JPWO2017221620A1 - Curable composition, cured film, color filter, light shielding film, solid-state imaging device, image display device, method of producing cured film, and polyfunctional thiol compound - Google Patents

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Abstract

優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有する硬化膜を得ることができる、硬化性組成物、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法、及び、多官能チオール化合物を提供する。硬化性組成物は、多官能チオール化合物と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有し、多官能チオール化合物が、2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する。A curable composition, a cured film, a color filter, a light shielding film, a solid-state imaging device, an image display device, and a cured film having excellent exposure sensitivity and capable of obtaining a cured film having excellent adhesion to a support. A method of producing a membrane, and a multifunctional thiol compound are provided. The curable composition contains a polyfunctional thiol compound, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator, and the polyfunctional thiol compound has two or more thiol groups and an interactive group different from the thiol group. Contains

Description

本発明は、硬化性組成物、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法、及び、多官能チオール化合物に関する。   The present invention relates to a curable composition, a cured film, a color filter, a light shielding film, a solid-state imaging device, an image display device, a method for producing a cured film, and a polyfunctional thiol compound.

画像表示装置に用いられるカラーフィルタには着色画素間の光を遮蔽し、コントラストを向上させる等の目的で、ブラックマトリクスと呼ばれる遮光膜が備えられている。
また、固体撮像素子においてもノイズ発生防止、及び、画質の向上等を目的として遮光膜が設けられている。現在、携帯電話及びPDA(Personal Digital Assistant)等の電子機器の携帯端末には、小型で薄型な撮像ユニットが搭載されている。このような撮像ユニットは、一般に、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ及びCMOS(Complementary Metal−Oxide Semiconductor)イメージセンサ等の固体撮像素子と、固体撮像素子上に被写体像を形成するためのレンズと、を備えている。
A color filter used in an image display apparatus is provided with a light shielding film called a black matrix for the purpose of shielding light between colored pixels and improving contrast.
Also in the solid-state imaging device, a light shielding film is provided for the purpose of preventing noise generation and improving the image quality. At present, small and thin imaging units are mounted on portable terminals of electronic devices such as mobile phones and PDAs (Personal Digital Assistants). Such an imaging unit generally includes a solid-state imaging device such as a charge coupled device (CCD) image sensor and a complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) image sensor, and a lens for forming an object image on the solid-state imaging device. Is equipped.

特許文献1には、「画像表示装置における、画素を分離する隔壁を形成するための感光性樹脂組成物であって、感光性樹脂組成物が、(A)成分として分子内にカルボキシル基を有するバインダーポリマーと、(B)成分として光重合性化合物と、(C)成分として光重合開始剤と、(D)成分としてメルカプト基を有する化合物と、(E)成分として黒色顔料とを含有する感光性樹脂組成物。」が記載されている。   Patent Document 1 describes “A photosensitive resin composition for forming a partition separating pixels in an image display device, wherein the photosensitive resin composition has a carboxyl group in the molecule as the component (A). Photosensitivity comprising a binder polymer, a photopolymerizable compound as component (B), a photopolymerization initiator as component (C), a compound having a mercapto group as component (D), and a black pigment as component (E) Resin composition. "Is described.

特開2014−41188号公報JP, 2014-41188, A

本発明者は、特許文献1に記載された感光性樹脂組成物を支持体上に塗布し、得られた感光性樹脂組成物層を露光して硬化膜を作製したところ、露光感度にさらなる改善の余地があることを知見した。具体的には、特許文献1に記載された感光性樹脂組成物は、より微細なパターン形状を得ようとすると、露光に必要なエネルギーが大きくなるという問題があることを知見した。
また、本発明者は、上記の方法により得られた硬化膜について検討したところ、支持体(以下「基板」ともいう。)との密着性にさらなる改善の余地があることもまた知見した。
The present inventor applies the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 onto a support, exposes the obtained photosensitive resin composition layer to produce a cured film, and further improves the exposure sensitivity. I found that there is room for Specifically, it has been found that the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 has a problem that the energy required for exposure becomes large when attempting to obtain a finer pattern shape.
Moreover, when the present inventor examined the cured film obtained by said method, it also discovered that there exists room for the further improvement in adhesiveness with a support body (henceforth a "board | substrate").

そこで、本発明は、優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有する硬化膜を得ることができる、硬化性組成物を提供することを課題とする。
また、本発明は、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法、及び、多官能チオール化合物を提供することを課題とする。
Then, this invention makes it a subject to provide the curable composition which can obtain the cured film which has the outstanding exposure sensitivity and the outstanding adhesiveness with a support body.
Moreover, this invention makes it a subject to provide a cured film, a color filter, a light shielding film, a solid-state image sensor, an image display apparatus, the manufacturing method of a cured film, and a polyfunctional thiol compound.

本発明者は、上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、所定の多官能チオール化合物を含有する硬化性組成物が上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、以下の構成により上記課題を達成することができることを見出した。
MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly examining in order to achieve the said subject, this inventor discovered that the curable composition containing a predetermined | prescribed polyfunctional thiol compound could solve the said subject, and completed this invention.
That is, it discovered that the above-mentioned subject could be achieved by the following composition.

[1] 多官能チオール化合物と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する硬化性組成物であって、多官能チオール化合物が、2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する硬化性組成物。
[2] 多官能チオール化合物が、式(1)で表される化合物である、[1]に記載の硬化性組成物。
[3] 多官能チオール化合物が、式(2)で表される化合物である、[1]又は[2]に記載の硬化性組成物。
[4] mが3〜14の整数である、[2]又は[3]に記載の硬化性組成物。
[5] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種である、[1]〜[4]のいずれかに記載の硬化性組成物。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又はアルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表す。
[6] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、[1]〜[5]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[7] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、[1]〜[6]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[8] 更に着色剤を含有する、[1]〜[7]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[9] 着色剤が黒色顔料を含有する、[8]に記載の硬化性組成物。
[10] 光重合開始剤がオキシム化合物である[1]〜[9]のいずれかに記載の硬化性組成物。
[11] [1]〜[10]のいずれかに記載の硬化性組成物を硬化して得られる、硬化膜。
[12] [11]に記載の硬化膜を含有する、カラーフィルタ。
[13] [11]に記載の硬化膜を含有する、遮光膜。
[14] [11]に記載の硬化膜を含有する、固体撮像素子。
[15] [11]に記載の硬化膜を含有する、画像表示装置。
[16] [1]〜[10]のいずれかに記載の硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成する、硬化性組成物層形成工程と、硬化性組成物層を露光する、露光工程とを含有する硬化膜の製造方法。
[17] 硬化性組成物層形成工程が、支持体上に硬化性組成物を直接塗布して、支持体上に硬化性組成物層を形成する工程を含む、[16]に記載の硬化膜の製造方法。
[18] 更に、露光された硬化性組成物層を現像する、現像工程と、現像した硬化性組成物層を洗浄する、洗浄工程とを含有する、[16]又は[17]に記載の硬化膜の製造方法。
[19] 2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する、多官能チオール化合物。
[20] 式(1)で表される化合物である、[19]に記載の多官能チオール化合物。
[21] 式(2)で表される化合物である、[19]又は[20]に記載の多官能チオール化合物。
[22] mが3〜14の整数である、[20]又は[21]に記載の多官能チオール化合物。
[23] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種である、[19]〜[22]のいずれかに記載の多官能チオール化合物。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表す。
[24] チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、[19]〜[23]のいずれかに記載の多官能チオール化合物。
[1] A curable composition comprising a multifunctional thiol compound, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator, wherein the multifunctional thiol compound has two or more thiol groups and a mutually different thiol group. Curable composition containing an active group.
[2] The curable composition according to [1], wherein the polyfunctional thiol compound is a compound represented by Formula (1).
[3] The curable composition according to [1] or [2], wherein the polyfunctional thiol compound is a compound represented by Formula (2).
[4] The curable composition as described in [2] or [3] whose m is an integer of 3-14.
[5] An interaction group different from a thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or [1] to [1] which is at least one selected from the group consisting of a salt thereof, an aryl group, -Si (R X ) p (R Y ) 3-p , and-(OR A ) q -R Z The curable composition in any one of 4].
Here, p represents an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolysable group, R Y represents a monovalent organic group other than a hydrolysable group, and p R X and 3-p Each R Y may be the same or different. Further, R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, and R A represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms.
[6] An interaction group different from a thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group Or the curable composition in any one of [1]-[5] which is at least 1 sort (s) selected from the group which consists of its salt.
[7] An interactive group different from a thiol group is selected from the group consisting of a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group or a salt thereof The curable composition in any one of [1]-[6] which is at least 1 sort (s).
[8] The curable composition according to any one of [1] to [7], further containing a colorant.
[9] The curable composition according to [8], wherein the colorant contains a black pigment.
[10] The curable composition according to any one of [1] to [9], wherein the photopolymerization initiator is an oxime compound.
[11] A cured film obtained by curing the curable composition according to any one of [1] to [10].
[12] A color filter comprising the cured film according to [11].
[13] A light shielding film containing the cured film according to [11].
[14] A solid-state imaging device containing the cured film according to [11].
[15] An image display device containing the cured film according to [11].
[16] A curable composition layer forming step of forming a curable composition layer on a support using the curable composition according to any one of [1] to [10], and a curable composition layer Exposing the substrate, and an exposure process.
[17] The cured film according to [16], wherein the step of forming a curable composition layer includes the step of directly applying the curable composition on a support to form a curable composition layer on a support Manufacturing method.
[18] The curing according to [16] or [17], further comprising a developing step of developing the exposed curable composition layer, and a washing step of washing the developed curable composition layer. Method of producing a membrane
[19] A multifunctional thiol compound containing two or more thiol groups and an interactive group different from the thiol group.
[20] The polyfunctional thiol compound according to [19], which is a compound represented by the formula (1).
[21] The polyfunctional thiol compound according to [19] or [20], which is a compound represented by the formula (2).
[22] The polyfunctional thiol compound according to [20] or [21], wherein m is an integer of 3 to 14.
[23] The interaction group different from the thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or At least one selected from the group consisting of salts thereof, aryl groups, -Si (R X ) p (R Y ) 3 -p , and-(OR A ) q -R Z , [19] to [[19] 22. The polyfunctional thiol compound as described in any one of 22.
Here, p represents an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolysable group, R Y represents a monovalent organic group other than a hydrolysable group, and p R X and 3-p Each R Y may be the same or different. Further, R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, and R A represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms.
[24] An interaction group different from a thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group Or the polyfunctional thiol compound in any one of [19]-[23] which is at least 1 sort (s) selected from the group which consists of its salt.

本発明によれば、優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有する硬化膜を得ることができる、硬化性組成物を提供することができる。
また、本発明は、硬化膜、カラーフィルタ、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法、及び、多官能チオール化合物を提供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a curable composition capable of obtaining a cured film having excellent exposure sensitivity and excellent adhesion to a support.
In addition, the present invention can provide a cured film, a color filter, a light shielding film, a solid-state imaging device, an image display device, a method for producing a cured film, and a multifunctional thiol compound.

以下、本発明について詳細に説明する。
以下の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されない。
本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を含有しないものと共に置換基を含有するものをも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を含有しないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を含有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書中における「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、及びエキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV:Extreme ultraviolet lithography光)、X線、並びに電子線等を意味する。また本明細書において「光」とは、活性光線及び放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯の輝線スペクトル、及びエキシマレーザーに代表される遠紫外線、X線、並びにEUV光等による露光のみならず、電子線及びイオンビーム等の粒子線による描画も包含する。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」はアクリレート及びメタアクリレートを表す。本明細書において、「(メタ)アクリル」はアクリル及びメタアクリルを表す。本明細書において、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルを表す。本明細書において、「(メタ)アクリルアミド」は、アクリルアミド及びメタアクリルアミドを表す。
本明細書中において、「単量体」と「モノマー」とは同義である。単量体は、オリゴマー及びポリマーと区別され、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書中において、重合性化合物とは、重合性基を含有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性基とは、重合反応に関与する基をいう。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The following description may be made based on representative embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to such embodiments.
In the present specification, a numerical range represented using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as the lower limit value and the upper limit value.
In the notation of the group (atomic group) in the present specification, the notation not describing substitution and non-substitution includes those containing no substituent as well as those containing a substituent. For example, the "alkyl group" includes not only an alkyl group containing no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group containing a substituent (substituted alkyl group).
In the present specification, the term "actinic ray" or "radiation" refers to, for example, the emission line spectrum of a mercury lamp, far ultraviolet light represented by an excimer laser, extreme ultraviolet (EUV) light, X-rays, and electron beams. Means etc. In the present specification, "light" means actinic rays and radiation. Unless otherwise specified, the "exposure" in the present specification refers not only to the emission line spectrum of a mercury lamp, exposure to far ultraviolet rays represented by an excimer laser, X-rays, EUV light, etc., but also electron beams and ion beams Also includes particle beam drawing of.
As used herein, "(meth) acrylate" refers to acrylate and methacrylate. In the present specification, "(meth) acrylic" represents acrylic and methacrylic. As used herein, "(meth) acryloyl" represents acryloyl and methacryloyl. As used herein, "(meth) acrylamide" refers to acrylamide and methacrylamide.
In the present specification, "monomer" and "monomer" are synonymous. A monomer is distinguished from an oligomer and a polymer and refers to a compound having a weight average molecular weight of 2,000 or less. In the present specification, a polymerizable compound refers to a compound containing a polymerizable group, and may be a monomer or a polymer. The polymerizable group refers to a group involved in the polymerization reaction.

[硬化性組成物]
硬化性組成物は、多官能チオール化合物と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する硬化性組成物であって、多官能チオール化合物が、2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する。
[Curable composition]
The curable composition is a curable composition containing a polyfunctional thiol compound, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator, and the polyfunctional thiol compound has two or more thiol groups, a thiol group, and Contains different interactive groups.

本発明者は、特許文献1に記載された、チオール化合物を含有する硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成し、この硬化性組成物層を露光して、微細なパターン形状を有する硬化膜を作製しようとすると、露光量を多くしなければならないという問題を知見した。
これは、パターン形状を微細化しようとすると、フォトマスクの開口部が狭くなり、結果として硬化性組成物層に照射される光量がより減少するためであると推測される。すなわち、硬化性組成物の底部に達する光量が少なくなるため、硬化性組成物層の底部が硬化しにくくなるものと推測される。
このような場合、露光量を多くすることにより、硬化性組成物層の底部まで到達する光量を増大させることができる。
一方で、露光量を多くすると、マスク開口部において回折した光、いわゆる「漏れ光」も多くなりやすく、硬化性組成物層の上部(すなわち、フォトマスクにより近い部分)において、本来マスクされるべき部分が露光され、パターン形状の悪化を招くことがあった。
The inventor of the present invention forms a curable composition layer on a support using a curable composition containing a thiol compound described in Patent Document 1, and exposes the curable composition layer to form fine particles. In order to produce a cured film having a proper pattern shape, it has been found that the amount of exposure must be increased.
It is presumed that this is because when the pattern shape is to be miniaturized, the opening of the photomask is narrowed, and as a result, the amount of light irradiated to the curable composition layer is further reduced. That is, it is presumed that the bottom of the curable composition layer becomes difficult to cure because the amount of light reaching the bottom of the curable composition decreases.
In such a case, the amount of light reaching the bottom of the curable composition layer can be increased by increasing the amount of exposure.
On the other hand, when the exposure amount is increased, light diffracted at the mask opening, so-called "leakage light" is also likely to be increased, and should be masked originally at the upper part of the curable composition layer (that is, a part closer to the photomask). The part was exposed and the pattern shape might be deteriorated.

一般に、光重合開始剤を含有する硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成し、この硬化性組成物層を露光すると、光重合開始剤によりラジカル反応が開始される。このとき、光重合開始剤により生じたラジカルと硬化性組成物層内の酸素が発生し、ペルオキシラジカルが発生することがある。ペルオキシラジカルは反応を進行する作用を有しないため、そこで重合反応が停止してしまうことがある。   In general, a curable composition containing a photopolymerization initiator is used to form a curable composition layer on a support, and when the curable composition layer is exposed, the photopolymerization initiator initiates a radical reaction. . At this time, radicals generated by the photopolymerization initiator and oxygen in the curable composition layer may be generated to generate peroxy radicals. Since the peroxy radical does not have the function of promoting the reaction, the polymerization reaction may be stopped there.

本発明の一態様において、硬化性組成物は、2個以上のチオール基を含有する多官能チオール化合物を含有する。チオール基は、ペルオキシラジカルに水素を供与することにより重合失活を受けにくいチイルラジカルを生成するため、重合反応が継続する。
更に、多官能チオール化合物はチオール基とは異なる相互作用性基を含有する。相互作用性基は、支持体と(又は、支持体が上塗り層を備える場合には、上塗り層を構成する分子と)相互作用する。従って、多官能チオール化合物は、上記硬化性組成物を用いて形成された硬化性組成物層において、支持体により近い部分(すなわち、底部)に偏在しやすいものと推測される。上記硬化性組成物層において、露光時に到達する光量が相対的に少ない硬化性組成物層の底部に、多官能チオール化合物が偏在すると、上記チオール基の作用がより効果的に発揮されるものと推測される。
すなわち、より少ない露光量であると、硬化性組成物層の底部に到達する光量が少ないものの、多官能チオール化合物は底部に偏在しやすいため、硬化性組成物層の底部でチイルラジカルが生成しやすく、少ない光量でも底部まで十分に硬化すると推測される。
更に、硬化膜においては、支持体により近い部分(すなわち、底部)に相互作用性基が偏在するため、支持体との相互作用がより強くなり、支持体との優れた密着性を有するものと推測される。
以下では本発明の一態様に係る硬化性組成物に含有される成分を説明する。
In one aspect of the present invention, the curable composition contains a multifunctional thiol compound containing two or more thiol groups. Since the thiol group generates a thiyl radical which is less susceptible to polymerization deactivation by donating hydrogen to a peroxy radical, the polymerization reaction continues.
Furthermore, the multifunctional thiol compound contains an interactive group different from the thiol group. The interactive group interacts with the support (or, if the support is provided with an overcoat, with the molecules that constitute the overcoat). Therefore, it is presumed that the polyfunctional thiol compound is likely to be unevenly distributed in a portion (that is, the bottom) closer to the support in the curable composition layer formed using the above-mentioned curable composition. In the above curable composition layer, when the polyfunctional thiol compound is unevenly distributed at the bottom of the curable composition layer in which the amount of light reaching at the time of exposure is relatively small, the action of the above thiol group is more effectively exhibited. It is guessed.
That is, although the amount of light reaching the bottom of the curable composition layer is small if the exposure amount is smaller, the multifunctional thiol compound is easily distributed unevenly in the bottom, so that thiyl radicals are easily generated at the bottom of the curable composition layer. It is estimated that even a small amount of light cures sufficiently to the bottom.
Furthermore, in the cured film, since the interactive group is unevenly distributed in a portion closer to the support (that is, the bottom), the interaction with the support becomes stronger, and it has excellent adhesion to the support. It is guessed.
The components contained in the curable composition according to one aspect of the present invention will be described below.

〔多官能チオール化合物〕
硬化性組成物は、所定の多官能チオール化合物を含有する。
多官能チオール化合物は、2個以上のチオール基(−SHで表される基)と、チオール基とは異なる相互作用性基と、を含有していれば特に制限されず、公知の多官能チオール化合物を用いることができる。
[Multifunctional thiol compound]
The curable composition contains a predetermined polyfunctional thiol compound.
The polyfunctional thiol compound is not particularly limited as long as it contains two or more thiol groups (a group represented by -SH) and an interactive group different from the thiol group, and known polyfunctional thiols Compounds can be used.

多官能チオール化合物が含有するチオール基の数は2個以上であり、3個以上が好ましく、4個以上がより好ましい。
多官能チオール化合物が含有するチオール基の数の上限は特に制限されないが、一般に30個以下が好ましく、20個以下がより好ましく、14個以下が更に好ましい。
The number of thiol groups contained in the polyfunctional thiol compound is two or more, preferably three or more, and more preferably four or more.
The upper limit of the number of thiol groups contained in the polyfunctional thiol compound is not particularly limited, but generally 30 or less is preferable, 20 or less is more preferable, and 14 or less is still more preferable.

多官能チオール化合物が含有する、チオール基とは異なる相互作用性基の数は1個以上であり、2個以上が好ましい。
多官能チオール化合物が含有する、チオール基とは異なる相互作用性基の上限は特に制限されないが、一般に30個以下が好ましく、20個以下がより好ましく、15個以下が更に好ましい。
The number of interactive groups different from the thiol group contained in the multifunctional thiol compound is one or more, preferably two or more.
The upper limit of the interaction group different from the thiol group contained in the polyfunctional thiol compound is not particularly limited, but generally 30 or less is preferable, 20 or less is more preferable, and 15 or less is still more preferable.

なお、本明細書において、相互作用性基とは、他の分子と相互作用し得る基を意図する。相互作用は、分子間力、分子会合、静電的引力、イオン結合、及び/又は水素結合等の任意の態様で相互作用し得る基が挙げられる。
なかでも、相互作用性基としては、後述する支持体、及び/又は下塗り層を形成する分子と相互作用し得る基が好ましい。相互作用性基の具体例は、後段で詳述する。
In the present specification, the term "interacting group" means a group capable of interacting with another molecule. The interaction includes groups that can interact in any manner such as intermolecular force, molecular association, electrostatic attraction, ionic bonding, and / or hydrogen bonding.
Among them, as the interactive group, a group capable of interacting with the support described later and / or the molecule forming the undercoat layer is preferable. Specific examples of the interactive group will be described in detail later.

多官能チオール化合物の含有量としては、硬化性組成物の全固形分に対して、0.5〜10質量%が好ましい。
多官能チオール化合物の含有量が、0.5〜10質量%であることにより、露光感度がより優れる。
多官能チオール化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。多官能チオール化合物を2種以上併用する場合には、その合計量が上記範囲内であることが好ましい。
As content of a polyfunctional thiol compound, 0.5-10 mass% is preferable with respect to the total solid of a curable composition.
When the content of the polyfunctional thiol compound is 0.5 to 10% by mass, the exposure sensitivity is more excellent.
The polyfunctional thiol compounds may be used alone or in combination of two or more. When two or more polyfunctional thiol compounds are used in combination, the total amount thereof is preferably in the above range.

<多官能チオール化合物の好適態様1>
多官能チオール化合物としては、以下の式(1)で表される化合物が好ましい。
<Preferred Embodiment 1 of Polyfunctional Thiol Compound>
As a polyfunctional thiol compound, the compound represented by the following formula (1) is preferable.

式(1)中、L、及びLはそれぞれ独立に2価の連結基を表す。mは2〜14の整数を表し、3〜14の整数が好ましく、3〜6がより好ましい。mが3以上の整数だと、硬化性組成物はより優れた露光感度を有する。nは1〜15の整数を表す。Lはm+n価の連結基を表し、Rはチオール基とは異なる相互作用性基を表す。
なお、L、及び、Lは、互いに、同一でも、異なってもよく、m個のL、n個のL、及び、n個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
In Formula (1), L 1 and L 2 each independently represent a divalent linking group. m represents an integer of 2 to 14, preferably an integer of 3 to 14, and more preferably 3 to 6. When m is an integer of 3 or more, the curable composition has better exposure sensitivity. n represents an integer of 1 to 15; L 3 represents an m + n valent linking group, and R 1 represents an interactive group different from a thiol group.
L 1 and L 2 may be the same or different from each other, and m L 1 's , n L 2' s , and n R 1 's may be the same or different, respectively. Good.

の2価の連結基としては、例えば、2価の脂肪族炭化水素基(好ましくは炭素数1〜8)、2価の芳香族炭化水素基(好ましくは炭素数6〜12)、−O−、−S−、−N(R)−(R:1価の有機基)、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、−CH=N−、−N(R)−(R:アルキル基)、又は、これらを組み合わせた基(例えば、アルキレンオキシ基、アルキレンオキシカルボニル基、及びアルキレンカルボニルオキシ基等)等が挙げられる。Examples of the divalent linking group of L 1 include, for example, a divalent aliphatic hydrocarbon group (preferably having a carbon number of 1 to 8), a divalent aromatic hydrocarbon group (preferably having a carbon number of 6 to 12), O-, -S-, -N (R 4 )-(R 4 : monovalent organic group), -C (= O)-, -C (= O) -O-, -O-C (= O ) -O-, -C (= O) -NH-, -O-C (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O-, -S (= O) ) 2- , -S (= O) 2 -O-, -CH = N-, -N (R)-(R: alkyl group), or a combination thereof (eg, alkyleneoxy group, alkyleneoxy) And the like, and the like.

の2価の連結基としては、上記Lの態様と同様である。なお、L、及びLは、互いに、同一でも、異なってもよい。また、多官能チオール化合物の1分子内のm個のL、及び、n個のLは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。The divalent linking group of L 2 is the same as that of L 1 above. L 1 and L 2 may be identical to or different from each other. In addition, m L 1 and n L 2 in one molecule of the polyfunctional thiol compound may be the same or different.

のm+n価の連結基としては、例えばトリメチロールプロパン残基、−(CH2−(kは例えば、2〜6の整数を表す。)を3個有するイソシアヌール環等の3価の連結基、ペンタエリスリトール残基等の4価の連結基又は5価の連結基、ジペンタエリスリトール残基等の6価の連結基、及び、これらの組み合わせ等が挙げられる。
m+nは3以上であり、4以上が好ましい。
m+nは29以下であり、10以下が好ましい。
The m + n-valent linking group for L 3 is, for example, a trivalent group such as a trimethylolpropane residue or an isocyanuric ring having three — (CH 2 ) k — (k represents an integer of 2 to 6) And a tetravalent linking group such as pentaerythritol residue or a pentavalent linking group, a hexavalent linking group such as dipentaerythritol residue, and combinations thereof.
m + n is 3 or more, and 4 or more is preferable.
m + n is 29 or less, preferably 10 or less.

のm+n価の連結基としては、例えば、以下の式(A)〜(D)のいずれかで表される基、又は、これらを組み合わせた基が挙げられる。
The linking group of m + n valent L 3, for example, the following formula (A) ~ group represented by any one of (D), or, a group combining thereof.

式(A)〜(D)中、
は3価の基を表す。Tは単結合又は2価の連結基を表し、3個のTは互いに同一であっても異なっていてもよい。
は4価の基を表す。Tは単結合又は2価の連結基を表し、4個のTは互いに同一であっても異なっていてもよい。
は5価の基を表す。Tは単結合又は2価の連結基を表し、5個のTは互いに同一であっても異なっていてもよい。
は6価の基を表す。Tは単結合又は2価の連結基を表し、6個のTは互いに同一であっても異なっていてもよい。
なお、T、T、T及びTで表される2価の連結基の定義は、上述したLで表される2価の連結基の定義と同義である。
In formulas (A) to (D),
L 4 represents a trivalent group. T 3 represents a single bond or a divalent linking group, three of T 3 may be the being the same or different.
L 5 represents a tetravalent group. T 4 represents a single bond or a divalent linking group, and four T 4 may be the same as or different from one another.
L 6 represents a pentavalent group. T 5 represents a single bond or a divalent linking group, five T 5 may be the being the same or different.
L 7 represents a hexavalent group. T 6 represents a single bond or a divalent linking group, and the six T 6 may be the same as or different from one another.
The definition of the divalent linking group represented by T 3, T 4, T 5 and T 6 are the same as those defined divalent linking group represented by L 1 described above.

のm+n価の連結基としては、例えば、以下の式(E)〜(J)で表される基、又は、これらを組み合わせた基が好ましい。
As the m + n valent linking group of L 3 , for example, groups represented by the following formulas (E) to (J) or a group obtained by combining them are preferable.

式(E)〜(J)中、
Rは水素原子、又は、1価の有機基を表す。1価の有機基としては、アルキル基が好ましい。*は結合位置を示す。tは2〜11の整数を表す。
In formulas (E) to (J),
R represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. As a monovalent organic group, an alkyl group is preferable. * Indicates a bonding position. t represents an integer of 2 to 11.

は以下の式(K)〜(O)で表される基、又は、これらを組み合わせた基であってもよい。式中、*は結合位置を表す。
L 3 may be a group represented by the following formulas (K) to (O), or a group obtained by combining them. In the formulae, * represents a bonding position.

式(1)中、Rは、すでに説明したチオール基とは異なる相互作用性基の態様と同様である。
なかでも、硬化膜が、支持体とのより優れた密着性を有する点で、チオール基とは異なる相互作用性基としては、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、アリール基、−Si(R(R3−p(以下、本明細書において「Si基」ともいう。)、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種が好ましく、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種がより好ましく、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及び、スルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種が更に好ましい。
チオール基とは異なる相互作用性基が、上記の官能基であることによって、硬化膜が支持体とのより優れた密着性を有する機序は必ずしも明らかではないが、本発明者は以下のとおり推測している。すなわち、相互作用(非結合性の分子間力)は、ファンデルワールス相互作用、π−πスタッキング、水素−π結合、静電相互作用、又は、水素結合と大きく分類され、概ねこの順に強くなると推測され、「水素結合」が最も強く、次いで「静電相互作用」が強い。ここで、例えば、フェニル基のπ電子とO−Hの水素の結合である水素−π結合は、上記の2つと比べると弱いと考えられ、上記の効果が得られたものと推測される。なお、本発明の効果が得られる機序は上記推測に限られない。
なお、上記アミノ基には、第1級アミノ基(NH−)、第2級アミノ基(NRH−)、及び、第3級アミノ基(NR−)が含まれる。第2級アミノ基及び第3級アミノ基に含まれるRは、1価の有機基であれば特に制限されないが、例えば、炭化水素基(例えば、アルキル基)が挙げられる。
In Formula (1), R 1 is the same as in the embodiment of the interactive group different from the thiol group described above.
Among them, as the interactive group different from the thiol group in that the cured film has more excellent adhesion to the support, there are a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group and a phosphonium group. , Carboxylic acid group or salt thereof, phosphoric acid group or salt thereof, sulfonic acid group or salt thereof, aryl group, -Si (R X ) p (R Y ) 3-p (hereinafter referred to as "Si group" in the present specification) And at least one selected from the group consisting of-(OR A ) q -R Z, and is preferably a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group Or at least one selected from the group consisting of salts thereof, phosphoric acid groups or salts thereof, and sulfonic acid groups or salts thereof, more preferably hydroxyl groups, amino Further preferred is at least one selected from the group consisting of groups, pyridinyl groups, carboxylic acid groups or salts thereof, phosphoric acid groups or salts thereof, and sulfonic acid groups or salts thereof.
Although the mechanism by which the cured film has a better adhesion to the support is not necessarily clear by the interaction group different from the thiol group being the above functional group, the inventor of the present invention is as follows: I guess. That is, interactions (non-bonding intermolecular forces) are broadly classified into van der Waals interactions, π-π stacking, hydrogen-π bonds, electrostatic interactions, or hydrogen bonds, and in general become stronger in this order It is inferred that "hydrogen bonding" is the strongest and then "electrostatic interaction" is the strongest. Here, for example, hydrogen-π bond, which is a bond of π electron of phenyl group and hydrogen of O—H, is considered to be weak as compared with the above two, and it is presumed that the above effect is obtained. The mechanism by which the effects of the present invention can be obtained is not limited to the above estimation.
Incidentally, the above-mentioned amino group, primary amino group (NH 2 -), secondary amino group (NR a H-), and tertiary amino group (NR a R a -) are included. R a contained in the secondary amino group and the tertiary amino group is not particularly limited as long as it is a monovalent organic group, and examples thereof include a hydrocarbon group (for example, an alkyl group).

上記−Si(R(R3−pにおいてRは加水分解性基を表す。
本明細書において加水分解性基とは、ケイ素原子(Si)に直結し、加水分解反応を進行し得る基を意図し、例えば、アルコキシ基、ハロゲン原子、アシルオキシ基、アルケニルオキシ基、及び、イソシアネート基等が挙げられる。
In the above -Si (R x ) p (R Y ) 3-p , R x represents a hydrolyzable group.
In the present specification, a hydrolyzable group is a group which is directly linked to a silicon atom (Si) and is capable of advancing a hydrolysis reaction. And the like.

は、1価の有機基を表す。ただし、上記有機基から、上記加水分解性基は除く。
上記1価の有機基としては、加水分解性基以外の有機基であればよく、例えば、アルキル基、アルケニル基、アリール基、アルキルカルボニル基、シクロアルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アルキルオキシカルボニル基、シクロアルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルアミノカルボニル基、シクロアルキルアミノカルボニル基、アリールアミノカルボニル基、及び、これらを組み合わせた基等が挙げられる。なかでも、アルキル基、アリール基、アルケニル基、又はこれらを組み合わせた基が好ましい。
R Y represents a monovalent organic group. However, the said hydrolyzable group is remove | excluded from the said organic group.
The monovalent organic group may be an organic group other than a hydrolyzable group, and examples thereof include an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, an alkylcarbonyl group, a cycloalkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group and an alkyloxycarbonyl group. And a cycloalkyloxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an alkylaminocarbonyl group, a cycloalkylaminocarbonyl group, an arylaminocarbonyl group, a group obtained by combining these, and the like. Among them, an alkyl group, an aryl group, an alkenyl group, or a group combining these is preferable.

上記アルキル基中に含まれる炭素数は1〜6が好ましく、直鎖状、分岐鎖状、及び、環状のいずれであってもよい。また、上記アリール基中に含まれる炭素数は6〜10が好ましい。また、上記アルケニル基中に含まれる炭素数は2〜12が好ましい。   The number of carbon atoms contained in the alkyl group is preferably 1 to 6, and may be linear, branched or cyclic. The number of carbon atoms contained in the aryl group is preferably 6 to 10. Moreover, 2-12 are preferable carbon number contained in the said alkenyl group.

pは1〜3の整数である。なかでも、硬化膜が、支持体とのより優れた密着性を有する点で、pは3が好ましい。
また、p個のR、及び、3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
p is an integer of 1 to 3; Among them, p is preferably 3 in that the cured film has better adhesion to the support.
Moreover, p R X and 3-p R Y may be identical to or different from each other.

上記−(OR−Rにおいて、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、アルキル基、及び、アルコキシ基中のアルキル基の炭素数は1〜6が好ましく、直鎖状、分岐状、又は、環状のいずれであってもよい。In the above-(OR A ) q -R Z , R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, and the alkyl group and the alkyl group in the alkoxy group preferably have 1 to 6 carbon atoms, It may be linear, branched or cyclic.

は炭素数1〜15のアルキレン基を表し、炭素数1〜10のアルキレン基がより好ましく、炭素数1〜6のアルキレン基が更に好ましい。qは1〜4の整数を表し、2〜4の整数がより好ましく、3〜4の整数が更に好ましい。R A represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. q represents an integer of 1 to 4, an integer of 2 to 4 is more preferable, and an integer of 3 to 4 is still more preferable.

<多官能チオール化合物の好適態様2>
上記多官能チオール化合物としては、以下の式(2)で表される化合物がより好ましい。
<Preferred Embodiment 2 of Multifunctional Thiol Compound>
As the above-mentioned polyfunctional thiol compound, a compound represented by the following formula (2) is more preferable.

式(2)中、R、及びRはそれぞれ独立に炭素数1以上の2価の連結基を表す。
炭素数1以上の2価の連結基としては特に制限されず、例えば、2価の脂肪族炭化水素基(好ましくは炭素数1〜8)、2価の芳香族炭化水素基(好ましくは炭素数6〜12)、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)、−CH=N−、−N(R)−(R:アルキル基)、又はこれらと、上記式(1)中のLとして説明した基等を組み合わせた基等が挙げられる。
なお、R、及びRは、互いに、同一でも、異なってもよく、m個のR、n個のR、及び、n個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
In formula (2), R 2 and R 3 each independently represent a divalent linking group having one or more carbon atoms.
The divalent linking group having one or more carbon atoms is not particularly limited, and, for example, a divalent aliphatic hydrocarbon group (preferably having a carbon number of 1 to 8), a divalent aromatic hydrocarbon group (preferably having a carbon number of 6 to 12), -C (= O)-, -C (= O) -O-, -O-C (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -O-C ( OO), —CH = N—, —N (R) — (R: alkyl group), or a group in which these are combined with the group described as L 1 in the above formula (1), and the like.
R 2 and R 3 may be the same or different from each other, and m R 2 's , n R 2' s and n R 3 's may be the same or different from each other. .

式(2)中、mは2〜14の整数を表し、3〜14の整数が好ましく、3〜6がより好ましい。mが3以上の整数だと、硬化性組成物はより優れた露光感度を有する。
nは1〜15の整数を表し、1〜4が好ましい。
nに対するmの値(m/n)は特に制限されないが、0.13〜14が好ましく、1〜5がより好ましく、2〜5が更に好ましい。
m/nが1〜5の範囲内だと、硬化性組成物を用いて支持体上に形成した硬化膜と、支持体との密着性がより優れる。
m+nが同じ場合、m/nがより小さい多官能チオール化合物ほど、硬化性組成物を硬化して得られるパターン形状がより優れるとともに、硬化性組成物を用いて支持体上に形成した硬化膜と、支持体との密着性がより優れる。
In formula (2), m represents the integer of 2-14, the integer of 3-14 is preferable and 3-6 are more preferable. When m is an integer of 3 or more, the curable composition has better exposure sensitivity.
n represents an integer of 1 to 15, preferably 1 to 4.
The value of m for n (m / n) is not particularly limited, but is preferably 0.13 to 14, more preferably 1 to 5, and still more preferably 2 to 5.
If m / n is in the range of 1 to 5, the adhesion between the support and the cured film formed on the support using the curable composition is more excellent.
When m + n is the same, the smaller the m / n, the better the pattern shape obtained by curing the curable composition, and the cured film formed on the support using the curable composition. And adhesion to the support are more excellent.

上記式(2)中、Mは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−N(R)−(R:1価の有機基)、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、又は−CH=N−を表す。
なお、m個のM、及び、n個のMは、それぞれ同一でも、異なってもよい。
In the above formula (2), each M 1 independently represents a single bond, -O-, -S-, -N (R 4 )-(R 4 : monovalent organic group), -C (= O) -, -C (= O) -O-, -O-C (= O) -O-, -C (= O) -NH-, -O-C (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O-, -S (= O) 2- , -S (= O) 2- O-, or -CH = N-.
The m M 1 s and the n M 1 s may be the same or different.

はm+n価の連結基を表しその態様は既に説明したとおりである。また、Rはチオール基とは異なる相互作用性基を表し、その態様は上述した式(1)中のものと同様のものが挙げられる。
なお、n個のRはそれぞれ同一でも、異なってもよい。
L 3 represents an m + n valent linking group and the aspect is as described above. Further, R 1 represents an interactive group different from the thiol group, and the mode is the same as that in the above-mentioned formula (1).
The n R 1 s may be the same or different.

多官能チオール化合物の合成方法は特に制限されず、公知の方法を組み合わせることにより合成することができる。
例えば、チオール基を複数有する原料化合物と、所定の相互作用性基を有し、上記チオール基と反応可能な基を有する化合物とを反応させることにより、所望の多官能チオール化合物を合成することができる。なお、チオール基と反応可能な基としては、炭素−炭素二重結合基、炭素−炭素三重結合基、エポキシ基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アルキルスルホネート基、アリールスルホネート基などが挙げられる。
より具体的には、チオール基を複数有する原料化合物に対して、所定の相互作用性基を有する(メタ)アクリレート化合物をマイケル付加により反応させ、所望の多官能チオール化合物を合成することができる。
The synthesis method of the polyfunctional thiol compound is not particularly limited, and can be synthesized by combining known methods.
For example, a desired polyfunctional thiol compound can be synthesized by reacting a raw material compound having a plurality of thiol groups and a compound having a predetermined interactive group and having a group capable of reacting with the thiol group. it can. In addition, carbon-carbon double bond group, carbon-carbon triple bond group, an epoxy group, a carboxyl group, a halogen atom, an alkyl sulfonate group, an aryl sulfonate group etc. are mentioned as group which can be reacted with a thiol group.
More specifically, a desired polyfunctional thiol compound can be synthesized by reacting a (meth) acrylate compound having a predetermined interactive group by Michael addition with a raw material compound having a plurality of thiol groups.

多官能チオール化合物の具体的な例を以下の表1に示す。但し、多官能チオール化合物はこれらに限定されない。   Specific examples of polyfunctional thiol compounds are shown in Table 1 below. However, polyfunctional thiol compounds are not limited to these.

表1−1〜1−6中、「Me」はメチル基(−CH)を意図する。「OTs」はトシル基を表す。
表1−1〜1−6中、R〜R、L、及びMは、式(2)における各部に対応する基であり、m及びnは式(2)におけるm及びnに対応する数である。
In Table 1-1 to 1-6, "Me" is intended methyl group (-CH 3). "OTs" represents a tosyl group.
In Tables 1-1 to 1-6, R 1 to R 3 , L 3 , and M 1 are groups corresponding to respective parts in Formula (2), and m and n are m and n in Formula (2). It is a corresponding number.

表1−1〜1−6中の記号は、以下の内容を意図する。
*:LとMの連結箇所を示す。
●:M、及びRの列においては、MとRの連結箇所を示す。また、Rの列においては、Rと−S−基との連結箇所を示す。
○:チオール(−SH)基、又は−S−基との連結箇所を示す。
、Rの波線:RとRとの連結箇所を示す。
上矢印:直上の欄と同じという意味を示す。
The symbols in Tables 1-1 to 1-6 intend the following contents.
*: It shows the connection points of L 3 and M 1.
●: M 1, and in the column of R 2, showing the coupling portion of the M 1 and R 2. Further, in the column of R 3, showing the connection portion between R 3 and -S- group.
○: indicates a point of connection to a thiol (-SH) group or -S- group.
R 3 and R 1 wavy lines: indicate points of connection between R 3 and R 1 .
Up arrow: Indicates the same as the field immediately above.

〔光重合開始剤〕
硬化性組成物は、光重合開始剤を含有する。
光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始することができれば特に制限されず、公知の光重合開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、紫外線領域から可視光線領域に対して感光性を有するものが好ましい。光重合開始剤は、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、重合性化合物の種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の波長領域に少なくとも約50のモル吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
[Photopolymerization initiator]
The curable composition contains a photopolymerization initiator.
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can initiate the polymerization of the polymerizable compound, and a known photopolymerization initiator can be used. As the photopolymerization initiator, for example, one having photosensitivity to an ultraviolet light region to a visible light region is preferable. The photopolymerization initiator may be an activator that produces an action with the photoexcited sensitizer and generates active radicals, and is an initiator that initiates cationic polymerization according to the type of the polymerizable compound. May be
The photopolymerization initiator preferably contains at least one compound having a molar absorption coefficient of at least about 50 in a wavelength range of about 300 nm to 800 nm (330 nm to 500 nm is more preferable).

光重合開始剤の含有量としては、硬化性組成物の全固形分に対して、1〜9質量%が好ましい。
光重合開始剤の含有量が、硬化性組成物の全固形分に対して、1〜9質量%だと、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜のパターン形状がより優れる。
光重合開始剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。光重合開始剤を2種以上併用する場合には、その合計量が上記範囲内であることが好ましい。
As content of a photoinitiator, 1-9 mass% is preferable with respect to the total solid of a curable composition.
When the content of the photopolymerization initiator is 1 to 9% by mass with respect to the total solid content of the curable composition, the pattern shape of the cured film obtained by curing the curable composition is more excellent.
The photopolymerization initiator may be used singly or in combination of two or more. When two or more photopolymerization initiators are used in combination, the total amount thereof is preferably in the above range.

光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を含有するもの、オキサジアゾール骨格を含有するもの、等)、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、及び、ヒドロキシアセトフェノン等が挙げられる。
上記トリアジン骨格を含有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載の化合物、英国特許1388492号明細書記載の化合物、特開昭53−133428号公報記載の化合物、独国特許3337024号明細書記載の化合物、F.C.Schaefer等によるJ.Org.Chem.;29、1527(1964)記載の化合物、特開昭62−58241号公報記載の化合物、特開平5−281728号公報記載の化合物、特開平5−34920号公報記載の化合物、米国特許第4212976号明細書記載の化合物、等が挙げられる。
As the photopolymerization initiator, for example, a halogenated hydrocarbon derivative (for example, one containing a triazine skeleton, one containing an oxadiazole skeleton, etc.), an acylphosphine compound such as an acylphosphine oxide, hexaarylbiimidazole, Examples include oxime compounds such as oxime derivatives, organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, ketoxime ethers, aminoacetophenone compounds, and hydroxyacetophenone.
Examples of the halogenated hydrocarbon compound containing a triazine skeleton described above include Wakabayashi et al., Bull. Chem. Soc. Japan, 42, 2924 (1969), a compound described in British Patent 1388492, a compound described in JP-A-53-133428, a compound described in German Patent 3337024, an F. compound. C. Schaefer et al. Org. Chem. 29, 1527 (1964), compounds described in JP-A-62-58241, compounds described in JP-A-5-281728, compounds described in JP-A-5-34920, US Patent No. 4212976 The compounds described in the specification, and the like can be mentioned.

露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、並びに3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。   From the viewpoint of exposure sensitivity, trihalomethyl triazine compounds, benzyl dimethyl ketal compounds, α-hydroxy ketone compounds, α-amino ketone compounds, acyl phosphine compounds, phosphine oxide compounds, metallocene compounds, oxime compounds, triallyl imidazole dimers, onium compounds, Compounds selected from the group consisting of benzothiazole compounds, benzophenone compounds, acetophenone compounds and their derivatives, cyclopentadiene-benzene-iron complexes and their salts, halomethyl oxadiazole compounds, and 3-aryl substituted coumarin compounds are preferred.

なかでも、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾフェノン化合物、又はアセトフェノン化合物がより好ましく、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、及びベンゾフェノン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物が更に好ましい。   Among them, trihalomethyl triazine compounds, α-amino ketone compounds, acyl phosphine compounds, phosphine oxide compounds, oxime compounds, triallyl imidazole dimers, onium compounds, benzophenone compounds, or acetophenone compounds are more preferable, and trihalomethyl triazine compounds, α- More preferred is at least one compound selected from the group consisting of amino ketone compounds, oxime compounds, triallylimidazole dimers, and benzophenone compounds.

特に、硬化性組成物を遮光膜の作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるため、硬化性と共に未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、光重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが特に好ましい。特に、微細なパターンを形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、光重合開始剤の添加量も低く抑える必要がある。これらの点を考慮すれば、微細パターンを形成するには、光重合開始剤としては、オキシム化合物を用いるのが特に好ましい。
光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開2013−29760号公報の段落0265〜0268を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
In particular, when the curable composition is used to form a light shielding film, it is necessary to form a fine pattern in a sharp shape, and therefore it is important that the image be developed with no residue in the unexposed area together with the curability. is there. From such a viewpoint, it is particularly preferable to use an oxime compound as the photopolymerization initiator. In particular, in the case of forming a fine pattern, a stepper exposure is used for the curing exposure, but this exposure machine may be damaged by halogen, and the addition amount of the photopolymerization initiator also needs to be suppressed low. In consideration of these points, it is particularly preferable to use an oxime compound as the photopolymerization initiator in order to form a fine pattern.
As a specific example of a photoinitiator, the paragraph 0265 to 0268 of Unexamined-Japanese-Patent No. 2013-29760 can be considered, for example, and this content is integrated in this specification.

光重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平10−291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、及び特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィン系開始剤も用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959、及びIRGACURE−127(商品名、いずれもBASF社製)が挙げられる。
アミノアセトフェノン化合物としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、及びIRGACURE−379EG(商品名、いずれもBASF社製)が挙げられる。アミノアセトフェノン化合物としては、365nm又は405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179公報に記載の化合物も挙げられる。
アシルホスフィン化合物としては、市販品であるIRGACURE−819、及びDAROCUR−TPO(商品名、いずれもBASF社製)が挙げられる。
As the photopolymerization initiator, a hydroxyacetophenone compound, an aminoacetophenone compound, and an acyl phosphine compound can also be suitably used. More specifically, for example, an aminoacetophenone-based initiator described in JP-A-10-291969 and an acylphosphine-based initiator described in Japanese Patent No. 4225898 can also be used.
Examples of the hydroxyacetophenone compound include IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, and IRGACURE-127 (trade names, all manufactured by BASF Corp.).
Examples of the aminoacetophenone compound include IRGACURE-907, IRGACURE-369, and IRGACURE-379EG (trade names, all manufactured by BASF Corp.) which are commercially available products. As an amino acetophenone compound, the compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 2009-191179 whose absorption wavelength was matched by long-wave light source, such as 365 nm or 405 nm, is also mentioned.
As an acyl phosphine compound, IRGACURE-819 which is a commercial item, and DAROCUR-TPO (a brand name, all are BASF Corporation make) are mentioned.

<オキシム化合物>
光重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物(オキシム系開始剤)が挙げられる。
光重合開始剤がオキシム化合物である、上記硬化性組成物は、より優れた露光感度を有する。また、オキシム化合物は高感度で重合効率が高く、着色剤濃度によらず硬化性組成物層を硬化でき、着色剤の濃度を高く設計しやすいため好ましい。
オキシム化合物の具体例としては、特開2001−233842号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報記載の化合物、及び特開2006−342166号公報記載の化合物が挙げられる。
オキシム化合物としては、3−ベンゾイロキシイミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイロキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、3−(4−トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン−2−オン、及び2−エトキシカルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン等が挙げられる。
また、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653−1660)、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202−232に記載の化合物、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報、及び特開2006−342166号公報の各公報に記載の化合物等も挙げられる。
市販品ではIRGACURE−OXE01(BASF社製)、IRGACURE−OXE02(BASF社製)、IRGACURE−OXE03(BASF社製)、又はIRGACURE−OXE04(BASF社製)も好適に用いられる。また、TR−PBG−304(常州強力電子新材料有限公司製)、アデカアークルズNCI−831及びアデカアークルズNCI−930(ADEKA社製)、又はN−1919(カルバゾール・オキシムエステル骨格含有光開始剤(ADEKA社製))も用いることができる。
<Oxime compound>
More preferably, an oxime compound (oxime type initiator) is mentioned as a photoinitiator.
The said curable composition whose photoinitiator is an oxime compound has more excellent exposure sensitivity. Further, the oxime compound is preferable because it has high sensitivity and high polymerization efficiency, can cure the curable composition layer regardless of the concentration of the colorant, and can easily design the concentration of the colorant high.
As a specific example of an oxime compound, the compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-233842, the compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-80068, and the compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-342166 are mentioned.
As an oxime compound, 3-benzoyloxyiminobutan-2-one, 3-acetoxyiminobutan-2-one, 3-propionyloxyiminobutan-2-one, 2-acetoxyiminopentan-3-one, 2- Acetoxyimino-1-phenylpropan-1-one, 2-benzoyloxyimino-1-phenylpropan-1-one, 3- (4-toluenesulfonyloxy) iminobutan-2-one, and 2-ethoxycarbonyloxyimino -1-phenylpropan-1-one and the like.
Also, J.J. C. S. Perkin II (1979) pp. 1653-1660), J.F. C. S. Perkin II (1979) pp. 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) pp. Compound described in JP-A-2000-66385; and compounds described in JP-A-2000-80068, JP-A-2004-534797, and JP-A-2006-342166. Etc.
Among commercially available products, IRGACURE-OXE01 (manufactured by BASF), IRGACURE-OXE02 (manufactured by BASF), IRGACURE-OXE03 (manufactured by BASF), or IRGACURE-OXE04 (manufactured by BASF) are also suitably used. In addition, TR-PBG-304 (made by Changzhou High Power Electronic New Material Co., Ltd.), Adeka Akurus NCI-831 and Adeka Akurus NCI-930 (made by ADEKA), or N-1919 (carbazole oxime ester skeleton containing photo initiation) An agent (made by Adeka) can also be used.

上記記載以外のオキシム化合物として、カルバゾールN位にオキシムが連結した特表2009−519904号公報に記載の化合物;ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第7626957号公報に記載の化合物;色素部位にニトロ基が導入された特開2010−15025号公報及び米国特許公開2009−292039号に記載の化合物;国際公開特許2009−131189号公報に記載のケトオキシム化合物;トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910号公報に記載の化合物;405nmに吸収極大を有しg線光源に対して良好な感度を有する特開2009−221114号公報に記載の化合物;等を用いてもよい。
好ましくは、例えば、特開2013−29760号公報の段落0274〜0275を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
具体的には、オキシム化合物としては、下記式(OX−1)で表される化合物が好ましい。なお、オキシム化合物のN−O結合が(E)体のオキシム化合物であっても、(Z)体のオキシム化合物であっても、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
Compounds described in JP-T-2009-519904, in which an oxime is linked to the carbazole N-position, as oxime compounds other than those described above; compounds described in US Pat. Compounds described in JP-A-2010-15025 and US Patent Publication 2009-292039 in which a nitro group is introduced at the site; Ketooxime compounds described in International Publication 2009-131189; The compound described in US Pat. No. 7,556,910, which is contained therein; the compound described in JP2009-221114A having an absorption maximum at 405 nm and good sensitivity to a g-line light source; .
Preferably, for example, paragraphs 0274 to 0275 of JP-A-2013-29760 can be referred to, and the contents thereof are incorporated herein.
Specifically, as the oxime compound, a compound represented by the following formula (OX-1) is preferable. Whether the N-O bond of the oxime compound is an oxime compound of (E) form, an oxime compound of (Z) form, or a mixture of (E) form and (Z) form Good.

