JP6793644B2 - プラズマベース光源 - Google Patents
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 206
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 110
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 60
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 52
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims description 43
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 41
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 34
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 17
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 12
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 claims 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 16
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910000042 hydrogen bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 230000036278 prepulse Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
- LSGOVYNHVSXFFJ-UHFFFAOYSA-N vanadate(3-) Chemical compound [O-][V]([O-])([O-])=O LSGOVYNHVSXFFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003736 xenon Chemical class 0.000 description 1
- -1 xenon ions Chemical class 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/008—X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70033—Production of exposure light, i.e. light sources by plasma extreme ultraviolet [EUV] sources
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Description
本出願は、2014年12月16日に出願された、Alexey Kuritsynらによる「Gas Management System for an EUV Light Source」と題する米国仮特許出願第62/092,684号に基づく優先権を、米国特許法第119条(e)の下で主張する。上記の仮特許出願は、全体を参照することにより本明細書に組み込まれる。
Claims (35)
- デバイスであって、
チャンバ内の回転可能な円筒対称要素上のプラズマサイトにあるターゲット材からプラズマを生成するシステムと、
前記プラズマサイトから選択された距離に配置された構成部品であり、前記構成部品は、前記プラズマからの放射線を集め、中間フォーカス位置への光路に沿って前記放射線を集束させて光錐を形成する、構成部品と、
前記回転可能な円筒対称要素の下に配置された円錐状のフローガイドと、
前記プラズマと前記構成部品の間にガス流を形成するバッファガスの指向された流れを確立するガス出口の組であり、前記バッファガスの流れは、イオンが前記構成部品に達する前にイオンエネルギーを100eVより下に低減するために十分な、前記構成部品と前記プラズマとの間の平均ガス圧を確立し、前記円錐状のフローガイドは、前記構成部品と前記中間フォーカス位置との間に形成された光錐と少なくとも部分的に同一の広がりをもつように配置され、前記円錐状のフローガイド内のバッファガスの流れは、ターゲット材ガスを前記光錐から逸らす、ガス出口の組と、
チャンバからガスを除去する少なくとも1つのポンプであり、前記ポンプと前記ガス出口はターゲット材ガスの濃度を、前記プラズマから前記中間フォーカス位置への光路に沿って減少させる、ポンプと、
を備えるデバイス。 - 前記構成部品は、EUV放射線を前記プラズマサイトから前記中間フォーカス位置に反射させる準垂直入射ミラーである、請求項1に記載のデバイス。
- 前記デバイスはさらに、少なくとも1つのガス出口からの流れを指向させる流動指向構造を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記構成部品は準垂直入射ミラーであり、前記流動指向構造は、少なくとも1つのガス出口からの流れを指向させるための、前記準垂直入射ミラーと前記プラズマサイトの間に配置された少なくとも1つのベーンを備える、請求項3に記載のデバイス。
- 前記流動指向構造は管状フローガイドを含む、請求項3に記載のデバイス。
- 前記放射線はEUV放射線を含み、前記バッファガスは、前記ターゲット材ガスよりも高いEUV透過を有する、請求項1に記載のデバイス。
