JP6763692B2

JP6763692B2 - Resin supply method and resin molding method

Info

Publication number: JP6763692B2
Application number: JP2016107793A
Authority: JP
Inventors: 雅志岡本
Original assignee: Apic Yamada Corp
Current assignee: Apic Yamada Corp
Priority date: 2016-05-30
Filing date: 2016-05-30
Publication date: 2020-09-30
Anticipated expiration: 2036-05-30
Also published as: JP2017213725A

Description

本発明は、シート状の樹脂（以下、シート樹脂という）を被供給物に供給する技術に関する。 The present invention relates to a technique for supplying a sheet-shaped resin (hereinafter referred to as sheet resin) to an object to be supplied.

特開２０１６−０２２６７１号公報（以下、特許文献１という）には、適宜のサイズ（樹脂量）に裁断加工されたシート樹脂をワーク（被供給物）に供給することが記載されている（その明細書段落［００３１］参照）。 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-022671 (hereinafter referred to as Patent Document 1) describes that a sheet resin cut to an appropriate size (resin amount) is supplied to a work (supplied object) (then). (See paragraph [0031] of the specification).

特開２０１６−０２２６７１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-022671

ウェハや大型基板の樹脂成形（樹脂封止）において用いられるシート樹脂が特に大判の場合、適切な状態で供給（セット）することが困難である。例えば、ワークや成形金型などの被供給物に対してシート樹脂を適切な位置に供給しようとした場合、被供給物とシート樹脂との相対位置の位置ズレが発生しやすく、キャビティ内で樹脂が充填されるときに不要な樹脂流れが生じることが考えられる。また、シート樹脂の位置が予期せず大きくずれるとキャビティの外側領域（金型部分）でシート樹脂を挟み込んでしまうことが考えられる。このような状態で樹脂成形を行うと成形不良となるおそれがある。また、ワークやフィルムなどの被供給物とシート樹脂との間にエアが挟み込まれたままであると、成形時にそのエアが膨張し、成形不良の原因となるおそれもある。 When the sheet resin used for resin molding (resin sealing) of a wafer or a large substrate is particularly large, it is difficult to supply (set) it in an appropriate state. For example, when trying to supply the sheet resin to an appropriate position for an object to be supplied such as a work or a molding die, the relative position of the object to be supplied and the sheet resin tends to be displaced, and the resin in the cavity It is conceivable that an unnecessary resin flow will occur when the resin is filled. Further, if the position of the sheet resin is unexpectedly greatly deviated, it is conceivable that the sheet resin is sandwiched in the outer region (mold portion) of the cavity. If resin molding is performed in such a state, molding may be defective. Further, if air is still sandwiched between the object to be supplied such as a work or film and the sheet resin, the air may expand during molding, which may cause molding defects.

本発明の一目的は、シート樹脂を適切な状態で供給することのできる技術を提供することにある。なお、本発明の一目的および他の目的ならびに新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかにしていく。 An object of the present invention is to provide a technique capable of supplying a sheet resin in an appropriate state. One object and other objects of the present invention and novel features will be clarified from the description of the present specification and the accompanying drawings.

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一解決手段に係る樹脂供給方法は、熱硬化性樹脂をシート状に成形したものであるシート樹脂を準備する工程と、（ａ）前記シート樹脂の中央部を凸となるように加圧して前記シート樹脂を曲げたまま、被供給物に対して前記シート樹脂の中央部から前記シート樹脂を押し付ける工程と、（ｂ）前記（ａ）工程の後に、前記被供給物に対して前記シート樹脂の外周部へ向かって前記シート樹脂を押し付ける工程と、を含むことを特徴とする。 A brief outline of the typical inventions disclosed in the present application is as follows. Resin supply method according to one solution of the present invention includes the steps of preparing a sheet resin is obtained by molding a thermosetting resin into a sheet, pressing to form a projection of the central part of (a) the sheet resin The step of pressing the sheet resin from the central portion of the sheet resin against the material to be fed while the sheet resin is bent by pressing, and (b) after the step (a), the step of pressing the sheet resin against the material to be supplied. It is characterized by including a step of pressing the sheet resin toward the outer peripheral portion of the sheet resin.

ここで、前記（ａ）工程では、ローラによって前記シート樹脂の中央部が加圧されて前記被供給物に前記シート樹脂が押し付けられ、前記（ｂ）工程では、前記ローラによって前記被供給物に前記シート樹脂を押し付ける際に、前記ローラを一方向に移動させた後、前記ローラを他方向に移動させることがより好ましい。これによれば、シート樹脂と被供給物との間のエアを外側に押し出しながら被供給物に対してシート樹脂を供給することができる。 Here, in the step (a), the central portion of the sheet resin is pressed by the roller to press the sheet resin against the supplied object, and in the step (b), the roller presses the sheet resin against the supplied object. When pressing the sheet resin, it is more preferable to move the roller in one direction and then move the roller in the other direction. According to this, the sheet resin can be supplied to the supplied object while pushing the air between the sheet resin and the supplied object to the outside.

また、前記（ａ）工程では、前記被供給物の中央部に前記シート樹脂の中央部を位置合わせして、前記被供給物に前記シート樹脂を押し付けることがより好ましい。これによれば、被供給物とシート樹脂との相対位置の位置ズレが発生し難くなり、被供給物に対してシート樹脂を適切な位置に供給することができる。 Further, in the step (a), it is more preferable to align the central portion of the sheet resin with the central portion of the supplied object and press the sheet resin against the supplied object. According to this, the positional deviation of the relative position between the object to be supplied and the sheet resin is less likely to occur, and the sheet resin can be supplied to an appropriate position with respect to the object to be supplied.

