above, since the thickness T of the wire grid polarizer 32 is larger than the height H of the second step 50, the contact between the other surface 32D of the wire grid polarizer 32 and the plate 46 is more reliable. Therefore, the grip portion 41 can reliably hold the facing surfaces of the wire grid polarizer 32. By adjusting the tightening amount of the screw 47, the force for gripping the wire grid polarizer 32 can be adjusted.

なお、プレート46とワイヤーグリッド偏光子32の他方面32Dとの間に、難燃性の弾性部材(不図示)を配置することが好ましい。弾性部材はワイヤーグリッド偏光子32の端部が損傷等を受けることを防止できる。 It is preferable to arrange a flame-retardant elastic member (not shown) between the plate 46 and the other surface 32D of the wire grid polarizer 32. The elastic member can prevent the end portion of the wire grid polarizer 32 from being damaged or the like.

図6及び図7に示されるように、ワイヤーグリッド偏光子32の一辺32Aの側に配置された調整機構40の把持部41により、ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面(一方面32C及び他方面32D)を把持される。 As shown in FIGS. 6 and 7, the gripping portion 41 of the adjusting mechanism 40 arranged on the side of one side 32A of the wire grid polarizer 32 allows the wire grid polarizer 32 to face the opposite surfaces (one surface 32C and the other surface). 32D) is gripped.

実施形態では、1個のプレート46とブロック48とがワイヤーグリッド偏光子32の対向する面を把持する態様を示した。この態様では、プレート46とブロック48とは、ほぼ同じ長さを有している。したがって、プレート46の面とブロック48の面とにより、ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面が把持される。プレート46はブロック48にネジ47により固定されるので、ワイヤーグリッド偏光子32を把持部41から容易に着脱することができる。 In the embodiment, one plate 46 and the block 48 grip the facing surfaces of the wire grid polarizer 32. In this aspect, the plate 46 and the block 48 have approximately the same length. Therefore, the surface of the plate 46 and the surface of the block 48 grip the opposing surfaces of the wire grid polarizer 32. Since the plate 46 is fixed to the block 48 by screws 47, the wire grid polarizer 32 can be easily attached to and detached from the grip portion 41.

ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面を把持することができる限り、把持する態様は、特に限定されない。図8は調整機構40の平面図である。図8に示されるように、1個のプレート46に代えて、等間隔に配置された複数のプレート53と、複数のプレート53をそれぞれブロック48に固定するためのネジ54と、を用いることができる。 As long as the opposing surfaces of the wire grid polarizer 32 can be gripped, the mode of gripping is not particularly limited. FIG. 8 is a plan view of the adjustment mechanism 40. As shown in FIG. 8, instead of one plate 46, a plurality of plates 53 arranged at equal intervals and a screw 54 for fixing the plurality of plates 53 to the block 48 can be used. it can.

また、プレートとネジとを利用した把持の態様に代えて、クリップ構造を適用できる。図9は調整機構の側面図である。図9に示されるように、例えば、クリップ構造は、プレート55と、プレート55を回転自在に支持する支点56と、プレート55とブロック48との間に配置されたトーションバネ57とにより構成される。トーションバネ57の付勢力により、プレート55の先端55Aとブロック48とにより、ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面(一方面32C及び他方面32D)を把持することができる。プレート55の後端55Bをブロック48の側に押圧することより、プレート55の先端55Aとブロック48との距離が大きくなる。したがって、ワイヤーグリッド偏光子32を把持部41に容易に脱着することができる。 Further, a clip structure can be applied instead of the gripping mode using the plate and the screw. FIG. 9 is a side view of the adjusting mechanism. As shown in FIG. 9, for example, the clip structure is composed of a plate 55, a fulcrum 56 that rotatably supports the plate 55, and a torsion spring 57 arranged between the plate 55 and the block 48. .. Due to the urging force of the torsion spring 57, the tip 55A of the plate 55 and the block 48 can grip the opposing surfaces (one surface 32C and the other surface 32D) of the wire grid polarizer 32. By pressing the rear end 55B of the plate 55 toward the block 48, the distance between the tip 55A of the plate 55 and the block 48 becomes large. Therefore, the wire grid polarizer 32 can be easily attached to and detached from the grip portion 41.

