JP6821676B2 - 微小電気機械システムリレー回路の補助回路 - Google Patents
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Description
12 MEMSスイッチング回路
14 補助回路
16 制御回路
18 電源回路
20 電源端子
22 電源端子
24 MEMSスイッチ
26 接点
28 片持ち梁
30 アンカー構造
32 基板
34 電極
36 ゲート電圧源
38 ドライバ回路
40 制御入力端子
42 制御入力端子
44 接続部
46 接続部
48 ソリッドステートスイッチング回路
50 MOSFET
52 MOSFET
54 共振回路
56 インダクタ
58 コンデンサ
60 充電回路
62 技術
68 電圧センサ
70 電流検知回路
90 補助回路
92 MOSFET
94 MOSFET
96 MOSFET
98 MOSFET
104 MEMSスイッチ
105 制御出力端子
106 制御側
107 制御出力端子
108 電力側
110 発振器
112 ドライバ
114 パルストランス
116 コンデンサ
120 コンデンサ
122 ダイオード
124 ピーク電圧検出器
126 ダイオード
128 コンデンサ
130 パルス検出回路
132 ダイオード
134 抵抗器
Claims (23)
- MEMSスイッチ(24)とドライバ回路(38)とを含む微小電気機械システム(MEMS)スイッチング回路(12)であって、負荷電流を受け取るために電源回路に接続可能である、MEMSスイッチング回路(12)と、
前記MEMSスイッチング回路(12)と並列に接続された補助回路(14)と、
前記MEMSスイッチング回路(12)および前記補助回路(14)に動作可能に接続され、前記MEMSスイッチング回路(12)および前記補助回路(14)に向かう負荷電流の選択的スイッチングを制御する制御回路(16)と
を含むスイッチングシステム(10)であって、
前記補助回路(14)は、
前記補助回路(14)を前記MEMSスイッチング回路(12)に接続する第1接続部(44)および第2の接続部(46)と、
第1のソリッドステートスイッチと、
前記第1のソリッドステートスイッチと並列に接続された第2のソリッドステートスイッチと、
前記第1のソリッドステートスイッチと前記第2のソリッドステートスイッチとの間に接続された共振回路(54)と
を含み、
前記第1のソリッドステートスイッチ、前記第2のソリッドステートスイッチおよび前記共振回路(54)は、前記制御回路(16)によって選択的に起動されて、前記MEMSスイッチ(24)が状態を変更する前に、前記負荷電流の少なくとも一部を前記MEMSスイッチ(24)から分流して前記補助回路(14)に流すことによって前記MEMSスイッチ(24)の両端の電圧を制限する、スイッチングシステム(10)。 - 前記共振回路(54)は、インダクタ(56)とコンデンサ(58)とを含み、前記コンデンサ(58)は、前記共振回路(54)を通って前記第2のソリッドステートスイッチに向かう方向に電流が流れるようにプリチャージされる、請求項1に記載のスイッチングシステム(10)。
- 前記補助回路(14)は、前記コンデンサ(58)をプリチャージするように構成されたプリチャージ回路をさらに含む、請求項2に記載のスイッチングシステム(10)。
- 前記制御回路(16)は、
前記スイッチングシステム(10)の所望の動作状態を示すオンオフ信号を受信し、
前記受信したオンオフ信号に応答して、前記ドライバ回路(38)に制御信号を送信して、前記MEMSスイッチ(24)を所定のスイッチング期間内で接触または非接触位置に作動させ、
前記MEMSスイッチ(24)が前記接触位置と前記非接触位置との間でスイッチングしているスイッチング期間中に、前記負荷電流の少なくとも一部が前記補助回路(14)に向かって流れるように、前記補助回路(14)を作動させ、
前記スイッチング期間の完了後に前記接触または非接触位置に達すると、前記補助回路(14)を停止させ、前記負荷電流が閉状態の前記MEMSスイッチ(24)を通って流れ、前記MEMSスイッチ(24)が開状態の時にその両端で全システム電圧を維持する
ようにプログラムされる、請求項1に記載のスイッチングシステム(10)。 - 前記制御回路(16)は、前記補助回路(14)を低電流モードおよび高電流モードのうちの1つで動作させるようにプログラムされる、請求項4に記載のスイッチングシステム(10)。
- 前記MEMSスイッチ(24)を流れる電流および前記MEMSスイッチ(24)の両端の電圧のうちの少なくとも1つを検知するように配置された少なくとも1つの検知回路(70)をさらに含み、
前記補助回路(14)を前記低電流モードおよび前記高電流モードのうちの1つで動作させる際に、前記制御回路(16)は、
前記少なくとも1つの検知回路(70)から、前記検知された電流および電圧のうちの前記少なくとも1つに関する入力を受信し、
前記検知された電流および電圧のうちの前記少なくとも1つをそれぞれ電流閾値および/または電圧閾値と比較し、
前記検知された電流および電圧のうちの前記少なくとも1つが前記それぞれの電流閾値および/または電圧閾値を下回る場合、前記補助回路(14)を前記低電流モードで動作させ、
前記検知された電流および電圧の前記少なくとも1つが前記それぞれの電流閾値および/または電圧閾値を上回る場合、前記補助回路(14)を前記高電流モードで動作させる
ようにプログラムされる、請求項5に記載のスイッチングシステム(10)。 - 低電流モードで前記補助回路(14)を動作させる際に、前記制御回路(16)は、
前記第1のソリッドステートスイッチを作動させて、前記負荷電流の少なくとも一部を前記第1のソリッドステートスイッチに流し、
前記第1のソリッドステートスイッチの前記作動に続いて、前記制御信号を前記ドライバ回路に送信して、前記MEMSスイッチに、前記接触位置と前記非接触位置との間で作動させ始め、
前記MEMSスイッチが前記接触位置または前記非接触位置に完全に作動されると、前記第1のソリッドステートスイッチを停止するようにプログラムされる、請求項5に記載のスイッチングシステム(10)。 - 高電流モードで前記補助回路(14)を動作させる際に、前記制御回路(16)は、
前記第1のソリッドステートスイッチを作動させて、前記負荷電流の少なくとも一部を前記第1のソリッドステートスイッチに流し、
前記負荷電流の前記少なくとも一部が前記第1のソリッドステートスイッチおよび前記第2のソリッドステートスイッチの両方を流れるように、前記共振回路(54)および前記第2のソリッドステートスイッチを作動させ、
前記第1のソリッドステートスイッチおよび前記第2のソリッドステートスイッチおよび前記共振回路(54)の作動に続いて、前記制御信号を前記ドライバ回路(38)に送信して、前記MEMSスイッチ(24)に、前記接触位置と前記非接触位置との間で作動させ始め、
前記MEMSスイッチ(24)が前記接触位置または前記非接触位置に完全に作動されると、前記第2のソリッドステートスイッチを停止し、
前記共振回路(54)内の共振が停止した後に、前記第1のソリッドステートスイッチを停止させる
ようにプログラムされる、請求項5に記載のスイッチングシステム(10)。 - 前記第1のソリッドステートスイッチと直列に配置された第3のソリッドステートスイッチと、
前記第2のソリッドステートスイッチと直列に配置された第4のソリッドステートスイッチと
をさらに含み、
前記第1のソリッドステートスイッチ、前記第2のソリッドステートスイッチ、前記第3のソリッドステートスイッチ、および前記第4のソリッドステートスイッチは、前記電源回路(18)からAC電力を受信するように構成された補助回路(14)を提供する、
請求項1に記載のスイッチングシステム(10)。 - 前記補助回路(14)と直列に配置されるように前記補助回路(14)の前記第2の接続部(46)に接続される追加のMEMSスイッチ(24)をさらに含み、前記追加のMEMSスイッチ(24)は、前記補助回路と前記電源回路との間の電気的分離を提供するために、前記補助回路(14)を前記電源回路(18)から選択的に接続および切断する動作ができる、請求項1に記載のスイッチングシステム(10)。
