JP6876487B2 - Inspection device, inspection method, functional liquid discharge device and correction method - Google Patents

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Description

本発明は、ノズルからの機能液の吐出状態を検査する検査装置、検査方法機能液吐出装置及び補正方法に関する。 The present invention relates to an inspection device, an inspection method , a functional liquid discharge device, and a correction method for inspecting a state of discharge of functional liquid from a nozzle.

従来、有機EL(Electroluminescence)の発光を利用した発光ダイオードである有機発光ダイオード(OLED:Organic Light Emitting Diode)が知られている。かかる有機発光ダイオードを用いた有機ELディスプレイは、薄型軽量かつ低消費電力であるうえ、応答速度や視野角、コントラスト比の面で優れているといった利点を有していることから、次世代のフラットパネルディスプレイ(FPD)として近年注目されている。 Conventionally, an organic light emitting diode (OLED), which is a light emitting diode utilizing light emission of organic EL (Electroluminescence), is known. An organic EL display using such an organic light emitting diode has advantages such as thinness, light weight, low power consumption, and excellent response speed, viewing angle, and contrast ratio. Therefore, it is a next-generation flat. In recent years, it has been attracting attention as a panel display (FPD).

有機発光ダイオードは、基板上の陽極と陰極の間に有機EL層を挟んだ構造を有している。有機EL層は、例えば陽極側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び電子注入層が積層されて形成される。これらの有機EL層の各層(特に正孔注入層、正孔輸送層及び発光層)を形成するにあたっては、例えばインクジェット方式で有機材料の機能液を基板上に吐出するといった方法が用いられる。 The organic light emitting diode has a structure in which an organic EL layer is sandwiched between an anode and a cathode on a substrate. The organic EL layer is formed by laminating, for example, a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in this order from the anode side. In forming each of these organic EL layers (particularly the hole injection layer, the hole transport layer and the light emitting layer), a method of ejecting a functional liquid of an organic material onto a substrate by, for example, an inkjet method is used.

ところで、有機発光ダイオードは、有機EL層の各層がそれぞれ数十nmの薄膜にて形成されるため、各層のいずれかにおいて例えば機能液の吐出不良が生じていれば、その影響が製品を動作させた場合に顕著に現れてしまう。このため、かかる機能液の吐出不良を抑制するべく、検査用基板や検査用シートなどの被吐出体上に吐出された機能液によって形成された液滴の状態を観察し、機能液を吐出したノズルの状態すなわち機能液の吐出状態を検査し、検査結果に基づいて吐出条件を補正することが必要となる。なお、上記補正の際の被吐出体は、例えば検査用基板や検査用シートである。 By the way, in the organic light emitting diode, each layer of the organic EL layer is formed of a thin film having a thickness of several tens of nm. Therefore, if, for example, a defective discharge of a functional liquid occurs in any of the layers, the influence thereof causes the product to operate. In that case, it will appear prominently. Therefore, in order to suppress such defective discharge of the functional liquid, the state of the droplets formed by the functional liquid discharged on the ejected body such as the inspection substrate or the inspection sheet was observed, and the functional liquid was discharged. It is necessary to inspect the state of the nozzle, that is, the discharge state of the functional liquid, and correct the discharge condition based on the inspection result. The ejected body at the time of the above correction is, for example, an inspection substrate or an inspection sheet.

特許文献1には、上述したインクジェット方式で形成された液滴の状態に基づいて機能液の吐出状態を検査する装置が開示され、該装置では、検査基板上に着弾した機能液滴を撮像する撮像手段と、撮像された液滴の画像を用いて液滴の直径を解析する解析手段と、機能液滴の直径等に基づいて、機能液滴の体積を算出する算出手段を備えている。また、特許文献1には、算出された機能液滴の体積に基づいて、ノズルの駆動素子の駆動波形すなわち吐出条件を制御することが開示されている。 Patent Document 1 discloses an apparatus for inspecting a discharge state of a functional liquid based on the state of a droplet formed by the above-mentioned inkjet method, and the apparatus images a functional droplet landed on an inspection substrate. It includes an imaging means, an analysis means for analyzing the diameter of the droplet using an image of the captured droplet, and a calculation means for calculating the volume of the functional droplet based on the diameter of the functional droplet and the like. Further, Patent Document 1 discloses that the driving waveform of the driving element of the nozzle, that is, the ejection condition is controlled based on the calculated volume of the functional droplet.

しかしながら、機能液(インク)の性質やノズルの汚れ等により、液滴が適切な形状(例えば真円)にならないことが多々発生する。液滴が適切な形状でない場合、検査結果に基づいて吐出条件を補正することができない。補正したとしても補正後に良好な結果を得ることができない。 However, due to the nature of the functional liquid (ink), dirt on the nozzle, etc., the droplets often do not have an appropriate shape (for example, a perfect circle). If the droplets are not in the proper shape, the ejection conditions cannot be corrected based on the inspection results. Even if it is corrected, a good result cannot be obtained after the correction.

それに対し、特許文献2には、機能液吐出ヘッドに設けた複数のノズルから機能を吐出させて基板に機能液の液滴を形成する機能液吐出方法であって、各ノズルから吐出されて検査用基板に着弾した各液滴の画像を取得する撮像工程と、撮像工程で取得した各液滴の画像の外形形状を、正常パターンの真円の外形形状と比較し、マッチング率が閾値に達しない画像を異常画像とし、マッチング率が閾値に達した画像を正常画像として選択する画像処理工程と、画像処理工程で正常画像として選択された画像に基づいて機能液の着弾面積を求め、当該着弾面積に基づいて当該機能液を吐出したノズルからの機能液の吐出量を制御する制御工程と、を有することにより、機能液の吐出量すなわち吐出条件を適切に補正できるものが開示されている。 On the other hand, Patent Document 2 describes a functional liquid discharge method in which a function is discharged from a plurality of nozzles provided in a functional liquid discharge head to form droplets of the functional liquid on a substrate, and the liquid is discharged from each nozzle for inspection. The matching rate reaches the threshold value by comparing the outer shape of the image of each droplet acquired in the imaging process with the image of each droplet landed on the substrate with the outer shape of a perfect circle of the normal pattern. The landing area of the functional liquid is obtained based on the image processing step of selecting an image whose matching rate has reached the threshold as a normal image and the image selected as a normal image in the image processing step. By having a control step of controlling the discharge amount of the functional liquid from the nozzle that discharges the functional liquid based on the area, the discharge amount of the functional liquid, that is, the discharge condition can be appropriately corrected.

特開2005−119139号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-119139 特開2010−188263号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-188263

特許文献2に記載の方法では、図9(A)に示すようにノズルの状態等が正常であり撮像される液滴の画像(撮像画像)L1の外形形状が真円であれば該画像L1は正常パターンであると判定される。また、図9(B)に示すようにノズルの状態等が正常ではなく液滴の撮像画像L1の外形形状が真円でなければ該画像L1は異常パターンであると判定され、図9(C)に示すように、ノズルの状態等が正常であるが液滴の中に異物C1が存在することにより液滴の撮像画像L1の外形形状が真円でなければ該画像L1は異常パターンであると判定される。しかし、特許文献2に記載の方法では、図9(D)に示すように、ノズルの状態が正常であるが液滴の中に異物C1が存在するが液滴の撮像画像L1の外形形状が真円となる場合、正常パターンと判定されてしまう。異物C1が存在する分、液滴は大きく形成されるので、異物C1を含む液滴の撮像画像L1を正常パターンとして含めて、撮像画像に基づく吐出条件を補正すると、適切に補正することができない。
異物C1ではなく、検査用のシート等の被吐出体にキズ等が存在する部分に液滴が形成される場合も同様である。
In the method described in Patent Document 2, as shown in FIG. 9A, if the state of the nozzle or the like is normal and the external shape of the image of the droplet (image taken) L1 to be imaged is a perfect circle, the image L1 Is determined to be a normal pattern. Further, as shown in FIG. 9B, if the state of the nozzle or the like is not normal and the outer shape of the captured image L1 of the droplet is not a perfect circle, the image L1 is determined to be an abnormal pattern, and FIG. 9C ), But the state of the nozzle is normal, but the external shape of the captured image L1 of the droplet is not a perfect circle due to the presence of foreign matter C1 in the droplet, the image L1 is an abnormal pattern. Is determined. However, in the method described in Patent Document 2, as shown in FIG. 9D, although the state of the nozzle is normal, the foreign matter C1 is present in the droplet, but the outer shape of the captured image L1 of the droplet is If it becomes a perfect circle, it will be judged as a normal pattern. Since the droplets are formed larger due to the presence of the foreign matter C1, if the captured image L1 of the droplet containing the foreign matter C1 is included as a normal pattern and the ejection conditions based on the captured image are corrected, the correction cannot be performed appropriately. ..
The same applies to the case where droplets are formed not on the foreign matter C1 but on a portion where scratches or the like are present on the ejected body such as an inspection sheet.

