JP6765236B2 - Radomes for ceramic composites and flying objects - Google Patents

Radomes for ceramic composites and flying objects Download PDF

Info

Publication number
JP6765236B2
JP6765236B2 JP2016132645A JP2016132645A JP6765236B2 JP 6765236 B2 JP6765236 B2 JP 6765236B2 JP 2016132645 A JP2016132645 A JP 2016132645A JP 2016132645 A JP2016132645 A JP 2016132645A JP 6765236 B2 JP6765236 B2 JP 6765236B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic composite
ceramic
sintered body
metal oxide
oxide layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016132645A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018002556A (en
Inventor
隆二 月舘
隆二 月舘
元基 正木
元基 正木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2016132645A priority Critical patent/JP6765236B2/en
Publication of JP2018002556A publication Critical patent/JP2018002556A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6765236B2 publication Critical patent/JP6765236B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Description

本発明は、設定された目標に向けて飛翔する飛翔体に用いられるセラミック複合体、飛翔体用レドーム、セラミック複合体の製造方法及び飛翔体用レドームの製造方法に関する。 The present invention relates to a ceramic composite, a radome for a flying object, a method for producing a ceramic composite, and a method for producing a radome for a flying object, which are used for a flying object flying toward a set target.

設定された目標に向けて飛翔する飛翔体は、目標までの距離及び方位を計測する電子機器であるアンテナを搭載しており、電子機器を飛翔時の空気抵抗から保護するために、先端にレドームを設置している。飛翔体は、超音速で飛翔するため、飛翔時の空気との摩擦によって急激な加熱、所謂空力加熱を受ける。特に、飛翔体の先端に設置されるレドームは、空力加熱によって1000℃以上の温度に加熱され、熱応力を受ける。そのため、レドームに用いられる材料には、耐熱性及び耐熱衝撃性が要求される。また、飛翔体は、飛翔時に目標までの距離及び方位を計測するため、レドームを介して電波の送受信を行う必要がある。そのため、レドームに用いられる材料には、電波透過性も要求される。 The projectile that flies toward the set target is equipped with an antenna, which is an electronic device that measures the distance and direction to the target, and a radome at the tip to protect the electronic device from air resistance during flight. Is installed. Since the flying object flies at supersonic speed, it undergoes rapid heating, so-called aerodynamic heating, due to friction with the air during flight. In particular, the radome installed at the tip of the flying object is heated to a temperature of 1000 ° C. or higher by aerodynamic heating and receives thermal stress. Therefore, the material used for the radome is required to have heat resistance and thermal shock resistance. In addition, since the flying object measures the distance and azimuth to the target at the time of flight, it is necessary to transmit and receive radio waves via the radome. Therefore, the material used for the radome is also required to have radio wave transmission.

このようなレドームの要求性能を満たす材料として、酸化物セラミックであるコージェライト(2MgO・2Al・5SiO)が一般に使用されている。しかしながら、近年、飛翔体の性能向上に伴って、飛翔体の飛翔速度が増加しており、従来の酸化物系セラミックを、従来よりも高速で飛翔する飛翔体のレドームに用いた場合、耐熱衝撃性が十分ではなく、空力加熱によって生じる熱応力で割れが発生するという問題がある。 As a material that satisfies the performance requirements of such radomes, cordierite (2MgO · 2Al 2 O 3 · 5SiO 2) is generally used is an oxide ceramic. However, in recent years, the flight speed of the projectile has increased along with the improvement of the performance of the projectile, and when the conventional oxide-based ceramic is used for the redome of the projectile that flies at a higher speed than the conventional one, heat-resistant impact is applied. There is a problem that the properties are not sufficient and cracks occur due to the thermal stress generated by aerodynamic heating.

そこで、従来の酸化物系セラミックよりも耐熱衝撃性に優れるセラミック材料として、窒化ケイ素(Si)を含むセラミック材料が提案されている(特許文献1参照)。 Therefore, as a ceramic material having superior thermal shock resistance to conventional oxide-based ceramics, a ceramic material containing silicon nitride (Si 3 N 4 ) has been proposed (see Patent Document 1).

国際公開第2013/124871号International Publication No. 2013/124871

しかしながら、特許文献1で提案された窒化ケイ素を含むセラミック材料は、飛翔時の空力加熱により、飛翔体が加熱された際に窒化ケイ素を含むセラミック材料の表面から酸化してしまう。飛翔中に、このような酸化が起こるとレドームの誘電率が変化するため、電波がレドームを透過する際の屈折率が変化し、電波指向性、即ち検知する目標物の位置精度が悪化してしまうという問題がある。 However, the silicon nitride-containing ceramic material proposed in Patent Document 1 is oxidized from the surface of the silicon nitride-containing ceramic material when the flying object is heated by aerodynamic heating during flight. When such oxidation occurs during flight, the permittivity of the radome changes, so the refractive index when radio waves pass through the radome changes, and the radio wave directivity, that is, the position accuracy of the target to be detected deteriorates. There is a problem that it ends up.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、耐熱衝撃性及び電波指向性の両方に優れる、飛翔体用レドームに用いることが可能なセラミック複合体を得ることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to obtain a ceramic composite which is excellent in both thermal shock resistance and radio wave directivity and can be used for a radome for a flying object.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、飛翔体用レドームに用いられるセラミック複合体であって、Siを主成分とするセラミック焼結体と、セラミック焼結体の少なくとも一方の表面に形成された金属酸化物層と、を備え、金属酸化物層の厚みが10μm以上でかつ500μm以下であり、かつ、前記金属酸化物層が、ホウ素を含む非晶質相を含有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the present invention is a ceramic composite used for a projectile radome, and is a ceramic sintered body containing Si 3 N 4 as a main component and a ceramic sintered body. A metal oxide layer formed on at least one surface of the body is provided, the thickness of the metal oxide layer is 10 μm or more and 500 μm or less, and the metal oxide layer is amorphous containing boron. It is characterized by containing a phase.

本発明によれば、耐熱衝撃性及び電波指向性の両方に優れる、という効果を奏する。 According to the present invention, it has the effect of being excellent in both thermal shock resistance and radio wave directivity.

本発明の実施の形態1に係るセラミック複合体の斜視図Perspective view of the ceramic composite according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態2に係る飛翔体用レドームを備えた飛翔体の断面模式図Schematic cross-sectional view of a flying object provided with a radome for the flying object according to the second embodiment of the present invention.

以下に、本発明の実施の形態に係るセラミック複合体、飛翔体用レドーム、セラミック複合体の製造方法及び飛翔体用レドームの製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。 Hereinafter, a method for producing a ceramic composite, a radome for a flying object, a method for producing a ceramic composite, and a method for producing a radome for a flying object according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to this embodiment.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係るセラミック複合体の斜視図である。一般に、セラミック材料の耐熱衝撃性は、セラミック材料の熱膨張率、熱伝導率、機械強度のうちの主に曲げ強度及び弾性率と関連しており、熱伝導率及び機械強度が高くかつ熱膨張率及び弾性率が低いほど向上する。また、電波指向性は、電波を透過するセラミック材料の誘電率に起因する屈折率と関連しており、飛翔時の空力加熱等で、セラミック複合体が酸化すると、誘電率が変化し、屈折率が変化するため、電波の指向性が悪化してしまう。
Embodiment 1.
FIG. 1 is a perspective view of the ceramic composite according to the first embodiment of the present invention. In general, the thermal shock resistance of a ceramic material is mainly related to the bending strength and elastic modulus of the thermal expansion coefficient, thermal conductivity, and mechanical strength of the ceramic material, and the thermal conductivity and mechanical strength are high and thermal expansion. The lower the coefficient and elastic modulus, the better. In addition, radio wave directivity is related to the refractive index caused by the dielectric constant of the ceramic material that transmits radio waves. When the ceramic composite is oxidized by aerodynamic heating during flight, the dielectric constant changes and the refractive index changes. Will change, and the directivity of radio waves will deteriorate.

そこで、本発明者らは、上記の問題を解決すべく鋭意研究した結果、熱膨張率が小さく、かつ機械強度が高い、窒化ケイ素(Si)を主成分とするセラミック焼結体を用い、セラミック焼結体の表面に酸化防止効果を有する金属酸化物層を特定の厚み範囲で形成することにより、耐熱衝撃性の向上と電波指向性の向上とを両立させ得ることを見出し、本発明に至った。 Therefore, as a result of diligent research to solve the above problems, the present inventors have found a ceramic sintered body containing silicon nitride (Si 3 N 4 ) as a main component, which has a small coefficient of thermal expansion and high mechanical strength. We have found that by forming a metal oxide layer having an antioxidant effect on the surface of a ceramic sintered body in a specific thickness range, it is possible to achieve both improvement in thermal shock resistance and improvement in radio wave directivity. It led to the invention.

