JP6822133B2

JP6822133B2 - Transport container connection device, load port device, transport container storage stocker and transport container connection method

Info

Publication number: JP6822133B2
Application number: JP2016249781A
Authority: JP
Inventors: 忠将岩本; 拓哉工藤
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2016-12-22
Filing date: 2016-12-22
Publication date: 2021-01-27
Anticipated expiration: 2036-12-22
Also published as: JP2018107206A

Description

本発明は、ウエハ搬送容器を壁開口に接続する搬送容器接続装置及び搬送容器接続方法、並びに搬送容器接続装置を有するロードポート装置及び搬送容器保管ストッカーに関する。 The present invention relates to a transport container connecting device and a transport container connecting method for connecting a wafer transport container to a wall opening, and a load port device and a transport container storage stocker having a transport container connecting device.

半導体の製造工程では、プープ（ＦＯＵＰ）やフォスビ（ＦＯＳＢ）等と呼ばれるウエハ搬送容器を用いて、各処理装置の間のウエハの搬送が行われる。このようなウエハ搬送容器は、ウエハを出し入れする主開口及び主開口を閉鎖する蓋部を有しており、ウエハ搬送容器内のウエハは、蓋部によって密閉された空間内に保管される。 In the semiconductor manufacturing process, wafers are transferred between the processing devices using wafer transfer containers called FOUP, FOSB, and the like. Such a wafer transfer container has a main opening for inserting and removing wafers and a lid for closing the main opening, and the wafer in the wafer transfer container is stored in a space sealed by the lid.

ウエハ搬送容器の蓋部を開いて、ウエハ搬送容器内部からウエハを取り出したり、ウエハの主開口から清浄化ガスを導入したりする場合、ウエハ搬送容器を壁開口に接続する搬送容器接続装置が用いられる。搬送容器接続装置を用いることにより、ウエハ搬送容器の内部空間を、ミニエンバイロメントと呼ばれるような別の空間に対して、壁開口を介して気密に接続することが可能となり、容器内のウエハを、半導体工場内の他の空間から隔離しつつ、ウエハ搬送容器内から出し入れすることができる。例えば、搬送容器接続装置は、ウエハ搬送容器の蓋を開く蓋開閉機構とともにＥＦＥＭに備えられ、ロードポート装置等を構成する。 When the lid of the wafer transfer container is opened to take out the wafer from the inside of the wafer transfer container or the cleaning gas is introduced from the main opening of the wafer, a transfer container connecting device for connecting the wafer transfer container to the wall opening is used. Be done. By using the transfer container connecting device, the internal space of the wafer transfer container can be airtightly connected to another space called a mini-environment through a wall opening, and the wafer in the container can be connected. , It can be taken in and out of the wafer transfer container while being isolated from other spaces in the semiconductor factory. For example, the transport container connecting device is provided in the EFEM together with a lid opening / closing mechanism for opening the lid of the wafer transport container, and constitutes a load port device and the like.

また、搬送容器接続装置としては、載置中のウエハ搬送容器が、可動テーブルから脱落することを防止するクランプ機構を有しているものが提案されている（特許文献１参照）。従来のクランプ機構は、可動テーブルに備えられており、ウエハ搬送容器及び可動テーブルと伴に移動する。 Further, as a transport container connecting device, a device having a clamp mechanism for preventing the wafer transport container being placed from falling off from the movable table has been proposed (see Patent Document 1). The conventional clamp mechanism is provided on the movable table and moves together with the wafer transfer container and the movable table.

特開２０１３−２１９１５９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-219159

しかし、クランプ機構が可動テーブルに接続しており、クランプ機構が可動テーブルと伴に移動する従来の構造は、可動する可動テーブルにクランプ機構が搭載されているため、クランプ機構の駆動部への配線又はクランプ機構へ動力を伝達する機構が複雑となり、耐久性やメンテナンス性の点で問題がある。また、従来の搬送容器接続装置は、機構が複雑となったり、可動テーブルの移動時に擦れる部分が増えたりすることにより、パーティクルの発生等の問題が生じる場合があり、空間の清浄度を高める観点からも、課題を有している。また、このような課題は、容器を回転させる回転テーブルを有するような、可動部分を多く含む搬送容器接続装置において、往復移動のみを行う可動テーブルを有する搬送容器接続装置より、顕著である。 However, in the conventional structure in which the clamp mechanism is connected to the movable table and the clamp mechanism moves together with the movable table, the clamp mechanism is mounted on the movable movable table, so that the wiring to the drive unit of the clamp mechanism is provided. Alternatively, the mechanism for transmitting power to the clamp mechanism becomes complicated, and there is a problem in terms of durability and maintainability. Further, in the conventional transport container connecting device, problems such as generation of particles may occur due to a complicated mechanism or an increase in the number of parts to be rubbed when the movable table is moved, which is a viewpoint of improving the cleanliness of the space. Also, there are issues. Further, such a problem is more remarkable in the transport container connecting device having many movable parts, such as having a rotary table for rotating the container, as compared with the transport container connecting device having a movable table that performs only reciprocating movement.

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、シンプルな構造を有しており、耐久性やメンテナンス性に優れた搬送容器接続装置や、このような搬送容器接続装置等を用いて行う搬送容器接続方法を提供することである。 The present invention has been made in view of such an actual situation, has a simple structure, and is excellent in durability and maintainability. A transport container connecting device, a transport container performed by using such a transport container connecting device, or the like. It is to provide a connection method.

上記目的を達成するために、本発明に係る搬送容器接続装置は、
ウエハ搬送容器を壁開口に接続する搬送容器接続装置であって、
前記壁開口に対して接近及び離間可能な可動テーブルと、
前記可動テーブルから上方に突出し、前記ウエハ搬送容器の底面に接触する先端部を有し、前記ウエハ搬送容器を支持する複数の支持ピンと、
前記可動テーブルを支える固定台と、前記固定台から上方に延びており前記壁開口が形成される壁部と、を有する筐体部と、
前記支持ピンに設けられた前記ウエハ搬送容器における前記底面に形成された溝部に係合する把持部を有しており、前記ウエハ搬送容器が前記支持ピンから離れるのを防ぐクランプ機構と、を有し、
前記クランプ機構は、前記可動テーブルとは分離して前記筐体部に接続されている。 In order to achieve the above object, the transport container connecting device according to the present invention
A transport container connecting device that connects a wafer transport container to a wall opening.
A movable table that can be approached and separated from the wall opening,
A plurality of support pins that project upward from the movable table and have a tip portion that contacts the bottom surface of the wafer transfer container and support the wafer transfer container.
A housing portion having a fixed base for supporting the movable table, a wall portion extending upward from the fixed base and forming the wall opening, and a housing portion.
It has a grip portion provided on the support pin and engages with a groove formed on the bottom surface of the wafer transfer container, and has a clamp mechanism for preventing the wafer transfer container from separating from the support pin. And
The clamp mechanism is separated from the movable table and connected to the housing portion.

本発明に係る搬送容器接続装置では、クランプ機構が可動テーブルとは分離して筐体部に接続しており、クランプ機構自体を可動テーブルと伴に移動させないため、クランプ機構や可動テーブルの構造がシンプルである。したがって、このような搬送容器接続装置は、メンテナンス性や耐久性に優れている。また、クランプ機構や可動テーブルがシンプルな構造を有しているため、パーティクルの発生等の問題を防止することができる。 In the transport container connecting device according to the present invention, the clamp mechanism is separated from the movable table and connected to the housing portion, and the clamp mechanism itself is not moved together with the movable table, so that the structure of the clamp mechanism and the movable table is It's simple. Therefore, such a transport container connecting device is excellent in maintainability and durability. Further, since the clamp mechanism and the movable table have a simple structure, problems such as generation of particles can be prevented.

また、例えば、前記クランプ機構は、前記壁部に接続しており前記壁部に対して略垂直な方向に突出して前記把持部を支える支持部を有してもよい。 Further, for example, the clamp mechanism may have a support portion that is connected to the wall portion and projects in a direction substantially perpendicular to the wall portion to support the grip portion.

