JP6756107B2 - Resin film, resin film with support, prepreg, metal-clad laminate for high multilayer and high multilayer printed wiring board - Google Patents

Resin film, resin film with support, prepreg, metal-clad laminate for high multilayer and high multilayer printed wiring board Download PDF

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本発明は、高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルム、支持体付き樹脂フィルム、プリプレグ、高多層用金属張積層板及び高多層印刷配線板に関する。 The present invention relates to a resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board, a resin film with a support, a prepreg, a metal-clad laminate for high multilayer, and a high-multilayer printed wiring board.

携帯電話に代表される移動体通信機器、その基地局装置、サーバー、ルーター等のネットワークインフラ機器、大型コンピュータなどの電子機器では使用する信号の高速化及び大容量化が年々進んでいる。これに伴い、これらの電子機器に搭載される印刷配線板には高周波化対応が必要となり、伝送損失の低減を可能とする低比誘電率及び低誘電正接基板材料が求められている。近年、このような高周波信号を扱うアプリケーションとして、上述した電子機器のほかに、ITS分野(自動車、交通システム関連)及び室内の近距離通信分野でも高周波無線信号を扱う新規システムの実用化及び実用計画が進んでおり、今後、これらの機器に搭載する印刷配線板に対しても、低伝送損失基板材料が更に要求されると予想される。 The speed and capacity of signals used in mobile communication devices such as mobile phones, their base station devices, servers, network infrastructure devices such as routers, and electronic devices such as large computers are increasing year by year. Along with this, the printed wiring boards mounted on these electronic devices need to be compatible with high frequencies, and low relative permittivity and low dielectric loss tangent substrate materials that can reduce transmission loss are required. In recent years, as applications that handle such high-frequency signals, in addition to the above-mentioned electronic devices, practical application and practical planning of new systems that handle high-frequency wireless signals in the ITS field (automobiles, transportation system-related) and indoor short-range communication fields. It is expected that low transmission loss substrate materials will be further required for printed wiring boards mounted on these devices in the future.

また、近年の環境問題から、鉛フリーはんだによる電子部品の実装及びハロゲンフリーによる難燃化が要求されるようになってきたため、印刷配線板用材料にはこれまでよりも高い耐熱性及び難燃性が必要とされている。 In addition, due to recent environmental problems, mounting of electronic components with lead-free solder and flame retardancy with halogen-free have come to be required, so that materials for printed wiring boards have higher heat resistance and flame retardancy than before. Sex is needed.

従来、低伝送損失が要求される印刷配線板には、比誘電率及び誘電正接が低いフッ素樹脂が基板材料として使用されてきた。しかしながら、フッ素樹脂は溶融温度及び溶融粘度が高いことにより流動性が低いため、プレス成形を高温高圧条件下で行う必要があるという課題がある。加えて、印刷配線板用途に使用するには、加工性、熱膨張特性、寸法安定性及び金属めっきとの接着性が不十分であるという問題点もある。また他の樹脂材料との接着又は複合化が困難であり用途が限定されている。熱可塑性樹脂であるフッ素樹脂は高い耐熱性の要求される用途及び、誘電特性の温度に対する安定性の要求される用途においては不向きとされる傾向にある。 Conventionally, fluororesins having low relative permittivity and dielectric loss tangent have been used as substrate materials for printed wiring boards that require low transmission loss. However, since fluororesin has low fluidity due to its high melting temperature and melting viscosity, there is a problem that press molding must be performed under high temperature and high pressure conditions. In addition, there are problems that workability, thermal expansion characteristics, dimensional stability, and adhesiveness to metal plating are insufficient for use in printed wiring board applications. In addition, it is difficult to bond or combine with other resin materials, and its use is limited. Fluororesin, which is a thermoplastic resin, tends to be unsuitable for applications that require high heat resistance and applications that require dielectric properties for temperature stability.

そこで、従来からフッ素樹脂には及ばないものの、優れた高周波特性を示す耐熱性熱可塑性ポリマーとしてポリフェニレンエーテル(PPO、PPE)系樹脂が知られている。しかし、印刷配線板用基板材料として用いるためには、印刷配線板製造時のウェットプロセス又は実装時のはんだ接続工程等に耐えられる耐薬品(溶剤)性及び高耐熱性が必要である。また、ポリフェニレンエーテルも基本的には溶融粘度の高い高分子量体のためフッ素樹脂と同じく成形性の課題を抱えている。 Therefore, polyphenylene ether (PPO, PPE) -based resins are conventionally known as heat-resistant thermoplastic polymers that exhibit excellent high-frequency characteristics, although they are not as good as fluororesins. However, in order to use it as a substrate material for a printed wiring board, it is necessary to have chemical resistance (solvent) resistance and high heat resistance that can withstand a wet process at the time of manufacturing the printed wiring board or a solder connection process at the time of mounting. Further, since polyphenylene ether is basically a high molecular weight material having a high melt viscosity, it has a problem of moldability like fluororesin.

そこで、この耐薬品(溶剤)性、耐熱性及び成形性の改善法として、ポリフェニレンエーテルと熱硬化性樹脂とを併用する方法が提案されている。具体的には、ポリフェニレンエーテルとエポキシ樹脂を含有する樹脂組成物(例えば、特許文献1参照)、ポリフェニレンエーテルと熱硬化性樹脂の中でも比誘電率が低いシアネートエステル樹脂を併用した樹脂組成物(例えば、特許文献2参照)、熱硬化性樹脂の中でも高耐熱性を示すビスマレイミド化合物をポリフェニレンエーテルと共に併用した樹脂組成物(例えば、特許文献3参照)、ポリフェニレンエーテルにポリブタジエン樹脂等の架橋性ポリマーを併用した樹脂組成物(例えば、特許文献4参照)、トリアリルイソシアヌレート等の架橋性モノマーを併用した樹脂組成物(例えば、特許文献5参照)が開示されている。 Therefore, as a method for improving the chemical resistance (solvent) resistance, heat resistance and moldability, a method of using polyphenylene ether and a thermosetting resin in combination has been proposed. Specifically, a resin composition containing a polyphenylene ether and an epoxy resin (see, for example, Patent Document 1), and a resin composition using a polyphenylene ether and a cyanate ester resin having a low relative dielectric constant among thermosetting resins (for example). , Patent Document 2), a resin composition in which a bismaleimide compound exhibiting high heat resistance among thermosetting resins is used in combination with a polyphenylene ether (see, for example, Patent Document 3), a crosslinkable polymer such as a polybutadiene resin is added to the polyphenylene ether. A resin composition in combination (see, for example, Patent Document 4) and a resin composition in which a crosslinkable monomer such as triallyl isocyanurate (see, for example, Patent Document 5) are used in combination are disclosed.

しかしながら、特許文献1〜5に記載の樹脂組成物は、GHz領域での高周波特性、導体との接着性、熱膨張特性、難燃性が総合的に不十分であったり、ポリフェニレンエーテルと熱硬化性樹脂との相容性が低いことにより耐熱性が低下することがある。特に高周波特性の悪化を抑制するには、樹脂組成物中のポリフェニレンエーテル比率を増やすことが必要となるが、その場合は結果として上述した耐薬品(溶剤)性、耐熱性、成形性が不足する傾向がある。 However, the resin compositions described in Patent Documents 1 to 5 are comprehensively inadequate in high frequency characteristics in the GHz region, adhesiveness to conductors, thermal expansion characteristics, and flame retardancy, or are thermoset with polyphenylene ether. Heat resistance may decrease due to low compatibility with the sex resin. In particular, in order to suppress the deterioration of high frequency characteristics, it is necessary to increase the ratio of polyphenylene ether in the resin composition, but in that case, as a result, the above-mentioned chemical resistance (solvent) resistance, heat resistance and moldability are insufficient. Tend.

そこで、ポリフェニレンエーテルと熱硬化性樹脂との相容性向上及び耐熱性の低下を抑制するため、不飽和二重結合基等を付与又はグラフトさせたポリフェニレンエーテルにトリアリルイソシアヌレート、ポリブタジエン等を併用した樹脂組成物(例えば、特許文献6)、ポリフェニレンエーテルと熱硬化性樹脂との相容性、成形性等の向上を目的に、低分子量化したポリフェニレンエーテルと熱硬化性樹脂とを併用した樹脂組成物(例えば、特許文献7)、あるいはポリフェニレンエーテルを低分子量化しつつ、ポリフェニレンエーテル分子末端にトリアリルイソシアヌレートとの反応性基(エテニルベンジル基等)を導入し、これとトリアリルイソシアヌレートを併用した樹脂組成物(例えば、特許文献8)が提案されている。また、同様にポリフェニレンエーテルと様々なフェノール種との反応により、低分子量化すると同時にポリフェニレンエーテルにアミノ基等の官能基を導入する方法(例えば、特許文献9)が知られている。 Therefore, in order to improve the compatibility between the polyphenylene ether and the thermosetting resin and suppress the decrease in heat resistance, triallyl isocyanurate, polybutadiene, etc. are used in combination with the polyphenylene ether to which an unsaturated double bond group or the like is added or grafted. Resin composition (for example, Patent Document 6), a resin in which a low molecular weight polyphenylene ether and a thermosetting resin are used in combination for the purpose of improving compatibility, moldability, etc. between the polyphenylene ether and the thermosetting resin. While reducing the molecular weight of the composition (for example, Patent Document 7) or polyphenylene ether, a reactive group (ethenylbenzyl group, etc.) with triallyl isocyanurate is introduced at the terminal of the polyphenylene ether molecule, and this and triaryl isocyanurate are introduced. (For example, Patent Document 8) has been proposed in combination with the above. Similarly, a method is known in which a functional group such as an amino group is introduced into the polyphenylene ether at the same time as the molecular weight is reduced by reacting the polyphenylene ether with various phenol species (for example, Patent Document 9).

一方、本発明者らも、ポリフェニレンエーテル樹脂とポリブタジエン樹脂をベースとして、ワニス(樹脂組成物)の製造段階(Aステージ段階)でセミIPN化することで相容性、耐熱性、熱膨張特性、導体との接着性等を向上できる樹脂組成物(例えば、特許文献10)を提案している。 On the other hand, the present inventors also have compatibility, heat resistance, and thermal expansion characteristics by semi-IPNizing the varnish (resin composition) at the manufacturing stage (A stage stage) based on the polyphenylene ether resin and the polybutadiene resin. We have proposed a resin composition (for example, Patent Document 10) that can improve the adhesiveness with a conductor.