実施の形態1に係るセラミック複合体10は、飛翔体用レドームに用いられるセラミック複合体である。セラミック複合体10は、図1に示すように、Siを主成分とするセラミック焼結体20を備える。さらに、セラミック複合体10は、セラミック焼結体20の少なくとも一方の表面20aに形成された金属酸化物層30を備える。 The ceramic composite 10 according to the first embodiment is a ceramic composite used for a radome for a flying object. As shown in FIG. 1, the ceramic composite 10 includes a ceramic sintered body 20 containing Si 3 N 4 as a main component. Further, the ceramic composite 10 includes a metal oxide layer 30 formed on at least one surface 20a of the ceramic sintered body 20.

実施の形態1のセラミック複合体10における、Siを主成分とするセラミック焼結体20は、熱膨張率が小さく、機械強度が高い特性を有しており、耐熱衝撃セラミックとして知られている酸化物セラミックであるシリカ又はコージェライトと比較して、熱伝導率も高い。そのため、セラミック焼結体20は、優れた耐熱衝撃性を有している。さらに、実施の形態1のSiを主成分とするセラミック焼結体20は、窒化ホウ素(BN)を含有することが好ましい。セラミック焼結体20は、弾性率が低くかつ熱伝導率が高い窒化ホウ素をSiに組み合わせて複合化させることにより、熱膨張率を低く維持したまま、弾性率を低下させると共に熱伝導率を高めることができる。これにより、セラミック焼結体20は、セラミック複合体10の耐熱衝撃性をさらに向上することができる。 The ceramic sintered body 20 containing Si 3 N 4 as a main component in the ceramic composite 10 of the first embodiment has characteristics of low thermal expansion coefficient and high mechanical strength, and is known as a heat-resistant impact ceramic. The thermal conductivity is also higher than that of silica or cordierite, which is an oxide ceramic. Therefore, the ceramic sintered body 20 has excellent thermal shock resistance. Further, the ceramic sintered body 20 containing Si 3 N 4 as a main component of the first embodiment preferably contains boron nitride (BN). In the ceramic sintered body 20, boron nitride having a low elastic modulus and a high thermal conductivity is combined with Si 3 N 4 and composited to reduce the elastic modulus and conduct the heat while maintaining a low coefficient of thermal expansion. The rate can be increased. As a result, the ceramic sintered body 20 can further improve the thermal shock resistance of the ceramic composite body 10.

一方、Siを主成分とするセラミック焼結体20の高温での酸化は、主に、表面20aからセラミック内部に拡散する酸素に起因して進行する。そのため、セラミック焼結体20の表面20aからの酸素の拡散を防止することができれば、酸化を抑制することが可能となる。実施の形態1のセラミック複合体10は、酸素の拡散を防止する機能を有する酸化防止膜として、セラミック焼結体20の表面20aに形成された金属酸化物層30を備えることで、飛翔時の空力加熱を受けて高温になっても、セラミック焼結体20が酸化せず、誘電率の変動を抑制することができる。これにより、レドームを透過する電波の指向性が向上する。さらに、セラミック複合体10は、金属酸化物層30に非晶質相を含有することで、緻密な金属酸化物層30が形成されるため、酸化抑制効果が向上する。また、セラミック焼結体20の表面20aに形成された金属酸化物層30は、主に絶縁抵抗の高い金属酸化物から構成されているため、電波透過性を悪化させる要因である誘電損失が小さい。したがって、セラミック焼結体20の表面20aに形成された金属酸化物層30が、レドームを透過する電波の電波透過性を妨げることはない。 On the other hand, the oxidation of the ceramic sintered body 20 containing Si 3 N 4 as a main component at a high temperature proceeds mainly due to oxygen diffused from the surface 20a into the inside of the ceramic. Therefore, if the diffusion of oxygen from the surface 20a of the ceramic sintered body 20 can be prevented, oxidation can be suppressed. The ceramic composite 10 of the first embodiment is provided with a metal oxide layer 30 formed on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 as an antioxidant film having a function of preventing the diffusion of oxygen, so that the ceramic composite 10 can be used during flight. Even if the temperature rises due to aerodynamic heating, the ceramic sintered body 20 does not oxidize, and fluctuations in the dielectric constant can be suppressed. As a result, the directivity of the radio wave transmitted through the radome is improved. Further, in the ceramic composite 10, since the metal oxide layer 30 contains an amorphous phase, a dense metal oxide layer 30 is formed, so that the oxidation suppressing effect is improved. Further, since the metal oxide layer 30 formed on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 is mainly composed of a metal oxide having high insulation resistance, the dielectric loss which is a factor of deteriorating radio wave transmission is small. .. Therefore, the metal oxide layer 30 formed on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 does not interfere with the radio wave transmission of the radio waves transmitted through the radome.

実施の形態1のセラミック複合体10における、セラミック焼結体20の表面20aに形成された金属酸化物層30の厚みは、10μm以上でかつ500μm以下である。金属酸化物層30の厚みが10μm未満である場合は、金属酸化物層30に欠陥であるピンホールが生じやすく、欠陥を通して、酸素が拡散するため、酸化を防止する効果が小さい。即ち、金属酸化物層30の厚みが10μm未満である場合は、セラミック複合体10の電波指向性が低下する。 In the ceramic composite 10 of the first embodiment, the thickness of the metal oxide layer 30 formed on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 is 10 μm or more and 500 μm or less. When the thickness of the metal oxide layer 30 is less than 10 μm, pinholes, which are defects, are likely to occur in the metal oxide layer 30, and oxygen is diffused through the defects, so that the effect of preventing oxidation is small. That is, when the thickness of the metal oxide layer 30 is less than 10 μm, the radio wave directivity of the ceramic composite 10 is lowered.

一方、金属酸化物層30の厚みが500μmを超える場合は、Siを主成分とするセラミック焼結体20と金属酸化物層30との界面で剥がれやすくなるとともに、界面にクラックが生じやすくなる。さらに、金属酸化物層30が熱伝導率の低い物質から構成される場合は、金属酸化物層30の厚みが500μmを超えると、セラミック複合体10の表面と内部の温度差が大きくなり、熱応力によるクラックが生じやすくなる。すなわち、金属酸化物層30の厚みが500μmを超える場合は、セラミック複合体10の耐熱衝撃性が低下する。 On the other hand, when the thickness of the metal oxide layer 30 exceeds 500 μm, it is easily peeled off at the interface between the ceramic sintered body 20 containing Si 3 N 4 as a main component and the metal oxide layer 30, and cracks occur at the interface. It will be easier. Further, when the metal oxide layer 30 is composed of a substance having a low thermal conductivity, if the thickness of the metal oxide layer 30 exceeds 500 μm, the temperature difference between the surface and the inside of the ceramic composite 10 becomes large, resulting in heat. Cracks due to stress are likely to occur. That is, when the thickness of the metal oxide layer 30 exceeds 500 μm, the thermal shock resistance of the ceramic composite 10 is lowered.

実施の形態1のセラミック複合体10における、セラミック焼結体20の表面20aの金属酸化物層30は、Rを希土類元素とすると、希土類シリケートの一種であるRSi及びホウ素を含む非晶質相を含有していることが好ましい。RSi(R=希土類元素)及びホウ素を含む非晶質相は、窒化ケイ素と同程度の熱膨張率を有することから、セラミック焼結体20と金属酸化物層30との界面での熱応力を発生しにくく、熱衝撃が印加された際の剥がれ及びクラックの発生を抑制する。ここで、RSi(R=希土類元素)としては、特に限定されることは無いが、YSi、LuSi、又はYbSiを用いることができる。また、ホウ素を含む非晶質相としては、特に限定されることは無いが、ホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はパイレックス(登録商標)を用いることができる。 In the ceramic composite 10 of the first embodiment, the metal oxide layer 30 on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 contains R 2 Si 2 O 7 and boron, which are a kind of rare earth silicate, when R is a rare earth element. It preferably contains an amorphous phase. Since the amorphous phase containing R 2 Si 2 O 7 (R = rare earth element) and boron has a coefficient of thermal expansion similar to that of silicon nitride, the interface between the ceramic sintered body 20 and the metal oxide layer 30 It is difficult to generate thermal stress in silicon, and it suppresses peeling and cracking when a thermal shock is applied. Here, the R 2 Si 2 O 7 (R = rare earth element) is not particularly limited, but Y 2 Si 2 O 7 , Lu 2 Si 2 O 7 , or Yb 2 Si 2 O 7 is used. be able to. The amorphous phase containing boron is not particularly limited, but borosilicate glass, aluminoborosilicate glass, or Pyrex (registered trademark) can be used.