また、被吐出体として親液性の検査シートを用いると、機能液によっては、ノズルの状態の等、全てが正常である場合に、図10(A)に示すように、液滴の撮像画像L2が二重の同心円となる場合がある。
特許文献2に記載の方法では、図10(A)の画像L2は外形形状が真円であるため該画像L2は正常パターンであると判定され、また、図10(B)に示すように、小円の中心が大円の中心から大きくずれることにより外形形状が真円ではない液滴の撮像画像L2は異常パターンと判定される。しかし、特許文献2に記載の方法では、図10(C)に示すように同心でない二重円であって外形形状が真円である撮像画像L2は、正常パターンと判定されてしまう。
図10(A)の撮像画像L2が得られる場合と、図10(C)の撮像画像L2が得られる場合とでは、親液性の検査シートへの機能液の浸透態様が異なるため、これらの場合において撮像画像面積が同じであっても、検査シートへ浸透した機能液の量すなわち機能液の吐出量は異なる。したがって、図10(C)の撮像画像L2を正常パターンとして、撮像画像に基づく吐出条件を補正すると、適切に補正することができない。
Further, when a lipophilic test sheet is used as the ejected body, as shown in FIG. 10A, when everything is normal such as the state of the nozzle depending on the functional liquid, an image of the droplet is captured. L2 may be a double concentric circle.
In the method described in Patent Document 2, since the image L2 in FIG. 10 (A) has a perfect circular outer shape, it is determined that the image L2 has a normal pattern, and as shown in FIG. 10 (B), the image L2 is determined to have a normal pattern. The captured image L2 of the droplet whose outer shape is not a perfect circle is determined to be an abnormal pattern because the center of the small circle deviates greatly from the center of the great circle. However, in the method described in Patent Document 2, the captured image L2, which is a non-concentric double circle and has a perfect outer shape as shown in FIG. 10C, is determined to be a normal pattern.
Since the permeation mode of the functional liquid into the lipophilic test sheet differs between the case where the captured image L2 of FIG. 10 (A) is obtained and the case where the captured image L2 of FIG. 10 (C) is obtained, these In some cases, even if the captured image area is the same, the amount of the functional liquid that has permeated the inspection sheet, that is, the discharge amount of the functional liquid is different. Therefore, if the ejection conditions based on the captured image are corrected using the captured image L2 of FIG. 10C as a normal pattern, the correction cannot be performed appropriately.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、機能液滴の撮像結果を用いた、機能液の吐出状態の検査結果に基づいて、機能液の吐出条件をより適切に補正することができるようにすることを目的とする。 The present invention has been made in view of this point, and it is possible to more appropriately correct the discharge condition of the functional liquid based on the inspection result of the discharge state of the functional liquid using the imaging result of the functional droplet. The purpose is to be able to do it.

上記課題を解決する本発明は、ノズルからの機能液の吐出状態を検査する検査装置であって、前記ノズルから吐出された機能液により被吐出体上に形成された複数の液滴を撮像する撮像部と、該撮像部での撮像結果に基づいて、前記液滴の形成状態を計測する計測部と、前記複数の液滴それぞれについて、前記撮像部での撮像画像全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、前記複数の液滴のうち前記計測部での計測対象とする液滴を選択する選択部と、前記所定の形態を有する液滴の画像を、前記撮像部で撮像された前記複数の液滴の撮像画像の中から選択する基準画像選択部と、を備えることを特徴としている。 The present invention that solves the above problems is an inspection device that inspects the discharge state of the functional liquid from the nozzle, and images a plurality of droplets formed on the ejected body by the functional liquid discharged from the nozzle. The imaging unit, the measuring unit that measures the formation state of the droplet based on the imaging result of the imaging unit, the entire image captured by the imaging unit, and a predetermined form for each of the plurality of droplets. It has a selection unit that performs pattern matching with the entire image of the droplets to be possessed and selects a droplet to be measured by the measurement unit from the plurality of droplets based on the matching result, and the predetermined form. It is characterized by including a reference image selection unit for selecting an image of a droplet from among the captured images of the plurality of droplets imaged by the imaging unit.

前記撮像画像及び前記所定の形態を有する液滴の画像は、256階調で表されたグレースケール画像であることが好ましい。 The captured image and the image of the droplet having the predetermined form are preferably grayscale images represented by 256 gradations.

前記撮像画像及び前記所定の形態を有する液滴の画像は、各色が256階調で表されたカラー画像であることが好ましい。 The captured image and the image of the droplet having the predetermined form are preferably color images in which each color is represented by 256 gradations.

また別な観点による本発明によれば、複数の前記ノズルと、上記検査装置と、前記ノズル毎に、前記計測部での計測対象とする液滴として選択された液滴についての前記計測部での計測結果に基づいて、機能液の吐出条件を補正する制御部と、を備える機能液吐出装置が提供される。 According to the present invention from another viewpoint, the plurality of the nozzles, the inspection device, and the measuring unit for each of the nozzles are selected as the droplets to be measured by the measuring unit. A functional liquid discharge device including a control unit for correcting the discharge condition of the functional liquid based on the measurement result of the above is provided.

さらに別な観点による本発明によれば、ノズルからの機能液の吐出状態を検査する検査方法であって、前記ノズルから吐出された機能液により被吐出体上に形成された複数の液滴を撮像部で撮像するステップと、前記複数の液滴それぞれについて、前記撮像部での撮像画像全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、前記複数の液滴のうち計測対象の液滴を選択するステップと、選択された計測対象の液滴について、前記撮像部での撮像結果に基づいて、当該液滴の形成状態を計測するステップと、を含み、前記所定の形態を有する液滴の画像を、前記撮像部で撮像された前記複数の液滴の撮像画像の中から選択するステップをさらに含むことを特徴としている。
さらに別な観点による本発明によれば、ノズルからの機能液の吐出条件を補正する方法であって、前記ノズルから吐出された機能液により被吐出体上に形成された複数の液滴を撮像部で撮像するステップと、前記複数の液滴それぞれについて、前記撮像部での撮像画像全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、前記複数の液滴のうち計測対象の液滴を選択するステップと、選択された計測対象の液滴について、前記撮像部での撮像結果に基づいて、当該液滴の形成状態を計測するステップと、前記ノズル毎に、前記選択された計測対象の液滴についての、前記計測するステップでの計測結果に基づいて、機能液の吐出条件を補正するステップと、を含み、前記所定の形態を有する液滴の画像を、前記撮像部で撮像された前記複数の液滴の撮像画像の中から選択するステップをさらに含むことを特徴としている。
According to the present invention from yet another viewpoint, it is an inspection method for inspecting the discharge state of the functional liquid from the nozzle, and a plurality of droplets formed on the ejected body by the functional liquid discharged from the nozzle are formed. For each of the step of imaging by the imaging unit and the plurality of droplets, pattern matching is performed between the entire image captured by the imaging unit and the entire image of the droplet having a predetermined shape, and based on the matching result, the said A step of selecting a droplet to be measured from a plurality of droplets, and a step of measuring the formation state of the selected droplet to be measured based on the imaging result of the imaging unit. only contains the image of the droplets having the predetermined configuration, it is characterized in further including Mukoto the step of selecting from among the captured images of the plurality of droplets captured by the imaging unit.
According to the present invention from yet another viewpoint, it is a method of correcting the discharge condition of the functional liquid from the nozzle, and images a plurality of droplets formed on the ejected body by the functional liquid discharged from the nozzle. For each of the step of imaging by the unit and the plurality of droplets, pattern matching is performed between the entire image captured by the imaging unit and the entire image of the droplet having a predetermined shape, and based on the matching result, the plurality of droplets are imaged. A step of selecting a droplet to be measured from among the droplets of the above, a step of measuring the formation state of the selected droplet to be measured based on the imaging result of the imaging unit, and the step described above. For each nozzle, the selected droplet to be measured includes a step of correcting the discharge condition of the functional liquid based on the measurement result in the measurement step, and the droplet has the predetermined form. The image is characterized by further including a step of selecting from the captured images of the plurality of droplets captured by the imaging unit.

本発明によれば、検査のために吐出された機能液により被吐出体上に形成された液滴に異物が存在する場合や被吐出体にキズが存在する場合等においても、機能液滴の撮像結果を用いた機能液の吐出状態の検査結果に基づいて、機能液の吐出条件を適切に補正することができる。 According to the present invention, even when a foreign substance is present in the droplet formed on the ejected body by the functional liquid discharged for inspection or the ejected body is scratched, the functional droplet is Based on the inspection result of the discharge state of the functional liquid using the imaging result, the discharge condition of the functional liquid can be appropriately corrected.

本実施の形態に係る検査装置の構成の概略を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the outline of the structure of the inspection apparatus which concerns on this embodiment. 本実施の形態に係る検査方法の一例を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining an example of the inspection method which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る検査装置を備えた機能液吐出装置の構成の概略を示す模式側面図である。It is a schematic side view which shows the outline of the structure of the functional liquid discharge device provided with the inspection device which concerns on this embodiment. 図3の機能液吐出装置の模式平面図である。It is a schematic plan view of the functional liquid discharge device of FIG. 参考実施形態にかかる検査装置の構成の概略を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the outline of the structure of the inspection apparatus which concerns on a reference embodiment. 参考実施形態に係る検査方法の一例を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining an example of the inspection method which concerns on a reference embodiment. 機能液により形成された液滴の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the droplet formed by the functional liquid. 参考実施形態の検査装置の技術的効果を説明する図である。It is a figure explaining the technical effect of the inspection apparatus of a reference embodiment. 検査吐出された機能液により形成された液滴の撮像画像の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the captured image of the droplet formed by the functional liquid which was inspected and discharged. 検査吐出された機能液により形成された液滴の撮像画像の他の例を示す図である。It is a figure which shows another example of the captured image of the droplet formed by the functional liquid which was inspected and discharged.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present specification and the drawings, elements having substantially the same functional configuration are designated by the same reference numerals, so that duplicate description will be omitted.

先ず、本実施の形態に係る検査装置の構成について、図1を参照して説明する。図1は、検査装置の構成の概略を示す模式図である。なお、各構成要素の寸法は、技術の理解の容易さを優先させるため、必ずしも実際の寸法に対応していない。 First, the configuration of the inspection device according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view showing an outline of the configuration of an inspection device. It should be noted that the dimensions of each component do not necessarily correspond to the actual dimensions in order to prioritize the ease of understanding the technology.

図1の検査装置1は、撮像部10と、制御部11とを有している。検査装置1は、検査シート20上に形成された検査用の複数の液滴21を撮像部10で撮像し、上記液滴21を形成する機能液の吐出状態を検査する。なお、各液滴21は、機能液をインクジェット方式でノズルから2回以上の所定回数吐出することにより形成される。また、検査シート20に形成される液滴21の数は例えば数十個である。検査シート20は本実施形態に係る「被吐出体」の一例である。 The inspection device 1 of FIG. 1 has an imaging unit 10 and a control unit 11. The inspection device 1 takes an image of a plurality of inspection droplets 21 formed on the inspection sheet 20 by the imaging unit 10 and inspects the discharge state of the functional liquid forming the droplets 21. Each droplet 21 is formed by ejecting the functional liquid from the nozzle twice or more a predetermined number of times by an inkjet method. Further, the number of droplets 21 formed on the inspection sheet 20 is, for example, several tens. The inspection sheet 20 is an example of the “discharged body” according to the present embodiment.

