JP6813809B2 - Composition for film formation and method for producing the same - Google Patents

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Description

本願発明は、被膜形成用組成物及びその製造方法に関し、さらに詳述すると、加水分解性シランの加水分解縮合物及び両親媒性の有機ケイ素化合物が結合されている無機微粒子を含む被膜形成用布組成物とその製造方法に関する。 The present invention relates to a film-forming composition and a method for producing the same, and more specifically, a film-forming cloth containing a hydrolyzable condensate of hydrolyzable silane and inorganic fine particles to which an amphipathic organosilicon compound is bonded. The present invention relates to a composition and a method for producing the same.

これまで高分子化合物を高機能化する試みが種々行われてきている。例えば、高分子化合物を高屈折率化する方法として、芳香族環、ハロゲン原子、硫黄原子を導入することがなされている。中でも、硫黄原子を導入したエピスルフィド高分子化合物及びチオウレタン高分子化合物は、眼鏡用高屈折率レンズとして実用化されている。 So far, various attempts have been made to improve the functionality of polymer compounds. For example, as a method for increasing the refractive index of a polymer compound, an aromatic ring, a halogen atom, and a sulfur atom have been introduced. Among them, episulfide polymer compounds and thiourethane polymer compounds into which sulfur atoms have been introduced have been put into practical use as high refractive index lenses for eyeglasses.

しかしながら、ポリマー単独では屈折率1.7を超えるような材料設計が難しいことから、さらなる高屈折率化を達成し得る最も有力な方法として、無機微粒子を用いる方法が知られている。 However, since it is difficult to design a material having a refractive index exceeding 1.7 with a polymer alone, a method using inorganic fine particles is known as the most promising method capable of achieving a higher refractive index.

この方法は、ポリマーと無機微粒子とを混合して高屈折率化を達成する手法である。混合法としては、ポリマー溶液と無機微粒子の分散液とを混合する手法が一般的であり、この場合、ポリマーは無機微粒子の分散を壊さずに安定化させるバインダーとしての役割を担っている。 This method is a method of mixing a polymer and inorganic fine particles to achieve a high refractive index. As a mixing method, a method of mixing a polymer solution and a dispersion of inorganic fine particles is common, and in this case, the polymer plays a role as a binder that stabilizes the dispersion of the inorganic fine particles without breaking the dispersion.

上記バインダーポリマーとしては、加水分解性シランの加水分解縮合物やポリイミドを用い得ることが報告されている。例えば、アルコキシシランの加水分解縮合物と、ジルコニア又はチタニアを分散させた無機酸化物分散材料とを混合してなるハイブリッド材料を用いて屈折率を高める手法が報告されている(特許文献1参照)。また、ポリイミドと、チタニアや硫化亜鉛等を分散させたハイブリッド材料を用いて屈折率を高める手法が報告されている(特許文献2参照)。 It has been reported that a hydrolyzable condensate of hydrolyzable silane or polyimide can be used as the binder polymer. For example, a method of increasing the refractive index by using a hybrid material obtained by mixing a hydrolyzed condensate of alkoxysilane and an inorganic oxide dispersion material in which zirconia or titania is dispersed has been reported (see Patent Document 1). .. Further, a method of increasing the refractive index by using a hybrid material in which polyimide and titania, zinc sulfide, etc. are dispersed has been reported (see Patent Document 2).

これらのハイブリッド材料は、高屈折率化のために種々の工夫がなされているものの、屈折率が1.7を超える高屈折率領域の組成物で、且つ、1μmを超える膜厚の作製が可能な組成物の実現には至っておらず、さらには、塗布組成物の保存安定性に関した検討が行われていないのが現状である。 Although these hybrid materials have been devised in various ways to increase the refractive index, they can be produced as a composition in a high refractive index region having a refractive index exceeding 1.7 and having a film thickness exceeding 1 μm. The present situation is that no suitable composition has been realized, and further, the storage stability of the coating composition has not been studied.

ところで、近年、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ、光半導体(LED)素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜トランジスタ(TFT)等の電子デバイスを開発する際に、高機能なハイブリッド材料が要求されるようになってきた。 By the way, in recent years, when developing electronic devices such as liquid crystal displays, organic electroluminescence (EL) displays, optical semiconductor (LED) elements, solid-state imaging devices, organic thin film solar cells, dye-sensitized solar cells, and organic thin film transistors (TFTs). In addition, high-performance hybrid materials have been required.

求められる具体的な特性としては、耐熱性、透明性、高屈折率、厚膜、クラック耐性、塗布組成物の保存安定性等が挙げられる。 Specific properties required include heat resistance, transparency, high refractive index, thick film, crack resistance, storage stability of the coating composition, and the like.

加水分解性シランの加水分解縮合物、即ちポリシロキサンと無機微粒子とを混合した場合、一般に耐熱性及び透明性が高い膜が得られる。ここで屈折率を向上させる場合、屈折率が低いポリシロキサンの含有率を低下させ、屈折率が高い無機微粒子の含有率を増大させることが一般的である。また膜厚を増大させる場合、ポリシロキサンと無機微粒子とを含む塗布組成物の固形分濃度を増大させることが一般的である。 When a hydrolyzable condensate of hydrolyzable silane, that is, polysiloxane and inorganic fine particles are mixed, a film having high heat resistance and transparency is generally obtained. Here, when the refractive index is improved, it is common to decrease the content of polysiloxane having a low refractive index and increase the content of inorganic fine particles having a high refractive index. When increasing the film thickness, it is common to increase the solid content concentration of the coating composition containing the polysiloxane and the inorganic fine particles.

膜厚の増大を塗布組成物の固形分濃度の増大により実現する手法は、固形分濃度の増大により塗布組成物の粘度を増大させ、そして粘度の高い塗布組成物から作製される膜が厚膜化することに起因している。この手法は、アクリルポリマー等の有機ポリマーに適応する。 The method of realizing the increase in film thickness by increasing the solid content concentration of the coating composition is to increase the viscosity of the coating composition by increasing the solid content concentration, and the film produced from the highly viscous coating composition is a thick film. It is caused by becoming. This technique applies to organic polymers such as acrylic polymers.

しかし、ポリシロキサンと無機微粒子とを含む塗布組成物は、固形分濃度を増大させても組成物の粘度が増大しにくく、すなわち低粘度のまま膜形成するため、厚膜化が困難である。また、組成物の高屈折率化を厚膜化と同時に達成しようとすると、屈折率向上を図るべく前述したとおり塗布組成物中の無機微粒子の含有量が多くなり、さらに塗布組成物の高粘度化が困難になる。これは、当該分野の塗布組成物に選択される無機微粒子が、塗布組成物中で高度に分散された状態で存在しており、分散性が高い無機微粒子は高粘度化しにくいという特性があることによる。 However, in a coating composition containing polysiloxane and inorganic fine particles, the viscosity of the composition does not easily increase even if the solid content concentration is increased, that is, a film is formed with a low viscosity, so that it is difficult to thicken the film. Further, if an attempt is made to increase the refractive index of the composition at the same time as thickening the film, the content of inorganic fine particles in the coating composition increases as described above in order to improve the refractive index, and the viscosity of the coating composition is further increased. It becomes difficult to change. This is because the inorganic fine particles selected for the coating composition in the field are present in a highly dispersed state in the coating composition, and the highly dispersible inorganic fine particles have a characteristic that it is difficult to increase the viscosity. by.

加水分解性シランの加水分解縮合物と無機微粒子とを含む組成物の厚膜化は、無機微粒子の分散粒子径を増大させることで塗布組成物の粘度を高めることにより、可能となる場合がある。 Thickening of the composition containing the hydrolyzable condensate of hydrolyzable silane and the inorganic fine particles may be possible by increasing the viscosity of the coating composition by increasing the dispersed particle size of the inorganic fine particles. ..

しかし、この手法では厚膜化が達成できるものの、塗布組成物の保存安定性が悪化する課題があり、製品としての寿命が保証できない。保存安定性の悪い塗布組成物は、例えば保管中に塗布組成物の粘度上昇が抑制できず、目的の膜厚を制御できなかったり、ゲル化して使用できなくなったりする不具合を生じ得る。 However, although thickening can be achieved by this method, there is a problem that the storage stability of the coating composition deteriorates, and the life of the product cannot be guaranteed. A coating composition having poor storage stability may have a problem that, for example, an increase in the viscosity of the coating composition cannot be suppressed during storage, the target film thickness cannot be controlled, or the coating composition gels and cannot be used.

このように、ポリシロキサンと無機微粒子とを含む組成物の厚膜化を達成することと良好な保存安定性を達成することは、技術的にトレードオフの関係になっている。 As described above, there is a technical trade-off between achieving a thick film of the composition containing the polysiloxane and the inorganic fine particles and achieving good storage stability.

上述したように、ポリシロキサンと無機微粒子とを含む組成物において、耐熱性及び透明性が高く、高屈折率を発現しながら、厚膜化が可能で、クラック耐性があり、保存安定性に優れた塗布組成物とその製造方法の報告は皆無である。 As described above, in the composition containing polysiloxane and inorganic fine particles, the composition has high heat resistance and transparency, can be thickened while exhibiting a high refractive index, has crack resistance, and has excellent storage stability. There are no reports of the coating composition and the method for producing the same.

特開2007−246877号公報JP-A-2007-246877 特開2001−354853号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-354853

本願発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、加水分解性シランの加水分解縮合物と無機微粒子とを含む塗布組成物において、耐熱性及び透明性が高く、高屈折率を発現しながら、厚膜化が可能で、塗布組成物の保存安定性に優れた被膜形成用組成物とその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and exhibits high heat resistance and transparency and a high refractive index in a coating composition containing a hydrolyzable condensate of hydrolyzable silane and inorganic fine particles. At the same time, it is an object of the present invention to provide a film-forming composition which can be thickened and has excellent storage stability of the coating composition and a method for producing the same.

本願発明者らは、加水分解性シランの加水分解縮合物と特殊な分散処理を施した無機微粒子とを含む組成物が電子デバイスを作製する際の被膜形成用組成物として好適であることを見出し、本願発明を完成した。 The inventors of the present application have found that a composition containing a hydrolyzable condensate of hydrolyzable silane and inorganic fine particles subjected to a special dispersion treatment is suitable as a film-forming composition for producing an electronic device. , The invention of the present application has been completed.

即ち、本願発明は、
1.(A)成分:下記式(1)
That is, the invention of the present application
1. 1. (A) Component: The following formula (1)

Figure 0006813809
Figure 0006813809

(式中、Rは炭素原子数1〜6のアルキル基であり、Rは炭素原子数1〜18のアルキル基又は炭素原子数6〜18のアリール基であり、aは0〜3の整数である。)
で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物、及び
(B)成分:2〜60nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面を1〜4nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆された2〜100nmの一次粒子径を有する変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する両親媒性の有機ケイ素化合物が結合されている無機微粒子
を含む被膜形成用組成物、
2.前記式(1)中のRは、メチル基、エチル基、フェニル基、ビフェニル基又はフェナントリル基であり、aは1である、1に記載の被膜形成用組成物、
3.前記両親媒性の有機ケイ素化合物は、その親水性基中の前記オキシアルキレン基の付加モル数が3〜40モルの化合物である、1又は2に記載の被膜形成用組成物、
4.前記(B)成分の変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に結合された両親媒性を有する有機ケイ素化合物が、変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の全金属酸化物に対して3〜30質量%の質量割合にて結合してなる、1〜3のいずれか一つに記載の被膜形成用組成物、
5.前記(B)成分の金属酸化物コロイド粒子(B1)が、Ti、Fe、Cu、Zn、Y、Zr、Nb、Mo、In、Sn、Sb、Ta、W、Pb、Bi及びCeからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物である、1〜4のいずれか一つに記載の被膜形成用組成物、
6.前記(B)成分の被覆物(B2)が、Si、Al、Sn、Zr、Mo、Sb及びWからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物である、1〜5のいずれか一つに記載の被膜形成用組成物、
7.(A)成分:下記式(1)
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 2 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a is 0 to 3. It is an integer.)
A hydrolyzate condensate of at least one hydrophilic silane represented by, and a component (B): a metal oxide colloidal particle (B1) having a primary particle diameter of 2 to 60 nm as a nucleus, and the surface thereof is 1 to 1. Poly as a hydrophilic group on the surface of modified metal oxide colloidal particles (B3) having a primary particle size of 2 to 100 nm coated with a coating (B2) composed of metal oxide colloidal particles having a primary particle size of 4 nm. It has one or more poly (oxyalkylene) groups selected from oxyethylene group, polyoxypropylene group or polyoxybutylene group, and is selected from alkylene group or vinylene group having 1 to 18 carbon atoms as a hydrophobic group. A film-forming composition containing inorganic fine particles to which an amphoteric organic silicon compound having one or more groups is bonded.
2. 2. The film-forming composition according to 1, wherein R 2 in the formula (1) is a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a biphenyl group or a phenanthryl group, and a is 1.
3. 3. The film-forming composition according to 1 or 2, wherein the amphipathic organosilicon compound is a compound in which the number of moles of the oxyalkylene group added in the hydrophilic group is 3 to 40 mol.
4. The amphoteric organic silicon compound bonded to the surface of the modified metal oxide colloidal particles (B3) of the component (B) is 3 to 3 to the total metal oxide of the modified metal oxide colloidal particles (B3). The film-forming composition according to any one of 1 to 3, which is bonded at a mass ratio of 30% by mass.
5. The group in which the metal oxide colloidal particles (B1) of the component (B) are composed of Ti, Fe, Cu, Zn, Y, Zr, Nb, Mo, In, Sn, Sb, Ta, W, Pb, Bi and Ce. The film-forming composition according to any one of 1 to 4, which is an oxide of at least one metal selected from the above.
6. Any one of 1 to 5 in which the coating material (B2) of the component (B) is an oxide of at least one metal selected from the group consisting of Si, Al, Sn, Zr, Mo, Sb and W. The film-forming composition according to
7. (A) Component: The following formula (1)

Figure 0006813809
Figure 0006813809

(式中、Rは炭素原子数1〜6のアルキル基であり、Rは炭素原子数1〜18のアルキル基又は炭素原子数6〜18のアリール基であり、aは0〜3の整数である。)
で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物と
(B)成分:2〜60nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面を1〜4nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆された2〜100nmの一次粒子径を有する変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する両親媒性の有機ケイ素化合物が結合されている無機微粒子
とを混合する工程を含む、被膜形成用組成物の製造方法、
8.前記式(1)中のRは、メチル基、エチル基、フェニル基、ビフェニル基又はフェナントリル基であり、aは1である、7に記載の被膜形成用組成物の製造方法、
9.前記両親媒性の有機ケイ素化合物は、その親水性基中の前記オキシアルキレン基の付加モル数が3〜40モルの化合物である、7又8に記載の被膜形成用組成物の製造方法、
10.前記(A)成分と前記(B)成分とを混合する工程の後、23℃以上150℃以下で加熱する工程を含む、7〜9のいずれか一つに記載の被膜形成用組成物の製造方法、
11.1〜6のいずれか一つに記載の被膜形成用組成物から得られる被膜、
12.基材と、この基材上に形成された11に記載の被膜とを備える電子デバイス、
13.基材と、この基材上に形成された11に記載の被膜とを備える光学部材、
14.11に記載の被膜を少なくとも1層備える、相補性金属酸化膜半導体を有する固体撮像素子又は電荷結合素子、
15.11に記載の被膜を少なくとも1層備える、固体撮像素子用埋め込み材料、平坦化材料、又はマイクロレンズ材料、
を提供する。
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 2 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a is 0 to 3. It is an integer.)
Hydrolyzed condensate of at least one hydrophilic silane represented by and component (B): Metal oxide colloidal particles (B1) having a primary particle diameter of 2 to 60 nm are used as nuclei, and the surface thereof is 1 to 4 nm. Polyoxy as a hydrophilic group on the surface of modified metal oxide colloidal particles (B3) having a primary particle size of 2 to 100 nm coated with a coating (B2) composed of metal oxide colloidal particles having a primary particle size. It has one or more poly (oxyalkylene) groups selected from an ethylene group, a polyoxypropylene group or a polyoxybutylene group, and is selected from an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms or a vinylene group as a hydrophobic group. A method for producing a film-forming composition, which comprises a step of mixing with inorganic fine particles to which an amphoteric organic silicon compound having one or more groups is bonded.
8. The method for producing a film-forming composition according to 7, wherein R 2 in the formula (1) is a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a biphenyl group or a phenanthryl group, and a is 1.
9. The method for producing a film-forming composition according to 7 or 8, wherein the amphipathic organosilicon compound is a compound in which the number of moles of the oxyalkylene group added in the hydrophilic group is 3 to 40 mol.
10. The production of the film-forming composition according to any one of 7 to 9, which comprises a step of mixing the component (A) and the component (B) and then heating at 23 ° C. or higher and 150 ° C. or lower. Method,
A coating film obtained from the coating film forming composition according to any one of 11.1 to 6.
12. An electronic device comprising a base material and a coating film according to 11 formed on the base material.
13. An optical member comprising a base material and the coating film according to 11 formed on the base material.
A solid-state imaging device or charge-binding device having a complementary metal oxide semiconductor, comprising at least one film according to 14.11.
An implant material, a flattening material, or a microlens material for a solid-state image sensor, which comprises at least one layer of the coating film according to 15.11.
I will provide a.

本願発明によれば、(A)成分:下記式(1) According to the invention of the present application, the component (A): the following formula (1)

Figure 0006813809
Figure 0006813809

(式中、Rは炭素原子数1〜6のアルキル基であり、Rは炭素原子数1〜18のアルキル基又は炭素原子数6〜18のアリール基であり、aは0〜3の整数である。)
で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物と
(B)成分:2〜60nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面を1〜4nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆された2〜100nmの一次粒子径を有する変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する両親媒性の有機ケイ素化合物が結合されている無機微粒子とを混合した被膜形成用組成物より被膜を形成した場合、耐熱性及び透明性が高い被膜が得られ、電子デバイスに搭載した際の長期信頼性を高められる。
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 2 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a is 0 to 3. It is an integer.)
Hydrolyzed condensate of at least one hydrophilic silane represented by and component (B): Metal oxide colloidal particles (B1) having a primary particle diameter of 2 to 60 nm are used as nuclei, and the surface thereof is 1 to 4 nm. Polyoxy as a hydrophilic group on the surface of modified metal oxide colloidal particles (B3) having a primary particle size of 2 to 100 nm coated with a coating (B2) composed of metal oxide colloidal particles having a primary particle size. It has one or more poly (oxyalkylene) groups selected from an ethylene group, a polyoxypropylene group or a polyoxybutylene group, and is selected from an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms or a vinylene group as a hydrophobic group. When a film is formed from a film-forming composition obtained by mixing inorganic fine particles to which an amphoteric organic silicon compound having one or more groups is bonded, a film having high heat resistance and transparency is obtained, and electrons are obtained. Long-term reliability can be improved when mounted on a device.

また、屈折率の高い被膜を得るために、屈折率の低い加水分解性シランの加水分解縮合物(成分(A))よりも、特殊な分散処理を施した屈折率の高い無機微粒子(成分(B))の含有率を高めた被膜形成用組成物とすることにより、当該組成物の粘度が増大し、厚膜化が可能となる。得られる被膜形成用組成物は保存安定性が良好で、得られる被膜は高屈折率、高透明性を示す。 Further, in order to obtain a film having a high refractive index, inorganic fine particles having a high refractive index (component (component)) which has been subjected to a special dispersion treatment than a hydrolyzable condensate of hydrolyzable silane having a low refractive index (component (A)). By using a film-forming composition having an increased content of B)), the viscosity of the composition is increased and a thick film can be formed. The obtained film-forming composition has good storage stability, and the obtained film exhibits high refractive index and high transparency.