壁部から垂直に突出する支持部が把持部を支える構造とすることにより、クランプ機構は、可動テーブルと干渉することを避けながら、短い距離でウエハ搬送容器の底面に係合する把持部を支持することができる。特に、搬送容器接続装置が、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）のようなウエハ搬送容器の上部を把持してウエハ搬送容器を搬送する搬送装置のみからではなく、ウエハ搬送容器を底面から持ち上げて搬送する搬送装置からも、ウエハ搬送容器を可動テーブルに載置可能とした場合には、ウエハ搬送容器の底面を支える支持ピンを長くする必要がある。この場合、固定台や可動テーブルから上下方向に突出する支持部を設けたのでは、支持ピンと同様に支持部が長くなり、可動テーブルの移動方向に沿う力が支持部に作用した場合、クランプ機構が変形し易いという問題を有する。これに対して、壁部から垂直に突出する支持部の場合、支持ピンによって支えられるウエハ搬送容器の底面と可動テーブルとの間の隙間を利用して、可動テーブルと干渉することなく、支持部が把持部をしっかりと支持する構造を採用することが可能である。 By adopting a structure in which the support portion vertically protruding from the wall portion supports the grip portion, the clamp mechanism supports the grip portion that engages with the bottom surface of the wafer transfer container at a short distance while avoiding interference with the movable table. can do. In particular, the transfer container connecting device not only transfers the wafer transfer container by grasping the upper part of the wafer transfer container such as OHT (Overhead Hoist Transfer), but also lifts the wafer transfer container from the bottom surface for transfer. If the wafer transfer container can be placed on the movable table from the device, it is necessary to lengthen the support pin that supports the bottom surface of the wafer transfer container. In this case, if a support portion that protrudes vertically from the fixed base or the movable table is provided, the support portion becomes long like the support pin, and when a force along the moving direction of the movable table acts on the support portion, the clamp mechanism Has a problem that it is easily deformed. On the other hand, in the case of a support portion that protrudes vertically from the wall portion, the support portion does not interfere with the movable table by utilizing the gap between the bottom surface of the wafer transfer container supported by the support pins and the movable table. It is possible to adopt a structure that firmly supports the grip portion.

また、例えば、前記可動テーブルは、前記壁開口に対して接近及び離間する方向に移動する第１テーブルと、前記第１テーブルと伴に移動し前記第１テーブルに対して相対回転可能な第２テーブルと、を有してもよい。 Further, for example, the movable table has a first table that moves in a direction that approaches and separates from the wall opening, and a second table that moves with the first table and can rotate relative to the first table. You may have a table and.

可動テーブルが、壁開口に対して接近及び離間する第１テーブルだけでなく、第１テーブルに対して回転する第２テーブルを有する場合、可動テーブルの構造が複雑になる傾向があるが、本発明では、クランプ機構が可動テーブルとは分離して筐体部に接続しているため、可動テーブルの構造が複雑になることを防止できる。 When the movable table has a second table that rotates with respect to the first table as well as a first table that approaches and separates from the wall opening, the structure of the movable table tends to be complicated. Since the clamp mechanism is separated from the movable table and connected to the housing portion, it is possible to prevent the structure of the movable table from becoming complicated.

本発明に係るロードポート装置は、上記いずれかの搬送容器接続装置と、前記ウエハ搬送容器の蓋部を開く蓋開閉機構と、を有する。
また、本発明に係る搬送容器保管ストッカーは、上記いずれかの搬送容器接続装置と、前記ウエハ搬送容器の蓋部を開く蓋開閉機構と、を有する。 The load port device according to the present invention includes any of the above-mentioned transport container connecting devices and a lid opening / closing mechanism for opening the lid portion of the wafer transport container.
Further, the transport container storage stocker according to the present invention has any of the above transport container connecting devices and a lid opening / closing mechanism for opening the lid portion of the wafer transport container.

搬送容器接続装置は、ウエハ搬送容器の蓋部を開く蓋開閉機構とともに用いられて、ロードポート装置や搬送容器保管ストッカーを構成する。クランプ機構は、ウエハ搬送容器の蓋を開閉する際などに、ウエハ搬送容器の搬送容器筐体部に生じる振動等の影響により、ウエハ搬送容器が支持ピンから離れる問題を、効果的に防止できる。 The transport container connecting device is used together with a lid opening / closing mechanism for opening the lid of the wafer transport container to form a load port device and a transport container storage stocker. The clamp mechanism can effectively prevent the problem that the wafer transfer container is separated from the support pin due to the influence of vibration or the like generated in the transfer container housing portion of the wafer transfer container when opening and closing the lid of the wafer transfer container.

また、本発明に係る搬送容器接続方法は、
ウエハ搬送容器を、前記ウエハ搬送容器が接続するための壁開口を有する搬送容器接続装置に対して接続する搬送容器接続方法であって、
前記搬送容器接続装置における可動テーブルから上方に突出する複数の支持ピンの先端部に、前記ウエハ搬送容器の底面を接触させることにより、前記壁開口に対して離間した離間位置にある前記可動テーブルに、前記ウエハ搬送容器を載置する載置工程と、
前記可動テーブルを、前記離間位置から、前記壁開口に対して接近した接近位置に移動させ、前記ウエハ搬送容器を前記壁開口に接続する移動工程と、
前記可動テーブルとは分離して前記搬送容器接続装置の筐体部に接続されているクランプ機構を駆動し、前記壁開口に接続した前記ウエハ搬送容器の前記底面に形成された溝部に対して、前記クランプ機構が有する把持部を係合させ、前記ウエハ搬送容器が前記支持ピンから離れるのを防ぐクランプ工程と、
前記搬送容器接続装置が有する蓋開閉機構を駆動し、前記壁開口に接続し前記把持部に係合された前記ウエハ搬送容器の蓋部を開ける蓋開放工程と、
を有する。 Further, the transport container connecting method according to the present invention is
A transfer container connecting method for connecting a wafer transfer container to a transfer container connecting device having a wall opening for connecting the wafer transfer container.
By bringing the bottom surface of the wafer transfer container into contact with the tips of a plurality of support pins protruding upward from the movable table in the transfer container connecting device, the movable table at a separated position away from the wall opening can be obtained. , The mounting process for mounting the wafer transfer container, and
A moving step of moving the movable table from the separated position to an approaching position close to the wall opening and connecting the wafer transfer container to the wall opening.
A clamp mechanism that is separated from the movable table and is connected to the housing portion of the transport container connecting device is driven, and the groove portion formed on the bottom surface of the wafer transport container connected to the wall opening is provided. A clamp step of engaging the grip portion of the clamp mechanism to prevent the wafer transfer container from separating from the support pin.
A lid opening step of driving the lid opening / closing mechanism of the transport container connecting device to open the lid of the wafer transport container connected to the wall opening and engaged with the grip portion.
Have.

本発明に係る搬送容器接続方法では、可動テーブルとは分離して搬送容器接続装置の筐体部に接続されているクランプ機構を用いてクランプ工程が行われ、また、クランプ工程は、移動工程の後であって、蓋開放工程の前に実施される。したがって、搬送容器接続方法では、クランプ機構自体を可動テーブルと伴に移動させる必要がなく、クランプ機構や可動テーブルの構造がシンプルな搬送容器接続装置を用いて行うことが可能である。 In the transport container connecting method according to the present invention, the clamping step is performed using a clamping mechanism that is separated from the movable table and connected to the housing portion of the transport container connecting device, and the clamping step is a moving step. It is carried out later and before the lid opening step. Therefore, in the transport container connecting method, it is not necessary to move the clamp mechanism itself together with the movable table, and the transport container connecting device having a simple structure of the clamp mechanism and the movable table can be used.

図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a load port device 10 according to an embodiment of the present invention. 図２は、図１に示すロードポート装置１０の部分拡大図である。FIG. 2 is a partially enlarged view of the load port device 10 shown in FIG. 図３（ａ）は、図１に示すロードポート装置による搬送容器接続方法における載置工程を表す概念図であり、図３（ｂ）は、搬送容器接続方法における第１回転工程を表す概念図である。FIG. 3A is a conceptual diagram showing a mounting process in the transport container connecting method by the load port device shown in FIG. 1, and FIG. 3B is a conceptual diagram showing a first rotation step in the transport container connecting method. Is. 図４（ａ）は、図１に示すロードポート装置による搬送容器接続方法における第１移動工程を表す概念図であり、図４（ｂ）は、搬送容器接続方法におけるクランプ工程を表す概念図である。FIG. 4A is a conceptual diagram showing a first moving step in the transport container connecting method by the load port device shown in FIG. 1, and FIG. 4B is a conceptual diagram showing a clamping process in the transport container connecting method. is there. 図５（ａ）は、図１に示すロードポート装置による搬送容器接続方法における蓋開放工程を表す概念図であり、図５（ｂ）は、搬送容器接続方法における蓋閉鎖工程を表す概念図である。FIG. 5A is a conceptual diagram showing a lid opening step in the transport container connecting method by the load port device shown in FIG. 1, and FIG. 5B is a conceptual diagram showing a lid closing step in the transport container connecting method. is there. 図６（ａ）は、図１に示すロードポート装置による搬送容器接続方法におけるクランプ解除工程を表す概念図であり、図６（ｂ）は、搬送容器接続方法における第２移動工程を表す概念図である。FIG. 6A is a conceptual diagram showing a clamp release step in the transport container connecting method by the load port device shown in FIG. 1, and FIG. 6B is a conceptual diagram showing a second moving step in the transport container connecting method. Is. 図７は、図１に示すロードポート装置による搬送容器接続方法における第２回転工程を表す概念図である。FIG. 7 is a conceptual diagram showing a second rotation step in the transport container connecting method using the load port device shown in FIG. 図８は、ウエハ搬送容器を斜め後方から見た外観図である。FIG. 8 is an external view of the wafer transfer container viewed from diagonally rearward. 図９は、本発明の一実施形態に係る搬送容器接続方法を示すフローチャートである。FIG. 9 is a flowchart showing a transport container connecting method according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る搬送容器接続装置４０ａを有するロードポート装置４０の概略斜視図である。ロードポート装置４０は、図８に示すようなウエハ搬送容器２０を壁開口４８ａに接続する搬送容器接続装置４０ａと、壁開口４８ａを塞ぐドア６２及びドア６２を移動させるドア駆動部（不図示）等を有しており、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６を有する蓋開閉機構６０と、を有する。 Hereinafter, the present invention will be described based on the embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a schematic perspective view of a load port device 40 having a transport container connecting device 40a according to an embodiment of the present invention. The load port device 40 includes a transport container connecting device 40a that connects the wafer transport container 20 to the wall opening 48a as shown in FIG. 8, and a door 62 that closes the wall opening 48a and a door drive unit that moves the door 62 (not shown). And the like, and has a lid opening / closing mechanism 60 having a lid portion 26 of the wafer transfer container 20.