上述の手順により、複数のワイヤーグリッド偏光子32が、開口36に沿って、フレーム34に取り付けられる。 By the procedure described above, a plurality of wire grid polarizers 32 are attached to the frame 34 along the opening 36.

図10は、複数のワイヤーグリッド偏光子32を取り付けた状態の偏光装置30の平面図である。図11は、図10のD−D線に沿う断面図である。図10及び図11においては、理解を容易にするため、隣接するワイヤーグリッド偏光子32の一方にパターンを付して表示している。しかしながら、複数のワイヤーグリッド偏光子32は同じ特性を有する。 FIG. 10 is a plan view of the polarizing device 30 in a state where a plurality of wire grid polarizers 32 are attached. FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. In FIGS. 10 and 11, for ease of understanding, one of the adjacent wire grid polarizers 32 is displayed with a pattern. However, the plurality of wire grid polarizers 32 have the same characteristics.

図10に示されるように、偏光装置30において、複数のワイヤーグリッド偏光子32がフレーム34に取り付けられる。図11に示されるように、実施形態の偏光装置30では、隣接するワイヤーグリッド偏光子32が、ワイヤーグリッド偏光子32の厚み方向において距離Lを置いて配置される。隣接するワイヤーグリッド偏光子32を比較した場合、フレーム34を基準として、ワイヤーグリッド偏光子32の一方面32Cまでの距離Lと距離Lとが異なる。図11に示されるように、実施形態のワイヤーグリッド偏光子32は枠部を備えていないので、距離Lは短くできる。したがって、偏光装置30の全体の厚みを薄くできる。 As shown in FIG. 10, in the polarizing device 30, a plurality of wire grid polarizers 32 are attached to the frame 34. As shown in FIG. 11, in the polarizing device 30 of the embodiment, adjacent wire grid polarizers 32 are arranged at a distance L in the thickness direction of the wire grid polarizer 32. When the adjacent wire grid polarizers 32 are compared, the distance L 1 and the distance L 2 to one surface 32 C of the wire grid polarizer 32 are different from each other with respect to the frame 34. As shown in FIG. 11, since the wire grid polarizer 32 of the embodiment does not have a frame portion, the distance L can be shortened. Therefore, the overall thickness of the polarizing device 30 can be reduced.

複数のワイヤーグリッド偏光子32をフレーム34に取り付ける際、フレーム34と距離Lだけ離れているワイヤーグリッド偏光子32が取り付けられる。次いで、フレーム34と距離Lだけ離れているワイヤーグリッド偏光子32が取り付けられる。 When mounting a plurality of wire grid polarizer 32 in the frame 34, a wire grid polarizer 32 are separated by the frame 34 and the distance L 1 is attached. Next, a wire grid polarizer 32 that is separated from the frame 34 by a distance L 2 is attached.

図10に示されるように、平面視において、隣接するワイヤーグリッド偏光子32は、一部重なり合う。この構成は、ワイヤーグリッド偏光子32を通過しない光が、光配向膜に照射されることを抑制する。 As shown in FIG. 10, in a plan view, the adjacent wire grid polarizers 32 partially overlap. This configuration suppresses the light that does not pass through the wire grid polarizer 32 from being irradiated to the photoalignment film.

実施形態では、送りネジ45の長さ方向が、複数のワイヤーグリッド偏光子32が配列された一方向と平行である。このような配置にすることにより、偏光装置30の幅WDを短くすることができる。製造設備1に偏光装置30を含む偏光光照射装置20を配置する際の自由度が高くなる。平行とは、平行及び略平行を含む。 In the embodiment, the length direction of the lead screw 45 is parallel to one direction in which the plurality of wire grid polarizers 32 are arranged. With such an arrangement, the width WD of the polarizing device 30 can be shortened. The degree of freedom when arranging the polarized light irradiation device 20 including the polarizing device 30 in the manufacturing equipment 1 is increased. Parallel includes parallel and substantially parallel.

複数のワイヤーグリッド偏光子32がフレーム34に取り付けられると、ワイヤーグリッド偏光子32の偏光方向を調整するため、ワイヤーグリッド偏光子32が、調整機構40により、回転される。 When the plurality of wire grid polarizers 32 are attached to the frame 34, the wire grid polarizer 32 is rotated by the adjusting mechanism 40 in order to adjust the polarization direction of the wire grid polarizer 32.