本願発明によれば、前記(A)成分と前記(B)成分とを含む組成物により、耐熱性及び透明性が高く、高屈折率を発現しながら、厚膜化が可能であり、クラック耐性がある被膜が形成でき、且つ、保存安定性に優れた被膜形成用組成物が提供できる。 According to the present invention, the composition containing the component (A) and the component (B) has high heat resistance and transparency, can be thickened while exhibiting a high refractive index, and has crack resistance. It is possible to provide a film-forming composition capable of forming a certain film and having excellent storage stability.

本願発明の被膜形成用組成物から得られる被膜の屈折率の範囲は、使用場面にもよるが、下限値としては、好ましくは1.70以上、より好ましくは1.75以上、さらに好ましくは1.80以上である。上限値は、特に制限されないが、2.00以下、又は1.95以下である。本願発明における、高屈折率の定義としては、波長550nmにおいて、1.70以上を高屈折率と呼称する。 The range of the refractive index of the film obtained from the film-forming composition of the present invention depends on the usage situation, but the lower limit is preferably 1.70 or more, more preferably 1.75 or more, still more preferably 1. .80 or more. The upper limit is not particularly limited, but is 2.00 or less, or 1.95 or less. As the definition of high refractive index in the present invention, 1.70 or more is referred to as high refractive index at a wavelength of 550 nm.

本願発明の被膜形成用組成物は、従来の加水分解性シランの加水分解縮合物と無機微粒子とを含む組成物に比べ、その粘度を増大させることができ、そのため厚膜化が可能である。例えば、スピンコート法での2度塗りや、煩雑なスピンレシピを使用せずとも厚膜を得ることができ、プロセスマージンが広い。 The film-forming composition of the present invention can have a higher viscosity than a conventional composition containing a hydrolyzable condensate of hydrolyzable silane and inorganic fine particles, and thus can be thickened. For example, a thick film can be obtained without using the spin coating method twice or a complicated spin recipe, and the process margin is wide.

本願発明の被膜形成用組成物は、無機微粒子の高度な分散性を保持したままであることから、被膜形成用組成物の保存安定性が良好であり、保管中の急激な粘度上昇やゲル化が生じず、製品としての寿命が長く、結果として低コスト化が可能である。 Since the film-forming composition of the present invention retains a high degree of dispersibility of the inorganic fine particles, the film-forming composition has good storage stability, and the viscosity rapidly increases and gels during storage. As a result, the life of the product is long, and as a result, the cost can be reduced.

また、本願発明の被膜形成用組成物は、加水分解性シランの加水分解縮合物の種類を変更したり、その添加量を変更することで、膜厚、屈折率、透過率をコントロールできる。 Further, in the film-forming composition of the present invention, the film thickness, the refractive index, and the transmittance can be controlled by changing the type of the hydrolyzable condensate of the hydrolyzable silane or changing the addition amount thereof.

以上のような特性を有する本願発明の被膜形成用組成物を用いて作製した被膜は、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(OLED)ディスプレイ、光半導体(LED)素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜トランジスタ(TFT)等の電子デバイスを作製する際の部材として好適に利用できる。また、高屈折率が求められているレンズ用部材として好適に利用できる。特に高屈折率が求められている固体撮像素子の部材である、フォトダイオード上の埋め込み膜及び平坦化膜、カラーフィルター前後の平坦化膜、マイクロレンズ、マイクロレンズ上の平坦化膜及びコンフォーマル膜として好適に利用できる。 The coating film produced by using the coating film forming composition of the present invention having the above characteristics includes a liquid crystal display, an organic electroluminescence (OLED) display, an optical semiconductor (LED) element, a solid-state imaging element, an organic thin film transistor, and the like. It can be suitably used as a member for manufacturing electronic devices such as dye-sensitized solar cells and organic thin film transistors (TFTs). Further, it can be suitably used as a lens member for which a high refractive index is required. Embedded films and flattening films on photodiodes, flattening films before and after color filters, microlenses, flattening films and conformal films on microlenses, which are members of solid-state image sensors for which high refractive index is particularly required. Can be suitably used as.

以下、本願発明についてさらに詳しく説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

<(A)成分>
本願発明の被膜形成用組成物に含まれる(A)成分の加水分解性シランの加水分解縮合物とは、下記式(1)
<Ingredient (A)>
The hydrolyzable condensate of the hydrolyzable silane of the component (A) contained in the film-forming composition of the present invention is the following formula (1).

Figure 0006813809
Figure 0006813809

(式中、Rは炭素原子数1〜6のアルキル基であり、Rは炭素原子数1〜18のアルキル基又は炭素原子数6〜18のアリール基であり、aは0〜3の整数である。)
で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解物において、そのシラノール基同士が脱水縮合を起こし、ポリシロキサンを形成したものである。
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 2 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a is 0 to 3. It is an integer.)
In the hydrolyzate of at least one hydrolyzable silane represented by, the silanol groups are dehydrated and condensed to form a polysiloxane.

前記式(1)中、Rのアルキル基としては、炭素原子数1〜6のアルキル基が例示され、直鎖、分岐、又は環状のアルキル部分を有するものであり、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、1−メチル−n−ブチル基、2−メチル−n−ブチル基、3−メチル−n−ブチル基、1,1−ジメチル−n−プロピル基、1,2−ジメチル−n−プロピル基、2,2−ジメチル−n−プロピル基、1−エチル−n−プロピル基、n−ヘキシル基、1−メチル−n−ペンチル基、2−メチル−n−ペンチル基、3−メチル−n−ペンチル基、4−メチル−n−ペンチル基、1,1−ジメチル−n−ブチル基、1,2−ジメチル−n−ブチル基、1,3−ジメチル−n−ブチル基、2,2−ジメチル−n−ブチル基、2,3−ジメチル−n−ブチル基、3,3−ジメチル−n−ブチル基、1−エチル−n−ブチル基、2−エチル−n−ブチル基、1,1,2−トリメチル−n−プロピル基、1,2,2,−トリメチル−n−プロピル基、1−エチル−1−メチル−n−プロピル基、及び1−エチル−2−メチル−n−プロピル基等が挙げられる。In the above formula (1), examples of the alkyl group of R 1 include alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms, which have linear, branched, or cyclic alkyl moieties, such as methyl group and ethyl group. , N-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, s-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, 1-methyl-n-butyl group, 2-methyl-n-butyl group, 3-Methyl-n-butyl group, 1,1-dimethyl-n-propyl group, 1,2-dimethyl-n-propyl group, 2,2-dimethyl-n-propyl group, 1-ethyl-n-propyl group , N-hexyl group, 1-methyl-n-pentyl group, 2-methyl-n-pentyl group, 3-methyl-n-pentyl group, 4-methyl-n-pentyl group, 1,1-dimethyl-n- Butyl group, 1,2-dimethyl-n-butyl group, 1,3-dimethyl-n-butyl group, 2,2-dimethyl-n-butyl group, 2,3-dimethyl-n-butyl group, 3,3 -Dimethyl-n-butyl group, 1-ethyl-n-butyl group, 2-ethyl-n-butyl group, 1,1,2-trimethyl-n-propyl group, 1,2,2, -trimethyl-n- Examples thereof include a propyl group, a 1-ethyl-1-methyl-n-propyl group, and a 1-ethyl-2-methyl-n-propyl group.

前記式(1)中、Rの炭素原子数1〜18のアルキル基としては、直鎖、分岐、又は環状のアルキル部分を有するものであり、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、1−メチル−n−ブチル基、2−メチル−n−ブチル基、3−メチル−n−ブチル基、1,1−ジメチル−n−プロピル基、1,2−ジメチル−n−プロピル基、2,2−ジメチル−n−プロピル基、1−エチル−n−プロピル基、n−ヘキシル基、1−メチル−n−ペンチル基、2−メチル−n−ペンチル基、3−メチル−n−ペンチル基、4−メチル−n−ペンチル基、1,1−ジメチル−n−ブチル基、1,2−ジメチル−n−ブチル基、1,3−ジメチル−n−ブチル基、2,2−ジメチル−n−ブチル基、2,3−ジメチル−n−ブチル基、3,3−ジメチル−n−ブチル基、1−エチル−n−ブチル基、2−エチル−n−ブチル基、1,1,2−トリメチル−n−プロピル基、1,2,2,−トリメチル−n−プロピル基、1−エチル−1−メチル−n−プロピル基、1−エチル−2−メチル−n−プロピル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基、及びオクタデシル基等が挙げられる。In the above formula (1), the alkyl group having 1 to 18 carbon atoms of R 2 has a linear, branched, or cyclic alkyl moiety, and has a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, and an isopropyl. Group, n-butyl group, isobutyl group, s-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, 1-methyl-n-butyl group, 2-methyl-n-butyl group, 3-methyl-n-butyl Group, 1,1-dimethyl-n-propyl group, 1,2-dimethyl-n-propyl group, 2,2-dimethyl-n-propyl group, 1-ethyl-n-propyl group, n-hexyl group, 1 -Methyl-n-pentyl group, 2-methyl-n-pentyl group, 3-methyl-n-pentyl group, 4-methyl-n-pentyl group, 1,1-dimethyl-n-butyl group, 1,2- Dimethyl-n-butyl group, 1,3-dimethyl-n-butyl group, 2,2-dimethyl-n-butyl group, 2,3-dimethyl-n-butyl group, 3,3-dimethyl-n-butyl group , 1-ethyl-n-butyl group, 2-ethyl-n-butyl group, 1,1,2-trimethyl-n-propyl group, 1,2,2,-trimethyl-n-propyl group, 1-ethyl- 1-Methyl-n-propyl group, 1-ethyl-2-methyl-n-propyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, tridecyl group, tetradecyl group, pentadecyl group, hexadecyl group Examples thereof include a group, a pentadecyl group, a hexadecyl group, a heptadecyl group, and an octadecyl group.

また、前記式(1)中、Rの炭素原子数6〜18のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナントリル基、ビフェニル基、ターフェニル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。Further, in the above formula (1), examples of the aryl group having 6 to 18 carbon atoms of R 2 include a phenyl group, a naphthyl group, an anthracenyl group, a phenanthryl group, a biphenyl group, a terphenyl group and a cyclohexyl group.

前記式(1)で表される加水分解性シランは、例えばテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラ−n−ブトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、イソブチルトリエトキシシラン、t−ブチルトリエトキシシラン、n−オクチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェナントリルトリメトキシシラン、ビフェニルトリメトキシシラン、ジメトキシジメチルシラン等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 The hydrolyzable silane represented by the formula (1) is, for example, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetra-n-butoxysilane, methyltrimethoxysilane, or methyltri. Ethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, isobutyltriethoxysilane, t-butyltriethoxysilane, n-octyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, fe. Examples thereof include, but are not limited to, nantriltrimethoxysilane, biphenyltrimethoxysilane, and dimethoxydimethylsilane.

(A)成分の加水分解性シランの加水分解縮合物において、前記式(1)で表される加水分解性シランと共に、テトラクロロシラン等の、加水分解基としてハロゲン原子を有するその他の加水分解性シラン化合物を用いてもよい。 In the hydrolyzable condensate of the hydrolyzable silane of the component (A), other hydrolyzable silanes having a halogen atom as a hydrolyzing group such as tetrachlorosilane together with the hydrolyzable silane represented by the above formula (1). Compounds may be used.

式中、Rの式中、aは0〜3の整数を示し、すなわち、式(1)で表される加水分解性シランの加水分解縮合物は、4官能、3官能若しくは2官能のポリシロキサンを示す。In the formula, in the formula of R 2 , a represents an integer of 0 to 3, that is, the hydrolyzable condensate of the hydrolyzable silane represented by the formula (1) is a tetrafunctional, trifunctional or bifunctional poly. Indicates siloxane.

特にRがメチル基、エチル基、フェニル基、又はビフェニル基であり、aが1であるシルセスキオキサンを加水分解縮合物として選択すると、厚膜としたときのクラック耐性が大幅に向上する。In particular, when silsesquioxane in which R 2 is a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, or a biphenyl group and a is 1 is selected as the hydrolysis condensate, the crack resistance when a thick film is formed is significantly improved. ..

前記式(1)で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物の重量平均分子量は、例えば1,000〜100,000である。これらの分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー(以下、GPCと略称する。)分析による標準ポリスチレン換算で得られる平均分子量である。 The weight average molecular weight of the hydrolyzed condensate of at least one hydrolyzable silane represented by the formula (1) is, for example, 1,000 to 100,000. These molecular weights are average molecular weights obtained in terms of standard polystyrene by gel permeation chromatography (hereinafter abbreviated as GPC) analysis.

当該加水分解縮合物を合成する際の加水分解用触媒としては、有機酸、無機酸、有機塩基、無機塩基を挙げることができる。 Examples of the hydrolysis catalyst for synthesizing the hydrolysis condensate include organic acids, inorganic acids, organic bases, and inorganic bases.

有機酸としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、シュウ酸、マレイン酸、メチルマロン酸、アジピン酸、セバシン酸、没食子酸、酪酸、メリット酸、アラキドン酸、2−エチルヘキサン酸、オレイン酸、ステアリン酸、リノール酸、リノレイン酸、サリチル酸、安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−トルエンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、モノクロロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、ギ酸、マロン酸、スルホン酸、フタル酸、フマル酸、クエン酸、酒石酸等を挙げることができる。無機酸としては、例えば、塩酸、硝酸、硫酸、フッ酸、リン酸等を挙げることができる。有機塩基としては、例えば、ピリジン、ピロール、ピペラジン、ピロリジン、ピペリジン、ピコリン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、ジメチルモノエタノールアミン、モノメチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジアザビシクロオクタン、ジアザビシクロノナン、ジアザビシクロウンデセン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン等を挙げることができる。無機塩基としては、例えば、アンモニア、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化バリウム、水酸化カルシウム等を挙げることができる。これら触媒の内、有機酸、無機酸が好ましく、1種又は2種以上の触媒を同時に使用してもよい。 Examples of organic acids include acetic acid, propionic acid, butanoic acid, pentanoic acid, hexanoic acid, heptanic acid, octanoic acid, nonanoic acid, decanoic acid, oxalic acid, maleic acid, methylmalonic acid, adipic acid, sebacic acid and galvanic acid. Acid, butyric acid, merit acid, arachidonic acid, 2-ethylhexanoic acid, oleic acid, stearic acid, linoleic acid, linoleic acid, salicylic acid, benzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-toluenesulfonic acid, benzenesulfonic acid, monochloro Examples thereof include acetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid, formic acid, malonic acid, sulfonic acid, phthalic acid, fumaric acid, citric acid, tartrate acid and the like. Examples of the inorganic acid include hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, hydrofluoric acid, phosphoric acid and the like. Examples of the organic base include pyridine, pyrrol, piperazin, pyrrolidine, piperidine, picolin, trimethylamine, triethylamine, monoethanolamine, diethanolamine, dimethylmonoethanolamine, monomethyldiethanolamine, triethanolamine, diazabicyclooctane, and diazabicyclononane. , Diazabicycloundecene, tetramethylammonium hydroxide, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene and the like. Examples of the inorganic base include ammonia, sodium hydroxide, potassium hydroxide, barium hydroxide, calcium hydroxide and the like. Of these catalysts, organic acids and inorganic acids are preferable, and one or more catalysts may be used at the same time.

加水分解性シランのケイ素原子と結合したアルコキシ基(以下、加水分解基と称する。)の加水分解には、これら加水分解基1モル当たり、0.1〜100モル、若しくは0.1〜10モル、若しくは1〜5モル、又は2〜3.5モルの水を用いる。さらに、加水分解基1モル当たり0.0001〜10モル、好ましくは0.001〜2モルの加水分解用触媒を用いることができる。 For hydrolysis of an alkoxy group (hereinafter referred to as a hydrolyzing group) bonded to a silicon atom of a hydrolyzable silane, 0.1 to 100 mol or 0.1 to 10 mol per 1 mol of these hydrolyzing groups , Or 1 to 5 mol, or 2 to 3.5 mol of water is used. Further, 0.0001 to 10 mol, preferably 0.001 to 2 mol, of a hydrolysis catalyst can be used per mol of the hydrolysis group.

加水分解性シランの加水分解及び縮合を行う際の反応温度は、通常は23℃(室温)以上、加水分解に用いられる有機溶媒の常圧での還流温度以下の範囲で行われる。 The reaction temperature for hydrolyzing and condensing hydrolyzable silane is usually in the range of 23 ° C. (room temperature) or higher and the reflux temperature of the organic solvent used for hydrolysis at normal pressure or lower.

加水分解性シランの加水分解は完全に行う、即ち全ての加水分解基をシラノール基に変えてもよいし、また、部分加水分解する、即ち未反応の加水分解基を残してもよい。また、加水分解及び縮合反応後に未縮合の加水分解物が残存していてもよい。 The hydrolyzable silane may be completely hydrolyzed, i.e. all hydrolyzing groups may be converted to silanol groups, or partially hydrolyzed, i.e. leaving unreacted hydrolyzing groups. Further, an uncondensed hydrolyzate may remain after the hydrolysis and condensation reactions.

加水分解性シランの加水分解縮合物を得る方法としては特に限定されないが、例えば、加水分解性シラン化合物、有機溶媒、水及び加水分解用触媒の混合物を加熱する方法が挙げられる。
具体的には、あらかじめアルコール(有機溶媒)にシュウ酸(加水分解用触媒)及び水を加えてシュウ酸の溶液とした後、当該溶液と加水分解性シラン化合物とを混合し、加熱する方法である。その際、シュウ酸の量は、加水分解性シラン化合物が有する全加水分解基(アルコキシ基等)1モルに対して0.2〜2モルとすることが一般的である。この方法における加熱は、液温50〜180℃で行うことができ、好ましくは、液の蒸発、揮散等が起こらないように、例えば、密閉容器中の還流下で10分から12時間行われる。
また、加水分解性シランの加水分解縮合物の製造手順は、加水分解性シラン化合物に有機溶媒、水及び加水分解用触媒の混合物を加え、反応させる順序であっても、有機溶媒、水及び加水分解用触媒の混合物中に加水分解性シラン化合物を加え、反応させる順序であってもよい。
加水分解性シランの加水分解縮合物を合成する際の反応温度は、均一なポリマーを安定して合成する目的で0〜50℃の反応温度であればよく、反応時間は24〜2000時間で行うことができる。
The method for obtaining a hydrolyzed condensate of hydrolyzable silane is not particularly limited, and examples thereof include a method of heating a mixture of a hydrolyzable silane compound, an organic solvent, water, and a catalyst for hydrolysis.
Specifically, a method in which oxalic acid (a catalyst for hydrolysis) and water are added to alcohol (organic solvent) in advance to prepare a solution of oxalic acid, and then the solution and a hydrolyzable silane compound are mixed and heated. is there. At that time, the amount of oxalic acid is generally 0.2 to 2 mol with respect to 1 mol of the total hydrolyzing group (alkoxy group or the like) contained in the hydrolyzable silane compound. The heating in this method can be performed at a liquid temperature of 50 to 180 ° C., preferably for 10 minutes to 12 hours under reflux in a closed container so that evaporation, volatilization, etc. of the liquid do not occur.
Further, in the procedure for producing a hydrolyzed condensate of hydrolyzable silane, the organic solvent, water and water are added even in the order of adding a mixture of an organic solvent, water and a hydrolyzing catalyst to the hydrolyzable silane compound and reacting them. The order may be such that the hydrolyzable silane compound is added to the mixture of the decomposition solvents and reacted.
The reaction temperature at the time of synthesizing the hydrolyzed condensate of hydrolyzable silane may be any reaction temperature of 0 to 50 ° C. for the purpose of stably synthesizing a uniform polymer, and the reaction time is 24 to 2000 hours. be able to.