特開昭58−69046号公報JP-A-58-69046 特公昭61−18937号公報Special Publication No. 61-18937 特開昭56−133355号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 56-133355 特開昭59−193929号公報JP-A-59-193929 特開平3−275760号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 3-275760 特開平6−184213号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-184213 特開2002−265777号公報JP-A-2002-265777 特表2006−516297号公報Special Table 2006-516297 特表2000−509097号公報Special Table 2000-5009097 特開2008−95061号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-95061

特許文献6の樹脂組成物は、相容性の観点では改善が見られるものの極性基導入により未だGHz帯での高周波特性及び溶融粘度が高いことによる成形性の改善は不十分である。また、特許文献7の樹脂組成物は、ポリフェニレンエーテルを低分子量化することにより熱硬化性樹脂との相容性及び成形性に改善される反面、高周波特性、耐熱性、ガラス転移温度が通常のポリフェニレンエーテルを用いた場合よりも低下する傾向にある。上記特許文献7等の課題の解決を主な目的とした特許文献8の樹脂組成物は、耐熱性は改善が見られるが、ポリフェニレンエーテルを低分子量化した影響により末端に反応性基を導入してもガラス転移温度が低くなる傾向があり、高周波特性がやや悪化すること、エテニルベンジル基導入時の原材料コスト及びプロセスコストが非常に高いという問題がある。特許文献6〜8の樹脂組成物は、いずれも熱硬化性樹脂としてトリアリルイソシアヌレートを用いているため、熱膨張特性、導体との接着性、難燃性がやや劣る傾向にある。しかも、液状架橋性モノマーであるトリアリルイソシアヌレートは比較的低温でも揮発性が高いためプリプレグ製造(塗工、乾燥)時の作業環境性(汚染性)が悪いという問題、硬化後も未反応成分として残存し、印刷配線板の製造工程でアウトガスが発生し易いという問題もある。また、特許文献9の方法により得られるポリフェニレンエーテルに熱硬化性樹脂を併用した組成物を用いた場合、上記同様に相容性及び成形性が改善されるものの、耐熱性、ガラス転移温度、高周波特性も低下する傾向があり、難燃性も十分ではない場合がある。 Although the resin composition of Patent Document 6 is improved from the viewpoint of compatibility, the improvement of moldability due to the high frequency characteristics and the high melt viscosity in the GHz band due to the introduction of polar groups is still insufficient. Further, the resin composition of Patent Document 7 is improved in compatibility with a thermosetting resin and moldability by reducing the molecular weight of polyphenylene ether, but has normal high frequency characteristics, heat resistance, and glass transition temperature. It tends to be lower than when polyphenylene ether is used. Although the resin composition of Patent Document 8 whose main purpose is to solve the problems of Patent Document 7 and the like has improved heat resistance, a reactive group is introduced at the terminal due to the effect of reducing the molecular weight of polyphenylene ether. However, there are problems that the glass transition temperature tends to be low, the high frequency characteristics are slightly deteriorated, and the raw material cost and the process cost at the time of introducing the ethenylbenzyl group are very high. Since all of the resin compositions of Patent Documents 6 to 8 use triallyl isocyanurate as a thermosetting resin, they tend to be slightly inferior in thermal expansion characteristics, adhesion to a conductor, and flame retardancy. Moreover, since triallyl isocyanurate, which is a liquid crosslinkable monomer, is highly volatile even at a relatively low temperature, there is a problem that the working environment (contamination) during prepreg production (coating and drying) is poor, and unreacted components even after curing. There is also a problem that outgas is likely to be generated in the manufacturing process of the printed wiring board. Further, when a composition in which a thermosetting resin is used in combination with the polyphenylene ether obtained by the method of Patent Document 9 is used, compatibility and moldability are improved in the same manner as described above, but heat resistance, glass transition temperature and high frequency are improved. The characteristics also tend to deteriorate, and the flame retardancy may not be sufficient.

そして、近年の印刷配線板用基板材料には高周波化対応に加えて、高密度化、高信頼性、環境配慮への適合性の要求から、更に高い導体との接着性、低熱膨張特性、高ガラス転移温度、高難燃性等が要求されている。 In recent years, the substrate material for printed wiring boards has higher density, high reliability, and compatibility with environmental considerations, in addition to high frequency, so it has higher adhesiveness to conductors, lower thermal expansion characteristics, and higher temperature. Glass transition temperature, high flame retardancy, etc. are required.

例えば、高周波特性を維持しつつ(導体の粗さ等による伝送損失悪化の抑制)、微細配線形成性及び高いリフロー耐熱性の確保のため、導体との接着性としては、樹脂との接着面側の表面粗さが非常に小さいロープロファイル銅箔(Rz:1〜2μm)使用時の銅箔引き剥がし強さで0.6kN/m以上が望まれている。 For example, in order to maintain high-frequency characteristics (suppress transmission loss deterioration due to conductor roughness, etc.), and to ensure fine wiring formability and high reflow heat resistance, the adhesiveness with the conductor is on the adhesive surface side with the resin. It is desired that the peeling strength of the copper foil when using a low profile copper foil (Rz: 1 to 2 μm) having a very small surface roughness is 0.6 kN / m or more.

また、サーバー、ルーター等ネットワーク関連機器用途で使用される印刷配線板用基板材料には、高密度化に伴い高多層化することも必要であり、高いリフロー耐熱性及びスルーホール信頼性が要求されており、それらの指針となるガラス転移温度は200℃以上であること、また、低熱膨張特性(Z方向、Tg以下)は45ppm/℃以下、更には40ppm/℃以下であることが望まれている。ここで、低熱膨張性の発現には樹脂組成物中に無機充填剤を適用することが有効であるが、高多層印刷配線板では回路充填性のための樹脂フロー性を確保するため無機充填剤の使用量が制限される。したがって、無機充填剤の配合使用量が樹脂組成物中全体の25体積%以下と比較的少ない場合であっても上記要求値を確保することが望ましい。 In addition, the substrate material for printed wiring boards used for network-related equipment such as servers and routers needs to have a high number of layers as the density increases, and high reflow heat resistance and through-hole reliability are required. It is desired that the glass transition temperature, which serves as a guideline for these, is 200 ° C. or higher, and that the low thermal expansion characteristics (Z direction, Tg or lower) are 45 ppm / ° C. or lower, and further 40 ppm / ° C. or lower. There is. Here, it is effective to apply an inorganic filler in the resin composition to develop low thermal expansion, but in a high-multilayer printed wiring board, an inorganic filler is used to ensure resin flowability for circuit filling. Usage is limited. Therefore, it is desirable to secure the above-mentioned required value even when the blending amount of the inorganic filler is relatively small, such as 25% by volume or less of the whole resin composition.

もちろん高周波特性としては、より高い周波数帯での優れた誘電特性が要求されており、例えば、一般的なEガラス基材を複合させた場合の基板材料の比誘電率は3.7以下、更には3.6以下であることが望まれており、誘電正接は0.007以下、更には0.006以下であることが望まれている。しかも、一般的に基板材料は周波数が高くなるほど誘電正接が高くなる傾向を示すが、従来の1〜5GHzでの誘電特性値ではなく、10GHz帯以上で上記要求値を満たす必要性が高まってきている。 Of course, as high frequency characteristics, excellent dielectric properties in a higher frequency band are required. For example, the relative permittivity of a substrate material when a general E glass substrate is composited is 3.7 or less, and further. Is desired to be 3.6 or less, and the dielectric loss tangent is desired to be 0.007 or less, and further to 0.006 or less. Moreover, in general, the substrate material tends to have a higher dielectric loss tangent as the frequency increases, but there is an increasing need to satisfy the above-mentioned required value in the 10 GHz band or higher instead of the conventional dielectric characteristic value in 1 to 5 GHz. There is.

本発明は、このような現状に鑑み、高周波特性(低誘電率、低誘電正接)、導体との接着性、耐熱性及び低吸湿性を高い水準で備える高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルム、支持体付き樹脂フィルム、プリプレグ、高多層用金属張積層板及び高多層印刷配線板を提供することを目的とする。 In view of this situation, the present invention is a resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board, which has high frequency characteristics (low dielectric constant, low dielectric loss tangent), adhesiveness to a conductor, heat resistance and low moisture absorption. , A resin film with a support, a prepreg, a metal-clad laminate for high multilayer, and a high-multilayer printed wiring board.

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルム中にイミド延長長鎖ビスマレイミド樹脂を含有することにより上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of diligent studies to solve the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by containing an imide-extended long-chain bismaleimide resin in a resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board, and the present invention has been made. Has been completed.

すなわち、本発明は以下の態様を含むものである。
[1]マレイミド基、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を有する化合物を含有する高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルム。
[2]前記少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基が、下記式(I)で表される基である、[1]に記載の樹脂フィルム。

Figure 0006756107

[式(I)中、Rは4価の有機基を示す。]
[3]前記飽和又は不飽和の2価の炭化水素基の炭素数が8〜100である、[1]又は[2]に記載の樹脂フィルム。
[4]前記飽和又は不飽和の2価の炭化水素基が下記式(II)で表される基である、[1]又は[2]に記載の樹脂フィルム。
Figure 0006756107

[式(II)中、R及びRは各々独立に炭素数4〜50のアルキレン基を示し、Rは炭素数4〜50のアルキル基を示し、Rは炭素数2〜50のアルキル基を示す。]
[5]前記化合物の重量平均分子量が500〜10000である、[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂フィルム。
[6]無機充填剤を更に含有する、[1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂フィルム。
[7][1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂フィルムと、支持基材とを有する高多層印刷配線板製造用の支持体付き樹脂フィルム。
[8][1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂フィルムと、シート状繊維補強基材とを有する、高多層印刷配線板製造用のプリプレグ。
[9][1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂フィルムの硬化物を含む樹脂層と、導体層とを有する高多層用金属張積層板。
[10][1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂フィルムの硬化物を含む樹脂層と、回路層とを備える、高多層印刷配線板。 That is, the present invention includes the following aspects.
[1] A resin film for producing a high-multilayer printed wiring board containing a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a compound having a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group.
[2] The resin film according to [1], wherein the divalent group having at least two imide bonds is a group represented by the following formula (I).
Figure 0006756107

[In formula (I), R 1 represents a tetravalent organic group. ]
[3] The resin film according to [1] or [2], wherein the saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group has 8 to 100 carbon atoms.
[4] The resin film according to [1] or [2], wherein the saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group is a group represented by the following formula (II).
Figure 0006756107

[In formula (II), R 2 and R 3 each independently represent an alkylene group having 4 to 50 carbon atoms, R 4 represents an alkyl group having 4 to 50 carbon atoms, and R 5 has 2 to 50 carbon atoms. Indicates an alkyl group. ]
[5] The resin film according to any one of [1] to [4], wherein the weight average molecular weight of the compound is 500 to 10000.
[6] The resin film according to any one of [1] to [5], further containing an inorganic filler.
[7] A resin film with a support for manufacturing a high-multilayer printed wiring board having the resin film according to any one of [1] to [6] and a support base material.
[8] A prepreg for manufacturing a high-multilayer printed wiring board having the resin film according to any one of [1] to [6] and a sheet-shaped fiber reinforced base material.
[9] A high-multilayer metal-clad laminate having a resin layer containing a cured product of the resin film according to any one of [1] to [6] and a conductor layer.
[10] A high-multilayer printed wiring board comprising a resin layer containing a cured product of the resin film according to any one of [1] to [6] and a circuit layer.

本発明の高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルムは、高周波領域における比誘電率及び誘電正接がともに低いという優れた誘電特性を有する。そのため、当該樹脂フィルムの表面(片面又は両面)に金属箔を積層して金属張硬化樹脂フィルム(金属張積層板)とした場合に、本発明の構成要件を満たさない樹脂フィルムを使用したものと比較して、高周波領域における優れた誘電特性を得ることができる。 The resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board of the present invention has excellent dielectric properties that both the relative permittivity and the dielectric loss tangent are low in the high frequency region. Therefore, when a metal foil is laminated on the surface (one side or both sides) of the resin film to form a metal-clad cured resin film (metal-clad laminated plate), a resin film that does not satisfy the constituent requirements of the present invention is used. In comparison, excellent dielectric properties in the high frequency region can be obtained.

また、従来は、高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルムにおいてガラスクロス等を樹脂組成物中に配さない場合、樹脂フィルムの取り扱い性が悪くなり、強度も十分に保持できなくなる傾向にある。これに対し、本発明に係る樹脂フィルムは、特に、柔軟な長鎖脂肪族骨格を有する樹脂組成物から形成されるため、ガラスクロス等を有さなくても、薄く且つ取り扱い性(タック性、割れ・粉落ち等)にも優れるものとなる。 Further, conventionally, in a resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board, when a glass cloth or the like is not arranged in the resin composition, the handleability of the resin film is deteriorated and the strength tends not to be sufficiently maintained. On the other hand, since the resin film according to the present invention is formed from a resin composition having a flexible long-chain aliphatic skeleton, it is thin and easy to handle (tackiness, even without a glass cloth or the like. It is also excellent in cracking, powder falling, etc.).

また、上述の如く、従来の樹脂フィルム等は、ロープロファイル箔と組み合わせて適用した場合、ロープロファイル箔に対する接着性、耐熱性、高周波数領域での誘電特性等が十分に得られ難い。一方、本発明に係る樹脂フィルムは、ロープロファイル箔等に対する引き剥がし強さが十分に高い。そのため、ロープロファイル箔を問題なく使用でき、さらに伝送損失を十分に低減した高多層印刷配線板を提供できる。 Further, as described above, when a conventional resin film or the like is applied in combination with a low profile foil, it is difficult to sufficiently obtain adhesiveness to the low profile foil, heat resistance, dielectric properties in a high frequency region, and the like. On the other hand, the resin film according to the present invention has a sufficiently high peeling strength against a low profile foil or the like. Therefore, the low profile foil can be used without any problem, and a high-multilayer printed wiring board with sufficiently reduced transmission loss can be provided.