- 前記バッファガスは、水素、ヘリウム、アルゴン、窒素およびそれらの組み合わせからなるバッファガスの群から選択される、請求項1に記載のデバイス。
- 前記システムは、前記回転可能な円筒対称要素の表面に被覆された駆動レーザー照射ターゲット材を有するレーザー生成プラズマシステムである、請求項1に記載のデバイス。
- 少なくとも1つのガス出口は少なくとも1つのポンプと連携して、前記構成部品と前記プラズマサイトの間に横断方向の流れを生成して、ターゲット材ガスを前記光路から押し出す、請求項1に記載のデバイス。
- 前記デバイスは、前記中間フォーカス位置に1つのフローガイドを含み、少なくとも1つのガス出口は、前記バッファガスを前記フローガイドへと指向させて、前記ターゲット材ガスの濃度を前記光路に沿って減少させる、請求項1に記載のデバイス。
- 前記放射線は、13.5nmの波長を有するEUV放射線を含む、請求項1に記載のデバイス。
- 前記チャンバ内に予め選択されたガス流パターンを成立させるための前記チャンバ内のパーティションをさらに備える、請求項1に記載のデバイス。
- デバイスであって、
チャンバ内の回転可能な円筒対称要素上のプラズマサイトにあるターゲット材からプラズマを生成するシステムと、
前記プラズマサイトから選択された距離に配置された構成部品であり、前記構成部品は、前記プラズマからの放射線を集め、中間フォーカス位置への光路に沿って前記放射線を集束させて光錐を形成する、構成部品と、
前記回転可能な円筒対称要素の下に配置された円錐状のフローガイドと、
バッファガスを前記チャンバ内に導入し、ガスの流れを形成するバッファガスの指向された流れを確立する少なくとも1つの出口であり、前記円錐状のフローガイドは、前記構成部品と前記中間フォーカス位置との間に形成された光錐と少なくとも部分的に同一の広がりをもつように配置され、前記円錐状のフローガイド内のバッファガスの流れは、ターゲット材ガスを前記光錐から逸らす、出口と、
前記チャンバからガスを除去する少なくとも1つのポンプ組立体であり、ポンプとコンダクタンス制御プレートを有し、前記少なくとも1つの出口と連携して、イオンが前記構成部品に達する前にイオンエネルギーを100eVより下に低減するために十分な、前記構成部品と前記プラズマとの間の平均ガス圧を確立する、ポンプ組立体と、
を備えるデバイス。 - 前記少なくとも1つのポンプ組立体は、前記出口と連携して、イオンが構成部品に達する前に前記イオンエネルギーを30eVより下に低減するために十分な、前記構成部品と前記プラズマとの間の平均ガス圧を確立する、請求項13に記載のデバイス。
- 前記システムは、光路に沿って中間位置のほうに伝わる放射線を生成し、また、プラズマから出るターゲット材ガスとイオンを生成し、前記少なくとも1つの出口は、流動的に結合されたガス源から流れてくるバッファガスを受け取り、チャンバからガスを除去する少なくとも1つのポンプと連携して、ターゲット材ガス濃度を、プラズマから中間フォーカス位置への通路に沿って減少させるように構成される、請求項13に記載のデバイス。
- 前記ポンプはポンプ入口を有し、前記コンダクタンス制御プレートは、前記ポンプ入口で入力圧力を成立させるように動作する、請求項13に記載のデバイス。
- 前記コンダクタンス制御プレートと前記ポンプの間に配置されて、前記コンダクタンス制御プレートによるガスジェットの生成を低減するバッフルをさらに備えた、請求項13に記載のデバイス。
- 前記コンダクタンス制御プレートと前記ポンプの間に配置されて、前記コンダクタンス制御プレートによって生成されたガスジェットが前記ポンプを邪魔することを防止するポンプ入口延長部をさらに備えた、請求項13に記載のデバイス。
- 前記コンダクタンス制御プレートには開口が形成されている、請求項13に記載のデバイス。
- 前記開口のサイズを調節する機構をさらに備えた、請求項19に記載のデバイス。
- 前記コンダクタンス制御プレートは、ライン入口から離間しており、両者間にギャップを成立させる、請求項13に記載のデバイス。
- ギャップのサイズを調節するために、コンダクタンス制御プレートをライン入口に対して移動させる機構をさらに備えた、請求項21に記載のデバイス。
- 前記放射線は、13.5nmの波長を有するEUV放射線を含む、請求項13に記載のデバイス。
- EUV光源であって、
チャンバ内の回転可能な円筒対称要素上のプラズマサイトでキセノンターゲット材からプラズマを生成するシステムと、
前記プラズマサイトから選択された距離に配置された構成部品であり、前記構成部品は、前記プラズマからの放射線を集め、中間フォーカス位置への光路に沿って前記放射線を集束させて光錐を形成する、構成部品と、
前記回転可能な円筒対称要素の下に配置された円錐状のフローガイドと、
前記プラズマと前記構成部品の間に円錐状ガスを形成するバッファガスの指向された流れを確立する1以上のガス出口であり、前記バッファガスの流れは、イオンが前記構成部品に達する前にイオンエネルギーを100eVより下に低減するために十分な、前記構成部品と前記プラズマとの間の平均ガス圧を確立し、前記円錐状のフローガイドは、前記構成部品と前記中間フォーカス位置との間に形成された光錐と少なくとも部分的に同一の広がりをもつように配置され、前記円錐状のフローガイド内のバッファガスの流れは、ターゲット材ガスを前記光錐から逸らす、1以上のガス出口と、
前記チャンバからガスを除去する少なくとも1つのポンプであり、前記ポンプと前記ガス出口は連携して、キセノンターゲット材ガス濃度を、前記プラズマから前記中間フォーカス位置への光路に沿って減少させる、ポンプと、
を備えるEUV光源。 - 前記構成部品は、EUV放射線を前記プラズマサイトから前記中間位置へ反射するミラーであり、前記少なくとも1つのガス出口は、前記バッファガスの、前記ミラーから遠ざかる方向への流速を0.5標準リットル毎分(slm)から20.0slmの間に成立させる、請求項24に記載のEUV光源。
