JP6873382B2 - Semiconductor device - Google Patents

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Description

本発明は、車載モータの駆動制御に好適な半導体装置に関する。 The present invention relates to a semiconductor device suitable for drive control of an in-vehicle motor.

ハイブリッド車や電気自動車などの車両には、複数のモータ及びこれらのモータを制御するインバータ等が設けられている。
これらのうち、特にインバータを構成するパワーモジュールは、IGBT(絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスタ)などの電力用半導体素子を有して構成されていることが多く、スイッチング動作により半導体素子が発熱する。したがって、この熱を除去して半導体の過熱を防止するために、冷却器が取付けられている。冷却器とパワーモジュールとの組み合わせ構造は、例えば特許文献1に開示されている。
Vehicles such as hybrid vehicles and electric vehicles are provided with a plurality of motors and inverters for controlling these motors.
Of these, the power module constituting the inverter is often configured to have a power semiconductor element such as an IGBT (insulated gate bipolar transistor), and the semiconductor element generates heat due to the switching operation. Therefore, a cooler is installed to remove this heat and prevent the semiconductor from overheating. A combination structure of a cooler and a power module is disclosed in, for example, Patent Document 1.

特許文献1の図2に示されるように、冷却器本体(100)(括弧付き数字は、特許文献1に記載された符号を示す。以下同様)は、下部筐体(140)と、この下部筐体(140)の開口を塞ぐ上部筐体(130)とで構成される。そして、上部筐体(130)に第一素子搭載領域(101)と第二素子搭載領域(102)が割り当てられ、第一素子搭載領域(101)と第二素子搭載領域(102)との間の中間領域(103)にバスバー(133)が配置されている。 As shown in FIG. 2 of Patent Document 1, the cooler main body (100) (the numbers in parentheses indicate the reference numerals described in Patent Document 1; the same applies hereinafter) is the lower housing (140) and the lower portion thereof. It is composed of an upper housing (130) that closes the opening of the housing (140). Then, the first element mounting area (101) and the second element mounting area (102) are assigned to the upper housing (130), and between the first element mounting area (101) and the second element mounting area (102). A bus bar (133) is arranged in the intermediate region (103) of the above.

特許文献1の図1に示されるように、バスバー(113)が背骨のように、第一素子搭載領域(101)のパワーモジュールと第二素子搭載領域(102)のパワーモジュールの間を横切る構造であるため、バスバー(113)が長くなる。バスバー(113)が長くなると、寄生インダクタンスが大きく、サージ電圧が大きくなり、結果として損失が増加し、冷却器本体(100)を大きくするため、半導体装置が大型化してしまう。 As shown in FIG. 1 of Patent Document 1, a structure in which a bus bar (113) traverses between a power module in the first element mounting region (101) and a power module in the second element mounting region (102) like a spine. Therefore, the bus bar (113) becomes long. When the bus bar (113) becomes long, the parasitic inductance becomes large, the surge voltage becomes large, and as a result, the loss increases, and the cooler main body (100) becomes large, so that the semiconductor device becomes large.

また、特許文献1には開示されていないが、この種の半導体装置では、電圧の変動を抑制する平滑コンデンサを備えることが望まれる。
特許文献1の図2において、冷却器本体(100)の下部筐体(140)の近傍(上部筐体(130)と反対側の面)に空きがある。
そこで、従来、平滑コンデンサは、冷却器本体(100)のバスバー(133)と反対側に、配置される。すると、平滑コンデンサからパワーモジュールへ延びるバスバーは、冷却器本体(100)を迂回することとなり、バスバーは一層長くなり、サージ電圧が大きくなる。
Further, although not disclosed in Patent Document 1, it is desired that this type of semiconductor device includes a smoothing capacitor that suppresses voltage fluctuations.
In FIG. 2 of Patent Document 1, there is a vacancy in the vicinity of the lower housing (140) of the cooler main body (100) (the surface opposite to the upper housing (130)).
Therefore, conventionally, the smoothing capacitor is arranged on the side opposite to the bus bar (133) of the cooler main body (100). Then, the bus bar extending from the smoothing capacitor to the power module bypasses the cooler main body (100), the bus bar becomes longer, and the surge voltage becomes larger.