前述の加水分解用触媒は、得られる加水分解性シランの加水分解縮合物のシラノール基量をコントロールする目的で選択することができ、一般的に酸を選択するとシラノール基が多く残り、塩基を選択するとシラノール基が少なくなる。シラノール基の量が多いと、被膜形成用組成物の粘度を高める効果があり、被膜形成用組成物の保存安定性が保持できる領域で、適宜選択されればよい。 The above-mentioned hydrolysis catalyst can be selected for the purpose of controlling the amount of silanol groups in the hydrolyzed condensate of the obtained hydrolyzable silane. Generally, when an acid is selected, a large amount of silanol groups remain, and a base is selected. Then, the silanol groups are reduced. A large amount of silanol groups has the effect of increasing the viscosity of the film-forming composition, and may be appropriately selected in a region where the storage stability of the film-forming composition can be maintained.

加水分解に用いられる有機溶媒としては、例えば、トルエン、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、イソブタノール、sec−ブタノール、t−ブタノール、ジアセトンアルコールアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテル、γ−ブチロラクトン、n−プロピルアセテート、乳酸エチル、N−メチル−2−ピロリドン等を挙げることができる。これらの溶媒は1種又は2種以上の組み合わせで用いることができる。
中でも上記有機溶媒としては、一般に加水分解反応によりアルコールが生成するため、アルコール類やアルコール類と相溶性の良好な有機溶媒が用いることが好適である。このような有機溶媒の具体例としては、特にメタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、メチルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテル、n−プロピルアセテート、乳酸エチル、シクロヘキサノン等が好ましく挙げられる。
Examples of the organic solvent used for hydrolysis include toluene, methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol, isobutanol, sec-butanol, t-butanol, diacetone alcohol acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and the like. Cyclohexanone, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether, γ-butyrolactone, n-propyl acetate, ethyl lactate , N-Methyl-2-pyrrolidone and the like. These solvents can be used alone or in combination of two or more.
Among them, as the organic solvent, alcohol is generally produced by a hydrolysis reaction, so it is preferable to use an organic solvent having good compatibility with alcohols and alcohols. Specific examples of such organic solvents include methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol, methyl ethyl ketone, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, and propylene glycol. Preferable examples thereof include monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether, n-propyl acetate, ethyl lactate and cyclohexanone.

このように、(A)成分の加水分解縮合物(ポリシロキサン)は、加水分解性シランを有機溶媒中で加水分解し、その加水分解物を縮合反応させることによって得られ、該縮合物は有機溶媒中に溶解しているポリシロキサンワニスの形態として得られる。 As described above, the hydrolyzed condensate (polysiloxane) of the component (A) is obtained by hydrolyzing the hydrolyzable silane in an organic solvent and subjecting the hydrolyzate to a condensation reaction, and the condensate is organic. It is obtained in the form of a polysiloxane varnish dissolved in a solvent.

得られたポリシロキサンワニスは溶媒置換してもよい。具体的には、加水分解及び縮合反応時の有機溶媒(以下、合成時溶媒と称する。)としてエタノールを選択した場合、エタノール中でポリシロキサンが得られた後に置換用溶媒を加え、エバポレーター等で共沸させエタノールを留去することで、置換用溶媒に溶媒置換できる。溶媒置換の際、合成時溶媒は共沸により留去するため、置換用溶媒よりも沸点が低いことが好ましい。例えば、合成時溶媒は、メタノール、エタノール、イソプロパノール等が挙げられ、置換用溶媒はプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン等が挙げられる。 The obtained polysiloxane varnish may be solvent-substituted. Specifically, when ethanol is selected as the organic solvent during the hydrolysis and condensation reactions (hereinafter referred to as the solvent during synthesis), a substitution solvent is added after the polysiloxane is obtained in ethanol, and an evaporator or the like is used. The solvent can be replaced with a replacement solvent by co-boiling and distilling off ethanol. At the time of solvent substitution, since the solvent during synthesis is azeotropically distilled off, it is preferable that the boiling point is lower than that of the solvent for substitution. For example, the solvent for synthesis includes methanol, ethanol, isopropanol and the like, and the solvent for substitution includes propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone and the like.

また、得られたポリシロキサンワニスは、その保存安定性が悪くなければ、有機溶媒を留去し、固形分濃度100%とすることもできる。 Further, the obtained polysiloxane varnish may have a solid content concentration of 100% by distilling off an organic solvent as long as its storage stability is not poor.

前記ポリシロキサンワニスの希釈等に用いる有機溶媒は、加水分解性シランの加水分解反応に用いた有機溶媒と同じでも異なってもよい。この希釈用溶媒は、特に限定されず、1種でも2種以上でも任意に選択して用いることができる。 The organic solvent used for diluting the polysiloxane varnish or the like may be the same as or different from the organic solvent used for the hydrolysis reaction of the hydrolyzable silane. The dilution solvent is not particularly limited, and either one type or two or more types can be arbitrarily selected and used.

このような希釈用の有機溶媒の具体例としては、トルエン、p−キシレン、o−キシレン、スチレン、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、1−オクタノール、エチレングリコール、ヘキシレングリコール、トリメチレングリコール、1−メトキシ−2−ブタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ベンジルアルコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、γ−ブチルラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルn−ブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸n−プロピル、酢酸イソブチル、酢酸n−ブチル、乳酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロパノール、tert−ブタノール、アリルアルコール、n−プロパノール、2−メチル−2−ブタノール、イソブタノール、n−ブタノール、2−メチル−1−ブタノール、1−ペンタノール、2−メチル−1−ペンタノール、2−エチルヘキサノール、イソプロピルエーテル、1,4−ジオキサン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、N−シクロヘキシル−2−ピロリジノン等が挙げられる。 Specific examples of such an organic solvent for dilution include toluene, p-xylene, o-xylene, styrene, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol, propylene glycol monoethyl ether, and ethylene. Glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol monomethyl Ether, diethylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol, 1-octanol, ethylene glycol, hexylene glycol, trimethylene glycol, 1-methoxy- 2-Butanol, cyclohexanol, diacetone alcohol, furfuryl alcohol, tetrahydrofurfuryl alcohol, benzyl alcohol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, γ-butyllactone, acetone , Methyl ethyl ketone, Methyl isopropyl ketone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl n-butyl ketone, cyclohexanone, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, isobutyl acetate, n-butyl acetate, ethyl lactate, methanol, ethanol, isopropanol, tert -Butanol, allyl alcohol, n-propanol, 2-methyl-2-butanol, isobutanol, n-butanol, 2-methyl-1-butanol, 1-pentanol, 2-methyl-1-pentanol, 2-ethyl Hexanol, isopropyl ether, 1,4-dioxane, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, dimethylsulfoxide, N- Cyclohexyl-2-pyrrolidinone and the like can be mentioned.

これらの中でもより好ましくは、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、エチレングリコール、プロピレングリコール、へキシレングリコール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、乳酸エチル等が挙げられる。 Of these, more preferably, methanol, ethanol, isopropanol, butanol, diacetone alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethylene glycol, propylene glycol, hexylene glycol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, ethyl carbitol, and butyl. Examples thereof include carbitol, diethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether, cyclohexanone, methyl acetate, ethyl acetate and ethyl lactate.

<(B)成分>
本願発明の被膜形成用組成物に含まれる(B)成分の無機微粒子とは、2〜60nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面を1〜4nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆された2〜100nmの一次粒子径を有する変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する両親媒性の有機ケイ素化合物が結合されている、無機微粒子である。
<Ingredient (B)>
The inorganic fine particles of the component (B) contained in the film-forming composition of the present invention have metal oxide colloidal particles (B1) having a primary particle diameter of 2 to 60 nm as a core, and the surface thereof is a primary of 1 to 4 nm. A polyoxyethylene group as a hydrophilic group on the surface of modified metal oxide colloidal particles (B3) having a primary particle size of 2 to 100 nm coated with a coating material (B2) composed of metal oxide colloidal particles having a particle size. , A type having one or more poly (oxyalkylene) groups selected from polyoxypropylene groups or polyoxybutylene groups, and one type selected from alkylene groups or vinylene groups having 1 to 18 carbon atoms as hydrophobic groups. It is an inorganic fine particle to which an amphoteric organic silicon compound having the above groups is bonded.

本願発明において、コロイド粒子の一次粒子径は、透過型電子顕微鏡観察によって測定することが出来る。 In the present invention, the primary particle size of colloidal particles can be measured by observation with a transmission electron microscope.

前記金属酸化物コロイド粒子(B1)は、公知の方法、例えば、イオン交換法、解膠法、加水分解法、反応法により製造することが出来る。イオン交換法の例としては、金属の酸性塩を水素型イオン交換樹脂で処理する方法、又は金属の塩基性塩を水酸基型陰イオン交換樹脂で処理する方法が挙げられる。解膠法の例としては、金属の酸性塩を塩基で中和するか、又は金属の塩基性塩を酸で中和させることによって得られるゲルを洗浄した後、酸又は塩基で解膠する方法が挙げられる。加水分解法の例としては、金属のアルコキシドを加水分解する方法、又は金属の塩基性塩を加熱下で加水分解した後、不要の酸を除去する方法が挙げられる。反応法の例としては、金属の粉末と酸とを反応させる方法が挙げられる。 The metal oxide colloidal particles (B1) can be produced by a known method, for example, an ion exchange method, a gelatinization method, a hydrolysis method, or a reaction method. Examples of the ion exchange method include a method of treating an acidic salt of a metal with a hydrogen type ion exchange resin and a method of treating a basic salt of a metal with a hydroxyl group type anion exchange resin. As an example of the defibration method, a method of neutralizing an acidic salt of a metal with a base or washing a gel obtained by neutralizing a basic salt of a metal with an acid and then deflating with an acid or a base. Can be mentioned. Examples of the hydrolysis method include a method of hydrolyzing a metal alkoxide, or a method of hydrolyzing a basic salt of a metal under heating and then removing an unnecessary acid. An example of a reaction method is a method of reacting a metal powder with an acid.

前記金属酸化物コロイド粒子(B1)は、Ti、Fe、Cu、Zn、Y、Zr、Nb、Mo、In、Sn、Sb、Ta、W、Pb、Bi及びCeからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物である。この金属酸化物のコロイド粒子は原子価2〜6の金属の酸化物であり、それら金属の酸化物の形態として、例えばTiO、Fe、CuO、ZnO、Y、ZrO、Nb、MoO、In、SnO、Sb、Ta、WO、PbO、Bi等を例示することができる。そしてこれらの金属酸化物は単独で用いることも組み合わせて用いることもできる。組み合わせとしては、上記金属酸化物を数種類混合する方法や、上記金属酸化物を複合化させる方法、又は上記金属酸化物を原子レベルで固溶体化する方法が挙げられる。The metal oxide colloidal particles (B1) are at least one selected from the group consisting of Ti, Fe, Cu, Zn, Y, Zr, Nb, Mo, In, Sn, Sb, Ta, W, Pb, Bi and Ce. It is an oxide of a kind of metal. The colloidal particles of this metal oxide are metal oxides having a valence of 2 to 6, and the forms of the metal oxides are, for example, TiO 2 , Fe 2 O 3 , CuO, ZnO, Y 2 O 3 , ZrO 2. , Nb 2 O 5 , MoO 3 , In 2 O 3 , SnO 2 , Sb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , WO 3 , PbO, Bi 2 O 3, and the like can be exemplified. And these metal oxides can be used alone or in combination. Examples of the combination include a method of mixing several kinds of the metal oxides, a method of compounding the metal oxides, and a method of solidifying the metal oxides at the atomic level.

例えば、SnO粒子とWO粒子とがその界面で化学的な結合を生じて複合化されたSnO−WO複合コロイド粒子、SnO粒子とZrO粒子とがその界面で化学的な結合を生じて複合化されたSnO−ZrO複合コロイド粒子、TiOとZrOとSnOとが原子レベルで固溶体を形成して得られたTiO−ZrO−SnO複合コロイド粒子が挙げられる。また、前記金属酸化物コロイド粒子(B1)は、金属成分の組み合わせにより化合物として用いることもでき、例えばZnSb、InSbO、ZnSnOが挙げられる。For example, the SnO 2- WO 3 composite colloidal particles in which the SnO 2 particles and the WO 3 particles form a chemical bond at the interface and are composited, and the SnO 2 particles and the ZrO 2 particles are chemically bonded at the interface. include a SnO 2 -ZrO 2 composite colloidal particles complexed occurs, TiO 2 -ZrO 2 -SnO 2 composite colloidal particles, TiO 2, ZrO 2 and SnO 2 are obtained by forming a solid solution at the atomic level Be done. The metal oxide colloid particles (B1) may also be used as a compound with a combination of metal components, include, for example, ZnSb 2 O 6, InSbO 4, ZnSnO 3.

本願発明では、前記金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面を1〜4nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆し変性金属酸化物コロイド粒子(B3)を得、その表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する有機ケイ素化合物を結合させて(B)成分の無機微粒子を得ることができる。 In the present invention, the metal oxide colloidal particles (B1) are used as nuclei, and the surface thereof is coated with a coating material (B2) composed of metal oxide colloidal particles having a primary particle diameter of 1 to 4 nm. (B3) is obtained, and one or more poly (oxyalkylene) groups selected from polyoxyethylene groups, polyoxypropylene groups, and polyoxybutylene groups are provided on the surface thereof as hydrophilic groups, and as hydrophobic groups. Inorganic fine particles of the component (B) can be obtained by bonding an organic silicon compound having one or more groups selected from an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms or a vinylene group.

前記被覆物(B2)に用いられる金属酸化物は、Si、Al、Sn、Zr、Mo、Sb及びWからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物のコロイド粒子である。前記被覆物(B2)は、金属酸化物の形態として、例えばSiO、Al、SnO、ZrO、MoO、Sb、WO等を例示することができる。そしてこれらの金属酸化物は単独で用いることも組み合わせて用いることもできる。組み合わせとしては、前記金属酸化物を数種類混合する方法や、前記金属酸化物を複合化させる方法、又は前記金属酸化物を原子レベルで固溶体化する方法が挙げられる。The metal oxide used in the coating (B2) is a colloidal particle of an oxide of at least one metal selected from the group consisting of Si, Al, Sn, Zr, Mo, Sb and W. Examples of the metal oxide form of the coating (B2) include SiO 2 , Al 2 O 3 , SnO 2 , ZrO 2 , MoO 3 , Sb 2 O 5 , WO 3, and the like. And these metal oxides can be used alone or in combination. Examples of the combination include a method of mixing several kinds of the metal oxide, a method of compounding the metal oxide, and a method of solidifying the metal oxide at the atomic level.

例えば、SnO粒子とWO粒子とがその界面で化学的な結合を生じて複合化されたSnO−WO複合コロイド粒子、SnO粒子とSiO粒子とがその界面で化学的な結合を生じて複合化されたSnO−SiO複合コロイド粒子、SnO粒子とWO粒子とSiO粒子とがその界面で化学的な結合を生じて複合化されたSnO−WO−SiO複合コロイド粒子、SnO粒子とMoO粒子とSiO粒子とがその界面で化学的な結合を生じて複合化されたSnO−MoO−SiO複合コロイド粒子、Sb粒子とSiO粒子とがその界面で化学的な結合を生じて複合化されたSb−SiO複合コロイド粒子が挙げられる。For example, the SnO 2- WO 3 composite colloidal particles in which the SnO 2 particles and the WO 3 particles form a chemical bond at the interface and are composited, and the SnO 2 particles and the SiO 2 particles are chemically bonded at the interface. SnO 2 -SiO 2 composite colloidal particles complexed occurs a, SnO 2 -WO 3 -SiO where the SnO 2 particles and WO 3 particles and SiO 2 particles are complexed occurs a chemical bonding at the interface 2 composite colloidal particles, SnO 2 particles and MoO 3 particles and SnO 2 -MoO and SiO 2 particles are complexed occurs a chemical bonding at the interface 3 -SiO 2 composite colloidal particles, and Sb 2 O 5 particles and SiO 2 particles chemically bonded to occur which are complexes of Sb 2 O 5 -SiO 2 composite colloidal particles, and the like at the interface.

前記被覆物(B2)は、公知の方法、例えば、イオン交換法、酸化法により製造することができる。イオン交換法の例としては、上記金属の酸性塩を水素型イオン交換樹脂で処理する方法で処理する方法が挙げられる。酸化法の例としては、上記金属又は金属酸化物の粉末と過酸化水素とを反応させる方法が挙げる。 The coating material (B2) can be produced by a known method, for example, an ion exchange method or an oxidation method. Examples of the ion exchange method include a method of treating the acid salt of the metal with a hydrogen type ion exchange resin. Examples of the oxidation method include a method of reacting the above metal or metal oxide powder with hydrogen peroxide.

前記変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の製造方法としては、例えば、下記の第1方法及び第2方法が挙げられる。 Examples of the method for producing the modified metal oxide colloidal particles (B3) include the following first and second methods.

第1方法としては、核としての金属酸化物コロイド粒子(B1)を含有する水性ゾルと、被覆物(B2)を含有する水性ゾルとを、各々の金属酸化物に換算した(B2)/(B1)の質量割合で0.05〜0.5となるように混合した後、その混合ゾルを加熱する方法である。
例えば、金属酸化物コロイド粒子(B1)を含有する水性ゾルと、被覆物(B2)としてSb/SiOの質量割合で0.1〜5であるSb−SiO複合コロイド粒子を含有する水性ゾルとを、各々の金属酸化物に換算した(B2)/(B1)の質量割合で0.05〜0.5となるように混合し、当該混合ゾルを70〜350℃で加熱することにより、金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面をSb−SiO複合コロイド粒子(B2)で被覆した粒子(B3)からなる変性金属酸化物ゾルが得られる。
As the first method, the aqueous sol containing the metal oxide colloidal particles (B1) as the nucleus and the aqueous sol containing the coating material (B2) were converted into the respective metal oxides (B2) / (. This is a method in which the mixed sol is heated after mixing so that the mass ratio of B1) is 0.05 to 0.5.
For example, an aqueous sol containing metal oxide colloidal particles (B1) and an Sb 2 O 5 −SiO 2 composite colloid having a mass ratio of Sb 2 O 5 / SiO 2 as a coating (B2) of 0.1 to 5. The aqueous sol containing the particles was mixed so that the mass ratio of (B2) / (B1) converted to each metal oxide was 0.05 to 0.5, and the mixed sol was mixed at 70 to 350 ° C. By heating with, a modified metal oxide sol composed of particles (B3) having the metal oxide colloidal particles (B1) as nuclei and the surface of which is coated with Sb 2 O 5- SiO 2 composite colloidal particles (B2) is obtained. Be done.

