JP6856263B2 - 同軸マスク位置合せデバイス、フォトリトグラフィ装置および位置合せ方法 - Google Patents
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Description
レチクル上のレチクル位置合せマーク上にアライメント光ビームを照射するように構成される、照明モジュール、
レチクルの下に配置されて、レチクル位置合せマークの画像を形成するように構成される、投影対物レンズ(projection objective)、
部品ステージ上に配置されて、基準マークを担持するように構成される、基準プレート、および、
基準プレートの下に配置される画像検出および処理モジュールであって、基準マークは画像検出および処理モジュールの視野の範囲内に位置し、レチクルと関連する部品ステージの移動の間、画像検出および処理モジュールは、レチクル位置合せマーク、投影対物レンズおよび基準マークを順次通過したアライメント光ビームを受け取り、そしてそれ故、レチクル位置合せマークおよび基準マークの画像を捕獲し、そして画像は、レチクルを部品ステージと位置合せするように、レチクル位置合せマークと基準マークとの間の相対的な位置情報を引き出すために処理される、画像検出および処理モジュール、
を含む、レチクルを部品ステージと位置合せするための同軸レチクル位置合せデバイスを提供する。
1)第1のアライメント光ビームが投影対物レンズを通過して、部品ステージ上の基準マーク上に入射するように、第1の照明モジュールから発する第1のアライメント光ビームをレチクル上の第1のレチクル位置合せマーク上に照射し、そして部品ステージを移動させる、ステップと、
2)基準マークの下に配置される画像検出および処理モジュールによって、第1のレチクル位置合せマーク、投影対物レンズおよび基準マークを順次通過した第1のアライメント光ビームを受け取り、そしてそれ故、第1のレチクル位置合せマークおよび基準マークの画像を捕獲する、ステップであって、次いで画像は、第1のレチクル位置合せマークと基準マークとの間の第1の相対的な位置情報を引き出すために処理される、ステップと、
3)第2のアライメント光ビームが投影対物レンズを通過して、基準マーク上に入射するように、第2の照明モジュールから発する第2のアライメント光ビームをレチクル上の第2のレチクル位置合せマーク上に照射し、そして部品ステージを移動させる、ステップと、
4)画像検出および処理モジュールによって、第2のレチクル位置合せマーク、投影対物レンズおよび基準マークを順次通過した第2のアライメント光ビームを受け取り、そしてそれ故、第2のレチクル位置合せマークおよび基準マークの画像を捕獲し、次いで画像は、第2のレチクル位置合せマークと基準マークとの間の第2の相対的な位置情報を引き出すために処理され、さらに、第1のレチクル位置合せマークと基準マークとの間の第1の相対的な位置情報、および第2のレチクル位置合せマークと基準マークとの間の第2の相対的な位置情報に基づいて、レチクルを部品ステージと位置合せする、ステップと、
を含む、レチクル位置合せ方法を提供する。
1)第1のアライメント光ビームが投影対物レンズを通過して、基準プレート上の基準マーク上に入射するように、第1の照明モジュールから発する第1のアライメント光ビームをレチクル上の第1のレチクル位置合せマーク上に、および第2の照明モジュールから発する第2のアライメント光ビームをレチクル上の第2のレチクル位置合せマーク上に照射し、そして部品ステージを移動させる、ステップと、
2)基準マークの下に配置される画像検出および処理モジュールによって、第1のレチクル位置合せマーク、投影対物レンズおよび基準マークを順次通過した第1のアライメント光ビームを受け取り、そしてそれ故、第1のレチクル位置合せマークおよび基準マークの画像を捕獲する、ステップであって、次いで画像は、第1のレチクル位置合せマークと基準マークとの間の第1の相対的な位置情報を引き出すために処理される、ステップと、
3)第2のアライメント光ビームが投影対物レンズを通過して、基準マーク上に入射するように、部品ステージを移動させる、ステップと、
4)画像検出および処理モジュールによって、第2のレチクル位置合せマーク、投影対物レンズおよび基準マークを順次通過した第2のアライメント光ビームを受け取り、そしてそれ故、第2のレチクル位置合せマークおよび基準マークの画像を捕獲し、次いで画像は、第2のレチクル位置合せマークと基準マークとの間の第2の相対的な位置情報を引き出すために処理され、さらに、第1のレチクル位置合せマークと基準マークとの間の第1の相対的な位置情報、および第2のレチクル位置合せマークと基準マークとの間の第2の相対的な位置情報に基づいて、レチクルを部品ステージと位置合せする、ステップと、