- 前記光源はさらに、前記少なくとも1つのガス出口からの流れを指向させる流動指向構造を備える、請求項24に記載のEUV光源。
- 前記構成部品は、前記プラズマサイトから前記中間フォーカス位置にEUV放射線を反射するミラーであり、前記流動指向構造は、少なくとも1つの出口からの流れを指向させる、前記ミラーと前記プラズマサイトの間に配置された少なくとも1つのベーンを備えている、請求項26に記載のEUV光源。
- 前記流動指向構造は管状フローガイドを含む、請求項26に記載のEUV光源。
- 前記バッファガスは、水素、ヘリウム、アルゴン、窒素およびそれらの組み合わせからなるバッファガスの群から選択される、請求項24に記載のEUV光源。
- 前記システムは、前記回転可能な円筒対称要素の表面に被覆されたキセノンターゲット材を照射する駆動レーザーを有するレーザー生成プラズマシステムである、請求項24に記載のEUV光源。
- 前記少なくとも1つのガス出口は少なくとも1つのポンプと連携して、前記構成部品と前記プラズマサイトの間に横断方向に指向された流れを生成して、キセノンターゲット材ガスを光路から押し出す、請求項24に記載のEUV光源。
- 前記光源はさらに、前記中間フォーカス位置に1つのフローガイドを含み、少なくとも1つのガス出口は、前記バッファガスを前記フローガイドへと指向させて、キセノンターゲット材ガスの濃度を前記光路に沿って減少させる、請求項24に記載のEUV光源。
- 前記放射線は、13.5nmの波長を有するEUV放射線を含む、請求項24に記載のEUV光源。
- 前記チャンバ内に予め選択されたガス流パターンを成立させるためのチャンバ内のパーティションをさらに備える、請求項24に記載のEUV光源。
- 前記バッファガスは、前記キセノンターゲット材ガスよりも高いEUV透過を有する、請求項24に記載のEUV光源。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201462092684P | 2014-12-16 | 2014-12-16 | |
US62/092,684 | 2014-12-16 | ||
US14/838,594 | 2015-08-28 | ||
US14/838,594 US10034362B2 (en) | 2014-12-16 | 2015-08-28 | Plasma-based light source |
PCT/US2015/065896 WO2016100393A1 (en) | 2014-12-16 | 2015-12-15 | Plasma-based light source |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018500601A JP2018500601A (ja) | 2018-01-11 |
JP6793644B2 true JP6793644B2 (ja) | 2020-12-02 |
Family
ID=56127486
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017531828A Active JP6793644B2 (ja) | 2014-12-16 | 2015-12-15 | プラズマベース光源 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10034362B2 (ja) |
JP (1) | JP6793644B2 (ja) |
KR (1) | KR102264762B1 (ja) |
TW (1) | TWI664878B (ja) |
WO (1) | WO2016100393A1 (ja) |
Families Citing this family (26)
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---|---|---|---|---|
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- 2015-08-28 US US14/838,594 patent/US10034362B2/en active Active
- 2015-12-15 WO PCT/US2015/065896 patent/WO2016100393A1/en active Application Filing
- 2015-12-15 KR KR1020177019222A patent/KR102264762B1/ko active IP Right Grant
- 2015-12-15 JP JP2017531828A patent/JP6793644B2/ja active Active
- 2015-12-16 TW TW104142343A patent/TWI664878B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201630477A (zh) | 2016-08-16 |
TWI664878B (zh) | 2019-07-01 |
JP2018500601A (ja) | 2018-01-11 |
WO2016100393A1 (en) | 2016-06-23 |
KR20170094382A (ko) | 2017-08-17 |
US20160249442A1 (en) | 2016-08-25 |
US10034362B2 (en) | 2018-07-24 |
KR102264762B1 (ko) | 2021-06-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |