JP6808749B2 - レーザ装置および極端紫外光生成装置 - Google Patents
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Description
1.EUV光生成装置の全体説明
1.1 構成
1.2 動作
2.比較例
2.1 構成
2.2 動作
2.3 課題
3.実施形態1
3.1 実施形態1の構成
3.2 実施形態1の動作
3.3 実施形態1の作用・効果
4.実施形態2
4.1 実施形態2の構成
4.2 実施形態2の動作
4.3 実施形態2の作用・効果
5.実施形態3
5.1 実施形態3の構成
5.2 実施形態3の動作
5.3 実施形態3の作用・効果
1.1 構成
図1は、典型的な極端紫外(EUV)光生成装置の全体構成を示す概略側面図である。同図に示すEUV光生成装置は、露光装置80に露光光として利用されるEUV光を供給するためのものである。すなわち、図1中の、露光装置80および露光装置制御部81以外の要素により、EUV光生成装置が構成されている。本例のEUV光生成装置は、レーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質を励起することによりEUV光を発生させる、レーザ生成プラズマ(LPP)方式を採用した装置である。このEUV光生成装置は、EUVチャンバ1と、EUV光生成制御部2と、レーザ装置3と、送光光学系(ビームデリバリシステム)4と、ドロップレット供給部5と、ドロップレット検出装置6と、制御システム50とを含む。
上記の構成において、タンク32中のターゲット物質は、ヒータ33によって融点以上の所定温度に加熱される。例えばターゲット物質がSnである場合、Snはその融点(232℃)以上の250〜290℃の温度範囲に加熱される。この加熱を行うに当たっては、制御部51によりヒータ33の動作を制御して、温度調節を行ってもよい。また、制御部51により圧力調節器31の動作が制御されて、タンク32内の圧力が、融解したターゲット物質のジェットがノズル34から所定の速度で出力する圧力に維持される。そして制御部51により、図示外のピエゾ電源を介してピエゾ素子35に、所定波形の電圧信号であるドロップレット供給信号が印加される。それによりピエゾ素子35が振動して、この振動がノズル34に加えられる。以上により、ノズル34から出力される上記ジェットがノズル34の振動によって所定周期で分断され、ドロップレットDLが断続的に供給されるようになる。上記振動の周波数、すなわちドロップレット生成の周波数は、例えば50kHz〜100kHz程度とされる。
2.1 構成
以下、図4を参照して、比較例としてのレーザ装置について説明する。このレーザ装置は、図1および図2に示すレーザ装置3として適用され得るものである。先に説明した図2では、光シャッタ320、321、322・・・32k・・・32nの各々に高電圧を印加する構成は省略している。図4では、この高電圧を印加する構成も示しており、以下、この構成についても詳しく説明する。なお図4では、1つの光シャッタを代表的に光シャッタ32kとして示し、この光シャッタ32kの周辺の構成について説明する。光シャッタが図2に示すように複数設けられる場合は、各光シャッタに対して図4に示す構成がそれぞれ設けられてもよい。
上述したMO100は発光トリガ信号S2を受信すると、パルスレーザ光を出力する。このパルスレーザ光は、例えば図2に示したようなPA(図示せず)によって増幅され、高強度のパルスレーザ光Lが得られる。遅延回路301に発光トリガ信号S2が入力されると、遅延回路301は発光トリガ信号S2と同期した発光同期トリガ信号S10を出力する。この発光同期トリガ信号S10は高電圧スイッチ304に入力される。高電圧スイッチ304は発光同期トリガ信号S10が入力されるとスイッチング動作して、上記高電圧源から所定の高電圧を光シャッタ32kに印加する。発光同期トリガ信号S10は、光シャッタ32kをパルスレーザ光Lが通過するタイミングに合わせて光シャッタ32kに高電圧が印加されるように、発光トリガ信号S2から所定時間遅延させて遅延回路301から出力される。光スイッチとしての光シャッタ32kは、上記高電圧が印加されている間、パルスレーザ光Lを通過させる。
図5は、図4の構成における各信号が生成されるタイミングを、パルスレーザ光Lの進行位置と併せて示すタイミングチャートである。以下、この図5を参照して、上記タイミングについて説明する。図5の横軸は、例えばs(秒)で示す時間を示している。また図5において、最上位の段から下に向かって順次、発光トリガ信号S2、MO100から出力されるパルスレーザ光L、発光同期トリガ信号S10、および光シャッタ32kに印加される高電圧の各波形および生成タイミングを示している。また縦軸位置に引いた下向きの矢印上の位置は、MO100から光シャッタ32k側への光路長に対応している。