撮像部10は、検査シート20の主面に対して当該撮像部10の光軸が垂直となる向きに配置され、本実施の形態においては検査シート20の鉛直上方に配置される。撮像部10には、種々のカメラを用いることができるが、例えばエリアスキャンカメラが用いられる。そして、撮像部10は、検査シート20の液滴21が形成された領域を撮像する。撮像部10で撮像された撮像画像は、制御部11に出力される。なお、検査シート20上の全ての液滴21についての撮像画像が撮像できるよう、検査装置1または検査シート20が載置されるステージが移動可能に構成されていることが好ましい。 The imaging unit 10 is arranged in a direction in which the optical axis of the imaging unit 10 is perpendicular to the main surface of the inspection sheet 20, and is arranged vertically above the inspection sheet 20 in the present embodiment. Various cameras can be used for the image pickup unit 10, and for example, an area scan camera is used. Then, the imaging unit 10 images the region where the droplet 21 of the inspection sheet 20 is formed. The captured image captured by the imaging unit 10 is output to the control unit 11. It is preferable that the inspection device 1 or the stage on which the inspection sheet 20 is placed is movable so that the captured images of all the droplets 21 on the inspection sheet 20 can be captured.

液滴を観察する光源は例えばLED光源、ハロゲン光源、紫外光源を使用し、光源の形態は、同軸落射あるいは透過光の面光源とし、観察時には液滴中の溶媒を検査シートに染み込ませた状態、あるいは、液滴中の溶媒を蒸散させた状態とすることで、液滴をより鮮明に観察することができる。 For example, an LED light source, a halogen light source, or an ultraviolet light source is used as the light source for observing the droplets, and the form of the light source is a surface light source of coaxial epi-illumination or transmitted light, and the solvent in the droplets is impregnated into the inspection sheet during observation. Alternatively, the droplets can be observed more clearly by setting the solvent in the droplets to be in a vaporized state.

制御部11は、検査装置1における撮像部10等の動作を制御する。また、制御部11は、計測部11aと選択部11bを有する。 The control unit 11 controls the operation of the imaging unit 10 and the like in the inspection device 1. Further, the control unit 11 has a measurement unit 11a and a selection unit 11b.

計測部11aは、撮像部10での撮像結果に基づいて、液滴21の形成状態を計測する。例えば、計測部11aは、選択された液滴21の大きさ及び形成位置を計測する。 The measuring unit 11a measures the formation state of the droplet 21 based on the imaging result of the imaging unit 10. For example, the measuring unit 11a measures the size and formation position of the selected droplet 21.

選択部11bは、複数の液滴21のうち計測部11aでの計測対象の液滴21を選択するものである。具体的には、選択部11bは、複数の液滴21それぞれについて、撮像部10で撮像した液滴21の画像(撮像画像)全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、複数の液滴21のうち計測部11aでの計測対象とする液滴21を選択する。 The selection unit 11b selects the droplet 21 to be measured by the measurement unit 11a from among the plurality of droplets 21. Specifically, the selection unit 11b performs pattern matching between the entire image of the droplet 21 (captured image) captured by the imaging unit 10 and the entire image of the droplet having a predetermined shape for each of the plurality of droplets 21. Is performed, and the droplet 21 to be measured by the measuring unit 11a is selected from the plurality of droplets 21 based on the matching result.

上記所定の形態を有する液滴の画像とは、正常な機能液滴の形態が黒地の真円である場合(図9(A)参照)は黒地(図では白地)の真円の画像であり、正常な機能液滴の形態が白地の同心の二重円である場合(図10(A)参照)は白地の同心の二重円の画像である。なお、「形態」には、少なくとも形状及び色が含まれる。上記所定の形態を有する液滴の画像は、例えば、検査装置1に予め記憶されたものである。 The image of the droplet having the predetermined morphology is an image of a perfect circle on a black background (white background in the figure) when the morphology of the normal functional droplet is a perfect circle on a black background (see FIG. 9A). When the morphology of the normal functional droplet is a concentric double circle on a white background (see FIG. 10 (A)), it is an image of a concentric double circle on a white background. The "form" includes at least a shape and a color. The image of the droplet having the predetermined form is, for example, stored in advance in the inspection device 1.

また、パターンマッチングは、例えば、液滴21の撮像画像及び上記所定の形態を有する液滴の画像として、256階調で表されたグレースケール画像を取得し、画素毎にマッチング度を算出して行われる。選択部11bは、例えば、算出したマッチング度の平均値が所定値を超えている場合に、当該画像に係る液滴21を計測対象として選択する。
なお、256階調で表されたグレースケール画像に代えて、各色が256階調で表されたカラー画像を用いるようにしてもよい。
Further, in the pattern matching, for example, as an image of the droplet 21 and an image of the droplet having the above-mentioned predetermined form, a grayscale image represented by 256 gradations is acquired, and the matching degree is calculated for each pixel. Will be done. For example, when the average value of the calculated matching degrees exceeds a predetermined value, the selection unit 11b selects the droplet 21 related to the image as the measurement target.
Instead of the grayscale image represented by 256 gradations, a color image in which each color is represented by 256 gradations may be used.

また、パターンマッチングの手法としては、公知の手法を任意に採用することができる。例えば、池田光二、他4名、「正規化相関演算の単調関数化による高速テンプレートマッチング」、電子情報通信学会論文誌 D、電子情報通信学会、2009年9月25日、J83−D2、第9号、p.1861−1869に記載の方法を採用することができる。 Further, as a pattern matching method, a known method can be arbitrarily adopted. For example, Koji Ikeda and 4 others, "High-speed template matching by monotonic function of normalization correlation calculation", IEICE Transactions D, IEICE, September 25, 2009, J83-D2, 9th No., p. The method described in 1861-1869 can be adopted.

なお、所定の形態を有する画像(以下、基準画像)は、上述では、予め記憶されたものであるとしたが、複数の液滴21の撮像画像の中から選択してもよい。選択する場合は、例えば、作業者が手動で選択する。また、制御部11に基準画像選択部11cを設けて、上述とは別のパターンマッチングを行って真円や二重の同心円に最も近い撮像画像を自動的に選択するようにしてもよい。
基準画像選択部11cは、以下のように基準画像を変更するものであってもよい。すなわち、基準画像選択部11cは、作業者が手動で選択した基準画像、または、該基準画像選択部11cが自動的に選択した基準画像に基づいて、前述のパターンマッチングと同様に、全ての液滴21の撮像画像について、画像全体に対するパターンマッチングを行い、マッチング度の分布を取得する。そして、基準画像選択部11cは、該マッチング度分布においてマッチング度が最高点のところにピークがない場合に、ピークとなるマッチング度を示す撮像画像の中から自動的に1つ画像を抽出し、該画像を新たな基準画像にするものであってもよい。具体的には、マッチング度の最高点が1000であるとした場合に、マッチング度分布においてマッチング度が900であるところにピークがある場合、マッチング度が900の撮像画像の中から画像を1つ抽出し、該画像を新たな基準画像にするものであってもよい。
Although the image having a predetermined form (hereinafter referred to as a reference image) is assumed to be stored in advance in the above description, it may be selected from the captured images of a plurality of droplets 21. When selecting, for example, the operator manually selects it. Further, a reference image selection unit 11c may be provided in the control unit 11 to perform pattern matching different from the above and automatically select the captured image closest to the perfect circle or the double concentric circles.
The reference image selection unit 11c may change the reference image as follows. That is, the reference image selection unit 11c is based on the reference image manually selected by the operator or the reference image automatically selected by the reference image selection unit 11c, and all the liquids are similar to the pattern matching described above. For the captured image of the drop 21, pattern matching is performed on the entire image, and the distribution of the degree of matching is acquired. Then, the reference image selection unit 11c automatically extracts one image from the captured images showing the peak matching degree when there is no peak at the highest matching point in the matching degree distribution. The image may be used as a new reference image. Specifically, assuming that the highest point of the matching degree is 1000, and there is a peak in the matching degree distribution where the matching degree is 900, one image is selected from the captured images having the matching degree of 900. The image may be extracted and used as a new reference image.

制御部11は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部(図示せず)を有している。プログラム格納部には、撮像部10の動作を制御するためのプログラムに加えて、撮像画像を画像処理するプログラムや、当該画像処理されたデータに基づいて、液滴21の大きさ及び該液滴21の検査シート20上の位置を算出するプログラムなどが格納されている。また、プログラム格納部には、上記画像処理されたデータに基づいて、選択部11b及び基準画像選択部11cでのパターンマッチングを行うプログラムも格納されている。なお、上記前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルデスク(MO)、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部11にインストールされたものであってもよい。 The control unit 11 is, for example, a computer and has a program storage unit (not shown). In the program storage unit, in addition to a program for controlling the operation of the imaging unit 10, a program for image processing the captured image and the size of the droplet 21 and the droplet based on the image-processed data. A program for calculating the position of the 21 on the inspection sheet 20 is stored. Further, the program storage unit also stores a program that performs pattern matching in the selection unit 11b and the reference image selection unit 11c based on the image-processed data. The program is recorded on a computer-readable storage medium such as a computer-readable hard disk (HD), flexible disk (FD), compact disk (CD), magnet optical desk (MO), or memory card. It may have been installed in the control unit 11 from the storage medium.

次に、以上のように構成された検査装置1を用いて行われる、機能液の吐出状態の検査方法について図2を用い図9及び図10を参照して説明する。図2は、上記検査方法の一例を説明するフローチャートである。 Next, a method of inspecting the discharge state of the functional liquid, which is performed using the inspection device 1 configured as described above, will be described with reference to FIGS. 9 and 10 with reference to FIG. FIG. 2 is a flowchart illustrating an example of the above inspection method.