ロードポート装置４０における搬送容器接続装置４０ａは、可動テーブル４１と、可動テーブル４１の上面に設けられる支持ピン４５と、可動テーブル４１を支える固定台４７及び固定台４７から上方に延びる壁部４８を有する筐体部４６と、クランプ機構５０と、情報読み取り部７０とを有する。搬送容器接続装置４０ａは、ウエハ搬送容器２０を、壁部４８に形成された壁開口４８ａに接続する（図５（ａ）等参照）。なお、ロードポート装置４０を用いてウエハ搬送容器２０を壁開口４８ａに接続する搬送容器接続方法については、後ほど図９等を用いて説明する。 The transport container connecting device 40a in the load port device 40 includes a movable table 41, a support pin 45 provided on the upper surface of the movable table 41, a fixed base 47 for supporting the movable table 41, and a wall portion 48 extending upward from the fixed base 47. It has a housing portion 46, a clamp mechanism 50, and an information reading portion 70. The transport container connecting device 40a connects the wafer transport container 20 to the wall opening 48a formed in the wall portion 48 (see FIG. 5A and the like). The method of connecting the wafer transfer container 20 to the wall opening 48a by using the load port device 40 will be described later with reference to FIG. 9 and the like.

図３（ａ）に示すように、ロードポート装置４０には、ウエハ搬送容器２０が載置される。ウエハ搬送容器２０は、半導体工場等において、ウエハを搬送するための容器であり、ＳＥＭＩスタンダードに準拠するフープ（ＦＯＵＰ）やフォスビ（ＦＯＳＢ）などが挙げられる。ただし、ウエハ搬送容器２０としてはこれに限定されず、ウエハを密閉して搬送又は保管可能な他の容器も、ウエハ搬送容器２０に含まれる。 As shown in FIG. 3A, the wafer transfer container 20 is placed on the load port device 40. The wafer transport container 20 is a container for transporting wafers in a semiconductor factory or the like, and examples thereof include a hoop (FOUP) and a fosbi (FOSB) conforming to the SEMI standard. However, the wafer transfer container 20 is not limited to this, and other containers capable of sealing or storing the wafer in a sealed manner are also included in the wafer transfer container 20.

ウエハ搬送容器２０は、略直方体又は略立方体の箱型の外形状を有している。ウエハ搬送容器２０は、側面にウエハを出し入れするための主開口２２ａが形成された容器筐体部２２と、容器筐体部２２に対して着脱可能に設けられており、主開口２２ａを塞ぐ蓋部２６とを有している。容器筐体部２２の底面２２ｂには、ロードポート装置４０のクランプ機構５０における把持部５２が係合する溝部２２ｂａが設けられている。なお、実施形態に係るウエハ搬送容器２０における溝部２２ｂａは、Ｘ軸方向の両側を塞ぐ側壁を有さないが、溝部２２ｂａはＸ軸方向の両側を塞ぐ側壁を有していてもよい。また、溝部２２ｂａの形状は、主開口２２ａと同じ方向に開口を有する他の形状であってもよく、特に限定されない。 The wafer transfer container 20 has a substantially rectangular parallelepiped or substantially cubic box-shaped outer shape. The wafer transfer container 20 is provided with a container housing portion 22 having a main opening 22a formed on the side surface for inserting and removing wafers, and a lid that is detachably provided with respect to the container housing portion 22 and closes the main opening 22a. It has a part 26. The bottom surface 22b of the container housing 22 is provided with a groove 22ba with which the grip 52 of the clamp mechanism 50 of the load port device 40 engages. The groove 22ba in the wafer transfer container 20 according to the embodiment does not have side walls that close both sides in the X-axis direction, but the groove 22ba may have side walls that close both sides in the X-axis direction. Further, the shape of the groove portion 22ba may be another shape having an opening in the same direction as the main opening 22a, and is not particularly limited.

図８に示すように、ウエハ搬送容器２０は、容器筐体部２２における主開口２２ａが形成される側面とは反対側の側面に、ウエハ搬送容器２０又はウエハ搬送容器２０に収容されたウエハに関する情報を記録した情報記録部２５を備えている。情報記録部２５としては、バーコードやＩＣタグ（ＲＦタグ）が挙げられるが、情報を外部から読み取り可能な記録媒体であれば、特に限定されない。 As shown in FIG. 8, the wafer transfer container 20 relates to the wafer transfer container 20 or the wafer housed in the wafer transfer container 20 on the side surface of the container housing portion 22 opposite to the side surface on which the main opening 22a is formed. It includes an information recording unit 25 that records information. Examples of the information recording unit 25 include a barcode and an IC tag (RF tag), but the information recording unit 25 is not particularly limited as long as it is a recording medium capable of reading information from the outside.

図１及び図２に示すように、ロードポート装置４０における可動テーブル４１は、固定台４７の上に設けられており、固定台４７の上でＹ軸方向に往復移動することができる。可動テーブル４１は、Ｙ軸方向への往復移動により、固定台４７の側方（Ｙ軸負方向）端部から上方に延びる壁部４８に形成された壁開口４８ａに対して、接近及び離間可能である。 As shown in FIGS. 1 and 2, the movable table 41 in the load port device 40 is provided on the fixed base 47, and can reciprocate in the Y-axis direction on the fixed base 47. The movable table 41 can approach and separate from the wall opening 48a formed in the wall portion 48 extending upward from the lateral (Y-axis negative direction) end of the fixed base 47 by reciprocating in the Y-axis direction. Is.

図２に示すように、可動テーブル４１は、第１テーブル４２と第２テーブル４３とを有している。第１テーブル４２は、略矩形の平板状であり、第２テーブル４３の下方に配置されており、固定台４７の上をＹ軸方向にスライド移動する。第１テーブル４２を移動させるための駆動部としては、エアシリンダやリニアモーター等が挙げられるが、特に限定されない。第１テーブル４２は、第２テーブル４３を上に載せた状態でＹ軸方向に往復移動する。第１テーブル４２及び第１テーブル４２を含む可動テーブル４１は、図３、図７に示すように壁開口４８ａに対して離間した離間位置と、図４、図５に示すように壁開口４８ａに対して接近した接近位置との間を、往復移動する。 As shown in FIG. 2, the movable table 41 has a first table 42 and a second table 43. The first table 42 has a substantially rectangular flat plate shape, is arranged below the second table 43, and slides on the fixing base 47 in the Y-axis direction. Examples of the driving unit for moving the first table 42 include an air cylinder and a linear motor, but the driving unit is not particularly limited. The first table 42 reciprocates in the Y-axis direction with the second table 43 placed on it. The movable table 41 including the first table 42 and the first table 42 is located at a distance position separated from the wall opening 48a as shown in FIGS. 3 and 7, and at the wall opening 48a as shown in FIGS. 4 and 5. It moves back and forth between the approaching position and the approaching position.