図12は、調整機構40によりワイヤーグリッド偏光子32を回転させた状態を示す平面図である。図12に示されるように、把持部41の延長部43は、付勢機構44のコイルバネ44Aにより送りネジ45の側に付勢される。送りネジ45のスピンドル45Bは、付勢機構44の付勢力と反対方向に、把持部41の延長部43を押圧する。付勢機構44と送りネジ45とが把持部41に回転力を付与する。把持部41が、フレーム34の長手方向と平行となるように、付勢機構44と送りネジ45とが調整される。これを便宜上、把持部41の基準状態と称する。 FIG. 12 is a plan view showing a state in which the wire grid polarizer 32 is rotated by the adjusting mechanism 40. As shown in FIG. 12, the extension portion 43 of the grip portion 41 is urged toward the feed screw 45 by the coil spring 44A of the urging mechanism 44. The spindle 45B of the feed screw 45 presses the extension portion 43 of the grip portion 41 in the direction opposite to the urging force of the urging mechanism 44. The urging mechanism 44 and the feed screw 45 apply a rotational force to the grip portion 41. The urging mechanism 44 and the feed screw 45 are adjusted so that the grip portion 41 is parallel to the longitudinal direction of the frame 34. For convenience, this is referred to as a reference state of the grip portion 41.

図12の右側のワイヤーグリッド偏光子32は、一辺32Aと他辺32Bとがフレーム34の長手方向と平行となるように、把持部41により把持される。把持部41は基準状態にある。 The wire grid polarizer 32 on the right side of FIG. 12 is gripped by the grip portion 41 so that one side 32A and the other side 32B are parallel to the longitudinal direction of the frame 34. The grip portion 41 is in the reference state.

図12のパターンを付した左側のワイヤーグリッド偏光子32に関して、送りネジ45のスピンドル45Bが、基準状態に対して後退されている。延長部43は、付勢機構44のコイルバネ44Aにより、反時計回りの回転力を受ける。これにより、把持部41は、基準状態に対して、反時計回りに回転される。左側のワイヤーグリッド偏光子32を、調整機構40により、反時計回りに回転することができる。左側のワイヤーグリッド偏光子32の偏光方向が調整される。 With respect to the left wire grid polarizer 32 with the pattern of FIG. 12, the spindle 45B of the lead screw 45 is retracted with respect to the reference state. The extension portion 43 receives a counterclockwise rotational force by the coil spring 44A of the urging mechanism 44. As a result, the grip portion 41 is rotated counterclockwise with respect to the reference state. The wire grid polarizer 32 on the left side can be rotated counterclockwise by the adjusting mechanism 40. The polarization direction of the left wire grid polarizer 32 is adjusted.

図示しないが、送りネジ45のスピンドル45Bが、基準状態に対して前進されると、延長部43は、送りネジ45のスピンドル45Bにより、時計回りの回転力を受ける。これにより、把持部41は、基準状態に対して、時計回りに回転される。結果として、ワイヤーグリッド偏光子32を、調整機構40により、時計回りに回転することができる。 Although not shown, when the spindle 45B of the feed screw 45 is advanced with respect to the reference state, the extension portion 43 receives a clockwise rotational force by the spindle 45B of the feed screw 45. As a result, the grip portion 41 is rotated clockwise with respect to the reference state. As a result, the wire grid polarizer 32 can be rotated clockwise by the adjusting mechanism 40.

実施形態の調整機構40は、1個の送りネジ45を動作させることで、ワイヤーグリッド偏光子32を回転することができるので、ワイヤーグリッド偏光子32の偏光方向の調整が簡便であり、偏光方向の調整時間を短縮できる。 Since the adjusting mechanism 40 of the embodiment can rotate the wire grid polarizer 32 by operating one feed screw 45, it is easy to adjust the polarization direction of the wire grid polarizer 32, and the polarization direction. Adjustment time can be shortened.

