JP6825451B2 - Transport container connection device, load port device, transport container storage stocker and transport container connection method - Google Patents
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Description
本発明は、ウエハ搬送容器を壁開口に接続する搬送容器接続装置及び搬送容器接続方法、並びに搬送容器接続装置を有するロードポート装置及び搬送容器保管ストッカーに関する。 The present invention relates to a transport container connecting device and a transport container connecting method for connecting a wafer transport container to a wall opening, and a load port device and a transport container storage stocker having a transport container connecting device.
半導体の製造工程では、フープ(FOUP)やフォスビ(FOSB)等と呼ばれるウエハ搬送容器を用いて、各処理装置の間のウエハの搬送が行われる。このようなウエハ搬送容器は、ウエハを出し入れする主開口及び主開口を閉鎖する蓋部を有しており、ウエハ搬送容器内のウエハは、蓋部によって密閉された空間内に保管される。 In the semiconductor manufacturing process, wafers are transferred between each processing device using a wafer transfer container called a hoop (FOUP) or a fosbi (FOSB). Such a wafer transfer container has a main opening for inserting and removing wafers and a lid for closing the main opening, and the wafer in the wafer transfer container is stored in a space sealed by the lid.
ウエハ搬送容器の蓋部を開いて、ウエハ搬送容器内部からウエハを取り出したり、ウエハの主開口から清浄化ガスを導入したりする場合、ウエハ搬送容器を壁開口に接続する搬送容器接続装置が用いられる(特許文献1等参照)。搬送容器接続装置を用いることにより、ウエハ搬送容器の内部空間を、ミニエンバイロメントと呼ばれるような別の空間に対して、壁開口を介して気密に接続することが可能となり、容器内のウエハを、半導体工場内の他の空間から隔離しつつ、ウエハ搬送容器内から出し入れすることができる。例えば、搬送容器接続装置は、ウエハ搬送容器の蓋を開く蓋開閉機構とともにEFEMに備えられ、ロードポート装置等を構成する。 When the lid of the wafer transfer container is opened to take out the wafer from the inside of the wafer transfer container or the cleaning gas is introduced from the main opening of the wafer, a transfer container connecting device for connecting the wafer transfer container to the wall opening is used. (Refer to Patent Document 1 etc.). By using the transfer container connecting device, the internal space of the wafer transfer container can be airtightly connected to another space called a mini-environment through a wall opening, and the wafer in the container can be connected. , It can be taken in and out of the wafer transfer container while being isolated from other spaces in the semiconductor factory. For example, the transport container connecting device is provided in the EFEM together with a lid opening / closing mechanism for opening the lid of the wafer transport container, and constitutes a load port device and the like.
また、搬送容器接続装置が接続するウエハ搬送容器としては、容器内の基板の識別情報が記録されたカードを保持するものが提案されている(特許文献2等参照)。作業者や搬送容器接続装置が、ウエハ搬送容器が保持する情報を読み取ることにより、容器内の識別情報を認識することができ、識別情報を認識した上で、それぞれのウエハ搬送容器に対して適切な操作を行うことができる。
Further, as a wafer transport container to which a transport container connecting device is connected, a wafer transport container that holds a card in which identification information of a substrate in the container is recorded has been proposed (see
搬送容器接続装置が、ウエハ搬送容器の情報保持部の情報を読み取る方法は特に限定されないが、例えば情報保持部がバーコードである場合には、受光素子やイメージセンサ等を用いて読み取りを行い、情報保持部がICタグ(RFタグ)である場合には、ICタグと通信を行うスキャナ(リーダ)を用いて読み取りを行うことができる。 The method by which the transfer container connecting device reads the information of the information holding unit of the wafer transfer container is not particularly limited. For example, when the information holding unit is a bar code, the information is read by using a light receiving element, an image sensor, or the like. When the information holding unit is an IC tag (RF tag), reading can be performed using a scanner (reader) that communicates with the IC tag.
しかしながら、ウエハ搬送容器の情報保持部は、ウエハ搬送容器の側面に設けられることが多く、また、情報を読み取りのための読み取り部は、ウエハ搬送容器の動線に干渉しないように設ける必要がある。そうすると、従来の技術では、ウエハ搬送容器の設置位置に対して、読み取り部を水平方向にある程度離間させる必要があり、搬送容器接続装置を小型化することが難しいという問題を有している。特に、ウエハ搬送容器を可動テーブルに対して上方に離間した位置に保持する搬送容器接続装置(特許文献1参照)では、情報保持部と読み取り部とを結ぶ線が、情報保持部の法線方向に対して、より大きな角度を形成する傾向があり、問題となっている。 However, the information holding unit of the wafer transfer container is often provided on the side surface of the wafer transfer container, and the reading unit for reading the information needs to be provided so as not to interfere with the flow line of the wafer transfer container. .. Then, in the conventional technique, it is necessary to separate the reading unit in the horizontal direction to some extent with respect to the installation position of the wafer transport container, and there is a problem that it is difficult to miniaturize the transport container connecting device. In particular, in the transport container connecting device (see Patent Document 1) that holds the wafer transport container at a position separated upward from the movable table, the line connecting the information holding unit and the reading unit is in the normal direction of the information holding unit. On the other hand, it tends to form a larger angle, which is a problem.
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、ウエハ搬送容器に干渉することを避け、確実に情報保持部の情報を読み取ることが可能な情報読み取り部を有しており、小型化に対して有利な搬送容器接続装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such an actual situation, and has an information reading unit capable of reliably reading the information of the information holding unit while avoiding interference with the wafer transfer container. It is to provide an advantageous transport container connecting device.
上記目的を達成するために、本発明に係る搬送容器接続装置は、
ウエハ搬送容器を壁開口に接続する搬送容器接続装置であって、
前記壁開口に対して接近及び離間可能な可動テーブルと、
前記可動テーブルから上方に突出し、前記ウエハ搬送容器の底面に接触する先端部を有し、前記ウエハ搬送容器を支持する複数の支持ピンと、
前記可動テーブルを支える固定台と、前記固定台から上方に延びており前記壁開口が形成される壁部と、を有する筐体部と、
前記可動テーブルの上面であるテーブル上面より下方に全体が位置する第1位置と、前記テーブル上面より上方に少なくとも一部が位置する第2位置と、の間で移動可能であって、前記支持ピンに支持された前記ウエハ搬送容器に備えられる情報保持部の情報を、前記第2位置で読み取る情報読み取り部と、を有する。
In order to achieve the above object, the transport container connecting device according to the present invention
A transport container connecting device that connects a wafer transport container to a wall opening.
A movable table that can be approached and separated from the wall opening,
A plurality of support pins that project upward from the movable table and have a tip portion that contacts the bottom surface of the wafer transfer container and support the wafer transfer container.
A housing portion having a fixed base for supporting the movable table, a wall portion extending upward from the fixed base and forming the wall opening, and a housing portion.
The support pin is movable between a first position where the whole is located below the upper surface of the table, which is the upper surface of the movable table, and a second position where at least a part is located above the upper surface of the table. It has an information reading unit that reads the information of the information holding unit provided in the wafer transport container supported by the wafer at the second position.