加えて、バスバー同士を接続する部位等を、ボルト・ナットからなる締結構造にすると、この締結構造がスペースを占めるため、半導体装置の大型化を招く。 In addition, if the portion connecting the bus bars to each other has a fastening structure consisting of bolts and nuts, this fastening structure occupies space, which leads to an increase in the size of the semiconductor device.

半導体装置の小型化が求められる中、ボルト・ナットからなる締結構造を省くことができ、且つサージ電圧が小さくなるような半導体装置が望まれる。 With the demand for miniaturization of semiconductor devices, semiconductor devices that can omit the fastening structure consisting of bolts and nuts and have a small surge voltage are desired.

特開2012−230960号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-230960

本発明は、ボルト・ナットからなる締結構造を省くことができ、且つサージ電圧が小さくなるような半導体装置を提供することを課題とする。 An object of the present invention is to provide a semiconductor device capable of omitting a fastening structure composed of bolts and nuts and reducing the surge voltage.

請求項1に係る発明は、パワーモジュールと、このパワーモジュールの下方に配置され前記パワーモジュールを冷却する冷却器と、この冷却器の下方に配置される平滑コンデンサとを備えた半導体装置において、
前記冷却器は、隣り合う前記パワーモジュール間に位置する部位に貫通穴を有し、
前記平滑コンデンサは、前記貫通穴を通って前記パワーモジュールに到るバスバーを有し、
前記パワーモジュールは、前記バスバーへ向かって延びるモジュール側端子、及びこのモジュール側端子と前記バスバーとの間に介在される端子中継部材を有しており、
前記バスバーは前記モジュール側端子に対面するように配置され、
前記端子中継部材と前記モジュール側端子と前記バスバーとが、超音波振動により接合されていることを特徴とする。
The invention according to claim 1 is a semiconductor device including a power module, a cooler arranged below the power module to cool the power module, and a smoothing capacitor arranged below the cooler.
The cooler has a through hole in a portion located between adjacent power modules.
The smoothing capacitor has a bus bar that reaches the power module through the through hole.
The power module has a module-side terminal extending toward the bus bar, and a terminal relay member interposed between the module-side terminal and the bus bar.
The bus bar is arranged so as to face the module side terminal.
The terminal relay member, the module side terminal, and the bus bar are joined by ultrasonic vibration.

請求項に係る発明では、パワーモジュールは、樹脂製のモジュールケースに収容され、端子中継部材は、モジュールケースから露出するように一体成形されていることを特徴とする。
The invention according to claim 2 is characterized in that the power module is housed in a resin module case, and the terminal relay member is integrally molded so as to be exposed from the module case.

請求項に係る発明では、パワーモジュールは、モールディング樹脂によってモールドされ、端子中継部材は、モールディング樹脂から露出するように一体成形されていることを特徴とする。
The invention according to claim 3 is characterized in that the power module is molded with a molding resin, and the terminal relay member is integrally molded so as to be exposed from the molding resin.

請求項に係る発明では、冷却器は、梯子形状となっていることを特徴とする。
The invention according to claim 4 is characterized in that the cooler has a ladder shape.

請求項1に係る発明では、パワーモジュールと平滑コンデンサとの間に介在する冷却器に貫通穴を設け、平滑コンデンサから延びるバスバーは、貫通穴を通した後に、パワーモジュールに到るようにした。
バスバーは、冷却器を迂回する必要がないため、十分に短くすることができる。加えて、複数個の平滑コンデンサから複数個のパワーモジュールに各々到る複数本のバスバーの長さを揃えることができる。
すなわち、平滑コンデンサとパワーモジュールとを接続する各バスバーが均等に分配され、かつ配線長を短くすることができるため、サージ電圧を抑えることができる。
In the invention according to claim 1, a through hole is provided in the cooler interposed between the power module and the smoothing capacitor, and the bus bar extending from the smoothing capacitor reaches the power module after passing through the through hole.
Busbars can be short enough because there is no need to bypass the cooler. In addition, the lengths of a plurality of bus bars ranging from a plurality of smoothing capacitors to a plurality of power modules can be made uniform.
That is, since each bus bar connecting the smoothing capacitor and the power module is evenly distributed and the wiring length can be shortened, the surge voltage can be suppressed.

