JP6858155B2 - 流路継手構造 - Google Patents

Description

本発明は、流路継手構造に関する。

半導体製造、医療・医薬品製造、及び食品加工・化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる薬液、高純度液、超純水、或いは洗浄液等の流体の配管経路では、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ、流量計、圧力センサ、及び配管ブロック等の２つの流体デバイスに形成された流路孔同士を接続する接続構造として、流体の漏洩を防止するガスケットを備えた流路継手構造が採用されている。
この流路継手構造のガスケットは、その軸方向両側に一対の円筒状の圧入部を備えている。これらの圧入部が、両流体デバイスの流路孔の接続端部に形成された円筒状のシール溝にそれぞれ圧入されることにより、流体の漏洩を防止するシールとして機能する（特許文献１のＦＩＧ１４Ｂ参照）。

国際公開第２０１７／１７６８１５号

前記流路継手構造では、例えばメンテナンス作業時に、両流体デバイスのうち一方の流体デバイスのみをガスケットから取り外す場合がある。この場合には、他方の流体デバイスを片方の手で押さえた状態で、前記一方の流体デバイスをもう片方の手で把持して軸方向外側に引っ張ることで、当該一方の流体デバイスのみをガスケットから取り外すことができる。しかし、前記一方の流体デバイスを軸方向外側に引っ張ると、ガスケットが前記一方の流体デバイスと共に前記他方の流体デバイスから外れてしまうことがあった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ガスケットにより接続された２つの流体デバイスのうち、所望の流体デバイスのみをガスケットから取り外せるようにすることを目的とする。

（１）本発明の流路継手構造は、２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、前記両流体デバイスの端面のそれぞれにおいて前記流路孔よりも径方向外側に形成された一対の筒状のシール溝と、前記両流体デバイスのシール溝にそれぞれ圧入される一対の筒状の圧入部を軸方向両側に有するガスケットと、を備え、前記一対のシール溝および前記一対の圧入部は、次式の関係を満たすように形成されている、流路継手構造。
（ｔ１−ｗ１）＞（ｔ２−ｗ２）
ただし、上記式の各変数の定義は次の通りである。
ｔ１：一方の圧入部の径方向の厚み
ｔ２：他方の圧入部の径方向の厚み
ｗ１：前記一方の圧入部が圧入される一方のシール溝の径方向の溝幅
ｗ２：前記他方の圧入部が圧入される他方のシール溝の径方向の溝幅

この流路継手構造によれば、一方のシール溝に対する一方の圧入部の圧入度合（ｔ１−ｗ１）よりも、他方のシール溝に対する他方の圧入部の圧入度合（ｔ２−ｗ２）の方が弱くなる。これにより、前記一方のシール溝が形成された流体デバイスよりも、前記他方のシール溝が形成された流体デバイスの方が、ガスケットから外れ易くなる。したがって、ガスケットから取り外したい流体デバイスに前記他方のシール溝を形成することで、当該流体デバイスのみをガスケットから取り外すことができる。

（２）前記一対のシール溝は、ｗ１＝ｗ２の関係をさらに満たすように形成されているのが好ましい。
この場合、一対のシール溝の溝幅ｗ１，ｗ２が同一寸法になるため、各流体デバイスのシール溝を容易に形成することができる。

（３）前記一対の圧入部は、ｔ１＝ｔ２の関係をさらに満たすように形成されていてもよい。
この場合、一対の圧入部の厚みｔ１，ｔ２が同一寸法になるため、ガスケットの各圧入部を容易に形成することができる。

（４）前記一対のシール溝はｗ１≠ｗ２の関係をさらに満たすように形成され、かつ前記一対の圧入部はｔ１≠ｔ２の関係をさらに満たすように形成されていてもよい。
この場合、一対のシール溝の溝幅ｗ１，ｗ２が互いに異なる寸法になり、かつ一対の圧入部の厚みｔ１，ｔ２が互いに異なる寸法になるため、一方または他方のシール溝に対して、一方の圧入部を圧入するときの圧入感覚と、他方の圧入部を圧入するときの圧入感覚との違いが分かり易くなる。したがって、流路継手構造を組み付ける際に、前記一方のシール溝に誤って前記他方の圧入部を圧入するときに、または前記他方のシール溝に誤って前記一方の圧入部を圧入するときに、その圧入感覚の違いによって誤って圧入していることに気づき易くなる。