式(OX−1)中、R及びBは各々独立に1価の置換基を表し、Aは2価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。
式(OX−1)中、Rで表される1価の置換基としては、1価の非金属原子団であることが好ましい。
1価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、及び、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、及び、アリール基等が挙げられる。
式(OX−1)中、Bで表される1価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が挙げられる。
式(OX−1)中、Aで表される2価の有機基としては、炭素数1〜12のアルキレン基、シクロアルキレン基、又は、アルキニレン基が好ましい。これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が挙げられる。
In formula (OX-1), R and B each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, and Ar represents an aryl group.
In Formula (OX-1), the monovalent substituent represented by R is preferably a monovalent nonmetal atomic group.
Examples of the monovalent nonmetal atom group include an alkyl group, an aryl group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a heterocyclic group, an alkylthiocarbonyl group, and an arylthiocarbonyl group. These groups may have one or more substituents. Moreover, the substituent mentioned above may be further substituted by the other substituent.
Examples of the substituent include a halogen atom, an aryloxy group, an alkoxycarbonyl group or an aryloxycarbonyl group, an acyloxy group, an acyl group, an alkyl group, an aryl group and the like.
In the formula (OX-1), the monovalent substituent represented by B is preferably an aryl group, a heterocyclic group, an arylcarbonyl group or a heterocyclic carbonyl group. These groups may have one or more substituents. Examples of the substituent include the substituents described above.
As a bivalent organic group represented by A in Formula (OX-1), a C1-C12 alkylene group, a cycloalkylene group, or an alkynylene group is preferable. These groups may have one or more substituents. Examples of the substituent include the substituents described above.

光重合開始剤として、フッ素原子を含有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を含有するオキシム化合物の具体例としては、特開2010−262028号公報記載の化合物;特表2014−500852号公報記載の化合物24、36〜40;特開2013−164471号公報記載の化合物(C−3);等が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。   As a photoinitiator, the oxime compound containing a fluorine atom can also be used. As a specific example of the oxime compound containing a fluorine atom, a compound described in JP-A-2010-262028; a compound 24, 36-40 described in JP-A-2014-500852; a compound described in JP-A-2013-164471 (C-3); and the like. This content is incorporated herein.

光重合開始剤として、下記一般式(1)〜(4)で表される化合物を用いることもできる。   As a photoinitiator, the compound represented by following General formula (1)-(4) can also be used.

式(1)において、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基、炭素数6〜30のアリール基、又は、炭素数7〜30のアリールアルキル基を表し、R及びRがフェニル基の場合、フェニル基同士が結合してフルオレン基を形成してもよく、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を示す。In Formula (1), R 1 and R 2 each independently represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or R 7 represents an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, and when R 1 and R 2 are phenyl groups, the phenyl groups may be bonded to form a fluorene group, and R 3 and R 4 are each independently Represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and X represents a direct bond or carbonyl Indicates a group.

式(2)において、R、R、R及びRは、式(1)におけるR、R、R及びRと同義であり、Rは、−R、−OR、−SR、−COR、−CONR、−NRCOR、−OCOR、−COOR、−SCOR、−OCSR、−COSR、−CSOR、−CN、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を表し、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を表し、aは0〜4の整数を表す。In the formula (2), R 1, R 2, R 3 and R 4 have the same meanings as R 1, R 2, R 3 and R 4 in Formula (1), R 5 is -R 6, -OR 6, -SR 6, -COR 6, -CONR 6 R 6, -NR 6 COR 6, -OCOR 6, -COOR 6, -SCOR 6, -OCSR 6, -COSR 6, -CSOR 6, -CN, halogen R 6 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms , X represents a direct bond or a carbonyl group, and a represents an integer of 0 to 4.

式(3)において、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数4〜20の脂環式炭化水素基、炭素数6〜30のアリール基、又は、炭素数7〜30のアリールアルキル基を表し、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を示す。In Formula (3), R 1 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an aryl having 7 to 30 carbon atoms R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or 4 carbon atoms And a heterocyclic group of 20 to 20, and X represents a direct bond or a carbonyl group.

式(4)において、R、R及びRは、式(3)におけるR、R及びRと同義であり、Rは、−R、−OR、−SR、−COR、−CONR、−NRCOR、−OCOR、−COOR、−SCOR、−OCSR、−COSR、−CSOR、−CN、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を表し、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、炭素数7〜30のアリールアルキル基又は炭素数4〜20の複素環基を表し、Xは、直接結合又はカルボニル基を表し、aは0〜4の整数を表す。In the formula (4), R 1, R 3 and R 4 have the same meanings as R 1, R 3 and R 4 in the formula (3), R 5 is, -R 6, -OR 6, -SR 6, -COR 6, -CONR 6 R 6, -NR 6 COR 6, -OCOR 6, -COOR 6, -SCOR 6, -OCSR 6, -COSR 6, -CSOR 6, -CN, a halogen atom or a hydroxyl group R 6 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms or a heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and X represents a direct bond Or a carbonyl group, a represents an integer of 0 to 4;

上記式(1)及び式(2)において、R及びRは、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、シクロヘキシル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はキシリル基が好ましい。Rは炭素数1〜6のアルキル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はナフチル基が好ましい。Xは直接結合が好ましい。
上記式(3)及び(4)において、Rは、それぞれ独立に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、シクロヘキシル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はキシリル基が好ましい。Rは炭素数1〜6のアルキル基又はフェニル基が好ましい。Rはメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基又はナフチル基が好ましい。Xは直接結合が好ましい。
式(1)及び式(2)で表される化合物の具体例としては、例えば、特開2014−137466号公報の段落番号0076〜0079に記載された化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれることとする。
In the above formulas (1) and (2), R 1 and R 2 are each independently preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, a cyclohexyl group or a phenyl group. R 3 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a xylyl group. R 4 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group. R 5 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a naphthyl group. X is preferably a direct bond.
In the above formulas (3) and (4), R 1 is preferably each independently a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, a cyclohexyl group or a phenyl group. R 3 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a xylyl group. R 4 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group. R 5 is preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a tolyl group or a naphthyl group. X is preferably a direct bond.
As a specific example of a compound represented by Formula (1) and Formula (2), the compound described in stage number 0076-0079 of Unexamined-Japanese-Patent No. 2014-137466 is mentioned, for example. This content is incorporated herein by reference.

硬化性組成物に好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示す。   Specific examples of the oxime compound preferably used in the curable composition are shown below.

オキシム化合物は、350nm〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有するものが好ましく、360nm〜480nmの波長領域に極大吸収波長を有するものがより好ましく、365nm及び405nmの吸光度が高いものが更に好ましい。
オキシム化合物の365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000〜300,000であることが好ましく、2,000〜300,000であることがより好ましく、5,000〜200,000であることが更に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Cary−5 spctrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用してもよい。
The oxime compound preferably has a maximum absorption wavelength in a wavelength range of 350 nm to 500 nm, more preferably a maximum absorption wavelength in a wavelength range of 360 nm to 480 nm, and still more preferably a high absorbance at 365 nm and 405 nm.
From the viewpoint of sensitivity, the molar absorption coefficient of the oxime compound at 365 nm or 405 nm is preferably 1,000 to 300,000, more preferably 2,000 to 300,000, 5,000 to 200, More preferably, it is 000.
The molar absorption coefficient of the compound can be determined according to a known method, for example, using an ethyl acetate solvent in a UV-visible spectrophotometer (Cary-5 spctrophotometer manufactured by Varian), at a concentration of 0.01 g / L. It is preferable to measure.
You may use a photoinitiator in combination of 2 or more types as needed.

〔重合性化合物〕
硬化性組成物は、重合性化合物を含有する。
重合性化合物の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、1〜40質量%が好ましく、10〜40質量%がより好ましい。
重合性化合物の含有量が、硬化性組成物の全固形分に対して10〜40質量%だと、硬化性組成物はより優れた露光感度を有する。なお、重合性化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の重合性化合物を併用する場合は、その合計量が上記範囲内であることが好ましい。
[Polymerizable compound]
The curable composition contains a polymerizable compound.
1-40 mass% is preferable with respect to the total solid of a curable composition, and, as for content of a polymeric compound, 10-40 mass% is more preferable.
When the content of the polymerizable compound is 10 to 40% by mass based on the total solid content of the curable composition, the curable composition has more excellent exposure sensitivity. In addition, a polymeric compound may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together. When using 2 or more types of polymeric compounds together, it is preferable that the total amount is in the said range.

重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を含有する基を1個以上含有する化合物が好ましく、2個以上含有する化合物がより好ましく、3個以上含有することが更に好ましく、5個以上含有することが特に好ましい。上限は、たとえば、15個以下である。エチレン性不飽和結合を含有する基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アリル基、及び、(メタ)アクリロイル基等が挙げられる。   The polymerizable compound is preferably a compound containing one or more groups containing an ethylenically unsaturated bond, more preferably a compound containing two or more, still more preferably three or more, and five or more Is particularly preferred. The upper limit is, for example, 15 or less. As a group containing an ethylenically unsaturated bond, a vinyl group, a (meth) allyl group, and a (meth) acryloyl group etc. are mentioned, for example.

重合性化合物は、例えば、モノマー、プレポリマー、オリゴマー、及び、これらの混合物、並びに、これらの多量体等の化学的形態のいずれであってもよく、モノマーが好ましい。
重合性化合物の分子量は、100〜3,000が好ましく、250〜1,500がより好ましい。
重合性化合物は、3〜15官能の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3〜6官能の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。
モノマー、プレポリマーの例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸等)又はそのエステル類、アミド類、並びにこれらの多量体が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、及び不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類、並びにこれらの多量体である。また、ヒドロキシ基、アミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を含有する不飽和カルボン酸エステル又はアミド類と、単官能若しくは多官能イソシアネート類又はエポキシ類との付加反応物、及び、上記不飽和カルボン酸エステル又はアミド類と、単官能若しくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基、エポキシ基等の親電子性置換基を含有する不飽和カルボン酸エステル又はアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、又は、チオール類との反応物、ハロゲン基又はトシルオキシ基等の脱離性置換基を含有する不飽和カルボン酸エステル又はアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、又は、チオール類との反応物も好適である。また、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン等のビニルベンゼン誘導体、ビニルエーテル、アリルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
これらの具体的な化合物としては、特開2009−288705号公報の段落0095〜0108に記載の化合物を本発明においても好適に用いることができる。
The polymerizable compound may be, for example, any of chemical forms such as monomers, prepolymers, oligomers, and mixtures thereof, and multimers thereof, and the like, and monomers are preferable.
100-3,000 are preferable and, as for the molecular weight of a polymeric compound, 250-1,500 are more preferable.
The polymerizable compound is preferably a 3 to 15 functional (meth) acrylate compound, and more preferably a 3 to 6 functional (meth) acrylate compound.
Examples of monomers and prepolymers include unsaturated carboxylic acids (eg, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid etc.) or esters thereof, amides, and multimers thereof. Preferred are esters of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyhydric alcohol compounds, and amides of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyhydric amine compounds, and multimers thereof. Also, addition reaction products of unsaturated carboxylic acid esters or amides containing nucleophilic substituent such as hydroxy group, amino group, mercapto group etc. with monofunctional or polyfunctional isocyanates or epoxies; A dehydration condensation product of a saturated carboxylic acid ester or amide and a monofunctional or polyfunctional carboxylic acid is preferably used. In addition, a reaction product of unsaturated carboxylic acid ester or amide containing an electrophilic substituent such as isocyanate group and epoxy group with monofunctional or polyfunctional alcohol, amines or thiol, halogen group Alternatively, a reaction product of unsaturated carboxylic acid ester or amide containing a leaving substituent such as tosyloxy group with monofunctional or polyfunctional alcohol, amines or thiols is also suitable. Further, instead of the above unsaturated carboxylic acid, it is also possible to use a compound group substituted by unsaturated phosphonic acid, vinyl benzene derivatives such as styrene, vinyl ether, allyl ether and the like.
As these specific compounds, the compounds described in paragraphs 0095 to 0108 of JP 2009-288705 A can be suitably used in the present invention.

重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を含有する基を1個以上含有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物も好ましい。例えば、特開2013−29760号公報の段落0227、特開2008−292970号公報の段落0254〜0257に記載の化合物を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。   The polymerizable compound is also preferably a compound having one or more groups containing an ethylenically unsaturated bond and having a boiling point of 100 ° C. or more under normal pressure. For example, the compounds described in paragraph 0227 of JP-A-2013-29760 and paragraphs 0254 to 0257 of JP-A-2008-292970 can be referred to, and the contents thereof are incorporated herein.

重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−330、PET−30、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート(市販品としてはKAYARAD D−320、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD D−310、日本化薬社製)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(市販品としてはKAYARAD DPHA、日本化薬社製、A−DPH−12E、新中村化学社製)、及びこれらの(メタ)アクリロイル基がエチレングリコール残基又はプロピレングリコール残基を介している構造(例えば、サートマー社から市販されている、SR454、SR499)が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、NKエステルA−TMMT(ペンタエリスリトールテトラアクリレート、新中村化学社製)、及び、KAYARAD RP−1040(日本化薬社製)等を使用することもできる。
以下に好ましい重合性化合物の態様を示す。
The polymerizable compound is dipentaerythritol triacrylate (commercially available as KAYARAD D-330, PET-30, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol tetraacrylate (commercially available as KAYARAD D-320, Nippon Kayaku Co., Ltd.) Product, dipentaerythritol penta (meth) acrylate (commercially available as KAYARAD D-310, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (commercially available as KAYARAD DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) A-DPH-12E (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and structures in which these (meth) acryloyl groups are mediated by an ethylene glycol residue or a propylene glycol residue (for example, commercially available from Sartomer, SR454, SR499 Is preferred. These oligomer types can also be used. In addition, NK ester A-TMMT (pentaerythritol tetraacrylate, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and KAYARAD RP-1040 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) can also be used.
The aspect of a preferable polymeric compound is shown below.

重合性化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、又は、リン酸基等の酸基を有していてもよい。酸基を含有する重合性化合物としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルが好ましく、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応のヒドロキシ基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた重合性化合物がより好ましく、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び/又はジペンタエリスリトールであるものが更に好ましい。市販品としては、例えば、東亞合成社製の、アロニックスTO−2349、M−305、M−510、及び、M−520等が挙げられる。   The polymerizable compound may have an acid group such as a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, or a phosphoric acid group. As the polymerizable compound containing an acid group, an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid is preferable, and a nonaromatic carboxylic acid anhydride is reacted with an unreacted hydroxy group of the aliphatic polyhydroxy compound. A polymerizable compound having an acid group is more preferable, and in this ester, one in which the aliphatic polyhydroxy compound is pentaerythritol and / or dipentaerythritol is more preferable. Examples of commercially available products include ALONIX TO-2349, M-305, M-510, and M-520 manufactured by Toagosei Co., Ltd.

酸基を含有する重合性化合物の好ましい酸価としては、0.1〜40mgKOH/gであり、より好ましくは5〜30mgKOH/gである。重合性化合物の酸価が、0.1mgKOH/g以上であれば現像溶解特性が良好であり、40mgKOH/g以下であれば製造及び/又は取扱い上有利である。更には、上記範囲であることにより光重合性能が良好で、硬化性に優れる。   As a preferable acid value of the polymeric compound containing an acidic radical, it is 0.1-40 mgKOH / g, More preferably, it is 5-30 mgKOH / g. When the acid value of the polymerizable compound is 0.1 mg KOH / g or more, the developing dissolution property is good, and when it is 40 mg KOH / g or less, it is advantageous in production and / or handling. Furthermore, when it is in the above range, the photopolymerization performance is good and the curability is excellent.

重合性化合物は、カプロラクトン構造を含有する化合物も好ましい態様である。
カプロラクトン構造を含有する化合物としては、分子内にカプロラクトン構造を含有する限り特に限定されるものではないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、(メタ)アクリル酸及びε−カプロラクトンとをエステル化することにより得られる、ε−カプロラクトン変性多官能(メタ)アクリレートを挙げることができる。なかでも下記式(Z−1)で表されるカプロラクトン構造を含有する化合物が好ましい。
As the polymerizable compound, a compound having a caprolactone structure is also a preferred embodiment.
The compound having a caprolactone structure is not particularly limited as long as it contains a caprolactone structure in the molecule, and examples thereof include trimethylolethane, ditrimethylolethane, trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, pentaerythritol, and dipentacene. Ε-caprolactone modified polyfunctional (meth) acrylate obtained by esterifying polyhydric alcohol such as erythritol, tripentaerythritol, glycerin, diglycerol, trimethylolmelamine and (meth) acrylic acid and ε-caprolactone Can be mentioned. Among them, compounds containing a caprolactone structure represented by the following formula (Z-1) are preferable.

式(Z−1)中、6個のRは全てが下記式(Z−2)で表される基であるか、又は6個のRのうち1〜5個が下記式(Z−2)で表される基であり、残余が下記式(Z−3)で表される基である。   In the formula (Z-1), all six R's are a group represented by the following formula (Z-2), or 1 to 5 of the six R's are the following formula (Z-2) And the remainder is a group represented by the following formula (Z-3).

式(Z−2)中、R1は水素原子又はメチル基を示し、mは1又は2の数を示し、*は結合手を示す。In formula (Z-2), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, m represents a number of 1 or 2, and * represents a bond.

式(Z−3)中、R1は水素原子又はメチル基を示し、*は結合手を示す。In formula (Z-3), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, and * represents a bond.

カプロラクトン構造を含有する重合性化合物は、例えば、日本化薬からKAYARAD DPCAシリーズとして市販されており、DPCA−20(式(Z−1)〜(Z−3)においてmが1、式(Z−2)で表される基の数が2、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−30(同式において、mが1、式(Z−2)で表される基の数が3、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−60(同式において、mが1、式(Z−2)で表される基の数が6、R1が全て水素原子である化合物)、DPCA−120(同式においてmが2、式(Z−2)で表される基の数が6、R1が全て水素原子である化合物)等が挙げられる。The polymerizable compound containing a caprolactone structure is commercially available, for example, as KAYARAD DPCA series from Nippon Kayaku Co., Ltd., and m is 1 in DPCA-20 (formula (Z-1) to (Z-3), formula (Z-) 2) a compound in which the number of groups represented by 2 is 2 and all R 1 are hydrogen atoms; DPCA-30 (in the formula, m is 1; the number of groups represented by formula (Z-2) is 3) , A compound in which R 1 is all hydrogen atoms, DPCA-60 (in the formula, m is 1 and a compound in which the number of groups represented by formula (Z-2) is 6, and all R 1 are hydrogen atoms) DPCA-120 (in the formula, m is 2, the number of groups represented by formula (Z-2) is 6, and compounds wherein all R 1 are hydrogen atoms), and the like.

重合性化合物は、下記式(Z−4)又は(Z−5)で表される化合物を用いることもできる。   The compound represented by following formula (Z-4) or (Z-5) can also be used for a polymeric compound.

式(Z−4)及び(Z−5)中、Eは、各々独立に、−((CH2yCH2O)−、又は((CH2yCH(CH3)O)−を表し、yは、各々独立に0〜10の整数を表し、
Xは、各々独立に、(メタ)アクリロイル基、水素原子、又はカルボン酸基を表す。
式(Z−4)中、(メタ)アクリロイル基の合計は3個又は4個であり、mは各々独立に0〜10の整数を表し、各mの合計は0〜40の整数である。
式(Z−5)中、(メタ)アクリロイル基の合計は5個又は6個であり、nは各々独立に0〜10の整数を表し、各nの合計は0〜60の整数である。
In formulas (Z-4) and (Z-5), each E independently represents-((CH 2 ) y CH 2 O)-or ((CH 2 ) y CH (CH 3 ) O)- And y each independently represents an integer of 0 to 10,
Each X independently represents a (meth) acryloyl group, a hydrogen atom or a carboxylic acid group.
In formula (Z-4), the total of (meth) acryloyl groups is 3 or 4, m each independently represents an integer of 0 to 10, and the sum of m is an integer of 0 to 40.
In formula (Z-5), the total of (meth) acryloyl groups is 5 or 6, n independently represents an integer of 0 to 10, and the sum of n is an integer of 0 to 60.

式(Z−4)中、mは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
各mの合計は、2〜40の整数が好ましく、2〜16の整数がより好ましく、4〜8の整数が更に好ましい。
式(Z−5)中、nは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
各nの合計は、3〜60の整数が好ましく、3〜24の整数がより好ましく、6〜12の整数が更に好ましい。
式(Z−4)又は式(Z−5)中の−((CH2yCH2O)−又は((CH2yCH(CH3)O)−は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
In formula (Z-4), m is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
The sum of each m is preferably an integer of 2 to 40, more preferably an integer of 2 to 16, and still more preferably an integer of 4 to 8.
In formula (Z-5), n is preferably an integer of 0 to 6, and more preferably an integer of 0 to 4.
The total of each n is preferably an integer of 3 to 60, more preferably an integer of 3 to 24, and still more preferably an integer of 6 to 12.
Formula (Z-4) or formula (Z-5) in the - ((CH 2) y CH 2 O) - , or ((CH 2) y CH ( CH 3) O) - , the oxygen atom side terminal Preferred is a form binding to X.

式(Z−4)又は式(Z−5)で表される化合物は1種単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。特に、式(Z−5)において、6個のX全てがアクリロイル基である形態、式(Z−5)において、6個のX全てがアクリロイル基である化合物と、6個のXのうち、少なくとも1個が水素原子ある化合物との混合物である態様が好ましい。このような構成とすることにより、現像性をより向上できる。   The compounds represented by formula (Z-4) or formula (Z-5) may be used alone or in combination of two or more. In particular, in a form in which all six X's are an acryloyl group in formula (Z-5), a compound in which all six X's are an acryloyl group in formula (Z-5), and A preferred embodiment is a mixture with a compound in which at least one hydrogen atom is present. With such a configuration, developability can be further improved.

式(Z−4)又は式(Z−5)で表される化合物の重合性化合物中における全含有量は、20質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましい。   20 mass% or more is preferable, and, as for the total content in the polymeric compound of a compound represented by Formula (Z-4) or Formula (Z-5), 50 mass% or more is more preferable.

式(Z−4)又は式(Z−5)で表される化合物は、従来公知の工程である、ペンタエリスリト−ル又はジペンタエリスリト−ルにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを開環付加反応により開環骨格を結合する工程と、開環骨格の末端ヒドロキシ基に、例えば(メタ)アクリロイルクロライドを反応させて(メタ)アクリロイル基を導入する工程と、から合成することができる。各工程はよく知られた工程であり、当業者は容易に一般式(Z−4)又は(Z−5)で表される化合物を合成することができる。   The compounds represented by the formula (Z-4) or the formula (Z-5) are obtained by ring-opening addition reaction of ethylene oxide or propylene oxide to pentaerythritol or dipentaerythritol which is a conventionally known step. A ring-opened skeleton can be synthesized from the step of bonding a ring-opened skeleton and the step of introducing a (meth) acryloyl group by, for example, reacting (meth) acryloyl chloride with the terminal hydroxy group of the ring-opened skeleton. Each step is a well-known step, and those skilled in the art can easily synthesize a compound represented by general formula (Z-4) or (Z-5).

式(Z−4)又は式(Z−5)で表される化合物の中でも、ペンタエリスリトール誘導体及び/又はジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。
具体的には、下記式(a)〜(f)で表される化合物(以下、「例示化合物(a)〜(f)」とも称する。)が挙げられ、中でも、例示化合物(a)、(b)、(e)、(f)が好ましい。
Among the compounds represented by Formula (Z-4) or Formula (Z-5), pentaerythritol derivatives and / or dipentaerythritol derivatives are more preferable.
Specific examples thereof include compounds represented by the following formulas (a) to (f) (hereinafter also referred to as “exemplified compounds (a) to (f)”), and among them, exemplified compounds (a) and (f) b), (e) and (f) are preferred.

式(Z−4)及び(Z−5)で表される重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ鎖を4個含有する4官能アクリレートであるSR−494、日本化薬社製のペンチレンオキシ鎖を6個含有する6官能アクリレートであるDPCA−60、イソブチレンオキシ鎖を3個含有する3官能アクリレートであるTPA−330等が挙げられる。   Commercially available products of the polymerizable compounds represented by the formulas (Z-4) and (Z-5) include, for example, SR-494 which is a tetrafunctional acrylate containing four ethyleneoxy chains manufactured by Sartmar, Nippon Kayaku Co., Ltd. Examples thereof include DPCA-60, which is a hexafunctional acrylate containing 6 pentylene oxy chains manufactured by Co., and TPA-330, which is a trifunctional acrylate containing 3 isobutylene oxy chains.

重合性化合物としては、特公昭48−41708号公報、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されたウレタンアクリレート類;特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、及び特公昭62−39418号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を含有するウレタン化合物類;も好適である。また、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、及び特開平1−105238号公報に記載された、分子内にアミノ構造及び/又はスルフィド構造を含有する付加重合性化合物類を用いることによって、非常に感光スピードに優れた硬化性組成物を得ることができる。
市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200(新中村化学社製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、及び、AI−600(共栄社製)等が挙げられる。
As polymerizable compounds, urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-A-51-37193, JP-B-2-32293 and JP-B-2-16765; JP-B-58- The urethane compounds having an ethylene oxide-based skeleton described in JP-A-49860, JP-B-56-17654, JP-B-62-39417, and JP-B-62-39418 are also suitable. Also, addition polymerizable compounds containing an amino structure and / or a sulfide structure in the molecule, as described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. By using the same kind, it is possible to obtain a curable composition excellent in photospeed.
As commercially available products, urethane oligomers UAS-10, UAB-140 (manufactured by Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.), UA-7200 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA- 306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 (made by Kyoeisha), etc. are mentioned.

重合性化合物は、SP(Solubility Parameter:溶解パラメータ)値が、9.50以上であることが好ましく、10.40以上であることがより好ましく、10.60以上が更に好ましい。
本明細書においてSP値は、特に断らない限り、Hoy法によって求める(H.L.Hoy Journal of Painting,1970,Vol.42,76−118)。SP値については単位を省略して示しているが、その単位はcal1/2cm−3/2である。
The SP (Solubility Parameter) value of the polymerizable compound is preferably 9.50 or more, more preferably 10.40 or more, and still more preferably 10.60 or more.
In the present specification, unless otherwise specified, the SP value is determined by the Hoy method (HL Hoy Journal of Painting, 1970, Vol. 42, 76-118). Although the unit is omitted and shown about SP value, the unit is cal1 / 2cm-3 / 2.

硬化性組成物は、現像残渣改善の観点から、カルド骨格を含有する重合性化合物を含有することも好ましい。
カルド骨格を含有する重合性化合物としては、9,9−ビスアリールフルオレン骨格を含有する重合性化合物が好ましく、下記式(Q3)で表される化合物がより好ましい。
It is also preferable that the curable composition contains a polymerizable compound containing a cardo skeleton from the viewpoint of improving the development residue.
As the polymerizable compound containing a cardo skeleton, a polymerizable compound containing a 9,9-bisarylfluorene skeleton is preferable, and a compound represented by the following formula (Q3) is more preferable.

式(Q3)
Formula (Q3)

上記式(Q3)中、Ar11〜Ar14はそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を含有するアリール基を表す。X〜Xはそれぞれ独立に重合性基を含有する置換基を表し、上記置換基中の炭素原子はヘテロ原子によって置換されていてもよい。a及びbはそれぞれ独立に1〜5の整数を表し、c及びdはそれぞれ独立に0〜5の整数を表す。R〜Rはそれぞれ独立に置換基を表し、e、f、g及びhはそれぞれ独立に0以上の整数を表し、e、f、g及びhの上限値はそれぞれAr11〜Ar14が含有することができる置換基の数からa、b、c又はdをそれぞれ減じた値である。但し、Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含有する多環芳香族炭化水素基である場合は、X〜X及びR〜Rはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。In the formula (Q3), each of Ar 11 to Ar 14 independently represents an aryl group containing a benzene ring surrounded by a dashed line. Each of X 1 to X 4 independently represents a substituent containing a polymerizable group, and a carbon atom in the above substituent may be substituted by a hetero atom. a and b each independently represent an integer of 1 to 5; c and d each independently represent an integer of 0 to 5; R 1 to R 4 each independently represent a substituent, e, f, g and h each independently represent an integer of 0 or more, and the upper limits of e, f, g and h are Ar 11 to Ar 14 respectively It is a value obtained by subtracting a, b, c or d from the number of substituents that can be contained. However, when Ar 11 to Ar 14 each independently represent a polycyclic aromatic hydrocarbon group containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the condensed rings, X 1 to X 4 and R 1 to R 4 are Each may be substituted to a benzene ring surrounded by a broken line independently, or may be substituted to a ring other than the benzene ring surrounded by a broken line.

式(Q3)中、Ar11〜Ar14が表す破線で囲まれたベンゼン環を含有するアリール基は、炭素数6〜14のアリール基であることが好ましく、炭素数6〜10のアリール基(例えば、フェニル基、ナフチル基)であることがより好ましく、フェニル基(破線で囲まれたベンゼン環のみ)であることが更に好ましい。In the formula (Q3), the aryl group containing a benzene ring surrounded by a broken line represented by Ar 11 to Ar 14 is preferably an aryl group having 6 to 14 carbon atoms, and an aryl group having 6 to 10 carbon atoms For example, a phenyl group and a naphthyl group are more preferable, and a phenyl group (only a benzene ring surrounded by a broken line) is more preferable.

式(Q3)中、X〜Xはそれぞれ独立に重合性基を含有する置換基を表し、上記置換基中の炭素原子はヘテロ原子によって置換されていてもよい。X〜Xが表す重合性基を含有する置換基としては特に制限はないが、重合性基を含有する脂肪族基であることが好ましい。
〜Xが表す重合性基を含有する脂肪族基としては、特に制限はないが、重合性基以外における炭素数が1〜12のアルキレン基であることが好ましく、炭素数2〜10のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数2〜5のアルキレン基であることが更に好ましい。
〜Xが表す重合性基を含有する脂肪族基において、上記脂肪族基がヘテロ原子によって置換される場合は、−NR−(Rは置換基)、酸素原子、硫黄原子によって置換されていることが好ましく、上記脂肪族基中の隣り合わない−CH−が酸素原子又は硫黄原子で置換されていることがより好ましく、上記脂肪族基中の隣り合わない−CH−が酸素原子で置換されていることが更に好ましい。X〜Xが表す重合性基を含有する脂肪族基は、ヘテロ原子によって1〜2箇所置換されていることが好ましく、ヘテロ原子によって1箇所置換されていることがより好ましく、Ar11〜Ar14が表す破線で囲まれたベンゼン環を含有するアリール基に隣接する1箇所がヘテロ原子によって置換されていることが更に好ましい。
〜Xが表す重合性基を含有する脂肪族基に含まれる重合性基としては、ラジカル重合又はカチオン重合可能な重合性基(以下、それぞれラジカル重合性基及びカチオン重合性基とも言う)が好ましい。
ラジカル重合性基としては、一般に知られているラジカル重合性基を用いることができ、好適なものとしてラジカル重合可能なエチレン性不飽和結合を含有する重合性基を挙げることができ、具体的にはビニル基、(メタ)アクリロイルオキシ基等を挙げることができる。中でも、(メタ)アクリロイルオキシ基が好ましく、アクリロイルオキシ基がより好ましい。
カチオン重合性基としては、一般に知られているカチオン重合性を用いることができ、具体的には、脂環式エーテル基、環状アセタール基、環状ラクトン基、環状チオエーテル基、スピロオルソエステル基、ビニルオキシ基等を挙げることができる。中でも、脂環式エーテル基、ビニルオキシ基が好適であり、エポキシ基、オキセタニル基、ビニルオキシ基が特に好ましい。
Ar11〜Ar14が含有する置換基が含有する上記重合性基は、ラジカル重合性基であることが好ましい。
Ar11〜Ar14のうち2つ以上は重合性基を含有する置換基を含み、Ar11〜Ar14のうち2〜4個が重合性基を含有する置換基を含有することが好ましく、Ar11〜Ar14のうち2又は3個が重合性基を含有する置換基を含有することがより好ましく、Ar11〜Ar14のうち2個が重合性基を含有する置換基を含有することが更に好ましい。
Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含有する多環芳香族炭化水素基である場合は、X〜Xはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。
In formula (Q3), X 1 to X 4 each independently represent a substituent containing a polymerizable group, and a carbon atom in the above substituent may be substituted by a hetero atom. There are no particular limitations on the substituent containing a polymerizable group X 1 to X 4 represents preferably an aliphatic group containing a polymerizable group.
The aliphatic group containing a polymerizable group represented by X 1 to X 4 is not particularly limited, but is preferably an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms other than the polymerizable group, and having 2 to 10 carbon atoms. It is more preferable that it is the alkylene group of, and it is still more preferable that it is a C2-C5 alkylene group.
In the aliphatic group containing a polymerizable group represented by X 1 to X 4 , when the aliphatic group is substituted by a hetero atom, it is substituted by —NR— (R is a substituent), an oxygen atom or a sulfur atom The non-adjacent -CH 2-in the aliphatic group is more preferably substituted with an oxygen atom or a sulfur atom, and the non-adjacent -CH 2- in the aliphatic group is an oxygen More preferably, it is substituted by an atom. The aliphatic group containing a polymerizable group represented by X 1 to X 4 is preferably substituted at one or two places by a hetero atom, more preferably at one place by a hetero atom, and Ar 11 to It is further preferable that one place adjacent to the aryl group containing a benzene ring surrounded by a dashed line represented by Ar 14 is substituted by a hetero atom.
The polymerizable group contained in the aliphatic group containing a polymerizable group represented by X 1 to X 4 is a polymerizable group capable of radical polymerization or cationic polymerization (hereinafter also referred to as a radical polymerizable group and a cationic polymerizable group, respectively) Is preferred.
As a radically polymerizable group, a generally known radically polymerizable group can be used, and as a preferable group, a polymerizable group containing an ethylenically unsaturated bond capable of radical polymerization can be mentioned, and specifically, And examples thereof include a vinyl group and a (meth) acryloyloxy group. Among them, a (meth) acryloyloxy group is preferable, and an acryloyloxy group is more preferable.
As the cationically polymerizable group, generally known cationic polymerizability can be used, and specifically, alicyclic ether group, cyclic acetal group, cyclic lactone group, cyclic thioether group, spiroorthoester group, vinyloxy And the like. Among them, alicyclic ether group and vinyloxy group are preferable, and epoxy group, oxetanyl group and vinyloxy group are particularly preferable.
The polymerizable groups Ar 11 to Ar 14 contains a substituted group containing is preferably a radical polymerizable group.
Two or more of the Ar 11 to Ar 14 comprises a substituent containing a polymerizable group, preferably contains a substituent 2-4 of Ar 11 to Ar 14 contains a polymerizable group, Ar More preferably, 2 or 3 out of 11 to Ar 14 contain a substituent containing a polymerizable group, and 2 out of Ar 11 to Ar 14 contain a substituent containing a polymerizable group More preferable.
When Ar 11 to Ar 14 each independently represent a polycyclic aromatic hydrocarbon group containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the condensed rings, X 1 to X 4 are each independently surrounded by a broken line The benzene ring may be substituted or a ring other than the benzene ring surrounded by a broken line may be substituted.

式(Q3)中、a及びbはそれぞれ独立に1〜5の整数を表し、1又は2であることが好ましく、a及びbがいずれも1であることがより好ましい。
式(Q3)中、c及びdはそれぞれ独立に0〜5の整数を表し、0又は1であることが好ましく、c及びdがいずれも0であることがより好ましい。
In formula (Q3), a and b each independently represent an integer of 1 to 5, preferably 1 or 2, and it is more preferable that both a and b be 1.
In formula (Q3), c and d each independently represent an integer of 0 to 5, preferably 0 or 1, and it is more preferable that both c and d be 0.

式(Q3)中、R〜Rはそれぞれ独立に置換基を表す。R〜Rが表す置換基としては特に制限はないが、例えば、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、アルキル基、アルケニル基、アシル基、ヒドロキシ基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシ基、アリール基、ヘテロアリール基、及び、脂環基等を挙げることができる。R〜Rが表す置換基はアルキル基、アルコキシ基又はアリール基であることが好ましく、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜5のアルコキシ基又はフェニル基であることがより好ましく、メチル基、メトキシ基又はフェニル基であることが更に好ましい。
式(Q3)中、Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含有する多環芳香族炭化水素基である場合は、R〜Rはそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環に置換していても、破線で囲まれたベンゼン環以外の環に置換していてもよい。
In formula (Q3), R 1 to R 4 each independently represent a substituent. The substituent represented by R 1 to R 4 is not particularly limited, and examples thereof include a halogen atom, a halogenated alkyl group, an alkyl group, an alkenyl group, an acyl group, a hydroxy group, a hydroxyalkyl group, an alkoxy group, an aryl group and a hetero An aryl group, an alicyclic group, etc. can be mentioned. The substituent represented by R 1 to R 4 is preferably an alkyl group, an alkoxy group or an aryl group, and more preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms or a phenyl group More preferably, it is a methyl group, a methoxy group or a phenyl group.
In the formula (Q3), when Ar 11 to Ar 14 each independently represent a polycyclic aromatic hydrocarbon group containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the condensed rings, R 1 to R 4 are each independently The benzene ring may be substituted by a dashed line or a ring other than the benzene ring surrounded by a dashed line.

式(Q3)中、e、f、g及びhはそれぞれ独立に0以上の整数を表し、e、f、g及びhの上限値はそれぞれAr11〜Ar14が含有することができる置換基の数からa、b、c又はdをそれぞれ減じた値である。
e、f、g及びhはそれぞれ独立に0〜8であることが好ましく、0〜2であることがより好ましく、0であることが更に好ましい。
Ar11〜Ar14がそれぞれ独立に破線で囲まれたベンゼン環を縮合環のひとつとして含有する多環芳香族炭化水素基である場合、e、f、g及びhは0又は1であることが好ましく、0であることがより好ましい。
In formula (Q3), e, f, g and h each independently represent an integer of 0 or more, and the upper limit values of e, f, g and h are each a substituent which Ar 11 to Ar 14 can contain. It is a value obtained by subtracting a, b, c or d from the number.
Each of e, f, g and h is preferably independently 0 to 8, more preferably 0 to 2, and still more preferably 0.
When Ar 11 to Ar 14 each independently represent a polycyclic aromatic hydrocarbon group containing a benzene ring surrounded by a broken line as one of the condensed rings, e, f, g and h are 0 or 1 Preferably, it is 0.

式(Q3)で表される化合物としては、例えば、9,9−ビス[4−(2−アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン等が挙げられる。9,9−ビスアリールフルオレン骨格を含有する重合性化合物としては、特開2010-254732号公報に記載の化合物類も好適に用いることができる。   Examples of the compound represented by the formula (Q3) include 9,9-bis [4- (2-acryloyloxyethoxy) phenyl] fluorene and the like. As the polymerizable compound containing a 9,9-bisarylfluorene skeleton, compounds described in JP-A-2010-254732 can also be suitably used.

このようなカルド骨格を含有する重合性化合物としては、限定されないが、例えば、オンコートEXシリーズ(長瀬産業社製)及びオグソール(大阪ガスケミカル社製)等が挙げられる。   As a polymerizable compound containing such a cardo frame, although not limited, for example, On Coat EX series (manufactured by Nagase & Co., Ltd.) and ogsol (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.) can be mentioned.

〔任意成分〕
<着色剤>
硬化性組成物は着色剤を含有することが好ましい。着色剤は、顔料、及び、染料からなる群から選択される少なくとも1種であり、有彩色着色剤でも、黒色着色剤でもよいが、黒色顔料を含有することが好ましい。
硬化性組成物における着色剤の含有量は、特に制限されないが、上記硬化性組成物により得られる硬化膜を遮光膜として用いる場合、より優れた遮光性が得られる点で、硬化性組成物の全固形分に対して、50質量%以上が好ましい。
着色剤の含有量の上限値は特に制限されないが、一般に、硬化性組成物の全固形分に対して、70質量%以下が好ましい。着色剤の含有量が上限値以下だと、硬化性組成物はより優れた塗布性を有する。
[Optional component]
<Colorant>
The curable composition preferably contains a colorant. The colorant is at least one selected from the group consisting of a pigment and a dye, and may be a chromatic colorant or a black colorant, but preferably contains a black pigment.
Although the content of the coloring agent in the curable composition is not particularly limited, when the cured film obtained by the above-mentioned curable composition is used as a light shielding film, the curable composition of the curable composition is more excellent in light shielding property 50 mass% or more is preferable with respect to a total solid content.
The upper limit value of the content of the colorant is not particularly limited, but in general, 70% by mass or less is preferable with respect to the total solid content of the curable composition. When the content of the colorant is less than or equal to the upper limit value, the curable composition has more excellent coatability.

(顔料)
顔料としては、特に制限されず、公知の無機顔料及び/又は有機顔料を用いることができる。
(Pigment)
The pigment is not particularly limited, and known inorganic pigments and / or organic pigments can be used.

・無機顔料
上記無機顔料としては、特に制限されず、公知の無機顔料を用いることができる。
無機顔料としては、例えば、亜鉛華、鉛白、リトポン、酸化チタン、酸化クロム、酸化鉄、沈降性硫酸バリウム及びバライト粉、鉛丹、酸化鉄赤、黄鉛、亜鉛黄(亜鉛黄1種、亜鉛黄2種)、ウルトラマリン青、プロシア青(フェロシアン化鉄カリ)ジルコングレー、プラセオジムイエロー、クロムチタンイエロー、クロムグリーン、ピーコック、ビクトリアグリーン、紺青(プルシアンブルーとは無関係)、バナジウムジルコニウム青、クロム錫ピンク、陶試紅、並びにサーモンピンク等が挙げられる。また、黒色の無機顔料としては、Co、Cr、Cu、Mn,Ru、Fe、Ni、Sn、Ti、及びAgからなる群より選ばれた1種又は2種以上の金属元素を含む金属酸化物、金属窒素物、及び金属酸窒化物等が挙げられる。
-Inorganic pigment It does not restrict | limit especially as said inorganic pigment, A well-known inorganic pigment can be used.
Examples of inorganic pigments include zinc flower, lead white, lithopone, titanium oxide, chromium oxide, iron oxide, precipitated barium sulfate and barite powder, red lead, iron oxide red, yellow lead, zinc yellow (zinc yellow 1 type, Zinc yellow 2), ultramarine blue, Prussian blue (ferrous iron potassium) zircon gray, praseodymium yellow, chromium titanium yellow, chromium green, peacock, Victoria green, bitumen blue (independent of Prussian blue), vanadium zirconium blue, Chrome tin pink, pottery test pink, and salmon pink etc. are mentioned. In addition, as a black inorganic pigment, metal oxides containing one or more metal elements selected from the group consisting of Co, Cr, Cu, Mn, Ru, Fe, Ni, Sn, Ti, and Ag , Metal nitrides, and metal oxynitrides.

無機顔料としては、含有量が少なくとも、高い光学濃度を有する硬化膜を形成することができる硬化性組成物が得られる点で、カーボンブラック、チタンブラック、及び金属顔料等(以下、「黒色顔料」ともいう。)が好ましい。金属顔料としては、例えば、Nb、V、Co、Cr、Cu、Mn、Ru、Fe、Ni、Sn、Ti、及びAgからなる群より選ばれる1種又は2種以上の金属元素を含む金属酸化物及び金属窒素物が挙げられる。
無機顔料としては、窒化チタン、酸窒化チタン、窒化ニオブ、窒化バナジウム、銀、又は錫を含有する金属顔料、並びに銀、及び錫を含有する金属顔料からなる群から選択される少なくとも1種を含有することが好ましく、窒化チタン、酸窒化チタン、窒化ニオブ、及び窒化バナジウムからなる群から選択される少なくとも1種を含有することがより好ましい。窒化ニオブ、及び窒化バナジウムは、酸窒化ニオブ、及び酸窒化バナジウムでもよい。
なお、無機顔料としては、カーボンブラックを用いることもできる。カーボンブラックの具体例としては、市販品である、C.I.ピグメントブラック 1等の有機顔料C.I.ピグメントブラック 7等の無機顔料が挙げられるがこれらに限定されない。
As an inorganic pigment, carbon black, titanium black, metal pigments, etc. (hereinafter, “black pigment”) in that a curable composition capable of forming a cured film having a high optical density at least is contained. It is also preferred). The metal pigment includes, for example, metal oxides containing one or more metal elements selected from the group consisting of Nb, V, Co, Cr, Cu, Mn, Ru, Fe, Ni, Sn, Ti, and Ag. And metal nitrogens.
The inorganic pigment includes at least one selected from the group consisting of titanium nitride, titanium oxynitride, niobium nitride, vanadium nitride, silver, or metal pigments containing silver, and metal pigments containing silver and tin. It is preferable to contain at least one selected from the group consisting of titanium nitride, titanium oxynitride, niobium nitride, and vanadium nitride. The niobium nitride and vanadium nitride may be niobium oxynitride and vanadium oxynitride.
In addition, carbon black can also be used as an inorganic pigment. Specific examples of carbon black include C.I. I. Organic pigments such as C.I. I. Inorganic pigments such as C.I. Pigment Black 7 may be mentioned, but not limited thereto.

硬化性組成物には、黒色顔料として記載した顔料以外で赤外線吸収性を有する顔料を用いることもできる。
赤外線吸収性を有する顔料としては、タングステン化合物、及び金属ホウ化物等が好ましく、なかでも、赤外領域の波長における遮光性に優れる点から、タングステン化合物が好ましい。特に露光による硬化効率に関わる光重合開始剤の光吸収波長領域と、可視光領域の透光性に優れる観点からタングステン化合物が好ましい。
In the curable composition, pigments having infrared absorptivity other than the pigments described as the black pigment can also be used.
As the pigment having infrared absorptivity, tungsten compounds, metal borides and the like are preferable, and in particular, tungsten compounds are preferable from the viewpoint of being excellent in the light shielding property at the wavelength in the infrared region. In particular, a tungsten compound is preferable from the viewpoint of being excellent in the light absorption wavelength region of the photopolymerization initiator related to the curing efficiency by exposure and the light transmittance of the visible light region.

これらの顔料は、2種以上併用してもよく、また、後述する染料と併用してもよい。色味を調整するため、及び、所望の波長領域の遮光性を高めるため、例えば、黒色顔料、又は赤外線遮光性を有する顔料に、赤色、緑色、黄色、オレンジ色、紫色、及びブルーなどの有彩色顔料若しくは後述する染料を混ぜる態様が挙げられる。黒色顔料、又は赤外線遮光性を有する顔料に、赤色顔料若しくは染料、又は、紫色顔料若しくは染料を混合することが好ましく、黒色顔料、又は赤外線遮光性を有する顔料に赤色顔料を混合することがより好ましい。
更に、後述する近赤外線吸収剤、赤外線吸収剤を加えても良い。
These pigments may be used in combination of two or more, and may be used in combination with the dyes described later. For example, a black pigment or a pigment having an infrared ray shielding property has red, green, yellow, orange, purple, blue and the like in order to adjust the color tone and to enhance the light shielding property in a desired wavelength range. The aspect which mixes a coloring pigment or the dye mentioned later is mentioned. It is preferable to mix a red pigment or dye, or a violet pigment or dye with a black pigment or a pigment having infrared light shielding properties, and more preferable to mix a red pigment with a black pigment or a pigment having infrared light shielding properties .
Furthermore, near infrared absorbers and infrared absorbers described later may be added.

黒色顔料は、チタンブラック及び/又は酸窒化ニオブを含有することが好ましい。チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子である。好ましくは低次酸化チタン、酸窒化チタン又は窒化チタン等である。チタンブラック粒子は、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。酸化珪素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は、酸化ジルコニウムで被覆することが可能であり、また、特開2007−302836号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。
チタンブラックは、典型的には、チタンブラック粒子であり、個々の粒子の一次粒子径及び平均一次粒子径のいずれもが小さいものであることが好ましい。酸窒化ニオブも同様である。
具体的には、平均一次粒子径で10nm〜45nmの範囲のものが好ましい。
The black pigment preferably contains titanium black and / or niobium oxynitride. Titanium black is a black particle containing a titanium atom. Preferred is low-order titanium oxide, titanium oxynitride or titanium nitride. The surface of the titanium black particles can be modified as needed for the purpose of improving dispersibility, suppressing aggregation, and the like. It is possible to coat with silicon oxide, titanium oxide, germanium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide or zirconium oxide, and also treatment with a water repellent substance as shown in JP-A-2007-302836. It is possible.
Titanium black is typically titanium black particles, and it is preferable that both the primary particle size and the average primary particle size of the individual particles be small. The same applies to niobium oxynitride.
Specifically, those having an average primary particle diameter in the range of 10 nm to 45 nm are preferable.

なお、顔料の平均一次粒子径は、透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope、TEM)を用いて測定できる。透過型電子顕微鏡としては、例えば、日立ハイテクノロジーズ社製の透過型顕微鏡HT7700を用いることができる。
本明細書において、顔料の平均一次粒子径は、透過型電子顕微鏡を用いて得た粒子像の最大長(Dmax:粒子画像の輪郭上の2点における最大長さ)、及び最大長垂直長(DV−max:最大長に平行な2本の直線で画像を挟んだ時、2直線間を垂直に結ぶ最短の長さ)を測長し、その相乗平均値(Dmax×DV−max)1/2を粒子径とした。顔料の平均一次粒子径は、この方法で100個の粒子の粒子径を測定し、その算術平均値を意図する。
The average primary particle size of the pigment can be measured using a transmission electron microscope (TEM). As a transmission electron microscope, for example, a transmission microscope HT7700 manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation can be used.
In the present specification, the average primary particle size of the pigment is the maximum length of the particle image obtained using a transmission electron microscope (Dmax: the maximum length at two points on the outline of the particle image), and the maximum length perpendicular length (D DV-max: When the image is sandwiched by two straight lines parallel to the maximum length, the shortest length connecting the two straight lines is measured, and the geometric mean value (Dmax × DV-max) 1 / 2 was made into the particle diameter. The average primary particle size of the pigment measures the particle size of 100 particles by this method, and the arithmetic mean value is intended.

チタンブラック及び酸窒化ニオブの比表面積は特に制限されないが、チタンブラック及び酸窒化ニオブを撥水化剤で表面処理した後の撥水性が所定の性能となるために、BET(Brunauer, Emmett, Teller)法にて測定した値が5m2/g以上150m2/g以下であることが好ましく、20m2/g以上120m2/g以下であることがより好ましい。
チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M−C、13R、13R−N、13M−T(商品名、三菱マテリアル(株)製)、ティラック(Tilack)D(商品名、赤穂化成(株)製)、窒化チタン50nm(商品名、和光純薬(株)製)などが挙げられる。
The specific surface area of titanium black and niobium oxynitride is not particularly limited, but since the water repellency after surface treatment of titanium black and niobium oxynitride with a water repellent becomes a predetermined performance, BET (Brunauer, Emmett, Teller) The value measured by the method is preferably 5 m 2 / g or more and 150 m 2 / g or less, and more preferably 20 m 2 / g or more and 120 m 2 / g or less.
Examples of commercially available products of titanium black include titanium black 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C, 13R, 13R-N, 13M-T (trade name, manufactured by Mitsubishi Materials Corp.), Tilack D (trade name, manufactured by Akaho Kasei Co., Ltd.), titanium nitride 50 nm (trade name, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), and the like.

着色剤として、酸窒化チタン、窒化チタン又は酸窒化ニオブを使用することが好ましく、得られる硬化膜の耐湿性がより優れるという理由から、窒化チタン又は酸窒化ニオブがより好ましく、酸窒化ニオブが更に好ましい。これは、これらの着色剤が疎水性であるためと考えられる。   It is preferable to use titanium oxynitride, titanium nitride or niobium oxynitride as the colorant, and titanium nitride or niobium oxynitride is more preferable, and niobium oxynitride is further preferable because moisture resistance of the obtained cured film is more excellent. preferable. It is believed that this is because these colorants are hydrophobic.