加えて、請求項に係る発明では、モジュール側端子とバスバーとの間に端子中継部材を介在させた。
端子中継部材によって、超音波などでモジュール側端子とバスバーを接続しやすくすることができる。ボルト・ナットで締結する場合に比較して、部品点数の削減が図れると共に、接続部位の小型化を図ることができ、半導体装置の小型化が達成できる。
よって、本発明によれば、ボルト・ナットからなる締結構造を省くことができ、且つサージ電圧が小さくなるような半導体装置が提供される。
In addition, in the invention according to claim 1 , a terminal relay member is interposed between the module side terminal and the bus bar.
The terminal relay member makes it easy to connect the module side terminal and the bus bar by ultrasonic waves or the like. Compared with the case of fastening with bolts and nuts, the number of parts can be reduced, the connection portion can be miniaturized, and the semiconductor device can be miniaturized.
Therefore, according to the present invention, there is provided a semiconductor device capable of omitting a fastening structure composed of bolts and nuts and reducing the surge voltage.

請求項係る発明では、パワーモジュールは、樹脂製のモジュールケースに収容され、端子中継部材は、モジュールケースから露出するように一体成形されているので、パワーモジュールの内部空間を犠牲にすることなく、端子中継部材を設置することができる。
In the second aspect of the present invention, the power module is housed in a resin module case, and the terminal relay member is integrally molded so as to be exposed from the module case, so that the internal space of the power module is not sacrificed. , Terminal relay members can be installed.

請求項に係る発明では、パワーモジュールは、モールディング樹脂によってモールドされ、端子中継部材は、モールディング樹脂から露出するように一体成形されているので、パワーモジュールの内部空間を犠牲にすることなく、端子中継部材を設置することができる。
In the invention according to claim 3 , since the power module is molded by the molding resin and the terminal relay member is integrally molded so as to be exposed from the molding resin, the terminals are not sacrificed in the internal space of the power module. A relay member can be installed.

請求項に係る発明では、冷却器は、梯子形状となっているので、コンデンサとパワーモジュールを接続する各バスバーが均等に分配され、且つ梯子の踏み桟の間に形成される貫通穴からバスバーを通すことで配線長を短くすることができる。
In the invention according to claim 4 , since the cooler has a ladder shape, each bus bar connecting the condenser and the power module is evenly distributed, and the bus bar is formed through a through hole formed between the treads of the ladder. The wiring length can be shortened by passing it through.

本発明に係るパワーモジュールの斜視図である。It is a perspective view of the power module which concerns on this invention. 本発明に係る半導体装置の分解斜視図、要部拡大図及び斜視図である。It is an exploded perspective view, the main part enlarged view and the perspective view of the semiconductor device which concerns on this invention. 端子中継部材にモジュール側端子とバスバーを接合する要領を説明する図である。It is a figure explaining the procedure of joining a module side terminal and a bus bar to a terminal relay member. 変形例に係る端子中継部材にモジュール側端子とバスバーを接合する要領を説明する図である。It is a figure explaining the procedure of joining a module side terminal and a bus bar to a terminal relay member which concerns on a modification.

本発明の実施の形態を添付図に基づいて以下に説明する。なお、図面は符号の向きに見るものとする。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The drawings shall be viewed in the direction of the reference numerals.

図1に示すように、半導体装置10を構成するパワーモジュール20は、冷却器30に設けられている。パワーモジュール20は、絶縁基板21と、この絶縁基板21に設けられる半導体素子28及びダイオード29と、絶縁基板21、半導体素子28及びダイオード29に接続されるモジュール側端子としてのビームリード22と、モータ側へ延びる出力バスバー23と、複数本のゲートドライブ基板接続用信号ピン25とを備えている。パワーモジュール20は、構成要素がモジュールケース26で囲われ、このモジュールケース26にモールディング樹脂27(図3参照)が充填されている。 As shown in FIG. 1, the power module 20 constituting the semiconductor device 10 is provided in the cooler 30. The power module 20 includes an insulating substrate 21, a semiconductor element 28 and a diode 29 provided on the insulating substrate 21, a beam lead 22 as a module-side terminal connected to the insulating substrate 21, the semiconductor element 28 and the diode 29, and a motor. It includes an output bus bar 23 extending to the side and a plurality of signal pins 25 for connecting a gate drive board. The components of the power module 20 are surrounded by a module case 26, and the module case 26 is filled with a molding resin 27 (see FIG. 3).