（５）前記シール溝の外周面及び内周面のうち一方の周面は、円周面と、当該円周面よりも軸方向外側に形成され前記圧入部の圧入をガイドするテーパ状のガイド周面と、を有し、前記一対のシール溝における前記円周面の直径が、互いに異なる寸法に設定されているのが好ましい。
この場合、シール溝の外周面および内周面のうち、ガイド周面を有する一方の周面における円周面の直径が互いに異なる寸法に設定されることによって、一対のシール溝の溝幅ｗ１，ｗ２が互いに異なる寸法になる。このため、一対のシール溝の溝幅ｗ１，ｗ２を互いに異なる寸法にするために、例えば一方のシール溝における溝幅の寸法を狭くする場合には、ガイド周面側となる前記一方の周面における円周面の直径を調整することになる。このように調整することで、前記一方のシール溝の溝幅が狭くなっても、ガスケットの圧入部を、前記一方のシール溝のガイド周面によって、容易に当該シール溝に圧入することができる。

（６）本発明のガスケットは、２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続するために、前記両流体デバイスの端面のそれぞれにおいて前記流路孔よりも径方向外側に形成された筒状のシール溝に圧入される一対の筒状の圧入部を軸方向両側に備えたガスケットであって、前記一対の圧入部のうち、一方の圧入部の径方向の厚みｔ１が、他方の圧入部の径方向の厚みｔ２よりも厚く形成されている。

このガスケットによれば、一方の圧入部の径方向の厚みｔ１が、他方の圧入部の径方向の厚みｔ２よりも厚く形成されている。このため、前記一方の圧入部が圧入される一方のシール溝の径方向の溝幅ｗ１と、前記他方の圧入部が圧入される他方のシール溝の径方向の溝幅ｗ２とを同一寸法に設定することで、一方のシール溝に対する一方の圧入部の圧入度合（ｔ１−ｗ１）よりも、他方のシール溝に対する他方の圧入部の圧入度合（ｔ２−ｗ２）の方が弱くなる。これにより、前記一方のシール溝が形成された流体デバイスよりも、前記他方のシール溝が形成された流体デバイスの方が、ガスケットから外れ易くなる。したがって、ガスケットから取り外したい流体デバイスに前記他方のシール溝を形成することで、当該流体デバイスのみをガスケットから取り外すことができる。

本発明によれば、ガスケットにより接続された２つの流体デバイスのうち、所望の流体デバイスのみをガスケットから取り外すことができる。

本発明の一実施形態に係る流路継手構造の一例を示す断面斜視図である。 前記流路継手構造の拡大断面図である。 前記流路継手構造の分解拡大断面図である。 前記流路継手構造の分解拡大側面図である。

次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［流路継手構造］
図１は、本発明の一実施形態に係る流路継手構造の一例を示す断面斜視図である。図１において、本実施形態の流路継手構造１は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液が流れる配管経路において、互いに重ね合わさる２つの配管ブロック（流体デバイス）１１，１２にそれぞれ形成された流路孔１３，１４同士を接続する接続構造として使用される。

図１の例では、ベースブロックからなる大型の第１配管ブロック１１上に、流量計や圧力センサ等に接続される複数の小型の第２配管ブロック１２，１２を重ね合わせて前記配管経路を構成する際に、第１配管ブロック１１の上面の２箇所で開口する円形の流路孔１３と、各第２配管ブロック１２，１２の下面で開口する円形の流路孔１４，１４とをそれぞれ流路継手構造１を用いて接続している。本実施形態では、第１配管ブロック１１の流路孔１３および第２配管ブロック１２，１２の流路孔１４，１４は、いずれも同一径に形成されている。

なお、本実施形態の流路継手構造１は、配管ブロック１１，１２の流路孔１３，１４同士を接続する接続構造として使用しているが、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ等の他の流体デバイスの流路孔同士を接続する接続構造にも適用することができる。

図２は、流路継手構造１の拡大断面図である。図３は、流路継手構造１の分解拡大断面図である。なお、図２及び図３では、説明の便宜上、配管ブロック１１，１２同士を横向きに配置している（図４も同様）。
図２及び図３において、流路継手構造１は、２つの配管ブロック１１，１２の流路孔１３，１４同士を接続するためのガスケット２と、第１配管ブロック１１の流路孔１３の接続端部に形成された径内側シール溝３Ａと、第２配管ブロック１２の流路孔１３の接続端部に形成された径内側シール溝３Ｂと、第１配管ブロック１１の前記接続端部側の端面１１ａにおいて流路孔１３よりも径方向外側に形成された径外側シール溝（シール溝）４Ａと、第２配管ブロック１２の前記接続端部側の端面１２ａにおいて流路孔１４よりも径方向外側に形成された径外側シール溝（シール溝）４Ｂと、を備えている。