- 前記第1のソリッドステートスイッチおよび前記第2のソリッドステートスイッチは、作動時に電流を伝えるように構成されたMOSFETを含む、請求項1に記載のスイッチングシステム(10)。
- 前記MEMSスイッチ(24)は、直列スイッチおよびシャントスイッチのうちの1つを含む、請求項1に記載のスイッチングシステム(10)。
- MEMSスイッチング回路(12)であって、
非接触位置と接触位置との間で移動でき、負荷電流を選択的に通過させるMEMSスイッチ(24)と、
前記MEMSスイッチを前記非接触位置と前記接触位置との間で移動させるための駆動信号を提供するように構成されたドライバ回路(38)とを含む、MEMSスイッチング回路(12)と、
前記MEMSスイッチ(24)に並列に接続され、前記MEMSスイッチ(24)の両端の電圧を選択的に制限する補助回路(14)であって、並列に接続された第1のMOSFETおよび第2のMOSFETを含む補助回路と、
前記MEMSスイッチング回路(12)および前記補助回路(14)に動作可能に接続され、前記MEMSスイッチ(24)のスイッチングおよび前記補助回路(14)内の前記第1のMOSFETおよび前記第2のMOSFETの作動を制御する制御回路(16)と
を含む、微小電気機械システム(MEMS)リレー回路(12)であって、
前記補助回路(14)は低電流モードおよび高電流モードで選択的に動作可能であり、前記第1のMOSFETおよび前記第2のMOSFETに電流を選択的に流すことができ、前記低電流モードで前記第1のMOSFETはオンであり、前記第2のMOSFETはオフであり、前記高電流モードで前記第1のMOSFETおよび第2のMOSFETはオンである、微小電気機械システム(MEMS)リレー回路(12)。 - 前記補助回路(14)は、
前記第1のMOSFETと前記第2のMOSFETとの間に接続され、インダクタ(56)とコンデンサ(58)とを含む共振回路(54)と、
前記共振回路(54)が作動されたときに、前記共振回路(54)を通って前記第2のMOSFETに向かう方向に電流を流すように、前記コンデンサ(58)を選択的にプリチャージするように構成されたプリチャージ回路と
をさらに含む、請求項13に記載のMEMSリレー回路(10)。 - 高電流モードで前記補助回路(14)を動作させる際に、前記制御回路(16)は、
前記第1のMOSFETをオンにして、前記負荷電流の少なくとも一部を前記第1のMOSFETに流し、
前記負荷電流の少なくとも一部が前記第1のMOSFETおよび前記第2のMOSFETの両方を流れるように、前記第2のMOSFETをオンにし前記共振回路(54)を作動させ、
前記第1のMOSFETおよび前記第2のMOSFETおよび前記共振回路(54)を
オンにすることに続いて、制御信号(54)を前記ドライバ回路(38)に送信して、前記MEMSスイッチ(24)に、前記非接触位置と前記接触位置との間で作動させ始め、
前記MEMSスイッチ(24)が前記非接触位置または前記接触位置に完全に作動されると、前記第2のMOSFETをオフにし、
前記共振回路(54)内の共振が停止した後に、前記第1のMOSFETをオフにする
ようにプログラムされる、請求項14に記載のMEMSリレー回路(10)。 - 低電流モードで前記補助回路(14)を動作させる際に、前記制御回路(16)は、
前記第1のMOSFETをオンにして、前記負荷電流の少なくとも一部を前記第1のMOSFETに流し、
前記第1のMOSFETをオンにすることに続いて、前記制御信号を前記ドライバ回路(38)に送信して、前記MEMSスイッチ(24)に、前記非接触位置と前記接触位置との間で作動させ始め、
前記MEMSスイッチ(24)が前記非接触位置または前記接触位置に完全に作動されると、前記第1のMOSFETをオフにする
ようにプログラムされる、請求項13に記載のMEMSリレー回路(10)。 - 前記接触位置にあるときに前記MEMSスイッチ(24)を流れる電流を検知するように配置された電流検知回路(70)をさらに備え、
前記制御回路(16)は、
