JP2009123211A - 超小型電子機械システムを利用したスイッチを有するプログラマブルロジックコントローラ - Google Patents

超小型電子機械システムを利用したスイッチを有するプログラマブルロジックコントローラ Download PDF

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Abstract

【課題】スケーラビリティと、電気的故障からの保護をもたらすI/Oモジュールを有するプログラマブルコントローラの提供。
【解決手段】プログラムコントローラはI/Oモジュール24に接続された少なくとも1つの超小型電子機械システム(MEMS)スイッチ36を含んでいる。MEMSスイッチ36は外部デバイス54に接続され、信号を外部デバイス54に送信する。プログラマブルロジックコントローラはさらに、MEMSスイッチと、MEMSスイッチの両端間の電圧を測定するための電圧センサ90とを含むことができる。MEMSスイッチ36は論理信号を送信または受信するように配置されている。
【選択図】図4

Description

本発明は一般に、プログラマブルロジックコントローラに関し、特に超小型電子機械システムを利用したスイッチングデバイスを使用してディジタル入力および出力インターフェースを供給するプログラマブルロジックコントローラに関する。
プログラマブルロジックコントローラ(「PLC」)は自動化および制御に広く利用されている。それらには産業自動化、工場の自動化、ビルの自動化などが含まれる。PLCは一般的には所望の機能を実装するための制御プログラムでユーザーによりプログラムされる。制御プログラムは、例えばはしご論理などのプログラミング言語を書き込んで所望の制御を実行する。例えば、PLCはモータ速度、温度、圧力、体積流量などの入力状態をモニタすることができる。制御プログラムは、ある入力信号または状態に遭遇するとどのような動作を行うべきかをPLCに指示するためにPLC内のメモリに記憶されている。
PLCは通常は、それが制御するデバイスに直に接続することはない。必要な接続を行い、信号をデバイスとPLCの双方に有用になるように適応させるためにインターフェースモジュール、または入力/出力モジュール(「I/Oモジュール」)が使用される。I/Oモジュールはさらに、PLCを短絡状態などの異常な電気的故障から保護する。I/Oモジュールは一般的にはPLC内の背面ボード上に配設されたそれぞれのスロット内に実装される。スロットは、いずれかのI/Oモジュールを中央処理ユニット(「CPU」)に結合するメインバスにより互いに結合されている。
PLCを比較的高電力の用途と結びつけるために一般に使用される2つの種類のデバイスは、電子機械継電器、およびソリッドステート・デバイスである。これらのデバイスによって、5VDC回路を使用して動作するディジタル論理デバイスであるPLCは、例えば24Vdcまたは120Vacなど、より高い電圧および電流で動作するデバイスを制御することが可能になる。
継電器は電磁石を使用して動作する電子機械スイッチである。電気系統で電流をスイッチオン/オフするには、接点のセットを使用できる。接点は開位置にして電流の流れを止めるか、閉位置にして電流が流れるようにできる。継電器内のコイルが励磁され、電機子に作用する磁界を生成する。電機子は接点に機械的に接続され、コイルにより生成された磁界の作用で接点を移動させる。この動きは接点により生成される電気的接続を行ったり、遮断したりする。継電器に信頼性が高いという利点があり、多様な継電器を容易に入手できる。したがって、適正な継電器を用途に容易に適合させることができる。しかし、電子機械スイッチは動作が遅い傾向があり、また、特定の電力レベル向けに設計または選択される必要がある。継電器は1つの電力レベルでしか動作しないので、デバイスのスケーラビリティは限定される。さらに、継電器は、それ自体を、またはそれが駆動する回路を保護しない。
遅動電子機械スイッチの代替として、例えばバイポーラ接合トランジスタまたは金属酸化物−半導体−電界効果型トランジスタ(「MOSFET」)などの速動ソリッドステートスイッチが低電力レベルでの直流の用途で開発されている。これらのソリッドステートスイッチは電圧またはバイアスの制御された印加によって導電状態と非導電状態を切り換える。例えば、ソリッドステートスイッチに逆バイアスを印加することによって、スイッチを非導電状態に移行させることができる。しかし、ソリッドステートスイッチは、それらが非導電状態に切り換わる際に接点間に物理的空隙を形成しないので、漏れ電流が生ずる。物理的空隙がないので、ソリッドステートスイッチによって行われる電気的保護は限定されている。さらに、継電器と同様、ソリッドステートスイッチは特定の電力レベル向けのサイズにされており、したがってスケーラビリティが限定される。
米国特許第6,904,471 B2号公報 米国特許第6,738,246 B1号公報 米国特許第6,563,683 B1号公報 米国特許第5,943,223号公報 米国特許第5,430,597号公報 米国特許第3,496,409号公報 米国特許出願公開第20070173960 A1号公報 米国特許出願公開第20070142938 A1号公報 米国特許出願公開第20070013357 A1号公報 米国特許出願公開第20060202933 A1号公報 米国特許出願公開第20060187688 A1号公報 米国特許出願公開第20050085928 A1号公報 European Search Report for European Application No. 07110554. 8; European Filing Date of October 19, 2007; Mailing Date of October 30, 2007; (6 pgs)