図2(a)に示すように、本発明に係る半導体装置10は、複数個(この例では6個)のパワーモジュール20と、これらのパワーモジュール20の下方に配置されパワーモジュール20を冷却する冷却器30と、この冷却器30の下方に配置される平滑コンデンサ40とを備えている。 As shown in FIG. 2A, the semiconductor device 10 according to the present invention cools a plurality of (six in this example) power modules 20 and the power modules 20 arranged below the power modules 20. It includes a cooler 30 and a smoothing condenser 40 arranged below the cooler 30.

平滑コンデンサ40は、コンデンサケース41に収められ、このコンデンサケース41外へ上方へ延びるPN(プラス・マイナス)バスバー42を有している。PN(プラス・マイナス)バスバー42は、以下、単にバスバー42と記す。 The smoothing capacitor 40 is housed in a capacitor case 41 and has a PN (plus / minus) bus bar 42 extending upward to the outside of the capacitor case 41. The PN (plus / minus) bus bar 42 is hereinafter simply referred to as the bus bar 42.

冷却器30は、隣り合うパワーモジュール20、20の間に位置する部位に、上下に貫通する筋状又は細長い矩形状の貫通穴31を有する。すなわち、冷却器30は梯子形状を呈している。梯子形状であるため、最も端のパワーモジュール20に沿う部位に、貫通穴32を有する。この例では、冷却器30は、5個の貫通穴31と1個の貫通穴32とを有する。 The cooler 30 has a streak-like or elongated rectangular through-hole 31 that penetrates vertically at a portion located between the adjacent power modules 20 and 20. That is, the cooler 30 has a ladder shape. Since it has a ladder shape, it has a through hole 32 at a portion along the power module 20 at the end. In this example, the cooler 30 has five through holes 31 and one through hole 32.

図2(c)の3−3線断面図である図3に示すように、パワーモジュール20は、冷却器30に設けられる絶縁基板21と、この絶縁基板21に設けられる半導体素子28と、この半導体素子28から延びるモジュール側端子としてのビームリード22と、複数本のゲートドライブ基板接続用信号ピン25とを備えている。絶縁基板21は、詳細には、絶縁基板21aとこの絶縁基板21aの両面に一体的に設けられた金属層21bとからなる。なお、絶縁基板21や半導体素子28等の部材は半田により接続されている。 As shown in FIG. 3, which is a sectional view taken along line 3-3 of FIG. 2C, the power module 20 includes an insulating substrate 21 provided on the cooler 30, a semiconductor element 28 provided on the insulating substrate 21, and the semiconductor element 28. It includes a beam lead 22 as a module-side terminal extending from the semiconductor element 28, and a plurality of gate drive board connection signal pins 25. Specifically, the insulating substrate 21 is composed of an insulating substrate 21a and a metal layer 21b integrally provided on both sides of the insulating substrate 21a. Members such as the insulating substrate 21 and the semiconductor element 28 are connected by solder.

加えて、パワーモジュール20は、構成要素を囲うモジュールケース26と、このモジュールケース26に充填するモールディング樹脂27(想像線で示す。)とを有する。
さらに、加えて、モジュールケース26には、局部的に、端子中継部材50が設けられている。モジュールケース26は樹脂が一般的である。一方、端子中継部材50は、金属ピースである。金属ピースは電気伝導性が良好であると共に剛性に富む。
In addition, the power module 20 has a module case 26 that encloses the components and a molding resin 27 (shown by an imaginary line) that fills the module case 26.
Further, in addition, the module case 26 is locally provided with a terminal relay member 50. The module case 26 is generally made of resin. On the other hand, the terminal relay member 50 is a metal piece. The metal piece has good electrical conductivity and high rigidity.