また、本発明に係る樹脂フィルムは、優れた外観性と多層化成形性とを同時に達成できるものであるとともに、耐熱性及び耐湿性にも優れる。加えて、当該高多層印刷配線板製造用樹脂フィルムを用いて得られる金属張硬化樹脂フィルムは、実装時のはんだ接続工程に耐え得る高いはんだ耐熱性を備えるとともに、耐吸湿性にも優れることから、屋外での使用用途にも適するものとなる。 Further, the resin film according to the present invention can simultaneously achieve excellent appearance and multi-layer moldability, and is also excellent in heat resistance and moisture resistance. In addition, the metal-clad cured resin film obtained by using the resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board has high solder heat resistance that can withstand the solder connection process at the time of mounting, and also has excellent moisture absorption resistance. It is also suitable for outdoor use.

本発明によれば、高周波領域における良好な誘電特性を有し、金属箔等の導体との接着性、耐熱性及び低吸湿性を高い水準で備える高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルム支持体付き樹脂フィルム、プリプレグ、高多層用金属張積層板及び高多層印刷配線板を提供することができる。 According to the present invention, a resin film support for manufacturing a high-multilayer printed wiring board, which has good dielectric properties in a high frequency region and has a high level of adhesion to a conductor such as a metal foil, heat resistance, and low moisture absorption. A resin film with a prepreg, a metal-clad laminate for high multilayer, and a high-multilayer printed wiring board can be provided.

本実施形態に係る高多層印刷配線板の製造工程を示す概略図である。It is the schematic which shows the manufacturing process of the high multilayer printed wiring board which concerns on this embodiment. 内層回路基板の製造工程を示す概略図である。It is a schematic diagram which shows the manufacturing process of the inner layer circuit board. 本実施形態に係る高多層印刷配線板の製造工程を示す概略図である。It is the schematic which shows the manufacturing process of the high multilayer printed wiring board which concerns on this embodiment. 従来の高多層印刷配線板の製造工程を示す概略図である。It is the schematic which shows the manufacturing process of the conventional high multilayer printed wiring board.

以下、必要に応じて図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されない。なお、本明細書において、高多層印刷配線板とは、印刷配線板の伝送回路層が3層以上の印刷配線板を指すものとする。また、本明細書において、高周波領域とは、300MHz〜300GHzの領域を指し、特に高多層に用いられる周波数領域は3GHz〜300GHzを指すものとする。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as necessary. However, the present invention is not limited to the following embodiments. In the present specification, the high-multilayer printed wiring board refers to a printed wiring board having three or more transmission circuit layers of the printed wiring board. Further, in the present specification, the high frequency region refers to a region of 300 MHz to 300 GHz, and a frequency region used particularly for high multilayer layers refers to a region of 3 GHz to 300 GHz.

本実施形態に係る高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルムは、フッ素樹脂系に匹敵し、ポリフェニレンエーテル樹脂系を超える高周波特性と耐湿性を併せ持つのみならず、高接着性、高耐熱性、耐薬液汚染性を具備するものとなる。その結果、かかる高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルムは、ミリ波信号を含む高周波領域のアプリケーションへの適用が可能なものとなる。以下、本実施形態について詳述する。 The resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board according to the present embodiment not only has high-frequency characteristics and moisture resistance that are comparable to those of a fluororesin type and exceed those of a polyphenylene ether resin type, but also have high adhesiveness, high heat resistance, and resistance. It has chemical contamination properties. As a result, the resin film for manufacturing such a high-multilayer printed wiring board can be applied to applications in a high frequency region including a millimeter wave signal. Hereinafter, the present embodiment will be described in detail.

[樹脂フィルム]
本実施形態に係る高多層印刷配線板を製造するための樹脂フィルムは、マレイミド基、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を有する化合物を含有する。本実施形態に係る樹脂フィルムは、イミド延長長鎖ビスマレイミド樹脂を含有する樹脂組成物を用いて製造される。本明細書において「イミド延長」とは、化合物が少なくとも1つのイミド部位を、分子の末端ではない位置に含んでいることをいう。また、本明細書において、溶媒を含有する樹脂組成物を樹脂ワニスともいう。
[Resin film]
The resin film for producing the high multilayer printed wiring board according to the present embodiment contains a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a compound having a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group. To do. The resin film according to the present embodiment is produced by using a resin composition containing an imide-extended long-chain bismaleimide resin. As used herein, the term "imide extension" means that a compound contains at least one imide moiety at a position other than the end of the molecule. Further, in the present specification, the resin composition containing a solvent is also referred to as a resin varnish.

(イミド延長長鎖ビスマレイミド樹脂)
本実施形態に係る(a)マレイミド基、(b)少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び(c)飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を有する化合物を(A)成分ということがある。また、(a)マレイミド基を構造(a)、(b)少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基を構造(b)、(c)飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を構造(c)ということがある。(A)成分を用いることで、高周波特性及び導体との高い接着性を有する樹脂組成物を得ることができる。
(Imide extended long chain bismaleimide resin)
A compound having (a) a maleimide group, (b) a divalent group having at least two imide bonds, and (c) a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group according to the present embodiment is referred to as a component (A). There is. Further, (a) a maleimide group has a structure (a), (b) a divalent group having at least two imide bonds has a structure (b), and (c) a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group has a structure (a). c) Sometimes. By using the component (A), a resin composition having high frequency characteristics and high adhesiveness to a conductor can be obtained.

(a)マレイミド基は特に限定されず、一般的なマレイミド基である。(a)マレイミド基は芳香環に結合していても、脂肪族鎖に結合していてもよいが、誘電特性の観点からは、脂肪族鎖に結合していることが好ましい。 (A) The maleimide group is not particularly limited and is a general maleimide group. (A) The maleimide group may be bonded to an aromatic ring or an aliphatic chain, but from the viewpoint of dielectric properties, it is preferably bonded to the aliphatic chain.

(b)少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基としては特に限定されないが、例えば、下記式(I)で表される基が挙げられる。 (B) The divalent group having at least two imide bonds is not particularly limited, and examples thereof include a group represented by the following formula (I).

Figure 0006756107
Figure 0006756107

式(I)中、Rは4価の有機基を示す。Rは4価の有機基であれば特に限定されないが、例えば、取扱性の観点から、炭素数1〜100の炭化水素基であってもよく、炭素数2〜50の炭化水素基であってもよく、炭素数4〜30の炭化水素基であってもよい。 In formula (I), R 1 represents a tetravalent organic group. R 1 is not particularly limited as long as it is a tetravalent organic group, but for example, from the viewpoint of handleability, it may be a hydrocarbon group having 1 to 100 carbon atoms, or a hydrocarbon group having 2 to 50 carbon atoms. It may be a hydrocarbon group having 4 to 30 carbon atoms.

は、置換又は非置換のシロキサン部位であってもよい。シロキサン部位としては、例えば、ジメチルシロキサン、メチルフェニルシロキサン、ジフェニルシロキサン等に由来する構造が挙げられる。 R 1 may be a substituted or unsubstituted siloxane moiety. Examples of the siloxane moiety include structures derived from dimethylsiloxane, methylphenylsiloxane, diphenylsiloxane, and the like.

が置換されている場合、置換基としては、例えば、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、水酸基、アルコキシ基、メルカプト基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基、ヘテロ環基、置換ヘテロ環基、アリール基、置換アリール基、ヘテロアリール基、置換ヘテロアリール基、アリールオキシ基、置換アリールオキシ基、ハロゲン原子、ハロアルキル基、シアノ基、ニトロ基、ニトロソ基、アミノ基、アミド基、−C(O)H、−NRC(O)−N(R、−OC(O)−N(R、アシル基、オキシアシル基、カルボキシル基、カルバメート基、スルホンアミド基等が挙げられる。ここで、Rは水素原子又はアルキル基を示す。これらの置換基は目的、用途等に合わせて、1種類又は2種類以上を選択できる。 When R 1 is substituted, the substituents include, for example, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, a mercapto group, a cycloalkyl group, a substituted cycloalkyl group, a heterocyclic group, a substituted heterocyclic group. , Aryl group, substituted aryl group, heteroaryl group, substituted heteroaryl group, aryloxy group, substituted aryloxy group, halogen atom, haloalkyl group, cyano group, nitro group, nitroso group, amino group, amide group, -C ( O) H, -NR x C (O) -N (R x ) 2 , -OC (O) -N (R x ) 2 , acyl group, oxyacyl group, carboxyl group, carbamate group, sulfonamide group, etc. Be done. Here, R x represents a hydrogen atom or an alkyl group. One type or two or more types of these substituents can be selected according to the purpose, application and the like.

としては、例えば、1分子中に2個以上の無水物環を有する酸無水物の4価の残基、すなわち、酸無水物から酸無水物基(−C(=O)OC(=O)−)を2個除いた4価の基が好ましい。酸無水物としては、後述するような化合物が例示できる。 As R 1 , for example, a tetravalent residue of an acid anhydride having two or more anhydride rings in one molecule, that is, an acid anhydride group (-C (= O) OC (=) A tetravalent group excluding two O)-) is preferable. Examples of the acid anhydride include compounds described below.

機械強度の観点から、Rは芳香族であることが好ましく、無水ピロメリット酸から2つの酸無水物基を取り除いた基であることがより好ましい。すなわち、構造(b)は下記式(III)で表される基であることがより好ましい。 From the viewpoint of mechanical strength, R 1 is preferably aromatic, and more preferably a group obtained by removing two acid anhydride groups from pyromellitic anhydride. That is, the structure (b) is more preferably a group represented by the following formula (III).

Figure 0006756107
Figure 0006756107

流動性及び回路埋め込み性の観点からは、構造(b)は、(A)成分中に複数存在すると好ましい。その場合、構造(b)は、それぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。(A)成分中の構造(b)の数は、2〜40であることが好ましく、2〜20であることがより好ましく、2〜10であることが更に好ましい。 From the viewpoint of fluidity and circuit embedding property, it is preferable that a plurality of structures (b) are present in the component (A). In that case, the structures (b) may be the same or different. The number of structures (b) in the component (A) is preferably 2 to 40, more preferably 2 to 20, and even more preferably 2 to 10.

誘電特性の観点から、構造(b)は、下記式(IV)又は下記式(V)で表される基であってもよい。 From the viewpoint of the dielectric property, the structure (b) may be a group represented by the following formula (IV) or the following formula (V).

Figure 0006756107
Figure 0006756107

Figure 0006756107
Figure 0006756107

構造(c)は特に限定されず、直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよい。また、飽和又は不飽和の2価の炭化水素基の炭素数は、8〜100であってもよい。構造(c)は、炭素数8〜100の分岐を有していてもよいアルキレン基であることが好ましく、炭素数10〜70の分岐を有していてもよいアルキレン基であるとより好ましく、炭素数15〜50の分岐を有していてもよいアルキレン基であると更に好ましい。(A)成分が構造(c)を有することで、本実施形態に係る樹脂組成物の可とう性が向上し、樹脂組成物から作製される樹脂フィルムの取扱性(タック性、割れ、粉落ち等)及び強度を高めることが可能である。また、上記の炭素数を有する構造(c)は、分子構造を三次元化し易く、ポリマーの自由体積を増大させて低密度化、すなわち低誘電率化できるため好ましい。 The structure (c) is not particularly limited, and may be linear, branched, or cyclic. Further, the saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group may have 8 to 100 carbon atoms. The structure (c) is preferably an alkylene group which may have a branch having 8 to 100 carbon atoms, and more preferably an alkylene group which may have a branch having 10 to 70 carbon atoms. It is more preferable that the alkylene group may have a branch having 15 to 50 carbon atoms. When the component (A) has the structure (c), the flexibility of the resin composition according to the present embodiment is improved, and the handleability (tackiness, cracking, powder removal) of the resin film produced from the resin composition is improved. Etc.) and it is possible to increase the strength. Further, the structure (c) having the above-mentioned carbon number is preferable because the molecular structure can be easily made three-dimensional and the free volume of the polymer can be increased to reduce the density, that is, the dielectric constant.