また、前記（ａ）工程および前記（ｂ）工程では、前記シート樹脂の前記被供給物側とは反対側にある保護フィルムを介して前記被供給物に対して前記シート樹脂を押し付け、前記（ｂ）工程の後に、前記保護フィルムを剥離することがより好ましい。これにより、押し付けられるシート樹脂を保護することができる。 Further, in the steps (a) and (b), the sheet resin is pressed against the supplied object via the protective film on the side opposite to the supplied object side of the sheet resin, and the () b) It is more preferable to peel off the protective film after the step. Thereby, the sheet resin to be pressed can be protected.

また、前記シート樹脂が供給された前記被供給物を成形金型にセットし、前記成形金型のキャビティ内で前記シート樹脂を熱硬化させることがより好ましい。また、前記被供給物がワークまたはリリースフィルムであることがより好ましい。 Further, it is more preferable that the object to be supplied to which the sheet resin is supplied is set in the molding die, and the sheet resin is thermoset in the cavity of the molding die. Further, it is more preferable that the material to be supplied is a work or release film.

被供給物に対してシート樹脂が適切な位置に供給されているので、キャビティの外側領域（金型部分）でシート樹脂の挟み込みを防止することができる。また、樹脂成形においてシート樹脂が成形金型のキャビティ内で充填されるときに不要な樹脂流れの発生を防止することができる。このようにシート樹脂を適切な位置に供給することで、樹脂成形において成形不良の発生を防止することができる。また、エアの挟み込みを防止することで、樹脂成形においてボイドなどの成形不良の発生を防止することができる。 Since the sheet resin is supplied at an appropriate position with respect to the object to be supplied, it is possible to prevent the sheet resin from being pinched in the outer region (mold portion) of the cavity. Further, in resin molding, it is possible to prevent the generation of unnecessary resin flow when the sheet resin is filled in the cavity of the molding die. By supplying the sheet resin to an appropriate position in this way, it is possible to prevent the occurrence of molding defects in resin molding. Further, by preventing air from being pinched, it is possible to prevent the occurrence of molding defects such as voids in resin molding.

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一解決手段によれば、シート樹脂を適切な状態で供給することができる。 Among the inventions disclosed in the present application, the effects obtained by typical ones will be briefly described as follows. According to one solution of the present invention, the sheet resin can be supplied in an appropriate state.

本発明の実施形態１に係る樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図１に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 図１に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 図１に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 図１に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 図１に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 図１に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 本発明の実施形態１に係る樹脂成形方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin molding method which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図８に続く樹脂成形方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin molding method following FIG. 本発明の実施形態２に係る樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method which concerns on Embodiment 2 of this invention. 図１０に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 図１１に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 図１２に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 図１３に続く樹脂供給方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin supply method following FIG. 本発明の実施形態２に係る樹脂成形方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin molding method which concerns on Embodiment 2 of this invention. 図１５に続く樹脂成形方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin molding method following FIG. 図１６に続く樹脂成形方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin molding method following FIG. 図１７に続く樹脂成形方法の説明図である。It is explanatory drawing of the resin molding method following FIG.

以下の本発明における実施形態では、必要な場合に複数のセクションなどに分けて説明するが、原則、それらはお互いに無関係ではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細などの関係にある。このため、全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、構成要素の数（個数、数値、量、範囲などを含む）については、特に明示した場合や原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、構成要素などの形状に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合などを除き、実質的にその形状などに近似または類似するものなどを含むものとする。 In the following embodiments of the present invention, if necessary, the description will be divided into a plurality of sections and the like, but in principle, they are not unrelated to each other, and one is related to some or all of the other modifications, details and the like. It is in. Therefore, in all the drawings, members having the same function are designated by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be omitted. In addition, the number of components (including the number, numerical value, quantity, range, etc.) is limited to a specific number unless otherwise specified or in principle clearly limited to a specific number. It is not a thing, and may be more than or less than a specific number. In addition, when referring to the shape of a component, etc., it shall include those that are substantially similar to or similar to the shape, etc., unless otherwise specified or when it is considered that this is not the case in principle. ..

（実施形態１）
本発明の実施形態に係る樹脂供給方法について、図１〜図７を参照して説明する。図１〜図７は、樹脂供給方法の説明図であり、被供給物に供給されるシート樹脂１０を中心とした模式的断面を示す。なお、本実施形態では、被供給物としてワークＷを用いる。 (Embodiment 1)
The resin supply method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7. 1 to 7 are explanatory views of a resin supply method, and show a schematic cross section centered on the sheet resin 10 supplied to the object to be supplied. In this embodiment, the work W is used as the object to be supplied.

まず、図１に示すように、シート樹脂１０を準備する。シート樹脂１０は、例えばエポキシ系などの熱硬化性樹脂をシート状に半硬化（Ｂステージ）させて成形したものである。シート樹脂１０は、この両面（一方面を上面、他方面を下面とする）に貼り付けられた保護フィルム１１、１１を有する。保護フィルム１１は、例えばポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）をフィルム状に成形したものである。このようなシート樹脂１０は、例えばリールに巻き付けられており、適宜のサイズ（樹脂量）に裁断加工される。 First, as shown in FIG. 1, the sheet resin 10 is prepared. The sheet resin 10 is formed by semi-curing (B stage) a thermosetting resin such as an epoxy-based resin into a sheet shape. The sheet resin 10 has protective films 11 and 11 attached to both sides (one side is the upper surface and the other side is the lower surface). The protective film 11 is, for example, polyethylene terephthalate (PET) molded into a film shape. Such a sheet resin 10 is wound around a reel, for example, and is cut to an appropriate size (resin amount).