検査用にノズルから機能液が吐出され、検査シート20に複数の液滴21が形成されると、撮像部10は、検査シート20上の液滴21を撮像する(ステップS1)。撮像部10での撮像は、検査シート20上の全ての液滴21について撮像が完了するまで行われる。撮像部10で撮像された撮像画像は、制御部11の計測部11a及び選択部11bに出力される。 When the functional liquid is discharged from the nozzle for inspection and a plurality of droplets 21 are formed on the inspection sheet 20, the imaging unit 10 images the droplets 21 on the inspection sheet 20 (step S1). The imaging by the imaging unit 10 is performed until the imaging of all the droplets 21 on the inspection sheet 20 is completed. The captured image captured by the imaging unit 10 is output to the measurement unit 11a and the selection unit 11b of the control unit 11.

撮像部10で撮像される複数の液滴21は、図9に示すような異物C1が含まれておらず、検査シート20にキズ等がなく、該液滴21の撮像画像を取得したときに、図9(A)や図10(A)に示すように、撮像画像L1、L2が真円や同心の二重円となるのが理想的である。しかし、取得した撮像画像L1は、図9(B)及び図9(C)に示すように真円とならない場合や、図9(C)及び図9(D)に示すように異物C1を含む場合があり、また、取得した撮像画像L2は、図10(B)及び図10(C)に示すように二重の同心円とならない場合がある。 When the plurality of droplets 21 imaged by the imaging unit 10 do not contain the foreign matter C1 as shown in FIG. 9, the inspection sheet 20 is not scratched, and the captured image of the droplet 21 is acquired. Ideally, the captured images L1 and L2 are perfect circles or concentric double circles, as shown in FIGS. 9 (A) and 10 (A). However, the acquired captured image L1 may not be a perfect circle as shown in FIGS. 9 (B) and 9 (C), or may contain a foreign substance C1 as shown in FIGS. 9 (C) and 9 (D). In some cases, the acquired image L2 may not be a double concentric circle as shown in FIGS. 10 (B) and 10 (C).

そこで、選択部11bは、複数の液滴21それぞれの撮像画像について、基準画像を用いた画像全体に対するパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、複数の液滴21の中から計測対象とする液滴21を選択する(ステップS2)。例えば、選択部11bは、各撮像画像に対応する液滴21を計測対象とするか否かを上記パターンマッチング結果に基づいて判定し、マッチング度が閾値を超えている撮像画像に対応する液滴21を計測対象として選択する。これにより、図9(A)や図10(A)の撮像画像L1、L2に似た撮像画像L1、L2に対応する液滴21のみを計測対象として選択/抽出することができる。 Therefore, the selection unit 11b performs pattern matching on the entire image using the reference image for each of the captured images of the plurality of droplets 21, and based on the matching result, the liquid to be measured from among the plurality of droplets 21. Drop 21 is selected (step S2). For example, the selection unit 11b determines whether or not the droplet 21 corresponding to each captured image is to be measured based on the pattern matching result, and the droplet corresponding to the captured image whose matching degree exceeds the threshold value. 21 is selected as the measurement target. Thereby, only the droplet 21 corresponding to the captured images L1 and L2 similar to the captured images L1 and L2 of FIGS. 9 (A) and 10 (A) can be selected / extracted as the measurement target.

計測部11aは、選択部11bで選択された撮像画像すなわち液滴21について、当該撮像画像に基づいて、当該液滴21の大きさ及び形成位置すなわち機能液の吐出量及び吐出曲りを算出/計測する(ステップS3)。
検査装置1を備える機能液吐出装置では、選択部11bで選択された液滴21の大きさ及び形成位置の計測結果に基づいて吐出条件を調整/補正する。これにより、検査のために吐出された機能液により被吐出体上に形成された液滴に異物が存在する場合や被吐出体にキズが存在する場合等においても、適切に機能液を吐出することができる。
The measuring unit 11a calculates / measures the size and formation position of the droplet 21, that is, the discharge amount of the functional liquid and the discharge bending of the captured image, that is, the droplet 21 selected by the selection unit 11b, based on the captured image. (Step S3).
In the functional liquid discharge device including the inspection device 1, the discharge conditions are adjusted / corrected based on the measurement results of the size and formation position of the droplet 21 selected by the selection unit 11b. As a result, even when foreign matter is present in the droplets formed on the ejected body by the functional liquid ejected for inspection or there are scratches on the ejected body, the functional liquid is appropriately discharged. be able to.

なお、ノズルは通常、1つの機能液吐出ヘッドに対して複数設けられている。したがって、ノズルからの機能液の吐出状態を検査する際、複数のノズルそれぞれから機能液を吐出し、複数の液滴をノズル毎に形成し、その複数の液滴の中から上述の方法で計測対象の液滴をノズル毎に選択するとよい。また、この際、パターンマッチングに用いる基準画像は、ノズル毎に異なってもよいし、全ノズルで共通であってもよい。
また、検査装置1での検査方法は検査シートが親液性であっても疎液性であっても適用することができる。
In addition, a plurality of nozzles are usually provided for one functional liquid discharge head. Therefore, when inspecting the discharge state of the functional liquid from the nozzles, the functional liquid is discharged from each of the plurality of nozzles, a plurality of droplets are formed for each nozzle, and the measurement is performed from the plurality of droplets by the above method. The target droplet may be selected for each nozzle. Further, at this time, the reference image used for pattern matching may be different for each nozzle or may be common to all nozzles.
Further, the inspection method in the inspection apparatus 1 can be applied regardless of whether the inspection sheet is liable or sparse.

次に、以上のように構成された検査装置1の適用例について図3及び図4を参照して説明する。図3は、検査装置1を備え機能液吐出装置の構成の概略を示す模式側面図である。図4は、図3の機能液吐出装置の模式平面図である。なお、以下においては、基板(以下ではワークと記載することがある)の主走査方向をX軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向に直交する鉛直方向をZ軸方向、Z軸方向回りの回動方向をθ方向とする。 Next, an application example of the inspection device 1 configured as described above will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a schematic side view showing an outline of the configuration of the functional liquid discharge device including the inspection device 1. FIG. 4 is a schematic plan view of the functional liquid discharge device of FIG. In the following, the main scanning direction of the substrate (hereinafter sometimes referred to as a work) is the X-axis direction, and the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction is orthogonal to the Y-axis direction, the X-axis direction, and the Y-axis direction. The vertical direction is the Z-axis direction, and the rotation direction around the Z-axis direction is the θ direction.

図3及び図4の機能液吐出装置100は、有機発光ダイオードの有機EL層のいずれか(例えば、正孔注入層や正孔輸送層、発光層)を形成するための有機材料を塗布する。なお、本実施の形態の有機材料は、有機EL層の各層を形成するための所定の材料を有機溶媒に溶解させた溶液である。 The functional liquid discharge device 100 of FIGS. 3 and 4 is coated with an organic material for forming any of the organic EL layers of the organic light emitting diode (for example, a hole injection layer, a hole transport layer, and a light emitting layer). The organic material of the present embodiment is a solution in which a predetermined material for forming each layer of the organic EL layer is dissolved in an organic solvent.

機能液吐出装置100は、主走査方向(X軸方向)に延在して、ワークWを主走査方向に移動させるX軸テーブル30と、X軸テーブル30を跨ぐように架け渡され、副走査方向(Y軸方向)に延在する一対のY軸テーブル31、31とを有している。X軸テーブル30の上面には、一対のX軸ガイドレール32、32がX軸方向に延伸して設けられ、各X軸ガイドレール32には、X軸リニアモータ(図示せず)が設けられている。各Y軸テーブル31の上面には、Y軸ガイドレール33がY軸方向に延伸して設けられ、当該Y軸ガイドレール33には、Y軸リニアモータ(図示せず)が設けられている。 The functional liquid discharge device 100 extends in the main scanning direction (X-axis direction) and is straddled over the X-axis table 30 for moving the work W in the main scanning direction and the X-axis table 30 for sub-scanning. It has a pair of Y-axis tables 31 and 31 extending in the direction (Y-axis direction). A pair of X-axis guide rails 32, 32 are provided extending in the X-axis direction on the upper surface of the X-axis table 30, and an X-axis linear motor (not shown) is provided on each X-axis guide rail 32. ing. A Y-axis guide rail 33 is provided on the upper surface of each Y-axis table 31 so as to extend in the Y-axis direction, and a Y-axis linear motor (not shown) is provided on the Y-axis guide rail 33.

一対のY軸テーブル31、31には、キャリッジユニット40と撮像ユニット50が設けられている。X軸テーブル30上には、ワークステージ60と、吐出検査ユニット70が設けられている。 A carriage unit 40 and an imaging unit 50 are provided on the pair of Y-axis tables 31, 31. A work stage 60 and a discharge inspection unit 70 are provided on the X-axis table 30.

キャリッジユニット40は、Y軸テーブル31において、複数、例えば10個設けられている。各キャリッジユニット40は、キャリッジプレート41と、キャリッジ回動機構42と、キャリッジ43と、機能液吐出ヘッド44とを有している。 A plurality of carriage units 40, for example, 10 are provided in the Y-axis table 31. Each carriage unit 40 has a carriage plate 41, a carriage rotation mechanism 42, a carriage 43, and a functional liquid discharge head 44.

キャリッジプレート41は、Y軸ガイドレール33に取り付けられ、当該Y軸ガイドレール33に設けられたY軸リニアモータによってY軸方向に移動自在になっている。 The carriage plate 41 is attached to the Y-axis guide rail 33, and is movable in the Y-axis direction by a Y-axis linear motor provided on the Y-axis guide rail 33.