実施の形態1のセラミック複合体10における、セラミック焼結体20のSi及び窒化ホウ素の含有量は、Siと窒化ホウ素とを合計して80質量%以上でかつ98質量%以下、好ましくは81質量%以上でかつ97質量%以下、より好ましくは82質量%以上でかつ96質量%以下、さらに好ましくは83質量%以上でかつ95質量%以下である。Siと窒化ホウ素との合計の含有量が、80質量%未満又は98質量%を超えると、セラミック複合体10の耐熱衝撃性が十分に向上しない。また、Siと窒化ホウ素との合計の含有量が、98質量%を超えると、セラミック複合体10が十分に緻密化せず、セラミック複合体10の機械強度が低下してしまう。 The contents of Si 3 N 4 and boron nitride in the ceramic sintered body 20 in the ceramic composite 10 of the first embodiment are 80% by mass or more and 98% by mass in total of Si 3 N 4 and boron nitride. Hereinafter, it is preferably 81% by mass or more and 97% by mass or less, more preferably 82% by mass or more and 96% by mass or less, and further preferably 83% by mass or more and 95% by mass or less. If the total content of Si 3 N 4 and boron nitride exceeds 80% by mass or 98% by mass, the thermal impact resistance of the ceramic composite 10 is not sufficiently improved. Further, if the total content of Si 3 N 4 and boron nitride exceeds 98% by mass, the ceramic composite 10 is not sufficiently densified, and the mechanical strength of the ceramic composite 10 is lowered.

実施の形態1のセラミック複合体10における、セラミック焼結体20のSiと窒化ホウ素との質量比は、95:5から70:30の範囲内、好ましくは90:10から70:30の範囲内、より好ましくは88:12から72:28の範囲内、さらに好ましくは86:14から74:26の範囲内、さらにより好ましくは85:15から75:25の範囲内である。窒化ホウ素の割合が少なすぎると、セラミック複合体10は、セラミック複合体10の熱伝導率を十分に高めることができない。その結果、セラミック複合体10は、飛翔体用レドームに用いられる場合、飛翔体用レドームの表面と内部との間の温度差が大きくなり、熱応力によって割れ又はクラックが発生してしまう。すなわち、セラミック複合体10は、耐熱衝撃性が十分に向上しない。一方、窒化ホウ素の割合が多すぎると、セラミック複合体10は、機械強度が著しく低下し、耐熱衝撃性が十分に向上しない。金属酸化物層30をセラミック焼結体20の表面20aに備えていない場合には、セラミック焼結体20が内部まで酸化され易いため、熱伝導率の低下を防ぐために、窒化ホウ素の割合を多くする必要がある。しかしながら、実施の形態1のセラミック複合体10は、セラミック焼結体20の表面20aに形成された金属酸化物層30を備えているため、セラミック焼結体20が内部まで酸化することによる熱伝導率低下を抑制する作用を生じる。したがって、窒化ホウ素の割合が少ない組成においても、耐衝撃性及び電波指向性の両方を優れるものとすることができる。 The mass ratio of Si 3 N 4 of the ceramic sintered body 20 to boron nitride in the ceramic composite 10 of the first embodiment is in the range of 95: 5 to 70:30, preferably 90:10 to 70:30. Is more preferably in the range of 88:12 to 72:28, even more preferably in the range of 86:14 to 74:26, and even more preferably in the range of 85:15 to 75:25. If the proportion of boron nitride is too small, the ceramic composite 10 cannot sufficiently increase the thermal conductivity of the ceramic composite 10. As a result, when the ceramic composite 10 is used for a flying radome, the temperature difference between the surface and the inside of the flying radome becomes large, and cracks or cracks occur due to thermal stress. That is, the thermal impact resistance of the ceramic composite 10 is not sufficiently improved. On the other hand, if the proportion of boron nitride is too large, the mechanical strength of the ceramic composite 10 is significantly reduced, and the thermal shock resistance is not sufficiently improved. When the metal oxide layer 30 is not provided on the surface 20a of the ceramic sintered body 20, the ceramic sintered body 20 is easily oxidized to the inside, so that the proportion of boron nitride is increased in order to prevent a decrease in thermal conductivity. There is a need to. However, since the ceramic composite 10 of the first embodiment includes the metal oxide layer 30 formed on the surface 20a of the ceramic sintered body 20, heat conduction due to the ceramic sintered body 20 being oxidized to the inside. It has the effect of suppressing the decrease in rate. Therefore, even in a composition having a small proportion of boron nitride, both impact resistance and radio wave directivity can be made excellent.

実施の形態1のセラミック複合体10における、セラミック焼結体20は、Si及び窒化ホウ素の他に、緻密化のために焼結助剤を含有することができる。焼結助剤としては、特に限定されず、当該技術分野において公知のものを用いることができる。焼結助剤としては、希土類であるイットリウム、アルミニウム、チタン、マグネシウムの酸化物、ケイ素の酸化物、アルミニウムの窒化物及びチタンの窒化物のうち1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。また、焼結助剤としては、セラミック複合体10の耐熱衝撃性及び機械強度の観点から希土類酸化物であることが好ましい。 In the ceramic composite 10 of the first embodiment, the ceramic sintered body 20 can contain a sintering aid for densification in addition to Si 3 N 4 and boron nitride. The sintering aid is not particularly limited, and those known in the art can be used. As the sintering aid, one or more of the rare earth elements yttrium, aluminum, titanium, magnesium oxide, silicon oxide, aluminum nitride and titanium nitride can be used in combination. .. The sintering aid is preferably a rare earth oxide from the viewpoint of thermal shock resistance and mechanical strength of the ceramic composite 10.

実施の形態のセラミック複合体10における、セラミック焼結体20の焼結助剤の含有量は、特に限定されないが、好ましくは2質量%以上でかつ20質量%以下、より好ましくは3質量%以上でかつ19質量%以下、さらに好ましくは4質量%以上でかつ18質量%以下、最も好ましくは5質量%以上でかつ17質量%以下である。焼結助剤の含有量が2質量%未満である場合は、セラミック複合体10を十分に緻密化させることができない場合がある。一方、焼結助剤の含有量が20質量%を超える場合は、Si及び窒化ホウ素の含有量が少なくなるため、セラミック複合体10の耐熱衝撃性が十分に向上しない場合がある。 The content of the sintering aid in the ceramic sintered body 20 in the ceramic composite 10 of the embodiment is not particularly limited, but is preferably 2% by mass or more and 20% by mass or less, more preferably 3% by mass or more. It is 19% by mass or less, more preferably 4% by mass or more and 18% by mass or less, and most preferably 5% by mass or more and 17% by mass or less. If the content of the sintering aid is less than 2% by mass, the ceramic composite 10 may not be sufficiently densified. On the other hand, when the content of the sintering aid exceeds 20% by mass, the contents of Si 3 N 4 and boron nitride are reduced, so that the thermal impact resistance of the ceramic composite 10 may not be sufficiently improved.

実施の形態のセラミック複合体10は、上記の成分の他、予め設定された所望の効果を得るために、当該技術分野において公知の各種成分を含有することができる。実施の形態のセラミック複合体10における成分の含有量は、本発明の効果を阻害しない範囲であれば特に限定されない。 In addition to the above components, the ceramic composite 10 of the embodiment may contain various components known in the art in order to obtain a preset desired effect. The content of the components in the ceramic composite 10 of the embodiment is not particularly limited as long as it does not interfere with the effects of the present invention.

セラミック複合体10の空隙率は、セラミック複合体10の機械強度及び耐熱衝撃性と関連している。すなわち、セラミック複合体10の空隙率が高過ぎる場合は、セラミック複合体10の内部で空隙同士が繋がる結果、セラミック複合体10の機械強度が低下する。また、セラミック複合体の空隙率が低過ぎる場合は、セラミック複合体10の弾性率が高くなる結果、セラミック複合体10の耐熱衝撃性が低下する。したがって、実施の形態1のセラミック複合体10の空隙率は、予め設定された所望の機械強度及び耐熱衝撃性を得る観点から、好ましくは30%以下、より好ましくは5%以上でかつ29%以下、さらに好ましくは7%以上でかつ28%以下である。 The void ratio of the ceramic composite 10 is related to the mechanical strength and thermal shock resistance of the ceramic composite 10. That is, if the void ratio of the ceramic composite 10 is too high, the voids are connected to each other inside the ceramic composite 10, and as a result, the mechanical strength of the ceramic composite 10 decreases. If the void ratio of the ceramic composite is too low, the elastic modulus of the ceramic composite 10 increases, and as a result, the thermal shock resistance of the ceramic composite 10 decreases. Therefore, the void ratio of the ceramic composite 10 of the first embodiment is preferably 30% or less, more preferably 5% or more and 29% or less, from the viewpoint of obtaining preset desired mechanical strength and thermal shock resistance. More preferably, it is 7% or more and 28% or less.