また、第2方法としては、核としての金属酸化物コロイド粒子(B1)を含有する水性ゾルと、被覆物(B2)として、水溶性酸化スズアルカリ塩と水溶性酸化ケイ素アルカリ塩とを、それら各々の金属酸化物に換算したSnO/SiOの質量割合が0.1〜5となるように混合した後、陽イオン交換を行って、アルカリ金属イオンを除去し、得られた複合コロイド粒子の水性ゾルとを、混合し、加熱する方法である。この第2方法に用いられる水溶性アルカリ塩の水溶液は、ナトリウム塩の水溶液を好ましく用いることができる。
例えば、金属酸化物コロイド粒子(B1)を含有する水性ゾルと、被覆物(B2)として、スズ酸ナトリウムと珪酸ナトリウムの水溶液を混合した後に陽イオン交換することで得られるSnO−SiO複合コロイド粒子の水性ゾルとを、各々の金属酸化物に換算した(SnO−SiO)/(B2)の質量割合で0.05〜0.5となるように混合し、当該水性ゾルを70〜350℃で加熱することにより、金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面をSnO−SiO複合コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆された変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の水性ゾルが得られる。
In addition, as a second method, an aqueous sol containing metal oxide colloidal particles (B1) as a nucleus and a water-soluble tin oxide alkali salt and a water-soluble silicon oxide alkali salt as a coating (B2) are used. After mixing so that the mass ratio of SnO 2 / SiO 2 converted to each metal oxide was 0.1 to 5, cation exchange was performed to remove alkali metal ions, and the obtained composite colloidal particles were obtained. This is a method of mixing and heating the aqueous sol of the above. As the aqueous solution of the water-soluble alkaline salt used in this second method, an aqueous solution of a sodium salt can be preferably used.
For example, a SnO 2- SiO 2 composite obtained by mixing an aqueous sol containing metal oxide colloidal particles (B1) and an aqueous solution of sodium nitrate and sodium silicate as a coating (B2) and then exchanging cations. and an aqueous sol of colloidal particles, and mixed such that 0.05 to 0.5 at a mass ratio of in terms of each of the metal oxide (SnO 2 -SiO 2) / ( B2), 70 the aqueous sol by heating at to 350 ° C., the metal oxide colloid particles (B1) as nuclei, coating (B2) coated with modified metal oxide colloidal particles comprising the surface from SnO 2 -SiO 2 composite colloidal particles ( The aqueous sol of B3) is obtained.

金属酸化物のコロイド粒子(B1)と被覆物(B2)との混合は1〜100℃の温度、好ましくは室温から60℃で行うことができる。そして混合後の加熱は、好ましくは70〜350℃で行われる。 The mixing of the colloidal particles (B1) of the metal oxide and the coating (B2) can be performed at a temperature of 1 to 100 ° C., preferably room temperature to 60 ° C. The heating after mixing is preferably performed at 70 to 350 ° C.

前記変性金属酸化物コロイド粒子(B3)のゾルは、本願発明の目的が達成される限り、他の任意の成分を含有することができる。特にオキシカルボン酸類を全金属酸化物の合計量に対し約30質量%以下の割合にて含有させると、分散性等の性能が更に改良されたコロイドが得られる。用いられるオキシカルボン酸の例としては、乳酸、酒石酸、クエン酸、グルコン酸、リンゴ酸、グリコール等が挙げられる。 The sol of the modified metal oxide colloidal particles (B3) can contain any other component as long as the object of the present invention is achieved. In particular, when oxycarboxylic acids are contained in a proportion of about 30% by mass or less with respect to the total amount of all metal oxides, a colloid having further improved performance such as dispersibility can be obtained. Examples of the oxycarboxylic acid used include lactic acid, tartaric acid, citric acid, gluconic acid, malic acid, glycol and the like.

また、変性金属酸化物コロイド粒子(B3)のゾルは、アルカリ成分を含有することができ、例えば、Li、Na、K、Rb、Cs等のアルカリ金属の水酸化物、アンモニア、エチルアミン、イソプロピルアミン、n−プロピルアミン、n−ブチルアミン、ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリアミルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン、トリ−n−オクチルアミン、ジメチルプロピルアミン、ジメチルブチルアミン、ジメチルヘキシルアミン等の1〜3級アルキルアミン、ベンジルアミン、ジメチルベンジルアミン等のアラルキルアミン、ピペリジン等の脂環式アミン、モノエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド等の第四級アンモニウム塩が挙げられる。これらアルカリ成分は1種又は2種以上を混合して含有することができる。前記アルカリ成分は、変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の全金属酸化物に対し約30質量%以下の割合にて含有させることができる。また前記のオキシカルボン酸類と併用することができる。 Further, the sol of the modified metal oxide colloidal particles (B3) can contain an alkaline component, for example, hydroxides of alkali metals such as Li, Na, K, Rb and Cs, ammonia, ethylamine and isopropylamine. , N-propylamine, n-butylamine, diethylamine, di-n-propylamine, diisopropylamine, di-n-butylamine, diisobutylamine, triethylamine, tripropylamine, tributylamine, triisobutylamine, triamylamine, tri- 1-3-class alkylamines such as n-hexylamine, tri-n-octylamine, dimethylpropylamine, dimethylbutylamine, and dimethylhexylamine, aralkylamines such as benzylamine and dimethylbenzylamine, and alicyclic amines such as piperidine, Examples thereof include alkanolamines such as monoethanolamine and triethanolamine, and quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, and tetrapropylammonium hydroxide. These alkaline components can be contained alone or in admixture of two or more. The alkaline component can be contained in a proportion of about 30% by mass or less with respect to the total metal oxide of the modified metal oxide colloidal particles (B3). It can also be used in combination with the above-mentioned oxycarboxylic acids.

前記変性金属酸化物コロイド粒子(B3)のゾルが水性ゾルであるときは、この水性ゾルの水媒体を親水性有機溶媒で置換することにより、有機溶媒ゾルが得られる。この置換は、蒸留法、限外濾過法等、通常の方法により行うことができる。この親水性有機溶媒の例としては、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等の低級アルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類、ジメチルホルムアミド、N,N’−ジメチルアセトアミド等の直鎖アミド類、N−メチル−2−ピロリドン等の環状アミド類、エチルセロソルブ、エチレングリコール等のグリコール類が挙げられる。 When the sol of the modified metal oxide colloidal particles (B3) is an aqueous sol, an organic solvent sol can be obtained by substituting the aqueous medium of the aqueous sol with a hydrophilic organic solvent. This substitution can be performed by a usual method such as a distillation method or an ultrafiltration method. Examples of this hydrophilic organic solvent include lower alcohols such as methyl alcohol, ethyl alcohol and isopropyl alcohol, ethers such as propylene glycol monomethyl ether, linear amides such as dimethylformamide, N, N'-dimethylacetamide, and N. Examples thereof include cyclic amides such as -methyl-2-pyrrolidone, and glycols such as ethyl cellosolve and ethylene glycol.

本願発明の(B)成分である無機微粒子は、前記変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する両親媒性の有機ケイ素化合物が結合したものである。 The inorganic fine particles as the component (B) of the present invention are selected from a polyoxyethylene group, a polyoxypropylene group or a polyoxybutylene group as a hydrophilic group on the surface of the modified metal oxide colloidal particles (B3) 1 An amphipathic organic silicon compound having a poly (oxyalkylene) group of one or more species and having one or more groups selected from an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms or a vinylene group as a hydrophobic group was bonded. It is a thing.

前記両親媒性の有機ケイ素化合物1分子中、前記親水性基であるポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基の付加モル数は3〜40であることが好ましい。 In one molecule of the amphipathic organosilicon compound, the number of added moles of the polyoxyethylene group, polyoxypropylene group or polyoxybutylene group which is the hydrophilic group is preferably 3 to 40.

本願発明に用いられる両親媒性の有機ケイ素化合物の具体例としては、メトキシトリエチレンオキシプロピルトリメトキシシラン、メトキシトリエチレンオキシオクチルトリメトキシシラン、メトキシトリエチレンオキシプロピルトリエトキシシラン、メトキシトリエチレンオキシプロピルトリプロポキシシラン、メトキシトリエチレンオキシプロピルトリアセトキシシラン、メトキシトリプロピレンオキシプロピルトリメトキシシラン、メトキシトリプロピレンオキシオクチルトリメトキシシラン、メトキシトリプロピレンオキシプロピルトリエトキシシラン、メトキシトリプロピレンオキシプロピルトリプロポキシシラン、メトキシトリプロピレンオキシプロピルトリアセトキシシラン、メトキシトリブチレンオキシプロピルトリメトキシシラン、メトキシトリブチレンオキシオクチルトリメトキシシラン、メトキシトリブチレンオキシプロピルトリエトキシシラン、メトキシトリブチレンオキシプロピルトリプロポキシシラン、メトキシトリブチレンオキシプロピルトリアセトキシシラン、メトキシトリエチレンオキシプロピルジメトキシメチルシラン、メトキシトリプロピレンオキシジメトキシメチルシラン、メトキシトリブチレンオキシジメトキシメチルシラン、メトキシトリエチレンオキシプロピルジエトキシメチルシラン、メトキシトリプロピレンオキシジエトキシメチルシラン、メトキシトリブチレンオキシジエトキシメチルシラン、メトキシトリエチレンオキシプロピルジメチルメトキシシラン、メトキシトリプロピレンオキシプロピルジメチルメトキシシラン、メトキシトリブチレンオキシプロピルジメチルメトキシシラン、メトキシトリエチレンオキシプロピルジメチルエトキシシラン、メトキシトリプロピレンオキシプロピルジメチルエトキシシラン、メトキシトリブチレンオキシプロピルジメチルエトキシシラン、ビス−(メトキシトリエチレンオキシプロピル)ジメトキシシラン、ビス−(メトキシトリプロピレンオキシプロピル)ジメトキシシラン、ビス−(メトキシトリブチレンオキシプロピル)ジメトキシシラン、[メトキシ(ポリ(エチレンオキシ)n)プロピル]トリメトキシシラン、[メトキシ(ポリ(エチレンオキシ)n)プロピル]トリエトキシシラン、[メトキシ(ポリ(エチレンオキシ)n)プロピル]トリプロポキシシラン、[メトキシ(ポリ(エチレンオキシ)n)プロピル]トリアセトキシシラン、[メトキシ(ポリ(プロピレンオキシ)n)プロピル]トリメトキシシラン、[メトキシ(ポリ(プロピレンオキシ)n)プロピル]トリエトキシシラン、[メトキシ(ポリ(プロピレンオキシ)n)プロピル]トリプロポキシシラン、「メトキシ(ポリ(プロピレンオキシ)n)プロピル」トリアセトキシシラン、[メトキシ(ポリ(ブチレンオキシ)n)プロピル]トリメトキシシラン、[メトキシ(ポリ(ブチレンオキシ)n)プロピル]トリプロポキシシラン、[メトキシ(ポリ(ブチレンオキシ)n)プロピル]トリアセトキシシラン、[メトキシ(ポリ(エチレンオキシ)n)プロピル]ジメトキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(エチレンオキシ)n)プロピル]ジエトキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(エチレンオキシ)n)プロピル]ジプロポキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(エチレンオキシ)n)プロピル]ジアセトキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(プロピレンオキシ)n)プロピル]ジメトキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(プロピレンオキシ)n)プロピル]ジエトキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(プロピレンオキシ)n)プロピル]ジプロポキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(プロピレンオキシ)n)プロピル]ジアセトキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(ブチレンオキシ)n)プロピル]ジメトキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(ブチレンオキシ)n)プロピル]ジエトキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(ブチレンオキシ)n)プロピル]ジプロポキシメチルシラン、[メトキシ(ポリ(ブチレンオキシ)n)プロピル]ジアセトキシメチルシラン等(n=3〜40)が挙げられる。 Specific examples of the amphoteric organic silicon compound used in the present invention include methoxytriethyleneoxypropyltrimethoxysilane, methoxytriethyleneoxyoctyltrimethoxysilane, methoxytriethyleneoxypropyltriethoxysilane, and methoxytriethyleneoxypropyl. Tripropoxysilane, methoxytriethyleneoxypropyltriacetoxysilane, methoxytripropyleneoxypropyltrimethoxysilane, methoxytripropyleneoxyoctyltrimethoxysilane, methoxytripropyleneoxypropyltriethoxysilane, methoxytripropyleneoxypropyltripropoxysilane, methoxy Tripropyleneoxypropyltriacetoxysilane, methoxytributyleneoxypropyltrimethoxysilane, methoxytributyleneoxyoctyltrimethoxysilane, methoxytributyleneoxypropyltriethoxysilane, methoxytributyleneoxypropyltripropoxysilane, methoxytributyleneoxypropyltri Acetoxysilane, methoxytriethyleneoxypropyldimethoxymethylsilane, methoxytripropyleneoxydimethoxymethylsilane, methoxytributyleneoxydimethoxymethylsilane, methoxytriethyleneoxypropyldiethoxymethylsilane, methoxytripropyleneoxydiethoxymethylsilane, methoxytributylene Oxydiethoxymethylsilane, methoxytriethyleneoxypropyldimethylmethoxysilane, methoxytripropyleneoxypropyldimethylmethoxysilane, methoxytributyleneoxypropyldimethylmethoxysilane, methoxytriethyleneoxypropyldimethylethoxysilane, methoxytripropyleneoxypropyldimethylethoxysilane , Methoxytributylene oxypropyldimethylethoxysilane, bis- (methoxytriethyleneoxypropyl) dimethoxysilane, bis- (methoxytripropyleneoxypropyl) dimethoxysilane, bis- (methoxytributyleneoxypropyl) dimethoxysilane, [methoxy (poly) (Ethethyleneoxy) n) propyl] trimethoxysilane, [methoxy (poly (ethyleneoxy) n) propyl] triethoxysilane, [methoxy (poly (ethyleneoxy) n) propyl] tripropoxysilane, [methoxy (poly (ethyleneoxy) n) propyl] tripropoxysilane Oxy) n) Propyl] triacetoxysilane, [methoxy (poly (propyleneoxy) n) propyl] trimethoxysilane, [methoxy (poly (propyleneoxy) n) propyl] triethoxysilane, [methoxy (poly (propyleneoxy) n) propyl] Tripropoxysilane, "methoxy (poly (propyleneoxy) n) propyl" triacetoxysilane, [methoxy (poly (butyleneoxy) n) propyl] trimethoxysilane, [methoxy (poly (butyleneoxy) n) propyl] tripropoxy Silane, [methoxy (poly (butyleneoxy) n) propyl] triacetoxysilane, [methoxy (poly (ethyleneoxy) n) propyl] dimethoxymethylsilane, [methoxy (poly (ethyleneoxy) n) propyl] diethoxymethylsilane , [Methoxy (poly (ethyleneoxy) n) propyl] dipropoxymethylsilane, [methoxy (poly (ethyleneoxy) n) propyl] diacetoxymethylsilane, [methoxy (poly (propyleneoxy) n) propyl] dimethoxymethylsilane , [Methoxy (poly (propyleneoxy) n) propyl] diethoxymethylsilane, [methoxy (poly (propyleneoxy) n) propyl] dipropoxymethylsilane, [methoxy (poly (propyleneoxy) n) propyl] diacetoxymethyl Silane, [methoxy (poly (butyleneoxy) n) propyl] dimethoxymethylsilane, [methoxy (poly (butyleneoxy) n) propyl] diethoxymethylsilane, [methoxy (poly (butyleneoxy) n) propyl] dipropoxymethyl Examples thereof include silane, [methoxy (poly (butyleneoxy) n) propyl] diacetoxymethylsilane and the like (n = 3 to 40).

前記変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面への前記両親媒性の有機ケイ素化合物の結合量は、変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の全金属酸化物に対して0.1〜30質量%が好ましく、より好ましくは1〜15質量%である。 The amount of the amphoteric organic silicon compound bonded to the surface of the modified metal oxide colloidal particles (B3) is 0.1 to 30 mass by mass with respect to the total metal oxide of the modified metal oxide colloidal particles (B3). % Is preferable, and more preferably 1 to 15% by mass.

本願発明の(B)成分である無機微粒子は、前記変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の水性ゾル又は親水性有機溶媒ゾルに、前記両親媒性有機ケイ素化合物を所定量添加し、希塩酸等の触媒により該有機ケイ素化合物を加水分解させて、変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に結合させることにより得ることができる。 The inorganic fine particles which are the component (B) of the present invention are prepared by adding a predetermined amount of the amphoteric organic silicon compound to the aqueous sol or hydrophilic organic solvent sol of the modified metal oxide colloidal particles (B3), and using dilute hydrochloric acid or the like. It can be obtained by hydrolyzing the organic silicon compound with a catalyst and binding it to the surface of the modified metal oxide colloidal particles (B3).

本願発明の被膜形成用組成物は、本願発明の目的が達成される限り、他の任意の成分を含有することができる。特にリン酸、リン酸系誘導体、リン酸系界面活性剤、オキシカルボン酸を、前記変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の全金属酸化物に対し約30質量%以下の割合にて含有させると、該組成物に含まれる無機微粒子の分散性が更に改良された被膜形成用組成物が得られる。用いられるリン酸系誘導体としてはフェニルホスホン酸及びその金属塩が挙げられる。リン酸系界面活性剤としては、Disperbyk(ビックケミー社)、フォスファノール(登録商標)(東邦化学工業(株))、ニッコール(登録商標)(日光ケミカルズ(株))等が挙げられる。オキシカルボン酸としては、乳酸、酒石酸、クエン酸、グルコン酸、リンゴ酸、グリコール等が挙げられる。 The film-forming composition of the present invention may contain any other component as long as the object of the present invention is achieved. In particular, when phosphoric acid, a phosphoric acid-based derivative, a phosphoric acid-based surfactant, and an oxycarboxylic acid are contained in a ratio of about 30% by mass or less with respect to the total metal oxide of the modified metal oxide colloidal particles (B3). , A film-forming composition in which the dispersibility of the inorganic fine particles contained in the composition is further improved can be obtained. Examples of the phosphoric acid derivative used include phenylphosphonic acid and a metal salt thereof. Examples of the phosphoric acid-based surfactant include Disperbyk (Big Chemie), Phosphanol (registered trademark) (Toho Chemical Industry Co., Ltd.), Nikkor (registered trademark) (Nikko Chemicals Co., Ltd.) and the like. Examples of the oxycarboxylic acid include lactic acid, tartaric acid, citric acid, gluconic acid, malic acid, glycol and the like.

<被膜形成用組成物製造方法>
本願発明はまた、(A)成分:下記式(1)
<Method for manufacturing composition for film formation>
The present invention also comprises the component (A): the following formula (1).

Figure 0006813809
Figure 0006813809

(式中、Rは炭素原子数1〜6のアルキル基であり、Rは炭素原子数1〜18のアルキル基又は炭素原子数6〜18のアリール基であり、aは0〜3の整数である。)
で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物と
(B)成分:2〜60nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面を1〜4nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆された2〜100nmの一次粒子径を有する変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する両親媒性の有機ケイ素化合物が結合されている無機微粒子
とを混合する工程を含む、被膜形成用組成物の製造方法を対象とする。
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 2 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a is 0 to 3. It is an integer.)
Hydrolyzed condensate of at least one hydrophilic silane represented by and component (B): Metal oxide colloidal particles (B1) having a primary particle diameter of 2 to 60 nm are used as nuclei, and the surface thereof is 1 to 4 nm. Polyoxy as a hydrophilic group on the surface of modified metal oxide colloidal particles (B3) having a primary particle size of 2 to 100 nm coated with a coating (B2) composed of metal oxide colloidal particles having a primary particle size. It has one or more poly (oxyalkylene) groups selected from an ethylene group, a polyoxypropylene group or a polyoxybutylene group, and is selected from an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms or a vinylene group as a hydrophobic group. The subject is a method for producing a film-forming composition, which comprises a step of mixing with inorganic fine particles to which an amphoteric organic silicon compound having one or more groups is bonded.