続いて、図２に示すように、シート樹脂１０の下面側の保護フィルム１１を剥離する。これにより、シート樹脂１０の下面がワークＷと接するよう露出される。続いて、図３に示すように、樹脂シート１０が供給されるワークＷ（被供給物）を準備し、これをステージ１２にセットする。ワークＷは、例えばキャリア１３（ウェハ、テンポラリキャリア、基板など）上にチップ部品１４（例えばチップ状の半導体などの電子部品）がマトリクス状に設けられたものである。 Subsequently, as shown in FIG. 2, the protective film 11 on the lower surface side of the sheet resin 10 is peeled off. As a result, the lower surface of the sheet resin 10 is exposed so as to come into contact with the work W. Subsequently, as shown in FIG. 3, a work W (supplied object) to which the resin sheet 10 is supplied is prepared, and this is set on the stage 12. The work W is, for example, a carrier 13 (wafer, temporary carrier, substrate, etc.) on which chip components 14 (for example, electronic components such as chip-shaped semiconductors) are provided in a matrix.

そして、シート樹脂１０の上面側の中央部を加圧してシート樹脂１０を曲げる。なお、シート樹脂１０は、図３に示すように中央部分が凸となるような折り曲げる状態のみならず、中央部分が湾曲して凸となるように曲げることもできる。同図に示す場合において、具体的には、図示しないハンドによりシート樹脂１０の両端を保持しながら、その中央部をローラ１５によって加圧することで、シート樹脂１０の中央部が下側に凹まされて（換言すると、凸となるようにされて）、シート樹脂１０がＶ字状に折り曲げられる。このため、シート樹脂１０の中央部をワークＷの中央部に位置合わせ（センタリング）することが容易となる。なお、ローラ１５としては、例えば、金属性、ゴム製又はプラスチック製の円筒状部材の中心に軸を設けてその円筒状部材を回転可能に構成されたものを用いることができる。これにより、シート樹脂１０上からローラ１５で加圧してエアを押し出すことができる。また、上述の円筒状部材として、多数の空孔を含むスポンジ状の材質を用いることもできる。これによれば、シート樹脂１０を被供給物の凹凸に倣わせながらセットすることができる。また、ローラ１５を用いない加圧方法としては、弾性部材を用いたり、エアブローとしての押し付けや空気圧による加圧で行ったりすることができる。 Then, the central portion on the upper surface side of the sheet resin 10 is pressed to bend the sheet resin 10. The sheet resin 10 can be bent not only in a bent state in which the central portion is convex as shown in FIG. 3, but also in a bent state in which the central portion is curved and convex. In the case shown in the figure, specifically, the central portion of the sheet resin 10 is recessed downward by pressing the central portion thereof with the roller 15 while holding both ends of the sheet resin 10 with a hand (not shown). (In other words, it is made convex), and the sheet resin 10 is bent into a V shape. Therefore, it becomes easy to align (center) the central portion of the sheet resin 10 with the central portion of the work W. As the roller 15, for example, a roller 15 can be used in which a shaft is provided at the center of a cylindrical member made of metal, rubber or plastic so that the cylindrical member can be rotated. As a result, the air can be pushed out by pressurizing the sheet resin 10 with the rollers 15. Further, as the above-mentioned cylindrical member, a sponge-like material containing a large number of pores can also be used. According to this, the sheet resin 10 can be set while imitating the unevenness of the supplied object. Further, as a pressurizing method that does not use the roller 15, an elastic member can be used, or pressing as an air blow or pressurizing by air pressure can be performed.

続いて、図４に示すように、シート樹脂１０を折り曲げたまま、シート樹脂１０の中央部からワークＷに対してシート樹脂１０を押し付ける。本実施形態では、押し付け用のローラ１５によって、シート樹脂１０の上面側（ワークＷ側とは反対側）にある保護フィルム１１を介してワークＷに対してシート樹脂１０を押し付けている。保護フィルム１１を介して押し付けることでローラ１５とシート樹脂１０との接触によりこれらが汚れることから保護することができる。具体的には、シート樹脂１０がローラ１５に接触することにより、シート樹脂１０の成分がローラ１５に付着するのを防止することができる。また、例えば、ローラ１５に付着した付着物をシート樹脂１０の表面に転写してしまうことも防止することができる。また、ローラ１５によってシート樹脂１０の中央部がワークＷの中央部に位置合わせされた状態でシート樹脂１０の中央部が加圧される。そして、加圧されたまま、ワークＷにシート樹脂１０が押し付けられる。これにより、例えばワークＷとシート樹脂１０とを一端側において位置合わせしてセットするような場合と比較して、ワークＷとシート樹脂１０との相対位置の位置ズレが発生し難くなり、シート樹脂１０を適切な位置に供給することができるようになる。例えば、一端側において位置合わせしてセットするような場合では、最初に位置合わせしたときの位置や角度により、ワークＷとシート樹脂１０とが全体として大きくズレてしまうことが考えられる。しかしながら、ワークＷとシート樹脂１０とをそれぞれの中央に位置合わせすることでズレを小さくすることができる。 Subsequently, as shown in FIG. 4, the sheet resin 10 is pressed against the work W from the central portion of the sheet resin 10 while the sheet resin 10 is bent. In the present embodiment, the sheet resin 10 is pressed against the work W by the pressing roller 15 via the protective film 11 on the upper surface side (opposite side of the work W side) of the sheet resin 10. By pressing the roller 15 through the protective film 11, it is possible to protect the rollers 15 from becoming dirty due to contact with the sheet resin 10. Specifically, when the sheet resin 10 comes into contact with the roller 15, it is possible to prevent the components of the sheet resin 10 from adhering to the roller 15. Further, for example, it is possible to prevent the deposits adhering to the roller 15 from being transferred to the surface of the sheet resin 10. Further, the central portion of the sheet resin 10 is pressurized by the roller 15 in a state where the central portion of the sheet resin 10 is aligned with the central portion of the work W. Then, the sheet resin 10 is pressed against the work W while being pressurized. As a result, as compared with the case where the work W and the sheet resin 10 are aligned and set on one end side, for example, the relative positions of the work W and the sheet resin 10 are less likely to be displaced, and the sheet resin is less likely to be displaced. 10 can be supplied to an appropriate position. For example, in the case of aligning and setting on one end side, it is conceivable that the work W and the sheet resin 10 may be largely displaced as a whole depending on the position and angle at the time of the first alignment. However, the deviation can be reduced by aligning the work W and the sheet resin 10 at the center of each.