本発明に係る搬送容器接続装置は、第1位置と第2位置との間で上下方向に移動する情報読み取り部を有する。このため、情報読み取り部が第1位置に移動して、ウエハ搬送容器に干渉することを避けることが可能であり、さらに、情報読み取り部が第2位置に移動することにより、情報保持部と情報読み取り部とを結ぶ線が、情報保持部の法線方向に対してより小さい角度を形成する。したがって、このような搬送容器接続装置は、ウエハ搬送容器に干渉することを避け、確実に情報保持部の情報を読み取ることが可能な情報読み取り部を有しており、また、ウエハ搬送容器の設置位置に対して、読み取り部を水平方向に接近させて配置することができるため、小型化に対して有利である。 The transport container connecting device according to the present invention has an information reading unit that moves in the vertical direction between the first position and the second position. Therefore, it is possible to avoid the information reading unit moving to the first position and interfering with the wafer transfer container, and further, by moving the information reading unit to the second position, the information holding unit and the information The line connecting the reading unit forms a smaller angle with respect to the normal direction of the information holding unit. Therefore, such a transfer container connecting device has an information reading unit capable of reliably reading the information of the information holding unit while avoiding interference with the wafer transfer container, and the wafer transfer container is installed. Since the reading unit can be arranged so as to be horizontally close to the position, it is advantageous for miniaturization.
また、例えば、本発明に係る搬送容器接続装置は、前記支持ピンに設けられた前記ウエハ搬送容器における前記底面に形成された溝部に係合する把持部を有しており、前記ウエハ搬送容器が前記支持ピンから離れるのを防ぐクランプ機構をさらに有してもよく、
前記クランプ機構は、前記可動テーブルとは分離して前記筐体部に接続されていてもよい。
Further, for example, the transport container connecting device according to the present invention has a grip portion that engages with a groove formed on the bottom surface of the wafer transport container provided on the support pin, and the wafer transport container It may further have a clamping mechanism that prevents it from moving away from the support pin.
The clamp mechanism may be connected to the housing portion separately from the movable table.
このような搬送容器接続装置では、クランプ機構が可動テーブルとは分離して筐体部に接続しており、クランプ機構自体を可動テーブルと伴に移動させないため、クランプ機構や可動テーブルの構造がシンプルである。したがって、このような搬送容器接続装置は、メンテナンス性や耐久性に優れている。また、クランプ機構や可動テーブルがシンプルな構造を有しているため、パーティクルの発生等の問題を防止することができる。 In such a transport container connecting device, the clamp mechanism is separated from the movable table and connected to the housing, and the clamp mechanism itself is not moved together with the movable table, so that the structure of the clamp mechanism and the movable table is simple. Is. Therefore, such a transport container connecting device is excellent in maintainability and durability. Further, since the clamp mechanism and the movable table have a simple structure, problems such as generation of particles can be prevented.
また、例えば、前記クランプ機構は、前記壁部に接続しており前記壁部に対して略垂直な方向に突出して前記把持部を支える支持部を有してもよい。 Further, for example, the clamp mechanism may have a support portion that is connected to the wall portion and projects in a direction substantially perpendicular to the wall portion to support the grip portion.
壁部から垂直に突出する支持部が把持部を支える構造とすることにより、クランプ機構は、可動テーブルと干渉することを避けながら、短い距離でウエハ搬送容器の底面に係合する把持部を支持することができる。特に、搬送容器接続装置が、OHT(Overhead Hoist Transfer)のようなウエハ搬送容器の上部を把持してウエハ搬送容器を搬送する搬送装置のみからではなく、ウエハ搬送容器を底面から持ち上げて搬送する搬送装置からも、ウエハ搬送容器を可動テーブルに載置可能とした場合には、ウエハ搬送容器の底面を支える支持ピンを長くする必要がある。この場合、固定台や可動テーブルから上下方向に突出する支持部を設けたのでは、支持ピンと同様に支持部が長くなり、可動テーブルの移動方向に沿う力が支持部に作用した場合、クランプ機構が変形し易いという問題を有する。これに対して、壁部から垂直に突出する支持部の場合、支持ピンによって支えられるウエハ搬送容器の底面と可動テーブルとの間の隙間を利用して、可動テーブルと干渉することなく、支持部が把持部をしっかりと支持する構造を採用することが可能である。 By adopting a structure in which the support portion vertically protruding from the wall portion supports the grip portion, the clamp mechanism supports the grip portion that engages with the bottom surface of the wafer transfer container at a short distance while avoiding interference with the movable table. can do. In particular, the transfer container connecting device not only transfers the wafer transfer container by grasping the upper part of the wafer transfer container such as OHT (Overhead Hoist Transfer), but also lifts the wafer transfer container from the bottom surface for transfer. If the wafer transfer container can be placed on the movable table from the device, it is necessary to lengthen the support pin that supports the bottom surface of the wafer transfer container. In this case, if a support portion that protrudes vertically from the fixed base or the movable table is provided, the support portion becomes long like the support pin, and when a force along the moving direction of the movable table acts on the support portion, the clamp mechanism Has a problem that it is easily deformed. On the other hand, in the case of the support portion that protrudes vertically from the wall portion, the support portion does not interfere with the movable table by utilizing the gap between the bottom surface of the wafer transfer container supported by the support pins and the movable table. It is possible to adopt a structure that firmly supports the grip portion.
また、例えば、前記可動テーブルは、前記壁開口に対して接近及び離間する方向に移動する第1テーブルと、前記第1テーブルと伴に移動し前記第1テーブルに対して相対回転可能な第2テーブルと、を有してもよい。 Further, for example, the movable table has a first table that moves in a direction that approaches and separates from the wall opening, and a second table that moves with the first table and can rotate relative to the first table. You may have a table and.
このような可動テーブルでは、第2テーブルおよびウエハ搬送容器の回転時においても、情報読み取り部と可動テーブル及びウエハ搬送容器との干渉を避ける必要があるが、情報読み取り部が移動する本発明に係る搬送容器接続装置は、そのような干渉を回避しつつ、装置全体を小型化することができる。また、壁開口に対して接近及び離間する第1テーブルだけでなく、第1テーブルに対して回転する第2テーブルを有する場合、可動テーブルの構造が複雑になる傾向があるが、クランプ機構が可動テーブルとは分離して筐体部に接続する構造を採用することにより、可動テーブルの構造が複雑になることを防止できる。 In such a movable table, it is necessary to avoid interference between the information reading unit and the movable table and the wafer transport container even when the second table and the wafer transport container are rotated, but the present invention relates to the present invention in which the information reading unit moves. The transport container connecting device can reduce the size of the entire device while avoiding such interference. Further, when having a second table that rotates with respect to the first table as well as a first table that approaches and separates from the wall opening, the structure of the movable table tends to be complicated, but the clamp mechanism is movable. By adopting a structure that is separated from the table and connected to the housing, it is possible to prevent the structure of the movable table from becoming complicated.
また、例えば、前記可動テーブルの移動方向と平行な方向の距離に関して、前記情報読み取り部は、前記可動テーブルが前記壁開口に対して離間した位置にあるときにおける前記可動テーブルの全体より、前記壁開口から離間していてもよい。 Further, for example, with respect to the distance in the direction parallel to the moving direction of the movable table, the information reading unit is more than the whole of the movable table when the movable table is at a position separated from the wall opening. It may be separated from the opening.
情報読み取り部をこのような位置に配置することにより、情報読み取り部と可動テーブルまたはウエハ搬送容器とが干渉することを避けつつ、搬送容器接続装置の全体のサイズを小型化することが可能である。 By arranging the information reading unit at such a position, it is possible to reduce the overall size of the transport container connecting device while avoiding interference between the information reading unit and the movable table or the wafer transport container. ..
本発明に係るロードポート装置は、上記いずれかの搬送容器接続装置と、前記ウエハ搬送容器の蓋部を開く蓋開閉機構と、を有する。
また、本発明に係る搬送容器保管ストッカーは、上記いずれかの搬送容器接続装置と、前記ウエハ搬送容器の蓋部を開く蓋開閉機構と、を有する。
The load port device according to the present invention includes any of the above-mentioned transport container connecting devices and a lid opening / closing mechanism for opening the lid portion of the wafer transport container.