また、調整機構40がワイヤーグリッド偏光子32の一辺32Aの側に配置され、一辺32Aを把持した状態でワイヤーグリッド偏光子32が回転される。その結果、ワイヤーグリッド偏光子32に局所的な力が加えられるのを抑止でき、ワイヤーグリッド偏光子32に破損等が生じることを防止できる。 Further, the adjusting mechanism 40 is arranged on the side of one side 32A of the wire grid polarizer 32, and the wire grid polarizer 32 is rotated while holding the one side 32A. As a result, it is possible to prevent a local force from being applied to the wire grid polarizer 32, and it is possible to prevent the wire grid polarizer 32 from being damaged.

図12に示されるように、左側のワイヤーグリッド偏光子32が調整機構40により回転されると、ワイヤーグリッド偏光子32が回転し、他辺32Bが移動する。ワイヤーグリッド偏光子32の回転に追従して、右側の支持部60のコイルバネ64は圧縮される。溝付きローラ63は回転するので、他辺32Bは、溝付きローラ63の溝に接しながらスライド移動する。支持部60は、ワイヤーグリッド偏光子32の回転を阻害しないで、かつワイヤーグリッド偏光子32の他辺32Bの側を支持することができる。 As shown in FIG. 12, when the wire grid polarizer 32 on the left side is rotated by the adjusting mechanism 40, the wire grid polarizer 32 is rotated and the other side 32B is moved. Following the rotation of the wire grid polarizer 32, the coil spring 64 of the support portion 60 on the right side is compressed. Since the grooved roller 63 rotates, the other side 32B slides while being in contact with the groove of the grooved roller 63. The support portion 60 can support the side of the other side 32B of the wire grid polarizer 32 without hindering the rotation of the wire grid polarizer 32.

また、ワイヤーグリッド偏光子32の回転に追従して、左側の支持部60のコイルバネ64は伸長される。溝付きローラ63は回転するので、他辺32Bは、溝付きローラ63の溝に接しながらスライド移動する。支持部60は、ワイヤーグリッド偏光子32の回転を阻害しないで、かつワイヤーグリッド偏光子32の他辺32Bの側を支持することができる。 Further, the coil spring 64 of the support portion 60 on the left side is extended following the rotation of the wire grid polarizer 32. Since the grooved roller 63 rotates, the other side 32B slides while being in contact with the groove of the grooved roller 63. The support portion 60 can support the side of the other side 32B of the wire grid polarizer 32 without hindering the rotation of the wire grid polarizer 32.

実施形態では、1個の調整機構40に対して2個の支持部60が配置される場合を例示したが、1個の調整機構40に対して1個の支持部60が配置されてもよい。 In the embodiment, the case where two support portions 60 are arranged for one adjustment mechanism 40 is illustrated, but one support portion 60 may be arranged for one adjustment mechanism 40. ..

光配向膜とワイヤーグリッド偏光子32との距離を一定に維持できる限り、支持部60の構造は限定されない。実施形態では、ローラの全周に溝が形成された溝付きローラ63を示したが、溝はローラの全周でなくてもよい。例えば、ワイヤーグリッド偏光子32の他辺32Bと接触する領域のみ、すなわち、ローラの一部だけに溝を形成してもよい。ワイヤーグリッド偏光子32の他辺32Bと支持部60とが固定されていないので、ワイヤーグリッド偏光子32はスムーズに回転できる。さらに、支持部60を配置しない場合でもよい。 The structure of the support portion 60 is not limited as long as the distance between the photoalignment film and the wire grid polarizer 32 can be maintained constant. In the embodiment, the grooved roller 63 in which the groove is formed on the entire circumference of the roller is shown, but the groove does not have to be the entire circumference of the roller. For example, the groove may be formed only in the region in contact with the other side 32B of the wire grid polarizer 32, that is, only a part of the roller. Since the other side 32B of the wire grid polarizer 32 and the support portion 60 are not fixed, the wire grid polarizer 32 can rotate smoothly. Further, the support portion 60 may not be arranged.