3.1 実施形態1の構成
次に図6〜8を参照して、実施形態1に係るレーザ装置について説明する。なお図6〜8において、図1〜5に示したものと同様の要素については同じ番号を付してあり、それらについての説明は、特に必要の無い限り省略する(以下、同様)。この実施形態1のレーザ装置も、図1および図2に示すレーザ装置3として適用され得るものである。図6は、実施形態1に係るレーザ装置の基本構成を示すブロック図である。このレーザ装置は、図4に示したレーザ装置と対比すると、高電圧モニタ151が追加され、また遅延回路301に代えて、カウンタを含む遅延回路153が用いられている点で異なる。このカウンタは、高電圧スイッチ304が発光同期トリガ信号S10を受信してから高電圧印加を開始するまでの時間の変動分D(図5参照)よりも極めて短い単位で経過時間をカウントする。高電圧モニタ151は、高電圧スイッチ304が出力する高電圧パルスを検知して、検知信号S6を遅延回路153に入力する。
図7は、光シャッタ32kにパルス状の高電圧を印加するタイミングを、光シャッタ32kをパルスレーザ光Lが通過するタイミングと一致させる制御の流れを示している。また図8は、この制御の下に各信号が生成されるタイミングを、パルスレーザ光Lの進行位置と併せて示すタイミングチャートである。この図8の表示の仕方は、先に説明した図5と同様である。以下、図7および図8を参照して、上記の制御について説明する。
以上述べた処理がなされることにより、図8に示すように、発光トリガ信号S21が出力されてから、発光同期トリガ信号S10が出力されるまでの遅延時間は(B−Di−1)となる。つまり、i番目の繰り返し処理において、この遅延時間は目標値Bから、前回つまりi−1番目の繰り返し処理において実測された時間変動分(Di−1)を減じた時間となる。そこで、図8に実線bで示すように、光シャッタ32kにパルス状の高電圧を印加するタイミングを、光シャッタ32kをパルスレーザ光Lが通過するタイミングと一致させることが可能になる。つまり、パルスレーザ光Lはパルス幅の全幅に亘って光シャッタ32kを通過するので、この通過の際にパルスレーザ光Lが減衰することが抑制される。また、パルスレーザ光Lのパルス裾部に存在する不要な発光成分も、光シャッタ32kにおいて除去され得る。
4.1 実施形態2の構成
次に図9〜11を参照して、実施形態2に係るレーザ装置について説明する。この実施形態2のレーザ装置も、図1および図2に示すレーザ装置3として適用され得るものである。図9は、実施形態2に係るレーザ装置の基本構成を示すブロック図である。このレーザ装置は、図6に示した実施形態1に係るレーザ装置と対比すると、レーザ制御部300に代えてカウンタを含むレーザ制御部330が用いられている点、および遅延回路153に代えて、カウンタを含まない遅延回路253が用いられている点で異なる。レーザ制御部330が含むカウンタは、高電圧スイッチ304が発光同期トリガ信号S10を受信してから高電圧印加を開始するまでの時間の変動分D(図5参照)よりも極めて短い単位で経過時間をカウントする。高電圧モニタ151は、高電圧スイッチ304が出力する高電圧パルスを検知して、検知信号S6をレーザ制御部330に入力する。
図9の構成の動作は、基本的にレーザ制御部330によって制御される。図10はこの制御、つまり光シャッタ32kにパルス状の高電圧を印加するタイミングを、光シャッタ32kをパルスレーザ光Lが通過するタイミングと一致させる制御の流れを示している。また図11は、この制御の下に各信号が生成されるタイミングを、パルスレーザ光Lの進行位置と併せて示すタイミングチャートである。この図11の表示の仕方は、先に説明した図5と同様である。以下、図10および図11を参照して、このレーザ制御部330による制御について説明する。
以上述べた処理がなされることにより、図11に示すように、第1の発光トリガ信号S21が出力されてから、発光同期トリガ信号S10が出力されるまでの遅延時間は(B−Di−1)となる。つまり、i番目の繰り返し処理において、この遅延時間は目標値Bから、前回つまりi−1番目の繰り返し処理において実測された時間変動分(Di−1)を減じた時間となる。そこで、図11に実線bで示すように、光シャッタ32kにパルス状の高電圧を印加するタイミングを、光シャッタ32kをパルスレーザ光Lが通過するタイミングと一致させることが可能になる。つまり、パルスレーザ光Lはパルス幅の全幅に亘って光シャッタ32kを通過するので、この通過の際にパルスレーザ光Lが減衰することが抑制される。また、パルスレーザ光Lのパルス裾部に存在する不要な発光成分も、光シャッタ32kにおいて除去され得る。
5.1 実施形態3の構成