続いて、図５、図６および図７に示すように、ワークＷに対してシート樹脂１０の外周部へ向かってシート樹脂１０を押し付けて、シート樹脂１０を供給する。具体的には、ローラ１５によってワークＷにシート樹脂１０を押し付ける際に、ローラ１５を一方向に移動させた後（図５参照）、ローラ１５を他方向に移動させる（図６参照）。これにより、シート樹脂１０とワークＷとの間のエアを外側に押し出しながらワークＷに対してシート樹脂１０を供給（セット）することができる（図７参照）。すなわち、シート樹脂１０とワークＷとの間のエアを排出しながらワークＷに対してシート樹脂１０を沿わせて貼り付けるように供給することができる。本実施形態では、保護フィルム１１を用いているので、ローラ１５によって押し付けられるシート樹脂１０等を保護することができる。その後、ワークＷに供給されたシート樹脂１０の上面側の保護フィルム１１が剥離される。また、ワークＷとシート樹脂１０とをそれぞれの中央に位置合わせてからローラ１５を移動させているため、位置ズレを起こすことなくセットすることができる。例えば、ワークＷにおけるチップ部品１４の凹凸にシート樹脂１０が倣って貼り付けられるようなときには、シート樹脂１０のそのものの長さでワークＷを覆った状態とならず、一端側において位置合わせしてセットするような場合では、最初に位置合わせすべき位置が不明となり易く、ワークＷとシート樹脂１０とが全体として大きくズレてしまうことも考えられる。これに対して、ワークＷとシート樹脂１０とをそれぞれの中央に位置合わせてからローラ１５を移動させているため、適宜の位置からセットすることができるため好ましい。 Subsequently, as shown in FIGS. 5, 6 and 7, the sheet resin 10 is pressed against the work W toward the outer peripheral portion of the sheet resin 10 to supply the sheet resin 10. Specifically, when the sheet resin 10 is pressed against the work W by the roller 15, the roller 15 is moved in one direction (see FIG. 5), and then the roller 15 is moved in the other direction (see FIG. 6). As a result, the sheet resin 10 can be supplied (set) to the work W while pushing the air between the sheet resin 10 and the work W to the outside (see FIG. 7). That is, it is possible to supply the sheet resin 10 so as to be attached along the work W while discharging the air between the sheet resin 10 and the work W. Since the protective film 11 is used in this embodiment, the sheet resin 10 or the like pressed by the roller 15 can be protected. After that, the protective film 11 on the upper surface side of the sheet resin 10 supplied to the work W is peeled off. Further, since the work W and the sheet resin 10 are aligned at the center of each and then the roller 15 is moved, the work W and the sheet resin 10 can be set without causing a misalignment. For example, when the sheet resin 10 is attached to the unevenness of the chip component 14 in the work W, the work W is not covered by the length of the sheet resin 10 itself, but is aligned on one end side. In the case of setting, it is easy to make it difficult to know the position to be aligned first, and it is possible that the work W and the sheet resin 10 are largely misaligned as a whole. On the other hand, since the work W and the sheet resin 10 are aligned at the center of each and then the roller 15 is moved, it is preferable because it can be set from an appropriate position.

なお、ワークＷにシート樹脂１０を貼り付けるように供給するにあたり、真空環境下で行ってもよい。例えば、ワークＷをチャンバ内に配置し、例えば真空ポンプを備える減圧機構でチャンバ内を減圧しながらワークＷにシート樹脂１０を貼り付けるようにして押し付ける。これにより、真空チャンバ内に配置されたワークＷに対してシート樹脂１０とワークＷとの間のエアをより排出することができる。また、ワークＷにシート樹脂１０を貼り付けた後に減圧を解除して圧力を上昇させることで加圧し、ワークＷに対してシート樹脂１０を密着させることができる。 The sheet resin 10 may be supplied so as to be attached to the work W in a vacuum environment. For example, the work W is arranged in the chamber, and the sheet resin 10 is pressed against the work W while depressurizing the inside of the chamber with a decompression mechanism provided with a vacuum pump, for example. As a result, the air between the sheet resin 10 and the work W can be discharged more with respect to the work W arranged in the vacuum chamber. Further, after the sheet resin 10 is attached to the work W, the pressure is reduced by releasing the depressurization and increasing the pressure, so that the sheet resin 10 can be brought into close contact with the work W.

次に、本発明の実施形態に係る樹脂成形方法について、図８および図９を参照して説明する。図８および図９は、成形金型５０を備える成形装置を用いた樹脂成形方法の説明図であり、シート樹脂１０を中心とした模式的断面を示す。なお、樹脂成形方法は、前述の樹脂供給方法と区別しなくともよく、樹脂供給方法を含んでもよい。 Next, the resin molding method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9. 8 and 9 are explanatory views of a resin molding method using a molding apparatus provided with a molding die 50, and show a schematic cross section centered on the sheet resin 10. The resin molding method does not have to be distinguished from the above-mentioned resin supply method, and may include a resin supply method.