［径内側シール溝および径外側シール溝］
図３において、第１配管ブロック１１の径内側シール溝３Ａは、流路孔１３の接続端部の周面において、軸方向内側から軸方向外端へ向かうにつれて徐々に拡径するように切り欠かれたテーパ溝とされている。同様に、第２配管ブロック１２の径内側シール溝３Ｂは、流路孔１４の接続端部の周面において、軸方向内側から軸方向外端へ向かうにつれて徐々に拡径するように切り欠かれたテーパ溝とされている。

第１配管ブロック１１の径外側シール溝４Ａ及び第２配管ブロック１２の径外側シール溝４Ｂは、それぞれ円筒状に形成されている。各径外側シール溝４Ａ，４Ｂの内周面４１は、断面視において、軸方向に真っすぐ延びる円周面４１ａと、この円周面４１ａよりも軸方向外側に形成されたテーパ状のガイド周面４１ｂとを有している。

ガイド周面４１ｂの軸方向内端は、円周面４１ａの軸方向外端に接続されている。そして、ガイド周面４１ｂは、軸方向内端から軸方向外端（図３中の円周面４１ａから後述するガスケット２側）へ向かうにつれて徐々に縮径するように形成されている。これにより、ガイド周面４１ｂは、径外側シール溝４Ａ（４Ｂ）にガスケット２の径外側圧入部２３Ａ（２３Ｂ）を圧入するときに、その圧入をガイドするようになっている。

各径外側シール溝４Ａ，４Ｂの外周面４２の全体は、断面視において軸方向に真っすぐ延びる円周面とされている。なお、流路継手構造１は、一対の径内側シール溝３Ａ，３Ｂおよび一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂのうち、少なくとも一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂを備えていればよい。

［ガスケット］
図２及び図３において、ガスケット２は、本体部２１（図中のクロスハッチングで示す部分）と、第１配管ブロック１１の径内側シール溝３Ａに圧入される径内側圧入部２２Ａと、第２配管ブロック１２の径内側シール溝３Ｂに圧入される径内側圧入部２２Ｂと、第１配管ブロック１１の径外側シール溝４Ａに圧入される径外側圧入部（圧入部）２３Ａと、第２配管ブロック１２の径外側シール溝４Ｂに圧入される径外側圧入部（圧入部）２３Ｂと、を備えている。なお、ガスケット２は、一対の径内側圧入部２２Ａ，２２Ｂおよび一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂのうち、少なくとも一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂを備えていればよい。

本体部２１は、ガスケット２の軸方向中央部において環状に形成されており、ガスケット２の径方向（図中の上下方向）の厚みが厚くなる厚肉部とされている。図２に示す状態において、本体部２１は、両配管ブロック１１，１２の端面１１ａ，１２ａ間に配置されており、両端面１１ａ，１２ａ間には、本体部２１の径方向外側に隙間Ｓが形成されている。

一対の径内側圧入部２２Ａ，２２Ｂは、本体部２１の軸方向両端部それぞれの径内側から軸方向外側に突出して環状に形成される断面視三角形状の部分である。
各径内側圧入部２２Ａ，２２Ｂの内周面は、本体部２１の内周面と略同一径に形成され、且つ流路孔１３，１４と略同一径に形成されている。

従って、本体部２１の内周面と、一対の径内側圧入部２２Ａ，２２Ｂの内周面と、流路孔１３，１４の周面とは、断面視において略面一に形成されている。これにより、本体部２１および一対の径内側圧入部２２Ａ，２２Ｂの内側には、流路孔１３，１４同士を接続し、軸方向から見たときの形状が円形の接続流路２４が形成されている。このように、流路孔１３，１４とガスケット２の内周面とに段差が生じないので、流路孔１３，１４内を流れる流体が滞留することを防止できる。

