JP6825133B2 - 動作レーザビームの焦点を制御するための方法及び装置ならびにそのような装置を有するレーザ加工ヘッド - Google Patents
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Description
本発明が、図面を参照して以下により詳細に、一つの例として説明される。
Claims (8)
- ワークピース(20)を加工するために動作レーザビーム(14)の焦点を制御する方法であって、前記動作レーザビーム(14)の前記焦点が、光学系(24)を駆動モータ(28)によって前記光学系(24)の光軸(26)に沿って変位することによって調整され、前記方法が、
前記光学系(24)を所望の位置に動かして且つそれをそこに保持するために、前記駆動モータ(28)の電流制御ループ(40)に対する設定点を生成し且つ出力するステップと、
前記光学系(24)の前記光軸(26)の方向に作用している加速度を検出するステップと、
検出された加速度によって生成された力を打ち消す付加的な力を前記駆動モータ(28)が生成するように、前記駆動モータ(28)の前記電流制御ループ(40)に対する出力設定点を、検出された加速度によって可変するステップと、
を包含する、方法。 - 前記駆動モータの前記電流制御ループ(40)に対する設定点が、モータ電流が増加されるように可変されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記駆動モータ(28)の前記電流制御ループ(40)に対する出力設定点が、検出された加速度に従って決定された設定点値を適用することによって可変されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の方法。
- ワークピース(20)を加工するために動作レーザビーム(14)の焦点を制御する装置であって、
前記焦点及び/又は焦点距離を調整する光学系(24)を、前記光学系(24)の光軸(26)に沿って変位する駆動モータ(28)と、
前記光学系(24)を所望の位置に動かして且つそれをそこに保持するために、前記駆動モータ(28)の電流制御ループ(40)に対する設定点を出力する位置コントローラ(38)と、
加速度を検出する加速度センサ(48)と、
検出された加速度によって生成された力を打ち消す付加的な力を前記駆動モータ(28)が生成するように、前記駆動モータ(28)の前記電流制御ループ(40)に対する前記位置コントローラ(38)からの設定点出力を、検出された加速度によって可変するパイロット制御回路(50)と、
を備える、装置。 - 前記パイロット制御回路(50)が、モータ電流が増加されるように前記駆動モータ(28)の前記電流制御ループ(40)に対する設定点が可変されるように構成されていることを特徴とする、請求項4に記載の装置。
- 比較器(42)が設けられており、前記比較器(42)に、前記位置コントローラ(38)による前記駆動モータ(28)の前記電流制御ループ(40)に対する設定点、及び検出された加速度に従って前記パイロット制御回路(50)によって決定された設定点値が供給され、前記駆動モータ(28)の前記電流制御ループ(40)に対する設定点が前記パイロット制御回路(50)の設定点値を適用することによって可変されることを特徴とする、請求項4又は5に記載の装置。
- 加速度センサ(48)が前記光学系(24)の光軸(26)の方向に沿って作用する加速度を検出する、請求項4〜6のいずれか1項に記載の装置。
- 動作レーザビームの経路がそこを通ってガイドされるハウジング(12)を有するレーザ加工ヘッド(10)であって、焦点及び/又は焦点距離を調整する少なくとも一つの光学系(24)が、前記レーザ加工ヘッド(10)内の前記光学系(24)の光軸(26)に沿って変位可能であり、前記レーザ加工ヘッド(10)が、請求項4、5、6、又は7の一つに従った前記動作レーザビーム(14)の焦点を制御する装置を備える、レーザ加工ヘッド。
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