まず、図８に示すように、成形金型５０を備える成形装置を用意する。成形金型５０は、型開閉可能な一対の金型（上型となる一方の金型５１および下型となる他方の金型５２）を備える（図８では型閉じした状態を示す）。成形金型５０の開閉には、例えば、固定プラテンに対して、電動モータ駆動のトグルリンクによって可動プラテンを進退動させる公知のプレス機構（型開閉機構）が用いられ、金型５１が固定プラテン、金型５２が可動プラテンに組み付けられる。また、成形金型５０の加熱に用いられるヒータが内蔵される。 First, as shown in FIG. 8, a molding apparatus provided with a molding die 50 is prepared. The molding die 50 includes a pair of molds that can be opened and closed (one mold 51 that serves as an upper mold and the other mold 52 that serves as a lower mold) (FIG. 8 shows a closed state). For opening and closing the molding die 50, for example, a known press mechanism (mold opening / closing mechanism) for moving the movable platen forward and backward by a toggle link driven by an electric motor is used for the fixed platen, and the mold 51 is the fixed platen. The mold 52 is assembled to the movable platen. In addition, a heater used for heating the molding die 50 is built in.

また、成形金型５０は、金型５１に金型キャビティ５３（型閉じされてキャビティＣを構成する）を備える。金型５１は、キャビティ駒５４と、キャビティ駒５４が挿入される貫通孔５５ａを有するクランパ５５とを備えて構成される。そして、キャビティ駒５４の下面およびクランパ５５（貫通孔５５ａ）の内面で囲まれて、凹状の金型キャビティ５３が構成される。また、金型５２は、ワークＷがセットされるセット部５６（クランプ面、パーティング面でもある）を備える。 Further, the molding die 50 includes a die cavity 53 (closed to form the cavity C) in the die 51. The mold 51 includes a cavity piece 54 and a clamper 55 having a through hole 55a into which the cavity piece 54 is inserted. Then, the lower surface of the cavity piece 54 and the inner surface of the clamper 55 (through hole 55a) form a concave mold cavity 53. Further, the mold 52 includes a set portion 56 (which is also a clamp surface and a parting surface) on which the work W is set.

キャビティ駒５４は、貫通孔５５ａ内でクランパ５５に対して相対的に可動するよう構成される。例えば、キャビティ駒５４やクランパ５５の上方にあるベース（図示せず）に対して、キャビティ駒５４がスプリングを介して保持され、クランパ５５が固定して保持されることで、型開閉動作に伴ってキャビティ駒５４が可動される。 The cavity piece 54 is configured to move relative to the clamper 55 in the through hole 55a. For example, the cavity piece 54 is held by a spring with respect to the base (not shown) above the cavity piece 54 and the clamper 55, and the clamper 55 is fixedly held to accompany the mold opening / closing operation. The cavity piece 54 is moved.

続いて、成形金型５０が型開きした状態で、シート樹脂１０が供給されたワークＷを成形金型５０にセットし、金型５１および金型５２を近づけていき型閉じした状態とする（図８参照）。これにより、ワークＷ（キャリア１３）が金型５１（クランパ５５）と金型５２（セット部５６）とで挟まれ、金型キャビティ５３の開口部が閉塞されてキャビティＣが形成される。ここでは、シート樹脂１０を金型５１側に向けてセット部５６にワークＷが位置合わせしてセットされ、キャビティＣ（金型キャビティ５３）内にワークＷのチップ部品１４と共にシート樹脂１０が収容される。また、型閉じの際には、例えば真空ポンプを備える減圧機構によって、キャビティＣが減圧されてエアが排出される。また、セット部５６にセットされるワークＷは、例えば真空ポンプを備える吸引機構によって、吸着保持されてもよい。 Subsequently, with the molding die 50 opened, the work W to which the sheet resin 10 is supplied is set in the molding die 50, and the die 51 and the die 52 are brought closer to each other to close the die (the die is closed). (See FIG. 8). As a result, the work W (carrier 13) is sandwiched between the mold 51 (clamper 55) and the mold 52 (set portion 56), and the opening of the mold cavity 53 is closed to form the cavity C. Here, the work W is aligned and set in the set portion 56 with the sheet resin 10 facing the mold 51 side, and the sheet resin 10 is housed in the cavity C (mold cavity 53) together with the chip component 14 of the work W. Will be done. Further, when the mold is closed, the cavity C is decompressed and air is discharged by a decompression mechanism including, for example, a vacuum pump. Further, the work W set in the set portion 56 may be suction-held by, for example, a suction mechanism provided with a vacuum pump.

本実施形態では、前述したように、ワークＷに対してシート樹脂１０を適切な位置に供給しているため、型閉じする際には、キャビティＣの外側領域（クランパ５５）でシート樹脂１０が挟み込まれるのを防止することができる。したがって、樹脂成形において成形不良の発生を防止することができる。 In the present embodiment, as described above, since the sheet resin 10 is supplied to the work W at an appropriate position, the sheet resin 10 is placed in the outer region (clamper 55) of the cavity C when the mold is closed. It is possible to prevent it from being pinched. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of molding defects in resin molding.

続いて、図９に示すように、成形金型５０のキャビティＣ内でシート樹脂１０を加熱および加圧させる。具体的には、成形金型５０に内蔵されたヒータ（図示せず）によってシート樹脂１０が溶融樹脂Ｒとなり、更なる型閉じ動作により可動するキャビティ駒５４によって溶融樹脂ＲがキャビティＣ内で充填され、所定条件下で加熱および加圧される。これにより、ワークＷに樹脂成形がなされ、型開きした成形金型５０から成形品としてのワークＷが取り出される。なお、ワークＷを成形金型５０にセットする前にはシート樹脂１０の上面側の保護フィルム１１を剥離せずに、成形金型５０から取り出した後にその保護フィルム１１を剥離させてもよい。 Subsequently, as shown in FIG. 9, the sheet resin 10 is heated and pressurized in the cavity C of the molding die 50. Specifically, the sheet resin 10 becomes the molten resin R by the heater (not shown) built in the molding die 50, and the molten resin R is filled in the cavity C by the cavity piece 54 that moves by the further mold closing operation. Is heated and pressurized under predetermined conditions. As a result, resin molding is performed on the work W, and the work W as a molded product is taken out from the mold opening mold 50. Before setting the work W in the molding die 50, the protective film 11 on the upper surface side of the sheet resin 10 may not be peeled off, but the protective film 11 may be peeled off after being taken out from the molding die 50.