前記(A)成分と前記(B)成分との混合方法は、
(a)前記(A)成分を固体状態で前記(B)成分の分散液に混合させる方法、
(b)前記(A)成分を有機溶媒等に溶解・分散させた液の状態で前記(B)成分の分散液に混合させる方法、
(c)前記(A)成分を固体状態で、前記(B)成分を分散媒に分散させる工程で、同時に添加して混合させる方法、が挙げられる。
これらの中でも操作が容易であることから、(b)の方法で混合させることが好ましい。
The method for mixing the component (A) and the component (B) is as follows.
(A) A method of mixing the component (A) in a solid state with a dispersion of the component (B).
(B) A method of mixing the component (A) with the dispersion of the component (B) in the state of a solution in which the component (A) is dissolved and dispersed in an organic solvent or the like.
(C) A method of simultaneously adding and mixing the component (A) in a solid state in the step of dispersing the component (B) in a dispersion medium can be mentioned.
Among these, since the operation is easy, it is preferable to mix by the method (b).

前記の製造方法に用いられる溶媒は、本願発明の被膜形成用組成物の安定性を損なわない限り、前記(A)成分に用いられる溶媒と前記(B)成分に用いられる溶媒とは、同一でも、異なっていてもよいが、溶媒が異なる場合には、両者の溶媒の極性は近い方が好ましい。 The solvent used in the above-mentioned production method may be the same as the solvent used for the component (A) and the solvent used for the component (B) as long as the stability of the film-forming composition of the present invention is not impaired. , But when the solvents are different, it is preferable that the polarities of the two solvents are close to each other.

本願発明に用いられる溶媒の具体例としては、トルエン、p−キシレン、o−キシレン、m−キシレン、エチルベンゼン、スチレン、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコ−ルモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、1−オクタノール、エチレングリコール、ヘキシレングリコール、トリメチレングリコール、1−メトキシ−2−ブタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ベンジルアルコール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルn−ブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸n−プロピル、酢酸イソブチル、酢酸n−ブチル、乳酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロパノール、tert−ブタノール、アリルアルコール、n−プロパノール、2−メチル−2−ブタノール、イソブタノール、n−ブタノール、2−メチル−1−ブタノール、1−ペンタノール、2−メチル−1−ペンタノール、2−エチルヘキサノール、1−メトキシ−2−プロパノール、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、N−シクロヘキシル−2−ピロリジノン等が挙げられ、これらは単独で用いても、2種以上混合して用いてもよい。 Specific examples of the solvent used in the present invention include toluene, p-xylene, o-xylene, m-xylene, ethylbenzene, styrene, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol, and propylene glycol mono. Ethylene ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol diethyl ether , Dipropylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol, 1-octanol, ethylene glycol, hexylene glycol, trimethylene glycol , 1-methoxy-2-butanol, cyclohexanol, diacetone alcohol, furfuryl alcohol, tetrahydrofurfuryl alcohol, benzyl alcohol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, γ -Butyrolactone, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isopropyl ketone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl n-butyl ketone, cyclohexanone, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, isobutyl acetate, n-butyl acetate, ethyl lactate, methanol, ethanol , Isopropanol, tert-butanol, allyl alcohol, n-propanol, 2-methyl-2-butanol, isobutanol, n-butanol, 2-methyl-1-butanol, 1-pentanol, 2-methyl-1-pentanol , 2-Ethylhexanol, 1-methoxy-2-propanol, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethyl- 2-imidazolidinone, dimethylsulfoxide, N-cyclohexyl -2-pyrrolidinone and the like can be mentioned, and these may be used alone or in combination of two or more.

本願発明の被膜形成用組成物は、(A)成分と(B)成分とを混合する工程の後、加熱する工程を含んでいてもよい。例えば、加熱条件は(A)成分と(B)成分とを混合した後、23℃以上、好ましくは50℃以上、より好ましくは70℃以上であり、150℃以下、好ましくは140℃以下、より好ましくは120℃以下である。加熱時間は1〜48時間であることが好ましい。本願発明の被膜形成用組成物は、加熱して得た場合、均一な膜質の膜が得られる場合がある。 The film-forming composition of the present invention may include a step of mixing the component (A) and the component (B) followed by a step of heating. For example, the heating conditions are 23 ° C. or higher, preferably 50 ° C. or higher, more preferably 70 ° C. or higher, 150 ° C. or lower, preferably 140 ° C. or lower, after mixing the component (A) and the component (B). It is preferably 120 ° C. or lower. The heating time is preferably 1 to 48 hours. When the film-forming composition of the present invention is obtained by heating, a film having a uniform film quality may be obtained.

本願発明の被膜形成用組成物中における(B)成分の含有量は、得られる被膜形成用組成物の分散性が損なわれない範囲であればよく、作製する被膜の目的とする屈折率、透過率、耐熱性に合わせて適宜コントロールすることが可能である。 The content of the component (B) in the film-forming composition of the present invention may be as long as the dispersibility of the obtained film-forming composition is not impaired, and the desired refractive index and transmittance of the film to be produced are not impaired. It can be appropriately controlled according to the rate and heat resistance.

例えば、固形分換算で、(A)成分の加水分解性シランの加水分解縮合物を100質量部としたときに、(B)成分の無機微粒子を0.1〜1,500質量部の範囲で加えることができ、好ましくは100〜1,000質量部であり、中でも膜質を保持し、安定した屈折率を得るために、より好ましくは300〜700質量部である。ここで加水分解性シランの加水分解縮合物の固形分とは、140℃焼成後の固形分である。 For example, when the hydrolyzable condensate of the hydrolyzable silane of the component (A) is 100 parts by mass in terms of solid content, the inorganic fine particles of the component (B) are in the range of 0.1 to 1,500 parts by mass. It can be added, preferably 100 to 1,000 parts by mass, and more preferably 300 to 700 parts by mass in order to retain the film quality and obtain a stable refractive index. Here, the solid content of the hydrolyzed condensate of hydrolyzable silane is the solid content after firing at 140 ° C.

本願発明の被膜形成用組成物は、本願発明の効果を損なわない限りにおいて、その他の成分、例えば、界面活性剤、架橋剤、レベリング剤、沈降防止剤、乳化剤等が含まれていてもよい。 The film-forming composition of the present invention may contain other components such as a surfactant, a cross-linking agent, a leveling agent, an anti-sedimenting agent, and an emulsifier as long as the effects of the present invention are not impaired.

界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類;ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類;ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類;ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、商品名エフトップ(登録商標)EF301、EF303、EF352(三菱マテリアル電子化成(株)製(旧(株)ジェムコ製)、商品名メガファック(登録商標)F171、F173、R−08、R−30(DIC(株)製)、フルオラド(登録商標)FC430、FC431(住友スリーエム(株)製)、商品名アサヒガード(登録商標)AG710,サーフロン(登録商標)S−382、SC101、SC102、SC103、SC104、SC105、SC106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、BYK−302、BYK−307、BYK−322、BYK−323、BYK−330、BYK−333、BYK−370、BYK−375、BYK−378(ビックケミー・ジャパン(株)製)等が挙げられる。 Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene cetyl ether, and polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene octylphenol ether, and polyoxyethylene nonylphenol. Polyoxyethylene alkylaryl ethers such as ethers; polyoxyethylene / polyoxypropylene block copolymers; sorbitan monolaurate, sorbitan monopalmitate, sorbitan monostearate, sorbitan monooleate, sorbitan trioleate, sorbitan tristearate Such as sorbitan fatty acid esters; polyoxyethylene sorbitan monolaurate, polyoxyethylene sorbitan monopalmitate, polyoxyethylene sorbitan monostearate, polyoxyethylene sorbitan trioleate, polyoxyethylene sorbitan tristearate, etc. Nonionic surfactants such as sorbitan fatty acid esters, trade name Ftop (registered trademark) EF301, EF303, EF352 (manufactured by Mitsubishi Materials Denshi Kasei Co., Ltd. (formerly Gemco Co., Ltd.), trade name Megafuck (registered trademark) ) F171, F173, R-08, R-30 (manufactured by DIC Co., Ltd.), Fluorad (registered trademark) FC430, FC431 (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), trade name Asahi Guard (registered trademark) AG710, surflon (registered) Fluorophilic surfactants such as S-382, SC101, SC102, SC103, SC104, SC105, SC106 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shinetsu Chemical Industry Co., Ltd.), BYK-302, BYK-307, BYK-322, BYK-323, BYK-330, BYK-333, BYK-370, BYK-375, BYK-378 (manufactured by BIC Chemie Japan Co., Ltd.) and the like can be mentioned.

これらの界面活性剤は、単独で使用しても、2種以上組み合わせて使用してもよい。界面活性剤の使用量は、(A)成分100質量部に対して0.0001〜5質量部が好ましく、0.001〜3質量部がより好ましく、0.01〜1質量部が更に好ましい。 These surfactants may be used alone or in combination of two or more. The amount of the surfactant used is preferably 0.0001 to 5 parts by mass, more preferably 0.001 to 3 parts by mass, still more preferably 0.01 to 1 part by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A).

架橋剤としては、(A)成分と反応し得る置換基を有する化合物であれば特に限定されるものではない。そのような化合物としては、メチロール基、メトキシメチル基等の架橋形成置換基を有するメラミン系化合物、置換尿素系化合物、エポキシ基、オキセタン基等の架橋形成置換基を含有する化合物、ブロックイソシアネートを含有する化合物、酸無水物を有する化合物、(メタ)アクリル基を有する化合物、フェノプラスト化合物等が挙げられるが、耐熱性や保存安定性の観点から、エポキシ基、ブロックイソシアネート基、(メタ)アクリル基を含有する化合物が好ましい。 The cross-linking agent is not particularly limited as long as it is a compound having a substituent capable of reacting with the component (A). Such compounds include melamine compounds having cross-linking substituents such as methylol group and methoxymethyl group, substituted urea compounds, compounds containing cross-linking substituents such as epoxy group and oxetane group, and blocked isocyanate. Examples thereof include compounds having an acid anhydride, compounds having a (meth) acrylic group, and phenoplast compounds, but from the viewpoint of heat resistance and storage stability, epoxy groups, blocked isocyanate groups, and (meth) acrylic groups A compound containing is preferable.

これらの架橋剤は、単独で使用しても2種以上組み合わせて使用してもよい。架橋剤の使用量は、(A)成分100質量部に対して1〜100質量部が好ましいが、高屈折率を有することを考慮すると、その上限は、好ましくは2質量部、より好ましくは5質量部である。架橋剤を用いることで、架橋剤と(A)成分が有する反応性の末端シラノール基とが反応し、膜密度の向上、耐熱性の向上、熱緩和能力の向上等の効果を発現できる場合がある。 These cross-linking agents may be used alone or in combination of two or more. The amount of the cross-linking agent used is preferably 1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A), but the upper limit thereof is preferably 2 parts by mass, more preferably 5 in consideration of having a high refractive index. It is a mass part. By using a cross-linking agent, the cross-linking agent may react with the reactive terminal silanol group of the component (A) to exhibit effects such as improvement of film density, heat resistance, and heat relaxation ability. is there.

なお、上記のその他の成分は、本願発明の被膜形成用組成物を調製する際の任意の工程で添加することができる。 The above-mentioned other components can be added at any step when preparing the film-forming composition of the present invention.

本願発明の被膜形成用組成物は、基材に塗布し、その後、必要に応じて焼成することで所望の被膜を形成することができる。当該被膜も本発明の対象である。 The film-forming composition of the present invention can be applied to a substrate and then fired, if necessary, to form a desired film. The coating is also the subject of the present invention.

本願発明の被膜形成用組成物の塗布方法は任意であり、例えば、スピンコート法、ディップ法、フローコート法、インクジェット法、スプレー法、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、転写印刷法、刷毛塗り、ブレードコート法、エアーナイフコート法等の方法を採用できる。 The coating method of the film-forming composition of the present invention is arbitrary, for example, spin coating method, dip method, flow coating method, inkjet method, spray method, bar coating method, gravure coating method, slit coating method, roll coating method. , Transfer printing method, brush coating, blade coating method, air knife coating method and the like can be adopted.

また、基材としては、シリコン、インジウム錫酸化物(ITO)が成膜されたガラス、インジウム亜鉛酸化物(IZO)が成膜されたガラス、ポリエチレンテレフタレート(PET)、プラスチック、ガラス、石英、セラミックス等からなる基材等が挙げられ、可撓性を有するフレキシブル基材を用いることもできる。 Further, as the base material, silicon, glass on which indium tin oxide (ITO) is formed, glass on which indium zinc oxide (IZO) is formed, polyethylene terephthalate (PET), plastic, glass, quartz, ceramics. Examples thereof include a base material made of the above, and a flexible base material having flexibility can also be used.

本願発明の被膜形成用組成物は、使用前に濾過を行うことができ、濾過材の有効濾過面積、材質には特に限定されず、目的の製品に合わせて濾過すればよい。 The film-forming composition of the present invention can be filtered before use, and is not particularly limited in the effective filtration area and material of the filter medium, and may be filtered according to the target product.

被膜形成用組成物を基板に塗布した後、溶媒を蒸発させる目的で焼成を行うことができる。焼成温度は特に限定されず、例えば40〜400℃で行うことができる。焼成は、合、膜厚の分布に偏りがなく、高い均一性を発現させたり、また基材上で架橋剤等の反応を進行させたりする目的で、2段階以上の温度変化をつけてもよい。 After the film-forming composition is applied to the substrate, it can be fired for the purpose of evaporating the solvent. The firing temperature is not particularly limited, and the firing temperature can be, for example, 40 to 400 ° C. In the firing, the distribution of the film thickness is not biased, high uniformity is exhibited, and the reaction of the cross-linking agent or the like is allowed to proceed on the substrate, even if the temperature is changed in two or more steps. Good.

焼成方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、ホットプレートやオーブンを用いて、大気、窒素等の不活性ガス、真空中等の適切な雰囲気下で溶媒を蒸発させればよい。 The firing method is not particularly limited, and for example, the solvent may be evaporated in the atmosphere, an inert gas such as nitrogen, or in a vacuum or the like using a hot plate or an oven.

焼成温度及び焼成時間は、目的とする電子デバイスの製造工程に適合した条件を選択すればよく、得られる膜の物性値が電子デバイスの要求特性に適合するような焼成条件を選択すればよい。 For the firing temperature and firing time, conditions suitable for the manufacturing process of the target electronic device may be selected, and firing conditions may be selected so that the physical property values of the obtained film match the required characteristics of the electronic device.

このようにして得られた本願発明の組成物からなる膜(被膜)は、高耐熱性、高透明性、高屈折率、高溶解性、及び低体積収縮を達成できるため、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ、光半導体(LED)素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜トランジスタ(TFT)等の電子デバイスを作製する際の一部材として好適に利用できる。このように、基材と、この基材上に形成された本願発明の組成物からなる被膜とを備える電子デバイスや、光学部材、更に当該被膜を備える相補性金属酸化膜半導体を有する固体撮像素子又は電荷結合素子や、固体撮像素子用埋め込み材料、平坦化材料、又はマイクロレンズ材料も、本発明の対象である。 The film (coating) made of the composition of the present invention thus obtained can achieve high heat resistance, high transparency, high refractive index, high solubility, and low volume shrinkage. Therefore, a liquid crystal display and an organic electro It can be suitably used as a member for manufacturing electronic devices such as liquid crystal displays (EL) displays, optical semiconductor (LED) elements, solid-state imaging devices, organic thin film solar cells, dye-sensitized solar cells, and organic thin film transistors (TFTs). As described above, an electronic device including a base material and a film formed of the composition of the present invention formed on the base material, an optical member, and a solid-state image sensor having a complementary metal oxide semiconductor having the film. Alternatively, a charge-binding element, an implant material for a solid-state image sensor, a flattening material, or a microlens material is also an object of the present invention.

以下、実施例及び比較例を挙げて、本願発明をより具体的に説明するが、本願発明は下記の実施例に限定されるものではない。なお、実施例で用いた各測定装置は以下のとおりである。
[GPC]
装置:東ソー(株)製 HLC−8200 GPC
カラム:Shodex KF−804L+KF−805L
カラム温度:40℃
溶媒:テトラヒドロフラン(以下、THF)
検出器:UV(254nm)
検量線:標準ポリスチレン
[紫外線可視分光光度計]
装置:(株)島津製作所製 SHIMADZU UV−3600
[エリプソメーター]
装置:ジェー・エー・ウーラム・ジャパン(株)製 多入射角分光エリプソメーターVASE
[粘度]
装置:東機産業(株)社製 E型粘度計(20℃)
[電子顕微鏡]
装置:株式会社日立ハイテクノロジーズ社製 S−4800
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. The measuring devices used in the examples are as follows.
[GPC]
Equipment: HLC-8200 GPC manufactured by Tosoh Corporation
Column: Shodex KF-804L + KF-805L
Column temperature: 40 ° C
Solvent: tetrahydrofuran (hereinafter, THF)
Detector: UV (254 nm)
Calibration curve: Standard polystyrene [ultraviolet visible spectrophotometer]
Equipment: SHIMADZU UV-3600 manufactured by Shimadzu Corporation
[Ellipsometer]
Equipment: J.A. Woolam Japan Co., Ltd. Multi-incident angle spectroscopic ellipsometer VASE
[viscosity]
Equipment: E-type viscometer manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd. (20 ° C)
[electronic microscope]
Equipment: Hitachi High-Technologies Corporation S-4800

[合成例1]テトラエトキシシランを原料としたポリシロキサン[S1]の合成
29.17g(0.14mol)のテトラエトキシシラン、116.66gのプロピレングリコールモノメチルエーテル(以下、PGMEと略す。)を300mlのフラスコに入れ、混合溶液をマグネチックスターラーにて撹拌しながら0.01モル/Lの塩酸10.09gを混合溶液に滴下した。添加後、100℃に調整されたオイルバスにフラスコを移し、加熱還流下で240分間反応させた。その後、反応溶液を室温まで冷却し、反応溶液に116.66gのPGMEを加え、反応副生物であるエタノール、水、塩酸を減圧留去し、濃縮して加水分解縮合物(ポリマー)のPGME溶液を得た。次いで、140℃における固形残物換算で52質量%となるようにPGMEを加え調整した。得られたポリマーはテトラエトキシシランを原料としたポリシロキサン(S1と略す。)のワニスである。得られたS1のGPCによる重量平均分子量はポリスチレン換算でMw1823であった。
[Synthesis Example 1] Synthesis of Polysiloxane [S1] Using Tetraethoxysilane as a Raw Material 29.17 g (0.14 mol) of tetraethoxysilane and 116.66 g of propylene glycol monomethyl ether (hereinafter abbreviated as PGME) are 300 ml. To the mixed solution, 10.09 g of 0.01 mol / L hydrochloric acid was added dropwise to the mixed solution while stirring the mixed solution with a magnetic stirrer. After the addition, the flask was transferred to an oil bath adjusted to 100 ° C. and reacted under heating under reflux for 240 minutes. Then, the reaction solution is cooled to room temperature, 116.66 g of PGME is added to the reaction solution, ethanol, water and hydrochloric acid, which are reaction by-products, are distilled off under reduced pressure, and the mixture is concentrated to form a PGME solution of a hydrolyzed condensate (polymer). Got Then, PGME was added and adjusted so as to be 52% by mass in terms of solid residue at 140 ° C. The obtained polymer is a polysiloxane (abbreviated as S1) varnish made from tetraethoxysilane. The weight average molecular weight of the obtained S1 by GPC was Mw1823 in terms of polystyrene.