第２テーブル４３は、第１テーブル４２の上に重ねて設置されている。第２テーブル４３は、略八角形の平板状であり、第１テーブル４２と同程度の面積を有しているが、第２テーブル４３の形状及び面積は特に限定されない。第２テーブル４３は、図３（ｂ）及び図４（ａ）から理解できるように、第１テーブル４２と伴にＹ軸方向に往復移動する。また、第２テーブル４３は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、壁開口４８ａに対して離間した離間位置において、第１テーブル４２に対して相対回転することができる。第２テーブル４３が相対回転する際、相対回転の中心位置は、第１テーブル４２及び第２テーブル４３の中心位置と略一致するが、第２テーブル４３の回転中心は特に限定されない。 The second table 43 is superposed on the first table 42. The second table 43 has a substantially octagonal flat plate shape and has an area similar to that of the first table 42, but the shape and area of the second table 43 are not particularly limited. As can be understood from FIGS. 3 (b) and 4 (a), the second table 43 reciprocates in the Y-axis direction together with the first table 42. Further, as shown in FIGS. 3A and 3B, the second table 43 can rotate relative to the first table 42 at a distance position separated from the wall opening 48a. When the second table 43 rotates relative to each other, the center position of the relative rotation substantially coincides with the center positions of the first table 42 and the second table 43, but the center of rotation of the second table 43 is not particularly limited.

図２に示すように、可動テーブル４１の表面には、３つの支持ピン４５と、３つの着座センサ４４が設けられている。支持ピン４５は、可動テーブル４１から上方に突出し、支持ピン４５の先端部４５ａは、図３（ａ）に示すようにウエハ搬送容器２０の底面２２ｂに接触することで、ウエハ搬送容器２０を支持する。 As shown in FIG. 2, three support pins 45 and three seating sensors 44 are provided on the surface of the movable table 41. The support pin 45 projects upward from the movable table 41, and the tip portion 45a of the support pin 45 supports the wafer transfer container 20 by contacting the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 as shown in FIG. 3A. To do.

図２に示すように、支持ピン４５の基端は、可動テーブル４１のうち上側に配置される第２テーブル４３に固定されている。３つの支持ピン４５は、第２テーブル４３の表面に、互いに離間するように配置されており、本実施形態では、３つの支持ピン４５が略正三角形の頂点を構成するように配置されている。図３（ａ）に示すように、３本の支持ピン４５は同じ長さを有しており、３本の支持ピン４５は、ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂを、可動テーブル４１に対して支える柱の役割を果たす。ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂは、支持ピン４５の基端が配置される第２テーブル４３の表面に対して、略支持ピン４５の長さに相当する長さだけ、上方に離れた位置に載置される。支持ピン４５の長さは特に限定されないが、たとえば１０〜１３０ｍｍとすることができる。 As shown in FIG. 2, the base end of the support pin 45 is fixed to the second table 43 arranged on the upper side of the movable table 41. The three support pins 45 are arranged on the surface of the second table 43 so as to be separated from each other, and in the present embodiment, the three support pins 45 are arranged so as to form the vertices of a substantially equilateral triangle. .. As shown in FIG. 3A, the three support pins 45 have the same length, and the three support pins 45 support the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 with respect to the movable table 41. It acts as a pillar. The bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 is placed at a position separated upward from the surface of the second table 43 on which the base end of the support pin 45 is arranged by a length substantially corresponding to the length of the support pin 45. Placed. The length of the support pin 45 is not particularly limited, but may be, for example, 10 to 130 mm.

また、各着座センサ４４は、３つの支持ピン４５のそれぞれに隣接して設けられている。本実施形態の着座センサ４４は、支持ピン４５に設けられる搬送容器３０の底面２２ｂに接触し、ウエハ搬送容器２０の載置を検出する接触式のセンサであるが、着座センサ４４は、ウエハ搬送容器２０の支持ピン４５への載置を検出可能であれば、光学式センサのような非接触式のセンサであってもよい。また、本実施形態のロードポート装置４０は、３つの支持ピン４５と３つの着座センサ４４を有しているが、支持ピン４５及び着座センサ４４の数は、複数であれば特に限定されない。 Further, each seating sensor 44 is provided adjacent to each of the three support pins 45. The seating sensor 44 of the present embodiment is a contact type sensor that contacts the bottom surface 22b of the transport container 30 provided on the support pin 45 to detect the placement of the wafer transport container 20, but the seating sensor 44 is a wafer transporter. A non-contact sensor such as an optical sensor may be used as long as it can detect the placement of the container 20 on the support pin 45. Further, the load port device 40 of the present embodiment has three support pins 45 and three seating sensors 44, but the number of the support pins 45 and the seating sensors 44 is not particularly limited as long as it is plural.

図１に示すように、ロードポート装置４０の筐体部４６は、可動テーブル４１を支える固定台４７と、固定台４７から上方に延びる壁部４８とを有している。固定台４７の高さは、ウエハ搬送容器２０を搬送する搬送ロボットにおけるウエハ搬送容器２０の底面２２ｂを支えるアームが、可動テーブル４１（第２テーブル４３）の上面と、支持ピン４５の先端部４５ａとの間の高さに挿入されるように、調整されている。 As shown in FIG. 1, the housing portion 46 of the load port device 40 has a fixed base 47 that supports the movable table 41 and a wall portion 48 that extends upward from the fixed base 47. The height of the fixed base 47 is such that the arm that supports the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 in the transfer robot that transfers the wafer transfer container 20 is the upper surface of the movable table 41 (second table 43) and the tip portion 45a of the support pin 45. It is adjusted so that it is inserted at a height between and.

図１に示すように、壁部４８は、固定台４７におけるＹ軸負方向側の端部に設けられている。壁部４８は、可動テーブル４１が備えられる固定台４７の上面から、さらに上方へ延びており、壁部４８に形成される壁開口４８ａは、可動テーブル４１より上方に配置されている。ロードポート装置４０は、壁開口４８ａを、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６と伴に開閉する蓋開閉機構６０を有している。蓋開閉機構６０は、壁開口４８ａを開閉するドア６２を有しており、ドア６２は、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６と係合するための係合ピン６２ａを備えている。また、蓋開閉機構６０は、ドア６２を駆動するドア駆動部を有しており、図５（ａ）に示すように、蓋開閉機構６０は、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６に係合したドア６２を移動させることにより、蓋部２６を容器筐体部２２から取り外し、ウエハ搬送容器２０の主開口２２ａを開く。 As shown in FIG. 1, the wall portion 48 is provided at the end portion of the fixing base 47 on the negative direction side of the Y axis. The wall portion 48 extends further upward from the upper surface of the fixed base 47 provided with the movable table 41, and the wall opening 48a formed in the wall portion 48 is arranged above the movable table 41. The load port device 40 has a lid opening / closing mechanism 60 that opens / closes the wall opening 48a together with the lid portion 26 of the wafer transfer container 20. The lid opening / closing mechanism 60 has a door 62 for opening / closing the wall opening 48a, and the door 62 includes an engaging pin 62a for engaging with the lid portion 26 of the wafer transfer container 20. Further, the lid opening / closing mechanism 60 has a door driving portion for driving the door 62, and as shown in FIG. 5A, the lid opening / closing mechanism 60 is engaged with the lid portion 26 of the wafer transfer container 20. By moving the door 62, the lid portion 26 is removed from the container housing portion 22 and the main opening 22a of the wafer transport container 20 is opened.

図１に示すように、固定台４７に備えられる情報読み取り部７０は、固定台４７の上面において、上下に移動可能に設けられている。図３（ｂ）に示すように、情報読み取り部７０は、ウエハ搬送容器２０に備えられる情報記録部２５の情報を読み取るためのスキャナ７０ａや送受信部等と、スキャナ７０ａや送受信部等を上下に動かす可動支持部７０ｂとを有している。情報読み取り部７０は、ウエハ搬送容器２０の回転動作を妨げないように、スキャナ７０ａや送受信部を下方に退避させることができる。また、情報読み取り部７０は、情報記録部２５の情報を読み取る際には、スキャナ７０ａや送受信部を上方に移動させて情報記録部２５に近づけたり、スキャナ７０ａや送受信部の情報記録部２５に対する角度を調整したりすることができる。 As shown in FIG. 1, the information reading unit 70 provided on the fixed base 47 is provided on the upper surface of the fixed base 47 so as to be movable up and down. As shown in FIG. 3B, the information reading unit 70 moves the scanner 70a, the transmission / reception unit, and the like for reading the information of the information recording unit 25 provided in the wafer transfer container 20 and the scanner 70a, the transmission / reception unit, and the like up and down. It has a movable support portion 70b to be moved. The information reading unit 70 can retract the scanner 70a and the transmitting / receiving unit downward so as not to interfere with the rotational operation of the wafer transport container 20. Further, when the information reading unit 70 reads the information of the information recording unit 25, the scanner 70a and the transmission / reception unit may be moved upward to be brought closer to the information recording unit 25, or the information recording unit 25 of the scanner 70a and the transmission / reception unit may be moved upward. You can adjust the angle.