キャリッジプレート41の下面の中央には、キャリッジ回動機構42が設けられ、当該キャリッジ回動機構42の下端部にキャリッジ43が着脱自在に取り付けられている。キャリッジ43は、キャリッジ回動機構42によってθ方向に回動自在になっている。 A carriage rotation mechanism 42 is provided in the center of the lower surface of the carriage plate 41, and the carriage 43 is detachably attached to the lower end of the carriage rotation mechanism 42. The carriage 43 is rotatable in the θ direction by the carriage rotation mechanism 42.

キャリッジ43の下面には、複数の機能液吐出ヘッド44が設けられている。本実施の形態では、例えばX軸方向に3個、Y軸方向に2個、すなわち合計6個の機能液吐出ヘッド44が設けられている。機能液吐出ヘッド44の下面、すなわちノズル面には複数の吐出ノズル(図示せず)が形成され、当該吐出ノズルから機能液の液滴が吐出されるようになっている。 A plurality of functional liquid discharge heads 44 are provided on the lower surface of the carriage 43. In the present embodiment, for example, three functional liquid discharge heads 44 are provided in the X-axis direction and two in the Y-axis direction, that is, a total of six functional liquid discharge heads 44 are provided. A plurality of discharge nozzles (not shown) are formed on the lower surface of the functional liquid discharge head 44, that is, the nozzle surface, and droplets of the functional liquid are discharged from the discharge nozzles.

撮像ユニット50は、撮像部10を有している。
撮像部10は、吐出検査ユニット70の検査シート20に検査吐出された液滴を撮像する。撮像部10は、一対のY軸テーブル31、31のうち、X軸正方向側のY軸テーブル31の側面に設けられたベース51に支持されており、検査シート20に検査吐出された全ての液滴を撮像できるよう構成されている。
The image pickup unit 50 has an image pickup unit 10.
The imaging unit 10 images the droplets that have been inspected and ejected on the inspection sheet 20 of the ejection inspection unit 70. The imaging unit 10 is supported by a base 51 provided on the side surface of the Y-axis table 31 on the positive direction side of the X-axis among the pair of Y-axis tables 31 and 31, and all of them are inspected and discharged to the inspection sheet 20. It is configured to be able to image droplets.

ワークステージ60は、例えば真空吸着ステージであり、ワークWを吸着して載置する。ワークステージ60は、当該ワークステージ60の下面側に設けられたステージ回動機構61によって、θ方向に回動自在に支持されている。 The work stage 60 is, for example, a vacuum suction stage, in which the work W is sucked and placed. The work stage 60 is rotatably supported in the θ direction by a stage rotation mechanism 61 provided on the lower surface side of the work stage 60.

ワークステージ60とステージ回動機構61は、ステージ回動機構61の下面側に設けられた第1のX軸スライダ62に支持されている。第1のX軸スライダ62は、X軸ガイドレール32に取り付けられ、当該X軸ガイドレール32に設けられたX軸リニアモータによってX軸方向に移動自在になっている。そして、ワークステージ60(ワークW)も、第1のX軸スライダ62によってX軸ガイドレール32に沿ってX軸方向に移動自在になっている。 The work stage 60 and the stage rotation mechanism 61 are supported by a first X-axis slider 62 provided on the lower surface side of the stage rotation mechanism 61. The first X-axis slider 62 is attached to the X-axis guide rail 32 and is movable in the X-axis direction by an X-axis linear motor provided on the X-axis guide rail 32. The work stage 60 (work W) is also movable in the X-axis direction along the X-axis guide rail 32 by the first X-axis slider 62.

吐出検査ユニット70は、機能液吐出ヘッド44からの検査吐出を受けるユニットである。吐出検査ユニット70は前述の検査シート20が配置されている。
吐出検査ユニット70は、第2のX軸スライダ80に搭載されている。第2のX軸スライダ80は、X軸ガイドレール32に取り付けられ、当該X軸ガイドレール32に設けられたX軸リニアモータによってX軸方向に移動自在になっている。そして、吐出検査ユニット70も、第2のX軸スライダ80によってX軸ガイドレール32に沿ってX軸方向に移動自在になっている。
The discharge inspection unit 70 is a unit that receives inspection discharge from the functional liquid discharge head 44. The above-mentioned inspection sheet 20 is arranged in the discharge inspection unit 70.
The discharge inspection unit 70 is mounted on the second X-axis slider 80. The second X-axis slider 80 is attached to the X-axis guide rail 32 and is movable in the X-axis direction by an X-axis linear motor provided on the X-axis guide rail 32. The discharge inspection unit 70 is also movable in the X-axis direction along the X-axis guide rail 32 by the second X-axis slider 80.

以上の機能液吐出装置100には、上述した制御部11が設けられている。したがって、機能液吐出装置100の内部に設けられた検査装置1は、制御部11によって制御される。但し、この制御部11のプログラム格納部(図示せず)には、検査装置1を制御するためのプログラムに加えて、機能液吐出装置100における基板の処理を制御するプログラムも格納されている。したがって、制御部11は機能液吐出ヘッド44のノズルからの吐出条件も調整/制御する。 The above-mentioned control unit 11 is provided in the functional liquid discharge device 100. Therefore, the inspection device 1 provided inside the functional liquid discharge device 100 is controlled by the control unit 11. However, in the program storage unit (not shown) of the control unit 11, in addition to the program for controlling the inspection device 1, a program for controlling the processing of the substrate in the functional liquid discharge device 100 is also stored. Therefore, the control unit 11 also adjusts / controls the discharge conditions from the nozzle of the functional liquid discharge head 44.

また、制御部11は、データ格納部(図示せず)も有している。データ格納部には、例えば機能液吐出装置100で形成される液滴の大きさ及位置の正常データ、すなわち所望の大きさ及び位置に適合する描画データ(ビットマップデータ)が予め格納されている。この描画データの用途については後述する。 The control unit 11 also has a data storage unit (not shown). In the data storage unit, for example, normal data of the size and position of the droplet formed by the functional liquid discharge device 100, that is, drawing data (bitmap data) matching the desired size and position is stored in advance. .. The use of this drawing data will be described later.

次に、以上のように構成された機能液吐出装置100を用いて行われるワーク処理について説明する。以下の説明では、X軸テーブル30上において、Y軸テーブル31よりX軸負方向側のエリアを搬入出エリアA1といい、一対のY軸テーブル31、31間のエリアを処理エリアA2といい、Y軸テーブル31よりX軸正方向側のエリアを待機エリアA3という。 Next, the work processing performed by using the functional liquid discharge device 100 configured as described above will be described. In the following description, on the X-axis table 30, the area on the negative direction side of the X-axis from the Y-axis table 31 is referred to as the carry-in / out area A1, and the area between the pair of Y-axis tables 31 and 31 is referred to as the processing area A2. The area on the positive direction side of the X-axis from the Y-axis table 31 is called the standby area A3.

先ず、搬入出エリアA1にワークステージ60を配置し、搬送機構(図示せず)により機能液吐出装置100に搬入されたワークWが当該ワークステージ60に載置される。続いて、X軸スライダ62によって、ワークステージ60を搬入出エリアA1から処理エリアA2に移動させる。処理エリアA2では、機能液吐出ヘッド44の下方に移動したワークWに対して、当該機能液吐出ヘッド44から液滴を吐出する。さらに、ワークWの全面が機能液吐出ヘッド44の下方を通過するように、ワークステージ60をさらに待機エリアA3側に移動させる。そして、ワークWをX軸方向に往復動させると共に、キャリッジユニット40を適宜、Y軸方向に移動させて、ワークWに所定のパターンが描画される。 First, the work stage 60 is arranged in the carry-in / out area A1, and the work W carried into the functional liquid discharge device 100 by the transport mechanism (not shown) is placed on the work stage 60. Subsequently, the work stage 60 is moved from the loading / unloading area A1 to the processing area A2 by the X-axis slider 62. In the processing area A2, droplets are discharged from the functional liquid discharge head 44 to the work W that has moved below the functional liquid discharge head 44. Further, the work stage 60 is further moved to the standby area A3 side so that the entire surface of the work W passes below the functional liquid discharge head 44. Then, the work W is reciprocated in the X-axis direction, and the carriage unit 40 is appropriately moved in the Y-axis direction to draw a predetermined pattern on the work W.

描画後、ワークステージ60を搬入出エリアA1に移動させる。
ワークステージ60が搬入出エリアA1に移動すると、描画処理が終了したワークWが機能液吐出装置100から搬出される。続いて、次のワークWが機能液吐出装置100に搬入される。
After drawing, the work stage 60 is moved to the loading / unloading area A1.
When the work stage 60 moves to the carry-in / out area A1, the work W for which the drawing process has been completed is carried out from the functional liquid discharge device 100. Subsequently, the next work W is carried into the functional liquid discharge device 100.

このようにワークWの搬入出が行われている間、または、搬出前に、検査装置1によって、機能液吐出ヘッド44から吐出される機能液の吐出状態の検査が行われる。具体的には、まず、第2のX軸スライダ80によって、吐出検査ユニット70を待機エリアA3から処理エリアA2に移動させる。処理エリアA2では、吐出検査ユニット70の検査シート20を機能液吐出ヘッド44の下方に配置し、検査シート20の表面に対してノズルヘッド54から機能液を所定回数(複数回)検査吐出し液滴21を形成する(ステップS3)。機能液吐出ヘッド44には前述のようにノズルが複数設けられており、液滴21は、ノズル毎に複数形成される。 While the work W is being carried in and out, or before being carried out, the inspection device 1 inspects the discharge state of the functional liquid discharged from the functional liquid discharge head 44. Specifically, first, the discharge inspection unit 70 is moved from the standby area A3 to the processing area A2 by the second X-axis slider 80. In the processing area A2, the inspection sheet 20 of the discharge inspection unit 70 is arranged below the functional liquid discharge head 44, and the functional liquid is inspected and discharged a predetermined number of times (multiple times) from the nozzle head 54 with respect to the surface of the inspection sheet 20. Drop 21 is formed (step S3). As described above, the functional liquid discharge head 44 is provided with a plurality of nozzles, and a plurality of droplets 21 are formed for each nozzle.