Further, the transport container storage stocker according to the present invention has any of the above transport container connecting devices and a lid opening / closing mechanism for opening the lid portion of the wafer transport container.
搬送容器接続装置は、ウエハ搬送容器の蓋部を開く蓋開閉機構とともに用いられて、ロードポート装置や搬送容器保管ストッカーを構成する。クランプ機構は、ウエハ搬送容器の蓋を開閉する際などに、ウエハ搬送容器の搬送容器筐体部に生じる振動等の影響により、ウエハ搬送容器が支持ピンから離れる問題を、効果的に防止できる。 The transport container connecting device is used together with a lid opening / closing mechanism for opening the lid of the wafer transport container to form a load port device and a transport container storage stocker. The clamp mechanism can effectively prevent the problem that the wafer transfer container is separated from the support pin due to the influence of vibration or the like generated in the transfer container housing portion of the wafer transfer container when opening and closing the lid of the wafer transfer container.
また、本発明に係る搬送容器接続方法は、
ウエハ搬送容器を、前記ウエハ搬送容器が接続するための壁開口を有する搬送容器接続装置に対して接続する搬送容器接続方法であって、
前記搬送容器接続装置における可動テーブルから上方に突出する複数の支持ピンの先端部に、前記ウエハ搬送容器の底面を接触させることにより、前記壁開口に対して離間した離間位置にある前記可動テーブルに、前記ウエハ搬送容器を載置する載置工程と、
前記可動テーブルの上面であるテーブル上面より下方に全体が位置する第1位置から、前記テーブル上面より上方に少なくとも一部が位置する第2位置へ情報読み取り部が移動する読み取り部移動工程と、
前記支持ピンに支持された前記ウエハ搬送容器に備えられる情報保持部の情報を、前記情報読み取り部が前記第2位置で読み取る読み取り工程と、
前記可動テーブルを、前記離間位置から、前記壁開口に対して接近した接近位置に移動させ、前記ウエハ搬送容器を前記壁開口に接続するテーブル移動工程と、
前記ウエハ搬送容器の前記底面に形成された溝部に対して、クランプ機構が有する把持部を係合させ、前記ウエハ搬送容器が前記支持ピンから離れるのを防ぐクランプ工程と、
前記搬送容器接続装置が有する蓋開閉機構を駆動し、前記壁開口に接続し前記把持部に係合された前記ウエハ搬送容器の蓋部を開ける蓋開放工程と、
を有する。
Further, the transport container connecting method according to the present invention is
A transfer container connecting method for connecting a wafer transfer container to a transfer container connecting device having a wall opening for connecting the wafer transfer container.
By bringing the bottom surface of the wafer transfer container into contact with the tips of a plurality of support pins protruding upward from the movable table in the transfer container connecting device, the movable table at a separated position away from the wall opening can be obtained. , The mounting process for mounting the wafer transfer container, and
A reading unit moving step in which the information reading unit moves from the first position, which is the upper surface of the movable table, below the upper surface of the table, to the second position, where at least a part is located above the upper surface of the table.
A reading step in which the information reading unit reads the information of the information holding unit provided in the wafer transport container supported by the support pin at the second position.
A table moving step of moving the movable table from the separated position to an approaching position close to the wall opening and connecting the wafer transfer container to the wall opening.
A clamping step of engaging the grip portion of the clamping mechanism with the groove formed on the bottom surface of the wafer transport container to prevent the wafer transport container from separating from the support pin.
A lid opening step of driving the lid opening / closing mechanism of the transport container connecting device to open the lid of the wafer transport container connected to the wall opening and engaged with the grip portion.
Have.
本発明に係る搬送容器接続方法では、情報読み取り部が第1位置に移動した状態で載置工程を行うことにより、ウエハ搬送容器やウエハ搬送容器を搬送するアーム等に情報読み取り部が干渉することを避けることが可能である。さらに、情報読み取り部移動工程により情報読み取り部が第2位置に移動した後に読み取り工程を行うことにより、読み取り工程においては、情報保持部と読み取り部とを結ぶ線が、情報保持部の法線方向に対してより小さい角度を形成し、確実に情報保持部の情報を読み取ることが可能である。また、ウエハ搬送容器の設置位置に対して、読み取り部を水平方向に接近させて配置することができるため、この点からも、情報保持部の情報を確実に読み取ることが可能である。 In the transport container connecting method according to the present invention, the information reading unit interferes with the wafer transport container, the arm that transports the wafer transport container, or the like by performing the mounting step with the information reading unit moved to the first position. It is possible to avoid. Further, by performing the reading step after the information reading section is moved to the second position by the information reading section moving step, in the reading step, the line connecting the information holding section and the reading section is in the normal direction of the information holding section. It is possible to form a smaller angle with respect to the information and reliably read the information of the information holding unit. Further, since the reading unit can be arranged horizontally close to the installation position of the wafer transport container, the information of the information holding unit can be reliably read from this point as well.
また、例えば、本発明に係る搬送容器接続方法は、前記支持ピンに接続する前記可動テーブルの一部を回転させ、前記支持ピンに支持された前記ウエハ搬送容器を回転させる回転工程を有してもよく、
前記読み取り部移動工程における前記情報読み取り部の移動の少なくとも一部は、前記回転工程における前記ウエハ搬送容器の回転中に行われてもよく、
前記読み取り工程は前記回転工程の後に行われてもよい。
Further, for example, the transport container connecting method according to the present invention includes a rotation step of rotating a part of the movable table connected to the support pin and rotating the wafer transport container supported by the support pin. Well,
At least a part of the movement of the information reading unit in the reading unit moving step may be performed during the rotation of the wafer transfer container in the rotating step.
The reading step may be performed after the rotation step.
このように、読み取り部移動工程における情報読み取り部の移動を、回転工程におけるウエハ搬送容器の回転中に行うことにより、ウエハ搬送容器を載置してから、ウエハ搬送容器を壁開口に接続するまでに要する時間を、短縮することが可能である。 In this way, by moving the information reading unit in the reading unit moving process during the rotation of the wafer transfer container in the rotation process, from the time the wafer transfer container is placed until the wafer transfer container is connected to the wall opening. It is possible to shorten the time required for the operation.