更に、チタンブラックを、チタンブラック及びSi原子を含む被分散体として含有することも好ましい。
この形態において、チタンブラックは、硬化性組成物中において被分散体として含有されるものであり、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)が質量換算で0.05以上が好ましく、0.05〜0.5がより好ましく、0.07〜0.4が更に好ましい。
ここで、上記被分散体は、チタンブラックが一次粒子の状態であるもの、凝集体(二次粒子)の状態であるものの双方を包含する。
被分散体の含有比(Si/Ti)を変更する(例えば、0.05以上とする)ためには、以下のような手段を用いることができる。
先ず、酸化チタンとシリカ粒子とを分散機を用いて分散することにより分散物を得て、この分散物を高温(例えば、850〜1,000℃)にて還元処理することにより、チタンブラック粒子を主成分とし、SiとTiとを含有する被分散体を得ることができる。上記還元処理は、アンモニアなどの還元性ガスの雰囲気下で行うこともできる。
酸化チタンとしては、TTO−51N(商品名、石原産業製)などが挙げられる。
シリカ粒子の市販品としては、AEROSIL(登録商標)90、130、150、200、255、300、380(商品名、エボニック製)などが挙げられる。
酸化チタンとシリカ粒子との分散は、分散剤を用いてもよい。分散剤としては、後述する分散剤の欄で説明するものが挙げられる。
上記の分散は溶剤中で行ってもよい。溶剤としては、水、有機溶剤が挙げられる。後述する有機溶剤の欄で説明するものが挙げられる。
含有比(Si/Ti)が、例えば、0.05以上等に調整されたチタンブラックは、例えば、特開2008−266045公報の段落番号〔0005〕及び段落番号〔0016〕〜〔0021〕に記載の方法により作製することができる。
Furthermore, it is also preferable to contain titanium black as a dispersion containing titanium black and Si atoms.
In this embodiment, titanium black is contained as a substance to be dispersed in the curable composition, and the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the substance to be dispersed is 0. 0 in mass conversion. 05 or more are preferable, 0.05-0.5 are more preferable, and 0.07-0.4 are still more preferable.
Here, the above-mentioned to-be-dispersed body includes both those in which titanium black is in the state of primary particles and those in the state of aggregates (secondary particles).
In order to change the content ratio (Si / Ti) of the material to be dispersed (for example, to 0.05 or more), the following means can be used.
First, a dispersion is obtained by dispersing titanium oxide and silica particles using a disperser, and the dispersion is subjected to reduction treatment at a high temperature (for example, 850 to 1,000 ° C.) to obtain titanium black particles. It is possible to obtain a to-be-dispersed material containing Si and Ti as main components. The reduction treatment can also be performed in the atmosphere of a reducing gas such as ammonia.
Examples of titanium oxide include TTO-51N (trade name, manufactured by Ishihara Sangyo).
Commercially available silica particles include AEROSIL (registered trademark) 90, 130, 150, 200, 255, 300, 380 (trade name, manufactured by Evonik) and the like.
Dispersion of titanium oxide and silica particles may use a dispersant. As a dispersing agent, what is demonstrated by the column of the dispersing agent mentioned later is mentioned.
The above dispersion may be carried out in a solvent. Examples of the solvent include water and organic solvents. What is demonstrated by the column of the organic solvent mentioned later is mentioned.
The titanium black whose content ratio (Si / Ti) is adjusted to, for example, 0.05 or more is described in, for example, paragraph [0005] and paragraphs [0016] to [0021] of JP-A-2008-266045. It can be produced by the method of

チタンブラック及びSi原子を含む被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)を好適な範囲(例えば0.05以上)に調整することで、この被分散体を含む硬化性組成物を用いて硬化膜を形成した際に、硬化膜の形成領域外における硬化性組成物由来の残渣物が低減される。なお、残渣物は、チタンブラック粒子、樹脂成分等の硬化性組成物に由来する成分を含むものである。
残渣物が低減される理由は未だ明確ではないが、上記のような被分散体は粒子径が小さくなる傾向があり(例えば、粒子径30nm以下)、更に、この被分散体のSi原子が含まれる成分が増すことにより、膜全体の下地との吸着性が低減される。これが、硬化膜の形成における未硬化の硬化性組成物(特に、チタンブラック)の現像除去性の向上に寄与すると推測される。
チタンブラックは、紫外光から赤外光までの広範囲に亘る波長領域の光に対する遮光性に優れることから、上記したチタンブラック及びSi原子を含む被分散体(好ましくは含有比(Si/Ti)が質量換算で0.05以上であるもの)を用いて形成された硬化膜は優れた遮光性を発揮する。
なお、被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)は、例えば、特開2013−249417号公報の段落0033に記載の方法(1−1)又は方法(1−2)を用いて測定できる。
硬化性組成物を硬化して得られた硬化膜に含有される被分散体について、その被分散体中のSi原子とTi原子との含有比(Si/Ti)が0.05以上か否かを判断するには、特開2013−249417号公報の段落0035に記載の方法(2)を用いることができる。
Curing including the material to be dispersed by adjusting the content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in a material to be dispersed containing titanium black and Si atoms to a suitable range (for example, 0.05 or more) When a cured film is formed using the sexing composition, the residue derived from the curable composition outside the formation region of the cured film is reduced. In addition, a residue contains the component derived from curable compositions, such as a titanium black particle | grain and a resin component.
The reason why the residue is reduced is still unclear, but the above-mentioned material to be dispersed tends to have a smaller particle size (for example, particle size of 30 nm or less), and further contains Si atoms of this material to be dispersed. By increasing the content of components, the adsorptivity of the entire film to the substrate is reduced. It is speculated that this contributes to the improvement of the development removability of the uncured curable composition (particularly titanium black) in the formation of the cured film.
Since titanium black is excellent in the light shielding property to light in a wide wavelength range from ultraviolet light to infrared light, a dispersion containing the above-described titanium black and Si atoms (preferably, the content ratio (Si / Ti) is The cured film formed using the one having a mass conversion of 0.05 or more) exhibits excellent light shielding properties.
The content ratio (Si / Ti) of Si atoms to Ti atoms in the material to be dispersed is, for example, the method (1-1) or the method (1-2) described in paragraph 0033 of JP-A-2013-249417. ) Can be used.
Regarding the material to be dispersed contained in the cured film obtained by curing the curable composition, whether the content ratio (Si / Ti) of Si atom to Ti atom in the material to be dispersed is 0.05 or more In order to judge, the method (2) as described in Paragraph 0035 of Unexamined-Japanese-Patent No. 2013-249417 can be used.

チタンブラック及びSi原子を含む被分散体において、チタンブラックは、上記したものを使用できる。
この被分散体においては、チタンブラックと共に、分散性、着色性等を調整する目的で、Cu、Fe、Mn、V、Ni等の複合酸化物、酸化コバルト、酸化鉄、カーボンブラック、アニリンブラック等からなる黒色顔料を、1種又は2種以上組み合わせて用いてもよい。この場合、全被分散体中の50質量%以上をチタンブラックからなる被分散体が占めることが好ましい。
この被分散体においては、遮光性の調整等を目的として、本発明の効果を損なわない限りにおいて、チタンブラックと共に、他の着色剤(有機顔料及び/又は染料など)を所望により併用してもよい。
以下、被分散体にSi原子を導入する際に用いられる材料について述べる。被分散体にSi原子を導入する際には、シリカなどのSi含有物質を用いればよい。
用いうるシリカとしては、沈降シリカ、フュームドシリカ、コロイダルシリカ、合成シリカなどを挙げることができ、これらを適宜選択して使用すればよい。
更に、シリカ粒子の粒子径が硬化膜を形成した際の膜厚よりも小さい粒子径であると遮光性がより優れるため、微粒子タイプのシリカを用いることが好ましい。なお、微粒子タイプのシリカの例としては、例えば、特開2013−249417号公報の段落0039に記載のシリカが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
In the dispersion containing titanium black and Si atoms, titanium black can be used as described above.
In this material to be dispersed, together with titanium black, for the purpose of adjusting the dispersibility, colorability, etc., complex oxides such as Cu, Fe, Mn, V, Ni, cobalt oxide, iron oxide, carbon black, aniline black etc. The black pigment consisting of these may be used 1 type or in combination of 2 or more types. In this case, it is preferable that the to-be-dispersed body which consists of titanium black occupies 50 mass% or more in all the to-be-dispersed bodies.
In this material to be dispersed, other colorants (such as organic pigments and / or dyes) may be optionally used together with titanium black for the purpose of adjusting the light shielding property and the like, as long as the effects of the present invention are not impaired. Good.
Hereinafter, materials used when introducing Si atoms into the material to be dispersed will be described. When introducing Si atoms into the material to be dispersed, a Si-containing substance such as silica may be used.
Examples of the silica that can be used include precipitated silica, fumed silica, colloidal silica, synthetic silica and the like, and these may be appropriately selected and used.
Furthermore, fine particles of silica are preferably used because the light shielding properties are more excellent when the particle size of the silica particles is smaller than the film thickness when the cured film is formed. In addition, as an example of silica of a fine particle type, the silica of Unexamined-Japanese-Patent No. 2013-249417, Paragraph is mentioned, for example, and these content is integrated in this specification.


硬化性組成物は、顔料としてタングステン化合物、及び/又は金属ホウ化物を使用できる。
タングステン化合物、及び金属ホウ化物は、赤外線(波長が約800〜1,200nmの光)に対しては吸収が高く(すなわち、赤外線に対する遮光性(遮蔽性)が高く)、可視光に対しては吸収が低い赤外線遮蔽材である。このため、硬化性組成物は、タングステン化合物、及び/又は金属ホウ化物を含有することで、赤外領域における遮光性が高く、可視光領域における透光性が高いパターンを形成できる。
タングステン化合物、及び金属ホウ化物は、画像形成に用いられる、高圧水銀灯、KrF、ArFなどの露光に用いられる可視域より短波の光に対しても吸収が小さい。このため、前述の重合性化合物、光重合開始剤、及び後述のアルカリ可溶性樹脂と組み合わされることにより、優れたパターンが得られるとともに、パターン形成において、現像残渣をより抑制できる。

The curable composition can use a tungsten compound and / or a metal boride as a pigment.
Tungsten compounds and metal borides have high absorption for infrared rays (light with a wavelength of about 800 to 1,200 nm) (that is, high light shielding properties (shielding properties for infrared rays)) and visible lights. It is an infrared shielding material with low absorption. Therefore, the curable composition containing the tungsten compound and / or the metal boride can form a pattern having a high light shielding property in the infrared region and a high light transmitting property in the visible light region.
Tungsten compounds and metal borides have smaller absorption to short-wave light than the visible region used for exposure, such as high-pressure mercury lamp, KrF, ArF, etc. used for image formation. For this reason, by combining the above-mentioned polymerizable compound, the photopolymerization initiator, and the alkali-soluble resin described later, an excellent pattern can be obtained, and the development residue can be further suppressed in the pattern formation.

タングステン化合物としては、酸化タングステン系化合物、ホウ化タングステン系化合物、硫化タングステン系化合物などを挙げることができ、下記一般式(組成式)(I)で表される酸化タングステン系化合物が好ましい。
・・・(I)
Mは金属、Wはタングステン、Oは酸素を表す。
0.001≦x/y≦1.1
2.2≦z/y≦3.0
Examples of tungsten compounds include tungsten oxide compounds, tungsten boride compounds, tungsten sulfide compounds and the like, and tungsten oxide compounds represented by the following general formula (composition formula) (I) are preferable.
M x W y O z (I)
M represents a metal, W represents tungsten, and O represents oxygen.
0.001 ≦ x / y ≦ 1.1
2.2 ≦ z / y ≦ 3.0

Mの金属としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Sn、Pb、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、Rb、Csなどが挙げられるが、アルカリ金属が好ましい。Mの金属は1種でも2種以上でもよい。   Examples of the metal of M include alkali metals, alkaline earth metals, Mg, Zr, Cr, Mn, Fe, Ru, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Cu, Ag, Au, Zn, Cd, Al, Ga, In, Tl, Sn, Pb, Ti, Nb, V, Mo, Ta, Re, Be, Hf, Os, Bi, Rb, Cs, etc. may be mentioned, with preference given to alkali metals. The metal of M may be one kind or two or more kinds.

Mはアルカリ金属であることが好ましく、Rb又はCsがより好ましく、Csが更に好ましい。   M is preferably an alkali metal, more preferably Rb or Cs, and still more preferably Cs.

x/yが0.001以上であることにより、赤外線を十分に遮蔽することができ、1.1以下であることにより、タングステン化合物中に不純物相が生成されることをより確実に回避することできる。
z/yが2.2以上であることにより、材料としての化学的安定性をより向上させることができ、3.0以下であることにより赤外線を十分に遮蔽することができる。
When x / y is 0.001 or more, infrared rays can be shielded sufficiently, and when 1.1 or less, generation of an impurity phase in the tungsten compound is more reliably avoided. it can.
When z / y is 2.2 or more, the chemical stability as a material can be further improved, and when it is 3.0 or less, infrared rays can be sufficiently shielded.

一般式(I)で表される酸化タングステン系化合物の具体例としては、Cs0.33WO、Rb0.33WO、K0.33WO、Ba0.33WOなどを挙げることができ、Cs0.33WO又はRb0.33WOが好ましく、Cs0.33WOがより好ましい。Specific examples of the tungsten oxide compound represented by the general formula (I) include Cs 0.33 WO 3 , Rb 0.33 WO 3 , K 0.33 WO 3 , Ba 0.33 WO 3 and the like. Cs 0.33 WO 3 or Rb 0.33 WO 3 is preferable, and Cs 0.33 WO 3 is more preferable.

タングステン化合物は微粒子であることが好ましい。タングステン微粒子の平均一次粒子径は、800nm以下であることが好ましく、400nm以下であることがより好ましく、200nm以下であることが更に好ましい。平均一次粒子径がこのような範囲であることによって、タングステン微粒子が光散乱によって可視光を遮断しにくくなることから、可視光領域における透光性をより確実にすることができる。光散乱を回避する観点からは、平均一次粒子径は小さいほど好ましいが、製造時における取り扱い容易性などの理由から、タングステン微粒子の平均一次粒子径は、通常、1nm以上である。   The tungsten compound is preferably in the form of fine particles. The average primary particle diameter of the tungsten fine particles is preferably 800 nm or less, more preferably 400 nm or less, and still more preferably 200 nm or less. When the average primary particle diameter is in such a range, it is difficult for the tungsten fine particles to block visible light due to light scattering, so that it is possible to make the light transmission in the visible light region more reliable. From the viewpoint of avoiding light scattering, the smaller the average primary particle size, the better, but from the viewpoint of ease of handling at the time of production, etc., the average primary particle size of the tungsten fine particles is usually 1 nm or more.

タングステン化合物は2種以上を使用することが可能である。   Two or more types of tungsten compounds can be used.

タングステン化合物は市販品として入手可能である。タングステン化合物が、例えば酸化タングステン系化合物である場合、酸化タングステン系化合物は、タングステン化合物を不活性ガス雰囲気又は還元性ガス雰囲気中で熱処理する方法により得ることができる(特許第4096205号公報を参照)。
酸化タングステン系化合物は、例えば、住友金属鉱山株式会社製のYMF−02などのタングステン微粒子の分散物としても入手可能である。
Tungsten compounds are commercially available. When the tungsten compound is, for example, a tungsten oxide compound, the tungsten oxide compound can be obtained by a method of heat treating the tungsten compound in an inert gas atmosphere or a reducing gas atmosphere (see Japanese Patent No. 4096205). .
Tungsten oxide type compounds are also available, for example, as a dispersion of tungsten fine particles such as YMF-02 manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.

金属ホウ化物としては、ホウ化ランタン(LaB)、ホウ化プラセオジウム(PrB)、ホウ化ネオジウム(NdB)、ホウ化セリウム(CeB)、ホウ化イットリウム(YB)、ホウ化チタン(TiB)、ホウ化ジルコニウム(ZrB)、ホウ化ハフニウム(HfB)、ホウ化バナジウム(VB)、ホウ化タンタル(TaB)、ホウ化クロム(CrB、CrB)、ホウ化モリブデン(MoB、Mo、MoB)、ホウ化タングステン(W)などの1種又は2種以上を挙げることができ、ホウ化ランタン(LaB)が好ましい。As metal borides, lanthanum boride (LaB 6 ), praseodymium boride (PrB 6 ), neodymium boride (N dB 6 ), cerium boride (CeB 6 ), yttrium boride (YB 6 ), titanium boride TiB 2 ), zirconium boride (ZrB 2 ), hafnium boride (HfB 2 ), vanadium boride (VB 2 ), tantalum boride (TaB 2 ), chromium boride (CrB, CrB 2 ), molybdenum boride ( One or more of MoB 2 , Mo 2 B 5 , MoB), tungsten boride (W 2 B 5 ) and the like can be mentioned, and lanthanum boride (LaB 6 ) is preferable.

金属ホウ化物は微粒子であることが好ましい。金属ホウ化物微粒子の平均一次粒子径は、800nm以下であることが好ましく、300nm以下であることがより好ましく、100nm以下であることが更に好ましい。平均一次粒子径がこのような範囲であることによって、金属ホウ化物微粒子が光散乱によって可視光を遮断しにくくなることから、可視光領域における透光性をより確実にすることができる。光散乱を回避する観点からは、平均一次粒子径は小さいほど好ましいが、製造時における取り扱い容易性などの理由から、金属ホウ化物微粒子の平均一次粒子径は、通常、1nm以上である。   The metal boride is preferably in the form of fine particles. The average primary particle diameter of the metal boride fine particles is preferably 800 nm or less, more preferably 300 nm or less, and still more preferably 100 nm or less. When the average primary particle diameter is in such a range, the metal boride fine particles are less likely to block visible light due to light scattering, so that it is possible to make the light transmission in the visible light region more reliable. From the viewpoint of avoiding light scattering, the smaller the average primary particle diameter, the better, but from the viewpoint of ease of handling at the time of production, etc., the average primary particle diameter of metal boride fine particles is usually 1 nm or more.

金属ホウ化物は2種以上を使用してもよい。   Two or more metal borides may be used.

金属ホウ化物は市販品として入手可能であり、例えば、住友金属鉱山株式会社製のKHF−7等の金属ホウ化物微粒子の分散物としても、入手可能である。   The metal boride is available as a commercial product, for example, as a dispersion of metal boride fine particles such as KHF-7 manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.

・・チタン窒化物含有粒子
無機顔料としては、Fe原子を含むチタン窒化物含有粒子を用いることもできる。チタン窒化物含有粒子の製造には、通常、気相反応法が用いられ、具体的には電気炉法及び熱プラズマ法等が挙げられる。これらの製法の中でも、不純物の混入が少ない点、粒子径が揃いやすい点、及び、生産性が高い点などの理由から、熱プラズマ法が好ましい。
熱プラズマの発生方法としては、直流アーク放電、多相アーク放電、高周波(RF)プラズマ、及び、ハイブリッドプラズマ等が挙げられ、電極からの不純物の混入が少ない高周波プラズマが好ましい。熱プラズマ法によるチタン窒化物含有微粒子の具体的な製造方法としては、例えば、チタン粉末を高周波熱プラズマにより蒸発させ、窒素をキャリアガスとして装置内に導入し、冷却過程にてチタン粉末を窒化させ、チタン窒化物含有粒子を合成する方法等が挙げられる。なお、熱プラズマ法は、上記に限定されない。
Titanium Nitride-Containing Particles As an inorganic pigment, titanium nitride-containing particles containing Fe atoms can also be used. For the production of titanium nitride-containing particles, a gas phase reaction method is usually used, and specific examples include an electric furnace method and a thermal plasma method. Among these production methods, the thermal plasma method is preferable from the viewpoints of low contamination with impurities, easy uniformity of particle diameter, high productivity, and the like.
As a method of generating thermal plasma, direct current arc discharge, multiphase arc discharge, radio frequency (RF) plasma, hybrid plasma, etc. may be mentioned, and radio frequency plasma with less contamination of impurities from the electrode is preferable. As a specific manufacturing method of titanium nitride-containing fine particles by the thermal plasma method, for example, titanium powder is evaporated by high frequency thermal plasma, nitrogen is introduced as a carrier gas into the apparatus, and titanium powder is nitrided in the cooling process. , Methods of synthesizing titanium nitride-containing particles, and the like. The thermal plasma method is not limited to the above.

チタン窒化物含有粒子の製造方法としては、特に限定されないが、国際公開第2010/147098号の段落<0037>〜<0089>に記載の製造方法を参照することができる。例えば、国際公開第2010/147098号のAg粉末に代えて、後述するFeを含む成分及び/又はSiを含む成分を用いて、これとチタン粉末材料(チタン粒子)とを混合したものを原料として、本発明の硬化性組成物に含まれるチタン窒化物含有粒子を製造することができる。   Although it does not specifically limit as a manufacturing method of titanium nitride containing particle | grains, The manufacturing method as described in Paragraph <0037>-<0089> of WO 2010/147098 can be referred to. For example, instead of the Ag powder of WO 2010/147098, a mixture of a component containing Fe described later and / or a component containing Si and a powder of titanium and a powder of titanium (titanium particles) is used as a raw material The titanium nitride-containing particles contained in the curable composition of the present invention can be produced.

チタン窒化物含有粒子の製造に使用するチタン粉末材料(チタン粒子)は、高純度のものであることが好ましい。チタン粉末材料は、特に限定されないが、チタン元素の純度が99.99%以上であるものが好ましく、99.999%以上のものがより好ましく用いられる。   The titanium powder material (titanium particles) used for producing titanium nitride-containing particles is preferably of high purity. The titanium powder material is not particularly limited, but preferably has a purity of 99.99% or more, more preferably 99.999% or more.

チタン窒化物含有粒子の製造に使用するチタン粉末材料(チタン粒子)は、チタン原子以外の原子を含有する場合がある。チタン粉末材料に含まれ得る他の原子としては、例えばFe原子及びSi原子などが挙げられる。
チタン粉末材料がFe原子を含有する場合には、Fe原子の含有量は、チタン粉末材料の全質量に対して、0.001質量%超であることが好ましい。
チタン粉末材料がSi原子を含有する場合には、Si原子の含有量が、チタン粉末材料全質量に対して、0.002質量%超0.3質量%未満であることが好ましく、0.01〜0.15質量%であることがより好ましく、0.02〜0.1質量%であることが更に好ましい。Si原子の含有量が0.002質量%超であることで、硬化膜のパターニング性がより向上する。Si原子の含有量が0.3質量%未満であることで、得られるチタン窒化物含有粒子の最表層の極性がより安定化する。これにより、チタン窒化物含有粒子を分散させる際にチタン窒化物含有粒子への分散剤の吸着性が良化して、チタン窒化物含有粒子の未分散物が低減し、パーティクル発生を抑制できると考えられる。
チタン窒化物含有粒子の製造に使用するチタン粉末材料(チタン粒子)中の水分は、チタン粉末材料の全質量に対して、1質量%未満であることが好ましく、0.1質量%未満であることがより好ましく、実質的に含まないことが更に好ましい。
The titanium powder material (titanium particles) used for producing titanium nitride-containing particles may contain atoms other than titanium atoms. Other atoms that may be included in the titanium powder material include, for example, Fe atoms and Si atoms.
When the titanium powder material contains Fe atoms, the content of Fe atoms is preferably more than 0.001% by mass with respect to the total mass of the titanium powder material.
When the titanium powder material contains Si atoms, the content of Si atoms is preferably more than 0.002 mass% and less than 0.3 mass% with respect to the total mass of the titanium powder material, and 0.01 It is more preferable that it is -0.15 mass%, and it is still more preferable that it is 0.02-0.1 mass%. The patternability of a cured film improves more because content of Si atom is more than 0.002 mass%. When the content of Si atoms is less than 0.3% by mass, the polarity of the outermost layer of the obtained titanium nitride-containing particles is further stabilized. As a result, when the titanium nitride-containing particles are dispersed, the adsorptivity of the dispersant to the titanium nitride-containing particles is improved, the non-dispersion of the titanium nitride-containing particles is reduced, and generation of particles can be suppressed. Be
The water content in the titanium powder material (titanium particles) used to produce the titanium nitride-containing particles is preferably less than 1% by mass, and less than 0.1% by mass, based on the total mass of the titanium powder material. Is more preferable, and it is even more preferable that it is not substantially contained.

チタン窒化物含有粒子は、熱プラズマ法を用いて得ることにより、CuKα線をX線源とした場合の(200)面に由来するピークの回折角2θ(詳細は後述する)を、42.6°超43.5°以下の範囲に調整することが容易になる。   The titanium nitride-containing particle is obtained by using a thermal plasma method, and the diffraction angle 2θ (described later in detail) of the peak derived from the (200) plane when the CuKα ray is used as the X-ray source is 42.6. It becomes easy to adjust in the range of more than 43.5 °.

チタン窒化物含有粒子にFe原子を含有させる方法としては、特に限定されず、例えば、上述したチタン窒化物含有粒子の原料として用いられるチタン粒子(チタン粉末)を得る段階において、Fe原子を導入する方法などが挙げられる。より詳細には、クロール法などによりチタンを製造する際に、反応容器としてステンレス鋼などのFe原子を含有する材料から構成されるものを用いたり、チタンを破砕する際のプレス機及び粉砕機の材料としてFe原子を含有するものを用いたりすることによって、チタン粒子の表面にFe原子を付着させることができる。
チタン窒化物含有粒子の製造に熱プラズマ法を用いる場合には、原料であるチタン粒子の他に、Fe粒子、Fe酸化物などの成分を添加して、これらを熱プラズマ法によって窒化することによって、チタン窒化物含有粒子にFe原子を含有させることができる。
チタン窒化物含有粒子中に含まれるFe原子は、イオン、金属化合物(錯化合物も含む)、金属間化合物、合金、酸化物、複合酸化物、窒化物、酸窒化物、硫化物及び酸硫化物など、いずれの形態で含まれていてもよい。チタン窒化物含有粒子中に含まれているFe原子は、結晶格子間位置の不純物として存在していてもよいし、結晶粒界にアモルファス状態で不純物として存在していてもよい。
There is no particular limitation on the method of incorporating Fe atoms into titanium nitride-containing particles, for example, introducing Fe atoms in the step of obtaining titanium particles (titanium powder) used as a raw material of titanium nitride-containing particles described above Methods etc. More specifically, when titanium is produced by the Kroll method or the like, a reaction container made of a material containing an Fe atom such as stainless steel, or a press and a grinder for crushing titanium is used. Fe atoms can be attached to the surface of titanium particles by using a material containing Fe atoms.
When the thermal plasma method is used for producing titanium nitride-containing particles, components such as Fe particles and Fe oxides are added in addition to titanium particles as a raw material, and these are nitrided by the thermal plasma method. The titanium nitride-containing particles can contain Fe atoms.
The Fe atoms contained in the titanium nitride-containing particles are ions, metal compounds (including complex compounds), intermetallic compounds, alloys, oxides, complex oxides, nitrides, oxynitrides, sulfides, and acid sulfides. Etc. may be included in any form. The Fe atoms contained in the titanium nitride-containing particles may be present as an impurity at a position between crystal lattices, or may be present as an impurity in an amorphous state at grain boundaries.

本発明者は、鋭意検討の結果、チタン窒化物含有粒子中のFe原子の含有量が、パターニング性及び電極の防食性に関連することを知見した。チタン窒化物含有粒子中に含まれるFe原子は、電極及び基板に対する密着性に優れており、チタン窒化物含有粒子中のチタン窒化物は、Fe原子を介して電極及び基板に付着すると考えられる。現像処理などの硬化膜のパターニング後、Fe原子は電極及び基板上に残留し、チタン窒化物は除去されやすいと考えられる。そのため、チタン窒化物含有粒子中のFe原子の含有量を所定量以上にすることで、硬化膜のパターニング性が向上すると推測される。一方で、チタン窒化物含有粒子中に含まれるFe原子の含有量が多すぎると、電極及び基板上に残留するFe原子の量が増加し、電極の腐食の原因になると考えられる。そのため、チタン窒化物含有粒子中のFe原子の含有量を所定量以下にすることで、電極の防食性が向上すると推測される。
チタン窒化物含有粒子中におけるFe原子の含有量は、チタン窒化物含有粒子全質量に対して、0.001質量%超0.4質量%未満であることが好ましい。なかでも、0.01〜0.2質量%であることがより好ましく、0.02〜0.1質量%であることが更に好ましい。Fe原子の含有量が0.001質量%超であることで、硬化膜のパターニング性がより向上する。Fe原子の含有量が0.4質量%未満であることで、硬化膜による電極の防食性がより向上する(硬化膜が電極を腐食することを抑制できる)。すなわち、チタン窒化物含有粒子中におけるFe原子の含有量が上記範囲内にあることで、優れた硬化膜のパターニング性及び電極の防食性を得ることができる。
チタン窒化物含有粒子中におけるFe原子の含有量は、ICP(Inductively Coupled Plasma;高周波誘導結合プラズマ)発光分光分析法により測定することができる。
As a result of intensive studies, the present inventor has found that the content of Fe atoms in titanium nitride-containing particles is related to the patternability and the corrosion resistance of the electrode. It is considered that Fe atoms contained in the titanium nitride-containing particles are excellent in adhesion to the electrode and the substrate, and titanium nitride in the titanium nitride-containing particles adheres to the electrode and the substrate through Fe atoms. After patterning of the cured film such as development processing, it is considered that Fe atoms remain on the electrode and the substrate, and titanium nitride is easily removed. Therefore, it is speculated that the patterning property of the cured film is improved by setting the content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles to a predetermined amount or more. On the other hand, when the content of Fe atoms contained in the titanium nitride-containing particles is too large, the amount of Fe atoms remaining on the electrode and the substrate increases, which is considered to cause corrosion of the electrode. Therefore, it is assumed that the corrosion resistance of the electrode is improved by setting the content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles to a predetermined amount or less.
The content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles is preferably more than 0.001% by mass and less than 0.4% by mass with respect to the total mass of the titanium nitride-containing particles. Especially, it is more preferable that it is 0.01-0.2 mass%, and it is still more preferable that it is 0.02-0.1 mass%. The patternability of a cured film improves more because content of Fe atom is more than 0.001 mass%. The corrosion resistance of the electrode by a cured film improves more because content of Fe atom is less than 0.4 mass% (It can suppress that a cured film corrodes an electrode). That is, when the content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles is in the above range, excellent patternability of the cured film and corrosion resistance of the electrode can be obtained.
The content of Fe atoms in the titanium nitride-containing particles can be measured by ICP (Inductively Coupled Plasma; high frequency inductively coupled plasma) emission spectroscopy.

チタン窒化物含有粒子は、更にSi原子(ケイ素原子)を含有することが好ましい。これにより、硬化膜のパターニング性がより向上する。Si原子を含有することによりパターニング性が向上する理由としては、上述したFe原子と同様と考えられる。
チタン窒化物含有粒子中におけるSi原子の含有量は、チタン窒化物含有粒子全質量に対して、0.002質量%超0.3質量%未満であることが好ましく、0.01〜0.15質量%であることがより好ましく、0.02〜0.1質量%であることが更に好ましい。Si原子の含有量が0.002質量%超であることで、硬化膜のパターニング性がより向上する。Si原子の含有量が0.3質量%未満であることで、チタン窒化物含有粒子の最表層の極性がより安定化する。これにより、チタン窒化物含有粒子を分散させる際にチタン窒化物含有粒子への分散剤の吸着性が良化して、チタン窒化物含有粒子の未分散物が低減し、パーティクル発生を抑制できると考えられる。
チタン窒化物含有粒子中におけるSi原子の含有量は、上述したFe原子と同様の方法によって測定することができる。
The titanium nitride-containing particles preferably further contain Si atoms (silicon atoms). Thereby, the patterning property of a cured film improves more. The reason why the patterning property is improved by containing the Si atom is considered to be the same as the Fe atom described above.
The content of Si atoms in the titanium nitride-containing particles is preferably more than 0.002 mass% and less than 0.3 mass% with respect to the total mass of the titanium nitride-containing particles, and is preferably 0.01 to 0.15. It is more preferable that it is mass%, and it is still more preferable that it is 0.02-0.1 mass%. The patternability of a cured film improves more because content of Si atom is more than 0.002 mass%. When the content of Si atoms is less than 0.3% by mass, the polarity of the outermost layer of the titanium nitride-containing particles is further stabilized. As a result, when the titanium nitride-containing particles are dispersed, the adsorptivity of the dispersant to the titanium nitride-containing particles is improved, the non-dispersion of the titanium nitride-containing particles is reduced, and generation of particles can be suppressed. Be
The content of Si atoms in the titanium nitride-containing particles can be measured by the same method as the above-described Fe atoms.

チタン窒化物含有粒子にSi原子を含有させる方法としては、特に限定されず、例えば、上述したチタン窒化物含有粒子の原料として用いられるチタン粒子(チタン粉末)を得る段階において、Si原子を導入する方法などが挙げられる。より詳細には、クロール法などによりチタンを製造する際に、反応容器としてSi原子を含有する材料から構成されるものを用いたり、チタンを破砕する際のプレス機及び粉砕機の材料としてSi原子を含有するものを用いたりすることによって、チタン粒子の表面にSi原子を付着させることができる。
チタン窒化物含有粒子の製造に熱プラズマ法を用いる場合には、原料であるチタン粒子の他に、Si粒子、Si酸化物などの成分を添加して、これらを熱プラズマ法によって窒化することによって、チタン窒化物含有粒子にSi原子を含有させることができる。
チタン窒化物含有粒子中に含まれるSi原子は、イオン、金属化合物(錯化合物も含む)、金属間化合物、合金、酸化物、複合酸化物、窒化物、酸窒化物、硫化物及び酸硫化物など、いずれの形態で含まれていてもよい。チタン窒化物含有粒子中に含まれるSi原子は、結晶格子間位置の不純物として存在していてもよいし、結晶粒界にアモルファス状態で不純物として存在していてもよい。
It does not specifically limit as a method to make a titanium nitride containing particle contain Si atom, For example, in the stage which obtains the titanium particle (titanium powder) used as a raw material of titanium nitride containing particle mentioned above, introduce Si atom Methods etc. More specifically, when titanium is produced by the Kroll method or the like, a reaction container made of a material containing Si atoms is used, or Si atoms as materials of a press and a grinder when crushing titanium are used. The Si atom can be attached to the surface of the titanium particle by using one containing.
When the thermal plasma method is used for producing titanium nitride-containing particles, components such as Si particles and Si oxide are added in addition to titanium particles as a raw material, and these are nitrided by the thermal plasma method. And titanium nitride-containing particles can contain Si atoms.
Si atoms contained in titanium nitride-containing particles are ions, metal compounds (including complex compounds), intermetallic compounds, alloys, oxides, complex oxides, nitrides, oxynitrides, sulfides, and acid sulfides. Etc. may be included in any form. The Si atoms contained in the titanium nitride-containing particles may be present as an impurity at a position between crystal lattices, or may be present as an impurity in an amorphous state at grain boundaries.

チタン窒化物含有粒子中のチタン原子(Ti原子)の含有量は、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して、10〜85質量%であることが好ましく、15〜75質量%であることがより好ましく、20〜70質量%であることが更に好ましい。チタン窒化物含有粒子中のTi原子の含有量は、ICP発光分光分析法により測定できる。
チタン窒化物含有粒子中の窒素原子(N原子)の含有量は、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して、3〜60質量%であることが好ましく、5〜50質量%であることがより好ましく、10〜40質量%であることが更に好ましい。窒素原子の含有量は不活性ガス融解−熱伝導度法により分析することができる。
チタン窒化物含有粒子は、主成分としてチタン窒化物(TiN)を含み、通常、その合成時に酸素が混入する場合、及び、粒子径が小さい場合などに顕著になるが、粒子表面の酸化などにより、一部酸素原子を含有してもよい。
チタン窒化物含有粒子中の酸素原子の含有量は、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して、1〜40質量%であることが好ましく、1〜35質量%であることがより好ましく、5〜30質量%であることが更に好ましい。酸素原子の含有量は、不活性ガス融解−赤外線吸収法により分析することができる。
The content of titanium atoms (Ti atoms) in the titanium nitride-containing particles is preferably 10 to 85% by mass and 15 to 75% by mass with respect to the total mass of the titanium nitride-containing particles. More preferably, it is further preferably 20 to 70% by mass. The content of Ti atoms in the titanium nitride-containing particles can be measured by ICP emission spectroscopy.
The content of nitrogen atoms (N atoms) in the titanium nitride-containing particles is preferably 3 to 60% by mass, and preferably 5 to 50% by mass, based on the total mass of the titanium nitride-containing particles. More preferably, it is 10 to 40% by mass. The content of nitrogen atoms can be analyzed by the inert gas melting-thermal conductivity method.
The titanium nitride-containing particles contain titanium nitride (TiN) as a main component, and usually become prominent when oxygen is mixed in during their synthesis and when the particle diameter is small, but due to oxidation of the particle surface, etc. , And may partially contain an oxygen atom.
The content of oxygen atoms in the titanium nitride-containing particles is preferably 1 to 40% by mass, more preferably 1 to 35% by mass, based on the total mass of the titanium nitride-containing particles. It is further more preferable that it is -30 mass%. The content of oxygen atoms can be analyzed by inert gas melting-infrared absorption method.

分散安定性及び遮光性の観点から、チタン窒化物含有粒子の比表面積は5m/g以上100m/g以下が好ましく、10m/g以上60m/g以下がより好ましい。比表面積はBET(Brunauer,Emmett,Teller)法により求めることができる。The specific surface area of the titanium nitride-containing particles is preferably 5 m 2 / g or more and 100 m 2 / g or less, and more preferably 10 m 2 / g or more and 60 m 2 / g or less from the viewpoint of dispersion stability and light shielding properties. The specific surface area can be determined by the BET (Brunauer, Emmett, Teller) method.

チタン窒化物含有粒子は、チタン窒化物粒子と金属微粒子からなる複合微粒子であってもよい。
複合微粒子とは、チタン窒化物粒子と金属微粒子が複合化しているか、高度に分散した状態にある粒子のことをいう。ここで、「複合化している」とは、チタン窒化物と金属の両成分によって粒子が構成されていることを意味し、「高度に分散した状態」とは、チタン窒化物粒子と金属粒子がそれぞれ個別で存在し、かつ少量成分の粒子が凝集せず均一、一様に分散していることを意味する。
金属微粒子としては特に限定されず、例えば、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム、マンガン、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、カルシウム、チタン、ビスマス、アンチモン及び鉛、並びにこれらの合金、から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。中でも、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム及びイリジウム、並びにこれらの合金から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、銅、銀、金、白金及び錫、並びにこれらの合金から選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。耐湿性により優れる観点から、銀であることが好ましい。
チタン窒化物含有粒子における金属微粒子の含有量としては、チタン窒化物含有粒子の全質量に対して5質量%以上50質量%以下であることが好ましく、10質量%以上30質量%以下であることがより好ましい。
The titanium nitride-containing particles may be composite particles comprising titanium nitride particles and metal particles.
Composite fine particles refer to particles in which titanium nitride particles and metal fine particles are complexed or in a highly dispersed state. Here, "composite" means that particles are constituted by both components of titanium nitride and metal, and "highly dispersed state" means that titanium nitride particles and metal particles are It means that the particles of each small amount component are present individually and uniformly, uniformly, without aggregation.
The metal fine particles are not particularly limited. For example, copper, silver, gold, platinum, palladium, nickel, tin, cobalt, rhodium, iridium, ruthenium, osmium, manganese, molybdenum, tungsten, niobium, tantalum, calcium, titanium, bismuth And antimony and lead, and at least one selected from these alloys. Among them, copper, silver, gold, platinum, palladium, nickel, tin, cobalt, rhodium and iridium, and at least one selected from these alloys are preferable, and copper, silver, gold, platinum and tin, and these More preferably, it is at least one selected from alloys of Silver is preferable from the viewpoint of being excellent in moisture resistance.
The content of the metal fine particles in the titanium nitride-containing particles is preferably 5% by mass to 50% by mass, and more preferably 10% by mass to 30% by mass, based on the total mass of the titanium nitride-containing particles. Is more preferred.

チタン窒化物含有粒子は、CuKα線をX線源とした場合の(200)面に由来するピークの回折角2θが42.6°超43.5°以下であることが好ましい。このような特徴をもつチタン窒化物含有粒子を含有する硬化性組成物を用いて得られる硬化膜(例えば、ブラックマトリクスなど)は、高いOD(optical density)値を達成することが可能となる。   In the titanium nitride-containing particles, it is preferable that the diffraction angle 2θ of the peak derived from the (200) plane when CuKα radiation is used as the X-ray source is more than 42.6 ° and 43.5 ° or less. A cured film (for example, a black matrix etc.) obtained by using a curable composition containing titanium nitride-containing particles having such features can achieve high OD (optical density) values.

CuKα線をX線源としてチタン化合物のX線回折スペクトルを測定した場合において、最も強度の強いピークとしてTiNは(200)面に由来するピークが2θ=42.5°近傍に、TiOは(200)面に由来するピークが2θ=43.4°近傍にみられる。一方、最も強度の強いピークではないがアナターゼ型TiOは(200)面に由来するピークは2θ=48.1°近傍に、ルチル型TiOは(200)面に由来するピークは2θ=39.2°近傍に観測される。よって、酸素原子を多く含有する結晶状態であるほどピーク位置は42.5°に対して高角度側にシフトする。When the X-ray diffraction spectrum of a titanium compound is measured using CuKα radiation as an X-ray source, the peak with the highest intensity is as follows: TiN has a peak derived from the (200) plane around 2θ = 42.5 °, TiO The peak derived from the surface is observed near 2θ = 43.4 °. On the other hand, although not the strongest peak, anatase-type TiO 2 has a peak derived from the (200) plane near 2θ = 48.1 °, and a rutile TiO 2 has a peak derived from the (200) plane 2θ = 39 . Observed near 2 °. Therefore, the peak position shifts to the high angle side with respect to 42.5 ° as the crystal state contains a large number of oxygen atoms.

チタン窒化物含有粒子の(200)面に由来するピークの回折角2θは、粒子の経時安定性の観点から、42.6°超43.5°未満であることが好ましく、更に、製造時のプロセスマージンが優れる観点から、42.7°以上43.5°未満がより好ましく、更に、粒子性能の再現性が優れる観点から、42.7°以上43.4°未満が更に好ましい。副成分として酸化チタンTiOを含有する場合、最も強度の強いピークとしてアナターゼ型TiO(101)に由来するピークが2θ=25.3°近傍に、ルチル型TiO(110)に由来するピークが2θ=27.4°近傍に見られる。しかし、TiOは白色でありブラックマトリクスの遮光性を低下させる要因となるため、ピークとして観察されない程度に低減されていることが好ましい。The diffraction angle 2θ of the peak derived from the (200) plane of the titanium nitride-containing particles is preferably more than 42.6 ° and less than 43.5 ° from the viewpoint of the temporal stability of the particles, and further, at the time of production From the viewpoint of excellent process margin, 42.7 ° or more and less than 43.5 ° are more preferable, and further, from the viewpoint of excellent particle performance reproducibility, 42.7 ° or more and less than 43.4 ° are further preferable. When titanium oxide TiO 2 is contained as an accessory component, the peak derived from anatase-type TiO 2 (101) as the strongest peak is a peak derived from rutile-type TiO 2 (110) in the vicinity of 2θ = 25.3 °. Is observed near 2θ = 27.4 °. However, since TiO 2 is white and causes a reduction in the light shielding properties of the black matrix, it is preferable that it be reduced to such an extent that it is not observed as a peak.

X線回折ピークの半値幅よりチタン窒化物含有粒子を構成する結晶子サイズを求めることができ、シェラーの式を用いて算出される。   The crystallite size constituting the titanium nitride-containing particles can be determined from the half-width of the X-ray diffraction peak, and is calculated using Scheller's equation.

結晶子サイズは、20nm以上であることが好ましく、20〜50nmであることがより好ましい。結晶子サイズが20nm以上のチタン窒化物含有粒子を用いてブラックマトリクスを形成することにより、硬化膜の透過光はそのピーク波長が475nm以下であるような青色から青紫色を呈し、高い遮光性と紫外線感度を併せ持つブラックマトリクスを得ることができる。結晶子サイズが20nm以上であることで、活性の有する粒子表面が粒子体積に対して占める割合が小さくなり良好なバランスとなり、チタン窒化物含有粒子の耐熱性及び/又は耐久性がより優れたものとなる。   The crystallite size is preferably 20 nm or more, and more preferably 20 to 50 nm. By forming a black matrix using titanium nitride-containing particles having a crystallite size of 20 nm or more, the transmitted light of the cured film exhibits blue to blue violet such that its peak wavelength is 475 nm or less, and has high light shielding property. A black matrix having ultraviolet sensitivity can be obtained. When the crystallite size is 20 nm or more, the proportion of the active particle surface to the particle volume becomes small and the balance becomes a good balance, and the heat resistance and / or the durability of the titanium nitride-containing particles are more excellent It becomes.

・・原子Aを含有する金属窒化物含有粒子
また、無機顔料としては、金属窒化物含有粒子であって、上記金属窒化物含有粒子に所定の原子Aを含有する金属窒化物含有粒子を用いることもできる。
金属窒化物含有粒子中の金属としては、例えばNb、V、Cr、Y、Zr、Nb、Hf、Ta、W、及びRe等が挙げられ、Nb、又はVがより好ましい。
上記原子Aとしては、例えば、B、Al、Si、Mn、Fe、Ni、及びAg等が挙げられる。
金属窒化物含有粒子が、上記原子Aを含有する場合、その含有量としては特に制限されないが、金属窒化物含有粒子中における原子Aの含有量が、0.00005〜10質量%が好ましい。
.. Metal nitride-containing particles containing atom A Further, as the inorganic pigment, metal nitride-containing particles, wherein the metal nitride-containing particles contain metal nitride-containing particles containing a predetermined atom A You can also.
Examples of the metal in the metal nitride-containing particles include Nb, V, Cr, Y, Zr, Nb, Hf, Ta, W, Re and the like, with Nb or V being more preferable.
Examples of the atom A include B, Al, Si, Mn, Fe, Ni, and Ag.
When the metal nitride-containing particles contain the atom A, the content thereof is not particularly limited, but the content of the atom A in the metal nitride-containing particles is preferably 0.00005 to 10% by mass.

上記原子Aを含有する金属窒化物含有粒子の製造方法としては、特に制限されず、公知の方法を用いることができる。
金属窒化物含有粒子の製造には、通常、気相反応法が用いられ、具体的には電気炉法及び熱プラズマ法等が挙げられる。これらの製法の中でも、不純物の混入が少ない点、粒子径が揃いやすい点、及び、生産性が高い点等の理由から、熱プラズマ法が好ましい。
熱プラズマ法による金属窒化物含有粒子の具体的な製造方法としては、例えば、金属微粒子製造装置(後述する「黒色複合微粒子製造装置」と同様の装置)を用いるものが挙げられる。金属微粒子製造装置は、例えば、熱プラズマを発生させるプラズマトーチ、金属原料粉末をプラズマトーチ内へ供給する材料供給装置、冷却機能を含有するチャンバ、生成された金属微粒子を分級するサイクロン、及び金属微粒子を回収する回収部によって構成される。
本明細書において、金属微粒子とは、金属元素を含有する粒子の一次粒子径が20nm〜40μmの粒子を意図する。
It does not restrict | limit especially as a manufacturing method of metal nitride containing particle | grains containing the said atom A, A well-known method can be used.
For the production of the metal nitride-containing particles, a gas phase reaction method is usually used, and specific examples thereof include an electric furnace method and a thermal plasma method. Among these production methods, the thermal plasma method is preferable from the viewpoints of low contamination with impurities, easy uniformity of particle diameter, high productivity, and the like.
As a specific manufacturing method of the metal nitride containing particle | grains by a thermal plasma method, the thing using a metal microparticle manufacturing apparatus (The apparatus similar to the "black composite particle manufacturing apparatus" mentioned later) is mentioned, for example. The metal particle manufacturing apparatus includes, for example, a plasma torch for generating thermal plasma, a material supply device for supplying metal source powder into the plasma torch, a chamber having a cooling function, a cyclone for classifying the metal particles generated, and metal particles. It consists of the recovery part which recovers.
In the present specification, metal fine particles mean particles having a primary particle diameter of 20 nm to 40 μm of particles containing a metal element.

金属微粒子製造装置を用いた金属窒化物含有粒子の製造方法としては、特に限定されず、公知の方法を用いることができる。中でも、下記の所定の平均一次粒子径の金属窒化物含有粒子の収率が高まる点で、金属微粒子製造装置を用いて金属窒化物含有粒子を製造する方法は以下に示す工程を含有することが好ましい。
工程A:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程B:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属原料粉末を供給し、上記金属原料粉末を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程。
工程C:上記気相の原料金属を冷却し、遷移金属を含有する金属微粒子を得る工程。
工程D:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有する不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程E:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属微粒子を供給し、上記金属微粒子を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程。
工程F:上記気相の原料金属を冷却し、金属窒化物含有粒子を得る工程。
金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程C及び/又は工程Fの後に、所望により下記の工程Gを含有してもよい。
工程G:得られた粒子を分級する工程。
更に、工程Aの前、工程Aと工程Bとの間、工程Cと工程Dとの間、又は工程Dと工程Eとの間に、以下の工程A2を含有してもよい。
工程A2:遷移金属を含有する金属原料粉末に、原子Aを混合する工程。
更に、工程A2の前に、以下の工程A3−1〜A3−3を含有してもよい。
工程A3−1:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程A3−2:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、原子Aを含有する原料粉末を供給し、上記原料粉末を蒸発させ、気相の原子Aを得る工程。
工程A3−3:上記気相の原子Aを冷却し、微粒子化された原子Aを得る工程。
工程A3−3の後に更に、工程Gを含有してもよい。
本明細書において、微粒子化された原子Aとは、原子Aを含有する一次粒子径が20nm〜40μmの粒子を意図する。
It does not specifically limit as a manufacturing method of metal nitride containing particle | grains using a metal microparticle manufacturing apparatus, A well-known method can be used. Among them, the method for producing metal nitride-containing particles using a metal fine particle producing apparatus may include the following steps, in that the yield of metal nitride-containing particles having a predetermined average primary particle diameter described below is enhanced. preferable.
Step A: A step of supplying a nitrogen gas-free inert gas as a plasma gas into the plasma torch to generate a thermal plasma flame.
Step B: A step of supplying a metal source powder containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch, evaporating the metal source powder, and obtaining a source metal of a gas phase.
Step C: A step of cooling the gas phase raw material metal to obtain transition metal-containing metal fine particles.
Step D: A step of supplying an inert gas containing nitrogen gas as a plasma gas in a plasma torch to generate a thermal plasma flame.
Step E: A step of supplying metal microparticles containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch, evaporating the metal microparticles, and obtaining a raw material metal of a gas phase.
Step F: a step of cooling the gas phase raw material metal to obtain metal nitride-containing particles.
The process for producing metal nitride-containing particles may optionally include the following step G after step C and / or step F.
Step G: Step of classifying the obtained particles.
Furthermore, the following step A2 may be included prior to step A, between step A and step B, between step C and step D, or between step D and step E.
Step A2: A step of mixing the atom A with the metal raw material powder containing a transition metal.
Furthermore, before the step A2, the following steps A3-1 to A3-3 may be included.
Step A3-1: A step of supplying a nitrogen gas-free inert gas as a plasma gas in the plasma torch to generate a thermal plasma flame.
Step A3-2: A raw material powder containing the atom A is supplied to a thermal plasma flame in a plasma torch, and the raw material powder is evaporated to obtain the atom A in the gas phase.
Step A3-3: A step of cooling the gas phase atoms A to obtain atomized atoms A.
A step G may be further included after the step A3-3.
As used herein, atomized atom A means particles having a primary particle diameter of 20 nm to 40 μm, which contains atom A.

更に、上記金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程Fの後(工程Gを含有する場合は、工程Fの後の工程Gの後)に更に下記の工程Hを含有することが好ましい。
工程H:工程F(又は工程G)において得られた金属窒化物含有粒子を、水蒸気及び窒素ガスの混合雰囲気に曝露し、窒化処理する工程。
所望により、上記金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程Hの後に更に工程Gを含有してもよい。以下では、各工程の好適態様について詳述する。
Furthermore, it is preferable that the manufacturing method of the said metal nitride containing particle | grains further contains the following process H after the process F (When the process G is included, after the process G after the process F).
Step H: A step of exposing the metal nitride-containing particles obtained in step F (or step G) to a mixed atmosphere of water vapor and nitrogen gas and nitriding it.
If desired, the method for producing metal nitride-containing particles may further include step G after step H. Below, the suitable aspect of each process is explained in full detail.

工程A
工程Aはプラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程である。熱プラズマ炎の発生方法としては、特に限定されないが、直流アーク放電法、多相アーク放電法、高周波プラズマ法、及び、ハイブリッドプラズマ法等が挙げられ、電極からの不純物の混入が少ない高周波プラズマ法が好ましい。
高周波プラズマ法による熱プラズマ炎の発生方法としては、特に制限されず、例えば、高周波発振用コイルと石英管を含有するプラズマトーチ内にプラズマガスを供給し、上記高周波発振用コイルに高周波電流を印加することにより熱プラズマ炎を得る方法が挙げられる。
工程Aにおけるプラズマガスとしては、窒素ガスを含有しない不活性ガスが挙げられる。窒素ガスを含有しない不活性ガスとしては、アルゴンガス、及び水素ガス等が挙げられる。窒素ガスを含有しない不活性ガスは、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
Process A
Step A is a step of supplying an inert gas containing no nitrogen gas as a plasma gas into the plasma torch to generate a thermal plasma flame. The method of generating the thermal plasma flame is not particularly limited, and a direct current arc discharge method, a multiphase arc discharge method, a high frequency plasma method, a hybrid plasma method, etc. may be mentioned, and a high frequency plasma method with little contamination of impurities from electrodes Is preferred.
The method of generating a thermal plasma flame by the high frequency plasma method is not particularly limited. For example, plasma gas is supplied into a plasma torch containing a high frequency oscillation coil and a quartz tube, and a high frequency current is applied to the above high frequency oscillation coil. There is a method of obtaining a thermal plasma flame by carrying out.
As a plasma gas in the process A, the inert gas which does not contain nitrogen gas is mentioned. Examples of the inert gas containing no nitrogen gas include argon gas and hydrogen gas. The inert gas containing no nitrogen gas may be used alone or in combination of two or more.