本実施形態では、前述したように、ワークＷに対してシート樹脂１０を適切な位置に供給しているため、樹脂成形においてシート樹脂１０（溶融樹脂Ｒ）が成形金型５０のキャビティＣ内で充填されるときに不要な樹脂流れの発生を防止することができる。また、前述したように、シート樹脂１０とワークＷとの間でエアの挟み込みが防止されて、ワークＷにシート樹脂１０が供給されているため、ボイドなどの成形不良の発生を防止することができる。 In the present embodiment, as described above, since the sheet resin 10 is supplied to the work W at an appropriate position, the sheet resin 10 (molten resin R) is placed in the cavity C of the molding die 50 in resin molding. It is possible to prevent the generation of unnecessary resin flow when filling. Further, as described above, since air is prevented from being sandwiched between the sheet resin 10 and the work W and the sheet resin 10 is supplied to the work W, it is possible to prevent the occurrence of molding defects such as voids. it can.

（実施形態２）
本発明の実施形態に係る樹脂供給方法について、図１０〜図１４を参照して説明する。図１０〜図１４は、樹脂供給方法の説明図であり、被供給物に供給されるシート樹脂１０を中心とした模式的断面を示す。なお、本実施形態では、被供給物としてリリースフィルムＦを用い、前記実施形態１と相違する点を中心に説明する。 (Embodiment 2)
The resin supply method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 to 14. 10 to 14 are explanatory views of a resin supply method, and show a schematic cross section centered on the sheet resin 10 supplied to the supplied object. In this embodiment, the release film F is used as the object to be supplied, and the differences from the first embodiment will be mainly described.

まず、図１０に示すように、シート樹脂１０を準備する。このように、前記実施形態１とは異なり、両面に保護フィルム１１、１１が貼り付いていないシート樹脂１０を用いることもできる。なお、このような保護フィルム１１が貼り付けられていないシート樹脂１０としては、同図に示す工程の前に保護フィルム１１を剥離しておいてもよいし、顆粒樹脂等からシート樹脂１０を製造してもよい。 First, as shown in FIG. 10, the sheet resin 10 is prepared. As described above, unlike the first embodiment, the sheet resin 10 to which the protective films 11 and 11 are not attached to both sides can be used. As the sheet resin 10 to which such a protective film 11 is not attached, the protective film 11 may be peeled off before the step shown in the figure, or the sheet resin 10 may be manufactured from granule resin or the like. You may.

続いて、図１１に示すように、樹脂シート１０が供給されるリリースフィルムＦ（被供給物）を準備し、これをステージ１２にセットする。リリースフィルムＦは、例えば、剥離性、耐熱性、柔軟性、伸展性を有するフィルム材から構成される。リリースフィルムＦとしては、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジンなどが好適に用いられる。 Subsequently, as shown in FIG. 11, a release film F (supplied object) to which the resin sheet 10 is supplied is prepared, and this is set on the stage 12. The release film F is composed of, for example, a film material having peelability, heat resistance, flexibility, and extensibility. As the release film F, for example, PTFE, ETFE, PET, FEP, fluorine-impregnated glass cloth, polypropylene, polychlorinated biphenyl and the like are preferably used.

このリリースフィルムＦは、フィルム搬送用治具２０で吸着保持された状態でステージ１２にセット（載置）される。フィルム搬送用治具２０は、中央部に形成された貫通孔２０ａおよび外周部に形成されたエア吸引孔２０ｂを有して、環状に構成されている。エア吸引孔２０ｂは、例えば真空ポンプを備える吸引機構（図示せず）と接続され、吸引機構の駆動によりリリースフィルムＦを吸引する。このため、フィルム搬送用治具２０によれば、リリースフィルムＦの中央部が貫通孔２０ａから露出するよう、リリースフィルムＦの外周部が例えばエア吸引孔２０ｂによって吸着保持される。なお、フィルム搬送用治具２０としては、リリースフィルムＦの外周部を挟み込みなどの機械的な方法により保持してもよい。 The release film F is set (placed) on the stage 12 in a state of being sucked and held by the film transport jig 20. The film transport jig 20 has a through hole 20a formed in the central portion and an air suction hole 20b formed in the outer peripheral portion, and is formed in an annular shape. The air suction hole 20b is connected to, for example, a suction mechanism (not shown) provided with a vacuum pump, and the release film F is sucked by driving the suction mechanism. Therefore, according to the film transport jig 20, the outer peripheral portion of the release film F is attracted and held by, for example, the air suction hole 20b so that the central portion of the release film F is exposed from the through hole 20a. The film transporting jig 20 may be held by a mechanical method such as sandwiching the outer peripheral portion of the release film F.

また、図１１に示すように、貫通孔２０ａから露出するリリースフィルムＦの中央部に金属板２１をセットしてもよい。この金属板２１は、成形品を構成する一部となり、放熱板や電磁波等の遮蔽板などとして用いられる。なお、金属板２１に限らず、他のフィルムをリリースフィルムＦにセットしてもよい。 Further, as shown in FIG. 11, the metal plate 21 may be set in the central portion of the release film F exposed from the through hole 20a. The metal plate 21 becomes a part of a molded product and is used as a heat radiating plate, a shielding plate for electromagnetic waves, and the like. Not limited to the metal plate 21, another film may be set on the release film F.