構造(c)としては、例えば、ノニレン基、デシレン基、ウンデシレン基、ドデシレン基、テトラデシレン基、ヘキサデシレン基、オクタデシレン基、ノナデシレン基等のアルキレン基;ベンジレン基、フェニレン基、ナフチレン基等のアリーレン基;フェニレンメチレン基、フェニレンエチレン基、ベンジルプロピレン基、ナフチレンメチレン基、ナフチレンエチレン基等のアリーレンアルキレン基;フェニレンジメチレン基、フェニレンジエチレン基等のアリーレンジアルキレン基などが挙げられる。 The structure (c) includes, for example, an alkylene group such as a nonylene group, a decylene group, an undecylene group, a dodecylene group, a tetradecylene group, a hexadecylene group, an octadecylene group and a nonadesilene group; an arylene group such as a benzylene group, a phenylene group and a naphthylene group; Aliren alkylene groups such as phenylene methylene group, phenylene ethylene group, benzyl propylene group, naphthylene methylene group and naphthylene ethylene group; allylene alkylene groups such as phenylenedi methylene group and phenylenedi ethylene group can be mentioned.

高周波特性、低熱膨張特性、導体との接着性、耐熱性及び低吸湿性の観点から、構造(c)として下記式(II)で表される基が特に好ましい。 From the viewpoints of high frequency characteristics, low thermal expansion characteristics, adhesiveness to conductors, heat resistance and low hygroscopicity, the group represented by the following formula (II) as the structure (c) is particularly preferable.

Figure 0006756107
Figure 0006756107

式(II)中、R及びRは各々独立に炭素数4〜50のアルキレン基を示す。柔軟性の更なる向上及び合成容易性の観点から、R及びRは各々独立に、炭素数5〜25のアルキレン基であることが好ましく、炭素数6〜10のアルキレン基であることがより好ましく、炭素数7〜10のアルキレン基であることが更に好ましい。 In formula (II), R 2 and R 3 each independently represent an alkylene group having 4 to 50 carbon atoms. From the viewpoint of further improvement of flexibility and easiness of synthesis, R 2 and R 3 are each independently preferably an alkylene group having 5 to 25 carbon atoms, and preferably an alkylene group having 6 to 10 carbon atoms. More preferably, it is an alkylene group having 7 to 10 carbon atoms.

式(II)中、Rは炭素数4〜50のアルキル基を示す。柔軟性の更なる向上及び合成容易性の観点から、Rは炭素数5〜25のアルキル基であることが好ましく、炭素数6〜10のアルキル基であることがより好ましく、炭素数7〜10のアルキル基であることが更に好ましい。 In formula (II), R 4 represents an alkyl group having 4 to 50 carbon atoms. From the viewpoint of further improvement and ease of synthesis of flexibility, it is preferred that R 4 is an alkyl group having 5 to 25 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 6 to 10 carbon atoms, the carbon number 7 to It is more preferably an alkyl group of 10.

式(II)中、Rは炭素数2〜50のアルキル基を示す。柔軟性の更なる向上及び合成容易性の観点から、Rは炭素数3〜25のアルキル基であることが好ましく、炭素数4〜10のアルキル基であることがより好ましく、炭素数5〜8のアルキル基であることが更に好ましい。 In formula (II), R 5 represents an alkyl group having 2 to 50 carbon atoms. From the viewpoint of further improvement and ease of synthesis of flexibility, it is preferable that R 5 is an alkyl group having 3 to 25 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 4 to 10 carbon atoms, carbon atoms 5 It is more preferably an alkyl group of 8.

流動性及び回路埋め込み性の観点からは、構造(c)は、(A)成分中に複数存在すると好ましい。その場合、構造(c)はそれぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。例えば、(A)成分中に2〜40の構造(c)が存在することが好ましく、2〜20の構造(c)が存在することがより好ましく、2〜10の構造(c)が存在することが更に好ましい。 From the viewpoint of fluidity and circuit embedding property, it is preferable that a plurality of structures (c) are present in the component (A). In that case, the structures (c) may be the same or different. For example, it is preferable that 2 to 40 structures (c) are present in the component (A), more preferably 2 to 20 structures (c) are present, and 2 to 10 structures (c) are present. Is even more preferable.

樹脂フィルム中の(A)成分の含有量は特に限定されない。耐熱性の観点から、(A)成分の含有量は樹脂フィルムの全質量に対して2〜98質量%であることが好ましく、10〜90質量%であることがより好ましく、10〜50質量%であることが更に好ましく、15〜30質量%であることが特に好ましい。 The content of the component (A) in the resin film is not particularly limited. From the viewpoint of heat resistance, the content of the component (A) is preferably 2 to 98% by mass, more preferably 10 to 90% by mass, and 10 to 50% by mass with respect to the total mass of the resin film. Is more preferable, and 15 to 30% by mass is particularly preferable.

(A)成分の分子量は特に限定されない。取扱性、流動性及び回路埋め込み性の観点より(A)成分の重量平均分子量(Mw)は、500〜10000であることが好ましく、1000〜9000であることがより好ましく、1500〜9000であることが更に好ましく、1500〜7000であることがより一層好ましく、1700〜5000であることが特に好ましい。 The molecular weight of the component (A) is not particularly limited. From the viewpoint of handleability, fluidity, and circuit embedding property, the weight average molecular weight (Mw) of the component (A) is preferably 500 to 10000, more preferably 1000 to 9000, and 1500 to 9000. Is even more preferable, and it is even more preferably 1500 to 7000, and particularly preferably 1700 to 5000.

(A)成分のMwは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定することができる。 The Mw of the component (A) can be measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

なお、GPCの測定条件は下記のとおりである。
ポンプ:L−6200型[株式会社日立ハイテクノロジーズ製]
検出器:L−3300型RI[株式会社日立ハイテクノロジーズ製]
カラムオーブン:L−655A−52[株式会社日立ハイテクノロジーズ製]
ガードカラム及びカラム:TSK Guardcolumn HHR−L+TSKgel G4000HHR+TSKgel G2000HHR[すべて東ソー株式会社製、商品名]
カラムサイズ:6.0×40mm(ガードカラム)、7.8×300mm(カラム)
溶離液:テトラヒドロフラン
試料濃度:30mg/5mL
注入量:20μL
流量:1.00mL/分
測定温度:40℃
The measurement conditions of GPC are as follows.
Pump: L-6200 type [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation]
Detector: L-3300 type RI [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation]
Column oven: L-655A-52 [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation]
Guard column and column: TSK Guardcolum HHR-L + TSKgel G4000HHR + TSKgel G2000HHR [All manufactured by Tosoh Corporation, product name]
Column size: 6.0 x 40 mm (guard column), 7.8 x 300 mm (column)
Eluent: tetrahydrofuran Sample concentration: 30 mg / 5 mL
Injection volume: 20 μL
Flow rate: 1.00 mL / min Measurement temperature: 40 ° C

(A)成分を製造する方法は限定されない。(A)成分は、例えば、酸無水物とジアミンとを反応させてアミン末端化合物を合成した後、該アミン末端化合物を過剰の無水マレイン酸と反応させることで作製してもよい。 (A) The method for producing the component is not limited. The component (A) may be prepared, for example, by reacting an acid anhydride with a diamine to synthesize an amine-terminated compound, and then reacting the amine-terminated compound with an excess of maleic anhydride.

酸無水物としては、例えば、無水ピロメリット酸、無水マレイン酸、無水コハク酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。これらの酸無水物は目的、用途等に合わせて、1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。なお、前述のとおり、上記式(I)のRとして、上記に挙げられるような酸無水物に由来する4価の有機基を用いることができる。より良好な誘電特性の観点から、酸無水物は、無水ピロメリット酸であることが好ましい。 Examples of the acid anhydride include pyromellitic anhydride, maleic anhydride, succinic anhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyl. Examples thereof include tetracarboxylic dianhydride and 3,3', 4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride. These acid anhydrides may be used alone or in combination of two or more, depending on the purpose, application and the like. As described above, as R 1 of the above formula (I), a tetravalent organic group derived from the acid anhydride as described above can be used. From the viewpoint of better dielectric properties, the acid anhydride is preferably pyromellitic anhydride.

ジアミンとしては、例えば、ダイマージアミン、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシビフェニル、1,3−ビス[2−(4−アミノフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、1,4−ビス[2−(4−アミノフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、ポリオキシアルキレンジアミン、[3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)]シクロヘキセン等が挙げられる。これらは目的、用途等に合わせて、1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。 Examples of the diamine include diamine diamine, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) propane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, and 4,4'-bis (4-amino). Phenoxy) biphenyl, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxybiphenyl, 1,3-bis [2- (4-aminophenyl) -2-propyl] benzene, 1,4-bis [2- (4) -Aminophenyl) -2-propyl] benzene, polyoxyalkylenediamine, [3,4-bis (1-aminoheptyl) -6-hexyl-5- (1-octenyl)] cyclohexene and the like. These may be used alone or in combination of two or more depending on the purpose, application and the like.

(A)成分としては、例えば、以下の化合物であってもよい。

Figure 0006756107
The component (A) may be, for example, the following compound.
Figure 0006756107

式中、R及びQはそれぞれ独立に2価の有機基を示す。Rは上述の構造(c)と同じものが使用でき、Qは上述のRと同じものが使用できる。また、nは1〜10の整数を表す。 In the formula, R and Q each independently represent a divalent organic group. The same R as the above-mentioned structure (c) can be used, and the same Q as the above-mentioned R 1 can be used. Further, n represents an integer of 1 to 10.

(A)成分としては市販されている化合物を使用することもできる。市販されている化合物としては、例えば、Designer Molecules Inc.製の製品が挙げられ、具体的には、BMI−1500、BMI−1700、BMI−3000、BMI−5000、BMI−9000(いずれも商品名)等が挙げられる。より良好な高周波特性を得る観点から、(A)成分としてBMI−3000を使用することがより好ましい。 As the component (A), a commercially available compound can also be used. Examples of commercially available compounds include Designer Moleculars Inc. Products manufactured by BMI-1500, BMI-1700, BMI-3000, BMI-5000, BMI-9000 (all are trade names) and the like. From the viewpoint of obtaining better high frequency characteristics, it is more preferable to use BMI-3000 as the component (A).

BMI−1500は、式(XII−1)で表される構造を有し、BMI−1700は、式(XII−2)で表される構造を有し、BMI−3000、BMI−5000及びBMI−9000は、式(XII−3)の構造を有していると推定される。式(XII−1)〜(XII−3)中、nは1〜10の整数を表す。 BMI-1500 has a structure represented by the formula (XII-1), BMI-1700 has a structure represented by the formula (XII-2), and BMI-3000, BMI-5000 and BMI- 9000 is presumed to have the structure of formula (XII-3). In formulas (XII-1) to (XII-3), n represents an integer of 1-10.

Figure 0006756107
Figure 0006756107

Figure 0006756107
Figure 0006756107

Figure 0006756107
Figure 0006756107

<(B)マレイミド基含有化合物>
本実施形態に係る樹脂フィルムは、(A)成分とは異なるマレイミド基含有化合物を更に含有することができる。該マレイミド基含有化合物を(B)成分ということがある。なお、(A)成分及び(B)成分の双方に該当し得る化合物は、(A)成分に帰属するものとする。(B)成分を用いることで、樹脂フィルムは、特に低熱膨張特性に優れるものとなる。すなわち、本実施形態に係る樹脂フィルムは、(A)成分と(B)成分とを併用することにより、良好な誘電特性を維持しつつ、低熱膨張特性等を更に向上させることができる。この理由として、(A)成分と(B)成分とを含有する樹脂フィルムから得られる硬化物は、低誘電特性を備える(A)成分からなる構造単位と、低熱膨張である(B)成分からなる構造単位とを備えるポリマーを含有するためだと推測される。
<(B) Maleimide group-containing compound>
The resin film according to this embodiment can further contain a maleimide group-containing compound different from the component (A). The maleimide group-containing compound may be referred to as component (B). In addition, the compound which can correspond to both the component (A) and the component (B) shall belong to the component (A). By using the component (B), the resin film is particularly excellent in low thermal expansion characteristics. That is, in the resin film according to the present embodiment, by using the component (A) and the component (B) in combination, it is possible to further improve the low thermal expansion property and the like while maintaining good dielectric properties. The reason for this is that the cured product obtained from the resin film containing the component (A) and the component (B) is composed of a structural unit composed of the component (A) having low dielectric properties and a component (B) having low thermal expansion. It is presumed that this is because it contains a polymer having a structural unit.