を含む、レチクル位置合せ方法を提供する。
Claims (10)
- レチクルを部品ステージと位置合せするための同軸レチクル位置合せデバイスであって、
前記レチクル上の第1のレチクル位置合せマークまたは第2のレチクル位置合せマーク上にアライメント光ビームを照射するように構成される、照明モジュール、
前記レチクルの下に配置され、前記第1のレチクル位置合せマークおよび前記第2のレチクル位置合せマークをそれぞれ結像するように構成された、投影対物レンズ、
前記部品ステージ上に配置され、基準マークを担持するように構成された、基準プレート、および、
前記部品ステージ上に配置された画像検出および処理モジュールであって、前記基準マークは前記画像検出および処理モジュールの視野内に位置し、前記レチクルと関連する前記部品ステージの移動の間、前記画像検出および処理モジュールは、前記第1のレチクル位置合せマーク、前記投影対物レンズおよび前記基準マークを順次通過した第1のアライメント光ビーム、および前記第2のレチクル位置合せマーク、前記投影対物レンズおよび前記基準マークを順次通過した第2のアライメント光ビームを受け取り、したがって、前記レチクル位置合せマークおよび前記基準マークの画像を捕獲し、前記レチクルを前記部品ステージと位置合せするように、前記第1のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間、および前記第2のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の相対的な位置情報を引き出すために処理される、画像検出および処理モジュール、
を含み、
前記基準マーク並びに前記画像検出および処理モジュールは、前記第1および第2のレチクル位置合せマークによって共有され、
画像検出および処理モジュールは、少なくともd×M+φ/2(ここで、dは、前記レチクル上の第1のレチクル位置合せマークと第2のレチクル位置合せマークとの間の距離を表し、Mは、投影対物レンズの拡大倍率を表し、φは、投影対物レンズを通過する第1または第2のアライメント光ビームによって投影対物レンズの焦点面上に形成されるぼけ点の直径を表す)に等しい距離だけ基準プレートの縁から離間される、同軸レチクル位置合せデバイス。 - 各々が前記第1および第2のレチクル位置合せマークのそれぞれ1つに対応する2つの照明モジュールが含まれる、請求項1に記載の同軸レチクル位置合せデバイス。
- 前記基準マークは、前記画像検出および処理モジュールの最適焦点面に位置決めされる、請求項1に記載の同軸レチクル位置合せデバイス。
- 前記画像検出および処理モジュールは、画像形成レンズ群、検出器および処理ユニットを含む、請求項1に記載の同軸レチクル位置合せデバイス。
- 前記検出器は、CCDまたはCMOSデバイスである、請求項4に記載の同軸レチクル位置合せデバイス。
- 照明モジュールによって提供されるアライメント光ビームは、同じ波長を有する、請求項2に記載の同軸レチクル位置合せデバイス。
- 前記照明モジュールは、紫外線スペクトルのアライメント光ビームを出力する、請求項6に記載の同軸レチクル位置合せデバイス。
- レチクルを部品ステージ上に露出される対象と位置合せするための、請求項1〜7のいずれか1項に記載の同軸レチクル位置合せデバイスを含む、リソグラフィ装置。
- レチクル位置合せ方法であって、
1)第1のアライメント光ビームが投影対物レンズを通過して、部品ステージ上の基準マーク上に入射するように、第1の照明モジュールから発せられた第1のアライメント光ビームをレチクル上の第1のレチクル位置合せマーク上に照射し、そして部品ステージを移動させる、ステップと、
2)前記部品ステージ上に配置される画像検出および処理モジュールによって、前記第1のレチクル位置合せマーク、前記投影対物レンズおよび前記基準マークを順次通過した前記第1のアライメント光ビームを受け取り、したがって、前記第1のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の第1の相対的な位置情報を引き出すために処理される、前記第1のレチクル位置合せマークおよび前記基準マークの画像を捕獲する、ステップと、
