JP6818751B2 - Curable composition, cured film, color filter, light-shielding film, solid-state image sensor, image display device, method for producing cured film, and polyfunctional thiol compound. - Google Patents

Curable composition, cured film, color filter, light-shielding film, solid-state image sensor, image display device, method for producing cured film, and polyfunctional thiol compound. Download PDF

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Description

本発明は、硬化性組成物、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法、及び、多官能チオール化合物に関する。 The present invention relates to a curable composition, a cured film, a color filter, a light-shielding film, a solid-state image sensor, an image display device, a method for producing a cured film, and a polyfunctional thiol compound.

画像表示装置に用いられるカラーフィルタには着色画素間の光を遮蔽し、コントラストを向上させる等の目的で、ブラックマトリクスと呼ばれる遮光膜が備えられている。
また、固体撮像素子においてもノイズ発生防止、及び、画質の向上等を目的として遮光膜が設けられている。現在、携帯電話及びPDA(Personal Digital Assistant)等の電子機器の携帯端末には、小型で薄型な撮像ユニットが搭載されている。このような撮像ユニットは、一般に、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ及びCMOS(Complementary Metal−Oxide Semiconductor)イメージセンサ等の固体撮像素子と、固体撮像素子上に被写体像を形成するためのレンズと、を備えている。
The color filter used in the image display device is provided with a light-shielding film called a black matrix for the purpose of shielding light between colored pixels and improving contrast.
Further, the solid-state image sensor is also provided with a light-shielding film for the purpose of preventing noise generation and improving image quality. Currently, mobile terminals of electronic devices such as mobile phones and PDAs (Personal Digital Assistants) are equipped with a small and thin imaging unit. Such an image pickup unit generally includes a solid-state image sensor such as a CCD (Charge Coupled Device) image sensor and a CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor) image sensor, a lens for forming a subject image on the solid-state image sensor, and the like. It has.

特許文献1には、「画像表示装置における、画素を分離する隔壁を形成するための感光性樹脂組成物であって、感光性樹脂組成物が、(A)成分として分子内にカルボキシル基を有するバインダーポリマーと、(B)成分として光重合性化合物と、(C)成分として光重合開始剤と、(D)成分としてメルカプト基を有する化合物と、(E)成分として黒色顔料とを含有する感光性樹脂組成物。」が記載されている。 Patent Document 1 states, "A photosensitive resin composition for forming a partition wall for separating pixels in an image display device, wherein the photosensitive resin composition has a carboxyl group in the molecule as a component (A). Photosensitivity containing a binder polymer, a photopolymerizable compound as a component (B), a photopolymerization initiator as a component (C), a compound having a mercapto group as a component (D), and a black pigment as a component (E). Sexual resin composition. ”Is described.

特開2014−41188号公報JP-A-2014-41188

本発明者は、特許文献1に記載された感光性樹脂組成物を支持体上に塗布し、得られた感光性樹脂組成物層を露光して硬化膜を作製したところ、露光感度にさらなる改善の余地があることを知見した。具体的には、特許文献1に記載された感光性樹脂組成物は、より微細なパターン形状を得ようとすると、露光に必要なエネルギーが大きくなるという問題があることを知見した。
また、本発明者は、上記の方法により得られた硬化膜について検討したところ、支持体(以下「基板」ともいう。)との密着性にさらなる改善の余地があることもまた知見した。
The present inventor applied the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 on a support, exposed the obtained photosensitive resin composition layer to prepare a cured film, and further improved the exposure sensitivity. It was found that there is room for. Specifically, it has been found that the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 has a problem that the energy required for exposure increases when trying to obtain a finer pattern shape.
Further, when the present inventor examined the cured film obtained by the above method, he also found that there is room for further improvement in the adhesion to the support (hereinafter, also referred to as “substrate”).

そこで、本発明は、優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有する硬化膜を得ることができる、硬化性組成物を提供することを課題とする。
また、本発明は、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法、及び、多官能チオール化合物を提供することを課題とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a curable composition capable of obtaining a cured film having excellent exposure sensitivity and excellent adhesion to a support.
Another object of the present invention is to provide a cured film, a color filter, a light-shielding film, a solid-state image sensor, an image display device, a method for producing a cured film, and a polyfunctional thiol compound.

本発明者は、上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、所定の多官能チオール化合物を含有する硬化性組成物が上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、以下の構成により上記課題を達成することができることを見出した。
As a result of diligent studies to achieve the above problems, the present inventor has found that a curable composition containing a predetermined polyfunctional thiol compound can solve the above problems, and has completed the present invention.
That is, it was found that the above problem can be achieved by the following configuration.

[1] 多官能チオール化合物と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する硬化性組成物であって、多官能チオール化合物が、2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する硬化性組成物。
[2] 多官能チオール化合物が、式(1)で表される化合物である、[1]に記載の硬化性組成物。
[3] 多官能チオール化合物が、式(2)で表される化合物である、[1]又は[2]に記載の硬化性組成物。
[4] mが3〜14の整数である、[2]又は[3]に記載の硬化性組成物。
[5] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種である、[1]〜[4]のいずれかに記載の硬化性組成物。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又はアルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表す。
[6] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、[1]〜[5]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[7] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、[1]〜[6]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[8] 更に着色剤を含有する、[1]〜[7]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[9] 着色剤が黒色顔料を含有する、[8]に記載の硬化性組成物。
[10] 光重合開始剤がオキシム化合物である[1]〜[9]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[11] [1]〜[10]のいずれかに記載の硬化性組成物を硬化して得られる、硬化膜。
[12] [11]に記載の硬化膜を含有する、カラーフィルタ。
[13] [11]に記載の硬化膜を含有する、遮光膜。
[14] [11]に記載の硬化膜を含有する、固体撮像素子。
[15] [11]に記載の硬化膜を含有する、画像表示装置。
[16] [1]〜[10]のいずれかに記載の硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成する、硬化性組成物層形成工程と、硬化性組成物層を露光する、露光工程とを含有する硬化膜の製造方法。
[17] 硬化性組成物層形成工程が、支持体上に硬化性組成物を直接塗布して、支持体上に硬化性組成物層を形成する工程を含む、[16]に記載の硬化膜の製造方法。
[18] 更に、露光された硬化性組成物層を現像する、現像工程と、現像した硬化性組成物層を洗浄する、洗浄工程とを含有する、[16]又は[17]に記載の硬化膜の製造方法。
[19] 2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する、多官能チオール化合物。
[20] 式(1)で表される化合物である、[19]に記載の多官能チオール化合物。
[21] 式(2)で表される化合物である、[19]又は[20]に記載の多官能チオール化合物。
[22] mが3〜14の整数である、[20]又は[21]に記載の多官能チオール化合物。
[23] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種である、[19]〜[22]のいずれかに記載の多官能チオール化合物。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表す。
[24] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、[19]〜[23]のいずれかに記載の多官能チオール化合物。
[1] A curable composition containing a polyfunctional thiol compound, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator, wherein the polyfunctional thiol compound has two or more thiol groups and is different from each other. A curable composition containing an active group.
[2] The curable composition according to [1], wherein the polyfunctional thiol compound is a compound represented by the formula (1).
[3] The curable composition according to [1] or [2], wherein the polyfunctional thiol compound is a compound represented by the formula (2).
[4] The curable composition according to [2] or [3], wherein m is an integer of 3 to 14.
[5] An interacting group different from the thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, an aryl group, -Si (R X) p ( R Y) 3-p , and, - at least one selected from the group consisting of (oR a) q -R Z, [1] ~ [ 4] The curable composition according to any one of.
Incidentally, p is an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolyzable group, R Y represents a monovalent organic group excluding a hydrolyzable group, p number of R X, and 3-p number of R Y are each be the same or different. Further, R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, and RA represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms.
[6] Interacting groups different from thiol groups are hydroxyl groups, amino groups, pyridinyl groups, pyridinium groups, ammonium groups, phosphonium groups, carboxylic acid groups or salts thereof, phosphoric acid groups or salts thereof, and sulfonic acid groups. The curable composition according to any one of [1] to [5], which is at least one selected from the group consisting of or salts thereof.
[7] An interacting group different from the thiol group is selected from the group consisting of a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group or a salt thereof. The curable composition according to any one of [1] to [6], which is at least one kind.
[8] The curable composition according to any one of [1] to [7], which further contains a colorant.
[9] The curable composition according to [8], wherein the colorant contains a black pigment.
[10] The curable composition according to any one of [1] to [9], wherein the photopolymerization initiator is an oxime compound.
[11] A cured film obtained by curing the curable composition according to any one of [1] to [10].
[12] A color filter containing the cured film according to [11].
[13] A light-shielding film containing the cured film according to [11].
[14] A solid-state imaging device containing the cured film according to [11].
[15] An image display device containing the cured film according to [11].
[16] A curable composition layer forming step of forming a curable composition layer on a support using the curable composition according to any one of [1] to [10], and a curable composition layer. A method for producing a cured film, which comprises an exposure step.
[17] The cured film according to [16], wherein the curable composition layer forming step includes a step of directly applying the curable composition onto the support to form a curable composition layer on the support. Manufacturing method.
[18] The curing according to [16] or [17], further comprising a developing step of developing the exposed curable composition layer and a washing step of washing the developed curable composition layer. Method of manufacturing the film.
[19] A polyfunctional thiol compound containing two or more thiol groups and an interacting group different from the thiol group.
[20] The polyfunctional thiol compound according to [19], which is a compound represented by the formula (1).
[21] The polyfunctional thiol compound according to [19] or [20], which is a compound represented by the formula (2).
[22] The polyfunctional thiol compound according to [20] or [21], wherein m is an integer of 3 to 14.
[23] An interacting group different from the thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, an aryl group, -Si (R X) p ( R Y) 3-p , and, - at least one selected from the group consisting of (oR a) q -R Z, [19] ~ [ 22] The polyfunctional thiol compound according to any one of.
Incidentally, p is an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolyzable group, R Y represents a monovalent organic group excluding a hydrolyzable group, p number of R X, and 3-p number of R Y are each be the same or different. Further, R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, and RA represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms.
[24] Interacting groups different from thiol groups include hydroxyl groups, amino groups, pyridinyl groups, pyridinium groups, ammonium groups, phosphonium groups, carboxylic acid groups or salts thereof, phosphoric acid groups or salts thereof, and sulfonic acid groups. The polyfunctional thiol compound according to any one of [19] to [23], which is at least one selected from the group consisting of or salts thereof.

本発明によれば、優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有する硬化膜を得ることができる、硬化性組成物を提供することができる。
また、本発明は、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法、及び、多官能チオール化合物を提供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a curable composition capable of obtaining a cured film having excellent exposure sensitivity and excellent adhesion to a support.
The present invention can also provide a cured film, a color filter, a light-shielding film, a solid-state image sensor, an image display device, a method for producing a cured film, and a polyfunctional thiol compound.

以下、本発明について詳細に説明する。
以下の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されない。
本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を含有しないものと共に置換基を含有するものをも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を含有しないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を含有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書中における「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、及びエキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV:Extreme ultraviolet lithography光)、X線、並びに電子線等を意味する。また本明細書において「光」とは、活性光線及び放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯の輝線スペクトル、及びエキシマレーザーに代表される遠紫外線、X線、並びにEUV光等による露光のみならず、電子線及びイオンビーム等の粒子線による描画も包含する。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」はアクリレート及びメタアクリレートを表す。本明細書において、「(メタ)アクリル」はアクリル及びメタアクリルを表す。本明細書において、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルを表す。本明細書において、「(メタ)アクリルアミド」は、アクリルアミド及びメタアクリルアミドを表す。
本明細書中において、「単量体」と「モノマー」とは同義である。単量体は、オリゴマー及びポリマーと区別され、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書中において、重合性化合物とは、重合性基を含有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性基とは、重合反応に関与する基をいう。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The following description may be based on representative embodiments of the present invention, but the invention is not limited to such embodiments.
In the present specification, the numerical range represented by using "~" means a range including the numerical values before and after "~" as the lower limit value and the upper limit value.
In the notation of a group (atomic group) in the present specification, the notation that does not describe substitution and non-substitution includes those that do not contain a substituent and those that contain a substituent. For example, the "alkyl group" includes not only an alkyl group containing no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group containing a substituent (substituted alkyl group).
In the present specification, "active light" or "radiation" means, for example, the emission line spectrum of a mercury lamp, far ultraviolet rays represented by an excimer laser, extreme ultraviolet (EUV), X-rays, and electron beams. Etc. Further, in the present specification, "light" means active light rays and radiation. Unless otherwise specified, the term "exposure" as used herein refers to not only the emission line spectrum of a mercury lamp and exposure with far ultraviolet rays, X-rays, EUV light, etc. represented by an excimer laser, but also electron beam, ion beam, etc. Also includes drawing with particle beams.
As used herein, "(meth) acrylate" refers to acrylate and methacrylate. As used herein, "(meth) acrylic" refers to acrylic and methacrylic. As used herein, "(meth) acryloyl" refers to acryloyl and methacryloyl. As used herein, "(meth) acrylamide" refers to acrylamide and metaacrylamide.
In the present specification, "monomer" and "monomer" are synonymous. A monomer is distinguished from an oligomer and a polymer, and refers to a compound having a weight average molecular weight of 2,000 or less. In the present specification, the polymerizable compound means a compound containing a polymerizable group, and may be a monomer or a polymer. A polymerizable group is a group involved in a polymerization reaction.

[硬化性組成物]
硬化性組成物は、多官能チオール化合物と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する硬化性組成物であって、多官能チオール化合物が、2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する。
[Curable composition]
The curable composition is a curable composition containing a polyfunctional thiol compound, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator, and the polyfunctional thiol compound contains two or more thiol groups and a thiol group. Contains different interacting groups.

本発明者は、特許文献1に記載された、チオール化合物を含有する硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成し、この硬化性組成物層を露光して、微細なパターン形状を有する硬化膜を作製しようとすると、露光量を多くしなければならないという問題を知見した。
これは、パターン形状を微細化しようとすると、フォトマスクの開口部が狭くなり、結果として硬化性組成物層に照射される光量がより減少するためであると推測される。すなわち、硬化性組成物の底部に達する光量が少なくなるため、硬化性組成物層の底部が硬化しにくくなるものと推測される。
このような場合、露光量を多くすることにより、硬化性組成物層の底部まで到達する光量を増大させることができる。
一方で、露光量を多くすると、マスク開口部において回折した光、いわゆる「漏れ光」も多くなりやすく、硬化性組成物層の上部(すなわち、フォトマスクにより近い部分)において、本来マスクされるべき部分が露光され、パターン形状の悪化を招くことがあった。
The present inventor formed a curable composition layer on a support using the curable composition containing a thiol compound described in Patent Document 1, and exposed the curable composition layer to make fine particles. We have found that in order to produce a cured film having a different pattern shape, the exposure amount must be increased.
It is presumed that this is because when the pattern shape is made finer, the opening of the photomask becomes narrower, and as a result, the amount of light irradiated to the curable composition layer is further reduced. That is, since the amount of light reaching the bottom of the curable composition is reduced, it is presumed that the bottom of the curable composition layer is difficult to cure.
In such a case, the amount of light reaching the bottom of the curable composition layer can be increased by increasing the amount of exposure.
On the other hand, when the amount of exposure is increased, the light diffracted at the mask opening, so-called "leakage light", tends to increase, and should be originally masked at the upper part of the curable composition layer (that is, the portion closer to the photomask). The portion was exposed, which sometimes caused deterioration of the pattern shape.

一般に、光重合開始剤を含有する硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成し、この硬化性組成物層を露光すると、光重合開始剤によりラジカル反応が開始される。このとき、光重合開始剤により生じたラジカルと硬化性組成物層内の酸素が発生し、ペルオキシラジカルが発生することがある。ペルオキシラジカルは反応を進行する作用を有しないため、そこで重合反応が停止してしまうことがある。 Generally, when a curable composition layer is formed on a support using a curable composition containing a photopolymerization initiator and the curable composition layer is exposed, a radical reaction is initiated by the photopolymerization initiator. .. At this time, radicals generated by the photopolymerization initiator and oxygen in the curable composition layer may be generated, and peroxy radicals may be generated. Since peroxy radicals do not have the effect of advancing the reaction, the polymerization reaction may stop there.

本発明の一態様において、硬化性組成物は、2個以上のチオール基を含有する多官能チオール化合物を含有する。チオール基は、ペルオキシラジカルに水素を供与することにより重合失活を受けにくいチイルラジカルを生成するため、重合反応が継続する。
更に、多官能チオール化合物はチオール基とは異なる相互作用性基を含有する。相互作用性基は、支持体と(又は、支持体が上塗り層を備える場合には、上塗り層を構成する分子と)相互作用する。従って、多官能チオール化合物は、上記硬化性組成物を用いて形成された硬化性組成物層において、支持体により近い部分(すなわち、底部)に偏在しやすいものと推測される。上記硬化性組成物層において、露光時に到達する光量が相対的に少ない硬化性組成物層の底部に、多官能チオール化合物が偏在すると、上記チオール基の作用がより効果的に発揮されるものと推測される。
すなわち、より少ない露光量であると、硬化性組成物層の底部に到達する光量が少ないものの、多官能チオール化合物は底部に偏在しやすいため、硬化性組成物層の底部でチイルラジカルが生成しやすく、少ない光量でも底部まで十分に硬化すると推測される。
更に、硬化膜においては、支持体により近い部分(すなわち、底部)に相互作用性基が偏在するため、支持体との相互作用がより強くなり、支持体との優れた密着性を有するものと推測される。
以下では本発明の一態様に係る硬化性組成物に含有される成分を説明する。
In one aspect of the invention, the curable composition contains a polyfunctional thiol compound containing two or more thiol groups. Since the thiol group generates a thiyl radical that is less susceptible to polymerization deactivation by donating hydrogen to the peroxy radical, the polymerization reaction continues.
Further, the polyfunctional thiol compound contains an interacting group different from the thiol group. The interacting group interacts with the support (or, if the support comprises a topcoat layer, with the molecules that make up the topcoat layer). Therefore, it is presumed that the polyfunctional thiol compound tends to be unevenly distributed in a portion closer to the support (that is, the bottom portion) in the curable composition layer formed by using the curable composition. In the curable composition layer, when the polyfunctional thiol compound is unevenly distributed at the bottom of the curable composition layer in which the amount of light reaching at the time of exposure is relatively small, the action of the thiol group is more effectively exhibited. Guessed.
That is, when the exposure amount is smaller, the amount of light reaching the bottom of the curable composition layer is small, but the polyfunctional thiol compound tends to be unevenly distributed at the bottom, so that chiyl radicals are likely to be generated at the bottom of the curable composition layer. It is presumed that even a small amount of light cures sufficiently to the bottom.
Further, in the cured film, since the interacting groups are unevenly distributed in the portion closer to the support (that is, the bottom), the interaction with the support becomes stronger and the cured film has excellent adhesion to the support. Guessed.
Hereinafter, the components contained in the curable composition according to one aspect of the present invention will be described.

〔多官能チオール化合物〕
硬化性組成物は、所定の多官能チオール化合物を含有する。
多官能チオール化合物は、2個以上のチオール基(−SHで表される基)と、チオール基とは異なる相互作用性基と、を含有していれば特に制限されず、公知の多官能チオール化合物を用いることができる。
[Polyfunctional thiol compound]
The curable composition contains certain polyfunctional thiol compounds.
The polyfunctional thiol compound is not particularly limited as long as it contains two or more thiol groups (groups represented by -SH) and an interacting group different from the thiol group, and is known as a polyfunctional thiol. Compounds can be used.

多官能チオール化合物が含有するチオール基の数は2個以上であり、3個以上が好ましく、4個以上がより好ましい。
多官能チオール化合物が含有するチオール基の数の上限は特に制限されないが、一般に30個以下が好ましく、20個以下がより好ましく、14個以下が更に好ましい。
The number of thiol groups contained in the polyfunctional thiol compound is 2 or more, preferably 3 or more, and more preferably 4 or more.
The upper limit of the number of thiol groups contained in the polyfunctional thiol compound is not particularly limited, but generally 30 or less is preferable, 20 or less is more preferable, and 14 or less is further preferable.

多官能チオール化合物が含有する、チオール基とは異なる相互作用性基の数は1個以上であり、2個以上が好ましい。
多官能チオール化合物が含有する、チオール基とは異なる相互作用性基の上限は特に制限されないが、一般に30個以下が好ましく、20個以下がより好ましく、15個以下が更に好ましい。
The number of interacting groups contained in the polyfunctional thiol compound, which is different from the thiol group, is one or more, preferably two or more.
The upper limit of the interacting group contained in the polyfunctional thiol compound, which is different from the thiol group, is not particularly limited, but is generally preferably 30 or less, more preferably 20 or less, still more preferably 15 or less.

なお、本明細書において、相互作用性基とは、他の分子と相互作用し得る基を意図する。相互作用は、分子間力、分子会合、静電的引力、イオン結合、及び/又は水素結合等の任意の態様で相互作用し得る基が挙げられる。
なかでも、相互作用性基としては、後述する支持体、及び/又は下塗り層を形成する分子と相互作用し得る基が好ましい。相互作用性基の具体例は、後段で詳述する。
In addition, in this specification, an interacting group is intended to be a group capable of interacting with other molecules. Interactions include groups that can interact in any manner, such as intermolecular forces, molecular associations, electrostatic attraction, ionic bonds, and / or hydrogen bonds.
Among them, as the interacting group, a group capable of interacting with a support described later and / or a molecule forming an undercoat layer is preferable. Specific examples of interacting groups will be described in detail later.

多官能チオール化合物の含有量としては、硬化性組成物の全固形分に対して、0.5〜10質量%が好ましい。
多官能チオール化合物の含有量が、0.5〜10質量%であることにより、露光感度がより優れる。
多官能チオール化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。多官能チオール化合物を2種以上併用する場合には、その合計量が上記範囲内であることが好ましい。
The content of the polyfunctional thiol compound is preferably 0.5 to 10% by mass with respect to the total solid content of the curable composition.
When the content of the polyfunctional thiol compound is 0.5 to 10% by mass, the exposure sensitivity is more excellent.
The polyfunctional thiol compound may be used alone or in combination of two or more. When two or more polyfunctional thiol compounds are used in combination, the total amount thereof is preferably within the above range.

<多官能チオール化合物の好適態様1>
多官能チオール化合物としては、以下の式(1)で表される化合物が好ましい。
<Preferable Aspect 1 of Polyfunctional Thiol Compound>
As the polyfunctional thiol compound, a compound represented by the following formula (1) is preferable.

式(1)中、L、及びLはそれぞれ独立に2価の連結基を表す。mは2〜14の整数を表し、3〜14の整数が好ましく、3〜6がより好ましい。mが3以上の整数だと、硬化性組成物はより優れた露光感度を有する。nは1〜15の整数を表す。Lはm+n価の連結基を表し、Rはチオール基とは異なる相互作用性基を表す。
なお、L、及び、Lは、互いに、同一でも、異なってもよく、m個のL、n個のL、及び、n個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
In formula (1), L 1 and L 2 each independently represent a divalent linking group. m represents an integer of 2 to 14, preferably an integer of 3 to 14, and more preferably 3 to 6. When m is an integer greater than or equal to 3, the curable composition has better exposure sensitivity. n represents an integer of 1 to 15. L 3 represents an m + n-valent linking group, and R 1 represents an interacting group different from the thiol group.
L 1 and L 2 may be the same or different from each other, and m L 1 , n L 2 and n R 1 may be the same or different, respectively. Good.

の2価の連結基としては、例えば、2価の脂肪族炭化水素基(好ましくは炭素数1〜8)、2価の芳香族炭化水素基(好ましくは炭素数6〜12)、−O−、−S−、−N(R)−(R:1価の有機基)、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、−CH=N−、−N(R)−(R:アルキル基)、又は、これらを組み合わせた基(例えば、アルキレンオキシ基、アルキレンオキシカルボニル基、及びアルキレンカルボニルオキシ基等)等が挙げられる。Examples of the divalent linking group of L 1 include a divalent aliphatic hydrocarbon group (preferably 1 to 8 carbon atoms) and a divalent aromatic hydrocarbon group (preferably 6 to 12 carbon atoms), −. O-, -S-, -N (R 4 )-(R 4 : monovalent organic group), -C (= O)-, -C (= O) -O-, -OC (= O) ) -O-, -C (= O) -NH-, -O-C (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O-, -S (= O) ) 2- , -S (= O) 2 -O-, -CH = N-, -N (R)-(R: alkyl group), or a group combining these (for example, alkyleneoxy group, alkyleneoxy) Carbonyl group, alkylene carbonyloxy group, etc.) and the like.

の2価の連結基としては、上記Lの態様と同様である。なお、L、及びLは、互いに、同一でも、異なってもよい。また、多官能チオール化合物の1分子内のm個のL、及び、n個のLは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。The divalent linking group of L 2 is the same as that of the above-mentioned aspect of L 1 . Note that L 1 and L 2 may be the same or different from each other. Further, m pieces of L 1 in one molecule of the polyfunctional thiol compounds and,, n-number of L 2, respectively, be the same or different.

のm+n価の連結基としては、例えばトリメチロールプロパン残基、−(CH2−(kは例えば、2〜6の整数を表す。)を3個有するイソシアヌール環等の3価の連結基、ペンタエリスリトール残基等の4価の連結基又は5価の連結基、ジペンタエリスリトール残基等の6価の連結基、及び、これらの組み合わせ等が挙げられる。
m+nは3以上であり、4以上が好ましい。
m+nは29以下であり、10以下が好ましい。
Examples of the linking group having an m + n valence of L 3 include a trimethylolpropane residue and a trivalent such as an isocyanate ring having three − (CH 2 ) k − (k represents an integer of 2 to 6, for example). , A tetravalent or pentavalent linking group such as a pentaerythritol residue, a hexavalent linking group such as a dipentaerythritol residue, and a combination thereof.
m + n is 3 or more, preferably 4 or more.
m + n is 29 or less, preferably 10 or less.

のm+n価の連結基としては、例えば、以下の式(A)〜(D)のいずれかで表される基、又は、これらを組み合わせた基が挙げられる。
Examples of the linking group having an m + n valence of L 3 include a group represented by any of the following formulas (A) to (D), or a group combining these.

式(A)〜(D)中、
は3価の基を表す。Tは単結合又は2価の連結基を表し、3個のTは互いに同一であっても異なっていてもよい。
は4価の基を表す。Tは単結合又は2価の連結基を表し、4個のTは互いに同一であっても異なっていてもよい。
は5価の基を表す。Tは単結合又は2価の連結基を表し、5個のTは互いに同一であっても異なっていてもよい。
は6価の基を表す。Tは単結合又は2価の連結基を表し、6個のTは互いに同一であっても異なっていてもよい。
なお、T、T、T及びTで表される2価の連結基の定義は、上述したLで表される2価の連結基の定義と同義である。
In formulas (A) to (D),
L 4 represents a trivalent group. T 3 represents a single bond or a divalent linking group, and the three T 3s may be the same or different from each other.
L 5 represents a tetravalent group. T 4 represents a single bond or a divalent linking group, and the four T 4s may be the same or different from each other.
L 6 represents a pentavalent group. T 5 represents a single bond or a divalent linking group, and the five T 5s may be the same or different from each other.
L 7 represents a hexavalent group. T 6 represents a single bond or a divalent linking group, and the six T 6s may be the same or different from each other.
The definition of the divalent linking group represented by T 3 , T 4 , T 5 and T 6 is synonymous with the definition of the divalent linking group represented by L 1 described above.

のm+n価の連結基としては、例えば、以下の式(E)〜(J)で表される基、又は、これらを組み合わせた基が好ましい。
As the linking group having an m + n valence of L 3 , for example, a group represented by the following formulas (E) to (J) or a group combining these is preferable.

式(E)〜(J)中、
Rは水素原子、又は、1価の有機基を表す。1価の有機基としては、アルキル基が好ましい。*は結合位置を示す。tは2〜11の整数を表す。
In formulas (E) to (J),
R represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. As the monovalent organic group, an alkyl group is preferable. * Indicates the bonding position. t represents an integer of 2-11.

は以下の式(K)〜(O)で表される基、又は、これらを組み合わせた基であってもよい。式中、*は結合位置を表す。
L 3 may be a group represented by the following formulas (K) to (O) or a group obtained by combining these. In the formula, * represents the bond position.

式(1)中、Rは、すでに説明したチオール基とは異なる相互作用性基の態様と同様である。
なかでも、硬化膜が、支持体とのより優れた密着性を有する点で、チオール基とは異なる相互作用性基としては、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、アリール基、−Si(R(R3−p(以下、本明細書において「Si基」ともいう。)、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種が好ましく、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種がより好ましく、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及び、スルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種が更に好ましい。
チオール基とは異なる相互作用性基が、上記の官能基であることによって、硬化膜が支持体とのより優れた密着性を有する機序は必ずしも明らかではないが、本発明者は以下のとおり推測している。すなわち、相互作用(非結合性の分子間力)は、ファンデルワールス相互作用、π−πスタッキング、水素−π結合、静電相互作用、又は、水素結合と大きく分類され、概ねこの順に強くなると推測され、「水素結合」が最も強く、次いで「静電相互作用」が強い。ここで、例えば、フェニル基のπ電子とO−Hの水素の結合である水素−π結合は、上記の2つと比べると弱いと考えられ、上記の効果が得られたものと推測される。なお、本発明の効果が得られる機序は上記推測に限られない。
なお、上記アミノ基には、第1級アミノ基(NH−)、第2級アミノ基(NRH−)、及び、第3級アミノ基(NR−)が含まれる。第2級アミノ基及び第3級アミノ基に含まれるRは、1価の有機基であれば特に制限されないが、例えば、炭化水素基(例えば、アルキル基)が挙げられる。
In formula (1), R 1 is similar to the embodiment of an interacting group different from the thiol group described above.
Among them, the interacting group different from the thiol group in that the cured film has better adhesion to the support includes a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group and a phosphonium group. , a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, an aryl group, -Si (R X) p ( R Y) 3-p ( hereinafter, "Si group" in the present specification Also referred to as), and at least one selected from the group consisting of − (OR A ) q −R Z is preferable, and a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, and a carboxylic acid group. Or at least one selected from the group consisting of a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group or a salt thereof, more preferably a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a carboxylic acid group or a salt thereof, and a phosphoric acid. At least one selected from the group consisting of a group or a salt thereof and a sulfonic acid group or a salt thereof is more preferable.
The mechanism by which the cured film has better adhesion to the support due to the above-mentioned functional group as the interacting group different from the thiol group is not always clear, but the present inventor describes it as follows. I'm guessing. That is, the interaction (non-bonding intermolecular force) is roughly classified into van der Waals interaction, π-π stacking, hydrogen-π bond, electrostatic interaction, or hydrogen bond, and becomes stronger in this order. It is speculated that "hydrogen bonds" are the strongest, followed by "electrostatic interactions". Here, for example, the hydrogen-π bond, which is a bond between the π electron of the phenyl group and the hydrogen of OH, is considered to be weaker than the above two, and it is presumed that the above effect was obtained. The mechanism by which the effect of the present invention is obtained is not limited to the above speculation.
The amino group includes a primary amino group (NH 2- ), a secondary amino group (NR a H−), and a tertiary amino group (NR a Ra −). Ra contained in the secondary amino group and the tertiary amino group is not particularly limited as long as it is a monovalent organic group, and examples thereof include a hydrocarbon group (for example, an alkyl group).

上記−Si(R(R3−pにおいてRは加水分解性基を表す。
本明細書において加水分解性基とは、ケイ素原子(Si)に直結し、加水分解反応を進行し得る基を意図し、例えば、アルコキシ基、ハロゲン原子、アシルオキシ基、アルケニルオキシ基、及び、イソシアネート基等が挙げられる。
It said -Si (R X) p (R Y) R X in 3-p represents a hydrolyzable group.
In the present specification, the hydrolyzable group is intended to be a group that is directly linked to a silicon atom (Si) and can proceed with a hydrolysis reaction, for example, an alkoxy group, a halogen atom, an acyloxy group, an alkenyloxy group, and an isocyanate. The group etc. can be mentioned.

は、1価の有機基を表す。ただし、上記有機基から、上記加水分解性基は除く。
上記1価の有機基としては、加水分解性基以外の有機基であればよく、例えば、アルキル基、アルケニル基、アリール基、アルキルカルボニル基、シクロアルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アルキルオキシカルボニル基、シクロアルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルアミノカルボニル基、シクロアルキルアミノカルボニル基、アリールアミノカルボニル基、及び、これらを組み合わせた基等が挙げられる。なかでも、アルキル基、アリール基、アルケニル基、又はこれらを組み合わせた基が好ましい。
RY represents a monovalent organic group. However, the hydrolyzable group is excluded from the organic group.
The monovalent organic group may be any organic group other than the hydrolyzable group, for example, an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, an alkylcarbonyl group, a cycloalkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group and an alkyloxycarbonyl group. , Cycloalkyloxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, alkylaminocarbonyl group, cycloalkylaminocarbonyl group, arylaminocarbonyl group, and a group combining these groups. Of these, an alkyl group, an aryl group, an alkenyl group, or a group combining these is preferable.

上記アルキル基中に含まれる炭素数は1〜6が好ましく、直鎖状、分岐鎖状、及び、環状のいずれであってもよい。また、上記アリール基中に含まれる炭素数は6〜10が好ましい。また、上記アルケニル基中に含まれる炭素数は2〜12が好ましい。 The number of carbon atoms contained in the alkyl group is preferably 1 to 6, and it may be linear, branched, or cyclic. The number of carbon atoms contained in the aryl group is preferably 6 to 10. The number of carbon atoms contained in the alkenyl group is preferably 2 to 12.

pは1〜3の整数である。なかでも、硬化膜が、支持体とのより優れた密着性を有する点で、pは3が好ましい。
また、p個のR、及び、3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
p is an integer of 1-3. Among them, p is preferably 3 in that the cured film has better adhesion to the support.
Further, p pieces of R X, and, 3-p number of R Y are each be the same or different.

上記−(OR−Rにおいて、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、アルキル基、及び、アルコキシ基中のアルキル基の炭素数は1〜6が好ましく、直鎖状、分岐状、又は、環状のいずれであってもよい。In the above- (OR A ) q- R Z , R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an alkoxy group, and the alkyl group and the alkyl group in the alkoxy group preferably have 1 to 6 carbon atoms. It may be chain-shaped, branched, or annular.

は炭素数1〜15のアルキレン基を表し、炭素数1〜10のアルキレン基がより好ましく、炭素数1〜6のアルキレン基が更に好ましい。qは1〜4の整数を表し、2〜4の整数がより好ましく、3〜4の整数が更に好ましい。 RA represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and even more preferably an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. q represents an integer of 1 to 4, with an integer of 2 to 4 being more preferred, and an integer of 3 to 4 being even more preferred.

<多官能チオール化合物の好適態様2>
上記多官能チオール化合物としては、以下の式(2)で表される化合物がより好ましい。
<Preferable Aspect 2 of Polyfunctional Thiol Compound>
As the polyfunctional thiol compound, a compound represented by the following formula (2) is more preferable.

式(2)中、R、及びRはそれぞれ独立に炭素数1以上の2価の連結基を表す。
炭素数1以上の2価の連結基としては特に制限されず、例えば、2価の脂肪族炭化水素基(好ましくは炭素数1〜8)、2価の芳香族炭化水素基(好ましくは炭素数6〜12)、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)、−CH=N−、−N(R)−(R:アルキル基)、又はこれらと、上記式(1)中のLとして説明した基等を組み合わせた基等が挙げられる。
なお、R、及びRは、互いに、同一でも、異なってもよく、m個のR、n個のR、及び、n個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
In formula (2), R 2 and R 3 each independently represent a divalent linking group having 1 or more carbon atoms.
The divalent linking group having 1 or more carbon atoms is not particularly limited, and for example, a divalent aliphatic hydrocarbon group (preferably 1 to 8 carbon atoms) or a divalent aromatic hydrocarbon group (preferably carbon number). 6-12), -C (= O)-, -C (= O) -O-, -OC (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -OC ( = O), - CH = N -, - N (R) - (R: alkyl group), or these with, and groups in which a combination of such groups described as L 1 in the above formula (1).
R 2 and R 3 may be the same or different from each other, and m R 2 , n R 2 and n R 3 may be the same or different, respectively. ..

式(2)中、mは2〜14の整数を表し、3〜14の整数が好ましく、3〜6がより好ましい。mが3以上の整数だと、硬化性組成物はより優れた露光感度を有する。
nは1〜15の整数を表し、1〜4が好ましい。
nに対するmの値(m/n)は特に制限されないが、0.13〜14が好ましく、1〜5がより好ましく、2〜5が更に好ましい。
m/nが1〜5の範囲内だと、硬化性組成物を用いて支持体上に形成した硬化膜と、支持体との密着性がより優れる。
m+nが同じ場合、m/nがより小さい多官能チオール化合物ほど、硬化性組成物を硬化して得られるパターン形状がより優れるとともに、硬化性組成物を用いて支持体上に形成した硬化膜と、支持体との密着性がより優れる。
In the formula (2), m represents an integer of 2 to 14, an integer of 3 to 14 is preferable, and 3 to 6 is more preferable. When m is an integer greater than or equal to 3, the curable composition has better exposure sensitivity.
n represents an integer of 1 to 15, preferably 1 to 4.
The value of m (m / n) with respect to n is not particularly limited, but is preferably 0.13 to 14, more preferably 1 to 5, and even more preferably 2 to 5.
When m / n is in the range of 1 to 5, the adhesion between the cured film formed on the support using the curable composition and the support is more excellent.
When m + n is the same, the smaller the m / n of the polyfunctional thiol compound, the better the pattern shape obtained by curing the curable composition, and the more the cured film formed on the support using the curable composition. , The adhesion with the support is better.

上記式(2)中、Mは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−N(R)−(R:1価の有機基)、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、又は−CH=N−を表す。
なお、m個のM、及び、n個のMは、それぞれ同一でも、異なってもよい。
In the above formula (2), M 1 is independently single-bonded, -O-, -S-, -N (R 4 )-(R 4 : monovalent organic group), -C (= O). -, -C (= O) -O-, -OC (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -OC (= O) -NH-, -S (= O) -, - S (= O) -O -, - S (= O) 2 -, - S (= O) 2 -O-, or an -CH = N-.
Incidentally, m number of M 1 and,, n number of M 1 are also respectively identical or different.

はm+n価の連結基を表しその態様は既に説明したとおりである。また、Rはチオール基とは異なる相互作用性基を表し、その態様は上述した式(1)中のものと同様のものが挙げられる。
なお、n個のRはそれぞれ同一でも、異なってもよい。
L 3 represents an m + n-valent linking group, the embodiment of which is as described above. Further, R 1 represents an interacting group different from the thiol group, and examples thereof include the same embodiments as those in the above-mentioned formula (1).
Incidentally, n pieces of R 1 may be respectively identical or different.

多官能チオール化合物の合成方法は特に制限されず、公知の方法を組み合わせることにより合成することができる。
例えば、チオール基を複数有する原料化合物と、所定の相互作用性基を有し、上記チオール基と反応可能な基を有する化合物とを反応させることにより、所望の多官能チオール化合物を合成することができる。なお、チオール基と反応可能な基としては、炭素−炭素二重結合基、炭素−炭素三重結合基、エポキシ基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アルキルスルホネート基、アリールスルホネート基などが挙げられる。
より具体的には、チオール基を複数有する原料化合物に対して、所定の相互作用性基を有する(メタ)アクリレート化合物をマイケル付加により反応させ、所望の多官能チオール化合物を合成することができる。
The method for synthesizing the polyfunctional thiol compound is not particularly limited, and it can be synthesized by combining known methods.
For example, a desired polyfunctional thiol compound can be synthesized by reacting a raw material compound having a plurality of thiol groups with a compound having a predetermined interacting group and having a group capable of reacting with the thiol group. it can. Examples of the group capable of reacting with the thiol group include a carbon-carbon double bond group, a carbon-carbon triple bond group, an epoxy group, a carboxyl group, a halogen atom, an alkylsulfonate group, and an arylsulfonate group.
More specifically, a desired polyfunctional thiol compound can be synthesized by reacting a raw material compound having a plurality of thiol groups with a (meth) acrylate compound having a predetermined interacting group by Michael addition.

多官能チオール化合物の具体的な例を以下の表1に示す。但し、多官能チオール化合物はこれらに限定されない。 Specific examples of the polyfunctional thiol compound are shown in Table 1 below. However, the polyfunctional thiol compound is not limited to these.

表1−1〜1−6中、「Me」はメチル基(−CH)を意図する。「OTs」はトシル基を表す。
表1−1〜1−6中、R〜R、L、及びMは、式(2)における各部に対応する基であり、m及びnは式(2)におけるm及びnに対応する数である。
In Tables 1-1-1-6, "Me" is intended for a methyl group (-CH 3 ). "OTs" represents a tosyl group.
In Table 1-1~1-6, R 1 ~R 3, L 3, and M 1 is a group corresponding to those in the formula (2), m and n are the m and n in Formula (2) The corresponding number.

表1−1〜1−6中の記号は、以下の内容を意図する。
*:LとMの連結箇所を示す。
●:M、及びRの列においては、MとRの連結箇所を示す。また、Rの列においては、Rと−S−基との連結箇所を示す。
○:チオール(−SH)基、又は−S−基との連結箇所を示す。
、Rの波線:RとRとの連結箇所を示す。
上矢印:直上の欄と同じという意味を示す。
The symbols in Tables 1-1 to 1-6 are intended to have the following contents.
*: Indicates the connection point between L 3 and M 1 .
●: M 1, and in the column of R 2, showing the coupling portion of the M 1 and R 2. Further, in the column of R 3, showing the connection portion between R 3 and -S- group.
◯: Indicates the connection point with the thiol (-SH) group or the -S- group.
R 3, R 1 of the wavy line: indicates the connection points of R 3 and R 1.
Up arrow: Indicates the same meaning as the column directly above.

〔光重合開始剤〕
硬化性組成物は、光重合開始剤を含有する。
光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始することができれば特に制限されず、公知の光重合開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、紫外線領域から可視光線領域に対して感光性を有するものが好ましい。光重合開始剤は、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、重合性化合物の種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の波長領域に少なくとも約50のモル吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
[Photopolymerization initiator]
The curable composition contains a photopolymerization initiator.
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can initiate the polymerization of the polymerizable compound, and a known photopolymerization initiator can be used. As the photopolymerization initiator, for example, one having photosensitivity from the ultraviolet region to the visible light region is preferable. The photopolymerization initiator may be an activator that causes some action with a photoexcited sensitizer to generate an active radical, and is an initiator that initiates cationic polymerization depending on the type of the polymerizable compound. You may.
The photopolymerization initiator preferably contains at least one compound having a molar extinction coefficient of at least about 50 in a wavelength region of about 300 nm to 800 nm (more preferably 330 nm to 500 nm).

光重合開始剤の含有量としては、硬化性組成物の全固形分に対して、1〜9質量%が好ましい。
光重合開始剤の含有量が、硬化性組成物の全固形分に対して、1〜9質量%だと、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜のパターン形状がより優れる。
光重合開始剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。光重合開始剤を2種以上併用する場合には、その合計量が上記範囲内であることが好ましい。
The content of the photopolymerization initiator is preferably 1 to 9% by mass with respect to the total solid content of the curable composition.
When the content of the photopolymerization initiator is 1 to 9% by mass with respect to the total solid content of the curable composition, the pattern shape of the cured film obtained by curing the curable composition is more excellent.
The photopolymerization initiator may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds of photopolymerization initiators are used in combination, the total amount thereof is preferably within the above range.

光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を含有するもの、オキサジアゾール骨格を含有するもの、等)、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、及び、ヒドロキシアセトフェノン等が挙げられる。
上記トリアジン骨格を含有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載の化合物、英国特許1388492号明細書記載の化合物、特開昭53−133428号公報記載の化合物、独国特許3337024号明細書記載の化合物、F.C.Schaefer等によるJ.Org.Chem.;29、1527(1964)記載の化合物、特開昭62−58241号公報記載の化合物、特開平5−281728号公報記載の化合物、特開平5−34920号公報記載の化合物、米国特許第4212976号明細書記載の化合物、等が挙げられる。
Examples of the photopolymerization initiator include halogenated hydrocarbon derivatives (for example, those containing a triazine skeleton, those containing an oxadiazole skeleton, etc.), acylphosphine compounds such as acylphosphine oxide, hexaarylbiimidazole, and the like. Examples thereof include oxime compounds such as oxime derivatives, organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, ketooxime ethers, aminoacetophenone compounds, and hydroxyacetophenone.
Examples of the halogenated hydrocarbon compound containing the triazine skeleton include Wakabayashi et al., Bull. Chem. Soc. Japanese Patent No. 42, 2924 (1969), British Patent No. 1388492, Compound described in JP-A-53-133428, German Patent No. 3337024, F.I. C. J. by Schaefer et al. Org. Chem. 29, 1527 (1964), compound described in JP-A-62-58241, compound described in JP-A-5-281728, compound described in JP-A-5-341920, US Pat. No. 4,212,976. Examples thereof include the compounds described in the specification.

露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、並びに3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。 From the viewpoint of exposure sensitivity, trihalomethyltriazine compounds, benzyldimethylketal compounds, α-hydroxyketone compounds, α-aminoketone compounds, acylphosphine compounds, phosphine oxide compounds, metallocene compounds, oxime compounds, triallylimidazole dimers, onium compounds, A compound selected from the group consisting of a benzothiazole compound, a benzophenone compound, an acetophenone compound and a derivative thereof, a cyclopentadiene-benzene-iron complex and a salt thereof, a halomethyloxaziazole compound, and a 3-aryl substituted coumarin compound is preferable.

なかでも、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾフェノン化合物、又はアセトフェノン化合物がより好ましく、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、及びベンゾフェノン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物が更に好ましい。 Of these, trihalomethyltriazine compounds, α-aminoketone compounds, acylphosphine compounds, phosphine oxide compounds, oxime compounds, triallylimidazole dimers, onium compounds, benzophenone compounds, or acetophenone compounds are more preferable, and trihalomethyltriazine compounds and α- At least one compound selected from the group consisting of an aminoketone compound, an oxime compound, a triallyl imidazole dimer, and a benzophenone compound is more preferable.

特に、硬化性組成物を遮光膜の作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるため、硬化性と共に未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、光重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが特に好ましい。特に、微細なパターンを形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、光重合開始剤の添加量も低く抑える必要がある。これらの点を考慮すれば、微細パターンを形成するには、光重合開始剤としては、オキシム化合物を用いるのが特に好ましい。
光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落0265〜0268を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
In particular, when the curable composition is used for producing a light-shielding film, it is necessary to form a fine pattern in a sharp shape, so it is important to develop the curable composition without any residue in the unexposed portion. is there. From this point of view, it is particularly preferable to use an oxime compound as the photopolymerization initiator. In particular, when forming a fine pattern, stepper exposure is used for the curing exposure, but this exposure machine may be damaged by halogen, and the amount of the photopolymerization initiator added must be kept low. Considering these points, it is particularly preferable to use an oxime compound as the photopolymerization initiator in order to form a fine pattern.
As a specific example of the photopolymerization initiator, for example, paragraphs 0265 to 0268 of JP2013-29760A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

光重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平10−291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、及び特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィン系開始剤も用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959、及びIRGACURE−127(商品名、いずれもBASF社製)が挙げられる。
アミノアセトフェノン化合物としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、及びIRGACURE−379EG(商品名、いずれもBASF社製)が挙げられる。アミノアセトフェノン化合物としては、365nm又は405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179公報に記載の化合物も挙げられる。
アシルホスフィン化合物としては、市販品であるIRGACURE−819、及びDAROCUR−TPO(商品名、いずれもBASF社製)が挙げられる。
As the photopolymerization initiator, a hydroxyacetophenone compound, an aminoacetophenone compound, and an acylphosphine compound can also be preferably used. More specifically, for example, the aminoacetophenone-based initiator described in JP-A-10-291969 and the acylphosphine-based initiator described in Japanese Patent No. 4225898 can also be used.
Examples of the hydroxyacetophenone compound include IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, and IRGACURE-127 (trade names, all manufactured by BASF).
Examples of the aminoacetophenone compound include commercially available products IRGACURE-907, IRGACURE-369, and IRGACURE-379EG (trade names, all manufactured by BASF). Examples of the aminoacetophenone compound include the compounds described in JP-A-2009-191179, in which the absorption wavelength is matched with a long-wave light source of 365 nm or 405 nm.
Examples of the acylphosphine compound include commercially available IRGACURE-819 and DAROCUR-TPO (trade names, both manufactured by BASF).

<オキシム化合物>
光重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物(オキシム系開始剤)が挙げられる。
光重合開始剤がオキシム化合物である、上記硬化性組成物は、より優れた露光感度を有する。また、オキシム化合物は高感度で重合効率が高く、着色剤濃度によらず硬化性組成物層を硬化でき、着色剤の濃度を高く設計しやすいため好ましい。
オキシム化合物の具体例としては、特開2001−233842号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報記載の化合物、及び特開2006−342166号公報記載の化合物が挙げられる。
オキシム化合物としては、3−ベンゾイロキシイミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイロキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、3−(4−トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン−2−オン、及び2−エトキシカルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン等が挙げられる。
また、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653−1660)、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202−232に記載の化合物、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報、及び特開2006−342166号公報の各公報に記載の化合物等も挙げられる。
市販品ではIRGACURE−OXE01(BASF社製)、IRGACURE−OXE02(BASF社製)、IRGACURE−OXE03(BASF社製)、又はIRGACURE−OXE04(BASF社製)も好適に用いられる。また、TR−PBG−304(常州強力電子新材料有限公司製)、アデカアークルズNCI−831及びアデカアークルズNCI−930(ADEKA社製)、又はN−1919(カルバゾール・オキシムエステル骨格含有光開始剤(ADEKA社製))も用いることができる。
<Oxime compound>
The photopolymerization initiator is more preferably an oxime compound (oxime-based initiator).
The curable composition, wherein the photopolymerization initiator is an oxime compound, has better exposure sensitivity. Further, the oxime compound is preferable because it has high sensitivity and high polymerization efficiency, can cure the curable composition layer regardless of the colorant concentration, and has a high colorant concentration and is easy to design.
Specific examples of the oxime compound include the compounds described in JP-A-2001-233842, the compounds described in JP-A-2000-80068, and the compounds described in JP-A-2006-342166.
Oxim compounds include 3-benzoyloxyiminobutane-2-one, 3-acetoxyiminobutane-2-one, 3-propionyloxyiminobutane-2-one, 2-acetoxyiminopentane-3-one, 2-one. Acetoxyimino-1-phenylpropane-1-one, 2-benzoyloxyimino-1-phenylpropane-1-one, 3- (4-toluenesulfonyloxy) iminobutane-2-one, and 2-ethoxycarbonyloxyimino Examples thereof include -1-phenylpropane-1-one.
In addition, J. C. S. Perkin II (1979) pp. 1653-1660), J. Mol. C. S. Perkin II (1979) pp.156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) pp. Compounds described in 202-232, compounds described in JP-A-2000-66385, JP-A-2000-80068, JP-A-2004-534977, and JP-A-2006-342166. And so on.
As commercially available products, IRGACURE-OXE01 (manufactured by BASF), IRGACURE-OXE02 (manufactured by BASF), IRGACURE-OXE03 (manufactured by BASF), or IRGACURE-OXE04 (manufactured by BASF) are also preferably used. In addition, TR-PBG-304 (manufactured by Changshu Powerful Electronics New Materials Co., Ltd.), ADEKA ARCLUDS NCI-831 and ADEKA ARCULDS NCI-930 (manufactured by ADEKA), or N-1919 (carbazole / oxime ester skeleton-containing photoinitiator) An agent (manufactured by ADEKA Corporation)) can also be used.

上記記載以外のオキシム化合物として、カルバゾールN位にオキシムが連結した特表2009−519904号公報に記載の化合物;ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第7626957号公報に記載の化合物;色素部位にニトロ基が導入された特開2010−15025号公報及び米国特許公開2009−292039号に記載の化合物;国際公開特許2009−131189号公報に記載のケトオキシム化合物;トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910号公報に記載の化合物;405nmに吸収極大を有しg線光源に対して良好な感度を有する特開2009−221114号公報に記載の化合物;等を用いてもよい。
好ましくは、例えば、特開2013−29760号公報の段落0274〜0275を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
具体的には、オキシム化合物としては、下記式(OX−1)で表される化合物が好ましい。なお、オキシム化合物のN−O結合が(E)体のオキシム化合物であっても、(Z)体のオキシム化合物であっても、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
As an oxime compound other than the above, the compound described in JP-A-2009-5199004 in which an oxime is linked to the N-position of carbazole; the compound described in US Pat. No. 7,626,957 in which a heterosubstituted group is introduced at a benzophenone moiety; a dye. Compounds described in JP-A-2010-15025 and US Patent Publication No. 2009-292039 in which a nitro group is introduced at a site; ketooxime compounds described in International Publication Patent No. 2009-131189; the same molecule as a triazine skeleton and an oxime skeleton. The compound described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7556910; the compound described in JP-A-2009-221114 having an absorption maximum at 405 nm and good sensitivity to a g-ray light source; and the like may be used. ..
Preferably, for example, paragraphs 0274 to 0275 of JP2013-29760A can be referred to, the contents of which are incorporated herein by reference.
Specifically, as the oxime compound, a compound represented by the following formula (OX-1) is preferable. It should be noted that the NO bond of the oxime compound may be the (E) -form oxime compound, the (Z) -form oxime compound, or a mixture of the (E) -form and the (Z) -form. Good.

式(OX−1)中、R及びBは各々独立に1価の置換基を表し、Aは2価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。
式(OX−1)中、Rで表される1価の置換基としては、1価の非金属原子団であることが好ましい。
1価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、及び、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、及び、アリール基等が挙げられる。
式(OX−1)中、Bで表される1価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が挙げられる。
式(OX−1)中、Aで表される2価の有機基としては、炭素数1〜12のアルキレン基、シクロアルキレン基、又は、アルキニレン基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が挙げられる。
In formula (OX-1), R and B each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, and Ar represents an aryl group.
In the formula (OX-1), the monovalent substituent represented by R is preferably a monovalent non-metal atomic group.
Examples of the monovalent non-metal atomic group include an alkyl group, an aryl group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a heterocyclic group, an alkylthiocarbonyl group, and an arylthiocarbonyl group. These groups may have one or more substituents. Moreover, the above-mentioned substituent may be further substituted with another substituent.
Examples of the substituent include a halogen atom, an aryloxy group, an alkoxycarbonyl group or an aryloxycarbonyl group, an acyloxy group, an acyl group, an alkyl group, an aryl group and the like.
In the formula (OX-1), the monovalent substituent represented by B is preferably an aryl group, a heterocyclic group, an arylcarbonyl group, or a heterocyclic carbonyl group. These groups may have one or more substituents. Examples of the substituent include the above-mentioned substituents.
In the formula (OX-1), the divalent organic group represented by A is preferably an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkylene group, or an alkynylene group. These groups may have one or more substituents. Examples of the substituent include the above-mentioned substituents.

光重合開始剤として、フッ素原子を含有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を含有するオキシム化合物の具体例としては、特開2010−262028号公報記載の化合物;特表2014−500852号公報記載の化合物24、36〜40;特開2013−164471号公報記載の化合物(C−3);等が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。 An oxime compound containing a fluorine atom can also be used as the photopolymerization initiator. Specific examples of the oxime compound containing a fluorine atom include compounds described in JP-A-2010-262028; compounds 24, 36-40 described in JP-A-2014-500852; compounds described in JP-A-2013-164471. (C-3); and the like. This content is incorporated herein by reference.

光重合開始剤として、下記一般式(1)〜(4)で表される化合物を用いることもできる。 As the photopolymerization initiator, compounds represented by the following general formulas (1) to (4) can also be used.

式(1)において、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基、炭素数6〜30のアリール基、又は、炭素数7〜30のアリールアルキル基を表し、R及びRがフェニル基の場合、フェニル基同士が結合してフルオレン基を形成してもよく、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を示す。In the formula (1), R 1 and R 2 are independently an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 30 carbon atoms. Represents an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, and when R 1 and R 2 are phenyl groups, the phenyl groups may be bonded to each other to form a fluorene group, and R 3 and R 4 are independent of each other. Represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and X is a direct bond or carbonyl. Indicates a group.

式(2)において、R、R、R及びRは、式(1)におけるR、R、R及びRと同義であり、Rは、−R、−OR、−SR、−COR、−CONR、−NRCOR、−OCOR、−COOR、−SCOR、−OCSR、−COSR、−CSOR、−CN、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を表し、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を表し、aは0〜4の整数を表す。In the formula (2), R 1, R 2, R 3 and R 4 have the same meanings as R 1, R 2, R 3 and R 4 in Formula (1), R 5 is -R 6, -OR 6 , -SR 6 , -COR 6 , -CONR 6 R 6 , -NR 6 COR 6 , -OCOR 6 , -COOR 6 , -SCOR 6 , -OCSR 6 , -COSR 6 , -CSO R 6 , -CN, Halogen Represents an atom or a hydroxy group, and R 6 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms. , X represent a direct bond or a carbonyl group, and a represents an integer from 0 to 4.

式(3)において、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基、炭素数6〜30のアリール基、又は、炭素数7〜30のアリールアルキル基を表し、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を示す。In the formula (3), R 1 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an aryl having 7 to 30 carbon atoms. Representing an alkyl group, R 3 and R 4 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an aryl alkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or an aryl alkyl group having 4 carbon atoms. Represents a heterocyclic group of ~ 20, where X represents a direct bond or a carbonyl group.

式(4)において、R、R及びRは、式(3)におけるR、R及びRと同義であり、Rは、−R、−OR、−SR、−COR、−CONR、−NRCOR、−OCOR、−COOR、−SCOR、−OCSR、−COSR、−CSOR、−CN、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を表し、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を表し、aは0〜4の整数を表す。In the formula (4), R 1, R 3 and R 4 have the same meanings as R 1, R 3 and R 4 in the formula (3), R 5 is, -R 6, -OR 6, -SR 6, Represents -COR 6 , -CONR 6 R 6 , -NR 6 COR 6 , -OCOR 6 , -COOR 6 , -SCOR 6 , -OCSR 6 , -COR R 6 , -CSO R 6 , -CN, halogen atom or hydroxy group , R 6 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an aryl alkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and X is a direct bond. Alternatively, it represents a carbonyl group, where a represents an integer from 0 to 4.

上記式(1)及び式(2)において、R及びRは、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、シクロヘキシル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はキシリル基が好ましい。Rは炭素数1〜6のアルキル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はナフチル基が好ましい。Xは直接結合が好ましい。
上記式(3)及び(4)において、Rは、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、シクロヘキシル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はキシリル基が好ましい。Rは炭素数1〜6のアルキル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はナフチル基が好ましい。Xは直接結合が好ましい。
式(1)及び式(2)で表される化合物の具体例としては、例えば、特開2014−137466号公報の段落番号0076〜0079に記載された化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれることとする。
In the above formulas (1) and (2), R 1 and R 2 are preferably methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, cyclohexyl group or phenyl group, respectively. R 3 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a xsilyl group. R 4 is preferably an alkyl group or a phenyl group having 1 to 6 carbon atoms. R 5 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a naphthyl group. Direct binding is preferable for X.
In the above formulas (3) and (4), R 1 is preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, a cyclohexyl group or a phenyl group, respectively. R 3 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a xsilyl group. R 4 is preferably an alkyl group or a phenyl group having 1 to 6 carbon atoms. R 5 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a naphthyl group. Direct binding is preferable for X.
Specific examples of the compounds represented by the formulas (1) and (2) include the compounds described in paragraphs 0076 to 0079 of JP-A-2014-137466. This content is incorporated herein by reference.

硬化性組成物に好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示す。 Specific examples of the oxime compound preferably used in the curable composition are shown below.

オキシム化合物は、350nm〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有するものが好ましく、360nm〜480nmの波長領域に極大吸収波長を有するものがより好ましく、365nm及び405nmの吸光度が高いものが更に好ましい。
オキシム化合物の365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000〜300,000であることが好ましく、2,000〜300,000であることがより好ましく、5,000〜200,000であることが更に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Cary−5 spctrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用してもよい。
The oxime compound preferably has a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 350 nm to 500 nm, more preferably has a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 360 nm to 480 nm, and further preferably has a high absorbance at 365 nm and 405 nm.
From the viewpoint of sensitivity, the molar extinction coefficient of the oxime compound at 365 nm or 405 nm is preferably 1,000 to 300,000, more preferably 2,000 to 300,000, and 5,000 to 200, It is more preferably 000.
A known method can be used for the molar extinction coefficient of the compound. For example, an ultraviolet-visible spectrophotometer (Varian Cary-5 spctrophotometer) is used with an ethyl acetate solvent at a concentration of 0.01 g / L. It is preferable to measure.
Two or more kinds of photopolymerization initiators may be used in combination, if necessary.

〔重合性化合物〕
硬化性組成物は、重合性化合物を含有する。
重合性化合物の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、1〜40質量%が好ましく、10〜40質量%がより好ましい。
重合性化合物の含有量が、硬化性組成物の全固形分に対して10〜40質量%だと、硬化性組成物はより優れた露光感度を有する。なお、重合性化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の重合性化合物を併用する場合は、その合計量が上記範囲内であることが好ましい。
[Polymerizable compound]
The curable composition contains a polymerizable compound.
The content of the polymerizable compound is preferably 1 to 40% by mass, more preferably 10 to 40% by mass, based on the total solid content of the curable composition.
When the content of the polymerizable compound is 10 to 40% by mass with respect to the total solid content of the curable composition, the curable composition has better exposure sensitivity. The polymerizable compound may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds of polymerizable compounds are used in combination, the total amount thereof is preferably within the above range.

重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を含有する基を1個以上含有する化合物が好ましく、2個以上含有する化合物がより好ましく、3個以上含有することが更に好ましく、5個以上含有することが特に好ましい。上限は、たとえば、15個以下である。エチレン性不飽和結合を含有する基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アリル基、及び、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。 The polymerizable compound is preferably a compound containing one or more groups containing an ethylenically unsaturated bond, more preferably two or more, further preferably three or more, and five or more. Is particularly preferable. The upper limit is, for example, 15 or less. Examples of the group containing an ethylenically unsaturated bond include a vinyl group, a (meth) allyl group, and a (meth) acryloyl group.

重合性化合物は、例えば、モノマー、プレポリマー、オリゴマー、及び、これらの混合物、並びに、これらの多量体等の化学的形態のいずれであってもよく、モノマーが好ましい。
重合性化合物の分子量は、100〜3,000が好ましく、250〜1,500がより好ましい。
重合性化合物は、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
モノマー、プレポリマーの例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸等)又はそのエステル類、アミド類、並びにこれらの多量体が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、及び不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類、並びにこれらの多量体である。また、ヒドロキシ基、アミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を含有する不飽和カルボン酸エステル又はアミド類と、単官能若しくは多官能イソシアネート類又はエポキシ類との付加反応物、及び、上記不飽和カルボン酸エステル又はアミド類と、単官能若しくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基、エポキシ基等の親電子性置換基を含有する不飽和カルボン酸エステル又はアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、又は、チオール類との反応物、ハロゲン基又はトシルオキシ基等の脱離性置換基を含有する不飽和カルボン酸エステル又はアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、又は、チオール類との反応物も好適である。また、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン等のビニルベンゼン誘導体、ビニルエーテル、アリルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落0095〜0108に記載の化合物を本発明においても好適に用いることができる。
The polymerizable compound may be in any chemical form such as, for example, a monomer, a prepolymer, an oligomer, a mixture thereof, and a multimer thereof, and a monomer is preferable.
The molecular weight of the polymerizable compound is preferably 100 to 3,000, more preferably 250 to 1,500.
The polymerizable compound is preferably a (meth) acrylate compound having 3 to 15 functionalities, and more preferably a (meth) acrylate compound having 3 to 6 functionalities.
Examples of monomers and prepolymers include unsaturated carboxylic acids (eg, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.) or esters thereof, amides, and multimers thereof. The esters of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyhydric alcohol compounds, amides of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyvalent amine compounds, and multimers thereof are preferable. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide containing a nucleophilic substituent such as a hydroxy group, an amino group or a mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or an epoxy, and the above-mentioned non-functional group. A dehydration condensation reaction product of a saturated carboxylic acid ester or amide and a monofunctional or polyfunctional carboxylic acid is also preferably used. Further, a reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide containing an electrophilic substituent such as an isocyanate group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amines or thiols, or a halogen group. Alternatively, a reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide containing a desorbing substituent such as a tosyloxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amines, or thiols is also suitable. Further, instead of the unsaturated carboxylic acid described above, it is also possible to use a compound group in which a vinylbenzene derivative such as unsaturated phosphonic acid or styrene, vinyl ether, allyl ether or the like is replaced.
As these specific compounds, the compounds described in paragraphs 0995 to 0108 of JP2009-288705A can be preferably used in the present invention as well.

重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を含有する基を1個以上含有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物も好ましい。例えば、特開2013−29760号公報の段落0227、特開2008−292970号公報の段落0254〜0257に記載の化合物を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。 As the polymerizable compound, a compound having one or more groups containing an ethylenically unsaturated bond and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure is also preferable. For example, the compounds described in paragraphs 0227 of JP2013-29760A and paragraphs 0254 to 0257 of JP2008-292970 can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−330、PET−30、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−320、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD D−310、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD DPHA、日本化薬社製、A−DPH−12E、新中村化学社製)、及びこれらの(メタ)アクリロイル基がエチレングリコール残基又はプロピレングリコール残基を介している構造(例えば、サートマー社から市販されている、SR454、SR499)が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、NKエステルA−TMMT(ペンタエリスリトールテトラアクリレート、新中村化学社製)、及び、KAYARAD RP−1040(日本化薬社製)等を使用することもできる。
以下に好ましい重合性化合物の態様を示す。
The polymerizable compounds are dipentaerythritol triacrylate (commercially available KAYARAD D-330, PET-30, manufactured by Nippon Kayakusha), dipentaerythritol tetraacrylate (commercially available KAYARAD D-320, Nippon Kayakusha). , Dipentaerythritol penta (meth) acrylate (commercially available KAYARAD D-310, manufactured by Nippon Kayakusha), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (commercially available KAYARAD DPHA, manufactured by Nippon Kayakusha), A-DPH-12E, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., and structures in which these (meth) acryloyl groups are mediated by ethylene glycol residues or propylene glycol residues (for example, SR454, SR499 commercially available from Sartmer). ) Is preferable. These oligomer types can also be used. Further, NK ester A-TMMT (pentaerythritol tetraacrylate, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.), KAYARAD RP-1040 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like can also be used.
The preferred embodiments of the polymerizable compound are shown below.

重合性化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、又は、リン酸基等の酸基を有していてもよい。酸基を含有する重合性化合物としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルが好ましく、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応のヒドロキシ基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた重合性化合物がより好ましく、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び/又はジペンタエリスリトールであるものが更に好ましい。市販品としては、例えば、東亞合成社製の、アロニックスTO−2349、M−305、M−510、及び、M−520等が挙げられる。 The polymerizable compound may have an acid group such as a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, or a phosphoric acid group. As the polymerizable compound containing an acid group, an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid is preferable, and a non-aromatic carboxylic acid anhydride is reacted with an unreacted hydroxy group of the aliphatic polyhydroxy compound. A polymerizable compound having an acid group is more preferable, and in this ester, those in which the aliphatic polyhydroxy compound is pentaerythritol and / or dipentaerythritol are further preferable. Examples of commercially available products include Aronix TO-2349, M-305, M-510, and M-520 manufactured by Toagosei Co., Ltd.

酸基を含有する重合性化合物の好ましい酸価としては、0.1〜40mgKOH/gであり、より好ましくは5〜30mgKOH/gである。重合性化合物の酸価が、0.1mgKOH/g以上であれば現像溶解特性が良好であり、40mgKOH/g以下であれば製造及び/又は取扱い上有利である。更には、上記範囲であることにより光重合性能が良好で、硬化性に優れる。 The preferable acid value of the polymerizable compound containing an acid group is 0.1 to 40 mgKOH / g, and more preferably 5 to 30 mgKOH / g. When the acid value of the polymerizable compound is 0.1 mgKOH / g or more, the developing and dissolving properties are good, and when it is 40 mgKOH / g or less, it is advantageous in production and / or handling. Further, within the above range, the photopolymerization performance is good and the curability is excellent.

重合性化合物は、カプロラクトン構造を含有する化合物も好ましい態様である。
カプロラクトン構造を含有する化合物としては、分子内にカプロラクトン構造を含有する限り特に限定されるものではないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸及びε−カプロラクトンとをエステル化することにより得られる、ε−カプロラクトン変性多官能(メタ)アクリレートを挙げることができる。なかでも下記式(Z−1)で表されるカプロラクトン構造を含有する化合物が好ましい。
As the polymerizable compound, a compound containing a caprolactone structure is also a preferable embodiment.
The compound containing a caprolactone structure is not particularly limited as long as the caprolactone structure is contained in the molecule, and for example, trimethylolethane, ditrimethylolethane, trimethylolpropane, dimethylolpropane, pentaerythritol, and dipenta are used. Ε-Caprolactone-modified polyfunctional (meth) acrylate obtained by esterifying polyhydric alcohols such as erythritol, tripentaerythritol, glycerin, diglycerol, and trimethylolmelamine with (meth) acrylic acid and ε-caprolactone. Can be mentioned. Of these, a compound containing a caprolactone structure represented by the following formula (Z-1) is preferable.

式(Z−1)中、6個のRは全てが下記式(Z−2)で表される基であるか、又は6個のRのうち1〜5個が下記式(Z−2)で表される基であり、残余が下記式(Z−3)で表される基である。 In the formula (Z-1), all 6 Rs are groups represented by the following formula (Z-2), or 1 to 5 of the 6 Rs are the following formulas (Z-2). It is a group represented by, and the residue is a group represented by the following formula (Z-3).

式(Z−2)中、R1は水素原子又はメチル基を示し、mは1又は2の数を示し、*は結合手を示す。In formula (Z-2), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, m represents a number of 1 or 2, and * represents a bond.

式(Z−3)中、R1は水素原子又はメチル基を示し、*は結合手を示す。In formula (Z-3), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and * represents a bond.

カプロラクトン構造を含有する重合性化合物は、例えば、日本化薬からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されており、DPCA−20(式(Z−1)〜(Z−3)においてmが1、式(Z−2)で表される基の数が2、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−30(同式において、mが1、式(Z−2)で表される基の数が3、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−60(同式において、mが1、式(Z−2)で表される基の数が6、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−120(同式においてmが2、式(Z−2)で表される基の数が6、R1が全て水素原子である化合物)等が挙げられる。The polymerizable compound containing a caprolactone structure is commercially available from Nippon Kayaku, for example, as the KAYARAD DPCA series, and has m of 1 in DPCA-20 (formulas (Z-1) to (Z-3), and formula (Z-). The number of groups represented by 2) is 2, the number of groups represented by R 1 is all hydrogen atoms), DPCA-30 (in the same formula, m is 1, and the number of groups represented by formula (Z-2) is 3. , R 1 is a compound in which all hydrogen atoms are present), DPCA-60 (in the same formula, m is 1, the number of groups represented by the formula (Z-2) is 6, and R 1 is a compound in which all hydrogen atoms are present). , DPCA-120 (a compound in which m is 2 in the same formula, the number of groups represented by the formula (Z-2) is 6, and R 1 is all hydrogen atoms) and the like.

重合性化合物は、下記式(Z−4)又は(Z−5)で表される化合物を用いることもできる。 As the polymerizable compound, a compound represented by the following formula (Z-4) or (Z-5) can also be used.

式(Z−4)及び(Z−5)中、Eは、各々独立に、−((CH2yCH2O)−、又は((CH2yCH(CH3)O)−を表し、yは、各々独立に0〜10の整数を表し、
Xは、各々独立に、(メタ)アクリロイル基、水素原子、又はカルボン酸基を表す。
式(Z−4)中、(メタ)アクリロイル基の合計は3個又は4個であり、mは各々独立に0〜10の整数を表し、各mの合計は0〜40の整数である。
式(Z−5)中、(メタ)アクリロイル基の合計は5個又は6個であり、nは各々独立に0〜10の整数を表し、各nの合計は0〜60の整数である。
In formulas (Z-4) and (Z-5), E independently converts − ((CH 2 ) y CH 2 O) − or ((CH 2 ) y CH (CH 3 ) O) −. Represented, y represents an integer from 0 to 10 independently.
Each of X independently represents a (meth) acryloyl group, a hydrogen atom, or a carboxylic acid group.
In formula (Z-4), the total number of (meth) acryloyl groups is 3 or 4, each of m independently represents an integer of 0 to 10, and the total of each m is an integer of 0 to 40.
In formula (Z-5), the total number of (meth) acryloyl groups is 5 or 6, each of n independently represents an integer of 0 to 10, and the total of each n is an integer of 0 to 60.

式(Z−4)中、mは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
各mの合計は、2〜40の整数が好ましく、2〜16の整数がより好ましく、4〜8の整数が更に好ましい。
式(Z−5)中、nは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
各nの合計は、3〜60の整数が好ましく、3〜24の整数がより好ましく、6〜12の整数が更に好ましい。
式(Z−4)又は式(Z−5)中の−((CH2yCH2O)−又は((CH2yCH(CH3)O)−は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
In the formula (Z-4), m is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
The total of each m is preferably an integer of 2 to 40, more preferably an integer of 2 to 16, and even more preferably an integer of 4 to 8.
In the formula (Z-5), n is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
The sum of each n is preferably an integer of 3 to 60, more preferably an integer of 3 to 24, and even more preferably an integer of 6 to 12.
-((CH 2 ) y CH 2 O)-or ((CH 2 ) y CH (CH 3 ) O)-in the formula (Z-4) or the formula (Z-5) has the terminal on the oxygen atom side. The form that binds to X is preferable.

式(Z−4)又は式(Z−5)で表される化合物は1種単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。特に、式(Z−5)において、6個のX全てがアクリロイル基である形態、式(Z−5)において、6個のX全てがアクリロイル基である化合物と、6個のXのうち、少なくとも1個が水素原子ある化合物との混合物である態様が好ましい。このような構成とすることにより、現像性をより向上できる。 The compound represented by the formula (Z-4) or the formula (Z-5) may be used alone or in combination of two or more. In particular, among the forms in which all 6 Xs are acryloyl groups in the formula (Z-5), the compounds in which all 6 Xs are acryloyl groups in the formula (Z-5), and the 6 Xs. An embodiment in which at least one is a mixture with a compound having a hydrogen atom is preferable. With such a configuration, the developability can be further improved.

式(Z−4)又は式(Z−5)で表される化合物の重合性化合物中における全含有量は、20質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましい。 The total content of the compound represented by the formula (Z-4) or the formula (Z-5) in the polymerizable compound is preferably 20% by mass or more, more preferably 50% by mass or more.

式(Z−4)又は式(Z−5)で表される化合物は、従来公知の工程である、ペンタエリスリト−ル又はジペンタエリスリト−ルにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを開環付加反応により開環骨格を結合する工程と、開環骨格の末端ヒドロキシ基に、例えば(メタ)アクリロイルクロライドを反応させて(メタ)アクリロイル基を導入する工程と、から合成することができる。各工程はよく知られた工程であり、当業者は容易に一般式(Z−4)又は(Z−5)で表される化合物を合成することができる。 The compound represented by the formula (Z-4) or the formula (Z-5) is obtained by ring-opening addition reaction of ethylene oxide or propylene oxide to pentaerythritol or dipentaerythritol, which is a conventionally known step. It can be synthesized from a step of binding a ring-opening skeleton and a step of reacting, for example, (meth) acryloyl chloride with a terminal hydroxy group of the ring-opening skeleton to introduce a (meth) acryloyl group. Each step is a well-known step, and those skilled in the art can easily synthesize a compound represented by the general formula (Z-4) or (Z-5).

式(Z−4)又は式(Z−5)で表される化合物の中でも、ペンタエリスリトール誘導体及び/又はジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。
具体的には、下記式(a)〜(f)で表される化合物(以下、「例示化合物(a)〜(f)」とも称する。)が挙げられ、中でも、例示化合物(a)、(b)、(e)、(f)が好ましい。
Among the compounds represented by the formula (Z-4) or the formula (Z-5), the pentaerythritol derivative and / or the dipentaerythritol derivative is more preferable.
Specific examples thereof include compounds represented by the following formulas (a) to (f) (hereinafter, also referred to as "exemplified compounds (a) to (f)"), and among them, exemplary compounds (a) and ( b), (e) and (f) are preferable.

式(Z−4)及び(Z−5)で表される重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ鎖を4個含有する4官能アクリレートであるSR−494、日本化薬社製のペンチレンオキシ鎖を6個含有する6官能アクリレートであるDPCA−60、イソブチレンオキシ鎖を3個含有する3官能アクリレートであるTPA−330等が挙げられる。 Commercially available products of the polymerizable compounds represented by the formulas (Z-4) and (Z-5) include SR-494, which is a tetrafunctional acrylate containing four ethyleneoxy chains manufactured by Sartmer, and Nippon Kayaku. Examples thereof include DPCA-60, which is a hexafunctional acrylate containing 6 pentyleneoxy chains, and TPA-330, which is a trifunctional acrylate containing 3 isobutyleneoxy chains.

重合性化合物としては、特公昭48−41708号公報、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されたウレタンアクリレート類;特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、及び特公昭62−39418号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を含有するウレタン化合物類;も好適である。また、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、及び特開平1−105238号公報に記載された、分子内にアミノ構造及び/又はスルフィド構造を含有する付加重合性化合物類を用いることによって、非常に感光スピードに優れた硬化性組成物を得ることができる。
市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200(新中村化学社製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、及び、AI−600(共栄社製)等が挙げられる。
Examples of the polymerizable compound include urethane acrylates described in Japanese Patent Publication No. 48-41708, Japanese Patent Application Laid-Open No. 51-37193, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-32293, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-16765; Urethane compounds containing an ethylene oxide-based skeleton described in Japanese Patent Publication No. 49860, Japanese Patent Publication No. 56-17654, Japanese Patent Publication No. 62-39417, and Japanese Patent Publication No. 62-39418; are also suitable. Further, an addition-polymerizable compound having an amino structure and / or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. By using the above, a curable composition having a very excellent photosensitive speed can be obtained.
Commercially available products include urethane oligomer UA-10, UAB-140 (manufactured by Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.), UA-7200 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA- Examples thereof include 306T, UA-306I, AH-600, T-600, and AI-600 (manufactured by Kyoei Co., Ltd.).

重合性化合物は、SP(Solubility Parameter:溶解パラメータ)値が、9.50以上であることが好ましく、10.40以上であることがより好ましく、10.60以上が更に好ましい。
本明細書においてSP値は、特に断らない限り、Hoy法によって求める(H.L.Hoy Journal of Painting,1970,Vol.42,76−118)。SP値については単位を省略して示しているが、その単位はcal1/2cm−3/2である。
The polymerizable compound preferably has an SP (Solubility Parameter) value of 9.50 or more, more preferably 10.40 or more, and even more preferably 10.60 or more.
In the present specification, the SP value is determined by the Hoy method unless otherwise specified (HL Hoy Journal of Painting, 1970, Vol. 42, 76-118). The unit of the SP value is omitted, but the unit is cal 1/2 cm -3/2 .

硬化性組成物は、現像残渣改善の観点から、カルド骨格を含有する重合性化合物を含有することも好ましい。
カルド骨格を含有する重合性化合物としては、9,9−ビスアリールフルオレン骨格を含有する重合性化合物が好ましく、下記式(Q3)で表される化合物がより好ましい。
From the viewpoint of improving the development residue, the curable composition preferably contains a polymerizable compound containing a cardo skeleton.
As the polymerizable compound containing a cardo skeleton, a polymerizable compound containing a 9,9-bisarylfluorene skeleton is preferable, and a compound represented by the following formula (Q3) is more preferable.

式(Q3)
Equation (Q3)

上記式(Q3)中、Ar11〜Ar14はそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を含有するアリール基を表す。X〜Xはそれぞれ独立に重合性基を含有する置換基を表し、上記置換基中の炭素原子はヘテロ原子によって置換されていてもよい。a及びbはそれぞれ独立に1〜5の整数を表し、c及びdはそれぞれ独立に0〜5の整数を表す。R〜Rはそれぞれ独立に置換基を表し、e、f、g及びhはそれぞれ独立に0以上の整数を表し、e、f、g及びhの上限値はそれぞれAr11〜Ar14が含有することができる置換基の数からa、b、c又はdをそれぞれ減じた値である。但し、Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含有する多環芳香族炭化水素基である場合は、X〜X及びR〜Rはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。In the above formula (Q3), Ar 11 to Ar 14 each independently represent an aryl group containing a benzene ring surrounded by a broken line. X 1 to X 4 each independently represent a substituent containing a polymerizable group, and the carbon atom in the substituent may be substituted with a hetero atom. a and b each independently represent an integer of 1 to 5, and c and d each independently represent an integer of 0 to 5. R 1 to R 4 independently represent substituents, e, f, g and h each independently represent an integer of 0 or more, and the upper limits of e, f, g and h are Ar 11 to Ar 14, respectively. It is a value obtained by subtracting a, b, c or d from the number of substituents that can be contained. However, when Ars 11 to Ar 14 are polycyclic aromatic hydrocarbon groups each containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the fused rings, X 1 to X 4 and R 1 to R 4 are Each of them may be independently replaced with a benzene ring surrounded by a broken line, or may be replaced with a ring other than the benzene ring surrounded by a broken line.

式(Q3)中、Ar11〜Ar14が表す破線で囲まれたベンゼン環を含有するアリール基は、炭素数6〜14のアリール基であることが好ましく、炭素数6〜10のアリール基(例えば、フェニル基、ナフチル基)であることがより好ましく、フェニル基(破線で囲まれたベンゼン環のみ)であることが更に好ましい。In the formula (Q3), the aryl group containing a benzene ring represented by Ar 11 to Ar 14 is preferably an aryl group having 6 to 14 carbon atoms, and an aryl group having 6 to 10 carbon atoms ( For example, it is more preferably a phenyl group or a naphthyl group), and further preferably a phenyl group (only a benzene ring surrounded by a broken line).

式(Q3)中、X〜Xはそれぞれ独立に重合性基を含有する置換基を表し、上記置換基中の炭素原子はヘテロ原子によって置換されていてもよい。X〜Xが表す重合性基を含有する置換基としては特に制限はないが、重合性基を含有する脂肪族基であることが好ましい。
〜Xが表す重合性基を含有する脂肪族基としては、特に制限はないが、重合性基以外における炭素数が1〜12のアルキレン基であることが好ましく、炭素数2〜10のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数2〜5のアルキレン基であることが更に好ましい。
〜Xが表す重合性基を含有する脂肪族基において、上記脂肪族基がヘテロ原子によって置換される場合は、−NR−(Rは置換基)、酸素原子、硫黄原子によって置換されていることが好ましく、上記脂肪族基中の隣り合わない−CH−が酸素原子又は硫黄原子で置換されていることがより好ましく、上記脂肪族基中の隣り合わない−CH−が酸素原子で置換されていることが更に好ましい。X〜Xが表す重合性基を含有する脂肪族基は、ヘテロ原子によって1〜2箇所置換されていることが好ましく、ヘテロ原子によって1箇所置換されていることがより好ましく、Ar11〜Ar14が表す破線で囲まれたベンゼン環を含有するアリール基に隣接する1箇所がヘテロ原子によって置換されていることが更に好ましい。
〜Xが表す重合性基を含有する脂肪族基に含まれる重合性基としては、ラジカル重合又はカチオン重合可能な重合性基(以下、それぞれラジカル重合性基及びカチオン重合性基とも言う)が好ましい。
ラジカル重合性基としては、一般に知られているラジカル重合性基を用いることができ、好適なものとしてラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を含有する重合性基を挙げることができ、具体的にはビニル基、(メタ)アクリロイルオキシ基等を挙げることができる。中でも、(メタ)アクリロイルオキシ基が好ましく、アクリロイルオキシ基がより好ましい。
カチオン重合性基としては、一般に知られているカチオン重合性を用いることができ、具体的には、脂環式エーテル基、環状アセタール基、環状ラクトン基、環状チオエーテル基、スピロオルソエステル基、ビニルオキシ基等を挙げることができる。中でも、脂環式エーテル基、ビニルオキシ基が好適であり、エポキシ基、オキセタニル基、ビニルオキシ基が特に好ましい。
Ar11〜Ar14が含有する置換基が含有する上記重合性基は、ラジカル重合性基であることが好ましい。
Ar11〜Ar14のうち2つ以上は重合性基を含有する置換基を含み、Ar11〜Ar14のうち2〜4個が重合性基を含有する置換基を含有することが好ましく、Ar11〜Ar14のうち2又は3個が重合性基を含有する置換基を含有することがより好ましく、Ar11〜Ar14のうち2個が重合性基を含有する置換基を含有することが更に好ましい。
Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含有する多環芳香族炭化水素基である場合は、X〜Xはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。
In the formula (Q3), X 1 to X 4 each independently represent a substituent containing a polymerizable group, and the carbon atom in the substituent may be substituted with a hetero atom. The substituent containing the polymerizable group represented by X 1 to X 4 is not particularly limited, but is preferably an aliphatic group containing a polymerizable group.
The aliphatic group containing the polymerizable group represented by X 1 to X 4 is not particularly limited, but is preferably an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms other than the polymerizable group, and has 2 to 10 carbon atoms. It is more preferably an alkylene group of, and further preferably an alkylene group having 2 to 5 carbon atoms.
In the aliphatic group containing a polymerizable group represented by X 1 to X 4 , when the aliphatic group is substituted with a hetero atom, it is substituted with -NR- (R is a substituent), an oxygen atom, and a sulfur atom. it is preferable that, -CH not adjacent in the aliphatic group 2 - is more preferably is substituted with an oxygen atom or a sulfur atom, -CH nonadjacent in the aliphatic group 2 - oxygen It is more preferably substituted with an atom. The aliphatic group containing the polymerizable group represented by X 1 to X 4 is preferably substituted at 1 to 2 sites by the hetero atom, more preferably at 1 site by the hetero atom, and Ar 11 to 1. It is more preferable that one site adjacent to the aryl group containing the benzene ring surrounded by the broken line represented by Ar 14 is substituted with a heteroatom.
The polymerizable group contained in the aliphatic group containing the polymerizable group represented by X 1 to X 4 is a polymerizable group capable of radical polymerization or cationic polymerization (hereinafter, also referred to as a radical polymerizable group and a cationically polymerizable group, respectively). ) Is preferable.
As the radically polymerizable group, a generally known radically polymerizable group can be used, and a suitable one can be a polymerizable group containing an ethylenically unsaturated bond capable of radical polymerization. Can be mentioned as a vinyl group, a (meth) acryloyloxy group and the like. Among them, the (meth) acryloyloxy group is preferable, and the acryloyloxy group is more preferable.
As the cationically polymerizable group, a generally known cationically polymerizable group can be used, and specifically, an alicyclic ether group, a cyclic acetal group, a cyclic lactone group, a cyclic thioether group, a spirolethoester group, and vinyloxy. The groups can be mentioned. Of these, an alicyclic ether group and a vinyloxy group are preferable, and an epoxy group, an oxetanyl group and a vinyloxy group are particularly preferable.
The polymerizable group contained in the substituents contained in Ar 11 to Ar 14 is preferably a radical polymerizable group.
Two or more of the Ar 11 to Ar 14 comprises a substituent containing a polymerizable group, preferably contains a substituent 2-4 of Ar 11 to Ar 14 contains a polymerizable group, Ar 11 is more preferably 2 or 3 of the to Ar 14 contains a substituent containing a polymerizable group, may contain a substituent group wherein two of Ar 11 to Ar 14 contains a polymerizable group More preferred.
When Ar 11 to Ar 14 are polycyclic aromatic hydrocarbon groups each containing a benzene ring independently surrounded by a broken line as one of the condensed rings, X 1 to X 4 are independently surrounded by a broken line. It may be replaced with a benzene ring or a ring other than the benzene ring surrounded by a broken line.

式(Q3)中、a及びbはそれぞれ独立に1〜5の整数を表し、1又は2であることが好ましく、a及びbがいずれも1であることがより好ましい。
式(Q3)中、c及びdはそれぞれ独立に0〜5の整数を表し、0又は1であることが好ましく、c及びdがいずれも0であることがより好ましい。
In the formula (Q3), a and b each independently represent an integer of 1 to 5, preferably 1 or 2, and more preferably both a and b are 1.
In the formula (Q3), c and d each independently represent an integer of 0 to 5, preferably 0 or 1, and more preferably both c and d are 0.

式(Q3)中、R〜Rはそれぞれ独立に置換基を表す。R〜Rが表す置換基としては特に制限はないが、例えば、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、アルキル基、アルケニル基、アシル基、ヒドロキシ基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシ基、アリール基、ヘテロアリール基、及び、脂環基等を挙げることができる。R〜Rが表す置換基はアルキル基、アルコキシ基又はアリール基であることが好ましく、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜5のアルコキシ基又はフェニル基であることがより好ましく、メチル基、メトキシ基又はフェニル基であることが更に好ましい。
式(Q3)中、Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含有する多環芳香族炭化水素基である場合は、R〜Rはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。
In formula (Q3), R 1 to R 4 each independently represent a substituent. The substituent represented by R 1 to R 4 is not particularly limited, and for example, a halogen atom, an alkyl halide group, an alkyl group, an alkenyl group, an acyl group, a hydroxy group, a hydroxyalkyl group, an alkoxy group, an aryl group and a hetero Examples thereof include an aryl group and an alicyclic group. The substituent represented by R 1 to R 4 is preferably an alkyl group, an alkoxy group or an aryl group, and more preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms and an alkoxy group or a phenyl group having 1 to 5 carbon atoms. , Methyl group, methoxy group or phenyl group is more preferable.
In formula (Q3), when Ars 11 to Ar 14 are polycyclic aromatic hydrocarbon groups each containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the fused rings, R 1 to R 4 are independent of each other. It may be replaced with a benzene ring surrounded by a broken line, or may be replaced with a ring other than the benzene ring surrounded by a broken line.

式(Q3)中、e、f、g及びhはそれぞれ独立に0以上の整数を表し、e、f、g及びhの上限値はそれぞれAr11〜Ar14が含有することができる置換基の数からa、b、c又はdをそれぞれ減じた値である。
e、f、g及びhはそれぞれ独立に0〜8であることが好ましく、0〜2であることがより好ましく、0であることが更に好ましい。
Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含有する多環芳香族炭化水素基である場合、e、f、g及びhは0又は1であることが好ましく、0であることがより好ましい。
In the formula (Q3), e, f, g and h each independently represent an integer of 0 or more, and the upper limit values of e, f, g and h are the substituents that Ar 11 to Ar 14 can contain, respectively. It is a value obtained by subtracting a, b, c or d from the number.
e, f, g and h are each independently preferably 0 to 8, more preferably 0 to 2, and even more preferably 0.
When Ar 11 to Ar 14 are polycyclic aromatic hydrocarbon groups each containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the fused rings, e, f, g and h may be 0 or 1. It is preferably 0, and more preferably 0.

式(Q3)で表される化合物としては、例えば、9,9−ビス[4−(2−アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン等が挙げられる。9,9−ビスアリールフルオレン骨格を含有する重合性化合物としては、特開2010-254732号公報に記載の化合物類も好適に用いることができる。 Examples of the compound represented by the formula (Q3) include 9,9-bis [4- (2-acryloyloxyethoxy) phenyl] fluorene and the like. As the polymerizable compound containing a 9,9-bisarylfluorene skeleton, the compounds described in JP-A-2010-254732 can also be preferably used.

このようなカルド骨格を含有する重合性化合物としては、限定されないが、例えば、オンコートEXシリーズ(長瀬産業社製)及びオグソール(大阪ガスケミカル社製)等が挙げられる。 Examples of the polymerizable compound containing such a cardo skeleton include, but are not limited to, Oncoat EX series (manufactured by Nagase & Co., Ltd.) and Ogsol (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.).

〔任意成分〕
<着色剤>
硬化性組成物は着色剤を含有することが好ましい。着色剤は、顔料、及び、染料からなる群から選択される少なくとも1種であり、有彩色着色剤でも、黒色着色剤でもよいが、黒色顔料を含有することが好ましい。
硬化性組成物における着色剤の含有量は、特に制限されないが、上記硬化性組成物により得られる硬化膜を遮光膜として用いる場合、より優れた遮光性が得られる点で、硬化性組成物の全固形分に対して、50質量%以上が好ましい。
着色剤の含有量の上限値は特に制限されないが、一般に、硬化性組成物の全固形分に対して、70質量%以下が好ましい。着色剤の含有量が上限値以下だと、硬化性組成物はより優れた塗布性を有する。
[Arbitrary component]
<Colorant>
The curable composition preferably contains a colorant. The colorant is at least one selected from the group consisting of pigments and dyes, and may be a chromatic colorant or a black colorant, but preferably contains a black pigment.
The content of the colorant in the curable composition is not particularly limited, but when the cured film obtained by the above curable composition is used as a light-shielding film, a more excellent light-shielding property can be obtained. It is preferably 50% by mass or more based on the total solid content.
The upper limit of the content of the colorant is not particularly limited, but is generally preferably 70% by mass or less with respect to the total solid content of the curable composition. When the content of the colorant is below the upper limit, the curable composition has better coatability.

(顔料)
顔料としては、特に制限されず、公知の無機顔料及び/又は有機顔料を用いることができる。
(Pigment)
The pigment is not particularly limited, and known inorganic pigments and / or organic pigments can be used.

・無機顔料
上記無機顔料としては、特に制限されず、公知の無機顔料を用いることができる。
無機顔料としては、例えば、亜鉛華、鉛白、リトポン、酸化チタン、酸化クロム、酸化鉄、沈降性硫酸バリウム及びバライト粉、鉛丹、酸化鉄赤、黄鉛、亜鉛黄(亜鉛黄1種、亜鉛黄2種)、ウルトラマリン青、プロシア青(フェロシアン化鉄カリ)ジルコングレー、プラセオジムイエロー、クロムチタンイエロー、クロムグリーン、ピーコック、ビクトリアグリーン、紺青(プルシアンブルーとは無関係)、バナジウムジルコニウム青、クロム錫ピンク、陶試紅、並びにサーモンピンク等が挙げられる。また、黒色の無機顔料としては、Co、Cr、Cu、Mn,Ru、Fe、Ni、Sn、Ti、及びAgからなる群より選ばれた1種又は2種以上の金属元素を含む金属酸化物、金属窒素物、及び金属酸窒化物等が挙げられる。
-Inorganic pigment The inorganic pigment is not particularly limited, and a known inorganic pigment can be used.
Examples of inorganic pigments include zinc white, lead white, lithopon, titanium oxide, chromium oxide, iron oxide, precipitated barium sulfate and barite powder, lead tan, iron oxide red, chrome yellow, and zinc yellow (zinc yellow 1 type, Zinc Oxide Yellow 2), Ultra Marine Blue, Prussian Blue (Ferrosian Iron Potassium) Zircon Gray, Placeozim Yellow, Chrome Titanium Yellow, Chrome Green, Peacock, Victoria Green, Prussian Blue (unrelated to Prussian Blue), Vanadium Zircon Blue, Examples include chrome tin pink, ceramic test red, and salmon pink. Further, as the black inorganic pigment, a metal oxide containing one or more metal elements selected from the group consisting of Co, Cr, Cu, Mn, Ru, Fe, Ni, Sn, Ti, and Ag. , Metal nitrogen, metal oxynitride and the like.

無機顔料としては、含有量が少なくとも、高い光学濃度を有する硬化膜を形成することができる硬化性組成物が得られる点で、カーボンブラック、チタンブラック、及び金属顔料等(以下、「黒色顔料」ともいう。)が好ましい。金属顔料としては、例えば、Nb、V、Co、Cr、Cu、Mn、Ru、Fe、Ni、Sn、Ti、及びAgからなる群より選ばれる1種又は2種以上の金属元素を含む金属酸化物及び金属窒素物が挙げられる。
無機顔料としては、窒化チタン、酸窒化チタン、窒化ニオブ、窒化バナジウム、銀、又は錫を含有する金属顔料、並びに銀、及び錫を含有する金属顔料からなる群から選択される少なくとも1種を含有することが好ましく、窒化チタン、酸窒化チタン、窒化ニオブ、及び窒化バナジウムからなる群から選択される少なくとも1種を含有することがより好ましい。窒化ニオブ、及び窒化バナジウムは、酸窒化ニオブ、及び酸窒化バナジウムでもよい。
なお、無機顔料としては、カーボンブラックを用いることもできる。カーボンブラックの具体例としては、市販品である、C.I.ピグメントブラック 1等の有機顔料C.I.ピグメントブラック 7等の無機顔料が挙げられるがこれらに限定されない。
Examples of the inorganic pigment include carbon black, titanium black, and metal pigments (hereinafter, "black pigment") in that a curable composition capable of forming a cured film having at least a high optical density can be obtained. Also referred to as) is preferable. Examples of the metal pigment include metal oxidation containing one or more metal elements selected from the group consisting of Nb, V, Co, Cr, Cu, Mn, Ru, Fe, Ni, Sn, Ti, and Ag. Examples include substances and metallic nitrogen substances.
The inorganic pigment contains at least one selected from the group consisting of metal pigments containing titanium nitride, titanium oxynitride, niobium nitride, vanadium nitride, silver, or tin, and metal pigments containing silver and tin. It is more preferable to contain at least one selected from the group consisting of titanium nitride, titanium oxynitride, niobium nitride, and vanadium nitride. The niobium nitride and vanadium nitride may be niobium oxynitride and vanadium oxynitride.
Carbon black can also be used as the inorganic pigment. Specific examples of carbon black include commercially available C.I. I. Pigment Black 1 and other organic pigments C.I. I. Examples include, but are not limited to, inorganic pigments such as Pigment Black 7.

硬化性組成物には、黒色顔料として記載した顔料以外で赤外線吸収性を有する顔料を用いることもできる。
赤外線吸収性を有する顔料としては、タングステン化合物、及び金属ホウ化物等が好ましく、なかでも、赤外領域の波長における遮光性に優れる点から、タングステン化合物が好ましい。特に露光による硬化効率に関わる光重合開始剤の光吸収波長領域と、可視光領域の透光性に優れる観点からタングステン化合物が好ましい。
As the curable composition, a pigment having infrared absorption other than the pigment described as the black pigment can also be used.
As the pigment having infrared absorption, a tungsten compound, a metal boride and the like are preferable, and among them, a tungsten compound is preferable from the viewpoint of excellent light-shielding property in a wavelength in the infrared region. In particular, a tungsten compound is preferable from the viewpoint of excellent light absorption wavelength region of the photopolymerization initiator and visible light region, which are related to curing efficiency by exposure.

これらの顔料は、2種以上併用してもよく、また、後述する染料と併用してもよい。色味を調整するため、及び、所望の波長領域の遮光性を高めるため、例えば、黒色顔料、又は赤外線遮光性を有する顔料に、赤色、緑色、黄色、オレンジ色、紫色、及びブルーなどの有彩色顔料若しくは後述する染料を混ぜる態様が挙げられる。黒色顔料、又は赤外線遮光性を有する顔料に、赤色顔料若しくは染料、又は、紫色顔料若しくは染料を混合することが好ましく、黒色顔料、又は赤外線遮光性を有する顔料に赤色顔料を混合することがより好ましい。
更に、後述する近赤外線吸収剤、赤外線吸収剤を加えても良い。
Two or more of these pigments may be used in combination, or may be used in combination with a dye described later. In order to adjust the color and to enhance the light-shielding property in the desired wavelength region, for example, black pigments or pigments having infrared light-shielding properties include red, green, yellow, orange, purple, and blue. Examples thereof include a mode in which a coloring pigment or a dye described later is mixed. It is preferable to mix a red pigment or dye, or a purple pigment or dye with a black pigment or a pigment having an infrared light-shielding property, and more preferably to mix a red pigment with a black pigment or a pigment having an infrared light-shielding property. ..
Further, a near-infrared absorber and an infrared absorber, which will be described later, may be added.

黒色顔料は、チタンブラック及び/又は酸窒化ニオブを含有することが好ましい。チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子である。好ましくは低次酸化チタン、酸窒化チタン又は窒化チタン等である。チタンブラック粒子は、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。酸化珪素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は、酸化ジルコニウムで被覆することが可能であり、また、特開2007−302836号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。
チタンブラックは、典型的には、チタンブラック粒子であり、個々の粒子の一次粒子径及び平均一次粒子径のいずれもが小さいものであることが好ましい。酸窒化ニオブも同様である。
具体的には、平均一次粒子径で10nm〜45nmの範囲のものが好ましい。
The black pigment preferably contains titanium black and / or niobium nitride. Titanium black is black particles containing a titanium atom. It is preferably low-order titanium oxide, titanium oxynitride, titanium nitride or the like. The surface of the titanium black particles can be modified as needed for the purpose of improving dispersibility, suppressing cohesiveness, and the like. It can be coated with silicon oxide, titanium oxide, germanium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, or zirconium oxide, and can also be treated with a water-repellent substance as shown in JP-A-2007-302836. It is possible.
Titanium black is typically titanium black particles, and it is preferable that both the primary particle diameter and the average primary particle diameter of the individual particles are small. The same applies to niobium nitride.
Specifically, those having an average primary particle diameter in the range of 10 nm to 45 nm are preferable.

なお、顔料の平均一次粒子径は、透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope、TEM)を用いて測定できる。透過型電子顕微鏡としては、例えば、日立ハイテクノロジーズ社製の透過型顕微鏡HT7700を用いることができる。
本明細書において、顔料の平均一次粒子径は、透過型電子顕微鏡を用いて得た粒子像の最大長(Dmax:粒子画像の輪郭上の2点における最大長さ)、及び最大長垂直長(DV−max:最大長に平行な2本の直線で画像を挟んだ時、2直線間を垂直に結ぶ最短の長さ)を測長し、その相乗平均値(Dmax×DV−max)1/2を粒子径とした。顔料の平均一次粒子径は、この方法で100個の粒子の粒子径を測定し、その算術平均値を意図する。
The average primary particle size of the pigment can be measured using a transmission electron microscope (TEM). As the transmission electron microscope, for example, a transmission microscope HT7700 manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation can be used.
In the present specification, the average primary particle diameter of the pigment is the maximum length (Dmax: maximum length at two points on the contour of the particle image) and the maximum length vertical length (Dmax) of the particle image obtained by using a transmission electron microscope. DV-max: When an image is sandwiched between two straight lines parallel to the maximum length, the length is measured (the shortest length that connects the two straight lines vertically), and the synergistic average value (Dmax × DV-max) 1 / 2 was defined as the particle size. The average primary particle size of the pigment is an arithmetic mean value obtained by measuring the particle size of 100 particles by this method.

チタンブラック及び酸窒化ニオブの比表面積は特に制限されないが、チタンブラック及び酸窒化ニオブを撥水化剤で表面処理した後の撥水性が所定の性能となるために、BET(Brunauer, Emmett, Teller)法にて測定した値が5m2/g以上150m2/g以下であることが好ましく、20m2/g以上120m2/g以下であることがより好ましい。
チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M−C、13R、13R−N、13M−T(商品名、三菱マテリアル(株)製)、ティラック(Tilack)D(商品名、赤穂化成(株)製)、窒化チタン50nm(商品名、和光純薬(株)製)などが挙げられる。
The specific surface areas of titanium black and niobium nitride are not particularly limited, but BET (Brunauer, Measurement, Teller) has a predetermined performance in terms of water repellency after surface treatment of titanium black and niobium nitride with a water repellent agent. The value measured by the method) is preferably 5 m 2 / g or more and 150 m 2 / g or less, and more preferably 20 m 2 / g or more and 120 m 2 / g or less.
Examples of commercially available titanium black products include titanium black 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C, 13R, 13R-N, 13M-T (trade name, manufactured by Mitsubishi Materials Corporation), and Tirack. Examples thereof include D (trade name, manufactured by Ako Kasei Co., Ltd.) and titanium nitride 50 nm (trade name, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.).

着色剤として、酸窒化チタン、窒化チタン又は酸窒化ニオブを使用することが好ましく、得られる硬化膜の耐湿性がより優れるという理由から、窒化チタン又は酸窒化ニオブがより好ましく、酸窒化ニオブが更に好ましい。これは、これらの着色剤が疎水性であるためと考えられる。 It is preferable to use titanium oxynitride, titanium nitride or niobium oxynitride as the colorant, and titanium nitride or niobium oxynitride is more preferable, and niobium oxynitride is further preferable because the obtained cured film has more excellent moisture resistance. preferable. It is considered that this is because these colorants are hydrophobic.

更に、チタンブラックを、チタンブラック及びSi原子を含む被分散体として含有することも好ましい。
この形態において、チタンブラックは、硬化性組成物中において被分散体として含有されるものであり、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)が質量換算で0.05以上が好ましく、0.05〜0.5がより好ましく、0.07〜0.4が更に好ましい。
ここで、上記被分散体は、チタンブラックが一次粒子の状態であるもの、凝集体(二次粒子)の状態であるものの双方を包含する。
被分散体の含有比(Si/Ti)を変更する(例えば、0.05以上とする)ためには、以下のような手段を用いることができる。
先ず、酸化チタンとシリカ粒子とを分散機を用いて分散することにより分散物を得て、この分散物を高温(例えば、850〜1,000℃)にて還元処理することにより、チタンブラック粒子を主成分とし、SiとTiとを含有する被分散体を得ることができる。上記還元処理は、アンモニアなどの還元性ガスの雰囲気下で行うこともできる。
酸化チタンとしては、TTO−51N(商品名、石原産業製)などが挙げられる。
シリカ粒子の市販品としては、AEROSIL(登録商標)90、130、150、200、255、300、380(商品名、エボニック製)などが挙げられる。
酸化チタンとシリカ粒子との分散は、分散剤を用いてもよい。分散剤としては、後述する分散剤の欄で説明するものが挙げられる。
上記の分散は溶剤中で行ってもよい。溶剤としては、水、有機溶剤が挙げられる。後述する有機溶剤の欄で説明するものが挙げられる。
含有比(Si/Ti)が、例えば、0.05以上等に調整されたチタンブラックは、例えば、特開2008−266045公報の段落番号〔0005〕及び段落番号〔0016〕〜〔0021〕に記載の方法により作製することができる。
Further, it is also preferable to contain titanium black as a dispersant containing titanium black and Si atoms.
In this form, titanium black is contained as a dispersant in the curable composition, and the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersant is 0 in terms of mass. 05 or more is preferable, 0.05 to 0.5 is more preferable, and 0.07 to 0.4 is further preferable.
Here, the dispersant includes both those in which titanium black is in the state of primary particles and those in which titanium black is in the state of aggregates (secondary particles).
In order to change the content ratio (Si / Ti) of the dispersion to be dispersed (for example, 0.05 or more), the following means can be used.
First, a dispersion is obtained by dispersing titanium oxide and silica particles using a disperser, and the dispersion is reduced at a high temperature (for example, 850 to 1,000 ° C.) to obtain titanium black particles. A dispersant containing Si and Ti as a main component can be obtained. The reduction treatment can also be performed in an atmosphere of a reducing gas such as ammonia.
Examples of titanium oxide include TTO-51N (trade name, manufactured by Ishihara Sangyo).
Examples of commercially available silica particles include AEROSIL (registered trademark) 90, 130, 150, 200, 255, 300, 380 (trade name, manufactured by Evonik).
A dispersant may be used to disperse the titanium oxide and the silica particles. Examples of the dispersant include those described in the column of dispersants described later.
The above dispersion may be carried out in a solvent. Examples of the solvent include water and organic solvents. Examples thereof will be described in the column of organic solvent described later.
Titanium black whose content ratio (Si / Ti) has been adjusted to, for example, 0.05 or more is described in, for example, paragraph numbers [0005] and paragraph numbers [0016] to [0021] of JP-A-2008-266045. It can be produced by the method of.

チタンブラック及びSi原子を含む被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)を好適な範囲(例えば0.05以上)に調整することで、この被分散体を含む硬化性組成物を用いて硬化膜を形成した際に、硬化膜の形成領域外における硬化性組成物由来の残渣物が低減される。なお、残渣物は、チタンブラック粒子、樹脂成分等の硬化性組成物に由来する成分を含むものである。
残渣物が低減される理由は未だ明確ではないが、上記のような被分散体は粒子径が小さくなる傾向があり(例えば、粒子径30nm以下)、更に、この被分散体のSi原子が含まれる成分が増すことにより、膜全体の下地との吸着性が低減される。これが、硬化膜の形成における未硬化の硬化性組成物(特に、チタンブラック)の現像除去性の向上に寄与すると推測される。
チタンブラックは、紫外光から赤外光までの広範囲に亘る波長領域の光に対する遮光性に優れることから、上記したチタンブラック及びSi原子を含む被分散体(好ましくは含有比(Si/Ti)が質量換算で0.05以上であるもの)を用いて形成された硬化膜は優れた遮光性を発揮する。
なお、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)は、例えば、特開2013−249417号公報の段落0033に記載の方法(1−1)又は方法(1−2)を用いて測定できる。
硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜に含有される被分散体について、その被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)が0.05以上か否かを判断するには、特開2013−249417号公報の段落0035に記載の方法(2)を用いることができる。
By adjusting the content ratio (Si / Ti) of Si atoms and Ti atoms in the dispersant containing titanium black and Si atoms to a suitable range (for example, 0.05 or more), curing including this disperse is performed. When the cured film is formed using the sex composition, the residue derived from the curable composition outside the formed region of the cured film is reduced. The residue contains components derived from a curable composition such as titanium black particles and a resin component.
The reason why the residue is reduced is not yet clear, but the dispersant as described above tends to have a smaller particle size (for example, a particle size of 30 nm or less), and further contains Si atoms of the dispersant. By increasing the number of components, the adsorptivity of the entire film to the substrate is reduced. It is presumed that this contributes to the improvement of the developability of the uncured curable composition (particularly titanium black) in the formation of the cured film.
Titanium black has excellent light-shielding properties against light in a wide wavelength range from ultraviolet light to infrared light, and therefore has a dispersant containing titanium black and Si atoms (preferably a content ratio (Si / Ti)). The cured film formed using (those having a mass conversion of 0.05 or more) exhibits excellent light-shielding properties.
The content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersion is determined by, for example, the method (1-1) or method (1-2) described in paragraph 0033 of JP2013-249417A. ) Can be used for measurement.
Whether or not the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the dispersion to be contained in the cured film obtained by curing the curable composition is 0.05 or more. In order to determine the above, the method (2) described in paragraph 0035 of JP2013-249417A can be used.

チタンブラック及びSi原子を含む被分散体において、チタンブラックは、上記したものを使用できる。
この被分散体においては、チタンブラックと共に、分散性、着色性等を調整する目的で、Cu、Fe、Mn、V、Ni等の複合酸化物、酸化コバルト、酸化鉄、カーボンブラック、アニリンブラック等からなる黒色顔料を、1種又は2種以上組み合わせて用いてもよい。この場合、全被分散体中の50質量%以上をチタンブラックからなる被分散体が占めることが好ましい。
この被分散体においては、遮光性の調整等を目的として、本発明の効果を損なわない限りにおいて、チタンブラックと共に、他の着色剤(有機顔料及び/又は染料など)を所望により併用してもよい。
以下、被分散体にSi原子を導入する際に用いられる材料について述べる。被分散体にSi原子を導入する際には、シリカなどのSi含有物質を用いればよい。
用いうるシリカとしては、沈降シリカ、フュームドシリカ、コロイダルシリカ、合成シリカなどを挙げることができ、これらを適宜選択して使用すればよい。
更に、シリカ粒子の粒子径が硬化膜を形成した際の膜厚よりも小さい粒子径であると遮光性がより優れるため、微粒子タイプのシリカを用いることが好ましい。なお、微粒子タイプのシリカの例としては、例えば、特開2013−249417号公報の段落0039に記載のシリカが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
In the dispersant containing titanium black and Si atom, the above-mentioned titanium black can be used.
In this dispersion, in addition to titanium black, for the purpose of adjusting dispersibility, colorability, etc., composite oxides such as Cu, Fe, Mn, V, Ni, cobalt oxide, iron oxide, carbon black, aniline black, etc. A black pigment composed of 1 type or a combination of 2 or more types may be used. In this case, it is preferable that the dispersed material made of titanium black accounts for 50% by mass or more of the total dispersed material.
In this dispersion, for the purpose of adjusting the light-shielding property, other colorants (organic pigments and / or dyes, etc.) may be used in combination with titanium black as long as the effects of the present invention are not impaired. Good.
Hereinafter, the materials used when introducing Si atoms into the dispersion to be dispersed will be described. When introducing a Si atom into the dispersion, a Si-containing substance such as silica may be used.
Examples of silica that can be used include precipitated silica, fumed silica, colloidal silica, synthetic silica, and the like, which may be appropriately selected and used.
Further, when the particle size of the silica particles is smaller than the film diameter when the cured film is formed, the light-shielding property is more excellent, so it is preferable to use fine particle type silica. Examples of the fine particle type silica include silica described in paragraph 0039 of JP2013-249417A, and the contents thereof are incorporated in the present specification.


硬化性組成物は、顔料としてタングステン化合物、及び/又は金属ホウ化物を使用できる。
タングステン化合物、及び金属ホウ化物は、赤外線(波長が約800〜1,200nmの光)に対しては吸収が高く(すなわち、赤外線に対する遮光性(遮蔽性)が高く)、可視光に対しては吸収が低い赤外線遮蔽材である。このため、硬化性組成物は、タングステン化合物、及び/又は金属ホウ化物を含有することで、赤外領域における遮光性が高く、可視光領域における透光性が高いパターンを形成できる。
タングステン化合物、及び金属ホウ化物は、画像形成に用いられる、高圧水銀灯、KrF、ArFなどの露光に用いられる可視域より短波の光に対しても吸収が小さい。このため、前述の重合性化合物、光重合開始剤、及び後述のアルカリ可溶性樹脂と組み合わされることにより、優れたパターンが得られるとともに、パターン形成において、現像残渣をより抑制できる。

Tungsten compounds and / or metal borides can be used as pigments in the curable composition.
Tungsten compounds and metal borides have high absorption for infrared rays (light with a wavelength of about 800 to 1,200 nm) (that is, high light-shielding property (shielding property) for infrared rays), and for visible light. It is an infrared shielding material with low absorption. Therefore, by containing the tungsten compound and / or the metal boride, the curable composition can form a pattern having high light-shielding property in the infrared region and high translucency in the visible light region.
Tungsten compounds and metal borides absorb less light than the visible range used for exposure of high-pressure mercury lamps, KrF, ArF, etc. used for image formation. Therefore, by combining with the above-mentioned polymerizable compound, the photopolymerization initiator, and the below-mentioned alkali-soluble resin, an excellent pattern can be obtained, and the development residue can be further suppressed in pattern formation.

タングステン化合物としては、酸化タングステン系化合物、ホウ化タングステン系化合物、硫化タングステン系化合物などを挙げることができ、下記一般式(組成式)(I)で表される酸化タングステン系化合物が好ましい。
・・・(I)
Mは金属、Wはタングステン、Oは酸素を表す。
0.001≦x/y≦1.1
2.2≦z/y≦3.0
Examples of the tungsten compound include a tungsten oxide-based compound, a tungsten booxide-based compound, and a tungsten sulfide-based compound, and the tungsten oxide-based compound represented by the following general formula (composition formula) (I) is preferable.
M x W y Oz ... (I)
M stands for metal, W stands for tungsten, and O stands for oxygen.
0.001 ≤ x / y ≤ 1.1
2.2 ≤ z / y ≤ 3.0

Mの金属としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Sn、Pb、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Rb、Csなどが挙げられるが、アルカリ金属が好ましい。Mの金属は1種でも2種以上でもよい。 Examples of the metal of M include alkali metals, alkaline earth metals, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, and the like. Examples thereof include Al, Ga, In, Tl, Sn, Pb, Ti, Nb, V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, Rb and Cs, but alkali metals are preferable. The metal of M may be one kind or two or more kinds.

Mはアルカリ金属であることが好ましく、Rb又はCsがより好ましく、Csが更に好ましい。 M is preferably an alkali metal, more preferably Rb or Cs, and even more preferably Cs.

x/yが0.001以上であることにより、赤外線を十分に遮蔽することができ、1.1以下であることにより、タングステン化合物中に不純物相が生成されることをより確実に回避することできる。
z/yが2.2以上であることにより、材料としての化学的安定性をより向上させることができ、3.0以下であることにより赤外線を十分に遮蔽することができる。
When x / y is 0.001 or more, infrared rays can be sufficiently shielded, and when it is 1.1 or less, the formation of an impurity phase in the tungsten compound can be more reliably avoided. it can.
When z / y is 2.2 or more, the chemical stability as a material can be further improved, and when it is 3.0 or less, infrared rays can be sufficiently shielded.

一般式(I)で表される酸化タングステン系化合物の具体例としては、Cs0.33WO、Rb0.33WO、K0.33WO、Ba0.33WOなどを挙げることができ、Cs0.33WO又はRb0.33WOが好ましく、Cs0.33WOがより好ましい。Specific examples of the tungsten oxide compound represented by the general formula (I) include Cs 0.33 WO 3 , Rb 0.33 WO 3 , K 0.33 WO 3 , and Ba 0.33 WO 3. Cs 0.33 WO 3 or Rb 0.33 WO 3 is preferable, and Cs 0.33 WO 3 is more preferable.

タングステン化合物は微粒子であることが好ましい。タングステン微粒子の平均一次粒子径は、800nm以下であることが好ましく、400nm以下であることがより好ましく、200nm以下であることが更に好ましい。平均一次粒子径がこのような範囲であることによって、タングステン微粒子が光散乱によって可視光を遮断しにくくなることから、可視光領域における透光性をより確実にすることができる。光散乱を回避する観点からは、平均一次粒子径は小さいほど好ましいが、製造時における取り扱い容易性などの理由から、タングステン微粒子の平均一次粒子径は、通常、1nm以上である。 The tungsten compound is preferably fine particles. The average primary particle diameter of the tungsten fine particles is preferably 800 nm or less, more preferably 400 nm or less, and further preferably 200 nm or less. When the average primary particle size is in such a range, the tungsten fine particles are less likely to block visible light due to light scattering, so that the translucency in the visible light region can be further ensured. From the viewpoint of avoiding light scattering, it is preferable that the average primary particle size is small, but the average primary particle size of the tungsten fine particles is usually 1 nm or more for reasons such as ease of handling during production.

タングステン化合物は2種以上を使用することが可能である。 Two or more kinds of tungsten compounds can be used.

タングステン化合物は市販品として入手可能である。タングステン化合物が、例えば酸化タングステン系化合物である場合、酸化タングステン系化合物は、タングステン化合物を不活性ガス雰囲気又は還元性ガス雰囲気中で熱処理する方法により得ることができる(特許第4096205号公報を参照)。
酸化タングステン系化合物は、例えば、住友金属鉱山株式会社製のYMF−02などのタングステン微粒子の分散物としても入手可能である。
Tungsten compounds are available commercially. When the tungsten compound is, for example, a tungsten oxide-based compound, the tungsten oxide-based compound can be obtained by a method of heat-treating the tungsten compound in an inert gas atmosphere or a reducing gas atmosphere (see Patent No. 4096205). ..
The tungsten oxide-based compound is also available as a dispersion of tungsten fine particles such as YMF-02 manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.

金属ホウ化物としては、ホウ化ランタン(LaB)、ホウ化プラセオジウム(PrB)、ホウ化ネオジウム(NdB)、ホウ化セリウム(CeB)、ホウ化イットリウム(YB)、ホウ化チタン(TiB)、ホウ化ジルコニウム(ZrB)、ホウ化ハフニウム(HfB)、ホウ化バナジウム(VB)、ホウ化タンタル(TaB)、ホウ化クロム(CrB、CrB)、ホウ化モリブデン(MoB、Mo、MoB)、ホウ化タングステン(W)などの1種又は2種以上を挙げることができ、ホウ化ランタン(LaB)が好ましい。Examples of metal borides include lanthanum boride (LaB 6 ), placeodium boride (PrB 6 ), neodium boride (NdB 6 ), cerium boride (CeB 6 ), yttrium borides (YB 6 ), and titanium borides (YB 6 ). TiB 2), zirconium boride (ZrB 2), hafnium boride (HfB 2), vanadium boride (VB 2), tantalum boride (TaB 2), chromium borides (CrB, CrB 2), molybdenum borides ( One or more of MoB 2 , Mo 2 B 5 , MoB), tungsten boride (W 2 B 5 ) and the like can be mentioned, and lantern boride (LaB 6 ) is preferable.

金属ホウ化物は微粒子であることが好ましい。金属ホウ化物微粒子の平均一次粒子径は、800nm以下であることが好ましく、300nm以下であることがより好ましく、100nm以下であることが更に好ましい。平均一次粒子径がこのような範囲であることによって、金属ホウ化物微粒子が光散乱によって可視光を遮断しにくくなることから、可視光領域における透光性をより確実にすることができる。光散乱を回避する観点からは、平均一次粒子径は小さいほど好ましいが、製造時における取り扱い容易性などの理由から、金属ホウ化物微粒子の平均一次粒子径は、通常、1nm以上である。 The metal boride is preferably fine particles. The average primary particle diameter of the metal boride fine particles is preferably 800 nm or less, more preferably 300 nm or less, and further preferably 100 nm or less. When the average primary particle size is in such a range, it becomes difficult for the metal borohydride fine particles to block visible light due to light scattering, so that the translucency in the visible light region can be further ensured. From the viewpoint of avoiding light scattering, it is preferable that the average primary particle size is small, but the average primary particle size of the metal boride fine particles is usually 1 nm or more for reasons such as ease of handling during production.

金属ホウ化物は2種以上を使用してもよい。 Two or more kinds of metal borides may be used.

金属ホウ化物は市販品として入手可能であり、例えば、住友金属鉱山株式会社製のKHF−7等の金属ホウ化物微粒子の分散物としても、入手可能である。 The metal boride is available as a commercially available product, and is also available as a dispersion of fine metal boride particles such as KHF-7 manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.

・・チタン窒化物含有粒子
無機顔料としては、Fe原子を含むチタン窒化物含有粒子を用いることもできる。チタン窒化物含有粒子の製造には、通常、気相反応法が用いられ、具体的には電気炉法及び熱プラズマ法等が挙げられる。これらの製法の中でも、不純物の混入が少ない点、粒子径が揃いやすい点、及び、生産性が高い点などの理由から、熱プラズマ法が好ましい。
熱プラズマの発生方法としては、直流アーク放電、多相アーク放電、高周波(RF)プラズマ、及び、ハイブリッドプラズマ等が挙げられ、電極からの不純物の混入が少ない高周波プラズマが好ましい。熱プラズマ法によるチタン窒化物含有微粒子の具体的な製造方法としては、例えば、チタン粉末を高周波熱プラズマにより蒸発させ、窒素をキャリアガスとして装置内に導入し、冷却過程にてチタン粉末を窒化させ、チタン窒化物含有粒子を合成する方法等が挙げられる。なお、熱プラズマ法は、上記に限定されない。
-Titanium nitride-containing particles As the inorganic pigment, titanium nitride-containing particles containing Fe atoms can also be used. The vapor phase reaction method is usually used for producing the titanium nitride-containing particles, and specific examples thereof include an electric furnace method and a thermal plasma method. Among these production methods, the thermal plasma method is preferable because of the fact that impurities are less mixed, the particle size is easily uniform, and the productivity is high.
Examples of the method for generating thermal plasma include direct current arc discharge, multiphase arc discharge, high frequency (RF) plasma, hybrid plasma and the like, and high frequency plasma in which impurities are less mixed from the electrodes is preferable. As a specific method for producing titanium nitride-containing fine particles by the thermal plasma method, for example, titanium powder is evaporated by high-frequency thermal plasma, nitrogen is introduced into the apparatus as a carrier gas, and the titanium powder is nitrided in the cooling process. , A method of synthesizing titanium nitride-containing particles and the like. The thermal plasma method is not limited to the above.

チタン窒化物含有粒子の製造方法としては、特に限定されないが、国際公開第2010/147098号の段落<0037>〜<0089>に記載の製造方法を参照することができる。例えば、国際公開第2010/147098号のAg粉末に代えて、後述するFeを含む成分及び/又はSiを含む成分を用いて、これとチタン粉末材料(チタン粒子)とを混合したものを原料として、本発明の硬化性組成物に含まれるチタン窒化物含有粒子を製造することができる。 The method for producing the titanium nitride-containing particles is not particularly limited, but the production methods described in paragraphs <0037> to <089> of International Publication No. 2010/147098 can be referred to. For example, instead of Ag powder of International Publication No. 2010/147098, a component containing Fe and / or a component containing Si, which will be described later, is used, and a mixture of this and a titanium powder material (titanium particles) is used as a raw material. , Titanium nitride-containing particles contained in the curable composition of the present invention can be produced.

チタン窒化物含有粒子の製造に使用するチタン粉末材料(チタン粒子)は、高純度のものであることが好ましい。チタン粉末材料は、特に限定されないが、チタン元素の純度が99.99%以上であるものが好ましく、99.999%以上のものがより好ましく用いられる。 The titanium powder material (titanium particles) used for producing the titanium nitride-containing particles is preferably of high purity. The titanium powder material is not particularly limited, but a material having a purity of titanium element of 99.99% or more is preferable, and a material having a purity of 99.999% or more is more preferably used.

チタン窒化物含有粒子の製造に使用するチタン粉末材料(チタン粒子)は、チタン原子以外の原子を含有する場合がある。チタン粉末材料に含まれ得る他の原子としては、例えばFe原子及びSi原子などが挙げられる。
チタン粉末材料がFe原子を含有する場合には、Fe原子の含有量は、チタン粉末材料の全質量に対して、0.001質量%超であることが好ましい。
チタン粉末材料がSi原子を含有する場合には、Si原子の含有量が、チタン粉末材料全質量に対して、0.002質量%超0.3質量%未満であることが好ましく、0.01〜0.15質量%であることがより好ましく、0.02〜0.1質量%であることが更に好ましい。Si原子の含有量が0.002質量%超であることで、硬化膜のパターニング性がより向上する。Si原子の含有量が0.3質量%未満であることで、得られるチタン窒化物含有粒子の最表層の極性がより安定化する。これにより、チタン窒化物含有粒子を分散させる際にチタン窒化物含有粒子への分散剤の吸着性が良化して、チタン窒化物含有粒子の未分散物が低減し、パーティクル発生を抑制できると考えられる。
チタン窒化物含有粒子の製造に使用するチタン粉末材料(チタン粒子)中の水分は、チタン粉末材料の全質量に対して、1質量%未満であることが好ましく、0.1質量%未満であることがより好ましく、実質的に含まないことが更に好ましい。
The titanium powder material (titanium particles) used for producing titanium nitride-containing particles may contain atoms other than titanium atoms. Examples of other atoms that can be contained in the titanium powder material include Fe atoms and Si atoms.
When the titanium powder material contains Fe atoms, the content of Fe atoms is preferably more than 0.001% by mass with respect to the total mass of the titanium powder material.
When the titanium powder material contains Si atoms, the content of Si atoms is preferably more than 0.002% by mass and less than 0.3% by mass, preferably 0.01, based on the total mass of the titanium powder material. It is more preferably ~ 0.15% by mass, and further preferably 0.02 to 0.1% by mass. When the content of Si atom is more than 0.002% by mass, the patterning property of the cured film is further improved. When the content of Si atom is less than 0.3% by mass, the polarity of the outermost layer of the obtained titanium nitride-containing particles is more stabilized. As a result, when the titanium nitride-containing particles are dispersed, the adsorptivity of the dispersant to the titanium nitride-containing particles is improved, the undispersed substances of the titanium nitride-containing particles are reduced, and the generation of particles can be suppressed. Be done.
The water content in the titanium powder material (titanium particles) used for producing the titanium nitride-containing particles is preferably less than 1% by mass and less than 0.1% by mass with respect to the total mass of the titanium powder material. It is more preferable, and it is further preferable that it is substantially not contained.

チタン窒化物含有粒子は、熱プラズマ法を用いて得ることにより、CuKα線をX線源とした場合の(200)面に由来するピークの回折角2θ(詳細は後述する)を、42.6°超43.5°以下の範囲に調整することが容易になる。 The titanium nitride-containing particles can be obtained by using the thermal plasma method to obtain a diffraction angle of 2θ (details will be described later) of the peak derived from the (200) plane when CuKα ray is used as an X-ray source, and 42.6. It becomes easy to adjust to the range of more than ° and less than 43.5 °.

チタン窒化物含有粒子にFe原子を含有させる方法としては、特に限定されず、例えば、上述したチタン窒化物含有粒子の原料として用いられるチタン粒子(チタン粉末)を得る段階において、Fe原子を導入する方法などが挙げられる。より詳細には、クロール法などによりチタンを製造する際に、反応容器としてステンレス鋼などのFe原子を含有する材料から構成されるものを用いたり、チタンを破砕する際のプレス機及び粉砕機の材料としてFe原子を含有するものを用いたりすることによって、チタン粒子の表面にFe原子を付着させることができる。
チタン窒化物含有粒子の製造に熱プラズマ法を用いる場合には、原料であるチタン粒子の他に、Fe粒子、Fe酸化物などの成分を添加して、これらを熱プラズマ法によって窒化することによって、チタン窒化物含有粒子にFe原子を含有させることができる。
チタン窒化物含有粒子中に含まれるFe原子は、イオン、金属化合物(錯化合物も含む)、金属間化合物、合金、酸化物、複合酸化物、窒化物、酸窒化物、硫化物及び酸硫化物など、いずれの形態で含まれていてもよい。チタン窒化物含有粒子中に含まれているFe原子は、結晶格子間位置の不純物として存在していてもよいし、結晶粒界にアモルファス状態で不純物として存在していてもよい。
The method for incorporating the Fe atom into the titanium nitride-containing particles is not particularly limited, and for example, the Fe atom is introduced at the stage of obtaining the titanium particles (titanium powder) used as the raw material of the above-mentioned titanium nitride-containing particles. The method etc. can be mentioned. More specifically, when titanium is produced by the Kroll process or the like, a reaction vessel made of a material containing Fe atoms such as stainless steel is used, or a press machine and a crusher for crushing titanium. Fe atoms can be attached to the surface of titanium particles by using a material containing Fe atoms.
When the thermal plasma method is used to produce titanium nitride-containing particles, components such as Fe particles and Fe oxides are added in addition to the raw material titanium particles, and these are nitrided by the thermal plasma method. , Fe atom can be contained in the titanium nitride-containing particles.
Fe atoms contained in titanium nitride-containing particles include ions, metal compounds (including complex compounds), intermetallic compounds, alloys, oxides, composite oxides, nitrides, nitrides, sulfides and acid sulfides. Etc., it may be included in any form. The Fe atom contained in the titanium nitride-containing particles may be present as an impurity at the position between the crystal lattices, or may be present as an impurity at the grain boundary in an amorphous state.

本発明者は、鋭意検討の結果、チタン窒化物含有粒子中のFe原子の含有量が、パターニング性及び電極の防食性に関連することを知見した。チタン窒化物含有粒子中に含まれるFe原子は、電極及び基板に対する密着性に優れており、チタン窒化物含有粒子中のチタン窒化物は、Fe原子を介して電極及び基板に付着すると考えられる。現像処理などの硬化膜のパターニング後、Fe原子は電極及び基板上に残留し、チタン窒化物は除去されやすいと考えられる。そのため、チタン窒化物含有粒子中のFe原子の含有量を所定量以上にすることで、硬化膜のパターニング性が向上すると推測される。一方で、チタン窒化物含有粒子中に含まれるFe原子の含有量が多すぎると、電極及び基板上に残留するFe原子の量が増加し、電極の腐食の原因になると考えられる。そのため、チタン窒化物含有粒子中のFe原子の含有量を所定量以下にすることで、電極の防食性が向上すると推測される。
チタン窒化物含有粒子中におけるFe原子の含有量は、チタン窒化物含有粒子全質量に対して、0.001質量%超0.4質量%未満であることが好ましい。なかでも、0.01〜0.2質量%であることがより好ましく、0.02〜0.1質量%であることが更に好ましい。Fe原子の含有量が0.001質量%超であることで、硬化膜のパターニング性がより向上する。Fe原子の含有量が0.4質量%未満であることで、硬化膜による電極の防食性がより向上する(硬化膜が電極を腐食することを抑制できる)。すなわち、チタン窒化物含有粒子中におけるFe原子の含有量が上記範囲内にあることで、優れた硬化膜のパターニング性及び電極の防食性を得ることができる。
チタン窒化物含有粒子中におけるFe原子の含有量は、ICP(Inductively Coupled Plasma;高周波誘導結合プラズマ)発光分光分析法により測定することができる。
As a result of diligent studies, the present inventor has found that the content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles is related to the patterning property and the corrosion resistance of the electrode. It is considered that the Fe atom contained in the titanium nitride-containing particles has excellent adhesion to the electrode and the substrate, and the titanium nitride in the titanium nitride-containing particles adheres to the electrode and the substrate via the Fe atom. It is considered that Fe atoms remain on the electrode and the substrate after patterning of the cured film such as development treatment, and titanium nitride is easily removed. Therefore, it is presumed that the patterning property of the cured film is improved by increasing the content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles to a predetermined amount or more. On the other hand, if the content of Fe atoms contained in the titanium nitride-containing particles is too large, the amount of Fe atoms remaining on the electrode and the substrate increases, which is considered to cause corrosion of the electrode. Therefore, it is presumed that the corrosion resistance of the electrode is improved by reducing the content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles to a predetermined amount or less.
The content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles is preferably more than 0.001% by mass and less than 0.4% by mass with respect to the total mass of the titanium nitride-containing particles. Of these, 0.01 to 0.2% by mass is more preferable, and 0.02 to 0.1% by mass is even more preferable. When the content of Fe atoms is more than 0.001% by mass, the patterning property of the cured film is further improved. When the content of Fe atoms is less than 0.4% by mass, the corrosion resistance of the electrode by the cured film is further improved (the cured film can suppress corrosion of the electrode). That is, when the content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles is within the above range, excellent patterning property of the cured film and corrosion resistance of the electrode can be obtained.
The content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles can be measured by ICP (Inductively Coupled Plasma) emission spectroscopy.

チタン窒化物含有粒子は、更にSi原子(ケイ素原子)を含有することが好ましい。これにより、硬化膜のパターニング性がより向上する。Si原子を含有することによりパターニング性が向上する理由としては、上述したFe原子と同様と考えられる。
チタン窒化物含有粒子中におけるSi原子の含有量は、チタン窒化物含有粒子全質量に対して、0.002質量%超0.3質量%未満であることが好ましく、0.01〜0.15質量%であることがより好ましく、0.02〜0.1質量%であることが更に好ましい。Si原子の含有量が0.002質量%超であることで、硬化膜のパターニング性がより向上する。Si原子の含有量が0.3質量%未満であることで、チタン窒化物含有粒子の最表層の極性がより安定化する。これにより、チタン窒化物含有粒子を分散させる際にチタン窒化物含有粒子への分散剤の吸着性が良化して、チタン窒化物含有粒子の未分散物が低減し、パーティクル発生を抑制できると考えられる。
チタン窒化物含有粒子中におけるSi原子の含有量は、上述したFe原子と同様の方法によって測定することができる。
The titanium nitride-containing particles preferably further contain a Si atom (silicon atom). As a result, the patterning property of the cured film is further improved. The reason why the patterning property is improved by containing the Si atom is considered to be the same as that of the Fe atom described above.
The content of Si atoms in the titanium nitride-containing particles is preferably more than 0.002% by mass and less than 0.3% by mass, preferably 0.01 to 0.15, based on the total mass of the titanium nitride-containing particles. It is more preferably by mass%, and even more preferably 0.02 to 0.1% by mass. When the content of Si atom is more than 0.002% by mass, the patterning property of the cured film is further improved. When the content of Si atom is less than 0.3% by mass, the polarity of the outermost layer of the titanium nitride-containing particles is more stabilized. As a result, when the titanium nitride-containing particles are dispersed, the adsorptivity of the dispersant to the titanium nitride-containing particles is improved, the undispersed substances of the titanium nitride-containing particles are reduced, and the generation of particles can be suppressed. Be done.
The content of Si atoms in the titanium nitride-containing particles can be measured by the same method as the Fe atoms described above.

チタン窒化物含有粒子にSi原子を含有させる方法としては、特に限定されず、例えば、上述したチタン窒化物含有粒子の原料として用いられるチタン粒子(チタン粉末)を得る段階において、Si原子を導入する方法などが挙げられる。より詳細には、クロール法などによりチタンを製造する際に、反応容器としてSi原子を含有する材料から構成されるものを用いたり、チタンを破砕する際のプレス機及び粉砕機の材料としてSi原子を含有するものを用いたりすることによって、チタン粒子の表面にSi原子を付着させることができる。
チタン窒化物含有粒子の製造に熱プラズマ法を用いる場合には、原料であるチタン粒子の他に、Si粒子、Si酸化物などの成分を添加して、これらを熱プラズマ法によって窒化することによって、チタン窒化物含有粒子にSi原子を含有させることができる。
チタン窒化物含有粒子中に含まれるSi原子は、イオン、金属化合物(錯化合物も含む)、金属間化合物、合金、酸化物、複合酸化物、窒化物、酸窒化物、硫化物及び酸硫化物など、いずれの形態で含まれていてもよい。チタン窒化物含有粒子中に含まれるSi原子は、結晶格子間位置の不純物として存在していてもよいし、結晶粒界にアモルファス状態で不純物として存在していてもよい。
The method of incorporating the Si atom into the titanium nitride-containing particles is not particularly limited, and for example, the Si atom is introduced at the stage of obtaining the titanium particles (titanium powder) used as the raw material of the titanium nitride-containing particles described above. The method etc. can be mentioned. More specifically, when titanium is produced by the Kroll process or the like, a reaction vessel made of a material containing Si atoms is used, or Si atoms are used as a material for a press machine and a crusher for crushing titanium. Si atoms can be attached to the surface of titanium particles by using a substance containing.
When the thermal plasma method is used to produce titanium nitride-containing particles, components such as Si particles and Si oxides are added in addition to the raw material titanium particles, and these are nitrided by the thermal plasma method. , Si atom can be contained in the titanium nitride-containing particles.
The Si atoms contained in the titanium nitride-containing particles include ions, metal compounds (including complex compounds), intermetallic compounds, alloys, oxides, composite oxides, nitrides, nitrides, sulfides and acid sulfides. Etc., it may be included in any form. The Si atom contained in the titanium nitride-containing particles may be present as an impurity at the position between the crystal lattices, or may be present as an impurity at the grain boundary in an amorphous state.

チタン窒化物含有粒子中のチタン原子(Ti原子)の含有量は、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して、10〜85質量%であることが好ましく、15〜75質量%であることがより好ましく、20〜70質量%であることが更に好ましい。チタン窒化物含有粒子中のTi原子の含有量は、ICP発光分光分析法により測定できる。
チタン窒化物含有粒子中の窒素原子(N原子)の含有量は、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して、3〜60質量%であることが好ましく、5〜50質量%であることがより好ましく、10〜40質量%であることが更に好ましい。窒素原子の含有量は不活性ガス融解−熱伝導度法により分析することができる。
チタン窒化物含有粒子は、主成分としてチタン窒化物(TiN)を含み、通常、その合成時に酸素が混入する場合、及び、粒子径が小さい場合などに顕著になるが、粒子表面の酸化などにより、一部酸素原子を含有してもよい。
チタン窒化物含有粒子中の酸素原子の含有量は、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して、1〜40質量%であることが好ましく、1〜35質量%であることがより好ましく、5〜30質量%であることが更に好ましい。酸素原子の含有量は、不活性ガス融解−赤外線吸収法により分析することができる。
The content of titanium atoms (Ti atoms) in the titanium nitride-containing particles is preferably 10 to 85% by mass, and preferably 15 to 75% by mass, based on the total mass of the titanium nitride-containing particles. More preferably, it is 20 to 70% by mass. The content of Ti atoms in the titanium nitride-containing particles can be measured by ICP emission spectroscopy.
The content of nitrogen atoms (N atoms) in the titanium nitride-containing particles is preferably 3 to 60% by mass, preferably 5 to 50% by mass, based on the total mass of the titanium nitride-containing particles. More preferably, it is 10 to 40% by mass. The content of nitrogen atoms can be analyzed by the melting of inert gas-thermal conductivity method.
Titanium nitride-containing particles contain titanium nitride (TiN) as a main component, and are usually noticeable when oxygen is mixed in during the synthesis or when the particle size is small, but due to oxidation of the particle surface or the like. , Some oxygen atoms may be contained.
The content of oxygen atoms in the titanium nitride-containing particles is preferably 1 to 40% by mass, more preferably 1 to 35% by mass, based on the total mass of the titanium nitride-containing particles. It is more preferably ~ 30% by mass. The content of oxygen atoms can be analyzed by the melting of inert gas-infrared absorption method.

分散安定性及び遮光性の観点から、チタン窒化物含有粒子の比表面積は5m/g以上100m/g以下が好ましく、10m/g以上60m/g以下がより好ましい。比表面積はBET(Brunauer,Emmett,Teller)法により求めることができる。From the viewpoint of dispersion stability and light-shielding property, the specific surface area of the titanium nitride-containing particles is preferably 5 m 2 / g or more and 100 m 2 / g or less, and more preferably 10 m 2 / g or more and 60 m 2 / g or less. The specific surface area can be determined by the BET (Brunauer, Emmett, Teller) method.

チタン窒化物含有粒子は、チタン窒化物粒子と金属微粒子からなる複合微粒子であってもよい。
複合微粒子とは、チタン窒化物粒子と金属微粒子が複合化しているか、高度に分散した状態にある粒子のことをいう。ここで、「複合化している」とは、チタン窒化物と金属の両成分によって粒子が構成されていることを意味し、「高度に分散した状態」とは、チタン窒化物粒子と金属粒子がそれぞれ個別で存在し、かつ少量成分の粒子が凝集せず均一、一様に分散していることを意味する。
金属微粒子としては特に限定されず、例えば、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム、マンガン、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、カルシウム、チタン、ビスマス、アンチモン及び鉛、並びにこれらの合金、から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。中でも、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム及びイリジウム、並びにこれらの合金から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、銅、銀、金、白金及び錫、並びにこれらの合金から選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。耐湿性により優れる観点から、銀であることが好ましい。
チタン窒化物含有粒子における金属微粒子の含有量としては、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して5質量%以上50質量%以下であることが好ましく、10質量%以上30質量%以下であることがより好ましい。
The titanium nitride-containing particles may be composite fine particles composed of titanium nitride particles and metal fine particles.
The composite fine particles are particles in which titanium nitride particles and metal fine particles are composited or highly dispersed. Here, "composite" means that the particles are composed of both titanium nitride and metal components, and "highly dispersed state" means that the titanium nitride particles and the metal particles are present. It means that the particles exist individually and the particles of a small amount of components are uniformly and uniformly dispersed without agglomeration.
The metal fine particles are not particularly limited, and for example, copper, silver, gold, platinum, palladium, nickel, tin, cobalt, rhodium, iridium, ruthenium, osmium, manganese, molybdenum, tungsten, niobium, tantalum, calcium, titanium, and bismuth. , Antimon and lead, and at least one selected from these alloys. Among them, copper, silver, gold, platinum, palladium, nickel, tin, cobalt, rhodium and iridium, and at least one selected from these alloys are preferable, and copper, silver, gold, platinum and tin, and these. More preferably, it is at least one selected from the alloys of. From the viewpoint of being more excellent in moisture resistance, silver is preferable.
The content of the metal fine particles in the titanium nitride-containing particles is preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less, and 10% by mass or more and 30% by mass or less, based on the total mass of the titanium nitride-containing particles. Is more preferable.

チタン窒化物含有粒子は、CuKα線をX線源とした場合の(200)面に由来するピークの回折角2θが42.6°超43.5°以下であることが好ましい。このような特徴をもつチタン窒化物含有粒子を含有する硬化性組成物を用いて得られる硬化膜(例えば、ブラックマトリクスなど)は、高いOD(optical density)値を達成することが可能となる。 The titanium nitride-containing particles preferably have a diffraction angle 2θ of a peak derived from the (200) plane when CuKα ray is used as an X-ray source, which is more than 42.6 ° and 43.5 ° or less. A cured film (for example, black matrix or the like) obtained by using a curable composition containing titanium nitride-containing particles having such characteristics can achieve a high OD (optical density) value.

CuKα線をX線源としてチタン化合物のX線回折スペクトルを測定した場合において、最も強度の強いピークとしてTiNは(200)面に由来するピークが2θ=42.5°近傍に、TiOは(200)面に由来するピークが2θ=43.4°近傍にみられる。一方、最も強度の強いピークではないがアナターゼ型TiOは(200)面に由来するピークは2θ=48.1°近傍に、ルチル型TiOは(200)面に由来するピークは2θ=39.2°近傍に観測される。よって、酸素原子を多く含有する結晶状態であるほどピーク位置は42.5°に対して高角度側にシフトする。When the X-ray diffraction spectrum of a titanium compound is measured using CuKα ray as an X-ray source, the peak derived from the (200) plane of TiN is close to 2θ = 42.5 ° as the strongest peak, and TiO is (200). ) A peak derived from the plane is observed near 2θ = 43.4 °. On the other hand, most peaks not strength strong peak is anatase TiO 2 is derived from the (200) plane in the vicinity 2 [Theta] = 48.1 °, rutile TiO 2 and a peak derived from (200) plane is 2 [Theta] = 39 It is observed near 2 °. Therefore, the more the crystal state contains a large amount of oxygen atoms, the higher the peak position shifts to the higher angle side with respect to 42.5 °.

チタン窒化物含有粒子の(200)面に由来するピークの回折角2θは、粒子の経時安定性の観点から、42.6°超43.5°未満であることが好ましく、更に、製造時のプロセスマージンが優れる観点から、42.7°以上43.5°未満がより好ましく、更に、粒子性能の再現性が優れる観点から、42.7°以上43.4°未満が更に好ましい。副成分として酸化チタンTiOを含有する場合、最も強度の強いピークとしてアナターゼ型TiO(101)に由来するピークが2θ=25.3°近傍に、ルチル型TiO(110)に由来するピークが2θ=27.4°近傍に見られる。しかし、TiOは白色でありブラックマトリクスの遮光性を低下させる要因となるため、ピークとして観察されない程度に低減されていることが好ましい。The diffraction angle 2θ of the peak derived from the (200) plane of the titanium nitride-containing particles is preferably more than 42.6 ° and less than 43.5 ° from the viewpoint of the temporal stability of the particles, and further, during production. From the viewpoint of excellent process margin, 42.7 ° or more and less than 43.5 ° is more preferable, and from the viewpoint of excellent reproducibility of particle performance, 42.7 ° or more and less than 43.4 ° is further preferable. When titanium oxide TiO 2 is contained as a sub-component, the peak derived from anatase-type TiO 2 (101) is close to 2θ = 25.3 ° as the strongest peak, and the peak derived from rutile-type TiO 2 (110) is present. Is found near 2θ = 27.4 °. However, since TiO 2 is white and causes a factor of lowering the light-shielding property of the black matrix, it is preferable that it is reduced to such an extent that it is not observed as a peak.

X線回折ピークの半値幅よりチタン窒化物含有粒子を構成する結晶子サイズを求めることができ、シェラーの式を用いて算出される。 The crystallite size constituting the titanium nitride-containing particles can be obtained from the half width of the X-ray diffraction peak, and is calculated using Scheller's formula.

結晶子サイズは、20nm以上であることが好ましく、20〜50nmであることがより好ましい。結晶子サイズが20nm以上のチタン窒化物含有粒子を用いてブラックマトリクスを形成することにより、硬化膜の透過光はそのピーク波長が475nm以下であるような青色から青紫色を呈し、高い遮光性と紫外線感度を併せ持つブラックマトリクスを得ることができる。結晶子サイズが20nm以上であることで、活性の有する粒子表面が粒子体積に対して占める割合が小さくなり良好なバランスとなり、チタン窒化物含有粒子の耐熱性及び/又は耐久性がより優れたものとなる。 The crystallite size is preferably 20 nm or more, and more preferably 20 to 50 nm. By forming a black matrix using titanium nitride-containing particles having a crystallite size of 20 nm or more, the transmitted light of the cured film exhibits a blue to bluish purple color such that its peak wavelength is 475 nm or less, and has high light-shielding properties. A black matrix having both ultraviolet sensitivity can be obtained. When the crystallite size is 20 nm or more, the ratio of the active particle surface to the particle volume becomes small and a good balance is obtained, and the heat resistance and / or durability of the titanium nitride-containing particles is more excellent. It becomes.

・・原子Aを含有する金属窒化物含有粒子
また、無機顔料としては、金属窒化物含有粒子であって、上記金属窒化物含有粒子に所定の原子Aを含有する金属窒化物含有粒子を用いることもできる。
金属窒化物含有粒子中の金属としては、例えばNb、V、Cr、Y、Zr、Nb、Hf、Ta、W、及びRe等が挙げられ、Nb、又はVがより好ましい。
上記原子Aとしては、例えば、B、Al、Si、Mn、Fe、Ni、及びAg等が挙げられる。
金属窒化物含有粒子が、上記原子Aを含有する場合、その含有量としては特に制限されないが、金属窒化物含有粒子中における原子Aの含有量が、0.00005〜10質量%が好ましい。
.. Metal Nitride-Containing Particles Containing Atomic A As the inorganic pigment, metal nitride-containing particles that contain a predetermined atom A in the metal nitride-containing particles are used. You can also.
Examples of the metal in the metal nitride-containing particles include Nb, V, Cr, Y, Zr, Nb, Hf, Ta, W, and Re, and Nb or V is more preferable.
Examples of the atom A include B, Al, Si, Mn, Fe, Ni, Ag and the like.
When the metal nitride-containing particles contain the atom A, the content thereof is not particularly limited, but the content of the atom A in the metal nitride-containing particles is preferably 0.00005 to 10% by mass.

上記原子Aを含有する金属窒化物含有粒子の製造方法としては、特に制限されず、公知の方法を用いることができる。
金属窒化物含有粒子の製造には、通常、気相反応法が用いられ、具体的には電気炉法及び熱プラズマ法等が挙げられる。これらの製法の中でも、不純物の混入が少ない点、粒子径が揃いやすい点、及び、生産性が高い点等の理由から、熱プラズマ法が好ましい。
熱プラズマ法による金属窒化物含有粒子の具体的な製造方法としては、例えば、金属微粒子製造装置(後述する「黒色複合微粒子製造装置」と同様の装置)を用いるものが挙げられる。金属微粒子製造装置は、例えば、熱プラズマを発生させるプラズマトーチ、金属原料粉末をプラズマトーチ内へ供給する材料供給装置、冷却機能を含有するチャンバ、生成された金属微粒子を分級するサイクロン、及び金属微粒子を回収する回収部によって構成される。
本明細書において、金属微粒子とは、金属元素を含有する粒子の一次粒子径が20nm〜40μmの粒子を意図する。
The method for producing the metal nitride-containing particles containing the atom A is not particularly limited, and a known method can be used.
The vapor phase reaction method is usually used for producing the metal nitride-containing particles, and specific examples thereof include an electric furnace method and a thermal plasma method. Among these production methods, the thermal plasma method is preferable because of the fact that impurities are less mixed, the particle size is easily uniform, and the productivity is high.
Specific examples of the method for producing metal nitride-containing particles by the thermal plasma method include those using a metal fine particle production apparatus (an apparatus similar to the “black composite fine particle production apparatus” described later). The metal fine particle manufacturing apparatus includes, for example, a plasma torch that generates thermal plasma, a material supply apparatus that supplies metal raw material powder into the plasma torch, a chamber that includes a cooling function, a cyclone that classifies the generated metal fine particles, and metal fine particles. It is composed of a collection unit that collects the particles.
As used herein, the metal fine particles are intended to be particles having a primary particle diameter of 20 nm to 40 μm, which are particles containing a metal element.

金属微粒子製造装置を用いた金属窒化物含有粒子の製造方法としては、特に限定されず、公知の方法を用いることができる。中でも、下記の所定の平均一次粒子径の金属窒化物含有粒子の収率が高まる点で、金属微粒子製造装置を用いて金属窒化物含有粒子を製造する方法は以下に示す工程を含有することが好ましい。
工程A:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程B:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属原料粉末を供給し、上記金属原料粉末を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程。
工程C:上記気相の原料金属を冷却し、遷移金属を含有する金属微粒子を得る工程。
工程D:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有する不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程E:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属微粒子を供給し、上記金属微粒子を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程。
工程F:上記気相の原料金属を冷却し、金属窒化物含有粒子を得る工程。
金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程C及び/又は工程Fの後に、所望により下記の工程Gを含有してもよい。
工程G:得られた粒子を分級する工程。
更に、工程Aの前、工程Aと工程Bとの間、工程Cと工程Dとの間、又は工程Dと工程Eとの間に、以下の工程A2を含有してもよい。
工程A2:遷移金属を含有する金属原料粉末に、原子Aを混合する工程。
更に、工程A2の前に、以下の工程A3−1〜A3−3を含有してもよい。
工程A3−1:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程A3−2:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、原子Aを含有する原料粉末を供給し、上記原料粉末を蒸発させ、気相の原子Aを得る工程。
工程A3−3:上記気相の原子Aを冷却し、微粒子化された原子Aを得る工程。
工程A3−3の後に更に、工程Gを含有してもよい。
本明細書において、微粒子化された原子Aとは、原子Aを含有する一次粒子径が20nm〜40μmの粒子を意図する。
The method for producing the metal nitride-containing particles using the metal fine particle producing apparatus is not particularly limited, and a known method can be used. Among them, the method for producing metal nitride-containing particles using the metal fine particle production apparatus may include the following steps in that the yield of the metal nitride-containing particles having the following predetermined average primary particle diameter is increased. preferable.
Step A: A step of supplying an inert gas containing no nitrogen gas into the plasma torch as plasma gas to generate a thermal plasma flame.
Step B: A step of supplying a metal raw material powder containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the metal raw material powder to obtain a gas phase raw material metal.
Step C: A step of cooling the raw material metal of the gas phase to obtain metal fine particles containing a transition metal.
Step D: A step of supplying an inert gas containing nitrogen gas into the plasma torch as plasma gas to generate a thermal plasma flame.
Step E: A step of supplying metal fine particles containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the metal fine particles to obtain a raw metal for a gas phase.
Step F: A step of cooling the raw material metal of the gas phase to obtain metal nitride-containing particles.
The method for producing the metal nitride-containing particles may optionally include the following step G after the step C and / or the step F.
Step G: A step of classifying the obtained particles.
Further, the following step A2 may be contained before step A, between step A and step B, between step C and step D, or between step D and step E.
Step A2: A step of mixing the atom A with the metal raw material powder containing the transition metal.
Further, the following steps A3-1 to A3-3 may be contained before the step A2.
Step A3-1: A step of supplying an inert gas containing no nitrogen gas into the plasma torch as plasma gas to generate a thermal plasma flame.
Step A3-2: A step of supplying a raw material powder containing an atom A to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the raw material powder to obtain a gas phase atom A.
Step A3-3: A step of cooling the atom A in the gas phase to obtain atomized atom A.
Step G may be further included after step A3-3.
In the present specification, the atomized atom A is intended to be a particle containing the atom A and having a primary particle diameter of 20 nm to 40 μm.

更に、上記金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程Fの後(工程Gを含有する場合は、工程Fの後の工程Gの後)に更に下記の工程Hを含有することが好ましい。
工程H:工程F(又は工程G)において得られた金属窒化物含有粒子を、水蒸気及び窒素ガスの混合雰囲気に曝露し、窒化処理する工程。
所望により、上記金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程Hの後に更に工程Gを含有してもよい。以下では、各工程の好適態様について詳述する。
Further, the method for producing the metal nitride-containing particles preferably further contains the following step H after the step F (when the step G is contained, after the step G after the step F).
Step H: A step of exposing the metal nitride-containing particles obtained in Step F (or Step G) to a mixed atmosphere of water vapor and nitrogen gas to perform nitriding treatment.
If desired, the method for producing the metal nitride-containing particles may further include step G after step H. Hereinafter, preferred embodiments of each step will be described in detail.

工程A
工程Aはプラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程である。熱プラズマ炎の発生方法としては、特に限定されないが、直流アーク放電法、多相アーク放電法、高周波プラズマ法、及び、ハイブリッドプラズマ法等が挙げられ、電極からの不純物の混入が少ない高周波プラズマ法が好ましい。
高周波プラズマ法による熱プラズマ炎の発生方法としては、特に制限されず、例えば、高周波発振用コイルと石英管を含有するプラズマトーチ内にプラズマガスを供給し、上記高周波発振用コイルに高周波電流を印加することにより熱プラズマ炎を得る方法が挙げられる。
工程Aにおけるプラズマガスとしては、窒素ガスを含有しない不活性ガスが挙げられる。窒素ガスを含有しない不活性ガスとしては、アルゴンガス、及び水素ガス等が挙げられる。窒素ガスを含有しない不活性ガスは、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
Process A
Step A is a step of supplying an inert gas containing no nitrogen gas into the plasma torch as plasma gas to generate a thermal plasma flame. The method for generating the thermal plasma flame is not particularly limited, and examples thereof include a DC arc discharge method, a multiphase arc discharge method, a high frequency plasma method, a hybrid plasma method, and the like, and a high frequency plasma method in which impurities are less mixed from the electrodes. Is preferable.
The method for generating a thermal plasma flame by the high-frequency plasma method is not particularly limited. For example, plasma gas is supplied into a plasma torch containing a high-frequency oscillation coil and a quartz tube, and a high-frequency current is applied to the high-frequency oscillation coil. There is a method of obtaining a thermal plasma flame by doing so.
Examples of the plasma gas in step A include an inert gas that does not contain nitrogen gas. Examples of the inert gas that does not contain nitrogen gas include argon gas, hydrogen gas, and the like. As the inert gas containing no nitrogen gas, one type may be used alone or two or more types may be used in combination.

工程A2
工程A2は遷移金属を含有する金属原料粉末に、原子Aを混合する工程である。原料金属粉末及び原子Aの混合方法としては特に制限されず、公知の方法を用いることができる。例えば、金属原料粉末をプラズマトーチ内へ供給する上記材料供給装置が、混合及び分散機能を含有してもよい。具体的には、国際公開第2010/147098号公報の段落0047〜0058に記載された材料供給装置を用いることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程A2の前に、以下の工程A3−1〜A3−3を更に含有してもよい。
Process A2
Step A2 is a step of mixing the atom A with the metal raw material powder containing the transition metal. The method for mixing the raw material metal powder and the atom A is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the material supply device for supplying the metal raw material powder into the plasma torch may include a mixing and dispersing function. Specifically, the material supply apparatus described in paragraphs 0047 to 0058 of International Publication No. 2010/147098 can be used, the contents of which are incorporated herein by reference. The method for producing metal nitride-containing particles may further contain the following steps A3-1 to A3-3 before the step A2.

工程B
工程Bは、プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属原料粉末を供給し、上記金属原料粉末を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程である。プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に金属原料粉末を供給する方法としては特に制限されないが、得られる気相の原料金属が、より均一な状態となる点で、キャリアガスを用いて噴霧されることが好ましい。キャリアガスとしては、窒素ガスを含有しない不活性ガスを用いることが好ましい。窒素ガスを含有しない不活性ガスの態様は上記のとおりである。
金属窒化物含有粒子を製造する方法が、上記工程A2を含有する場合、金属原料粉末のプラズマトーチ内への供給に至るまでの間、金属原料粉末は、均一な分散状態が維持されていることが好ましい。
Process B
Step B is a step of supplying a metal raw material powder containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the metal raw material powder to obtain a gas phase raw material metal. The method of supplying the metal raw material powder to the thermal plasma flame in the plasma torch is not particularly limited, but the raw metal of the obtained gas phase may be sprayed using a carrier gas in that the raw metal of the gas phase becomes more uniform. preferable. As the carrier gas, it is preferable to use an inert gas that does not contain nitrogen gas. The aspects of the inert gas that does not contain nitrogen gas are as described above.
When the method for producing the metal nitride-containing particles contains the above step A2, the metal raw material powder is maintained in a uniform dispersed state until the metal raw material powder is supplied into the plasma torch. Is preferable.

工程C
工程Cは、気相の原料金属を冷却し、遷移金属を含有する金属微粒子を得る工程である。冷却方法としては特に制限されないが、冷却機能を含有するチャンバを用いることが好ましい。工程Bにおいて得られた気相の原料金属を、上記冷却機能を含有するチャンバに導入し、チャンバ内で急冷することにより、下記の所望の粒子径の金属微粒子を生成することができる。生成した金属微粒子は、例えば、回収部により回収される。チャンバ内の雰囲気としては、窒素ガスを含有しない不活性ガスが好ましい。窒素ガスを含有しない不活性ガスの態様は上記のとおりである。
なお、上記工程A〜Cを経ることにより、遷移金属を含有する金属微粒子が得られる。遷移金属を含有する金属微粒子は、工程Eにおいて蒸発しやすい。金属原料粉末が不純物を含有する場合にも、上記工程A〜Cを経ることにより、上記不純物を除去することができる。
Process C
Step C is a step of cooling the raw material metal of the gas phase to obtain metal fine particles containing a transition metal. The cooling method is not particularly limited, but it is preferable to use a chamber containing a cooling function. By introducing the raw material metal of the gas phase obtained in step B into a chamber containing the above cooling function and quenching in the chamber, the following metal fine particles having a desired particle size can be produced. The generated metal fine particles are recovered by, for example, a recovery unit. As the atmosphere in the chamber, an inert gas containing no nitrogen gas is preferable. The aspects of the inert gas that does not contain nitrogen gas are as described above.
By going through the above steps A to C, metal fine particles containing a transition metal can be obtained. The metal fine particles containing the transition metal are likely to evaporate in step E. Even when the metal raw material powder contains impurities, the impurities can be removed by going through the steps A to C.

工程D
工程Dは、プラズマトーチ内に窒素ガスを含有する不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程である。窒素を含有する不活性ガスとしては、窒素ガス、及び不活性ガスを含有する窒素ガスが挙げられる。不活性ガスとしては、アルゴンガス、及び水素ガス等が挙げられる。不活性ガスを含有する窒素ガスは、特に制限されないが、窒素ガスの含有量は、通常、10〜90モル%程度であり、30〜60モル%程度が好ましい。その他の態様は工程Aと同様である。
Process D
Step D is a step of supplying an inert gas containing nitrogen gas into the plasma torch as plasma gas to generate a thermal plasma flame. Examples of the nitrogen-containing inert gas include nitrogen gas and nitrogen gas containing an inert gas. Examples of the inert gas include argon gas, hydrogen gas and the like. The nitrogen gas containing the inert gas is not particularly limited, but the content of the nitrogen gas is usually about 10 to 90 mol%, preferably about 30 to 60 mol%. Other aspects are the same as in step A.

工程E
工程Eは、プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属微粒子を供給し、上記金属微粒子を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程である。プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に金属微粒子を供給する方法としては上記のとおりであるが、キャリアガスとしては、窒素を含有する不活性ガスが好ましい。窒素を含有する不活性ガスの態様は上記のとおりである。
工程Eでは、工程A〜工程Cによって金属微粒子となった原料金属を熱プラズマ炎に供給するため、気相の原料金属が得られやすく、気相の原料金属の状態もより均一になりやすい。
Process E
Step E is a step of supplying metal fine particles containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the metal fine particles to obtain a raw metal for a gas phase. The method for supplying the metal fine particles to the thermal plasma flame in the plasma torch is as described above, but the carrier gas is preferably an inert gas containing nitrogen. The aspects of the nitrogen-containing inert gas are as described above.
In step E, since the raw metal that has become metal fine particles in steps A to C is supplied to the thermal plasma flame, the raw metal of the gas phase is likely to be obtained, and the state of the raw metal of the gas phase is likely to be more uniform.

工程F
工程Fは、気相の原料金属を冷却し、遷移金属の窒化物を含有する金属窒化物含有粒子を得る工程である。冷却方法の好適態様は上記のとおりであるが、チャンバ内の雰囲気としては、窒素ガスを含有する不活性ガスが好ましい。窒素ガスを含有する不活性ガスの好適態様は上記のとおりである。
Process F
Step F is a step of cooling the raw material metal of the gas phase to obtain metal nitride-containing particles containing the nitride of the transition metal. The preferred embodiment of the cooling method is as described above, but the atmosphere in the chamber is preferably an inert gas containing nitrogen gas. The preferred embodiment of the inert gas containing nitrogen gas is as described above.

工程G
工程Gは、得られた金属微粒子及び/又は金属窒化物含有粒子を分級する工程である。分級の方法としては特に制限されないが、例えば、サイクロンを用いることができる。サイクロンは、円錐上の容器を有し、容器内に旋回流を発生して、遠心力を利用して粒子を分級する機能を有する。分級は、不活性ガスの雰囲気下で行うことが好ましい。不活性ガスの態様は上記のとおりである。
Process G
Step G is a step of classifying the obtained metal fine particles and / or metal nitride-containing particles. The classification method is not particularly limited, and for example, a cyclone can be used. The cyclone has a container on a cone, generates a swirling flow in the container, and has a function of classifying particles by utilizing centrifugal force. The classification is preferably carried out in an atmosphere of an inert gas. The aspects of the inert gas are as described above.

工程H
工程Hは金属窒化物含有粒子を、水蒸気及び窒素ガスの混合雰囲気に曝露し、窒化処理する工程である。この工程を経ることにより、金属窒化物含有粒子における金属窒化物の含有量をより多くすることができる。金属窒化物含有粒子を、水蒸気及び窒素ガスの混合雰囲気に曝露する方法については特に制限されないが、例えば、金属窒化物含有粒子を水蒸気及び窒素ガスを混合したガスで満たされた恒温槽に導入し、所定時間静置又は攪拌する方法が挙げられ、金属窒化物含有粒子の表面及び結晶境界がより安定化する点で静置することがより好ましい。
水蒸気及び窒素ガスの混合比率は、大気中であれば相対湿度が25〜95%となる条件が好ましい。静置又は攪拌する時間は0.5〜72時間が好ましく、その際の温度は10〜40℃が好ましい。
Process H
Step H is a step of exposing the metal nitride-containing particles to a mixed atmosphere of water vapor and nitrogen gas to perform nitriding treatment. By going through this step, the content of the metal nitride in the metal nitride-containing particles can be increased. The method of exposing the metal nitride-containing particles to a mixed atmosphere of water vapor and nitrogen gas is not particularly limited. For example, the metal nitride-containing particles are introduced into a constant temperature bath filled with a gas mixed with water vapor and nitrogen gas. , A method of allowing or stirring for a predetermined time can be mentioned, and it is more preferable to allow the metal nitride-containing particles to stand at a point where the surface and the crystal boundary are more stabilized.
The mixing ratio of water vapor and nitrogen gas is preferably a condition in which the relative humidity is 25 to 95% in the atmosphere. The time for standing or stirring is preferably 0.5 to 72 hours, and the temperature at that time is preferably 10 to 40 ° C.

工程A3−1〜A3−3
工程A3−1〜A3−3は、プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程(A3−1)、プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、原子Aを含有する原料粉末を供給し、上記原料粉末を蒸発させ、気相の原子Aを得る工程(A3−2)、及び上記気相の原子Aを冷却し、原子Aからなる微粒子を得る工程(A3−3)である。それぞれの工程における態様は、上記工程A、工程B(遷移金属を含有する金属原料粉末に代えて、原子Aを含有する原料粉末を用いる)、及び工程C(遷移金属を含有する金属微粒子に代えて、微粒子化された原子Aを得る。)で説明したとおりである。
上記工程を経ることにより、原子Aが微粒子化され、工程Eにおいて原子Aが蒸発し易くなる。また、上記工程を経ることにより、原子Aを含有する原料粉末が含有する不純物(原子A以外の金属成分等)を除去することができる。
Steps A3-1 to A3-3
In steps A3-1 to A3-3, an inert gas containing no nitrogen gas is supplied as plasma gas into the plasma torch to generate a thermal plasma flame (A3-1), which is used for the thermal plasma flame in the plasma torch. , The step of supplying the raw material powder containing the atom A, evaporating the raw material powder to obtain the atom A of the gas phase (A3-2), and cooling the atom A of the gas phase to obtain fine particles composed of the atom A. This is the obtaining step (A3-3). Aspects in each step are the above-mentioned step A, step B (a raw material powder containing an atom A is used instead of the metal raw material powder containing a transition metal), and step C (instead of metal fine particles containing a transition metal). The finely divided atom A is obtained.).
By going through the above steps, the atoms A are made into fine particles, and the atoms A are easily evaporated in the step E. Further, by going through the above steps, impurities (metal components other than atom A, etc.) contained in the raw material powder containing atom A can be removed.

原子Aを含有する金属窒化物含有粒子の製造方法の好適態様
原子Aを含有する金属窒化物含有粒子の製造方法の好適態様としては、以下の工程を順に有する方法が挙げられる。
工程A:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程B:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属原料粉末を供給し、上記金属原料粉末を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程。
工程C:上記気相の原料金属を冷却し、遷移金属を含有する金属微粒子を得る工程。
工程G:得られた粒子を分級する工程。
工程A3−1:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程A3−2:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、原子Aを含有する原料粉末を供給し、上記原料粉末を蒸発させ、気相の原子Aを得る工程。
工程A3−3:上記気相の原子Aを冷却し、微粒子化された原子Aを得る工程。
工程G:得られた粒子を分級する工程。
工程A2:遷移金属を含有する金属原料粉末(この場合、金属微粒子)に、原子A(この場合、微粒子化された原子A)を混合する工程。
工程D:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有する不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程E:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属微粒子を供給し、上記金属微粒子を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程。
工程F:上記気相の原料金属を冷却し、金属窒化物含有粒子を得る工程。
工程G:得られた粒子を分級する工程。
工程H:工程Gにおいて得られた金属窒化物含有粒子を、水蒸気及び窒素ガスの混合雰囲気に曝露し、窒化処理する工程。
上記一連の工程において、工程A〜C、及び工程A3−1〜A3−3の順序を入れ替えてもよい。すなわち、工程A3−1〜A3−3の後、工程A〜Cを実施してもよい。
Preferable Aspects of Method for Producing Metal Nitride-Containing Particles Containing Atom A As a preferred embodiment of the method for producing metal nitride-containing particles containing atom A, a method having the following steps in order can be mentioned.
Step A: A step of supplying an inert gas containing no nitrogen gas into the plasma torch as plasma gas to generate a thermal plasma flame.
Step B: A step of supplying a metal raw material powder containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the metal raw material powder to obtain a gas phase raw material metal.
Step C: A step of cooling the raw material metal of the gas phase to obtain metal fine particles containing a transition metal.
Step G: A step of classifying the obtained particles.
Step A3-1: A step of supplying an inert gas containing no nitrogen gas into the plasma torch as plasma gas to generate a thermal plasma flame.
Step A3-2: A step of supplying a raw material powder containing an atom A to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the raw material powder to obtain a gas phase atom A.
Step A3-3: A step of cooling the atom A in the gas phase to obtain atomized atom A.
Step G: A step of classifying the obtained particles.
Step A2: A step of mixing the atom A (in this case, the atomized atom A) with the metal raw material powder containing the transition metal (in this case, metal fine particles).
Step D: A step of supplying an inert gas containing nitrogen gas into the plasma torch as plasma gas to generate a thermal plasma flame.
Step E: A step of supplying metal fine particles containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the metal fine particles to obtain a raw metal for a gas phase.
Step F: A step of cooling the raw material metal of the gas phase to obtain metal nitride-containing particles.
Step G: A step of classifying the obtained particles.
Step H: A step of exposing the metal nitride-containing particles obtained in Step G to a mixed atmosphere of water vapor and nitrogen gas to perform nitriding treatment.
In the above series of steps, the order of steps A to C and steps A3-1 to A3-3 may be changed. That is, steps A to C may be carried out after steps A3-1 to A3-3.

上記の原子Aを含有する金属窒化物含有粒子の製造方法の好適態様によれば、金属原料粉末、及び原料粒子が含有する不純物を除去でき、かつ、所望の平均一次粒子径を有する金属窒化物含有粒子を製造することができる。その理由としては、遷移金属及び/又は原子Aはプラズマ処理によりイオン化され、上記イオンが冷却される際には、遷移金属、原子A及び不純物は、それぞれの融点を反映して微粒子化されるものと推測される。このとき、融点が低い原子は粒子化が速く、融点が高い原子は粒子化が遅くなる。そのため、上記のとおり、一度プラズマ処理された微粒子(工程B及びC、並びに工程A3−2及びA3−3)は単一成分(単一結晶)になりやすいものと推測される。上記により得られた単一成分の粒子を分級すれば、遷移金属の粒子及び/又は原子Aの粒子と、不純物の粒子の密度及び/又は粒径の違いにより、不純物の粒子を除去することができる。上記分級は、例えばサイクロン等を用い、分級条件を適宜設定することで行うことができる。 According to the preferred embodiment of the method for producing metal nitride-containing particles containing an atom A, the metal raw material powder and the metal nitride having a desired average primary particle size while being able to remove impurities contained in the raw material particles. Containing particles can be produced. The reason is that the transition metal and / or atom A is ionized by plasma treatment, and when the ions are cooled, the transition metal, atom A and impurities are atomized reflecting their respective melting points. It is presumed. At this time, the atom having a low melting point has a high particle formation, and the atom having a high melting point has a slow particle formation. Therefore, as described above, it is presumed that the fine particles (steps B and C, and steps A3-2 and A3-3) once plasma-treated tend to become a single component (single crystal). By classifying the single component particles obtained as described above, the impurity particles can be removed depending on the difference in the density and / or particle size of the transition metal particles and / or the atom A particles and the impurity particles. it can. The above classification can be performed by appropriately setting the classification conditions using, for example, a cyclone or the like.

金属原料粉末及び原料粉末の精製
上記工程Bにおいて用いることのできる遷移金属を含有する金属原料粉末(以下、単に「金属原料粉末」という。)及び原子Aを含有する原料粉末(以下、単に「原料粉末」という。)としては、特に制限されないが、高純度のものであることが好ましい。金属原料粉末における遷移金属の含有量は、特に限定されないが、99.99%以上が好ましく、99.999%以上がより好ましい。原料粉末における原子Aの含有量も同様である。
Purification of metal raw material powder and raw material powder A metal raw material powder containing a transition metal that can be used in the above step B (hereinafter, simply referred to as "metal raw material powder") and a raw material powder containing an atom A (hereinafter, simply "raw material"). The "powder") is not particularly limited, but is preferably of high purity. The content of the transition metal in the metal raw material powder is not particularly limited, but is preferably 99.99% or more, and more preferably 99.999% or more. The same applies to the content of atom A in the raw material powder.

金属原料粉末及び/又は原料粉末は、所望の遷移金属及び/又は原子A以外の原子を不純物として含有する場合がある。金属原料粉末に含有される不純物としては、ホウ素、アルミニウム、ケイ素、マンガン、鉄、ニッケル及び銀等が挙げられる。また、原料粉末に含有される不純物としては、金属元素等が挙げられる。 The metal raw material powder and / or the raw material powder may contain an atom other than the desired transition metal and / or atom A as an impurity. Examples of impurities contained in the metal raw material powder include boron, aluminum, silicon, manganese, iron, nickel and silver. In addition, examples of impurities contained in the raw material powder include metal elements and the like.

金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程Bの前(工程A2を含有する場合は、工程A2の前)に、以下の工程A0を更に含有してもよい。
工程A0:金属原料粉末及び/又は原料粉末から不純物を除去する工程。
In the method for producing the metal nitride-containing particles, the following step A0 may be further contained before the step B (when the step A2 is contained, before the step A2).
Step A0: A step of removing impurities from the metal raw material powder and / or the raw material powder.

工程A0
工程A0において、金属原料粉末及び/又は原料粉末から不純物を除去する方法(分離精製方法)としては特に限定されないが、例えば、ニオブについて特開2012−211048号公報の段落0013〜0030に記載された方法を用いることができ、その他の金属原料粉末及び/又は原料粉末についてもこれに準じた方法を用いることができる。
Process A0
In step A0, the method for removing impurities from the metal raw material powder and / or the raw material powder (separation and purification method) is not particularly limited, and for example, Niob is described in paragraphs 0013 to 0030 of JP2012-211048A. A method can be used, and a similar method can be used for other metal raw material powders and / or raw material powders.

金属窒化物含有粒子の被覆
金属窒化物含有粒子は、無機化合物で被覆された金属窒化物含有粒子であってもよい。つまり、金属窒化物含有粒子と、金属窒化物含有粒子を被覆する、無機化合物を用いて形成される被覆層とを有する、被覆金属窒化物含有粒子であってもよい。無機化合物で被覆された金属窒化物含有粒子を含有する硬化性組成物は、より優れた分散安定性を有する。
無機化合物としては特に限定されず、SiO、ZrO、TiO、GeO、Al、Y、及びP等の酸化物、並びに、水酸化アルミニウム、及び水酸化ジルコニウム等の水酸化物が挙げられる。なかでも、より薄い被膜を形成しやすく、かつ、より被覆率の高い被膜を形成しやすい点で、水酸化アルミニウムが好ましい。
金属窒化物含有粒子の屈折率を制御することを意図した場合には、低屈折率被膜としては酸化ケイ素が好ましく、高屈折率被膜としては水酸化ジルコニウムが好ましい。
金属窒化物含有粒子を無機化合物で被覆する方法については特に制限されないが、金属窒化物含有粒子の製造方法が、下記の無機化合物被覆工程を含有することが好ましい。
Coating of Metal Nitride-Containing Particles The metal nitride-containing particles may be metal nitride-containing particles coated with an inorganic compound. That is, it may be a coated metal nitride-containing particle having a metal nitride-containing particle and a coating layer formed by using an inorganic compound that coats the metal nitride-containing particle. Curable compositions containing metal nitride-containing particles coated with an inorganic compound have better dispersion stability.
The inorganic compound is not particularly limited, and oxides such as SiO 2 , ZrO 2 , TiO 2 , GeO 2 , Al 2 O 3 , Y 2 O 3 , and P 2 O 5 , aluminum hydroxide, and hydroxide are used. Hydroxides such as zirconium can be mentioned. Of these, aluminum hydroxide is preferable because it is easy to form a thinner film and to form a film having a higher coverage.
When it is intended to control the refractive index of the metal nitride-containing particles, silicon oxide is preferable as the low refractive index film, and zirconium hydride is preferable as the high refractive index film.
The method for coating the metal nitride-containing particles with the inorganic compound is not particularly limited, but it is preferable that the method for producing the metal nitride-containing particles includes the following inorganic compound coating step.

無機化合物被覆工程
無機化合物被覆工程は上記の金属窒化物含有粒子を酸化物及び/又は水酸化物により被覆する工程である。被覆する方法としては、特に制限されないが、例えば以下の湿式コーティング法等が挙げられる。
Inorganic compound coating step The inorganic compound coating step is a step of coating the above-mentioned metal nitride-containing particles with an oxide and / or a hydroxide. The coating method is not particularly limited, and examples thereof include the following wet coating methods.

第一の湿式コーティング法としては、まず、上記の金属窒化物含有粒子を水と混合してスラリーを作製する。次に上記スラリーに、Si,Zr,Ti,Ge,Al,Y,及び、Pからなる群から選択される少なくとも1種を含有する水溶性化合物(例えば珪ケイ酸ナトリウム)を反応させ、余分なアルカリイオンをデカンテーション及び/又はイオン交換樹脂等で除去する。その後、上記スラリーを乾燥させ、酸化物で被覆された金属窒化物含有粒子を得る。 As the first wet coating method, first, the above-mentioned metal nitride-containing particles are mixed with water to prepare a slurry. Next, the above slurry is reacted with a water-soluble compound (for example, sodium silicate) containing at least one selected from the group consisting of Si, Zr, Ti, Ge, Al, Y, and P, and an excess is added. Remove the alkali ions with decantation and / or ion exchange resin or the like. Then, the slurry is dried to obtain oxide-coated metal nitride-containing particles.

第二の湿式コーティング法としては、まず、上記の金属窒化物含有粒子をアルコール等の有機溶剤と混合してスラリーを作製する。次に、上記スラリー中でSi,Zr,Ti,Ge,Al,Y,及び、Pからなる群から選択される少なくとも1種を含有するアルコキシド等の有機金属化合物を生成し、上記スラリーを高温で焼成する。上記スラリーを高温で焼成するとゾルゲル反応が進行し、酸化物で被覆された金属窒化物含有粒子が得られる。 As the second wet coating method, first, the above-mentioned metal nitride-containing particles are mixed with an organic solvent such as alcohol to prepare a slurry. Next, an organometallic compound such as an alkoxide containing at least one selected from the group consisting of Si, Zr, Ti, Ge, Al, Y, and P is produced in the slurry, and the slurry is heated at a high temperature. Bake. When the slurry is calcined at a high temperature, the sol-gel reaction proceeds to obtain metal nitride-containing particles coated with an oxide.

第三の湿式コーティング法としては、金属窒化物含有粒子の存在下で、尿素と塩化アルミニウムを用いて、イオン液体を含有するスラリーを作製する。このスラリーから金属窒化物含有粒子を取り出し、乾燥させ、その後、上記金属窒化物含有粒子を焼成することにより、水酸化アルミニウムを含有する水酸化物により被覆された金属窒化物含有粒子が得られる。 As a third wet coating method, a slurry containing an ionic liquid is prepared by using urea and aluminum chloride in the presence of metal nitride-containing particles. The metal nitride-containing particles are taken out from this slurry, dried, and then the metal nitride-containing particles are calcined to obtain metal nitride-containing particles coated with a hydroxide containing aluminum hydroxide.

・有機顔料
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等;
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等;
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等;
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59等;
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42等;及び
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80等;
が挙げられる。なお、顔料は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
-Organic pigments Examples of organic pigments include Color Index (CI) Pigment Yellow 1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1,36,36: 1,37,37: 1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73, 74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214, etc .;
C. I. Pigment Orange 2,5,13,16,17: 1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73, etc. ;
C. I. Pigment Red 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48: 1,48: 2,48: 3,48: 4, 49,49: 1,49: 2,52: 1,52: 2,53: 1,57: 1,60: 1,63: 1,66,67,81: 1,81: 2,81: 3, 83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184 185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279, etc.;
C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37, 58, 59, etc .;
C. I. Pigment Violet 1,19,23,27,32,37,42, etc .; and C.I. I. Pigment Blue 1,2,15,15: 1,15: 2,15: 3,15: 4,15: 6,16,22,60,64,66,79,80, etc .;
Can be mentioned. The pigment may be used alone or in combination of two or more.

(染料)
染料としては、例えば特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許4808501号明細書、米国特許5667920号明細書、米国特許505950号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に開示されている色素を使用できる。化学構造で区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等を使用できる。染料としては色素多量体を用いてもよい。色素多量体としては、特開2011−213925号公報、特開2013−041097号公報に記載されている化合物が挙げられる。分子内に重合性を有する重合性染料を用いてもよく、市販品としては、例えば、和光純薬株式会社製RDWシリーズが挙げられる。
(dye)
Examples of the dye include JP-A-64-90403, JP-A-64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, JP-A-2592207, and US Pat. No. 4,808.501. , U.S. Pat. No. 5,667,920, U.S. Patent No. 505950, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115, JP-A-6-194828, etc. You can use the dyes that are used. When classified by chemical structure, pyrazole azo compound, pyromethene compound, anilino azo compound, triphenylmethane compound, anthraquinone compound, benzylidene compound, oxonor compound, pyrazorotriazole azo compound, pyridone azo compound, cyanine compound, phenothiazine compound, pyropyrazole azomethin compound, etc. Can be used. A dye multimer may be used as the dye. Examples of the dye multimer include compounds described in JP-A-2011-213925 and JP-A-2013-041097. A polymerizable dye having a polymerizable property in the molecule may be used, and examples of commercially available products include the RDW series manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.

(赤外線吸収剤)
着色剤は、更に赤外線吸収剤を含有してもよい。
赤外線吸収剤は、赤外領域(好ましくは、波長650〜1,300nm)の波長領域に吸収を有する化合物を意味する。好ましくは、赤外線吸収剤は、波長675〜900nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましい。
このような分光特性を有する着色剤としては、例えば、ピロロピロール化合物、銅化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、イミニウム化合物、チオール錯体系化合物、遷移金属酸化物系化合物、スクアリリウム化合物、ナフタロシアニン化合物、クオテリレン化合物、ジチオール金属錯体系化合物、クロコニウム化合物等が挙げられる。
フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、イミニウム化合物、シアニン化合物、スクアリウム化合物及びクロコニウム化合物は、特開2010−111750号公報の段落0010〜0081に開示の化合物を使用してもよく、この内容は本明細書に組み込まれる。シアニン化合物は、例えば、「機能性色素、大河原信/松岡賢/北尾悌次郎/平嶋恒亮・著、講談社サイエンティフィック」を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
(Infrared absorber)
The colorant may further contain an infrared absorber.
The infrared absorber means a compound having absorption in a wavelength region in the infrared region (preferably, a wavelength of 650 to 1,300 nm). Preferably, the infrared absorber is a compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 675 to 900 nm.
Examples of the colorant having such spectral characteristics include pyrolopyrrole compounds, copper compounds, cyanine compounds, phthalocyanine compounds, iminium compounds, thiol complex compounds, transition metal oxide compounds, squarylium compounds, naphthalocyanine compounds, and quoterylene. Examples thereof include compounds, dithiol metal complex compounds, croconium compounds and the like.
As the phthalocyanine compound, naphthalocyanine compound, iminium compound, cyanine compound, squalium compound and croconium compound, the compounds disclosed in paragraphs 0010 to 0081 of JP-A-2010-111750 may be used, and the contents thereof are described in the present specification. Be incorporated. For the cyanine compound, for example, "Functional dye, Shin Ogawara / Ken Matsuoka / Eijiro Kitao / Tsuneaki Hirashima, Kodansha Scientific" can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

上記分光特性を有する着色剤として、特開平07−164729号公報の段落0004〜0016に開示の化合物及び/又は特開2002−146254号公報の段落0027〜0062に開示の化合物、特開2011−164583号公報の段落0034〜0067に開示のCu及び/又はPを含む酸化物の結晶子からなり数平均凝集粒子径が5〜200nmである近赤外線吸収粒子を使用することもできる。 As the colorant having the above spectral characteristics, the compound disclosed in paragraphs 0004 to 0016 of JP-A-07-164729 and / or the compound disclosed in paragraphs 0027-0062 of JP-A-2002-146254, JP-A-2011-164583 Near-infrared absorbing particles composed of oxide crystals containing Cu and / or P disclosed in paragraphs 0034 to 0067 of the publication and having a number average aggregated particle diameter of 5 to 200 nm can also be used.

波長675〜900nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物としては、シアニン化合物、ピロロピロール化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、及びナフタロシアニン化合物からなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
赤外線吸収剤は、25℃の水に1質量%以上溶解する化合物であることが好ましく、25℃の水に10質量%以上溶解する化合物がより好ましい。このような化合物を用いることで、耐溶剤性が良化する。
ピロロピロール化合物は、特開2010−222557号公報の段落番号0049〜0062を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれることとする。シアニン化合物及びスクアリリウム化合物は、国際公開2014/088063号公報の段落番号0022〜0063、国際公開2014/030628号公報の段落番号0053〜0118、特開2014−59550号公報の段落番号0028〜0074、国際公開2012/169447号公報の段落番号0013〜0091、特開2015−176046号公報の段落番号0019〜0033、特開2014−63144号公報の段落番号0053〜0099、特開2014−52431号公報の段落番号0085〜0150、特開2014−44301号公報の段落番号0076〜0124、特開2012−8532号公報の段落番号0045〜0078、特開2015−172102号公報の段落番号0027〜0067、特開2015−172004号公報の段落番号0029〜0067、特開2015−40895号公報の段落番号0029〜0085、特開2014−126642号公報の段落番号0022〜0036、特開2014−148567号公報の段落番号0011〜0017、特開2015−157893号公報の段落番号0010〜0025、特開2014−095007号公報の段落番号0013〜0026、特開2014−80487号公報の段落番号0013〜0047、及び特開2013−227403号公報の段落番号0007〜0028等を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
As the compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength region of 675 to 900 nm, at least one selected from the group consisting of a cyanine compound, a pyrolopyrrole compound, a squarylium compound, a phthalocyanine compound, and a naphthalocyanine compound is preferable.
The infrared absorber is preferably a compound that dissolves in water at 25 ° C. in an amount of 1% by mass or more, and more preferably a compound that dissolves in water at 25 ° C. in an amount of 10% by mass or more. By using such a compound, the solvent resistance is improved.
For the pyrrolopyrrole compound, paragraphs 0049 to 0062 of JP-A-2010-222557 can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification. The cyanine compound and the squarylium compound are described in paragraphs 0022 to 0063 of International Publication No. 2014/088063, paragraph numbers 0053 to 0118 of International Publication No. 2014/03628, paragraph numbers 0028 to 0074 of JP2014 / 59550A. Publication No. 2012/169447, paragraph numbers 0013 to 0091, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-176046, paragraph numbers 0019 to 0033, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-63144, paragraph numbers 0053 to 0999, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-52431 Nos. 008-5150, paragraphs 0076 to 0124 of JP2014-444301, paragraphs 0045 to 0078 of JP2012-8532, paragraphs 0027 to 0067 of JP2015-172102, JP2015 -172004, paragraph numbers 0029 to 0067, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-40895, paragraph numbers 0029 to 0085, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-126642, paragraph numbers 0022 to 0036, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-148567, paragraph numbers 0011. ~ 0017, Paragraph numbers 0010 to 0025 of JP2015-157893, Paragraphs 0013 to 0026 of JP2014-095007, Paragraphs 0013 to 0047 of JP2014-80487, and JP2013-2013. Paragraphs 0007 to 0028 and the like of Japanese Patent Application Laid-Open No. 227403 can be referred to, and the contents thereof are incorporated in this specification.

赤外線吸収剤は、下記一般式1〜3で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
一般式1

一般式1中、A1及びA2は、それぞれ独立に、アリール基、ヘテロアリール基又は下記一般式1−Aで表される基を表す。
一般式1−A

一般式1−A中、Z1Aは、含窒素複素環を形成する非金属原子団を表し、R2Aは、アルキル基、アルケニル基、又はアラルキル基を表し、dは、0、又は1を表し、波線は連結手を表す。
一般式2

一般式2中、R1a及びR1bは、それぞれ独立に、アルキル基、アリール基、又はヘテロアリール基を表し、
2〜R5は、それぞれ独立に、水素原子、又は置換基を表し、R2とR3、R4とR5は、それぞれ結合して環を形成していてもよく、
6、及びR7は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BRAB、又は金属原子を表し、RA、及びRBは、それぞれ独立に、水素原子、又は置換基を表し、
6は、R1a、又はR3と、共有結合、又は配位結合していてもよく、R7は、R1b、又はR5と、共有結合、又は配位結合していてもよい。
一般式3

一般式3中、Z1、及びZ2は、それぞれ独立に、縮環してもよい5員、又は6員の含窒素複素環を形成する非金属原子団であり、
101、及びR102は、それぞれ独立に、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アラルキル基、又はアリール基を表し、
1は、奇数個のメチンからなるメチン鎖を表し、
a、及びbは、それぞれ独立に、0、又は1であり、
aが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが二重結合で結合し、bが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが単結合で結合し、
式中のCyで表される部位がカチオン部である場合、X1はアニオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位がアニオン部である場合、X1はカチオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位の電荷が分子内で中和されている場合、cは0である。
The infrared absorber is preferably at least one selected from the group consisting of the compounds represented by the following general formulas 1 to 3.
General formula 1

In the general formula 1, A 1 and A 2 independently represent an aryl group, a heteroaryl group, or a group represented by the following general formula 1-A.
General formula 1-A

In the general formula 1-A, Z 1A represents a non-metal atomic group forming a nitrogen-containing heterocycle, R 2A represents an alkyl group, an alkenyl group, or an aralkyl group, and d represents 0 or 1. , The wavy line represents the connecting hand.
General formula 2

In General Formula 2, R 1a and R 1b independently represent an alkyl group, an aryl group, or a heteroaryl group, respectively.
R 2 to R 5 independently represent a hydrogen atom or a substituent, and R 2 and R 3 , and R 4 and R 5 may be bonded to each other to form a ring.
R 6, and R 7 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, a -BR A R B, or a metal atom, R A, and R B are each independently, hydrogen Represents an atom or substituent,
R 6 may be covalently or coordinated with R 1a or R 3, and R 7 may be covalently or coordinated with R 1b or R 5 .
General formula 3

In the general formula 3, Z 1 and Z 2 are non-metal atomic groups forming a 5-membered or 6-membered nitrogen-containing heterocycle which may be fused independently, respectively.
R 101 and R 102 independently represent an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aralkyl group, or an aryl group, respectively.
L 1 represents a methine chain consisting of an odd number of methines.
a and b are independently 0 or 1, respectively.
When a is 0, the carbon atom and the nitrogen atom are bonded by a double bond, and when b is 0, the carbon atom and the nitrogen atom are bonded by a single bond.
When the part represented by Cy in the formula is a cation part, X 1 represents an anion, c represents the number required to balance the charges, and the part represented by Cy in the formula is an anion part. When, X 1 represents a cation, c represents the number required to balance the charge, and c is intramolecularly neutralized when the charge at the site represented by Cy in the equation is neutralized. It is 0.

(顔料誘導体)
硬化性組成物は、顔料誘導体を含有してもよい。顔料誘導体は、有機顔料の一部分を、酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が好ましい。顔料誘導体としては、着色剤Aの分散性及び分散安定性の観点から、酸性基又は塩基性基を有する顔料誘導体が好ましい。顔料誘導体は、塩基性基を有することが特に好ましい。上述した樹脂(分散剤)と、顔料誘導体との組み合わせは、分散剤が酸性分散剤で、顔料誘導体が塩基性基を有する組み合わせが好ましい。
(Pigment derivative)
The curable composition may contain a pigment derivative. The pigment derivative is preferably a compound having a structure in which a part of the organic pigment is replaced with an acidic group, a basic group or a phthalimide methyl group. As the pigment derivative, a pigment derivative having an acidic group or a basic group is preferable from the viewpoint of dispersibility and dispersion stability of the colorant A. The pigment derivative is particularly preferably having a basic group. The combination of the above-mentioned resin (dispersant) and the pigment derivative is preferably a combination in which the dispersant is an acidic dispersant and the pigment derivative has a basic group.

顔料誘導体を構成するための有機顔料としては、ジケトピロロピロール系顔料、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料等が挙げられる。
顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホン酸基、カルボン酸基及びその塩が好ましく、カルボン酸基及びスルホン酸基がより好ましく、スルホン酸基が更に好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。
Organic pigments for constituting pigment derivatives include diketopyrrolopyrrole pigments, azo pigments, phthalocyanine pigments, anthraquinone pigments, quinacridone pigments, dioxazine pigments, perinone pigments, perylene pigments, and thioindigo pigments. , Isoindrin pigments, isoindolinone pigments, quinophthalone pigments, slene pigments, metal complex pigments and the like.
As the acidic group contained in the pigment derivative, a sulfonic acid group, a carboxylic acid group and a salt thereof are preferable, a carboxylic acid group and a sulfonic acid group are more preferable, and a sulfonic acid group is further preferable. As the basic group contained in the pigment derivative, an amino group is preferable, and a tertiary amino group is more preferable.

硬化性組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料の質量に対し、1〜30質量%が好ましく、3〜20質量%がより好ましい。顔料誘導体は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 When the curable composition contains a pigment derivative, the content of the pigment derivative is preferably 1 to 30% by mass, more preferably 3 to 20% by mass, based on the mass of the pigment. Only one kind of pigment derivative may be used, or two or more kinds may be used in combination.

<重合禁止剤>
硬化性組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を含有することにより硬化性組成物はより優れた経時安定性を有する。なお、本明細書において経時安定性とは、硬化性組成物を調製後、所定期間保管した場合であっても、優れたパターン形状を有する硬化膜を得ることができることを意図する。
重合禁止剤は、保管中の硬化性組成物中において、多官能チオール化合物と重合性化合物との反応が進行するのを抑制する作用を有し、上記効果が得られるものと推測される。
重合禁止剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜1質量%が好ましく、0.005〜1質量%がより好ましく、0.05〜1質量%が更に好ましい。
重合禁止剤の含有量が上記範囲内だと硬化性組成物はより優れた経時安定性を有する。
<Polymerization inhibitor>
The curable composition may contain a polymerization inhibitor. By containing a polymerization inhibitor, the curable composition has better stability over time. In the present specification, the term "stability over time" means that a cured film having an excellent pattern shape can be obtained even when the curable composition is prepared and stored for a predetermined period of time.
It is presumed that the polymerization inhibitor has an effect of suppressing the reaction between the polyfunctional thiol compound and the polymerizable compound in the curable composition during storage, and the above effect can be obtained.
The content of the polymerization inhibitor is preferably 0.001 to 1% by mass, more preferably 0.005 to 1% by mass, further preferably 0.05 to 1% by mass, based on the total solid content of the curable composition. preferable.
When the content of the polymerization inhibitor is within the above range, the curable composition has better stability over time.

重合禁止剤としては、特に制限されず、重合禁止剤として用いられる公知の化合物を用いることができる。重合禁止剤として用いられる化合物としては、例えば、フェノール系化合物、キノン系化合物、ヒンダードアミン系化合物、フェノチアジン系化合物、及びニトロベンゼン系化合物等が挙げられる。上記化合物は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。 The polymerization inhibitor is not particularly limited, and a known compound used as a polymerization inhibitor can be used. Examples of the compound used as the polymerization inhibitor include phenol-based compounds, quinone-based compounds, hindered amine-based compounds, phenothiazine-based compounds, and nitrobenzene-based compounds. The above compounds may be used alone or in combination of two or more.

フェノール系化合物としては、例えば、フェノール、4−メトキシフェノール、ヒドロキノン、2−tert−ブチルヒドロキノン、カテコール、4−tert−ブチル−カテコール、2,6−ジ−tert−ブチルフェノール、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール、2,6−ジ−tert−ブチル−4−エチルフェノール、4−ヒドロキシメチル−2,6−ジ−tert−ブチルフェノール、ペンタエリスリトールテトラキス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシヒドロシンナメート)、4−メトキシ−1−ナフトール、及び1,4−ジヒドロキシナフタレン等が挙げられる。 Examples of the phenolic compound include phenol, 4-methoxyphenol, hydroquinone, 2-tert-butylhydroquinone, catechol, 4-tert-butyl-catechol, 2,6-di-tert-butylphenol, and 2,6-di-. tert-Butyl-4-methylphenol, 2,6-di-tert-butyl-4-ethylphenol, 4-hydroxymethyl-2,6-di-tert-butylphenol, pentaerythritol tetrakis (3,5-di-tert) −Butyl-4-hydroxyhydrocinnamete), 4-methoxy-1-naphthol, 1,4-dihydroxynaphthalene and the like.

フェノール系化合物としては、式(IH−1)で示されるフェノール系化合物が好ましい。 As the phenolic compound, the phenolic compound represented by the formula (IH-1) is preferable.

式(IH−1)中、R〜Rは、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、アルケニル基、ヒドロキシ基、アミノ基、アリール基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、又はアシル基を表す。R〜Rはそれぞれ連結して環を形成してもよい。In the formula (IH-1), R 1 to R 5 are independently hydrogen atom, alkyl group, alkenyl group, hydroxy group, amino group, aryl group, alkoxy group, carboxyl group, alkoxycarbonyl group, or acyl. Represents a group. R 1 to R 5 may be connected to each other to form a ring.

式(IH−1)中のR〜Rとしては、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基(例えば、メチル基及びエチル基等)、炭素数1〜5のアルコキシ基(例えば、メトキシ基及びエトキシ基等)、炭素数2〜4のアルケニル基(例えば、ビニル基等)、又はフェニル基が好ましい。
なかでも、R及びRはそれぞれ独立して、水素原子又はtert−ブチル基がより好ましく、R及びRは水素原子がより好ましく、Rは水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又は炭素数1〜5のアルコキシ基がより好ましい。
Examples of R 1 to R 5 in the formula (IH-1) include a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms (for example, a methyl group and an ethyl group), and an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms (for example, methoxy). Groups and ethoxy groups, etc.), alkenyl groups having 2 to 4 carbon atoms (for example, vinyl groups, etc.), or phenyl groups are preferable.
Among them, R 1 and R 5 are independent of each other, and a hydrogen atom or a tert-butyl group is more preferable, R 2 and R 4 are more preferably a hydrogen atom, R 3 is a hydrogen atom and an alkyl having 1 to 5 carbon atoms. A group or an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms is more preferable.

キノン系化合物としては、例えば、1,4−ベンゾキノン、1,2−ベンゾキノン、及び1,4−ナフトキノン等が挙げられる。 Examples of the quinone-based compound include 1,4-benzoquinone, 1,2-benzoquinone, and 1,4-naphthoquinone.

ヒンダードアミン系化合物としては、例えば、下記式(IH−2)で表わされる重合禁止剤が挙げられる。 Examples of the hindered amine compound include a polymerization inhibitor represented by the following formula (IH-2).

式(IH−2)中のRは、水素原子、ヒドロキシ基、アミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、又はアシル基を表す。なかでも、水素原子又はヒドロキシ基が好ましく、ヒドロキシ基がより好ましい。
式(IH−2)中のR〜R10は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を表す。R〜R10が表すアルキル基としては、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。
R 6 in the formula (IH-2) represents a hydrogen atom, a hydroxy group, an amino group, an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group, or an acyl group. Of these, a hydrogen atom or a hydroxy group is preferable, and a hydroxy group is more preferable.
R 7 to R 10 in the formula (IH-2) each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group. As the alkyl group represented by R 7 to R 10 , an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms is preferable, and a methyl group or an ethyl group is more preferable.

重合禁止剤としては、上記の各化合物を1種単独で用いても、2種を併用してもよく、3種以上を併用してもよい。
重合禁止剤は、フェノール系化合物を含有することが好ましい。なかでも、重合禁止剤は2種以上のフェノール系化合物を含有することがより好ましい。異なるフェノール系化合物を含有する硬化性組成物はより優れた本発明の効果を有する。
重合禁止剤は、フェノール系化合物と、ヒンダードアミン系化合物とを含有することが好ましい。フェノール系化合物とヒンダードアミン系化合物とを含有する硬化性組成物はより優れた本発明の効果を有する。
As the polymerization inhibitor, each of the above compounds may be used alone, in combination of two, or in combination of three or more.
The polymerization inhibitor preferably contains a phenolic compound. Among them, it is more preferable that the polymerization inhibitor contains two or more kinds of phenolic compounds. Curable compositions containing different phenolic compounds have better effects of the present invention.
The polymerization inhibitor preferably contains a phenol-based compound and a hindered amine-based compound. A curable composition containing a phenolic compound and a hindered amine compound has a better effect of the present invention.

<溶剤>
硬化性組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤としては、水、及び有機溶剤が挙げられる。硬化性組成物は有機溶剤を含有することが好ましい。
硬化性組成物が溶剤を含有する場合、硬化性組成物の固形分は10〜30質量%が好ましい。硬化性組成物の固形分が下限値以上だと、粘度が低く塗布性が良化する。更に、反応性の高い化合物の濃度が低くなることから経時安定性が良化する。硬化性組成物の固形分が上限値以下だと、粘度が程度に保たれ塗布性が良化する。更に、比重の重い着色剤が沈降しにくくなり、経時安定性が良化する。
<Solvent>
The curable composition preferably contains a solvent. Examples of the solvent include water and organic solvents. The curable composition preferably contains an organic solvent.
When the curable composition contains a solvent, the solid content of the curable composition is preferably 10 to 30% by mass. When the solid content of the curable composition is at least the lower limit, the viscosity is low and the coatability is improved. Further, since the concentration of the highly reactive compound is lowered, the stability over time is improved. When the solid content of the curable composition is not more than the upper limit, the viscosity is maintained to a certain degree and the coatability is improved. Further, the colorant having a heavy specific gravity is less likely to settle, and the stability over time is improved.

(有機溶剤)
硬化性組成物が有機溶剤を含有する場合、有機溶剤の含有量としては、硬化性組成物の全質量に対し、70〜90質量%が好ましい。
なお、有機溶剤は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の有機溶剤を併用する場合には、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
(Organic solvent)
When the curable composition contains an organic solvent, the content of the organic solvent is preferably 70 to 90% by mass with respect to the total mass of the curable composition.
The organic solvent may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds of organic solvents are used in combination, the total amount thereof is preferably in the above range.

有機溶剤としては、特に制限されないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシプロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、及び乳酸エチル等が挙げられる。 The organic solvent is not particularly limited, but for example, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexane, ethylene dichloride, tetrahydrofuran, toluene, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether. , Acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxypropanol, methoxymethoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether, Diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxypropyl acetate, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, 3-ethoxypropionic acid Examples thereof include methyl, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, ethyl acetate, butyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate and the like. ..

2種以上の有機溶剤を含有する場合には、上記の3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートからなる群から選択される2種以上で構成されることが好ましい。 When two or more kinds of organic solvents are contained, the above-mentioned methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2 -Preferably composed of two or more selected from the group consisting of heptanone, cyclohexanone, cyclopentanone, ethylcarbitol acetate, butylcarbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether acetate.

(水)
硬化性組成物は、水を含有してもよい。水は、意図的に添加されるものであってもよいし、硬化性組成物に含まれる各成分を添加することで不可避的に硬化性組成物中に含有されるものであってもよい。
水の含有量は、硬化性組成物の全質量に対して、0.01〜1質量%が好ましい。水の含有量が上記範囲内にあると、硬化膜を作製した際にピンホールの発生が抑制され、更に、硬化膜の耐湿性が向上する。
(water)
The curable composition may contain water. Water may be intentionally added, or may be inevitably contained in the curable composition by adding each component contained in the curable composition.
The water content is preferably 0.01 to 1% by mass with respect to the total mass of the curable composition. When the water content is within the above range, the generation of pinholes is suppressed when the cured film is produced, and the moisture resistance of the cured film is further improved.

<分散剤>
硬化性組成物は、分散剤を含有することが好ましい。分散剤は、着色剤の分散性向上に寄与する。本明細書において、分散剤と、後述するバインダー樹脂とは、異なる成分である。
<Dispersant>
The curable composition preferably contains a dispersant. The dispersant contributes to improving the dispersibility of the colorant. In the present specification, the dispersant and the binder resin described later are different components.

硬化性組成物が、分散剤を含有する場合、分散剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.05〜50質量%が好ましく、0.05〜30質量%がより好ましい。
分散剤の含有量が、硬化性組成物の全固形分に対して0.05〜30質量%であると、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜のパターン形状がより優れる。
分散剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。分散剤を2種以上併用する場合は、合計量が上記範囲内であることが好ましい。
When the curable composition contains a dispersant, the content of the dispersant is preferably 0.05 to 50% by mass, preferably 0.05 to 30% by mass, based on the total solid content of the curable composition. More preferred.
When the content of the dispersant is 0.05 to 30% by mass with respect to the total solid content of the curable composition, the pattern shape of the cured film obtained by curing the curable composition is more excellent.
The dispersant may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds of dispersants are used in combination, the total amount is preferably within the above range.

分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤を適宜選択して用いることができる。なかでも、高分子化合物が好ましい。
分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、及び、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子化合物は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及びブロック型高分子に分類することができる。
As the dispersant, for example, a known pigment dispersant can be appropriately selected and used. Of these, polymer compounds are preferable.
Dispersants include polymer dispersants [for example, polyamide amines and their salts, polycarboxylic acids and their salts, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethanes, modified polyesters, modified poly (meth) acrylates, (meth) acrylics. Copolymers, naphthalene sulfonic acid formarin condensates], polyoxyethylene alkyl phosphates, polyoxyethylene alkyl amines, pigment derivatives and the like.
Polymer compounds can be further classified into linear polymers, terminally modified polymers, graft-type polymers, and block-type polymers based on their structures.

(高分子化合物)
高分子化合物は、着色剤(例えば、無機顔料)の被分散体の表面に吸着し、被分散体の再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を含有する、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及び、ブロック型高分子が好ましい。
(Polymer compound)
The polymer compound is adsorbed on the surface of the dispersant of the colorant (for example, an inorganic pigment) and acts to prevent the reaggregation of the disperse. Therefore, terminal-modified polymers, graft-type polymers, and block-type polymers that contain anchor sites on the pigment surface are preferable.

高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位を含有することが好ましい。本明細書において、「構造単位」とは「繰り返し単位」と同義である。
このようなグラフト鎖を含有する構造単位を含有する高分子化合物は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するため、黒色顔料等の着色剤の分散性、及び、経時後の分散安定性(経時安定性)に優れる。グラフト鎖を含有する構造単位を含有する高分子化合物は、グラフト鎖の存在により、重合性化合物又はその他の併用可能な樹脂等との親和性を有する。結果として、アルカリ現像で残渣を生じにくくなる。
グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり黒色顔料等の分散性は向上する。一方、グラフト鎖が長すぎると黒色顔料等の着色顔料への吸着力が低下して、黒色顔料等の分散性は低下する傾向となる。このため、グラフト鎖は、水素原子を除いた原子数が40〜10,000であるものが好ましく、水素原子を除いた原子数が50〜2,000であるものがより好ましく、水素原子を除いた原子数が60〜500であるものが更に好ましい。
ここで、グラフト鎖とは、共重合体の主鎖の根元(主鎖から枝分かれしている基において主鎖に結合する原子)から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。
The polymer compound preferably contains a structural unit containing a graft chain. In the present specification, "structural unit" is synonymous with "repeating unit".
Since the polymer compound containing a structural unit containing such a graft chain has an affinity with a solvent depending on the graft chain, the dispersibility of a colorant such as a black pigment and the dispersion stability after aging (aging). Excellent stability). The polymer compound containing a structural unit containing a graft chain has an affinity with a polymerizable compound or other resin that can be used in combination due to the presence of the graft chain. As a result, alkaline development is less likely to generate residues.
The longer the graft chain, the higher the steric repulsion effect and the better the dispersibility of black pigments and the like. On the other hand, if the graft chain is too long, the adsorptive power to the coloring pigment such as the black pigment is lowered, and the dispersibility of the black pigment or the like tends to be lowered. Therefore, the graft chain preferably has an atomic number of 40 to 10,000 excluding hydrogen atoms, more preferably 50 to 2,000 atoms excluding hydrogen atoms, and excludes hydrogen atoms. It is more preferable that the number of atoms is 60 to 500.
Here, the graft chain indicates from the root of the main chain of the copolymer (atom bonded to the main chain in the group branched from the main chain) to the end of the group branched from the main chain.

グラフト鎖は、ポリマー構造を含有することが好ましく、このようなポリマー構造としては、例えば、ポリ(メタ)アクリレート構造(例えば、ポリ(メタ)アクリル構造)、ポリエステル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、ポリアミド構造、及び、ポリエーテル構造等を挙げることができる。
グラフト鎖と溶剤との相互作用性を向上させ、それにより黒色顔料等の分散性を高めるために、グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造及びポリ(メタ)アクリレート構造からなる群から選ばれた少なくとも1種を含有するグラフト鎖であることが好ましく、ポリエステル構造又はポリエーテル構造の少なくともいずれかを含有するグラフト鎖であることがより好ましい。
The graft chain preferably contains a polymer structure, and examples of such a polymer structure include a poly (meth) acrylate structure (for example, a poly (meth) acrylic structure), a polyester structure, a polyurethane structure, a polyurea structure, and a polyamide. Examples thereof include a structure and a polyether structure.
The graft chain was selected from the group consisting of polyester structure, polyether structure and poly (meth) acrylate structure in order to improve the interoperability between the graft chain and the solvent, thereby increasing the dispersibility of the black pigment and the like. A graft chain containing at least one type is preferable, and a graft chain containing at least one of a polyester structure or a polyether structure is more preferable.

このようなグラフト鎖を含有するマクロモノマーとしては、特に限定されないが、反応性二重結合性基を含有するマクロモノマーを好適に使用することができる。 The macromonomer containing such a graft chain is not particularly limited, but a macromonomer containing a reactive double bond group can be preferably used.

高分子化合物が含有するグラフト鎖を含有する構造単位に対応し、高分子化合物の合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、AA−6(商品名、東亜合成社製)、AA−10(商品名、東亜合成社製)、AB−6(商品名、東亜合成社製)、AS−6(商品名、東亜合成社製)、AN−6(商品名、東亜合成社製)、AW−6(商品名、東亜合成社製)、AA−714(商品名、東亜合成社製)、AY−707(商品名、東亜合成社製)、AY−714(商品名、東亜合成社製)、AK−5(商品名、東亜合成社製)、AK−30(商品名、東亜合成社製)、AK−32(商品名、東亜合成社製)、ブレンマーPP−100(商品名、日油社製)、ブレンマーPP−500(商品名、日油社製)、ブレンマーPP−800(商品名、日油社製)、ブレンマーPP−1000(商品名、日油社製)、ブレンマー55−PET−800(商品名、日油社製)、ブレンマーPME−4000(商品名、日油社製)、ブレンマーPSE−400(商品名、日油社製)、ブレンマーPSE−1300(商品名、日油社製)、ブレンマー43PAPE−600B(商品名、日油社製)等が挙げられる。このなかでも、AA−6(商品名、東亜合成社製)、AA−10(商品名、東亜合成社製)、AB−6(商品名、東亜合成社製)、AS−6(商品名、東亜合成社製)、AN−6(商品名、東亜合成社製)、及び、ブレンマーPME−4000(商品名、日油社製)等が好ましい。 Commercially available macromonomers that correspond to structural units containing graft chains contained in polymer compounds and are suitably used for the synthesis of polymer compounds include AA-6 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.) and AA-10. (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AB-6 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AS-6 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AN-6 (Product name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), AW -6 (trade name, manufactured by Toa Synthetic), AA-714 (trade name, manufactured by Toa Synthetic), AY-707 (trade name, manufactured by Toa Synthetic), AY-714 (trade name, manufactured by Toa Synthetic). , AK-5 (trade name, manufactured by Toa Synthetic), AK-30 (trade name, manufactured by Toa Synthetic), AK-32 (trade name, manufactured by Toa Synthetic), Blemmer PP-100 (trade name, NOF) Blemmer PP-500 (trade name, manufactured by NOF Corporation), Blemmer PP-800 (trade name, manufactured by NOF Corporation), Blemmer PP-1000 (trade name, manufactured by NOF Corporation), Blemmer 55-PET -800 (trade name, manufactured by NOF), Blemmer PME-4000 (trade name, manufactured by NOF), Blemmer PSE-400 (trade name, manufactured by NOF), Blemmer PSE-1300 (trade name, manufactured by NOF) , Blemmer 43PAPE-600B (trade name, manufactured by NOF CORPORATION) and the like. Among these, AA-6 (trade name, manufactured by Toagosei), AA-10 (trade name, manufactured by Toagosei), AB-6 (trade name, manufactured by Toagosei), AS-6 (trade name, manufactured by Toagosei). Toa Synthetic Co., Ltd.), AN-6 (trade name, manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), Blemmer PME-4000 (trade name, manufactured by Nikko Co., Ltd.) and the like are preferable.

分散剤は、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び環状又は鎖状のポリエステルからなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することが好ましい。分散剤は、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び鎖状のポリエステルからなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することがより好ましい。分散剤は、ポリアクリル酸メチル構造、ポリメタクリル酸メチル構造、ポリカプロラクトン構造、及びポリバレロラクトン構造からなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することが更に好ましい。分散剤は、1つの分散剤中に上記構造を単独で含有するものであってもよいし、1つの分散剤中にこれらの構造を複数含有するものであってもよい。
ここで、ポリカプロラクトン構造とは、ε−カプロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含有するものをいう。ポリバレロラクトン構造とは、δ−バレロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含有するものをいう。
ポリカプロラクトン構造を含有する分散剤の具体例としては、下記式(1)及び下記式(2)におけるj及びkが5であるものが挙げられる。また、ポリバレロラクトン構造を含有する分散剤の具体例としては、下記式(1)及び下記式(2)におけるj及びkが4であるものが挙げられる。
ポリアクリル酸メチル構造を含有する分散剤の具体例としては、下記式(4)におけるXが水素原子であり、Rがメチル基であるものが挙げられる。また、ポリメタクリル酸メチル構造を含有する分散剤の具体例としては、下記式(4)におけるXがメチル基であり、Rがメチル基であるものが挙げられる。
The dispersant preferably contains at least one structure selected from the group consisting of methyl polyacrylate, polymethyl methacrylate, and cyclic or chain polyester. The dispersant more preferably contains at least one structure selected from the group consisting of methyl polyacrylate, polymethyl methacrylate, and chain polyester. The dispersant more preferably contains at least one structure selected from the group consisting of methyl polyacrylate structure, polymethyl methacrylate structure, polycaprolactone structure, and polyvalerolactone structure. The dispersant may contain the above-mentioned structures alone in one dispersant, or may contain a plurality of these structures in one dispersant.
Here, the polycaprolactone structure refers to a structure containing a ring-opened structure of ε-caprolactone as a repeating unit. The polyvalerolactone structure refers to a structure containing a ring-opened structure of δ-valerolactone as a repeating unit.
Specific examples of the dispersant containing a polycaprolactone structure include those in which j and k in the following formula (1) and the following formula (2) are 5. Specific examples of the dispersant containing the polyvalerolactone structure include those in which j and k in the following formula (1) and the following formula (2) are 4.
Examples of dispersants containing polymethyl acrylate structure, X 5 in formula (4) is a hydrogen atom, and R 4 is a methyl group. Specific examples of dispersants containing polymethyl methacrylate structure, X 5 in formula (4) is a methyl group, and R 4 is a methyl group.

・グラフト鎖を含有する構造単位
高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位として、下記式(1)〜式(4)のいずれかで表される構造単位を含有することが好ましく、下記式(1A)、下記式(2A)、下記式(3A)、下記式(3B)、及び下記(4)のいずれかで表される構造単位を含有することがより好ましい。
-Structural unit containing a graft chain The polymer compound preferably contains a structural unit represented by any of the following formulas (1) to (4) as a structural unit containing a graft chain, and the following formula is preferable. It is more preferable to contain a structural unit represented by any one of (1A), the following formula (2A), the following formula (3A), the following formula (3B), and the following (4).

式(1)〜式(4)において、W、W、W、及びWはそれぞれ独立に酸素原子又はNHを表す。W、W、W、及びWは酸素原子であることが好ましい。
式(1)〜式(4)において、X、X、X、X、及びXは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の有機基を表す。X、X、X、X、及びXは、合成上の制約の観点からは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数(炭素原子数)1〜12のアルキル基が好ましく、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基がより好ましく、メチル基が更に好ましい。
In formulas (1) to (4), W 1 , W 2 , W 3 and W 4 independently represent an oxygen atom or NH, respectively. It is preferable that W 1 , W 2 , W 3 and W 4 are oxygen atoms.
In formulas (1) to (4), X 1 , X 2 , X 3 , X 4 , and X 5 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group. From the viewpoint of synthetic constraints, X 1 , X 2 , X 3 , X 4 , and X 5 are preferably hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms (carbon atoms), respectively, from the viewpoint of synthetic constraints. Independently, a hydrogen atom or a methyl group is more preferred, and a methyl group is even more preferred.

式(1)〜式(4)において、Y、Y、Y、及びYは、それぞれ独立に、2価の連結基を表し、連結基は特に構造上制約されない。Y、Y、Y、及びYで表される2価の連結基として、具体的には、下記の(Y−1)〜(Y−21)の連結基等が例として挙げられる。下記に示した構造において、A、Bはそれぞれ結合部位を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、(Y−2)又は(Y−13)であることがより好ましい。In formulas (1) to (4), Y 1 , Y 2 , Y 3 and Y 4 each independently represent a divalent linking group, and the linking group is not particularly structurally restricted. Specific examples of the divalent linking group represented by Y 1 , Y 2 , Y 3 , and Y 4 include the following linking groups (Y-1) to (Y-21). .. In the structures shown below, A and B mean binding sites, respectively. Of the structures shown below, (Y-2) or (Y-13) is more preferable because of the ease of synthesis.

式(1)〜式(4)において、Z、Z、Z、及びZは、それぞれ独立に1価の有機基を表す。有機基の構造は、特に限定されないが、具体的には、アルキル基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、及びアミノ基等が挙げられる。これらの中でも、Z、Z、Z、及びZで表される有機基としては、特に分散性向上の観点から、立体反発効果を含有するものが好ましく、各々独立に炭素数5から24のアルキル基又はアルコキシ基がより好ましく、その中でも、各々独立に炭素数5から24の分岐アルキル基、炭素数5から24の環状アルキル基、又は、炭素数5から24のアルコキシ基が更に好ましい。アルコキシ基中に含まれるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び、環状のいずれでもよい。In formulas (1) to (4), Z 1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 each independently represent a monovalent organic group. The structure of the organic group is not particularly limited, but specifically, an alkyl group, a hydroxy group, an alkoxy group, an aryloxy group, a heteroaryloxy group, an alkylthioether group, an arylthioether group, a heteroarylthioether group, and an amino group. And so on. Among these, as the organic group represented by Z 1 , Z 2 , Z 3 , and Z 4 , those containing a steric repulsion effect are preferable from the viewpoint of improving dispersibility, and each of them independently starts from 5 carbon atoms. Twenty-four alkyl groups or alkoxy groups are more preferable, and among them, branched alkyl groups having 5 to 24 carbon atoms, cyclic alkyl groups having 5 to 24 carbon atoms, or alkoxy groups having 5 to 24 carbon atoms are further preferable. .. The alkyl group contained in the alkoxy group may be linear, branched, or cyclic.

式(1)〜式(4)において、n、m、p、及びqは、それぞれ独立に、1から500の整数である。
式(1)及び式(2)において、j及びkは、それぞれ独立に、2〜8の整数を表す。式(1)及び式(2)におけるj及びkは、硬化性組成物の経時安定性及び現像性の観点から、4〜6の整数が好ましく、5が最も好ましい。
In equations (1) to (4), n, m, p, and q are each independently an integer from 1 to 500.
In equations (1) and (2), j and k each independently represent an integer of 2-8. J and k in the formulas (1) and (2) are preferably integers of 4 to 6 and most preferably 5 from the viewpoint of stability over time and developability of the curable composition.

式(3)中、Rは分岐又は直鎖のアルキレン基を表し、炭素数1〜10のアルキレン基が好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基がより好ましい。pが2〜500のとき、複数存在するRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
式(4)中、Rは水素原子又は1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。Rは、水素原子、アルキル基、アリール基、又は、ヘテロアリール基が好ましく、水素原子、又はアルキル基がより好ましい。Rがアルキル基である場合、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基、炭素数3〜20の分岐状アルキル基、又は炭素数5〜20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基が更に好ましい。式(4)において、qが2〜500のとき、グラフト共重合体中に複数存在するX及びRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
In the formula (3), R 3 represents a branched or linear alkylene group, preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms. when p is 2 to 500, R 3 existing in plural numbers may be different from one another the same.
In the formula (4), R 4 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and the monovalent organic group is not particularly structurally limited. R 4 is preferably a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, or a heteroaryl group, and more preferably a hydrogen atom or an alkyl group. When R 4 is an alkyl group, a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a branched alkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a cyclic alkyl group having 5 to 20 carbon atoms is preferable, and 1 to 20 carbon atoms are preferable. The linear alkyl group of 1 to 6 is more preferable, and the linear alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is further preferable. In the formula (4), when q is 2 to 500, a plurality of X 5 and R 4 present in the graft copolymer may be the same or different from each other.

高分子化合物は、2種以上の構造が異なる、グラフト鎖を含有する構造単位を含有することができる。即ち、高分子化合物の分子中に、互いに構造の異なる式(1)〜式(4)で示される構造単位を含んでいてもよく、式(1)〜式(4)においてn、m、p、及びqがそれぞれ2以上の整数を表す場合、式(1)及び式(2)においては、側鎖中にj及びkが互いに異なる構造を含んでいてもよく、式(3)及び式(4)においては、分子内に複数存在するR、R及びXは互いに同じであっても異なっていてもよい。The polymer compound can contain two or more structural units containing graft chains having different structures. That is, the molecule of the polymer compound may contain structural units represented by the formulas (1) to (4) having different structures from each other, and n, m, p in the formulas (1) to (4). When, and q each represent an integer of 2 or more, in the equations (1) and (2), j and k may contain structures different from each other in the side chain, and the equations (3) and (2) in 4), R 3 a plurality present in the molecule, R 4 and X 5 may be different from one another the same.

式(1)で表される構造単位としては、硬化性組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(1A)で表される構造単位であることがより好ましい。
式(2)で表される構造単位としては、硬化性組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(2A)で表される構造単位であることがより好ましい。
The structural unit represented by the formula (1) is more preferably the structural unit represented by the following formula (1A) from the viewpoint of stability over time and developability of the curable composition.
The structural unit represented by the formula (2) is more preferably the structural unit represented by the following formula (2A) from the viewpoint of stability over time and developability of the curable composition.

式(1A)中、X、Y、Z及びnは、式(1)におけるX、Y、Z及びnと同義であり、好ましい範囲も同様である。式(2A)中、X、Y、Z及びmは、式(2)におけるX、Y、Z及びmと同義であり、好ましい範囲も同様である。Wherein (1A), X 1, Y 1, Z 1 and n are as defined X 1, Y 1, Z 1 and n in Formula (1), and preferred ranges are also the same. Wherein (2A), X 2, Y 2, Z 2 and m are as defined X 2, Y 2, Z 2 and m in the formula (2), and preferred ranges are also the same.

式(3)で表される構造単位としては、硬化性組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(3A)又は式(3B)で表される構造単位であることがより好ましい。 The structural unit represented by the formula (3) is more preferably a structural unit represented by the following formula (3A) or formula (3B) from the viewpoint of stability over time and developability of the curable composition. ..

式(3A)又は(3B)中、X、Y、Z及びpは、式(3)におけるX、Y、Z及びpと同義であり、好ましい範囲も同様である。Wherein (3A) or (3B), X 3, Y 3, Z 3 and p are as defined X 3, Y 3, Z 3 and p in formula (3), and preferred ranges are also the same.

高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位として、式(1A)で表される構造単位を含有することがより好ましい。 The polymer compound more preferably contains the structural unit represented by the formula (1A) as the structural unit containing the graft chain.

高分子化合物において、グラフト鎖を含有する構造単位(例えば、上記式(1)〜式(4)で表される構造単位)は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し2〜90%の範囲で含まれることが好ましく、5〜30%の範囲で含まれることがより好ましい。グラフト鎖を含有する構造単位がこの範囲内で含まれると、黒色顔料の分散性が高く、硬化膜を形成する際の現像性が良好である。 In the polymer compound, the structural unit containing the graft chain (for example, the structural unit represented by the above formulas (1) to (4)) is 2 to 90% of the total mass of the polymer compound in terms of mass. It is preferable that it is contained in the range of 5 to 30%, and more preferably it is contained in the range of 5 to 30%. When a structural unit containing a graft chain is included in this range, the dispersibility of the black pigment is high and the developability when forming a cured film is good.

・疎水性構造単位
高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位とは異なる(すなわち、グラフト鎖を含有する構造単位には相当しない)疎水性構造単位を含有することが好ましい。ただし、本明細書において、疎水性構造単位は、酸基(例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、フェノール性ヒドロキシ基等)を有さない構造単位である。
-Hydrophobic structural unit The polymer compound preferably contains a hydrophobic structural unit that is different from the structural unit containing the graft chain (that is, does not correspond to the structural unit containing the graft chain). However, in the present specification, the hydrophobic structural unit is a structural unit having no acid group (for example, a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxy group, etc.).

疎水性構造単位は、好ましくは、ClogP値が1.2以上の化合物(モノマー)に由来する(対応する)構造単位であり、より好ましくは、ClogP値が1.2〜8の化合物に由来する構造単位である。これにより、本発明の効果をより確実に発現することができる。 The hydrophobic structural unit is preferably a (corresponding) structural unit derived from a compound (monomer) having a ClogP value of 1.2 or more, and more preferably derived from a compound having a ClogP value of 1.2 to 8. It is a structural unit. Thereby, the effect of the present invention can be more reliably exhibited.

ClogP値は、Daylight Chemical Information System, Inc.から入手できるプログラム“CLOGP”で計算される値である。このプログラムは、Hansch, Leoのフラグメントアプローチ(下記文献参照)により算出される“計算logP”の値を提供する。フラグメントアプローチは化合物の化学構造に基づいており、化学構造を部分構造(フラグメント)に分割し、そのフラグメントに対して割り当てられたlogP寄与分を合計することにより化合物のlogP値を推算している。その詳細は以下の文献に記載されている。本明細書では、ClogP値は、プログラムCLOGP v4.82により計算した値を意図する。
A. J. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol.4, C. Hansch, P. G. Sammnens, J. B. Taylor and C. A. Ramsden, Eds., p.295, Pergamon Press, 1990 C. Hansch & A. J. Leo. SUbstituent Constants For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A.J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev., 93, 1281−1306, 1993.
The ClogP value is determined by Daylight Chemical Information System, Inc. It is a value calculated by the program "CLOGP" that can be obtained from. This program provides the value of "calculated logP" calculated by Hansch, Leo's fragment approach (see literature below). The fragment approach is based on the chemical structure of a compound, and the logP value of the compound is estimated by dividing the chemical structure into substructures (fragments) and summing the logP contributions assigned to the fragments. The details are described in the following documents. As used herein, the ClogP value is intended to be a value calculated by the program CLOGP v4.82.
A. J. Leo, Comprehensive Medical Chemistry, Vol. 4, C.I. Hansch, P.M. G. Sammenens, J. Mol. B. Taylor and C.I. A. Ramsden, Eds. , P. 295, Pergamon Press, 1990 C.I. Hansch & A. J. Leo. Substituent Constituents For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A. J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev. , 93, 1281-1306, 1993.

logPは、分配係数P(Partition Coefficient)の常用対数を意味し、ある有機化合物が油(一般的には1−オクタノール)と水の2相系の平衡でどのように分配されるかを定量的な数値として表す物性値であり、以下の式で示される。
logP=log(Coil/Cwater)
式中、Coilは油相中の化合物のモル濃度を、Cwaterは水相中の化合物のモル濃度を表す。
logPの値が0をはさんでプラスに大きくなると油溶性が増し、マイナスで絶対値が大きくなると水溶性が増すことを意味し、有機化合物の水溶性と負の相関があり、有機化合物の親疎水性を見積るパラメータとして広く利用されている。
logP means the common logarithm of the partition coefficient P (Partition Cofficient), and quantitatively describes how an organic compound is distributed in the equilibrium of a two-phase system of oil (generally 1-octanol) and water. It is a physical property value expressed as a numerical value, and is expressed by the following formula.
logP = log (Coil / Water)
In the formula, Coil represents the molar concentration of the compound in the oil phase, and Water represents the molar concentration of the compound in the aqueous phase.
When the logP value increases positively across 0, it means that oil solubility increases, and when it becomes negative and the absolute value increases, it means that water solubility increases, and there is a negative correlation with the water solubility of organic compounds, and the intimacy of organic compounds. It is widely used as a parameter for estimating water content.

高分子化合物は、疎水性構造単位として、下記式(i)〜(iii)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を含有することが好ましい。 The polymer compound preferably contains, as the hydrophobic structural unit, one or more structural units selected from the structural units derived from the monomers represented by the following formulas (i) to (iii).

式(i)〜(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
、R、及びRは、好ましくは水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基であり、より好ましくは水素原子又はメチル基である。R及びRは、水素原子であることが更に好ましい。
Xは、酸素原子(−O−)又はイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
In formulas (i) to (iii), R 1 , R 2 , and R 3 independently have a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), or a carbon number of 1 to 1. Represents an alkyl group of 6 (eg, methyl group, ethyl group, propyl group, etc.).
R 1 , R 2 , and R 3 are preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom or a methyl group. It is more preferable that R 2 and R 3 are hydrogen atoms.
X represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), and is preferably an oxygen atom.

Lは、単結合又は2価の連結基である。2価の連結基としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ基(−NR31−、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル基(−CO−)、及び、これらの組合せ等が挙げられる。L is a single bond or divalent linking group. The divalent linking group includes a divalent aliphatic group (for example, an alkylene group, a substituted alkylene group, an alkenylene group, a substituted alkenylene group, an alkynylene group, a substituted alkynylene group) and a divalent aromatic group (for example, an arylene group). , substituted arylene group), a divalent heterocyclic group an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), a substituted imino group (-NR 31 -, wherein R 31 Is an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), a carbonyl group (-CO-), and a combination thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基であっても飽和脂肪族基であってもよいが、飽和脂肪族基であることが好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基等が挙げられる。 The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. The aliphatic group may be an unsaturated aliphatic group or a saturated aliphatic group, but a saturated aliphatic group is preferable. The aliphatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aromatic group, a heterocyclic group and the like.

2価の芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基等が挙げられる。 The number of carbon atoms of the divalent aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10. The aromatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aliphatic group, an aromatic group, a heterocyclic group and the like.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基、又は、複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably contains a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. Another heterocycle, an aliphatic ring or an aromatic ring may be condensed with the heterocycle. The heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxy group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 32 , where R 32 is fat. Group group, aromatic group or heterocyclic group), aliphatic group, aromatic group or heterocyclic group.

Lは、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含有するポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L is preferably a divalent linking group containing a single bond, an alkylene group or an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. L may contain a polyoxyalkylene structure containing two or more oxyalkylene structures repeatedly. As the polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by − (OCH 2 CH 2 ) n−, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

Zは、脂肪族基(例えば、アルキル基、置換アルキル基、不飽和アルキル基、置換不飽和アルキル基、)、芳香族基(例えば、アリール基、置換アリール基、アリーレン基、置換アリーレン基)、複素環基、又は、これらの組み合わせが挙げられる。これらの基には、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ基(−NR31−、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、又は、カルボニル基(−CO−)が含まれていてもよい。Z is an aliphatic group (for example, an alkyl group, a substituted alkyl group, an unsaturated alkyl group, a substituted unsaturated alkyl group), an aromatic group (for example, an aryl group, a substituted aryl group, an arylene group, a substituted arylene group), Examples thereof include heterocyclic groups or combinations thereof. These groups an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), a substituted imino group (-NR 31 -, wherein R 31 is an aliphatic group, an aromatic A group or a heterocyclic group) or a carbonyl group (−CO−) may be contained.

脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基には、更に環集合炭化水素基、架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、ビシクロヘキシル基、パーヒドロナフタレニル基、ビフェニル基、及び、4−シクロヘキシルフェニル基等が含まれる。架橋環式炭化水素環として、例えば、ピナン、ボルナン、ノルピナン、ノルボルナン、ビシクロオクタン環(ビシクロ[2.2.2]オクタン環、及び、ビシクロ[3.2.1]オクタン環等)等の2環式炭化水素環、ホモブレダン、アダマンタン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、及び、トリシクロ[4.3.1.12,5]ウンデカン環等の3環式炭化水素環、並びに、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカン、及び、パーヒドロ−1,4−メタノ−5,8−メタノナフタレン環等の4環式炭化水素環等が挙げられる。架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環、例えば、パーヒドロナフタレン(デカリン)、パーヒドロアントラセン、パーヒドロフェナントレン、パーヒドロアセナフテン、パーヒドロフルオレン、パーヒドロインデン、及び、パーヒドロフェナレン環等の5〜8員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。
脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、脂肪族基は、置換基として酸基を有さない。
The aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. The aliphatic group further includes a ring-assembled hydrocarbon group and a cross-linked ring-type hydrocarbon group. Examples of the ring-assembled hydrocarbon group include a bicyclohexyl group, a perhydronaphthalenyl group, a biphenyl group, and 4 -Includes cyclohexylphenyl groups and the like. Examples of the crosslinked cyclic hydrocarbon ring include 2 such as pinan, bornan, norpinane, norbornane, and bicyclooctane ring (bicyclo [2.2.2] octane ring, bicyclo [3.2.1] octane ring, etc.) Tricyclic hydrocarbon rings such as cyclic hydrocarbon rings, homobredane, adamantane, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane, and tricyclo [4.3.1.1 2,5 ] undecane rings. , And tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 17 and 10 ] Dodecane and tetracyclic hydrocarbon rings such as perhydro-1,4-methano-5,8-methanonaphthalene rings can be mentioned. Cross-linked cyclic hydrocarbon rings include fused cyclic hydrocarbon rings such as perhydronaphthalene (decalin), perhydroanthracene, perhydrophenanthrene, perhydroacenaphthene, perhydrofluorene, perhydroindene, and perhydro. A fused ring in which a plurality of 5- to 8-membered cycloalkane rings such as a phenanthrene ring are condensed is also included.
As the aliphatic group, a saturated aliphatic group is preferable to an unsaturated aliphatic group. The aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the aliphatic group does not have an acid group as a substituent.

芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、芳香族基は、置換基として酸基を有さない。 The number of carbon atoms of the aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10. The aromatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the aromatic group does not have an acid group as a substituent.

複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、複素環基は、置換基として酸基を有さない。The heterocyclic group preferably contains a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. Another heterocycle, an aliphatic ring or an aromatic ring may be condensed with the heterocycle. The heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxy group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 32 , where R 32 is fat. Group groups, aromatic groups or heterocyclic groups), aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the heterocyclic group does not have an acid group as a substituent.

式(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、Z、又はL−Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるものと同義である。R、R、及びRとしては、水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In formula (iii), R 4 , R 5 , and R 6 are independently hydrogen atoms, halogen atoms (for example, fluorine atoms, chlorine atoms, bromine atoms, etc.), and alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms (for example, fluorine atoms, chlorine atoms, bromine atoms, etc.). For example, it represents a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.), Z, or LZ. Here, L and Z are synonymous with those in the above. As R 4 , R 5 , and R 6 , a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferable, and a hydrogen atom is more preferable.

式(i)で表される単量体として、R、R、及びRが水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基もしくはオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。
式(ii)で表される単量体として、Rが水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。
式(iii)で表される単量体として、R、R、及びRが水素原子又はメチル基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。
As the monomer represented by the formula (i), R 1 , R 2 and R 3 are hydrogen atoms or methyl groups, and L is a divalent linkage containing a single bond or an alkylene group or an oxyalkylene structure. A compound in which X is an oxygen atom or an imino group and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group is preferable.
As the monomer represented by the formula (ii), a compound in which R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, L is an alkylene group, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group is used. preferable.
As the monomer represented by the formula (iii), a compound in which R 4 , R 5 , and R 6 are hydrogen atoms or methyl groups and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group, or an aromatic group is preferable. ..

式(i)〜(iii)で表される代表的な化合物の例としては、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、及び、スチレン類等から選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。
式(i)〜(iii)で表される代表的な化合物の例としては、特開2013−249417号公報の段落0089〜0093に記載の化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
Examples of typical compounds represented by the formulas (i) to (iii) include radically polymerizable compounds selected from acrylic acid esters, methacrylic acid esters, styrenes and the like.
As examples of the representative compounds represented by the formulas (i) to (iii), the compounds described in paragraphs 089 to 093 of JP2013-249417A can be referred to, and their contents are incorporated in the present specification. Is done.

高分子化合物において、疎水性構造単位は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し10〜90%の範囲で含まれることが好ましく、20〜80%の範囲で含まれることがより好ましい。含有量が上記範囲であることにより良好なパターン形成が得られる。 In the polymer compound, the hydrophobic structural unit is preferably contained in the range of 10 to 90%, more preferably 20 to 80%, based on the total mass of the polymer compound in terms of mass. When the content is in the above range, good pattern formation can be obtained.

・黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基
高分子化合物は、黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を導入することができる。ここで、高分子化合物は、黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位を更に含有することが好ましい。
この黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基としては、例えば、酸基、塩基性基、配位性基、及び、反応性を有する官能基等が挙げられる。
高分子化合物が、酸基、塩基性基、配位性基、又は、反応性を有する官能基を含有する場合、それぞれ、酸基を含有する構造単位、塩基性基を含有する構造単位、配位性基を含有する構造単位、又は、反応性を有する構造単位を含有することが好ましい。
特に、高分子化合物が、更に、酸基として、カルボン酸基等のアルカリ可溶性基を含有することで、高分子化合物に、アルカリ現像によるパターン形成のための現像性を付与することができる。
すなわち、高分子化合物にアルカリ可溶性基を導入することで、硬化性組成物は、黒色顔料等の着色剤の分散に寄与する分散剤としての高分子化合物がアルカリ可溶性を含有することになる。このような高分子化合物を含有する硬化性組成物は、露光部の遮光性に優れたものとなり、且つ、未露光部のアルカリ現像性が向上される。
高分子化合物が酸基を含有する構造単位を含有することにより、高分子化合物が溶剤となじみやすくなり、塗布性も向上する傾向となる。
これは、酸基を含有する構造単位における酸基が黒色顔料等の着色剤と相互作用しやすく、高分子化合物が黒色顔料等の着色剤を安定的に分散すると共に、黒色顔料等の着色剤を分散する高分子化合物の粘度が低くなり、高分子化合物自体も安定的に分散されやすいためであると推測される。
-Functional groups capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment A polymer compound can introduce a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment. Here, it is preferable that the polymer compound further contains a structural unit containing a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment.
Examples of the functional group capable of forming an interaction with the colorant such as the black pigment include an acid group, a basic group, a coordinating group, and a reactive functional group.
When the polymer compound contains an acid group, a basic group, a coordinating group, or a functional group having reactivity, a structural unit containing an acid group, a structural unit containing a basic group, and a arrangement, respectively. It is preferable to contain a structural unit containing a positional group or a reactive structural unit.
In particular, when the polymer compound further contains an alkali-soluble group such as a carboxylic acid group as an acid group, the polymer compound can be imparted with developability for pattern formation by alkali development.
That is, by introducing an alkali-soluble group into the polymer compound, the curable composition contains the polymer compound as a dispersant that contributes to the dispersion of a colorant such as a black pigment. The curable composition containing such a polymer compound has excellent light-shielding properties in the exposed portion, and the alkali developability of the unexposed portion is improved.
When the polymer compound contains a structural unit containing an acid group, the polymer compound tends to be easily compatible with the solvent and the coatability tends to be improved.
This is because the acid group in the structural unit containing the acid group easily interacts with the colorant such as black pigment, the polymer compound stably disperses the colorant such as black pigment, and the colorant such as black pigment. It is presumed that this is because the viscosity of the polymer compound that disperses the polymer compound becomes low, and the polymer compound itself is likely to be stably dispersed.

酸基としてのアルカリ可溶性基を含有する構造単位は、上記のグラフト鎖を含有する構造単位と同一の構造単位であっても、異なる構造単位であってもよいが、上記の疎水性構造単位とは異なる構造単位である(すなわち、上記の疎水性構造単位には相当しない)。 The structural unit containing an alkali-soluble group as an acid group may be the same structural unit as the structural unit containing the graft chain or a different structural unit, but may be the same as the hydrophobic structural unit described above. Is a different structural unit (ie, does not correspond to the above hydrophobic structural unit).

黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基である酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、又は、フェノール性ヒドロキシ基等があり、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種が好ましく、黒色顔料等の着色剤への吸着力が良好で、且つ、着色剤の分散性が高い点で、カルボン酸基がより好ましい。
すなわち、高分子化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種を含有する構造単位を更に含有することが好ましい。
Examples of the acid group which is a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment include a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxy group and the like, and the carboxylic acid group, At least one of a sulfonic acid group and a phosphoric acid group is preferable, and a carboxylic acid group is more preferable in that it has good adsorption power to a colorant such as a black pigment and has high dispersibility of the colorant.
That is, the polymer compound preferably further contains a structural unit containing at least one of a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group.

高分子化合物は、酸基を含有する構造単位を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、酸基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、酸基を含有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは5〜80%であり、より好ましくは、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、10〜60%である。
The polymer compound may have one or more structural units containing an acid group.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing an acid group, but when it is contained, the content of the structural unit containing an acid group is the total mass of the polymer compound in terms of mass. On the other hand, it is preferably 5 to 80%, and more preferably 10 to 60% from the viewpoint of suppressing damage to the image intensity due to alkaline development.

黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基である塩基性基としては、例えば、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、N原子を含有するヘテロ環、及び、アミド基等があり、好ましいものは、黒色顔料等の着色剤への吸着力が良好で、且つ、着色剤の分散性が高い点で、第3級アミノ基である。高分子化合物は、これらの塩基性基を1種又は2種以上、含有することができる。
高分子化合物は、塩基性基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、塩基性基を含有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、0.01%以上50%以下が好ましく、現像性阻害抑制という観点から、0.01%以上30%以下がより好ましい。
Examples of the basic group, which is a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment, include a heterocycle containing a primary amino group, a secondary amino group, a tertiary amino group, and an N atom. , And an amide group, and the preferred one is a tertiary amino group in that it has a good adsorption power to a colorant such as a black pigment and has a high dispersibility of the colorant. The polymer compound can contain one or more of these basic groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing a basic group, but when it is contained, the content of the structural unit containing a basic group is the total amount of the polymer compound in terms of mass. It is preferably 0.01% or more and 50% or less with respect to the mass, and more preferably 0.01% or more and 30% or less from the viewpoint of suppressing developmental inhibition.

黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基である配位性基、及び反応性を有する官能基としては、例えば、アセチルアセトキシ基、トリアルコキシシリル基、イソシアネート基、酸無水物、及び、酸塩化物等が挙げられる。好ましいものは、黒色顔料等の着色剤への吸着力が良好で、着色剤の分散性が高い点で、アセチルアセトキシ基である。高分子化合物は、これらの基を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、配位性基を含有する構造単位、又は、反応性を有する官能基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、これらの構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、10%以上80%以下が好ましく、現像性阻害抑制という観点から、20%以上60%以下がより好ましい。
Examples of the coordinating group which is a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment and the functional group having reactivity include an acetylacetoxy group, a trialkoxysilyl group, an isocyanate group, and an acid anhydride. And acidified products and the like. Acetylacetoxy groups are preferred because they have good adsorptivity to colorants such as black pigments and have high dispersibility of colorants. The polymer compound may have one or more of these groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing a coordinating group or a structural unit containing a reactive functional group, but if it is contained, the content of these structural units. Is preferably 10% or more and 80% or less, more preferably 20% or more and 60% or less, based on the total mass of the polymer compound, from the viewpoint of suppressing developmental inhibition.

高分子化合物が、グラフト鎖以外に、黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有する場合、上記の各種の黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有していればよく、これらの官能基がどのように導入されているかは特に限定はされないが、高分子化合物は、下記一般式(iv)〜(vi)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を含有することが好ましい。 When the polymer compound contains, in addition to the graft chain, a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment, a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as various black pigments described above may be used. It suffices if it is contained, and how these functional groups are introduced is not particularly limited, but the polymer compound is derived from the monomers represented by the following general formulas (iv) to (vi). It is preferable to contain one or more structural units selected from the structural units of.

式(iv)〜式(vi)中、R11、R12、及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
式(iv)〜式(vi)中、R11、R12、及びR13は、好ましくは、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基であり、より好ましくは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基である。一般式(iv)中、R12及びR13は、それぞれ水素原子であることが特に好ましい。
In formulas (iv) to (vi), R 11 , R 12 , and R 13 each independently have a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), or a carbon number of 1. Represents an alkyl group of ~ 6 (eg, methyl group, ethyl group, propyl group, etc.).
In formulas (iv) to (vi), R 11 , R 12 , and R 13 are preferably independent hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably independent of each other. Is a hydrogen atom or a methyl group. In the general formula (iv), it is particularly preferable that R 12 and R 13 are hydrogen atoms, respectively.

式(iv)中のXは、酸素原子(−O−)又はイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
式(v)中のYは、メチン基又は窒素原子を表す。
X 1 in the formula (iv) represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), and is preferably an oxygen atom.
Y in the formula (v) represents a methine group or a nitrogen atom.

式(iv)〜式(v)中のLは、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基の例としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、及び置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、及び置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ結合(−NR31’−、ここでR31’は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル結合(−CO−)、及び、これらの組合せ等が挙げられる。L 1 in formulas (iv) to (v) represents a single bond or a divalent linking group. Examples of divalent linking groups include divalent aliphatic groups (eg, alkylene group, substituted alkylene group, alkenylene group, substituted alkenylene group, alkynylene group, and substituted alkynylene group), and divalent aromatic group (eg, substituted alkynylene group). , an arylene group, and a substituted arylene group), a divalent heterocyclic group an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), substituted imino bond (-NR 31 '- , wherein R 31 'is an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), carbonyl bond (-CO-), and, combinations thereof and the like.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。 The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. As the aliphatic group, a saturated aliphatic group is preferable to an unsaturated aliphatic group. The aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。 The number of carbon atoms of the divalent aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10. The aromatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環のうち1つ以上が縮合していてもよい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably contains a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. One or more of other heterocycles, aliphatic rings or aromatic rings may be condensed on the heterocycle. The heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxy group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 32 , where R 32 is fat. Group groups, aromatic groups or heterocyclic groups), aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

は、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含有するポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L 1 is preferably a divalent linking group containing a single bond, an alkylene group or an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. L 1 may include a polyoxyalkylene structure containing two or more oxyalkylene structures repeatedly. As the polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by − (OCH 2 CH 2 ) n−, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

式(iv)〜式(vi)中、Zは、グラフト鎖以外に黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を表し、カルボン酸基、及び、第三級アミノ基であることが好ましく、カルボン酸基であることがより好ましい。In formulas (iv) to (vi), Z 1 represents a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment other than the graft chain, and is a carboxylic acid group and a tertiary amino group. It is preferable, and it is more preferable that it is a carboxylic acid group.

式(vi)中、R14、R15、及びR16は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、−Z、又はL−Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるL及びZと同義であり、好ましい例も同様である。R14、R15、及びR16としては、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In formula (vi), R 14 , R 15 , and R 16 are independently hydrogen atoms, halogen atoms (for example, fluorine atoms, chlorine atoms, bromine atoms, etc.), and alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms (for example, fluorine atoms, chlorine atoms, bromine atoms, etc.). for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.), - Z 1, or an L 1 -Z 1. Wherein L 1 and Z 1 are the same meaning as L 1 and Z 1 in the above, it is the preferable examples. As R 14 , R 15 , and R 16 , hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms are preferable, and hydrogen atoms are more preferable.

式(iv)で表される単量体として、R11、R12、及びR13がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
式(v)で表される単量体として、R11が水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボン酸基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。
更に、式(vi)で表される単量体として、R14、R15、及びR16がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
As the monomers represented by the formula (iv), R 11 , R 12 , and R 13 are independently hydrogen atoms or methyl groups, and L 1 is a divalent group containing an alkylene group or an oxyalkylene structure. A compound which is a linking group, in which X 1 is an oxygen atom or an imino group and Z 1 is a carboxylic acid group is preferable.
As the monomer represented by the formula (v), R 11 is a hydrogen atom or a methyl group, L 1 is an alkylene group, Z 1 is a carboxylic acid group, and Y is a methine group. Compounds are preferred.
Further, as the monomers represented by the formula (vi), R 14 , R 15 and R 16 are independently hydrogen atoms or methyl groups, L 1 is a single bond or an alkylene group, and Z. A compound in which 1 is a carboxylic acid group is preferable.

以下に、式(iv)〜式(vi)で表される単量体(化合物)の代表的な例を示す。
単量体の例としては、メタクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物(例えば、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル)とコハク酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物とフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物とテトラヒドロキシフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物と無水トリメリット酸との反応物、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物とピロメリット酸無水物との反応物、アクリル酸、アクリル酸ダイマー、アクリル酸オリゴマー、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、4−ビニル安息香酸、ビニルフェノール、及び、4−ヒドロキシフェニルメタクリルアミド等が挙げられる。
Representative examples of the monomers (compounds) represented by the formulas (iv) to (vi) are shown below.
Examples of monomers include methacrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, compounds containing addition-polymerizable double bonds and hydroxy groups in the molecule (eg, 2-hydroxyethyl methacrylate) and succinic anhydride. Reactant, reaction product of phthalic acid anhydride with compound containing addition-polymerizable double bond and hydroxy group in the molecule, compound containing addition-polymerizable double bond and hydroxy group in the molecule and tetrahydroxyphthalic acid Reactants with anhydrides, reactants with additive-polymerizable double bonds and hydroxy groups in the molecule and trimellitic anhydride, compounds with additive-polymerizable double bonds and hydroxy groups in the molecule Reactants with pyromellitic anhydride, acrylic acid, acrylic acid dimer, acrylic acid oligomer, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid, 4-vinylbenzoic acid, vinylphenol, 4-hydroxyphenylmethacrylate, etc. Be done.

黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位の含有量は、黒色顔料等の着色剤との相互作用、経時安定性、及び現像液への浸透性の観点から、高分子化合物の全質量に対して、0.05質量%〜90質量%が好ましく、1.0質量%〜80質量%がより好ましく、10質量%〜70質量%が更に好ましい。 The content of the structural unit containing a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment is determined from the viewpoint of interaction with a colorant such as a black pigment, stability over time, and permeability to a developing solution. , 0.05% by mass to 90% by mass, more preferably 1.0% by mass to 80% by mass, still more preferably 10% by mass to 70% by mass, based on the total mass of the polymer compound.

・その他の構造単位
更に、高分子化合物は、画像強度等の諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、グラフト鎖を含有する構造単位、疎水性構造単位、及び、黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位とは異なる、種々の機能を有する他の構造単位(例えば、分散物に用いられる分散媒との親和性を有する官能基等を含有する構造単位)を更に有していてもよい。
このような、他の構造単位としては、例えば、アクリロニトリル類、及び、メタクリロニトリル類等から選ばれるラジカル重合性化合物に由来の構造単位が挙げられる。
高分子化合物は、これらの他の構造単位を1種又は2種以上用いることができ、その含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、0%以上80%以下が好ましく、10%以上60%以下がより好ましい。含有量が上記範囲において、十分なパターン形成性が維持される。
-Other structural units Further, the polymer compound is a structural unit containing a graft chain, a hydrophobic structural unit, and a black color for the purpose of improving various performances such as image intensity, as long as the effects of the present invention are not impaired. A functional group having an affinity with another structural unit having various functions (for example, a dispersion medium used for a dispersion), which is different from a structural unit containing a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a pigment. It may further have a structural unit) containing the above.
Examples of such other structural units include structural units derived from radically polymerizable compounds selected from acrylonitriles, methacrylonitriles, and the like.
As the polymer compound, one or more of these other structural units can be used, and the content thereof is preferably 0% or more and 80% or less with respect to the total mass of the polymer compound in terms of mass. More preferably, it is 10% or more and 60% or less. Sufficient pattern formation is maintained when the content is in the above range.

・高分子化合物の物性
高分子化合物の酸価は、0mgKOH/g以上250mgKOH/g以下の範囲が好ましく、10mgKOH/g以上200mgKOH/g以下の範囲がより好ましく、20mgKOH/g以上120mgKOH/g以下の範囲が更に好ましい。
高分子化合物の酸価が160mgKOH/g以下であれば、硬化膜を形成する際の現像時におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。高分子化合物の酸価が10mgKOH/g以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、高分子化合物の酸価が20mgKOH/g以上であれば、黒色顔料等の着色剤の沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくすることができ、硬化性組成物の経時安定性をより向上できる。
-Physical characteristics of the polymer compound The acid value of the polymer compound is preferably in the range of 0 mgKOH / g or more and 250 mgKOH / g or less, more preferably in the range of 10 mgKOH / g or more and 200 mgKOH / g or less, and 20 mgKOH / g or more and 120 mgKOH / g or less. The range is more preferred.
When the acid value of the polymer compound is 160 mgKOH / g or less, pattern peeling during development when forming a cured film can be suppressed more effectively. When the acid value of the polymer compound is 10 mgKOH / g or more, the alkali developability becomes better. Further, when the acid value of the polymer compound is 20 mgKOH / g or more, precipitation of a colorant such as a black pigment can be further suppressed, the number of coarse particles can be further reduced, and the stability of the curable composition over time can be improved. Can be improved further.

高分子化合物の酸価は、例えば、高分子化合物中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、高分子化合物の構成成分である酸基を含有する構造単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。 The acid value of the polymer compound can be calculated, for example, from the average content of acid groups in the polymer compound. Further, a resin having a desired acid value can be obtained by changing the content of the structural unit containing an acid group which is a constituent component of the polymer compound.

高分子化合物の重量平均分子量は、硬化膜を形成する際において、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、GPC(Gel Permeation Chromatography:ゲル浸透クロマトグラフィー)法によるポリスチレン換算値として、4,000以上300,000以下であることが好ましく、5,000以上200,000以下であることがより好ましく、6,000以上100,000以下であることが更に好ましく、10,000以上50,000以下であることが特に好ましい。
GPC法は、HLC−8020GPC(東ソー製)を用い、カラムとしてTSKgel SuperHZM−H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ2000(東ソー製、4.6mmID×15cm)を、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる方法に基づく。
The weight average molecular weight of the polymer compound is 4, as a polystyrene conversion value by the GPC (Gel Permeation Chromatography) method, from the viewpoint of suppressing pattern peeling during development and developability when forming a cured film. It is preferably 000 or more and 300,000 or less, more preferably 5,000 or more and 200,000 or less, further preferably 6,000 or more and 100,000 or less, and 10,000 or more and 50,000 or less. Is particularly preferable.
The GPC method is based on a method using HLC-8020GPC (manufactured by Tosoh), TSKgel SuperHZM-H, TSKgel SuperHZ4000, TSKgel SuperHZ2000 (manufactured by Tosoh, 4.6 mm ID × 15 cm) as columns, and THF (tetrahydrofuran) as an eluent. ..

高分子化合物は、公知の方法に基づいて合成でき、高分子化合物を合成する際に用いられる溶剤としては、例えば、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、及び、乳酸エチル等が挙げられる。これらの溶剤は単独で用いても2種以上混合して用いてもよい。 The polymer compound can be synthesized based on a known method, and examples of the solvent used in synthesizing the polymer compound include ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, propanol, butanol, and ethylene glycol monomethyl. Ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, 1-methoxy-2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, toluene, Examples thereof include ethyl acetate, methyl lactate, and ethyl lactate. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

高分子化合物の具体例としては、楠木化成社製「DA−7301」、BYKChemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含有する共重合物)、111(リン酸系分散剤)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170、190(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)」、EFKA社製「EFKA4047、4050〜4010〜4165(ポリウレタン系)、EFKA4330〜4340(ブロック共重合体)、4400〜4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーPB821、PB822、PB880、PB881」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、日本ルーブリゾール製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、12000、17000、20000、27000(末端部に機能部を含有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト共重合体)」、日光ケミカルズ社製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレアート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」、川研ファインケミカル製 ヒノアクトT−8000E等、信越化学工業製、オルガノシロキサンポリマーKP341、裕商「W001:カチオン系界面活性剤」、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、「W004、W005、W017」等のアニオン系界面活性剤、森下産業製「EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450」、サンノプコ製「ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100」等の高分子分散剤、ADEKA製「アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123」、及び三洋化成製「イオネット(商品名)S−20」等が挙げられる。また、アクリベースFFS−6752、アクリベースFFS−187、アクリキュア−RD−F8、及び、サイクロマーPを用いることもできる。
両性樹脂の市販品としては、例えば、ビックケミー社製のDISPERBYK−130、DISPERBYK−140、DISPERBYK−142、DISPERBYK−145、DISPERBYK−180、DISPERBYK−187、DISPERBYK−191、DISPERBYK−2001、DISPERBYK−2010、DISPERBYK−2012、DISPERBYK−2025、BYK−9076、味の素ファインテクノ社製のアジスパーPB821、アジスパーPB822、及び、アジスパーPB881等が挙げられる。
これらの高分子化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
Specific examples of the polymer compound include "DA-7301" manufactured by Kusunoki Kasei Co., Ltd., "Disperbyk-101 (polyamidoamine phosphate)" manufactured by BYK Chemie Co., Ltd., 107 (carboxylic acid ester), 110 (polymer containing an acid group). ), 111 (phosphate dispersant), 130 (polyamide), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170, 190 (polymer copolymer) "," BYK-P104, P105 (high molecular weight non-polymer) "Saturated polycarboxylic acid", EFKA 4047, 4050-4010-4165 (polyurethane type), EFKA4330-4340 (block copolymer), 4400-4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyesteramide), 5765 ( High molecular weight polycarboxylate), 6220 (fatty acid polyester), 6745 (phthalocyanine derivative), 6750 (azo pigment derivative) ”, Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.“ Azispar PB821, PB822, PB880, PB881 ” TG-710 (urethane oligomer) ”,“ Polyflow No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer) ”, Kusumoto Kasei Co., Ltd.“ Disparon KS-860, 873SN, 874, # 2150 (aliphatic polyvalent carboxylic acid) ), # 7004 (polyether ester), DA-703-50, DA-705, DA-725 ", Kao" Demor RN, N (naphthalene sulfonate polymer polycondensate), MS, C, SN-B (Aromatic formalin sulfonate polycondensate) ”,“ Homogenol L-18 (high polymer polycarboxylic acid) ”,“ Emargen 920, 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether) ”,“ Acetamine 86 (stearyl) Aminacetate) ”, Nippon Lubrizol“ Solsparse 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyesteramine), 3000, 12000, 17000, 20000, 27000 (polymer containing functional part at the end) ), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft copolymer) ", Nikko Chemicals" Nikkor T106 (polyoxyethylene sorbitan monooleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate) ", Kawaken Fine Chemicals Hinoact T-8000E, etc., Shinetsu Chemical Industry, Organosiloxane Polymer KP341, Yusho "W001: Cationic Surfactant", Polyoxyethylene Lauryl Ether, Polyoxyethylene Stearyl Ether, Polyoxyethylene Oleyl Ether, Polyoxyethylene Octylphenyl Ether, Polyoxyethylene Nonylphenyl Ether, Polyethylene Glycol Dilaurate, Polyethylene Glycol Distea Nonionic surfactants such as rate and sorbitan fatty acid ester, anionic surfactants such as "W004, W005, W017", Morishita Sangyo "EFKA-46, EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA polymer 100, EFKA polymer" 400, EFKA Polymer 401, EFKA Polymer 450 ", Sannopco's" Disperse Aid 6, Disperse Aid 8, Disperse Aid 15, Disperse Aid 9100 ", and other polymer dispersants, ADEKA's" Adecapluronic L31, F38, L42, L44, L61, L64, F68, L72, P95, F77, P84, F87, P94, L101, P103, F108, L121, P-123 ", Sanyo Kasei" Ionet (trade name) S-20 ", etc. Can be mentioned. Further, Acrybase FFS-6752, Acrybase FFS-187, Acrycure-RD-F8, and Cyclomer P can also be used.
Examples of commercially available amphoteric resins include DISPERBYK-130, DISPERBYK-140, DISPERBYK-142, DISPERBYK-145, DISPERBYK-180, DISPERBYK-187, DISPERBYK-191, DISPERBYK-2001, DISPERBYK-2001, DISPERBY, manufactured by Big Chemie. Examples thereof include DISPERBYK-2012, DISPERBYK-2025, BYK-9076, Ajinomoto Fine-Techno's Ajispar PB821, Ajispar PB822, and Ajispar PB881.
These polymer compounds may be used alone or in combination of two or more.

高分子化合物の具体例としては、特開2013−249417号公報の段落0127〜0129に記載の高分子化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。 As specific examples of the polymer compound, the polymer compounds described in paragraphs 0127 to 0129 of JP2013-249417A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

分散剤としては、上記の高分子化合物以外に、特開2010−106268号公報の段落0037〜0115(対応するUS2011/0124824の段落0075〜0133欄)のグラフト共重合体が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
上記以外にも、特開2011−153283号公報の段落0028〜0084(対応するUS2011/0279759の段落0075〜0133欄)の酸性基が連結基を介して結合してなる側鎖構造を含有する構成成分を含有する高分子化合物が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
As the dispersant, in addition to the above-mentioned polymer compounds, graft copolymers of paragraphs 0037 to 0115 (corresponding paragraphs 0075 to 0133 of US2011 / 0124824) of JP2010-106268A can be used, and the contents thereof. Can be incorporated and incorporated herein by reference.
In addition to the above, a structure containing a side chain structure in which acidic groups of paragraphs 0028 to 0084 of JP2011-153283 (corresponding paragraphs 0075 to 0133 of US2011 / 0279759) are bonded via a linking group. High molecular weight compounds containing the components can be used, the contents of which can be incorporated and incorporated herein by reference.

<バインダー樹脂>
硬化性組成物は、バインダー樹脂を含有することが好ましい。
バインダー樹脂の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.1〜30質量%が好ましい。
バインダー樹脂の含有量が、硬化性組成物の全固形分に対して、0.3〜25質量%以上だと、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜のパターン形状がより優れる。
バインダー樹脂は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。バインダー樹脂を2種以上併用する場合は、その合計量が上記範囲内であることが好ましい。
<Binder resin>
The curable composition preferably contains a binder resin.
The content of the binder resin is preferably 0.1 to 30% by mass with respect to the total solid content of the curable composition.
When the content of the binder resin is 0.3 to 25% by mass or more with respect to the total solid content of the curable composition, the pattern shape of the cured film obtained by curing the curable composition is more excellent.
As the binder resin, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. When two or more kinds of binder resins are used in combination, the total amount thereof is preferably within the above range.

バインダー樹脂としては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用することができる。好ましくは、水現像又は弱アルカリ水現像を可能とするために、水又は弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。なかでも、バインダー樹脂としては、アルカリ可溶性樹脂(アルカリ可溶性を促進する基を含有する樹脂)が特に好ましい。
バインダー樹脂としては、線状有機ポリマーであって、分子(好ましくは、(メタ)アクリル系共重合体、又は、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を含有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、(メタ)アクリルアミド系樹脂、(メタ)アクリル/(メタ)アクリルアミド共重合体樹脂、エポキシ系樹脂及びポリイミド系樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、(メタ)アクリル系樹脂、(メタ)アクリルアミド系樹脂、(メタ)アクリル/(メタ)アクリルアミド共重合体樹脂又はポリイミド系樹脂がより好ましい。
アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボン酸基、リン酸基、スルホン酸基、及び、フェノール性ヒドロキシ基等が挙げられる。なかでも、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、(メタ)アクリル酸由来の構造単位を含有するアルカリ可溶性樹脂がより好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
As the binder resin, it is preferable to use a linear organic polymer. As such a linear organic polymer, known ones can be arbitrarily used. Preferably, a linear organic polymer that is soluble or swellable in water or weak alkaline water is selected to allow water or weak alkaline water development. Among them, as the binder resin, an alkali-soluble resin (a resin containing a group that promotes alkali solubility) is particularly preferable.
The binder resin is a linear organic polymer that promotes at least one alkali solubility in the molecule (preferably a (meth) acrylic copolymer or a molecule having a styrene copolymer as a main chain). It can be appropriately selected from the alkali-soluble resins containing the group. From the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resin, polysiloxane resin, (meth) acrylic resin, (meth) acrylamide resin, (meth) acrylic / (meth) acrylamide copolymer resin, epoxy resin and A polyimide resin is preferable, and a (meth) acrylic resin, a (meth) acrylamide resin, a (meth) acrylic / (meth) acrylamide copolymer resin or a polyimide resin is more preferable from the viewpoint of controllability of developability.
Examples of the group that promotes alkali solubility (hereinafter, also referred to as an acid group) include a carboxylic acid group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, and a phenolic hydroxy group. Of these, those that are soluble in organic solvents and can be developed with a weak alkaline aqueous solution are preferable, and alkali-soluble resins containing structural units derived from (meth) acrylic acid are more preferable. These acid groups may be only one type or two or more types.

バインダー樹脂としては、例えば、側鎖にカルボン酸基を含有するラジカル重合体が挙げられる。側鎖にカルボン酸基を含有するラジカル重合体としては、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭54−92723号、特開昭59−53836号、及び、特開昭59−71048号に記載されているものが挙げられる。側鎖にカルボン酸基を含有するラジカル重合体としては、カルボン酸基を含有するモノマーを単独又は共重合させた樹脂、酸無水物を含有するモノマーを単独又は共重合させて得た酸無水物ユニットを、加水分解、ハーフエステル化又はハーフアミド化させた樹脂、及び、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。
カルボン酸基を含有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、及び、4−カルボキシルスチレン等が挙げられる。側鎖にカルボン酸基を含有する酸性セルロース誘導体も例として挙げられる。
酸無水物を含有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。この他にヒドロキシ基を含有する重合体に環状酸無水物を付加させたもの等が有用である。
酸基を含有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダー樹脂が、欧州特許第993966号、欧州特許第1204000号、及び、特開2001−318463号等の各公報に記載されている。酸基を含有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダー樹脂は、膜強度、及び、現像性のバランスに優れており、好適である。
更に、水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドン、又はポリエチレンオキサイド等が有用である。また、硬化皮膜の強度を上げるために、アルコール可溶性ナイロン、及び、2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンとの反応物であるポリエーテル等も有用である。
国際公開第2008/123097号に記載のポリイミド樹脂も有用である。
Examples of the binder resin include radical polymers containing a carboxylic acid group in the side chain. Examples of the radical polymer containing a carboxylic acid group in the side chain include Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-44615, Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-34327, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-125777, Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-25957, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 54. Examples thereof include those described in JP-A-92723, JP-A-59-53836, and JP-A-59-71048. Examples of the radical polymer containing a carboxylic acid group in the side chain include a resin obtained by singly or copolymerizing a monomer containing a carboxylic acid group, and an acid anhydride obtained by singly or copolymerizing a monomer containing an acid anhydride. Examples thereof include a resin obtained by hydrolyzing, half-esterifying or half-amidifying the unit, and an epoxy acrylate obtained by modifying an epoxy resin with an unsaturated monocarboxylic acid and an acid anhydride.
Examples of the monomer containing a carboxylic acid group include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, 4-carboxystyrene and the like. An acidic cellulose derivative containing a carboxylic acid group in the side chain is also mentioned as an example.
Examples of the monomer containing an acid anhydride include maleic anhydride and the like. In addition to this, a polymer containing a hydroxy group to which a cyclic acid anhydride is added is useful.
Acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder resins containing an acid group are described in European Patent No. 9993966, European Patent No. 1204000, JP-A-2001-318436 and the like. The acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder resin containing an acid group is suitable because it has an excellent balance between film strength and developability.
Further, polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide and the like are useful as the water-soluble linear organic polymer. Further, in order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon and polyether, which is a reaction product of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, are also useful.
The polyimide resin described in International Publication No. 2008/123097 is also useful.

これらの中でも、〔ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー〕共重合体、及び〔アリル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー〕共重合体は、膜強度、感度、及び、現像性のバランスに優れており、好適である。
市販品としては、例えばアクリベースFF−187、FF−426(藤倉化成社製)、アクリキュア−RD−F8(日本触媒)、及び、ダイセルオルネクス製サイクロマーP(ACA)230AA等が挙げられる。
Among these, [benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / other addition-polymerizable vinyl monomer if necessary] copolymer and [allyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / if necessary] Other addition-polymerizable vinyl monomers] The copolymer has an excellent balance of film strength, sensitivity, and developability, and is suitable.
Examples of commercially available products include Acrybase FF-187, FF-426 (manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.), Acrycure-RD-F8 (Nippon Shokubai), and Cyclomer P (ACA) 230AA manufactured by Daicel Ornex.

バインダー樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でバインダー樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、並びに、溶剤の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能である。 For the production of the binder resin, for example, a known radical polymerization method can be applied. Polymerization conditions such as temperature, pressure, type and amount of radical initiator, and type of solvent when producing a binder resin by a radical polymerization method can be easily set by those skilled in the art.

バインダー樹脂として、グラフト鎖を含有する構造単位と、酸基(アルカリ可溶性基)を含有する構造単位と、を含有するポリマーを使用することも好ましい。
グラフト鎖を含有する構造単位の定義は、上記の分散剤が含有するグラフト鎖を含有する構造単位と同義であり、また好適範囲も同様である。
酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、又は、フェノール性ヒドロキシ基等が挙げられ、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種が好ましく、カルボン酸基がより好ましい。
As the binder resin, it is also preferable to use a polymer containing a structural unit containing a graft chain and a structural unit containing an acid group (alkali-soluble group).
The definition of the structural unit containing the graft chain is synonymous with the structural unit containing the graft chain contained in the above-mentioned dispersant, and the preferable range is also the same.
Examples of the acid group include a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxy group and the like, and at least one of a carboxylic acid group, a sulfonic acid group and a phosphoric acid group is preferable. , Carboxylic acid groups are more preferred.

(酸基を含有する構造単位)
酸基を含有する構造単位としては、下記式(vii)〜式(ix)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を含有することが好ましい。
(Structural unit containing an acid group)
As the structural unit containing an acid group, it is preferable to contain one or more structural units selected from the structural units derived from the monomers represented by the following formulas (vii) to (ix).

式(vii)〜式(ix)中、R21、R22、及びR23は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
式(vii)〜式(ix)中、R21、R22、及びR23は、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基であることが好ましく、それぞれ独立に水素原子又はメチル基であることがより好ましい。式(vii)中、R21及びR23は、それぞれ水素原子であることが特に好ましい。
In formulas (vii) to formula (ix), R 21 , R 22 , and R 23 each independently have a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), or a carbon number of 1. Represents an alkyl group of ~ 6 (eg, methyl group, ethyl group, propyl group, etc.).
In formulas (vii) to (ix), R 21 , R 22 , and R 23 are preferably hydrogen atoms independently or alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, respectively, and are independently hydrogen atoms or or. It is more preferably a methyl group. In the formula (vii), it is particularly preferable that R 21 and R 23 are hydrogen atoms, respectively.

式(vii)中のXは、酸素原子(−O−)又はイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
また、式(viii)中のYは、メチン基又は窒素原子を表す。
X 2 in the formula (vii) represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), and is preferably an oxygen atom.
Further, Y in the formula (viii) represents a methine group or a nitrogen atom.

式(vii)〜式(ix)中のLは、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基の例としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、及び置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、及び置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ結合(−NR41’−、ここでR41’は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル結合(−CO−)、及び、これらの組合せ等が挙げられる。L 2 in the formulas (vii) to (ix) represents a single bond or a divalent linking group. Examples of divalent linking groups include divalent aliphatic groups (eg, alkylene group, substituted alkylene group, alkenylene group, substituted alkenylene group, alkynylene group, and substituted alkynylene group), and divalent aromatic group (eg, substituted alkynylene group). , an arylene group, and a substituted arylene group), a divalent heterocyclic group an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), substituted imino bond (-NR 41 '- , Where R 41'is an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), a carbonyl bond (-CO-), and a combination thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。 The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. The number of carbon atoms of the aliphatic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 15, and even more preferably 1 to 10. As the aliphatic group, a saturated aliphatic group is preferable to an unsaturated aliphatic group. The aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。 The number of carbon atoms of the divalent aromatic group is preferably 6 to 20, more preferably 6 to 15, and even more preferably 6 to 10. The aromatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環のうち1つ以上が縮合していてもよい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R42、ここでR42は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably contains a 5-membered ring or a 6-membered ring as the heterocycle. One or more of other heterocycles, aliphatic rings or aromatic rings may be condensed on the heterocycle. The heterocyclic group may have a substituent. Examples of substituents are halogen atom, hydroxy group, oxo group (= O), thioxo group (= S), imino group (= NH), substituted imino group (= N-R 42 , where R 42 is fat. Group groups, aromatic groups or heterocyclic groups), aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

は、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含有するポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L 2 is preferably a divalent linking group containing a single bond, an alkylene group or an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. L 2 may contain a polyoxyalkylene structure containing two or more oxyalkylene structures repeatedly. As the polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by − (OCH 2 CH 2 ) n−, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

式(vii)〜式(ix)中、Zは、酸基であり、カルボン酸基であることが好ましい。In formulas (vii) to (ix), Z 2 is an acid group, preferably a carboxylic acid group.

式(ix)中、R24、R25、及びR26は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素、塩素、臭素等)、炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、−Z、又はL−Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるL及びZと同義であり、好ましい例も同様である。R24、R25、及びR26としては、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In formula (ix), R 24 , R 25 , and R 26 are independently hydrogen atoms, halogen atoms (eg, fluorine, chlorine, bromine, etc.), and alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms (eg, methyl). group, an ethyl group, a propyl group, etc.), - represents a Z 2, or L 2 -Z 2. Here L 2 and Z 2 has the same meaning as L 2 and Z 2 in the above, and preferred examples are also the same. As R 24 , R 25 , and R 26 , hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms are preferable, and hydrogen atoms are more preferable.

式(vii)で表される単量体として、R21、R22、及びR23がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
式(vii)で表される単量体として、R21が水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボン酸基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。
更に、式(ix)で表される単量体として、R24、R25、及びR26がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
As the monomers represented by the formula (vii), R 21 , R 22 , and R 23 are independently hydrogen atoms or methyl groups, and L 2 is a divalent group containing an alkylene group or an oxyalkylene structure. A compound having a linking group in which X 2 is an oxygen atom or an imino group and Z 2 is a carboxylic acid group is preferable.
As the monomer represented by the formula (vii), R 21 is a hydrogen atom or a methyl group, L 2 is an alkylene group, Z 2 is a carboxylic acid group, and Y is a methine group. Compounds are preferred.
Further, as the monomer represented by the formula (ix), a compound in which R 24 , R 25 , and R 26 are independently hydrogen atoms or methyl groups and Z 2 is a carboxylic acid group is preferable.

バインダー樹脂は、上記のグラフト鎖を含有する構造単位を含有する分散剤と同様の方法により合成することができ、その好ましい酸価、重量平均分子量も同様である。 The binder resin can be synthesized by the same method as the dispersant containing the structural unit containing the graft chain described above, and its preferable acid value and weight average molecular weight are also the same.

バインダー樹脂は、酸基を含有する構造単位を1種又は2種以上有してもよい。
酸基を含有する構造単位の含有量は、質量換算で、バインダー樹脂の総質量に対して、5〜95%が好ましく、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、10〜90%がより好ましい。
The binder resin may have one or more structural units containing an acid group.
The content of the structural unit containing an acid group is preferably 5 to 95% with respect to the total mass of the binder resin in terms of mass, and 10 to 90% is more preferable from the viewpoint of suppressing damage to the image intensity due to alkaline development. preferable.

<界面活性剤>
硬化性組成物は、界面活性剤を含有することが好ましい。界面活性剤は、硬化性組成物の塗布性向上に寄与する。
<Surfactant>
The curable composition preferably contains a surfactant. The surfactant contributes to improving the coatability of the curable composition.

硬化性組成物が、界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の含有量としては、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜2.0質量%が好ましい。
界面活性剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。界面活性剤を2種以上併用する場合は、合計量が上記範囲内であることが好ましい。
When the curable composition contains a surfactant, the content of the surfactant is preferably 0.001 to 2.0% by mass with respect to the total solid content of the curable composition.
As the surfactant, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. When two or more types of surfactants are used in combination, the total amount is preferably within the above range.

界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、及びシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。 Examples of the surfactant include a fluorine-based surfactant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, a silicone-based surfactant, and the like.

例えば、硬化性組成物がフッ素系界面活性剤を含有することで、硬化性組成物の液特性(特に、流動性)がより向上する。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する硬化性組成物を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚さムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。 For example, when the curable composition contains a fluorine-based surfactant, the liquid properties (particularly, fluidity) of the curable composition are further improved. That is, when a film is formed using a curable composition containing a fluorine-based surfactant, the wettability to the surface to be coated is improved by reducing the interfacial tension between the surface to be coated and the coating liquid. , The applicability to the surface to be coated is improved. Therefore, even when a thin film of about several μm is formed with a small amount of liquid, it is effective in that it is possible to more preferably form a film having a uniform thickness with small thickness unevenness.

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3〜40質量%が好適であり、5〜30質量%がより好ましく、7〜25質量%が更に好ましい。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性及び/又は省液性の点で効果的であり、硬化性組成物中における溶解性も良好である。 The fluorine content in the fluorine-based surfactant is preferably 3 to 40% by mass, more preferably 5 to 30% by mass, and even more preferably 7 to 25% by mass. Fluorine-based surfactants having a fluorine content within this range are effective in terms of uniformity of coating film thickness and / or liquid saving, and also have good solubility in a curable composition. ..

フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−1068、同SC−381、同SC−383、同S−393、同KH−40(以上、旭硝子(株)製)、PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(OMNOVA社製)等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーを用いることもでき、具体例としては、例えば特開2011−89090号公報に記載の化合物が挙げられる。下記式で表される化合物(F−1)もフッ素系界面活性剤として挙げられる。化合物(F−1)において、式中(A)及び(B)で表される構造単位はそれぞれ62モル%、38モル%である。式(B)で表される構造単位中、a、b、cは、それぞれ、a+c=14、b=17の関係を満たす。なお、下記化合物の重量平均分子量は、例えば15,311である。
Examples of the fluorine-based surfactant include Megafuck F171, F172, F173, F176, F177, F141, F142, F143, F144, R30, F437, F475, and F479. F482, F554, F780 (above, DIC Co., Ltd.), Florard FC430, FC431, FC171 (above, Sumitomo 3M Ltd.), Surfron S-382, SC-101, SC- 103, SC-104, SC-105, SC-1068, SC-381, SC-383, S-393, KH-40 (all manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), PF636, PF656, Examples thereof include PF6320, PF6520, and PF7002 (manufactured by OMNOVA).
A block polymer can also be used as the fluorine-based surfactant, and specific examples thereof include the compounds described in JP-A-2011-89090. The compound (F-1) represented by the following formula is also mentioned as a fluorine-based surfactant. In compound (F-1), the structural units represented by the formulas (A) and (B) are 62 mol% and 38 mol%, respectively. In the structural unit represented by the formula (B), a, b, and c satisfy the relations of a + c = 14 and b = 17, respectively. The weight average molecular weight of the following compounds is, for example, 15,311.

ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル(BASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1)、ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株))等が挙げられる。また、竹本油脂(株)製のパイオニンD−6112−W、和光純薬工業社製の、NCW−101、NCW−1001、NCW−1002を使用することもできる。 Specifically, as nonionic surfactants, glycerol, trimethylolpropane, trimethylolethane, their ethoxylates and propoxylates (eg, glycerol propoxylate, glycerin ethoxylate, etc.), polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene Stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester (BASF Pluronic L10, L31, L61, L62, Examples thereof include 10R5, 17R2, 25R2, Tetronic 304, 701, 704, 901, 904, 150R1) and Solsparse 20000 (Nippon Lubrizol Co., Ltd.). Further, Pionin D-6112-W manufactured by Takemoto Oil & Fat Co., Ltd. and NCW-101, NCW-1001 and NCW-1002 manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. can also be used.

カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体(商品名、EFKA−745、森下産業(株)製)、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学(株)製)、W001(裕商(株))等が挙げられる。 Specifically, as cationic surfactants, phthalocyanine derivatives (trade name, EFKA-745, manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.), organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid-based (meth) acrylic acid-based (meth) Co) Polymer Polyflow No. 75, No. 90, No. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), W001 (Yusho Co., Ltd.) and the like can be mentioned.

アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017(裕商(株))等が挙げられる。 Specific examples of the anionic surfactant include W004, W005, W017 (Yusho Co., Ltd.) and the like.

シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング(株)製「トーレシリコーンDC3PA」、「トーレシリコーンSH7PA」、「トーレシリコーンDC11PA」,「トーレシリコーンSH21PA」,「トーレシリコーンSH28PA」、「トーレシリコーンSH29PA」、「トーレシリコーンSH30PA」、「トーレシリコーンSH8400」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製「TSF−4440」、「TSF−4300」、「TSF−4445」、「TSF−4460」、「TSF−4452」、信越シリコーン株式会社製「KP341」、「KF6001」、「KF6002」、ビックケミー社製「BYK307」、「BYK323」、「BYK330」等が挙げられる。 Examples of the silicone-based surfactant include "Torre Silicone DC3PA", "Torre Silicone SH7PA", "Torre Silicone DC11PA", "Torre Silicone SH21PA", "Torre Silicone SH28PA" and "Torre Silicone SH28PA" manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd. Silicone SH29PA "," Torre Silicone SH30PA "," Torre Silicone SH8400 "," TSF-4440 "," TSF-4300 "," TSF-4445 "," TSF-4460 "," TSF "manufactured by Momentive Performance Materials. -4452 ”,“ KP341 ”,“ KF6001 ”,“ KF6002 ”manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.,“ BYK307 ”,“ BYK323 ”,“ BYK330 ”manufactured by Big Chemie, and the like.

<シランカップリング剤>
シランカップリング剤とは、分子中に加水分解性基とそれ以外の官能基とを含有する化合物である。なお、アルコキシ基等の加水分解性基は、珪素原子に結合している。
加水分解性基とは、珪素原子に直結し、加水分解反応及び/又は縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基、及びアルケニルオキシ基が挙げられる。加水分解性基が炭素原子を含有する場合、その炭素数は6以下であることが好ましく、4以下であることがより好ましい。特に、炭素数4以下のアルコキシ基又は炭素数4以下のアルケニルオキシ基が好ましい。
基板上に硬化膜を形成する場合、シランカップリング剤は基板と硬化膜間の密着性を向上させるため、フッ素原子及び珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)を含まないことが好ましく、フッ素原子、珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)、珪素原子で置換されたアルキレン基、炭素数8以上の直鎖アルキル基、及び、炭素数3以上の分鎖アルキル基は含まないことが望ましい。
<Silane coupling agent>
The silane coupling agent is a compound containing a hydrolyzable group and other functional groups in the molecule. A hydrolyzable group such as an alkoxy group is bonded to a silicon atom.
The hydrolyzable group refers to a substituent that is directly linked to a silicon atom and can form a siloxane bond by a hydrolysis reaction and / or a condensation reaction. Examples of the hydrolyzable group include a halogen atom, an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkenyloxy group. When the hydrolyzable group contains a carbon atom, the number of carbon atoms thereof is preferably 6 or less, and more preferably 4 or less. In particular, an alkoxy group having 4 or less carbon atoms or an alkenyloxy group having 4 or less carbon atoms is preferable.
When forming a cured film on a substrate, the silane coupling agent contains fluorine atoms and silicon atoms (excluding silicon atoms to which a hydrolyzable group is bonded) in order to improve the adhesion between the substrate and the cured film. It is preferable that there is no fluorine atom, silicon atom (excluding silicon atom to which a hydrolyzable group is bonded), an alkylene group substituted with a silicon atom, a linear alkyl group having 8 or more carbon atoms, and 3 carbon atoms. It is desirable not to include the above-mentioned split-chain alkyl groups.

シランカップリング剤は、以下の式(Z)で表される基を含有することが好ましい。*は結合位置を表す。
式(Z) *−Si−(RZ1
式(Z)中、RZ1は加水分解性基を表し、その定義は上記のとおりである。
The silane coupling agent preferably contains a group represented by the following formula (Z). * Represents the bond position.
Formula (Z) * -Si- (R Z1 ) 3
In formula (Z), R Z1 represents a hydrolyzable group, the definition of which is as described above.

シランカップリング剤は、(メタ)アクリロイルオキシ基、エポキシ基、及び、オキセタニル基からなる群から選択される1種以上の硬化性官能基を含有することが好ましい。硬化性官能基は、直接、珪素原子に結合してもよく、連結基を介して珪素原子に結合していてもよい。
なお、上記シランカップリング剤に含まれる硬化性官能基の好適態様としては、ラジカル重合性基も挙げられる。
The silane coupling agent preferably contains one or more curable functional groups selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxy group, an epoxy group, and an oxetanyl group. The curable functional group may be directly bonded to the silicon atom or may be bonded to the silicon atom via the linking group.
In addition, a radical polymerizable group is also mentioned as a preferable embodiment of the curable functional group contained in the said silane coupling agent.

シランカップリング剤の分子量は特に制限されず、取り扱い性の点から、100〜1,000の場合が多く、270以上が好ましく、270〜1,000がより好ましい。 The molecular weight of the silane coupling agent is not particularly limited, and from the viewpoint of handleability, it is often 100 to 1,000, preferably 270 or more, and more preferably 270 to 1,000.

シランカップリング剤の好適態様の1つとしては、式(W)で表されるシランカップリング剤Xが挙げられる。
式(W) RZ2−Lz−Si−(RZ1
z1は、加水分解性基を表し、定義は上記のとおりである。
z2は、硬化性官能基を表し、定義は上記のとおりであり、好適範囲も上記のとおりである。
Lzは、単結合又は2価の連結基を表す。Lzが2価の連結基を表す場合、2価の連結基としては、ハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基、ハロゲン原子が置換していてもよいアリーレン基、−NR12−、−CONR12−、−CO−、−CO−、SONR12−、−O−、−S−、−SO−、又は、これらの組み合わせが挙げられる。なかでも、炭素数2〜10のハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基及び炭素数6〜12のハロゲン原子が置換していてもよいアリーレン基からなる群から選択される少なくとも1種、又は、これらの基と−NR12−、−CONR12−、−CO−、−CO−、SONR12−、−O−、−S−、及びSO−からなる群から選択される少なくとも1種の基との組み合わせからなる基が好ましく、炭素数2〜10のハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基、−CO−、−O−、−CO−、−CONR12−、又は、これらの基の組み合わせからなる基がより好ましい。ここで、上記R12は、水素原子又はメチル基を表す。
One of the preferred embodiments of the silane coupling agent is the silane coupling agent X represented by the formula (W).
Equation (W) R Z2- Lz-Si- (R Z1 ) 3
R z1 represents a hydrolyzable group and its definition is as described above.
R z2 represents a curable functional group, the definition is as described above, and the preferred range is also as described above.
Lz represents a single bond or a divalent linking group. If Lz represents a divalent linking group, the divalent As the linking group, an alkylene group optionally substituted with a halogen atom, an arylene group optionally halogen atoms substituted, -NR 12 -, - CONR 12 -, - CO -, - CO 2 -, SO 2 NR 12 -, - O -, - S -, - SO 2 -, or combinations thereof. Among them, at least one selected from the group consisting of an alkylene group optionally substituted with a halogen atom having 2 to 10 carbon atoms and an arylene group optionally substituted with a halogen atom having 6 to 12 carbon atoms, or at least one selected from the group. these groups and -NR 12 -, - CONR 12 - , - CO -, - CO 2 -, SO 2 NR 12 -, - O -, - S-, and SO 2 -, at least selected from the group consisting of group is preferred, which consist of a combination of one group, an alkylene group optionally substituted with a halogen atom having 2 to 10 carbon atoms, -CO 2 -, - O - , - CO -, - CONR 12 -, or , A group consisting of a combination of these groups is more preferable. Here, R 12 represents a hydrogen atom or a methyl group.

シランカップリング剤Xとしては、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−メチルジメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−602)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−603)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBE−602)、γ−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−903)、γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBE−903)、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−503)、及び、グリシドキシオクチルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−4803)等が挙げられる。 Examples of the silane coupling agent X include N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-methyldimethoxysilane (manufactured by Shinetsu Chemical Industry Co., Ltd., trade name KBM-602) and N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-tri. Methoxysilane (manufactured by Shinetsu Chemical Industry Co., Ltd., trade name KBM-603), N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-triethoxysilane (manufactured by Shinetsu Chemical Industry Co., Ltd., trade name KBE-602), γ-aminopropyl- Trimethoxysilane (manufactured by Shinetsu Chemical Industry Co., Ltd., trade name KBM-903), γ-aminopropyl-triethoxysilane (manufactured by Shinetsu Chemical Industry Co., Ltd., trade name KBE-903), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (Shinetsu Chemical Co., Ltd.) Examples thereof include glycidoxyoctyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name KBM-4803) manufactured by Kogyo Co., Ltd., trade name KBM-503).

シランカップリング剤の他の好適態様としては、分子内に少なくとも珪素原子と窒素原子と硬化性官能基とを有し、かつ、珪素原子に結合した加水分解性基を含有するシランカップリング剤Yが挙げられる。
このシランカップリング剤Yは、分子内に少なくとも1つの珪素原子を有すればよく、珪素原子は、以下の原子、置換基と結合できる。それらは同じ原子、置換基であっても異なっていてもよい。結合しうる原子、置換基は、水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1から20のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルキル基及び/又はアリール基で置換可能なアミノ基、シリル基、炭素数1から20のアルコキシ基、アリーロキシ基等が挙げられる。これらの置換基は更に、シリル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、チオアルコキシ基、アルキル基及び/又はアリール基で置換可能なアミノ基、ハロゲン原子、スルホンアミド基、アルコキシカルボニル基、アミド基、ウレア基、アンモニウム基、アルキルアンモニウム基、カルボン酸基、又はその塩、スルホ基、又はその塩等で置換されていてもよい。
なお、珪素原子には少なくとも1つの加水分解性基が結合している。加水分解性基の定義は、上記のとおりである。
シランカップリング剤Yには、式(Z)で表される基が含まれていてもよい。
In another preferred embodiment of the silane coupling agent, the silane coupling agent Y has at least a silicon atom, a nitrogen atom and a curable functional group in the molecule, and contains a hydrolyzable group bonded to the silicon atom. Can be mentioned.
The silane coupling agent Y may have at least one silicon atom in the molecule, and the silicon atom can be bonded to the following atoms and substituents. They may be the same atom, substituent or different. The group that can be bonded is a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkyl group and / or an amino group that can be substituted with an aryl group. Examples thereof include a silyl group, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, and an aryloxy group. These substituents are further composed of an amino group, a halogen atom, a sulfonamide group, which can be substituted with a silyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a thioalkoxy group, an alkyl group and / or an aryl group. It may be substituted with an alkoxycarbonyl group, an amide group, a urea group, an ammonium group, an alkylammonium group, a carboxylic acid group, or a salt thereof, a sulfo group, or a salt thereof.
At least one hydrolyzable group is bonded to the silicon atom. The definition of hydrolyzable group is as described above.
The silane coupling agent Y may contain a group represented by the formula (Z).

シランカップリング剤Yは、分子内に窒素原子を少なくとも1つ以上有し、窒素原子は、2級アミノ基又は3級アミノ基の形態で存在することが好ましく、即ち、窒素原子は置換基として少なくとも1つの有機基を含有することが好ましい。なお、アミノ基の構造としては、含窒素ヘテロ環の部分構造の形態で分子内に存在してもよく、アニリン等の置換アミノ基として存在していてもよい。
ここで、有機基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、又は、これらの組み合わせ等が挙げられる。これらは更に置換基を有してもよく、導入可能な置換基としては、シリル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、チオアルコキシ基、アミノ基、ハロゲン原子、スルホンアミド基、アルコキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、アミド基、ウレア基、アルキレンオキシ基アンモニウム基、アルキルアンモニウム基、カルボン酸基、又はその塩、スルホ基等が挙げられる。
窒素原子は、任意の有機連結基を介して硬化性官能基と結合していることが好ましい。好ましい有機連結基としては、上記の窒素原子及びそれに結合する有機基に導入可能な置換基を挙げることができる。
The silane coupling agent Y preferably has at least one nitrogen atom in the molecule, and the nitrogen atom preferably exists in the form of a secondary amino group or a tertiary amino group, that is, the nitrogen atom is used as a substituent. It preferably contains at least one organic group. The structure of the amino group may be present in the molecule in the form of a partial structure of a nitrogen-containing heterocycle, or may be present as a substituted amino group such as aniline.
Here, examples of the organic group include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, or a combination thereof. These may further have a substituent, and the substituents that can be introduced include a silyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a thioalkoxy group, an amino group, a halogen atom and a sulfonamide. Examples thereof include a group, an alkoxycarbonyl group, a carbonyloxy group, an amide group, a urea group, an alkyleneoxy group, an ammonium group, an alkylammonium group, a carboxylic acid group, or a salt thereof, a sulfo group and the like.
The nitrogen atom is preferably bonded to a curable functional group via any organic linking group. Preferred organic linking groups include the above-mentioned nitrogen atom and substituents that can be introduced into the organic group bonded thereto.

シランカップリング剤Yに含まれる硬化性官能基の定義は、上記のとおりであり、好適範囲も上記のとおりである。
シランカップリング剤Yは、硬化性官能基を1分子中に少なくとも1つ以上有していればよいが、硬化性官能基を2以上含有することも可能である。感度、安定性の観点からは、硬化性官能基を分子内に2〜20含有することが好ましく、4〜15含有することがより好ましく、6〜10含有することが更に好ましい。
The definition of the curable functional group contained in the silane coupling agent Y is as described above, and the preferable range is also as described above.
The silane coupling agent Y may have at least one curable functional group in one molecule, but may also contain two or more curable functional groups. From the viewpoint of sensitivity and stability, it is preferable to contain 2 to 20 curable functional groups in the molecule, more preferably 4 to 15 and further preferably 6 to 10.

シランカップリング剤X及びシランカップリング剤Yの分子量は特に制限されないが、上記の範囲(270以上が好ましい)が挙げられる。 The molecular weights of the silane coupling agent X and the silane coupling agent Y are not particularly limited, but the above range (preferably 270 or more) can be mentioned.

硬化性組成物中におけるシランカップリング剤の含有量は、硬化性組成物中の全固形分に対して、0.1〜10質量%が好ましく、0.5〜8質量%がより好ましく、1.0〜6質量%が更に好ましい。 The content of the silane coupling agent in the curable composition is preferably 0.1 to 10% by mass, more preferably 0.5 to 8% by mass, based on the total solid content in the curable composition. .0 to 6% by mass is more preferable.

硬化性組成物は、シランカップリング剤を1種単独で含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。硬化性組成物がシランカップリング剤を2種以上含有する場合は、その合計が上記範囲内であればよい。 The curable composition may contain one type of silane coupling agent alone, or may contain two or more types. When the curable composition contains two or more kinds of silane coupling agents, the total may be within the above range.

<紫外線吸収剤>
硬化性組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。これにより、硬化膜のパターンの形状をより優れた(精細な)ものにすることができる。
紫外線吸収剤としては、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、置換アクリロニトリル系、及びトリアジン系の紫外線吸収剤を使用することができる。これらの具体例としては、特開2012−068418号公報の段落0137〜0142(対応するUS2012/0068292の段落0251〜0254)の化合物が使用でき、これらの内容が援用でき、本明細書に組み込まれる。
他にジエチルアミノ−フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学社製、商品名:UV−503)なども好適に用いられる。
紫外線吸収剤としては、特開2012−32556号公報の段落0134〜0148に例示される化合物が挙げられる。
紫外線吸収剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜15質量%が好ましく、0.01〜10質量%がより好ましく、0.1〜5質量%が更に好ましい。
<UV absorber>
The curable composition may contain an ultraviolet absorber. As a result, the shape of the pattern of the cured film can be made more excellent (fine).
As the ultraviolet absorber, salicylate-based, benzophenone-based, benzotriazole-based, substituted acrylonitrile-based, and triazine-based ultraviolet absorbers can be used. As specific examples thereof, compounds of paragraphs 0137 to 0142 of JP2012-068418 (corresponding paragraphs 027 to 0254 of US2012 / 0068292) can be used, and these contents can be incorporated and incorporated in the present specification. ..
In addition, a diethylamino-phenylsulfonyl UV absorber (manufactured by Daito Chemical Co., Ltd., trade name: UV-503) and the like are also preferably used.
Examples of the ultraviolet absorber include compounds exemplified in paragraphs 0134 to 0148 of JP2012-32556A.
The content of the ultraviolet absorber is preferably 0.001 to 15% by mass, more preferably 0.01 to 10% by mass, further preferably 0.1 to 5% by mass, based on the total solid content of the curable composition. preferable.

<熱重合開始剤>
硬化性組成物は熱重合開始剤を含有してもよい。
熱重合開始剤の1分間半減期温度は、感光性樹脂組成物の安定性及び硬化性の観点から、120〜300℃が好ましく、150〜250℃がより好ましく、150〜230℃が更に好ましく、170〜200℃が特に好ましい。熱重合開始剤の1分間半減期温度が、上記下限値以上であれば、塗膜の乾燥時に硬化しすぎず、現像性が良好である。熱重合開始剤の1分間半減期温度が、上記下限値以下であれば、硬化性が良好である。
熱重合開始剤の分子量は、揮発性の観点から、100以上が好ましく、150以上がより好ましく、200以上が更に好ましく、250以上が特に好ましい。上限は、例えば、1,000以下が好ましく、500以下がより好ましい。熱重合開始剤の分子量が上記下限値以上であれば、塗膜の乾燥時における熱重合開始剤の揮散を効果的に抑制でき、硬化性が良好である。
<Thermal polymerization initiator>
The curable composition may contain a thermal polymerization initiator.
The 1-minute half-life temperature of the thermal polymerization initiator is preferably 120 to 300 ° C, more preferably 150 to 250 ° C, still more preferably 150 to 230 ° C, from the viewpoint of stability and curability of the photosensitive resin composition. 170-200 ° C is particularly preferable. When the 1-minute half-life temperature of the thermal polymerization initiator is equal to or higher than the above lower limit, the coating film does not cure too much when it dries, and the developability is good. When the 1-minute half-life temperature of the thermal polymerization initiator is not more than the above lower limit, the curability is good.
From the viewpoint of volatility, the molecular weight of the thermal polymerization initiator is preferably 100 or more, more preferably 150 or more, further preferably 200 or more, and particularly preferably 250 or more. The upper limit is, for example, preferably 1,000 or less, and more preferably 500 or less. When the molecular weight of the thermal polymerization initiator is at least the above lower limit value, the volatilization of the thermal polymerization initiator during drying of the coating film can be effectively suppressed, and the curability is good.

熱重合開始剤は、熱によりラジカルを発生する化合物(以下、単に、熱ラジカル発生剤とも言う)、又は、熱により酸を発生する化合物(以下、単に、熱酸発生剤とも言う)を用いることができる。特に、熱ラジカル発生剤が好ましい。熱ラジカル発生剤は、エチレン性不飽和基のラジカル重合を促進できるので、架橋剤として、エチレン性不飽和結合を有する基を含有する化合物を用いた場合において、架橋剤の重合反応をより効果的に促進でき、より短時間で硬化させることができる。なお、熱酸発生剤によって重合反応が開始及び促進される反応は、エポキシの開環重合である。エポキシの開環重合は、ラジカル重合に比べて重合速度が遅いため、硬化性を十分に促進できないことがある。 As the thermal polymerization initiator, a compound that generates radicals by heat (hereinafter, also simply referred to as a thermal radical generator) or a compound that generates acid by heat (hereinafter, also simply referred to as a thermal acid generator) is used. Can be done. In particular, a thermal radical generator is preferable. Since the thermal radical generator can promote the radical polymerization of the ethylenically unsaturated group, the polymerization reaction of the cross-linking agent is more effective when a compound containing a group having an ethylenically unsaturated bond is used as the cross-linking agent. Can be accelerated and cured in a shorter time. The reaction in which the polymerization reaction is initiated and promoted by the thermal acid generator is ring-opening polymerization of epoxy. Ring-opening polymerization of epoxy has a slower polymerization rate than radical polymerization, so that curability may not be sufficiently promoted.

(熱ラジカル発生剤)
熱ラジカル発生剤としては、公知の熱ラジカル発生剤を用いることができる。熱ラジカル発生剤は、熱のエネルギーによってラジカルを発生し、架橋剤の重合反応を開始又は促進させる化合物である。
熱ラジカル発生剤としては、芳香族ケトン類、オニウム塩化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、ケトオキシムエステル化合物、ボレート化合物、アジニウム化合物、メタロセン化合物、活性エステル化合物、炭素ハロゲン結合を有する化合物、及びアゾ系化合物等が挙げられる。中でも、アゾ系化合物がより好ましい。
(Thermal radical generator)
As the thermal radical generator, a known thermal radical generator can be used. A thermal radical generator is a compound that generates radicals by heat energy to initiate or accelerate the polymerization reaction of a cross-linking agent.
Thermal radical generators include aromatic ketones, onium salt compounds, organic peroxides, thio compounds, hexaarylbiimidazole compounds, ketooxime ester compounds, borate compounds, azinium compounds, metallocene compounds, active ester compounds, and carbon halogens. Examples thereof include compounds having a bond and azo compounds. Of these, azo compounds are more preferable.

[硬化性組成物の製造方法]
硬化性組成物の製造方法は以下の混合及び分散工程を含有する。静置工程及び/又はろ過工程を含有することが好ましい。以下では、各工程について好適態様を詳述する。
[Method for producing curable composition]
The method for producing a curable composition includes the following mixing and dispersing steps. It preferably includes a standing step and / or a filtering step. Hereinafter, preferred embodiments of each step will be described in detail.

〔混合及び分散工程〕
混合及び分散工程は、上記成分を公知の混合方法(例えば、攪拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機、及び湿式分散機)により混合し、硬化性組成物を得る工程である。混合及び分散工程においては、硬化性組成物を構成する各成分を一括配合してもよいし、各成分を有機溶剤に溶解又は分散した後に逐次配合してもよい。配合する際の投入順序及び作業条件は、特に制限されない。混合及び分散工程は、分散液を作製する工程を含有してもよい。
[Mixing and dispersion steps]
The mixing and dispersing steps are steps of mixing the above components by a known mixing method (for example, a stirrer, a homogenizer, a high-pressure emulsifier, a wet pulverizer, and a wet disperser) to obtain a curable composition. In the mixing and dispersing steps, each component constituting the curable composition may be collectively blended, or each component may be dissolved or dispersed in an organic solvent and then sequentially blended. The order of charging and working conditions at the time of blending are not particularly limited. The mixing and dispersing steps may include a step of preparing a dispersion liquid.

(分散液を作製する工程)
分散液を作製する工程は、着色剤と、分散剤と、溶剤とを混合し、着色剤を上記の方法により分散させて、分散液を作製する工程である。作製した分散液に、その他の成分を混合し、硬化性組成物を製造することができる。
分散液を作製する工程において、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断及びキャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化及び超音波分散などが挙げられる。また、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、2005年7月15日」及び「サスペンション(固/液分散系)を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、1978年10月10日」に記載のプロセス及び分散機を好適に使用することができる。
分散液を作製する工程においては、ソルトミリング工程による顔料の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器及び処理条件等は、例えば、特開2015−194521号及び特開2012−046629号に記載のものを使用することができる。
硬化性組成物の製造方法は、熱プラズマ法によって上記着色剤を得る工程を含有することが好ましい。着色剤を得る工程は、上記の各成分を混合する前に実施される。熱プラズマ法による着色剤の具体的な製造工程の態様は上記のとおりである。
(Step to prepare dispersion)
The step of preparing the dispersion liquid is a step of mixing the colorant, the dispersant, and the solvent, and dispersing the colorant by the above method to prepare the dispersion liquid. Other components can be mixed with the prepared dispersion to produce a curable composition.
Examples of the mechanical force used to disperse the pigment in the step of producing the dispersion liquid include compression, squeezing, impact, shearing and cavitation. Specific examples of these processes include bead mills, sand mills, roll mills, high-speed impellers, sand grinders, flow jet mixers, high-pressure wet atomization and ultrasonic dispersion. In addition, "Dispersion Technology Taizen, published by Information Organization Co., Ltd., July 15, 2005" and "Dispersion technology centered on suspension (solid / liquid dispersion system) and practical comprehensive data collection of industrial applications, published by Management Development Center The process and disperser described in "Issued by the Department, October 10, 1978" can be preferably used.
In the step of producing the dispersion liquid, the pigment may be miniaturized by the salt milling step. As the materials, equipment, processing conditions, etc. used in the salt milling step, those described in JP-A-2015-194521 and JP-A-2012-046629 can be used, for example.
The method for producing the curable composition preferably includes a step of obtaining the colorant by a thermal plasma method. The step of obtaining the colorant is carried out before mixing each of the above components. The specific mode of the manufacturing process of the colorant by the thermal plasma method is as described above.

<静置工程>
着色剤は、混合及び分散工程、又は分散液を作製する工程に供される前に、以下の静置工程を経てもよい。
静置工程とは、熱プラズマ法によって得られた着色剤を、その製造後に大気に曝露せず、酸素濃度が制御された密閉容器内において、所定時間(好ましくは12〜72時間、より好ましくは12〜48時間、更に好ましくは12〜24時間)静置する工程である。この際、密閉容器内における水分の含有量が制御されているとより好ましい。
<Standing process>
The colorant may undergo the following standing steps before being subjected to a mixing and dispersing step or a step of preparing a dispersion liquid.
The standing step is a predetermined time (preferably 12 to 72 hours, more preferably 12 to 72 hours) in a closed container in which the colorant obtained by the thermal plasma method is not exposed to the atmosphere after its production and the oxygen concentration is controlled. It is a step of allowing to stand for 12 to 48 hours, more preferably 12 to 24 hours). At this time, it is more preferable that the water content in the closed container is controlled.

この際、密閉容器内における酸素(O)濃度及び水分の含有量は、それぞれ100ppm以下であることが好ましく、10ppm以下であることがより好ましく、1ppm以下であることが更に好ましい。
密閉容器内における酸素(O)濃度及び水分の含有量は、密閉容器内に供給する不活性ガス中の酸素濃度及び水分量を調整することによって行うことができる。不活性ガスとしては、窒素ガス及びアルゴンガスが好ましく用いられ、この中でも窒素ガスを用いることがより好ましい。
上記静置工程を経ると、着色剤の表面及び結晶粒界が安定となる。これにより、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜のピンホールの発生を抑制できる。
なお、上記静置工程は、着色剤の製造方法において説明した工程Hで代えることが可能であり、硬化性組成物がより優れた本発明の効果を有する点で、工程Hで代えることが好ましい。
At this time, the oxygen (O 2 ) concentration and the water content in the closed container are each preferably 100 ppm or less, more preferably 10 ppm or less, and further preferably 1 ppm or less.
The oxygen (O 2 ) concentration and the water content in the closed container can be adjusted by adjusting the oxygen concentration and the water content in the inert gas supplied into the closed container. As the inert gas, nitrogen gas and argon gas are preferably used, and among these, nitrogen gas is more preferably used.
After the above-mentioned standing step, the surface of the colorant and the grain boundaries become stable. Thereby, the generation of pinholes in the cured film obtained by curing the curable composition can be suppressed.
The standing step can be replaced by the step H described in the method for producing a colorant, and the curable composition is preferably replaced by the step H because it has a more excellent effect of the present invention. ..

<ろ過工程>
ろ過工程は、上記混合及び分散工程により製造された硬化性組成物をフィルタでろ過する工程である。ろ過工程では、硬化性組成物から異物を除去及び/又は欠陥を低減することができる。
フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、PTFE(polytetrafluoroethylene:ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂、ナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度、超高分子量を含有する)等によるフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含有する)、ナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、0.1〜7.0μm程度が適しており、0.2〜2.5μm程度が好ましく、0.2〜1.5μm程度がより好ましく、0.3〜0.7μm程度が更に好ましい。この範囲とすることにより、顔料のろ過詰まりを抑えつつ、顔料に含まれる不純物及び凝集物など、微細な異物を確実に除去することが可能となる。
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。異なるフィルタを組み合わせて2回以上フィルタリングを行う場合は1回目のフィルタリングの孔径より2回目以降の孔径が同じ、又は、大きい方が好ましい。上記の範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、上記の第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。第2のフィルタの孔径は、0.2〜10.0μm程度が適しており、0.2〜7.0μm程度が好ましく、0.3〜6.0μm程度がより好ましい。
<Filtration process>
The filtration step is a step of filtering the curable composition produced by the above mixing and dispersing steps with a filter. In the filtration step, foreign matter can be removed from the curable composition and / or defects can be reduced.
The filter can be used without particular limitation as long as it has been conventionally used for filtration purposes and the like. Examples thereof include filters made of fluororesins such as PTFE (polytetrafluoroethylene), polyamide resins such as nylon, and polyolefin resins such as polyethylene and polypropylene (PP) (containing high density and ultra-high molecular weight). .. Among these materials, polypropylene (containing high-density polypropylene) and nylon are preferable.
The pore size of the filter is preferably about 0.1 to 7.0 μm, preferably about 0.2 to 2.5 μm, more preferably about 0.2 to 1.5 μm, and about 0.3 to 0.7 μm. More preferred. Within this range, it is possible to reliably remove fine foreign substances such as impurities and agglomerates contained in the pigment while suppressing the filtration clogging of the pigment.
When using filters, different filters may be combined. At that time, the filtering by the first filter may be performed only once or twice or more. When filtering is performed twice or more by combining different filters, it is preferable that the pore diameters of the second and subsequent times are the same or larger than the pore diameter of the first filtering. First filters having different pore diameters within the above range may be combined. For the hole diameter here, the nominal value of the filter manufacturer can be referred to. As a commercially available filter, for example, it can be selected from various filters provided by Nippon Pole Co., Ltd., Advantech Toyo Co., Ltd., Japan Entegris Co., Ltd. (formerly Nippon Microlith Co., Ltd.), KITZ Micro Filter Co., Ltd., and the like. ..
As the second filter, a filter made of the same material as the first filter described above can be used. The pore size of the second filter is preferably about 0.2 to 10.0 μm, preferably about 0.2 to 7.0 μm, and more preferably about 0.3 to 6.0 μm.

[硬化膜(遮光膜)]
硬化膜は、上記硬化性組成物を硬化して得られる。硬化膜には、着色剤が含まれる。硬化膜は、遮光膜として好適に用いられ、具体的にはイメージセンサの受光部周辺部分の遮光に好適に用いられる。
以下、硬化膜がイメージセンサの受光部周辺部分の遮光膜として使用された場合を一例として説明する。
[Curing film (light-shielding film)]
The cured film is obtained by curing the curable composition. The cured film contains a colorant. The cured film is preferably used as a light-shielding film, and specifically, is preferably used for light-shielding the peripheral portion of the light receiving portion of the image sensor.
Hereinafter, a case where the cured film is used as a light-shielding film in the peripheral portion of the light receiving portion of the image sensor will be described as an example.

遮光膜の膜厚としては特に限定はないが、遮光膜がより優れた本発明の効果を有する点で、乾燥後の膜厚で、0.2μm以上50μm以下が好ましく、0.3μm以上10μm以下がより好ましく、0.3μm以上5μm以下が更に好ましい。上記硬化性組成物は単位体積あたりの光学濃度が高いため(遮光性が高いため)、従来の黒色顔料を使用した硬化性組成物より膜厚を減らすことも可能である。
遮光膜のサイズ(センサー受光部周辺に設けられた遮光膜の一辺の長さ)としては、遮光膜がより優れた本発明の効果を有する点で、0.001mm以上10mm以下が好ましく、0.05mm以上7mm以下がより好ましく、0.1mm以上3.5mm以下が更に好ましい。
The film thickness of the light-shielding film is not particularly limited, but the film thickness after drying is preferably 0.2 μm or more and 50 μm or less, and 0.3 μm or more and 10 μm or less, in that the light-shielding film has a more excellent effect of the present invention. Is more preferable, and 0.3 μm or more and 5 μm or less is further preferable. Since the curable composition has a high optical density per unit volume (because it has a high light-shielding property), it is possible to reduce the film thickness as compared with the conventional curable composition using a black pigment.
The size of the light-shielding film (the length of one side of the light-shielding film provided around the light receiving portion of the sensor) is preferably 0.001 mm or more and 10 mm or less in that the light-shielding film has a more excellent effect of the present invention. It is more preferably 05 mm or more and 7 mm or less, and further preferably 0.1 mm or more and 3.5 mm or less.

〔硬化膜の製造方法〕
次に、硬化膜(遮光膜)の製造方法について説明する。
以下、製造方法を工程ごとに詳述する。
[Manufacturing method of cured film]
Next, a method for producing a cured film (light-shielding film) will be described.
Hereinafter, the manufacturing method will be described in detail for each process.

硬化膜の製造方法は、以下の硬化性組成物層形成工程及び露光工程を含有する。硬化膜の製造方法は、更に現像工程を含有することが好ましい。
硬化性組成物層形成工程:支持体上に、硬化性組成物層を形成する工程。
露光工程:上記硬化性組成物層を、露光する工程。
現像工程:露光後の硬化性組成物層を現像してパターン状の硬化膜(遮光膜)を形成する工程。
The method for producing a cured film includes the following curable composition layer forming step and exposure step. The method for producing the cured film preferably further includes a developing step.
Curable composition layer forming step: A step of forming a curable composition layer on a support.
Exposure step: A step of exposing the curable composition layer.
Development step: A step of developing a curable composition layer after exposure to form a patterned cured film (light-shielding film).

具体的には、上記硬化性組成物を、直接又は他の層を介して基板上に塗布して、硬化性組成物層を形成し(硬化性組成物層形成工程)、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ(露光工程)、現像液で現像することによって(現像工程)、上記硬化膜を製造することができる。
以下、上記各工程について説明する。
Specifically, the curable composition is applied directly or via another layer onto the substrate to form a curable composition layer (curable composition layer forming step), and a predetermined mask pattern is formed. The cured film can be produced by exposing only the coated film portion irradiated with light (exposure step) and developing with a developing solution (development step).
Hereinafter, each of the above steps will be described.

<硬化性組成物層形成工程>
硬化性組成物層形成工程は、支持体(以下「基板」ともいう。)上に、硬化性組成物層を形成する工程である。なかでも、支持体上に、硬化性組成物を塗布して、硬化性組成物層を形成する塗布工程を含むことが好ましく、支持体上に硬化性組成物を直接塗布して、支持体上に硬化性組成物層を形成する塗布工程を含むことがより好ましい。
基板としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス、及びこれらに透明導電膜を付着させたもの、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板(例えば、シリコン基板等)、CCD(Charge Coupled Device)基板、並びに、CMOS(Complementary Metal−Oxide Semiconductor)基板等が挙げられる。
支持体は、上部の層との密着改良、物質の拡散防止又は基板表面の平坦化のために下塗り層を備えていてもよい(以下、「下塗り層付き支持体」ともいう。)。
<Curable composition layer forming step>
The curable composition layer forming step is a step of forming a curable composition layer on a support (hereinafter, also referred to as a “substrate”). Among them, it is preferable to include a coating step of applying the curable composition on the support to form a curable composition layer, and the curable composition is directly applied on the support to form the curable composition layer on the support. It is more preferable to include a coating step of forming a curable composition layer.
As the substrate, for example, non-alkali glass, soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, quartz glass used for liquid crystal display devices, etc., those having a transparent conductive film attached thereto, photoelectric used for a solid-state image sensor, etc. Examples thereof include a conversion element substrate (for example, a silicon substrate), a CCD (Charge Coupled Device) substrate, a CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor) substrate, and the like.
The support may be provided with an undercoat layer for improving adhesion with the upper layer, preventing diffusion of substances, or flattening the surface of the substrate (hereinafter, also referred to as “support with undercoat layer”).

基板上への硬化性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、及びスクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。 As a method for applying the curable composition onto the substrate, various coating methods such as slit coating, inkjet method, rotary coating, cast coating, roll coating, and screen printing method can be applied.

固体撮像素子用のブラックマトリクスを含有するカラーフィルタを製造する際には、硬化性組成物の塗布膜厚としては、解像性の観点から、0.35μm以上1.5μm以下が好ましく、0.40μm以上1.0μm以下がより好ましい。 When producing a color filter containing a black matrix for a solid-state image sensor, the coating film thickness of the curable composition is preferably 0.35 μm or more and 1.5 μm or less from the viewpoint of resolution. More preferably, it is 40 μm or more and 1.0 μm or less.

基板上に塗布された硬化性組成物は、通常、70℃以上110℃以下で2分間以上4分間以下程度の条件下で乾燥する。これにより、硬化性組成物層を形成できる。 The curable composition applied on the substrate is usually dried at 70 ° C. or higher and 110 ° C. or lower under the conditions of 2 minutes or more and 4 minutes or less. This makes it possible to form a curable composition layer.

<露光工程>
露光工程は、硬化性組成物層形成工程において形成された硬化性組成物層(塗布膜)を、マスクを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させる工程である。
露光は、活性光線又は放射線の照射により行うことが好ましく、特に、g線、h線、及びi線等の紫外線が好ましく、高圧水銀灯がより好ましい。露光量は特に制限されないが、使用する顔料の種類及び/又はマスクパターン形状により適宜選択できる。例えば、実施例に記載した黒色顔料を含有する硬化性組成物により形成した塗布膜に対しては、露光量の下限値は50mJ/cm以上が好ましく、80mJ/cm以上がより好ましい。露光量の上限値は、1,500mJ/cm以下が好ましく、500mJ/cm未満がより好ましい。露光量が80mJ/cm以上500mJ/cm未満であると、硬化膜(遮光膜)の製造方法は、より優れた安定性及び生産性を有する。
また、実施例に記載した有彩色顔料を含有する硬化性組成物により形成した塗布膜に対しては、露光量の下限値は50mJ/cm以上が好ましく、80mJ/cm以上がより好ましい。露光量の上限値は、1,500mJ/cm以下が好ましく、500mJ/cm未満がより好ましく、400mJ/cm未満が更に好ましく、300mJ/cm未満が特に好ましい。露光量が80〜300mJ/cm未満であると、硬化膜の製造方法は、より優れた安定性及び生産性を有する。
解像性向上の観点から固体撮像素子用の遮光膜形成では、i線ステッパーによる露光が好ましい。
<Exposure process>
The exposure step is a step of exposing the curable composition layer (coating film) formed in the curable composition layer forming step through a mask and curing only the light-irradiated coating film portion.
The exposure is preferably carried out by irradiation with active light rays or radiation, particularly ultraviolet rays such as g-rays, h-rays, and i-rays, and a high-pressure mercury lamp is more preferable. The amount of exposure is not particularly limited, but can be appropriately selected depending on the type of pigment used and / or the shape of the mask pattern. For example, for a coating film formed by the curable composition containing a black pigment described in Example, the lower limit of the amount of exposure is preferably 50 mJ / cm 2 or more, 80 mJ / cm 2 or more is more preferable. Upper limit of the amount of exposure is preferably 1,500 mJ / cm 2 or less, less than 500 mJ / cm 2 is more preferable. When the exposure amount is 80 mJ / cm 2 or more and less than 500 mJ / cm 2 , the method for producing a cured film (light-shielding film) has more excellent stability and productivity.
Further, with respect to the coating film formed by the curable composition containing a chromatic pigment as described in Example, the lower limit of the amount of exposure is preferably 50 mJ / cm 2 or more, 80 mJ / cm 2 or more is more preferable. Upper limit of the amount of exposure is preferably 1,500 mJ / cm 2 or less, more preferably less than 500 mJ / cm 2, still more preferably less than 400 mJ / cm 2, less than 300 mJ / cm 2 is particularly preferred. When the exposure amount is less than 80 to 300 mJ / cm 2 , the method for producing a cured film has better stability and productivity.
From the viewpoint of improving the resolution, exposure with an i-line stepper is preferable in forming a light-shielding film for a solid-state image sensor.

<現像工程>
現像工程は、露光された硬化性組成物層を現像する工程である。現像工程によって、パターン状の硬化膜を得ることができる。
上記硬化膜の製造方法は、現像工程と、下記の洗浄工程とを含有することが好ましい。現像工程においては、アルカリ現像処理(現像工程)を行い、露光工程における光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させる。これにより、光硬化した部分(光照射された塗布膜部分)だけが残る。
現像液としては、固体撮像素子用のブラックマトリクスを含有する遮光性カラーフィルタを作製する場合には、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が好ましい。現像温度は通常20〜30℃が好ましく、現像時間は20〜90秒が好ましい。
<Development process>
The developing step is a step of developing the exposed curable composition layer. A patterned cured film can be obtained by the developing process.
The method for producing the cured film preferably includes a developing step and the following cleaning step. In the developing step, an alkaline developing process (development step) is performed to elute the unirradiated portion in the exposure step into an alkaline aqueous solution. As a result, only the photocured portion (light-irradiated coating film portion) remains.
As the developing solution, when producing a light-shielding color filter containing a black matrix for a solid-state image sensor, an organic alkaline developing solution that does not cause damage to the underlying circuit or the like is preferable. The developing temperature is usually preferably 20 to 30 ° C., and the developing time is preferably 20 to 90 seconds.

アルカリ性の水溶液としては、例えば、無機系現像液及び有機系現像液が挙げられる。無機系現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、又はメタ硅酸ナトリウムを、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。有機系現像液としては、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、又は1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。アルカリ性水溶液には、例えばメタノール、及びエタノール等の水溶性有機溶剤及び/又は界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、現像方法としては、例えば、パドル現像方法及びシャワー現像方法などを用いることができる。 Examples of the alkaline aqueous solution include an inorganic developer and an organic developer. As the inorganic developer, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogencarbonate, sodium silicate, or sodium metasilicate has a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1. An alkaline aqueous solution dissolved so as to be by mass% can be mentioned. As the organic developing solution, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, or 1,8-diazabicyclo- [5.4.0]- Examples thereof include an alkaline aqueous solution in which an alkaline compound such as 7-undecene is dissolved so as to have a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol and ethanol and / or a surfactant can be added to the alkaline aqueous solution. As the developing method, for example, a paddle developing method and a shower developing method can be used.

<洗浄工程>
洗浄工程は、現像された硬化性組成物層を純水等によって洗浄(リンス)する工程である。洗浄方法としては特に制限されず、公知の洗浄方法を用いることができる。
<Washing process>
The cleaning step is a step of cleaning (rinsing) the developed curable composition layer with pure water or the like. The cleaning method is not particularly limited, and a known cleaning method can be used.

なお、上記硬化膜の製造方法は、上記現像工程の後に、硬化膜を加熱するポストベーク工程及び/又は硬化膜を全面露光する硬化工程を含有してもよい。 The method for producing the cured film may include a post-baking step of heating the cured film and / or a curing step of exposing the cured film to the entire surface after the developing step.

硬化膜(ブラックマトリクス)を含有するカラーフィルタは、CCDイメージセンサ及び/又はCMOSイメージセンサ等の固体撮像素子に好適である。特に100万画素を超えるような高解像度のCCDイメージセンサ及び/又はCMOSイメージセンサ等に好適である。すなわち、上記硬化膜を含有するカラーフィルタは、固体撮像素子に好適である。カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を含有してもよい。
上記硬化膜(ブラックマトリクス)は、例えば、CCDイメージセンサ及び/又はCMOSイメージセンサ等を構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置される。
A color filter containing a cured film (black matrix) is suitable for a solid-state image sensor such as a CCD image sensor and / or a CMOS image sensor. In particular, it is suitable for a high-resolution CCD image sensor and / or a CMOS image sensor having more than 1 million pixels. That is, the color filter containing the cured film is suitable for a solid-state image sensor. The color filter may include a structure in which a cured film forming each color pixel is embedded in a space partitioned by a partition wall, for example, in a grid pattern.
The cured film (black matrix) is arranged between, for example, a light receiving portion of each pixel constituting a CCD image sensor and / or a CMOS image sensor, and a microlens for condensing light.

[固体撮像素子]
固体撮像素子は、上記硬化膜(ブラックマトリクス)を含有する。固体撮像素子は、ブラックマトリクスを含有し、更に、必要により、他の色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜とを含有する、カラーフィルタを含有することが好ましい。
固体撮像素子は、上記ブラックマトリクスを含有し、固体撮像素子として機能すれば特に制限されず、例えば、基板上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサ、及びCMOSイメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる受光素子を含有し、基板の受光素子形成面の反対側の面に上記ブラックマトリクスを含有する固体撮像素子が挙げられる。
カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を含有する固体撮像素子の例としては、特開2012−227478号公報及び特開2014−179577号公報に記載の固体撮像素子が挙げられる。
[Solid image sensor]
The solid-state image sensor contains the cured film (black matrix). The solid-state image sensor preferably contains a color filter that contains a black matrix and, if necessary, a patterned film composed of pixels of other colors (3 or 4 colors).
The solid-state image sensor is not particularly limited as long as it contains the black matrix and functions as a solid-state image sensor. For example, a light-receiving area of a solid-state image sensor (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc.) is formed on a substrate. Examples thereof include a solid-state image pickup device containing a light receiving element made of a plurality of photodiodes, polysilicon and the like, and containing the black matrix on the surface opposite to the light receiving element forming surface of the substrate.
The color filter may have a structure in which a cured film forming each color pixel is embedded in a space partitioned by a partition wall, for example, in a grid pattern. In this case, the partition wall preferably has a low refractive index for each color pixel. Examples of the solid-state image pickup device containing such a structure include the solid-state image pickup devices described in JP-A-2012-227478 and JP-A-2014-179757.

[画像表示装置]
上記硬化膜は、画像表示装置(例えば液晶表示装置及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置等)に好適に用いることができる。
[Image display device]
The cured film can be suitably used for an image display device (for example, a liquid crystal display device, an organic electroluminescence display device, etc.).

画像表示装置の定義及び各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、及び「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載される。液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。上記硬化膜は、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている方式の液晶表示装置に好適である。 For details on the definition of image display devices and the details of each image display device, see, for example, "Electronic Display Device (Akio Sasaki, Kogyo Chosakai Co., Ltd., 1990)" and "Display Device (by Junaki Ibuki, Industrial Books). Co., Ltd. (issued in 1989) ”etc. The liquid crystal display device is described in, for example, "Next Generation Liquid Crystal Display Technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Chosakai Co., Ltd. in 1994)". The cured film is suitable, for example, for a liquid crystal display device of the type described in the above-mentioned "next-generation liquid crystal display technology".

上記硬化膜を含有する液晶表示装置の一態様としては、例えば、少なくとも1つが光透過性の1対の基板の間にカラーフィルタ、液晶層及び液晶駆動手段(単純マトリックス駆動方式、及びアクティブマトリックス駆動方式を含有する)を少なくとも含有する液晶表示装置が挙げられる。上記液晶表示装置は、複数の画素群を含有し、この画素群を構成する各画素が、互いに上記硬化膜(ブラックマトリクス)により離画されているカラーフィルタを含有する。 As one aspect of the liquid crystal display device containing the cured film, for example, a color filter, a liquid crystal layer, and a liquid crystal driving means (simple matrix driving method, and an active matrix driving method) are used between a pair of substrates whose at least one is light transmissive. A liquid crystal display device containing at least a method). The liquid crystal display device contains a plurality of pixel groups, and each pixel constituting the pixel group contains a color filter in which images are separated from each other by the cured film (black matrix).

液晶表示装置の別の態様としては、少なくとも1つが光透過性の1対の基板の間に、カラーフィルタ、液晶層及び液晶駆動手段を少なくも含有し、液晶駆動手段がアクティブ素子(例えばTFT(Thin Film Transistor))を含有し、かつ各アクティブ素子の間に上記硬化膜(ブラックマトリクス)を含有するカラーフィルタを含有する。 In another aspect of the liquid crystal display device, at least one is contained between a pair of light-transmitting substrates, a color filter, a liquid crystal layer and a liquid crystal driving means, and the liquid crystal driving means is an active element (for example, TFT (for example, TFT A color filter containing a Thin Film Transistor)) and containing the cured film (black matrix) between the active elements.

上記硬化膜を含有するカラーフィルタは、カラーTFT(Thin Film Transistor)方式の液晶表示装置に好適である。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。更に、上記カラーフィルタはIPS(In Plane Switching)などの横電界駆動方式;MVA(Multi−domain Vertical Alignment)などの画素分割方式;等の視野角が拡大された液晶表示装置、STN(Super−Twist Nematic)、TN(Twisted Nematic)、VA(Vertical Alignment)、OCS(on−chip spacer)、FFS(fringe field switching)、及び、R−OCB(Reflective Optically Compensated Bend)等にも好適である。 The color filter containing the cured film is suitable for a color TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal display device. A color TFT liquid crystal display device is described in, for example, "Color TFT liquid crystal display (published by Kyoritsu Publishing Co., Ltd. in 1996)". Further, the color filter is a liquid crystal display device having an enlarged viewing angle such as a transverse electric field drive method such as IPS (In Plane Switching); a pixel division method such as MVA (Multi-domine Vertical Element); STN (Super-Twist). Suitable for Nematic, TN (Twisted Nematic), VA (Vertical Alignment), OCS (on-chip spacer), FFS (fringe field switching), and R-OCB (Reflective Optical).

上記カラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color−filter On Array)方式の液晶表示装置に好適である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタに対する要求特性は、通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率及び剥離液耐性が必要とされることがある。上記カラーフィルタを含有するCOA方式の液晶表示装置は、より優れた解像度を有し、又はより優れた耐久性を有する。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を更に含有してもよい。 The color filter is suitable for a bright and high-definition COA (Color-filter On Array) type liquid crystal display device. In the COA type liquid crystal display device, the required characteristics for the color filter may be required for the interlayer insulating film, that is, low dielectric constant and resistance to the stripping liquid, in addition to the usual required characteristics. The COA type liquid crystal display device containing the above color filter has better resolution or better durability. In addition, in order to satisfy the required characteristics of low dielectric constant, a resin film may be further contained on the color filter layer.

これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。なお、上記において、ELとはElectroluminescence、PDPとはPlasma Display Panel、LCDとはliquid crystal displayの略を表す。 These image display methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD Display-Latest Trends in Technology and Market- (Toray Research Center Research Division, 2001)". In the above, EL stands for Electroluminescence, PDP stands for Plasma Display Panel, and LCD stands for liquid crystal display.

上記液晶表示装置は、上記カラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、及び、視野角保障フィルムなど様々な部材から構成される。上記カラーフィルタは、これらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については、例えば、「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、及び「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉(株)富士キメラ総研、2003年発行)」に記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)、及び/又は月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
In addition to the color filter, the liquid crystal display device is composed of various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The color filter can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. Regarding these materials, for example, "'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials / Chemicals Market (Kentaro Shima Co., Ltd., published in 1994)" and "2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2) (Omote Yoshikichi) Fuji Chimera Research Institute, Ltd., published in 2003) ”.
Regarding the backlight, SID meeting Digest 1380 (2005) (A.Konno et.al) and / or Monthly Display December 2005 issue, pages 18-24 (Yasuhiro Shima), 25-30 (Takaaki Yagi) It is described in.

上記硬化膜は、パーソナルコンピュータ、タブレット、携帯電話、スマートフォン及びデジタルカメラなどのポータブル機器;プリンタ複合機及びスキャナなどのOA(Office Automation)機器;監視カメラ、バーコードリーダ、及び現金自動預け払い機(ATM:automated teller machine)、ハイスピードカメラ及び顔画像認証を使用した本人認証などの産業用機器;車載用カメラ機器;内視鏡、カプセル内視鏡及びカテーテルなどの医療用カメラ機器;生体センサー、バイオセンサー、軍事偵察用カメラ、立体地図用カメラ、気象及び海洋観測カメラ、陸地資源探査カメラ、並びに、宇宙の天文及び深宇宙ターゲット用の探査カメラなどの宇宙用機器などに使用される光学フィルター及びモジュールの遮光部材及び遮光層、更には反射防止部材及び反射防止層に好適である。 The cured film is a portable device such as a personal computer, a tablet, a mobile phone, a smartphone and a digital camera; an OA (Office Automation) device such as a printer compound machine and a scanner; a surveillance camera, a bar code reader, and an automatic cash deposit / payment machine ( ATM: automated teller machine), industrial equipment such as personal authentication using high-speed cameras and face image authentication; in-vehicle camera equipment; medical camera equipment such as endoscopes, capsule endoscopes and catheters; biosensors, Optical filters used in biosensors, military reconnaissance cameras, stereoscopic map cameras, meteorological and oceanographic observation cameras, land resource exploration cameras, and space equipment such as exploration cameras for space astronomical and deep space targets. It is suitable for a light-shielding member and a light-shielding layer of a module, and further as an antireflection member and an antireflection layer.

上記硬化膜は、マイクロLED(Light Emitting Diode)及びマイクロOLED(Organic Light Emitting Diode)などの用途にも用いることができる。上記硬化膜は、マイクロLED及びマイクロOLEDに使用される光学フィルタ及び光学フィルムのほか、遮光機能又は反射防止機能を付与する部材に対して好適である。
マイクロLED及びマイクロOLEDの例としては、特表2015−500562号及び特表2014−533890に記載されたものが挙げられる。
The cured film can also be used for applications such as micro LEDs (Light Emitting Diodes) and micro OLEDs (Organic Light Emitting Diodes). The cured film is suitable for optical filters and optical films used for micro LEDs and micro OLEDs, as well as members for imparting a light shielding function or an antireflection function.
Examples of the micro LED and the micro OLED include those described in the special table 2015-500562 and the special table 2014-533890.

上記硬化膜は、量子ドットディスプレイに使用される光学及び光学フィルムとして好適である。また、上記硬化膜は、遮光機能及び反射防止機能を付与する部材として好適である。
量子ドットディスプレイの例としては、米国特許出願公開第2013/0335677号、米国特許出願公開第2014/0036536号、米国特許出願公開第2014/0036203号、及び、米国特許出願公開第2014/0035960号に記載されたものが挙げられる。
The cured film is suitable as an optical and optical film used in a quantum dot display. Further, the cured film is suitable as a member for imparting a light-shielding function and an antireflection function.
Examples of quantum dot displays include US Patent Application Publication No. 2013/0335677, US Patent Application Publication No. 2014/0036536, US Patent Application Publication No. 2014/0036203, and US Patent Application Publication No. 2014/0035960. The ones described are mentioned.

以下に実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されない。 The present invention will be described in more detail below based on examples. The materials, amounts used, ratios, treatment contents, treatment procedures, etc. shown in the following examples can be appropriately changed as long as they do not deviate from the gist of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not construed as limiting by the examples shown below.

[多官能チオール化合物S−15の合成]
以下の式で表される多官能チオール化合物S−15は、次の方法により合成した。

なお、上記式中、「Et」はエチル基(−CHCH)を表し、以下同様である。
[Synthesis of polyfunctional thiol compound S-15]
The polyfunctional thiol compound S-15 represented by the following formula was synthesized by the following method.

In the above formula, "Et" represents an ethyl group (-CH 2 CH 3 ), and the same applies hereinafter.

窒素雰囲気下、ペンタエリトリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)(TCI社製)(2.00g)と、アクリル酸(0.295g)とを、テトラヒドロフラン(THF)(10.0g)に溶解させた(得られた液を、以下「反応液」という。)。次に上記反応液の内温を5℃以下に冷却した。冷却後の反応液に、トリエチルアミン(0.450g)を添加した。その後、反応液の液温を50℃まで昇温した。昇温後、反応液を3時間攪拌した。攪拌後の反応液に対して、酢酸エチル(50g)と、1規定塩酸(50g)とを添加した。その後、反応液を水相と、有機相とに分液した。続いて、有機相を水(50g)で洗浄し、得られた有機相に硫酸ナトリウムを加えた後、有機相から固形物をろ別し、得られたろ液を減圧濃縮することで、S−15(2.01g)(収率87.6%)を得た。得られたS−15の構造は、H−NMR(nuclear magnetic resonance)により同定した。同定結果を以下に示す。Pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) (manufactured by TCI) (2.00 g) and acrylic acid (0.295 g) were dissolved in tetrahydrofuran (THF) (10.0 g) under a nitrogen atmosphere. (The obtained liquid is hereinafter referred to as "reaction liquid"). Next, the internal temperature of the reaction solution was cooled to 5 ° C. or lower. Triethylamine (0.450 g) was added to the reaction solution after cooling. Then, the temperature of the reaction solution was raised to 50 ° C. After the temperature was raised, the reaction solution was stirred for 3 hours. Ethyl acetate (50 g) and 1N hydrochloric acid (50 g) were added to the reaction solution after stirring. Then, the reaction solution was separated into an aqueous phase and an organic phase. Subsequently, the organic phase was washed with water (50 g), sodium sulfate was added to the obtained organic phase, the solid matter was filtered off from the organic phase, and the obtained filtrate was concentrated under reduced pressure. 15 (2.01 g) (yield 87.6%) was obtained. The structure of the obtained S-15 was identified by 1 H-NMR (nuclear magnetic resonance). The identification results are shown below.

H−NMR 300MHz 重クロロホルム):1.35(t、3H)、2.53(t、2H)、2.66−2.71(m、8H)、2.73−2.80(m、10H)、4.09(s、8H)。( 1 1 H-NMR 300 MHz deuterated chloroform): 1.35 (t, 3H), 2.53 (t, 2H), 2.66-2.71 (m, 8H), 2.73-2.80 (m) 10H), 4.09 (s, 8H).

[多官能チオール化合物S−16の合成]
以下の式で表される多官能チオール化合物S−16は、次の方法により合成した。
[Synthesis of polyfunctional thiol compound S-16]
The polyfunctional thiol compound S-16 represented by the following formula was synthesized by the following method.

窒素雰囲気下、ペンタエリトリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)(TCI社製)(2.00g)と、アクリル酸2−ヒドロキシエチル(0.475g)とを、テトラヒドロフラン(10.0g)に溶解させて、反応液を得た。次に上記反応液の内温を5℃以下に冷却した。冷却後の反応液に、トリエチルアミン(0.450g)を添加した。その後、反応液の液温を50℃まで昇温した。昇温後、反応液を3時間攪拌した。その後、反応液に対してヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン添加後の反応液の上澄み成分を除去した。上澄み成分除去後の反応液に対して、再度、ヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン再添加後の反応液の上澄み成分を除去した。その後、反応液に残留する溶媒を減圧留去を用いて除去し、S−16(2.01g)(収率88.8%)を得た。得られたS−16の構造は、H−NMRにより同定した。同定結果を以下に示す。Under a nitrogen atmosphere, pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) (manufactured by TCI) (2.00 g) and 2-hydroxyethyl acrylate (0.475 g) are dissolved in tetrahydrofuran (10.0 g). The reaction solution was obtained. Next, the internal temperature of the reaction solution was cooled to 5 ° C. or lower. Triethylamine (0.450 g) was added to the reaction solution after cooling. Then, the temperature of the reaction solution was raised to 50 ° C. After the temperature was raised, the reaction solution was stirred for 3 hours. Then, hexane (50 g) was added to the reaction solution, and the supernatant component of the reaction solution after the addition of hexane was removed. Hexane (50 g) was added again to the reaction solution after removing the supernatant component, and the supernatant component of the reaction solution after re-adding hexane was removed. Then, the solvent remaining in the reaction solution was removed by distillation under reduced pressure to obtain S-16 (2.01 g) (yield 88.8%). The structure of the obtained S-16 was identified by 1 1 H-NMR. The identification results are shown below.

H−NMR 300MHz 重クロロホルム):1.35(t、3H)、2.64−2.71(m、10H)、2.73−2.82(m、10H)、3.79−3.87(m、2H)、4.09(s、8H)、4.22−4.29(m、2H)。( 1 1 H-NMR 300 MHz deuterated chloroform): 1.35 (t, 3H), 2.64-2.71 (m, 10H), 2.73-2.82 (m, 10H), 3.79-3 .87 (m, 2H), 4.09 (s, 8H), 4.22-4.29 (m, 2H).

[多官能チオール化合物S−17の合成]
以下の式で表される多官能チオール化合物S−17は、次の方法により合成した。

なお、上記式において「Me」はメチル基(−CH)を意図し、以下同様である。
[Synthesis of polyfunctional thiol compound S-17]
The polyfunctional thiol compound S-17 represented by the following formula was synthesized by the following method.

In the above formula, "Me" means a methyl group (-CH 3 ), and the same applies hereinafter.

窒素雰囲気下、ペンタエリトリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)(TCI社製)(2.00g)と、アクリル酸2−(ジメチルアミノ)エチル(0.586g)とを、テトラヒドロフラン(10.0g)に溶解させて、反応液を得た。次に、上記反応液の内温を5℃以下に冷却した。冷却後の反応液に、トリエチルアミン(0.450g)を添加した。その後、反応液の液温を50℃まで昇温した。昇温後、反応液を3時間攪拌した。その後、反応液に対してヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン添加後の反応液の上澄み成分を除去した。上澄み成分除去後の反応液に対して、再度、ヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン再添加後の反応液の上澄み成分を除去した。その後、反応液に残留する溶媒を減圧留去を用いて除去し、S−17(2.15g)(収率83.1%)を得た。得られたS−17の構造は、H−NMRにより同定した。同定結果を以下に示す。Under a nitrogen atmosphere, pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) (manufactured by TCI) (2.00 g) and 2- (dimethylamino) ethyl acrylate (0.586 g) were added in tetrahydrofuran (10.0 g). The reaction solution was obtained. Next, the internal temperature of the reaction solution was cooled to 5 ° C. or lower. Triethylamine (0.450 g) was added to the reaction solution after cooling. Then, the temperature of the reaction solution was raised to 50 ° C. After the temperature was raised, the reaction solution was stirred for 3 hours. Then, hexane (50 g) was added to the reaction solution, and the supernatant component of the reaction solution after the addition of hexane was removed. Hexane (50 g) was added again to the reaction solution after removing the supernatant component, and the supernatant component of the reaction solution after re-adding hexane was removed. Then, the solvent remaining in the reaction solution was removed by distillation under reduced pressure to obtain S-17 (2.15 g) (yield 83.1%). The structure of the obtained S-17 was identified by 1 1 H-NMR. The identification results are shown below.

H−NMR 300MHz 重クロロホルム): 0.62−0.711(m、2H)、1.70−1.85(m、2H)、1.36(t、3H)、2.57(t、2H)、2.62−2.70(m、10H)、2.73−2.85(m、10H)、3.79−3.87(m、2H)、4.08(s、8H)、4.19(t、2H)。( 1 1 H-NMR 300 MHz deuterated chloroform): 0.62-0.711 (m, 2H), 1.70-1.85 (m, 2H), 1.36 (t, 3H), 2.57 (t). , 2H) 2.62-2.70 (m, 10H) 2.73-2.85 (m, 10H) 3.79-3.87 (m, 2H) 4.08 (s, 8H) ), 4.19 (t, 2H).

[多官能チオール化合物S−26の合成]
以下の式で表される多官能チオール化合物S−26は、次の方法により合成した。
[Synthesis of polyfunctional thiol compound S-26]
The polyfunctional thiol compound S-26 represented by the following formula was synthesized by the following method.

窒素雰囲気下、ペンタエリトリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)(TCI社製)(2.00g)と、アクリル酸3−(トリメトキシシリル)プロピル(1.92g)とを、テトラヒドロフラン(10.0g)に溶解させて、反応液を得た。次に、上記反応液の内温を5℃以下に冷却した。冷却後の反応液に、トリエチルアミン(0.450g)を添加した。その後、反応液の液温を50℃まで昇温した。昇温後、反応液を3時間攪拌した。その後、反応液に対してヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン添加後の反応液の上澄み成分を除去した。上澄み成分除去後の反応液に対して、再度、ヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン再添加後の反応液の上澄み成分を除去した。その後、反応液に残留する溶媒を減圧留去を用いて除去し、S−26(2.23g)(収率75.4%)を得た。得られたS−26の構造は、H−NMRにより同定した。同定結果を以下に示す。Under a nitrogen atmosphere, pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) (manufactured by TCI) (2.00 g) and 3- (trimethoxysilyl) propyl acrylate (1.92 g) were added in tetrahydrofuran (10.0 g). ) Was dissolved to obtain a reaction solution. Next, the internal temperature of the reaction solution was cooled to 5 ° C. or lower. Triethylamine (0.450 g) was added to the reaction solution after cooling. Then, the temperature of the reaction solution was raised to 50 ° C. After the temperature was raised, the reaction solution was stirred for 3 hours. Then, hexane (50 g) was added to the reaction solution, and the supernatant component of the reaction solution after the addition of hexane was removed. Hexane (50 g) was added again to the reaction solution after removing the supernatant component, and the supernatant component of the reaction solution after re-adding hexane was removed. Then, the solvent remaining in the reaction solution was removed by distillation under reduced pressure to obtain S-26 (2.23 g) (yield 75.4%). The structure of the obtained S-26 was identified by 1 1 H-NMR. The identification results are shown below.

H−NMR 300MHz 重クロロホルム):1.35(t、3H)、2.59(t、2H)、2.64−2.71(m、8H)、2.73−2.82(m、10H)、3.58(s、9H)、4.02−4.11(s、10H)。( 1 1 H-NMR 300 MHz deuterated chloroform): 1.35 (t, 3H), 2.59 (t, 2H), 2.64-2.71 (m, 8H), 2.73-2.82 (m) 10H), 3.58 (s, 9H), 4.02-4.11 (s, 10H).

[多官能チオール化合物S−8、20、22、24、25、64〜66、69、71、73〜75、88〜90、及び112〜114の合成]
原料を適宜変更した以外は上記と同様の方法により、多官能チオール化合物S−8、20、22、24、25、64〜66、69、71、73〜75、88〜90、及び112〜114を合成した。
なお、H−NMRで同定した各多官能チオール化合物の構造は、表1−1〜1−6に示したとおりである。
[Synthesis of Polyfunctional Thiol Compounds S-8, 20, 22, 24, 25, 64-66, 69, 71, 73-75, 88-90, and 112-114]
Polyfunctional thiol compounds S-8, 20, 22, 24, 25, 64-66, 69, 71, 73-75, 88-90, and 112-114 by the same method as above except that the raw materials were appropriately changed. Was synthesized.
The structure of each polyfunctional thiol compound identified by 1 1 H-NMR is as shown in Tables 1-1 to 1-6.

[実施例1〜23、及び比較例2、3の硬化性組成物の調製]
表2の各欄に示した多官能チオール化合物と、以下の各成分を混合して、実施例1〜23、及び比較例2、3の硬化性組成物を調製した。
[Preparation of curable compositions of Examples 1 to 23 and Comparative Examples 2 and 3]
The polyfunctional thiol compounds shown in each column of Table 2 and the following components were mixed to prepare curable compositions of Examples 1 to 23 and Comparative Examples 2 and 3.

<組成>
有機溶剤1(シクロヘキサノン)・・・17.12質量部
アルカリ可溶性樹脂1(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸(47/53[質量比])、30質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液、Mw=11,000)・・・1.23質量部
アルカリ可溶性樹脂2(アクリキュアーRD−F8(日本触媒製)) 0.23質量部重合性化合物(ラジカル重合性化合物、新中村化学工業(株)製、NKエステルA−DPH−12E)・・・1.96質量部
重合禁止剤(パラメトキシフェノール)・・・0.0007質量部
光重合開始剤(IRGACURE OXE02)・・・0.975質量部
多官能チオール化合物(下記表2に記載の多官能チオール化合物)・・・0.35質量部
フッ素系界面活性剤(DIC製、商品名:メガファックF−475、1質量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)・・・2.50質量部
有彩色着色剤1:染料溶液1(下記の方法で調製した染料溶液)・・・24.57質量部
有彩色着色剤2:顔料分散液P1(下記の方法で調製したC.I.Pigment Blue 15:6分散液、固形分濃度11.8質量%)・・・51.40質量部
<Composition>
Organic solvent 1 (cyclohexanone) ... 17.12 parts by mass Alkali-soluble resin 1 (benzyl methacrylate / methacrylic acid (47/53 [mass ratio]), 30% by mass propylene glycol monomethyl ether solution, Mw = 11,000) ... 1.23 parts by mass Alkali-soluble resin 2 (Acrycure RD-F8 (manufactured by Nippon Catalyst)) 0.23 parts by mass polymerizable compound (radical polymerizable compound, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., NK ester A) -DPH-12E) ... 1.96 parts by mass Polymer ban (paramethoxyphenol) ... 0.0007 parts by mass Photopolymerization initiator (IRGACURE OXE02) ... 0.975 parts by mass polyfunctional thiol compound Polyfunctional thiol compounds listed in Table 2 below) ... 0.35 parts by mass Fluorine-based surfactant (manufactured by DIC, trade name: Megafuck F-475, 1% by mass propylene glycol monomethyl ether acetate solution) ... 2.50 parts by mass chromatic colorant 1: Dye solution 1 (dye solution prepared by the following method) ... 24.57 parts by mass chromatic colorant 2: Pigment dispersion P1 (C prepared by the following method) .I. Pigment Blue 15: 6 dispersion, solid content concentration 11.8% by mass) ... 51.40 parts by mass

なお、表2中、T−1及びT−2は、以下の多官能チオール化合物(相互作用性基を有しない多官能チオール化合物)を示す。 In Table 2, T-1 and T-2 represent the following polyfunctional thiol compounds (polyfunctional thiol compounds having no interacting group).

〔染料溶液1の調製〕
染料溶液1は、下記の各成分を混合して調製した。
有機溶剤(シクロヘキサノン)・・・21.55質量部
染料(下記構造のA−1)・・・3.02質量部
[Preparation of dye solution 1]
The dye solution 1 was prepared by mixing the following components.
Organic solvent (cyclohexanone): 21.55 parts by mass Dye (A-1 having the following structure): 3.02 parts by mass

〔顔料分散液P1の調製〕
以下の手順で顔料分散液P1を調製した。
C.I.Pigment Blue15:6(青色顔料、以下、「PB15:6」とも称する)を19.4質量部(平均一次粒径55nm)、顔料分散剤DISPERBYK−161(固形分濃度30質量%、BYK製)を2.95質量部、アルカリ可溶性樹脂1(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸(47/53[質量比])、30質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液、Mw=11,000)を固形分換算で2.95質量部(溶液9.93質量部)、プロピレングリコールモノメチルエーテル165.3質量部からなる混合液を、ビーズミル(beads mill)(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合し、分散した。その後、更に、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー製)を用いて、2000kg/cmの圧力下で流量500g/分として分散処理を行った。この分散処理を10回繰り返し、顔料分散液P1である、C.I.Pigment Blue15:6分散液を得た。得られた顔料分散液P1について、顔料の平均一次粒径を動的光散乱法(Microtrac Nanotrac UPA−EX150(日機装社(Nikkiso Co.,ltd.製))により測定したところ、24nmであった。
[Preparation of pigment dispersion P1]
The pigment dispersion P1 was prepared by the following procedure.
C. I. Pigment Blue 15: 6 (blue pigment, hereinafter also referred to as "PB 15: 6") with 19.4 parts by mass (average primary particle size 55 nm), pigment dispersant DISPERBYK-161 (solid content concentration 30% by mass, manufactured by BYK). 2.95 parts by mass, alkali-soluble resin 1 (benzyl methacrylate / methacrylate (47/53 [mass ratio]), 30 mass% propylene glycol monomethyl ether solution, Mw = 11,000) is 2.95 in terms of solid content. A mixed solution consisting of parts by mass (9.93 parts by mass of the solution) and 165.3 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether was mixed for 3 hours with a beads mill (zirconia beads 0.3 mm diameter) and dispersed. Then, further, the dispersion treatment was carried out at a flow rate of 500 g / min under a pressure of 2000 kg / cm 3 using a high-pressure disperser NANO-3000-10 (manufactured by Nippon BEE) with a decompression mechanism. This dispersion treatment was repeated 10 times to obtain the pigment dispersion liquid P1. I. Pigment Blue 15: 6 dispersion was obtained. The average primary particle size of the pigment in the obtained pigment dispersion P1 was measured by a dynamic light scattering method (Microtrac Nanotrac UPA-EX150 (Nikkiso Co., Ltd.)) and found to be 24 nm.

[比較例1の硬化性組成物の調製]
多官能チオール化合物を添加しないこと以外は実施例1と同様方法で硬化性組成物を調製した。
[Preparation of curable composition of Comparative Example 1]
A curable composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyfunctional thiol compound was not added.

[性能評価]
各実施例、及び比較例の硬化性組成物について、下記の方法により露光感度を評価した。また、上記の硬化性組成物を用いて、ガラス基材上に下記の方法により形成したパターンのガラス基材への密着性について、下記の方法で評価した。評価結果をまとめて下記表2に示した。
[Performance evaluation]
The exposure sensitivity of each of the curable compositions of Examples and Comparative Examples was evaluated by the following method. Further, using the above curable composition, the adhesion of the pattern formed on the glass substrate by the following method to the glass substrate was evaluated by the following method. The evaluation results are summarized in Table 2 below.

〔露光感度〕
各実施例、及び比較例の硬化性組成物を、ガラス基材上にスピンコート塗布し、その後、乾燥して膜厚1.0μmの塗膜(硬化性組成物層)をガラス基材上に形成した。スピンコート条件は、300rpmで5秒間の後、800rpmで20秒間とし、乾燥条件は100℃で80秒間とした。次に、得られた塗膜(硬化性組成物層)を、線幅2.0μmのテスト用のフォトマスクを用い、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)により、10mJ/cm〜2,000mJ/cmの様々な露光量で露光して、硬化性組成物層をパターン状に硬化させた。次に、60質量%CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)現像液を使用して、露光後の硬化膜を、25℃、60秒間の条件で現像し、パターン状の硬化膜を得た。その後、得られたパターン状の硬化膜を流水で20秒間リンスした後、エアー乾燥した。
露光感度は、露光工程において光が照射された領域の現像後のパターン線幅が1μm以上となる最小の露光量により評価した。露光感度の値が小さいほど、硬化性組成物の露光感度は良好である。なお、露光感度としては、上記の試験条件下においては、実用上300mJ/cm未満が好ましい。結果は表2にまとめて示した。
[Exposure sensitivity]
The curable compositions of each Example and Comparative Example were spin-coated on a glass substrate, and then dried to apply a coating film (curable composition layer) having a film thickness of 1.0 μm on the glass substrate. Formed. The spin coating conditions were 300 rpm for 5 seconds, then 800 rpm for 20 seconds, and the drying conditions were 100 ° C. for 80 seconds. Next, the obtained coating film (curable composition layer) was subjected to a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) equipped with an ultra-high pressure mercury lamp using a test photomask having a line width of 2.0 μm. ) by, and exposed at various exposure amounts of 10mJ / cm 2 ~2,000mJ / cm 2 , to cure the curable composition layer in a pattern. Next, using a 60% by mass CD-2000 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) developer, the cured film after exposure was developed at 25 ° C. for 60 seconds to develop a patterned cured film. Got Then, the obtained patterned cured film was rinsed with running water for 20 seconds and then air-dried.
The exposure sensitivity was evaluated by the minimum exposure amount at which the pattern line width after development of the area irradiated with light in the exposure step was 1 μm or more. The smaller the exposure sensitivity value, the better the exposure sensitivity of the curable composition. The exposure sensitivity is preferably less than 300 mJ / cm 2 in practice under the above test conditions. The results are summarized in Table 2.

〔密着性〕
上記露光感度の試験で作製したパターン状の硬化膜において、パターン欠損が発生しているか否かをSEM(Scanning Electron Microscope)で観察し、下記基準に基づいて評価した。結果は表2にまとめて示した。
[Adhesion]
In the patterned cured film produced in the above exposure sensitivity test, whether or not pattern defects had occurred was observed by SEM (Scanning Electron Microscope) and evaluated based on the following criteria. The results are summarized in Table 2.

−評価基準−
A:パターン欠損がまったく観察されなかった。
B:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり1〜3個だった。
C:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり4個以上10個以下だった。
D:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり11個以上だった。
なお、評価「B」以上が実用範囲である。
-Evaluation criteria-
A: No pattern deficiency was observed.
B: There were 1 to 3 pattern defects per 1.0 μm square of the pattern.
C: The number of pattern defects was 4 or more and 10 or less per 1.0 μm square of the pattern.
D: There were 11 or more pattern defects per 1.0 μm square of the pattern.
The evaluation "B" or higher is the practical range.

表2に示した結果から、所定の多官能チオール化合物を含有する実施例1〜23の硬化性組成物(彩色着色剤を含有する硬化性組成物)は、優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有していた。
一方、多官能チオール化合物を含有しない比較例1の硬化性組成物では、上記効果が得られなかった。相互作用性基を有しない多官能チオール化合物を含有する比較例2及び比較例3の多官能チオール化合物では、上記効果が得られなかった。
式(2)で表される多官能チオール化合物のmが3以上である、実施例2、10、18、21の硬化性組成物は、実施例1の硬化性組成物と比較してより優れた露光感度を有していた。
実施例10の硬化性組成物は、m+nが等しく、かつm/nがより大きい実施例18の硬化性組成物と比較して、得られる硬化膜が支持体へのより優れた密着性を有していた。
チオール基とは異なる相互作用性基がカルボン酸基若しくはその塩、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、リン酸基若しくはその塩、スルホン酸基若しくはその塩、又は−Si(R(R3−pである、実施例2〜6、8及び9の硬化性組成物は、相互作用性基がフェニル基である実施例7と比較して、得られる硬化膜が支持体へのより優れた密着性を有していた。
From the results shown in Table 2, the curable compositions of Examples 1 to 23 (curable compositions containing a coloring colorant) containing a predetermined polyfunctional thiol compound have excellent exposure sensitivity and It had excellent adhesion to the support.
On the other hand, the curable composition of Comparative Example 1 containing no polyfunctional thiol compound did not have the above effect. The above effects were not obtained with the polyfunctional thiol compounds of Comparative Example 2 and Comparative Example 3 containing a polyfunctional thiol compound having no interacting group.
The curable compositions of Examples 2, 10, 18, and 21 in which m of the polyfunctional thiol compound represented by the formula (2) is 3 or more are more excellent than the curable compositions of Example 1. It had a high exposure sensitivity.
In the curable composition of Example 10, the resulting cured film has better adhesion to the support as compared to the curable composition of Example 18 having equal m + n and greater m / n. Was.
Different interactive group is a thiol group carboxylic acid group or a salt thereof, a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, or -Si (R X) p (R Y ) The curable compositions of Examples 2-6, 8 and 9 of 3-p have a cured film on the support as compared to Example 7 in which the interacting group is a phenyl group. It had better adhesion.

[実施例55及び56]
実施例1の硬化性組成物の調製において、多官能チオール化合物の含有量を0.35質量部から0.17質量部(実施例55)、及び0.70質量部(実施例56)に変更し、上記と同様に評価したところ、実施例1と同様の結果が得られた。
[Examples 55 and 56]
In the preparation of the curable composition of Example 1, the content of the polyfunctional thiol compound was changed from 0.35 parts by mass to 0.17 parts by mass (Example 55) and 0.70 parts by mass (Example 56). Then, when the evaluation was carried out in the same manner as described above, the same result as in Example 1 was obtained.

[実施例57及び58]
実施例1の硬化性組成物の調製において、重合性化合物の含有量を1.96質量部から、1.5質量部(実施例57)、及び3.0質量部(実施例58)に変更し、上記と同様に評価したところ、実施例1と同様の結果が得られた。
[Examples 57 and 58]
In the preparation of the curable composition of Example 1, the content of the polymerizable compound was changed from 1.96 parts by mass to 1.5 parts by mass (Example 57) and 3.0 parts by mass (Example 58). Then, when the evaluation was carried out in the same manner as described above, the same result as in Example 1 was obtained.

[実施例24〜54、59、及び比較例4〜6の硬化性組成物の調製]
表4の各欄に示した多官能チオール化合物と、各成分を表3に記載の組成で混合して、実施例24〜54、59、及び比較例5、6の硬化性組成物を調製した。多官能チオール化合物を加えなかったこと以外は実施例24と同様にして比較例4の硬化性組成物を調製した。
各硬化性組成物の最終的な固形分は、28質量%になるよう、有機溶剤で調整した。また、有機溶剤は、各硬化性組成物における質量比がPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)/酢酸ブチル/シクロヘキサノン=27/18/27になるよう、併用した。
[Preparation of curable compositions of Examples 24 to 54, 59 and Comparative Examples 4 to 6]
The polyfunctional thiol compounds shown in each column of Table 4 and each component were mixed with the compositions shown in Table 3 to prepare curable compositions of Examples 24 to 54, 59 and Comparative Examples 5 and 6. .. The curable composition of Comparative Example 4 was prepared in the same manner as in Example 24 except that the polyfunctional thiol compound was not added.
The final solid content of each curable composition was adjusted with an organic solvent so as to be 28% by mass. Further, the organic solvent was used in combination so that the mass ratio of each curable composition was PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) / butyl acetate / cyclohexanone = 27/18/27.

<着色剤>
以下の方法により各着色剤を作製した。
<Colorant>
Each colorant was prepared by the following method.

(チタン窒化物含有粒子(TiN−1))
まず、Ti粒子(TC−200、トーホーテック社製)をArガス中においてプラズマ処理することにより、Tiナノ粒子化した。プラズマ処理後のTiナノ粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、30℃の条件で24時間静置した。その後、O濃度が100ppmとなるようにAr雰囲気にOガスを導入した状態において30℃、24時間静置した(Ti粒子の前処理)。
その後、得られたTiナノ粒子をホソカワミクロン製TTSPセパレータを用いて収率10%となる条件で分級を行い、Ti粒子の粉末を得た。得られた粉末の一次粒子径は、TEM観察によって100個の粒子の平均粒子径を算術平均により求めたところ、120nmであった。
チタン窒化物含有粒子TiN−1は、国際公開第2010/147098の図1に記載の黒色複合微粒子製造装置に準ずる装置を用いて製造した。
具体的には、黒色複合微粒子製造装置において、プラズマトーチの高周波発振用コイルに、約4MHz及び約80kVAの高周波電圧を印加し、プラズマガス供給源からプラズマガスとしてアルゴンガス50L/min及び窒素50L/minの混合ガスを供給し、プラズマトーチ内にアルゴン−窒素熱プラズマ炎を発生させた。材料供給装置の噴霧ガス供給源から10L/minのキャリアガスを供給した。
上記のようにして得られたTi粒子に対して、Fe粉(JIP270M、JFEスチール社製)、及びSi粉(Silicon powder SI006031)を、それぞれの質量比がTi/Fe/Si=残分/0.05/0.05となるよう混合した。この混合物をキャリアガスであるアルゴンガスと共に、プラズマトーチ内の熱プラズマ炎中に供給し、熱プラズマ炎中で蒸発させ、気相状態で高度に分散させた。
また、気体供給装置によって、チャンバ内に供給する気体としては、窒素を使用した。このときのチャンバ内の流速は5m/secとして、供給量は1,000L/minとした。また、サイクロン内の圧力は50kPaとし、また、チャンバからサイクロンへの各原料の供給速度は、10m/s(平均値)とした。
このようにして、チタン窒化物含有粒子TiN−1を得た。
(Titanium Nitride-Containing Particles (TiN-1))
First, Ti particles (TC-200, manufactured by Toho Tech Co., Ltd.) were plasma-treated in Ar gas to form Ti nanoparticles. The Ti nanoparticles after plasma treatment, O 2 concentration 50ppm or less under an Ar gas atmosphere, and allowed to stand for 24 hours under conditions of 30 ° C.. Then, it was allowed to stand at 30 ° C. for 24 hours in a state where O 2 gas was introduced into an Ar atmosphere so that the O 2 concentration became 100 ppm (pretreatment of Ti particles).
Then, the obtained Ti nanoparticles were classified using a TTSP separator manufactured by Hosokawa Micron under the condition that the yield was 10% to obtain a powder of Ti particles. The primary particle size of the obtained powder was 120 nm when the average particle size of 100 particles was calculated by arithmetic mean by TEM observation.
The titanium nitride-containing particles TiN-1 were produced by using an apparatus similar to the black composite fine particle producing apparatus described in FIG. 1 of International Publication No. 2010/147098.
Specifically, in the black composite fine particle manufacturing apparatus, high-frequency voltages of about 4 MHz and about 80 kVA are applied to the high-frequency oscillation coil of the plasma torch, and argon gas 50 L / min and nitrogen 50 L / L / as plasma gas from the plasma gas supply source. A mixed gas of min was supplied to generate an argon-nitrogen thermal plasma flame in the plasma torch. 10 L / min of carrier gas was supplied from the spray gas supply source of the material supply device.
Fe powder (JIP270M, manufactured by JFE Steel) and Si powder (Silicon power SI006031) have a mass ratio of Ti / Fe / Si = residue / 0 with respect to the Ti particles obtained as described above. It was mixed to be 0.05 / 0.05. This mixture was supplied into a thermal plasma flame in a plasma torch together with argon gas as a carrier gas, evaporated in the thermal plasma flame, and highly dispersed in a vapor phase state.
Further, nitrogen was used as the gas supplied into the chamber by the gas supply device. At this time, the flow velocity in the chamber was 5 m / sec, and the supply amount was 1,000 L / min. The pressure inside the cyclone was 50 kPa, and the supply speed of each raw material from the chamber to the cyclone was 10 m / s (average value).
In this way, titanium nitride-containing particles TiN-1 were obtained.

得られたチタン窒化物含有粒子TiN−1について、ICP発光分光分析法によって、チタン(Ti)原子、鉄(Fe)原子及びケイ素(Si)原子の含有量を測定した。なお、ICP発光分光分析法には、セイコーインスツルメンツ社製のICP発光分光分析装置「SPS3000」(商品名)を用いた。
窒素原子の含有量は、堀場製作所製の酸素・窒素分析装置「EMGA−620W/C」(商品名)を用いて測定し、不活性ガス融解−熱伝導度法により算出した。上記の結果、チタン窒化物含有粒子TiNに含まれる各原子の質量比は、Ti/N/Fe/Si=57/34/0.0030/0.0020であった。
The contents of titanium (Ti) atom, iron (Fe) atom and silicon (Si) atom were measured for the obtained titanium nitride-containing particles TiN-1 by ICP emission spectroscopy. For the ICP emission spectroscopic analysis method, an ICP emission spectroscopic analyzer "SPS3000" (trade name) manufactured by Seiko Instruments was used.
The content of nitrogen atoms was measured using an oxygen / nitrogen analyzer "EMGA-620W / C" (trade name) manufactured by Horiba Seisakusho, and calculated by the inert gas melting-thermal conductivity method. As a result of the above, the mass ratio of each atom contained in the titanium nitride-containing particles TiN was Ti / N / Fe / Si = 57/34 / 0.0030 / 0.0020.