図２に示すように、ロードポート装置１０は、ウエハ搬送容器２０が支持ピン４５から離れるのを防止するクランプ機構５０を有している。クランプ機構５０は、可動テーブル４１とは分離して、筐体部４６の壁部４８に接続されている。図３（ａ）に示すように、クランプ機構５０は、把持部５２と、クランプ支持部５３と、クランプ駆動部５４とを有する。把持部５２は、図５（ｂ）に示すように、支持ピン４５に設けられたウエハ搬送容器２０における底面２２ｂに形成された溝部２２ｂａに係合し、ウエハ搬送容器２０が支持ピン４５から離れるのを防ぐ。 As shown in FIG. 2, the load port device 10 has a clamp mechanism 50 that prevents the wafer transfer container 20 from being separated from the support pin 45. The clamp mechanism 50 is separated from the movable table 41 and connected to the wall portion 48 of the housing portion 46. As shown in FIG. 3A, the clamp mechanism 50 has a grip portion 52, a clamp support portion 53, and a clamp drive portion 54. As shown in FIG. 5B, the grip portion 52 engages with the groove portion 22ba formed on the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 provided on the support pin 45, and the wafer transfer container 20 separates from the support pin 45. To prevent.

図３（ａ）に示すように、クランプ機構５０のクランプ支持部５３は、把持部５２がクランプ駆動部５４によって回動できるように、把持部５２を支持している。クランプ支持部５３の基端は壁部４８に接続しており、クランプ支持部５３は、Ｚ軸方向に延びる壁部４８に対して略垂直な方向であるＹ軸方向に突出し、先端部付近で把持部５２を支えている。 As shown in FIG. 3A, the clamp support portion 53 of the clamp mechanism 50 supports the grip portion 52 so that the grip portion 52 can be rotated by the clamp drive portion 54. The base end of the clamp support portion 53 is connected to the wall portion 48, and the clamp support portion 53 projects in the Y-axis direction, which is a direction substantially perpendicular to the wall portion 48 extending in the Z-axis direction, near the tip portion. It supports the grip portion 52.

図３（ａ）に示すように、クランプ機構５０のクランプ駆動部５４は、Ｙ軸方向に伸縮するエアシリンダを有しており、クランプ駆動部５４の基端は、壁部４８に対して接続されている。クランプ駆動部５４の先端は、把持部５２に接続されており、クランプ駆動部５４のエアシリンダがＹ軸方向に延びると、把持部５２がＸ軸正方向側から見て反時計回りに回動し、把持部５２とウエハ搬送容器２０の溝部２２ｂａとの係合が解除する。また、クランプ駆動部５４のエアシリンダが縮むと、把持部５２がＸ軸正方向側から見て時計回りに回動し、把持部５２とウエハ搬送容器２０の溝部２２ｂａが係合する。ただし、クランプ駆動部５４としては、エアシリンダを有するものに限定されず、把持部５２を動かすモータその他の駆動部を有するものであってもかまわない。 As shown in FIG. 3A, the clamp drive portion 54 of the clamp mechanism 50 has an air cylinder that expands and contracts in the Y-axis direction, and the base end of the clamp drive portion 54 is connected to the wall portion 48. Has been done. The tip of the clamp drive portion 54 is connected to the grip portion 52, and when the air cylinder of the clamp drive portion 54 extends in the Y-axis direction, the grip portion 52 rotates counterclockwise when viewed from the positive direction side of the X-axis. Then, the engagement between the grip portion 52 and the groove portion 22ba of the wafer transfer container 20 is released. Further, when the air cylinder of the clamp drive portion 54 contracts, the grip portion 52 rotates clockwise when viewed from the positive direction side of the X axis, and the grip portion 52 and the groove portion 22ba of the wafer transfer container 20 engage with each other. However, the clamp drive unit 54 is not limited to the one having an air cylinder, and may have a motor or other drive unit that moves the grip portion 52.

図９は、ウエハ搬送容器２０を、図１に示すロードポート装置１０の壁開口４８ａに接続する搬送容器接続方法の一例を表すフローチャートであり、図３〜図７は、各工程におけるロードポート装置４０及びウエハ搬送容器２０の状態を表す概念図である。図３〜図７に示す例では、ロードポート装置１０は、ＥＦＥＭ８０のミリエンバイロメントにウエハ搬送容器２０を接続するインターフェース装置として機能する。以下に、図３〜図７及び図９等を用いて、ロードポート装置１０による搬送容器接続方法の一例を説明する。なお、図３〜図７では、説明の便宜上、壁部４８とＥＦＥＭのみを断面で表している。 FIG. 9 is a flowchart showing an example of a transport container connecting method for connecting the wafer transport container 20 to the wall opening 48a of the load port device 10 shown in FIG. 1, and FIGS. 3 to 7 are load port devices in each step. It is a conceptual diagram which shows the state of 40 and the wafer transfer container 20. In the examples shown in FIGS. 3 to 7, the load port device 10 functions as an interface device for connecting the wafer transfer container 20 to the millienvironment of the EFEM80. An example of a transport container connecting method by the load port device 10 will be described below with reference to FIGS. 3 to 7 and 9 and the like. In FIGS. 3 to 7, only the wall portion 48 and the EFEM are shown in cross section for convenience of explanation.

図９におけるステップＳ００１の載置工程では、ウエハ搬送容器２０を搬送する搬送装置が、壁開口４８ａから離間した離間位置にある可動テーブル４１に、ウエハ搬送容器２０を載置する。図３（ａ）は、載置工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。搬送装置は、図３（ａ）に示すように、可動テーブル４１から上方に突出する支持ピン４５の先端部４５ａに、ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂを接触させることにより、ウエハ搬送容器２０を載置する。搬送装置は、ＯＨＴであってもよく、ウエハ搬送容器２０を底面２２ｂからアームで持ち上げるものであってもよい。ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂをアームで持ち上げる搬送容器の場合、ウエハ搬送容器２０を支えるアームが、３つの支持ピン４５の間を通過してＹ軸方向に進退することにより、ウエハ搬送容器２０を正しい位置に設置することができる。また、支持ピン４５の長さは、ウエハ搬送容器２０の搬送装置のアームが、ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂと可動テーブル４１との間を通過できる長さに設定されることが好ましい。 In the mounting step of step S001 in FIG. 9, the wafer transport container 20 is mounted on the movable table 41 at a distance from the wall opening 48a by the transport device for transporting the wafer transport container 20. FIG. 3A is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the mounting process. As shown in FIG. 3A, the transfer device mounts the wafer transfer container 20 by bringing the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 into contact with the tip 45a of the support pin 45 protruding upward from the movable table 41. Place. The transfer device may be an OHT, or the wafer transfer container 20 may be lifted from the bottom surface 22b by an arm. In the case of a transfer container in which the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 is lifted by an arm, the arm that supports the wafer transfer container 20 passes between the three support pins 45 and moves back and forth in the Y-axis direction to move the wafer transfer container 20. It can be installed in the correct position. Further, the length of the support pin 45 is preferably set to a length that allows the arm of the transfer device of the wafer transfer container 20 to pass between the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 and the movable table 41.

また、図３（ａ）に示すように、ステップＳ００１の載置工程において、ウエハ搬送容器２０は、その主開口２２ａが、壁開口４８ａがある側（Ｙ軸負方向側）とは反対方向（Ｙ軸正方向）を向く姿勢で、支持ピン４５及び可動テーブル４１の上に載置される。さらに、固定台４７に備えられる情報読み取り部７０（図３（ｂ）参照）は、ウエハ搬送容器２０の載置動作の邪魔にならないように、固定台４７に収容されている。 Further, as shown in FIG. 3A, in the mounting step of step S001, the wafer transfer container 20 has a main opening 22a in the direction opposite to the side where the wall opening 48a is located (Y-axis negative direction side). It is placed on the support pin 45 and the movable table 41 in a posture facing the Y-axis forward direction). Further, the information reading unit 70 (see FIG. 3B) provided on the fixing base 47 is housed in the fixing base 47 so as not to interfere with the mounting operation of the wafer transfer container 20.