把持部41が、ワイヤーグリッド偏光子32の一辺32Aの長さに対して50%以上80%以下の長さを有することが好ましい。把持部41の長さとは、ワイヤーグリッド偏光子32を把持する領域の長さを意味する。把持部41の長さを、一辺32Aの長さの50%以上にすることにより、把持部41はワイヤーグリッド偏光子32を安定して把持できる。 The grip portion 41 preferably has a length of 50% or more and 80% or less with respect to the length of one side 32A of the wire grid polarizer 32. The length of the grip portion 41 means the length of the region for gripping the wire grid polarizer 32. By setting the length of the grip portion 41 to 50% or more of the length of the side 32A, the grip portion 41 can stably grip the wire grid polarizer 32.

把持部41の長さを、一辺32Aの長さの80%以下とすることにより、隣接する把持部41同士が干渉することを回避できる。また、把持部41を回転させた際、把持部41の一部が、開口36から露出することを回避できる。 By setting the length of the grip portion 41 to 80% or less of the length of one side 32A, it is possible to prevent the adjacent grip portions 41 from interfering with each other. Further, when the grip portion 41 is rotated, it is possible to prevent a part of the grip portion 41 from being exposed from the opening 36.

次に、別の調整機構40について、図13を参照して説明する。図13は、別の調整機構40の平面図である。図13に示されるように、調整機構40は、把持部41、付勢機構44、及び送りネジ45を備える。図13の実施形態では、送りネジ45の長さ方向が、複数のワイヤーグリッド偏光子32の配列された一方向と垂直に配置される。延長部を設けることなくブロック48に直接、付勢機構44、及び送りネジ45を作動させることができる。垂直とは、垂直、及び略垂直を含む。 Next, another adjusting mechanism 40 will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a plan view of another adjustment mechanism 40. As shown in FIG. 13, the adjusting mechanism 40 includes a grip portion 41, an urging mechanism 44, and a feed screw 45. In the embodiment of FIG. 13, the length direction of the lead screw 45 is arranged perpendicular to one direction in which the plurality of wire grid polarizers 32 are arranged. The urging mechanism 44 and the feed screw 45 can be operated directly on the block 48 without providing an extension portion. Vertical includes vertical and substantially vertical.

製造設備1に関して、図1では、偏光装置30を含む1個の偏光光照射装置20を配置する場合を示した。しかしながら、これに限定されず、複数個の偏光光照射装置20を搬送方向MDに沿って、並べて配置することができる。 Regarding the manufacturing equipment 1, FIG. 1 shows a case where one polarized light irradiation device 20 including a polarizing device 30 is arranged. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of polarized light irradiation devices 20 can be arranged side by side along the transport direction MD.

また、ワイヤーグリッド偏光子32の対向する面が把持部41により把持されているので、図1に示されるように、偏光装置30を水平方向に配置でき、また偏光装置30を鉛直方向に配置することができる。 Further, since the facing surfaces of the wire grid polarizer 32 are gripped by the grip portion 41, the polarizing device 30 can be arranged in the horizontal direction and the polarizing device 30 can be arranged in the vertical direction as shown in FIG. be able to.

枠部を有しないワイヤーグリッド偏光子32について説明したが、枠部を有するワイヤーグリッド偏光子についても、実施形態の偏光装置を適用できる。 Although the wire grid polarizer 32 having no frame portion has been described, the polarizing device of the embodiment can also be applied to the wire grid polarizer having a frame portion.

1 製造設備
10 送り出しローラ
12 巻取りローラ
20 偏光光照射装置
22 光源
24 反射鏡
26 ルーバ
30 偏光装置
32 ワイヤーグリッド偏光子
32A 一辺
32B 他辺
32C 一方面
32D 他方面
34 フレーム
36 開口
37 固定部
37A 貫通孔
40 調整機構
41 把持部
42 支点
43 延長部
44 付勢機構
44A コイルバネ
44B 収容部
45 送りネジ
45A シンブル
45B スピンドル
46 プレート
47 ネジ
48 ブロック
49 第1段差
50 第2段差
51 固定面
52 ネジ穴
53 プレート
54 ネジ
55 プレート
55A 先端
55B 後端
56 支点
57 トーションバネ
60 支持部
61 ピン
62 支持部材
63 溝付きローラ
64 コイルバネ
65 溝
L、L1、L2 距離
MD 搬送方向
TD 幅方向
S 空間
W ワーク
WD 幅
1 Manufacturing equipment 10 Feeding roller 12 Winding roller 20 Polarized light irradiation device 22 Light source 24 Reflector 26 Louver 30 Polarizing device 32 Wire grid Polarizer 32A One side 32B Other side 32C One side 32D The other side 34 Frame 36 Opening 37 Fixed part 37A Penetration Hole 40 Adjusting mechanism 41 Gripping part 42 Supporting point 43 Extension part 44 Biasing mechanism 44A Coil spring 44B Accommodating part 45 Feed screw 45A Thimble 45B Spindle 46 Plate 47 Screw 48 Block 49 First step 50 Second step 51 Fixed surface 52 Screw hole 53 Plate 54 Screw 55 Plate 55A Tip 55B Rear end 56 Supporting point 57 Torsion spring 60 Supporting part 61 Pin 62 Supporting member 63 Grooved roller 64 Coil spring 65 Groove L, L1, L2 Distance MD Transport direction TD Width direction S Space W Work WD Width