チタン窒化物含有粒子TiN−1のX線回折は、粉末試料をアルミ製標準試料ホルダーに詰め、広角X線回折法(理学電機社製、商品名「RU−200R」)により測定した。測定条件としては、X線源はCuKα線とし、出力は50kV/200mA、スリット系は1°−1°−0.15mm−0.45mm、測定ステップ(2θ)は0.02°、スキャン速度は2°/分とした。
そして、回折角2θ(42.6°)付近に観察されるTiN(200)面に由来するピークの回折角を測定した。更に、この(200)面に由来するピークの半値幅より、シェラーの式を用いて、粒子を構成する結晶子サイズを求めた。その結果、ピークの回折角は42.62°、結晶子サイズは10nmだった。なお、TiOに起因するX線回折ピークは全く見られなかった。
The X-ray diffraction of the titanium nitride-containing particles TiN-1 was measured by a wide-angle X-ray diffraction method (manufactured by Rigaku Denki Co., Ltd., trade name "RU-200R") in which a powder sample was packed in an aluminum standard sample holder. As the measurement conditions, the X-ray source is CuKα ray, the output is 50 kV / 200 mA, the slit system is 1 ° -1 ° -0.15 mm-0.45 mm, the measurement step (2θ) is 0.02 °, and the scan speed is It was set to 2 ° / min.
Then, the diffraction angle of the peak derived from the TiN (200) plane observed near the diffraction angle 2θ (42.6 °) was measured. Furthermore, from the half width of the peak derived from the (200) plane, the crystallite size constituting the particle was determined using Scheller's equation. As a result, the peak diffraction angle was 42.62 ° and the crystallite size was 10 nm. No X-ray diffraction peak due to TiO 2 was observed.

(チタン窒化物含有粒子TiN−2)
Ti粒子として、トーホーテック社製「TC−200」に代えて、シグマアルドリッチ社製「578347」を使用し、Fe粉、及びSi粉を、それぞれの質量比がTi/Fe/Si=残分/0.5/1となるよう混合した以外はTiN−1と同様にして、チタン窒化物含有粒子TiN−2を得た。
なお、X線回折により測定したピークの回折角は42.81°、結晶子サイズは12nmだった。
(Titanium Nitride-Containing Particles TiN-2)
As Ti particles, instead of "TC-200" manufactured by Toho Tech Co., Ltd., "578347" manufactured by Sigma-Aldrich Co., Ltd. is used, and the mass ratios of Fe powder and Si powder are Ti / Fe / Si = residue /. Titanium nitride-containing particles TiN-2 were obtained in the same manner as TiN-1 except that they were mixed so as to be 0.5 / 1.
The peak diffraction angle measured by X-ray diffraction was 42.81 °, and the crystallite size was 12 nm.

(チタン窒化物含有粒子TiN−3)
Fe粉、及びSi粉を、それぞれの質量比がTi/Fe/Si=残分/1/2となるよう混合した以外はTiN−1と同様にして、チタン窒化物含有粒子TiN−3を得た。
なお、X線回折により測定したピークの回折角は43.1°、結晶子サイズは12nmだった。
(Titanium Nitride-Containing Particles TiN-3)
Titanium nitride-containing particles TiN-3 were obtained in the same manner as TiN-1 except that Fe powder and Si powder were mixed so that their mass ratios were Ti / Fe / Si = residue / 1/2. It was.
The peak diffraction angle measured by X-ray diffraction was 43.1 °, and the crystallite size was 12 nm.

(チタンブラックA−1の作製)
平均粒径15nmの酸化チタンMT−150A(商品名、テイカ(株)製)を100g、BET(Brunauer,Emmett,Teller)比表面積300m/gのシリカ粒子AEROSIL300(登録商標)300/30(エボニック社製)を25g、及び、Disperbyk190(商品名、ビックケミー社製)を100g秤量し、これらをイオン電気交換水71gに加えて、混合物を得た。その後、KURABO製MAZERSTAR KK−400Wを使用して、公転回転数1,360rpm、自転回転数1,047rpmにて混合物を30分間処理することにより均一な混合物水溶液を得た。この混合物水溶液を石英容器に充填し、小型ロータリーキルン(株式会社モトヤマ製)を用いて酸素雰囲気中で920℃に加熱した。その後、小型ロータリーキルン内を窒素で置換し、同温度でアンモニアガスを100mL/minで5時間流すことにより窒化還元処理を実施した。終了後回収した粉末を乳鉢で粉砕し、Si原子を含み、粉末状の比表面積73m2/gのチタンブラック〔チタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体〕を得た(以下では、「チタンブラックA−1」と表記する)。
(Production of Titanium Black A-1)
100 g of titanium oxide MT-150A (trade name, manufactured by TAYCA CORPORATION) with an average particle size of 15 nm, and silica particles with a BET (Brunauer, Emmett, Teller) specific surface area of 300 m 2 / g AEROSIL300 (registered trademark) 300/30 (Ebonic) Weighed 25 g of (manufactured by BIC) and 100 g of Disperbyk190 (trade name, manufactured by Big Chemie), and added these to 71 g of ion-electrically exchanged water to obtain a mixture. Then, using MAZERSTAR KK-400W manufactured by KURABO, the mixture was treated at a revolution speed of 1,360 rpm and a rotation speed of 1,047 rpm for 30 minutes to obtain a uniform aqueous mixture solution. The aqueous mixture solution was filled in a quartz container and heated to 920 ° C. in an oxygen atmosphere using a small rotary kiln (manufactured by Motoyama Co., Ltd.). Then, the inside of the small rotary kiln was replaced with nitrogen, and the nitriding reduction treatment was carried out by flowing ammonia gas at 100 mL / min at the same temperature for 5 hours. After completion, the recovered powder was pulverized in a mortar to obtain a powdery titanium black [titanium black particles and a dispersion containing Si atoms] having a specific surface area of 73 m 2 / g containing Si atoms (hereinafter, "titanium"). Black A-1 ").

(Fe原子を含有する窒化ニオブ含有粒子(NbN)の作製)
以下の方法によりFe原子を含有する窒化ニオブ含有粒子を作製した。
まず、三津和化学薬品製ニオブ(粉末)<100−325mesh>を原料(以下、「金属原料粉末」ともいう。)として準備した。
次に、上記金属原料粉末を、Arガス中においてプラズマ処理することにより、Nbナノ粒子化した。上記プラズマ処理の条件は、下記のプラズマ処理(1)に従った。
(Preparation of Niobium Nitride-Containing Particles (NbN) Containing Fe Atoms)
Niobium nitride-containing particles containing Fe atoms were prepared by the following method.
First, niobium (powder) <100-325 mesh> manufactured by Mitsuwa Chemical Co., Ltd. was prepared as a raw material (hereinafter, also referred to as "metal raw material powder").
Next, the metal raw material powder was plasma-treated in Ar gas to form Nb nanoparticles. The conditions for the plasma treatment were in accordance with the following plasma treatment (1).

・プラズマ処理(1)
プラズマ処理(1)は以下の方法により行った。上記の黒色複合微粒子製造装置に準ずる装置を用い、以下の条件によりプラズマ処理(1)した。
・高周波発振用コイルに印加した高周波電圧:周波数 約4MHz、電圧 約80kVA
・プラズマガス:アルゴンガス(供給量 100L/min)
・キャリアガス:アルゴンガス(供給量 10L/min)
・チャンバ内雰囲気:アルゴンガス(供給量 1,000l/min、チャンバ内流速 5m/sec)
・サイクロン内雰囲気:アルゴンガス、内圧 50kPa
・チャンバからサイクロンへの材料供給速度:10m/s(平均値)
・ Plasma processing (1)
The plasma treatment (1) was carried out by the following method. Plasma treatment (1) was carried out under the following conditions using an apparatus similar to the above-mentioned black composite fine particle production apparatus.
-High frequency voltage applied to the high frequency oscillation coil: frequency approx. 4 MHz, voltage approx. 80 kVA
-Plasma gas: Argon gas (supply amount 100 L / min)
-Carrier gas: Argon gas (supply amount 10 L / min)
・ Chamber atmosphere: Argon gas (supply amount 1,000 l / min, flow velocity in chamber 5 m / sec)
・ Cyclone atmosphere: Argon gas, internal pressure 50 kPa
-Material supply speed from the chamber to the cyclone: 10 m / s (average value)

次に、Fe粉(JIP270M、JFEスチール社製)を準備し、プラズマ処理(1)の条件によりプラズマ処理を行い、Feナノ粒子化した。 Next, Fe powder (JIP270M, manufactured by JFE Steel) was prepared and subjected to plasma treatment under the conditions of plasma treatment (1) to form Fe nanoparticles.

次に、上記により得られたNbナノ粒子、及びFeナノ粒子を混合し、原料金属粉末を得た。この原料金属粉末について、窒素ガス中においてプラズマ処理することにより、窒化ニオブ含有粒子を得た。上記プラズマ処理の条件は、下記のプラズマ処理(2)に従った。 Next, the Nb nanoparticles and Fe nanoparticles obtained above were mixed to obtain a raw metal powder. Niobium nitride-containing particles were obtained by plasma-treating this raw material metal powder in nitrogen gas. The conditions for the plasma treatment were in accordance with the following plasma treatment (2).

・プラズマ処理(2)
プラズマ処理(2)は以下の方法により行った。なお、装置はプラズマ処理(1)と同様のものを用いた。
・高周波発振用コイルに印加した高周波電圧:周波数 約4MHz、電圧 約80kVA
・プラズマガス:アルゴンガス及び窒素ガス(供給量 それぞれ50L/min)
・キャリアガス:窒素ガス(供給量 10L/min)
・チャンバ内雰囲気:窒素ガス(供給量 1,000L/min、チャンバ内流速 5m/sec)
・サイクロン内雰囲気:窒素ガス、内圧 50kPa
・チャンバからサイクロンへの材料供給速度:10m/s(平均値)
・ Plasma processing (2)
The plasma treatment (2) was carried out by the following method. The apparatus used was the same as that of the plasma treatment (1).
-High frequency voltage applied to the high frequency oscillation coil: frequency approx. 4 MHz, voltage approx. 80 kVA
-Plasma gas: Argon gas and nitrogen gas (supply amount 50 L / min each)
-Carrier gas: Nitrogen gas (supply amount 10 L / min)
・ Chamber atmosphere: Nitrogen gas (supply amount 1,000 L / min, flow velocity in chamber 5 m / sec)
・ Cyclone atmosphere: Nitrogen gas, internal pressure 50 kPa
-Material supply speed from the chamber to the cyclone: 10 m / s (average value)

プラズマ処理(2)終了後の粒子を、Arガスを用いて日本シンテック社製分流型湿度供給装置SRHにより大気中であれば相対湿度95%となる条件で20℃の窒素ガスを導入し、24時間静置した。その後、得られた粒子をホソカワミクロン製TTSPセパレータを用いて収率10%となる条件で分級を行い、窒化ニオブ含有粒子(NbN)を得た。なお、セパレータへは窒素ガスを供給した。
得られた窒化ニオブ含有粒子について、ICP発光分光分析法によって、鉄(Fe)原子の含有量を測定したところ、50質量ppmだった。
After the plasma treatment (2) is completed, Nitrogen gas at 20 ° C. is introduced into the particles using Ar gas using Ar gas using a split flow type humidity supply device SRH manufactured by Nippon Shintec Co., Ltd. under the condition that the relative humidity is 95% in the atmosphere. It was left for a while. Then, the obtained particles were classified using a TTSP separator manufactured by Hosokawa Micron under the condition that the yield was 10% to obtain niobium nitride-containing particles (NbN). Nitrogen gas was supplied to the separator.
When the content of iron (Fe) atoms was measured for the obtained niobium nitride-containing particles by ICP emission spectroscopy, it was 50 mass ppm.

(Fe原子を含有する窒化バナジウム含有粒子(VN)の作製)
Fe原子を含有する窒化ニオブ含有粒子の作製において、三津和化学薬品製ニオブ(粉末)<100−325mesh>に代えて太陽鉱工製金属バナジウム粉末VHOを用いたこと以外は同様にして、Fe原子を含有する窒化バナジウム含有粒子(VN)を作製した。得られた窒化バナジウム含有粒子について、ICP発光分光分析法によって、鉄(Fe)原子の含有量を測定したところ、50質量ppmだった。
(Preparation of vanadium nitride-containing particles (VN) containing Fe atoms)
In the production of niobium nitride-containing particles containing Fe atoms, the Fe atoms were similarly prepared except that the metal vanadium powder VHO manufactured by Taiyo Mining Co., Ltd. was used instead of niobium (powder) <100-325 mesh> manufactured by Mitsuwa Chemicals. Vanadium nitride-containing particles (VN) containing the above were prepared. The content of iron (Fe) atoms of the obtained vanadium nitride-containing particles was measured by ICP emission spectroscopy and found to be 50 mass ppm.

<分散剤>
分散剤として、以下の構造の分散剤Aを用いた。各構造単位に記載の数値は、全構造単位に対する、各構造単位の質量%を意図する。
<Dispersant>
As the dispersant, dispersant A having the following structure was used. The numerical value described in each structural unit is intended to be the mass% of each structural unit with respect to all structural units.

・分散剤A
・ Dispersant A

<バインダー樹脂>
バインダー樹脂としては、以下の樹脂Aを用いた。各構造単位に記載の数値は、全構造単位に対する、各構造単位のモル%を意図する。なお、樹脂Aの式中、各略号は以下を表す。
BzMA:メタクリル酸ベンジル
MMA:メタクリル酸メチル
<Binder resin>
The following resin A was used as the binder resin. The values given for each structural unit are intended to be mol% of each structural unit relative to all structural units. In the formula of resin A, each abbreviation represents the following.
BzMA: Benzyl methacrylate MMA: Methyl methacrylate

・樹脂A
・ Resin A

<重合性化合物>
・重合性化合物M1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬社製、商品名「KAYARAD」、下記式参照)

・重合性化合物M2:PET−30(ペンタエリスリトールトリアクリレート、日本化薬社製)
<Polymerizable compound>
-Polymerizable compound M1: Dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name "KAYARAD", refer to the following formula)

-Polymerizable compound M2: PET-30 (pentaerythritol triacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

<光重合開始剤>
・OXE−01:Irgacure OXE01(商品名、BASFジャパン社製、オキシム化合物に該当する。)
<Photopolymerization initiator>
OXE-01: Irgacure OXE01 (trade name, manufactured by BASF Japan, which corresponds to an oxime compound)

・OXE−02:Irgacure OXE02(商品名、BASFジャパン社製、オキシム化合物に該当する。)
OXE-02: Irgacure OXE02 (trade name, manufactured by BASF Japan, which corresponds to an oxime compound)

・PI−3:下記の構造を有する光重合開始剤(オキシム化合物に該当する。) -PI-3: Photopolymerization initiator having the following structure (corresponding to an oxime compound)

・NCI−831(商品名、ADEKA社製、オキシム化合物に該当する。)
-NCI-831 (trade name, manufactured by ADEKA, corresponding to oxime compounds)

・IRG−379:IRGACURE 379EG(商品名、BASFジャパン社製、オキシム化合物には該当しない。)
-IRG-379: IRGACURE 379EG (trade name, manufactured by BASF Japan, not applicable to oxime compounds)

<界面活性剤>
・F−1:下記式で表される化合物(重量平均分子量(Mw)=15,311)
ただし、下記式において、式(A)及び(B)で表される構造単位はそれぞれ62モル%、38モル%である。式(B)で表される構造単位中、a、b、cは、それぞれ、a+c=14、b=17の関係を満たす。
<Surfactant>
F-1: Compound represented by the following formula (weight average molecular weight (Mw) = 15,311)
However, in the following formula, the structural units represented by the formulas (A) and (B) are 62 mol% and 38 mol%, respectively. In the structural unit represented by the formula (B), a, b, and c satisfy the relations of a + c = 14 and b = 17, respectively.

<有機溶剤>
・PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・シクロペンタノン
・酢酸ブチル
<Organic solvent>
-PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclopentanone, butyl acetate

〔着色剤分散液の調製〕
まず、着色剤、分散剤及び有機溶剤を、攪拌機(IKA社製EUROSTAR)によって15分間混合し、上記成分の混合液を得た。次に、得られた混合液に対して、シンマルエンタープライゼス製のNPM−Pilotを使用して下記条件にて分散処理を行い、着色剤分散液を得た。
[Preparation of colorant dispersion]
First, the colorant, the dispersant and the organic solvent were mixed with a stirrer (Eurostar manufactured by IKA) for 15 minutes to obtain a mixed solution of the above components. Next, the obtained mixed solution was subjected to a dispersion treatment using NPM-Pilot manufactured by Simul Enterprises under the following conditions to obtain a colorant dispersion.

<分散条件>
・ビーズ径:φ0.05mm、(ニッカトー製ジルコニアビーズ、YTZ)
・ビーズ充填率:65体積%
・ミル周速:10m/sec
・セパレータ周速:13m/s
・分散処理する混合液量:15kg
・循環流量(ポンプ供給量):90kg/hour
・処理液温度:19〜21℃
・冷却水:水
・処理時間:22時間程度
<Dispersion condition>
-Bead diameter: φ0.05 mm, (Nikkato zirconia beads, YTZ)
-Bead filling rate: 65% by volume
・ Mill peripheral speed: 10 m / sec
・ Separator peripheral speed: 13 m / s
・ Amount of mixed liquid to be dispersed: 15 kg
・ Circulation flow rate (pump supply amount): 90 kg / hour
-Treatment liquid temperature: 19 to 21 ° C
・ Cooling water: Water ・ Treatment time: About 22 hours

[性能評価]
〔露光感度〕
表面をSiO処理したSi基板上に、各硬化性組成物を用いて、膜厚1.5μmの硬化膜が得られるように回転数を調整して、スピンコートにより塗膜(硬化性組成物層)を形成した。形成した塗膜を、ホットプレート上で100℃、2分間の熱処理(プリベーク)により乾燥させた。上記プリベーク後の塗膜(硬化性組成物層)付き基板に対してi線ステッパー(キヤノン製FPA3000i5+)を用い、長さ200μm×幅20μmラインパターンが形成されたフォトマスクを通して、上記塗膜を露光した。露光後の塗膜を、東京エレクトロン製コーターデベロッパーACT8により、現像液として水酸化テトラメチルアンモニウムを用いて、30秒間パドル現像をした。現像後は純水により20秒間シャワーリンス処理を行った。現像後パターンが剥がれずに維持された最低露光量を露光感度として評価した。なお、露光感度としては、上記の試験条件下においては、実用上500mJ/cm未満が好ましい。結果は表4にまとめて示した。
[Performance evaluation]
[Exposure sensitivity]
Using each curable composition on a Si substrate whose surface is treated with SiO 2 , the rotation speed is adjusted so that a cured film having a film thickness of 1.5 μm can be obtained, and a coating film (curable composition) is applied by spin coating. Layer) was formed. The formed coating film was dried on a hot plate by heat treatment (pre-baking) at 100 ° C. for 2 minutes. Using an i-line stepper (FPA3000i5 + manufactured by Canon) on the substrate with the coating film (curable composition layer) after prebaking, the coating film is exposed through a photomask in which a line pattern of 200 μm in length × 20 μm in width is formed. did. The coating film after exposure was paddle-developed for 30 seconds by a coater developer ACT8 manufactured by Tokyo Electron Limited using tetramethylammonium hydroxide as a developing solution. After the development, a shower rinse treatment was performed with pure water for 20 seconds. The minimum exposure amount at which the pattern was maintained without peeling after development was evaluated as the exposure sensitivity. The exposure sensitivity is preferably less than 500 mJ / cm 2 in practice under the above test conditions. The results are summarized in Table 4.

〔密着性〕
上記露光感度の試験で作製したパターン状の硬化膜において、パターン欠損が発生しているか否かをSEM(Scanning Electron Microscope)で観察し、下記基準に基づいて評価した。結果は表4にまとめて示した。
[Adhesion]
In the patterned cured film produced in the above exposure sensitivity test, whether or not pattern defects had occurred was observed by SEM (Scanning Electron Microscope) and evaluated based on the following criteria. The results are summarized in Table 4.

−評価基準−
A:パターン欠損がまったく観察されなかった。
B:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり1〜3個だった。
C:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり4個以上10個以下だった。
D:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり11個以上だった。
なお、評価「B」以上が実用範囲である。
-Evaluation criteria-
A: No pattern deficiency was observed.
B: There were 1 to 3 pattern defects per 1.0 μm square of the pattern.
C: The number of pattern defects was 4 or more and 10 or less per 1.0 μm square of the pattern.
D: There were 11 or more pattern defects per 1.0 μm square of the pattern.
The evaluation "B" or higher is the practical range.

〔パターン形状〕
上記露光感度の評価において作製した、パターン状の硬化膜をポストベーク(温度:220℃、時間:300秒)した。ポストベーク後の硬化膜のパターン形状を測長SEM(Scanning Electron Microscope)により測定した。具体的には、ラインパターン端部の膜厚と中央部の膜厚を測定し、比(パターン端部の膜厚/中央部の膜厚)を計算し、以下の基準により評価した。なお、評価「2」以上が実用範囲である。
・7:比が0.98超1.00以下であり、SEMによる観察でパターン中央部と端部の膜厚に差は見られない。
・6:比が、0.96超0.98以下であり、パターン中央部と端部の膜厚にわずかに差がみられる。
・5:比が、0.94超0.96以下であり、パターン中央部と端部の膜厚に差がみられる。
・4:比が0.92超0.94以下であり、端部の膜厚が薄く、わずかに歪んでいるが実用上問題ないレベル。
・3:比が0.90超0.92以下であり、端部の膜厚が薄く、歪んでいるが実用上問題ないレベル。
・2:比が0.80超0.90以下であり、端部の膜厚が薄いが、実用は可能なレベル。
・1:比が0.80以下であり、端部の膜厚が薄く、許容外。
[Pattern shape]
The patterned cured film prepared in the evaluation of the exposure sensitivity was post-baked (temperature: 220 ° C., time: 300 seconds). The pattern shape of the cured film after post-baking was measured by a length measuring SEM (Scanning Electron Microscope). Specifically, the film thickness at the end of the line pattern and the film thickness at the center were measured, the ratio (film thickness at the end of the pattern / film thickness at the center) was calculated, and the evaluation was made according to the following criteria. The evaluation "2" or higher is the practical range.
7: The ratio is more than 0.98 and 1.00 or less, and there is no difference in the film thickness between the central portion and the edge portion of the pattern when observed by SEM.
-6: The ratio is more than 0.96 and 0.98 or less, and there is a slight difference in the film thickness between the central portion and the edge portion of the pattern.
5: The ratio is more than 0.94 and 0.96 or less, and there is a difference in the film thickness between the central portion and the end portion of the pattern.
-4: The ratio is more than 0.92 and 0.94 or less, the film thickness at the end is thin, and it is slightly distorted, but there is no problem in practical use.
-3: The ratio is more than 0.90 and 0.92 or less, and the film thickness at the end is thin and distorted, but there is no problem in practical use.
-2: The ratio is more than 0.80 and 0.90 or less, and the film thickness at the end is thin, but it is a practical level.
-1: The ratio is 0.80 or less, the film thickness at the end is thin, and it is unacceptable.

〔現像性〕
上記露光感度の評価において作製した、パターン状の硬化膜において、露光した際、フォトマスクにより遮蔽されて、光が照射されなかった領域(未露光部)における残渣の有無をSEM(倍率:20,000倍)にて観察し、現像性を評価した。評価基準は以下の通りであり、結果は表4にまとめて示した。
[Developability]
In the patterned cured film prepared in the above evaluation of exposure sensitivity, the presence or absence of residue in the region (unexposed portion) that was shielded by the photomask and was not irradiated with light when exposed was SEM (magnification: 20, The developability was evaluated by observing at 000 times). The evaluation criteria are as follows, and the results are summarized in Table 4.

−評価基準−
A:未露光部には、残渣が全く観察されない
B:未露光部1.0μm四方に残渣が1個以上3個以下観察された。
C:未露光部1.0μm四方に残渣が4個以上、10個以下観察された
D:未露光部1.0μm四方に残渣が11個以上観察された。
実用上「C」以上が好ましく、「A」及び「B」は優れた性能を有すると評価する。
-Evaluation criteria-
A: No residue was observed in the unexposed portion B: One or more and three or less residues were observed in the unexposed portion 1.0 μm square.
C: 4 or more and 10 or less residues were observed in the unexposed portion 1.0 μm square D: 11 or more residues were observed in the unexposed portion 1.0 μm square.
Practically, "C" or higher is preferable, and "A" and "B" are evaluated to have excellent performance.

表4に示した結果から、所定の多官能チオール化合物を含有する実施例24〜54、及び、59の硬化性組成物(黒色顔料を含有する硬化性組成物)は、優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有していた。
一方、多官能チオール化合物を含有しない比較例4の硬化性組成物は、上記効果を有していなかった。相互作用性基を有しない多官能チオール化合物を含有する比較例5及び比較例6の多官能チオール化合物は、上記効果を有していなかった。
式(2)で表される多官能チオール化合物のmが3以上である、実施例25〜54、及び、59の硬化性組成物は、実施例24の硬化性組成物と比較して、より優れた露光感度を有していた。
チオール基とは異なる相互作用性基がヒドロキシ基(実施例26)、アミノ基(実施例27)、又はピリジニル基(実施例31)である硬化性組成物は、チオール基とは異なる相互作用性基がフェニル基(実施例30)、又はSi基(実施例32)である、硬化性組成物と比較してより優れた現像性を有していた。
チオール基とは異なる相互作用性基が、カルボン酸基(実施例25)、リン酸基(実施例28)、又はスルホン酸基(実施例29)である硬化性組成物は、チオール基とは異なる相互作用性基がヒドロキシ基(実施例26)、アミノ基(実施例27)、又はピリジニル基(実施例31)である硬化性組成物と比較して、更に優れた現像性を有していた。これは、チオール基とは異なる相互作用性基の違いに起因する未露光部の溶解性の違いによるものと推測される。
実施例33の硬化性組成物は、m+nが等しく、かつm/nがより大きい実施例41の硬化性組成物と比較して、より優れたパターン形状を有しており、かつ支持体へのより優れた密着性を有していた。
光重合開始剤がオキシム化合物である実施例33、47、48、49、及び、50の硬化性組成物は、実施例59の硬化性組成物と比較して、より優れた露光感度を有していた。
From the results shown in Table 4, the curable compositions of Examples 24 to 54 and 59 (curable compositions containing a black pigment) containing a predetermined polyfunctional thiol compound have excellent exposure sensitivity. However, it had excellent adhesion to the support.
On the other hand, the curable composition of Comparative Example 4 containing no polyfunctional thiol compound did not have the above effect. The polyfunctional thiol compounds of Comparative Examples 5 and 6 containing a polyfunctional thiol compound having no interacting group did not have the above effects.
The curable compositions of Examples 25 to 54 and 59 in which m of the polyfunctional thiol compound represented by the formula (2) is 3 or more are more curable than those of Example 24. It had excellent exposure sensitivity.
A curable composition in which the interacting group different from the thiol group is a hydroxy group (Example 26), an amino group (Example 27), or a pyridinyl group (Example 31) has a different interacting property from the thiol group. It had better developability as compared with a curable composition in which the group was a phenyl group (Example 30) or a Si group (Example 32).
A curable composition in which the interacting group different from the thiol group is a carboxylic acid group (Example 25), a phosphoric acid group (Example 28), or a sulfonic acid group (Example 29) is different from the thiol group. It has even better developability as compared to curable compositions in which the different interacting groups are hydroxy groups (Example 26), amino groups (Example 27), or pyridinyl groups (Example 31). It was. It is presumed that this is due to the difference in solubility of the unexposed portion due to the difference in the interacting group different from the thiol group.
The curable composition of Example 33 has a better pattern shape and to the support as compared to the curable composition of Example 41 having equal m + n and greater m / n. It had better adhesion.
The curable compositions of Examples 33, 47, 48, 49, and 50 in which the photopolymerization initiator is an oxime compound have better exposure sensitivity as compared with the curable composition of Example 59. Was there.

なお、表4中、上矢印は、直上の欄と同一であることを意味し、「−」は硬化性組成物がその成分を含有しないことを意味する。 In Table 4, the up arrow means that it is the same as the column directly above, and "-" means that the curable composition does not contain the component.

重合性化合物M1に代えて、重合性化合物M2を用いた以外は、実施例33と同様にして硬化性組成物を作製し、評価を行ったところ、実施例33と同様の結果が得られた。 A curable composition was prepared and evaluated in the same manner as in Example 33 except that the polymerizable compound M2 was used instead of the polymerizable compound M1, and the same results as in Example 33 were obtained. ..

重合性化合物M1に代えて、重合性化合物M1及びM2の混合物(混合物におけるM1及びM2の含有質量比は、M1の含有質量:M2の含有質量=1:1であり、硬化性組成物全体に対する上記混合物の含有量は、実施例33における重合性化合物M1の含有量と同様である。)を用いた以外は、実施例33と同様にして硬化性組成物を作製し、評価を行ったところ、実施例33と同様の結果が得られた。 Instead of the polymerizable compound M1, a mixture of the polymerizable compounds M1 and M2 (the content mass ratio of M1 and M2 in the mixture is M1 content mass: M2 content mass = 1: 1 with respect to the entire curable composition. The content of the mixture is the same as the content of the polymerizable compound M1 in Example 33), but a curable composition was prepared in the same manner as in Example 33 and evaluated. , The same result as in Example 33 was obtained.

[カーボンブラック分散物(CB分散液)の調製及び硬化性組成物の評価]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をカーボンブラック(商品名「カラーブラック S170」、デグサ社製、平均一次粒子径17nm、BET比表面積200m2/g、ガスブラック方式により製造されたカーボンブラック)とした以外は同様の方法により、カーボンブラック分散物(CB分散液)を得た。
[Preparation of carbon black dispersion (CB dispersion) and evaluation of curable composition]
In the preparation of the above colorant dispersion, the colorant was carbon black (trade name "Color Black S170", manufactured by Degussa, average primary particle diameter 17 nm, BET specific surface area 200 m 2 / g, carbon produced by the gas black method. A carbon black dispersion (CB dispersion) was obtained by the same method except that it was black).

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、チタン窒化物含有粒子TiN−1を含有する着色剤分散液と上記CB分散液との混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1:硬化性組成物中のカーボンブラック=45:13(質量比)、上記硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1とカーボンブラックとの合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られることが分かった。 In the preparation of the curable composition of Example 33, the titanium nitride-containing particles TiN were replaced with the colorant dispersion liquid to which the titanium nitride-containing particles TiN-1 were added so as to contain 58% by mass in the curable composition. A mixture of the colorant dispersion liquid containing -1 and the above CB dispersion liquid (titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition: carbon black in the curable composition = 45: 13 (mass ratio), A curable composition was prepared in the same manner except that the total content of the titanium nitride-containing particles TiN-1 and carbon black in the curable composition was 58% by mass), and the curable composition was used. And evaluated. As a result of the evaluation, it was found that the same evaluation as in Example 33 (including exposure sensitivity and adhesion) can be obtained.

[有彩色顔料分散物(PY分散液)の調製と硬化性組成物の評価]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をピグメントイエロー150(Hangzhou Star-up Pigment Co., Ltd.製、商品名6150顔料黄5GN)とした以外は同様の方法により、有彩色顔料分散物(PY分散液)を得た。
[Preparation of chromatic pigment dispersion (PY dispersion) and evaluation of curable composition]
In the preparation of the above colorant dispersion, the chromatic pigment dispersion was prepared by the same method except that the colorant was Pigment Yellow 150 (manufactured by Hangzhou Star-up Pigment Co., Ltd., trade name 6150 Pigment Yellow 5GN). (PY dispersion liquid) was obtained.

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、チタン窒化物含有粒子TiN−1を含有する着色剤分散液と上記PY分散液との混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1:硬化性組成中のピグメントイエロー150=45:13(質量比)、硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1とピグメントイエロー150との合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られた。なお、硬化膜としては、更に黒味の濃い膜となった。 In the preparation of the curable composition of Example 33, the titanium nitride-containing particles TiN were replaced with the colorant dispersion liquid to which the titanium nitride-containing particles TiN-1 were added so as to contain 58% by mass in the curable composition. A mixture of the colorant dispersion liquid containing -1 and the PY dispersion liquid (titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition: pigment yellow 150 = 45: 13 (mass ratio) in the curable composition, A curable composition was prepared in the same manner except that the total content of the titanium nitride-containing particles TiN-1 and Pigment Yellow 150 in the curable composition was 58% by mass), and the curable composition was used. And evaluated. As a result of the evaluation, the same evaluation as in Example 33 (including exposure sensitivity and adhesion) was obtained. The cured film was a darker black film.

[有彩色顔料分散物(PR分散液)の調製]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をC.I.Pigment Red 254(チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製)とした以外は同様の方法により、有彩色顔料分散物(PR分散液)を得た。
[Preparation of chromatic pigment dispersion (PR dispersion)]
In the preparation of the above colorant dispersion, the colorant was used as C.I. I. A chromatic pigment dispersion (PR dispersion) was obtained by the same method except that Pigment Red 254 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) was used.

[有彩色顔料分散物(PB分散液)の調製]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をC.I.Pigment Blue 15:6(DIC株式会社製)とした以外は同様の方法により、有彩色顔料分散物(PB分散液)を得た。
[Preparation of chromatic pigment dispersion (PB dispersion)]
In the preparation of the above colorant dispersion, the colorant was used as C.I. I. A chromatic pigment dispersion (PB dispersion) was obtained by the same method except that Pigment Blue 15: 6 (manufactured by DIC Corporation) was used.

[有彩色顔料分散物(PV分散液)の調製]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をC.I.Pigment Violet 23(クラリアント社製)とした以外は同様の方法により、有彩色顔料分散物(PV分散液)を得た。
[Preparation of chromatic pigment dispersion (PV dispersion)]
In the preparation of the above colorant dispersion, the colorant was used as C.I. I. A chromatic pigment dispersion (PV dispersion) was obtained by the same method except that Pigment Violet 23 (manufactured by Clariant AG) was used.

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、上記のチタン窒化物含有粒子TiN−1、PY、PR、PB、及びPV分散液の混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、PY、PR、PB、及びPVの比;チタン窒化物含有粒子TiN−1:PY:PR:PB:PV=70:17:37:36:10(質量比)、硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、PY、PR、PB、及びPVの合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られ、更に、赤外領域の遮光性が優れる膜が得られることが分かった。 In the preparation of the curable composition of Example 33, the above-mentioned titanium nitride-containing particles were contained instead of the colorant dispersion liquid to which the titanium nitride-containing particles TiN-1 were added so as to contain 58% by mass in the curable composition. Mixture of particles TiN-1, PY, PR, PB, and PV dispersion (ratio of titanium nitride-containing particles TiN-1, PY, PR, PB, and PV in the curable composition; titanium nitride-containing particles TiN -1: PY: PR: PB: PV = 70: 17: 37: 36: 10 (mass ratio), total of titanium nitride-containing particles TiN-1, PY, PR, PB, and PV in the curable composition. A curable composition was prepared in the same manner except that the content was 58% by mass), and evaluation was performed using this. As a result of the evaluation, it was found that the same evaluation as in Example 33 (including exposure sensitivity and adhesion) was obtained, and a film having excellent light-shielding property in the infrared region could be obtained.

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、上記のチタン窒化物含有粒子TiN−1と以下に示す化合物SQ−23との混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、及び化合物SQ−23の比;チタン窒化物含有粒子TiN−1:化合物SQ−23=50:8(質量比)、硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、及び化合物SQ−23の合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られ、更に、赤外領域の遮光性が優れる膜が得られることが分かった。 In the preparation of the curable composition of Example 33, the above-mentioned titanium nitride-containing particles were contained instead of the colorant dispersion liquid to which the titanium nitride-containing particles TiN-1 were added so as to contain 58% by mass in the curable composition. Mixture of particles TiN-1 and compound SQ-23 shown below (ratio of titanium nitride-containing particles TiN-1 and compound SQ-23 in the curable composition; titanium nitride-containing particles TiN-1: compound SQ The same applies except that -23 = 50: 8 (mass ratio), the total content of the titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition, and the compound SQ-23 is 58% by mass). A curable composition was prepared and evaluated using it. As a result of the evaluation, it was found that the same evaluation as in Example 33 (including exposure sensitivity and adhesion) was obtained, and a film having excellent light-shielding property in the infrared region could be obtained.

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、上記のチタン窒化物含有粒子TiN−1と下記化合物A−52との混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、及び化合物A−52の比;チタン窒化物含有粒子TiN−1:化合物A−52=50:8(質量比)、硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、及び化合物A−52との合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られ、更に、赤外領域の遮光性が優れる膜が得られることが分かった。 In the preparation of the curable composition of Example 33, the above-mentioned titanium nitride-containing particles were contained instead of the colorant dispersion liquid to which the titanium nitride-containing particles TiN-1 were added so as to contain 58% by mass in the curable composition. Mixture of particles TiN-1 and the following compound A-52 (ratio of titanium nitride-containing particles TiN-1 and compound A-52 in the curable composition; titanium nitride-containing particles TiN-1: compound A-52 = 50: 8 (mass ratio), the total content of the titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition, and compound A-52 is 58% by mass). A curable composition was prepared and used for evaluation. As a result of the evaluation, it was found that the same evaluation as in Example 33 (including exposure sensitivity and adhesion) was obtained, and a film having excellent light-shielding property in the infrared region could be obtained.

・化合物SQ−23
-Compound SQ-23

・化合物A−52(なお、下記式においてPhはフェニル基を表す。)
-Compound A-52 (Note that Ph represents a phenyl group in the following formula)

実施例1において、界面活性剤F−1を用いなかった他は同様にして評価を行った。評価の結果、実施例1と同様の結果が得られることが分かった。
In Example 1, the evaluation was carried out in the same manner except that the surfactant F-1 was not used. As a result of the evaluation, it was found that the same result as in Example 1 was obtained.

Claims (22)

多官能チオール化合物と、重合性化合物と、ラジカル反応を開始可能な光重合開始剤と、着色剤とを含有する硬化性組成物であって、
前記着色剤の含有量が、全固形分に対して50質量%以上であり、
前記多官能チオール化合物が、式(2)で表される化合物である、硬化性組成物。

式中、 は炭素数1以上の2価の連結基を表し、mは2〜14の整数を表し、nは1〜15の整数を表し、Mは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−N(R)−、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、又は−CH=N−を表し、Rは1価の有機基を表し、Lはm+n価の連結基を表し、Rはヒドロキシル基、NR 、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、無置換アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種を表す。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表し、R は1価の有機基を表す。
は2価の無置換脂肪族炭化水素基、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−CH=N−、−N(R)−、又は、これらと、下記に示す連結基群から選択される基を組み合わせた基を表し、Rはアルキル基を表す。
連結基群:2価の無置換脂肪族炭化水素基、−O−、−S−、−N(R )−、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O) −、−S(=O) −O−、−CH=N−、及び、これらを組み合わせた基
前記連結基群中のR は1価の有機基を表す。
なお、R、及び、Rは、互いに、同一でも、異なってもよく、n個のR、m個のR、n個のR、n個のR、m個のM、及び、n個のMは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
ただし、nに対するmの値(m/n)は、2〜5である。
A curable composition containing a polyfunctional thiol compound, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator capable of initiating a radical reaction, and a colorant.
The content of the colorant is 50% by mass or more with respect to the total solid content.
A curable composition in which the polyfunctional thiol compound is a compound represented by the formula (2).

In the formula, R 2 represents a divalent linking group having 1 or more carbon atoms, m represents an integer of 2 to 14, n represents an integer of 1 to 15, and M 1 represents an independent single bond. -O-, -S-, -N (R 4 )-, -C (= O)-, -C (= O) -O-, -OC (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -OC (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O-, -S (= O) 2-, -S (= O) ) 2- O- or −CH = N−, R 4 represents a monovalent organic group, L 3 represents an m + n valent linking group, R 1 is a hydroxyl group, NR a R a , pyridinyl. group, pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, an unsubstituted aryl group, -Si (R X) p ( R Y) 3- Represents at least one selected from the group consisting of p and − (OR A ) q −R Z.
Incidentally, p is an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolyzable group, R Y represents a monovalent organic group excluding a hydrolyzable group, p number of R X, and 3-p number of R Y are each be the same or different. Also, R Z is a hydrogen atom, an alkyl group, or, an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, R A is table an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, R a is a monovalent organic Represents a group.
R 3 is a divalent unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, -C (= O)-, -C (= O) -O-, -OC (= O) -O-, -C (= O). -NH-, -CH = N-, -N (R)-, or a group obtained by combining these with a group selected from the linking group group shown below, and R represents an alkyl group.
Linkage group: Divalent unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, -O-, -S-, -N (R 4 )-, -C (= O)-, -C (= O) -O-,- OC (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -OC (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O- , -S (= O) 2 - , - S (= O) 2 -O -, - CH = N-, and combinations of these groups
R 4 in the linking group group represents a monovalent organic group.
Note that R 2 and R 3 may be the same or different from each other, and n R 1 , m R 2 , n R 2 , n R 3 , and m M 1. and, n number of M 1, respectively, be the same or different.
However, the value of m (m / n) with respect to n is 2 to 5.
前記mが3〜14の整数である、請求項1に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 1, wherein m is an integer of 3 to 14. 多官能チオール化合物と、重合性化合物と、ラジカル反応を開始可能な光重合開始剤と、着色剤とを含有する硬化性組成物であって、
前記着色剤の含有量が、全固形分に対して50質量%以上であり、
前記多官能チオール化合物が、式(2)で表される化合物である、硬化性組成物。

式中、 は炭素数1以上の2価の連結基を表し、mは3〜14の整数を表し、nは1〜15の整数を表し、Mは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−N(R)−、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、又は−CH=N−を表し、Rは1価の有機基を表し、Lはm+n価の連結基を表し、Rはヒドロキシル基、NR 、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、無置換アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種を表す。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表し、R は1価の有機基を表す。
は2価の無置換脂肪族炭化水素基、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−CH=N−、−N(R)−、又は、これらと、下記に示す連結基群から選択される基を組み合わせた基を表し、Rはアルキル基を表す。
連結基群:2価の無置換脂肪族炭化水素基、−O−、−S−、−N(R )−、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O) −、−S(=O) −O−、−CH=N−、及び、これらを組み合わせた基
前記連結基群中のR は1価の有機基を表す。
なお、R、及び、Rは、互いに、同一でも、異なってもよく、n個のR、m個のR、n個のR、n個のR、m個のM、及び、n個のMは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
A curable composition containing a polyfunctional thiol compound, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator capable of initiating a radical reaction, and a colorant.
The content of the colorant is 50% by mass or more with respect to the total solid content.
A curable composition in which the polyfunctional thiol compound is a compound represented by the formula (2).

In the formula, R 2 represents a divalent linking group having 1 or more carbon atoms, m represents an integer of 3 to 14, n represents an integer of 1 to 15, and M 1 represents an independent single bond. -O-, -S-, -N (R 4 )-, -C (= O)-, -C (= O) -O-, -OC (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -OC (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O-, -S (= O) 2-, -S (= O) ) 2- O- or −CH = N−, R 4 represents a monovalent organic group, L 3 represents an m + n valent linking group, R 1 is a hydroxyl group, NR a R a , pyridinyl. group, pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, an unsubstituted aryl group, -Si (R X) p ( R Y) 3- Represents at least one selected from the group consisting of p and − (OR A ) q −R Z.
Incidentally, p is an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolyzable group, R Y represents a monovalent organic group excluding a hydrolyzable group, p number of R X, and 3-p number of R Y are each be the same or different. Also, R Z is a hydrogen atom, an alkyl group, or, an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, R A is table an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, R a is a monovalent organic Represents a group.
R 3 is a divalent unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, -C (= O)-, -C (= O) -O-, -OC (= O) -O-, -C (= O). -NH-, -CH = N-, -N (R)-, or a group obtained by combining these with a group selected from the linking group group shown below, and R represents an alkyl group.
Linkage group: Divalent unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, -O-, -S-, -N (R 4 )-, -C (= O)-, -C (= O) -O-,- OC (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -OC (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O- , -S (= O) 2 - , - S (= O) 2 -O -, - CH = N-, and combinations of these groups
R 4 in the linking group group represents a monovalent organic group.
Note that R 2 and R 3 may be the same or different from each other, and n R 1 , m R 2 , n R 2 , n R 3 , and m M 1. and, n number of M 1, respectively, be the same or different.
多官能チオール化合物と、重合性化合物と、ラジカル反応を開始可能な光重合開始剤と、着色剤とを含有する硬化性組成物であって、
前記着色剤の含有量が、全固形分に対して50質量%以上であり、
前記多官能チオール化合物が、式(2)で表される化合物である、硬化性組成物。

式中、 は炭素数1以上の2価の連結基を表し、mは2〜14の整数を表し、nは1〜15の整数を表し、Mは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−N(R)−、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、又は−CH=N−を表し、Rは1価の有機基を表し、Lはm+n価の連結基を表し、Rはヒドロキシル基、NR 、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、無置換アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種を表す。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表し、R は1価の有機基を表す。
は2価の無置換脂肪族炭化水素基、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−CH=N−、−N(R)−、又は、これらと、下記に示す連結基群から選択される基を組み合わせた基を表し、Rはアルキル基を表す。
連結基群:2価の無置換脂肪族炭化水素基、−O−、−S−、−N(R )−、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O) −、−S(=O) −O−、−CH=N−、及び、これらを組み合わせた基
前記連結基群中のR は1価の有機基を表す。
なお、R、及び、Rは、互いに、同一でも、異なってもよく、n個のR、m個のR、n個のR、n個のR、m個のM、及び、n個のMは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
A curable composition containing a polyfunctional thiol compound, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator capable of initiating a radical reaction, and a colorant.
The content of the colorant is 50% by mass or more with respect to the total solid content.
A curable composition in which the polyfunctional thiol compound is a compound represented by the formula (2).

In the formula, R 2 represents a divalent linking group having 1 or more carbon atoms, m represents an integer of 2 to 14, n represents an integer of 1 to 15, and M 1 represents an independent single bond. -O-, -S-, -N (R 4 )-, -C (= O)-, -C (= O) -O-, -OC (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -OC (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O-, -S (= O) 2-, -S (= O) ) 2- O- or −CH = N−, R 4 represents a monovalent organic group, L 3 represents an m + n valent linking group, R 1 is a hydroxyl group, NR a R a , pyridinyl. group, pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, an unsubstituted aryl group, -Si (R X) p ( R Y) 3- Represents at least one selected from the group consisting of p and − (OR A ) q −R Z.
Incidentally, p is an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolyzable group, R Y represents a monovalent organic group excluding a hydrolyzable group, p number of R X, and 3-p number of R Y are each be the same or different. Also, R Z is a hydrogen atom, an alkyl group, or, an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, R A is table an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, R a is a monovalent organic Represents a group.
R 3 is a divalent unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, -C (= O)-, -C (= O) -O-, -OC (= O) -O-, -C (= O). -NH-, -CH = N-, -N (R)-, or a group obtained by combining these with a group selected from the linking group group shown below, and R represents an alkyl group.
Linkage group: Divalent unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, -O-, -S-, -N (R 4 )-, -C (= O)-, -C (= O) -O-,- OC (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -OC (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O- , -S (= O) 2 - , - S (= O) 2 -O -, - CH = N-, and combinations of these groups
R 4 in the linking group group represents a monovalent organic group.
Note that R 2 and R 3 may be the same or different from each other, and n R 1 , m R 2 , n R 2 , n R 3 , and m M 1. and, n number of M 1, respectively, be the same or different.
前記mが3〜14の整数である、請求項4に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 4, wherein m is an integer of 3 to 14. 前記着色剤が黒色顔料を含有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the colorant contains a black pigment. 前記黒色顔料が、チタンブラック及び酸窒化ニオブからなる群から選択される少なくとも1種を含有する、請求項6に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to claim 6, wherein the black pigment contains at least one selected from the group consisting of titanium black and niobium nitride. 前記黒色顔料が、チタンブラックを含有し、
前記チタンブラックが、低次酸化チタン、酸窒化チタン、及び、窒化チタンからなる群から選択される少なくとも1種である、請求項6に記載の硬化性組成物。
The black pigment contains titanium black and
The curable composition according to claim 6, wherein the titanium black is at least one selected from the group consisting of low-order titanium oxide, titanium oxynitride, and titanium nitride.
前記着色剤が、酸窒化チタン、酸窒化ニオブ、酸窒化バナジウム、並びに、Nb、V、Co、Cr、Cu、Mn、Ru、Fe、Ni、Sn、Ti、及びAgからなる群より選ばれる1種又は2種以上の金属元素を含む金属酸化物及び金属窒素物、からなる群から選択される少なくとも1種を含有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The colorant is selected from the group consisting of titanium oxynitride, niobium oxynitride, vanadium oxynitride, and Nb, V, Co, Cr, Cu, Mn, Ru, Fe, Ni, Sn, Ti, and Ag. The curable composition according to any one of claims 1 to 6, which contains at least one selected from the group consisting of a seed or a metal oxide containing two or more kinds of metal elements and a metal nitrogen product. 前記Rが、N −、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、無置換アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種を表す、請求項1〜9のいずれか一項に記載の硬化性組成物。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表し、 1価の有機基を表す。
Wherein R 1 is, N R a R a -, pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, an unsubstituted aryl group, -Si (R X) p The curable composition according to any one of claims 1 to 9, which represents at least one selected from the group consisting of ( RY ) 3-p and-(OR A ) q- R Z.
Incidentally, p is an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolyzable group, R Y represents a monovalent organic group excluding a hydrolyzable group, p number of R X, and 3-p number of R Y are each be the same or different. Further, R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, RA represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, and Ra represents a monovalent organic group. Represents.
前記Rが、ヒドロキシル基、NR 、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の硬化性組成物。
なお、R は1価の有機基を表す。
The group in which R 1 is composed of a hydroxyl group, an NR a R a , a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group or a salt thereof. The curable composition according to any one of claims 1 to 9, which is at least one selected from.
Incidentally, R a represents a monovalent organic group.
前記Rが、ヒドロキシル基、NR 、ピリジニル基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及び、スルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の硬化性組成物。
なお、R は1価の有機基を表す。
The R 1 is at least one selected from the group consisting of a hydroxyl group, an NR a R a , a pyridinyl group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group or a salt thereof. The curable composition according to any one of claims 1 to 9.
Incidentally, R a represents a monovalent organic group.
前記光重合開始剤がオキシム化合物である請求項1〜12のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 12, wherein the photopolymerization initiator is an oxime compound. 更に分散剤を含有し、
前記分散剤が、ポリエステル構造を含有するグラフト鎖を含有する構造単位を含有する高分子化合物である、請求項1〜13のいずれか一項に記載の硬化性組成物。
Further contains a dispersant,
The curable composition according to any one of claims 1 to 13, wherein the dispersant is a polymer compound containing a structural unit containing a graft chain containing a polyester structure.
請求項1〜14のいずれか一項に記載の硬化性組成物を硬化して得られる、硬化膜。 A cured film obtained by curing the curable composition according to any one of claims 1 to 14. 請求項15に記載の硬化膜を含有する、カラーフィルタ。 A color filter containing the cured film according to claim 15. 請求項15に記載の硬化膜を含有する、遮光膜。 A light-shielding film containing the cured film according to claim 15. 請求項15に記載の硬化膜を含有する、固体撮像素子。 A solid-state imaging device containing the cured film according to claim 15. 請求項15に記載の硬化膜を含有する、画像表示装置。 An image display device containing the cured film according to claim 15. 請求項1〜14のいずれか一項に記載の硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成する、硬化性組成物層形成工程と、
前記硬化性組成物層を露光する、露光工程とを含有する硬化膜の製造方法。
A curable composition layer forming step of forming a curable composition layer on a support using the curable composition according to any one of claims 1 to 14.
A method for producing a cured film, which comprises an exposure step of exposing the curable composition layer.
前記硬化性組成物層形成工程が、前記支持体上に前記硬化性組成物を塗布して、前記支持体上に前記硬化性組成物層を形成する工程を含む、請求項20に記載の硬化膜の製造方法。 The curing according to claim 20, wherein the curing composition layer forming step includes a step of applying the curable composition on the support to form the curable composition layer on the support. Method of manufacturing a membrane. 更に、露光された前記硬化性組成物層を現像する、現像工程と、
現像した前記硬化性組成物層を洗浄する、洗浄工程とを含有する、請求項20又は21に記載の硬化膜の製造方法。
Further, a developing step of developing the exposed curable composition layer, and
The method for producing a cured film according to claim 20 or 21, which comprises a washing step of washing the developed curable composition layer.
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