各径内側圧入部２２Ａ，２２Ｂの外周面は、その軸方向外端から軸方向内端へ向かうにつれて徐々に拡径するテーパ周面２２１とされている。一対の径内側圧入部２２Ａ，２２Ｂのテーパ周面２２１は、第１及び第２配管ブロック１１，１２の径内側シール溝３Ａ，３Ｂの周面にそれぞれ密着してシール機能を発揮するシール周面とされている。これにより、ガスケット２の一対の径内側圧入部２２Ａ，２２Ｂは、第１及び第２配管ブロック１１，１２の径内側シール溝３Ａ，３Ｂにそれぞれ圧入されることにより、流路孔１３，１４に最も近いシール（一次シール）として機能し、流路孔１３，１４内の流体が外部に漏洩するのを防止する。

一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂは、本体部２１の軸方向両端部それぞれの径外側から軸方向外側に突出して円筒状に形成されている。各径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂの軸方向の長さは、対応する径外側シール溝４Ａ，４Ｂの軸方向の長さ（溝深さ）よりも僅かに短く形成されている。

各径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂの内周面２３１の一部（図中の２点鎖線で示す仮想線よりも軸方向外側の部分）は、対応する径外側シール溝４Ａ，４Ｂの円周面４１ａに密着してシール機能を発揮するシール周面２３１ａとされている。各径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂの内周面２３１の他部（図中の２点鎖線で示す仮想線よりも軸方向内側の部分）は、対応する径外側シール溝４Ａ，４Ｂのガイド周面４１ｂに対して所定の隙間をあけて対向し、シール機能をほとんど発揮しない非シール周面２３１ｂとされている。なお、前記２点鎖線で示す仮想線は、各径外側シール溝４Ａ，４Ｂの内周面４１における円周面４１ａとガイド周面４１ｂとの境界を通過するように、ガスケット２の径方向に延びる仮想線である（図２参照）。

各径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂの外周面２３２の一部（図中の２点鎖線で示す仮想線よりも軸方向外側の部分）は、対応する径外側シール溝４Ａ，４Ｂの外周面４２に密着してシール機能を発揮するシール周面２３２ａとされている。各径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂの外周面２３２の他部（図中の２点鎖線で示す仮想線よりも軸方向内側の部分）は、シール機能をほとんど発揮しない非シール周面２３２ｂとされている。これにより、ガスケット２の一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂは、第１及び第２配管ブロック１１，１２の径外側シール溝４Ａ，４Ｂにそれぞれ圧入されることにより、流路孔１３，１４内の流体が外部に漏洩するのを防止する二次シールとして機能する。

なお、本実施形態の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂは、円筒状に形成されているが、多角筒状に形成されていてもよい。この場合には、径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂの形状に合わせて径外側シール溝４Ａ，４Ｂも多角筒状に形成すればよい。

［シール溝と圧入部の寸法関係］
上記のように構成された流路継手構造１では、例えばメンテナンス作業時に、図２に示す状態から、両配管ブロック１１，１２のうち一方の配管ブロックのみをガスケット２から取り外せるようになっている。換言すれば、図２に示す状態から、両配管ブロック１１，１２のうち一方の配管ブロックのみにガスケット２を留まらせることができるようになっている。本実施形態では、第１配管ブロック１１及び第２配管ブロック１２のどちらを取り外してもよいが、一例として第２配管ブロック１２のみをガスケット２から取り外す場合について、以下説明する。

図３において、両配管ブロック１１，１２の一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂ、およびガスケット２の一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂは、第２配管ブロック１２のみをガスケット２から取り外すことができるように、下記の式（１）の関係を満たすように形成されている。
（ｔ１−ｗ１）＞（ｔ２−ｗ２） ・・・（１）
ただし、上記式（１）の各変数の定義は次の通りである。
ｔ１：径外側圧入部２３Ａの径方向の厚み
ｔ２：径外側圧入部２３Ｂの径方向の厚み
ｗ１：径外側シール溝４Ａの径方向の溝幅
ｗ２：径外側シール溝４Ｂの径方向の溝幅

本実施形態では、上記式（１）に加えて、一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂは、ｗ１≠ｗ２の関係をさらに満たすように形成され、かつ一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂは、ｔ１≠ｔ２の関係をさらに満たすように形成されている。
そして、一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂがｗ１≠ｗ２の関係を満たすように、径外側シール溝４Ａの内周面４１における円周面４１ａの直径ｄ１と、径外側シール溝４Ｂの内周面４１における円周面４１ａの直径ｄ２とが互いに異なる寸法に設定されている。