次に図12〜14を参照して、実施形態3に係るレーザ装置について説明する。図12は、実施形態3に係るレーザ装置の基本構成を示すブロック図である。このレーザ装置は、図6に示した実施形態1に係るレーザ装置と対比すると、レーザ制御部300に代えて、遅延回路153を含むレーザ制御部350が用いられている点で異なる。遅延回路153は、図6に示した遅延回路153と基本的に同じ構成および機能を有し、前述したカウンタも内包している。
上記遅延回路153は、レーザ制御部350によって制御される。図13はこの制御、つまり光シャッタ32kにパルス状の高電圧を印加するタイミングを、光シャッタ32kをパルスレーザ光Lが通過するタイミングと一致させる制御の流れを示している。また図14は、この制御の下に各信号が生成されるタイミングを、パルスレーザ光Lの進行位置と併せて示すタイミングチャートである。この図14の表示の仕方は、先に説明した図5と同様である。以下、図13および図14を参照して、このレーザ制御部350による制御について説明する。
以上の通りであるので、この実施形態3によれば、実施形態1におけるのと基本的に同様の作用・効果が得られる。すなわち本実施形態3においても、図14に実線bで示すように、光シャッタ32kにパルス状の高電圧を印加するタイミングを、光シャッタ32kをパルスレーザ光Lが通過するタイミングと一致させることが可能になる。そこで、パルスレーザ光Lはパルス幅の全幅に亘って光シャッタ32kを通過するので、この通過の際にパルスレーザ光Lが減衰することが抑制される。また、パルスレーザ光Lのパルス裾部に存在する不要な発光成分も、光シャッタ32kにおいて除去され得る。
2 EUV光生成制御部
3 レーザ装置
4 送光光学系
5 ドロップレット供給部
6 ドロップレット検出装置
10 ステージ
11 第1プレート
12 第2プレート
13 高反射軸外放物面ミラー
14 高反射平面ミラー
16 貫通孔
17 レーザ集光光学系
20 EUV光集光ミラーホルダ
21 EUV光集光ミラー
22 ターゲット受け
23 プラズマ生成領域
24 中間集光点
25 EUV光パルスエネルギセンサ
31 圧力調節器
32 タンク
33 ヒータ
34 ノズル
35 ピエゾ素子
40 光源
41 照明光学系
42 光源部
43 受光光学系
44 光センサ
45 受光部
50 制御システム
51 制御部
52 制御回路
53、153、253、301 遅延回路
80 露光装置
81 露光装置制御部
91 第1高反射ミラー
92 第2高反射ミラー
100 マスターオシレータ
151 高電圧モニタ
300、330、350 レーザ制御部
302 パルスエネルギセンサ
303 ビームスプリッタ
304 高電圧スイッチ
311、312・・・31k・・・31n 増幅器
320、321、322・・・32k・・・32n 光シャッタ
DL ドロップレット
F 照明光
L パルスレーザ光
P ドロップレット軌道上の所定の位置
Q ドロップレット軌道
S1 通過タイミング信号
S2 発光トリガ信号(外部トリガ信号)
S3 目標エネルギ信号
S4 バースト信号
S5 パルスエネルギ検出信号
S6 高電圧パルスの検知信号
S10 発光同期トリガ信号
S21、S22 発光トリガ信号
Claims (20)
- 発光トリガ信号を生成するレーザ制御部、
前記レーザ制御部から送信された発光トリガ信号に基づいてパルスレーザ光 を出力するマスターオシレータ、
前記レーザ制御部から送信された発光トリガ信号を受信し、この受信時から所定の遅延時間を置いてスイッチング信号を生成する遅延回路、
前記遅延回路から送信されたスイッチング信号に基づいて高電圧パルスを生成する高電圧スイッチ、
前記マスターオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に位置し、前記高電圧スイッチから出力された高電圧パルスに基づいて駆動される光シャッタ、および
前記高電圧スイッチから出力された高電圧パルスを検出し、高電圧パルス検知信号を前記遅延回路に送信する高電圧モニタ、
を含み、
前記遅延回路は、前記発光トリガ信号と前記高電圧パルス検知信号とに基づいて前記遅延時間を決定するレーザ装置。 - 前記遅延回路は、前記発光トリガ信号を受信してから前記スイッチング信号を生成するまでの時間の目標値をB、前記スイッチング信号が立ち上がってから前記光シャッタに前記高電圧スイッチが印加されるまでの時間の目標値をC、前記高電圧スイッチが印加されるタイミングが目標値Cから長時間側にずれる変動分をDとしたとき、前記発光トリガ信号を受信してから前記スイッチング信号を生成するまでの時間を(B−D)に設定する請求項1記載のレーザ装置。
- 前記遅延回路は、少なくとも前記発光トリガ信号を受信してからの経過時間を計測するカウンタを含む請求項1記載のレーザ装置。
- 前記遅延回路は、前記高電圧パルス検知信号が入力されたときに前記カウンタによる計測を終了する請求項3記載のレーザ装置。
- 前記光シャッタが、前記パルスレーザ光の光路に沿って複数設けられている請求項1記載のレーザ装置。