前記MEMSスイッチ(24)を流れる前記電流に関して前記電流検知回路(70)から入力を受信し、
前記MEMSスイッチ(24)を流れる前記電流を電流閾値と比較し、
前記MEMSスイッチ(24)を流れる前記電流が前記電流閾値を下回る場合、前記低電流モードで前記補助回路(14)を動作させ、
前記MEMSスイッチ(24)を流れる前記電流が前記電流閾値を上回っている場合には、前記高電流モードで前記補助回路(14)を動作させる
ようにプログラムされる、請求項13に記載のMEMSリレー回路(10)。 - 前記非接触位置にあるときに前記MEMSスイッチ(24)の両端の電圧を検知するように配置された電圧センサ(68)をさらに備え、
前記制御回路(16)は、
前記MEMSスイッチ(24)の両端の前記電圧に関して前記電圧センサ(68)から入力を受信し、
前記MEMSスイッチ(24)の両端の前記電圧を電圧閾値と比較し、
前記MEMSスイッチ(24)の両端の前記電圧が前記電圧閾値を下回る場合、前記補助回路(14)を前記低電流モードで動作させ、
前記MEMSスイッチ(24)の両端の前記電圧が前記電圧閾値を上回っている場合には、前記補助回路(14)を前記高電流モードで動作させる
ようにプログラムされる、請求項13に記載のMEMSリレー回路(10)。 - 前記制御回路(16)は、前記MEMSスイッチ(24)が前記非接触位置にあるとき、デフォルト動作モードとして前記高電流モードで前記補助回路(14)を動作させるようにプログラムされる、請求項13に記載のMEMSリレー回路(10)。
- 前記低電流モードまたは前記高電流モードで前記補助回路(14)を動作させる際に、前記制御回路(16)は、前記MEMSスイッチ(24)が前記非接触位置と前記接触位置との間を移動する間のスイッチング期間の間、前記第1のMOSFETをオンにするか、または前記第1のMOSFETおよび第2のMOSFETをそれぞれオンにするようにプログラムされる、請求項13に記載のMEMSリレー回路(10)。
- MEMSスイッチング回路(12)と、補助回路(14)と、制御回路(16)とを含む微小電気機械システム(MEMS)リレー回路(10)を制御する方法であって、
前記制御回路(16)において、前記MEMSリレー回路(10)の所望の動作状態を含むオフ信号およびオン信号のうちの1つを受信し、
前記受信されたオフ信号またはオン信号に応答して、前記制御回路(16)から前記MEMSスイッチング回路(12)のドライバ回路(38)にドライバ制御信号を送信し、前記ドライバ制御信号は、前記ドライバ回路(38)に、前記MEMSスイッチング回路(12)のMEMSスイッチ(24)に選択的に電圧を提供させ、前記MEMSスイッチ(24)を接触位置および非接触位置の間で作動させ、
前記受信したオフ信号またはオン信号に応答して補助回路制御信号を前記制御回路(16)から前記補助回路(14)に送信し、前記補助回路制御信号は前記補助回路(14)を低電流モードまたは高電流モードで動作させて、前記MEMSスイッチ(24)が状態を変化させる前に、前記補助回路(14)内の並列に接続された第1のMOSFETおよび第2のMOSFETに電流を選択的に流すことによって、前記MEMSスイッチ(24)の両端の電圧を制御することを含む、方法。 - 前記低電流モードで前記補助回路(14)を動作させることは、
前記補助回路(14)の前記第1のMOSFETをオンにして、電流が流れるのを可能にし、
前記補助回路(14)の前記第2のMOSFETをオフにして、電流が流れるのを防止することをさらに含む、請求項21に記載の方法。 - 前記高電流モードで前記補助回路(14)を動作させることは、
前記補助回路(14)の前記第1のMOSFETをオンにして、電流が流れるのを可能にし、
前記補助回路の前記第2のMOSFETをオンにして、電流が流れるのを可能にし、
前記補助回路(14)の共振回路(54)を作動させ、電流を前記第1のMOSFETから前記第2のMOSFETへ導くことをさらに含む、請求項21に記載の方法。
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