なお、上記ｔ１，ｔ２，ｗ１，ｗ２の定義は、第２配管ブロック１２のみをガスケット２から取り外す場合の定義である。従って、第１配管ブロック１１のみをガスケット２から取り外す場合、ｔ１，ｔ２，ｗ１，ｗ２の定義は以下のようになる。
ｔ１：径外側圧入部２３Ｂの径方向の厚み
ｔ２：径外側圧入部２３Ａの径方向の厚み
ｗ１：シール溝４Ｂの径方向の溝幅
ｗ２：シール溝４Ａの径方向の溝幅

［目印］
図４は、流路継手構造１の分解拡大側面図である。図４に示すように、本実施形態では、両配管ブロック１１，１２の外側面及びガスケット２の外周面に、配管ブロック１１，１２に対するガスケット２の接続方向を示す目印６が付されている。本実施形態の目印６は、第１配管ブロック１１の外側面に付された目印６１と、第２配管ブロック１２の外側面に付された目印６２と、ガスケット２の径外側圧入部２３Ａの外周面に付された目印６３と、ガスケット２の径外側圧入部２３Ｂの外周面に付された目印６４とによって構成されている。

第１配管ブロック１１の目印６１、及びガスケット２の径外側圧入部２３Ａ側の目印６３は、互いに同じ形状のマーク（図例では△形状のマーク）とされている。
第２配管ブロック１２の目印６２、及びガスケット２の径外側圧入部２３Ｂ側の目印６４は、前記目印６１，６３とは異なる形状とされ、かつ互いに同じ形状のマーク（図例では○形状のマーク）とされている。

これにより、両配管ブロック１１，１２に対してガスケット２を接続する際には、図４に示すように、互いに同じ形状のマークが軸方向に隣り合うようにガスケット２を配置することで、ガスケット２を、その接続方向を間違えることなく両配管ブロック１１，１２に接続することができる。また、両配管ブロック１１，１２には、互いに異なる形状の目印６１，６４が付されているので、メンテナンス作業等の際にガスケット２から取り外す配管ブロック（本実施形態では第２配管ブロック１２）を間違えることもない。
なお、図４で示す各目印６１〜６４は、あくまで例示であって、本例で示すものに限定されるものではない。

［効果］
以上、本実施形態の流路継手構造１によれば、両配管ブロック１１，１２の一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂ、およびガスケット２の一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂは、上記式（１）の関係を満たすように形成されている。このため、径外側シール溝４Ａに対する径外側圧入部２３Ａの圧入度合（ｔ１−ｗ１）よりも、径外側シール溝４Ｂに対する径外側圧入部２３Ｂの圧入度合（ｔ２−ｗ２）の方が弱くなる。これにより、径外側シール溝４Ａが形成された第１配管ブロック１１よりも、径外側シール溝４Ｂが形成された第２配管ブロック１２の方が、ガスケット２から外れ易くなるため、メンテナンス作業等の際に第２配管ブロック１２のみをガスケット２から取り外すことができる。

また、一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂの溝幅ｗ１，ｗ２が互いに異なる寸法になり、かつ一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂの厚みｔ１，ｔ２が互いに異なる寸法になるため、径外側シール溝４Ａ又は径外側シール溝４Ｂに対して、一方の径外側圧入部２３Ａを圧入するときの圧入感覚と、他方の径外側圧入部２３Ｂを圧入するときの圧入感覚との違いが分かり易くなる。したがって、流路継手構造１を組み付ける場合、径外側シール溝４Ａに誤って径外側圧入部２３Ｂを圧入するときに、または径外側シール溝４Ｂに誤って径外側圧入部２３Ａを圧入するときに、その圧入感覚の違いによって誤って圧入していることに気づき易くなる。

［変形例］
上記実施形態における一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂは、ｗ１≠ｗ２の関係を満たすように形成されているが、変形例の一つ目としては、これに替えてｗ１＝ｗ２の関係を満たすように形成されていてもよい。この場合、一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂの溝幅ｗ１，ｗ２が同一寸法になるため、各配管ブロック１１，１２の径外側シール溝４Ａ，４Ｂを容易に形成することができる。

なお、ｗ１＝ｗ２の場合、一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂは、上記式（１）の関係を満たすために、ｔ１＞ｔ２の関係を満たすように形成されていればよい。つまり、径外側圧入部２３Ａの厚みｔ１を、径外側圧入部２３Ｂの厚みｔ２よりも厚く形成すればよい。