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る搬送容器接続装置40aを有するロードポート装置40の概略斜視図である。ロードポート装置40は、図8に示すようなウエハ搬送容器20を壁開口48aに接続する搬送容器接続装置40aと、蓋開閉機構60とを有する。蓋開閉機構60は、壁開口48aを塞ぐドア62及びドア62を移動させるドア駆動部(不図示)等を有しており、ウエハ搬送容器20の蓋部26を開閉する。
Hereinafter, the present invention will be described based on the embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a schematic perspective view of a
ロードポート装置40における搬送容器接続装置40aは、可動テーブル41と、可動テーブル41の上面に設けられる支持ピン45と、可動テーブル41を支える固定台47及び固定台47から上方に延びる壁部48を有する筐体部46と、クランプ機構50と、情報読み取り部70とを有する。搬送容器接続装置40aは、ウエハ搬送容器20を、壁部48に形成された壁開口48aに接続する(図5(a)等参照)。なお、ロードポート装置40を用いてウエハ搬送容器20を壁開口48aに接続する搬送容器接続方法については、後ほど図9等を用いて説明する。
The transport
図3(a)に示すように、ロードポート装置40には、ウエハ搬送容器20が載置される。ウエハ搬送容器20は、半導体工場等において、ウエハを搬送するための容器であり、SEMIスタンダードに準拠するフープ(FOUP)やフォスビ(FOSB)などが挙げられる。ただし、ウエハ搬送容器20としてはこれに限定されず、ウエハを密閉して搬送又は保管可能な他の容器も、ウエハ搬送容器20に含まれる。
As shown in FIG. 3A, the
ウエハ搬送容器20は、略直方体又は略立方体の箱型の外形状を有している。ウエハ搬送容器20は、側面にウエハを出し入れするための主開口22aが形成された容器筐体部22と、容器筐体部22に対して着脱可能に設けられており、主開口22aを塞ぐ蓋部26とを有している。容器筐体部22の底面22bには、ロードポート装置40のクランプ機構50における把持部52が係合する溝部22baが設けられている。なお、実施形態に係るウエハ搬送容器20における溝部22baは、X軸方向の両側を塞ぐ側壁を有さないが、溝部22baはX軸方向の両側を塞ぐ側壁を有していてもよい。また、溝部22baの形状は、主開口22aと同じ方向に開口を有する他の形状であってもよく、特に限定されない。
The
図8に示すように、ウエハ搬送容器20は、容器筐体部22における主開口22aが形成される側面とは反対側の側面に、ウエハ搬送容器20又はウエハ搬送容器20に収容されたウエハに関する情報を保持する情報保持部25を備えている。情報保持部25としては、バーコードやICタグ(RFタグ)が挙げられるが、情報を外部から読み取り可能な記録媒体であれば、特に限定されない。
As shown in FIG. 8, the
図1及び図2に示すように、ロードポート装置40における可動テーブル41は、固定台47の上に設けられており、固定台47の上でY軸方向に往復移動することができる。可動テーブル41は、Y軸方向への往復移動により、固定台47の側方(Y軸負方向)端部から上方に延びる壁部48に形成された壁開口48aに対して、接近及び離間可能である。
As shown in FIGS. 1 and 2, the movable table 41 in the
図2に示すように、可動テーブル41は、第1テーブル42と第2テーブル43とを有している。第1テーブル42は、略矩形の平板状であり、第2テーブル43の下方に配置されており、固定台47の上をY軸方向にスライド移動する。第1テーブル42を移動させるための駆動部としては、エアシリンダやリニアモーター等が挙げられるが、特に限定されない。第1テーブル42は、第2テーブル43を上に載せた状態でY軸方向に往復移動する。第1テーブル42及び第1テーブル42を含む可動テーブル41は、図3、図7に示すように壁開口48aに対して離間した離間位置と、図4、図5に示すように壁開口48aに対して接近した接近位置との間を、往復移動する。
As shown in FIG. 2, the movable table 41 has a first table 42 and a second table 43. The first table 42 has a substantially rectangular flat plate shape, is arranged below the second table 43, and slides on the fixed
第2テーブル43は、第1テーブル42の上に重ねて設置されている。第2テーブル43は、略八角形の平板状であり、第1テーブル42と同程度の面積を有しているが、第2テーブル43の形状及び面積は特に限定されない。第2テーブル43は、図3(b)及び図4(a)から理解できるように、第1テーブル42と伴にY軸方向に往復移動する。また、第2テーブル43は、図3(a)及び図3(b)に示すように、壁開口48aに対して離間した離間位置において、第1テーブル42に対して相対回転することができる。第2テーブル43が相対回転する際、相対回転の中心位置は、第1テーブル42及び第2テーブル43の中心位置と略一致するが、第2テーブル43の回転中心は特に限定されない。
The second table 43 is superposed on the first table 42. The second table 43 has a substantially octagonal flat plate shape and has an area similar to that of the first table 42, but the shape and area of the second table 43 are not particularly limited. As can be understood from FIGS. 3 (b) and 4 (a), the second table 43 reciprocates in the Y-axis direction together with the first table 42. Further, as shown in FIGS. 3A and 3B, the second table 43 can rotate relative to the first table 42 at a distance position separated from the
図2に示すように、可動テーブル41の表面には、3つの支持ピン45と、3つの着座センサ44が設けられている。支持ピン45は、可動テーブル41から上方に突出し、支持ピン45の先端部45aは、図3(a)に示すようにウエハ搬送容器20の底面22bに接触することで、ウエハ搬送容器20を支持する。
As shown in FIG. 2, three
図2に示すように、支持ピン45の基端は、可動テーブル41のうち上側に配置される第2テーブル43に固定されている。3つの支持ピン45は、第2テーブル43の表面に、互いに離間するように配置されており、本実施形態では、3つの支持ピン45が略正三角形の頂点を構成するように配置されている。図3(a)に示すように、3本の支持ピン45は同じ長さを有しており、3本の支持ピン45は、ウエハ搬送容器20の底面22bを、可動テーブル41に対して支える柱の役割を果たす。ウエハ搬送容器20の底面22bは、支持ピン45の基端が配置される第2テーブル43の表面に対して、略支持ピン45の長さに相当する長さだけ、上方に離れた位置に載置される。支持ピン45の長さは特に限定されないが、たとえば10〜130mmとすることができる。
As shown in FIG. 2, the base end of the
また、各着座センサ44は、3つの支持ピン45のそれぞれに隣接して設けられている。本実施形態の着座センサ44は、支持ピン45に設けられるウエハ搬送容器20の底面22bに接触し、ウエハ搬送容器20の載置を検出する接触式のセンサであるが、着座センサ44は、ウエハ搬送容器20の支持ピン45への載置を検出可能であれば、光学式センサのような非接触式のセンサであってもよい。また、本実施形態のロードポート装置40は、3つの支持ピン45と3つの着座センサ44を有しているが、支持ピン45及び着座センサ44の数は、複数であれば特に限定されない。
Further, each seating
図1に示すように、ロードポート装置40の筐体部46は、可動テーブル41を支える固定台47と、固定台47から上方に延びる壁部48とを有している。固定台47の高さは、ウエハ搬送容器20を搬送する搬送ロボットにおけるウエハ搬送容器20の底面22bを支えるアームが、可動テーブル41(第2テーブル43)の上面と、支持ピン45の先端部45aとの間の高さに挿入されるように、調整されている。
As shown in FIG. 1, the
図1に示すように、壁部48は、固定台47におけるY軸負方向側の端部に設けられている。壁部48は、可動テーブル41が備えられる固定台47の上面から、さらに上方へ延びており、壁部48に形成される壁開口48aは、可動テーブル41より上方に配置されている。ロードポート装置40は、壁開口48aを、ウエハ搬送容器20の蓋部26と伴に開閉する蓋開閉機構60を有している。蓋開閉機構60は、壁開口48aを開閉するドア62を有しており、ドア62は、ウエハ搬送容器20の蓋部26と係合するための係合ピン62aを備えている。また、蓋開閉機構60は、ドア62を駆動するドア駆動部を有しており、図5(a)に示すように、蓋開閉機構60は、ウエハ搬送容器20の蓋部26に係合したドア62を移動させることにより、蓋部26を容器筐体部22から取り外し、ウエハ搬送容器20の主開口22aを開く。
As shown in FIG. 1, the
図2に示すように、情報読み取り部70は、固定台47に備えられる。情報読み取り部70は、固定台47及び可動テーブル41に対して上下方向に相対移動可能である。図2において、情報読み取り部70は、下方に移動した第1位置にある。第1位置にある情報読み取り部70は、可動テーブル41の上面であるテーブル上面41aより下方に全体が位置するように、固定台47の内部に収容されている。第1位置において、情報読み取り部70は、固定台47の上面に形成される固定台開口47aより下方に位置しているが、情報読み取り部70の一部は、固定台開口47aの開口面より上方に露出していてもよい。