[合成例2]トリエトキシフェニルシランを原料としたポリシロキサン[S2]の合成
合成例1の出発原料をテトラエトキシシランからトリエトキシフェニルシランに変更し、シランモノマーに対して3.0当量の純水を用いた以外は同様に合成し、ポリシロキサン(S2と略す。)を得た。重量平均分子量はMw1251であった。
[Synthesis Example 2] Synthesis of Polysiloxane [S2] Using Triethoxyphenylsilane as a Raw Material The starting material of Synthesis Example 1 was changed from tetraethoxysilane to triethoxyphenylsilane, and 3.0 equivalents of pure silane monomer was used. The synthesis was carried out in the same manner except that water was used to obtain polysiloxane (abbreviated as S2). The weight average molecular weight was Mw1251.

[合成例3]4−ビフェニルトリメトキシシランを原料としたポリシロキサン[S3]の合成
合成例2の出発原料をトリエトキシフェニルシランから4−ビフェニルトリメトキシシランに変更した以外は合成例1と同様に合成し、ポリシロキサン(S3と略す。)を得た。重量平均分子量はMw1546であった。
[Synthesis Example 3] Synthesis of polysiloxane [S3] using 4-biphenyltrimethoxysilane as a raw material Same as Synthesis Example 1 except that the starting material of Synthesis Example 2 was changed from triethoxyphenylsilane to 4-biphenyltrimethoxysilane. To obtain polysiloxane (abbreviated as S3). The weight average molecular weight was Mw1546.

[合成例4]メチルトリエトキシシランを原料としたポリシロキサン[S4]の合成
合成例2の出発原料をトリエトキシフェニルシランからメチルトリエトキシシランに変更した以外は合成例1と同様に合成し、ポリシロキサン(S4と略す。)を得た。重量平均分子量はMw2979であった。
[Synthesis Example 4] Synthesis of Polysiloxane [S4] Using Methyltriethoxysilane as a Raw Material Synthesis was carried out in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the starting material of Synthesis Example 2 was changed from triethoxyphenylsilane to methyltriethoxysilane. Polysiloxane (abbreviated as S4) was obtained. The weight average molecular weight was Mw2979.

[合成例5]エチルトリエトキシシランを原料としたポリシロキサン[S5]の合成
合成例2の出発原料をトリエトキシフェニルシランからエチルトリエトキシシランに変更した以外は合成例1と同様に合成し、ポリシロキサン(S5と略す。)を得た。重量平均分子量はMw2744であった。
[Synthesis Example 5] Synthesis of Polysiloxane [S5] Using Ethyltriethoxysilane as a Raw Material Synthesis was carried out in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the starting material of Synthesis Example 2 was changed from triethoxyphenylsilane to ethyltriethoxysilane. Polysiloxane (abbreviated as S5) was obtained. The weight average molecular weight was Mw2744.

[合成例6]プロピルトリエトキシシランを原料としたポリシロキサン[S6]の合成
合成例2の出発原料をトリエトキシフェニルシランからプロピルトリエトキシシランに変更した以外は合成例1と同様に合成し、ポリシロキサン(S6と略す。)を得た。重量平均分子量はMw2154であった。
[Synthesis Example 6] Synthesis of Polysiloxane [S6] Using Propyltriethoxysilane as a Raw Material Synthesis was carried out in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the starting material of Synthesis Example 2 was changed from triethoxyphenylsilane to propyltriethoxysilane. Polysiloxane (abbreviated as S6) was obtained. The weight average molecular weight was Mw2154.

[合成例7]イソブチルトリエトキシシランを原料としたポリシロキサン[S7]の合成 合成例2の出発原料をトリエトキシフェニルシランからイソブチルトリエトキシシランに変更した以外は合成例1と同様に合成し、ポリシロキサン(S7と略す。)を得た。重量平均分子量はMw1560であった。 [Synthesis Example 7] Synthesis of polysiloxane [S7] using isobutyltriethoxysilane as a raw material Synthesis was carried out in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the starting material of Synthesis Example 2 was changed from triethoxyphenylsilane to isobutyltriethoxysilane. Polysiloxane (abbreviated as S7) was obtained. The weight average molecular weight was Mw1560.

[合成例8]n−オクチルトリエトキシシランを原料としたポリシロキサン[S8]の合成
合成例2の出発原料をトリエトキシフェニルシランからn−オクチルトリエトキシシランに変更した以外は合成例1と同様に合成し、ポリシロキサン(S8と略す。)を得た。重量平均分子量はMw1371であった。
[Synthesis Example 8] Synthesis of polysiloxane [S8] using n-octyltriethoxysilane as a raw material Same as Synthesis Example 1 except that the starting material of Synthesis Example 2 was changed from triethoxyphenylsilane to n-octyltriethoxysilane. To obtain polysiloxane (abbreviated as S8). The weight average molecular weight was Mw1371.

[合成例9]9−フェナントリルトリメトキシシランを原料としたポリシロキサン[S9]の合成
合成例2の出発原料をトリエトキシフェニルシランから9−フェナントリルトリメトキシシランに変更した以外は合成例1と同様に合成し、ポリシロキサン(S9と略す。)を得た。重量平均分子量はMw1521であった。
[Synthesis Example 9] Synthesis of polysiloxane [S9] using 9-phenanthryltrimethoxysilane as a raw material Synthesis except that the starting material of Synthesis Example 2 was changed from triethoxyphenylsilane to 9-phenanthriltrimethoxysilane. Synthesis was carried out in the same manner as in Example 1 to obtain polysiloxane (abbreviated as S9). The weight average molecular weight was Mw1521.

[合成例10]ジメトキシジメチルシランを原料としたポリシロキサン[S10]の合成
合成例1の出発原料をテトラエトキシシランからジメトキシジメチルシランに変更し、シランモノマーに対して2.0当量の純水を用いた以外は合成例1と同様に合成し、ポリシロキサン(S10と略す。)を得た。重量平均分子量はMw2516であった。
[Synthesis Example 10] Synthesis of polysiloxane [S10] using dimethoxydimethylsilane as a raw material The starting material of Synthesis Example 1 was changed from tetraethoxysilane to dimethoxydimethylsilane, and 2.0 equivalents of pure water was added to the silane monomer. A polysiloxane (abbreviated as S10) was obtained by synthesizing in the same manner as in Synthesis Example 1 except that it was used. The weight average molecular weight was Mw2516.

[合成例11]ポリメタクリル酸メチル[R1]の合成
200mLの反応フラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)92gを仕込み、次いで、20gのメタクリル酸メチル、3gのアゾビスイソブチロニトリルを仕込み、撹拌しながら5分間窒素を流し込み窒素置換を行った。溶液中の溶質が完全に溶解したことを目視で確認後、内温100℃で12時間反応させた。次に、この反応液を、575gのメタノールに注ぎ、ポリマーを析出させた。得られた固体は減圧濾過で分取し、固体を50℃の減圧乾燥器で12時間乾燥させた。乾燥して得られたポリメタクリル酸メチル[R1]のGPCによるMwは3500であった。R1は140℃における固形残物換算で52質量%となるようにPGMEを加え溶解させ、ポリマー溶液を得た。
[Synthesis Example 11] Synthesis of polymethyl methacrylate [R1] 92 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) was charged into a 200 mL reaction flask, and then 20 g of methyl methacrylate and 3 g of azobisisobutyronitrile were charged. , Nitrogen was poured for 5 minutes with stirring to perform nitrogen substitution. After visually confirming that the solute in the solution was completely dissolved, the reaction was carried out at an internal temperature of 100 ° C. for 12 hours. The reaction was then poured into 575 g of methanol to precipitate the polymer. The obtained solid was separated by vacuum filtration, and the solid was dried in a vacuum dryer at 50 ° C. for 12 hours. The Mw of polymethylmethacrylate [R1] obtained by drying by GPC was 3500. PGME was added and dissolved so that R1 was 52% by mass in terms of solid residue at 140 ° C. to obtain a polymer solution.

[合成例12]ポリスチレン[R2]の合成
200mLの反応フラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)92gを仕込み、次いで、20gのスチレン、3gのアゾビスイソブチロニトリルを仕込み、撹拌しながら5分間窒素を流し込み窒素置換を行った。溶液中の溶質が完全に溶解したことを目視で確認後、内温100℃で12時間反応させた。次に、この反応液を、575gのメタノールに注ぎ、ポリマーを析出させた。得られたポリマーは減圧濾過で分取し、50℃の減圧乾燥器で12時間乾燥させた。乾燥して得られたポリスチレン[R2]のGPCによるMwは3810であった。R2は、140℃における固形残物換算で52質量%となるようにPGMEを加え溶解させ、ポリマー溶液を得た。
[Synthesis Example 12] Synthesis of polystyrene [R2] 92 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) is charged in a 200 mL reaction flask, then 20 g of styrene and 3 g of azobisisobutyronitrile are charged, and the mixture is stirred. Nitrogen was poured for a minute to perform nitrogen substitution. After visually confirming that the solute in the solution was completely dissolved, the reaction was carried out at an internal temperature of 100 ° C. for 12 hours. The reaction was then poured into 575 g of methanol to precipitate the polymer. The obtained polymer was separated by vacuum filtration and dried in a vacuum dryer at 50 ° C. for 12 hours. The GPC Mw of the polystyrene [R2] obtained by drying was 3810. R2 was dissolved by adding PGME so as to be 52% by mass in terms of solid residue at 140 ° C. to obtain a polymer solution.

[合成例13](B)成分の分散液の合成
以下のようにして(B)成分の酸化チタン含有核粒子(T1と略す)分散ゾルを調製した。
<核粒子(B1)の調製>
1リットルの容器に純水126.2gを入れ、メタスズ酸17.8g(SnO換算で15g含有)、チタンテトライソプロポキシド284g(TiO換算で80g含有)、シュウ酸二水和物84g(シュウ酸換算で70g)、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液438gを撹拌下に添加した。得られた混合溶液は、シュウ酸/チタン原子のモル比0.78、水酸化テトラエチルアンモニウム/チタン原子のモル比1.04であった。該混合溶液950gを、80℃で2時間保持し、更に580Torrまで減圧して2時間保持し、チタン混合溶液を調製した。調製後のチタン混合溶液のpHは4.7、TiO濃度8.4質量%であった。3リットルのガラスライニングされたオートクレーブ容器に上記チタン混合溶液950g、純水950gを投入し、140℃で5時間水熱処理を行った。室温に冷却後、取り出された水熱処理後の溶液は淡い乳白色の酸化チタンコロイド粒子の水分散ゾルであった。得られたゾルは、pH3.9、TiO濃度4.2質量%、水酸化テトラエチルアンモニウム4.0質量%、シュウ酸1.8質量%、動的光散乱法粒子径16nm、透過型電子顕微鏡観察では、一次粒子径5〜15nmの楕円粒子が観察された。得られたゾルを110℃で乾燥させた粉末のX線回折分析を行い、ルチル型結晶であることが確認された。得られた酸化チタンコロイド粒子を酸化チタン含有核粒子(B1)とした。
[Synthesis Example 13] Synthesis of dispersion liquid of component (B) A dispersion sol of titanium oxide-containing nuclear particles (abbreviated as T1) of component (B) was prepared as follows.
<Preparation of nuclear particles (B1)>
Put 126.2 g of pure water in a 1 liter container, 17.8 g of metasuccinic acid (containing 15 g in terms of SnO 2 ), 284 g of titanium tetraisopropoxide (containing 80 g in terms of TiO 2 ), 84 g of oxalic acid dihydrate (containing 80 g in terms of TiO 2 ). 438 g of a 35 mass% tetraethylammonium hydroxide aqueous solution (70 g in terms of oxalic acid) was added under stirring. The obtained mixed solution had a molar ratio of oxalic acid / titanium atom of 0.78 and a molar ratio of tetraethylammonium hydroxide / titanium atom of 1.04. 950 g of the mixed solution was held at 80 ° C. for 2 hours, further reduced to 580 Torr and held for 2 hours to prepare a titanium mixed solution. The pH of the titanium mixed solution after preparation was 4.7, and the TiO 2 concentration was 8.4% by mass. 950 g of the titanium mixture solution and 950 g of pure water were put into a 3 liter glass-lined autoclave container, and hydrothermal treatment was performed at 140 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, the solution after hydrothermal treatment taken out was an aqueous dispersion sol of pale milky white titanium oxide colloidal particles. The obtained sol had a pH of 3.9, a TiO 2 concentration of 4.2% by mass, tetraethylammonium hydroxide of 4.0% by mass, oxalic acid of 1.8% by mass, a dynamic light scattering method particle diameter of 16 nm, and a transmission electron microscope. In the observation, elliptical particles having a primary particle diameter of 5 to 15 nm were observed. X-ray diffraction analysis of the powder obtained by drying the obtained sol at 110 ° C. was performed, and it was confirmed that it was a rutile type crystal. The obtained titanium oxide colloidal particles were designated as titanium oxide-containing nuclear particles (B1).

<被覆物(B2)の調製>
次いで珪酸ナトリウム水溶液(3号珪曹、SiOとして34質量%含有、富士化学(株)製)27.9gを純水27.9gにて希釈を行った後、ここにスズ酸ナトリウム・3水和物(SnOとして55質量%含有、昭和化工(株)製)8.6gを添加し、撹拌下で溶解し、珪酸−スズ酸ナトリウムの水溶液を得た。得られた珪酸スズ酸ナトリウム水溶液64.4gを純水411gで希釈し、水素型陽イオン交換樹脂(アンバーライト(登録商標)IR−120B、オルガノ(株))を充填したカラムに通液することにより、二酸化ケイ素−スズ酸複合酸化物コロイド粒子の水分散ゾル(pH2.7、SnOとして0.83質量%、SiOとして1.67質量%を含有、SiO/SnO質量比2.0)570gを得た。次いで、得られた水分散ゾルにジイソプロピルアミンを2.9g添加した。得られたゾルはアルカリ性の二酸化ケイ素−スズ酸複合酸化物コロイド粒子の水分散ゾルであり、pH8.2、一次粒子径5nm以下のコロイド粒子のゾルであった。得られた二酸化ケイ素−スズ酸複合酸化物コロイド粒子を被覆物(B2)とした。
<Preparation of coating (B2)>
Next, 27.9 g of an aqueous sodium silicate solution (No. 3 silicate, containing 34% by mass as SiO 2 , manufactured by Fuji Chemical Co., Ltd.) was diluted with 27.9 g of pure water, and then sodium silicate and 3 water were added. 8.6 g of a Japanese product (containing 55% by mass as SnO 2 , manufactured by Showa Kako Co., Ltd.) was added and dissolved under stirring to obtain an aqueous solution of sodium silicate-sodium silicate. 64.4 g of the obtained sodium silicate aqueous solution is diluted with 411 g of pure water and passed through a column packed with a hydrogen type cation exchange resin (Amberlite (registered trademark) IR-120B, Organo Co., Ltd.). Accordingly, silicon dioxide - water dispersion sol (pH 2.7 stannate composite oxide colloidal particles, 0.83% by mass as SnO 2, containing 1.67% by mass as SiO 2, SiO 2 / SnO 2 weight ratio of 2. 0) 570 g was obtained. Then, 2.9 g of diisopropylamine was added to the obtained aqueous dispersion sol. The obtained sol was an aqueous dispersion sol of alkaline silicon dioxide-tin acid composite oxide colloidal particles, and was a sol of colloidal particles having a pH of 8.2 and a primary particle diameter of 5 nm or less. The obtained silicon dioxide-tin acid composite oxide colloidal particles were used as a coating material (B2).

<変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の調製>
次いで、撹拌下で酸化チタン含有核粒子(B1)1900gに二酸化ケイ素−スズ酸複合酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)570gを添加した後、温度95℃で3時間保持し、変性酸化チタン複合コロイド粒子の水性ゾルを得た。その後、得られた変性酸化チタン複合コロイド粒子の水性ゾルを、水素型陽イオン交換樹脂(アンバーライト(登録商標)IR−120B、オルガノ(株))を充填したカラムに通し、酸性の変性酸化チタン複合コロイド粒子の水性ゾル2730gを得た。得られたゾルはpH2.7、全金属酸化物濃度は4.0質量%であった。得られたゾルにジイソブチルアミンを2.2g添加した。このときのゾルのpHは4.5であった。次いで得られたゾルをナス型フラスコ付きエバポレータに投入して濃縮し、メタノールを添加しながら600Torrで水を留去することにより、ジイソブチルアミンが結合した変性酸化チタンコロイド粒子(B3)のメタノールゾル533gを得た。得られたメタノールゾルは、比重0.949、粘度1.2mPa・s、pH4.8(ゾルと同質量の水で希釈)、全金属酸化物濃度20.5質量%、水分3.1%であった。
<Preparation of modified metal oxide colloidal particles (B3)>
Next, after adding 570 g of a coating material (B2) composed of silicon dioxide-silicic acid composite oxide colloidal particles to 1900 g of titanium oxide-containing nuclear particles (B1) under stirring, the mixture was held at a temperature of 95 ° C. for 3 hours to modify titanium oxide. An aqueous sol of composite colloidal particles was obtained. Then, the obtained aqueous sol of the modified titanium oxide composite colloidal particles was passed through a column packed with a hydrogen type cation exchange resin (Amberlite (registered trademark) IR-120B, Organo Co., Ltd.), and the acidic modified titanium oxide was passed. 2730 g of an aqueous sol of composite colloidal particles was obtained. The obtained sol had a pH of 2.7 and a total metal oxide concentration of 4.0% by mass. 2.2 g of diisobutylamine was added to the obtained sol. The pH of the sol at this time was 4.5. Next, the obtained sol was put into an evaporator with a eggplant-shaped flask to concentrate, and water was distilled off at 600 Torr while adding methanol to 533 g of a methanol sol of modified titanium oxide colloidal particles (B3) to which diisobutylamine was bound. Got The obtained methanol sol had a specific gravity of 0.949, a viscosity of 1.2 mPa · s, a pH of 4.8 (diluted with water having the same mass as the sol), a total metal oxide concentration of 20.5 mass%, and a water content of 3.1%. there were.