図2(a)において、平滑コンデンサ40に、冷却器30を載せる。この際に、図2(b)に示すバスバー42が、冷却器30に設けられている貫通穴31又は32を通るようにする。すると、図2(c)において、バスバー42は端子中継部材50に接近する。
従来のバスバーは、冷却器を迂回していたため長くなった。対して、本発明のバスバー42は、図から明らかなように、冷却器30を貫通するため、十分に短い。図2(a)からも明らかなように、複数のバスバー42は、形状及び長さが揃っている。
In FIG. 2A, the cooler 30 is mounted on the smoothing condenser 40. At this time, the bus bar 42 shown in FIG. 2B passes through the through hole 31 or 32 provided in the cooler 30. Then, in FIG. 2C, the bus bar 42 approaches the terminal relay member 50.
Traditional busbars are longer because they bypass the cooler. On the other hand, the bus bar 42 of the present invention is sufficiently short because it penetrates the cooler 30 as is clear from the figure. As is clear from FIG. 2A, the plurality of bus bars 42 have the same shape and length.

次に、図3に示すように、モジュール側端子としてのビームリード22とバスバー42との間に端子中継部材50を介在させた状態で、ビームリード22とバスバー42に振動子52、52を置く。次に、これらの振動子52、52を狭める。すると、端子中継部材50の一方の面にビームリード22が接触し、他方の面にバスバー42が接触する。この状態で、振動子52、52を超音波振動させる。この振動により接触部位が発熱し溶融する。この状態で、振動を停止すると、端子中継部材50にビームリード22とバスバー42とが接合される。
この接合構造は、ボルト・ナットで締結する場合に比較して、スペース的に遙かに小さくなる。また、ボルトやナットが不要であるため、部品点数の削減が図れる。
なお、端子中継部材50は、出力バスバー23とビームリード22との間に介在させても良い。
Next, as shown in FIG. 3, the vibrators 52 and 52 are placed on the beam lead 22 and the bus bar 42 with the terminal relay member 50 interposed between the beam lead 22 as the module side terminal and the bus bar 42. .. Next, these oscillators 52 and 52 are narrowed. Then, the beam lead 22 comes into contact with one surface of the terminal relay member 50, and the bus bar 42 comes into contact with the other surface. In this state, the vibrators 52 and 52 are ultrasonically vibrated. This vibration causes the contact area to generate heat and melt. When the vibration is stopped in this state, the beam lead 22 and the bus bar 42 are joined to the terminal relay member 50.
This joint structure is much smaller in space than when fastening with bolts and nuts. Moreover, since bolts and nuts are not required, the number of parts can be reduced.
The terminal relay member 50 may be interposed between the output bus bar 23 and the beam lead 22.

端子中継部材50の利点を更に説明する。
図3にて、端子中継部材50を省いて、ビームリード22にバスバー42を直接融接することを検討すると、ビームリード22やバスバー42は共に薄い金属板であって剛性が小さいため、超音波振動の際にビームリード22が一緒に振動する心配がある。この振動によりパワーモジュール20に実装した素子や回路に悪影響が及ぶ虞がある。この点、剛性に富む端子中継部材50を設けると、端子中継部材50が振動を防止するため、ビームリード22やバスバー42の振動を抑えることができる。
The advantages of the terminal relay member 50 will be further described.
In FIG. 3, when the terminal relay member 50 is omitted and the bus bar 42 is directly fused to the beam reed 22, the beam reed 22 and the bus bar 42 are both thin metal plates and have low rigidity, so that ultrasonic vibrations occur. At that time, there is a concern that the beam reed 22 will vibrate together. This vibration may adversely affect the elements and circuits mounted on the power module 20. In this respect, if the terminal relay member 50 having high rigidity is provided, the terminal relay member 50 prevents vibration, so that the vibration of the beam lead 22 and the bus bar 42 can be suppressed.