工程A2
工程A2は遷移金属を含有する金属原料粉末に、原子Aを混合する工程である。原料金属粉末及び原子Aの混合方法としては特に制限されず、公知の方法を用いることができる。例えば、金属原料粉末をプラズマトーチ内へ供給する上記材料供給装置が、混合及び分散機能を含有してもよい。具体的には、国際公開第2010/147098号公報の段落0047〜0058に記載された材料供給装置を用いることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程A2の前に、以下の工程A3−1〜A3−3を更に含有してもよい。
Process A2
The step A2 is a step of mixing the atom A with the metal raw material powder containing a transition metal. It does not restrict | limit especially as a mixing method of a raw material metal powder and the atom A, A well-known method can be used. For example, the above-mentioned material supply device for supplying metal source powder into the plasma torch may contain a mixing and dispersing function. Specifically, the material supply device described in paragraphs 0047 to 0058 of WO 2010/147098 can be used, the contents of which are incorporated herein. The method for producing metal nitride-containing particles may further contain the following steps A3-1 to A3-3 before the step A2.

工程B
工程Bは、プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属原料粉末を供給し、上記金属原料粉末を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程である。プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に金属原料粉末を供給する方法としては特に制限されないが、得られる気相の原料金属が、より均一な状態となる点で、キャリアガスを用いて噴霧されることが好ましい。キャリアガスとしては、窒素ガスを含有しない不活性ガスを用いることが好ましい。窒素ガスを含有しない不活性ガスの態様は上記のとおりである。
金属窒化物含有粒子を製造する方法が、上記工程A2を含有する場合、金属原料粉末のプラズマトーチ内への供給に至るまでの間、金属原料粉末は、均一な分散状態が維持されていることが好ましい。
Process B
Step B is a step of supplying a metal raw material powder containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch and evaporating the metal raw material powder to obtain a raw material metal of a gas phase. The method of supplying the metal source powder to the thermal plasma flame in the plasma torch is not particularly limited, but that the gas phase source metal to be obtained is sprayed using a carrier gas in a more uniform state. preferable. It is preferable to use an inert gas containing no nitrogen gas as the carrier gas. The aspect of the inert gas containing no nitrogen gas is as described above.
When the method for producing metal nitride-containing particles includes the above step A2, the metal raw material powder is maintained in a uniformly dispersed state until the metal raw material powder is supplied into the plasma torch. Is preferred.

工程C
工程Cは、気相の原料金属を冷却し、遷移金属を含有する金属微粒子を得る工程である。冷却方法としては特に制限されないが、冷却機能を含有するチャンバを用いることが好ましい。工程Bにおいて得られた気相の原料金属を、上記冷却機能を含有するチャンバに導入し、チャンバ内で急冷することにより、下記の所望の粒子径の金属微粒子を生成することができる。生成した金属微粒子は、例えば、回収部により回収される。チャンバ内の雰囲気としては、窒素ガスを含有しない不活性ガスが好ましい。窒素ガスを含有しない不活性ガスの態様は上記のとおりである。
なお、上記工程A〜Cを経ることにより、遷移金属を含有する金属微粒子が得られる。遷移金属を含有する金属微粒子は、工程Eにおいて蒸発しやすい。金属原料粉末が不純物を含有する場合にも、上記工程A〜Cを経ることにより、上記不純物を除去することができる。
Process C
Step C is a step of cooling the raw material metal of the gas phase to obtain metal fine particles containing a transition metal. The method of cooling is not particularly limited, but it is preferable to use a chamber containing a cooling function. The raw material metal of the gas phase obtained in step B is introduced into a chamber containing the above-mentioned cooling function, and quenched in the chamber to produce metal fine particles of the following desired particle diameter. The generated metal fine particles are recovered by, for example, a recovery unit. As the atmosphere in the chamber, an inert gas containing no nitrogen gas is preferable. The aspect of the inert gas containing no nitrogen gas is as described above.
In addition, the metal fine particle containing a transition metal is obtained by passing through said process AC. The fine metal particles containing a transition metal are easy to evaporate in step E. Even when the metal raw material powder contains impurities, the impurities can be removed through the steps A to C.

工程D
工程Dは、プラズマトーチ内に窒素ガスを含有する不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程である。窒素を含有する不活性ガスとしては、窒素ガス、及び不活性ガスを含有する窒素ガスが挙げられる。不活性ガスとしては、アルゴンガス、及び水素ガス等が挙げられる。不活性ガスを含有する窒素ガスは、特に制限されないが、窒素ガスの含有量は、通常、10〜90モル%程度であり、30〜60モル%程度が好ましい。その他の態様は工程Aと同様である。
Process D
Process D is a process of supplying a nitrogen gas-containing inert gas as a plasma gas in a plasma torch to generate a thermal plasma flame. Nitrogen-containing inert gases include nitrogen gas and nitrogen gas containing an inert gas. The inert gas may, for example, be argon gas or hydrogen gas. The nitrogen gas containing an inert gas is not particularly limited, but the content of nitrogen gas is usually about 10 to 90 mol%, preferably about 30 to 60 mol%. The other aspects are the same as in step A.

工程E
工程Eは、プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属微粒子を供給し、上記金属微粒子を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程である。プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に金属微粒子を供給する方法としては上記のとおりであるが、キャリアガスとしては、窒素を含有する不活性ガスが好ましい。窒素を含有する不活性ガスの態様は上記のとおりである。
工程Eでは、工程A〜工程Cによって金属微粒子となった原料金属を熱プラズマ炎に供給するため、気相の原料金属が得られやすく、気相の原料金属の状態もより均一になりやすい。
Process E
Step E is a step of supplying metal microparticles containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch, evaporating the metal microparticles, and obtaining a raw material metal of a gas phase. The method for supplying metal particles to the thermal plasma flame in the plasma torch is as described above, but as the carrier gas, an inert gas containing nitrogen is preferable. The aspect of the nitrogen-containing inert gas is as described above.
In step E, since the raw material metal that has become metal fine particles in steps A to C is supplied to the thermal plasma flame, the raw material metal in the gas phase is easily obtained, and the state of the raw material metal in the gas phase tends to be more uniform.

工程F
工程Fは、気相の原料金属を冷却し、遷移金属の窒化物を含有する金属窒化物含有粒子を得る工程である。冷却方法の好適態様は上記のとおりであるが、チャンバ内の雰囲気としては、窒素ガスを含有する不活性ガスが好ましい。窒素ガスを含有する不活性ガスの好適態様は上記のとおりである。
Process F
Step F is a step of cooling the raw material metal of the gas phase to obtain metal nitride-containing particles containing nitride of transition metal. The preferred embodiment of the cooling method is as described above, but as the atmosphere in the chamber, an inert gas containing nitrogen gas is preferable. Preferred embodiments of the inert gas containing nitrogen gas are as described above.

工程G
工程Gは、得られた金属微粒子及び/又は金属窒化物含有粒子を分級する工程である。分級の方法としては特に制限されないが、例えば、サイクロンを用いることができる。サイクロンは、円錐上の容器を有し、容器内に旋回流を発生して、遠心力を利用して粒子を分級する機能を有する。分級は、不活性ガスの雰囲気下で行うことが好ましい。不活性ガスの態様は上記のとおりである。
Process G
Step G is a step of classifying the obtained metal fine particles and / or metal nitride-containing particles. The classification method is not particularly limited, and for example, a cyclone can be used. The cyclone has a container on a cone, and has a function of generating a swirling flow in the container and classifying particles using centrifugal force. Classification is preferably performed under an inert gas atmosphere. The mode of the inert gas is as described above.

工程H
工程Hは金属窒化物含有粒子を、水蒸気及び窒素ガスの混合雰囲気に曝露し、窒化処理する工程である。この工程を経ることにより、金属窒化物含有粒子における金属窒化物の含有量をより多くすることができる。金属窒化物含有粒子を、水蒸気及び窒素ガスの混合雰囲気に曝露する方法については特に制限されないが、例えば、金属窒化物含有粒子を水蒸気及び窒素ガスを混合したガスで満たされた恒温槽に導入し、所定時間静置又は攪拌する方法が挙げられ、金属窒化物含有粒子の表面及び結晶境界がより安定化する点で静置することがより好ましい。
水蒸気及び窒素ガスの混合比率は、大気中であれば相対湿度が25〜95%となる条件が好ましい。静置又は攪拌する時間は0.5〜72時間が好ましく、その際の温度は10〜40℃が好ましい。
Process H
Step H is a step in which the metal nitride-containing particles are exposed to a mixed atmosphere of water vapor and nitrogen gas and subjected to a nitriding treatment. Through this process, the content of metal nitride in the metal nitride-containing particles can be further increased. The method for exposing the metal nitride-containing particles to a mixed atmosphere of water vapor and nitrogen gas is not particularly limited. For example, metal nitride-containing particles are introduced into a thermostat bath filled with a gas mixed with water vapor and nitrogen gas. There is a method in which the metal nitride-containing particles are allowed to stand or stirred for a predetermined time, and it is more preferable to allow the metal nitride-containing particles to be stabilized in terms of further stabilizing the surface and crystal boundaries.
The mixing ratio of water vapor and nitrogen gas is preferably such that the relative humidity is 25 to 95% if it is in the atmosphere. The time for standing or stirring is preferably 0.5 to 72 hours, and the temperature at that time is preferably 10 to 40 ° C.

工程A3−1〜A3−3
工程A3−1〜A3−3は、プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程(A3−1)、プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、原子Aを含有する原料粉末を供給し、上記原料粉末を蒸発させ、気相の原子Aを得る工程(A3−2)、及び上記気相の原子Aを冷却し、原子Aからなる微粒子を得る工程(A3−3)である。それぞれの工程における態様は、上記工程A、工程B(遷移金属を含有する金属原料粉末に代えて、原子Aを含有する原料粉末を用いる)、及び工程C(遷移金属を含有する金属微粒子に代えて、微粒子化された原子Aを得る。)で説明したとおりである。
上記工程を経ることにより、原子Aが微粒子化され、工程Eにおいて原子Aが蒸発し易くなる。また、上記工程を経ることにより、原子Aを含有する原料粉末が含有する不純物(原子A以外の金属成分等)を除去することができる。
Process A3-1 to A3-3
In steps A3-1 to A3-3, a nitrogen gas-free inert gas is supplied as a plasma gas in the plasma torch to generate a thermal plasma flame (A3-1), the thermal plasma flame in the plasma torch A step of supplying raw material powder containing atom A, evaporating the raw material powder to obtain atom A in the gas phase (A3-2), and cooling atom A in the gas phase; It is a process to obtain (A3-3). The mode in each step is the above step A, step B (in place of the metal raw material powder containing transition metal, using raw material powder containing atom A), and step C (metal fine particles containing transition metal) To obtain atomized atom A).
Through the above steps, atom A is atomized and atom A is easily evaporated in step E. Moreover, the impurities (metal components other than the atom A etc.) which the raw material powder containing the atom A contains can be removed through the said process.

原子Aを含有する金属窒化物含有粒子の製造方法の好適態様
原子Aを含有する金属窒化物含有粒子の製造方法の好適態様としては、以下の工程を順に有する方法が挙げられる。
工程A:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程B:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属原料粉末を供給し、上記金属原料粉末を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程。
工程C:上記気相の原料金属を冷却し、遷移金属を含有する金属微粒子を得る工程。
工程G:得られた粒子を分級する工程。
工程A3−1:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有しない不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程A3−2:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、原子Aを含有する原料粉末を供給し、上記原料粉末を蒸発させ、気相の原子Aを得る工程。
工程A3−3:上記気相の原子Aを冷却し、微粒子化された原子Aを得る工程。
工程G:得られた粒子を分級する工程。
工程A2:遷移金属を含有する金属原料粉末(この場合、金属微粒子)に、原子A(この場合、微粒子化された原子A)を混合する工程。
工程D:プラズマトーチ内に窒素ガスを含有する不活性ガスをプラズマガスとして供給し、熱プラズマ炎を発生する工程。
工程E:プラズマトーチ内の熱プラズマ炎に、遷移金属を含有する金属微粒子を供給し、上記金属微粒子を蒸発させ、気相の原料金属を得る工程。
工程F:上記気相の原料金属を冷却し、金属窒化物含有粒子を得る工程。
工程G:得られた粒子を分級する工程。
工程H:工程Gにおいて得られた金属窒化物含有粒子を、水蒸気及び窒素ガスの混合雰囲気に曝露し、窒化処理する工程。
上記一連の工程において、工程A〜C、及び工程A3−1〜A3−3の順序を入れ替えてもよい。すなわち、工程A3−1〜A3−3の後、工程A〜Cを実施してもよい。
Preferred Embodiment of Method of Manufacturing Metal Nitride-Containing Particles Containing Atom A As a preferable embodiment of a method of manufacturing metal nitride-containing particles containing atomic A, a method having the following steps in order may be mentioned.
Step A: A step of supplying a nitrogen gas-free inert gas as a plasma gas into the plasma torch to generate a thermal plasma flame.
Step B: A step of supplying a metal source powder containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch, evaporating the metal source powder, and obtaining a source metal of a gas phase.
Step C: A step of cooling the gas phase raw material metal to obtain transition metal-containing metal fine particles.
Step G: Step of classifying the obtained particles.
Step A3-1: A step of supplying a nitrogen gas-free inert gas as a plasma gas in the plasma torch to generate a thermal plasma flame.
Step A3-2: A raw material powder containing the atom A is supplied to a thermal plasma flame in a plasma torch, and the raw material powder is evaporated to obtain the atom A in the gas phase.
Step A3-3: A step of cooling the gas phase atoms A to obtain atomized atoms A.
Step G: Step of classifying the obtained particles.
Step A2: A step of mixing the atom A (in this case, atomized A in this case) with the metal raw material powder (in this case, metal fine particles) containing a transition metal.
Step D: A step of supplying an inert gas containing nitrogen gas as a plasma gas in a plasma torch to generate a thermal plasma flame.
Step E: A step of supplying metal microparticles containing a transition metal to a thermal plasma flame in a plasma torch, evaporating the metal microparticles, and obtaining a raw material metal of a gas phase.
Step F: a step of cooling the gas phase raw material metal to obtain metal nitride-containing particles.
Step G: Step of classifying the obtained particles.
Step H: A step of exposing the metal nitride-containing particles obtained in step G to a mixed atmosphere of water vapor and nitrogen gas and nitriding it.
In the above-described series of steps, the order of steps A to C and steps A3-1 to A3-3 may be switched. That is, steps A to C may be performed after steps A3-1 to A3-3.

上記の原子Aを含有する金属窒化物含有粒子の製造方法の好適態様によれば、金属原料粉末、及び原料粒子が含有する不純物を除去でき、かつ、所望の平均一次粒子径を有する金属窒化物含有粒子を製造することができる。その理由としては、遷移金属及び/又は原子Aはプラズマ処理によりイオン化され、上記イオンが冷却される際には、遷移金属、原子A及び不純物は、それぞれの融点を反映して微粒子化されるものと推測される。このとき、融点が低い原子は粒子化が速く、融点が高い原子は粒子化が遅くなる。そのため、上記のとおり、一度プラズマ処理された微粒子(工程B及びC、並びに工程A3−2及びA3−3)は単一成分(単一結晶)になりやすいものと推測される。上記により得られた単一成分の粒子を分級すれば、遷移金属の粒子及び/又は原子Aの粒子と、不純物の粒子の密度及び/又は粒径の違いにより、不純物の粒子を除去することができる。上記分級は、例えばサイクロン等を用い、分級条件を適宜設定することで行うことができる。   According to a preferred embodiment of the method for producing metal nitride-containing particles containing atom A described above, metal raw material powder and impurities contained in raw material particles can be removed, and metal nitride having a desired average primary particle diameter Contained particles can be produced. The reason is that transition metals and / or atoms A are ionized by plasma treatment, and when the ions are cooled, transition metals, atoms A and impurities are micronized reflecting their respective melting points. It is guessed. At this time, the atom having a low melting point is rapidly formed into particles, and the atom having a high melting point is slowly formed into particles. Therefore, as described above, it is presumed that the microparticles once subjected to plasma treatment (Steps B and C, and Steps A3-2 and A3-3) tend to be single components (single crystals). If the particles of the single component obtained as described above are classified, the particles of the impurity can be removed by the difference in the density and / or the particle size of the particles of the transition metal and / or the particles of the atom A and the particles of the impurity. it can. The classification can be performed by appropriately setting classification conditions using, for example, a cyclone.

金属原料粉末及び原料粉末の精製
上記工程Bにおいて用いることのできる遷移金属を含有する金属原料粉末(以下、単に「金属原料粉末」という。)及び原子Aを含有する原料粉末(以下、単に「原料粉末」という。)としては、特に制限されないが、高純度のものであることが好ましい。金属原料粉末における遷移金属の含有量は、特に限定されないが、99.99%以上が好ましく、99.999%以上がより好ましい。原料粉末における原子Aの含有量も同様である。
Purification of metal raw material powder and raw material powder Metal raw material powder containing transition metal (hereinafter referred to simply as “metal raw material powder”) that can be used in step B above and raw material powder containing atom A (hereinafter referred to simply as raw material Although it does not restrict | limit especially as a powder ".), It is preferable that it is a thing of high purity. The content of the transition metal in the metal raw material powder is not particularly limited, but is preferably 99.99% or more and more preferably 99.999% or more. The content of atom A in the raw material powder is the same.

金属原料粉末及び/又は原料粉末は、所望の遷移金属及び/又は原子A以外の原子を不純物として含有する場合がある。金属原料粉末に含有される不純物としては、ホウ素、アルミニウム、ケイ素、マンガン、鉄、ニッケル及び銀等が挙げられる。また、原料粉末に含有される不純物としては、金属元素等が挙げられる。   The metal raw material powder and / or the raw material powder may contain desired transition metals and / or atoms other than the atom A as impurities. Examples of the impurities contained in the metal source powder include boron, aluminum, silicon, manganese, iron, nickel and silver. Moreover, as an impurity contained in raw material powder, a metal element etc. are mentioned.

金属窒化物含有粒子の製造方法は、工程Bの前(工程A2を含有する場合は、工程A2の前)に、以下の工程A0を更に含有してもよい。
工程A0:金属原料粉末及び/又は原料粉末から不純物を除去する工程。
The method for producing metal nitride-containing particles may further include the following step A0 before step B (when step A2 is included, before step A2).
Step A0: a step of removing impurities from the metal source powder and / or the source powder.

工程A0
工程A0において、金属原料粉末及び/又は原料粉末から不純物を除去する方法(分離精製方法)としては特に限定されないが、例えば、ニオブについて特開2012−211048号公報の段落0013〜0030に記載された方法を用いることができ、その他の金属原料粉末及び/又は原料粉末についてもこれに準じた方法を用いることができる。
Process A0
A method (separation and purification method) for removing impurities from the metal raw material powder and / or the raw material powder in the step A0 is not particularly limited, but, for example, niobium is described in paragraphs 0013 to 0030 of JP 2012-211048 A A method can be used, and the method according to this can be used also for other metal raw material powder and / or raw material powder.

金属窒化物含有粒子の被覆
金属窒化物含有粒子は、無機化合物で被覆された金属窒化物含有粒子であってもよい。つまり、金属窒化物含有粒子と、金属窒化物含有粒子を被覆する、無機化合物を用いて形成される被覆層とを有する、被覆金属窒化物含有粒子であってもよい。無機化合物で被覆された金属窒化物含有粒子を含有する硬化性組成物は、より優れた分散安定性を有する。
無機化合物としては特に限定されず、SiO、ZrO、TiO、GeO、Al、Y、及びP等の酸化物、並びに、水酸化アルミニウム、及び水酸化ジルコニウム等の水酸化物が挙げられる。なかでも、より薄い被膜を形成しやすく、かつ、より被覆率の高い被膜を形成しやすい点で、水酸化アルミニウムが好ましい。
金属窒化物含有粒子の屈折率を制御することを意図した場合には、低屈折率被膜としては酸化ケイ素が好ましく、高屈折率被膜としては水酸化ジルコニウムが好ましい。
金属窒化物含有粒子を無機化合物で被覆する方法については特に制限されないが、金属窒化物含有粒子の製造方法が、下記の無機化合物被覆工程を含有することが好ましい。
Coating of Metal Nitride-Containing Particles The metal nitride-containing particles may be metal nitride-containing particles coated with an inorganic compound. That is, it may be coated metal nitride-containing particles having metal nitride-containing particles and a coating layer formed of an inorganic compound for coating the metal nitride-containing particles. Curable compositions containing metal nitride-containing particles coated with inorganic compounds have better dispersion stability.
The inorganic compound is not particularly limited, and oxides such as SiO 2 , ZrO 2 , TiO 2 , GeO 2 , Al 2 O 3 , Y 2 O 3 , and P 2 O 5 , and aluminum hydroxide and hydroxide. Examples include hydroxides such as zirconium. Among them, aluminum hydroxide is preferable in that it is easy to form a thinner film and to form a film having a higher coverage.
When it is intended to control the refractive index of the metal nitride-containing particles, silicon oxide is preferred as the low refractive index film, and zirconium hydroxide is preferred as the high refractive index film.
The method for coating the metal nitride-containing particles with the inorganic compound is not particularly limited, but the method for producing the metal nitride-containing particles preferably includes the following inorganic compound coating step.

無機化合物被覆工程
無機化合物被覆工程は上記の金属窒化物含有粒子を酸化物及び/又は水酸化物により被覆する工程である。被覆する方法としては、特に制限されないが、例えば以下の湿式コーティング法等が挙げられる。
Inorganic Compound Coating Step The inorganic compound coating step is a step of coating the metal nitride-containing particles described above with an oxide and / or a hydroxide. Although it does not restrict | limit especially as the method to coat | cover, For example, the following wet-coating methods etc. are mentioned.

第一の湿式コーティング法としては、まず、上記の金属窒化物含有粒子を水と混合してスラリーを作製する。次に上記スラリーに、Si,Zr,Ti,Ge,Al,Y,及び、Pからなる群から選択される少なくとも1種を含有する水溶性化合物(例えば珪ケイ酸ナトリウム)を反応させ、余分なアルカリイオンをデカンテーション及び/又はイオン交換樹脂等で除去する。その後、上記スラリーを乾燥させ、酸化物で被覆された金属窒化物含有粒子を得る。   As a first wet coating method, first, the metal nitride-containing particles described above are mixed with water to prepare a slurry. Next, the above slurry is reacted with a water-soluble compound (for example, sodium silicate) containing at least one selected from the group consisting of Si, Zr, Ti, Ge, Al, Y and P, The alkali ions are removed by decantation and / or ion exchange resin or the like. Thereafter, the slurry is dried to obtain oxide-coated metal nitride-containing particles.

第二の湿式コーティング法としては、まず、上記の金属窒化物含有粒子をアルコール等の有機溶剤と混合してスラリーを作製する。次に、上記スラリー中でSi,Zr,Ti,Ge,Al,Y,及び、Pからなる群から選択される少なくとも1種を含有するアルコキシド等の有機金属化合物を生成し、上記スラリーを高温で焼成する。上記スラリーを高温で焼成するとゾルゲル反応が進行し、酸化物で被覆された金属窒化物含有粒子が得られる。   As a second wet coating method, first, the above-described metal nitride-containing particles are mixed with an organic solvent such as alcohol to prepare a slurry. Next, an organometallic compound such as an alkoxide containing at least one selected from the group consisting of Si, Zr, Ti, Ge, Al, Y, and P is formed in the above slurry, and the above slurry is heated at a high temperature. Baking. When the above-mentioned slurry is calcined at high temperature, the sol-gel reaction proceeds to obtain oxide-coated metal nitride-containing particles.

第三の湿式コーティング法としては、金属窒化物含有粒子の存在下で、尿素と塩化アルミニウムを用いて、イオン液体を含有するスラリーを作製する。このスラリーから金属窒化物含有粒子を取り出し、乾燥させ、その後、上記金属窒化物含有粒子を焼成することにより、水酸化アルミニウムを含有する水酸化物により被覆された金属窒化物含有粒子が得られる。   As a third wet coating method, a slurry containing an ionic liquid is produced using urea and aluminum chloride in the presence of metal nitride-containing particles. The metal nitride-containing particles are removed from the slurry, dried, and then the metal nitride-containing particles are fired to obtain metal hydroxide-containing particles coated with an aluminum hydroxide-containing hydroxide.

・有機顔料
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等;
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等;
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等;
C.I.ピグメントグリーン 7,10,36,37,58,59等;
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42等;及び
C.I.ピグメントブルー 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80等;
が挙げられる。なお、顔料は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
-Organic pigment As an organic pigment, color index (CI) pigment yellow 1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,18, for example. 20, 24, 31, 32, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37, 1, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 16 7, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213, 214, etc .;
C. I. Pigment orange 2, 5, 13, 16, 17: 1, 13, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73, etc. ;
C. I. Pigment red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49, 49: 1, 49: 2, 25: 2, 52: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279, etc .;
C. I. Pigment green 7, 10, 36, 37, 58, 59, etc .;
C. I. Pigment violet 1, 19, 23, 27, 32, 37, 42, etc .; I. Pigment blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 80, etc .;
Can be mentioned. The pigments may be used alone or in combination of two or more.

(染料)
染料としては、例えば特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許4808501号明細書、米国特許5667920号明細書、米国特許505950号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に開示されている色素を使用できる。化学構造で区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等を使用できる。染料としては色素多量体を用いてもよい。色素多量体としては、特開2011−213925号公報、特開2013−041097号公報に記載されている化合物が挙げられる。分子内に重合性を有する重合性染料を用いてもよく、市販品としては、例えば、和光純薬株式会社製RDWシリーズが挙げられる。
(dye)
As the dye, for example, JP-A 64-90403, JP-A 64-91102, JP-A-1-94301, JP-A-6-11614, JP-B-2592207 and US Pat. No. 4,808,501. U.S. Pat. No. 5,667,920, U.S. Pat. No. 505,950, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115, JP-A-6-194828, etc. Can be used. Classification according to chemical structure: pyrazole azo compound, pyromethene compound, anilino azo compound, triphenylmethane compound, anthraquinone compound, benzylidene compound, oxonol compound, pyrazolotriazole azo compound, pyridone azo compound, cyanine compound, phenothiazine compound, pyrrolopyrazole azomethine compound etc. Can be used. A dye multimer may be used as the dye. As a pigment | dye multimer, the compound described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-213925, Unexamined-Japanese-Patent No. 2013-041097 is mentioned. A polymerizable dye having a polymerizability in the molecule may be used, and examples of commercially available products include RDW series manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.

(赤外線吸収剤)
着色剤は、更に赤外線吸収剤を含有してもよい。
赤外線吸収剤は、赤外領域(好ましくは、波長650〜1,300nm)の波長領域に吸収を有する化合物を意味する。好ましくは、赤外線吸収剤は、波長675〜900nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましい。
このような分光特性を有する着色剤としては、例えば、ピロロピロール化合物、銅化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、イミニウム化合物、チオール錯体系化合物、遷移金属酸化物系化合物、スクアリリウム化合物、ナフタロシアニン化合物、クオテリレン化合物、ジチオール金属錯体系化合物、クロコニウム化合物等が挙げられる。
フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、イミニウム化合物、シアニン化合物、スクアリウム化合物及びクロコニウム化合物は、特開2010−111750号公報の段落0010〜0081に開示の化合物を使用してもよく、この内容は本明細書に組み込まれる。シアニン化合物は、例えば、「機能性色素、大河原信/松岡賢/北尾悌次郎/平嶋恒亮・著、講談社サイエンティフィック」を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
(Infrared absorber)
The colorant may further contain an infrared absorber.
An infrared absorber means the compound which has absorption in the wavelength range of infrared region (preferably wavelength 650-1,300 nm). Preferably, the infrared absorbing agent is preferably a compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength range of 675 to 900 nm.
Examples of colorants having such spectral characteristics include pyrrolopyrrole compounds, copper compounds, cyanine compounds, phthalocyanine compounds, iminium compounds, thiol complex compounds, transition metal oxide compounds, squalilium compounds, naphthalocyanine compounds, quaterrylene Compounds, dithiol metal complex compounds, croconium compounds and the like can be mentioned.
As the phthalocyanine compound, naphthalocyanine compound, iminium compound, cyanine compound, squalium compound and croconium compound, the compounds disclosed in paragraphs 0010 to 0081 of JP-A-2010-111750 may be used, and the contents thereof are described in the present specification. Be incorporated. The cyanine compound can be referred to, for example, "Functional pigment, Shin Ookawara / Ken Matsuoka / Keijiro Kitao / Tsunehiro Hiraiso, Kodansha Scientific", the contents of which are incorporated herein.

上記分光特性を有する着色剤として、特開平07−164729号公報の段落0004〜0016に開示の化合物及び/又は特開2002−146254号公報の段落0027〜0062に開示の化合物、特開2011−164583号公報の段落0034〜0067に開示のCu及び/又はPを含む酸化物の結晶子からなり数平均凝集粒子径が5〜200nmである近赤外線吸収粒子を使用することもできる。   Compounds disclosed in paragraphs 0004 to 0016 of JP-A 07-164729 and / or compounds disclosed in paragraphs 0027 to 0062 of JP-A 2002-146254 as colorants having the above-mentioned spectral characteristics, JP-A 2011-164583 It is also possible to use near-infrared absorbing particles comprising crystallites of oxides containing Cu and / or P disclosed in paragraphs 0034 to 0067 of the gazette and having a number average aggregate particle diameter of 5 to 200 nm.

波長675〜900nmの波長領域に極大吸収波長を有する化合物としては、シアニン化合物、ピロロピロール化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、及びナフタロシアニン化合物からなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
赤外線吸収剤は、25℃の水に1質量%以上溶解する化合物であることが好ましく、25℃の水に10質量%以上溶解する化合物がより好ましい。このような化合物を用いることで、耐溶剤性が良化する。
ピロロピロール化合物は、特開2010−222557号公報の段落番号0049〜0062を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれることとする。シアニン化合物及びスクアリリウム化合物は、国際公開2014/088063号公報の段落番号0022〜0063、国際公開2014/030628号公報の段落番号0053〜0118、特開2014−59550号公報の段落番号0028〜0074、国際公開2012/169447号公報の段落番号0013〜0091、特開2015−176046号公報の段落番号0019〜0033、特開2014−63144号公報の段落番号0053〜0099、特開2014−52431号公報の段落番号0085〜0150、特開2014−44301号公報の段落番号0076〜0124、特開2012−8532号公報の段落番号0045〜0078、特開2015−172102号公報の段落番号0027〜0067、特開2015−172004号公報の段落番号0029〜0067、特開2015−40895号公報の段落番号0029〜0085、特開2014−126642号公報の段落番号0022〜0036、特開2014−148567号公報の段落番号0011〜0017、特開2015−157893号公報の段落番号0010〜0025、特開2014−095007号公報の段落番号0013〜0026、特開2014−80487号公報の段落番号0013〜0047、及び特開2013−227403号公報の段落番号0007〜0028等を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
The compound having a maximum absorption wavelength in the wavelength range of 675 to 900 nm is preferably at least one selected from the group consisting of cyanine compounds, pyrrolopyrrole compounds, squarylium compounds, phthalocyanine compounds, and naphthalocyanine compounds.
The infrared absorber is preferably a compound that dissolves in water at 25 ° C. in 1% by mass or more, and more preferably a compound that dissolves in water at 25 ° C. by 10% by mass or more. The solvent resistance is improved by using such a compound.
The pyrrolopyrrole compounds can be referred to in paragraphs [0049] to [0062] of JP-A-2010-222557, the contents of which are incorporated herein. Cyanine compounds and squarylium compounds are described in paragraphs 0022 to 0063 of WO 2014/088063, paragraphs 0053 to 0118 of WO 2014/030628, and paragraphs 0028 to 0074 in JP 2014-59550, International Paragraphs 0013 to 0091 of Publication 2012/169447, Paragraphs 0019 to 0033 of JP 2015-176046, Paragraphs 0053 to 0099 of JP 2014-63144, Paragraphs of JP 2014-52431 Nos. 0085 to 0150, paragraphs 0076 to 0124 of JP 2014-44301, paragraphs 0045 to 0078 of JP 2012-8532, paragraphs 0027 to 0067 of JP 2015-172102, JP Paragraph Nos. 0029 to 0067 of 0151 to 20040, Paragraph Nos. 0029 to 0085 of Japanese Patent Laid-Open No. 2015-40895, Paragraphs 0022 to 0036 of Japanese Patent Laid-Open No. 2014-126642, Paragraph No. 0011 to 0017, paragraph 0010 to 0025 of JP 2015-157893, paragraph 0013 to 0026 of JP 2014-095007, paragraph 0013 to 0047 of JP 2014-80487, and JP 2013 Paragraph No. 0007-0028 grade | etc., Of -227403 gazette can be referred to and this content is integrated in this specification.

赤外線吸収剤は、下記一般式1〜3で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種が好ましい。
一般式1

一般式1中、A1及びA2は、それぞれ独立に、アリール基、ヘテロアリール基又は下記一般式1−Aで表される基を表す。
一般式1−A

一般式1−A中、Z1Aは、含窒素複素環を形成する非金属原子団を表し、R2Aは、アルキル基、アルケニル基、又はアラルキル基を表し、dは、0、又は1を表し、波線は連結手を表す。
一般式2

一般式2中、R1a及びR1bは、それぞれ独立に、アルキル基、アリール基、又はヘテロアリール基を表し、
2〜R5は、それぞれ独立に、水素原子、又は置換基を表し、R2とR3、R4とR5は、それぞれ結合して環を形成していてもよく、
6、及びR7は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、−BRAB、又は金属原子を表し、RA、及びRBは、それぞれ独立に、水素原子、又は置換基を表し、
6は、R1a、又はR3と、共有結合、又は配位結合していてもよく、R7は、R1b、又はR5と、共有結合、又は配位結合していてもよい。
一般式3

一般式3中、Z1、及びZ2は、それぞれ独立に、縮環してもよい5員、又は6員の含窒素複素環を形成する非金属原子団であり、
101、及びR102は、それぞれ独立に、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アラルキル基、又はアリール基を表し、
1は、奇数個のメチンからなるメチン鎖を表し、
a、及びbは、それぞれ独立に、0、又は1であり、
aが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが二重結合で結合し、bが0の場合は、炭素原子と窒素原子とが単結合で結合し、
式中のCyで表される部位がカチオン部である場合、X1はアニオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位がアニオン部である場合、X1はカチオンを表し、cは電荷のバランスを取るために必要な数を表し、式中のCyで表される部位の電荷が分子内で中和されている場合、cは0である。
The infrared absorber is preferably at least one selected from the group consisting of compounds represented by the following general formulas 1 to 3.
General formula 1

In Formula 1, A 1 and A 2 each independently represent an aryl group, a heteroaryl group or a group represented by the following Formula 1-A.
General formula 1-A

In the general formula 1-A, Z 1A represents a nonmetallic atomic group forming a nitrogen-containing heterocyclic ring, R 2A represents an alkyl group, an alkenyl group or an aralkyl group, and d represents 0 or 1 , A wavy line represents a connecting hand.
General formula 2

In General Formula 2, R 1a and R 1b each independently represent an alkyl group, an aryl group or a heteroaryl group,
R 2 to R 5 each independently represent a hydrogen atom or a substituent, and R 2 and R 3 , and R 4 and R 5 may be respectively bonded to form a ring.
R 6 and R 7 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, a heteroaryl group, -BR A R B , or a metal atom, and R A and R B are each independently hydrogen Represents an atom or a substituent,
R 6 may be covalently bonded or coordinately bonded to R 1a or R 3, and R 7 may be covalently bonded or coordinately bonded to R 1b or R 5 .
General formula 3

In the general formula 3, Z 1 and Z 2 are each independently a nonmetallic atomic group forming a 5- or 6-membered nitrogen-containing heterocyclic ring which may be condensed.
R 101 and R 102 each independently represent an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aralkyl group or an aryl group,
L 1 represents a methine chain consisting of an odd number of methine,
a and b are each independently 0 or 1;
When a is 0, a carbon atom and a nitrogen atom are bonded by a double bond, and when b is 0, a carbon atom and a nitrogen atom are bonded by a single bond,
When the site represented by Cy in the formula is a cation moiety, X 1 represents an anion, c represents the number necessary to balance the charge, and the site represented by Cy in the formula is an anion moiety Where X 1 represents a cation, c represents the number necessary to balance the charge, and c is a molecule in which the charge at the site represented by Cy in the formula is neutralized within the molecule It is 0.

(顔料誘導体)
硬化性組成物は、顔料誘導体を含有してもよい。顔料誘導体は、有機顔料の一部分を、酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が好ましい。顔料誘導体としては、着色剤Aの分散性及び分散安定性の観点から、酸性基又は塩基性基を有する顔料誘導体が好ましい。顔料誘導体は、塩基性基を有することが特に好ましい。上述した樹脂(分散剤)と、顔料誘導体との組み合わせは、分散剤が酸性分散剤で、顔料誘導体が塩基性基を有する組み合わせが好ましい。
(Pigment derivative)
The curable composition may contain a pigment derivative. The pigment derivative is preferably a compound having a structure in which a part of the organic pigment is substituted with an acidic group, a basic group or a phthalimidomethyl group. As the pigment derivative, from the viewpoint of the dispersibility and the dispersion stability of the colorant A, a pigment derivative having an acidic group or a basic group is preferable. It is particularly preferred that the pigment derivative has a basic group. The combination of the resin (dispersant) described above and the pigment derivative is preferably a combination in which the dispersant is an acidic dispersant and the pigment derivative has a basic group.

顔料誘導体を構成するための有機顔料としては、ジケトピロロピロール系顔料、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料等が挙げられる。
顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホン酸基、カルボン酸基及びその塩が好ましく、カルボン酸基及びスルホン酸基がより好ましく、スルホン酸基が更に好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。
Examples of organic pigments for constituting pigment derivatives include diketopyrrolopyrrole pigments, azo pigments, phthalocyanine pigments, anthraquinone pigments, quinacridone pigments, dioxazine pigments, perinone pigments, perylene pigments, thioindigo pigments And isoindoline based pigments, isoindolinone based pigments, quinophthalone based pigments, srene based pigments, metal complex based pigments and the like.
As an acidic group which a pigment derivative has, a sulfonic acid group, a carboxylic acid group, and its salt are preferable, a carboxylic acid group and a sulfonic acid group are more preferable, and a sulfonic acid group is still more preferable. As a basic group which a pigment derivative has, an amino group is preferable and a tertiary amino group is more preferable.

硬化性組成物が顔料誘導体を含有する場合、顔料誘導体の含有量は、顔料の質量に対し、1〜30質量%が好ましく、3〜20質量%がより好ましい。顔料誘導体は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   When the curable composition contains a pigment derivative, the content of the pigment derivative is preferably 1 to 30% by mass, and more preferably 3 to 20% by mass with respect to the mass of the pigment. The pigment derivative may use only 1 type and may use 2 or more types together.

<重合禁止剤>
硬化性組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を含有することにより硬化性組成物はより優れた経時安定性を有する。なお、本明細書において経時安定性とは、硬化性組成物を調製後、所定期間保管した場合であっても、優れたパターン形状を有する硬化膜を得ることができることを意図する。
重合禁止剤は、保管中の硬化性組成物中において、多官能チオール化合物と重合性化合物との反応が進行するのを抑制する作用を有し、上記効果が得られるものと推測される。
重合禁止剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜1質量%が好ましく、0.005〜1質量%がより好ましく、0.05〜1質量%が更に好ましい。
重合禁止剤の含有量が上記範囲内だと硬化性組成物はより優れた経時安定性を有する。
<Polymerization inhibitor>
The curable composition may contain a polymerization inhibitor. By including the polymerization inhibitor, the curable composition has more excellent stability over time. In the present specification, the temporal stability means that a cured film having an excellent pattern shape can be obtained even when the curable composition is prepared and stored for a predetermined period of time.
The polymerization inhibitor has an effect of suppressing the progress of the reaction between the polyfunctional thiol compound and the polymerizable compound in the curable composition during storage, and it is presumed that the above-mentioned effect can be obtained.
0.001-1 mass% is preferable with respect to the total solid of a curable composition, as for content of a polymerization inhibitor, 0.005-1 mass% is more preferable, and 0.05-1 mass% is further more preferable. preferable.
When the content of the polymerization inhibitor is in the above range, the curable composition has more excellent temporal stability.

重合禁止剤としては、特に制限されず、重合禁止剤として用いられる公知の化合物を用いることができる。重合禁止剤として用いられる化合物としては、例えば、フェノール系化合物、キノン系化合物、ヒンダードアミン系化合物、フェノチアジン系化合物、及びニトロベンゼン系化合物等が挙げられる。上記化合物は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。   The polymerization inhibitor is not particularly limited, and a known compound used as a polymerization inhibitor can be used. As a compound used as a polymerization inhibitor, a phenol type compound, a quinone type compound, a hindered amine type compound, a phenothiazine type compound, a nitrobenzene type compound etc. are mentioned, for example. The above compounds may be used alone or in combination of two or more.

フェノール系化合物としては、例えば、フェノール、4−メトキシフェノール、ヒドロキノン、2−tert−ブチルヒドロキノン、カテコール、4−tert−ブチル−カテコール、2,6−ジ−tert−ブチルフェノール、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール、2,6−ジ−tert−ブチル−4−エチルフェノール、4−ヒドロキシメチル−2,6−ジ−tert−ブチルフェノール、ペンタエリスリトールテトラキス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシヒドロシンナメート)、4−メトキシ−1−ナフトール、及び1,4−ジヒドロキシナフタレン等が挙げられる。   Examples of phenolic compounds include phenol, 4-methoxyphenol, hydroquinone, 2-tert-butylhydroquinone, catechol, 4-tert-butyl-catechol, 2,6-di-tert-butylphenol, 2,6-di- tert-Butyl-4-methylphenol, 2,6-di-tert-butyl-4-ethylphenol, 4-hydroxymethyl-2,6-di-tert-butylphenol, pentaerythritol tetrakis (3,5-di-tert -Butyl-4-hydroxyhydrocinnamate), 4-methoxy-1-naphthol, 1,4-dihydroxynaphthalene and the like.

フェノール系化合物としては、式(IH−1)で示されるフェノール系化合物が好ましい。   As a phenol type compound, the phenol type compound shown by Formula (IH-1) is preferable.

式(IH−1)中、R〜Rは、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、アルケニル基、ヒドロキシ基、アミノ基、アリール基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、又はアシル基を表す。R〜Rはそれぞれ連結して環を形成してもよい。In formula (IH-1), R 1 to R 5 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, an alkenyl group, a hydroxy group, an amino group, an aryl group, an alkoxy group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, or an acyl Represents a group. R 1 to R 5 may be linked each other to form a ring.

式(IH−1)中のR〜Rとしては、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基(例えば、メチル基及びエチル基等)、炭素数1〜5のアルコキシ基(例えば、メトキシ基及びエトキシ基等)、炭素数2〜4のアルケニル基(例えば、ビニル基等)、又はフェニル基が好ましい。
なかでも、R及びRはそれぞれ独立して、水素原子又はtert−ブチル基がより好ましく、R及びRは水素原子がより好ましく、Rは水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又は炭素数1〜5のアルコキシ基がより好ましい。
As R 1 to R 5 in the formula (IH-1), a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms (eg, a methyl group and an ethyl group), an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms (eg, methoxy) And ethoxy group, an alkenyl group having 2 to 4 carbon atoms (e.g., a vinyl group), or a phenyl group is preferable.
Among them, R 1 and R 5 are each independently more preferably a hydrogen atom or a tert-butyl group, R 2 and R 4 are more preferably a hydrogen atom, and R 3 is a hydrogen atom, an alkyl having 1 to 5 carbon atoms A group or an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms is more preferable.

キノン系化合物としては、例えば、1,4−ベンゾキノン、1,2−ベンゾキノン、及び1,4−ナフトキノン等が挙げられる。   Examples of the quinone compounds include 1,4-benzoquinone, 1,2-benzoquinone, and 1,4-naphthoquinone.

ヒンダードアミン系化合物としては、例えば、下記式(IH−2)で表わされる重合禁止剤が挙げられる。   As a hindered amine compound, the polymerization inhibitor represented by a following formula (IH-2) is mentioned, for example.

式(IH−2)中のRは、水素原子、ヒドロキシ基、アミノ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、又はアシル基を表す。なかでも、水素原子又はヒドロキシ基が好ましく、ヒドロキシ基がより好ましい。
式(IH−2)中のR〜R10は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を表す。R〜R10が表すアルキル基としては、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましい。
R 6 in the formula (IH-2) represents a hydrogen atom, a hydroxy group, an amino group, an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group or an acyl group. Among them, a hydrogen atom or a hydroxy group is preferable, and a hydroxy group is more preferable.
R 7 to R 10 in formula (IH-2) each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group. The alkyl group R 7 to R 10 represent preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group.

重合禁止剤としては、上記の各化合物を1種単独で用いても、2種を併用してもよく、3種以上を併用してもよい。
重合禁止剤は、フェノール系化合物を含有することが好ましい。なかでも、重合禁止剤は2種以上のフェノール系化合物を含有することがより好ましい。異なるフェノール系化合物を含有する硬化性組成物はより優れた本発明の効果を有する。
重合禁止剤は、フェノール系化合物と、ヒンダードアミン系化合物とを含有することが好ましい。フェノール系化合物とヒンダードアミン系化合物とを含有する硬化性組成物はより優れた本発明の効果を有する。
As a polymerization inhibitor, each said compound may be used individually by 1 type, may use 2 types together, and may use 3 or more types together.
The polymerization inhibitor preferably contains a phenolic compound. Among them, the polymerization inhibitor more preferably contains two or more phenolic compounds. Curable compositions containing different phenolic compounds have a better inventive effect.
The polymerization inhibitor preferably contains a phenolic compound and a hindered amine compound. A curable composition containing a phenolic compound and a hindered amine compound has more excellent effects of the present invention.

<溶剤>
硬化性組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤としては、水、及び有機溶剤が挙げられる。硬化性組成物は有機溶剤を含有することが好ましい。
硬化性組成物が溶剤を含有する場合、硬化性組成物の固形分は10〜30質量%が好ましい。硬化性組成物の固形分が下限値以上だと、粘度が低く塗布性が良化する。更に、反応性の高い化合物の濃度が低くなることから経時安定性が良化する。硬化性組成物の固形分が上限値以下だと、粘度が程度に保たれ塗布性が良化する。更に、比重の重い着色剤が沈降しにくくなり、経時安定性が良化する。
<Solvent>
The curable composition preferably contains a solvent. The solvent includes water and an organic solvent. The curable composition preferably contains an organic solvent.
When the curable composition contains a solvent, the solid content of the curable composition is preferably 10 to 30% by mass. When the solid content of the curable composition is at least the lower limit value, the viscosity is low and the coating property is improved. Furthermore, since the concentration of the highly reactive compound is lowered, the stability over time is improved. When the solid content of the curable composition is less than or equal to the upper limit value, the viscosity is maintained to a certain extent, and the coatability is improved. Furthermore, the coloring agent with a heavy specific gravity becomes difficult to settle, and the stability over time is improved.

(有機溶剤)
硬化性組成物が有機溶剤を含有する場合、有機溶剤の含有量としては、硬化性組成物の全質量に対し、70〜90質量%が好ましい。
なお、有機溶剤は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の有機溶剤を併用する場合には、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
(Organic solvent)
When the curable composition contains an organic solvent, the content of the organic solvent is preferably 70 to 90% by mass with respect to the total mass of the curable composition.
The organic solvents may be used alone or in combination of two or more. When two or more organic solvents are used in combination, the total amount thereof is preferably in the above range.

有機溶剤としては、特に制限されないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシプロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、及び乳酸エチル等が挙げられる。   The organic solvent is not particularly limited. For example, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexane, ethylene dichloride, tetrahydrofuran, toluene, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether Acetylacetone, cyclohexanone, cyclopentanone, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxypropanol, methoxymethoxyethanol, diethylene glycol Monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxypropyl acetate, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, 3 Methyl ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, ethyl acetate, butyl acetate, methyl lactate and ethyl lactate Etc.

2種以上の有機溶剤を含有する場合には、上記の3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートからなる群から選択される2種以上で構成されることが好ましい。   When containing two or more organic solvents, the above methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2 -It is preferable to be composed of two or more selected from the group consisting of heptanone, cyclohexanone, cyclopentanone, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether acetate.

(水)
硬化性組成物は、水を含有してもよい。水は、意図的に添加されるものであってもよいし、硬化性組成物に含まれる各成分を添加することで不可避的に硬化性組成物中に含有されるものであってもよい。
水の含有量は、硬化性組成物の全質量に対して、0.01〜1質量%が好ましい。水の含有量が上記範囲内にあると、硬化膜を作製した際にピンホールの発生が抑制され、更に、硬化膜の耐湿性が向上する。
(water)
The curable composition may contain water. Water may be intentionally added, or may be unavoidably contained in the curable composition by adding each component contained in the curable composition.
The content of water is preferably 0.01 to 1% by mass with respect to the total mass of the curable composition. When the content of water is in the above range, generation of pinholes is suppressed when producing a cured film, and furthermore, the moisture resistance of the cured film is improved.

<分散剤>
硬化性組成物は、分散剤を含有することが好ましい。分散剤は、着色剤の分散性向上に寄与する。本明細書において、分散剤と、後述するバインダー樹脂とは、異なる成分である。
<Dispersing agent>
The curable composition preferably contains a dispersant. The dispersant contributes to the improvement of the dispersibility of the colorant. In the present specification, the dispersant and the binder resin described later are different components.

硬化性組成物が、分散剤を含有する場合、分散剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.05〜50質量%が好ましく、0.05〜30質量%がより好ましい。
分散剤の含有量が、硬化性組成物の全固形分に対して0.05〜30質量%であると、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜のパターン形状がより優れる。
分散剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。分散剤を2種以上併用する場合は、合計量が上記範囲内であることが好ましい。
When the curable composition contains a dispersant, the content of the dispersant is preferably 0.05 to 50% by mass, and 0.05 to 30% by mass with respect to the total solid content of the curable composition. More preferable.
The pattern shape of the cured film obtained by hardening | curing a curable composition as content of a dispersing agent is 0.05-30 mass% with respect to the total solid of a curable composition is more excellent.
The dispersant may be used alone or in combination of two or more. When two or more dispersants are used in combination, the total amount is preferably within the above range.

分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤を適宜選択して用いることができる。なかでも、高分子化合物が好ましい。
分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、及び、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子化合物は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及びブロック型高分子に分類することができる。
As the dispersant, for example, a known pigment dispersant can be appropriately selected and used. Among these, high molecular compounds are preferable.
As the dispersant, polymer dispersants [for example, polyamide amine and its salt, polycarboxylic acid and its salt, high molecular weight unsaturated acid ester, modified polyurethane, modified polyester, modified poly (meth) acrylate, (meth) acrylic type Copolymer, naphthalenesulfonic acid formalin condensate], polyoxyethylene alkyl phosphate ester, polyoxyethylene alkyl amine, and pigment derivative etc. can be mentioned.
The polymer compounds can be further classified into linear polymers, terminal modified polymers, graft polymers, and block polymers according to their structures.

(高分子化合物)
高分子化合物は、着色剤(例えば、無機顔料)の被分散体の表面に吸着し、被分散体の再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を含有する、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及び、ブロック型高分子が好ましい。
(Polymer compound)
The polymer compound adsorbs to the surface of the colorant (for example, the inorganic pigment) to be dispersed, and acts to prevent reaggregation of the material to be dispersed. Therefore, terminal-modified polymers, graft polymers, and block polymers containing anchor sites on the pigment surface are preferred.