As shown in FIG. 2, the
図3(b)に示すように、情報読み取り部70は、第1位置から第2位置まで、上下方向に移動することができる。上方に移動した第2位置にある情報読み取り部70は、テーブル上面41aより上方に、その少なくとも一部が位置している。図3(b)に示すように、情報読み取り部70が第2位置にあるとき、スキャナ70aの全体が、テーブル上面41aより上方に位置していてもよい。情報読み取り部70は、支持ピン45に支持されたウエハ搬送容器20に備えられる情報保持部25の情報を、第2位置で読み取る。
As shown in FIG. 3B, the
図3(b)に示すように、情報読み取り部70は、ウエハ搬送容器20に備えられる情報保持部25の情報を読み取るためのスキャナ70a等と、スキャナ70aや送受信部等を上下に動かす可動支持部70bとを有している。スキャナ70aは、図8に示すようにウエハ搬送容器20に備えられる情報保持部25がバーコードである場合には、レーザー受光素子やイメージセンサ等を有しており、情報保持部25がICタグである場合には、アンテナ等を有している。また、可動支持部70bは、たとえばスキャナ70aを移動させるための駆動部として、エアシリンダやモータ等を有しているが、可動支持部70bが有する駆動部としては特に限定されない。
As shown in FIG. 3B, the
搬送装置がウエハ搬送容器20を可動テーブル41に載置する動作や、ウエハ搬送容器20及び可動テーブル41の回転動作を妨げないように、情報読み取り部70は、これらの動作が行われる間は図3(a)に示す第1位置に移動して、スキャナ70aを下方に退避させることができる。また、情報読み取り部70は、情報保持部25の情報を読み取る読み取り工程においては、図3(b)に示す第2位置に移動して、スキャナ70aを情報保持部25に近づけることができる。
While the
また情報読み取り部70は、第2位置に移動することにより、スキャナ70aと情報保持部25とを結ぶ線が、情報保持部25の法線方向に対して、より小さい角度を形成するようにできるため、情報保持部25が保持する情報の読み取りを、確実かつ迅速に行うことができる。情報読み取り部70が第2位置にあるとき、スキャナ70aと情報保持部25とを結ぶ線と情報保持部25の法線とが形成する角度αは、たとえば0〜75度とすることが好ましく、40〜65度とすることがさらに好ましい。なお、角度αが0度とは、情報読取部25と情報保持部25が互いに対向する位置関係となることを意味する。情報保持部25として使用するバーコードユニットの態様によっては角度αを0度とすることが好ましい場合がある。
Further, by moving the
また、可動テーブル41の移動方向と平行な方向(Y軸方向)の距離に関して、情報読み取り部70は、図3(b)に示すように可動テーブル41が離間位置にあるときにおける可動テーブル41の全体より、壁開口48aから離間している。このように配置することにより、情報読み取り部70は、離間位置にあるウエハ搬送容器20に干渉することを防止しつつ、効率的かつ確実に、情報保持部25が有する情報を読み取ることができる。
Further, regarding the distance in the direction parallel to the moving direction (Y-axis direction) of the movable table 41, the
図2に示すように、ロードポート装置10は、ウエハ搬送容器20が支持ピン45から離れるのを防止するクランプ機構50を有している。クランプ機構50は、可動テーブル41とは分離して、筐体部46の壁部48に接続されている。図3(a)に示すように、クランプ機構50は、把持部52と、クランプ支持部53と、クランプ駆動部54とを有する。把持部52は、図5(b)に示すように、支持ピン45に設けられたウエハ搬送容器20における底面22bに形成された溝部22baに係合し、ウエハ搬送容器20が支持ピン45から離れるのを防ぐ。
As shown in FIG. 2, the load port device 10 has a
図3(a)に示すように、クランプ機構50のクランプ支持部53は、把持部52がクランプ駆動部54によって回動できるように、把持部52を支持している。クランプ支持部53の基端は壁部48に接続しており、クランプ支持部53は、Z軸方向に延びる壁部48に対して略垂直な方向であるY軸方向に突出し、先端部付近で把持部52を支えている。
As shown in FIG. 3A, the
図3(a)に示すように、クランプ機構50のクランプ駆動部54は、Y軸方向に伸縮するエアシリンダを有しており、クランプ駆動部54の基端は、壁部48に対して接続されている。クランプ駆動部54の先端は、把持部52に接続されており、クランプ駆動部54のエアシリンダがY軸方向に延びると、把持部52がX軸正方向側から見て時計回りに回動し、把持部52とウエハ搬送容器20の溝部22baとの係合が解除する。また、クランプ駆動部54のエアシリンダが縮むと、把持部52がX軸正方向側から見て反時計回りに回動し、把持部52とウエハ搬送容器20の溝部22baが係合する。ただし、クランプ駆動部54としては、エアシリンダを有するものに限定されず、把持部52を動かすモータその他の駆動部を有するものであってもかまわない。
As shown in FIG. 3A, the
図9は、ウエハ搬送容器20を、図1に示すロードポート装置10の壁開口48aに接続する搬送容器接続方法の一例を表すフローチャートであり、図3〜図7は、各工程におけるロードポート装置40及びウエハ搬送容器20の状態を表す概念図である。図3〜図7に示す例では、ロードポート装置10は、EFEM80のミリエンバイロメントにウエハ搬送容器20を接続するインターフェース装置として機能する。以下に、図3〜図7及び図9等を用いて、ロードポート装置10による搬送容器接続方法の一例を説明する。なお、図3〜図7では、説明の便宜上、壁部48とEFEMのみを断面で表している。
FIG. 9 is a flowchart showing an example of a transport container connecting method for connecting the
図9におけるステップS001の載置工程では、ウエハ搬送容器20を搬送する搬送装置が、壁開口48aから離間した離間位置にある可動テーブル41に、ウエハ搬送容器20を載置する。図3(a)は、載置工程におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。搬送装置は、図3(a)に示すように、可動テーブル41から上方に突出する支持ピン45の先端部45aに、ウエハ搬送容器20の底面22bを接触させることにより、ウエハ搬送容器20を載置する。搬送装置は、OHTであってもよく、ウエハ搬送容器20を底面22bからアームで持ち上げるものであってもよい。ウエハ搬送容器20の底面22bをアームで持ち上げる搬送容器の場合、ウエハ搬送容器20を支えるアームが、3つの支持ピン45の間を通過してY軸方向に進退することにより、ウエハ搬送容器20を正しい位置に設置することができる。また、支持ピン45の長さは、ウエハ搬送容器20の搬送装置のアームが、ウエハ搬送容器20の底面22bと可動テーブル41との間を通過できる長さに設定されることが好ましい。
In the mounting step of step S001 in FIG. 9, the
また、図3(a)に示すように、ステップS001の載置工程において、ウエハ搬送容器20は、その主開口22aが、壁開口48aがある側(Y軸負方向側)とは反対方向(Y軸正方向)を向く姿勢で、支持ピン45及び可動テーブル41の上に載置される。また、図3(a)に示す載置工程において、情報読み取り部70は、テーブル上面41aより下方に全体が位置する第1位置にあり、固定台47に収容されている。これにより、ウエハ搬送容器20を支持する搬送装置のアームは、情報読み取り部70に干渉されることなく、可動テーブル41の直上を通過して、ウエハ搬送容器20を支持ピン45の上に設置することができる。
Further, as shown in FIG. 3A, in the mounting step of step S001, the
図9におけるステップS002の第1回転工程では、ロードポート装置10の制御部が、離間位置にある可動テーブル41における第2テーブル43を回転させ、ウエハ搬送容器20の主開口22aの向きを変更する。図3(b)は、第1回転工程(ステップS002)から読み取り工程(ステップS004)までの間におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。図3(b)に示すように、ウエハ搬送容器20は、第1回転工程によって矢印91で示すように略180度回転し、回転後のウエハ搬送容器20の主開口22aは、壁開口48aがある側であるY軸負方向を向く。
In the first rotation step of step S002 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 rotates the second table 43 in the movable table 41 at the separated position to change the direction of the
次に、図9におけるステップS003の読み取り部上昇工程(読み取り部移動工程に相当)では、ロードポート装置10の制御部は、図3(a)に示す第1位置から、図3(b)に示す第2位置へ、情報読み取り部70を移動させる。読み取り部上昇工程では、情報読み取り部70の可動支持部70bを駆動し、情報読み取り部70が矢印92で示すように上昇することにより、スキャナ70aが、テーブル上面41aより上方に位置する。
Next, in the reading unit raising step (corresponding to the reading unit moving step) in step S003 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 is moved from the first position shown in FIG. 3A to FIG. 3B. The
