JP6776837B2 - レーザ駆動ランプ - Google Patents
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Description
この例では、プラズマ容器30は、無電極プラズマ容器である。楕円反射鏡40の一方の焦点F1にプラズマ容器30が配置される。一方、楕円反射鏡40の外部には、レーザ源50が設けられ、このレーザ源50から、例えば、パルスレーザ又はCW(Continuous Wave)レーザからなるレーザ光がプラズマ容器30に導入される。
レーザ源50から出射したレーザ光は、平面鏡60の窓部61を介して導入され、この窓部61とプラズマ容器30との間に配置された集光レンズ70によって集光されてプラズマ容器30に照射される。レーザ光を集光することにより、集光点F1でエネルギー密度を高めることができ、発光物質を励起させ、放射光(紫外光)を発生させることができる。放射光は楕円反射鏡40で反射され、被照射物側に反射する。
また、プラズマ容器からの光出力を検出器で測定し、フィードバックして制御するようなシステムを採用する場合、検出器が劣化すると、光量を過少に評価してしまい、レーザ源はレーザ光のパワーを増加させようとする。
このような状況になると、プラズマ容器内には、過剰なエネルギーが供給されることになり、温度が上昇し、プラズマ容器の圧力は上昇する。
このような様々な理由でプラズマ容器内の圧力が上昇して耐圧の限度を超えるとプラズマ容器は破裂する。
プラズマ容器内のガスは、例えば、封入時で20気圧、点灯時で40〜60気圧という高圧かつ高温の状態になっており、プラズマ容器が破裂した場合、その破片は相当のスピード、運動エネルギーを持って四方八方に飛び散り、プラズマ容器の前方に配置されたレンズや周囲に配置された反射鏡に衝突し、これらの光学機器を破損させることになる。
特に、真空紫外光を利用する場合、レンズや窓材には、高価なフッ化マグネシウムMgFやフッ化カルシウムCaF2が使用され、これらの部材が一瞬にして損壊してしまうという問題がある。
また、前記圧力逃がし部は、前記窓取付け筒体または前記排気管に凹部を形成して薄肉としたことにより構成されることを特徴とする。
また、圧力逃がし部は、前記窓取付け筒体または前記排気管に凹部を形成して薄肉としたことにより構成されるので、極めて簡単な構造で、しかも破損個所を特定することが容易である。
そして、この胴体部2の前面側には凹面反射面5が形成されるとともに、その中心にはこれを光軸方向に貫通するレーザ光通過孔6が穿設されている。このレーザ光通過孔6は、その後端側、即ち、入射側が面取りされてテーパー部6aが形成されている。このテーパー6aは、集光されたレーザ光が光入射窓4を経て導入されてレーザ光通過孔6に導かれるときに、このレーザ光通過孔6の入射側で蹴られて遮断されることを防止するものである。
前記凹面反射面5は、放物線形状や楕円形状によって構成され、この実施例では放物線形状の反射面として記載されている。この凹面反射面5は、胴体部2の凹面部にアルミニウムなどが蒸着された金属蒸着膜や、あるいは、誘電体多層膜によって形成されている。
また、胴体部2の外周面の前後端部にも、前記光出射窓3や光入射窓4と同様にメタライズ加工が施されている。
そして、外周面がメタライズされた光出射窓3および光入射窓4は、それぞれ金属製の弾性的なリング部材10、12と銀ロウなどのロウ付けにより接合され、一方、胴体部2の外周面のメタライズされた前後端部にはそれぞれ金属製の窓取付け筒体11、13がロウ付けにより接合されている。そして、前記リング部材10、12と窓取付け筒体11、13とが、TIG溶接やレーザ溶接などにより溶接接合されている。
図2に凹部(圧力逃がし部)20の種々の形態が示されている。(A)は四角形状の凹部であり、(B)は円形状の凹部であり、また、(C)は窓取付け筒体13を横断するスリット状の凹部である。
そして、凹部の断面形状も、四角形状以外に、(D)で示す半球状であってもよいし、(E)に示すV字状(円錐形状)であってもよい。
また、(F)に示すように、凹部20は、窓取付け筒体13の内表面側に形成するものであってもよい。
また、これらの実施例では、圧力逃がし部20が形成された窓取付け筒体11、13に排気管15を取り付ける構造が示されているが、これに限られず、圧力逃がし部20と排気管15を、それぞれ別の窓取付け筒体11、13に取り付ける構造としてもよい。
そして、この排気管15に薄肉の圧力逃がし部20が形成されているものである。
2 胴体部
3 光出射窓
4 光入射窓
5 凹面反射面
6 レーザ光通過孔
6a テーパー部
10 リング部材
11 (光出射)窓取付け筒体
12 リング部材
13 (光入射)窓取付け筒体
14 集光レンズ
15 排気管
15a 圧接端部
16 連通孔
20 圧力逃がし部
F 焦点
S 密閉空間
L レーザ光
EL 紫外光(励起光)
Claims (1)
- 発光ガスが封入され、レーザ光を集光入射してプラズマを生成させるレーザ駆動ランプであって、
前記レーザ駆動ランプは、
凹面反射面が形成された胴体部と、当該胴体部に窓取付け筒体を介して取り付けられた光入射窓及び光出射窓とからなり、
前記胴体部、前記光入射窓および前記光出射窓により密閉空間を形成し、該密閉空間内に前記発光ガスが封入され、
前記密閉空間内に連通する排気管が、前記胴体部または前記窓取付け筒体に取り付けられ、
前記窓取付け筒体または前記排気管には、圧力逃がし部が設けられており、
前記圧力逃がし部は、前記窓取付け筒体または前記排気管に凹部を形成して薄肉としたことにより構成されることを特徴とするレーザ駆動ランプ。
Priority Applications (4)
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US16/078,251 US10561008B2 (en) | 2016-02-23 | 2017-01-31 | Laser driven lamp |
PCT/JP2017/003334 WO2017145662A1 (ja) | 2016-02-23 | 2017-01-31 | レーザ駆動ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016223941A JP6776837B2 (ja) | 2016-11-17 | 2016-11-17 | レーザ駆動ランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP6776837B2 true JP6776837B2 (ja) | 2020-10-28 |
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Family Applications (1)
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JP2016223941A Active JP6776837B2 (ja) | 2016-02-23 | 2016-11-17 | レーザ駆動ランプ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6776837B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
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-
2016
- 2016-11-17 JP JP2016223941A patent/JP6776837B2/ja active Active
Also Published As
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JP2018081839A (ja) | 2018-05-24 |
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