高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位を含有することが好ましい。本明細書において、「構造単位」とは「繰り返し単位」と同義である。
このようなグラフト鎖を含有する構造単位を含有する高分子化合物は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するため、黒色顔料等の着色剤の分散性、及び、経時後の分散安定性(経時安定性)に優れる。グラフト鎖を含有する構造単位を含有する高分子化合物は、グラフト鎖の存在により、重合性化合物又はその他の併用可能な樹脂等との親和性を有する。結果として、アルカリ現像で残渣を生じにくくなる。
グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり黒色顔料等の分散性は向上する。一方、グラフト鎖が長すぎると黒色顔料等の着色顔料への吸着力が低下して、黒色顔料等の分散性は低下する傾向となる。このため、グラフト鎖は、水素原子を除いた原子数が40〜10,000であるものが好ましく、水素原子を除いた原子数が50〜2,000であるものがより好ましく、水素原子を除いた原子数が60〜500であるものが更に好ましい。
ここで、グラフト鎖とは、共重合体の主鎖の根元(主鎖から枝分かれしている基において主鎖に結合する原子)から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。
The polymer compound preferably contains a structural unit containing a graft chain. In the present specification, the “structural unit” is synonymous with the “repeating unit”.
A polymer compound containing a structural unit containing such a graft chain has an affinity to a solvent due to the graft chain, and therefore, the dispersibility of a coloring agent such as a black pigment and the dispersion stability after time Stability). A polymer compound containing a structural unit containing a graft chain has an affinity to a polymerizable compound or another usable resin by the presence of the graft chain. As a result, alkaline development is less likely to produce a residue.
The longer the graft chain, the higher the steric repulsion effect and the better the dispersibility of the black pigment and the like. On the other hand, when the graft chain is too long, the adsorptivity to color pigments such as black pigments is reduced, and the dispersibility of black pigments and the like tends to be reduced. For this reason, the graft chain preferably has 40 to 10,000 atoms excluding hydrogen atoms, more preferably 50 to 2,000 atoms excluding hydrogen atoms, and excluding hydrogen atoms. More preferably, the number of atoms is 60 to 500.
Here, the graft chain means from the root of the main chain of the copolymer (the atom bonded to the main chain in the group branched from the main chain) to the end of the group branched from the main chain.

グラフト鎖は、ポリマー構造を含有することが好ましく、このようなポリマー構造としては、例えば、ポリ(メタ)アクリレート構造(例えば、ポリ(メタ)アクリル構造)、ポリエステル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、ポリアミド構造、及び、ポリエーテル構造等を挙げることができる。
グラフト鎖と溶剤との相互作用性を向上させ、それにより黒色顔料等の分散性を高めるために、グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造及びポリ(メタ)アクリレート構造からなる群から選ばれた少なくとも1種を含有するグラフト鎖であることが好ましく、ポリエステル構造又はポリエーテル構造の少なくともいずれかを含有するグラフト鎖であることがより好ましい。
The graft chain preferably contains a polymer structure, and as such a polymer structure, for example, poly (meth) acrylate structure (for example, poly (meth) acrylic structure), polyester structure, polyurethane structure, polyurea structure, polyamide Examples include structures and polyether structures.
The graft chain is selected from the group consisting of a polyester structure, a polyether structure and a poly (meth) acrylate structure in order to improve the interaction between the graft chain and the solvent and thereby enhance the dispersibility of the black pigment etc. It is preferably a graft chain containing at least one, more preferably a graft chain containing at least one of a polyester structure or a polyether structure.

このようなグラフト鎖を含有するマクロモノマーとしては、特に限定されないが、反応性二重結合性基を含有するマクロモノマーを好適に使用することができる。   The macromonomer containing such a graft chain is not particularly limited, but a macromonomer containing a reactive double bondable group can be suitably used.

高分子化合物が含有するグラフト鎖を含有する構造単位に対応し、高分子化合物の合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、AA−6(商品名、東亜合成社製)、AA−10(商品名、東亜合成社製)、AB−6(商品名、東亜合成社製)、AS−6(商品名、東亜合成社製)、AN−6(商品名、東亜合成社製)、AW−6(商品名、東亜合成社製)、AA−714(商品名、東亜合成社製)、AY−707(商品名、東亜合成社製)、AY−714(商品名、東亜合成社製)、AK−5(商品名、東亜合成社製)、AK−30(商品名、東亜合成社製)、AK−32(商品名、東亜合成社製)、ブレンマーPP−100(商品名、日油社製)、ブレンマーPP−500(商品名、日油社製)、ブレンマーPP−800(商品名、日油社製)、ブレンマーPP−1000(商品名、日油社製)、ブレンマー55−PET−800(商品名、日油社製)、ブレンマーPME−4000(商品名、日油社製)、ブレンマーPSE−400(商品名、日油社製)、ブレンマーPSE−1300(商品名、日油社製)、ブレンマー43PAPE−600B(商品名、日油社製)等が挙げられる。このなかでも、AA−6(商品名、東亜合成社製)、AA−10(商品名、東亜合成社製)、AB−6(商品名、東亜合成社製)、AS−6(商品名、東亜合成社製)、AN−6(商品名、東亜合成社製)、及び、ブレンマーPME−4000(商品名、日油社製)等が好ましい。   As a commercially available macromonomer which corresponds to a structural unit containing a graft chain contained in a polymer compound and which is suitably used for the synthesis of the polymer compound, AA-6 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), AA-10 (Trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AB-6 (trade name, produced by Toa Gosei Co., Ltd.), AS-6 (trade name, produced by Toa Gosei Co., Ltd.), AN-6 (trade name, produced by Toa Gosei Co., Ltd.) -6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AA-714 (trade name, produced by Toa Gosei Co., Ltd.), AY-707 (trade name, produced by Toa Gosei Co., Ltd.), AY-714 (trade name, produced by Toa Gosei Co., Ltd. AK-5 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AK-30 (trade name, Toa Gosei Co., Ltd.), AK-32 (trade name, Toa Gosei Co., Ltd.), Blenmer PP-100 (trade name, NOF Corporation) Brenmer PP-500 (trade name, manufactured by NOF Corporation), Brenmer PP-800 (trade) Name, manufactured by NOF Corporation, BLEMMER PP-1000 (trade name, manufactured by NOF Corporation), BLEMMER 55-PET-800 (trade name, manufactured by NOF Corporation), BLEMMER PME-4000 (trade name, manufactured by NOF Corporation) Blemmer PSE-400 (trade name, manufactured by NOF Corporation), Blemmer PSE-1300 (trade name, manufactured by NOF Corporation), Blemmer 43PAPE-600B (trade name, manufactured by NOF Corporation), and the like. Among them, AA-6 (trade name, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.), AA-10 (trade name, Toa Gosei Co., Ltd. made), AB-6 (trade name, produced by Toa Gosei Co., Ltd.), AS-6 (trade name, Toa Gosei Co., Ltd., AN-6 (trade name, Toa Gosei Co., Ltd.), and Blemmer PME-4000 (trade name, NOF Corporation) are preferred.

分散剤は、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び環状又は鎖状のポリエステルからなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することが好ましい。分散剤は、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び鎖状のポリエステルからなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することがより好ましい。分散剤は、ポリアクリル酸メチル構造、ポリメタクリル酸メチル構造、ポリカプロラクトン構造、及びポリバレロラクトン構造からなる群より選択される少なくとも1種の構造を含有することが更に好ましい。分散剤は、1つの分散剤中に上記構造を単独で含有するものであってもよいし、1つの分散剤中にこれらの構造を複数含有するものであってもよい。
ここで、ポリカプロラクトン構造とは、ε−カプロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含有するものをいう。ポリバレロラクトン構造とは、δ−バレロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含有するものをいう。
ポリカプロラクトン構造を含有する分散剤の具体例としては、下記式(1)及び下記式(2)におけるj及びkが5であるものが挙げられる。また、ポリバレロラクトン構造を含有する分散剤の具体例としては、下記式(1)及び下記式(2)におけるj及びkが4であるものが挙げられる。
ポリアクリル酸メチル構造を含有する分散剤の具体例としては、下記式(4)におけるXが水素原子であり、Rがメチル基であるものが挙げられる。また、ポリメタクリル酸メチル構造を含有する分散剤の具体例としては、下記式(4)におけるXがメチル基であり、Rがメチル基であるものが挙げられる。
The dispersant preferably contains at least one structure selected from the group consisting of methyl polyacrylate, polymethyl methacrylate and cyclic or linear polyesters. More preferably, the dispersant contains at least one structure selected from the group consisting of methyl polyacrylate, polymethyl methacrylate and linear polyesters. More preferably, the dispersant contains at least one structure selected from the group consisting of a polymethyl acrylate structure, a polymethyl methacrylate structure, a polycaprolactone structure, and a polyvalerolactone structure. The dispersant may contain the above structure alone in one dispersant, or may contain a plurality of these structures in one dispersant.
Here, a polycaprolactone structure means what contains the structure which ring-opened (epsilon) -caprolactone as a repeating unit. The polyvalerolactone structure refers to one containing a structure in which δ-valerolactone is ring-opened as a repeating unit.
Specific examples of the dispersant having a polycaprolactone structure include those in which j and k in the following formula (1) and the following formula (2) are 5. Moreover, as a specific example of the dispersing agent containing a polyvalerolactone structure, what is j and 4 in following formula (1) and following formula (2) is mentioned.
Specific examples of the dispersant containing a methyl polyacrylate structure include those in which X 5 in the following formula (4) is a hydrogen atom and R 4 is a methyl group. Specific examples of dispersants containing polymethyl methacrylate structure, X 5 in formula (4) is a methyl group, and R 4 is a methyl group.

・グラフト鎖を含有する構造単位
高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位として、下記式(1)〜式(4)のいずれかで表される構造単位を含有することが好ましく、下記式(1A)、下記式(2A)、下記式(3A)、下記式(3B)、及び下記(4)のいずれかで表される構造単位を含有することがより好ましい。
· Structural unit containing graft chain The polymer compound preferably contains, as a structural unit containing a graft chain, a structural unit represented by any one of the following formulas (1) to (4), and the following formula It is more preferable to contain a structural unit represented by any one of (1A), the following formula (2A), the following formula (3A), the following formula (3B), and the following (4).

式(1)〜式(4)において、W、W、W、及びWはそれぞれ独立に酸素原子又はNHを表す。W、W、W、及びWは酸素原子であることが好ましい。
式(1)〜式(4)において、X、X、X、X、及びXは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の有機基を表す。X、X、X、X、及びXは、合成上の制約の観点からは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数(炭素原子数)1〜12のアルキル基が好ましく、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基がより好ましく、メチル基が更に好ましい。
In formulas (1) to (4), W 1 , W 2 , W 3 and W 4 each independently represent an oxygen atom or NH. W 1 , W 2 , W 3 and W 4 are preferably oxygen atoms.
In formulas (1) to (4), X 1 , X 2 , X 3 , X 4 and X 5 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group. Each of X 1 , X 2 , X 3 , X 4 and X 5 is preferably independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms (number of carbon atoms) from the viewpoint of the restriction on synthesis, Independently, a hydrogen atom or a methyl group is more preferable, and a methyl group is still more preferable.

式(1)〜式(4)において、Y、Y、Y、及びYは、それぞれ独立に、2価の連結基を表し、連結基は特に構造上制約されない。Y、Y、Y、及びYで表される2価の連結基として、具体的には、下記の(Y−1)〜(Y−21)の連結基等が例として挙げられる。下記に示した構造において、A、Bはそれぞれ結合部位を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、(Y−2)又は(Y−13)であることがより好ましい。In formulas (1) to (4), Y 1 , Y 2 , Y 3 and Y 4 each independently represent a divalent linking group, and the linking group is not particularly restricted in terms of structure. Specific examples of the divalent linking group represented by Y 1 , Y 2 , Y 3 and Y 4 include the following linking groups (Y-1) to (Y-21), and the like. . In the structures shown below, A and B each represent a binding site. Among the structures shown below, (Y-2) or (Y-13) is more preferable from the easiness of synthesis.

式(1)〜式(4)において、Z、Z、Z、及びZは、それぞれ独立に1価の有機基を表す。有機基の構造は、特に限定されないが、具体的には、アルキル基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、及びアミノ基等が挙げられる。これらの中でも、Z、Z、Z、及びZで表される有機基としては、特に分散性向上の観点から、立体反発効果を含有するものが好ましく、各々独立に炭素数5から24のアルキル基又はアルコキシ基がより好ましく、その中でも、各々独立に炭素数5から24の分岐アルキル基、炭素数5から24の環状アルキル基、又は、炭素数5から24のアルコキシ基が更に好ましい。アルコキシ基中に含まれるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び、環状のいずれでもよい。In formulas (1) to (4), Z 1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 each independently represent a monovalent organic group. The structure of the organic group is not particularly limited, but specifically, an alkyl group, a hydroxy group, an alkoxy group, an aryloxy group, a heteroaryloxy group, an alkylthioether group, an arylthioether group, a heteroarylthioether group, and an amino group Etc. Among these, as the organic groups represented by Z 1 , Z 2 , Z 3 and Z 4 , those having a steric repulsion effect are particularly preferable from the viewpoint of improving the dispersibility, and each of them independently has 5 carbon atoms Among them, a branched alkyl group having 5 to 24 carbon atoms, a cyclic alkyl group having 5 to 24 carbon atoms, or an alkoxy group having 5 to 24 carbon atoms is more preferable among them. . The alkyl group contained in the alkoxy group may be linear, branched or cyclic.

式(1)〜式(4)において、n、m、p、及びqは、それぞれ独立に、1から500の整数である。
式(1)及び式(2)において、j及びkは、それぞれ独立に、2〜8の整数を表す。式(1)及び式(2)におけるj及びkは、硬化性組成物の経時安定性及び現像性の観点から、4〜6の整数が好ましく、5が最も好ましい。
In formulas (1) to (4), n, m, p and q are each independently an integer of 1 to 500.
In Formula (1) and Formula (2), j and k respectively independently represent the integer of 2-8. J and k in the formulas (1) and (2) are preferably integers of 4 to 6, and most preferably 5 from the viewpoint of the temporal stability and developability of the curable composition.

式(3)中、Rは分岐又は直鎖のアルキレン基を表し、炭素数1〜10のアルキレン基が好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基がより好ましい。pが2〜500のとき、複数存在するRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
式(4)中、Rは水素原子又は1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。Rは、水素原子、アルキル基、アリール基、又は、ヘテロアリール基が好ましく、水素原子、又はアルキル基がより好ましい。Rがアルキル基である場合、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基、炭素数3〜20の分岐状アルキル基、又は炭素数5〜20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1〜20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基が更に好ましい。式(4)において、qが2〜500のとき、グラフト共重合体中に複数存在するX及びRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
In Formula (3), R 3 represents a branched or linear alkylene group, preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms. When p is 2 to 500, plural R 3 s may be the same as or different from each other.
In Formula (4), R 4 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and the monovalent organic group is not particularly limited in structure. R 4 is preferably a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group or a heteroaryl group, more preferably a hydrogen atom or an alkyl group. When R 4 is an alkyl group, it is preferably a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a branched alkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a cyclic alkyl group having 5 to 20 carbon atoms, and has 1 to 20 carbon atoms The linear alkyl group of these is more preferable, and a C1-C6 linear alkyl group is still more preferable. In the formula (4), when q is 2 to 500, a plurality of X 5 and R 4 in the graft copolymer may be the same or different.

高分子化合物は、2種以上の構造が異なる、グラフト鎖を含有する構造単位を含有することができる。即ち、高分子化合物の分子中に、互いに構造の異なる式(1)〜式(4)で示される構造単位を含んでいてもよく、式(1)〜式(4)においてn、m、p、及びqがそれぞれ2以上の整数を表す場合、式(1)及び式(2)においては、側鎖中にj及びkが互いに異なる構造を含んでいてもよく、式(3)及び式(4)においては、分子内に複数存在するR、R及びXは互いに同じであっても異なっていてもよい。The polymer compound can contain structural units containing graft chains that differ in two or more types of structures. That is, structural units represented by the formulas (1) to (4) having mutually different structures may be contained in the molecule of the polymer compound, and in the formulas (1) to (4), n, m, p , And q each represents an integer of 2 or more, in the formula (1) and the formula (2), j and k may contain mutually different structures in the side chain, and the formula (3) and the formula ( In 4), a plurality of R 3 's , R 4' s and X 5 's in the molecule may be the same or different.

式(1)で表される構造単位としては、硬化性組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(1A)で表される構造単位であることがより好ましい。
式(2)で表される構造単位としては、硬化性組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(2A)で表される構造単位であることがより好ましい。
The structural unit represented by the formula (1) is more preferably a structural unit represented by the following formula (1A) from the viewpoint of the temporal stability and developability of the curable composition.
The structural unit represented by the formula (2) is more preferably a structural unit represented by the following formula (2A) from the viewpoint of the temporal stability and developability of the curable composition.

式(1A)中、X、Y、Z及びnは、式(1)におけるX、Y、Z及びnと同義であり、好ましい範囲も同様である。式(2A)中、X、Y、Z及びmは、式(2)におけるX、Y、Z及びmと同義であり、好ましい範囲も同様である。Wherein (1A), X 1, Y 1, Z 1 and n are as defined X 1, Y 1, Z 1 and n in Formula (1), and preferred ranges are also the same. Wherein (2A), X 2, Y 2, Z 2 and m are as defined X 2, Y 2, Z 2 and m in the formula (2), and preferred ranges are also the same.

式(3)で表される構造単位としては、硬化性組成物の経時安定性及び現像性の観点から、下記式(3A)又は式(3B)で表される構造単位であることがより好ましい。   The structural unit represented by the formula (3) is more preferably a structural unit represented by the following formula (3A) or the formula (3B) from the viewpoint of the temporal stability and developability of the curable composition. .

式(3A)又は(3B)中、X、Y、Z及びpは、式(3)におけるX、Y、Z及びpと同義であり、好ましい範囲も同様である。Wherein (3A) or (3B), X 3, Y 3, Z 3 and p are as defined X 3, Y 3, Z 3 and p in formula (3), and preferred ranges are also the same.

高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位として、式(1A)で表される構造単位を含有することがより好ましい。   The polymer compound more preferably contains a structural unit represented by Formula (1A) as a structural unit containing a graft chain.

高分子化合物において、グラフト鎖を含有する構造単位(例えば、上記式(1)〜式(4)で表される構造単位)は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し2〜90%の範囲で含まれることが好ましく、5〜30%の範囲で含まれることがより好ましい。グラフト鎖を含有する構造単位がこの範囲内で含まれると、黒色顔料の分散性が高く、硬化膜を形成する際の現像性が良好である。   In the polymer compound, the structural units containing a graft chain (for example, the structural units represented by the above formulas (1) to (4)) are 2 to 90% by mass conversion based on the total mass of the polymer compound Is preferably contained in the range of 5 to 30%, and more preferably in the range of 5 to 30%. When the structural unit containing a graft chain is contained in this range, the dispersibility of the black pigment is high, and the developability at the time of forming a cured film is good.

・疎水性構造単位
高分子化合物は、グラフト鎖を含有する構造単位とは異なる(すなわち、グラフト鎖を含有する構造単位には相当しない)疎水性構造単位を含有することが好ましい。ただし、本明細書において、疎水性構造単位は、酸基(例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、フェノール性ヒドロキシ基等)を有さない構造単位である。
Hydrophobic Structural Unit The polymer compound preferably contains a hydrophobic structural unit different from the structural unit containing a graft chain (ie, not corresponding to a structural unit containing a graft chain). However, in the present specification, the hydrophobic structural unit is a structural unit having no acid group (for example, a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxy group, etc.).

疎水性構造単位は、好ましくは、ClogP値が1.2以上の化合物(モノマー)に由来する(対応する)構造単位であり、より好ましくは、ClogP値が1.2〜8の化合物に由来する構造単位である。これにより、本発明の効果をより確実に発現することができる。   The hydrophobic structural unit is preferably a (corresponding) structural unit derived from a compound (monomer) having a C log P value of 1.2 or more, more preferably derived from a compound having a C log P value of 1.2 to 8. It is a structural unit. Thereby, the effect of the present invention can be expressed more reliably.

ClogP値は、Daylight Chemical Information System, Inc.から入手できるプログラム“CLOGP”で計算される値である。このプログラムは、Hansch, Leoのフラグメントアプローチ(下記文献参照)により算出される“計算logP”の値を提供する。フラグメントアプローチは化合物の化学構造に基づいており、化学構造を部分構造(フラグメント)に分割し、そのフラグメントに対して割り当てられたlogP寄与分を合計することにより化合物のlogP値を推算している。その詳細は以下の文献に記載されている。本明細書では、ClogP値は、プログラムCLOGP v4.82により計算した値を意図する。
A. J. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol.4, C. Hansch, P. G. Sammnens, J. B. Taylor and C. A. Ramsden, Eds., p.295, Pergamon Press, 1990 C. Hansch & A. J. Leo. SUbstituent Constants For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A.J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev., 93, 1281−1306, 1993.
ClogP values are from Daylight Chemical Information System, Inc. Is a value calculated by the program "CLOGP" available from This program provides the value of "computed logP" calculated by the fragment approach of Hansch, Leo (see the following document). The fragment approach is based on the chemical structure of the compound, dividing the chemical structure into substructures (fragments) and estimating the logP value of the compound by summing the logP contributions assigned to the fragment. The details are described in the following documents. As used herein, ClogP values are intended to be those calculated by the program CLOGP v4.82.
A. J. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol. 4, C.I. Hansch, P .; G. Sammnens, J.J. B. Taylor and C. A. Ramsden, Eds. , P. 295, Pergamon Press, 1990 C.I. Hansch & A. J. Leo. SUbstituent Constants For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A. J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev. , 93, 1281-1306, 1993.

logPは、分配係数P(Partition Coefficient)の常用対数を意味し、ある有機化合物が油(一般的には1−オクタノール)と水の2相系の平衡でどのように分配されるかを定量的な数値として表す物性値であり、以下の式で示される。
logP=log(Coil/Cwater)
式中、Coilは油相中の化合物のモル濃度を、Cwaterは水相中の化合物のモル濃度を表す。
logPの値が0をはさんでプラスに大きくなると油溶性が増し、マイナスで絶対値が大きくなると水溶性が増すことを意味し、有機化合物の水溶性と負の相関があり、有機化合物の親疎水性を見積るパラメータとして広く利用されている。
log P means the common logarithm of partition coefficient P (Partition Coefficient), and it quantitatively determines how an organic compound is distributed in the equilibrium of oil (generally 1-octanol) and water. Is a physical property value represented as a numerical value, and is represented by the following equation.
logP = log (Coil / Cwater)
In the formula, Coil represents the molar concentration of the compound in the oil phase, and Cwater represents the molar concentration of the compound in the aqueous phase.
When the logP value becomes larger than 0, the oil solubility increases, and when it is negative and the absolute value increases, the water solubility increases, which has a negative correlation with the water solubility of the organic compound, and the affinity of the organic compound is negative. It is widely used as a parameter to estimate water quality.

高分子化合物は、疎水性構造単位として、下記式(i)〜(iii)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を含有することが好ましい。   The polymer compound preferably contains, as a hydrophobic structural unit, at least one structural unit selected from structural units derived from monomers represented by the following formulas (i) to (iii).

式(i)〜(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
、R、及びRは、好ましくは水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基であり、より好ましくは水素原子又はメチル基である。R及びRは、水素原子であることが更に好ましい。
Xは、酸素原子(−O−)又はイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
In formulas (i) to (iii), R 1 , R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom or the like), or a carbon number of 1 to 4 6 represents an alkyl group (for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.).
R 1 , R 2 and R 3 are preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom or a methyl group. More preferably, R 2 and R 3 are hydrogen atoms.
X represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), preferably an oxygen atom.

Lは、単結合又は2価の連結基である。2価の連結基としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ基(−NR31−、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル基(−CO−)、及び、これらの組合せ等が挙げられる。L is a single bond or a divalent linking group. As the divalent linking group, a divalent aliphatic group (for example, an alkylene group, a substituted alkylene group, an alkenylene group, a substituted alkenylene group, an alkynylene group, a substituted alkynylene group), a divalent aromatic group (for example, an arylene group) , substituted arylene group), a divalent heterocyclic group an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), a substituted imino group (-NR 31 -, wherein R 31 Are aliphatic groups, aromatic groups or heterocyclic groups), carbonyl groups (-CO-), and combinations thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基であっても飽和脂肪族基であってもよいが、飽和脂肪族基であることが好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基等が挙げられる。   The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. 1-20 are preferable, as for carbon number of an aliphatic group, 1-15 are more preferable, and 1-10 are still more preferable. The aliphatic group may be an unsaturated aliphatic group or a saturated aliphatic group, but is preferably a saturated aliphatic group. The aliphatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aromatic group and a heterocyclic group.

2価の芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基等が挙げられる。   6-20 are preferable, as for carbon number of a bivalent aromatic group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aromatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, an aliphatic group, an aromatic group and a heterocyclic group.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基、又は、複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably contains a 5- or 6-membered ring as a heterocyclic ring. The heterocycle may be fused to another heterocycle, an aliphatic ring or an aromatic ring. The heterocyclic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxy group, an oxo group (= O), a thioxo group (= S), an imino group (= NH), and a substituted imino group (= N-R 32 , wherein R 32 is a fat) Group, aromatic group or heterocyclic group), aliphatic group, aromatic group or heterocyclic group.

Lは、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含有するポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L is preferably a single bond, an alkylene group or a divalent linking group containing an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. L may contain a polyoxyalkylene structure containing an oxyalkylene structure repeated two or more times. As a polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by-(OCH 2 CH 2 ) n-, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

Zは、脂肪族基(例えば、アルキル基、置換アルキル基、不飽和アルキル基、置換不飽和アルキル基、)、芳香族基(例えば、アリール基、置換アリール基、アリーレン基、置換アリーレン基)、複素環基、又は、これらの組み合わせが挙げられる。これらの基には、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ基(−NR31−、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、又は、カルボニル基(−CO−)が含まれていてもよい。Z represents an aliphatic group (for example, an alkyl group, a substituted alkyl group, an unsaturated alkyl group, a substituted unsaturated alkyl group), an aromatic group (for example, an aryl group, a substituted aryl group, an arylene group, a substituted arylene group), Heterocyclic groups or combinations thereof are mentioned. These groups an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), a substituted imino group (-NR 31 -, wherein R 31 is an aliphatic group, an aromatic A group or a heterocyclic group) or a carbonyl group (-CO-) may be included.

脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基には、更に環集合炭化水素基、架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、ビシクロヘキシル基、パーヒドロナフタレニル基、ビフェニル基、及び、4−シクロヘキシルフェニル基等が含まれる。架橋環式炭化水素環として、例えば、ピナン、ボルナン、ノルピナン、ノルボルナン、ビシクロオクタン環(ビシクロ[2.2.2]オクタン環、及び、ビシクロ[3.2.1]オクタン環等)等の2環式炭化水素環、ホモブレダン、アダマンタン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、及び、トリシクロ[4.3.1.12,5]ウンデカン環等の3環式炭化水素環、並びに、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカン、及び、パーヒドロ−1,4−メタノ−5,8−メタノナフタレン環等の4環式炭化水素環等が挙げられる。架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環、例えば、パーヒドロナフタレン(デカリン)、パーヒドロアントラセン、パーヒドロフェナントレン、パーヒドロアセナフテン、パーヒドロフルオレン、パーヒドロインデン、及び、パーヒドロフェナレン環等の5〜8員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。
脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、脂肪族基は、置換基として酸基を有さない。
The aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. 1-20 are preferable, as for carbon number of an aliphatic group, 1-15 are more preferable, and 1-10 are still more preferable. The aliphatic group further includes a ring-aggregated hydrocarbon group and a crosslinked cyclic hydrocarbon group, and examples of the ring-aggregated hydrocarbon group include a bicyclohexyl group, a perhydronaphthalenyl group, a biphenyl group, and -A cyclohexylphenyl group etc. are included. As the bridged cyclic hydrocarbon ring, for example, pinane, bornane, norpinane, norbornane, bicyclooctane ring (bicyclo [2.2.2] octane ring, bicyclo [3.2.1] octane ring, etc.) 2 Tricyclic hydrocarbon rings such as cyclic hydrocarbon rings, homobredane, adamantane, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane, and tricyclo [4.3.1.1 2,5 ] undecane rings And tetracyclo [4.4.0.1 2,5 . 1 7,10] dodecane, and, perhydro-1,4-methano-5,8 methanolate 4 cyclic hydrocarbon ring such as naphthalene ring and the like. Examples of the bridged cyclic hydrocarbon ring include fused cyclic hydrocarbon rings such as perhydronaphthalene (decalin), perhydroanthracene, perhydrophenanthrene, perhydroacenaphthene, perhydrofluorene, perhydroindene, and perhydro Also included are fused rings in which a plurality of 5- to 8-membered cycloalkane rings such as phenalene rings are fused.
The aliphatic group is preferably a saturated aliphatic group rather than an unsaturated aliphatic group. The aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the aliphatic group does not have an acid group as a substituent.

芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、芳香族基は、置換基として酸基を有さない。   6-20 are preferable, as for carbon number of an aromatic group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aromatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, aliphatic groups, aromatic groups and heterocyclic groups. However, the aromatic group does not have an acid group as a substituent.

複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、複素環基は、置換基として酸基を有さない。The heterocyclic group preferably contains a 5- or 6-membered ring as a heterocyclic ring. The heterocycle may be fused to another heterocycle, an aliphatic ring or an aromatic ring. The heterocyclic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxy group, an oxo group (= O), a thioxo group (= S), an imino group (= NH), and a substituted imino group (= N-R 32 , wherein R 32 is a fat) Group, an aromatic group or a heterocyclic group), an aliphatic group, an aromatic group and a heterocyclic group. However, the heterocyclic group does not have an acid group as a substituent.

式(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、Z、又はL−Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるものと同義である。R、R、及びRとしては、水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In formula (iii), R 4 , R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom (eg, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms ( For example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group etc.), Z, or LZ is represented. Here, L and Z are as defined above. As R < 4 >, R < 5 > and R < 6 >, a hydrogen atom or a C1-C3 alkyl group is preferable, and a hydrogen atom is more preferable.

式(i)で表される単量体として、R、R、及びRが水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基もしくはオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。
式(ii)で表される単量体として、Rが水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。
式(iii)で表される単量体として、R、R、及びRが水素原子又はメチル基であって、Zが脂肪族基、複素環基又は芳香族基である化合物が好ましい。
As a monomer represented by Formula (i), R 1 , R 2 and R 3 are a hydrogen atom or a methyl group, and L is a single bond or a divalent linkage containing an alkylene group or an oxyalkylene structure Compounds in which X is an oxygen atom or an imino group, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group are preferable.
As a monomer represented by the formula (ii), a compound in which R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, L is an alkylene group, and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group preferable.
As a monomer represented by the formula (iii), a compound in which R 4 , R 5 and R 6 are a hydrogen atom or a methyl group and Z is an aliphatic group, a heterocyclic group or an aromatic group is preferable. .

式(i)〜(iii)で表される代表的な化合物の例としては、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、及び、スチレン類等から選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。
式(i)〜(iii)で表される代表的な化合物の例としては、特開2013−249417号公報の段落0089〜0093に記載の化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
Examples of representative compounds represented by formulas (i) to (iii) include radically polymerizable compounds selected from acrylic esters, methacrylic esters, styrenes and the like.
As examples of representative compounds represented by formulas (i) to (iii), reference can be made to the compounds described in paragraphs 0089 to 0093 of JP 2013-249417 A, the contents of which are incorporated herein. Be

高分子化合物において、疎水性構造単位は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し10〜90%の範囲で含まれることが好ましく、20〜80%の範囲で含まれることがより好ましい。含有量が上記範囲であることにより良好なパターン形成が得られる。   In the polymer compound, the hydrophobic structural unit is preferably contained in a range of 10 to 90%, and more preferably in a range of 20 to 80%, in terms of mass relative to the total mass of the polymer compound. Favorable pattern formation is obtained because content is the said range.

・黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基
高分子化合物は、黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を導入することができる。ここで、高分子化合物は、黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位を更に含有することが好ましい。
この黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基としては、例えば、酸基、塩基性基、配位性基、及び、反応性を有する官能基等が挙げられる。
高分子化合物が、酸基、塩基性基、配位性基、又は、反応性を有する官能基を含有する場合、それぞれ、酸基を含有する構造単位、塩基性基を含有する構造単位、配位性基を含有する構造単位、又は、反応性を有する構造単位を含有することが好ましい。
特に、高分子化合物が、更に、酸基として、カルボン酸基等のアルカリ可溶性基を含有することで、高分子化合物に、アルカリ現像によるパターン形成のための現像性を付与することができる。
すなわち、高分子化合物にアルカリ可溶性基を導入することで、硬化性組成物は、黒色顔料等の着色剤の分散に寄与する分散剤としての高分子化合物がアルカリ可溶性を含有することになる。このような高分子化合物を含有する硬化性組成物は、露光部の遮光性に優れたものとなり、且つ、未露光部のアルカリ現像性が向上される。
高分子化合物が酸基を含有する構造単位を含有することにより、高分子化合物が溶剤となじみやすくなり、塗布性も向上する傾向となる。
これは、酸基を含有する構造単位における酸基が黒色顔料等の着色剤と相互作用しやすく、高分子化合物が黒色顔料等の着色剤を安定的に分散すると共に、黒色顔料等の着色剤を分散する高分子化合物の粘度が低くなり、高分子化合物自体も安定的に分散されやすいためであると推測される。
A functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment A polymer compound can introduce a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment. Here, the polymer compound preferably further contains a structural unit containing a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment.
Examples of the functional group capable of forming an interaction with the colorant such as the black pigment include an acid group, a basic group, a coordinating group, and a functional group having reactivity.
When the polymer compound contains an acid group, a basic group, a coordinating group, or a functional group having reactivity, a structural unit containing an acid group, a structural unit containing a basic group, It is preferable to contain a structural unit containing a reactive group or a structural unit having reactivity.
In particular, when the polymer compound further contains an alkali-soluble group such as a carboxylic acid group as an acid group, the polymer compound can be provided with developability for pattern formation by alkali development.
That is, by introducing an alkali-soluble group into the polymer compound, in the curable composition, the polymer compound as a dispersant contributing to the dispersion of the colorant such as a black pigment contains alkali solubility. A curable composition containing such a polymer compound is excellent in the light shielding property of the exposed area, and the alkali developability of the unexposed area is improved.
When the polymer compound contains a structural unit containing an acid group, the polymer compound tends to be compatible with the solvent, and the coatability tends to be improved.
This is because the acid group in the structural unit containing the acid group easily interacts with the coloring agent such as the black pigment, and the polymer compound stably disperses the coloring agent such as the black pigment, and the coloring agent such as the black pigment It is presumed that the viscosity of the polymer compound for dispersing is lowered and the polymer compound itself is also easily dispersed stably.

酸基としてのアルカリ可溶性基を含有する構造単位は、上記のグラフト鎖を含有する構造単位と同一の構造単位であっても、異なる構造単位であってもよいが、上記の疎水性構造単位とは異なる構造単位である(すなわち、上記の疎水性構造単位には相当しない)。   The structural unit containing an alkali-soluble group as an acid group may be the same structural unit as the above-mentioned structural unit containing a graft chain or may be a different structural unit. Are different structural units (ie, do not correspond to the hydrophobic structural units described above).

黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基である酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、又は、フェノール性ヒドロキシ基等があり、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種が好ましく、黒色顔料等の着色剤への吸着力が良好で、且つ、着色剤の分散性が高い点で、カルボン酸基がより好ましい。
すなわち、高分子化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種を含有する構造単位を更に含有することが好ましい。
Examples of the acid group which is a functional group capable of forming an interaction with a coloring agent such as a black pigment include, for example, a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, or a phenolic hydroxy group. At least one of a sulfonic acid group and a phosphoric acid group is preferable, and a carboxylic acid group is more preferable in that the adsorptivity to a colorant such as a black pigment is good and the dispersibility of the colorant is high.
That is, the polymer compound preferably further contains a structural unit containing at least one of a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group.

高分子化合物は、酸基を含有する構造単位を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、酸基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、酸基を含有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、好ましくは5〜80%であり、より好ましくは、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、10〜60%である。
The polymer compound may have one or more structural units containing an acid group.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing an acid group, but when it is contained, the content of the structural unit containing an acid group is the total mass of the polymer compound in terms of mass. On the other hand, it is preferably 5 to 80%, and more preferably 10 to 60% from the viewpoint of suppressing damage to the image strength due to alkali development.

黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基である塩基性基としては、例えば、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、N原子を含有するヘテロ環、及び、アミド基等があり、好ましいものは、黒色顔料等の着色剤への吸着力が良好で、且つ、着色剤の分散性が高い点で、第3級アミノ基である。高分子化合物は、これらの塩基性基を1種又は2種以上、含有することができる。
高分子化合物は、塩基性基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、塩基性基を含有する構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、0.01%以上50%以下が好ましく、現像性阻害抑制という観点から、0.01%以上30%以下がより好ましい。
As a basic group which is a functional group capable of forming an interaction with a coloring agent such as a black pigment, for example, a heterocyclic ring containing a primary amino group, a secondary amino group, a tertiary amino group, and an N atom And an amide group etc. Preferred is a tertiary amino group in that the adsorptivity to a coloring agent such as a black pigment is good and the dispersibility of the coloring agent is high. The polymer compound can contain one or more of these basic groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing a basic group, but when it is contained, the content of the structural unit containing a basic group is the total of the polymer compound in terms of mass. 0.01% or more and 50% or less is preferable with respect to the mass, and 0.01% or more and 30% or less is more preferable from the viewpoint of inhibition of developability inhibition.

黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基である配位性基、及び反応性を有する官能基としては、例えば、アセチルアセトキシ基、トリアルコキシシリル基、イソシアネート基、酸無水物、及び、酸塩化物等が挙げられる。好ましいものは、黒色顔料等の着色剤への吸着力が良好で、着色剤の分散性が高い点で、アセチルアセトキシ基である。高分子化合物は、これらの基を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、配位性基を含有する構造単位、又は、反応性を有する官能基を含有する構造単位を含有してもしなくてもよいが、含有する場合、これらの構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、10%以上80%以下が好ましく、現像性阻害抑制という観点から、20%以上60%以下がより好ましい。
As a coordinating group which is a functional group capable of forming an interaction with a coloring agent such as a black pigment, and a functional group having reactivity, for example, an acetylacetoxy group, a trialkoxysilyl group, an isocyanate group, an acid anhydride, And acid chlorides and the like. Preferred is an acetylacetoxy group in that the adsorptivity to a colorant such as a black pigment is good and the dispersibility of the colorant is high. The polymer compound may have one or more of these groups.
The polymer compound may or may not contain a structural unit containing a coordinating group, or a structural unit containing a functional group having reactivity, but when it is contained, the content of these structural units In terms of mass, 10% to 80% of the total mass of the polymer compound is preferable, and 20% to 60% is more preferable from the viewpoint of inhibition of development inhibition.

高分子化合物が、グラフト鎖以外に、黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有する場合、上記の各種の黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有していればよく、これらの官能基がどのように導入されているかは特に限定はされないが、高分子化合物は、下記一般式(iv)〜(vi)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を含有することが好ましい。   When the polymer compound contains, in addition to the graft chain, a functional group capable of forming an interaction with a coloring agent such as a black pigment, a functional group capable of forming an interaction with the coloring agent such as the various black pigments described above There is no particular limitation as to how these functional groups are introduced, as long as they are contained, but the polymer compound is derived from the monomers represented by the following general formulas (iv) to (vi) It is preferable to contain one or more structural units selected from structural units of

式(iv)〜式(vi)中、R11、R12、及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
式(iv)〜式(vi)中、R11、R12、及びR13は、好ましくは、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基であり、より好ましくは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基である。一般式(iv)中、R12及びR13は、それぞれ水素原子であることが特に好ましい。
In formulas (iv) to (vi), R 11 , R 12 and R 13 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom (eg, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), or a carbon number of 1 -Represents an alkyl group of -6 (e.g., methyl group, ethyl group, propyl group etc.)
In formulas (iv) to (vi), R 11 , R 12 and R 13 are preferably each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably each is independently Is a hydrogen atom or a methyl group. In general formula (iv), it is particularly preferable that R 12 and R 13 each be a hydrogen atom.

式(iv)中のXは、酸素原子(−O−)又はイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
式(v)中のYは、メチン基又は窒素原子を表す。
X 1 in the formula (iv) represents an oxygen atom (-O-) or an imino group (-NH-), preferably an oxygen atom.
Y in formula (v) represents a methine group or a nitrogen atom.

式(iv)〜式(v)中のLは、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基の例としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、及び置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、及び置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ結合(−NR31’−、ここでR31’は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル結合(−CO−)、及び、これらの組合せ等が挙げられる。L 1 in formulas (iv) to (v) represents a single bond or a divalent linking group. Examples of the divalent linking group include a divalent aliphatic group (for example, an alkylene group, a substituted alkylene group, an alkenylene group, a substituted alkenylene group, an alkynylene group, and a substituted alkynylene group), a divalent aromatic group (for example, , an arylene group, and a substituted arylene group), a divalent heterocyclic group an oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), an imino group (-NH-), substituted imino bond (-NR 31 '- Here, R 31 ′ is an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), a carbonyl bond (—CO—), and a combination thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。   The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. 1-20 are preferable, as for carbon number of an aliphatic group, 1-15 are more preferable, and 1-10 are still more preferable. The aliphatic group is preferably a saturated aliphatic group rather than an unsaturated aliphatic group. The aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。   6-20 are preferable, as for carbon number of a bivalent aromatic group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aromatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxy group, an aliphatic group, an aromatic group and a heterocyclic group.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環のうち1つ以上が縮合していてもよい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably contains a 5- or 6-membered ring as a heterocyclic ring. One or more of other heterocycles, aliphatic rings or aromatic rings may be fused to the heterocycle. The heterocyclic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxy group, an oxo group (= O), a thioxo group (= S), an imino group (= NH), and a substituted imino group (= N-R 32 , wherein R 32 is a fat) Group, an aromatic group or a heterocyclic group), an aliphatic group, an aromatic group and a heterocyclic group.

は、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含有するポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L 1 is preferably a single bond, an alkylene group or a divalent linking group containing an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. L 1 may contain a polyoxyalkylene structure containing an oxyalkylene structure repeated twice or more. As a polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by-(OCH 2 CH 2 ) n-, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

式(iv)〜式(vi)中、Zは、グラフト鎖以外に黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を表し、カルボン酸基、及び、第三級アミノ基であることが好ましく、カルボン酸基であることがより好ましい。In formulas (iv) to (vi), Z 1 represents a functional group capable of forming an interaction with a coloring agent such as a black pigment in addition to a graft chain, and is a carboxylic acid group and a tertiary amino group Is preferred, and a carboxylic acid group is more preferred.

式(vi)中、R14、R15、及びR16は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、−Z、又はL−Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるL及びZと同義であり、好ましい例も同様である。R14、R15、及びR16としては、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In formula (vi), R 14 , R 15 and R 16 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom (for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom or the like), an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms ( for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.), - Z 1, or an L 1 -Z 1. Wherein L 1 and Z 1 are the same meaning as L 1 and Z 1 in the above, it is the preferable examples. As R <14> , R <15> and R < 16 >, a hydrogen atom or a C1-C3 alkyl group is preferable each independently, and a hydrogen atom is more preferable.

式(iv)で表される単量体として、R11、R12、及びR13がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
式(v)で表される単量体として、R11が水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボン酸基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。
更に、式(vi)で表される単量体として、R14、R15、及びR16がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
As a monomer represented by Formula (iv), R 11 , R 12 and R 13 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and L 1 is a divalent having an alkylene group or an oxyalkylene structure. Compounds in which X 1 is an oxygen atom or an imino group and Z 1 is a carboxylic acid group are preferable.
As a monomer represented by Formula (v), R 11 is a hydrogen atom or a methyl group, L 1 is an alkylene group, Z 1 is a carboxylic acid group, and Y is a methine group Compounds are preferred.
Furthermore, as the monomer represented by the formula (vi), R 14 , R 15 and R 16 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and L 1 represents a single bond or an alkylene group, and Z Compounds in which 1 is a carboxylic acid group are preferred.

以下に、式(iv)〜式(vi)で表される単量体(化合物)の代表的な例を示す。
単量体の例としては、メタクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物(例えば、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル)とコハク酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物とフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物とテトラヒドロキシフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物と無水トリメリット酸との反応物、分子内に付加重合性二重結合及びヒドロキシ基を含有する化合物とピロメリット酸無水物との反応物、アクリル酸、アクリル酸ダイマー、アクリル酸オリゴマー、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、4−ビニル安息香酸、ビニルフェノール、及び、4−ヒドロキシフェニルメタクリルアミド等が挙げられる。
The representative examples of the monomers (compounds) represented by Formula (iv) to Formula (vi) are shown below.
Examples of monomers include methacrylic acid, crotonic acid and isocrotonic acid, compounds containing an addition polymerizable double bond and a hydroxyl group in the molecule (for example, 2-hydroxyethyl methacrylate) and succinic anhydride. Reactant, Reactant of compound having addition polymerizable double bond and hydroxy group in molecule with phthalic anhydride, Compound having addition polymerizable double bond and hydroxy group in molecule and tetrahydroxyphthalic acid Reactant with an anhydride, Reactant of a compound containing an addition polymerizable double bond and a hydroxy group in the molecule with trimellitic anhydride, and a compound containing an addition polymerizable double bond and a hydroxy group in the molecule Reactants with pyromellitic anhydride, acrylic acid, acrylic acid dimer, acrylic acid oligomer, maleic acid, itaconic acid, fumaric acid, 4-vinyl benzoic acid , Vinylphenol, and, and 4-hydroxyphenyl methacrylamide.

黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位の含有量は、黒色顔料等の着色剤との相互作用、経時安定性、及び現像液への浸透性の観点から、高分子化合物の全質量に対して、0.05質量%〜90質量%が好ましく、1.0質量%〜80質量%がより好ましく、10質量%〜70質量%が更に好ましい。   The content of the structural unit containing a functional group capable of forming an interaction with a colorant such as a black pigment is from the viewpoint of the interaction with the colorant such as a black pigment, the temporal stability, and the permeability to a developer. 0.05 mass%-90 mass% are preferable with respect to the total mass of a high molecular compound, 1.0 mass%-80 mass% are more preferable, 10 mass%-70 mass% are still more preferable.

・その他の構造単位
更に、高分子化合物は、画像強度等の諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、グラフト鎖を含有する構造単位、疎水性構造単位、及び、黒色顔料等の着色剤と相互作用を形成しうる官能基を含有する構造単位とは異なる、種々の機能を有する他の構造単位(例えば、分散物に用いられる分散媒との親和性を有する官能基等を含有する構造単位)を更に有していてもよい。
このような、他の構造単位としては、例えば、アクリロニトリル類、及び、メタクリロニトリル類等から選ばれるラジカル重合性化合物に由来の構造単位が挙げられる。
高分子化合物は、これらの他の構造単位を1種又は2種以上用いることができ、その含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、0%以上80%以下が好ましく、10%以上60%以下がより好ましい。含有量が上記範囲において、十分なパターン形成性が維持される。
-Other structural units Furthermore, in order to improve various performances such as image strength, the polymer compound is a structural unit containing a graft chain, a hydrophobic structural unit, and a black color, as long as the effects of the present invention are not impaired. A structural unit different from a structural unit containing a functional group capable of forming an interaction with a coloring agent such as a pigment, has another structural unit having various functions (for example, a functional group having an affinity to a dispersion medium used for dispersion) And the like) may further be included.
Examples of such other structural units include structural units derived from radically polymerizable compounds selected from acrylonitriles and methacrylonitriles and the like.
The polymer compound can use one or more of these other structural units, and its content is preferably 0% or more and 80% or less based on the total mass of the polymer compound in terms of mass. 10% or more and 60% or less is more preferable. Sufficient pattern formability is maintained in the above range of content.

・高分子化合物の物性
高分子化合物の酸価は、0mgKOH/g以上250mgKOH/g以下の範囲が好ましく、10mgKOH/g以上200mgKOH/g以下の範囲がより好ましく、20mgKOH/g以上120mgKOH/g以下の範囲が更に好ましい。
高分子化合物の酸価が160mgKOH/g以下であれば、硬化膜を形成する際の現像時におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。高分子化合物の酸価が10mgKOH/g以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、高分子化合物の酸価が20mgKOH/g以上であれば、黒色顔料等の着色剤の沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくすることができ、硬化性組成物の経時安定性をより向上できる。
Physical Properties of Polymer Compound The acid value of the polymer compound is preferably in the range of 0 mg KOH / g to 250 mg KOH / g, more preferably 10 mg KOH / g to 200 mg KOH / g, and more preferably 20 mg KOH / g to 120 mg KOH / g. A range is more preferred.
When the acid value of the polymer compound is 160 mg KOH / g or less, pattern peeling during development when forming a cured film can be more effectively suppressed. When the acid value of the polymer compound is 10 mg KOH / g or more, the alkali developability becomes better. In addition, when the acid value of the polymer compound is 20 mg KOH / g or more, sedimentation of the colorant such as a black pigment can be further suppressed, the number of coarse particles can be further reduced, and the temporal stability of the curable composition can be obtained. It can improve more.

高分子化合物の酸価は、例えば、高分子化合物中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、高分子化合物の構成成分である酸基を含有する構造単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。   The acid value of the polymer compound can be calculated, for example, from the average content of acid groups in the polymer compound. Moreover, resin which has a desired acid value can be obtained by changing content of the structural unit containing the acidic radical which is a structural component of a high molecular compound.

高分子化合物の重量平均分子量は、硬化膜を形成する際において、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、GPC(Gel Permeation Chromatography:ゲル浸透クロマトグラフィー)法によるポリスチレン換算値として、4,000以上300,000以下であることが好ましく、5,000以上200,000以下であることがより好ましく、6,000以上100,000以下であることが更に好ましく、10,000以上50,000以下であることが特に好ましい。
GPC法は、HLC−8020GPC(東ソー製)を用い、カラムとしてTSKgel SuperHZM−H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ2000(東ソー製、4.6mmID×15cm)を、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる方法に基づく。
The weight average molecular weight of the polymer compound is, when forming a cured film, as a polystyrene conversion value by GPC (Gel Permeation Chromatography: gel permeation chromatography) method from the viewpoint of suppression of pattern peeling during development and developability when forming a cured film; It is preferably 000 or more and 300,000 or less, more preferably 5,000 or more and 200,000 or less, still more preferably 6,000 or more and 100,000 or less, and 10,000 or more and 50,000 or less Is particularly preferred.
The GPC method is based on HLC-8020GPC (manufactured by Tosoh Corporation) using TSKgel Super HZM-H, TSKgel Super HZ 4000, TSKgel Super HZ 2000 (Tosoh, 4.6 mm ID × 15 cm) as a column, and THF (tetrahydrofuran) as an eluent. .

高分子化合物は、公知の方法に基づいて合成でき、高分子化合物を合成する際に用いられる溶剤としては、例えば、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、及び、乳酸エチル等が挙げられる。これらの溶剤は単独で用いても2種以上混合して用いてもよい。   The polymer compound can be synthesized based on a known method, and as a solvent used when synthesizing the polymer compound, for example, ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, propanol, butanol, ethylene glycol monomethyl Ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, 1-methoxy-2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, toluene, Ethyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate and the like can be mentioned. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

高分子化合物の具体例としては、楠木化成社製「DA−7301」、BYKChemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含有する共重合物)、111(リン酸系分散剤)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170、190(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)」、EFKA社製「EFKA4047、4050〜4010〜4165(ポリウレタン系)、EFKA4330〜4340(ブロック共重合体)、4400〜4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーPB821、PB822、PB880、PB881」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、日本ルーブリゾール製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、12000、17000、20000、27000(末端部に機能部を含有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト共重合体)」、日光ケミカルズ社製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレアート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」、川研ファインケミカル製 ヒノアクトT−8000E等、信越化学工業製、オルガノシロキサンポリマーKP341、裕商「W001:カチオン系界面活性剤」、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、「W004、W005、W017」等のアニオン系界面活性剤、森下産業製「EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450」、サンノプコ製「ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100」等の高分子分散剤、ADEKA製「アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123」、及び三洋化成製「イオネット(商品名)S−20」等が挙げられる。また、アクリベースFFS−6752、アクリベースFFS−187、アクリキュア−RD−F8、及び、サイクロマーPを用いることもできる。
両性樹脂の市販品としては、例えば、ビックケミー社製のDISPERBYK−130、DISPERBYK−140、DISPERBYK−142、DISPERBYK−145、DISPERBYK−180、DISPERBYK−187、DISPERBYK−191、DISPERBYK−2001、DISPERBYK−2010、DISPERBYK−2012、DISPERBYK−2025、BYK−9076、味の素ファインテクノ社製のアジスパーPB821、アジスパーPB822、及び、アジスパーPB881等が挙げられる。
これらの高分子化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
Specific examples of the polymer compound include “DA-7301” manufactured by Tochigi Kasei Co., Ltd., “Disperbyk-101 (polyamide amine phosphate), 107 (carboxylic acid ester), 110 (acid group-containing copolymer” manufactured by BYK Chemie ), 111 (phosphate based dispersant), 130 (polyamide), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170, 190 (polymer copolymer), “BYK-P104, P105 (high molecular weight non-polymer)” Saturated polycarboxylic acid) ", EFKA 4047, 4050 to 4010 to 4165 (polyurethane-based), EFKA 4330 to 4340 (block copolymer), 4400 to 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyester amide), 5765 (manufactured by EFKA) High molecular weight polycarboxylates), 6220 (fatty acid polys ), 6745 (Phthalocyanine derivative), 6750 (Azo pigment derivative) ”,“ Adispar PB 821, PB 822, PB 880, PB 881 ”manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co.,“ Flower TG-710 (urethane oligomer) ”manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.,“ Polyflow ” No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer), manufactured by Kushimoto Chemical Co., Ltd. “Disparone KS-860, 873 SN, 874, # 2150 (aliphatic polyvalent carboxylic acid), # 7004 (polyether ester), DA -703-50, DA-705, DA-725 ", Kao Corporation" Demol RN, N (Naphtalene sulfonic acid formalin polycondensate), MS, C, SN-B (aromatic sulfonic acid formalin polycondensate) " , "Homogenol L-18 (polymeric polycarboxylic acid)", "Emulgen 920" 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonyl phenyl ether) "," Acetamine 86 (stearylamine acetate) ", manufactured by Nippon Lubrizol" Sorsparse 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyester amine), 3000, 12000, 17000, 20000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft copolymer), manufactured by Nikko Chemicals Co., Ltd. "NIKKOL T106 (polyoxyethylene sorbitan mono-ester)" Oleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate), manufactured by Kawaken Fine Chemicals Co., Ltd. Hinoact T-8000 E, etc. manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., organosiloxane polymer KP 341, Yusho W001: cationic surfactant ", polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate , Nonionic surfactants such as sorbitan fatty acid ester, anionic surfactants such as "W004, W005, W017", "Morita Sangyo" EFKA-46, EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA polymer 100, EFKA polymer 400 " , EFKA Polymer 401, EFKA Polymer 450 ", San Nopco" Dispers Aid 6, Dispers Aid 8, Dispers Aid 15, Dispers Polymer dispersants such as Suade 9100, "ADEKA PLURONIC L31, F38, L42, L44, L61, L64, L68, L72, P72, P77, P84, F87, P94, L101, P101, P108, L121, P121, ADEKA" And "Ionette (trade name) S-20" manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd. and the like. Also, Acrybase FFS-6752, Acrybase FFS-187, Acrycure-RD-F8, and Cyclomer P can be used.
As a commercial item of the amphoteric resin, for example, DISPERBYK-130, DISPERBYK-140, DISPERBYK-142, DISPERBYK-145, DISPERBYK-180, DISPERBYK-187, DISPERBYK-187, DISPERBYK-191, DISPERBYK-2001, DISPERBYK-2001, DISPERBYK-2010, manufactured by Bick Chemie, Inc. DISPERBYK-2012, DISPERBYK-2025, BYK-9076, Ajisper PB 821 manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd., Azi sasper PB 822, and Azi sasper PB 881 and the like.
One of these polymer compounds may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.