既存のI/Oモジュール技術は意図された目的向けには適切であるが、上記の欠点を克服するスケーラビリティと、電気的故障からの保護をもたらすI/Oモジュールを有するPLCがこの分野には必要である。
中央処理ユニットを有するプログラマブルロジックコントローラが提供される。ディジタル入力/出力インターフェースが中央処理ユニットに作動的に結合される。ディジタル入力/出力インターフェースは少なくとも1つの入力端子と少なくとも1つの出力端子とを有している。超小型電子機械システム(「MEMS」)スイッチが少なくとも1つの入力端子の各々と、少なくとも1つの出力端子の各々とに接続され、入力MEMSスイッチと出力MEMSスイッチとを画成する。各MEMSスイッチはソース接続と、ドレン接続と、ゲート接続とを有している。
プログラマブルロジックコントローラ・インターフェースを有するプログラマブルロジックコントローラ用の入力/出力インターフェースモジュールも提供される。少なくとも1つのインターフェース端子が制御インターフェースに電気的に結合されている。ソース接続と、ドレン接続と、ゲート接続とを有する少なくとも1つのMEMSスイッチがインターフェース端子に接続されている。ゲートドライバがそれぞれのMEMSスイッチに結合され、回路はMEMSスイッチの開離を促進するため、ゲートドライバスイッチに電気的に接続されている。
中央処理ユニットを有するプログラマブルロジックコントローラも提供される。インターフェースモジュールは中央処理ユニットに電気的に結合されている。インターフェースモジュールはさらに、ドレン接続と、ソース接続と、ゲート接続とを有する少なくとも1つの第1のMEMSスイッチを含んでいる。ゲートドライバは第1のMEMSスイッチに作動的に結合され、中央処理ユニットからの第1の論理信号を受信するように電気的に結合されている。
本発明の上記の、およびその他の特徴、態様、および利点は、図面全体を通して同様の符号は同様の部品を示す添付図面を参照した以下の詳細な説明を読むことでより明解に理解されよう。
例示的実施形態は、外部デバイスのディジタル制御を行うのに適した電気的保護をもたすスケーリング可能なインターフェースを有するプログラマブルロジックコントローラ(「PLC」)を提供する。入力/出力インターフェースモジュール(「I/Oモジュール」)は超小型電子機械システム(MEMS)スイッチを含んでいる。MEMSスイッチを使用することによって迅速な応答時間が得られ、さらにPLCのディジタル論理回路と、より高電力の外部回路とのインターフェースが得られる。MEMSスイッチと並列に接続されたハイブリッド・アークレス制限技術(HALT)回路は、電流、電圧に関わらず任意の所定の時点でMEMSスイッチがアーク放電を伴わずに開離される機能を備えている。あるいは、MEMSスイッチと並列の接続されたパルス援用ターンオン(図示せず)回路は、任意の所定の時点でMEMSスイッチがアーク放電を伴わずに閉成される機能を備えている。
図1は、「MEMSスイッチ1」、「MEMSスイッチ2」から「MEMSスイッチn」と呼ばれる複数のMEMSスイッチを有するMEMSベースのスイッチングシステム28を含むI/Oモジュール24、26を有する例示的PLC20のブロック図を示している。入力モジュール24に接続されたMEMSスイッチは本明細書で入力MEMSスイッチと呼ばれ、出力モジュール26に接続されたMEMSスイッチは同様に本明細書で出力MEMSスイッチと呼ばれる。PLC20は入力モジュール24からの信号を受信するように配置された中央処理ユニット(「CPU」)22を含んでいる。入力モジュール24は、例えば外部デバイス、モータコントローラ、または温度センサからの状態を示す信号を受信する。PLC20内の回路は一般的には低電圧、例えば5VDCであり、MEMSスイッチ28は、外部信号をCPU22に接続された論理回路が使用できる形態に変換する。出力モジュール26はCPU22からの信号を受信するように配置されている。出力モジュール26内のMEMSスイッチ28は信号を外部デバイスが利用できる形態に変換し、信号を外部デバイスに送る。本明細書でより詳細に記載するように、I/Oモジュールは外部デバイスと、CPU22に接続された論理回路との間に絶縁障壁を設ける。入力モジュール24と出力モジュール26とは本明細書では明解にするために別個の2つのコンポーネントとして記載されているが、I/Oモジュールを、入力モジュールまたは出力モジュールまたはその組み合わせとして動作するように構成できる単一のコンポーネントとして組み合わせてもよいことを理解されたい。
CPU22は一般的には、マイクロプロセッサ、ランダムアクセスメモリ(「RAM」)および読み出し専用メモリ(「ROM」)を含む特定用途向け集積回路(ASIC)である。ROMはPLC20のオペレーティングシステムを含み、PLCの種類に応じてEPROMまたはフラッシュEPROMのいずれかでよい。RAMはオペレーティングシステムのデータメモリとして、かつオペレータが実行可能コードとしてコンパイルした制御プログラムを記憶するために使用される。CPU22はさらに、ディジタル論理回路内に例えば汎用非同期送受信機、コンディショニング回路、高速カウンタ、ウオッチドッグ回路およびバスインターフェースなどのコンポーネント有している。
図2は例示的なアークレス超小型電子機械システムスイッチ(MEMS)を利用したスイッチングシステム28のブロック図を示す。現在、MEMSとは一般に、例えば機械素子、電子機械素子、センサ、アクチュエータ、および電子素子などの機能的に別個の複数の素子を微細加工技術によって共通の基板上の集積可能なミクロンスケール構造のことである。 しかし、MEMSデバイスで現在利用できる多くの技術および構造は、例えばサイズが100ナノメートル未満であり得る構造など、ナノテクノロジーを利用したデバイスにより僅か数年で利用できるようになることが予測される。したがって、本明細書全体を通して記載されている例示的実施形態はMEMSを利用したスイッチングデバイスと呼ばれていても、実施形態は広義に解釈されるべきであり、マイクロサイズのデバイスに限定されるべきではない。