また、シート樹脂１０の上面側の中央部を加圧してシート樹脂１０を折り曲げる。シート樹脂１０の中央部をローラ１５によって加圧することで、シート樹脂１０の中央部が下側に凹まされて、シート樹脂１０がＶ字状に折り曲げられる。このため、シート樹脂１０の中央部をリリースフィルムＦの中央部に位置合わせ（センタリング）することが容易となる。 Further, the central portion on the upper surface side of the sheet resin 10 is pressed to bend the sheet resin 10. By pressing the central portion of the sheet resin 10 with the roller 15, the central portion of the sheet resin 10 is recessed downward, and the sheet resin 10 is bent in a V shape. Therefore, it becomes easy to align (center) the central portion of the sheet resin 10 with the central portion of the release film F.

続いて、図１２に示すように、シート樹脂１０を折り曲げたまま、シート樹脂１０の中央部からリリースフィルムＦに対してシート樹脂１０を押し付ける。具体的には、ローラ１５によってシート樹脂１０の中央部がリリースフィルムＦの中央部に位置合わせされた状態でシート樹脂１０の中央部が加圧される。そして、加圧されたまま、リリースフィルムＦにシート樹脂１０が押し付けられる。これにより、上述の実施形態と同様に、リリースフィルムＦとシート樹脂１０との相対位置の位置ズレが発生し難くなる。 Subsequently, as shown in FIG. 12, the sheet resin 10 is pressed against the release film F from the central portion of the sheet resin 10 while the sheet resin 10 is bent. Specifically, the central portion of the sheet resin 10 is pressurized by the roller 15 in a state where the central portion of the sheet resin 10 is aligned with the central portion of the release film F. Then, the sheet resin 10 is pressed against the release film F while being pressurized. As a result, as in the above-described embodiment, the relative positions of the release film F and the sheet resin 10 are less likely to be displaced.

続いて、図１３および図１４に示すように、リリースフィルムＦに対してシート樹脂１０の外周部へ向かってシート樹脂１０を押し付けて、シート樹脂１０を供給する。具体的には、ローラ１５によってリリースフィルムＦにシート樹脂１０を押し付ける際に、ローラ１５を一方向に移動させた後（図１３参照）、ローラ１５を他方向に移動させる（図１４参照）。これにより、シート樹脂１０とリリースフィルムＦとの間のエアを外側に押し出しながらリリースフィルムＦに対してシート樹脂１０を供給（セット）することができる。本実施形態においては、平坦なリリースフィルムＦに対して平坦なシート樹脂１０を供給するときにエアを挟み込んでしまうことなくセットすることができる。これによれば、後述する樹脂成形の工程において挟み込まれたエアが膨張して成形品に跡が残ってしまうような不具合を防止することもできる。 Subsequently, as shown in FIGS. 13 and 14, the sheet resin 10 is pressed against the release film F toward the outer peripheral portion of the sheet resin 10 to supply the sheet resin 10. Specifically, when the sheet resin 10 is pressed against the release film F by the roller 15, the roller 15 is moved in one direction (see FIG. 13), and then the roller 15 is moved in the other direction (see FIG. 14). As a result, the sheet resin 10 can be supplied (set) to the release film F while pushing the air between the sheet resin 10 and the release film F to the outside. In the present embodiment, when the flat sheet resin 10 is supplied to the flat release film F, it can be set without pinching air. According to this, it is possible to prevent a problem that the air sandwiched in the resin molding step described later expands and leaves a mark on the molded product.

次に、本発明の実施形態に係る樹脂成形方法について、図１５〜図１８を参照して説明する。図１５〜図１８は、成形金型５０Ａを備える成形装置を用いた樹脂成形方法の説明図であり、シート樹脂１０を中心とした模式的断面を示す。 Next, the resin molding method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 15 to 18. 15 to 18 are explanatory views of a resin molding method using a molding apparatus provided with a molding die 50A, and show a schematic cross section centered on the sheet resin 10.

まず、図１５に示すように、成形金型５０Ａを備える樹脂成形装置を用意する。成形金型５０Ａでは、前記実施形態１で示した成形金型５０の金型５１、５２（すなわちキャビティＣ）が上下逆に構成され、上型が金型５２、下型が金型５１となっている。 First, as shown in FIG. 15, a resin molding apparatus including a molding die 50A is prepared. In the molding mold 50A, the molds 51 and 52 (that is, the cavity C) of the molding mold 50 shown in the first embodiment are configured upside down, the upper mold becomes the mold 52, and the lower mold becomes the mold 51. ing.

続いて、成形金型５０Ａが型開きした状態で、ワークＷを成形金型５０Ａにセットする。金型５２のセット部５６にセットされるワークＷは、例えば真空ポンプを備える吸引機構によって、吸着保持される。また、シート樹脂１０が供給されたリリースフィルムＦは、フィルム搬送用治具２０によって吸着保持された状態で成形金型５０Ａの内部まで搬送されてくる。 Subsequently, the work W is set in the molding die 50A with the molding die 50A opened. The work W set in the set portion 56 of the mold 52 is sucked and held by, for example, a suction mechanism provided with a vacuum pump. Further, the release film F to which the sheet resin 10 is supplied is conveyed to the inside of the molding die 50A in a state of being attracted and held by the film conveying jig 20.

続いて、フィルム搬送用治具２０を下降させ、シート樹脂１０が供給されたリリースフィルムＦを成形金型５０Ａの金型５１（下型）にセットする。具体的には、キャビティ駒５４とクランパ５５との間などをエア吸引孔とし、これに接続される真空ポンプを備える吸引機構（図示せず）を用いて、リリースフィルムＦを金型５１に吸着保持する。この際、シート樹脂１０および金属板２１が金型キャビティ５３に収容される。その後、フィルム搬送用治具２０は成形金型５０Ａの内部から退出させられる。 Subsequently, the film transport jig 20 is lowered, and the release film F to which the sheet resin 10 is supplied is set in the mold 51 (lower mold) of the molding mold 50A. Specifically, the release film F is attracted to the mold 51 by using an air suction hole between the cavity piece 54 and the clamper 55 and a suction mechanism (not shown) provided with a vacuum pump connected to the air suction hole. Hold. At this time, the sheet resin 10 and the metal plate 21 are housed in the mold cavity 53. After that, the film transport jig 20 is retracted from the inside of the molding die 50A.