ここで、本明細書においてセラミック複合体10の「空隙率」は、直方体形状に切り出したセラミック複合体の重量及び寸法(縦、横、高さ)の測定値を用い、下記式1から算出することができる。
空隙率={1−[W乾燥/(L×W×T)/ρ理論]}×100・・・式1
Here, in the present specification, the "void ratio" of the ceramic composite 10 is calculated from the following formula 1 using the measured values of the weight and dimensions (length, width, height) of the ceramic composite cut out into a rectangular parallelepiped shape. be able to.
Void ratio = {1- [W drying / (L × W × T) / ρ theory ]} × 100 ・ ・ ・ Equation 1

式1中の、W乾燥は、150℃で2時間乾燥させたセラミック複合体10の重量(g)であり、L、W及びTはそれぞれ、直方体形状のセラミック複合体の縦、横、高さの長さ(cm)であり、ρ理論は、セラミック複合体10の理論密度(g/cm)である。 W drying in the formula 1 is the weight (g) of the ceramic composite 10 dried at 150 ° C. for 2 hours, and L, W and T are the length, width and height of the rectangular parallelepiped ceramic composite, respectively. The ρ theory is the theoretical density (g / cm 3 ) of the ceramic composite 10.

実施の形態1のセラミック複合体10において、Si及び窒化ホウ素は、粒子として存在する。セラミック複合体10の耐熱衝撃性及び研削加工性を向上させる観点から、窒化ホウ素粒子は、Si粒子の間に均一に分散していることが好ましい。窒化ホウ素粒子の均一な分散性を確保する観点から、窒化ホウ素粒子の平均粒径は、好ましくは1μm以下、より好ましくは0.05μm以上でかつ0.9μm以下、さらに好ましくは0.1μm以上でかつ0.8μm以下、最も好ましくは0.2μm以上でかつ0.5μm以下である。また、Siの平均粒径は、特に限定されないが、好ましくは2μm以上でかつ30μm以下、より好ましくは5μm以上でかつ20μm以下である。 In the ceramic composite 10 of the first embodiment, Si 3 N 4 and boron nitride are present as particles. From the viewpoint of improving the thermal shock resistance and grinding workability of the ceramic composite 10, the boron nitride particles are preferably uniformly dispersed among the Si 3 N 4 particles. From the viewpoint of ensuring uniform dispersibility of the boron nitride particles, the average particle size of the boron nitride particles is preferably 1 μm or less, more preferably 0.05 μm or more and 0.9 μm or less, still more preferably 0.1 μm or more. And 0.8 μm or less, most preferably 0.2 μm or more and 0.5 μm or less. The average particle size of Si 3 N 4 is not particularly limited, but is preferably 2 μm or more and 30 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 20 μm or less.

ここで、セラミック複合体10における各粒子の平均粒径は、セラミック複合体10を切断し、その断面をSEM(走査型電子顕微鏡)で15000倍に拡大した後、少なくとも20個の粒子について長径を測定し、その測定値を平均化することによって得ることができる。 Here, the average particle size of each particle in the ceramic composite 10 is the major axis of at least 20 particles after cutting the ceramic composite 10 and magnifying the cross section of the ceramic composite 10 by 15,000 times with an SEM (scanning electron microscope). It can be obtained by measuring and averaging the measured values.

窒化ホウ素粒子の平均粒径が1μmを超える場合は、Si粒子の間に窒化ホウ素粒子が均一に分散した状態が得られ難いことがある。その結果、セラミック複合体10の内部において、窒化ホウ素が多い部分(以下、「BNリッチ部分」という。)とSiが多い部分(以下、「Siリッチ部分」という。)が不均一に生じる。BNリッチ部分は、空隙率が大きくなるため、機械強度が低下し、耐熱衝撃性が低下する。逆に、Siリッチ部分は、弾性率が高くなり、研削加工性が低下する。したがって、Si粒子の間に窒化ホウ素粒子が均一に分散していない場合は、セラミック複合体10の全体としての耐熱衝撃性及び研削加工性を十分に向上させることができない傾向にある。 When the average particle size of the boron nitride particles exceeds 1 μm, it may be difficult to obtain a state in which the boron nitride particles are uniformly dispersed among the Si 3 N 4 particles. As a result, inside the ceramic composite 10, a portion rich in boron nitride (hereinafter referred to as “BN rich portion”) and a portion rich in Si 3 N 4 (hereinafter referred to as “Si 3 N 4 rich portion”) are formed. Occurs unevenly. Since the void ratio is large in the BN-rich portion, the mechanical strength is lowered and the thermal shock resistance is lowered. On the contrary, the Si 3 N 4 rich portion has a high elastic modulus and a low grindability. Therefore, if the boron nitride particles are not uniformly dispersed among the Si 3 N 4 particles, the thermal impact resistance and grinding workability of the ceramic composite 10 as a whole tend not to be sufficiently improved.

実施の形態1のセラミック複合体10は、低誘電率の材料であるSi及び窒化ホウ素を含有しているため、誘電率が低い。具体的には、実施の形態1のセラミック複合体10は、8.0以下の誘電率を有する。したがって、実施の形態1のセラミック複合体10は、電波透過性に優れている。 The ceramic composite 10 of the first embodiment has a low dielectric constant because it contains Si 3 N 4 and boron nitride, which are materials having a low dielectric constant. Specifically, the ceramic composite 10 of the first embodiment has a dielectric constant of 8.0 or less. Therefore, the ceramic composite 10 of the first embodiment is excellent in radio wave transmission.

実施の形態1のセラミック複合体10は、当該技術分野において公知の方法を用いて製造することができる。実施の形態1のセラミック複合体10は、以下のようにして製造することができる。 The ceramic composite 10 of the first embodiment can be produced by a method known in the art. The ceramic composite 10 of the first embodiment can be produced as follows.

まず、Si粉末、窒化ホウ素粉末、焼結助剤、分散剤、結合剤及び水を混合してスラリーを調製する。Si粉末、窒化ホウ素粉末及び焼結助剤の平均粒径としては、特に限定されないが、好ましくは1μm以下、より好ましくは0.8μm以下、さらに好ましくは0.5μm以下である。特に、窒化ホウ素粉末の平均粒径が1μmを超える場合は、研削加工後のセラミック複合体10の表面平滑性が低下する傾向にある。 First, Si 3 N 4 powder, boron nitride powder, sintering aid, dispersant, by mixing a binder and water to prepare a slurry. Si 3 N 4 powder, the average particle diameter of boron nitride powder and sintering aid is not particularly limited, but is preferably 1μm or less, more preferably 0.8μm or less, more preferably 0.5μm or less. In particular, when the average particle size of the boron nitride powder exceeds 1 μm, the surface smoothness of the ceramic composite 10 after grinding tends to decrease.

分散剤としては、水系スラリーに使用可能なものであれば特に限定されず、当該技術分野において公知のものを用いることができる。分散剤の例としては、アルキル硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステル塩、アルキルベンゼンスルフォン酸塩、反応性界面活性剤、脂肪酸塩、ナフタレンスルフォン酸ホルマリン縮合物などの陰イオン性界面活性剤、アルキルアミン塩、第四級アンモニウム塩、両性界面活性剤であるアルキルベタイン、アルキルアミンオキサイドなどの陽イオン性界面活性剤であるポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシアルキレン誘導体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸ヒマシ油、ポリオキシエチレンアルキルアミン、非イオン性界面活性剤であるアルキルアルカノールアミドのうちの1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 The dispersant is not particularly limited as long as it can be used for an aqueous slurry, and those known in the art can be used. Examples of dispersants include alkyl sulphates, polyoxyethylene alkyl ether sulphates, alkylbenzene sulphonates, reactive surfactants, fatty acids, anionic surfactants such as sodium naphthalenphate formalin condensates, Polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyalkylene derivatives, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene, which are cationic surfactants such as alkylamine salts, quaternary ammonium salts, amphoteric surfactants alkylbetaine, and alkylamine oxides. One of sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid castor oil, polyoxyethylene alkylamine, and alkylalkanolamide which is a nonionic surfactant. Alternatively, two or more types can be used in combination.

結合剤としては、特に限定されず、当該技術分野において公知のものを用いることができる。結合剤の例としては、アクリル系、セルロース系、ポリビニルアルコール系、ポリビニルアセタール系、ウレタン系、酢酸ビニル系の樹脂のうちの1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。水としては、特に限定されず、純水、RO水、又は脱イオン水を用いることができる。スラリーを調製する際の混合は、特に限定されず、当該技術分野において公知の方法を用いて行うことができる。混合方法としては、ニーダー、ボールミル、遊星ボールミル、混練ミキサー、又はビーズミルを用いた方法が用いられる。 The binder is not particularly limited, and those known in the art can be used. As an example of the binder, one or more of acrylic-based, cellulosic-based, polyvinyl alcohol-based, polyvinyl acetal-based, urethane-based, and vinyl acetate-based resins can be used in combination. The water is not particularly limited, and pure water, RO water, or deionized water can be used. The mixing when preparing the slurry is not particularly limited, and can be carried out by using a method known in the art. As a mixing method, a method using a kneader, a ball mill, a planetary ball mill, a kneading mixer, or a bead mill is used.

次に、スラリーを造粒して造粒粉を調製する。造粒方法としては、特に限定されず、当該技術分野において公知の方法に準じて行うことができる。スプレードライヤーなどを用いた噴霧乾燥によって造粒粉を得ることができる。噴霧乾燥の条件は、使用する機器に応じて適宜調整すればよく、特に限定されない。 Next, the slurry is granulated to prepare granulated powder. The granulation method is not particularly limited, and can be performed according to a method known in the art. Granulated powder can be obtained by spray drying using a spray dryer or the like. The conditions for spray drying may be appropriately adjusted according to the equipment to be used, and are not particularly limited.