その後、吐出検査ユニット70をX軸正方向側に移動させて、吐出検査ユニット70の検査シート20を撮像部10の下方に配置する。そして、複数の液滴21を撮像部10によって撮像する。撮像された撮像画像は制御部11の選択部11b及び計測部11aに出力される。 After that, the discharge inspection unit 70 is moved to the positive direction side of the X-axis, and the inspection sheet 20 of the discharge inspection unit 70 is arranged below the imaging unit 10. Then, the plurality of droplets 21 are imaged by the imaging unit 10. The captured image is output to the selection unit 11b and the measurement unit 11a of the control unit 11.

選択部11bでは、ノズル毎に、該ノズルによって形成された複数の液滴21の撮像画像について、基準画像を用いた画像全体に対するパターンマッチングを行う。そして、選択部11bは、マッチング結果に基づいて、複数の液滴21のうち計測部11aでの計測対象とする液滴21を選択する。 In the selection unit 11b, pattern matching is performed on the entire image using the reference image for the captured images of the plurality of droplets 21 formed by the nozzles for each nozzle. Then, the selection unit 11b selects the droplet 21 to be measured by the measurement unit 11a from the plurality of droplets 21 based on the matching result.

計測部11aでは、選択された液滴21について、該液滴の撮像画像に基づいて、該液滴21の大きさ及び検査シート20上の液滴21の位置が計測される。こうして、液滴21の形成状態に基づいて、各ノズルからの機能液の吐出状態の検査が行われる。なお、通常、選択部11bでは、複数の液滴21の中から2以上の液滴21が選択される。 With respect to the selected droplet 21, the measuring unit 11a measures the size of the droplet 21 and the position of the droplet 21 on the inspection sheet 20 based on the captured image of the droplet. In this way, the discharge state of the functional liquid from each nozzle is inspected based on the formation state of the droplet 21. Normally, the selection unit 11b selects two or more droplets 21 from the plurality of droplets 21.

計測部11aで2以上の液滴21の大きさ及び位置がノズル毎に計測されると、続いて制御部11では、液滴21の大きさ及び位置の平均値をノズル毎に算出する。そして、制御部11では、液滴21の大きさの平均及び位置の平均の計測データと、予め格納された液滴の大きさ及び位置の正常データとの比較をノズル毎に行う。そして、計測データが正常データからずれている場合には、制御部11は、機能液吐出装置100の機能液吐出ヘッド44が正常な形態で機能液を吐出するように、機能液の吐出条件を調整する。なお、この機能液の吐出状態の検査と機能液の吐出条件の調整は、1枚の基板W毎に行ってもよいし、所定枚数の基板W毎に行ってもよい。 When the measurement unit 11a measures the size and position of two or more droplets 21 for each nozzle, the control unit 11 subsequently calculates the average value of the size and position of the droplet 21 for each nozzle. Then, the control unit 11 compares the measurement data of the average size and the average position of the droplet 21 with the normal data of the size and position of the droplet stored in advance for each nozzle. Then, when the measurement data deviates from the normal data, the control unit 11 sets the discharge condition of the functional liquid so that the functional liquid discharge head 44 of the functional liquid discharge device 100 discharges the functional liquid in a normal form. adjust. The inspection of the discharge state of the functional liquid and the adjustment of the discharge condition of the functional liquid may be performed for each one substrate W or for each predetermined number of substrates W.

以上の実施の形態によれば、機能液吐出装置100の内部に検査装置1を設けているので、当該機能液吐出装置100の機能液吐出ヘッド44のノズルから吐出される機能液の吐出状態を検査し、さらに機能液の吐出条件をフィードバック制御により調整することができる。したがって、機能液吐出装置100における機能液の吐出不良を抑制し、機能液の大きさ(すなわち、機能液の重量)及び基板Wに吐出される機能液の位置を適切に制御して、基板Wに有機材料を適切に塗布することができる。 According to the above embodiment, since the inspection device 1 is provided inside the functional liquid discharge device 100, the discharge state of the functional liquid discharged from the nozzle of the functional liquid discharge head 44 of the functional liquid discharge device 100 can be checked. It can be inspected and the discharge conditions of the functional liquid can be adjusted by feedback control. Therefore, it is possible to suppress the discharge failure of the functional liquid in the functional liquid discharge device 100, appropriately control the size of the functional liquid (that is, the weight of the functional liquid) and the position of the functional liquid discharged to the substrate W, and control the substrate W. The organic material can be appropriately applied to the surface.

なお、機能液吐出装置100における、検査装置1による機能液の吐出状態の検査と機能液の吐出条件の調整は、上述の例では、基板Wに対する塗布処理の終了後に行っていたが、塗布処理前に行ってもよい。
また、以上の実施の形態の機能液吐出装置100のレイアウトは、図3及び図4に示したレイアウトに限定されず、任意に設定できる。
In the functional liquid discharge device 100, the inspection device 1 inspects the discharge state of the functional liquid and adjusts the discharge conditions of the functional liquid, although in the above example, the coating process was performed after the coating process on the substrate W was completed. You may go ahead.
Further, the layout of the functional liquid discharge device 100 according to the above embodiment is not limited to the layout shown in FIGS. 3 and 4, and can be arbitrarily set.

また、検査装置1の適用例として、有機発光ダイオードの有機EL層を形成するための機能液吐出装置100を説明したが、検査装置1の適用例はこれに限定されない。例えばカラーレジストを塗布する基板処理装置などに検査装置1を適用してもよい。 Further, as an application example of the inspection device 1, the functional liquid discharge device 100 for forming the organic EL layer of the organic light emitting diode has been described, but the application example of the inspection device 1 is not limited to this. For example, the inspection device 1 may be applied to a substrate processing device or the like to which a color resist is applied.

(参考実施形態)
先ず、参考の実施の形態に係る検査装置の構成について、図5を参照して説明する。図5は、検査装置の構成の概略を示す模式図である。なお、各構成要素の寸法は、技術の理解の容易さを優先させるため、必ずしも実際の寸法に対応していない。
(Reference embodiment)
First, the configuration of the inspection device according to the reference embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic view showing an outline of the configuration of the inspection device. It should be noted that the dimensions of each component do not necessarily correspond to the actual dimensions in order to prioritize the ease of understanding the technology.

図5の検査装置1´は、撮像部10と、制御部11´とを有している。検査装置1´は、検査シート20上に形成された検査用の複数の液滴21を撮像部10で撮像し、上記液滴21を形成する機能液の吐出状態を検査する。なお、各液滴21は、機能液をインクジェット方式でノズルから2回以上の所定回数吐出することにより形成される。また、検査シート20に形成される液滴21の数は例えば数十個である。 The inspection device 1'in FIG. 5 has an imaging unit 10 and a control unit 11'. The inspection device 1'images a plurality of inspection droplets 21 formed on the inspection sheet 20 by the imaging unit 10 and inspects the discharge state of the functional liquid forming the droplets 21. Each droplet 21 is formed by ejecting the functional liquid from the nozzle twice or more a predetermined number of times by an inkjet method. Further, the number of droplets 21 formed on the inspection sheet 20 is, for example, several tens.

撮像部10は、検査シート20の主面に対して当該撮像部10の光軸が垂直となる向きに配置され、本実施形態においては検査シート20の鉛直上方に配置される。撮像部10には、種々のカメラを用いることができるが、例えばエリアスキャンカメラが用いられる。そして、撮像部10は、検査シート20の液滴21が形成された領域を撮像する。撮像部10で撮像された撮像画像は、制御部11´に出力される。なお、検査シート20上の全ての液滴21についての撮像画像が撮像できるよう、検査装置1´または検査シート20が載置されるステージが移動可能に構成されていることが好ましい。 The imaging unit 10 is arranged in a direction in which the optical axis of the imaging unit 10 is perpendicular to the main surface of the inspection sheet 20, and is arranged vertically above the inspection sheet 20 in the present embodiment. Various cameras can be used for the image pickup unit 10, and for example, an area scan camera is used. Then, the imaging unit 10 images the region where the droplet 21 of the inspection sheet 20 is formed. The captured image captured by the imaging unit 10 is output to the control unit 11'. It is preferable that the inspection device 1'or the stage on which the inspection sheet 20 is placed is movable so that the captured images of all the droplets 21 on the inspection sheet 20 can be captured.

液滴を観察する光源は例えばLED光源、ハロゲン光源、紫外光源を使用し、光源の形態は、同軸落射あるいは透過光の面光源とし、観察時には液滴中の溶媒を検査シートに染み込ませた状態、あるいは、液滴中の溶媒を蒸散させた状態とすることで、液滴をより鮮明に観察することができる。 For example, an LED light source, a halogen light source, or an ultraviolet light source is used as the light source for observing the droplets, and the form of the light source is a surface light source of coaxial epi-illumination or transmitted light, and the solvent in the droplets is impregnated into the inspection sheet during observation. Alternatively, the droplets can be observed more clearly by setting the solvent in the droplets to be in a vaporized state.

制御部11´は、検査装置1´における撮像部10等の動作を制御する。また、制御部11´は、計測部11aと選択部11b´を有する。 The control unit 11'controls the operation of the imaging unit 10 and the like in the inspection device 1'. Further, the control unit 11'has a measurement unit 11a and a selection unit 11b'.

計測部11aは、撮像部10での撮像結果に基づいて、液滴21の形成状態を計測する。例えば、計測部11aは、選択された液滴21の大きさ及び形成位置を計測する。 The measuring unit 11a measures the formation state of the droplet 21 based on the imaging result of the imaging unit 10. For example, the measuring unit 11a measures the size and formation position of the selected droplet 21.