図９におけるステップＳ００２の第１回転工程では、ロードポート装置１０の制御部が、離間位置にある可動テーブル４１における第２テーブル４３を回転させ、ウエハ搬送容器２０の主開口２２ａの向きを変更する。図３（ｂ）は、第１回転工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。図３（ｂ）に示すように、ウエハ搬送容器２０は、第１回転工程によって矢印９１で示すように略１８０度回転し、回転後のウエハ搬送容器２０の主開口２２ａは、壁開口４８ａがある側であるＹ軸負方向を向く。 In the first rotation step of step S002 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 rotates the second table 43 in the movable table 41 at the separated position to change the direction of the main opening 22a of the wafer transfer container 20. .. FIG. 3B is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the first rotation step. As shown in FIG. 3B, the wafer transfer container 20 is rotated by approximately 180 degrees by the first rotation step as shown by the arrow 91, and the main opening 22a of the rotated wafer transfer container 20 has a wall opening 48a. It faces the negative direction of the Y axis, which is one side.

また、第１回転工程において、ロードポート装置１０の制御部は、第２テーブル４３の回転動作中又は回転動作の前後に、情報読み取り部７０の可動支持部７０ｂを駆動し、矢印９２で示すようにスキャナ７０ａを上昇させる。さらに、情報読み取り部７０は、次工程である第１移動工程によってウエハ搬送容器２０の移動が始まる前に、ウエハ搬送容器２０に備えられる情報記録部２５の情報を読み取る。 Further, in the first rotation step, the control unit of the load port device 10 drives the movable support unit 70b of the information reading unit 70 during the rotation operation of the second table 43 or before and after the rotation operation, as shown by the arrow 92. Raise the scanner 70a. Further, the information reading unit 70 reads the information of the information recording unit 25 provided in the wafer transfer container 20 before the transfer of the wafer transfer container 20 is started by the first movement step which is the next step.

図９におけるステップＳ００３の第１移動工程では、ロードポート装置１０の制御部が、図３（ｂ）に示す離間位置から、図４（ａ）に示すように壁開口４８ａに接近した接近位置に、可動テーブル４１を移動させ、ウエハ搬送容器２０を、ロードポート装置４０の壁開口４８ａに接続する。図４（ａ）は、第１移動工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。図４（ａ）に示すように、可動テーブル４１における第１テーブル４２は、第１移動工程によって、矢印９３で示すようにＹ軸負方向へスライド移動し、可動テーブル４１およびウエハ搬送容器２０が、接近位置に移動する。 In the first moving step of step S003 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 moves from the separation position shown in FIG. 3B to the approaching position approaching the wall opening 48a as shown in FIG. 4A. , The movable table 41 is moved, and the wafer transfer container 20 is connected to the wall opening 48a of the load port device 40. FIG. 4A is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the first moving step. As shown in FIG. 4A, the first table 42 in the movable table 41 is slidably moved in the negative direction of the Y axis as shown by the arrow 93 by the first moving step, and the movable table 41 and the wafer transfer container 20 are moved. , Move to the approaching position.

図４（ａ）に示す接近位置は、ウエハ搬送容器２０を壁開口４８ａに接続するドック位置であり、ウエハ搬送容器２０は、接近位置において、壁開口４８ａの周辺の壁部４８に接触する。ただし、第１移動工程が終了した段階では、ウエハ搬送容器２０の主開口２２ａは蓋部２６（図５参照）で閉鎖されており、壁開口４８ａもドア６２で閉鎖されている。したがって、この段階では、ウエハ搬送容器２０の内部と、ＥＦＥＭ８０内のミニエンバイロメントとは、繋がっていない。 The approach position shown in FIG. 4A is a dock position for connecting the wafer transfer container 20 to the wall opening 48a, and the wafer transfer container 20 comes into contact with the wall portion 48 around the wall opening 48a at the approach position. However, when the first moving step is completed, the main opening 22a of the wafer transfer container 20 is closed by the lid 26 (see FIG. 5), and the wall opening 48a is also closed by the door 62. Therefore, at this stage, the inside of the wafer transfer container 20 and the mini-environment in the EFEM80 are not connected.

図９におけるステップＳ００４のクランプ工程では、ロードポート装置４０の制御部がクランプ機構５０を駆動し、ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂに形成された溝部２２ｂａに対して、クランプ機構５０が有する把持部５２を係合させる。図４（ｂ）は、クランプ工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。図４（ｂ）に示すように、クランプ工程では、クランプ機構５０におけるクランプ駆動部５４が、そのエアシリンダが縮むように駆動することにより、矢印９４で示すように把持部５２が反時計回りに回動し、把持部５２がウエハ搬送容器２０の溝部２２ｂａに係合する。 In the clamp step of step S004 in FIG. 9, the control unit of the load port device 40 drives the clamp mechanism 50, and the grip portion 52 of the clamp mechanism 50 has the groove portion 22ba formed on the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20. To engage. FIG. 4B is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the clamping process. As shown in FIG. 4B, in the clamping process, the clamp driving portion 54 in the clamping mechanism 50 is driven so that the air cylinder thereof contracts, so that the grip portion 52 rotates counterclockwise as shown by the arrow 94. It moves and the grip portion 52 engages with the groove portion 22ba of the wafer transfer container 20.

なお、クランプ工程において、ウエハ搬送容器２０は、ロードポート装置４０の壁開口４８ａに接続している。すなわち、クランプ機構５０における把持部５２の位置は、可動テーブル４１が接近位置に移動し、ウエハ搬送容器２０が壁開口４８ａに接続した状態において、ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂに形成された溝部２２ｂａに対して把持部５２が係合できるように調整されている。クランプ工程によって、把持部５２をウエハ搬送容器２０の溝部２２ｂａに係合させることにより、ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂが支持ピン４５の先端部４５ａから離れるのを防止できる。 In the clamping process, the wafer transfer container 20 is connected to the wall opening 48a of the load port device 40. That is, the position of the grip portion 52 in the clamp mechanism 50 is the groove portion 22ba formed on the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 in a state where the movable table 41 is moved to the approaching position and the wafer transfer container 20 is connected to the wall opening 48a. The grip portion 52 is adjusted so that it can be engaged with the grip portion 52. By engaging the grip portion 52 with the groove portion 22ba of the wafer transfer container 20 by the clamping step, it is possible to prevent the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 from being separated from the tip portion 45a of the support pin 45.

図９におけるステップＳ００５の蓋開放工程では、ロードポート装置１０の制御部がドア６２を含む蓋開閉機構を駆動することにより、壁開口４８ａに接続しており、把持部５２が溝部２２ｂａに係合しているウエハ搬送容器２０の蓋部２６を開く。図５（ａ）は、蓋開放工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。図５（ａ）に示すように、蓋開放工程では、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６とドア６２とを係合させ、さらに蓋部２６と係合したドア６２を矢印９６で示すようにＥＦＥＭ８０のミニエンバイロメント側に移動させることにより、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６を開ける。これにより、ウエハ搬送容器２０の主開口２２ａが開放され、ウエハ搬送容器２０の内部が、ＥＦＥＭ８０内のミニエンバイロメントと連通する。 In the lid opening step of step S005 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 is connected to the wall opening 48a by driving the lid opening / closing mechanism including the door 62, and the grip portion 52 engages with the groove portion 22ba. The lid 26 of the wafer transfer container 20 is opened. FIG. 5A is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the lid opening step. As shown in FIG. 5A, in the lid opening step, the lid portion 26 of the wafer transfer container 20 and the door 62 are engaged with each other, and the door 62 engaged with the lid portion 26 is indicated by an arrow 96 in the EFEM80. The lid 26 of the wafer transfer container 20 is opened by moving the wafer to the mini-environment side. As a result, the main opening 22a of the wafer transfer container 20 is opened, and the inside of the wafer transfer container 20 communicates with the mini-environment in the EFEM80.

図５（ａ）に示すように、ウエハ搬送容器２０の主開口２２ａが開放され、ウエハ搬送容器２０の内部が、ＥＦＥＭ８０内のミニエンバイロメントと連通した状態において、ウエハ搬送容器２０内からウエハを取り出す工程や、他の処理装置において処理が終了したウエハを、ウエハ搬送容器２０内に戻す工程や、ウエハ搬送容器２０内を清浄化する工程等が実施される。なお、ステップＳ００５の蓋開放工程では、たとえばウエハ搬送容器２０の内部に負圧が形成されているような場合において、蓋部２６を開ける瞬間に、容器筐体部２２に対してある程度大きな振動が生じる場合がある。しかし、上述したように、ロードポート装置４０では、クランプ機構５０の把持部５２がウエハ搬送容器２０の溝部２２ｂａに係合しているため、蓋開放工程で生じる振動によりウエハ搬送容器２０が支持ピン４５から離れる問題を防止できる。 As shown in FIG. 5A, the wafer is transferred from the wafer transfer container 20 in a state where the main opening 22a of the wafer transfer container 20 is opened and the inside of the wafer transfer container 20 communicates with the mini-environment in the EFEM80. A step of taking out the wafer, a step of returning the wafer processed by another processing apparatus to the inside of the wafer transfer container 20, a step of cleaning the inside of the wafer transfer container 20, and the like are performed. In the lid opening step of step S005, for example, when a negative pressure is formed inside the wafer transfer container 20, the container housing 22 is vibrated to some extent at the moment when the lid 26 is opened. May occur. However, as described above, in the load port device 40, since the grip portion 52 of the clamp mechanism 50 is engaged with the groove portion 22ba of the wafer transfer container 20, the wafer transfer container 20 is supported by the support pin due to the vibration generated in the lid opening process. The problem of moving away from 45 can be prevented.