3)第2のアライメント光ビームが投影対物レンズを通過して、基準マーク上に入射し、前記画像検出および処理モジュールのための前記部品ステージの移動の間、前記基準マークが前記画像検出および処理モジュールの視野内に位置するように、第2の照明モジュールから発せられた第2のアライメント光ビームをレチクル上の第2のレチクル位置合せマーク上に照射し、そして部品ステージを移動させる、ステップと、
4)画像検出および処理モジュールによって、前記第2のレチクル位置合せマーク、前記投影対物レンズおよび前記基準マークを順次通過した前記第2のアライメント光ビームを受け取り、したがって、前記第2のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の第2の相対的な位置情報を引き出すために処理される、前記第2のレチクル位置合せマークおよび前記基準マークの画像を捕獲し、前記第1のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の前記第1の相対的な位置情報、および前記第2のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の前記第2の相対的な位置情報に基づいて、前記レチクルを前記部品ステージと位置合せする、ステップと、
を含み、
前記基準マーク並びに前記画像検出および処理モジュールは、前記第1のレチクル位置合せマークおよび前記第2のレチクル位置合せマークによって共有され、
画像検出および処理モジュールは、少なくともd×M+φ/2(ここで、dは、前記レチクル上の第1のレチクル位置合せマークと第2のレチクル位置合せマークとの間の距離を表し、Mは、投影対物レンズの拡大倍率を表し、φは、投影対物レンズを通過する第1または第2のアライメント光ビームによって投影対物レンズの焦点面上に形成されるぼけ点の直径を表す)に等しい距離だけ基準プレートの縁から離間される、レチクル位置合せ方法。 - レチクル位置合せ方法であって、
1)第1のアライメント光ビームが投影対物レンズを通過して、基準プレート上の基準マーク上に入射し、前記基準マークが前記画像検出および処理モジュールの視野内に位置するように、第1の照明モジュールから発せられた第1のアライメント光ビームをレチクル上の第1のレチクル位置合せマーク上に、および第2の照明モジュールから発せられた第2のアライメント光ビームを前記レチクル上の第2のレチクル位置合せマーク上に照射し、そして部品ステージを移動させる、ステップと、
2)前記部品ステージ上に配置される画像検出および処理モジュールによって、前記第1のレチクル位置合せマーク、前記投影対物レンズおよび前記基準マークを順次通過した前記第1のアライメント光ビームを受け取り、したがって、前記第1のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の第1の相対的な位置情報を引き出すために処理される、前記第1のレチクル位置合せマークおよび前記基準マークの画像を捕獲する、ステップと、
3)第2のアライメント光ビームが投影対物レンズを通過して、基準マーク上に入射するように、部品ステージを移動させる、ステップと、
4)画像検出および処理モジュールによって、前記第2のレチクル位置合せマーク、前記投影対物レンズおよび前記基準マークを順次通過した前記第2のアライメント光ビームを受け取り、したがって、前記第2のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の第2の相対的な位置情報を引き出すために処理される、前記第2のレチクル位置合せマークおよび前記基準マークの画像を捕獲し、前記第1のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の前記第1の相対的な位置情報、および前記第2のレチクル位置合せマークと前記基準マークとの間の前記第2の相対的な位置情報に基づいて、前記レチクルを前記部品ステージと位置合せする、ステップと、
を含み、
前記基準マーク並びに前記画像検出および処理モジュールは、前記第1のレチクル位置合せマークおよび前記第2のレチクル位置合せマークによって共有され、
画像検出および処理モジュールは、少なくともd×M+φ/2(ここで、dは、前記レチクル上の第1のレチクル位置合せマークと第2のレチクル位置合せマークとの間の距離を表し、Mは、投影対物レンズの拡大倍率を表し、φは、投影対物レンズを通過する第1または第2のアライメント光ビームによって投影対物レンズの焦点面上に形成されるぼけ点の直径を表す)に等しい距離だけ基準プレートの縁から離間される、レチクル位置合せ方法。
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