選択部11b´は、複数の液滴21のうち計測部11aでの計測対象の液滴21を選択するものであり、撮像部10での撮像結果を用い、上記計測対象とする液滴21を当該液滴21の形成状態に基づいて選択する。例えば、選択部11b´は、計測対象とする液滴21を当該液滴21の形状に基づいて選択する。より具体的には、選択部11b´は、複数の液滴21それぞれの撮像部10での撮像画像について、所定の画像に基づくパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて計測対象とする液滴21を選択する。上記所定の画像とは、所定の適切な形状(例えば真円)の液滴の画像であり、該所定の画像は、検査装置1に予め記憶されたものであってもよいし、複数の液滴21の撮像画像の中から選択してもよい。選択する場合は、例えば、作業者が手動で選択するようにしてもよいし、上述とは別のパターンマッチングを行って真円に最も近い撮像画像を自動的に選択するようにしてもよい。 The selection unit 11b'selects the droplet 21 to be measured by the measurement unit 11a from the plurality of droplets 21, and uses the imaging result of the imaging unit 10 to select the droplet 21 to be measured. The selection is made based on the formation state of the droplet 21. For example, the selection unit 11b'selects the droplet 21 to be measured based on the shape of the droplet 21. More specifically, the selection unit 11b'performs pattern matching based on a predetermined image on the images captured by the imaging unit 10 of each of the plurality of droplets 21, and the droplets 21 to be measured based on the matching result. Select. The predetermined image is an image of droplets having a predetermined appropriate shape (for example, a perfect circle), and the predetermined image may be stored in advance in the inspection device 1, or a plurality of liquids. You may select from the captured image of the drop 21. When selecting, for example, the operator may manually select the image, or pattern matching different from the above may be performed to automatically select the captured image closest to the perfect circle.

パターンマッチングの手法としては、公知の手法を任意に採用することができる。 As a pattern matching method, a known method can be arbitrarily adopted.

制御部11´は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部(図示せず)を有している。プログラム格納部には、撮像部10の動作を制御するためのプログラムに加えて、撮像画像を画像処理するプログラムや、当該画像処理されたデータに基づいて、液滴21の大きさ及び該液滴21の検査シート20上の位置を算出するプログラムなどが格納されている。また、プログラム格納部には、上記画像処理されたデータに基づいて、選択部11b´でのパターンマッチングを行うプログラムも格納されている。なお、上記前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルデスク(MO)、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部11´にインストールされたものであってもよい。 The control unit 11'is, for example, a computer, and has a program storage unit (not shown). In the program storage unit, in addition to a program for controlling the operation of the imaging unit 10, a program for image processing the captured image and the size of the droplet 21 and the droplet based on the image-processed data. A program for calculating the position of the 21 on the inspection sheet 20 is stored. Further, the program storage unit also stores a program that performs pattern matching in the selection unit 11b'based on the image-processed data. The program is recorded on a computer-readable storage medium such as a computer-readable hard disk (HD), flexible disk (FD), compact disk (CD), magnet optical desk (MO), or memory card. It may have been installed in the control unit 11'from the storage medium.

次に、以上のように構成された検査装置1´を用いて行われる、機能液の吐出状態の検査方法について図6及び図7を用いて説明する。図6は、上記検査方法の一例を説明するフローチャートである。図7は、機能液により形成された液滴の例を示す図である。 Next, a method of inspecting the discharge state of the functional liquid, which is performed using the inspection device 1'configured as described above, will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of the above inspection method. FIG. 7 is a diagram showing an example of droplets formed by the functional liquid.

検査用にノズルから機能液が吐出され、検査シート20に複数の液滴21が形成されると、撮像部10は、検査シート20上の液滴21を撮像する(ステップS1)。撮像部10での撮像は、検査シート20上の全ての液滴21について撮像が完了するまで行われる。撮像部10で撮像された撮像画像は、制御部11´の計測部11a及び選択部11b´に出力される。 When the functional liquid is discharged from the nozzle for inspection and a plurality of droplets 21 are formed on the inspection sheet 20, the imaging unit 10 images the droplets 21 on the inspection sheet 20 (step S1). The imaging by the imaging unit 10 is performed until the imaging of all the droplets 21 on the inspection sheet 20 is completed. The captured image captured by the imaging unit 10 is output to the measurement unit 11a and the selection unit 11b'of the control unit 11'.

撮像部10で撮像される複数の液滴21は全て、図7(A)の液滴21のように平面視において真円状のものであれば理想的である。しかし、複数の液滴21には、図7(B)の液滴21のように平面視において円の外周に切り欠き部が設けられたような形状のもの、及び/又は、図7(C)の液滴21のように平面視において円の外周に耳部が設けられたような形状のものも含まれる。 Ideally, the plurality of droplets 21 imaged by the imaging unit 10 are all circular in a plan view as in the droplet 21 of FIG. 7A. However, the plurality of droplets 21 have a shape such that a notch is provided on the outer circumference of the circle in a plan view as in the droplet 21 of FIG. 7 (B), and / or FIG. 7 (C). ), Which has a shape such that an ear portion is provided on the outer circumference of a circle in a plan view is also included.

そこで、選択部11b´は、複数の液滴21それぞれの撮像画像について、検査装置1´に予め記憶された所定の画像に基づいて液滴21の形状に係るパターンマッチングを行い、計測対象とする液滴21を選択する(ステップS12)。例えば、選択部11b´は、各撮影画像に対応する液滴21を計測対象とするか否かを液滴21の形状に係るパターンマッチング結果に基づいて判定し、マッチング度が閾値を超えている撮像画像に対応する液滴21を計測対象として選択する。これにより、図7(A)の液滴21に近い形状の液滴21のみを計測対象として選択/抽出することができる。 Therefore, the selection unit 11b'performs pattern matching related to the shape of the droplet 21 based on a predetermined image stored in advance in the inspection device 1'for the captured image of each of the plurality of droplets 21, and sets the measurement target. The droplet 21 is selected (step S12). For example, the selection unit 11b'determines whether or not the droplet 21 corresponding to each captured image is to be measured based on the pattern matching result related to the shape of the droplet 21, and the matching degree exceeds the threshold value. The droplet 21 corresponding to the captured image is selected as the measurement target. As a result, only the droplet 21 having a shape similar to that of the droplet 21 shown in FIG. 7A can be selected / extracted as a measurement target.

計測部11aは、選択部11b´で選択された撮像画像すなわち液滴21について、当該撮像画像に基づいて、当該液滴21の大きさ及び形成位置すなわち機能液の吐出量及び吐出曲りを算出/計測する(ステップS3)。
検査装置1´を備える機能液吐出装置では、選択部11b´で選択された液滴21の大きさ及び形成位置の計測結果に基づいて吐出条件を調整/補正する。これにより、適切に機能液を吐出することができる。
The measuring unit 11a calculates the size and formation position of the droplet 21, that is, the discharge amount of the functional liquid and the discharge bend of the captured image, that is, the droplet 21 selected by the selection unit 11b', based on the captured image. Measure (step S3).
In the functional liquid discharge device including the inspection device 1', the discharge conditions are adjusted / corrected based on the measurement results of the size and formation position of the droplet 21 selected by the selection unit 11b'. As a result, the functional liquid can be appropriately discharged.

図8は、検査装置1´の効果を説明する図であり、各図は液滴21の分布を示しており、横軸は面積、縦軸は頻度である。
複数の液滴21の中から図7(A)に近い形状を有する液滴21を抽出する方法としては、上述のように液滴21の形状に基づいて抽出する方法の他に、以下の面積に基づいて抽出する方法が考えられる。
FIG. 8 is a diagram for explaining the effect of the inspection device 1', and each diagram shows the distribution of the droplet 21, where the horizontal axis is the area and the vertical axis is the frequency.
As a method of extracting the droplet 21 having a shape close to FIG. 7 (A) from the plurality of droplets 21, in addition to the method of extracting based on the shape of the droplets 21 as described above, the following area A method of extracting based on is conceivable.

図7(B)のような形状を有する液滴21は、図7(A)のような形状を有する液滴21に比べて面積が小さく、また、図7(C)のような形状を有する液滴21は、図7(A)のような形状を有する液滴21に比べて面積が大きい。したがって、図7(A)に近い形状を有する液滴21を抽出する方法として、液滴21の面積に基づいて抽出する方法、より具体的には所定値より大きい面積を有する液滴21及び別の所定値より小さい面積を有する液滴21を測定対象から除外する方法が考えられる。 The droplet 21 having the shape shown in FIG. 7 (B) has a smaller area than the droplet 21 having the shape shown in FIG. 7 (A), and has the shape shown in FIG. 7 (C). The area of the droplet 21 is larger than that of the droplet 21 having the shape shown in FIG. 7 (A). Therefore, as a method of extracting the droplet 21 having a shape close to that of FIG. 7A, a method of extracting based on the area of the droplet 21, more specifically, the droplet 21 having an area larger than a predetermined value and another method. A method of excluding the droplet 21 having an area smaller than the predetermined value of is excluded from the measurement target can be considered.

図7(A)の形状の液滴21、図7(B)の形状の液滴21及び図7(C)の形状の液滴21を全て含む液滴21の分布P100が、図8(A)に示すように正規分布となっていれば、上述の面積に基づいて測定対象を選択する方法であっても、図7(B)、図7(C)の形状の液滴21を測定対象から除外することが可能と思われる。 The distribution P100 of the droplet 21 including all the droplet 21 of the shape of FIG. 7 (A), the droplet 21 of the shape of FIG. 7 (B), and the droplet 21 of the shape of FIG. 7 (C) is shown in FIG. 8 (A). ), Even if the measurement target is selected based on the above area, the droplet 21 having the shapes of FIGS. 7 (B) and 7 (C) can be measured. It seems possible to exclude from.