- 前記マスターオシレータから出力されたパルスレーザ光を増幅する増幅器をさらに含む請求項1記載のレーザ装置。
- ターゲット物質からなるドロップレットにパルスレーザ光を照射して極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、前記パルスレーザ光を発する光源として請求項1記載のレーザ装置を含む極端紫外光生成装置。
- 外部トリガ信号を受信し、この受信時から第1の遅延時間を置いて第1の発光トリガ信号を生成し、前記外部トリガ信号に基づいて第2の発光トリガ信号を生成するレーザ制御部、
前記レーザ制御部から送信された第1の発光トリガ信号に基づいてパルスレーザ光を出力するマスターオシレータ、
前記レーザ制御部から送信された第2の発光トリガ信号を受信し、この受信時から第2の遅延時間を置いてスイッチング信号を生成する遅延回路、
前記遅延回路から送信されたスイッチング信号に基づいて高電圧パルスを生成する高電圧スイッチ、
前記マスターオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に位置し、前記高電圧スイッチから出力された高電圧パルスに基づいて駆動される光シャッタ、および
前記高電圧スイッチから出力された高電圧パルスを検出し、高電圧パルス検知信号を前記レーザ制御部に送信する高電圧モニタ、
を含み、
前記レーザ制御部は、前記外部トリガ信号と前記高電圧パルス検知信号とに基づいて、前記外部トリガ信号の受信時から前記スイッチング信号の送信までの遅延時間を決定するレーザ装置。 - 前記レーザ制御回路は、前記第1の遅延時間をt0、前記第2の遅延時間の目標値をB、前記スイッチング信号が立ち上がってから前記光シャッタに前記高電圧スイッチが印加されるまでの時間の目標値をC、前記高電圧スイッチが印加されるタイミングが目標値Cから長時間側にずれる変動分をDとしたとき、前記外部トリガ信号を受信してから前記第2の発光トリガ信号を生成するまでの時間を(t0−D)に設定する請求項8記載のレーザ装置。
- 前記レーザ制御部は、少なくとも前記外部トリガ信号を受信してからの経過時間を計測するカウンタを含む請求項9記載のレーザ装置。
- 前記レーザ制御部は、前記高電圧パルス検知信号が入力されたときに前記カウンタによる計測を終了する請求項10記載のレーザ装置。
- 前記光シャッタが、前記パルスレーザ光の光路に沿って複数設けられている請求項9記載のレーザ装置。
- 前記マスターオシレータから出力されたパルスレーザ光を増幅する増幅器をさらに含む請求項9記載のレーザ装置。
- ターゲット物質からなるドロップレットにパルスレーザ光を照射して極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、前記パルスレーザ光を発する光源として請求項8記載のレーザ装置を含む極端紫外光生成装置。
- 受信した外部トリガ信号に基づいて発光トリガ信号を生成し、外部トリガ信号の受信時から第3の遅延時間を置いてスイッチング信号を生成するレーザ制御部、
前記レーザ制御部から送信された発光トリガ信号に基づいてパルスレーザ光を出力するマスターオシレータ、
前記レーザ制御部から送信されたスイッチング信号に基づいて高電圧パルスを生成する高電圧スイッチ、
前記マスターオシレータから出力されたパルスレーザ光の光路上に位置し、前記高電圧スイッチから出力された高電圧パルスに基づいて駆動される光シャッタ、および
前記高電圧スイッチから出力された高電圧パルスを検出し、高電圧パルス検知信号を前記レーザ制御部に送信する高電圧モニタ、
を含み、
前記レーザ制御部は、前記外部トリガ信号と前記高電圧パルス検知信号とに基づいて前記第3の遅延時間を決定するレーザ装置。 - 前記制御回路は、前記第3の遅延時間の目標値をB、前記スイッチング信号が立ち上がってから前記光シャッタに前記高電圧スイッチが印加されるまでの時間の目標値をC、前記高電圧スイッチが印加されるタイミングが目標値Cから長時間側にずれる変動分をDとしたとき、前記第3の遅延時間を(B−D)に設定する請求項15記載のレーザ装置。
- 前記レーザ制御部は、少なくとも前記発光トリガ信号を受信してからの経過時間を計測するカウンタを含む請求項15記載のレーザ装置。
- 前記レーザ制御部は、前記高電圧パルス検知信号が入力されたときに前記カウンタによる計測を終了する請求項17記載のレーザ装置。
- 前記光シャッタが、前記パルスレーザ光の光路に沿って複数設けられている請求項15記載のレーザ装置。
- ターゲット物質からなるドロップレットにパルスレーザ光を照射して極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、前記パルスレーザ光を発する光源として請求項15記載のレーザ装置を含む極端紫外光生成装置。
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