高分子化合物の具体例としては、特開2013−249417号公報の段落0127〜0129に記載の高分子化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。   As specific examples of the polymer compound, the polymer compounds described in paragraphs “0127” to “0129” of JP 2013-249417 A can be referred to, and the contents thereof are incorporated in the present specification.

分散剤としては、上記の高分子化合物以外に、特開2010−106268号公報の段落0037〜0115(対応するUS2011/0124824の段落0075〜0133欄)のグラフト共重合体が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
上記以外にも、特開2011−153283号公報の段落0028〜0084(対応するUS2011/0279759の段落0075〜0133欄)の酸性基が連結基を介して結合してなる側鎖構造を含有する構成成分を含有する高分子化合物が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
As the dispersant, in addition to the above-mentioned polymer compounds, graft copolymers of paragraphs 0037 to 0115 of JP 2010-106268 A (columns 0075 to 0133 of corresponding US 2011/0124824) can be used, and the contents of these can be used. Are incorporated by reference and incorporated herein.
In addition to the above, a configuration including a side chain structure formed by combining the acidic group of paragraphs 0028 to 0084 (corresponding column 0075 to 0133 in US2011 / 02729759 of JP2011-153283A) via a linking group. Polymeric compounds containing components can be used, the contents of which can be incorporated and incorporated herein.

<バインダー樹脂>
硬化性組成物は、バインダー樹脂を含有することが好ましい。
バインダー樹脂の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.1〜30質量%が好ましい。
バインダー樹脂の含有量が、硬化性組成物の全固形分に対して、0.3〜25質量%以上だと、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜のパターン形状がより優れる。
バインダー樹脂は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。バインダー樹脂を2種以上併用する場合は、その合計量が上記範囲内であることが好ましい。
<Binder resin>
The curable composition preferably contains a binder resin.
As for content of binder resin, 0.1-30 mass% is preferable with respect to the total solid of a curable composition.
When the content of the binder resin is 0.3 to 25% by mass or more based on the total solid content of the curable composition, the pattern shape of a cured film obtained by curing the curable composition is more excellent.
The binder resin may be used alone or in combination of two or more. When using 2 or more types of binder resin together, it is preferable that the total amount is in the said range.

バインダー樹脂としては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような線状有機ポリマーとしては、公知のものを任意に使用することができる。好ましくは、水現像又は弱アルカリ水現像を可能とするために、水又は弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。なかでも、バインダー樹脂としては、アルカリ可溶性樹脂(アルカリ可溶性を促進する基を含有する樹脂)が特に好ましい。
バインダー樹脂としては、線状有機ポリマーであって、分子(好ましくは、(メタ)アクリル系共重合体、又は、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を含有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、(メタ)アクリルアミド系樹脂、(メタ)アクリル/(メタ)アクリルアミド共重合体樹脂、エポキシ系樹脂及びポリイミド系樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、(メタ)アクリル系樹脂、(メタ)アクリルアミド系樹脂、(メタ)アクリル/(メタ)アクリルアミド共重合体樹脂又はポリイミド系樹脂がより好ましい。
アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボン酸基、リン酸基、スルホン酸基、及び、フェノール性ヒドロキシ基等が挙げられる。なかでも、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、(メタ)アクリル酸由来の構造単位を含有するアルカリ可溶性樹脂がより好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
It is preferable to use a linear organic polymer as the binder resin. As such a linear organic polymer, known ones can be optionally used. Preferably, linear organic polymers that are soluble or swellable in water or weakly alkaline water are selected to enable water development or weakly alkaline water development. Among them, as the binder resin, an alkali-soluble resin (a resin containing a group that promotes alkali solubility) is particularly preferable.
The binder resin is a linear organic polymer, and promotes at least one alkali solubility in a molecule (preferably, a molecule having a (meth) acrylic copolymer or a styrenic copolymer as a main chain) It can select suitably from the alkali-soluble resin containing the group to be. From the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, (meth) acrylic resins, (meth) acrylamide resins, (meth) acrylic / (meth) acrylamide copolymer resins, epoxy resins and Polyimide resins are preferred, and from the viewpoint of control of developability, (meth) acrylic resins, (meth) acrylamide resins, (meth) acrylic / (meth) acrylamide copolymer resins or polyimide resins are more preferred.
Examples of the group that promotes alkali solubility (hereinafter, also referred to as an acid group) include, for example, a carboxylic acid group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, and a phenolic hydroxy group. Especially, what is soluble in an organic solvent and developable by weak alkali aqueous solution is preferable, and the alkali-soluble resin containing the structural unit derived from (meth) acrylic acid is mentioned as a more preferable thing. These acid groups may be of only one type, or of two or more types.

バインダー樹脂としては、例えば、側鎖にカルボン酸基を含有するラジカル重合体が挙げられる。側鎖にカルボン酸基を含有するラジカル重合体としては、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭54−92723号、特開昭59−53836号、及び、特開昭59−71048号に記載されているものが挙げられる。側鎖にカルボン酸基を含有するラジカル重合体としては、カルボン酸基を含有するモノマーを単独又は共重合させた樹脂、酸無水物を含有するモノマーを単独又は共重合させて得た酸無水物ユニットを、加水分解、ハーフエステル化又はハーフアミド化させた樹脂、及び、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。
カルボン酸基を含有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、及び、4−カルボキシルスチレン等が挙げられる。側鎖にカルボン酸基を含有する酸性セルロース誘導体も例として挙げられる。
酸無水物を含有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。この他にヒドロキシ基を含有する重合体に環状酸無水物を付加させたもの等が有用である。
酸基を含有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダー樹脂が、欧州特許第993966号、欧州特許第1204000号、及び、特開2001−318463号等の各公報に記載されている。酸基を含有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダー樹脂は、膜強度、及び、現像性のバランスに優れており、好適である。
更に、水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドン、又はポリエチレンオキサイド等が有用である。また、硬化皮膜の強度を上げるために、アルコール可溶性ナイロン、及び、2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンとの反応物であるポリエーテル等も有用である。
国際公開第2008/123097号に記載のポリイミド樹脂も有用である。
As binder resin, the radical polymer which contains a carboxylic acid group in a side chain is mentioned, for example. As radical polymers containing a carboxylic acid group in the side chain, for example, JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-54. Examples thereof are those described in JP-A-92723, JP-A-59-53836, and JP-A-59-71048. As a radical polymer containing a carboxylic acid group in the side chain, a resin obtained by homopolymerizing or copolymerizing a monomer containing a carboxylic acid group, and an acid anhydride obtained by homopolymerizing or copolymerizing a monomer containing an acid anhydride Examples thereof include resins obtained by hydrolyzing, half esterifying or half amidating units, and epoxy acrylates in which an epoxy resin is modified with unsaturated monocarboxylic acid and acid anhydride.
As a monomer containing a carboxylic acid group, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, 4-carboxystyrene and the like can be mentioned. Acidic cellulose derivatives containing a carboxylic acid group in the side chain are also mentioned as an example.
As a monomer containing an acid anhydride, maleic anhydride etc. are mentioned. In addition, polymers obtained by adding a cyclic acid anhydride to a polymer containing a hydroxy group are useful.
An acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder resin containing an acid group is described in European Patent No. 993966, European Patent No. 1204000, and JP-A No. 2001-318463. An acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder resin containing an acid group is suitable because it is excellent in the balance between film strength and developability.
Furthermore, polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide or the like is useful as the water-soluble linear organic polymer. Also, in order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether which is a reaction product of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, and the like are useful.
The polyimide resins described in WO 2008/123097 are also useful.

これらの中でも、〔ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー〕共重合体、及び〔アリル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー〕共重合体は、膜強度、感度、及び、現像性のバランスに優れており、好適である。
市販品としては、例えばアクリベースFF−187、FF−426(藤倉化成社製)、アクリキュア−RD−F8(日本触媒)、及び、ダイセルオルネクス製サイクロマーP(ACA)230AA等が挙げられる。
Among these, [benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / optionally other addition polymerizable vinyl monomer] copolymer, and [allyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / optionally Other addition polymerizable vinyl monomers] The copolymer is excellent in the balance of film strength, sensitivity and developability and is preferable.
Examples of commercially available products include Acrybase FF-187, FF-426 (Fujikura Kasei Co., Ltd.), Acrycure-RD-F8 (Nippon Catalyst), and Cyclomer P (ACA) 230AA manufactured by Daicel Ornex.

バインダー樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でバインダー樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、並びに、溶剤の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能である。   For example, a known radical polymerization method can be applied to the production of the binder resin. Those skilled in the art can easily set the polymerization conditions such as temperature, pressure, kind and amount of radical initiator, and kind of solvent in producing the binder resin by the radical polymerization method.

バインダー樹脂として、グラフト鎖を含有する構造単位と、酸基(アルカリ可溶性基)を含有する構造単位と、を含有するポリマーを使用することも好ましい。
グラフト鎖を含有する構造単位の定義は、上記の分散剤が含有するグラフト鎖を含有する構造単位と同義であり、また好適範囲も同様である。
酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、又は、フェノール性ヒドロキシ基等が挙げられ、カルボン酸基、スルホン酸基、及び、リン酸基のうち少なくとも1種が好ましく、カルボン酸基がより好ましい。
It is also preferable to use, as a binder resin, a polymer containing a structural unit containing a graft chain and a structural unit containing an acid group (alkali soluble group).
The definition of the structural unit containing a graft chain is the same as the structural unit containing a graft chain contained in the above-mentioned dispersant, and the preferred range is also the same.
Examples of the acid group include a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, or a phenolic hydroxy group, and at least one of a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group is preferable. And carboxylic acid groups are more preferred.

(酸基を含有する構造単位)
酸基を含有する構造単位としては、下記式(vii)〜式(ix)で表される単量体に由来の構造単位から選択された1種以上の構造単位を含有することが好ましい。
(Structural unit containing an acid group)
As a structural unit containing an acid group, it is preferable to contain one or more types of structural units selected from the structural unit derived from the monomer represented by following formula (vii)-formula (ix).

式(vii)〜式(ix)中、R21、R22、及びR23は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
式(vii)〜式(ix)中、R21、R22、及びR23は、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基であることが好ましく、それぞれ独立に水素原子又はメチル基であることがより好ましい。式(vii)中、R21及びR23は、それぞれ水素原子であることが特に好ましい。
In formulas (vii) to (ix), each of R 21 , R 22 and R 23 independently represents a hydrogen atom, a halogen atom (eg, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc.) or a carbon number of 1 -Represents an alkyl group of 6 to 6 (e.g., a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.).
In formulas (vii) to (ix), R 21 , R 22 and R 23 each independently preferably represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and each independently represents a hydrogen atom or More preferably, it is a methyl group. In formula (vii), each of R 21 and R 23 is particularly preferably a hydrogen atom.

式(vii)中のXは、酸素原子(−O−)又はイミノ基(−NH−)を表し、酸素原子であることが好ましい。
また、式(viii)中のYは、メチン基又は窒素原子を表す。
X 2 in the formula (vii) represents an oxygen atom (-O-) or imino group (-NH-), preferably an oxygen atom.
Moreover, Y in Formula (viii) represents a methine group or a nitrogen atom.

式(vii)〜式(ix)中のLは、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基の例としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、及び置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、及び置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(−O−)、硫黄原子(−S−)、イミノ基(−NH−)、置換イミノ結合(−NR41’−、ここでR41’は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル結合(−CO−)、及び、これらの組合せ等が挙げられる。L 2 in Formula (vii) to Formula (ix) represents a single bond or a divalent linking group. Examples of the divalent linking group include a divalent aliphatic group (for example, an alkylene group, a substituted alkylene group, an alkenylene group, a substituted alkenylene group, an alkynylene group, and a substituted alkynylene group), a divalent aromatic group (for example, , Arylene group, and substituted arylene group), divalent heterocyclic group, oxygen atom (-O-), sulfur atom (-S-), imino group (-NH-), substituted imino bond (-NR 41 '- Here, R 41 ′ represents an aliphatic group, an aromatic group or a heterocyclic group), a carbonyl bond (—CO—), and a combination thereof.

2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜15がより好ましく、1〜10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。   The divalent aliphatic group may have a cyclic structure or a branched structure. 1-20 are preferable, as for carbon number of an aliphatic group, 1-15 are more preferable, and 1-10 are still more preferable. The aliphatic group is preferably a saturated aliphatic group rather than an unsaturated aliphatic group. The aliphatic group may have a substituent. Examples of substituents include halogen atoms, hydroxy groups, aromatic groups and heterocyclic groups.

2価の芳香族基の炭素数は、6〜20が好ましく、6〜15がより好ましく、6〜10が更に好ましい。芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。   6-20 are preferable, as for carbon number of a bivalent aromatic group, 6-15 are more preferable, and 6-10 are still more preferable. The aromatic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxy group, an aliphatic group, an aromatic group and a heterocyclic group.

2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含有することが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環のうち1つ以上が縮合していてもよい。複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N−R42、ここでR42は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。The divalent heterocyclic group preferably contains a 5- or 6-membered ring as a heterocyclic ring. One or more of other heterocycles, aliphatic rings or aromatic rings may be fused to the heterocycle. The heterocyclic group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom, a hydroxy group, an oxo group (= O), a thioxo group (= S), an imino group (= NH), and a substituted imino group (= N-R 42 , wherein R 42 is a fat) Group, an aromatic group or a heterocyclic group), an aliphatic group, an aromatic group and a heterocyclic group.

は、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であることが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であることがより好ましい。Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含有するポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、−(OCHCH)n−で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2〜10の整数であることがより好ましい。L 2 is preferably a single bond, an alkylene group or a divalent linking group containing an oxyalkylene structure. The oxyalkylene structure is more preferably an oxyethylene structure or an oxypropylene structure. L 2 may contain a polyoxyalkylene structure containing an oxyalkylene structure repeated twice or more. As a polyoxyalkylene structure, a polyoxyethylene structure or a polyoxypropylene structure is preferable. The polyoxyethylene structure is represented by-(OCH 2 CH 2 ) n-, and n is preferably an integer of 2 or more, and more preferably an integer of 2 to 10.

式(vii)〜式(ix)中、Zは、酸基であり、カルボン酸基であることが好ましい。In formulas (vii) to (ix), Z 2 is an acid group, preferably a carboxylic acid group.

式(ix)中、R24、R25、及びR26は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素、塩素、臭素等)、炭素数が1〜6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、−Z、又はL−Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるL及びZと同義であり、好ましい例も同様である。R24、R25、及びR26としては、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1〜3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。In formula (ix), R 24 , R 25 and R 26 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom (for example, fluorine, chlorine, bromine or the like), or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (for example, methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc.), - represents a Z 2, or L 2 -Z 2. Here L 2 and Z 2 has the same meaning as L 2 and Z 2 in the above, and preferred examples are also the same. As R <24> , R <25> and R < 26 >, a hydrogen atom or a C1-C3 alkyl group is preferable each independently, and a hydrogen atom is more preferable.

式(vii)で表される単量体として、R21、R22、及びR23がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含有する2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
式(vii)で表される単量体として、R21が水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボン酸基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。
更に、式(ix)で表される単量体として、R24、R25、及びR26がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
As a monomer represented by the formula (vii), R 21 , R 22 and R 23 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and L 2 is a divalent having an alkylene group or an oxyalkylene structure. The linking group is preferably a compound wherein X 2 is an oxygen atom or an imino group, and Z 2 is a carboxylic acid group.
As a monomer represented by Formula (vii), R 21 is a hydrogen atom or a methyl group, L 2 is an alkylene group, Z 2 is a carboxylic acid group, and Y is a methine group Compounds are preferred.
Furthermore, as a monomer represented by Formula (ix), a compound in which R 24 , R 25 and R 26 are each independently a hydrogen atom or a methyl group and Z 2 is a carboxylic acid group is preferable.

バインダー樹脂は、上記のグラフト鎖を含有する構造単位を含有する分散剤と同様の方法により合成することができ、その好ましい酸価、重量平均分子量も同様である。   The binder resin can be synthesized by the same method as the above-mentioned dispersant containing a graft chain-containing structural unit, and the preferable acid value and weight average molecular weight are also the same.

バインダー樹脂は、酸基を含有する構造単位を1種又は2種以上有してもよい。
酸基を含有する構造単位の含有量は、質量換算で、バインダー樹脂の総質量に対して、5〜95%が好ましく、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、10〜90%がより好ましい。
The binder resin may have one or more structural units containing an acid group.
The content of the structural unit containing an acid group is preferably 5 to 95% by mass conversion with respect to the total mass of the binder resin, and from the viewpoint of suppressing damage to the image strength by alkali development, 10 to 90% is more preferable.

<界面活性剤>
硬化性組成物は、界面活性剤を含有することが好ましい。界面活性剤は、硬化性組成物の塗布性向上に寄与する。
<Surfactant>
The curable composition preferably contains a surfactant. The surfactant contributes to the improvement of the coatability of the curable composition.

硬化性組成物が、界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の含有量としては、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜2.0質量%が好ましい。
界面活性剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。界面活性剤を2種以上併用する場合は、合計量が上記範囲内であることが好ましい。
When the curable composition contains a surfactant, the content of the surfactant is preferably 0.001% to 2.0% by mass with respect to the total solid content of the curable composition.
The surfactant may be used alone or in combination of two or more. When two or more surfactants are used in combination, the total amount is preferably within the above range.

界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、及びシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。   Examples of the surfactant include fluorine-based surfactants, nonionic surfactants, cationic surfactants, anionic surfactants, silicone surfactants and the like.

例えば、硬化性組成物がフッ素系界面活性剤を含有することで、硬化性組成物の液特性(特に、流動性)がより向上する。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する硬化性組成物を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚さムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。   For example, when the curable composition contains a fluorine-based surfactant, liquid properties (in particular, fluidity) of the curable composition are further improved. That is, in the case of forming a film using a curable composition containing a fluorine-based surfactant, the wettability to the surface to be coated is improved by reducing the interfacial tension between the surface to be coated and the coating liquid. The coating property on the surface to be coated is improved. For this reason, even in the case where a thin film of about several μm is formed with a small amount of liquid, it is effective in that film formation with uniform thickness with small thickness unevenness can be more suitably performed.

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3〜40質量%が好適であり、5〜30質量%がより好ましく、7〜25質量%が更に好ましい。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性及び/又は省液性の点で効果的であり、硬化性組成物中における溶解性も良好である。   3-40 mass% is suitable for the fluorine content rate in a fluorine-type surfactant, 5-30 mass% is more preferable, and 7-25 mass% is still more preferable. The fluorine-based surfactant having a fluorine content in this range is effective in terms of the uniformity of the thickness of the coating film and / or the liquid saving property, and the solubility in the curable composition is also good. .

フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−1068、同SC−381、同SC−383、同S−393、同KH−40(以上、旭硝子(株)製)、PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(OMNOVA社製)等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーを用いることもでき、具体例としては、例えば特開2011−89090号公報に記載の化合物が挙げられる。下記式で表される化合物(F−1)もフッ素系界面活性剤として挙げられる。化合物(F−1)において、式中(A)及び(B)で表される構造単位はそれぞれ62モル%、38モル%である。式(B)で表される構造単位中、a、b、cは、それぞれ、a+c=14、b=17の関係を満たす。なお、下記化合物の重量平均分子量は、例えば15,311である。
Examples of fluorine-based surfactants include Megafac F171, F172, F173, F176, F177, F141, F142, F143, F44, R30, F437, F475, F479, and the like. Same F482, same F554, same F780 (above, DIC Corporation), Florard FC430, same FC431, same FC171 (above, Sumitomo 3M Corporation), Surfron S-382, same SC-101, same SC 103, SC-104, SC-105, SC-1068, SC-381, SC-383, S-393, KH-40 (all manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), PF636, PF656, PF6320, PF6520, PF7002 (manufactured by OMNOVA) and the like can be mentioned.
A block polymer can also be used as a fluorine-type surfactant, and the compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-89090 is mentioned as a specific example, for example. The compound (F-1) represented by a following formula is also mentioned as a fluorine-type surfactant. In the compound (F-1), structural units represented by (A) and (B) in the formula are 62 mol% and 38 mol%, respectively. In the structural unit represented by the formula (B), a, b and c satisfy the relationship of a + c = 14, b = 17, respectively. The weight average molecular weight of the following compound is, for example, 15,311.

ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル(BASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1)、ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株))等が挙げられる。また、竹本油脂(株)製のパイオニンD−6112−W、和光純薬工業社製の、NCW−101、NCW−1001、NCW−1002を使用することもできる。   Specific examples of nonionic surfactants include glycerol, trimethylolpropane, trimethylolethane and their ethoxylates and propoxylates (eg, glycerol propoxylate, glycerine ethoxylate, etc.), polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene Stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester (Pluronic L10, L31, L61, L62 manufactured by BASF, 10R5, 17R2, 25R2, Tetronics 304, 701, 704, 901, 904, 150R1), Sparse 20000 (Lubrizol Japan Co., Ltd.), and the like. In addition, Pionin D-6112-W manufactured by Takemoto Oil & Fat Co., Ltd., NCW-101, NCW-1001 and NCW-1002 manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd. can also be used.

カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体(商品名、EFKA−745、森下産業(株)製)、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学(株)製)、W001(裕商(株))等が挙げられる。   Specific examples of cationic surfactants include phthalocyanine derivatives (trade name, EFKA-745, manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.), organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid Co) polymer poly flow No. 75, no. 90, no. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), W001 (Yusho Co., Ltd.), and the like.

アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017(裕商(株))等が挙げられる。   Specific examples of the anionic surfactant include W004, W005, W017 (Yusho Co., Ltd.) and the like.

シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング(株)製「トーレシリコーンDC3PA」、「トーレシリコーンSH7PA」、「トーレシリコーンDC11PA」,「トーレシリコーンSH21PA」,「トーレシリコーンSH28PA」、「トーレシリコーンSH29PA」、「トーレシリコーンSH30PA」、「トーレシリコーンSH8400」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製「TSF−4440」、「TSF−4300」、「TSF−4445」、「TSF−4460」、「TSF−4452」、信越シリコーン株式会社製「KP341」、「KF6001」、「KF6002」、ビックケミー社製「BYK307」、「BYK323」、「BYK330」等が挙げられる。   As silicone type surfactant, for example, Toray Dow Corning Co., Ltd. product "Tore silicone DC3PA", "Tore silicone SH7PA", "Tore silicone DC11PA", "Tore silicone SH21PA", "Tore silicone SH28PA", "Tore silicone SH21PA" Silicone SH29PA, Toray Silicone SH30PA, Toray Silicone SH8400, Momentive Performance Materials, Inc. "TSF-4440", "TSF-4300", "TSF-4445", "TSF-4460", "TSF “4452”, “KP341”, “KF6001”, “KF6002” manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., “BYK307”, “BYK323”, “BYK330” manufactured by BIC Chemie, and the like.

<シランカップリング剤>
シランカップリング剤とは、分子中に加水分解性基とそれ以外の官能基とを含有する化合物である。なお、アルコキシ基等の加水分解性基は、珪素原子に結合している。
加水分解性基とは、珪素原子に直結し、加水分解反応及び/又は縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基、及びアルケニルオキシ基が挙げられる。加水分解性基が炭素原子を含有する場合、その炭素数は6以下であることが好ましく、4以下であることがより好ましい。特に、炭素数4以下のアルコキシ基又は炭素数4以下のアルケニルオキシ基が好ましい。
基板上に硬化膜を形成する場合、シランカップリング剤は基板と硬化膜間の密着性を向上させるため、フッ素原子及び珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)を含まないことが好ましく、フッ素原子、珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)、珪素原子で置換されたアルキレン基、炭素数8以上の直鎖アルキル基、及び、炭素数3以上の分鎖アルキル基は含まないことが望ましい。
<Silane coupling agent>
The silane coupling agent is a compound having a hydrolyzable group and other functional groups in the molecule. In addition, hydrolysable groups, such as an alkoxy group, are couple | bonded with the silicon atom.
The hydrolyzable group is a substituent which is directly bonded to a silicon atom and can form a siloxane bond by hydrolysis reaction and / or condensation reaction. As a hydrolysable group, a halogen atom, an alkoxy group, an acyloxy group, and an alkenyloxy group are mentioned, for example. When the hydrolyzable group contains a carbon atom, the carbon number thereof is preferably 6 or less, more preferably 4 or less. In particular, an alkoxy group having 4 or less carbon atoms or an alkenyloxy group having 4 or less carbon atoms is preferable.
When forming a cured film on a substrate, the silane coupling agent contains a fluorine atom and a silicon atom (but excluding the silicon atom to which a hydrolyzable group is bonded) in order to improve the adhesion between the substrate and the cured film. Preferably, a fluorine atom, a silicon atom (excluding a silicon atom to which a hydrolyzable group is bonded), an alkylene group substituted with a silicon atom, a linear alkyl group having 8 or more carbon atoms, and 3 carbon atoms It is desirable not to include the above branched chain alkyl group.

シランカップリング剤は、以下の式(Z)で表される基を含有することが好ましい。*は結合位置を表す。
式(Z) *−Si−(RZ1
式(Z)中、RZ1は加水分解性基を表し、その定義は上記のとおりである。
The silane coupling agent preferably contains a group represented by the following formula (Z). * Represents a bonding position.
Formula (Z) *-Si- (R Z1 ) 3
In formula (Z), R Z1 represents a hydrolyzable group, and the definition is as described above.

シランカップリング剤は、(メタ)アクリロイルオキシ基、エポキシ基、及び、オキセタニル基からなる群から選択される1種以上の硬化性官能基を含有することが好ましい。硬化性官能基は、直接、珪素原子に結合してもよく、連結基を介して珪素原子に結合していてもよい。
なお、上記シランカップリング剤に含まれる硬化性官能基の好適態様としては、ラジカル重合性基も挙げられる。
The silane coupling agent preferably contains one or more curable functional groups selected from the group consisting of (meth) acryloyloxy groups, epoxy groups, and oxetanyl groups. The curable functional group may be directly bonded to the silicon atom, or may be bonded to the silicon atom via a linking group.
In addition, as a suitable aspect of the curable functional group contained in the said silane coupling agent, a radically polymerizable group is also mentioned.

シランカップリング剤の分子量は特に制限されず、取り扱い性の点から、100〜1,000の場合が多く、270以上が好ましく、270〜1,000がより好ましい。   The molecular weight of the silane coupling agent is not particularly limited, and is often 100 to 1,000, preferably 270 or more, and more preferably 270 to 1,000, from the viewpoint of handleability.

シランカップリング剤の好適態様の1つとしては、式(W)で表されるシランカップリング剤Xが挙げられる。
式(W) RZ2−Lz−Si−(RZ1
z1は、加水分解性基を表し、定義は上記のとおりである。
z2は、硬化性官能基を表し、定義は上記のとおりであり、好適範囲も上記のとおりである。
Lzは、単結合又は2価の連結基を表す。Lzが2価の連結基を表す場合、2価の連結基としては、ハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基、ハロゲン原子が置換していてもよいアリーレン基、−NR12−、−CONR12−、−CO−、−CO−、SONR12−、−O−、−S−、−SO−、又は、これらの組み合わせが挙げられる。なかでも、炭素数2〜10のハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基及び炭素数6〜12のハロゲン原子が置換していてもよいアリーレン基からなる群から選択される少なくとも1種、又は、これらの基と−NR12−、−CONR12−、−CO−、−CO−、SONR12−、−O−、−S−、及びSO−からなる群から選択される少なくとも1種の基との組み合わせからなる基が好ましく、炭素数2〜10のハロゲン原子が置換していてもよいアルキレン基、−CO−、−O−、−CO−、−CONR12−、又は、これらの基の組み合わせからなる基がより好ましい。ここで、上記R12は、水素原子又はメチル基を表す。
One of the preferable embodiments of the silane coupling agent includes a silane coupling agent X represented by the formula (W).
Formula (W) R Z2- Lz-Si- (R Z1 ) 3
R z1 represents a hydrolyzable group, and the definition is as described above.
R z2 represents a curable functional group, the definition is as described above, and the preferred range is also as described above.
Lz represents a single bond or a divalent linking group. If Lz represents a divalent linking group, the divalent As the linking group, an alkylene group optionally substituted with a halogen atom, an arylene group optionally halogen atoms substituted, -NR 12 -, - CONR 12 -, - CO -, - CO 2 -, SO 2 NR 12 -, - O -, - S -, - SO 2 -, or combinations thereof. Among them, at least one selected from the group consisting of an alkylene group which may be substituted by a C 2-10 halogen atom and an arylene group which may be substituted by a C 6-12 halogen atom, or these groups and -NR 12 -, - CONR 12 - , - CO -, - CO 2 -, SO 2 NR 12 -, - O -, - S-, and SO 2 -, at least selected from the group consisting of group is preferred, which consist of a combination of one group, an alkylene group optionally substituted with a halogen atom having 2 to 10 carbon atoms, -CO 2 -, - O - , - CO -, - CONR 12 -, or And the group consisting of the combination of these groups is more preferable. Here, the above R 12 represents a hydrogen atom or a methyl group.

シランカップリング剤Xとしては、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−メチルジメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−602)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−603)、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBE−602)、γ−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−903)、γ−アミノプロピル−トリエトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBE−903)、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−503)、及び、グリシドキシオクチルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名 KBM−4803)等が挙げられる。   As the silane coupling agent X, N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-methyldimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. trade name: KBM-602), N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-tri Methoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name KBM-603), N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-triethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. trade name KBE-602), γ-aminopropyl- Trimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name KBM-903), γ-aminopropyl-triethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. trade name, KBE-903), 3-methacryloxypropyl trimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Manufactured by Kogyo Co., Ltd., trade name KBM-503), and glycidoxyoctyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Trade name KBM-4803) and the like.

シランカップリング剤の他の好適態様としては、分子内に少なくとも珪素原子と窒素原子と硬化性官能基とを有し、かつ、珪素原子に結合した加水分解性基を含有するシランカップリング剤Yが挙げられる。
このシランカップリング剤Yは、分子内に少なくとも1つの珪素原子を有すればよく、珪素原子は、以下の原子、置換基と結合できる。それらは同じ原子、置換基であっても異なっていてもよい。結合しうる原子、置換基は、水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1から20のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルキル基及び/又はアリール基で置換可能なアミノ基、シリル基、炭素数1から20のアルコキシ基、アリーロキシ基等が挙げられる。これらの置換基は更に、シリル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、チオアルコキシ基、アルキル基及び/又はアリール基で置換可能なアミノ基、ハロゲン原子、スルホンアミド基、アルコキシカルボニル基、アミド基、ウレア基、アンモニウム基、アルキルアンモニウム基、カルボン酸基、又はその塩、スルホ基、又はその塩等で置換されていてもよい。
なお、珪素原子には少なくとも1つの加水分解性基が結合している。加水分解性基の定義は、上記のとおりである。
シランカップリング剤Yには、式(Z)で表される基が含まれていてもよい。
Another preferred embodiment of the silane coupling agent is a silane coupling agent Y having at least a silicon atom, a nitrogen atom and a curable functional group in the molecule and containing a hydrolyzable group bonded to the silicon atom. Can be mentioned.
The silane coupling agent Y may have at least one silicon atom in the molecule, and the silicon atom can be bonded to the following atoms and substituents. They may be the same atoms, substituents or different. The atom which can be bonded, the substituent, is a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkyl group and / or an amino group which can be substituted with an aryl group A silyl group, a C1-C20 alkoxy group, an aryloxy group etc. are mentioned. These substituents may further be substituted with silyl, alkenyl, alkynyl, aryl, alkoxy, aryloxy, thioalkoxy, alkyl and / or aryl, amino, halogen, sulfonamide, and the like. It may be substituted with an alkoxycarbonyl group, an amido group, a urea group, an ammonium group, an alkyl ammonium group, a carboxylic acid group, or a salt thereof, a sulfo group, a salt thereof or the like.
In addition, at least one hydrolyzable group is bonded to the silicon atom. The definition of the hydrolyzable group is as described above.
The silane coupling agent Y may contain a group represented by Formula (Z).

シランカップリング剤Yは、分子内に窒素原子を少なくとも1つ以上有し、窒素原子は、2級アミノ基又は3級アミノ基の形態で存在することが好ましく、即ち、窒素原子は置換基として少なくとも1つの有機基を含有することが好ましい。なお、アミノ基の構造としては、含窒素ヘテロ環の部分構造の形態で分子内に存在してもよく、アニリン等の置換アミノ基として存在していてもよい。
ここで、有機基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、又は、これらの組み合わせ等が挙げられる。これらは更に置換基を有してもよく、導入可能な置換基としては、シリル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、チオアルコキシ基、アミノ基、ハロゲン原子、スルホンアミド基、アルコキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、アミド基、ウレア基、アルキレンオキシ基アンモニウム基、アルキルアンモニウム基、カルボン酸基、又はその塩、スルホ基等が挙げられる。
窒素原子は、任意の有機連結基を介して硬化性官能基と結合していることが好ましい。好ましい有機連結基としては、上記の窒素原子及びそれに結合する有機基に導入可能な置換基を挙げることができる。
The silane coupling agent Y preferably has at least one nitrogen atom in the molecule, and the nitrogen atom is preferably present in the form of a secondary amino group or a tertiary amino group, that is, the nitrogen atom is a substituent It is preferred to contain at least one organic group. In addition, as a structure of an amino group, you may exist in a molecule | numerator in the form of the partial structure of a nitrogen-containing heterocyclic ring, and you may exist as substituted amino groups, such as aniline.
Here, as the organic group, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, a combination thereof, and the like can be mentioned. These may further have a substituent and examples of the substituent that can be introduced include silyl group, alkenyl group, alkynyl group, aryl group, alkoxy group, aryloxy group, thioalkoxy group, amino group, halogen atom, sulfonamide Groups, alkoxycarbonyl groups, carbonyloxy groups, amido groups, urea groups, alkyleneoxy groups ammonium groups, alkyl ammonium groups, carboxylic acid groups, or salts thereof, sulfo groups and the like.
The nitrogen atom is preferably bonded to the curable functional group via any organic linking group. Preferred examples of the organic linking group include the nitrogen atom described above and substituents which can be introduced into the organic group bonded thereto.

シランカップリング剤Yに含まれる硬化性官能基の定義は、上記のとおりであり、好適範囲も上記のとおりである。
シランカップリング剤Yは、硬化性官能基を1分子中に少なくとも1つ以上有していればよいが、硬化性官能基を2以上含有することも可能である。感度、安定性の観点からは、硬化性官能基を分子内に2〜20含有することが好ましく、4〜15含有することがより好ましく、6〜10含有することが更に好ましい。
The definition of the curable functional group contained in the silane coupling agent Y is as described above, and the preferable range is also as described above.
The silane coupling agent Y may have at least one or more curable functional groups in one molecule, but may have two or more curable functional groups. From the viewpoint of sensitivity and stability, the curable functional group is preferably contained in the molecule in an amount of 2 to 20, more preferably 4 to 15 and still more preferably 6 to 10.

シランカップリング剤X及びシランカップリング剤Yの分子量は特に制限されないが、上記の範囲(270以上が好ましい)が挙げられる。   Although the molecular weight in particular of the silane coupling agent X and the silane coupling agent Y is not restrict | limited, The above-mentioned range (270 or more is preferable) is mentioned.

硬化性組成物中におけるシランカップリング剤の含有量は、硬化性組成物中の全固形分に対して、0.1〜10質量%が好ましく、0.5〜8質量%がより好ましく、1.0〜6質量%が更に好ましい。   The content of the silane coupling agent in the curable composition is preferably 0.1 to 10% by mass, more preferably 0.5 to 8% by mass, with respect to the total solid content in the curable composition. The content is more preferably from 0 to 6% by mass.

硬化性組成物は、シランカップリング剤を1種単独で含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。硬化性組成物がシランカップリング剤を2種以上含有する場合は、その合計が上記範囲内であればよい。   The curable composition may contain one type of silane coupling agent alone, or may contain two or more types. When a curable composition contains 2 or more types of silane coupling agents, the sum total should just be in the said range.

<紫外線吸収剤>
硬化性組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。これにより、硬化膜のパターンの形状をより優れた(精細な)ものにすることができる。
紫外線吸収剤としては、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、置換アクリロニトリル系、及びトリアジン系の紫外線吸収剤を使用することができる。これらの具体例としては、特開2012−068418号公報の段落0137〜0142(対応するUS2012/0068292の段落0251〜0254)の化合物が使用でき、これらの内容が援用でき、本明細書に組み込まれる。
他にジエチルアミノ−フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学社製、商品名:UV−503)なども好適に用いられる。
紫外線吸収剤としては、特開2012−32556号公報の段落0134〜0148に例示される化合物が挙げられる。
紫外線吸収剤の含有量は、硬化性組成物の全固形分に対して、0.001〜15質量%が好ましく、0.01〜10質量%がより好ましく、0.1〜5質量%が更に好ましい。
<UV absorber>
The curable composition may contain a UV absorber. Thereby, the shape of the pattern of a cured film can be made more excellent (fine).
As the UV absorber, UV absorbers of salicylate type, benzophenone type, benzotriazole type, substituted acrylonitrile type and triazine type can be used. As specific examples of these, the compounds of paragraphs 0137 to 0142 of JP 2012-068418 A (corresponding to paragraphs 0251 to 0254 of corresponding US 2012/0068292) can be used, and the contents thereof can be incorporated and incorporated herein .
In addition, diethylamino-phenylsulfonyl ultraviolet absorber (manufactured by Daito Kagaku Co., Ltd., trade name: UV-503) and the like are preferably used.
As an ultraviolet absorber, the compound illustrated by Unexamined-Japanese-Patent No.2012-32556, Paragraph 0134-0148 is mentioned.
0.001-15 mass% is preferable with respect to the total solid of a curable composition, as for content of a ultraviolet absorber, 0.01-10 mass% is more preferable, 0.1-5 mass% is further more preferable preferable.

<熱重合開始剤>
硬化性組成物は熱重合開始剤を含有してもよい。
熱重合開始剤の1分間半減期温度は、感光性樹脂組成物の安定性及び硬化性の観点から、120〜300℃が好ましく、150〜250℃がより好ましく、150〜230℃が更に好ましく、170〜200℃が特に好ましい。熱重合開始剤の1分間半減期温度が、上記下限値以上であれば、塗膜の乾燥時に硬化しすぎず、現像性が良好である。熱重合開始剤の1分間半減期温度が、上記下限値以下であれば、硬化性が良好である。
熱重合開始剤の分子量は、揮発性の観点から、100以上が好ましく、150以上がより好ましく、200以上が更に好ましく、250以上が特に好ましい。上限は、例えば、1,000以下が好ましく、500以下がより好ましい。熱重合開始剤の分子量が上記下限値以上であれば、塗膜の乾燥時における熱重合開始剤の揮散を効果的に抑制でき、硬化性が良好である。
<Thermal polymerization initiator>
The curable composition may contain a thermal polymerization initiator.
The one-minute half-life temperature of the thermal polymerization initiator is preferably 120 to 300 ° C., more preferably 150 to 250 ° C., and still more preferably 150 to 230 ° C., from the viewpoint of the stability and curability of the photosensitive resin composition. 170 to 200 ° C. is particularly preferred. When the one-minute half-life temperature of the thermal polymerization initiator is equal to or higher than the above lower limit, the coating does not harden too much at the time of drying, and the developability is good. When the one-minute half-life temperature of the thermal polymerization initiator is equal to or less than the above lower limit value, the curability is good.
The molecular weight of the thermal polymerization initiator is preferably 100 or more, more preferably 150 or more, still more preferably 200 or more, and particularly preferably 250 or more from the viewpoint of volatility. For example, 1,000 or less is preferable, and 500 or less is more preferable. When the molecular weight of the thermal polymerization initiator is at least the above lower limit value, volatilization of the thermal polymerization initiator at the time of drying of the coating film can be effectively suppressed, and the curability is good.

熱重合開始剤は、熱によりラジカルを発生する化合物(以下、単に、熱ラジカル発生剤とも言う)、又は、熱により酸を発生する化合物(以下、単に、熱酸発生剤とも言う)を用いることができる。特に、熱ラジカル発生剤が好ましい。熱ラジカル発生剤は、エチレン性不飽和基のラジカル重合を促進できるので、架橋剤として、エチレン性不飽和結合を有する基を含有する化合物を用いた場合において、架橋剤の重合反応をより効果的に促進でき、より短時間で硬化させることができる。なお、熱酸発生剤によって重合反応が開始及び促進される反応は、エポキシの開環重合である。エポキシの開環重合は、ラジカル重合に比べて重合速度が遅いため、硬化性を十分に促進できないことがある。   The thermal polymerization initiator may be a compound that generates radicals by heat (hereinafter, simply referred to as a thermal radical generator) or a compound that generates an acid by heat (hereinafter, simply referred to as a thermal acid generator). Can. In particular, heat radical generators are preferred. Since the thermal radical generator can promote radical polymerization of the ethylenically unsaturated group, the polymerization reaction of the crosslinking agent is more effective when a compound containing a group having an ethylenically unsaturated bond is used as the crosslinking agent. And can be cured in a shorter time. The reaction in which the polymerization reaction is initiated and promoted by the thermal acid generator is ring-opening polymerization of epoxy. Since ring-opening polymerization of epoxy is slower in polymerization rate than radical polymerization, curing may not be sufficiently promoted.

(熱ラジカル発生剤)
熱ラジカル発生剤としては、公知の熱ラジカル発生剤を用いることができる。熱ラジカル発生剤は、熱のエネルギーによってラジカルを発生し、架橋剤の重合反応を開始又は促進させる化合物である。
熱ラジカル発生剤としては、芳香族ケトン類、オニウム塩化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、ケトオキシムエステル化合物、ボレート化合物、アジニウム化合物、メタロセン化合物、活性エステル化合物、炭素ハロゲン結合を有する化合物、及びアゾ系化合物等が挙げられる。中でも、アゾ系化合物がより好ましい。
(Heat radical generator)
A well-known heat radical generating agent can be used as a heat radical generating agent. The thermal radical generator is a compound that generates radicals by the energy of heat and initiates or accelerates the polymerization reaction of the crosslinking agent.
As a thermal radical generator, aromatic ketones, onium salt compounds, organic peroxides, thio compounds, hexaarylbiimidazole compounds, ketoxime ester compounds, borate compounds, azinium compounds, metallocene compounds, active ester compounds, carbon halogen Compounds having a bond, azo compounds and the like can be mentioned. Among them, azo compounds are more preferable.

[硬化性組成物の製造方法]
硬化性組成物の製造方法は以下の混合及び分散工程を含有する。静置工程及び/又はろ過工程を含有することが好ましい。以下では、各工程について好適態様を詳述する。
[Method of producing a curable composition]
The method of producing the curable composition comprises the following mixing and dispersing steps. It is preferable to include a standing step and / or a filtration step. Below, the suitable aspect is explained in full detail about each process.

〔混合及び分散工程〕
混合及び分散工程は、上記成分を公知の混合方法(例えば、攪拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機、及び湿式分散機)により混合し、硬化性組成物を得る工程である。混合及び分散工程においては、硬化性組成物を構成する各成分を一括配合してもよいし、各成分を有機溶剤に溶解又は分散した後に逐次配合してもよい。配合する際の投入順序及び作業条件は、特に制限されない。混合及び分散工程は、分散液を作製する工程を含有してもよい。
[Mixing and dispersion process]
The mixing and dispersing step is a step of mixing the above components by a known mixing method (for example, a stirrer, a homogenizer, a high pressure emulsifying device, a wet crusher, and a wet disperser) to obtain a curable composition. In the mixing and dispersing step, each component constituting the curable composition may be blended at one time, or may be sequentially blended after each component is dissolved or dispersed in an organic solvent. There are no particular restrictions on the order of introduction and the working conditions at the time of blending. The mixing and dispersing step may comprise the step of making a dispersion.

(分散液を作製する工程)
分散液を作製する工程は、着色剤と、分散剤と、溶剤とを混合し、着色剤を上記の方法により分散させて、分散液を作製する工程である。作製した分散液に、その他の成分を混合し、硬化性組成物を製造することができる。
分散液を作製する工程において、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断及びキャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化及び超音波分散などが挙げられる。また、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、2005年7月15日」及び「サスペンション(固/液分散系)を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、1978年10月10日」に記載のプロセス及び分散機を好適に使用することができる。
分散液を作製する工程においては、ソルトミリング工程による顔料の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器及び処理条件等は、例えば、特開2015−194521号及び特開2012−046629号に記載のものを使用することができる。
硬化性組成物の製造方法は、熱プラズマ法によって上記着色剤を得る工程を含有することが好ましい。着色剤を得る工程は、上記の各成分を混合する前に実施される。熱プラズマ法による着色剤の具体的な製造工程の態様は上記のとおりである。
(Step of producing a dispersion)
The step of preparing a dispersion is a step of mixing a colorant, a dispersant, and a solvent, and dispersing the colorant according to the method described above to prepare a dispersion. Other components can be mixed with the prepared dispersion to produce a curable composition.
The mechanical force used to disperse the pigment in the process of preparing the dispersion includes compression, squeezing, impact, shearing and cavitation. Specific examples of these processes include bead mills, sand mills, roll mills, high speed impellers, sand grinders, flow jet mixers, high pressure wet atomization and ultrasonic dispersion. In addition, "Distribution Technology, issued by Information Technology Co., Ltd., July 15, 2005" and "Dispersion technology centering on suspension (solid / liquid dispersion system) and actual practical application materials of industrial application, Management Development Center Publication Partly, Oct. 10, 1978 "can be preferably used.
In the step of preparing the dispersion, the pigment may be finely divided by a salt milling step. As materials, equipment, processing conditions, and the like used in the salt milling step, those described in, for example, JP-A-2015-194521 and JP-A-2012- 046629 can be used.
The method for producing a curable composition preferably includes the step of obtaining the colorant by a thermal plasma method. The step of obtaining the colorant is carried out before mixing the above-mentioned components. The aspect of the specific manufacturing process of the coloring agent by a thermal plasma method is as above-mentioned.

<静置工程>
着色剤は、混合及び分散工程、又は分散液を作製する工程に供される前に、以下の静置工程を経てもよい。
静置工程とは、熱プラズマ法によって得られた着色剤を、その製造後に大気に曝露せず、酸素濃度が制御された密閉容器内において、所定時間(好ましくは12〜72時間、より好ましくは12〜48時間、更に好ましくは12〜24時間)静置する工程である。この際、密閉容器内における水分の含有量が制御されているとより好ましい。
<Standing process>
The colorant may undergo the following standing step before being subjected to the mixing and dispersing step or the step of preparing a dispersion.
In the stationary step, the coloring agent obtained by the thermal plasma method is not exposed to the atmosphere after the production thereof, and within a closed container in which the oxygen concentration is controlled, for a predetermined time (preferably 12 to 72 hours, more preferably It is a process of leaving still for 12 to 48 hours, more preferably 12 to 24 hours. At this time, it is more preferable that the water content in the closed container is controlled.

この際、密閉容器内における酸素(O)濃度及び水分の含有量は、それぞれ100ppm以下であることが好ましく、10ppm以下であることがより好ましく、1ppm以下であることが更に好ましい。
密閉容器内における酸素(O)濃度及び水分の含有量は、密閉容器内に供給する不活性ガス中の酸素濃度及び水分量を調整することによって行うことができる。不活性ガスとしては、窒素ガス及びアルゴンガスが好ましく用いられ、この中でも窒素ガスを用いることがより好ましい。
上記静置工程を経ると、着色剤の表面及び結晶粒界が安定となる。これにより、硬化性組成物を硬化して得られる硬化膜のピンホールの発生を抑制できる。
なお、上記静置工程は、着色剤の製造方法において説明した工程Hで代えることが可能であり、硬化性組成物がより優れた本発明の効果を有する点で、工程Hで代えることが好ましい。
At this time, oxygen (O 2) concentration and the water content in the sealed container is preferably not more than respectively 100 ppm, more preferably 10ppm or less, and more preferably 1ppm or less.
The oxygen (O 2 ) concentration and the water content in the closed container can be determined by adjusting the oxygen concentration and the amount of water in the inert gas supplied into the closed container. As the inert gas, nitrogen gas and argon gas are preferably used, and among these, it is more preferable to use nitrogen gas.
After the above-mentioned settling step, the surface of the colorant and the grain boundaries become stable. Thereby, generation | occurrence | production of the pinhole of the cured film obtained by hardening | curing a curable composition can be suppressed.
In addition, it is possible to replace the above-mentioned stationary process by the process H demonstrated in the manufacturing method of a coloring agent, and it is preferable to replace by the process H in that the curable composition has the more excellent effect of this invention. .

<ろ過工程>
ろ過工程は、上記混合及び分散工程により製造された硬化性組成物をフィルタでろ過する工程である。ろ過工程では、硬化性組成物から異物を除去及び/又は欠陥を低減することができる。
フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、PTFE(polytetrafluoroethylene:ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂、ナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン樹脂(高密度、超高分子量を含有する)等によるフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含有する)、ナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、0.1〜7.0μm程度が適しており、0.2〜2.5μm程度が好ましく、0.2〜1.5μm程度がより好ましく、0.3〜0.7μm程度が更に好ましい。この範囲とすることにより、顔料のろ過詰まりを抑えつつ、顔料に含まれる不純物及び凝集物など、微細な異物を確実に除去することが可能となる。
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。異なるフィルタを組み合わせて2回以上フィルタリングを行う場合は1回目のフィルタリングの孔径より2回目以降の孔径が同じ、又は、大きい方が好ましい。上記の範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第2のフィルタは、上記の第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。第2のフィルタの孔径は、0.2〜10.0μm程度が適しており、0.2〜7.0μm程度が好ましく、0.3〜6.0μm程度がより好ましい。
<Filtration process>
A filtration process is a process of filtering the curable composition manufactured by the above-mentioned mixing and dispersion process with a filter. In the filtration step, foreign matter can be removed from the curable composition and / or defects can be reduced.
Any filter may be used without particular limitation as long as it is conventionally used for filtration applications and the like. For example, a filter made of a fluorine resin such as PTFE (polytetrafluoroethylene), a polyamide resin such as nylon, a polyolefin resin such as polyethylene or polypropylene (PP) (containing high density and ultrahigh molecular weight), etc. . Among these materials, polypropylene (containing high density polypropylene) and nylon are preferable.
The pore size of the filter is suitably about 0.1 to 7.0 μm, preferably about 0.2 to 2.5 μm, more preferably about 0.2 to 1.5 μm, about 0.3 to 0.7 μm. More preferable. Within this range, it is possible to reliably remove fine foreign matters such as impurities and aggregates contained in the pigment while suppressing filter filtration clogging.
When using filters, different filters may be combined. At this time, the filtering with the first filter may be performed only once or may be performed twice or more. When different filters are combined to perform filtering twice or more, it is preferable that the second and subsequent pore sizes be the same or larger than the pore size of the first filtering. The first filters of different pore sizes may be combined within the above range. The pore size here can refer to the nominal value of the filter manufacturer. As a commercially available filter, for example, it is possible to select from various filters provided by Nippon Pall Ltd., Advantech Toyo Ltd., Nippon Entegris Ltd. (old Japan Microlith Ltd.) or Kitz Micro Filter Inc. .
The second filter can be made of the same material as the first filter described above. The diameter of the second filter is suitably about 0.2 to 10.0 μm, preferably about 0.2 to 7.0 μm, and more preferably about 0.3 to 6.0 μm.