しかし、実際は、図7(A)の形状の液滴21、図7(B)の形状の液滴21及び図7(C)の形状の液滴21を全て含む液滴21の分布(以下、全体の分布)P1は、図8(B)に示すように正規分布ではない。図7(A)の形状の液滴21の分布P11、図7(B)の形状の液滴21の面積の分布P13、及び図7(C)の形状の液滴21の分布P12が正規分布となり、全体の分布P1は、これら正規分布を示す分布を重ね合わせたものである。 However, in reality, the distribution of the droplet 21 including all the droplet 21 in the shape of FIG. 7 (A), the droplet 21 in the shape of FIG. 7 (B), and the droplet 21 in the shape of FIG. 7 (C) (hereinafter, Overall distribution) P1 is not a normal distribution as shown in FIG. 8 (B). The distribution P11 of the droplet 21 in the shape of FIG. 7 (A), the area distribution P13 of the droplet 21 in the shape of FIG. 7 (B), and the distribution P12 of the droplet 21 in the shape of FIG. 7 (C) are normal distributions. The overall distribution P1 is a superposition of the distributions showing these normal distributions.

したがって、面積に基づいて除外を行っても、図7(B)のような形状を有する液滴21や図7(C)のような形状を有する液滴21も完全に除外することが不可能である。 Therefore, even if exclusion is performed based on the area, it is impossible to completely exclude the droplet 21 having the shape shown in FIG. 7 (B) and the droplet 21 having the shape shown in FIG. 7 (C). Is.

一方、本実施形態に係る検査方法のように、液滴21の形状に基づいて抽出することにより、図8(B)の分布P11を示す液滴21のみ、すなわち、図7(A)の形状を有する液滴21のみを抽出することができる。 On the other hand, as in the inspection method according to the present embodiment, by extracting based on the shape of the droplet 21, only the droplet 21 showing the distribution P11 in FIG. 8 (B), that is, the shape in FIG. 7 (A). Only the droplet 21 having the above can be extracted.

したがって、本実施形態に係る検査方法では、図7(A)の形状を有する液滴21のみについて形成状態を計測することができ、よって、計測結果に基づいて機能液の吐出条件を適切に補正させることができる。 Therefore, in the inspection method according to the present embodiment, the formation state can be measured only for the droplet 21 having the shape shown in FIG. 7A, and therefore, the discharge condition of the functional liquid is appropriately corrected based on the measurement result. Can be made to.

なお、ノズルは通常、1つの機能液吐出ヘッドに対して複数設けられている。したがって、ノズルからの機能液の吐出状態を検査する際、複数のノズルそれぞれから機能液を吐出し、ノズル毎に複数の液滴を形成し、ノズル毎にその複数の液滴の中から該液滴の形状に基づいて計測対象の液滴を選択するとよい。また、この際、パターンマッチングに用いる所定の画像は、ノズル毎に異なってもよいし、全ノズルで共通であってもよい。 In addition, a plurality of nozzles are usually provided for one functional liquid discharge head. Therefore, when inspecting the discharge state of the functional liquid from the nozzles, the functional liquid is discharged from each of the plurality of nozzles, a plurality of droplets are formed for each nozzle, and the liquid is selected from the plurality of droplets for each nozzle. The droplet to be measured may be selected based on the shape of the droplet. Further, at this time, the predetermined image used for pattern matching may be different for each nozzle, or may be common to all nozzles.

なお、複数の液滴21のうち計測対象とする液滴21を、該液滴の大きさに基づいて決定する方法は、液滴21の全体の分布が正規分布を示すような場合(例えば図7(A)のような形状の液滴21のみ形成される場合)には有用である。 The method of determining the droplet 21 to be measured among the plurality of droplets 21 based on the size of the droplets is when the entire distribution of the droplets 21 shows a normal distribution (for example, FIG. It is useful when only the droplet 21 having the shape as shown in 7 (A) is formed).

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到しうることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to such examples. It is clear that a person skilled in the art can come up with various modifications or modifications within the scope of the technical idea described in the claims, and of course, the technical scope of the present invention also includes them. It is understood that it belongs to.

1…検査装置
10…撮像部
11a…計測部
11b…計測部
11c…基準画像選択部
11…制御部
20…検査シート
21…液滴
44…機能液吐出ヘッド
100…機能液吐出装置
1 ... Inspection device 10 ... Imaging unit 11a ... Measurement unit 11b ... Measurement unit 11c ... Reference image selection unit 11 ... Control unit 20 ... Inspection sheet 21 ... Droplet 44 ... Functional liquid discharge head 100 ... Functional liquid discharge device

Claims (8)

ノズルからの機能液の吐出状態を検査する検査装置であって、
前記ノズルから吐出された機能液により被吐出体上に形成された複数の液滴を撮像する撮像部と、
該撮像部での撮像結果に基づいて、前記液滴の形成状態を計測する計測部と、
前記複数の液滴それぞれについて、前記撮像部での撮像画像全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、前記複数の液滴のうち前記計測部での計測対象とする液滴を選択する選択部と、
前記所定の形態を有する液滴の画像を、前記撮像部で撮像された前記複数の液滴の撮像画像の中から選択する基準画像選択部と、を備えることを特徴とする、検査装置。
An inspection device that inspects the discharge state of functional liquid from a nozzle.
An imaging unit that captures a plurality of droplets formed on the ejected body by the functional liquid discharged from the nozzle, and an imaging unit.
A measuring unit that measures the formation state of the droplet based on the imaging result of the imaging unit, and a measuring unit.
For each of the plurality of droplets, pattern matching is performed between the entire image captured by the imaging unit and the entire image of the droplet having a predetermined shape, and the measurement of the plurality of droplets is performed based on the matching result. A selection unit that selects the droplet to be measured in the unit, and a selection unit
An inspection apparatus comprising: a reference image selection unit for selecting an image of a droplet having a predetermined form from the captured images of the plurality of droplets imaged by the imaging unit.
前記撮像画像及び前記所定の形態を有する液滴の画像は、256階調で表されたグレースケール画像であることを特徴とする、請求項1に記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1, wherein the captured image and the image of a droplet having a predetermined form are grayscale images represented by 256 gradations. 前記撮像画像及び前記所定の形態を有する液滴の画像は、各色が256階調で表されたカラー画像であることを特徴とする、請求項1に記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1, wherein the captured image and the image of a droplet having a predetermined form are color images in which each color is represented by 256 gradations. 複数の前記ノズルと、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査装置と、
前記ノズル毎に、前記計測部での計測対象とする液滴として選択された液滴についての前記計測部での計測結果に基づいて、機能液の吐出条件を補正する制御部と、を備えることを特徴とする、機能液吐出装置。
With multiple nozzles
The inspection device according to any one of claims 1 to 3 and
Each nozzle is provided with a control unit that corrects the discharge condition of the functional liquid based on the measurement result of the measurement unit for the droplet selected as the droplet to be measured by the measurement unit. A functional liquid discharge device characterized by.
ノズルからの機能液の吐出状態を検査する検査方法であって、
前記ノズルから吐出された機能液により被吐出体上に形成された複数の液滴を撮像部で撮像するステップと、
前記複数の液滴それぞれについて、前記撮像部での撮像画像全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、前記複数の液滴のうち計測対象の液滴を選択するステップと、
選択された計測対象の液滴について、前記撮像部での撮像結果に基づいて、当該液滴の形成状態を計測するステップと、を含み、
前記所定の形態を有する液滴の画像を、前記撮像部で撮像された前記複数の液滴の撮像画像の中から選択するステップをさらに含むことを特徴とする検査方法。
It is an inspection method that inspects the discharge state of the functional liquid from the nozzle.
A step of capturing a plurality of droplets formed on the ejected body by the functional liquid discharged from the nozzle by the imaging unit, and
For each of the plurality of droplets, pattern matching is performed between the entire image captured by the imaging unit and the entire image of the droplet having a predetermined shape, and based on the matching result, the measurement target of the plurality of droplets. Steps to select droplets and
For droplets of a selected measurement object, based on the result of imaging by the imaging unit, viewed including the steps of measuring the formation state of the droplet, and
Inspection method wherein an image of a droplet having a predetermined form, characterized by further including Mukoto the step of selecting from among the captured images of the plurality of droplets captured by the imaging unit.
前記撮像画像及び前記所定の形態を有する液滴の画像は、256階調で表されたグレースケール画像であることを特徴とする、請求項5に記載の検査方法。 The inspection method according to claim 5, wherein the captured image and the image of the droplet having the predetermined form are grayscale images represented by 256 gradations. 前記撮像画像及び前記所定の形態を有する液滴の画像は、各色が256階調で表されたカラー画像であることを特徴とする、請求項5に記載の検査方法。 The inspection method according to claim 5, wherein the captured image and the image of the droplet having the predetermined form are color images in which each color is represented by 256 gradations. ノズルからの機能液の吐出条件を補正する方法であって、 It is a method of correcting the discharge condition of the functional liquid from the nozzle.
前記ノズルから吐出された機能液により被吐出体上に形成された複数の液滴を撮像部で撮像するステップと、 A step of capturing a plurality of droplets formed on the ejected body by the functional liquid discharged from the nozzle by the imaging unit, and
前記複数の液滴それぞれについて、前記撮像部での撮像画像全体と、所定の形態を有する液滴の画像全体とのパターンマッチングを行い、マッチング結果に基づいて、前記複数の液滴のうち計測対象の液滴を選択するステップと、 For each of the plurality of droplets, pattern matching is performed between the entire image captured by the imaging unit and the entire image of the droplet having a predetermined shape, and based on the matching result, the measurement target of the plurality of droplets. Steps to select droplets and
選択された計測対象の液滴について、前記撮像部での撮像結果に基づいて、当該液滴の形成状態を計測するステップと、 With respect to the selected droplet to be measured, a step of measuring the formation state of the droplet based on the imaging result of the imaging unit, and
前記ノズル毎に、前記選択された計測対象の液滴についての、前記計測するステップでの計測結果に基づいて、機能液の吐出条件を補正するステップと、を含み、 For each nozzle, the step of correcting the discharge condition of the functional liquid based on the measurement result in the measurement step for the selected droplet to be measured is included.
前記所定の形態を有する液滴の画像を、前記撮像部で撮像された前記複数の液滴の撮像画像の中から選択するステップをさらに含むことを特徴とする補正方法。 A correction method further comprising a step of selecting an image of a droplet having a predetermined form from the captured images of the plurality of droplets imaged by the imaging unit.
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