図９におけるステップＳ００６の蓋閉鎖工程では、ロードポート装置１０の制御部がドア６２を含む蓋開閉機構を駆動することにより、壁開口４８ａに接続しているウエハ搬送容器２０の蓋部２６を閉める。図５（ｂ）は、蓋閉鎖工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。図５（ｂ）に示すように、蓋閉鎖工程では、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６と係合したドア６２を矢印９７で示すように壁開口４８ａを塞ぐ位置に戻すことにより、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６を閉める。これにより、ウエハ搬送容器２０の主開口２２ａが閉鎖され、ウエハ搬送容器２０が密閉される。 In the lid closing step of step S006 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 drives the lid opening / closing mechanism including the door 62 to close the lid 26 of the wafer transfer container 20 connected to the wall opening 48a. .. FIG. 5B is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the lid closing step. As shown in FIG. 5B, in the lid closing step, the door 62 engaged with the lid 26 of the wafer transfer container 20 is returned to the position of closing the wall opening 48a as shown by the arrow 97, so that the wafer transfer container is closed. The lid 26 of 20 is closed. As a result, the main opening 22a of the wafer transfer container 20 is closed, and the wafer transfer container 20 is sealed.

なお、蓋閉鎖工程では、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６を閉めた後、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６とドア６２との係合が解除される。 In the lid closing step, after closing the lid portion 26 of the wafer transport container 20, the engagement between the lid portion 26 of the wafer transport container 20 and the door 62 is released.

図９におけるステップＳ００７のクランプ解除工程では、ロードポート装置１０の制御部がクランプ機構５０を駆動し、ウエハ搬送容器２０の溝部２２ｂａとクランプ機構５０の把持部５２との係合を解除させる。図６（ａ）は、クランプ解除工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。図６（ａ）に示すように、クランプ解除工程では、クランプ機構５０におけるクランプ駆動部５４を、エアシリンダが延びるように駆動する。これにより、矢印９８で示すように把持部５２が時計回りに回動し、把持部５２がウエハ搬送容器２０の溝部２２ｂａから外れる。 In the clamp release step of step S007 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 drives the clamp mechanism 50 to release the engagement between the groove portion 22ba of the wafer transfer container 20 and the grip portion 52 of the clamp mechanism 50. FIG. 6A is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the clamp release step. As shown in FIG. 6A, in the clamp release step, the clamp drive unit 54 in the clamp mechanism 50 is driven so that the air cylinder extends. As a result, the grip portion 52 rotates clockwise as shown by the arrow 98, and the grip portion 52 is disengaged from the groove portion 22 ba of the wafer transfer container 20.

図９におけるステップＳ００８の第２移動工程では、ロードポート装置４０の制御部が、図６（ａ）に示す接近位置から、図６（ｂ）に示す離間位置に、可動テーブル４１を移動させる。図６（ｂ）は、第２移動工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。図６（ｂ）に示すように、可動テーブル４１における第１テーブル４２は、第２移動工程によって、矢印９９で示すようにＹ軸正方向へスライド移動し、可動テーブル４１およびウエハ搬送容器２０が、離間位置に移動する。これにより、ウエハ搬送容器２０と壁開口４８ａとは互いに離間し、ウエハ搬送容器２０と壁開口４８ａとの接続は解除される。 In the second moving step of step S008 in FIG. 9, the control unit of the load port device 40 moves the movable table 41 from the approaching position shown in FIG. 6A to the separating position shown in FIG. 6B. FIG. 6B is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the second moving step. As shown in FIG. 6B, the first table 42 in the movable table 41 is slidably moved in the positive direction of the Y axis as shown by the arrow 99 by the second moving step, and the movable table 41 and the wafer transfer container 20 are moved. , Move to a separate position. As a result, the wafer transfer container 20 and the wall opening 48a are separated from each other, and the connection between the wafer transfer container 20 and the wall opening 48a is released.

図９におけるステップＳ００９の第２回転工程では、ロードポート装置１０の制御部が、離間位置にある可動テーブル４１における第２テーブル４３を回転させ、ウエハ搬送容器２０の主開口２２ａの向きを変更する。図７は、第２回転工程におけるウエハ搬送容器２０及びロードポート装置４０の状態を表す概念図である。図７に示すように、ウエハ搬送容器２０は、第２回転工程によって矢印１１１で示すように略１８０度回転し、回転後のウエハ搬送容器２０の主開口２２ａは、壁開口４８ａがある側とは反対方向であるＹ軸正方向を向く。これにより、ウエハ搬送容器２０の位置及び姿勢は、ステップＳ００１において搬送装置により載置された時の状態に戻る。 In the second rotation step of step S009 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 rotates the second table 43 in the movable table 41 at the separated position to change the direction of the main opening 22a of the wafer transfer container 20. .. FIG. 7 is a conceptual diagram showing a state of the wafer transfer container 20 and the load port device 40 in the second rotation step. As shown in FIG. 7, the wafer transfer container 20 is rotated by approximately 180 degrees by the second rotation step as shown by the arrow 111, and the main opening 22a of the rotated wafer transfer container 20 is the side where the wall opening 48a is located. Is in the opposite direction, the positive direction of the Y axis. As a result, the position and orientation of the wafer transfer container 20 return to the state when the wafer transfer container 20 was placed by the transfer device in step S001.

図９におけるステップＳ０１０の搬出工程では、ウエハ搬送容器２０を搬送する搬送装置が、ロードポート装置４０からウエハ搬送容器２０を搬出し、ウエハ搬送容器をロードポート装置４０以外の他の装置に移動させる。搬送装置は、ＯＨＴであってもよく、ウエハ搬送容器２０を底面２２ｂからアームで持ち上げるものであってもよい。また、ステップＳ０１０の搬出工程で用いられる搬送装置は、ステップＳ００１の載置工程で用いられる搬送装置と同じであってもよく、異なっていても良い。 In the unloading step of step S010 in FIG. 9, the transport device for transporting the wafer transport container 20 carries out the wafer transport container 20 from the load port device 40 and moves the wafer transport container to a device other than the load port device 40. .. The transfer device may be an OHT, or the wafer transfer container 20 may be lifted from the bottom surface 22b by an arm. Further, the transport device used in the carry-out step of step S010 may be the same as or different from the transport device used in the loading step of step S001.

図９に示すような搬送容器接続工程を行うことにより、ロードポート装置４０は、ウエハ搬送容器２０を壁開口４８ａに接続し、ウエハ搬送容器２０の蓋部２６を開けることにより、ウエハ搬送容器２０内のウエハを取り出したり、ウエハ搬送容器２０内に清浄化ガスを導入することにより、ウエハ搬送容器２０内を清浄化したりすることができる。 By performing the transport container connecting step as shown in FIG. 9, the load port device 40 connects the wafer transport container 20 to the wall opening 48a and opens the lid 26 of the wafer transport container 20 to open the wafer transport container 20. The inside of the wafer transfer container 20 can be cleaned by taking out the wafer inside or introducing a cleaning gas into the wafer transfer container 20.

以上のように、本実施形態に係るロードポート装置４０は、クランプ機構５０が可動テーブル４１とは分離して筐体部４６に接続している。このようなロードポート装置４０は、クランプ機構５０自体を可動テーブル４１と伴に移動させないため、クランプ機構５０や可動テーブル４１の構造がシンプルである。したがって、このようなロードポート装置４０は、メンテナンス性や耐久性に優れている。また、クランプ機構５０や可動テーブル４１がシンプルな構造を有しているため、パーティクルの発生等の問題を防止することができる。 As described above, in the load port device 40 according to the present embodiment, the clamp mechanism 50 is separated from the movable table 41 and connected to the housing portion 46. Since the load port device 40 does not move the clamp mechanism 50 itself together with the movable table 41, the structure of the clamp mechanism 50 and the movable table 41 is simple. Therefore, such a load port device 40 is excellent in maintainability and durability. Further, since the clamp mechanism 50 and the movable table 41 have a simple structure, problems such as generation of particles can be prevented.