次に、所望の形状であるレドームの形状を有する金型に造粒粉を充填し、加圧成形して成形体を作製する。加圧成形方法としては、特に限定されず、当該技術分野において公知の方法に準じて行うことができる。加圧成形方法しては、CIP(Cold Isostatic Pressing)成形法、WIP(Warm Isostatic Press)成形法、又は一軸加圧成形法が用いられる。加圧成形時の加圧力は、造粒粉の種類、使用する装置などに応じて適宜調整すればよく、特に限定されないが、一般に、30MPa以上でかつ500MPa以下である。 Next, a mold having a radome shape, which is a desired shape, is filled with granulated powder and pressure-molded to prepare a molded product. The pressure molding method is not particularly limited, and can be performed according to a method known in the art. As the pressure molding method, a CIP (Cold Isostatic Pressing) molding method, a WIP (Warm Isostatic Press) molding method, or a uniaxial pressure molding method is used. The pressing force at the time of pressure molding may be appropriately adjusted according to the type of granulated powder, the apparatus used, and the like, and is not particularly limited, but is generally 30 MPa or more and 500 MPa or less.

次に、成形体を脱脂処理する。脱脂処理の方法としては、特に限定されず、当該技術分野において公知の方法に準じて行うことができる。成形体を空気雰囲気中で加熱処理することにより、脱脂処理を行うことができる。加熱温度は、結合剤が熱分解し得る温度であれば特に限定されず、一般に、300℃以上でかつ800℃以下である。 Next, the molded product is degreased. The method of degreasing treatment is not particularly limited, and can be performed according to a method known in the art. The degreasing treatment can be performed by heat-treating the molded product in an air atmosphere. The heating temperature is not particularly limited as long as the binder can be thermally decomposed, and is generally 300 ° C. or higher and 800 ° C. or lower.

次に、脱脂処理後の成形体を焼成する。焼成方法としては、特に限定されず、当該技術分野において公知の方法に準じて行うことができる。脱脂処理後のSiを主成分とする成形体を、不活性ガスである窒素雰囲気中で焼成させ、セラミック焼結体20を作成すればよい。焼成時の窒素ガスの圧力は、常圧であってもよいが、Siの熱分解を抑制する観点から、0.2MPa以上でかつ1.0MPa以下とすることが好ましい。また、焼成温度は、特に限定されないが、一般に1700℃以上でかつ2100℃以下、好ましくは1750℃以上でかつ2050℃以下、より好ましくは1800℃以上でかつ2000℃以下である。 Next, the molded product after the degreasing treatment is fired. The firing method is not particularly limited, and can be performed according to a method known in the art. The degreased molded product containing Si 3 N 4 as a main component may be fired in a nitrogen atmosphere which is an inert gas to prepare a ceramic sintered body 20. The pressure of the nitrogen gas at the time of firing may be normal pressure, but from the viewpoint of suppressing the thermal decomposition of Si 3 N 4 , it is preferably 0.2 MPa or more and 1.0 MPa or less. The firing temperature is not particularly limited, but is generally 1700 ° C. or higher and 2100 ° C. or lower, preferably 1750 ° C. or higher and 2050 ° C. or lower, and more preferably 1800 ° C. or higher and 2000 ° C. or lower.

次に、焼成後の成形体であるセラミック焼結体20は、形状を整えるために、表面が研削加工される。研削加工方法としては、特に限定されず、当該技術分野において公知の方法に準じて行うことができる。研削加工方法としては、ダイヤモンドバイトを用いた研削加工が用いられる。 Next, the surface of the ceramic sintered body 20, which is a molded body after firing, is ground in order to adjust the shape. The grinding method is not particularly limited, and can be performed according to a method known in the art. As the grinding method, a grinding process using a diamond bite is used.

実施の形態1のセラミック焼結体20の表面20aの金属酸化物層30は、研削加工後のセラミック焼結体20を空気雰囲気中で1000℃以上でかつ1700℃以下の温度で任意の時間熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させることで、セラミック焼結体20の表面に形成されることができる。このとき、熱処理温度と熱処理時間を任意に変えることで、セラミック焼結体20の表面20aに形成する金属酸化物層30の厚みを制御することができる。 The metal oxide layer 30 on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 of the first embodiment heat-treats the ceramic sintered body 20 after grinding at a temperature of 1000 ° C. or higher and 1700 ° C. or lower in an air atmosphere for an arbitrary time. Then, by oxidizing the surface 20a of the ceramic sintered body 20, it can be formed on the surface of the ceramic sintered body 20. At this time, the thickness of the metal oxide layer 30 formed on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 can be controlled by arbitrarily changing the heat treatment temperature and the heat treatment time.

このように、セラミック複合体10は、Siを主成分とする成形体を不活性ガス雰囲気中で焼結させ、焼結体であるセラミック焼結体20を作製する工程と、セラミック焼結体20を空気中で熱処理し、セラミック焼結体20の表面を酸化させることで、セラミック焼結体20の表面20aに金属酸化物層30を形成する工程と、を有するセラミック複合体10の製造方法により製造される。上記のようにして製造される実施の形態1のセラミック複合体10は、弾性率が低くかつ熱伝導率が高いSiを主成分とするセラミック焼結体20の表面20aに、酸化防止効を有する金属酸化物層30を組み合わせているため、耐熱衝撃性及び耐酸化性の両方に優れている。 As described above, the ceramic composite 10 includes a step of sintering a molded body containing Si 3 N 4 as a main component in an inert gas atmosphere to prepare a ceramic sintered body 20 which is a sintered body, and ceramic firing. The ceramic composite 10 has a step of forming a metal oxide layer 30 on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 by heat-treating the body 20 in air and oxidizing the surface of the ceramic sintered body 20. Manufactured by a manufacturing method. The ceramic composite 10 of the first embodiment manufactured as described above has an antioxidant resistance on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 containing Si 3 N 4 as a main component, which has a low elastic modulus and a high thermal conductivity. Since the metal oxide layer 30 having an effect is combined, it is excellent in both thermal impact resistance and oxidation resistance.

実施の形態1のセラミック複合体10は、Siを主成分とするセラミック焼結体20をレドームの材料に適用することで、耐熱衝撃性が向上する。また、セラミック複合体10は、セラミック焼結体20の表面20aに金属酸化物層30を備えることで、飛翔時の空力加熱を受けて高温になっても、セラミック焼結体20が酸化せず、誘電率の変動を抑制することができる。これにより、セラミック複合体10は、レドームを透過する電波の指向性が向上する。その結果、セラミック複合体10は、耐熱衝撃性及び電波指向性の両方に優れる、飛翔体用レドームに用いることが可能になる。 In the ceramic composite 10 of the first embodiment, the thermal shock resistance is improved by applying the ceramic sintered body 20 containing Si 3 N 4 as a main component to the material of the radome. Further, since the ceramic composite 10 is provided with the metal oxide layer 30 on the surface 20a of the ceramic sintered body 20, the ceramic sintered body 20 is not oxidized even if the temperature rises due to aerodynamic heating during flight. , Fluctuation of dielectric constant can be suppressed. As a result, the ceramic composite 10 improves the directivity of the radio waves transmitted through the radome. As a result, the ceramic composite 10 can be used for a radome for a flying object, which is excellent in both thermal shock resistance and radio wave directivity.

また、実施の形態1のセラミック複合体10の製造方法は、セラミック焼結体20を空気中で熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させて、金属酸化物層30を形成することで、製造工程が簡便になり、生産性が向上する。また、実施の形態1のセラミック複合体10の製造方法は、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させて、酸化物層である金属酸化物層30を形成することで、セラミック焼結体20の表面20aと金属酸化物層30との密着強度を強固なものとすることができる。 Further, the method for producing the ceramic composite 10 of the first embodiment is to heat-treat the ceramic sintered body 20 in the air and oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20 to form the metal oxide layer 30. As a result, the manufacturing process is simplified and productivity is improved. Further, in the method for producing the ceramic composite 10 of the first embodiment, the surface 20a of the ceramic sintered body 20 is oxidized to form a metal oxide layer 30 which is an oxide layer, whereby the ceramic sintered body 20 is formed. The adhesion strength between the surface 20a and the metal oxide layer 30 can be strengthened.

実施の形態2.
実施の形態2に係る飛翔体用レドーム1を図面を参照して説明する。図2は、本発明の実施の形態2に係る飛翔体用レドームを備えた飛翔体の断面模式図である。
Embodiment 2.
The flying object radome 1 according to the second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a flying object provided with a radome for the flying object according to the second embodiment of the present invention.