さらに、図9におけるステップS004の読み取り工程では、支持ピン45に支持されたウエハ搬送容器20に備えられる情報保持部25の情報を、第2位置にある情報読み取り部70が読み取る。たとえば、情報保持部25がバーコードである場合は、スキャナ70aのイメージセンサが、情報保持部25のバーコードの画像データを取得し、取得した画像データを解析することにより、情報保持部25が有する情報を取得する。
Further, in the reading step of step S004 in FIG. 9, the
なお、図9に示すフローチャートでは、読み取り部上昇工程であるステップS003は、第1回転工程であるステップS002の終了後に行われるようになっているが、これとは異なり、読み取り部上昇工程であるステップS003の少なくとも一部は、第1回転工程であるステップS002と同時に行われてもよい。すなわち、読み取り部上昇工程における情報読み取り部70の移動の一部または全部が、第1回転工程におけるウエハ搬送容器20の回転中に行われることにより、図9に示す接続方法全体が要する処理時間を短縮することができる。なお、読み取り工程であるステップS004は、第1回転工程の後、情報保持部25が停止している状態で行われることが、スキャナ70aによる情報の読み取り動作の失敗を防止する観点から好ましい。
In the flowchart shown in FIG. 9, step S003, which is a step of raising the reading unit, is performed after the end of step S002, which is the first rotation step, but unlike this, it is a step of raising the reading unit. At least a part of step S003 may be performed at the same time as step S002, which is the first rotation step. That is, a part or all of the movement of the
図9におけるステップS005の第1移動工程では、ロードポート装置10の制御部が、図3(b)に示す離間位置から、図4(a)に示すように壁開口48aに接近した接近位置に、可動テーブル41を移動させ、ウエハ搬送容器20を、ロードポート装置40の壁開口48aに接続する。図4(a)は、第1移動工程におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。図4(a)に示すように、可動テーブル41における第1テーブル42は、第1移動工程によって、矢印93で示すようにY軸負方向へスライド移動し、可動テーブル41およびウエハ搬送容器20が、接近位置に移動する。
In the first moving step of step S005 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 moves from the separation position shown in FIG. 3B to the approaching position approaching the
図4(a)に示す接近位置は、ウエハ搬送容器20を壁開口48aに接続するドック位置であり、ウエハ搬送容器20は、接近位置において、壁開口48aの周辺の壁部48に接触する。ただし、第1移動工程が終了した段階では、ウエハ搬送容器20の主開口22aは蓋部26(図5参照)で閉鎖されており、壁開口48aもドア62で閉鎖されている。したがって、この段階では、ウエハ搬送容器20の内部と、EFEM80内のミニエンバイロメントとは、繋がっていない。
The approach position shown in FIG. 4A is a dock position for connecting the
図9におけるステップS006のクランプ工程では、ロードポート装置40の制御部がクランプ機構50を駆動し、ウエハ搬送容器20の底面22bに形成された溝部22baに対して、クランプ機構50が有する把持部52を係合させる。図4(b)は、クランプ工程におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。図4(b)に示すように、クランプ工程では、クランプ機構50におけるクランプ駆動部54が、そのエアシリンダが縮むように駆動することにより、矢印94で示すように把持部52が反時計回りに回動し、把持部52がウエハ搬送容器20の溝部22baに係合する。
In the clamp step of step S006 in FIG. 9, the control unit of the
なお、クランプ工程において、ウエハ搬送容器20は、ロードポート装置40の壁開口48aに接続している。すなわち、クランプ機構50における把持部52の位置は、可動テーブル41が接近位置に移動し、ウエハ搬送容器20が壁開口48aに接続した状態において、ウエハ搬送容器20の底面22bに形成された溝部22baに対して把持部52が係合できるように調整されている。クランプ工程によって、把持部52をウエハ搬送容器20の溝部22baに係合させることにより、ウエハ搬送容器20の底面22bが支持ピン45の先端部45aから離れるのを防止できる。
In the clamping process, the
図9におけるステップS007の読み取り部下降工程では、ロードポート装置10の制御部は、図4(b)に示す第2位置から、固定台47内に収容される第1位置へ、情報読み取り部70を移動させる。読み取り部下降工程では、情報読み取り部70の可動支持部70bを駆動し、情報読み取り部70が、図5(a)において矢印95で示されるように下降し、スキャナ70aを含む情報読み取り部70の全体が、テーブル上面41aより下方に移動する。なお、ステップS007の読み取り部下降工程が行われるタイミングは、図9で示すタイミングに限定されず、ステップS004の読み取り工程が終了した後、後述するステップS012の第2回転工程までの間の任意のタイミング(第2位置にある情報読み取り部70が、回転するウエハ搬送容器20と干渉しない場合は、ステップS013の搬出工程が開始されるまでの任意のタイミング)で、行うことができる。
In the step of lowering the reading unit in step S007 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 moves from the second position shown in FIG. 4B to the first position housed in the fixed
図9におけるステップS008の蓋開放工程では、ロードポート装置10の制御部がドア62を含む蓋開閉機構を駆動することにより、壁開口48aに接続しており、把持部52が溝部22baに係合しているウエハ搬送容器20の蓋部26を開く。図5(a)は、読み取り部下降工程及び蓋開放工程におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。図5(a)に示すように、蓋開放工程では、ウエハ搬送容器20の蓋部26とドア62とを係合させ、さらに蓋部26と係合したドア62を矢印96で示すようにEFEM80のミニエンバイロメント側に移動させることにより、ウエハ搬送容器20の蓋部26を開ける。これにより、ウエハ搬送容器20の主開口22aが開放され、ウエハ搬送容器20の内部が、EFEM80内のミニエンバイロメントと連通する。
In the lid opening step of step S008 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 is connected to the
図5(a)に示すように、ウエハ搬送容器20の主開口22aが開放され、ウエハ搬送容器20の内部が、EFEM80内のミニエンバイロメントと連通した状態において、ウエハ搬送容器20内からウエハを取り出す工程や、他の処理装置において処理が終了したウエハを、ウエハ搬送容器20内に戻す工程や、ウエハ搬送容器20内を清浄化する工程等が実施される。なお、ステップS008の蓋開放工程では、たとえばウエハ搬送容器20の内部に負圧が形成されているような場合において、蓋部26を開ける瞬間に、容器筐体部22に対してある程度大きな振動が生じる場合がある。しかし、上述したように、ロードポート装置40では、クランプ機構50の把持部52がウエハ搬送容器20の溝部22baに係合しているため、蓋開放工程で生じる振動によりウエハ搬送容器20が支持ピン45から離れる問題を防止できる。
As shown in FIG. 5A, the wafer is transferred from the
図9におけるステップS009の蓋閉鎖工程では、ロードポート装置10の制御部がドア62を含む蓋開閉機構を駆動することにより、壁開口48aに接続しているウエハ搬送容器20の蓋部26を閉める。図5(b)は、蓋閉鎖工程におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。図5(b)に示すように、蓋閉鎖工程では、ウエハ搬送容器20の蓋部26と係合したドア62を矢印97で示すように壁開口48aを塞ぐ位置に戻すことにより、ウエハ搬送容器20の蓋部26を閉める。これにより、ウエハ搬送容器20の主開口22aが閉鎖され、ウエハ搬送容器20が密閉される。
In the lid closing step of step S009 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 drives the lid opening / closing mechanism including the
なお、蓋閉鎖工程では、ウエハ搬送容器20の蓋部26を閉めた後、ウエハ搬送容器20の蓋部26とドア62との係合が解除される。
In the lid closing step, after closing the