また、ウエハ搬送容器２０に対して大きな振動が生じるおそれのある蓋開放工程では、クランプ機構５０によって、ウエハ搬送容器２０が支持ピン４５に対して固定されているため、ウエハ搬送容器２０が支持ピン４５及び可動テーブル４１から脱落する問題を防止することができる。なお、ロードポート装置４０は、移動工程Ｓ００３、Ｓ００８や回転工程Ｓ００２、Ｓ００９ではウエハ搬送容器２０をクランプしていない。しかし、これらの工程では、ウエハ搬送容器２０に対して大きな振動が生じる可能性は非常に低いため、ウエハ搬送容器２０は自重で支持ピン４５に押し付けられ、支持ピン４５によって安定して支持される。 Further, in the lid opening step in which the wafer transfer container 20 may vibrate significantly, the wafer transfer container 20 is fixed to the support pin 45 by the clamp mechanism 50, so that the wafer transfer container 20 is the support pin. The problem of falling off from the 45 and the movable table 41 can be prevented. The load port device 40 does not clamp the wafer transfer container 20 in the moving steps S003 and S008 and the rotating steps S002 and S009. However, in these steps, it is very unlikely that a large vibration will occur in the wafer transfer container 20, so that the wafer transfer container 20 is pressed against the support pin 45 by its own weight and is stably supported by the support pin 45. ..

また、ロードポート装置４０のクランプ機構５０は、壁部４８から垂直に突出するクランプ支持部５３が把持部５２を支える構造であるため、可動テーブル４１と干渉することを避けながら、短い距離でウエハ搬送容器２０の底面２２ｂに係合する把持部５２を支持することができる。ロードポート装置４０は、ウエハ搬送容器２０の底面２２ｂを支える支持ピン４５が長いため、ウエハ搬送容器２０を底面２２ｂから持ち上げて搬送する搬送装置であっても、ウエハ搬送容器２０をロードポート装置４０に対して載置することができる。この場合、固定台４７や可動テーブル４１から上下方向に突出するクランプ支持部を設ける構成では、クランプ支持部が長くなり、クランプ支持部の耐久性に課題が生じる。これに対して、壁部４８から垂直に突出するクランプ支持部５３を有するロードポート装置１０の場合、支持ピン４５によって支えられるウエハ搬送容器２０の底面２２ｂと可動テーブル４１との間の隙間を利用することにより、可動テーブル４１と干渉することなく、クランプ支持部５３が把持部５２をしっかりと支持することができる。 Further, since the clamp mechanism 50 of the load port device 40 has a structure in which the clamp support portion 53 projecting vertically from the wall portion 48 supports the grip portion 52, the wafer is placed at a short distance while avoiding interference with the movable table 41. The grip portion 52 that engages with the bottom surface 22b of the transport container 20 can be supported. Since the load port device 40 has a long support pin 45 that supports the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20, even if the load port device 40 is a transfer device that lifts and conveys the wafer transfer container 20 from the bottom surface 22b, the wafer transfer container 20 is loaded by the load port device 40. Can be placed on. In this case, in the configuration in which the clamp support portion is provided so as to project vertically from the fixed base 47 or the movable table 41, the clamp support portion becomes long, which causes a problem in the durability of the clamp support portion. On the other hand, in the case of the load port device 10 having the clamp support portion 53 projecting vertically from the wall portion 48, the gap between the bottom surface 22b of the wafer transfer container 20 supported by the support pin 45 and the movable table 41 is used. By doing so, the clamp support portion 53 can firmly support the grip portion 52 without interfering with the movable table 41.

なお、本発明は、上述した実施形態のみに限定されず、他の実施例や変形例を含むことは言うまでもない。たとえば、本実施形態において、クランプ機構５０のクランプ支持部５３は、壁部４８から垂直に突出しているが、クランプ支持部は、固定台４７に接続し、固定台４７から上方へ突出していてもよい。この場合、ロードポート装置４０の可動テーブル４１には、クランプ支持部との干渉を避けるための切込み等が形成される。 Needless to say, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes other examples and modifications. For example, in the present embodiment, the clamp support portion 53 of the clamp mechanism 50 projects vertically from the wall portion 48, but the clamp support portion is connected to the fixing base 47 and protrudes upward from the fixing base 47. Good. In this case, the movable table 41 of the load port device 40 is formed with a notch or the like for avoiding interference with the clamp support portion.

また、上述の実施形態では、搬送容器接続装置４０ａをロードポート装置４０に採用した例を挙げて説明を行ったが、搬送容器接続装置４０ａは、ウエハ搬送容器２０を保管する搬送容器保管ストッカーや、ウエハ搬送容器２０を清浄化する清浄化装置に用いられてもよい。 Further, in the above-described embodiment, an example in which the transport container connecting device 40a is adopted for the load port device 40 has been described, but the transport container connecting device 40a is a transport container storage stocker for storing the wafer transport container 20. , May be used in a cleaning device for cleaning the wafer transfer container 20.

２０… ウエハ搬送容器
２２… 容器筐体部
２２ａ… 主開口
２２ｂ… 底面
２２ｂａ… 溝部
２５… 情報記録部
２６… 蓋部
４０… ロードポート装置
４０ａ… 搬送容器接続装置
４１… 可動テーブル
４２… 第１テーブル
４３… 第２テーブル
４４… 着座センサ
４５… 支持ピン
４５ａ… 先端部
４６… 筐体部
４７… 固定台
４８… 壁部
４８ａ… 壁開口
５０… クランプ機構
５２… 把持部
５３… クランプ支持部
５４… クランプ駆動部
６０… 蓋開閉機構
６２… ドア
６２ａ… 係合ピン
７０… 情報読み取り部
７０ａ… スキャナ
７０ｂ… 可動支持部
８０… ＥＦＥＭ 20 ... Wafer transfer container 22 ... Container housing 22a ... Main opening 22b ... Bottom surface 22ba ... Groove 25 ... Information recording unit 26 ... Lid 40 ... Load port device 40a ... Transfer container connection device 41 ... Movable table 42 ... First table 43 ... Second table 44 ... Seating sensor 45 ... Support pin 45a ... Tip part 46 ... Housing part 47 ... Fixing base 48 ... Wall part 48a ... Wall opening 50 ... Clamp mechanism 52 ... Grip part 53 ... Clamp support part 54 ... Clamp Drive unit 60 ... Lid opening / closing mechanism 62 ... Door 62a ... Engagement pin 70 ... Information reading unit 70a ... Scanner 70b ... Movable support unit 80 ... EFEM

Claims

A transport container connecting device that connects a wafer transport container to a wall opening.
A movable table that can be approached and separated from the wall opening,
A plurality of support pins that project upward from the movable table and have a tip portion that contacts the bottom surface of the wafer transfer container and support the wafer transfer container.
A housing portion having a fixed base for supporting the movable table, a wall portion extending upward from the fixed base and forming the wall opening, and a housing portion.
It has a grip portion that engages with a groove formed on the bottom surface of the wafer transfer container supported by the support pin, and has a clamp mechanism that prevents the wafer transfer container from separating from the support pin. And
The clamp mechanism is a transport container connecting device that is separated from the movable table and connected to the housing portion.

The transport container connecting device according to claim 1, wherein the clamp mechanism has a support portion that is connected to the wall portion and projects in a direction substantially perpendicular to the wall portion to support the grip portion. ..

The movable table includes a first table that moves in a direction that approaches and separates from the wall opening, and a second table that moves with the first table and is rotatable relative to the first table. The wafer transfer container connecting device according to claim 1 or 2, characterized in that the wafer is provided.

The transport container connecting device according to any one of claims 1 to 3,
A lid opening / closing mechanism for opening the lid of the wafer transfer container,
Load port device with.

The transport container connecting device according to any one of claims 1 to 3,
A lid opening / closing mechanism for opening the lid of the wafer transfer container,
Conveyor container storage stocker with.

A transfer container connecting method for connecting a wafer transfer container to a transfer container connecting device having a wall opening for connecting the wafer transfer container.
By bringing the bottom surface of the wafer transfer container into contact with the tips of a plurality of support pins protruding upward from the movable table in the transfer container connecting device, the movable table at a separated position away from the wall opening can be obtained. , The mounting process for mounting the wafer transfer container, and
A moving step of moving the movable table from the separated position to an approaching position close to the wall opening and connecting the wafer transfer container to the wall opening.
A clamp mechanism that is separated from the movable table and is connected to the housing portion of the transport container connecting device is driven, and the groove portion formed on the bottom surface of the wafer transport container connected to the wall opening is provided. A clamp step of engaging the grip portion of the clamp mechanism to prevent the wafer transfer container from separating from the support pin.
A lid opening step of driving the lid opening / closing mechanism of the transport container connecting device to open the lid of the wafer transport container connected to the wall opening and engaged with the grip portion.
Conveyor container connection method having.