実施の形態2に係る飛翔体用レドーム1は、図2に示すように、実施の形態1に係るセラミック複合体10から構成されるレドーム2と、レドームリング3とを備える。即ち、飛翔体用レドーム1は、実施の形態1に係るセラミック複合体10を備える。レドーム2とレドームリング3との間は、樹脂接着剤を用いて接合されている。また、レドームリング3は、CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics)により構成され、金属製のボルトを用いて飛翔体本体4と接合されて、飛翔体5を構成する。レドームリング3及び飛翔体本体4としては、特に限定されず、当該技術分野において公知のものを用いることができる。 As shown in FIG. 2, the flying radome 1 according to the second embodiment includes a radome 2 composed of the ceramic composite 10 according to the first embodiment and a radome ring 3. That is, the flying radome 1 includes the ceramic composite 10 according to the first embodiment. The radome 2 and the radome ring 3 are joined using a resin adhesive. Further, the radome ring 3 is made of CFRP (Carbon Fiber Reinforced Plastics) and is joined to the flying object main body 4 by using a metal bolt to form the flying object 5. The radome ring 3 and the flying object main body 4 are not particularly limited, and those known in the art can be used.

実施の形態2に係る飛翔体用レドーム1のレドーム2は、セラミック焼結体20の飛翔体5の外側に露出する表面20aに金属酸化物層30を形成している。実施の形態2に係る飛翔体レドーム1のレドーム2は、実施の形態1と同様に、Si及び窒化ホウ素を含有する成形体を不活性ガス雰囲気中で焼結させ、焼結体であるセラミック焼結体20を作製する工程と、セラミック焼結体20を空気中で熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させることで、セラミック焼結体20の表面20aに金属酸化物層30を形成する工程とを有する飛翔体用レドーム1の製造方法により製造される。 The radome 2 of the flying object radome 1 according to the second embodiment forms a metal oxide layer 30 on the surface 20a exposed to the outside of the flying object 5 of the ceramic sintered body 20. In the redome 2 of the flying object redome 1 according to the second embodiment, similarly to the first embodiment, a molded body containing Si 3 N 4 and boron nitride is sintered in an inert gas atmosphere, and the sintered body is used. A metal oxide is formed on the surface 20a of the ceramic sintered body 20 by the process of producing a certain ceramic sintered body 20 and the heat treatment of the ceramic sintered body 20 in the air to oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20. It is manufactured by a method for manufacturing a flying object radome 1 having a step of forming a layer 30.

実施の形態2の飛翔体用レドーム1は、耐熱衝撃性および電波指向性を向上させた実施の形態1のセラミック複合体10から構成されるレドーム2を備えているので、耐熱衝撃性および電波指向性に優れている。また、実施の形態1のセラミック複合体10は、研削加工性に優れているので、飛翔体用レドーム1の生産性を向上させることができる。 The flying object radome 1 of the second embodiment includes the radome 2 composed of the ceramic composite 10 of the first embodiment having improved thermal shock resistance and radio wave directivity, and thus has thermal shock resistance and radio wave directivity. Excellent in sex. Further, since the ceramic composite 10 of the first embodiment is excellent in grinding workability, the productivity of the flying radome 1 can be improved.

次に、本発明の発明者らは、実施の形態1のセラミック複合体10の効果を以下の実施例1から実施例9、比較例1から比較例4を製造することにより確認した。なお、実施例1から実施例9及び比較例1から比較例4は、本発明を限定するものではない。 Next, the inventors of the present invention confirmed the effect of the ceramic composite 10 of the first embodiment by producing the following Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 4. It should be noted that Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 4 do not limit the present invention.

(実施例1)
平均粒径が0.1μmのSi粉末78質量部、平均粒径が0.1μmの窒化ホウ素粉末20質量部、焼結助剤である平均粒径が1μmのY粉末1質量部、及び焼結助剤である平均粒径が1μmのAl粉末1質量部の混合粉末に、分散剤であるポリオキシエチレンラウリルエーテル4質量部、結合剤であるポリビニルアルコール1質量部、及び水50質量部を加えてボールミルで約5時間混合し、スラリーを調製した。
(Example 1)
78 parts by mass of Si 3 N 4 powder with an average particle size of 0.1 μm, 20 parts by mass of boron nitride powder with an average particle size of 0.1 μm, and Y 2 O 3 powder 1 with an average particle size of 1 μm, which is a sintering aid. A mixed powder of 1 part by mass and 1 part by mass of Al 2 O 3 powder having an average particle size of 1 μm as a sintering aid, 4 parts by mass of polyoxyethylene lauryl ether as a dispersant, and 1 part by mass of polyvinyl alcohol as a binder. A part and 50 parts by mass of water were added and mixed with a ball mill for about 5 hours to prepare a slurry.

次に、得られたスラリーをスプレードライヤーで噴霧乾燥させて造粒粉を得た。次に、得られた造粒粉をレドーム2の形状を有する型に充填し、冷間等方圧プレス機を用いてCIP成形を行うことによって成形体を得た。加圧力は、98MPaとした。 Next, the obtained slurry was spray-dried with a spray dryer to obtain granulated powder. Next, the obtained granulated powder was filled in a mold having the shape of a radome 2, and CIP molding was performed using a cold isotropic press to obtain a molded product. The pressing force was 98 MPa.

次に、得られた成形体を空気雰囲気中、600℃で2時間加熱処理することによって脱脂処理を行った。次に、脱脂処理した成形体を窒素雰囲気中、1900℃で2時間焼成した。焼成時の窒素ガスの圧力は、0.9MPaとした。 Next, the obtained molded product was degreased by heat-treating it at 600 ° C. for 2 hours in an air atmosphere. Next, the degreased molded product was calcined at 1900 ° C. for 2 hours in a nitrogen atmosphere. The pressure of nitrogen gas during firing was 0.9 MPa.

次に、焼成した成形体をダイヤモンドバイトで研削加工した。次に、研削加工したセラミック焼結体20を、空気雰囲気中で1400℃で10時間熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させ、金属酸化物層30を析出させた。 Next, the fired compact was ground with a diamond bite. Next, the ground ceramic sintered body 20 was heat-treated at 1400 ° C. for 10 hours in an air atmosphere to oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20 and precipitate the metal oxide layer 30.

(実施例2)
研削加工したセラミック焼結体20を、空気雰囲気中で1400℃で1時間熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させ、金属酸化物層30を析出させたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Example 2)
Example 1 except that the ground ceramic sintered body 20 was heat-treated at 1400 ° C. for 1 hour in an air atmosphere to oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20 and precipitate the metal oxide layer 30. I did the same.

(実施例3)
研削加工したセラミック焼結体20を、空気雰囲気中で1400℃で3時間熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させ、金属酸化物層30を析出させたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Example 3)
Example 1 except that the ground ceramic sintered body 20 was heat-treated at 1400 ° C. for 3 hours in an air atmosphere to oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20 and precipitate the metal oxide layer 30. I did the same.

(実施例4)
研削加工したセラミック焼結体20を、空気雰囲気中で1400℃で20時間熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させ、金属酸化物層30を析出させたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Example 4)
Example 1 except that the ground ceramic sintered body 20 was heat-treated at 1400 ° C. for 20 hours in an air atmosphere to oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20 and precipitate the metal oxide layer 30. I did the same.

(実施例5)
研削加工したセラミック焼結体20を、空気雰囲気中で1400℃で30時間熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させ、金属酸化物層30を析出させたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Example 5)
Example 1 except that the ground ceramic sintered body 20 was heat-treated at 1400 ° C. for 30 hours in an air atmosphere to oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20 and precipitate the metal oxide layer 30. I did the same.

(実施例6)
Si粉末の配合量を86質量部、窒化ホウ素粉末の配合量を10質量部、Y粉末の配合量を3質量部、Al粉末の配合量を2質量部の混合粉末に変えたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Example 6)
The amount of Si 3 N 4 powder is 86 parts by mass, the amount of boron nitride powder is 10 parts by mass, the amount of Y 2 O 3 powder is 3 parts by mass, and the amount of Al 2 O 3 powder is 2 parts by mass. The same procedure as in Example 1 was carried out except that the powder was changed to a mixed powder.

(実施例7)
Si粉末の配合量を63質量部、窒化ホウ素粉末の配合量を27質量部、Y粉末の配合量を8質量部、Al粉末の配合量を2質量部の混合粉末に変えたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Example 7)
The amount of Si 3 N 4 powder is 63 parts by mass, the amount of boron nitride powder is 27 parts by mass, the amount of Y 2 O 3 powder is 8 parts by mass, and the amount of Al 2 O 3 powder is 2 parts by mass. The procedure was the same as in Example 1 except that the powder was changed to a mixed powder.

(実施例8)
Si粉末の配合量を95質量部、窒化ホウ素粉末の配合量を0質量部、Y粉末の配合量を3質量部、Al粉末の配合量を2質量部の混合粉末に変えたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Example 8)
The amount of Si 3 N 4 powder is 95 parts by mass, the amount of boron nitride powder is 0 parts by mass, the amount of Y 2 O 3 powder is 3 parts by mass, and the amount of Al 2 O 3 powder is 2 parts by mass. The same procedure as in Example 1 was carried out except that the powder was changed to a mixed powder.

