JP6846701B2 - pHセンサ及び監視システム - Google Patents
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Description
力に基づいてルーメン液のpH値を検出することができる。
基板上に形成される第1の電極、前記第1の電極を被膜するITO膜、及び前記ITO膜の少なくとも一部が露出するように該ITO膜を覆う膜であって、牛のルーメン液に対する耐性を有する第1の保護膜を具備するセンシング電極と、第2の基板上に形成された第2の電極、及び前記第2の電極の少なくとも一部が露出するように該第2の電極を覆う膜であって、前記ルーメン液に対する耐性を有する第2の保護膜を具備するリファレンス電極とを備え、それらセンシング電極とリファレンス電極とを、前記第1の保護膜及び前記第2の保護膜が間隔を置いて対向する状態で牛のルーメン液内に配置するように構成されてもよい。また、電界効果トランジスタは、前記センシング電極と電気的に接続されるイオン感応膜を具備するように構成されてもよい。さらに、検出回路部は、前記リファレンス電極に直流電圧を印加することにより該リファレンス電極に陽イオンを生成させているときの前記電界効果トランジスタのドレイン・ソース間の電流に応じて前記ルーメン液のpH値を測定するように構成されてもよい。そして、無線回路部は、前記検出回路部の測定値を無線信号に変換して送信するように構成されてもよい。
効果トランジスタ(FET)122と、測定回路123と、備える。電源ユニット121は、FET122、測定回路123、及びリファレンス電極112に直流電圧を供給するものである。詳細には、電源ユニット121は、電池の直流電圧をDC−DCコンバータによって上記の各種機器に適した直流電圧に変圧し、変圧された直流電圧を上記の各種機器へ供給する。FET122は、そのゲートがセンシング電極111に接続され、且つそのドレイン及びソースが測定回路123に接続されており、測定回路123を利用してルーメン液20のpHを測定させる、電界効果トランジスタ(MOSFET:Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)である。また、測定回路123は、ルーメン
液20のpH測定値(以下、pH値ともいう)を無線回路部13へ出力する。なお、測定回路123は、pH測定値を記憶するための記憶部を有していてもよい。
)や金(Au)などの金属からなる下部電極42を公知の方法で形成し、その下部電極4
2を酸化インジウム錫(ITO:Indium Tin Oxide)をフィルム状に成形した膜(以下、ITO膜という)43で被覆して形成される。さらに、本実施形態のセンシング電極111は、図2(B)に示すように、ITO膜43の表面とITO膜43が形成されていないシリコン基板41の表面とを、牛のルーメン液に対する耐性を有する保護膜44によって被覆している。その際、保護膜44は、上記したITO膜43の表面の一部が露出するように形成されるものとする。なお、ここでいう保護膜44は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(すなわち、テフロン(登録商標))等のフッ素樹脂からなる疏水性保護膜であり、本発明に係わる第1の保護膜に相当する。このように構成されるセンシング電極111は、図2(B)に示すように、平板状に形成される。
は形成されない。ここで、センシング電極111とリファレンス電極112とは、同一のシリコン基板上の別々の位置に形成して、それぞれの製造プロセスが完了した後に、カッターなどで分離される方法によって製造されてもよい。
232とから構成される。電源ユニット121の電池は、3Vの定格電圧を有する電池である。電源ユニット121のDC―DCコンバータは、電池の直流電圧を3.5Vの基準電圧Vrefに変圧して、リファレンス電極112に印加する。また、DC−DCコンバータは、電池の直流電圧を所定の直流電圧Vddに変圧してFET122及びインタフェース回路1232に印加する。さらに、DC−DCコンバータは、電池の直流電圧を0.3
Vの直流電圧Vdsに変圧してFET122のドレイン・ソースに印加する。
図6のVref)が印加されている。一方、FET122には、図1及び図6の電源ユニッ