<有機ケイ素化合物が結合されている無機微粒子(B)の調製>
得られたメタノールゾル533gにポリエーテル変性シラン(3−[メトキシ(ポリエチレンオキシ)nプロピル]トリメトキシシラン(n=5〜15);信越シリコーン製:商品名X−12−641)を5.5g添加し、還留加熱を5時間行い、ポリエーテル変性シランを変性酸化チタンコロイド粒子の表面に結合させた。次いでエバポレータを用いて80Torrでプロピレングリコールモノメチルエーテルを添加しながらメタノールを留去することにより、メタノールをプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶媒置換して、ポリエーテル変性シランが表面に結合した変性酸化チタンコロイド粒子のプロピレングリコールモノメチルエーテル分散ゾルが270g得られた。得られたゾルは比重1.353、粘度7.0mPa・s、全金属酸化物濃度40.3質量%、透過型電子顕微鏡観察による1次粒子径は5〜10nm、動的光散乱法粒子径は9nmであった。変性酸化チタンコロイド粒子の表面に結合したポリエーテル変性シランは、変性酸化チタンコロイド粒子に対して4.0質量%であった。次いで、140℃における固形残物換算で52質量%となるようにエバポレータを用いて濃縮し、(B)成分の金属酸化物ゾル(T1)を得た。
<Preparation of inorganic fine particles (B) to which an organosilicon compound is bound>
5.5 g of a polyether-modified silane (3- [methoxy (polyethyleneoxy) npropyl] trimethoxysilane (n = 5 to 15); manufactured by Shinetsu Silicone: trade name X-12-641) was added to 533 g of the obtained methanol sol. The mixture was added and subjected to distillation heating for 5 hours to bond the polyether-modified silane to the surface of the modified titanium oxide colloidal particles. Then, by distilling off methanol while adding propylene glycol monomethyl ether at 80 Torr using an evaporator, methanol was replaced with propylene glycol monomethyl ether as a solvent, and modified titanium oxide colloidal particles in which polyether-modified silane was bonded to the surface were obtained. 270 g of propylene glycol monomethyl ether dispersion sol was obtained. The obtained sol has a specific gravity of 1.353, a viscosity of 7.0 mPa · s, a total metal oxide concentration of 40.3 mass%, a primary particle diameter of 5 to 10 nm as observed by a transmission electron microscope, and a dynamic light scattering particle diameter. Was 9 nm. The content of the polyether-modified silane bonded to the surface of the modified titanium oxide colloidal particles was 4.0% by mass with respect to the modified titanium oxide colloidal particles. Then, it was concentrated using an evaporator so as to have a solid residue equivalent of 52% by mass at 140 ° C. to obtain a metal oxide sol (T1) as a component (B).

[合成例14](B)成分に含まれない金属酸化物ゾルの合成
以下のようにして酸化チタン含有核粒子(T2と略す)の分散ゾルを調製した。
<金属酸化物コロイド粒子の調製>
1リットルの容器に純水126.2gを入れ、メタスズ酸17.8g(SnO換算で15g含有)、チタンテトライソプロポキシド284g(TiO換算で80g含有)、シュウ酸二水和物84g(シュウ酸換算で70g)、35質量%水酸化テトラエチルアンモニウム水溶液438gを撹拌下に添加した。得られた混合溶液は、シュウ酸/チタン原子のモル比0.78、水酸化テトラエチルアンモニウム/チタン原子のモル比1.04であった。該混合溶液950gを、80℃で2時間保持し、更に580Torrまで減圧して2時間保持し、チタン混合溶液を調製した。調製後のチタン混合溶液のpHは4.7、TiO濃度8.4質量%であった。3リットルのガラスライニングされたオートクレーブ容器に上記チタン混合溶液950g、純水950gを投入し、140℃で5時間水熱処理を行った。室温に冷却後、取り出された水熱処理後の溶液は淡い乳白色の酸化チタンコロイド粒子の水性ゾルであった。得られたゾルは、pH3.9、TiO濃度4.2質量%、水酸化テトラエチルアンモニウム4.0質量%、シュウ酸1.8質量%、動的光散乱法粒子径16nm、透過型電子顕微鏡観察では、一次粒子径5〜15nmの楕円粒子が観察された。得られたゾルを110℃で乾燥させた粉末のX線回折分析を行い、ルチル型結晶であることが確認された。
[Synthesis Example 14] Synthesis of metal oxide sol not contained in component (B) A dispersed sol of titanium oxide-containing nuclear particles (abbreviated as T2) was prepared as follows.
<Preparation of metal oxide colloidal particles>
Put 126.2 g of pure water in a 1 liter container, 17.8 g of metasuccinic acid (containing 15 g in terms of SnO 2 ), 284 g of titanium tetraisopropoxide (containing 80 g in terms of TiO 2 ), 84 g of oxalic acid dihydrate (containing 80 g in terms of TiO 2 ). 438 g of a 35 mass% tetraethylammonium hydroxide aqueous solution (70 g in terms of oxalic acid) was added under stirring. The obtained mixed solution had a molar ratio of oxalic acid / titanium atom of 0.78 and a molar ratio of tetraethylammonium hydroxide / titanium atom of 1.04. 950 g of the mixed solution was held at 80 ° C. for 2 hours, further reduced to 580 Torr and held for 2 hours to prepare a titanium mixed solution. The pH of the titanium mixed solution after preparation was 4.7, and the TiO 2 concentration was 8.4% by mass. 950 g of the titanium mixture solution and 950 g of pure water were put into a 3 liter glass-lined autoclave container, and hydrothermal treatment was performed at 140 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, the solution after hydrothermal treatment taken out was an aqueous sol of pale milky white titanium oxide colloidal particles. The obtained sol had a pH of 3.9, a TiO 2 concentration of 4.2% by mass, tetraethylammonium hydroxide of 4.0% by mass, oxalic acid of 1.8% by mass, a dynamic light scattering method particle diameter of 16 nm, and a transmission electron microscope. In the observation, elliptical particles having a primary particle diameter of 5 to 15 nm were observed. X-ray diffraction analysis of the powder obtained by drying the obtained sol at 110 ° C. was performed, and it was confirmed that it was a rutile type crystal.

<被覆物となる金属酸化物コロイド粒子の調製>
次いで珪酸ナトリウム水溶液(3号珪曹、SiOとして34質量%含有、富士化学(株)製)27.9gを純水27.9gにて希釈を行った後、スズ酸ナトリウム・3水和物(SnOとして55質量%含有、昭和化工(株)製)8.6gを添加し、撹拌下で溶解し、珪酸−スズ酸ナトリウムの水溶液を得た。得られた珪酸スズ酸ナトリウム水溶液64.4gを純水411gで希釈し、水素型陽イオン交換樹脂(アンバーライト(登録商標)IR−120B)を充填したカラムに通液することにより、二酸化ケイ素−スズ酸複合酸化物コロイド粒子の水性ゾル(pH2.7、SnOとして0.83質量%、SiOとして1.67質量%を含有、SiO/SnO質量比2.0)570gを得た。次いで、得られた水性ゾルにジイソプロピルアミンを2.9g添加した。得られたゾルはアルカリ性の二酸化ケイ素−スズ酸複合酸化物コロイド粒子の水性ゾルであり、pH8.2、一次粒子径5nm以下のコロイド粒子であった。得られた二酸化ケイ素−スズ酸複合酸化物コロイド粒子を被覆物とした。
<Preparation of metal oxide colloidal particles to be a coating>
Next, 27.9 g of an aqueous sodium silicate solution (No. 3 silicate, containing 34% by mass as SiO 2 , manufactured by Fuji Chemical Co., Ltd.) was diluted with 27.9 g of pure water, and then sodium silicate trihydrate. 8.6 g (containing 55% by mass as SnO 2 , manufactured by Showa Kako Co., Ltd.) was added and dissolved under stirring to obtain an aqueous solution of sodium silicate-sodium silicate. Silicon dioxide-silicon dioxide-is obtained by diluting 64.4 g of the obtained sodium silicate aqueous solution with 411 g of pure water and passing it through a column packed with a hydrogen-type cation exchange resin (Amberlite (registered trademark) IR-120B). aqueous sol of stannic acid composite oxide colloidal particles (pH 2.7, 0.83% by mass as SnO 2, containing 1.67% by mass as SiO 2, SiO 2 / SnO 2 mass ratio of 2.0) was obtained 570g .. Then, 2.9 g of diisopropylamine was added to the obtained aqueous sol. The obtained sol was an aqueous sol of alkaline silicon dioxide-tinic acid composite oxide colloidal particles, and was a colloidal particle having a pH of 8.2 and a primary particle diameter of 5 nm or less. The obtained silicon dioxide-tin acid composite oxide colloidal particles were used as a coating material.

<変性金属酸化物コロイド粒子の調製>
次いで、撹拌下で酸化チタン含有核粒子の水性ゾル1900gに二酸化ケイ素−スズ酸複合酸化物コロイド粒子からなる被覆物570gを添加した後、温度95℃で3時間保持し、変性酸化チタン複合コロイド粒子の水性ゾルを得た。その後、得られた変性酸化チタン複合コロイド粒子の水性ゾルを、水素型陽イオン交換樹脂(アンバーライト(登録商標)IR−120B、オルガノ(株))を充填したカラムに通し、酸性の変性酸化チタン複合コロイド粒子の水性ゾル2730gを得た。得られたゾルはpH2.7、全金属酸化物濃度は4.0質量%であった。得られたゾルにジイソブチルアミンを2.2g添加した。このときのゾルのpHは4.5であった。次いで得られたゾルをナス型フラスコ付きエバポレータに投入して濃縮し、メタノールを添加しながら600Torrで水を留去することにより、変性酸化チタンコロイド粒子のメタノール分散ゾル364gを得た。
得られたメタノール分散ゾルは、比重1.062、粘度1.8mPa・s、pH4.8(ゾルと同質量の水で希釈)、全金属酸化物濃度30.5質量%、水分1.0%であった。次いで、140℃における固形残物換算で52質量%となるようにエバポレータを用いて濃縮し、金属酸化物ゾル(T2)を得た。
<Preparation of modified metal oxide colloidal particles>
Next, after adding 570 g of a coating material composed of silicon dioxide-tinic acid composite oxide colloidal particles to 1900 g of an aqueous sol of titanium oxide-containing nuclear particles under stirring, the particles were kept at a temperature of 95 ° C. for 3 hours to modify the modified titanium oxide composite colloidal particles. Aqueous sol was obtained. Then, the obtained aqueous sol of the modified titanium oxide composite colloidal particles was passed through a column packed with a hydrogen type cation exchange resin (Amberlite (registered trademark) IR-120B, Organo Co., Ltd.), and the acidic modified titanium oxide was passed. 2730 g of an aqueous sol of composite colloidal particles was obtained. The obtained sol had a pH of 2.7 and a total metal oxide concentration of 4.0% by mass. 2.2 g of diisobutylamine was added to the obtained sol. The pH of the sol at this time was 4.5. Next, the obtained sol was put into an evaporator with an eggplant-shaped flask and concentrated, and water was distilled off at 600 Torr while adding methanol to obtain 364 g of a methanol-dispersed sol of modified titanium oxide colloidal particles.
The obtained methanol-dispersed sol has a specific gravity of 1.062, a viscosity of 1.8 mPa · s, a pH of 4.8 (diluted with water having the same mass as the sol), a total metal oxide concentration of 30.5 mass%, and a water content of 1.0%. Met. Then, it was concentrated using an evaporator so as to be 52% by mass in terms of solid residue at 140 ° C. to obtain a metal oxide sol (T2).

[2]被膜形成用組成物及び被膜の作製
[実施例1]
(SV1の調製)
20mLナス型フラスコに合成例13で得られた15.00gのT1を秤量し、次いで、PGME1.5676gを加え、合成例1で得たS1を3.00g加え、室温にて混合して、140℃焼成時の固形分濃度48質量%の被膜形成用組成物(SV1)を調製した。
(SV1Cの調製)
20mLナス型フラスコにSV1を10.00g秤量し、オイルバスを用いて80℃で1時間加熱した。加熱後、内温が23℃になるまで放冷し、加熱後の被膜形成用組成物SV1Cを得た。
[2] Preparation of film-forming composition and film [Example 1]
(Preparation of SV1)
15.00 g of T1 obtained in Synthesis Example 13 was weighed into a 20 mL eggplant-shaped flask, then 1.5676 g of PGME was added, 3.00 g of S1 obtained in Synthesis Example 1 was added, and the mixture was mixed at room temperature to 140. A film-forming composition (SV1) having a solid content concentration of 48% by mass at the time of firing at ° C. was prepared.
(Preparation of SV1C)
10.00 g of SV1 was weighed in a 20 mL eggplant-shaped flask and heated at 80 ° C. for 1 hour using an oil bath. After heating, the mixture was allowed to cool until the internal temperature reached 23 ° C. to obtain a film-forming composition SV1C after heating.

(粘度測定)
SV1及びSV1Cは、それぞれ初期粘度を測定し、23℃で30日間放置試験を行い、30日後の粘度を測定した。
(被膜の作製及び評価)
SV1又はSV1Cを、シリコン基板又は石英基板上に、スピンコーターを用いて1000rpmで30秒スピンコートし、次いでホットプレートを用いて80℃で1分間、続いて230℃で5分間焼成を行い、被膜を得た。
シリコン基板上に得られた被膜において、エリプソメーターを用いて、膜厚と、波長550nmの屈折率を測定し、石英基板上に得られた膜において、透過率を測定し、400nm〜800nmの平均透過率を算出した。
またシリコン基板上に得られた被膜において、目視で白化とクラックが確認されるかを試験した。白化やクラックが発生した場合は×、発生しない場合は〇として判定した。
(Viscosity measurement)
The initial viscosities of SV1 and SV1C were measured respectively, and a standing test was conducted at 23 ° C. for 30 days, and the viscosities after 30 days were measured.
(Preparation and evaluation of coating)
SV1 or SV1C is spin-coated on a silicon substrate or quartz substrate at 1000 rpm for 30 seconds using a spin coater, and then fired at 80 ° C. for 1 minute and then at 230 ° C. for 5 minutes using a hot plate to coat the film. Got
In the film obtained on the silicon substrate, the film thickness and the refractive index at a wavelength of 550 nm were measured using an ellipsometer, and in the film obtained on the quartz substrate, the transmittance was measured, and the average of 400 nm to 800 nm was measured. The transmittance was calculated.
In addition, it was tested whether whitening and cracks were visually confirmed in the film obtained on the silicon substrate. When whitening or cracks occurred, it was judged as x, and when it did not occur, it was judged as 〇.

[実施例2]
実施例1のS1をS2に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV2)を調製し、さらに同様の方法によりSV2を加熱し、被膜形成用組成物SV2Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[実施例3]
実施例1のS1をS3に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV3)を調製し、さらに同様の方法によりSV3を加熱し、被膜形成用組成物SV3Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[実施例4]
実施例1のS1をS4に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV4)を調製し、さらに同様の方法によりSV4を加熱し、被膜形成用組成物SV4Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[実施例5]
実施例1のS1をS5に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV5)を調製し、さらに同様の方法によりSV5を加熱し、被膜形成用組成物SV5Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[実施例6]
実施例1のS1をS6に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV6)を調製し、さらに同様の方法によりSV6を加熱し、被膜形成用組成物SV6Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[実施例7]
実施例1のS1をS7に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV7)を調製し、さらに同様の方法によりSV7を加熱し、被膜形成用組成物SV7Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[実施例8]
実施例1のS1をS8に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV8)を調製し、さらに同様の方法によりSV8を加熱し、被膜形成用組成物SV8Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[実施例9]
実施例1のS1をS9に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV9)を調製し、さらに同様の方法によりSV9を加熱し、被膜形成用組成物SV9Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[実施例10]
実施例1のS1をS10に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(SV10)を調製し、さらに同様の方法によりSV10を加熱し、被膜形成用組成物SV10Cを得た。SV2及びSV2Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[Example 2]
A film-forming composition (SV2) was prepared in the same manner except that S1 in Example 1 was changed to S2, and SV2 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV2C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.
[Example 3]
A film-forming composition (SV3) was prepared in the same manner except that S1 in Example 1 was changed to S3, and SV3 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV3C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.
[Example 4]
A film-forming composition (SV4) was prepared in the same manner except that S1 in Example 1 was changed to S4, and SV4 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV4C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.
[Example 5]
A film-forming composition (SV5) was prepared in the same manner except that S1 of Example 1 was changed to S5, and SV5 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV5C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.
[Example 6]
A film-forming composition (SV6) was prepared in the same manner except that S1 of Example 1 was changed to S6, and SV6 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV6C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.
[Example 7]
A film-forming composition (SV7) was prepared in the same manner except that S1 in Example 1 was changed to S7, and SV7 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV7C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.
[Example 8]
A film-forming composition (SV8) was prepared in the same manner except that S1 in Example 1 was changed to S8, and SV8 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV8C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.
[Example 9]
A film-forming composition (SV9) was prepared in the same manner except that S1 of Example 1 was changed to S9, and SV9 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV9C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.
[Example 10]
A film-forming composition (SV10) was prepared in the same manner except that S1 of Example 1 was changed to S10, and SV10 was further heated by the same method to obtain a film-forming composition SV10C. For SV2 and SV2C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.

[実施例11]
20mLナス型フラスコに合成例13で得られた15.00gのT1を秤量し、次いで、PGME0.31g、γ−ブチルラクトン0.47gを加え、合成例1で得たS1を3.00g、界面活性剤としてBYK−307を0.06g加え、室温にて混合して、140℃焼成時の固形分濃度50質量%の被膜形成用組成物(SV11)を調製した。
得られたSV11について、上記と同様の方法により加熱し、被膜形成用組成物SV11Cを得た。
SV11及びSV11Cについて、実施例1と同様の手順にて粘度測定、並びに被膜の作製及び評価を実施した。
[Example 11]
15.00 g of T1 obtained in Synthesis Example 13 was weighed into a 20 mL eggplant-shaped flask, then 0.31 g of PGME and 0.47 g of γ-butyl lactone were added, and 3.00 g of S1 obtained in Synthesis Example 1 was added to the surface. 0.06 g of BYK-307 was added as an activator and mixed at room temperature to prepare a film-forming composition (SV11) having a solid content concentration of 50% by mass at the time of firing at 140 ° C.
The obtained SV11 was heated by the same method as described above to obtain a film-forming composition SV11C.
For SV11 and SV11C, the viscosity was measured and the coating was prepared and evaluated in the same procedure as in Example 1.

実施例1〜11について、膜厚、屈折率、透過率、粘度、粘度の保存安定性、白化及びクラックの有無の結果を表1に示した。 Table 1 shows the results of film thickness, refractive index, transmittance, viscosity, storage stability of viscosity, whitening, and presence / absence of cracks in Examples 1 to 11.

[比較例1]
20mLナス型フラスコに合成例14で得られた15.00gのT2を秤量し、次いで、PGME1.5676gを加え、合成例1で得たS1を3.00g加え、140℃焼成時の固形分濃度が48質量%の被膜形成用組成物(RV1)を調製した。
(粘度測定)
RV1は、初期粘度を測定し、23℃で30日間放置試験を行い、30日後の粘度を測定した。
(被膜の作製及び評価)
RV1を、シリコン基板にスピンコーターを用いて、1000rpmで30秒スピンコートし、ホットプレートを用いて、80℃で1分間、次いで230℃で5分間焼成を行い、被膜を得た。シリコン基板上に得た被膜において、目視で白化、クラックが確認されるかを試験した。白化やクラックが発生した場合は×、発生しない場合は〇として判定した。
[Comparative Example 1]
Weigh 15.00 g of T2 obtained in Synthesis Example 14 into a 20 mL eggplant-shaped flask, then add 1.5676 g of PGME, add 3.00 g of S1 obtained in Synthesis Example 1, and solid content concentration at 140 ° C. baking. A 48% by mass film-forming composition (RV1) was prepared.
(Viscosity measurement)
The initial viscosity of RV1 was measured, and a standing test was conducted at 23 ° C. for 30 days, and the viscosity after 30 days was measured.
(Preparation and evaluation of coating)
RV1 was spin-coated on a silicon substrate at 1000 rpm for 30 seconds using a spin coater, and calcined at 80 ° C. for 1 minute and then at 230 ° C. for 5 minutes using a hot plate to obtain a film. It was tested whether whitening and cracks were visually confirmed in the film obtained on the silicon substrate. When whitening or cracks occurred, it was judged as x, and when it did not occur, it was judged as 〇.