(実施例9)
Si粉末の配合量を90質量部、窒化ホウ素粉末の配合量を5質量部、Y粉末の配合量を3質量部、Al粉末の配合量を2質量部の混合粉末に変えたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Example 9)
The amount of Si 3 N 4 powder is 90 parts by mass, the amount of boron nitride powder is 5 parts by mass, the amount of Y 2 O 3 powder is 3 parts by mass, and the amount of Al 2 O 3 powder is 2 parts by mass. The procedure was the same as in Example 1 except that the powder was changed to a mixed powder.

(比較例1)
研削加工後の空気中での熱処理を行わないこと以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 1)
The same as in Example 1 was carried out except that the heat treatment in the air after the grinding process was not performed.

(比較例2)
研削加工したセラミック焼結体20を、空気雰囲気中で1400℃で10分熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させ、金属酸化物層30を析出させたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 2)
Example 1 except that the ground ceramic sintered body 20 was heat-treated at 1400 ° C. for 10 minutes in an air atmosphere to oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20 and precipitate the metal oxide layer 30. I did the same.

(比較例3)
研削加工したセラミック焼結体20を、空気雰囲気中で1400℃で45時間熱処理し、セラミック焼結体20の表面20aを酸化させ、金属酸化物層30を析出させたこと以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 3)
Example 1 except that the ground ceramic sintered body 20 was heat-treated at 1400 ° C. for 45 hours in an air atmosphere to oxidize the surface 20a of the ceramic sintered body 20 and precipitate the metal oxide layer 30. I did the same.

(比較例4)
研削加工したセラミック焼結体20の表面20aに、YSiの粉末を有機溶剤に分散させたスラリーを塗布し、80℃で30分乾燥させた後、空気雰囲気中で1400℃で1時間熱処理し、金属酸化物層30を形成したこと以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 4)
A slurry in which Y 2 Si 2 O 7 powder is dispersed in an organic solvent is applied to the surface 20a of the ground ceramic sintered body 20, dried at 80 ° C. for 30 minutes, and then dried at 1400 ° C. in an air atmosphere. The same procedure as in Example 1 was carried out except that the metal oxide layer 30 was formed by heat treatment for 1 hour.

上記の実施例及び比較例で得られたセラミック複合体10からなるレドーム2について下記の評価を行った。 The radome 2 made of the ceramic composite 10 obtained in the above Examples and Comparative Examples was evaluated as follows.

(1)耐熱衝撃性
まず、セラミック複合体10からなるレドーム2に対して、飛翔時の空力加熱を模擬した高温アーク暴露試験を実施した。高温アーク暴露試験には、アーク放電によって、空気にエネルギーを供給し、高温、高速の気流を生成する高温アーク暴露試験装置を用いた。高温、高速の気流が発生するノズルから50mm離れた位置に、セラミック複合体10からなるレドーム2を取り付けた飛翔体5を設置し、高温、高速の気流に10秒間暴露した。このとき、アークを発生させる出力である電流値を150Aとして試験を行った。
(1) Heat-resistant impact resistance First, a high-temperature arc exposure test simulating aerodynamic heating during flight was carried out on a radome 2 made of a ceramic composite 10. For the high-temperature arc exposure test, a high-temperature arc exposure test device was used, which supplies energy to the air by arc discharge to generate a high-temperature, high-speed air flow. A flying object 5 to which a radome 2 made of a ceramic composite 10 was attached was installed at a position 50 mm away from a nozzle in which a high temperature and high speed air flow was generated, and was exposed to a high temperature and high speed air flow for 10 seconds. At this time, the test was conducted with the current value, which is the output for generating an arc, set to 150 A.

耐衝撃性の評価は、レドーム2の先端部分のセラミック複合体10の高温アーク暴露試験前の3点曲げ強度と、高温アーク暴露試験後の3点曲げ強度とを測定し、下記式2から高温アーク試験前後における3点曲げ強度比を算出することによって行った。3点曲げ強度は、JIS(日本工業規格) R1601にしたがって測定した。 The impact resistance is evaluated by measuring the three-point bending strength of the ceramic composite 10 at the tip of the radome 2 before the high-temperature arc exposure test and the three-point bending strength after the high-temperature arc exposure test, and using the following formula 2 to evaluate the high temperature. This was done by calculating the 3-point bending strength ratio before and after the arc test. The 3-point bending strength was measured according to JIS (Japanese Industrial Standards) R1601.

耐熱衝撃性=(高温アーク暴露試験後のセラミック複合体10の3点曲げ強度)/(高温アーク暴露試験前のセラミック複合体10の3点曲げ強度)・・・式2 Thermal impact resistance = (3-point bending strength of ceramic composite 10 after high-temperature arc exposure test) / (3-point bending strength of ceramic composite 10 before high-temperature arc exposure test) ... Equation 2

(2)誘電率の変化率
セラミック複合体10からなるレドーム2の室温での周波数が10GHzの誘電率を測定した。次に、セラミック複合体10からなるレドーム2を空気中1400℃で30分熱処理し、再度、室温での周波数が10GHzの誘電率を測定した。熱処理前後での誘電率を用いて、下記式3から、誘電率の変化率を求めた。
(2) Permittivity Change Rate The dielectric constant of the radome 2 made of the ceramic composite 10 having a frequency of 10 GHz at room temperature was measured. Next, the radome 2 made of the ceramic composite 10 was heat-treated in air at 1400 ° C. for 30 minutes, and the dielectric constant at room temperature having a frequency of 10 GHz was measured again. Using the dielectric constant before and after the heat treatment, the rate of change of the dielectric constant was determined from the following formula 3.

熱処理前後での誘電率の変化率(%)=(1400℃−30分熱処理後の室温での誘電率)/(熱処理前の室温での誘電率)×100・・・式3 Permittivity change rate (%) before and after heat treatment = (dielectric constant at room temperature after heat treatment for -30 minutes at 1400 ° C) / (dielectric constant at room temperature before heat treatment) x 100 ... Equation 3

(3)機械強度(3点曲げ強度)
機械強度として3点曲げ強度を測定した。この3点曲げ強度は、耐熱衝撃性の評価における高温アーク暴露試験前の3点曲げ強度に相当する。
(3) Mechanical strength (3-point bending strength)
The three-point bending strength was measured as the mechanical strength. This three-point bending strength corresponds to the three-point bending strength before the high-temperature arc exposure test in the evaluation of thermal shock resistance.

(4)弾性率
弾性率は、(3)機械強度(3点曲げ強度)の評価で測定した応力−ひずみ線図の傾きから算出した。
(4) Elastic modulus The elastic modulus was calculated from the slope of the stress-strain diagram measured in (3) evaluation of mechanical strength (three-point bending strength).

(5)熱伝導率
熱伝導率は、セラミック複合体10から直径10mm、厚み1mmの試験片を切り出し、当該試験片についてレーザーフラッシュ法を用いて測定した。
(5) Thermal Conductivity The thermal conductivity was measured by cutting out a test piece having a diameter of 10 mm and a thickness of 1 mm from the ceramic composite 10 and using a laser flash method for the test piece.

上記の各評価結果等を表1に示す。 Table 1 shows the results of each of the above evaluations.

Figure 0006765236
Figure 0006765236

表1に示されているように、実施例1から実施例9のセラミック複合体10は、耐衝撃性に優れ、かつ、熱処理前後での誘電率の変化率が小さく、耐酸化性が向上していた。 As shown in Table 1, the ceramic composites 10 of Examples 1 to 9 are excellent in impact resistance, have a small rate of change in dielectric constant before and after heat treatment, and have improved oxidation resistance. Was there.

実施例1から実施例9に対して比較例1のセラミック複合体10は、金属酸化物層30を備えていないため、耐酸化性が悪く、熱処理前後での誘電率の変化が大きかった。比較例2のセラミック複合体10は、金属酸化物層30の厚みが薄すぎるため、酸化防止効果が十分でなく、熱処理前後での誘電率の変化が大きかった。一方、比較例3のセラミック複合体10は、金属酸化物層30の厚みが厚すぎるため、熱衝撃を印加した際に、金属酸化物層30にクラックが生じ、耐熱衝撃性が低下した。比較例4のセラミック複合体10は、金属酸化物層30に非晶質相を含有していない為、緻密な金属酸化物層30が形成されていない。そのため、酸化防止効果が不十分になり、熱処理前後での誘電率の変化が大きかった。 Since the ceramic composite 10 of Comparative Example 1 did not have the metal oxide layer 30 as compared with Examples 1 to 9, the oxidation resistance was poor and the change in the dielectric constant before and after the heat treatment was large. In the ceramic composite 10 of Comparative Example 2, since the thickness of the metal oxide layer 30 was too thin, the antioxidant effect was not sufficient, and the change in the dielectric constant before and after the heat treatment was large. On the other hand, in the ceramic composite 10 of Comparative Example 3, since the metal oxide layer 30 was too thick, cracks were generated in the metal oxide layer 30 when a thermal shock was applied, and the thermal shock resistance was lowered. In the ceramic composite 10 of Comparative Example 4, since the metal oxide layer 30 does not contain an amorphous phase, a dense metal oxide layer 30 is not formed. Therefore, the antioxidant effect became insufficient, and the change in the dielectric constant before and after the heat treatment was large.