すなわち、(B)マレイミド基含有化合物は、(A)成分よりも熱膨張係数が低いことが好ましい。(A)成分よりも熱膨張係数が低い(B)成分として、例えば、(A)成分よりも分子量が低いマレイミド基含有化合物、(A)成分よりも多くの芳香環を有するマレイミド基含有化合物、主鎖が(A)成分よりも短いマレイミド基含有化合物等が挙げられる。 That is, it is preferable that the maleimide group-containing compound (B) has a lower coefficient of thermal expansion than the component (A). As the component (B) having a lower coefficient of thermal expansion than the component (A), for example, a maleimide group-containing compound having a molecular weight lower than that of the component (A), a maleimide group-containing compound having a larger aromatic ring than the component (A), and the like. Examples thereof include maleimide group-containing compounds having a main chain shorter than that of component (A).

樹脂フィルム中の(B)成分の含有量は特に限定されない。低熱膨張性の観点から、(B)成分の含有量は樹脂フィルムの全質量に対して1〜20質量%であることが好ましく、2〜15質量%であることがより好ましく、5〜10質量%であることが更に好ましい。 The content of the component (B) in the resin film is not particularly limited. From the viewpoint of low thermal expansion, the content of the component (B) is preferably 1 to 20% by mass, more preferably 2 to 15% by mass, and 5 to 10% by mass with respect to the total mass of the resin film. It is more preferably%.

樹脂組成物中の(A)成分と(B)成分との配合割合は特に限定されない。誘電特性及び低熱膨張係数の観点から、(A)成分と(B)成分の質量比(B)/(A)が0.01〜3であることが好ましく、0.03〜2であることがより好ましく、0.05〜1であることが更に好ましい。 The blending ratio of the component (A) and the component (B) in the resin composition is not particularly limited. From the viewpoint of the dielectric property and the low coefficient of thermal expansion, the mass ratio (B) / (A) of the component (A) to the component (B) is preferably 0.01 to 3, preferably 0.03 to 2. More preferably, it is more preferably 0.05 to 1.

(B)マレイミド基含有化合物は特に限定されないが、芳香環を有することが好ましい。芳香環は剛直で低熱膨張であるため、芳香環を有する(B)成分を用いることで、更に熱膨張係数を低減させることができる。マレイミド基は芳香環に結合していても、脂肪族鎖に結合していてもよいが、誘電特性の観点からは、芳香環に結合していることが好ましい。すなわち、(B)成分は、芳香環にマレイミド基が結合した構造を有することが好ましい。また、(B)成分は、マレイミド基を2個以上含有するポリマレイミド化合物であることも好ましい。 The maleimide group-containing compound (B) is not particularly limited, but preferably has an aromatic ring. Since the aromatic ring is rigid and has a low thermal expansion, the coefficient of thermal expansion can be further reduced by using the component (B) having an aromatic ring. The maleimide group may be bonded to an aromatic ring or an aliphatic chain, but from the viewpoint of dielectric properties, it is preferably bonded to an aromatic ring. That is, the component (B) preferably has a structure in which a maleimide group is bonded to an aromatic ring. The component (B) is also preferably a polymaleimide compound containing two or more maleimide groups.

(B)成分の具体例としては、1,2−ジマレイミドエタン、1,3−ジマレイミドプロパン、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、2,7−ジマレイミドフルオレン、N,N’−(1,3−フェニレン)ビスマレイミド、N,N’−(1,3−(4−メチルフェニレン))ビスマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン、ビス(4−マレイミドフェニル)スルフィド、ビス(4−マレイミドフェニル)エ−テル、1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−(3−マレイミドフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、ビス(4−マレイミドフェニル)ケトン、2,2−ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル)プロパン、ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル)スルホン、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス(2−(3−マレイミドフェニル)プロピル)ベンゼン、1,3−ビス(1−(4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル)−1−プロピル)ベンゼン、ビス(マレイミドシクロヘキシル)メタン、2,2−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス(マレイミドフェニル)チオフェン等が挙げられる。これらは1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。これらの中でも、吸湿性及び熱膨張係数をより低下させる観点からは、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタンを用いることが好ましい。樹脂組成物から形成される樹脂フィルムの破壊強度及び金属箔引き剥がし強さを更に高める観点からは、(B)成分として、2,2−ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル)プロパンを用いることが好ましい。 Specific examples of the component (B) include 1,2-dimaleimideethane, 1,3-dimaleimidepropane, bis (4-maleimidephenyl) methane, bis (3-ethyl-4-maleimidephenyl) methane, and bis ( 3-Ethyl-5-methyl-4-maleimidephenyl) methane, 2,7-dimaleimidefluorene, N, N'-(1,3-phenylene) bismaleimide, N, N'-(1,3- (4) -Methylphenylene)) bismaleimide, bis (4-maleimidephenyl) sulfone, bis (4-maleimidephenyl) sulfide, bis (4-maleimidephenyl) ether, 1,3-bis (3-maleimidephenoxy) benzene, 1,3-bis (3- (3-maleimidephenoxy) phenoxy) benzene, bis (4-maleimidephenyl) ketone, 2,2-bis (4- (4-maleimidephenoxy) phenyl) propane, bis (4-( 4-Maleimidephenoxy) phenyl) sulfone, bis [4- (4-maleimidephenoxy) phenyl] sulfoxide, 4,4'-bis (3-maleimidephenoxy) biphenyl, 1,3-bis (2- (3-maleimidephenyl) ) Ppropyl) benzene, 1,3-bis (1- (4- (3-maleimidephenoxy) phenyl) -1-propyl) benzene, bis (maleimidecyclohexyl) methane, 2,2-bis [4- (3-maleimide) Phenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis (maleimidephenyl) thiophene and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidephenyl) methane is preferably used from the viewpoint of further lowering the hygroscopicity and the coefficient of thermal expansion. From the viewpoint of further increasing the breaking strength and the metal foil peeling strength of the resin film formed from the resin composition, 2,2-bis (4- (4-maleimidephenoxy) phenyl) propane is used as the component (B). It is preferable to use it.

成形性の観点からは、(B)マレイミド基含有化合物としては、例えば、下記式(VI)で表される化合物が好ましい。 From the viewpoint of moldability, as the maleimide group-containing compound (B), for example, a compound represented by the following formula (VI) is preferable.

Figure 0006756107
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式(VI)中、Aは下記式(VII)、(VIII)、(IX)又は(X)で表される残基を示し、Aは下記式(XI)で表される残基を示す。 In the formula (VI), A 4 represents a residue represented by the following formula (VII), (VIII), (IX) or (X), and A 5 represents a residue represented by the following formula (XI). Shown.

Figure 0006756107
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式(VII)中、R10は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示す。 In formula (VII), R 10 independently represents a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom.

Figure 0006756107
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式(VIII)中、R11及びR12は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、Aは炭素数1〜5のアルキレン基若しくはアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、ケトン基、単結合又は下記式(VIII−1)で表される残基を示す。 In formula (VIII), R 11 and R 12 each independently represent a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom, and A 6 is an alkylene group or an alkylidene group having 1 to 5 carbon atoms. , Ether group, sulfide group, sulfonyl group, ketone group, single bond or residue represented by the following formula (VIII-1).

Figure 0006756107
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式(VIII−1)中、R13及びR14は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、Aは炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、ケトン基又は単結合を示す。 In formula (VIII-1), R 13 and R 14 each independently represent a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom, and A 7 is an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms. Shows an isopropylidene group, an ether group, a sulfide group, a sulfonyl group, a ketone group or a single bond.

Figure 0006756107
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式(IX)中、iは1〜10の整数である。 In formula (IX), i is an integer of 1-10.

Figure 0006756107
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式(X)中、R15及びR16は各々独立に、水素原子又は炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基を示し、jは1〜8の整数である。 In formula (X), R 15 and R 16 each independently represent a hydrogen atom or an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, and j is an integer of 1 to 8.

Figure 0006756107
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式(XI)中、R17及びR18は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜5のアルコキシ基、水酸基又はハロゲン原子を示し、Aは、炭素数1〜5のアルキレン基若しくはアルキリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、ケトン基、フルオレニレン基、単結合、下記式(XI−1)で表される残基又は下記式(XI−2)で表される残基を示す。 In formula (XI), R 17 and R 18 each independently represent a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, a hydroxyl group or a halogen atom, and A 8 is , Alkylene group or alkylidene group having 1 to 5 carbon atoms, ether group, sulfide group, sulfonyl group, ketone group, fluorenylene group, single bond, residue represented by the following formula (XI-1) or the following formula (XI-). The residue represented by 2) is shown.

Figure 0006756107
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式(XI−1)中、R19及びR20は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、Aは、炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、m−フェニレンジイソプロピリデン基、p−フェニレンジイソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、ケトン基又は単結合を示す。 In the formula (XI-1), R 19 and R 20 each independently represent a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom, and A 9 is an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms. , Isopropylidene group, m-phenylenediisopropylidene group, p-phenylenediisopropylidene group, ether group, sulfide group, sulfonyl group, ketone group or single bond.

Figure 0006756107
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式(XI−2)中、R21は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5の脂肪族炭化水素基又はハロゲン原子を示し、A10及びA11は各々独立に、炭素数1〜5のアルキレン基、イソプロピリデン基、エーテル基、スルフィド基、スルホニル基、ケトン基又は単結合を示す。 In formula (XI-2), R 21 independently represents a hydrogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom, and A 10 and A 11 independently represent 1 to 5 carbon atoms, respectively. Indicates an alkylene group, an isopropylidene group, an ether group, a sulfide group, a sulfonyl group, a ketone group or a single bond.

(B)マレイミド基含有化合物は、有機溶媒への溶解性、高周波特性、導体との高接着性、プリプレグの成形性等の観点から、ポリアミノビスマレイミド化合物として用いることが好ましい。ポリアミノビスマレイミド化合物は、例えば、末端に2個のマレイミド基を有する化合物と、分子中に2個の一級アミノ基を有する芳香族ジアミン化合物とを有機溶媒中でマイケル付加反応させることにより得られる。 The maleimide group-containing compound (B) is preferably used as a polyaminobismaleimide compound from the viewpoints of solubility in an organic solvent, high frequency characteristics, high adhesiveness to a conductor, moldability of a prepreg, and the like. The polyaminobismaleimide compound can be obtained, for example, by carrying out a Michael addition reaction of a compound having two maleimide groups at the terminal and an aromatic diamine compound having two primary amino groups in the molecule in an organic solvent.

分子中に2個の一級アミノ基を有する芳香族ジアミン化合物は特に限定されないが、例えば、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチル−ジフェニルメタン、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン等が挙げられる。これらは1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。 The aromatic diamine compound having two primary amino groups in the molecule is not particularly limited, and for example, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyl-diphenylmethane, 2,2 '-Dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) propane, 4,4'-[1,3-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline , 4,4'-[1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

また、有機溶媒への溶解性が高く、合成時の反応率が高く、かつ耐熱性を高くできる観点からは、4,4’−ジアミノジフェニルメタン及び4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチル−ジフェニルメタンが好ましい。これらは目的、用途等に合わせて、1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。 In addition, from the viewpoint of high solubility in organic solvents, high reaction rate during synthesis, and high heat resistance, 4,4'-diaminodiphenylmethane and 4,4'-diamino-3,3'-dimethyl -Diphenylmethane is preferred. These may be used alone or in combination of two or more depending on the purpose, application and the like.

ポリアミノビスマレイミド化合物を製造する際に使用される有機溶媒は特に制限はないが、例えば、メタノール、エタノール、ブタノール、ブチルセロソルブ、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類;メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、ブトキシエチルアセテート、酢酸エチル等のエステル類;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の含窒素類などが挙げられる。これらは1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を混合して用いてもよい。また、これらの中でも、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、N,N−ジメチルホルムアミド及びN,N−ジメチルアセトアミドが溶解性の観点から好ましい。 The organic solvent used in producing the polyaminobismaleimide compound is not particularly limited, and for example, alcohols such as methanol, ethanol, butanol, butyl cellosolve, ethylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether; acetone, methyl ethyl ketone, and methyl. Ketones such as isobutyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and mesitylene; esters such as methoxyethyl acetate, ethoxyethyl acetate, butoxyethyl acetate and ethyl acetate; N, N-dimethylformamide, N, Examples thereof include nitrogen-containing substances such as N-dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone. One of these may be used alone, or two or more thereof may be mixed and used. Among these, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether, N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide are preferable from the viewpoint of solubility.