図9におけるステップS010のクランプ解除工程では、ロードポート装置10の制御部がクランプ機構50を駆動し、ウエハ搬送容器20の溝部22baとクランプ機構50の把持部52との係合を解除させる。図6(a)は、クランプ解除工程におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。図6(a)に示すように、クランプ解除工程では、クランプ機構50におけるクランプ駆動部54を、エアシリンダが延びるように駆動する。これにより、矢印98で示すように把持部52が時計回りに回動し、把持部52がウエハ搬送容器20の溝部22baから外れる。
In the clamp release step of step S010 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 drives the
図9におけるステップS011の第2移動工程では、ロードポート装置40の制御部が、図6(a)に示す接近位置から、図6(b)に示す離間位置に、可動テーブル41を移動させる。図6(b)は、第2移動工程におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。図6(b)に示すように、可動テーブル41における第1テーブル42は、第2移動工程によって、矢印99で示すようにY軸正方向へスライド移動し、可動テーブル41およびウエハ搬送容器20が、離間位置に移動する。これにより、ウエハ搬送容器20と壁開口48aとは互いに離間し、ウエハ搬送容器20と壁開口48aとの接続は解除される。
In the second moving step of step S011 in FIG. 9, the control unit of the
図9におけるステップS012の第2回転工程では、ロードポート装置10の制御部が、離間位置にある可動テーブル41における第2テーブル43を回転させ、ウエハ搬送容器20の主開口22aの向きを変更する。図7は、第2回転工程におけるウエハ搬送容器20及びロードポート装置40の状態を表す概念図である。図7に示すように、ウエハ搬送容器20は、第2回転工程によって矢印111で示すように略180度回転し、回転後のウエハ搬送容器20の主開口22aは、壁開口48aがある側とは反対方向であるY軸正方向を向く。これにより、ウエハ搬送容器20の位置及び姿勢は、ステップS001において搬送装置により載置された時の状態に戻る。
In the second rotation step of step S012 in FIG. 9, the control unit of the load port device 10 rotates the second table 43 in the movable table 41 at the separated position to change the direction of the
図9におけるステップS013の搬出工程では、ウエハ搬送容器20を搬送する搬送装置が、ロードポート装置40からウエハ搬送容器20を搬出し、ウエハ搬送容器をロードポート装置40以外の他の装置に移動させる。搬送装置は、OHTであってもよく、ウエハ搬送容器20を底面22bからアームで持ち上げるものであってもよい。また、ステップS013の搬出工程で用いられる搬送装置は、ステップS001の載置工程で用いられる搬送装置と同じであってもよく、異なっていても良い。
In the unloading step of step S013 in FIG. 9, the transport device for transporting the
図9に示すような搬送容器接続工程を行うことにより、ロードポート装置40は、ウエハ搬送容器20を壁開口48aに接続し、ウエハ搬送容器20の蓋部26を開けることにより、ウエハ搬送容器20内のウエハを取り出したり、ウエハ搬送容器20内に清浄化ガスを導入することにより、ウエハ搬送容器20内を清浄化したりすることができる。
By performing the transport container connecting step as shown in FIG. 9, the
以上のように、本実施形態に係るロードポート装置40は、第1位置と第2位置との間で上下方向に移動する情報読み取り部70を有する。このため、情報読み取り部70が下方の第1位置に移動して、載置工程等においてウエハ搬送容器20やその搬送装置に干渉する問題を回避することが可能である。さらに、情報読み取り部70が第2位置に移動することにより、ウエハ搬送容器20の情報保持部25と情報読み取り部70とを結ぶ線が、情報保持部25の法線方向に対してなす角αを、小さくすることができ、情報読み取り部70が確実に情報保持部の情報を読み取ることができる。また、仮に、従来と同様に情報読み取り部が移動せず、固定台47に固定されている場合、図3(b)に示す角αを実施形態と同等にするためには、固定台が大型化する問題が生じる。しかしながら、本実施形態に係るロードポート装置40は、情報読み取り部70が第1位置と第2位置との間で上下方向に移動するため、ウエハ搬送容器20に干渉することを避け、かつ、情報読み取り部70を可動テーブル41に対して水平方向に接近させて配置することができるため、小型化に対して有利である。
As described above, the
また、ロードポート装置40は、クランプ機構50が可動テーブル41とは分離して筐体部46に接続している。このようなロードポート装置40は、クランプ機構50自体を可動テーブル41と伴に移動させないため、クランプ機構50や可動テーブル41の構造がシンプルである。したがって、このようなロードポート装置40は、メンテナンス性や耐久性に優れている。また、クランプ機構50や可動テーブル41がシンプルな構造を有しているため、パーティクルの発生等の問題を防止することができる。
Further, in the
また、ウエハ搬送容器20に対して大きな振動が生じるおそれのある蓋開放工程では、クランプ機構50によって、ウエハ搬送容器20が支持ピン45に対して固定されているため、ウエハ搬送容器20が支持ピン45及び可動テーブル41から脱落する問題を防止することができる。なお、ロードポート装置40は、移動工程S003、S008や回転工程S002、S009ではウエハ搬送容器20をクランプしていない。しかし、これらの工程では、ウエハ搬送容器20に対して大きな振動が生じる可能性は非常に低いため、ウエハ搬送容器20は自重で支持ピン45に押し付けられ、支持ピン45によって安定して支持される。
Further, in the lid opening step in which the
また、ロードポート装置40のクランプ機構50は、壁部48から垂直に突出するクランプ支持部53が把持部52を支える構造であるため、可動テーブル41と干渉することを避けながら、短い距離でウエハ搬送容器20の底面22bに係合する把持部52を支持することができる。ロードポート装置40は、ウエハ搬送容器20の底面22bを支える支持ピン45が長いため、ウエハ搬送容器20を底面22bから持ち上げて搬送する搬送装置であっても、ウエハ搬送容器20をロードポート装置40に対して載置することができる。この場合、固定台47や可動テーブル41から上下方向に突出するクランプ支持部を設ける構成では、クランプ支持部が長くなり、クランプ支持部の耐久性に課題が生じる。これに対して、壁部48から垂直に突出するクランプ支持部53を有するロードポート装置10の場合、支持ピン45によって支えられるウエハ搬送容器20の底面22bと可動テーブル41との間の隙間を利用することにより、可動テーブル41と干渉することなく、クランプ支持部53が把持部52をしっかりと支持することができる。
Further, since the
なお、本発明は、上述した実施形態のみに限定されず、他の実施例や変形例を含むことは言うまでもない。図10は、本発明の変形例に係るロードポート装置が有する情報読み取り部170の部分拡大図である。情報読み取り部170は、バーコードの情報を読み取るスキャナ70aに加えて、ICタグの情報を読み取るスキャナ170aを有しており、バーコードを有する情報保持部とICタグを有する情報保持部の両方から、情報を取得することができる。また、この場合において、情報読み取り部のスキャナ170aは、ICタグを有する情報保持部の情報を、追加または更新することが可能であってもよい。このように、情報読み取り部170は、複数の異なる方式のスキャナ70a、170aを有していてもよい。なお、情報読み取り部170は、スキャナ170aを有していることを除き、図1等に示す情報読み取り部70と同様であり、変形例に係るロードポート装置も、ロードポート装置40と同様の効果を奏する。
Needless to say, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes other examples and modifications. FIG. 10 is a partially enlarged view of the
また、たとえば、本実施形態において、クランプ機構50のクランプ支持部53は、壁部48から垂直に突出しているが、クランプ支持部は、固定台47に接続し、固定台47から上方へ突出していてもよい。この場合、ロードポート装置40の可動テーブル41には、クランプ支持部との干渉を避けるための切込み等が形成される。
Further, for example, in the present embodiment, the
また、上述の実施形態では、搬送容器接続装置40aをロードポート装置40に採用した例を挙げて説明を行ったが、搬送容器接続装置40aは、ウエハ搬送容器20を保管する搬送容器保管ストッカーや、ウエハ搬送容器20を清浄化する清浄化装置に用いられてもよい。
Further, in the above-described embodiment, an example in which the transport
20… ウエハ搬送容器
22… 容器筐体部
22a… 主開口
22b… 底面
22ba… 溝部
25… 情報保持部
26… 蓋部
40… ロードポート装置
40a… 搬送容器接続装置
41… 可動テーブル
41a…テーブル上面
42… 第1テーブル
43… 第2テーブル
44… 着座センサ
45… 支持ピン
45a… 先端部
46… 筐体部
47… 固定台
47a…固定台開口
48… 壁部
48a… 壁開口
50… クランプ機構
52… 把持部
53… クランプ支持部
54… クランプ駆動部
60… 蓋開閉機構
62… ドア
62a… 係合ピン
70、170… 情報読み取り部
70a、170a… スキャナ
70b… 可動支持部
80… EFEM
20 ...
Claims (9)
前記壁開口に対して接近及び離間可能な可動テーブルと、
前記可動テーブルから上方に突出し、前記ウエハ搬送容器の底面に接触する先端部を有し、前記ウエハ搬送容器を支持する複数の支持ピンと、
前記可動テーブルを支える固定台と、前記固定台から上方に延びており前記壁開口が形成される壁部と、を有する筐体部と、
前記可動テーブルの上面であるテーブル上面より下方に全体が位置する第1位置と、前記テーブル上面より上方に少なくとも一部が位置する第2位置と、の間で移動可能であって、前記支持ピンに支持された前記ウエハ搬送容器に備えられる情報保持部の情報を、前記第2位置で読み取る情報読み取り部と、を有する搬送容器接続装置。 A transport container connecting device that connects a wafer transport container to a wall opening.
A movable table that can be approached and separated from the wall opening,
A plurality of support pins that project upward from the movable table and have a tip portion that contacts the bottom surface of the wafer transfer container and support the wafer transfer container.
A housing portion having a fixed base for supporting the movable table, a wall portion extending upward from the fixed base and forming the wall opening, and a housing portion.
The support pin is movable between a first position, which is the upper surface of the movable table, which is entirely below the upper surface of the table, and a second position, which is at least partially located above the upper surface of the table. A transport container connecting device including an information reading unit that reads information from an information holding unit provided in the wafer transport container supported by the wafer at the second position.
前記クランプ機構は、前記可動テーブルとは分離して前記筐体部に接続されている請求項1に記載の搬送容器接続装置。 It has a grip portion that engages with a groove formed on the bottom surface of the wafer transfer container provided on the support pin, and further has a clamp mechanism that prevents the wafer transfer container from separating from the support pin. ,
The transport container connecting device according to claim 1, wherein the clamp mechanism is connected to the housing portion separately from the movable table.
前記ウエハ搬送容器の蓋部を開く蓋開閉機構と、
を有するロードポート装置。 The transport container connecting device according to any one of claims 1 to 5.
A lid opening / closing mechanism for opening the lid of the wafer transfer container,
Load port device with.
前記ウエハ搬送容器の蓋部を開く蓋開閉機構と、
を有する搬送容器保管ストッカー。 The transport container connecting device according to any one of claims 1 to 5.
A lid opening / closing mechanism for opening the lid of the wafer transfer container,
Conveyor container storage stocker with.
前記搬送容器接続装置における可動テーブルから上方に突出する複数の支持ピンの先端部に、前記ウエハ搬送容器の底面を接触させることにより、前記壁開口に対して離間した離間位置にある前記可動テーブルに、前記ウエハ搬送容器を載置する載置工程と、
前記可動テーブルの上面であるテーブル上面より下方に全体が位置する第1位置から、前記テーブル上面より上方に少なくとも一部が位置する第2位置へ情報読み取り部が移動する読み取り部移動工程と、
前記支持ピンに支持された前記ウエハ搬送容器に備えられる情報保持部の情報を、前記情報読み取り部が前記第2位置で読み取る読み取り工程と、
前記可動テーブルを、前記離間位置から、前記壁開口に対して接近した接近位置に移動させ、前記ウエハ搬送容器を前記壁開口に接続するテーブル移動工程と、
前記ウエハ搬送容器の前記底面に形成された溝部に対して、クランプ機構が有する把持部を係合させ、前記ウエハ搬送容器が前記支持ピンから離れるのを防ぐクランプ工程と、
前記搬送容器接続装置が有する蓋開閉機構を駆動し、前記壁開口に接続し前記把持部に係合された前記ウエハ搬送容器の蓋部を開ける蓋開放工程と、
を有する搬送容器接続方法。 A transfer container connecting method for connecting a wafer transfer container to a transfer container connecting device having a wall opening for connecting the wafer transfer container.
By bringing the bottom surface of the wafer transfer container into contact with the tips of a plurality of support pins protruding upward from the movable table in the transfer container connecting device, the movable table at a separated position away from the wall opening can be obtained. , The mounting process for mounting the wafer transfer container, and
A reading unit moving step in which the information reading unit moves from the first position, which is the upper surface of the movable table, below the upper surface of the table, to the second position, where at least a part is located above the upper surface of the table.
A reading step in which the information reading unit reads the information of the information holding unit provided in the wafer transport container supported by the support pin at the second position.
A table moving step of moving the movable table from the separated position to an approaching position close to the wall opening and connecting the wafer transfer container to the wall opening.
A clamping step of engaging the grip portion of the clamping mechanism with the groove formed on the bottom surface of the wafer transport container to prevent the wafer transport container from separating from the support pin.
A lid opening step of driving the lid opening / closing mechanism of the transport container connecting device to open the lid of the wafer transport container connected to the wall opening and engaged with the grip portion.
Conveyor container connection method having.
前記読み取り部移動工程における前記情報読み取り部の移動の少なくとも一部は、前記回転工程における前記ウエハ搬送容器の回転中に行われ、
前記読み取り工程は前記回転工程の後に行われることを特徴とする請求項8に記載の搬送容器接続方法。 It has a rotation step of rotating a part of the movable table connected to the support pin and rotating the wafer transfer container supported by the support pin.
At least a part of the movement of the information reading unit in the reading unit moving step is performed during the rotation of the wafer transfer container in the rotating process.
The transport container connecting method according to claim 8, wherein the reading step is performed after the rotation step.
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