上記実施形態における一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂは、ｔ１≠ｔ２の関係を満たすように形成されているが、変形例の二つ目としては、これに替えてｔ１＝ｔ２の関係を満たすように形成されていてもよい。これにより、一対の径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂの厚みｔ１，ｔ２が同一寸法になるため、ガスケット２の各径外側圧入部２３Ａ，２３Ｂを容易に形成することができる。

なお、ｔ１＝ｔ２の場合、一対の径外側シール溝４Ａ，４Ｂは、上記式（１）の関係を満たすために、ｗ１＞ｗ２の関係を満たすように形成されていればよい。つまり、径外側シール溝４Ａの溝幅ｗ１を、径外側シール溝４Ｂの溝幅ｗ２よりも幅広に形成すればよい。さらに、ｔ１＝ｔ２の場合、ガスケット２を配管ブロック１１，１２に接続する際の方向性が生じず、両配管ブロック１１，１２に対するガスケット２の接続方向を示す必要がないので、ガスケット２の目印６３，６４（図４参照）は不要となる。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
例えば、上記実施形態では、半導体分野で用いられる流路継手構造１を例に説明したが、その分野はこれに限定されることなく、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野、または、自動車関連分野においても使用され得る。

１ 流路継手構造
２ ガスケット
４Ａ 径外側シール溝（シール溝）
４Ｂ 径外側シール溝（シール溝）
１１ 第１配管ブロック（流体デバイス）
１１ａ 端面
１２ 第２配管ブロック（流体デバイス）
１２ａ 端面
１３ 流路孔
１４ 流路孔
２３Ａ 径外側圧入部（圧入部）
２３Ｂ 径外側圧入部（圧入部）
４１ａ 円周面
４１ｂ ガイド周面

Claims (2)

1. ２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、
   前記両流体デバイスの端面のそれぞれにおいて前記流路孔よりも径方向外側に形成された一対の筒状のシール溝と、
   前記両流体デバイスのシール溝にそれぞれ圧入される一対の筒状の圧入部を軸方向両側に有するガスケットと、を備え、
   前記一対のシール溝および前記一対の圧入部は、次式の関係を満たすように形成され、
   前記一対の圧入部は、ｔ１＝ｔ２の関係をさらに満たすように形成されており、
   前記シール溝の外周面及び内周面のうち一方の周面は、円周面と、当該円周面よりも軸方向外側に形成され前記圧入部の圧入をガイドするテーパ状のガイド周面と、を有し、
   前記一対のシール溝における前記円周面の直径が、互いに異なる寸法に設定されている、流路継手構造。
   （ｔ１−ｗ１）＞（ｔ２−ｗ２）
   ただし、上記式の各変数の定義は次の通りである。
   ｔ１：一方の圧入部の径方向の厚み
   ｔ２：他方の圧入部の径方向の厚み
   ｗ１：前記一方の圧入部が圧入される一方のシール溝の径方向の溝幅
   ｗ２：前記他方の圧入部が圧入される他方のシール溝の径方向の溝幅
2. ２つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、
   前記両流体デバイスの端面のそれぞれにおいて前記流路孔よりも径方向外側に形成された一対の筒状のシール溝と、
   前記両流体デバイスのシール溝にそれぞれ圧入される一対の筒状の圧入部を軸方向両側に有するガスケットと、を備え、
   前記一対のシール溝および前記一対の圧入部は、次式の関係を満たすように形成され、
   前記一対のシール溝はｗ１≠ｗ２の関係をさらに満たすように形成され、かつ前記一対の圧入部はｔ１≠ｔ２の関係をさらに満たすように形成されており、
   前記シール溝の外周面及び内周面のうち一方の周面は、円周面と、当該円周面よりも軸方向外側に形成され前記圧入部の圧入をガイドするテーパ状のガイド周面と、を有し、
   前記一対のシール溝における前記円周面の直径が、互いに異なる寸法に設定されている、流路継手構造。
   （ｔ１−ｗ１）＞（ｔ２−ｗ２）
   ただし、上記式の各変数の定義は次の通りである。
   ｔ１：一方の圧入部の径方向の厚み
   ｔ２：他方の圧入部の径方向の厚み
   ｗ１：前記一方の圧入部が圧入される一方のシール溝の径方向の溝幅
   ｗ２：前記他方の圧入部が圧入される他方のシール溝の径方向の溝幅

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