[比較例2]
比較例1のS1をS2に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV2)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[比較例3]
比較例1のS1をS3に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV3)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[比較例4]
比較例1のS1をS4に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV4)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[比較例5]
比較例1のS1をS5に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV5)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[比較例6]
比較例1のS1をS6に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV6)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[比較例7]
比較例1のS1をS7に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV7)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[比較例8]
比較例1のS1をS8に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV8)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[比較例9]
比較例1のS1をS9に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV9)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[比較例10]
比較例1のS1をS10に変更した以外は同様に被膜形成用組成物(RV10)を調製し、粘度を測定するとともに、比較例1と同様の方法で被膜を得、評価した。
[Comparative Example 2]
A film-forming composition (RV2) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S2, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.
[Comparative Example 3]
A film-forming composition (RV3) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S3, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.
[Comparative Example 4]
A film-forming composition (RV4) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S4, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.
[Comparative Example 5]
A film-forming composition (RV5) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S5, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.
[Comparative Example 6]
A film-forming composition (RV6) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S6, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.
[Comparative Example 7]
A film-forming composition (RV7) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S7, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.
[Comparative Example 8]
A film-forming composition (RV8) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S8, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.
[Comparative Example 9]
A film-forming composition (RV9) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S9, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.
[Comparative Example 10]
A film-forming composition (RV10) was prepared in the same manner except that S1 of Comparative Example 1 was changed to S10, the viscosity was measured, and a film was obtained and evaluated by the same method as in Comparative Example 1.

比較例1〜10について、粘度、粘度の保存安定性、白化及びクラックの有無の結果を表1に示した。 Table 1 shows the results of viscosity, storage stability of viscosity, whitening, and presence / absence of cracks in Comparative Examples 1 to 10.

Figure 0006813809
Figure 0006813809

電子デバイスに搭載される被膜は、白化及びクラックがないことが要求される。
また、被膜形成用組成物としては、室温保存時に粘度の経時変化がないことが要求される。これは、経時変化により被膜形成用組成物の粘度が増加すると、目的とする膜厚が得られなくなることを意味し、結果、製品の歩留まりが低下するためである。
The coating film mounted on the electronic device is required to be free from whitening and cracks.
Further, the composition for forming a film is required to have no change in viscosity with time when stored at room temperature. This is because if the viscosity of the film-forming composition increases due to aging, the desired film thickness cannot be obtained, and as a result, the yield of the product decreases.

表1において、実施例1〜11のとおり、本願発明の被膜形成用組成物からなる被膜は、3μm前後の厚膜でも白化及びクラックが発生しなかった。一方、比較例1〜10は得られた被膜に白化及びクラックが発生し、膜厚や屈折率、透過率の測定に至らなかった。
また、初期粘度及び30日保管後の粘度にて評価される被膜形成用組成物の保存安定性に着目すると、本願発明の被膜形成用組成物は23℃において30日間保管しても粘度変化が殆どなく、また加熱後においても粘度が大きく変化せず、良好な保存安定性が示された。一方、比較例1〜10の被膜形成用組成物は23℃での保管中に、粘度は経時変化し大きく増加し、ゲル化したものもあるなど、保存安定性が悪いものであった。
In Table 1, as shown in Examples 1 to 11, the coating film made of the coating film-forming composition of the present invention did not cause whitening or cracks even in a thick film of about 3 μm. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 10, whitening and cracks occurred in the obtained film, and the film thickness, the refractive index, and the transmittance could not be measured.
Focusing on the storage stability of the film-forming composition evaluated by the initial viscosity and the viscosity after storage for 30 days, the viscosity of the film-forming composition of the present invention changes even when stored at 23 ° C. for 30 days. There was almost no change in viscosity even after heating, and good storage stability was shown. On the other hand, the film-forming compositions of Comparative Examples 1 to 10 had poor storage stability, such as those having a viscosity that changed with time and greatly increased during storage at 23 ° C., and some that were gelled.

さらに実施例1〜11で得られた被膜は、波長550nmの屈折率が1.85前後となり、波長400nm〜800nmの平均透過率が95%以上となり、高屈折率、高透明性の被膜が得られた。 Further, the films obtained in Examples 1 to 11 have a refractive index of about 1.85 at a wavelength of 550 nm, an average transmittance of 95% or more at a wavelength of 400 nm to 800 nm, and a film having a high refractive index and high transparency can be obtained. Was done.

[バインダーポリマーの考察]
[比較例11]
実施例1のS1を合成例11で得たR1に変更した以外は実施例1と同様の方法により被膜形成用組成物を調製したが、被膜形成用組成物中に固体が析出し、均一な被膜形成用組成物が得られなかった。
[Consideration of binder polymer]
[Comparative Example 11]
A film-forming composition was prepared by the same method as in Example 1 except that S1 of Example 1 was changed to R1 obtained in Synthesis Example 11, but a solid was precipitated in the film-forming composition and was uniform. A film-forming composition was not obtained.

[比較例12]
実施例1のS1を合成例12で得たR2に変更した以外は同様の方法により被膜形成用組成物を調製したが、被膜形成用組成物中に固体が析出し、均一な被膜形成用組成物が得られなかった。
[Comparative Example 12]
A film-forming composition was prepared by the same method except that S1 of Example 1 was changed to R2 obtained in Synthesis Example 12, but a solid was precipitated in the film-forming composition, and a uniform film-forming composition was prepared. I couldn't get anything.

これら実施例1〜11と比較例11及び比較例12とを比較すると、均一な被膜形成用組成物を得るためにバインダーポリマーとして、実施例で使用したポリシロキサンが好適であることが確認された。一方、バインダーポリマーとして、アクリルポリマーを選択すると相溶性が悪く、均一な被膜形成用組成物が得られないことが確認された。 Comparing Examples 1 to 11 with Comparative Examples 11 and 12, it was confirmed that the polysiloxane used in Examples was suitable as the binder polymer in order to obtain a uniform film-forming composition. .. On the other hand, it was confirmed that when an acrylic polymer was selected as the binder polymer, the compatibility was poor and a uniform film-forming composition could not be obtained.

[3]被膜形成用組成物の加熱条件
前述したとおり、本願発明の被膜形成用組成物は加熱工程を経た場合、均一な膜質の膜が得られる場合がある。このため、20mLナス型フラスコに10gの被膜形成用組成物を秤量し、種々の加熱条件にて加熱工程を実施し、被膜形成用組成物の安定性を検討した。
[3] Heating Conditions for Film-Forming Composition As described above, the film-forming composition of the present invention may obtain a film having a uniform film quality when it undergoes a heating step. Therefore, 10 g of the film-forming composition was weighed in a 20 mL eggplant-shaped flask, and heating steps were carried out under various heating conditions to examine the stability of the film-forming composition.

[実施例12〜実施例31、実施例32〜実施例36]
SV1〜SV10を110℃若しくは150℃、160℃に設定したオイルバスを用いて1時間加熱し、被膜形成用組成物の観察を行った。各被膜形成用組成物中に析出物はなく、ゲル化もしていない均一な被膜形成用組成物が得られた。
[比較例13〜比較例22]
SV1〜SV10を170℃に設定したオイルバスを用いて1時間加熱し、被膜形成用組成物の観察を行った。各被膜形成用組成物中に針状の結晶成分が析出し、均一な被膜形成用組成物が得られなかった。
[Examples 12 to 31, Examples 32 to 36]
SV1 to SV10 were heated for 1 hour using an oil bath set at 110 ° C., 150 ° C., and 160 ° C., and the film-forming composition was observed. A uniform film-forming composition with no precipitates and no gelation was obtained in each film-forming composition.
[Comparative Examples 13 to 22]
SV1 to SV10 were heated for 1 hour using an oil bath set at 170 ° C., and the film-forming composition was observed. Needle-shaped crystal components were precipitated in each film-forming composition, and a uniform film-forming composition could not be obtained.

実施例12〜36及び比較例13〜27の結果を表2に示す。
表中、均一な被膜形成用組成物が得られた場合は〇、針状結晶が発生し、均一な被膜形成用組成物が得られなかった場合は×の判定とした。
The results of Examples 12 to 36 and Comparative Examples 13 to 27 are shown in Table 2.
In the table, when a uniform film-forming composition was obtained, it was evaluated as ◯, and when needle-like crystals were generated and a uniform film-forming composition was not obtained, it was evaluated as x.

Figure 0006813809
Figure 0006813809

表2に示した通り、本願発明の被膜形成用組成物は、いずれの場合も150℃以下の加熱条件では針状結晶が発生せず、均一な被膜形成用組成物が得られた。すなわち、実施例の被膜形成用組成物は、150℃以下の温度条件下での加熱工程を経ることが適当であることが確認された。 As shown in Table 2, in each case, the film-forming composition of the present invention did not generate needle-like crystals under heating conditions of 150 ° C. or lower, and a uniform film-forming composition was obtained. That is, it was confirmed that it is appropriate for the film-forming composition of the example to undergo a heating step under a temperature condition of 150 ° C. or lower.

ただし170℃の加熱条件とすると、いずれの被膜形成用組成物も針状結晶が析出し、均一な被膜形成用組成物得られない結果となった。
比較例13〜27のように、被膜形成用組成物中に針状結晶が発生してしまうと、被膜形成用組成物中の粒子の分散状態が変化し、目的とする被膜が得られないため好ましくない。
However, under the heating conditions of 170 ° C., needle-like crystals were precipitated in any of the film-forming compositions, resulting in the inability to obtain a uniform film-forming composition.
When needle-like crystals are generated in the film-forming composition as in Comparative Examples 13 to 27, the dispersed state of the particles in the film-forming composition changes, and the desired film cannot be obtained. Not preferred.

本願発明の被膜形成用組成物は無機微粒子の高度な分散性を保持したままであることから、被膜形成用組成物の保存安定性が良好で、製品の寿命が長いことから、低コスト化が可能である。 Since the film-forming composition of the present invention retains a high degree of dispersibility of the inorganic fine particles, the storage stability of the film-forming composition is good and the product life is long, so that the cost can be reduced. It is possible.

また、厚膜を維持しながら、白化、クラックの発生がなく、高屈折率で高透明な被膜が得られることから、厚膜が要求される電子デバイス、光学部材に好適に使用できる。 Further, since a thick film is maintained, whitening and cracks do not occur, and a highly transparent film having a high refractive index can be obtained, it can be suitably used for electronic devices and optical members that require a thick film.

本願発明の被膜形成用組成物は液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス(OLED)ディスプレイ、光半導体(LED)素子、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜トランジスタ(TFT)等の電子デバイスを作製する際の一部材として好適に利用できる。また、高屈折率が求められているレンズ用部材として好適に利用できる。特に高屈折率が求められている固体撮像素子の部材である、フォトダイオード上の埋め込み膜及び平坦化膜、カラーフィルター前後の平坦化膜、マイクロレンズ、マイクロレンズ上の平坦化膜及びコンフォーマル膜として好適に利用できる。
The film-forming composition of the present invention includes electrons such as a liquid crystal display, an organic electroluminescence (OLED) display, an optical semiconductor (LED) element, a solid-state imaging device, an organic thin film solar cell, a dye-sensitized solar cell, and an organic thin film transistor (TFT). It can be suitably used as a member when manufacturing a device. Further, it can be suitably used as a lens member for which a high refractive index is required. Embedded films and flattening films on photodiodes, flattening films before and after color filters, microlenses, flattening films and conformal films on microlenses, which are members of solid-state image sensors for which high refractive index is particularly required. Can be suitably used as.

Claims (15)

(A)成分:下記式(1)
Figure 0006813809
(式中、Rは炭素原子数1〜6のアルキル基であり、Rは炭素原子数1〜18のアルキル基又は炭素原子数6〜18のアリール基であり、aは0〜3の整数である。)
で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物、及び
(B)成分:2〜60nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面を1〜4nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆された2〜100nmの一次粒子径を有する変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する両親媒性の有機ケイ素化合物が結合されている無機微粒子
を含む被膜形成用組成物。
(A) Component: The following formula (1)
Figure 0006813809
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 2 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a is 0 to 3. It is an integer.)
A hydrolyzate condensate of at least one hydrophilic silane represented by, and a component (B): a metal oxide colloidal particle (B1) having a primary particle diameter of 2 to 60 nm as a nucleus, and the surface thereof is 1 to 1. Poly as a hydrophilic group on the surface of modified metal oxide colloidal particles (B3) having a primary particle size of 2 to 100 nm coated with a coating (B2) composed of metal oxide colloidal particles having a primary particle size of 4 nm. It has one or more poly (oxyalkylene) groups selected from oxyethylene group, polyoxypropylene group or polyoxybutylene group, and is selected from alkylene group or vinylene group having 1 to 18 carbon atoms as a hydrophobic group. A composition for forming a film containing inorganic fine particles to which an amphoteric organic silicon compound having one or more groups is bonded.
前記式(1)中のRは、メチル基、エチル基、フェニル基、ビフェニル基又はフェナントリル基であり、aは1である、請求項1に記載の被膜形成用組成物。The film-forming composition according to claim 1, wherein R 2 in the formula (1) is a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a biphenyl group or a phenanthryl group, and a is 1. 前記両親媒性の有機ケイ素化合物は、その親水性基中の前記オキシアルキレン基の付加モル数が3〜40モルの化合物である、請求項1又は2に記載の被膜形成用組成物。 The film-forming composition according to claim 1 or 2, wherein the amphipathic organosilicon compound is a compound in which the number of moles of the oxyalkylene group added in the hydrophilic group is 3 to 40 mol. 前記(B)成分の変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に結合された両親媒性の有機ケイ素化合物が、変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の全金属酸化物に対して0.1〜30質量%の質量割合にて結合してなる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の被膜形成用組成物。 The amphoteric organic silicon compound bonded to the surface of the modified metal oxide colloidal particles (B3) of the component (B) is 0.1 with respect to the total metal oxide of the modified metal oxide colloidal particles (B3). The film-forming composition according to any one of claims 1 to 3, which is bonded at a mass ratio of about 30% by mass. 前記(B)成分の金属酸化物コロイド粒子(B1)が、Ti、Fe、Cu、Zn、Y、Zr、Nb、Mo、In、Sn、Sb、Ta、W、Pb、Bi及びCeからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の被膜形成用組成物。 The group in which the metal oxide colloidal particles (B1) of the component (B) are composed of Ti, Fe, Cu, Zn, Y, Zr, Nb, Mo, In, Sn, Sb, Ta, W, Pb, Bi and Ce. The film-forming composition according to any one of claims 1 to 4, which is an oxide of at least one metal selected from the above. 前記(B)成分の被覆物(B2)が、Si、Al、Sn、Zr、Mo、Sb及びWからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の被膜形成用組成物。 Any of claims 1 to 5, wherein the coating (B2) of the component (B) is an oxide of at least one metal selected from the group consisting of Si, Al, Sn, Zr, Mo, Sb and W. The composition for forming a film according to item 1. (A)成分:下記式(1)
Figure 0006813809
(式中、Rは炭素原子数1〜6のアルキル基であり、Rは炭素原子数1〜18のアルキル基又は炭素原子数6〜18のアリール基であり、aは0〜3の整数である。)
で表される少なくとも1種の加水分解性シランの加水分解縮合物と
(B)成分:2〜60nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子(B1)を核として、その表面を1〜4nmの一次粒子径を有する金属酸化物コロイド粒子からなる被覆物(B2)で被覆された2〜100nmの一次粒子径を有する変性金属酸化物コロイド粒子(B3)の表面に、親水性基としてポリオキシエチレン基、ポリオキシプロピレン基又はポリオキシブチレン基から選択される1種以上のポリ(オキシアルキレン)基を有し、疎水性基として炭素原子数1〜18のアルキレン基又はビニレン基から選択される1種以上の基を有する両親媒性の有機ケイ素化合物が結合されている無機微粒子
とを混合する工程を含む、被膜形成用組成物の製造方法。
(A) Component: The following formula (1)
Figure 0006813809
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 2 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, and a is 0 to 3. It is an integer.)
Hydrolyzed condensate of at least one hydrophilic silane represented by and component (B): Metal oxide colloidal particles (B1) having a primary particle diameter of 2 to 60 nm are used as nuclei, and the surface thereof is 1 to 4 nm. Polyoxy as a hydrophilic group on the surface of modified metal oxide colloidal particles (B3) having a primary particle size of 2 to 100 nm coated with a coating (B2) composed of metal oxide colloidal particles having a primary particle size. It has one or more poly (oxyalkylene) groups selected from an ethylene group, a polyoxypropylene group or a polyoxybutylene group, and is selected from an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms or a vinylene group as a hydrophobic group. A method for producing a film-forming composition, which comprises a step of mixing with inorganic fine particles to which an amphoteric organic silicon compound having one or more groups is bonded.
前記式(1)中のRは、メチル基、エチル基、フェニル基、ビフェニル基又はフェナントリル基であり、aは1である、請求項7に記載の被膜形成用組成物の製造方法。The method for producing a film-forming composition according to claim 7, wherein R 2 in the formula (1) is a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a biphenyl group or a phenanthryl group, and a is 1. 前記両親媒性の有機ケイ素化合物は、その親水性基中の前記オキシアルキレン基の付加モル数が3〜40モルの化合物である、請求項7又8に記載の被膜形成用組成物の製造方法。 The method for producing a film-forming composition according to claim 7 or 8, wherein the amphipathic organosilicon compound is a compound in which the number of moles of the oxyalkylene group added in the hydrophilic group is 3 to 40 mol. .. 前記(A)成分と前記(B)成分とを混合する工程の後、
23℃以上150℃以下で加熱する工程を含む、請求項7〜9のいずれか一項に記載の被膜形成用組成物の製造方法。
After the step of mixing the component (A) and the component (B),
The method for producing a film-forming composition according to any one of claims 7 to 9, which comprises a step of heating at 23 ° C. or higher and 150 ° C. or lower.
請求項1〜6のいずれか一項に記載の被膜形成用組成物から得られる被膜。 A coating film obtained from the coating film-forming composition according to any one of claims 1 to 6. 基材と、この基材上に形成された請求項11に記載の被膜とを備える電子デバイス。 An electronic device comprising a base material and a coating film formed on the base material according to claim 11. 基材と、この基材上に形成された請求項11に記載の被膜とを備える光学部材。 An optical member including a base material and a coating film formed on the base material according to claim 11. 請求項11に記載の被膜を少なくとも1層備える、相補性金属酸化膜半導体を有する固体撮像素子又は電荷結合素子。 A solid-state imaging device or charge-binding device having a complementary metal oxide semiconductor having at least one layer of the coating film according to claim 11. 請求項11に記載の被膜を少なくとも1層備える、固体撮像素子用埋め込み材料、平坦化材料、又はマイクロレンズ材料。
An embedded material, a flattening material, or a microlens material for a solid-state image sensor, comprising at least one layer of the coating film according to claim 11.
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