(触媒)
本実施形態の樹脂組成物は、(A)成分の硬化を促進するための触媒を更に含有してもよい。触媒の含有量は特に限定されないが、樹脂組成物の全質量に対して0.1〜5質量%であってもよい。触媒としては、例えば、過酸化物、アゾ化合物等を用いることができる。
(catalyst)
The resin composition of the present embodiment may further contain a catalyst for accelerating the curing of the component (A). The content of the catalyst is not particularly limited, but may be 0.1 to 5% by mass with respect to the total mass of the resin composition. As the catalyst, for example, a peroxide, an azo compound or the like can be used.

過酸化物としては、例えば、ジクミルパーオキサイド、ジベンゾイルパーオキサイド、2−ブタノンパーオキサイド、tert−ブチルパーベンゾエイト、ジ−tert−ブチルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、ビス(tert−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン及びtert−ブチルヒドロパーオキシドが挙げられる。アゾ化合物としては、例えば、2,2’−アゾビス(2−メチルプロパンニトリル)、2,2’−アゾビス(2−メチルブタンニトリル)及び1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)が挙げられる。 Examples of the peroxide include dicumyl peroxide, dibenzoyl peroxide, 2-butanone peroxide, tert-butyl perbenzoate, di-tert-butyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di. Examples thereof include (t-butylperoxy) hexane, bis (tert-butylperoxyisopropyl) benzene and tert-butylhydroperoxide. Examples of the azo compound include 2,2'-azobis (2-methylpropanenitrile), 2,2'-azobis (2-methylbutanenitrile) and 1,1'-azobis (cyclohexanecarbonitrile).

(無機充填剤)
本実施形態に係る樹脂フィルムは、無機充填材を更に含有してもよい。任意に適切な無機充填剤を含有させることで、樹脂組成物の低熱膨張特性、高弾性率性、耐熱性、難燃性等を向上させることができる。無機充填材としては特に制限されないが、例えば、シリカ、アルミナ、酸化チタン、マイカ、ベリリア、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、炭酸アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、焼成クレー、タルク、ホウ酸アルミニウム、炭化ケイ素等が挙げられる。これらは1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。
(Inorganic filler)
The resin film according to this embodiment may further contain an inorganic filler. By optionally containing an appropriate inorganic filler, the low thermal expansion property, high elastic modulus, heat resistance, flame retardancy and the like of the resin composition can be improved. The inorganic filler is not particularly limited, but for example, silica, alumina, titanium oxide, mica, beryllium, barium titanate, potassium titanate, strontium titanate, calcium titanate, aluminum carbonate, magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, etc. Examples thereof include aluminum silicate, calcium carbonate, calcium silicate, magnesium silicate, silicon nitride, boron nitride, calcined clay, talc, aluminum borate, and silicon carbide. These may be used alone or in combination of two or more.

無機充填剤の形状及び粒径についても特に制限はない。無機充填剤の形状は、例えば、球状であっても、破砕状であってもよい。無機充填剤の粒径は、例えば、0.01〜50μm、0.01〜20μm、0.1〜15μm又は0.1〜10μmであってもよい。ここで、粒径とは、平均粒子径を指し、粒子の全体積を100%として粒子径による累積度数分布曲線を求めた時、体積50%に相当する点の粒子径のことである。平均粒径はレーザー回折散乱法を用いた粒度分布測定装置等で測定することができる。 There are no particular restrictions on the shape and particle size of the inorganic filler. The shape of the inorganic filler may be, for example, spherical or crushed. The particle size of the inorganic filler may be, for example, 0.01 to 50 μm, 0.01 to 20 μm, 0.1 to 15 μm, or 0.1 to 10 μm. Here, the particle size refers to the average particle size, and is the particle size of a point corresponding to a volume of 50% when the cumulative frequency distribution curve based on the particle size is obtained with the total volume of the particles as 100%. The average particle size can be measured with a particle size distribution measuring device or the like using a laser diffraction / scattering method.

樹脂フィルムに対する無機充填剤の配合割合は、特に限定されないが、樹脂フィルムの接着性、靭性、耐熱性、耐薬品性等が特に向上する傾向にあることから、例えば、樹脂成分の合計量100質量部に対して、1〜1000質量部とすることができ、樹脂フィルムの熱膨張を抑制する観点から、1〜800質量部とすることができる。 The mixing ratio of the inorganic filler to the resin film is not particularly limited, but since the adhesiveness, toughness, heat resistance, chemical resistance, etc. of the resin film tend to be particularly improved, for example, the total amount of the resin components is 100 mass. It can be 1 to 1000 parts by mass with respect to the portion, and can be 1 to 800 parts by mass from the viewpoint of suppressing thermal expansion of the resin film.

無機充填材を用いる場合、その使用量は特に制限されないが、例えば、樹脂組成物中の固形分を全量として無機充填材の含有比率が3〜75体積%であることが好ましく、5〜70体積%であることがより好ましい。樹脂組成物中の無機充填材の含有比率が上記の範囲である場合、良好な硬化性、成形性及び耐薬品性が得られ易くなる。 When an inorganic filler is used, the amount used is not particularly limited, but for example, the content ratio of the inorganic filler is preferably 3 to 75% by volume, with the solid content in the resin composition as the total amount, and 5 to 70 volumes. More preferably. When the content ratio of the inorganic filler in the resin composition is within the above range, good curability, moldability and chemical resistance can be easily obtained.

(熱硬化性樹脂)
本実施形態に係る樹脂フィルムは、(A)成分及び(B)成分とは異なる熱硬化性樹脂を更に含有することができる。なお、(A)成分又は(B)成分に該当し得る化合物は、(C)熱硬化性樹脂に帰属しないものとする。(C)熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられる。(C)熱硬化性樹脂を含むことで、樹脂フィルムの低熱膨張特性等を更に向上させることができる。
(Thermosetting resin)
The resin film according to the present embodiment can further contain a thermosetting resin different from the component (A) and the component (B). The compound (A) or the compound that can correspond to the component (B) shall not belong to the (C) thermosetting resin. Examples of the thermosetting resin (C) include an epoxy resin and a cyanate ester resin. By including the thermosetting resin (C), the low thermal expansion characteristics of the resin film can be further improved.

(C)熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を含有させる場合、特に制限されないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等のナフタレン骨格含有型エポキシ樹脂、2官能ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ジヒドロアントラセン型エポキシ樹脂などが挙げられる。これらは1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。これらの中でも、高周波特性及び熱膨張特性の観点からは、ナフタレン骨格含有型エポキシ樹脂又はビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂を用いることが好ましい。 (C) When the epoxy resin is contained as the thermosetting resin, it is not particularly limited, but for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, aliphatic chain type. Naphthalene skeleton-containing epoxy resin such as epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, phenol aralkyl type epoxy resin, naphthol novolac type epoxy resin, naphthol aralkyl type epoxy resin, etc. Examples thereof include a biphenyl type epoxy resin, a biphenyl aralkyl type epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, and a dihydroanthracene type epoxy resin. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, from the viewpoint of high frequency characteristics and thermal expansion characteristics, it is preferable to use a naphthalene skeleton-containing epoxy resin or a biphenyl aralkyl type epoxy resin.

(C)熱硬化性樹脂としてシアネートエステル樹脂を含有させる場合、特に限定されないが、例えば、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、ビス(4−シアナトフェニル)エタン、ビス(3,5−ジメチル−4−シアナトフェニル)メタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、α,α’−ビス(4−シアナトフェニル)−m−ジイソプロピルベンゼン、フェノール付加ジシクロペンタジエン重合体のシアネートエステル化合物、フェノールノボラック型シアネートエステル化合物、クレゾールノボラック型シアネートエステル化合物等が挙げられる。これらは1種類を用いても、2種類以上を併用してもよい。これらの中でも、安価である点、高周波特性及びその他特性の総合バランスを考慮すると、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパンを用いることが好ましい。 (C) When the cyanate ester resin is contained as the thermosetting resin, it is not particularly limited, but for example, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, bis (4-cyanatophenyl) ethane, and bis (3). , 5-Dimethyl-4-cyanatophenyl) methane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, α, α'-bis (4) -Cyanatophenyl) -m-diisopropylbenzene, cyanate ester compound of phenol-added dicyclopentadiene polymer, phenol novolac type cyanate ester compound, cresol novolac type cyanate ester compound and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane is preferably used in consideration of its low cost and the total balance of high frequency characteristics and other characteristics.

(硬化剤)
本実施形態に係る樹脂フィルムは、(C)熱硬化性樹脂の硬化剤を更に含有してもよい。これにより、樹脂フィルムの硬化物を得る際の反応を円滑に進めることができるとともに、得られる樹脂フィルムの硬化物の物性を適度に調節することが可能となる。
(Hardener)
The resin film according to this embodiment may further contain a curing agent of (C) a thermosetting resin. As a result, the reaction when obtaining the cured product of the resin film can be smoothly promoted, and the physical properties of the cured product of the obtained resin film can be appropriately adjusted.

エポキシ樹脂を用いる場合、硬化剤としては特に制限されないが、例えば、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、ジアミノジフェニルメタン、m−フェニレンジアミン、ジシアンジアミド等のポリアミン化合物;ビスフェノールA、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂等のポリフェノール化合物;無水フタル酸、無水ピロメリット酸等の酸無水物;各種カルボン酸化合物;各種活性エステル化合物などが挙げられる。 When an epoxy resin is used, the curing agent is not particularly limited, but for example, polyamine compounds such as diethylenetriamine, triethylenetetramine, diaminodiphenylmethane, m-phenylenediamine, and dicyandiamide; bisphenol A, phenol novolac resin, cresol novolac resin, and bisphenol A. Polyphenol compounds such as novolak resin and phenol aralkyl resin; acid anhydrides such as phthalic anhydride and pyromellitic anhydride; various carboxylic acid compounds; various active ester compounds and the like can be mentioned.

シアネートエステル樹脂を用いる場合、硬化剤としては特に限定されないが、例えば、各種モノフェノール化合物、各種ポリフェノール化合物、各種アミン化合物、各種アルコール化合物、各種酸無水物、各種カルボン酸化合物等が挙げられる。これらは1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。 When the cyanate ester resin is used, the curing agent is not particularly limited, and examples thereof include various monophenol compounds, various polyphenol compounds, various amine compounds, various alcohol compounds, various acid anhydrides, and various carboxylic acid compounds. These may be used alone or in combination of two or more.

(硬化促進剤)
本実施形態に係る樹脂フィルムには、(C)熱硬化性樹脂の種類に応じて硬化促進剤を更に配合してもよい。エポキシ樹脂の硬化促進剤としては、例えば、潜在性の熱硬化剤である各種イミダゾール類、BFアミン錯体、リン系硬化促進剤等が挙げられる。硬化促進剤を配合する場合、樹脂組成物の保存安定性、半硬化の樹脂組成物の取扱性及びはんだ耐熱性の観点から、イミダゾール類及びリン系硬化促進剤が好ましい。
(Curing accelerator)
The resin film according to the present embodiment may further contain a curing accelerator depending on the type of (C) thermosetting resin. The curing accelerator for epoxy resins, for example, various imidazoles a latent heat curing agent, BF 3 amine complexes, phosphorus-based curing accelerator, and the like. When a curing accelerator is blended, imidazoles and phosphorus-based curing accelerators are preferable from the viewpoints of storage stability of the resin composition, handleability of the semi-cured resin composition, and solder heat resistance.

(熱可塑性樹脂)
本実施形態に係る樹脂フィルムは、樹脂フィルムの取扱い性を高める観点から、熱可塑性樹脂を更に含有してもよい。熱可塑性樹脂の種類は特に限定されず、分子量も限定されないが、(A)成分との相溶性をより高める点から、数平均分子量(Mn)が200〜60000であることが好ましい。
(Thermoplastic resin)
The resin film according to the present embodiment may further contain a thermoplastic resin from the viewpoint of improving the handleability of the resin film. The type of the thermoplastic resin is not particularly limited, and the molecular weight is not particularly limited, but the number average molecular weight (Mn) is preferably 200 to 60,000 from the viewpoint of further enhancing the compatibility with the component (A).