図2に示すように、アークレスMEMSスイッチングシステム28は、MEMSベースのスイッチング回路30と、消弧回路32とを含むものとして示されており、別称ハイブリッド・アークレス制限テクノロジー(HALT)デバイスとも呼ばれる、消弧回路32はMEMSベースのスイッチング回路30に作動的に結合されている。ある実施形態では、MEMSベースのスイッチング回路30の全体を消弧回路32と共に、例えば単一パッケージ34に統合してもよい。別の実施形態では、MEMSベースのスイッチング回路30のある部品またはコンポーネントを消弧回路32と共に統合してもよい。
現在企図されている構成では、図3を参照して詳細に説明するように、MEMSベースのスイッチング回路30は1つまたは複数のMEMSスイッチを含むことができる。加えて、消弧回路32は平衡ダイオードブリッジおよびパルス回路を含むことができる。さらに、消弧回路32は、MEMSスイッチの閉成から開離への状態変化に応動してMEMSスイッチからの電気エネルギ転送を受けることによって、1つまたは複数の接点間のアーク形成の抑止を促進するように構成することができる。消弧回路32は、交流電流(AC)または直流電流(DC)に応じてアーク形成の抑止を促進するように構成できることを付記しておく。
MEMSスイッチを利用したスイッチング回路30は図3に示すようなMEMSスイッチ36を含むことができる。図示した実施形態では、MEMSスイッチ36は第1の接続38と、第2の接続40と、第3の接続42とを有することが示されている。一実施形態では、第1の接続38はドレンとして構成され、第2の接続40はソースとして構成され、第3の接続42はゲートとして構成されることができる。ゲート接続42はゲートドライバ44に接続されている。ゲートドライバ44は電源供給入力(図示せず)と、CPU22からの信号を受信するように接続され、MEMSスイッチ36の状態を変更する手段を備える制御論理入力46とを含んでいる。MEMSスイッチ36は単一のスイッチとして図示されているが、用途に必要な必要電圧および電流容量を供給するため、並列、直列またはそれらのいずれかの組み合わせで組み合わせてもよいことが理解されよう。例示的実施形態では、MEMSスイッチ28は、所望の外部デバイスとの必要なインターフェースを備えるためにMEMSスイッチを増減できるようにモジュラ配置で構成されている。本明細書で用いられるMEMSスイッチングシステム28は、MEMSスイッチング回路30を組み込んだシステムを示し、そしてこのスイッチング回路はMEMSスイッチ36を組み込んだ回路を示す。
電圧スナバ回路48はMEMSスイッチ36に並列に結合され、以下により詳細に説明するように、迅速な接点分離中の電圧オーバーシュートを制限するように構成できる。ある実施形態では、スナバ回路48はスナバ抵抗器に直列に結合されたスナバコンデンサを含んでいてもよい。スナバコンデンサはMEMSスイッチ36の開離の手順中に過渡電圧の共用の向上を促進することができる。さらに、スナバ抵抗器は、MEMSスイッチ36の閉成中にスナバコンデンサによって生成される電流パルスがあればこれを抑止することができる。ある他の実施形態では、電圧スナバ回路48は、金属酸化物バリスタ(MOV)(図示せず)を含んでいてもよい。
本技術のさらなる態様によれば、負荷回路50をMEMSスイッチ36に直列に結合できる。負荷回路50はさらに、制御され、またはPLC20に信号を送る外部デバイス54を含むことができる。加えて、負荷回路50は電圧源VBUS52を含むことができる。負荷回路50はさらに負荷インダクタンスLLOAD56を含むことができ、ただし負荷インダクタンスLLOAD56は負荷回路50から見た結合された負荷インダクタンスとバスインダクタンスとを表している。負荷回路50はさらに、負荷回路50から見た結合された負荷抵抗を表す負荷抵抗RLOAD58含むことができる。参照番号60は、負荷回路50とMEMSスイッチ36とを流れることができる負荷回路電流ILOADを表している。
さらに、図2を参照して述べたように、消弧回路32は平衡ダイオードブリッジを含むことができる。図示した実施形態では、平衡ダイオードブリッジ62は、第1の分岐64および第2の分岐66を有するものとして示されている。本明細書で使用される「平衡ダイオードブリッジ」という用語は、第1と第2の分岐64、66の双方の両端間の電圧降下がほぼ等しくなるように構成されたダイオードブリッジを示すために用いられる。平衡ダイオードブリッジ62の第1の分岐64は、互いに結合されて第1の直列回路を形成する第1のダイオードD1 68と第2のダイオードD2 70とを含むことができる。同様に、平衡ダイオードブリッジ62の第2の分岐66は、互いに作動的に結合されて第2の直列回路を形成する第3のダイオードD3 72と第4のダイオードD4 74とを含むことができる。
一実施形態では、MEMSスイッチ36は、平衡ダイオードブリッジ62の中間点の両端に並列接続されてもよい。平衡ダイオードブリッジ62の中間点は、第1と第2のダイオード68、70の間に位置する第1の中間点と、第3と第4のダイオード72、74の間に位置する第2の中間点とを含むことができる。さらに、MEMSスイッチ36と平衡ダイオードブリッジ62とは、平衡ダイオードブリッジ62によって、特にMEMSスイッチ36への接続によって生ずる寄生インダクタンスの最小限化を促進するために密にパッケージすることができる。本技術の例示的態様によれば、後に詳述するMEMSスイッチ36のターンオフ中に、負荷電流のダイオードブリッジ62への電流伝達を搬送する際に、MEMSスイッチ36と平衡ダイオードブリッジ62との間の固有インダクタンスがMEMSスイッチ36のドレン38およびソース40の両端間の電圧よりも数パーセント低いdi/dt電圧を生成するように、MEMSスイッチ36および平衡ダイオードブリッジ62が互いに位置決めされることを付記しておく。一実施形態では、MEMSスイッチ36とダイオードブリッジ62とを相互に接続するインダクタンスを最小限にする意図で、MEMSスイッチ36は平衡ダイオードブリッジ62と共に単一のパッケージ、または必要なら同じダイ内に統合されてもよい。