ト121から動作電圧(図6のVdd)が印加されている。そして、FET122のゲートGがセンシング電極111に接続されて、ドレイン・ソース間の直流電圧VDSが出力される。
加された状態において、ゲートGのイオン感応膜でルーメン液20中の水素イオンH+を
検出して、その検出した水素イオンH+の量に応じた値の電位をドレイン・ソース間に発
生させる。よって、FET122のドレイン・ソース間の直流電圧VDSがルーメン液20のpHの値に応じて変化すると、ドレイン・ソース間の電流変化に対応した電圧上昇や電圧降下が抵抗Rに生じて、その変化量がADC1231によってデジタルデータに変換される。ADC1231によってデジタルデータに変換されたデータは、インタフェース回路1232によってI2C通信方式でFET122の閾値シフトとして出力される。イン
タフェース回路1232から出力されたデータは、無線回路部13によって外部回路へ無線送信される。その結果、外部回路において、ルーメン液20のpH測定値を取得することが可能となる。
ように貫通孔252a〜252fが構成されると、筐体251の外部から貫通孔252a〜252fを介して筐体251の内部へ侵入した藁や草などの固形物が、センシング電極253やリファレンス電極254に接触し難くなるため、それらの電極253、254の寿命が短くなり難い。また、筐体251の内部において、該筐体251の軸方向における基端寄りの空間には、回路基板256が収容されており、その回路基板256の周囲にはゲルなどの防水・固定用充填物258が充填されている。このような構成によれば、筐体251の外部から貫通孔252a〜252fを介して筐体251の内部へ流入したルーメン液は、防水・固定用充填物258に遮られて回路基板256に接触しなくなる。
めの入力部4023と、CPU4022で処理された各種情報を表示するための表示部4024と、各種データを記憶するための記憶部4025と、を備える。なお、記憶部4025は、CPU4022の動作用プログラムを記憶するための記憶領域や、CPU4022による演算の作業領域として用いられる記憶領域などを含む。
11 センサ部
12 検出回路部
13 無線回路部
43 ITO膜
44 保護膜
45 保護膜
111 センシング電極
112 リファレンス電極
122 FET
200、250 パッケージ
201 筐体
201a〜201c 貫通孔
202 電極ホルダ
203 連通孔
252a〜252f 貫通孔
400 監視システム
401 受信器
402 監視装置
Claims (11)
- 第1の基板上に形成された第1の電極、前記第1の電極を被覆するITO膜、及び前記ITO膜の少なくとも一部が露出するように該ITO膜を覆う膜であって、牛のルーメン液に対する耐性を有する第1の保護膜を具備するセンシング電極と、
第2の基板上に形成された第2の電極、及び前記第2の電極の少なくとも一部が露出するように該第2の電極を覆う膜であって、前記ルーメン液に対する耐性を有する第2の保護膜を具備するリファレンス電極と、
前記センシング電極と電気的に接続されるイオン感応膜を有する電界効果トランジスタと、
を備え、
前記センシング電極及び前記リファレンス電極を、前記第1の保護膜と前記第2の保護膜とが間隔を置いて対向するように牛のルーメン液中に配置した状態において、前記リファレンス電極に直流電圧が印加されたときの前記電界効果トランジスタのドレイン・ソース間の電流に基づいて、前記ルーメン液のpH値を測定することを特徴とするpHセンサ。 - 前記第1の保護膜には、前記ITO膜のコンタクト領域の一部を露出させるための単一又は複数の第1の開口部が形成されており、
前記第2の保護膜には、前記第2の電極のコンタクト領域の一部を露出させるための単一又は複数の第2の開口部が形成されていることを特徴とする請求項1記載のpHセンサ。 - 前記第1の開口部、及び前記第2の開口部は、ドット状に配置された複数の開口部により形成されることを特徴とする請求項2記載のpHセンサ。
- 前記第1の開口部、及び前記第2の開口部は、格子状に配置された開口部により形成されることを特徴とする請求項2記載のpHセンサ。