次に、本発明に係る変形例を、図4に基づいて説明する。
図4に示すように、絶縁基板21のモジュール側端子(金属層)22に平板状の端子中継部材50を載せ半田(半田の一部はモジュール側端子とする。)などで接続する。その後、パワーモジュール全体をモールディング樹脂27にてモールドする。
次に、端子中継部材50にバスバー42の先端を載せ、このバスバー42に振動子52を上から当てる。この振動子52でバスバー42を端子中継部材50を融接する。
Next, a modified example according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 4, a flat plate-shaped terminal relay member 50 is placed on the module-side terminal (metal layer) 22 of the insulating substrate 21 and connected by solder (a part of the solder is a module-side terminal) or the like. Then, the entire power module is molded with the molding resin 27.
Next, the tip of the bus bar 42 is placed on the terminal relay member 50, and the vibrator 52 is applied to the bus bar 42 from above. The bus bar 42 is fused with the terminal relay member 50 by the vibrator 52.

図4では、端子中継部材50がモジュール側端子(銅層)22で直接支持されてよりパワーモジュール全体がモールドさているため、モジュールケース26を省くことができる。よって、端子中継部材50は、パワーモジュール20に含まれていればよく、パワーモジュール20内であれば配置位置は任意である。
In Figure 4, since the terminal relay member 50 across more power modules are supported directly by the module terminal (copper layer) 22 is molded, it is possible to omit the module case 26. Therefore, the terminal relay member 50 may be included in the power module 20, and the arrangement position is arbitrary as long as it is in the power module 20.

本発明は、ハイブリッド車や電気自動車などの車両に搭載される半導体装置に好適である。 The present invention is suitable for semiconductor devices mounted on vehicles such as hybrid vehicles and electric vehicles.

10…半導体装置、20…パワーモジュール、22…モジュール側端子(ビームリード・銅層)、26…モジュールケース、27…モールディング樹脂、30…冷却器、31、32…貫通穴、40…平滑コンデンサ、42…バスバー(PNバスバー)、50…端子中継部材。 10 ... Semiconductor device, 20 ... Power module, 22 ... Module side terminal (beam lead / copper layer), 26 ... Module case, 27 ... Molding resin, 30 ... Cooler, 31, 32 ... Through hole, 40 ... Smoothing capacitor, 42 ... Bus bar (PN bus bar), 50 ... Terminal relay member.

Claims (4)

パワーモジュールと、このパワーモジュールの下方に配置され前記パワーモジュールを冷却する冷却器と、この冷却器の下方に配置される平滑コンデンサとを備えた半導体装置において、
前記冷却器は、隣り合う前記パワーモジュール間に位置する部位に貫通穴を有し、
前記平滑コンデンサは、前記貫通穴を通って前記パワーモジュールに到るバスバーを有し、
前記パワーモジュールは、前記バスバーへ向かって延びるモジュール側端子、及びこのモジュール側端子と前記バスバーとの間に介在される端子中継部材を有しており、
前記バスバーは前記モジュール側端子に対面するように配置され、
前記端子中継部材と前記モジュール側端子と前記バスバーとが、超音波振動により接合されていることを特徴とする半導体装置。
In a semiconductor device including a power module, a cooler arranged below the power module to cool the power module, and a smoothing capacitor placed below the cooler.
The cooler has a through hole in a portion located between adjacent power modules.
The smoothing capacitor has a bus bar that reaches the power module through the through hole.
The power module has a module-side terminal extending toward the bus bar, and a terminal relay member interposed between the module-side terminal and the bus bar.
The bus bar is arranged so as to face the module side terminal.
A semiconductor device characterized in that the terminal relay member, the module side terminal, and the bus bar are joined by ultrasonic vibration.
前記パワーモジュールは、樹脂製のモジュールケースに収容され、
前記端子中継部材は、前記モジュールケースから露出するように一体成形されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
The power module is housed in a resin module case.
The semiconductor device according to claim 1, wherein the terminal relay member is integrally molded so as to be exposed from the module case.
前記パワーモジュールは、モールディング樹脂によってモールドされ、
前記端子中継部材は、前記モールディング樹脂から露出するように一体成形されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
The power module is molded with a molding resin.
The semiconductor device according to claim 1, wherein the terminal relay member is integrally molded so as to be exposed from the molding resin.
前記冷却器は、梯子形状となっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の半導体装置。 The semiconductor device according to any one of claims 1 to 3, wherein the cooler has a ladder shape.
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