以上の結果からわかるように、本発明によれば、耐熱衝撃性及び電波指向性の両方に優れる、飛翔体用レドーム1に用いることが可能なセラミック複合体10を提供することができることが明らかとなった。また、本発明によれば、耐熱衝撃性および電波指向性に優れかつ生産性が高い飛翔体用レドーム1を提供することができることが明らかとなった。 As can be seen from the above results, it is clear that according to the present invention, it is possible to provide a ceramic composite 10 that is excellent in both thermal shock resistance and radio wave directivity and can be used for the flying object radome 1. became. Further, according to the present invention, it has been clarified that it is possible to provide a radome 1 for a flying object, which is excellent in heat resistance and radio wave directivity and has high productivity.

以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。 The configuration shown in the above-described embodiment shows an example of the content of the present invention, can be combined with another known technique, and is one of the configurations without departing from the gist of the present invention. It is also possible to omit or change the part.

1 飛翔体用レドーム、10 セラミック複合体、20 セラミック焼結体、20a 表面、30 金属酸化物層。 1 Radome for flying objects, 10 ceramic composites, 20 ceramic sintered bodies, 20a surface, 30 metal oxide layers.

Claims (7)

飛翔体用レドームに用いられるセラミック複合体であって、
Siを主成分とするセラミック焼結体と、
前記セラミック焼結体の少なくとも一方の表面に形成された金属酸化物層と、を備え、
前記金属酸化物層の厚みが10μm以上でかつ500μm以下であり、かつ、前記金属酸化物層が、ホウ素を含む非晶質相を含有する
ことを特徴とするセラミック複合体。
A ceramic composite used for radomes for flying objects.
A ceramic sintered body containing Si 3 N 4 as the main component,
A metal oxide layer formed on at least one surface of the ceramic sintered body is provided.
A ceramic composite having a thickness of 10 μm or more and 500 μm or less, and the metal oxide layer containing an amorphous phase containing boron .
前記Siを主成分とする前記セラミック焼結体は、前記Siと窒化ホウ素とを合計して80質量%以上でかつ98質量%以下含有し、かつ前記Siと前記窒化ホウ素との質量比が95:5から70:30の範囲内であることを特徴とする、
請求項1に記載のセラミック複合体。
The ceramic sintered body composed mainly of the Si 3 N 4 contains the Si 3 N 4 and by summing the boron nitride and 80 wt% or more 98 wt% or less, and with the Si 3 N 4 The mass ratio with the boron nitride is in the range of 95: 5 to 70:30.
The ceramic composite according to claim 1.
前記金属酸化物層は、Rを希土類元素とすると、前記非晶質相は、Si及びホウ素を含むことを特徴とする、
請求項1又は請求項2に記載のセラミック複合体。
The metal oxide layer, when the R a rare earth element, the amorphous phase is characterized by the early days including the R 2 Si 2 O 7 and boron,
The ceramic composite according to claim 1 or 2.
前記窒化ホウ素の粒子は、前記SiThe boron nitride particles are the Si. 3 N 4 の粒子の間に分散しており、前記窒化ホウ素の粒子の平均粒径は、1μm以下であることを特徴とする請求項2に記載のセラミック複合体。The ceramic composite according to claim 2, wherein the boron nitride particles are dispersed between the particles, and the average particle size of the boron nitride particles is 1 μm or less. 空隙率が30パーセント以下であることを特徴とする請求項1に記載のセラミック複合体。The ceramic composite according to claim 1, wherein the void ratio is 30% or less. 前記Si3N4を主成分とする前記セラミック焼結体は、前記SiThe ceramic sintered body containing Si3N4 as a main component is the Si. 3 N 4 と窒化ホウ素と焼結助剤とを含み、前記焼結助剤の含有量は、2質量%以上でかつ20質量%以下であることを特徴とする請求項1に記載のセラミック複合体。The ceramic composite according to claim 1, further comprising boron nitride and a sintering aid, and the content of the sintering aid is 2% by mass or more and 20% by mass or less. 請求項1から請求項のいずれか一項に記載のセラミック複合体を備えることを特徴とする飛翔体用レドーム。 A radome for a flying object, comprising the ceramic composite according to any one of claims 1 to 6 .
JP2016132645A 2016-07-04 2016-07-04 Radomes for ceramic composites and flying objects Active JP6765236B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016132645A JP6765236B2 (en) 2016-07-04 2016-07-04 Radomes for ceramic composites and flying objects

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016132645A JP6765236B2 (en) 2016-07-04 2016-07-04 Radomes for ceramic composites and flying objects

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018002556A JP2018002556A (en) 2018-01-11
JP6765236B2 true JP6765236B2 (en) 2020-10-07

Family

ID=60947599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016132645A Active JP6765236B2 (en) 2016-07-04 2016-07-04 Radomes for ceramic composites and flying objects

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6765236B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110818440B (en) * 2019-11-04 2022-02-15 湖北三江航天江北机械工程有限公司 Near-net compression molding and moisture-proof treatment method for sandwich-structure quartz composite ceramic radome
JP7493479B2 (en) 2021-04-13 2024-05-31 三菱電機株式会社 Ceramic objects and radomes for spacecraft
CN115180957B (en) * 2022-07-11 2023-03-31 哈尔滨工业大学 Preparation method of hexagonal boron nitride ceramic with excellent thermal wave transmission performance
CN115504795A (en) * 2022-09-22 2022-12-23 衡阳凯新特种材料科技有限公司 High-strength silicon nitride wave-transparent ceramic and preparation method thereof
CN116653380A (en) * 2023-07-03 2023-08-29 衡阳凯新特种材料科技有限公司 Ceramic material with layered structure

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6087971A (en) * 1982-09-13 2000-07-11 The Boeing Company Method of fabricating an improved ceramic radome
JP4667520B2 (en) * 2009-03-31 2011-04-13 三井金属鉱業株式会社 Silicon nitride based composite ceramics and method for producing the same
US8765230B1 (en) * 2009-12-01 2014-07-01 The Boeing Company Thermal barrier coated RF radomes and method
JP2014195231A (en) * 2013-03-29 2014-10-09 Mitsubishi Electric Corp Radome for flying object and method of manufacturing radome for flying object

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018002556A (en) 2018-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6765236B2 (en) Radomes for ceramic composites and flying objects
CN105884376B (en) A kind of method that silica flour curtain coating prepares silicon nitride ceramic substrate
KR102270157B1 (en) Aluminum oxynitride ceramic heater and method for preparing the same
KR101719928B1 (en) MANUFACTURING METHOD OF Bi-Te BASED CERAMICS
CN107365155B (en) Low-temperature sintering aid system of aluminum nitride ceramic
JPS5834428B2 (en) Method for manufacturing silicon nitride ceramics
CN104844250B (en) A kind of high temperature resistant porous interlayer electromagnetic wave transparent material and preparation method thereof
US20240043342A1 (en) High strength ceramics with novel fracture mode
KR101470322B1 (en) Aluminum Nitride ceramics with high strength and the method of low temperature sintering thereof
JPH0563430B2 (en)
CN105459564B (en) Interface is from toughening Si3N4The preparation method of/SiC lamella ceramic materials
CN108299004A (en) A method of alleviating porous silicon nitride ceramic and transparent aluminium oxynitride ceramic joining process thermal stress
KR20190032966A (en) Tape casting slurry composition for manufacturing silicon nitride sintered body
JP6289406B2 (en) Ceramic composite and flying body radome
KR20190023485A (en) Aluminum nitride sintered body and method for manufacturing the same
CN101591196A (en) Glaze layer material for broadband ceramic matrix composite material and preparation method thereof
JP5130599B2 (en) Method for producing hexagonal boron nitride sintered body and hexagonal boron nitride sintered body
JP7493479B2 (en) Ceramic objects and radomes for spacecraft
KR102216429B1 (en) Cordierite based ceramic composition for use of ceramic heater
JP6179026B2 (en) Low thermal expansion ceramics and method for producing the same
JP2960591B2 (en) Silicon carbide-silicon nitride-mixed oxide-based sintered body and method for producing the same
JPH1087370A (en) Silicon nitride-base composite ceramics and production thereof
JP2012148932A (en) Method for manufacturing hexagonal boron nitride sintered body, and hexagonal boron nitride sintered body
JP6335080B2 (en) Bonding material composition, aluminum nitride bonded body, and manufacturing method thereof
KR20170060970A (en) Porous silicon nitride sintered body and method for manufacturing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190403

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200318

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200331

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200529

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200818

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200915

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6765236

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250