[硬化膜(遮光膜)]
硬化膜は、上記硬化性組成物を硬化して得られる。硬化膜には、着色剤が含まれる。硬化膜は、遮光膜として好適に用いられ、具体的にはイメージセンサの受光部周辺部分の遮光に好適に用いられる。
以下、硬化膜がイメージセンサの受光部周辺部分の遮光膜として使用された場合を一例として説明する。
[Cured film (light shielding film)]
A cured film is obtained by curing the above-mentioned curable composition. The cured film contains a colorant. The cured film is preferably used as a light shielding film, and more specifically, is preferably used to shield the peripheral portion of the light receiving unit of the image sensor.
Hereinafter, the case where a cured film is used as a light shielding film of the peripheral part of the light receiving part of an image sensor is demonstrated as an example.

遮光膜の膜厚としては特に限定はないが、遮光膜がより優れた本発明の効果を有する点で、乾燥後の膜厚で、0.2μm以上50μm以下が好ましく、0.3μm以上10μm以下がより好ましく、0.3μm以上5μm以下が更に好ましい。上記硬化性組成物は単位体積あたりの光学濃度が高いため(遮光性が高いため)、従来の黒色顔料を使用した硬化性組成物より膜厚を減らすことも可能である。
遮光膜のサイズ(センサー受光部周辺に設けられた遮光膜の一辺の長さ)としては、遮光膜がより優れた本発明の効果を有する点で、0.001mm以上10mm以下が好ましく、0.05mm以上7mm以下がより好ましく、0.1mm以上3.5mm以下が更に好ましい。
The thickness of the light shielding film is not particularly limited, but the thickness after drying is preferably 0.2 μm to 50 μm, more preferably 0.3 μm to 10 μm from the viewpoint that the light shielding film has more excellent effects of the present invention. Is more preferable, and 0.3 μm or more and 5 μm or less is more preferable. Since the curable composition has a high optical density per unit volume (because of the high light-shielding property), it is possible to reduce the film thickness more than a curable composition using a conventional black pigment.
The size of the light shielding film (length of one side of the light shielding film provided around the sensor light receiving portion) is preferably 0.001 mm or more and 10 mm or less in that the light shielding film has more excellent effects of the present invention. 05 mm or more and 7 mm or less are more preferable, and 0.1 mm or more and 3.5 mm or less are more preferable.

〔硬化膜の製造方法〕
次に、硬化膜(遮光膜)の製造方法について説明する。
以下、製造方法を工程ごとに詳述する。
[Method of producing a cured film]
Next, a method of manufacturing a cured film (light shielding film) will be described.
Hereinafter, the manufacturing method will be described in detail for each step.

硬化膜の製造方法は、以下の硬化性組成物層形成工程及び露光工程を含有する。硬化膜の製造方法は、更に現像工程を含有することが好ましい。
硬化性組成物層形成工程:支持体上に、硬化性組成物層を形成する工程。
露光工程:上記硬化性組成物層を、露光する工程。
現像工程:露光後の硬化性組成物層を現像してパターン状の硬化膜(遮光膜)を形成する工程。
The method for producing a cured film includes the following curable composition layer forming step and exposure step. The method for producing a cured film preferably further includes a development step.
Curable Composition Layer Forming Step: A step of forming a curable composition layer on a support.
Exposure step: a step of exposing the curable composition layer.
Development step: A step of developing a curable composition layer after exposure to form a patterned cured film (light shielding film).

具体的には、上記硬化性組成物を、直接又は他の層を介して基板上に塗布して、硬化性組成物層を形成し(硬化性組成物層形成工程)、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ(露光工程)、現像液で現像することによって(現像工程)、上記硬化膜を製造することができる。
以下、上記各工程について説明する。
Specifically, the curable composition is applied onto a substrate directly or through another layer to form a curable composition layer (curable composition layer forming step), and a predetermined mask pattern is formed. The cured film can be manufactured by exposing through light and curing only the coated film portion irradiated with light (exposure step) and developing with a developer (development step).
Hereinafter, each said process is demonstrated.

<硬化性組成物層形成工程>
硬化性組成物層形成工程は、支持体(以下「基板」ともいう。)上に、硬化性組成物層を形成する工程である。なかでも、支持体上に、硬化性組成物を塗布して、硬化性組成物層を形成する塗布工程を含むことが好ましく、支持体上に硬化性組成物を直接塗布して、支持体上に硬化性組成物層を形成する塗布工程を含むことがより好ましい。
基板としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス、及びこれらに透明導電膜を付着させたもの、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板(例えば、シリコン基板等)、CCD(Charge Coupled Device)基板、並びに、CMOS(Complementary Metal−Oxide Semiconductor)基板等が挙げられる。
支持体は、上部の層との密着改良、物質の拡散防止又は基板表面の平坦化のために下塗り層を備えていてもよい(以下、「下塗り層付き支持体」ともいう。)。
<Step of Forming Curable Composition Layer>
The curable composition layer forming step is a step of forming a curable composition layer on a support (hereinafter also referred to as a "substrate"). Among them, it is preferable to include a coating step of coating the curable composition on a support to form a curable composition layer, and directly coating the curable composition on the support to obtain a support on the support. It is more preferable to include the application process which forms a curable composition layer.
As the substrate, for example, non-alkali glass used in liquid crystal display devices, soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, quartz glass, those obtained by attaching a transparent conductive film thereto, photoelectrics used in solid-state imaging devices, etc. A conversion element substrate (for example, a silicon substrate etc.), a CCD (Charge Coupled Device) substrate, a CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor) substrate, etc. may be mentioned.
The support may be provided with a subbing layer for the purpose of improving the adhesion with the upper layer, preventing the diffusion of substances or flattening the surface of the substrate (hereinafter, also referred to as a "subbing support").

基板上への硬化性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、及びスクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。   As a coating method of the curable composition on the substrate, various coating methods such as slit coating, inkjet method, spin coating, cast coating, roll coating, and screen printing can be applied.

固体撮像素子用のブラックマトリクスを含有するカラーフィルタを製造する際には、硬化性組成物の塗布膜厚としては、解像性の観点から、0.35μm以上1.5μm以下が好ましく、0.40μm以上1.0μm以下がより好ましい。   When producing a color filter containing a black matrix for a solid-state imaging device, the coating thickness of the curable composition is preferably 0.35 μm or more and 1.5 μm or less from the viewpoint of resolution, and 0. 40 micrometers or more and 1.0 micrometers or less are more preferable.

基板上に塗布された硬化性組成物は、通常、70℃以上110℃以下で2分間以上4分間以下程度の条件下で乾燥する。これにより、硬化性組成物層を形成できる。   The curable composition applied on the substrate is usually dried at 70 ° C. or more and 110 ° C. or less for 2 minutes or more and 4 minutes or less. Thereby, a curable composition layer can be formed.

<露光工程>
露光工程は、硬化性組成物層形成工程において形成された硬化性組成物層(塗布膜)を、マスクを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させる工程である。
露光は、活性光線又は放射線の照射により行うことが好ましく、特に、g線、h線、及びi線等の紫外線が好ましく、高圧水銀灯がより好ましい。露光量は特に制限されないが、使用する顔料の種類及び/又はマスクパターン形状により適宜選択できる。例えば、実施例に記載した黒色顔料を含有する硬化性組成物により形成した塗布膜に対しては、露光量の下限値は50mJ/cm以上が好ましく、80mJ/cm以上がより好ましい。露光量の上限値は、1,500mJ/cm以下が好ましく、500mJ/cm未満がより好ましい。露光量が80mJ/cm以上500mJ/cm未満であると、硬化膜(遮光膜)の製造方法は、より優れた安定性及び生産性を有する。
また、実施例に記載した有彩色顔料を含有する硬化性組成物により形成した塗布膜に対しては、露光量の下限値は50mJ/cm以上が好ましく、80mJ/cm以上がより好ましい。露光量の上限値は、1,500mJ/cm以下が好ましく、500mJ/cm未満がより好ましく、400mJ/cm未満が更に好ましく、300mJ/cm未満が特に好ましい。露光量が80〜300mJ/cm未満であると、硬化膜の製造方法は、より優れた安定性及び生産性を有する。
解像性向上の観点から固体撮像素子用の遮光膜形成では、i線ステッパーによる露光が好ましい。
<Exposure process>
The exposure step is a step of exposing the curable composition layer (coated film) formed in the curable composition layer forming step through a mask and curing only the coated film portion irradiated with light.
The exposure is preferably performed by irradiation with an actinic ray or radiation, in particular, ultraviolet rays such as g-ray, h-ray and i-ray are preferable, and a high pressure mercury lamp is more preferable. The amount of exposure is not particularly limited, but can be appropriately selected depending on the type of pigment used and / or the mask pattern shape. For example, for a coating film formed by the curable composition containing a black pigment described in Example, the lower limit of the amount of exposure is preferably 50 mJ / cm 2 or more, 80 mJ / cm 2 or more is more preferable. Upper limit of the amount of exposure is preferably 1,500 mJ / cm 2 or less, less than 500 mJ / cm 2 is more preferable. The manufacturing method of a cured film (light shielding film) has more excellent stability and productivity as an exposure amount is 80 mJ / cm < 2 > or more and less than 500 mJ / cm < 2 >.
Further, with respect to the coating film formed by the curable composition containing a chromatic pigment as described in Example, the lower limit of the amount of exposure is preferably 50 mJ / cm 2 or more, 80 mJ / cm 2 or more is more preferable. Upper limit of the amount of exposure is preferably 1,500 mJ / cm 2 or less, more preferably less than 500 mJ / cm 2, still more preferably less than 400 mJ / cm 2, less than 300 mJ / cm 2 is particularly preferred. If the exposure dose is less than 80 to 300 mJ / cm 2 , the method for producing a cured film has more excellent stability and productivity.
In light shielding film formation for solid-state imaging devices, exposure with an i-line stepper is preferable from the viewpoint of improving resolution.

<現像工程>
現像工程は、露光された硬化性組成物層を現像する工程である。現像工程によって、パターン状の硬化膜を得ることができる。
上記硬化膜の製造方法は、現像工程と、下記の洗浄工程とを含有することが好ましい。現像工程においては、アルカリ現像処理(現像工程)を行い、露光工程における光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させる。これにより、光硬化した部分(光照射された塗布膜部分)だけが残る。
現像液としては、固体撮像素子用のブラックマトリクスを含有する遮光性カラーフィルタを作製する場合には、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が好ましい。現像温度は通常20〜30℃が好ましく、現像時間は20〜90秒が好ましい。
<Development process>
The developing step is a step of developing the exposed curable composition layer. A patterned cured film can be obtained by the development step.
It is preferable that the manufacturing method of the said cured film contains the image development process and the following washing | cleaning process. In the development step, an alkali development treatment (development step) is performed to elute a portion which is not irradiated with light in the exposure step into an aqueous alkali solution. As a result, only the photocured portion (the coated film portion irradiated with light) remains.
As a developing solution, when producing the light-shielding color filter containing the black matrix for solid-state image sensors, the organic alkali developing solution which does not produce a damage in the circuit of a base etc. is preferable. The development temperature is preferably 20 to 30 ° C., and the development time is preferably 20 to 90 seconds.

アルカリ性の水溶液としては、例えば、無機系現像液及び有機系現像液が挙げられる。無機系現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、又はメタ硅酸ナトリウムを、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。有機系現像液としては、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、又は1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。アルカリ性水溶液には、例えばメタノール、及びエタノール等の水溶性有機溶剤及び/又は界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、現像方法としては、例えば、パドル現像方法及びシャワー現像方法などを用いることができる。   Examples of the alkaline aqueous solution include inorganic developers and organic developers. As the inorganic developer, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogencarbonate, sodium borate or sodium metaborate, the concentration of which is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1 The alkaline aqueous solution melt | dissolved so that it may become mass% is mentioned. As an organic developer, ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine or 1,8-diazabicyclo- [5.4.0]- The alkaline aqueous solution which melt | dissolved alkaline compounds, such as 7- undecene, so that a density | concentration may be 0.001-10 mass%, preferably 0.01-1 mass% is mentioned. An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol and ethanol and / or a surfactant may be added to the alkaline aqueous solution. As the developing method, for example, a paddle developing method and a shower developing method can be used.

<洗浄工程>
洗浄工程は、現像された硬化性組成物層を純水等によって洗浄(リンス)する工程である。洗浄方法としては特に制限されず、公知の洗浄方法を用いることができる。
<Washing process>
The washing step is a step of washing (rinsing) the developed curable composition layer with pure water or the like. The washing method is not particularly limited, and known washing methods can be used.

なお、上記硬化膜の製造方法は、上記現像工程の後に、硬化膜を加熱するポストベーク工程及び/又は硬化膜を全面露光する硬化工程を含有してもよい。   The method for producing the cured film may include a post-baking step of heating the cured film and / or a curing step of exposing the entire surface of the cured film after the developing step.

硬化膜(ブラックマトリクス)を含有するカラーフィルタは、CCDイメージセンサ及び/又はCMOSイメージセンサ等の固体撮像素子に好適である。特に100万画素を超えるような高解像度のCCDイメージセンサ及び/又はCMOSイメージセンサ等に好適である。すなわち、上記硬化膜を含有するカラーフィルタは、固体撮像素子に好適である。カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を含有してもよい。
上記硬化膜(ブラックマトリクス)は、例えば、CCDイメージセンサ及び/又はCMOSイメージセンサ等を構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置される。
A color filter containing a cured film (black matrix) is suitable for a solid-state imaging device such as a CCD image sensor and / or a CMOS image sensor. In particular, the present invention is suitable for a high resolution CCD image sensor and / or a CMOS image sensor or the like having one million pixels or more. That is, the color filter containing the said cured film is suitable for a solid-state image sensor. The color filter may have a structure in which a cured film forming each color pixel is embedded in a space partitioned in a lattice shape, for example, by partition walls.
The cured film (black matrix) is disposed, for example, between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD image sensor and / or a CMOS image sensor and the like, and a microlens for collecting light.

[固体撮像素子]
固体撮像素子は、上記硬化膜(ブラックマトリクス)を含有する。固体撮像素子は、ブラックマトリクスを含有し、更に、必要により、他の色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜とを含有する、カラーフィルタを含有することが好ましい。
固体撮像素子は、上記ブラックマトリクスを含有し、固体撮像素子として機能すれば特に制限されず、例えば、基板上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサ、及びCMOSイメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる受光素子を含有し、基板の受光素子形成面の反対側の面に上記ブラックマトリクスを含有する固体撮像素子が挙げられる。
カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を含有する固体撮像素子の例としては、特開2012−227478号公報及び特開2014−179577号公報に記載の固体撮像素子が挙げられる。
[Solid-state imaging device]
The solid-state imaging device contains the cured film (black matrix). The solid-state imaging device preferably contains a black matrix, and further, if necessary, a color filter containing a patterned film composed of pixels of other colors (three or four colors).
The solid-state imaging device is not particularly limited as long as it contains the black matrix and functions as a solid-state imaging device. For example, a light receiving area of a solid-state imaging device (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc.) is formed on a substrate. The solid-state image sensor which contains the light receiving element which consists of several photodiode and polysilicon etc. and contains the said black matrix in the surface on the opposite side of the light receiving element formation surface of a board | substrate is mentioned.
The color filter may have a structure in which a cured film forming each color pixel is embedded in a space partitioned in, for example, a grid shape by partition walls. The partition walls in this case preferably have a low refractive index for each color pixel. As an example of the solid-state image sensor containing such a structure, the solid-state image sensor as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2012-227478 and Unexamined-Japanese-Patent No. 2014-179577 is mentioned.

[画像表示装置]
上記硬化膜は、画像表示装置(例えば液晶表示装置及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置等)に好適に用いることができる。
[Image display device]
The cured film can be suitably used for an image display device (for example, a liquid crystal display device, an organic electroluminescent display device, etc.).

画像表示装置の定義及び各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、及び「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載される。液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。上記硬化膜は、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている方式の液晶表示装置に好適である。   For the definition of the image display device and the details of each image display device, for example, “Electronic display device (authored by Akio Sasaki, published by Industry Research Association, 1990)”, and “Display device (authored by Ibuki, Chapter Book) Co., Ltd.) issued in The liquid crystal display device is described, for example, in “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Industry Research Association, 1994)”. The cured film is suitable for, for example, a liquid crystal display device of the type described in the above-mentioned "next-generation liquid crystal display technology".

上記硬化膜を含有する液晶表示装置の一態様としては、例えば、少なくとも1つが光透過性の1対の基板の間にカラーフィルタ、液晶層及び液晶駆動手段(単純マトリックス駆動方式、及びアクティブマトリックス駆動方式を含有する)を少なくとも含有する液晶表示装置が挙げられる。上記液晶表示装置は、複数の画素群を含有し、この画素群を構成する各画素が、互いに上記硬化膜(ブラックマトリクス)により離画されているカラーフィルタを含有する。   As one embodiment of the liquid crystal display device containing the cured film, for example, a color filter, a liquid crystal layer, and a liquid crystal driving means (a simple matrix driving method, an active matrix driving method) between at least one pair of light transmitting substrates A liquid crystal display device containing at least a system). The liquid crystal display device contains a plurality of pixel groups, and each pixel constituting the pixel group contains a color filter separated from each other by the cured film (black matrix).

液晶表示装置の別の態様としては、少なくとも1つが光透過性の1対の基板の間に、カラーフィルタ、液晶層及び液晶駆動手段を少なくも含有し、液晶駆動手段がアクティブ素子(例えばTFT(Thin Film Transistor))を含有し、かつ各アクティブ素子の間に上記硬化膜(ブラックマトリクス)を含有するカラーフィルタを含有する。   As another embodiment of the liquid crystal display device, at least one of the pair of light transmitting substrates includes at least a color filter, a liquid crystal layer, and a liquid crystal driving unit, and the liquid crystal driving unit is an active element (for example, (Thin Film Transistor)), and a color filter containing the above-mentioned cured film (black matrix) between each active element.

上記硬化膜を含有するカラーフィルタは、カラーTFT(Thin Film Transistor)方式の液晶表示装置に好適である。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。更に、上記カラーフィルタはIPS(In Plane Switching)などの横電界駆動方式;MVA(Multi−domain Vertical Alignment)などの画素分割方式;等の視野角が拡大された液晶表示装置、STN(Super−Twist Nematic)、TN(Twisted Nematic)、VA(Vertical Alignment)、OCS(on−chip spacer)、FFS(fringe field switching)、及び、R−OCB(Reflective Optically Compensated Bend)等にも好適である。   The color filter containing the cured film is suitable for a liquid crystal display device of a color TFT (Thin Film Transistor) system. The color TFT liquid crystal display device is described, for example, in “Color TFT liquid crystal display (Kyoritsu Publishing Co., Ltd., published in 1996)”. Furthermore, the color filter is a liquid crystal display device with a wide viewing angle, such as a horizontal electric field drive system such as IPS (In Plane Switching); a pixel division system such as MVA (Multi-domain Vertical Alignment); STN (Super-Twist) Nematic), TN (Twisted Nematic), VA (Vertical Alignment), OCS (on-chip spacer), FFS (fringe field switching), R-OCB (Reflective Optically Compensated Bend), and the like.

上記カラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color−filter On Array)方式の液晶表示装置に好適である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタに対する要求特性は、通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率及び剥離液耐性が必要とされることがある。上記カラーフィルタを含有するCOA方式の液晶表示装置は、より優れた解像度を有し、又はより優れた耐久性を有する。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を更に含有してもよい。   The color filter is suitable for a bright and high-definition liquid crystal display device of a color-filter on array (COA) system. In the COA type liquid crystal display device, the required characteristics for the color filter may be required for the interlayer insulating film, that is, low dielectric constant and stripping solution resistance in addition to the normal required characteristics. The COA type liquid crystal display device containing the color filter has a better resolution or a better durability. In addition, in order to satisfy the required characteristics of low dielectric constant, a resin film may be further included on the color filter layer.

これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。なお、上記において、ELとはElectroluminescence、PDPとはPlasma Display Panel、LCDとはliquid crystal displayの略を表す。   These image display methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest trends in technology and market-(Toray Research Center, Research Division, 2001)". In the above, EL stands for Electroluminescence, PDP stands for Plasma Display Panel, and LCD stands for liquid crystal display.

上記液晶表示装置は、上記カラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、及び、視野角保障フィルムなど様々な部材から構成される。上記カラーフィルタは、これらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については、例えば、「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、及び「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉(株)富士キメラ総研、2003年発行)」に記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)、及び/又は月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
The liquid crystal display device is composed of various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle ensuring film, in addition to the color filter. The color filter can be applied to a liquid crystal display device configured of these known members. For these members, for example, “'94 Liquid crystal display peripheral materials and chemicals market (Kentaro Shima, Inc. CMSC Co., Ltd., 1994 issue),” and “2003 liquid crystal related market current status and future prospects (second volume) (Omoteyoshi Yoshi) (Fuji Chimera Research Institute, Inc., 2003)).
For backlight, see SID meeting Digest 1380 (2005) (A. Konno et. Al), and / or monthly display December 2005, pages 18 to 24 (Yasuhiro Shima), pages 25 to 30 (Takaaki Yagi) It is described in etc.

上記硬化膜は、パーソナルコンピュータ、タブレット、携帯電話、スマートフォン及びデジタルカメラなどのポータブル機器;プリンタ複合機及びスキャナなどのOA(Office Automation)機器;監視カメラ、バーコードリーダ、及び現金自動預け払い機(ATM:automated teller machine)、ハイスピードカメラ及び顔画像認証を使用した本人認証などの産業用機器;車載用カメラ機器;内視鏡、カプセル内視鏡及びカテーテルなどの医療用カメラ機器;生体センサー、バイオセンサー、軍事偵察用カメラ、立体地図用カメラ、気象及び海洋観測カメラ、陸地資源探査カメラ、並びに、宇宙の天文及び深宇宙ターゲット用の探査カメラなどの宇宙用機器などに使用される光学フィルター及びモジュールの遮光部材及び遮光層、更には反射防止部材及び反射防止層に好適である。   The cured film is a portable device such as a personal computer, a tablet, a mobile phone, a smartphone and a digital camera; an office automation (OA) device such as a printer complex machine and a scanner; a surveillance camera, a barcode reader, and an automatic teller machine ATM: industrial equipment such as automated teller machine), high-speed camera and personal identification using face image authentication; automotive camera equipment; medical camera equipment such as endoscopes, capsule endoscopes and catheters; Optical filters used for biosensors, cameras for military reconnaissance, cameras for stereographic maps, weather and ocean observation cameras, land resource exploration cameras, and space instruments such as exploration cameras for astronomy and deep space targets in space, etc. Module shading member and shading layer, It is suitable for anti-reflection member and the antireflection layer on.

上記硬化膜は、マイクロLED(Light Emitting Diode)及びマイクロOLED(Organic Light Emitting Diode)などの用途にも用いることができる。上記硬化膜は、マイクロLED及びマイクロOLEDに使用される光学フィルタ及び光学フィルムのほか、遮光機能又は反射防止機能を付与する部材に対して好適である。
マイクロLED及びマイクロOLEDの例としては、特表2015−500562号及び特表2014−533890に記載されたものが挙げられる。
The said cured film can be used also for uses, such as micro LED (Light Emitting Diode) and micro OLED (Organic Light Emitting Diode). The said cured film is suitable for the member which provides a light shielding function or an antireflection function other than the optical filter and optical film which are used for micro LED and micro OLED.
Examples of micro LEDs and micro OLEDs include those described in JP-A-2015-500562 and JP-A-2014-533890.

上記硬化膜は、量子ドットディスプレイに使用される光学及び光学フィルムとして好適である。また、上記硬化膜は、遮光機能及び反射防止機能を付与する部材として好適である。
量子ドットディスプレイの例としては、米国特許出願公開第2013/0335677号、米国特許出願公開第2014/0036536号、米国特許出願公開第2014/0036203号、及び、米国特許出願公開第2014/0035960号に記載されたものが挙げられる。
The said cured film is suitable as an optical and optical film used for a quantum dot display. Moreover, the said cured film is suitable as a member which provides a light shielding function and a reflection preventing function.
Examples of quantum dot displays are disclosed in U.S. Patent Application Publication No. 2013/0335657, U.S. Patent Application Publication No. 2014/0036536, U.S. Patent Application Publication No. 2014/0036203, and U.S. Patent Application Publication No. 2014/0035960 Those mentioned are mentioned.

以下に実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples. The materials, amounts used, proportions, treatment contents, treatment procedures, etc. shown in the following examples can be appropriately changed without departing from the spirit of the present invention. Accordingly, the scope of the present invention is not limitedly interpreted by the examples shown below.

[多官能チオール化合物S−15の合成]
以下の式で表される多官能チオール化合物S−15は、次の方法により合成した。

なお、上記式中、「Et」はエチル基(−CHCH)を表し、以下同様である。
[Synthesis of Multifunctional Thiol Compound S-15]
The multifunctional thiol compound S-15 represented by the following formula was synthesized by the following method.

In the formula, "Et" represents an ethyl group (-CH 2 CH 3), and so on.

窒素雰囲気下、ペンタエリトリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)(TCI社製)(2.00g)と、アクリル酸(0.295g)とを、テトラヒドロフラン(THF)(10.0g)に溶解させた(得られた液を、以下「反応液」という。)。次に上記反応液の内温を5℃以下に冷却した。冷却後の反応液に、トリエチルアミン(0.450g)を添加した。その後、反応液の液温を50℃まで昇温した。昇温後、反応液を3時間攪拌した。攪拌後の反応液に対して、酢酸エチル(50g)と、1規定塩酸(50g)とを添加した。その後、反応液を水相と、有機相とに分液した。続いて、有機相を水(50g)で洗浄し、得られた有機相に硫酸ナトリウムを加えた後、有機相から固形物をろ別し、得られたろ液を減圧濃縮することで、S−15(2.01g)(収率87.6%)を得た。得られたS−15の構造は、H−NMR(nuclear magnetic resonance)により同定した。同定結果を以下に示す。In a nitrogen atmosphere, pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) (manufactured by TCI) (2.00 g) and acrylic acid (0.295 g) were dissolved in tetrahydrofuran (THF) (10.0 g) (The obtained solution is hereinafter referred to as "reaction solution"). Next, the internal temperature of the reaction solution was cooled to 5 ° C. or less. Triethylamine (0.450 g) was added to the reaction solution after cooling. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 50.degree. After the temperature rise, the reaction solution was stirred for 3 hours. Ethyl acetate (50 g) and 1N hydrochloric acid (50 g) were added to the reaction solution after stirring. Thereafter, the reaction solution was separated into an aqueous phase and an organic phase. Subsequently, the organic phase is washed with water (50 g), sodium sulfate is added to the obtained organic phase, the solid is filtered off from the organic phase, and the obtained filtrate is concentrated under reduced pressure to obtain S- 15 (2.01 g) (yield 87.6%) were obtained. The structure of S-15 obtained was identified by 1 H-NMR (nuclear magnetic resonance). The identification results are shown below.

H−NMR 300MHz 重クロロホルム):1.35(t、3H)、2.53(t、2H)、2.66−2.71(m、8H)、2.73−2.80(m、10H)、4.09(s、8H)。( 1 H-NMR 300 MHz deuterated chloroform): 1.35 (t, 3 H), 2.53 (t, 2 H), 2.66-2.71 (m, 8 H), 2.73-2.80 (m , 10 H), 4.09 (s, 8 H).

[多官能チオール化合物S−16の合成]
以下の式で表される多官能チオール化合物S−16は、次の方法により合成した。
[Synthesis of Multifunctional Thiol Compound S-16]
The multifunctional thiol compound S-16 represented by the following formula was synthesized by the following method.

窒素雰囲気下、ペンタエリトリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)(TCI社製)(2.00g)と、アクリル酸2−ヒドロキシエチル(0.475g)とを、テトラヒドロフラン(10.0g)に溶解させて、反応液を得た。次に上記反応液の内温を5℃以下に冷却した。冷却後の反応液に、トリエチルアミン(0.450g)を添加した。その後、反応液の液温を50℃まで昇温した。昇温後、反応液を3時間攪拌した。その後、反応液に対してヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン添加後の反応液の上澄み成分を除去した。上澄み成分除去後の反応液に対して、再度、ヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン再添加後の反応液の上澄み成分を除去した。その後、反応液に残留する溶媒を減圧留去を用いて除去し、S−16(2.01g)(収率88.8%)を得た。得られたS−16の構造は、H−NMRにより同定した。同定結果を以下に示す。In a nitrogen atmosphere, pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) (manufactured by TCI) (2.00 g) and 2-hydroxyethyl acrylate (0.475 g) were dissolved in tetrahydrofuran (10.0 g). The reaction mixture was obtained. Next, the internal temperature of the reaction solution was cooled to 5 ° C. or less. Triethylamine (0.450 g) was added to the reaction solution after cooling. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 50.degree. After the temperature rise, the reaction solution was stirred for 3 hours. Thereafter, hexane (50 g) was added to the reaction solution, and the supernatant component of the reaction solution after hexane addition was removed. To the reaction solution after removal of the supernatant component, hexane (50 g) was added again, and the supernatant component of the reaction solution after re-addition of hexane was removed. Thereafter, the solvent remaining in the reaction solution was removed by evaporation under reduced pressure to obtain S-16 (2.01 g) (yield 88.8%). The obtained structure of S-16 was identified by 1 H-NMR. The identification results are shown below.

H−NMR 300MHz 重クロロホルム):1.35(t、3H)、2.64−2.71(m、10H)、2.73−2.82(m、10H)、3.79−3.87(m、2H)、4.09(s、8H)、4.22−4.29(m、2H)。( 1 H-NMR 300 MHz deuterated chloroform): 1.35 (t, 3 H), 2.64-2.71 (m, 10 H), 2.73-2.82 (m, 10 H), 3.79-3 .87 (m, 2H), 4.09 (s, 8H), 4.22-4.29 (m, 2H).

[多官能チオール化合物S−17の合成]
以下の式で表される多官能チオール化合物S−17は、次の方法により合成した。

なお、上記式において「Me」はメチル基(−CH)を意図し、以下同様である。
[Synthesis of Polyfunctional Thiol Compound S-17]
The multifunctional thiol compound S-17 represented by the following formula was synthesized by the following method.

In the above formulae, “Me” intends a methyl group (—CH 3 ), and so forth.

窒素雰囲気下、ペンタエリトリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)(TCI社製)(2.00g)と、アクリル酸2−(ジメチルアミノ)エチル(0.586g)とを、テトラヒドロフラン(10.0g)に溶解させて、反応液を得た。次に、上記反応液の内温を5℃以下に冷却した。冷却後の反応液に、トリエチルアミン(0.450g)を添加した。その後、反応液の液温を50℃まで昇温した。昇温後、反応液を3時間攪拌した。その後、反応液に対してヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン添加後の反応液の上澄み成分を除去した。上澄み成分除去後の反応液に対して、再度、ヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン再添加後の反応液の上澄み成分を除去した。その後、反応液に残留する溶媒を減圧留去を用いて除去し、S−17(2.15g)(収率83.1%)を得た。得られたS−17の構造は、H−NMRにより同定した。同定結果を以下に示す。In a nitrogen atmosphere, pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) (manufactured by TCI) (2.00 g) and 2- (dimethylamino) ethyl acrylate (0.586 g) in tetrahydrofuran (10.0 g) The reaction solution was obtained by Next, the internal temperature of the reaction solution was cooled to 5 ° C. or less. Triethylamine (0.450 g) was added to the reaction solution after cooling. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 50.degree. After the temperature rise, the reaction solution was stirred for 3 hours. Thereafter, hexane (50 g) was added to the reaction solution, and the supernatant component of the reaction solution after hexane addition was removed. To the reaction solution after removal of the supernatant component, hexane (50 g) was added again, and the supernatant component of the reaction solution after re-addition of hexane was removed. Thereafter, the solvent remaining in the reaction solution was removed by evaporation under reduced pressure to obtain S-17 (2.15 g) (yield 83.1%). The structure of S-17 obtained was identified by 1 H-NMR. The identification results are shown below.

H−NMR 300MHz 重クロロホルム): 0.62−0.711(m、2H)、1.70−1.85(m、2H)、1.36(t、3H)、2.57(t、2H)、2.62−2.70(m、10H)、2.73−2.85(m、10H)、3.79−3.87(m、2H)、4.08(s、8H)、4.19(t、2H)。( 1 H-NMR 300 MHz deuterated chloroform): 0.62 to 0.711 (m, 2 H), 1.70 to 1.85 (m, 2 H), 1.36 (t, 3 H), 2.57 (t) , 2H), 2.62-2.70 (m, 10H), 2.73-2.85 (m, 10H), 3.79-3.87 (m, 2H), 4.08 (s, 8H) ), 4.19 (t, 2 H).

[多官能チオール化合物S−26の合成]
以下の式で表される多官能チオール化合物S−26は、次の方法により合成した。
[Synthesis of Multifunctional Thiol Compound S-26]
The multifunctional thiol compound S-26 represented by the following formula was synthesized by the following method.

窒素雰囲気下、ペンタエリトリトールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)(TCI社製)(2.00g)と、アクリル酸3−(トリメトキシシリル)プロピル(1.92g)とを、テトラヒドロフラン(10.0g)に溶解させて、反応液を得た。次に、上記反応液の内温を5℃以下に冷却した。冷却後の反応液に、トリエチルアミン(0.450g)を添加した。その後、反応液の液温を50℃まで昇温した。昇温後、反応液を3時間攪拌した。その後、反応液に対してヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン添加後の反応液の上澄み成分を除去した。上澄み成分除去後の反応液に対して、再度、ヘキサン(50g)を添加し、ヘキサン再添加後の反応液の上澄み成分を除去した。その後、反応液に残留する溶媒を減圧留去を用いて除去し、S−26(2.23g)(収率75.4%)を得た。得られたS−26の構造は、H−NMRにより同定した。同定結果を以下に示す。In a nitrogen atmosphere, pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) (manufactured by TCI) (2.00 g) and 3- (trimethoxysilyl) propyl acrylate (1.92 g) in tetrahydrofuran (10.0 g) The reaction solution was obtained by dissolving in. Next, the internal temperature of the reaction solution was cooled to 5 ° C. or less. Triethylamine (0.450 g) was added to the reaction solution after cooling. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 50.degree. After the temperature rise, the reaction solution was stirred for 3 hours. Thereafter, hexane (50 g) was added to the reaction solution, and the supernatant component of the reaction solution after hexane addition was removed. To the reaction solution after removal of the supernatant component, hexane (50 g) was added again, and the supernatant component of the reaction solution after re-addition of hexane was removed. Thereafter, the solvent remaining in the reaction solution was removed using evaporation under reduced pressure to obtain S-26 (2.23 g) (yield 75.4%). The structure of S-26 obtained was identified by 1 H-NMR. The identification results are shown below.

H−NMR 300MHz 重クロロホルム):1.35(t、3H)、2.59(t、2H)、2.64−2.71(m、8H)、2.73−2.82(m、10H)、3.58(s、9H)、4.02−4.11(s、10H)。( 1 H-NMR 300 MHz deuterated chloroform): 1.35 (t, 3 H), 2.59 (t, 2 H), 2.64-2.71 (m, 8 H), 2.73-2.82 (m , 10 H), 3.58 (s, 9 H), 4.02-4.11 (s, 10 H).

[多官能チオール化合物S−8、20、22、24、25、64〜66、69、71、73〜75、88〜90、及び112〜114の合成]
原料を適宜変更した以外は上記と同様の方法により、多官能チオール化合物S−8、20、22、24、25、64〜66、69、71、73〜75、88〜90、及び112〜114を合成した。
なお、H−NMRで同定した各多官能チオール化合物の構造は、表1−1〜1−6に示したとおりである。
[Synthesis of Multifunctional Thiol Compounds S-8, 20, 22, 24, 25, 64 to 66, 69, 71, 73 to 75, 88 to 90, and 112 to 114]
Multifunctional thiol compound S-8, 20, 22, 24, 25, 64 to 66, 69, 71, 73 to 75, 88 to 90, and 112 to 114 by the same method as described above except that the raw materials are appropriately changed. Was synthesized.
The structures of the polyfunctional thiol compounds identified by 1 H-NMR are as shown in Tables 1-1 to 1-6.

[実施例1〜23、及び比較例2、3の硬化性組成物の調製]
表2の各欄に示した多官能チオール化合物と、以下の各成分を混合して、実施例1〜23、及び比較例2、3の硬化性組成物を調製した。
[Preparation of Curable Composition of Examples 1 to 23 and Comparative Examples 2 and 3]
The polyfunctional thiol compound shown in each column of Table 2 and the following components were mixed to prepare curable compositions of Examples 1 to 23 and Comparative Examples 2 and 3.

<組成>
有機溶剤1(シクロヘキサノン)・・・17.12質量部
アルカリ可溶性樹脂1(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸(47/53[質量比])、30質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液、Mw=11,000)・・・1.23質量部
アルカリ可溶性樹脂2(アクリキュアーRD−F8(日本触媒製)) 0.23質量部重合性化合物(ラジカル重合性化合物、新中村化学工業(株)製、NKエステルA−DPH−12E)・・・1.96質量部
重合禁止剤(パラメトキシフェノール)・・・0.0007質量部
光重合開始剤(IRGACURE OXE02)・・・0.975質量部
多官能チオール化合物(下記表2に記載の多官能チオール化合物)・・・0.35質量部
フッ素系界面活性剤(DIC製、商品名:メガファックF−475、1質量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液)・・・2.50質量部
有彩色着色剤1:染料溶液1(下記の方法で調製した染料溶液)・・・24.57質量部
有彩色着色剤2:顔料分散液P1(下記の方法で調製したC.I.Pigment Blue 15:6分散液、固形分濃度11.8質量%)・・・51.40質量部
<Composition>
Organic solvent 1 (cyclohexanone) ... 17.12 parts by mass alkali-soluble resin 1 (benzyl methacrylate / methacrylic acid (47/53 [mass ratio]), 30 mass% propylene glycol monomethyl ether solution, Mw = 11,000) ... 1.23 parts by mass alkali-soluble resin 2 (Acrycure RD-F8 (manufactured by Nippon Shokubai)) 0.23 parts by mass Polymerizable compound (radically polymerizable compound, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. manufactured by NK Ester A -DPH-12E) ... 1.96 parts by mass Polymerization inhibitor (paramethoxyphenol) ... 0.0007 parts by mass Photopolymerization initiator (IRGACURE OXE 02) ... 0.975 parts by mass Polyfunctional thiol compound ( Polyfunctional thiol compounds listed in Table 2 below ... 0.35 parts by mass Fluorinated surfactant (manufactured by DIC, trade name: Megaf) C. F-475, 1% by mass propylene glycol monomethyl ether acetate solution) 2.50 parts by mass Achromatic coloring agent 1: Dye solution 1 (dye solution prepared by the following method) 24. 57 mass Part chromatic coloring agent 2: Pigment dispersion P1 (CI Pigment Blue 15: 6 dispersion prepared by the following method, solid content concentration 11.8 mass%) ... 51.40 parts by mass

なお、表2中、T−1及びT−2は、以下の多官能チオール化合物(相互作用性基を有しない多官能チオール化合物)を示す。   In addition, in Table 2, T-1 and T-2 show the following polyfunctional thiol compounds (multifunctional thiol compound which does not have an interactive group).

〔染料溶液1の調製〕
染料溶液1は、下記の各成分を混合して調製した。
有機溶剤(シクロヘキサノン)・・・21.55質量部
染料(下記構造のA−1)・・・3.02質量部
Preparation of Dye Solution 1
Dye solution 1 was prepared by mixing the following components.
Organic solvent (cyclohexanone) ... 21.55 parts by mass Dye (A-1 of the following structure) ... 3.02 parts by mass

〔顔料分散液P1の調製〕
以下の手順で顔料分散液P1を調製した。
C.I.Pigment Blue15:6(青色顔料、以下、「PB15:6」とも称する)を19.4質量部(平均一次粒径55nm)、顔料分散剤DISPERBYK−161(固形分濃度30質量%、BYK製)を2.95質量部、アルカリ可溶性樹脂1(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸(47/53[質量比])、30質量%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液、Mw=11,000)を固形分換算で2.95質量部(溶液9.93質量部)、プロピレングリコールモノメチルエーテル165.3質量部からなる混合液を、ビーズミル(beads mill)(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合し、分散した。その後、更に、減圧機構付き高圧分散機NANO−3000−10(日本ビーイーイー製)を用いて、2000kg/cmの圧力下で流量500g/分として分散処理を行った。この分散処理を10回繰り返し、顔料分散液P1である、C.I.Pigment Blue15:6分散液を得た。得られた顔料分散液P1について、顔料の平均一次粒径を動的光散乱法(Microtrac Nanotrac UPA−EX150(日機装社(Nikkiso Co.,ltd.製))により測定したところ、24nmであった。
Preparation of Pigment Dispersion P1
The pigment dispersion P1 was prepared by the following procedure.
C. I. Pigment Blue 15: 6 (blue pigment, hereinafter, also referred to as "PB 15: 6") 19.4 parts by mass (average primary particle size 55 nm), pigment dispersant DISPERBYK-161 (solid content concentration 30% by mass, BYK manufactured) 2.95 parts by mass, alkali-soluble resin 1 (benzyl methacrylate / methacrylic acid (47/53 [mass ratio]), 30 mass% propylene glycol monomethyl ether solution, Mw = 11,000) in terms of solid content 2.95 A mixed solution consisting of parts by mass (9.93 parts by mass of solution) and 165.3 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether was mixed and dispersed by a beads mill (zirconia beads 0.3 mm in diameter) for 3 hours. Thereafter, dispersion treatment was performed at a flow rate of 500 g / min under a pressure of 2000 kg / cm 3 using a high pressure disperser NANO-3000-10 (manufactured by Nippon Bei E.) with a pressure reducing mechanism. This dispersion process is repeated 10 times to obtain a pigment dispersion P1, C.I. I. Pigment Blue 15: 6 dispersion was obtained. It was 24 nm when the average primary particle diameter of the pigment was measured by the dynamic light scattering method (Microtrac Nanotrac UPA-EX150 (made by Nikkiso Co., ltd.)) About the obtained pigment dispersion liquid P1.

[比較例1の硬化性組成物の調製]
多官能チオール化合物を添加しないこと以外は実施例1と同様方法で硬化性組成物を調製した。
[Preparation of Curable Composition of Comparative Example 1]
A curable composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyfunctional thiol compound was not added.

[性能評価]
各実施例、及び比較例の硬化性組成物について、下記の方法により露光感度を評価した。また、上記の硬化性組成物を用いて、ガラス基材上に下記の方法により形成したパターンのガラス基材への密着性について、下記の方法で評価した。評価結果をまとめて下記表2に示した。
[Performance evaluation]
Exposure sensitivity was evaluated by the following method about the curable composition of each Example and a comparative example. Moreover, it evaluated by the following method about the adhesiveness to the glass base material of the pattern formed by the following method on the glass base material using said curable composition. The evaluation results are summarized in Table 2 below.

〔露光感度〕
各実施例、及び比較例の硬化性組成物を、ガラス基材上にスピンコート塗布し、その後、乾燥して膜厚1.0μmの塗膜(硬化性組成物層)をガラス基材上に形成した。スピンコート条件は、300rpmで5秒間の後、800rpmで20秒間とし、乾燥条件は100℃で80秒間とした。次に、得られた塗膜(硬化性組成物層)を、線幅2.0μmのテスト用のフォトマスクを用い、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)により、10mJ/cm〜2,000mJ/cmの様々な露光量で露光して、硬化性組成物層をパターン状に硬化させた。次に、60質量%CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)現像液を使用して、露光後の硬化膜を、25℃、60秒間の条件で現像し、パターン状の硬化膜を得た。その後、得られたパターン状の硬化膜を流水で20秒間リンスした後、エアー乾燥した。
露光感度は、露光工程において光が照射された領域の現像後のパターン線幅が1μm以上となる最小の露光量により評価した。露光感度の値が小さいほど、硬化性組成物の露光感度は良好である。なお、露光感度としては、上記の試験条件下においては、実用上300mJ/cm未満が好ましい。結果は表2にまとめて示した。
[Exposure sensitivity]
The curable composition of each example and comparative example is spin-coated on a glass substrate, and then dried to form a coating film (curable composition layer) having a film thickness of 1.0 μm on the glass substrate It formed. Spin coating conditions were 300 rpm for 5 seconds, then 800 rpm for 20 seconds, and drying conditions were 100 ° C. for 80 seconds. Next, the obtained coating film (curable composition layer) was used with a test photomask having a line width of 2.0 μm, and a proximity type exposure machine having an ultra-high pressure mercury lamp (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) ) by, and exposed at various exposure amounts of 10mJ / cm 2 ~2,000mJ / cm 2 , to cure the curable composition layer in a pattern. Next, using a 60% by mass CD-2000 (manufactured by Fujifilm Electronics Materials Co., Ltd.) developer, the cured film after exposure is developed under conditions of 25 ° C. for 60 seconds, and a patterned cured film is formed. I got Thereafter, the obtained patterned cured film was rinsed with running water for 20 seconds and then air-dried.
The exposure sensitivity was evaluated by the minimum exposure amount at which the pattern line width after development of the area irradiated with light in the exposure step is 1 μm or more. The smaller the exposure sensitivity value, the better the exposure sensitivity of the curable composition. The exposure sensitivity is preferably less than 300 mJ / cm 2 for practical use under the above test conditions. The results are summarized in Table 2.

〔密着性〕
上記露光感度の試験で作製したパターン状の硬化膜において、パターン欠損が発生しているか否かをSEM(Scanning Electron Microscope)で観察し、下記基準に基づいて評価した。結果は表2にまとめて示した。
[Adhesiveness]
In the cured film in pattern form prepared in the test of the exposure sensitivity, it was observed by SEM (Scanning Electron Microscope) whether or not a pattern defect occurred, and evaluated based on the following criteria. The results are summarized in Table 2.

−評価基準−
A:パターン欠損がまったく観察されなかった。
B:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり1〜3個だった。
C:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり4個以上10個以下だった。
D:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり11個以上だった。
なお、評価「B」以上が実用範囲である。
-Evaluation criteria-
A: No pattern defect was observed at all.
B: The number of pattern defects was 1 to 3 per 1.0 μm square of pattern.
C: The number of pattern defects was 4 or more and 10 or less per 1.0 μm pattern.
D: The number of pattern defects was 11 or more per 1.0 μm square pattern.
In addition, evaluation "B" or more is a practical range.

表2に示した結果から、所定の多官能チオール化合物を含有する実施例1〜23の硬化性組成物(彩色着色剤を含有する硬化性組成物)は、優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有していた。
一方、多官能チオール化合物を含有しない比較例1の硬化性組成物では、上記効果が得られなかった。相互作用性基を有しない多官能チオール化合物を含有する比較例2及び比較例3の多官能チオール化合物では、上記効果が得られなかった。
式(2)で表される多官能チオール化合物のmが3以上である、実施例2、10、18、21の硬化性組成物は、実施例1の硬化性組成物と比較してより優れた露光感度を有していた。
実施例10の硬化性組成物は、m+nが等しく、かつm/nがより大きい実施例18の硬化性組成物と比較して、得られる硬化膜が支持体へのより優れた密着性を有していた。
チオール基とは異なる相互作用性基がカルボン酸基若しくはその塩、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、リン酸基若しくはその塩、スルホン酸基若しくはその塩、又は−Si(R(R3−pである、実施例2〜6、8及び9の硬化性組成物は、相互作用性基がフェニル基である実施例7と比較して、得られる硬化膜が支持体へのより優れた密着性を有していた。
From the results shown in Table 2, the curable compositions (curable compositions containing a coloring colorant) of Examples 1 to 23 containing a predetermined polyfunctional thiol compound have excellent exposure sensitivity, and It had excellent adhesion to the support.
On the other hand, in the case of the curable composition of Comparative Example 1 which does not contain a polyfunctional thiol compound, the above-mentioned effect was not obtained. The above-described effects were not obtained with the polyfunctional thiol compounds of Comparative Example 2 and Comparative Example 3 containing a polyfunctional thiol compound having no interactive group.
The curable composition of Examples 2, 10, 18, and 21 in which m of the polyfunctional thiol compound represented by the formula (2) is 3 or more is more excellent than the curable composition of Example 1. Had an exposure sensitivity.
The curable composition of Example 10 has a better adhesion to a support as compared to the curable composition of Example 18 in which m + n is equal and m / n is larger. Was.
The interaction group different from the thiol group is a carboxylic acid group or a salt thereof, a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof, or -Si (R X ) p (R The curable compositions of Examples 2 to 6, 8 and 9, which are Y ) 3-p , have a cured film obtained on the support compared to Example 7 in which the interactive group is a phenyl group. It had better adhesion.

[実施例55及び56]
実施例1の硬化性組成物の調製において、多官能チオール化合物の含有量を0.35質量部から0.17質量部(実施例55)、及び0.70質量部(実施例56)に変更し、上記と同様に評価したところ、実施例1と同様の結果が得られた。
[Examples 55 and 56]
In the preparation of the curable composition of Example 1, the content of the polyfunctional thiol compound was changed from 0.35 parts by mass to 0.17 parts by mass (Example 55), and 0.70 parts by mass (Example 56). The same evaluation as described above gave the same results as in Example 1.

[実施例57及び58]
実施例1の硬化性組成物の調製において、重合性化合物の含有量を1.96質量部から、1.5質量部(実施例57)、及び3.0質量部(実施例58)に変更し、上記と同様に評価したところ、実施例1と同様の結果が得られた。
[Examples 57 and 58]
In preparation of the curable composition of Example 1, the content of the polymerizable compound was changed from 1.96 parts by mass to 1.5 parts by mass (Example 57) and 3.0 parts by mass (Example 58). The same evaluation as described above gave the same results as in Example 1.

[実施例24〜54、59、及び比較例4〜6の硬化性組成物の調製]
表4の各欄に示した多官能チオール化合物と、各成分を表3に記載の組成で混合して、実施例24〜54、59、及び比較例5、6の硬化性組成物を調製した。多官能チオール化合物を加えなかったこと以外は実施例24と同様にして比較例4の硬化性組成物を調製した。
各硬化性組成物の最終的な固形分は、28質量%になるよう、有機溶剤で調整した。また、有機溶剤は、各硬化性組成物における質量比がPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)/酢酸ブチル/シクロヘキサノン=27/18/27になるよう、併用した。
Preparation of Curable Compositions of Examples 24 to 54, 59, and Comparative Examples 4 to 6
The multifunctional thiol compound shown in each column of Table 4 and each component were mixed in the composition described in Table 3 to prepare curable compositions of Examples 24 to 54, 59, and Comparative Examples 5 and 6. . A curable composition of Comparative Example 4 was prepared in the same manner as in Example 24 except that the polyfunctional thiol compound was not added.
The final solid content of each curable composition was adjusted with an organic solvent to be 28% by mass. Further, the organic solvent was used in combination such that the mass ratio of each curable composition was PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) / butyl acetate / cyclohexanone = 27/18/27.

<着色剤>
以下の方法により各着色剤を作製した。
<Colorant>
Each coloring agent was produced by the following method.