Claims (8)

一方向に配列された複数の四角形の偏光子と、
前記偏光子の一辺の側に配置され、前記偏光子を回転させる調整機構と、
を備える光源からの光を偏光する偏光装置であって、
前記調整機構は、
前記偏光子の対向する面を把持する把持部と、
前記把持部に配置された支点と、
前記支点を中心に前記把持部を回転させる作動部と、
を備え
前記偏光子の一辺と対向する他辺に配置され、前記偏光子の他辺の側を支持する支持部を備え、
前記支持部が、溝付きのローラと、前記ローラを前記調整機構の側に付勢する弾性部材と、を備える偏光装置。
Multiple quadrangular polarizers arranged in one direction,
An adjustment mechanism that is arranged on one side of the polarizer and rotates the polarizer,
A polarizing device that polarizes light from a light source equipped with
The adjustment mechanism is
A grip portion that grips the opposing surfaces of the polarizer,
The fulcrum arranged in the grip portion and
An actuating part that rotates the grip part around the fulcrum, and
Equipped with a,
A support portion that is arranged on the other side facing one side of the polarizer and supports the other side of the polarizer is provided.
A polarizing device in which the support portion includes a grooved roller and an elastic member that urges the roller toward the adjustment mechanism.
前記把持部が、前記偏光子の一辺の長さに対して50%以上80%以下の長さを有する請求項1に記載の偏光装置。 The polarizing device according to claim 1, wherein the grip portion has a length of 50% or more and 80% or less with respect to the length of one side of the polarizer. 隣接する前記偏光子が、前記偏光子の厚み方向において距離を置いて配置される請求項1又は2に記載の偏光装置。 The polarizing device according to claim 1 or 2 , wherein adjacent polarizing elements are arranged at a distance in the thickness direction of the polarizing elements. 隣接する前記偏光子が、前記偏光子を平面視で一部重なり合う請求項に記載の偏光装置。 The polarizing device according to claim 3 , wherein the adjacent polarizing elements partially overlap the polarizing elements in a plan view. 前記作動部が、付勢機構と前記付勢機構に対して動作する送りネジとを有する請求項1からの何れか1項に記載の偏光装置。 The polarizing device according to any one of claims 1 to 4 , wherein the operating portion has an urging mechanism and a feed screw that operates with respect to the urging mechanism. 前記送りネジの長さ方向が、前記複数の偏光子の配列された一方向と平行である請求項に記載の偏光装置。 The polarizing device according to claim 5 , wherein the length direction of the lead screw is parallel to one direction in which the plurality of polarizers are arranged. 前記偏光子が、ワイヤーグリッド偏光子である請求項1からの何れか1項に記載の偏光装置。 The polarizing device according to any one of claims 1 to 6 , wherein the polarizing element is a wire grid polarizing element. 表面に光配向膜用材料が形成された対象物を搬送するステップと、
請求項1からの何れか1項に記載された偏光装置を介して光源からの光を偏光し、偏光した光を前記光配向膜用材料に照射するステップと、
を含む光配向膜の製造方法。
A step of transporting an object having a photoalignment film material formed on its surface,
A step of polarizing light from a light source through the polarizing device according to any one of claims 1 to 7 and irradiating the material for a photoalignment film with the polarized light.
A method for producing a photoalignment film containing.
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