JP6826064B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
第1の実施形態の成膜装置は、成膜室と、成膜室の内部を減圧するポンプと、排液を貯留する貯留容器と、第1の端部と第2の端部を有し、第1の端部が成膜室に接続され、第2の端部の近傍において第1の方向に伸長し、第1の方向に対して垂直な面において第1の開口面積を有する第1の配管と、第3の端部と第4の端部を有し、第1の配管とポンプとの間に設けられ、第3の端部の近傍において第1の方向と異なる第2の方向に伸長し、第4の端部が前記ポンプに接続された第2の配管と、第5の端部と第6の端部とを有し、第1の配管と貯留容器との間に設けられ、第5の端部の近傍において第2の方向と異なる第3の方向に伸長し、第5の端部は第2の端部の中心から第1の方向に仮想的に伸びる直線の上に位置し、第6の端部が前記貯留容器に接続された第3の配管と、を備える。
第2の実施形態の成膜装置は、第1の方向と第3の方向とが同一である点で、第1の実施形態と異なっている。以下、第1の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
第3の実施形態の成膜装置は、第3の配管を冷却する冷却部を、更に備える点で、第2の実施形態と異なっている。以下、第2の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
第4の実施形態の成膜装置は、第3の配管の内部に、第3の配管の伸長方向に伸びる螺旋状の形状物を有する点で、第2の実施形態と異なっている。以下、第2の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
第5の実施形態の成膜装置は、第3の配管の内部に、漏斗状の部材を有する点で、第2の実施形態と異なっている。以下、第2の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
第6の実施形態の成膜装置は、第3の配管の内部に、第3の配管の伸長方向に対して略垂直な面を有するメッシュ状の部材を有する点で、第2の実施形態と異なっている。以下、第2の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
第7の実施形態の成膜装置は、第3の配管の内部に、第3の配管の伸長方向に対して略平行な板状の部材を有する点で、第2の実施形態と異なっている。以下、第2の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
第8の実施形態の成膜装置は、狭窄部の先端が第3の配管の中にある点で、第2の実施形態と異なっている。以下、第2の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
第9の実施形態の成膜装置は、狭窄部が管状である点で、第2の実施形態と異なっている。以下、第2の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
第10の実施形態の成膜装置は、第3の配管の一部が第1の方向に対して斜行する点で、第2の実施形態と異なっている。以下、第2の実施形態と重複する内容については記述を一部省略する場合がある。
20 排気ポンプ(ポンプ)
24 第1の排気管(第1の配管)
26 オリフィス(狭窄部)
28 第2の排気管(第2の配管)
30 排液管(第3の配管)
32 排液タンク(貯留容器)
40 冷却部
42 螺旋状の形状物
44 漏斗状の部材
46 メッシュ状の部材
48 板状の部材
50 配管(狭窄部)
D1 第1の方向
D2 第2の方向
D3 第3の方向
E1 第1の端部
E2 第2の端部
E3 第3の端部
E4 第4の端部
E5 第5の端部
E6 第6の端部
G 第2の端部の中心
L 直線
S1 第1の開口面積
S2 第2の開口面積
S3 第3の開口面積
100 成膜装置(成膜装置)
200 成膜装置(成膜装置)
1000 成膜装置(成膜装置)
Claims (9)
- 成膜室と、
前記成膜室の内部を減圧するポンプと、
排液を貯留する貯留容器と、
第1の端部と第2の端部を有し、前記第1の端部が前記成膜室に接続され、前記第2の端部の近傍において第1の方向に伸長し、前記第1の方向に対して垂直な面において第1の開口面積を有する第1の配管と、
第3の端部と第4の端部を有し、前記第1の配管と前記ポンプとの間に設けられ、前記第3の端部の近傍において前記第1の方向と異なる第2の方向に伸長し、前記第4の端部が前記ポンプに接続された第2の配管と、
第5の端部と第6の端部とを有し、前記第1の配管と前記貯留容器との間に設けられ、前記第5の端部の近傍において前記第2の方向と異なる第3の方向に伸長し、前記第5の端部は前記第2の端部の中心から前記第1の方向に仮想的に伸びる直線の上に位置し、前記第6の端部が前記貯留容器に接続された第3の配管と、
前記第1の配管の内部に設けられ、前記第1の方向に対して垂直な面において前記第1の開口面積よりも小さい第2の開口面積を有する狭窄部と、を備え、
前記第5の端部の第3の開口面積は、前記第2の開口面積よりも大きい成膜装置。 - 前記第3の配管の少なくとも一部が前記第1の方向に対して斜行する請求項1記載の成膜装置。
- 前記第3の方向は前記第1の方向と異なる請求項1又は請求項2記載の成膜装置。
- 前記第3の配管は、前記排液が前記第3の配管の中を重力で流れ前記貯留容器に貯留されるように設置された請求項1ないし請求項3いずれか一項記載の成膜装置。
- 前記第3の配管を冷却する冷却部を、更に備える請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の成膜装置。
- 前記第3の配管の内部に、前記第3の配管の伸長方向に伸びる螺旋状の形状物を有する請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の成膜装置。
- 前記第3の配管の内部に、漏斗状の部材を有する請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の成膜装置。
- 前記第3の配管の内部に、前記第3の配管の伸長方向に対して略垂直な面を有するメッシュ状の部材を有する請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の成膜装置。
- 前記第3の配管の内部に、前記第3の配管の伸長方向に対して略平行な板状の部材を有する請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の成膜装置。
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