フィルム形成性及び耐吸湿性の観点から、熱可塑性樹脂は、熱可塑性エラストマであることが好ましい。熱可塑性エラストマとしては飽和型熱可塑性エラストマ等が挙げられ、飽和型熱可塑性エラストマとしては化学変性飽和型熱可塑性エラストマ、非変性飽和型熱可塑性エラストマ等が挙げられる。化学変性飽和型熱可塑性エラストマとしては、無水マレイン酸で変性されたスチレン−エチレン−ブチレン共重合体等が挙げられる。化学変性飽和型熱可塑性エラストマの具体例としては、タフテックM1911、M1913、M1943(全て旭化成ケミカルズ株式会社製、商品名)等が挙げられる。一方、非変性飽和型熱可塑性エラストマとしては、非変性のスチレン−エチレン−ブチレン共重合体等が挙げられる。非変性飽和型熱可塑性エラストマの具体例としては、タフテックH1041、H1051、H1043、H1053(全て旭化成ケミカルズ株式会社製、商品名)等が挙げられる。 From the viewpoint of film formability and moisture absorption resistance, the thermoplastic resin is preferably a thermoplastic elastomer. Examples of the thermoplastic elastomer include saturated thermoplastic elastomers, and examples of saturated thermoplastic elastomers include chemically modified saturated thermoplastic elastomers and non-modified saturated thermoplastic elastomers. Examples of the chemically modified saturated thermoplastic elastomer include a styrene-ethylene-butylene copolymer modified with maleic anhydride. Specific examples of the chemically modified saturated thermoplastic elastomer include Tough Tech M1911, M1913, M1943 (all manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd., trade name) and the like. On the other hand, examples of the non-modified saturated thermoplastic elastomer include a non-modified styrene-ethylene-butylene copolymer and the like. Specific examples of the non-denatured saturated thermoplastic elastomer include Tough Tech H1041, H1051, H1043, H1053 (all manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd., trade name) and the like.

フィルム形成性、誘電特性及び耐吸湿性の観点から、飽和型熱可塑性エラストマは、分子中にスチレンユニットを有することがより好ましい。なお、本明細書において、スチレンユニットとは、重合体における、スチレン単量体に由来する単位を指し、飽和型熱可塑性エラストマとは、スチレンユニットの芳香族炭化水素部分以外の脂肪族炭化水素部分が、いずれも飽和結合基によって構成された構造を有するものをいう。 From the viewpoint of film formability, dielectric properties and moisture absorption resistance, the saturated thermoplastic elastomer preferably has a styrene unit in the molecule. In the present specification, the styrene unit refers to a unit derived from the styrene monomer in the polymer, and the saturated thermoplastic elastoma is an aliphatic hydrocarbon portion other than the aromatic hydrocarbon portion of the styrene unit. However, all of them have a structure composed of saturated bond groups.

飽和型熱可塑性エラストマにおけるスチレンユニットの含有比率は、特に限定されないが、飽和型熱可塑性エラストマの全質量に対するスチレンユニットの質量百分率で、10〜80質量%であると好ましく、20〜70質量%であるとより好ましい。スチレンユニットの含有比率が上記範囲内であると、フィルム外観、耐熱性及び接着性に優れる傾向にある。 The content ratio of the styrene unit in the saturated thermoplastic elastomer is not particularly limited, but the mass percentage of the styrene unit to the total mass of the saturated thermoplastic elastomer is preferably 10 to 80% by mass, preferably 20 to 70% by mass. It is more preferable to have it. When the content ratio of the styrene unit is within the above range, the film appearance, heat resistance and adhesiveness tend to be excellent.

分子中にスチレンユニットを有する飽和型熱可塑性エラストマの具体例としては、スチレン−エチレン−ブチレン共重合体が挙げられる。スチレン−エチレン−ブチレン共重合体は、例えば、スチレン−ブタジエン共重合体のブタジエンに由来する構造単位が有する不飽和二重結合に水素添加を行うことにより得ることができる。 Specific examples of the saturated thermoplastic elastomer having a styrene unit in the molecule include a styrene-ethylene-butylene copolymer. The styrene-ethylene-butylene copolymer can be obtained, for example, by hydrogenating the unsaturated double bond of the butadiene-derived structural unit of the styrene-butadiene copolymer.

熱可塑性樹脂の含有量は特に限定されないが、誘電特性を更に良好にする観点からは樹脂組成物の固形分を全量として0.1〜15質量%であることが好ましく、0.3〜10質量%であることがより好ましく、0.5〜5質量%であることが更に好ましい。 The content of the thermoplastic resin is not particularly limited, but from the viewpoint of further improving the dielectric properties, the total solid content of the resin composition is preferably 0.1 to 15% by mass, preferably 0.3 to 10% by mass. It is more preferably%, and further preferably 0.5 to 5% by mass.

[樹脂フィルムの製造方法]
(樹脂組成物及び樹脂ワニスの調製)
次に、高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルムの製造方法の好適な例について説明する。本実施形態に係る樹脂フィルムを形成するための樹脂組成物を調製する方法は、特に制限されないが、例えば、以下の方法が挙げられる。
[Manufacturing method of resin film]
(Preparation of resin composition and resin varnish)
Next, a preferable example of a method for manufacturing a resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board will be described. The method for preparing the resin composition for forming the resin film according to the present embodiment is not particularly limited, and examples thereof include the following methods.

本実施形態に係る樹脂組成物は、上記した各成分を均一に分散及び混合することによって得ることができ、その調製手段、条件等は特に限定されない。例えば、所定配合量の各種成分をミキサー等によって十分に均一に撹拌及び混合した後、ミキシングロール、押出機、ニーダー、ロール、エクストルーダー等を用いて混練し、更に得られた混練物を冷却及び粉砕する方法が挙げられる。なお、混練形式についても特に限定されない。樹脂組成物は、必要に応じ有機溶媒を含んでいてもよく、上記成分が、有機溶媒に溶解又は分散した樹脂ワニスの形態であってもよい。 The resin composition according to the present embodiment can be obtained by uniformly dispersing and mixing each of the above-mentioned components, and the preparation means, conditions and the like thereof are not particularly limited. For example, after sufficiently uniformly stirring and mixing various components in a predetermined blending amount with a mixer or the like, kneading is performed using a mixing roll, an extruder, a kneader, a roll, an extruder or the like, and the obtained kneaded product is further cooled and mixed. A method of crushing can be mentioned. The kneading format is also not particularly limited. The resin composition may contain an organic solvent, if necessary, and the above components may be in the form of a resin varnish dissolved or dispersed in the organic solvent.

有機溶媒としては、特に限定されないが、例えば、メタノール、エタノール、ブタノール等のアルコール類、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、エチレングリコールモノメチルエーテル、カルビトール、ブチルカルビトール等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類;メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、ブトキシエチルアセテート、酢酸エチル等のエステル類;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の含窒素類などが挙げられる。特に、(A)成分の良溶媒であるトルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類、及びこれらの芳香族炭化水素類とアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類との混合溶媒が、フィルムとした時の外観が良好となるため好ましい。これらの溶媒は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The organic solvent is not particularly limited, and for example, alcohols such as methanol, ethanol and butanol, ethers such as ethyl cellosolve, butyl cellosolve, ethylene glycol monomethyl ether, carbitol and butyl carbitol; acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone. , Cyclohexanone and other ketones; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, mesitylene; esters such as methoxyethyl acetate, ethoxyethyl acetate, butoxyethyl acetate, ethyl acetate; N, N-dimethylformamide, N, N- Examples thereof include nitrogen-containing substances such as dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone. In particular, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and mesitylene, which are good solvents for the component (A), and a mixed solvent of these aromatic hydrocarbons and ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone. However, it is preferable because the appearance of the film is good. One type of these solvents may be used alone, or two or more types may be used in combination.

樹脂フィルムに無機充填剤を含有させる場合、樹脂ワニス中の無機充填剤の分散性を良好にする観点から、無機充填剤を有機溶剤中に分散させてスラリーを調製することが好ましい。熱可塑性樹脂を併用する場合、このスラリーに、上記熱可塑性樹脂を添加して溶解又は均一に分散した後に、(A)成分等の熱硬化性成分を添加する手順にて、樹脂ワニスを製造することが好ましい。 When the resin film contains an inorganic filler, it is preferable to prepare a slurry by dispersing the inorganic filler in an organic solvent from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler in the resin varnish. When a thermoplastic resin is used in combination, a resin varnish is produced by adding the above-mentioned thermoplastic resin to this slurry to dissolve or uniformly disperse it, and then adding a thermosetting component such as component (A). Is preferable.

樹脂組成物をワニスとする際には、ワニス中の固形分(不揮発分)濃度が、5〜80質量%となるように溶媒の使用量を調節することが好ましい。後述の樹脂フィルムを製造する工程において、樹脂組成物を塗布した後に溶媒を蒸発等させることによって溶媒量を調節することもできる。この場合には、樹脂ワニスを、良好な外観及び所望の膜厚が得られるような固形分(不揮発分)濃度及びワニス粘度に調製することができる。 When the resin composition is used as a varnish, it is preferable to adjust the amount of the solvent used so that the solid content (nonvolatile content) concentration in the varnish is 5 to 80% by mass. In the step of producing the resin film described later, the amount of the solvent can be adjusted by evaporating the solvent after applying the resin composition. In this case, the resin varnish can be prepared to have a solid content (nonvolatile content) concentration and varnish viscosity so as to obtain a good appearance and a desired film thickness.

[支持体付き樹脂フィルム]
本実施形態では、上記の樹脂組成物を用いて、樹脂フィルムを製造することができる。なお、樹脂フィルムとは未硬化又は半硬化のフィルム状の樹脂組成物を指す。
[Resin film with support]
In the present embodiment, a resin film can be produced by using the above resin composition. The resin film refers to an uncured or semi-cured film-like resin composition.

樹脂フィルムの製造方法は限定されないが、例えば、樹脂組成物を支持基材上に塗布して形成された樹脂層を乾燥することで得られる。上記のような樹脂組成物を用いて、公知の方法により樹脂フィルムを製造することができる。具体的には、上記樹脂組成物をキスコーター、ロールコーター、コンマコーター等を用いて支持基材上に塗布した後、加熱乾燥炉中等で、例えば70〜250℃、好ましくは70〜200℃の温度で、1〜30分間、好ましくは3〜15分間乾燥してもよい。これにより、樹脂組成物が半硬化した状態の樹脂フィルムを得ることができる。 The method for producing the resin film is not limited, but it can be obtained, for example, by applying the resin composition on the supporting base material and drying the formed resin layer. A resin film can be produced by a known method using the resin composition as described above. Specifically, after applying the above resin composition on a supporting substrate using a kiss coater, a roll coater, a comma coater or the like, the temperature is, for example, 70 to 250 ° C., preferably 70 to 200 ° C. in a heating / drying furnace or the like. Then, it may be dried for 1 to 30 minutes, preferably 3 to 15 minutes. As a result, a resin film in which the resin composition is semi-cured can be obtained.

なお、この半硬化した状態の樹脂フィルムを、加熱炉で更に、例えば、170〜250℃、好ましくは185〜230℃の温度で、60〜150分間加熱させることによって樹脂フィルムを熱硬化させることができる。 The semi-cured resin film can be further thermoset by heating it in a heating furnace at a temperature of, for example, 170 to 250 ° C., preferably 185 to 230 ° C. for 60 to 150 minutes. it can.

本実施形態に係る樹脂フィルムの厚さは特に限定されないが、1〜200μmであることが好ましく、2〜180μmであることがより好ましく、3〜150μmであることが更に好ましい。樹脂フィルムの厚さを上記の範囲とすることにより、本実施形態に係る樹脂フィルムを用いて得られる高多層印刷配線板の薄型化と良好な高周波特性を両立し易く、膜厚精度の高い絶縁層を形成することができる。 The thickness of the resin film according to the present embodiment is not particularly limited, but is preferably 1 to 200 μm, more preferably 2 to 180 μm, and even more preferably 3 to 150 μm. By setting the thickness of the resin film within the above range, it is easy to achieve both thinning of the high-multilayer printed wiring board obtained by using the resin film according to the present embodiment and good high-frequency characteristics, and insulation with high film thickness accuracy. Layers can be formed.