続いて、図１７に示すように、金型５１および金型５２を近づけていき型閉じした状態とする。これにより、リリースフィルムＦを介してワークＷ（キャリア１３）が金型５１（クランパ５５）と金型５２（セット部５６）とで挟まれ、金型キャビティ５３の開口部が閉塞されてキャビティＣが形成される。リリースフィルムＦに対してシート樹脂１０を適切な位置に供給しているため、型閉じする際には、例えばシート樹脂１０を適切な位置に供給できなかった場合にキャビティＣの外側領域（クランパ５５）でシート樹脂１０が挟み込まれてしまうような事態を防止することができる。したがって、樹脂成形において成形不良の発生を防止することができる。 Subsequently, as shown in FIG. 17, the mold 51 and the mold 52 are brought closer to each other to close the mold. As a result, the work W (carrier 13) is sandwiched between the mold 51 (clamper 55) and the mold 52 (set portion 56) via the release film F, and the opening of the mold cavity 53 is closed to form the cavity C. Is formed. Since the sheet resin 10 is supplied to the release film F at an appropriate position, when the mold is closed, for example, when the sheet resin 10 cannot be supplied to the appropriate position, the outer region of the cavity C (clamper 55). ), It is possible to prevent a situation in which the sheet resin 10 is pinched. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of molding defects in resin molding.

続いて、図１８に示すように、成形金型５０ＡのキャビティＣ内でシート樹脂１０を加熱および加圧させる。具体的には、成形金型５０Ａに内蔵されたヒータ（図示せず）によってシート樹脂１０が溶融樹脂Ｒとなり、更なる型閉じ動作により可動するキャビティ駒５４によって溶融樹脂ＲがキャビティＣ内で充填され、所定条件下で加熱および加圧される。これにより、ワークＷに樹脂成形がなされ、型開きした成形金型５０Ａから成形品としてのワークＷが取り出される。この際、リリースフィルムＦを用いているので、ワークＷを容易に取り出すことができる。このような本実施形態でも、例えば、上述したようなエアの挟み込みによる不具合の発生も防止することもできるほか、ボイドなどの成形不良の発生を防止することができるなど、前記実施形態１と同様の作用、効果がある。 Subsequently, as shown in FIG. 18, the sheet resin 10 is heated and pressurized in the cavity C of the molding die 50A. Specifically, the sheet resin 10 becomes the molten resin R by the heater (not shown) built in the molding die 50A, and the molten resin R is filled in the cavity C by the cavity piece 54 that moves by the further mold closing operation. Is heated and pressurized under predetermined conditions. As a result, resin molding is performed on the work W, and the work W as a molded product is taken out from the mold opening mold 50A. At this time, since the release film F is used, the work W can be easily taken out. In this embodiment as well, for example, it is possible to prevent the occurrence of defects due to the pinching of air as described above, and it is also possible to prevent the occurrence of molding defects such as voids, as in the first embodiment. Has the action and effect of.

以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。 Although the present invention has been specifically described above based on the embodiment, it goes without saying that the present invention is not limited to the above embodiment and can be variously modified without departing from the gist thereof.

前記実施形態では、被供給物としてワークやリリースフィルムに適用した場合について説明したが、成形金型にも適用することができる。例えば、成形金型のキャビティ内にシート樹脂を直接供給することができる。 In the above embodiment, the case where it is applied to a work or a release film as an object to be supplied has been described, but it can also be applied to a molding die. For example, the sheet resin can be directly supplied into the cavity of the molding die.

また、前記実施形態では、一つの被供給物に一つのシート樹脂を供給する場合について説明したが、一つの被供給物に複数のシート樹脂（例えば一つのシート樹脂が分割されたもの）を供給することができる。その際、例えば、複数のシート樹脂のそれぞれに対応するよう設けられた複数のローラを用いることができる。 Further, in the above-described embodiment, the case where one sheet resin is supplied to one supplied object has been described, but a plurality of sheet resins (for example, one sheet resin divided) is supplied to one supplied object. can do. At that time, for example, a plurality of rollers provided so as to correspond to each of the plurality of sheet resins can be used.

１０シート樹脂
１５ローラ
Ｗワーク 10 Sheet resin 15 Roller W work

Claims

The process of preparing a sheet resin, which is a thermosetting resin molded into a sheet, and
(A) the central portion of the sheet resin is pressurized so as to project while bending the sheet resin, a step of pressing the sheet resin from a center portion of the sheet resin relative to the feed,
(B) After the step (a), a step of pressing the sheet resin against the supplied object toward the outer peripheral portion of the sheet resin, and
A resin supply method comprising.

In the resin supply method according to claim 1,
In the step (a), the central portion of the sheet resin is pressed by the roller and the sheet resin is pressed against the supplied object.
In the step (b), when the sheet resin is pressed against the object to be supplied by the roller, the roller is moved in one direction and then the roller is moved in the other direction. ..

In the resin supply method according to claim 1 or 2.
The resin supply method according to the step (a), characterized in that the central portion of the sheet resin is aligned with the central portion of the object to be supplied and the sheet resin is pressed against the object to be supplied.

Using the resin supply method according to any one of claims 1 to 3,
In the step (a) and the step (b), the sheet resin is pressed against the supplied object via a protective film on the side opposite to the supplied object side of the sheet resin.
A resin supply method comprising peeling off the protective film after the step (b).

The object to be supplied to which the sheet resin is supplied by the resin supply method according to any one of claims 1 to 4 is set in a molding die, and the sheet resin is heated and heated in the cavity of the molding die. A resin molding method characterized by pressurizing.

In the resin molding method according to claim 5,
A resin molding method, wherein the object to be supplied is a work or release film.