JP6840635B2 - 超音波プローブ及びその製造方法 - Google Patents
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Claims (6)
- 複数の振動層と、
前記複数の振動層の下側に設けられた複数の共振層と、
前記複数の振動層と前記複数の共振層とを接着する複数の接着層と、
を含み、
前記各振動層の下面は薄膜としての電極を含む鏡面であり、電極形成後の当該下面のRaは0.01μm以上0.1μm以下であり、
前記各共振層の上面は薄膜としての電極を含む粗面であり、電極形成後の当該上面のRaは0.4μm以上2.0μm以下である、
ことを特徴とする超音波プローブ。 - 請求項1記載の超音波プローブにおいて、
前記各振動層の上面は鏡面である、
ことを特徴とする超音波プローブ。 - 請求項2記載の超音波プローブにおいて、
前記各振動層の上面は電極を含む鏡面である、
ことを特徴とする超音波プローブ。 - 請求項1記載の超音波プローブにおいて、
前記各共振層の下面は粗面である、
ことを特徴とする超音波プローブ。 - 請求項1記載の超音波プローブにおいて、
前記複数の振動層は一次元振動層アレイ又は二次元振動層アレイを構成し、
前記複数の共振層は一次元共振層アレイ又は二次元共振層アレイを構成する、
ことを特徴とする超音波プローブ。 - 振動材における鏡面としての下面と、共振材における上面であって前記下面よりも粗い粗面としての上面と、を接着することにより積層体を構成する工程と、
前記積層体の分割により、前記振動材を一次元振動子アレイ又は二次元振動層アレイに加工し、同時に、前記共振材を一次元共振層アレイ又は二次元共振層アレイに加工する工程と、
を含み、
前記振動材の下面には薄膜としての電極が形成されており、電極形成後の当該下面のRaは0.01μm以上0.1μm以下であり、
前記共振材の上面には薄膜としての電極が形成されており、電極形成後の当該上面のRaは0.4μm以上2.0μm以下である、
ことを特徴とする超音波プローブ製造方法。
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