JP6771767B2 - 集束イオンビーム装置 - Google Patents
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Description
この集束イオンビーム装置は、イオンを発生させるイオン源を備えており、ここで発生したイオンを、その後、集束イオンビーム(FIB:Focused Ion beam)にして照射している。
このような構成において、ガスを供給した後、エミッタティップと引出電極との間に引出電圧を印加させると共にエミッタティップを冷却すると、ガスがエミッタティップの先端部の高電界によって電界電離してイオン化し、ガスイオンとなる。このガスイオンは、正電位に保持されているエミッタティップから反発して引出電極側に引き出された後、適度に加速されながら集束されることで集束イオンビームとなる。
真空容器と、前記真空容器内に配置され、先端が先鋭化されたエミッタティップと、前記エミッタティップの先端でガスイオンを発生させるガス電界電離イオン源と、前記ガス電界電離イオン源から放出されたイオンビームを集束させる集束レンズと、前記集束レンズを通過した前記イオンビームを偏向させる第1偏向器と、前記集束レンズと前記第1偏向器との間に配され、前記集束レンズを通過した前記イオンビームを制限する第1アパーチャと、前記第1偏向器を通過した前記イオンビームを集束させる対物レンズと、測定試料を載置する試料ステージと、を備えた集束イオンビーム装置であって、前記集束レンズ、前記第1アパーチャ、前記第1偏向器および前記対物レンズとを少なくとも有する光学系と、前記試料ステージとの間に、前記イオンビームに対して点状領域で反応する信号発生源を形成し、前記信号発生源から出力される信号と、前記第1偏向器による前記イオンビームの走査とを対応させて、前記エミッタティップの走査電界イオン顕微鏡像を生成することを特徴とする。
図1は本発明の実施形態に係る集束イオンビーム装置の一例である走査イオン顕微鏡を示す概略構成図である。
走査イオン顕微鏡(集束イオンビーム装置)100は、ガス電界電離イオン源1、イオンビーム光学系カラム2、試料室3、及び、冷却機構4を有する。ガス電界電離イオン源1、イオンビーム光学系カラム2、及び試料室3は、それぞれ真空容器101に収容されている。
走査イオン顕微鏡(集束イオンビーム装置)100の制御系は、ガス電界電離イオン源1を制御する電界電離イオン源制御装置91、冷凍機40を制御する冷凍機制御装置92、集束レンズ5および対物レンズ8を制御するレンズ制御装置93、第1アパーチャ6を動かすための第1アパーチャ可動装置6Aを制御する第1アパーチャ制御装置94、第1偏向器35を制御する第1偏向器制御装置195、第2偏向器8を制御する第2偏向器制御装置95、第2アパーチャ36を動かすための第1アパーチャ可動装置36Aを制御する第2アパーチャ制御装置90、二次粒子検出器11を制御する二次電子検出器制御装置96、試料ステージ10を制御する試料ステージ制御装置97、試料室真空排気用ポンプ13を制御する真空排気用ポンプ制御装置98、及び、演算装置を含む計算処理装置99を有する。
また、これとは別に、白金、イリジウム、レニウム、オスミウム、パラジウム、ロジウムなどの細線の先端に、真空中でのエッチング作用によりナノピラミッドを形成してもよい。
図8は、本発明の実施形態に係る集束イオンビーム装置の別な一例である走査イオン顕微鏡を示す概略構成図である。なお、以下の説明において、上述した第一実施形態と同様の構成には同一の番号を付し、詳細な説明を省略する。
本実施形態の走査イオン顕微鏡(集束イオンビーム装置)200は、ガス電界電離イオン源1、イオンビーム光学系カラム2、試料室3、及び、冷却機構4を有する。ガス電界電離イオン源1、イオンビーム光学系カラム2、及び試料室3は、それぞれ真空容器101に収容されている。
なお、上述した実施形態の走査イオン顕微鏡(集束イオンビーム装置)100では、イオンビームに対して点状領域で反応する信号発生源103として、イオンビーム14を制限する第2アパーチャ36と、二次粒子検出器(二次電子検出器)11とを用いているが、こうした信号発生源103としては、これ以外にも例えば、イオンビーム光学系(光学系)102の外部に設けた第2アパーチャ36と、この第2アパーチャ36に接続した電流計によって構成することもできる。
2 イオンビーム光学系カラム
3 試料室
5 集束レンズ
6 第1アパーチャ
8 対物レンズ
9 試料
11 二次粒子検出器(二次電子検出器)
14 イオンビーム
21 エミッタティップ
36 第2アパーチャ
100 走査イオン顕微鏡(集束イオンビーム装置)
101 真空容器
102 イオンビーム光学系(光学系)
103,203 信号発生源
Claims (8)
- 真空容器と、前記真空容器内に配置され、先端が先鋭化されたエミッタティップと、前記エミッタティップの先端でガスイオンを発生させるガス電界電離イオン源と、前記ガス電界電離イオン源から放出されたイオンビームを集束させる集束レンズと、前記集束レンズを通過した前記イオンビームを偏向させる第1偏向器と、前記集束レンズと前記第1偏向器との間に配され、前記集束レンズを通過した前記イオンビームを制限する第1アパーチャと、前記第1偏向器を通過した前記イオンビームを集束させる対物レンズと、測定試料を載置する試料ステージと、を備えた集束イオンビーム装置であって、
前記集束レンズ、前記第1アパーチャ、前記第1偏向器および前記対物レンズとを少なくとも有する光学系と、前記試料ステージとの間に、前記イオンビームに対して点状領域で反応する信号発生源を形成し、
前記信号発生源から出力される信号と、前記第1偏向器による前記イオンビームの走査とを対応させて、前記エミッタティップの走査電界イオン顕微鏡像を生成することを特徴とする集束イオンビーム装置。 - 前記信号発生源は、前記イオンビームの照射軸に対して挿脱可能に、前記試料ステージ上に配されていることを特徴とする請求項1記載の集束イオンビーム装置。
- 前記信号発生源は、前記イオンビームを制限する第2アパーチャを有することを特徴とする請求項1記載の集束イオンビーム装置。
- 前記第2アパーチャを前記イオンビームの照射軸上に挿脱可能に移動させる第2アパーチャ制御装置を更に備えたことを特徴とする請求項3記載の集束イオンビーム装置。
- 前記信号発生源は、前記第2アパーチャで生じた二次電子、または前記試料ステージに配された一様な構成の参照試料に対して前記イオンビームを入射させた際に生じた二次電子を測定する二次電子検出器を有することを特徴とする請求項3または4記載の集束イオンビーム装置。
- 前記信号発生源は、前記第2アパーチャに接続された電流計を有することを特徴とする請求項3または4記載の集束イオンビーム装置。
- 前記信号発生源は、前記第2アパーチャの後段に配されたファラデーカップ、またはチャンネルトロンを有することを特徴とする請求項3または4記載の集束イオンビーム装置。
- 前記第1偏向器によって前記イオンビームを走査させ、放出された二次電子を前記二次電子検出器によって検出することにより、走査電界イオン顕微鏡像を形成することを特徴とする請求項5記載の集束イオンビーム装置。
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