加えて、消弧回路32は、平衡ダイオードブリッジ62と作動的な関係で結合されたパルス回路76を含むことができる。パルス回路76を、切り換え状態を検知し、切り換え状態に応じてMEMSスイッチ36の開離を開始するように構成できる。本明細書で用いられる「切り換え状態」という用語は、MEMSスイッチ36の現在の動作状態の変化を誘発する状態を意味する。例えば、切り換え状態は、MEMSスイッチ36の第1の閉状態が第2の開状態に変化し、またはMEMSスイッチ36の第1の開状態が第2の閉状態に変化することができる。切り換え状態は、回路の故障またはCPU22からのON/OF要求を含むが、それに限定されない幾つかの動作に応動して生ずることができる。
パルス回路76は、パルススイッチ78、およびパルススイッチ78に直列に結合されたパルスコンデンサCPULSE80を含むことができる。さらに、パルス76回路は、パルスインダクタンスLPULSE82およびパルススイッチ78に直列に接続された第1のダイオードD84を含むことができる。パルスインダクタンスLPULSE82、ダイオードD84、パルススイッチ78およびパスルコンデンサ80は直列に結合されて、パルス回路76の第1の分岐を形成することができ、パルス電流成形およびタイミングを促進するように第1の分岐のコンポーネントを構成してもよい。さらに、参照番号86は、パルス回路76を流れることができるパルス回路電流IPULSEを表している。
例示的実施形態の態様によれば、MEMSスイッチ36は、ゼロに近い電圧ではあるが電流を搬送しつつ、第1の閉状態から第2の開状態へと切り換えることができる。これは、負荷回路50と、MEMSスイッチ36の接点と並列に結合された平衡ダイオードブリッジ62を含むパルス回路76との複合動作によって達成できる。
図4を参照すると、例示的な実施形態の入力モジュール24が示されている。入力モジュール24は前述のように、負荷回路50、ダイオード回路62、およびパルス回路76と直列に結合されたMEMSスイッチ36を含んでいる。入力モジュールは負荷回路50からの信号を受け、負荷信号をPLC20のディジタル論理回路で使用するように変換する。この実施形態では、電圧検出回路90がMEMSスイッチ36のソース40およびドレン38の端子に結合されている。参照番号92は、負荷回路50を流れることができる電位VLOADを表している。電位92は、例えば温度センサまたはロードセルなどの外部デバイス54により生成される信号を表している。電圧センサ90は、例えばPLC20の背面を経て入力モジュール24をCPU22に接続する端子ブロック96に結合されている。端子ブロック96は、各々が個々のMEMSスイッチ回路28に接続するのに適した複数の端子を有している。
電圧センサは、例えばMEMSスイッチ36の両端間に生ずる予測電圧範囲を測定可能な高抵抗電流計などのいずれかの適宜の電圧測定回路であってよい。電圧回路90は、CPU22のディジタル論理回路に適する電圧信号VDIGITALを生成する。参照番号94はCPU22に送信される電圧信号VDIGITALを表している。例示的実施形態では、電圧信号94は負荷電圧92に比例し、−5VDC〜+5VDCの範囲を有している。前述のように、CPU22には電圧信号94に応動し、信号で示される状態に基づいて命令を実行し、これに応答して出力データ信号を生成する。
次に図5を参照して、出力モジュール26の例示的実施形態を説明する。入力信号94に応答してCPU22は制御命令を実行して出力応答を行い、入力状態が検出、または測定されるとシステムのオペレータが希望するように、例えばモータをオンに切り換える。出力信号は参照番号100で表わされる。出力信号100はCPU22から出力モジュール26内の端子ブロック98に送信される。出力モジュールは、例えば背面を経てPLC20に結合されている。
出力モジュール26は、図3を参照して前述したように、ダイオードブリッジ62とパルス回路76とに結合されたMEMSスイッチ36を有するMEMSベースのスイッチングシステム28を含んでいる。例示的実施形態では、MEMSスイッチ36は外部デバイス102と直列に結合され、電力を外部デバイス102に接続し、ここから遮断するように配置されている。出力モジュール26は異なる種類の外部デバイスの異なる多くの用途に利用でき、外部デバイスに電力を接続し、そこから遮断する機能は、例示目的のためであり、限定的なものではないことを理解されたい。
出力信号100は端子ブロック98を介してCPU22によって送信され、ゲートドライバ制御回路46によって受信される。出力信号100の性質に応じて、ゲートドライバ44はゲート接続42を不勢または除勢し、MEMSスイッチ36をそれぞれ閉成、または開離させる。MEMSスイッチ36が閉じている場合は、電力は電源104から外部デバイス102に流れることができる。MEMSスイッチ36が開離している場合は、外部デバイス102への電力は遮断される。前述のように、MEMSスイッチは、MEMSベースのスイッチングシステム28またはCPU22のディジタル論理回路を損傷することがある不都合な電気的状態からMEMSスイッチを利用したスイッチングシステム28およびPCL20を保護するために回路に統合された消弧回路32を有することができる。
入力モジュール24および出力モジュール26をPLC20に結合された別個のコンポーネントとして記載してきたが、それは例示目的、およびモジュール24、26の説明を補助するためであることに留意されたい。入力/出力モジュール24、26は、例えば背面を経てPLC20に結合された単一のコンポーネントに組み込んでもよい。さらに、MEMSベースの個々のスイッチングシステム28を、入力および出力の双方のインターフェース機能を設けるように構成して、製造工程で、またはその用途の現場で事後変更できるようにしてもよい。入力インターフェースから出力インターフェースへの変更は、例えばデイップスイッチなどのハードウエアによって、またはCPU22で実行される制御コードを介して達成できる。MEMSベースのスイッチングシステム28を再構成可能であることにより、再構成を達成するには専用のハードウエアを交換する必要がある既存のI/Oモジュールに対してコストおよび据え付け時間の利点が得られる。
ここで、例示的実施形態の対応による出力モジュール26用の例示的ソフトスイッチングシステム106のブロック図を示す図6を参照する。図6に示すように、ソフトスイッチングシステム106は互いの作用的に結合されたスイッチング回路30、検出回路108、および制御回路110を含んでいる。検出回路108をスイッチング回路30に結合され、外部デバイスに接続された負荷回路内の交流電源電圧(以下「ソース」電圧と言う)、または負荷回路の交流電流(以下「負荷回路電流」と言う)のゼロ交差の発生を検出するように構成できる。制御回路110はスイッチング回路30および検出回路108に結合でき、交流ソース電圧または交流負荷電流の検出されたゼロ交差に応答してスイッチング回路30内の1つまたは複数のスイッチのアークを発生しない切換えを促進するように構成できる。一実施形態では、制御回路110を、スイッチング回路30の少なくとも一部を備える1つまたは複数のMEMSスイッチのアークを発生しない切換えを促進するように構成できる。
例示的実施形態の1つの態様によれば、ソフトスイッチングシステム106をソフト、すなわちポイントオンウェーブ(PoW)スイッチングを実施するように構成でき、それによってスイッチング回路30内の1つまたは複数のMEMSスイッチは、スイッチング回路30の両端間の電圧がゼロ、またはゼロに極めて近い場合は閉成され、スイッチング回路30を流れる電流がゼロまたはゼロに近い場合は開離されることができる。スイッチング回路30の両端間の電圧がゼロ、またはゼロに極めて近い場合にスイッチが閉成されることによって、複数のスイッチが全て同時に閉じないとしても、スイッチが閉じる際に1つまたは複数のMEMSスイッチの接点間の電界を低く保つことにより、プレストライク・アーク発生を回避することができる。同様に、スイッチング回路30を流れる電流がゼロまたはゼロに近い場合にスイッチを一度に開離することによって、スイッチング回路30内の最後のスイッチを開く電流がスイッチの設計容量内にあるようにソフトスイッチングシステム106を設計できる。上記に示唆したように、また一実施例によれば、制御回路110は、スイッチング回路30の1つまたは複数のMEMSスイッチの開閉が交流ソース電圧または交流負荷回路電流のゼロ交差の発生と同期するように構成できる。
図3、図4、および図5は説明目的でMEMSスイッチ36を単一のスイッチとして図示しているが、MEMSスイッチ36は例えばソフトスイッチングシステム106の電流および電圧処理の必要性に応じて1つまたは複数のMEMSスイッチを含んでいてもよい。一実施形態では、スイッチング回路30はさらに、電流をMEMSスイッチ間で分流するために並列構成で互いに結合された複数のMEMSスイッチモジュールを含んでいてもよい。さらに別の実施形態では、スイッチング回路30の1つまたは複数のMEMSスイッチを単一のパッケージに統合してもよい。
次に図7を参照すると、図6のソフトスイッチングシステム106の一実施形態の概略図112が示されている。図示した実施形態によれば、概略図112はスイッチング回路30、検出回路108、および制御回路110の一実施例を含んでいる。さらに説明する目的で、各MEMSスイッチ36を、図3を参照して記載したMEMSスイッチに関連して記載する。一実施形態では、制御回路108は、MEMSスイッチ36の電流状態の切り換えを促進するため、制御論理入力46を介してゲートドライバ44に結合することができる。
加えて、図7にさらに示すように、MEMSスイッチ36を負荷回路50と直列に結合できる。現在企図される構成では、外部制御デバイス54に接続する負荷回路50は電圧源VSOURCE52を含むことができ、かつ代表的な付加インダクタンスLLOAD56と負荷抵抗RLOAD58とを有することができる。一実施形態では、(AC電圧源とも言われる)電圧源VSOURCE52を、交流ソース電圧および交流負荷電流ILOAD60を生成するように構成してもよい。
前述のように、検出回路108を、負荷回路50内の交流ソース電圧または交流負荷電流ILOAD60のゼロ交差の発生を検出するように構成できる。交流ソース電圧は電圧検出回路114を介して検出でき、交流負荷電流ILOAD60は電流検出回路116を介して検出できる。交流ソース電圧および交流負荷電流は例えば継続的に、または個々の周期で検出できる。
ソース電圧のゼロ交差を、例えば図示したゼロ電圧比較器118などの比較器を使用して検出できる。電圧検出回路114、およびゼロ電圧基準120によって検出された電圧を、ゼロ電圧比較器116への入力として使用できる。言い換えると、負荷回路50のソース電圧のゼロ交差を表す出力信号122を生成できる。同様に、図示したゼロ電流比較器124などの比較器を使用することによって、負荷電流ILOAD60のゼロ交差も検出できる。電流検出回路116とゼロ電流基準126とによって検出された電流は、ゼロ電流比較器124への入力として使用できる。言い換えると、負荷電流ILOAD60のゼロ交差を表す出力信号128を生成できる。
言い換えると制御回路110は、MEMSスイッチ36の現在の動作状態(例えば開または閉)をいつ変更するかを決定するために出力信号122および128を使用できる。より具体的には、交流負荷電流ILOAD60の検出されたゼロ交差に応動して、負荷回路50を遮断または開離するためにMEMSスイッチ36の開離を促進するように制御回路110を構成できる。加えて、交流ソース電圧の検出されたゼロ交差に応動して、負荷回路50を完結するためにMEMSスイッチ36の閉成を促進するように電圧制御回路110を構成できる。
一実施形態では、制御回路110は、MEMSスイッチ36の現在の動作状態をCPU22から送信されたイネーブル信号130の状態に応じて少なくとも部分的に第2の動作状態に切換えるか否かを決定することができる。イネーブル信号130は、例えば電源オフ指令の結果として生じ得る。一実施形態では、イネーブル信号130と出力信号122および128を、図示のようにデュアルD型フリップフロップ132への入力信号として使用できる。これらの信号を、イネーブル信号130が能動状態にされた後(例えば立ち上がりエッジでトリガされた後)の最初のソース電圧ゼロの時点でMEMSスイッチ36を閉じ、イネーブル信号130が非能動状態にされた後(例えば立下りエッジでトリガされた後)の最初の負荷電流ゼロの時点でMEMSスイッチ36を開くために使用できる。図7に示された概略図112に関しては、イネーブル信号130が能動状態(特定の実装に応じてハイまたはロー)にあり、出力信号122または128のいずれかが検出された電圧、または電流がゼロであることを示す場合は常にトリガ信号134を生成できる。一実施形態では、トリガ信号134を、例えばNORゲート136を介して生成できる。翻って、トリガ信号134はゲート起動信号140を生成するためにドライバ138に送られることができ、この信号はMEMSスイッチ36内のゲートドライバ44の制御論理入力46に制御電圧を印加するために使用できる。
前述のように、特定の用途向けに所望の定格電圧を達成するため、MEMSスイッチ36を他のMEMSスイッチと直列に作動的に結合できる。個々の各MEMSスイッチ36はホールドオフ電圧と言われる電気特性を有している。これは、MEMSスイッチ内にある静電力の影響下でMEMSスイッチの状態が開から閉に変更され、または閉から開に変更される電圧である。一般的なMEMSスイッチのホールドオフ電圧は約100Vである。しかし、ある実施形態では、例えば400Vなどのより高い電圧で動作することが望ましい。MEMSスイッチ36は直列に配置されているので、このスイッチ対のホールドオフ電圧は各MEMSスイッチのホールドオフ電圧の合計に等しい。スイッチのホールドオフ電圧が同一である場合、例えば100Vである場合は、MEMSスイッチ36のホールドオフ電圧は例えば2X、すなわち200Vであろう。
MEMSスイッチ36は、付加的な電流搬送容量を付与するためにMEMSスイッチ36と並列に配置される付加的なMEMSスイッチを含んでいてもよいことを理解されたい。MEMSスイッチの複合された機能は、ホールドオフ電圧を高めることと、負荷回路が受ける連続的かつ過渡的な過負荷電流レベルを適切に搬送することの両方のために設計できる。例えば、6倍の過渡的過負荷を有する10アンペアのRMSモータのコンデンサの場合、10秒間にわたり60アンペアのRMSを搬送するために十分な並列に結合されたスイッチが必要であろう。5マイクロ秒以内に電流ゼロに達するMEMSスイッチを切換えるためにポイントオンウエーブ・スイッチングを使用すると、接点の開離時に160ミリアンペアが瞬間的に流れよう。したがって、各MEMSスイッチは160ミリアンペアを「ウォームスイッチング」できることが必要であり、60アンペアを搬送するために十分な数のこれらのMEMSスイッチを並列に配置する必要があろう。これに対して、単一のMEMSスイッチは、スイッチングの瞬間に流れる電流の量またはレベルを遮断可能である必要があろう。
しかし、例示的実施形態は交流電流および/または制限波形のアーク放電を生じないスイッチングに限定されない。図8に示すように、例示的実施形態は、自然に発生するゼロ交差がない直流電流および/または複数の直流電流のアークレススイッチングにも応用できる。図8に示すように、例示的実施形態は自然発生のゼロ交差なく、直流電流および/または複数の直流電流のアークレススイッチングにも利用できる。
図8は、例示的実施形態による例示的MEMSスイッチを使用したスイッチングシステム142のブロック図を示している。図8に示すように、アークレスのMEMSベースのスイッチングシステム142は、MEMSベースのスイッチング回路144と、消弧回路146とを含むものとして示されており、例えばHALTおよびPATO回路などの消弧回路146はMEMSを利用してスイッチング回路144に作動的に結合されている。ある実施形態では、MEMSベースのスイッチング回路144の全体を消弧回路146と共に例えば単一のパッケージ148内に統合してもよい。別の実施形態では、MEMSベースのスイッチング回路144のある部分またはコンポーネントだけを消弧回路146と統合してもよい。
MEMSベースのスイッチング回路144は1つまたは複数のMEMSスイッチを含むことができる。加えて、消弧回路146は平衡ダイオードブリッジおよびパルス回線および/またはパルス回路を含んでいてもよい。さらに、消弧回路146を、MEMSスイッチの閉から開への(または開から閉への)状態変化に応答してMEMSスイッチから電気エネルギの伝達を受けることによって、1つまたは複数のMEMSスイッチの接点間でのアーク放電の形成の抑止を促進するように構成してもよい。消弧回路146を、交流電流(AC)、または直流電流(DC)に応答してアーク放電形成の抑止を促進するように構成できることを付記しておく。
しかし、例示的実施形態は単一のMEMSスイッチ対を含むI/Oモジュールに限定されない。例えば、単一のMEMSスイッチ対と比較して異なる電圧定格または異なる電流処理能力を達成するために複数のMEMSスイッチを使用してもよい。例えば、前述のように、増大した電流処理能力を達成するために、複数のMEMSスイッチを並列に接続してもよい。同様に、より高い電圧定格を達成するために、複数のMEMSスイッチを直列に接続してもよい。さらに、所望の電圧定格および電流処理能力を達成するため、複数のMEMSスイッチを直列と並列の接続の組み合わせを含む回路網内に接続してもよい。このような組み合わせは全て例示的実施形態の範囲に含まれるものである。次に図9を参照すると、複数のMEMSスイッチを有する出力モジュール26の例示的構成が示されている。
図9は、例示的実施形態により構成された出力モジュール26を有するPLC20のブロック図である。図9に示すように、MEMSベースの2つのスイッチングシステム150、152が端子ブロック98および負荷回路154、156にそれぞれ接続されている。負荷回路154、156は、システムのオペレータが制御したい外部デバイスに各々接続されている。MEMSベースの第3のスイッチングシステム160は外部回路166上の信号を測定するように接続されている。CPU22は、MEMSベースのスイッチングシステム160を介して受信した入力信号に応答して、MEMSベースのスイッチングシステム150、152を各々別個に起動することができる。
図9に示すように、MEMSベースのスイッチングシステム150は端子ブロック98の端子1に結合されている。MEMSベースのスイッチングシステム150は、負荷回路154が必要とするより高い電圧スタンドオフ性能を付与するようにMEMSスイッチ158のアレイが直列に接続されて配置されている。MEMSベースのスイッチングシステム152は端子ブロック98内の端子2に接続されている。MEMSベースのスイッチングシステム152は、より高電流の用途で使用できるように、並列に結合されたMEMSスイッチ160のアレイを組み込んでいる。PLCは、各々が端子ブロック98上の端子に接続された出力モジュール26上に複数のMEMSベースのスイッチングシステム150、152を有することができる。これらのそれぞれのMEMSベースのスイッチングシステムは各々、本明細書に記載のようにCPU22によって別個に制御される。
MEMSベースの第3のスイッチングシステム160は外部回路に166からの信号を受信するように配置されている。本明細書に記載のように、MEMSスイッチ164は、信号を電圧センサ168によって測定された電圧として受信する。電圧センサ168は、ディジタル信号をMEMSベースのスイッチングシステム160からCPU22に送信できるようにする端子ブロック98内に端子「n−1」に接続されている。MEMSベースの第3のスイッチングシステム160は、前述と同様に直列または並列に配置された複数のMEMSスイッチ164を含むことができることが理解されよう。
したがって、本明細書に記載のPLC20は、少なくとも1つのMEMSスイッチが内部に配置された電流経路と一体に配置された制御回路と、少なくとも1つのMEMSスイッチのアークレス開離を促進する少なくとも1つのMEMSスイッチと並列に接続されたHALT回路と、少なくとも1つのMEMSスイッチのアークレス閉成を促進する少なくとも1つのMEMSスイッチと並列に接続されたPATO回路とを含むことができる。
さらに、例示的実施形態は電流経路を導通する電流を制御する方法を提供する。例えば、この方法は、電流経路の開離を促進するために電気エネルギを少なくとも1つのMEMSスイッチから、少なくとも1つのMEMSスイッチと並列に接続されたHALT回路へと転送するステップを含むことができる。この方法はさらに、電流経路の閉成を促進するために電気エネルギを少なくとも1つのMEMSスイッチから、少なくとも1つのMEMSスイッチと並列に接続されたPATO回路へと転送するステップを含むことができる。したがって、例示的実施形態はさらに、アークレス電流制御デバイスと、アークレス電流制御方法とを提供することができる。
さらに、本明細書ではMEMSスイッチと、例えばHALTまたはPATIO回路などの消弧回路との組み合わせを記載しているが、このような保護を必要としない用途もある。例えば−5VDCから+5VDCの論理回路で動作することを意味するディジタルデバイスをモニタし、制御するためにPLC20が使用される用途では、このような保護回路は不要である。したがって、これらの用途では、コストを節減し、I/Oモジュールのサイズを縮減するために消弧回路は除去してもよい。
この記載要件は最良の形態を含む本発明を開示し、さらに当業者がいずれかのデバイスまたはシステムを製造および使用し、組み込まれた方法を実施することを含め、本発明を実施することができるような実施例を用いている。本発明の特許可能な範囲はクレームによって決定されるものであり、当業者によって生ずる他の実施例を含んでもよい。このような他の実施例は、クレームの文言と異ならなければ、またはクレームの文言とほとんど違わない等価の構造要素を含んでいれば、クレームの範囲内に含まれるものである。さらに、第1の、第2のなどの用語の使用は、何ら順番や重要度を示すものではなく、第1の、第2のなどの用語はむしろ1つの要素を別の要素と区別するために用いられている。さらに、a、anなどの冠詞の使用は量の限定性を示すものではなく、むしろ少なくとも1つの関連品目が存在することを示すものである。
例示的実施形態によるMEMSベースのスイッチングシステムを有するI/Oモジュールを有する例示的PLCのブロック図である。 例示的実施形態による例示的なMEMSベースのスイッチングシステムのブロック図である。 図2に示した例示的なMEMSスイッチを示す概略図である。 図1に示した例示的実施形態による例示的なMEMSベースのスイッチングシステムの入力インターフェースモジュールの概略図である。 図3に示した例示的なMEMSベースのスイッチングシステムの出力インターフェースモジュールの概略図である。 例示的実施形態による例示的なMEMSベースのスイッチングシステムのブロック図である。 例示的実施形態による、かつ図5に示したシステムの代替実施形態による例示的なMEMSベースのスイッチングシステムの出力インターフェースモジュールの概略図である。 例示的実施形態による電気的故障保護機能を有するMEMSベースのスイッチングシステムのブロック図である。 例示的実施形態による直列および並列に配置されたMEMSベースのスイッチングシステムのアレイを有するPLCのブロック図である。
符号の説明
20 プログラマブルロジックコントローラ(PLC)
22 中央処理ユニット
24 I/O入力モジュール
26 I/O出力モジュール
28 MEMSベースのスイッチングシステム
30 MEMSベースのスイッチング回路
32 消弧回路
34 単一パッケージ
36 MEMSスイッチ
38 第1の接続(ドレン)
40 第2の接続(ソース)
42 第3の接続(ゲート)
44 ゲートドライバ
46 制御論理入力
48 電圧スナバ回路
50 負荷回路
52 電圧源
54 外部デバイス
56 負荷インダクタンス
58 負荷抵抗
60 負荷回路電流
62 平衡ダイオードブリッジ
64 第1の分岐
66 第2の分岐
68 第1のダイオード
70 第2のダイオード
72 第3のダイオード
74 第4のダイオード
76 パルス回路
78 パルススイッチ
80 パルスコンデンサ
82 パルスインダクタンス
84 第1のダイオード
86 パルス回路電流
90 電圧検出回路
92 電位
94 電圧信号
96 端子ブロック
100 出力信号
102 外部デバイス
104 電圧源
106 ソフトスイッチングシステム
108 検出回路
110 制御回路
112 概略図
114 電圧検出回路
116 電流検出回路
118 ゼロ電圧比較器
120 ゼロ電圧基準
122 出力信号
124 ゼロ電流比較器
126 ゼロ電流基準
128 出力信号
130 イネーブル信号
132 デュアルDフリップフロップ
134 トリガ信号
136 MEMSスイッチ
138 ドライバ
140 ゲート起動信号
142 MEMSベースのスイッチングシステム
144 MEMSベースのスイッチング回路
146 消弧回路
148 単一パッケージ
150 MEMSベースのスイッチングシステム
152 MEMSベースのスイッチングシステム
154 負荷回路
156 負荷回路
158 MEMSスイッチのアレイ
160 第3のMEMSベースのスイッチングシステム
164 MEMSスイッチ
166 外部回路

Claims (10)

  1. プログラマブルロジックコントローラであって、
    中央処理ユニット(22)と、
    前記中央処理ユニット(22)に結合され、少なくとも1つの入力端子と少なくとも1つの出力端子とを有するディジタル入力/出力インターフェース(24)と、
    前記少なくとも1つの入力端子の各々と、前記少なくとも1つの出力端子の各々とに接続されることにより入力MEMSスイッチ(28)と出力MEMSスイッチ(28)とを画成し、各MEMSスイッチ(28)がソース接続(40)と、ドレン接続(38)と、ゲート接続(42)とを有する超小型電子機械システム(「MEMS」)スイッチ(28)と、を備えるプログラマブルロジックコントローラ。
  2. 各MEMSスイッチ(28)が、それぞれのゲート接続(42)に結合されたゲートドライバ(44)をさらに備える、請求項1に記載のプログラマブルロジックコントローラ。
  3. 前記出力MEMSスイッチ(28)の前記ゲートドライバ(44)が、前記出力MEMSスイッチ(28)の開離を電気的に促進するドライバ回路(30)に結合される、請求項2に記載のプログラマブルロジックコントローラ。
  4. 前記入力MEMSスイッチ(28)の各々が、前記スイッチ(28)の両端間の電圧を検出する検出回路(114)に結合される、請求項3に記載のプログラマブルロジックコントローラ。
  5. プログラマブルロジックコントローラ用の入力/出力インターフェースモジュールであって、
    プログラマブルロジックコントローラ・インターフェース(24)と、
    前記コントローラインターフェースに電気的に結合された少なくとも1つのインターフェース端子と、
    前記インターフェース端子に接続され、ソース接続(40)と、ドレン接続(38)と、ゲート接続(42)とを有する少なくとも1つのMEMSスイッチ(28)と、
    前記MEMSスイッチ(28)の各々に結合されたゲートドライバ(44)と、
    前記ゲートドライバ(44)に電気的に接続され、前記出力MEMSスイッチ(28)の開離を促進する回路(30)とを備える入力/出力インターフェースモジュール。
  6. 前記ゲートドライバ(44)が前記コントローラインターフェースに電気的に結合される、請求項5に記載のプログラマブルロジックコントローラ用入力/出力インターフェースモジュール。
  7. 前記MEMSスイッチ(28)が、複数のMEMSスイッチ(158)を有するアレイである、請求項6に記載のプログラマブルロジックコントローラ用入力/出力インターフェースモジュール。
  8. 前記回路がHALT回路(32)である、請求項6に記載のプログラマブルロジックコントローラ用入力/出力インターフェースモジュール。
  9. 前記HALT回路(32)が、前記MEMSスイッチ(28)の閉成から開離への状態変化に応動して、前記MEMSスイッチ(28)からの電気エネルギ転送を受けるように構成された、請求項8に記載のプログラマブルロジックコントローラ用入力/出力インターフェースモジュール。
  10. 前記MEMSスイッチ(28)に電気的に結合され、前記MEMSスイッチ(28)が開位置にある場合は、前記MEMSスイッチのソース(40)とドレン(38)との間の電圧を測定するように配置された検出回路(90)をさらに備える、請求項6に記載のプログラマブルロジックコントローラ用入力/出力インターフェースモジュール。
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