- 第1の基板上に形成された第1の電極、前記第1の電極を被覆するITO膜、及び前記ITO膜の少なくとも一部が露出するように該ITO膜を覆う膜であって、牛のルーメン液に対する耐性を有する第1の保護膜を具備するセンシング電極と、第2の基板上に形成された第2の電極、及び前記第2の電極の少なくとも一部が露出するように該第2の電極を覆う膜であって、前記ルーメン液に対する耐性を有する第2の保護膜を具備するリファレンス電極と、を備え、それらセンシング電極とリファレンス電極とを、前記第1の保護膜と前記第2の保護膜とが間隔を置いて対向する状態で牛のルーメン液中に配置するセンサ部と、
前記センシング電極と電気的に接続されるイオン感応膜を具備する電界効果トランジスタ、及び前記リファレンス電極に直流電圧を印加することにより該リファレンス電極に陽イオンを生成させているときの前記電界効果トランジスタのドレイン・ソース間の電流から前記ルーメン液のpH値を検出して、その検出されたpH値を記憶する記憶部を備える検出回路部と
を備えることを特徴とするpHセンサ。 - 第1の基板上に形成される第1の電極、前記第1の電極を被膜するITO膜、及び前記ITO膜の少なくとも一部が露出するように該ITO膜を覆う膜であって、牛のルーメン液に対する耐性を有する第1の保護膜を具備するセンシング電極と、第2の基板上に形成された第2の電極、及び前記第2の電極の少なくとも一部が露出するように該第2の電極を覆う膜であって、前記ルーメン液に対する耐性を有する第2の保護膜を具備するリファレンス電極とを備え、それらセンシング電極とリファレンス電極とを、前記第1の保護膜及び前記第2の保護膜が間隔を置いて対向する状態で牛のルーメン液内に配置するセンサ部と、
前記センシング電極と電気的に接続されるイオン感応膜を具備する電界効果トランジスタと、
前記リファレンス電極に直流電圧を印加することにより該リファレンス電極に陽イオンを生成させているときの、前記電界効果トランジスタのドレイン・ソース間の電流に応じて前記ルーメン液のpH値を測定する検出回路部と、
前記検出回路部の測定値を無線信号に変換して送信するための無線回路部と
を備えることを特徴とするpHセンサ。 - 前記センサ部と前記検出回路部と前記無線回路部とは、牛のルーメン液に対する耐性を有し且つその両端が閉塞される筒状の筐体に収容されており、
前記筐体の内部は、該筐体の一端側に配置され且つ前記センサ部を収容する第1の収容部と、該筐体の他端側に配置され且つ前記検出回路部及び前記無線回路部を収容する第2の収容部とに区画されており、
前記第1の収容部は、該第1の収容部を包囲する前記筐体の周壁に穿設される貫通孔を介して、前記筐体の外部と連通しており、
前記第2の収容部は、前記筐体の外部及び前記第1の収容部と液密に遮断されることを特徴とする請求項6記載のpHセンサ。 - 前記第1の収容部は、前記筐体の内径と同等の外径を有する有底筒状の電極ホルダを収容しており、
前記電極ホルダは、板状に形成される前記センシング電極と板状に形成される前記リファレンス電極とを、前記第1の保護膜と前記第2の保護膜とが間隔を置いて対向するように保持するものであり、
前記電極ホルダの周壁における前記筐体の前記貫通孔に臨む部位には、該電極ホルダの内部と外部とを連通させる連通孔が形成されることを特徴とする請求項7記載のpHセンサ。 - 前記第1の収容部は、棒状に形成される前記センシング電極と棒状に形成される前記リファレンス電極とを、各電極の一端が前記筐体の一端側の端面に固定される状態で収容することを特徴とする請求項7記載のpHセンサ。
- 前記筒状の筐体は、円筒形状であり、
前記貫通孔は、該貫通孔の軸線が前記円筒形状の筐体の径方向に対して斜めになり、前記円筒形状の筐体の中心軸付近に配置される前記センシング電極および前記リファレンス電極からオフセットした位置を通るように形成されることを特徴とする請求項9記載のpHセンサ。 - 請求項6に記載のpHセンサと、
前記pHセンサの無線回路部から無線送信されるpH測定値を受信する受信器と、
前記受信器から出力される前記pH測定値と牛の飼料に関する所定のデータとから監視データを生成して、その生成された監視データを表示する監視装置と
を備えることを特徴とする監視システム。
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