(チタン窒化物含有粒子(TiN−1))
まず、Ti粒子(TC−200、トーホーテック社製)をArガス中においてプラズマ処理することにより、Tiナノ粒子化した。プラズマ処理後のTiナノ粒子を、Arガス雰囲気下でO濃度50ppm以下、30℃の条件で24時間静置した。その後、O濃度が100ppmとなるようにAr雰囲気にOガスを導入した状態において30℃、24時間静置した(Ti粒子の前処理)。
その後、得られたTiナノ粒子をホソカワミクロン製TTSPセパレータを用いて収率10%となる条件で分級を行い、Ti粒子の粉末を得た。得られた粉末の一次粒子径は、TEM観察によって100個の粒子の平均粒子径を算術平均により求めたところ、120nmであった。
チタン窒化物含有粒子TiN−1は、国際公開第2010/147098の図1に記載の黒色複合微粒子製造装置に準ずる装置を用いて製造した。
具体的には、黒色複合微粒子製造装置において、プラズマトーチの高周波発振用コイルに、約4MHz及び約80kVAの高周波電圧を印加し、プラズマガス供給源からプラズマガスとしてアルゴンガス50L/min及び窒素50L/minの混合ガスを供給し、プラズマトーチ内にアルゴン−窒素熱プラズマ炎を発生させた。材料供給装置の噴霧ガス供給源から10L/minのキャリアガスを供給した。
上記のようにして得られたTi粒子に対して、Fe粉(JIP270M、JFEスチール社製)、及びSi粉(Silicon powder SI006031)を、それぞれの質量比がTi/Fe/Si=残分/0.05/0.05となるよう混合した。この混合物をキャリアガスであるアルゴンガスと共に、プラズマトーチ内の熱プラズマ炎中に供給し、熱プラズマ炎中で蒸発させ、気相状態で高度に分散させた。
また、気体供給装置によって、チャンバ内に供給する気体としては、窒素を使用した。このときのチャンバ内の流速は5m/secとして、供給量は1,000L/minとした。また、サイクロン内の圧力は50kPaとし、また、チャンバからサイクロンへの各原料の供給速度は、10m/s(平均値)とした。
このようにして、チタン窒化物含有粒子TiN−1を得た。
(Titanium nitride containing particles (TiN-1))
First, Ti nanoparticles (TC-200, manufactured by Toho Tech Co., Ltd.) were plasma-treated in Ar gas to form Ti nanoparticles. The Ti nanoparticles after plasma treatment were allowed to stand for 24 hours under the condition of 30 ° C. and an O 2 concentration of 50 ppm or less under Ar gas atmosphere. Then, O 2 concentration 30 ° C. in a state of introducing O 2 gas into the Ar atmosphere so that 100 ppm, (pretreatment Ti particles) 24 hours standing was.
Thereafter, the obtained Ti nanoparticles were classified using a Hosokawa Micron TTSP separator under a condition of a yield of 10% to obtain a powder of Ti particles. The primary particle diameter of the obtained powder was 120 nm when the average particle diameter of 100 particles was determined by an arithmetic mean by TEM observation.
Titanium nitride-containing particles TiN-1 were manufactured using an apparatus according to the apparatus for manufacturing black composite particles described in FIG. 1 of WO 2010/147098.
Specifically, in the black composite particle production apparatus, high frequency voltages of about 4 MHz and about 80 kVA are applied to the high frequency oscillation coil of the plasma torch, and argon gas 50 L / min and nitrogen 50 L / min as plasma gas from the plasma gas supply source. A mixed gas of min was supplied to generate an argon-nitrogen thermal plasma flame in a plasma torch. The carrier gas of 10 L / min was supplied from the atomizing gas supply source of the material supply device.
With respect to the Ti particles obtained as described above, Fe powder (JIP270M, manufactured by JFE Steel Corporation) and Si powder (Silicon powder SI006031), the mass ratio of each is Ti / Fe / Si = residue / 0 It mixed so that it became .05 / 0.05. This mixture was supplied into a thermal plasma flame in a plasma torch together with a carrier gas, argon gas, evaporated in the thermal plasma flame and highly dispersed in the gas phase.
Further, nitrogen was used as the gas supplied into the chamber by the gas supply device. The flow rate in the chamber at this time was 5 m / sec, and the supply amount was 1,000 L / min. The pressure in the cyclone was 50 kPa, and the feed rate of each material from the chamber to the cyclone was 10 m / s (average value).
Thus, titanium nitride-containing particles TiN-1 were obtained.

得られたチタン窒化物含有粒子TiN−1について、ICP発光分光分析法によって、チタン(Ti)原子、鉄(Fe)原子及びケイ素(Si)原子の含有量を測定した。なお、ICP発光分光分析法には、セイコーインスツルメンツ社製のICP発光分光分析装置「SPS3000」(商品名)を用いた。
窒素原子の含有量は、堀場製作所製の酸素・窒素分析装置「EMGA−620W/C」(商品名)を用いて測定し、不活性ガス融解−熱伝導度法により算出した。上記の結果、チタン窒化物含有粒子TiNに含まれる各原子の質量比は、Ti/N/Fe/Si=57/34/0.0030/0.0020であった。
The contents of titanium (Ti) atoms, iron (Fe) atoms and silicon (Si) atoms were measured for the obtained titanium nitride-containing particles TiN-1 by ICP emission spectrometry. For ICP emission spectroscopy, an ICP emission spectrometer "SPS 3000" (trade name) manufactured by Seiko Instruments Inc. was used.
The content of nitrogen atoms was measured using an oxygen / nitrogen analyzer "EMGA-620 W / C" (trade name) manufactured by Horiba, Ltd., and calculated by the inert gas melting-thermal conductivity method. As a result of the above, the mass ratio of each atom contained in titanium nitride-containing particles TiN was Ti / N / Fe / Si = 57/34 / 0.0030 / 0.0020.

チタン窒化物含有粒子TiN−1のX線回折は、粉末試料をアルミ製標準試料ホルダーに詰め、広角X線回折法(理学電機社製、商品名「RU−200R」)により測定した。測定条件としては、X線源はCuKα線とし、出力は50kV/200mA、スリット系は1°−1°−0.15mm−0.45mm、測定ステップ(2θ)は0.02°、スキャン速度は2°/分とした。
そして、回折角2θ(42.6°)付近に観察されるTiN(200)面に由来するピークの回折角を測定した。更に、この(200)面に由来するピークの半値幅より、シェラーの式を用いて、粒子を構成する結晶子サイズを求めた。その結果、ピークの回折角は42.62°、結晶子サイズは10nmだった。なお、TiOに起因するX線回折ピークは全く見られなかった。
The powder sample was packed in a standard sample holder made of aluminum, and the X-ray diffraction of titanium nitride-containing particles TiN-1 was measured by a wide-angle X-ray diffraction method (trade name "RU-200R" manufactured by Rigaku Denki Co., Ltd.). As measurement conditions, the X-ray source is CuKα radiation, the output is 50 kV / 200 mA, the slit system is 1 ° -1 ° -0.15 mm-0.45 mm, the measurement step (2θ) is 0.02 °, and the scan speed is It was 2 ° / min.
Then, the diffraction angle of the peak derived from the TiN (200) plane observed near the diffraction angle 2θ (42.6 °) was measured. Further, from the half width of the peak derived from the (200) plane, the crystallite size constituting the particles was determined using Scheller's equation. As a result, the diffraction angle of the peak was 42.62 °, and the crystallite size was 10 nm. Incidentally, X-rays diffraction peak due to TiO 2 was observed.

(チタン窒化物含有粒子TiN−2)
Ti粒子として、トーホーテック社製「TC−200」に代えて、シグマアルドリッチ社製「578347」を使用し、Fe粉、及びSi粉を、それぞれの質量比がTi/Fe/Si=残分/0.5/1となるよう混合した以外はTiN−1と同様にして、チタン窒化物含有粒子TiN−2を得た。
なお、X線回折により測定したピークの回折角は42.81°、結晶子サイズは12nmだった。
(Titanium nitride containing particles TiN-2)
As Ti particles, instead of “TC-200” manufactured by Tohotech Co., Ltd. “578347” manufactured by Sigma Aldrich Co., and using Fe powder and Si powder, the mass ratio of each is Ti / Fe / Si = residue / Titanium nitride-containing particles TiN-2 were obtained in the same manner as TiN-1 except for mixing to be 0.5 / 1.
The diffraction angle of the peak measured by X-ray diffraction was 42.81 °, and the crystallite size was 12 nm.

(チタン窒化物含有粒子TiN−3)
Fe粉、及びSi粉を、それぞれの質量比がTi/Fe/Si=残分/1/2となるよう混合した以外はTiN−1と同様にして、チタン窒化物含有粒子TiN−3を得た。
なお、X線回折により測定したピークの回折角は43.1°、結晶子サイズは12nmだった。
(Titanium nitride-containing particles TiN-3)
Titanium nitride-containing particles TiN-3 are obtained in the same manner as TiN-1 except that Fe powder and Si powder are mixed such that the mass ratio of each is Ti / Fe / Si = residue / 1/2. The
The diffraction angle of the peak measured by X-ray diffraction was 43.1 °, and the crystallite size was 12 nm.

(チタンブラックA−1の作製)
平均粒径15nmの酸化チタンMT−150A(商品名、テイカ(株)製)を100g、BET(Brunauer,Emmett,Teller)比表面積300m/gのシリカ粒子AEROSIL300(登録商標)300/30(エボニック社製)を25g、及び、Disperbyk190(商品名、ビックケミー社製)を100g秤量し、これらをイオン電気交換水71gに加えて、混合物を得た。その後、KURABO製MAZERSTAR KK−400Wを使用して、公転回転数1,360rpm、自転回転数1,047rpmにて混合物を30分間処理することにより均一な混合物水溶液を得た。この混合物水溶液を石英容器に充填し、小型ロータリーキルン(株式会社モトヤマ製)を用いて酸素雰囲気中で920℃に加熱した。その後、小型ロータリーキルン内を窒素で置換し、同温度でアンモニアガスを100mL/minで5時間流すことにより窒化還元処理を実施した。終了後回収した粉末を乳鉢で粉砕し、Si原子を含み、粉末状の比表面積73m2/gのチタンブラック〔チタンブラック粒子及びSi原子を含む被分散体〕を得た(以下では、「チタンブラックA−1」と表記する)。
(Preparation of titanium black A-1)
100 g of titanium oxide MT-150A (trade name, manufactured by Tayca Corporation) having an average particle diameter of 15 nm, BET (Brunauer, Emmett, Teller) silica particles AEROSIL 300 (registered trademark) 300/30 (Evonik) having a specific surface area of 300 m 2 / g 25g, and 100 g of Disperbyk 190 (trade name, manufactured by BIC Chemie Co., Ltd.) were weighed, and these were added to 71 g of ion electric exchange water to obtain a mixture. Then, using a KURABO MAZERSTAR KK-400W, the mixture was treated at a revolution speed of 1,360 rpm and a rotation speed of 1,047 rpm for 30 minutes to obtain a uniform aqueous mixture solution. The mixture aqueous solution was filled in a quartz container and heated to 920 ° C. in an oxygen atmosphere using a small rotary kiln (manufactured by Motoyama Co., Ltd.). Thereafter, the inside of the small rotary kiln was replaced with nitrogen, and the nitriding reduction treatment was carried out by flowing ammonia gas at 100 mL / min for 5 hours at the same temperature. After completion, the powder collected was crushed in a mortar to obtain titanium black [a dispersion containing titanium black particles and Si atoms] containing Si atoms and having a specific surface area of 73 m 2 / g in powder form (in the following, “titanium It is written as “Black A-1”).

(Fe原子を含有する窒化ニオブ含有粒子(NbN)の作製)
以下の方法によりFe原子を含有する窒化ニオブ含有粒子を作製した。
まず、三津和化学薬品製ニオブ(粉末)<100−325mesh>を原料(以下、「金属原料粉末」ともいう。)として準備した。
次に、上記金属原料粉末を、Arガス中においてプラズマ処理することにより、Nbナノ粒子化した。上記プラズマ処理の条件は、下記のプラズマ処理(1)に従った。
(Preparation of niobium nitride-containing particles (NbN) containing Fe atoms)
Niobium nitride-containing particles containing Fe atoms were produced by the following method.
First, niobium (powder) <100-325 mesh> manufactured by Mitsutsu Chemical Co., Ltd. was prepared as a raw material (hereinafter, also referred to as "metal raw material powder").
Next, the metal raw material powder was plasma treated in Ar gas to form Nb nanoparticles. The conditions of the above-mentioned plasma processing were according to the following plasma processing (1).

・プラズマ処理(1)
プラズマ処理(1)は以下の方法により行った。上記の黒色複合微粒子製造装置に準ずる装置を用い、以下の条件によりプラズマ処理(1)した。
・高周波発振用コイルに印加した高周波電圧:周波数 約4MHz、電圧 約80kVA
・プラズマガス:アルゴンガス(供給量 100L/min)
・キャリアガス:アルゴンガス(供給量 10L/min)
・チャンバ内雰囲気:アルゴンガス(供給量 1,000l/min、チャンバ内流速 5m/sec)
・サイクロン内雰囲気:アルゴンガス、内圧 50kPa
・チャンバからサイクロンへの材料供給速度:10m/s(平均値)
・ Plasma treatment (1)
Plasma treatment (1) was performed by the following method. Plasma processing (1) was performed under the following conditions using an apparatus according to the above-described black composite particle manufacturing apparatus.
・ High frequency voltage applied to high frequency oscillation coil: Frequency about 4 MHz, voltage about 80 kVA
Plasma gas: Argon gas (supply amount 100 L / min)
・ Carrier gas: Argon gas (supply amount 10 L / min)
· Chamber atmosphere: argon gas (supply rate 1,000 l / min, chamber flow rate 5 m / sec)
・ Atmosphere inside the cyclone: Argon gas, internal pressure 50 kPa
・ Material supply speed from chamber to cyclone: 10 m / s (average value)

次に、Fe粉(JIP270M、JFEスチール社製)を準備し、プラズマ処理(1)の条件によりプラズマ処理を行い、Feナノ粒子化した。   Next, Fe powder (JIP270M, manufactured by JFE Steel Corporation) was prepared, and plasma treatment was performed under the conditions of plasma treatment (1) to form Fe nanoparticles.

次に、上記により得られたNbナノ粒子、及びFeナノ粒子を混合し、原料金属粉末を得た。この原料金属粉末について、窒素ガス中においてプラズマ処理することにより、窒化ニオブ含有粒子を得た。上記プラズマ処理の条件は、下記のプラズマ処理(2)に従った。   Next, the Nb nanoparticles and Fe nanoparticles obtained above were mixed to obtain a raw material metal powder. The raw material metal powder was plasma-treated in nitrogen gas to obtain niobium nitride-containing particles. The conditions of the said plasma processing followed the following plasma processing (2).

・プラズマ処理(2)
プラズマ処理(2)は以下の方法により行った。なお、装置はプラズマ処理(1)と同様のものを用いた。
・高周波発振用コイルに印加した高周波電圧:周波数 約4MHz、電圧 約80kVA
・プラズマガス:アルゴンガス及び窒素ガス(供給量 それぞれ50L/min)
・キャリアガス:窒素ガス(供給量 10L/min)
・チャンバ内雰囲気:窒素ガス(供給量 1,000L/min、チャンバ内流速 5m/sec)
・サイクロン内雰囲気:窒素ガス、内圧 50kPa
・チャンバからサイクロンへの材料供給速度:10m/s(平均値)
Plasma treatment (2)
Plasma treatment (2) was performed by the following method. In addition, the apparatus used the same thing as plasma processing (1).
・ High frequency voltage applied to high frequency oscillation coil: Frequency about 4 MHz, voltage about 80 kVA
Plasma gas: argon gas and nitrogen gas (supply amount: 50 L / min each)
・ Carrier gas: Nitrogen gas (supply amount 10L / min)
・ Atmosphere in the chamber: Nitrogen gas (Supply amount 1,000 L / min, Chamber flow rate 5 m / sec)
・ Atmosphere inside the cyclone: Nitrogen gas, internal pressure 50 kPa
・ Material supply speed from chamber to cyclone: 10 m / s (average value)

プラズマ処理(2)終了後の粒子を、Arガスを用いて日本シンテック社製分流型湿度供給装置SRHにより大気中であれば相対湿度95%となる条件で20℃の窒素ガスを導入し、24時間静置した。その後、得られた粒子をホソカワミクロン製TTSPセパレータを用いて収率10%となる条件で分級を行い、窒化ニオブ含有粒子(NbN)を得た。なお、セパレータへは窒素ガスを供給した。
得られた窒化ニオブ含有粒子について、ICP発光分光分析法によって、鉄(Fe)原子の含有量を測定したところ、50質量ppmだった。
Using nitrogen gas, introduce nitrogen gas at 20 ° C under the condition that the relative humidity is 95% using Ar gas by Nippon Shintech Co., Ltd. manufactured by Nippon Shintech Co., Ltd. using nitrogen gas at 24 ° C. Let stand for a while. Thereafter, the obtained particles were classified using a Hosokawa Micron-made TTSP separator under conditions of a yield of 10% to obtain niobium nitride-containing particles (NbN). In addition, nitrogen gas was supplied to the separator.
The content of iron (Fe) atoms in the obtained niobium nitride-containing particles was measured by ICP emission spectrometry, to be 50 mass ppm.

(Fe原子を含有する窒化バナジウム含有粒子(VN)の作製)
Fe原子を含有する窒化ニオブ含有粒子の作製において、三津和化学薬品製ニオブ(粉末)<100−325mesh>に代えて太陽鉱工製金属バナジウム粉末VHOを用いたこと以外は同様にして、Fe原子を含有する窒化バナジウム含有粒子(VN)を作製した。得られた窒化バナジウム含有粒子について、ICP発光分光分析法によって、鉄(Fe)原子の含有量を測定したところ、50質量ppmだった。
(Preparation of vanadium nitride-containing particles (VN) containing Fe atoms)
In the preparation of niobium nitride-containing particles containing Fe atoms, Fe atoms are similarly prepared except that metal vanadium powder VHO manufactured by Solar Mining Co., Ltd. is used in place of niobium (powder) <100-325 mesh> manufactured by Mitsukazu Chemical Co., Ltd. Vanadium nitride-containing particles (VN) were produced. The content of iron (Fe) atoms in the obtained vanadium nitride-containing particles was measured by ICP emission spectrometry, and was 50 mass ppm.

<分散剤>
分散剤として、以下の構造の分散剤Aを用いた。各構造単位に記載の数値は、全構造単位に対する、各構造単位の質量%を意図する。
<Dispersing agent>
As a dispersant, dispersant A having the following structure was used. The numerical value described in each structural unit is intended to indicate the mass% of each structural unit with respect to the total structural unit.

・分散剤A
Dispersant A

<バインダー樹脂>
バインダー樹脂としては、以下の樹脂Aを用いた。各構造単位に記載の数値は、全構造単位に対する、各構造単位のモル%を意図する。なお、樹脂Aの式中、各略号は以下を表す。
BzMA:メタクリル酸ベンジル
MMA:メタクリル酸メチル
<Binder resin>
The following resin A was used as a binder resin. The numerical value described in each structural unit is intended to mean mol% of each structural unit with respect to all structural units. In addition, in the formula of resin A, each symbol represents the following.
BzMA: benzyl methacrylate MMA: methyl methacrylate

・樹脂A
・ Resin A

<重合性化合物>
・重合性化合物M1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬社製、商品名「KAYARAD」、下記式参照)

・重合性化合物M2:PET−30(ペンタエリスリトールトリアクリレート、日本化薬社製)
<Polymerizable compound>
Polymerizable compound M1: dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name "KAYARAD", see the following formula)

Polymerizable compound M2: PET-30 (pentaerythritol triacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

<光重合開始剤>
・OXE−01:Irgacure OXE01(商品名、BASFジャパン社製、オキシム化合物に該当する。)
<Photoinitiator>
OXE-01: Irgacure OXE01 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., corresponding to an oxime compound)

・OXE−02:Irgacure OXE02(商品名、BASFジャパン社製、オキシム化合物に該当する。)
-OXE-02: Irgacure OXE 02 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., corresponding to an oxime compound)

・PI−3:下記の構造を有する光重合開始剤(オキシム化合物に該当する。) PI-3: A photopolymerization initiator having the following structure (corresponding to an oxime compound)

・NCI−831(商品名、ADEKA社製、オキシム化合物に該当する。)
-NCI-831 (trade name, manufactured by ADEKA, corresponding to an oxime compound)

・IRG−379:IRGACURE 379EG(商品名、BASFジャパン社製、オキシム化合物には該当しない。)
IRG-379: IRGACURE 379 EG (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., not applicable to oxime compound)

<界面活性剤>
・F−1:下記式で表される化合物(重量平均分子量(Mw)=15,311)
ただし、下記式において、式(A)及び(B)で表される構造単位はそれぞれ62モル%、38モル%である。式(B)で表される構造単位中、a、b、cは、それぞれ、a+c=14、b=17の関係を満たす。
<Surfactant>
· F-1: a compound represented by the following formula (weight average molecular weight (Mw) = 15, 311)
However, in the following formulas, the structural units represented by formulas (A) and (B) are 62 mol% and 38 mol%, respectively. In the structural unit represented by the formula (B), a, b and c satisfy the relationship of a + c = 14, b = 17, respectively.

<有機溶剤>
・PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・シクロペンタノン
・酢酸ブチル
<Organic solvent>
PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate Cyclopentanone butyl acetate

〔着色剤分散液の調製〕
まず、着色剤、分散剤及び有機溶剤を、攪拌機(IKA社製EUROSTAR)によって15分間混合し、上記成分の混合液を得た。次に、得られた混合液に対して、シンマルエンタープライゼス製のNPM−Pilotを使用して下記条件にて分散処理を行い、着色剤分散液を得た。
Preparation of Colorant Dispersion
First, the colorant, the dispersant and the organic solvent were mixed for 15 minutes with a stirrer (EUROSTAR manufactured by IKA) to obtain a mixed solution of the above components. Next, using the NPM-Pilot manufactured by Shinmaru Enterprises Co., Ltd., the resulting mixture was subjected to dispersion treatment under the following conditions to obtain a colorant dispersion.

<分散条件>
・ビーズ径:φ0.05mm、(ニッカトー製ジルコニアビーズ、YTZ)
・ビーズ充填率:65体積%
・ミル周速:10m/sec
・セパレータ周速:13m/s
・分散処理する混合液量:15kg
・循環流量(ポンプ供給量):90kg/hour
・処理液温度:19〜21℃
・冷却水:水
・処理時間:22時間程度
<Distribution condition>
· Bead diameter: φ 0.05 mm, (Nikkato zirconia beads, YTZ)
・ Bead packing rate: 65% by volume
・ Mill circumferential speed: 10 m / sec
・ Separator circumferential speed: 13 m / s
・ The amount of mixed liquid to be dispersed: 15 kg
Circulating flow rate (pump supply rate): 90 kg / hour
Processing solution temperature: 19 to 21 ° C.
・ Cooling water: Water ・ Processing time: About 22 hours

[性能評価]
〔露光感度〕
表面をSiO処理したSi基板上に、各硬化性組成物を用いて、膜厚1.5μmの硬化膜が得られるように回転数を調整して、スピンコートにより塗膜(硬化性組成物層)を形成した。形成した塗膜を、ホットプレート上で100℃、2分間の熱処理(プリベーク)により乾燥させた。上記プリベーク後の塗膜(硬化性組成物層)付き基板に対してi線ステッパー(キヤノン製FPA3000i5+)を用い、長さ200μm×幅20μmラインパターンが形成されたフォトマスクを通して、上記塗膜を露光した。露光後の塗膜を、東京エレクトロン製コーターデベロッパーACT8により、現像液として水酸化テトラメチルアンモニウムを用いて、30秒間パドル現像をした。現像後は純水により20秒間シャワーリンス処理を行った。現像後パターンが剥がれずに維持された最低露光量を露光感度として評価した。なお、露光感度としては、上記の試験条件下においては、実用上500mJ/cm未満が好ましい。結果は表4にまとめて示した。
[Performance evaluation]
[Exposure sensitivity]
Using each curable composition on a Si substrate whose surface has been treated with SiO 2, the number of rotations is adjusted to obtain a cured film having a film thickness of 1.5 μm, and a coating film (curable composition is obtained by spin coating Layer). The formed coating film was dried by heat treatment (prebake) for 2 minutes at 100 ° C. on a hot plate. An i-line stepper (FPA 3000i5 + manufactured by CANON KABUSHIKI KAISHA) is used on the coated film (curable composition layer) coated substrate after the above prebaking, and the above coating film is exposed through a photomask on which a 200 μm long × 20 μm wide line pattern is formed. did. The coated film after exposure was subjected to paddle development for 30 seconds using a coater developer ACT8 manufactured by Tokyo Electron, using tetramethylammonium hydroxide as a developer. After development, a shower rinse process was performed with pure water for 20 seconds. The minimum exposure amount maintained without peeling of the pattern after development was evaluated as the exposure sensitivity. The exposure sensitivity is preferably less than 500 mJ / cm 2 for practical use under the above test conditions. The results are summarized in Table 4.

〔密着性〕
上記露光感度の試験で作製したパターン状の硬化膜において、パターン欠損が発生しているか否かをSEM(Scanning Electron Microscope)で観察し、下記基準に基づいて評価した。結果は表4にまとめて示した。
[Adhesiveness]
In the cured film in pattern form prepared in the test of the exposure sensitivity, it was observed by SEM (Scanning Electron Microscope) whether or not a pattern defect occurred, and evaluated based on the following criteria. The results are summarized in Table 4.

−評価基準−
A:パターン欠損がまったく観察されなかった。
B:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり1〜3個だった。
C:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり4個以上10個以下だった。
D:パターン欠損がパターン1.0μm四方あたり11個以上だった。
なお、評価「B」以上が実用範囲である。
-Evaluation criteria-
A: No pattern defect was observed at all.
B: The number of pattern defects was 1 to 3 per 1.0 μm square of pattern.
C: The number of pattern defects was 4 or more and 10 or less per 1.0 μm pattern.
D: The number of pattern defects was 11 or more per 1.0 μm square pattern.
In addition, evaluation "B" or more is a practical range.

〔パターン形状〕
上記露光感度の評価において作製した、パターン状の硬化膜をポストベーク(温度:220℃、時間:300秒)した。ポストベーク後の硬化膜のパターン形状を測長SEM(Scanning Electron Microscope)により測定した。具体的には、ラインパターン端部の膜厚と中央部の膜厚を測定し、比(パターン端部の膜厚/中央部の膜厚)を計算し、以下の基準により評価した。なお、評価「2」以上が実用範囲である。
・7:比が0.98超1.00以下であり、SEMによる観察でパターン中央部と端部の膜厚に差は見られない。
・6:比が、0.96超0.98以下であり、パターン中央部と端部の膜厚にわずかに差がみられる。
・5:比が、0.94超0.96以下であり、パターン中央部と端部の膜厚に差がみられる。
・4:比が0.92超0.94以下であり、端部の膜厚が薄く、わずかに歪んでいるが実用上問題ないレベル。
・3:比が0.90超0.92以下であり、端部の膜厚が薄く、歪んでいるが実用上問題ないレベル。
・2:比が0.80超0.90以下であり、端部の膜厚が薄いが、実用は可能なレベル。
・1:比が0.80以下であり、端部の膜厚が薄く、許容外。
[Pattern shape]
The patterned cured film produced in the evaluation of the exposure sensitivity was post-baked (temperature: 220 ° C., time: 300 seconds). The pattern shape of the cured film after post-baking was measured by a length measurement SEM (Scanning Electron Microscope). Specifically, the film thickness at the edge of the line pattern and the film thickness at the center were measured, and the ratio (film thickness at the edge of the pattern / film thickness at the center) was calculated and evaluated according to the following criteria. In addition, evaluation "2 or more" is a practical range.
7: The ratio is greater than 0.98 and less than 1.00, and no difference in the film thickness between the central portion and the end portion of the pattern is observed in observation by SEM.
6: The ratio is more than 0.96 and not more than 0.98, and a slight difference is observed between the film thickness at the central portion and the edge portion of the pattern.
5: The ratio is greater than 0.94 and less than or equal to 0.96, and there is a difference between the film thickness at the center and the edge of the pattern.
4: A ratio is greater than 0.92 and less than or equal to 0.94, the film thickness at the end is thin and slightly distorted, but there is no problem in practical use.
3: The ratio is greater than 0.90 and less than or equal to 0.92, the film thickness at the end is thin and distorted, but there is no problem in practical use.
2: The ratio is greater than 0.80 and less than 0.90, and the film thickness at the end is thin, but a level at which practical use is possible.
1: The ratio is 0.80 or less, and the film thickness at the end is thin and unacceptable.

〔現像性〕
上記露光感度の評価において作製した、パターン状の硬化膜において、露光した際、フォトマスクにより遮蔽されて、光が照射されなかった領域(未露光部)における残渣の有無をSEM(倍率:20,000倍)にて観察し、現像性を評価した。評価基準は以下の通りであり、結果は表4にまとめて示した。
[Developability]
In the pattern-like cured film prepared in the above evaluation of exposure sensitivity, when exposed, the presence or absence of a residue in an area (unexposed area) shielded by a photomask and not irradiated with light is a SEM (magnification: 20, The development was evaluated by observation at a magnification of 000). Evaluation criteria are as follows, and the results are summarized in Table 4.

−評価基準−
A:未露光部には、残渣が全く観察されない
B:未露光部1.0μm四方に残渣が1個以上3個以下観察された。
C:未露光部1.0μm四方に残渣が4個以上、10個以下観察された
D:未露光部1.0μm四方に残渣が11個以上観察された。
実用上「C」以上が好ましく、「A」及び「B」は優れた性能を有すると評価する。
-Evaluation criteria-
A: In the unexposed area, no residue was observed B: In the unexposed area of 1.0 μm, 1 or more and 3 or less residues were observed.
C: 4 or more and 10 or less residues were observed in the unexposed area 1.0 μm square D: 11 or more residues were observed in the unexposed area 1.0 μm square
Practically, "C" or more is preferable, and "A" and "B" are evaluated as having excellent performance.

表4に示した結果から、所定の多官能チオール化合物を含有する実施例24〜54、及び、59の硬化性組成物(黒色顔料を含有する硬化性組成物)は、優れた露光感度を有し、かつ支持体との優れた密着性を有していた。
一方、多官能チオール化合物を含有しない比較例4の硬化性組成物は、上記効果を有していなかった。相互作用性基を有しない多官能チオール化合物を含有する比較例5及び比較例6の多官能チオール化合物は、上記効果を有していなかった。
式(2)で表される多官能チオール化合物のmが3以上である、実施例25〜54、及び、59の硬化性組成物は、実施例24の硬化性組成物と比較して、より優れた露光感度を有していた。
チオール基とは異なる相互作用性基がヒドロキシ基(実施例26)、アミノ基(実施例27)、又はピリジニル基(実施例31)である硬化性組成物は、チオール基とは異なる相互作用性基がフェニル基(実施例30)、又はSi基(実施例32)である、硬化性組成物と比較してより優れた現像性を有していた。
チオール基とは異なる相互作用性基が、カルボン酸基(実施例25)、リン酸基(実施例28)、又はスルホン酸基(実施例29)である硬化性組成物は、チオール基とは異なる相互作用性基がヒドロキシ基(実施例26)、アミノ基(実施例27)、又はピリジニル基(実施例31)である硬化性組成物と比較して、更に優れた現像性を有していた。これは、チオール基とは異なる相互作用性基の違いに起因する未露光部の溶解性の違いによるものと推測される。
実施例33の硬化性組成物は、m+nが等しく、かつm/nがより大きい実施例41の硬化性組成物と比較して、より優れたパターン形状を有しており、かつ支持体へのより優れた密着性を有していた。
光重合開始剤がオキシム化合物である実施例33、47、48、49、及び、50の硬化性組成物は、実施例59の硬化性組成物と比較して、より優れた露光感度を有していた。
From the results shown in Table 4, the curable compositions (curable compositions containing a black pigment) of Examples 24 to 54 and 59 containing a predetermined polyfunctional thiol compound have excellent exposure sensitivity. And had excellent adhesion to the support.
On the other hand, the curable composition of the comparative example 4 which does not contain a polyfunctional thiol compound did not have the said effect. The polyfunctional thiol compound of Comparative Example 5 and Comparative Example 6 containing the polyfunctional thiol compound having no interactive group did not have the above effect.
The curable compositions of Examples 25 to 54 and 59 in which m of the polyfunctional thiol compound represented by the formula (2) is 3 or more are more comparable to the curable composition of Example 24. It had excellent exposure sensitivity.
The curable composition wherein the interaction group different from the thiol group is a hydroxy group (Example 26), an amino group (Example 27), or a pyridinyl group (Example 31) has an interaction different from the thiol group It had more excellent developability as compared with the curable composition in which the group is a phenyl group (Example 30) or a Si group (Example 32).
A curable composition wherein the interaction group different from the thiol group is a carboxylic acid group (Example 25), a phosphoric acid group (Example 28), or a sulfonic acid group (Example 29) is a thiol group Compared with the curable composition in which the different interactive group is a hydroxy group (Example 26), an amino group (Example 27), or a pyridinyl group (Example 31), it has further excellent developability. The This is presumed to be due to the difference in the solubility of the unexposed area due to the difference in the interaction group different from the thiol group.
The curable composition of Example 33 has a more excellent pattern shape as compared to the curable composition of Example 41 in which m + n is equal and m / n is larger, and it is to a support. It had better adhesion.
The curable compositions of Examples 33, 47, 48, 49, and 50 in which the photopolymerization initiator is an oxime compound have better exposure sensitivity as compared with the curable composition of Example 59. It was

なお、表4中、上矢印は、直上の欄と同一であることを意味し、「−」は硬化性組成物がその成分を含有しないことを意味する。   In Table 4, the upper arrow means the same as the column immediately above, and "-" means that the curable composition does not contain the component.

重合性化合物M1に代えて、重合性化合物M2を用いた以外は、実施例33と同様にして硬化性組成物を作製し、評価を行ったところ、実施例33と同様の結果が得られた。   A curable composition was prepared and evaluated in the same manner as in Example 33 except that the polymerizable compound M2 was used in place of the polymerizable compound M1, and the same result as in Example 33 was obtained. .

重合性化合物M1に代えて、重合性化合物M1及びM2の混合物(混合物におけるM1及びM2の含有質量比は、M1の含有質量:M2の含有質量=1:1であり、硬化性組成物全体に対する上記混合物の含有量は、実施例33における重合性化合物M1の含有量と同様である。)を用いた以外は、実施例33と同様にして硬化性組成物を作製し、評価を行ったところ、実施例33と同様の結果が得られた。   Instead of the polymerizable compound M1, a mixture of the polymerizable compounds M1 and M2 (the content mass ratio of M1 and M2 in the mixture is the content mass of M1: the content mass of M2 = 1: 1, relative to the entire curable composition The curable composition was prepared and evaluated in the same manner as in Example 33 except that the content of the above mixture was the same as the content of the polymerizable compound M1 in Example 33. The same results as in Example 33 were obtained.

[カーボンブラック分散物(CB分散液)の調製及び硬化性組成物の評価]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をカーボンブラック(商品名「カラーブラック S170」、デグサ社製、平均一次粒子径17nm、BET比表面積200m2/g、ガスブラック方式により製造されたカーボンブラック)とした以外は同様の方法により、カーボンブラック分散物(CB分散液)を得た。
[Preparation of carbon black dispersion (CB dispersion) and evaluation of curable composition]
In the preparation of the above-mentioned colorant dispersion, the colorant used is carbon black (trade name "color black S170", manufactured by Degussa, average primary particle diameter 17 nm, BET specific surface area 200 m 2 / g, carbon produced by gas black method A carbon black dispersion (CB dispersion) was obtained by the same method except using black).

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、チタン窒化物含有粒子TiN−1を含有する着色剤分散液と上記CB分散液との混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1:硬化性組成物中のカーボンブラック=45:13(質量比)、上記硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1とカーボンブラックとの合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られることが分かった。   In the preparation of the curable composition of Example 33, titanium nitride-containing particles TiN are used instead of the colorant dispersion added so as to contain 58% by mass of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition. A mixture of a colorant dispersion containing C-1 and the above CB dispersion (titanium nitride-containing particles in the curable composition TiN-1: carbon black in the curable composition = 45: 13 (mass ratio), The total content of titanium nitride-containing particles TiN-1 and carbon black in the above curable composition is 58% by mass.) A curable composition is similarly prepared except that it is used The evaluation was done. As a result of the evaluation, it was found that the same evaluation (including exposure sensitivity and adhesion) as in Example 33 was obtained.

[有彩色顔料分散物(PY分散液)の調製と硬化性組成物の評価]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をピグメントイエロー150(Hangzhou Star-up Pigment Co., Ltd.製、商品名6150顔料黄5GN)とした以外は同様の方法により、有彩色顔料分散物(PY分散液)を得た。
[Preparation of chromatic pigment dispersion (PY dispersion) and evaluation of curable composition]
In the same manner as in the preparation of the colorant dispersion, except that the colorant is Pigment Yellow 150 (manufactured by Hangzhou Star-up Pigment Co., Ltd., trade name: 6150 pigment yellow 5GN), a chromatic pigment dispersion (PY dispersion) was obtained.

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、チタン窒化物含有粒子TiN−1を含有する着色剤分散液と上記PY分散液との混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1:硬化性組成中のピグメントイエロー150=45:13(質量比)、硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1とピグメントイエロー150との合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られた。なお、硬化膜としては、更に黒味の濃い膜となった。   In the preparation of the curable composition of Example 33, titanium nitride-containing particles TiN are used instead of the colorant dispersion added so as to contain 58% by mass of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition. Mixture of a colorant dispersion containing C.-1 and the above PY dispersion (titanium nitride-containing particles in the curable composition TiN-1: pigment yellow 150 in the curable composition = 45: 13 (mass ratio), The total content of titanium nitride-containing particles TiN-1 and pigment yellow 150 in the curable composition is 58% by mass.) A curable composition is similarly prepared except that it is used The evaluation was done. As a result of the evaluation, the same evaluation (including exposure sensitivity and adhesion) as in Example 33 was obtained. In addition, as a cured film, it became a darker film further.

[有彩色顔料分散物(PR分散液)の調製]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をC.I.Pigment Red 254(チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製)とした以外は同様の方法により、有彩色顔料分散物(PR分散液)を得た。
[Preparation of chromatic pigment dispersion (PR dispersion)]
In the preparation of the above-mentioned colorant dispersion, the colorant is C.I. I. A chromatic pigment dispersion (PR dispersion) was obtained by the same method except using Pigment Red 254 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

[有彩色顔料分散物(PB分散液)の調製]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をC.I.Pigment Blue 15:6(DIC株式会社製)とした以外は同様の方法により、有彩色顔料分散物(PB分散液)を得た。
[Preparation of chromatic pigment dispersion (PB dispersion)]
In the preparation of the above-mentioned colorant dispersion, the colorant is C.I. I. A chromatic pigment dispersion (PB dispersion) was obtained by the same method except using Pigment Blue 15: 6 (manufactured by DIC Corporation).

[有彩色顔料分散物(PV分散液)の調製]
上記の着色剤分散液の調製において、着色剤をC.I.Pigment Violet 23(クラリアント社製)とした以外は同様の方法により、有彩色顔料分散物(PV分散液)を得た。
[Preparation of chromatic pigment dispersion (PV dispersion)]
In the preparation of the above-mentioned colorant dispersion, the colorant is C.I. I. A chromatic pigment dispersion (PV dispersion) was obtained by the same method except using Pigment Violet 23 (manufactured by Clariant).

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、上記のチタン窒化物含有粒子TiN−1、PY、PR、PB、及びPV分散液の混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、PY、PR、PB、及びPVの比;チタン窒化物含有粒子TiN−1:PY:PR:PB:PV=70:17:37:36:10(質量比)、硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、PY、PR、PB、及びPVの合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られ、更に、赤外領域の遮光性が優れる膜が得られることが分かった。   In the preparation of the curable composition of Example 33, the above titanium nitride-containing pigment is substituted for the colorant dispersion instead of the colorant dispersion added to contain 58 mass% of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition. Mixture of particles TiN-1, PY, PR, PB, and PV dispersion (ratio of titanium nitride-containing particles TiN-1, PY, PR, PB, and PV in the curable composition; titanium nitride-containing particles TiN -1: PY: PR: PB: PV = 70: 17: 37: 36: 10 (mass ratio), total of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition, PY, PR, PB, and PV A curable composition was similarly prepared except that the content was 58% by mass), and the evaluation was performed using this. As a result of the evaluation, it was found that the same evaluation (including exposure sensitivity and adhesion) as in Example 33 was obtained, and furthermore, a film excellent in the light shielding property in the infrared region was obtained.

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、上記のチタン窒化物含有粒子TiN−1と以下に示す化合物SQ−23との混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、及び化合物SQ−23の比;チタン窒化物含有粒子TiN−1:化合物SQ−23=50:8(質量比)、硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、及び化合物SQ−23の合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られ、更に、赤外領域の遮光性が優れる膜が得られることが分かった。   In the preparation of the curable composition of Example 33, the above titanium nitride-containing pigment is substituted for the colorant dispersion instead of the colorant dispersion added to contain 58 mass% of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition. Mixture of particles TiN-1 and compound SQ-23 shown below (ratio of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition, and compound SQ-23; titanium nitride-containing particles TiN-1: compound SQ -23 = 50: 8 (mass ratio), the total content of titanium nitride-containing particles TiN-1 and the compound SQ-23 in the curable composition is 58% by mass. The curable composition was prepared and evaluated using this. As a result of the evaluation, it was found that the same evaluation (including exposure sensitivity and adhesion) as in Example 33 was obtained, and furthermore, a film excellent in the light shielding property in the infrared region was obtained.

実施例33の硬化性組成物の調製において、硬化性組成物中でチタン窒化物含有粒子TiN−1を58質量%含有するように添加した着色剤分散液に代えて、上記のチタン窒化物含有粒子TiN−1と下記化合物A−52との混合物(硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、及び化合物A−52の比;チタン窒化物含有粒子TiN−1:化合物A−52=50:8(質量比)、硬化性組成物中のチタン窒化物含有粒子TiN−1、及び化合物A−52との合計含有量は58質量%である。)を用いた他は同様にして硬化性組成物を調製し、これを用いて評価を行った。評価の結果、実施例33と同様の評価(露光感度と、密着性を含む)が得られ、更に、赤外領域の遮光性が優れる膜が得られることが分かった。   In the preparation of the curable composition of Example 33, the above titanium nitride-containing pigment is substituted for the colorant dispersion instead of the colorant dispersion added to contain 58 mass% of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition. Mixture of particles TiN-1 and the following compound A-52 (ratio of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition, and compound A-52; titanium nitride-containing particles TiN-1: compound A-52 = 50: 8 (mass ratio), the total content of titanium nitride-containing particles TiN-1 in the curable composition and the compound A-52 is 58% by mass. A curable composition was prepared and evaluated using this. As a result of the evaluation, it was found that the same evaluation (including exposure sensitivity and adhesion) as in Example 33 was obtained, and furthermore, a film excellent in the light shielding property in the infrared region was obtained.

・化合物SQ−23
・ Compound SQ-23

・化合物A−52(なお、下記式においてPhはフェニル基を表す。)
Compound A-52 (in the following formula, Ph represents a phenyl group)

実施例1において、界面活性剤F−1を用いなかった他は同様にして評価を行った。評価の結果、実施例1と同様の結果が得られることが分かった。
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the surfactant F-1 was not used. As a result of the evaluation, it was found that the same result as in Example 1 was obtained.

Claims (24)

多官能チオール化合物と、重合性化合物と、光重合開始剤とを含有する硬化性組成物であって、
前記多官能チオール化合物が、2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する硬化性組成物。
A curable composition comprising a polyfunctional thiol compound, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator,
A curable composition, wherein the polyfunctional thiol compound contains two or more thiol groups and an interactive group different from the thiol group.
前記多官能チオール化合物が、式(1)で表される化合物である、請求項1に記載の硬化性組成物。

式中、L、及び、Lはそれぞれ独立に2価の連結基を表し、mは2〜14の整数を表し、nは1〜15の整数を表し、Lはm+n価の連結基を表し、Rは前記チオール基とは異なる相互作用性基を表す。
なお、L、及び、Lは、互いに、同一でも、異なってもよく、m個のL、n個のL、及び、n個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
The curable composition according to claim 1, wherein the polyfunctional thiol compound is a compound represented by formula (1).

In the formula, L 1 and L 2 each independently represent a divalent linking group, m represents an integer of 2 to 14, n represents an integer of 1 to 15, and L 3 represents a m + n-valent linking group And R 1 represents an interactive group different from the thiol group.
L 1 and L 2 may be the same or different from each other, and m L 1 's , n L 2' s , and n R 1 's may be the same or different, respectively. Good.
前記多官能チオール化合物が、式(2)で表される化合物である、請求項1又は2に記載の硬化性組成物。

式中、R、及び、Rは、それぞれ独立に炭素数1以上の2価の連結基を表し、mは2〜14の整数を表し、nは1〜15の整数を表し、Mは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−N(R)−、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、又は−CH=N−を表し、Rは1価の有機基を表し、Lはm+n価の連結基を表し、Rは前記チオール基とは異なる相互作用性基を表す。
なお、R、及び、Rは、互いに、同一でも、異なってもよく、n個のR、m個のR、n個のR、n個のR、m個のM、及び、n個のMは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
The curable composition according to claim 1, wherein the polyfunctional thiol compound is a compound represented by formula (2).

In the formula, R 2 and R 3 each independently represent a divalent linking group having 1 or more carbon atoms, m represents an integer of 2 to 14, n represents an integer of 1 to 15, and M 1 Each independently represents a single bond, -O-, -S-, -N (R 4 )-, -C (= O)-, -C (= O) -O-, -O-C (= O ) -O-, -C (= O) -NH-, -O-C (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O-, -S (= O) ) 2 -, - S (= O) 2 -O-, or an -CH = N-, R 4 represents a monovalent organic group, L 3 represents a m + n valent linking group, R 1 is the It represents an interactive group different from a thiol group.
R 2 and R 3 may be identical to or different from each other, and n R 1 's , m R 2' s , n R 2 's , n R 3' s , m M 1 's , And n M 1 may be the same or different.
前記mが3〜14の整数である、請求項2又は3に記載の硬化性組成物。   The curable composition of Claim 2 or 3 whose said m is an integer of 3-14. 前記チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の硬化性組成物。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表す。
The interaction group different from the thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof The aryl group according to any one of claims 1 to 4, which is at least one selected from the group consisting of: an aryl group, -Si (R X ) p (R Y ) 3 -p , and-(OR A ) q -R Z The curable composition according to any one of the preceding claims.
Here, p represents an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolysable group, R Y represents a monovalent organic group other than a hydrolysable group, and p R X and 3-p Each R Y may be the same or different. Further, R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, and R A represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms.
前記チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の硬化性組成物。   The interaction group different from the thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group or a salt thereof The curable composition according to any one of claims 1 to 5, which is at least one selected from the group consisting of salts. 前記チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及び、スルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の硬化性組成物。   The interaction group different from the thiol group is selected from the group consisting of a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group or a salt thereof The curable composition according to any one of claims 1 to 6, which is at least one. 更に着色剤を含有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to any one of claims 1 to 7, further comprising a colorant. 前記着色剤が黒色顔料を含有する、請求項8に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to claim 8, wherein the colorant contains a black pigment. 前記光重合開始剤がオキシム化合物である請求項1〜9のいずれか一項に記載の硬化性組成物。   The curable composition according to any one of claims 1 to 9, wherein the photopolymerization initiator is an oxime compound. 請求項1〜10のいずれか一項に記載の硬化性組成物を硬化して得られる、硬化膜。   A cured film obtained by curing the curable composition according to any one of claims 1 to 10. 請求項11に記載の硬化膜を含有する、カラーフィルタ。   A color filter comprising the cured film according to claim 11. 請求項11に記載の硬化膜を含有する、遮光膜。   A light shielding film comprising the cured film according to claim 11. 請求項11に記載の硬化膜を含有する、固体撮像素子。   A solid-state imaging device comprising the cured film according to claim 11. 請求項11に記載の硬化膜を含有する、画像表示装置。   An image display apparatus comprising the cured film according to claim 11. 請求項1〜10のいずれか一項に記載の硬化性組成物を用いて支持体上に硬化性組成物層を形成する、硬化性組成物層形成工程と、
前記硬化性組成物層を露光する、露光工程とを含有する硬化膜の製造方法。
A curable composition layer forming step of forming a curable composition layer on a support using the curable composition according to any one of claims 1 to 10,
Exposing the curable composition layer, and an exposure step.
前記硬化性組成物層形成工程が、前記支持体上に前記硬化性組成物を塗布して、前記支持体上に前記硬化性組成物層を形成する工程を含む、請求項16に記載の硬化膜の製造方法。   The curing according to claim 16, wherein the step of forming the curable composition layer comprises the step of applying the curable composition onto the support to form the curable composition layer on the support. Method of producing a membrane 更に、露光された前記硬化性組成物層を現像する、現像工程と、
現像した前記硬化性組成物層を洗浄する、洗浄工程とを含有する、請求項16又は17に記載の硬化膜の製造方法。
And developing the exposed curable composition layer.
The manufacturing method of the cured film of Claim 16 or 17 including the washing | cleaning process which wash | cleans the said developed curable composition layer.
2個以上のチオール基と、チオール基とは異なる相互作用性基とを含有する、多官能チオール化合物。   A multifunctional thiol compound containing two or more thiol groups and an interactive group different from the thiol group. 式(1)で表される化合物である、請求項19に記載の多官能チオール化合物。

式中、L、及びLはそれぞれ独立に2価の連結基を表し、mは2〜14の整数を表し、nは1〜15の整数を表し、Lはm+n価の連結基を表し、Rは前記チオール基とは異なる相互作用性基を表す。
なお、L、及び、Lは、互いに、同一でも、異なってもよく、m個のL、n個のL、及びn個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
The multifunctional thiol compound of Claim 19 which is a compound represented by Formula (1).

In the formula, L 1 and L 2 each independently represent a divalent linking group, m represents an integer of 2 to 14, n represents an integer of 1 to 15, and L 3 represents a m + n-valent linking group. R 1 represents an interactive group different from the thiol group.
L 1 and L 2 may be identical to or different from each other, and m pieces of L 1 , n pieces of L 2 and n pieces of R 1 may be identical to or different from each other .
式(2)で表される化合物である、請求項19又は20に記載の多官能チオール化合物。

式中、R、及び、Rは、それぞれ独立に炭素数1以上の2価の連結基を表し、mは2〜14の整数を表し、nは1〜15の整数を表し、Mは、それぞれ独立に、単結合、−O−、−S−、−N(R)−、−C(=O)−、−C(=O)−O−、−O−C(=O)−O−、−C(=O)−NH−、−O−C(=O)−NH−、−S(=O)−、−S(=O)−O−、−S(=O)2−、−S(=O)2−O−、又は−CH=N−を表し、Rは1価の有機基を表し、Lはm+n価の連結基を表し、Rは前記チオール基とは異なる相互作用性基を表す。
なお、R、及び、Rは、互いに、同一でも、異なってもよく、n個のR、m個のR、n個のR、n個のR、m個のM、及び、n個のMは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。
The polyfunctional thiol compound according to claim 19 or 20, which is a compound represented by the formula (2).

In the formula, R 2 and R 3 each independently represent a divalent linking group having 1 or more carbon atoms, m represents an integer of 2 to 14, n represents an integer of 1 to 15, and M 1 Each independently represents a single bond, -O-, -S-, -N (R 4 )-, -C (= O)-, -C (= O) -O-, -O-C (= O ) -O-, -C (= O) -NH-, -O-C (= O) -NH-, -S (= O)-, -S (= O) -O-, -S (= O) ) 2 -, - S (= O) 2 -O-, or an -CH = N-, R 4 represents a monovalent organic group, L 3 represents a m + n valent linking group, R 1 is the It represents an interactive group different from a thiol group.
R 2 and R 3 may be identical to or different from each other, and n R 1 's , m R 2' s , n R 2 's , n R 3' s , m M 1 's , And n M 1 may be the same or different.
前記mが3〜14の整数である、請求項20又は21に記載の多官能チオール化合物。   The multifunctional thiol compound of Claim 20 or 21 whose said m is an integer of 3-14. 前記チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、スルホン酸基又はその塩、アリール基、−Si(R(R3−p、及び、−(OR−Rからなる群から選択される少なくとも1種である、請求項19〜22のいずれか一項に記載の多官能チオール化合物。
なお、pは1〜3の整数を表し、Rは加水分解性基を表し、Rは、加水分解性基を除く1価の有機基を表し、p個のR、及び3−p個のRは、それぞれ、同一でも、異なってもよい。また、Rは水素原子、アルキル基、又は、アルコキシ基を表し、qは1〜4の整数を表し、Rは炭素数1〜15のアルキレン基を表す。
The interaction group different from the thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, a sulfonic acid group or a salt thereof The aryl group according to any one of claims 19 to 22, which is at least one selected from the group consisting of: an aryl group, -Si (R X ) p (R Y ) 3 -p , and-(OR A ) q -R Z A multifunctional thiol compound according to any one of the preceding claims.
Here, p represents an integer of 1 to 3, R X represents a hydrolysable group, R Y represents a monovalent organic group other than a hydrolysable group, and p R X and 3-p Each R Y may be the same or different. Further, R Z represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, q represents an integer of 1 to 4, and R A represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms.
前記チオール基とは異なる相互作用性基が、ヒドロキシル基、アミノ基、ピリジニル基、ピリジニウム基、アンモニウム基、ホスホニウム基、カルボン酸基又はその塩、リン酸基又はその塩、及びスルホン酸基又はその塩からなる群から選択される少なくとも1種である、請求項19〜23のいずれか一項に記載の多官能チオール化合物。
The interaction group different from the thiol group is a hydroxyl group, an amino group, a pyridinyl group, a pyridinium group, an ammonium group, a phosphonium group, a carboxylic acid group or a salt thereof, a phosphoric acid group or a salt thereof, and a sulfonic acid group or a salt thereof The multifunctional thiol compound according to any one of claims 19 to 23, which is at least one selected from the group consisting of salts.
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