支持基材は特に限定されないが、PETフィルムのような耐熱性フィルム及び金属箔からなる群より選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。樹脂フィルムが支持基材を備えることにより、保管性及び印刷配線板の製造に用いる際の取扱性が良好となる傾向にある。すなわち、本実施形態に係る樹脂フィルムは、樹脂フィルムと支持基材と有する支持体付き樹脂フィルムの形態をとることができ、使用される際には支持基材から剥離してもよい。 The supporting base material is not particularly limited, but is preferably at least one selected from the group consisting of a heat-resistant film such as a PET film and a metal foil. Since the resin film is provided with the supporting base material, the storage property and the handleability when used in the production of the printed wiring board tend to be improved. That is, the resin film according to the present embodiment can take the form of a resin film with a support having the resin film and the support base material, and may be peeled off from the support base material when used.

[プリプレグ]
強度及び取り扱い性の点から、本実施形態に係る樹脂フィルムとシート状繊維補強基材とを張り合わせて高多層印刷配線板用のプリプレグとして用いることができる。すなわち、本実施形態に係るプリプレグは、樹脂フィルムと、シート状繊維補強基材とを有している。
[Prepreg]
From the viewpoint of strength and handleability, the resin film and the sheet-shaped fiber reinforced base material according to the present embodiment can be laminated and used as a prepreg for a high-multilayer printed wiring board. That is, the prepreg according to the present embodiment has a resin film and a sheet-shaped fiber reinforced base material.

シート状繊維補強基材としては、例えば、各種の電気絶縁材料用積層板に用いられている公知のものが用いられる。その材質としては、例えば、Eガラス、NEガラス、Sガラス、Qガラス等の無機繊維;芳香族ポリアミド、ポリイミド、芳香族ポリエステル、テトラフルオロエチレン等の有機繊維;炭素繊維などが挙げられる。シート状繊維補強基材は、これら繊維の一方向配列繊維シート又はランダム配列不織布シートであってもよい。取り扱い性の観点からはガラスクロスを用いることができ、ガラスクロスは特に限定されないが、ヤーンを高密度に編んだもの、開繊された繊維糸(開繊糸)を用いたものを使用できる。シート状繊維補強基材として、織布、不織布、チョップドストランドマット等の形状を有するものが使用できる。また、シート状繊維基材の厚みは特に制限されず、例えば、0.02〜0.5mmのものを用いることができる。また、シート状繊維補強基材としては、カップリング剤等で表面処理したもの、又は、機械的に開繊処理を施したものが、樹脂組成物の含浸性、積層板とした際の耐熱性、耐吸湿性及び加工性の観点から好ましい。 As the sheet-shaped fiber reinforced base material, for example, known materials used for various laminated boards for electrical insulating materials are used. Examples of the material include inorganic fibers such as E glass, NE glass, S glass and Q glass; organic fibers such as aromatic polyamide, polyimide, aromatic polyester and tetrafluoroethylene; carbon fibers and the like. The sheet-shaped fiber reinforced base material may be a unidirectionally arranged fiber sheet or a randomly arranged non-woven fabric sheet of these fibers. From the viewpoint of handleability, a glass cloth can be used, and the glass cloth is not particularly limited, but one in which yarn is knitted at high density or one in which opened fiber yarn (spread fiber yarn) is used can be used. As the sheet-shaped fiber reinforced base material, those having a shape such as a woven fabric, a non-woven fabric, or a chopped strand mat can be used. Further, the thickness of the sheet-shaped fiber base material is not particularly limited, and for example, one having a thickness of 0.02 to 0.5 mm can be used. Further, as the sheet-shaped fiber reinforced base material, one that has been surface-treated with a coupling agent or the like, or one that has been mechanically opened, has the impregnation property of the resin composition and the heat resistance when made into a laminated board. , Preferable from the viewpoint of moisture absorption resistance and processability.

なお、シート状繊維補強基材を使用する場合、高多層印刷配線板用のプリプレグは、例えば、樹脂組成物を有機溶媒に溶解又は分散して得られた樹脂ワニスを、ガラスクロスに含浸する方法によっても得ることができる。樹脂ワニスをガラスクロスに含浸する方法としては、特に限定されないが、例えば、ガラスクロスを樹脂ワニスに浸漬する方法、各種コーターにより樹脂ワニスをガラスクロスに塗布する方法、スプレーによって樹脂ワニスをガラスクロスに吹き付ける方法等が挙げられる。これらの中でも、樹脂ワニスの含浸性を向上させる観点から、ガラスクロスを樹脂ワニスに浸漬する方法を用いることができる。 When a sheet-shaped fiber reinforced base material is used, the prepreg for a high-multilayer printed wiring board is, for example, a method of impregnating a glass cloth with a resin varnish obtained by dissolving or dispersing a resin composition in an organic solvent. Can also be obtained by. The method of impregnating the glass cloth with the resin varnish is not particularly limited, but for example, a method of immersing the glass cloth in the resin varnish, a method of applying the resin varnish to the glass cloth by various coaters, and a method of spraying the resin varnish into the glass cloth. Examples include the method of spraying. Among these, a method of immersing the glass cloth in the resin varnish can be used from the viewpoint of improving the impregnation property of the resin varnish.

[金属張積層板]
上記樹脂フィルムを用い、高多層用金属張硬化樹脂フィルムを製造することができる。すなわち、本実施形態によれば、上述した樹脂フィルムの硬化物を含む樹脂層と、導体層とを有する高多層用金属張積層板を提供することができる。例えば、上記樹脂フィルム又は支持体付き樹脂フィルムを用い、高多層用金属張積層板を製造することができる。
[Metal-clad laminate]
Using the above resin film, a metal tension cured resin film for high multilayer can be manufactured. That is, according to the present embodiment, it is possible to provide a high-multilayer metal-clad laminate having a resin layer containing a cured product of the resin film described above and a conductor layer. For example, the resin film or the resin film with a support can be used to manufacture a metal-clad laminate for high multilayer.

金属張積層板の製造方法は限定されないが、例えば、本実施形態に係る樹脂フィルムを1枚又は複数枚重ね、少なくとも一つの面に導体層となる金属箔を配置し、例えば、170〜250℃、好ましくは185〜230℃の温度及び0.5〜5.0MPaの圧力で60〜150分間加熱及び加圧することにより、絶縁層となる樹脂層の少なくとも一つの面(両面又は片面)に金属箔を備える金属張積層板が得られる。加熱及び加圧は、例えば、真空度は10kPa以下、好ましくは5kPa以下の条件で実施でき、効率を高める観点からは真空中で行うことが好ましい。加熱及び加圧は、開始から30分間〜成形終了時間まで実施することが好ましい。 The method for producing the metal-clad laminate is not limited, but for example, one or a plurality of resin films according to the present embodiment are laminated, and a metal foil to be a conductor layer is arranged on at least one surface, for example, 170 to 250 ° C. A metal foil is formed on at least one surface (both sides or one side) of the resin layer to be an insulating layer by heating and pressurizing at a temperature of 185 to 230 ° C. and a pressure of 0.5 to 5.0 MPa for 60 to 150 minutes. A metal-clad laminate is obtained. The heating and pressurization can be performed, for example, under the conditions of a vacuum degree of 10 kPa or less, preferably 5 kPa or less, and is preferably performed in a vacuum from the viewpoint of improving efficiency. The heating and pressurization are preferably carried out from the start for 30 minutes to the end time of molding.

[多層印刷配線板の製造]
上記樹脂フィルムは、ビルドアップ配線板等の多層印刷配線板の製造に用いることもできる。すなわち、本実施形態によれば、上述の樹脂フィルムの硬化物を含む樹脂層と、回路層とを備える高多層印刷配線板を提供することができる。回路層の数の上限値は特に限定されず、3層〜80層であってもよく、6〜50層であってもよい。高多層印刷配線板は、例えば、上記の樹脂フィルム、支持体付き樹脂フィルム又は金属張積層板を用いて製造することもできる。
[Manufacturing of multi-layer printed wiring board]
The resin film can also be used for manufacturing a multilayer printed wiring board such as a build-up wiring board. That is, according to the present embodiment, it is possible to provide a high-multilayer printed wiring board including a resin layer containing a cured product of the above-mentioned resin film and a circuit layer. The upper limit of the number of circuit layers is not particularly limited, and may be 3 to 80 layers or 6 to 50 layers. The high-multilayer printed wiring board can also be manufactured by using, for example, the above-mentioned resin film, resin film with a support, or metal-clad laminate.

高多層印刷配線板の製造方法としては特に限定されないが、例えば、まず、回路形成加工されたコア基板の片面又は両面に、樹脂フィルムを配置するか、あるいは複数枚のコア基板の間に樹脂フィルムを配置し、加圧及び加熱ラミネート成形、又は加圧及び加熱プレス成形を行って各層を接着した後、レーザー穴開け加工、ドリル穴開け加工、金属めっき加工、金属エッチング等による回路形成加工を行うことで、多層印刷配線板を製造することができる。樹脂フィルムが支持基材を有している場合(支持体付き樹脂フィルムを用いる場合)、支持基材は、コア基板上又はコア基板間に樹脂フィルムを配置する前に剥離しておくか、あるいは、樹脂層をコア基板に張り付けた後に剥離することができる。 The method for manufacturing the high-multilayer printed wiring board is not particularly limited. For example, first, a resin film is arranged on one side or both sides of the circuit-formed core substrate, or a resin film is formed between a plurality of core substrates. After arranging and bonding each layer by pressurizing and heat laminating molding or pressurizing and heating press molding, perform circuit forming processing by laser drilling, drilling, metal plating, metal etching, etc. As a result, a multilayer printed wiring board can be manufactured. When the resin film has a support base material (when a resin film with a support is used), the support base material is peeled off before placing the resin film on or between the core substrates, or , The resin layer can be peeled off after being attached to the core substrate.

本実施形態に係る樹脂フィルムを用いた高多層印刷配線板の製造方法を、図1に沿って説明する。図1は、本実施形態に係る高多層印刷配線板の製造工程を模式的に示す図である。本実施形態に係る多層印刷配線板の製造方法は、(a)内層回路基板に樹脂フィルムを積層して樹脂層を形成する工程(以下、「工程(a)」という)と、(b)樹脂層を加熱・加圧して硬化する工程(以下、「工程(b)」という)と、(c)硬化した樹脂層上にアンテナ回路層を形成する工程(以下、「工程(c)」という)とを有する。 A method for manufacturing a high-multilayer printed wiring board using the resin film according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram schematically showing a manufacturing process of a high-multilayer printed wiring board according to the present embodiment. The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present embodiment includes (a) a step of laminating a resin film on an inner layer circuit board to form a resin layer (hereinafter referred to as "step (a)") and (b) a resin. A step of heating and pressurizing the layer to cure it (hereinafter referred to as "step (b)") and (c) a step of forming an antenna circuit layer on the cured resin layer (hereinafter referred to as "step (c)"). And have.

図1の(a)に示すように、工程(a)では、内層回路基板11に本実施形態に係る樹脂フィルム12を積層して樹脂フィルム12からなる樹脂層を形成する。 As shown in FIG. 1A, in the step (a), the resin film 12 according to the present embodiment is laminated on the inner layer circuit board 11 to form a resin layer made of the resin film 12.

積層方法は特に限定されないが、例えば、多段プレス、真空プレス、常圧ラミネーター、真空下で加熱加圧するラミネーターを用いて積層する方法等が挙げられ、真空下で加熱加圧するラミネーターを用いる方法が好ましい。これにより、内層回路基板11が表面に微細配線回路を有していてもボイドがなく回路間を樹脂で埋め込むことができる。ラミネート条件は特に限定されないが、圧着温度が70〜130℃、圧着圧力が1〜11kgf/cmであって、減圧又は真空下で積層するのが好ましい。ラミネートは、バッチ式であってもよく、また、ロールでの連続式であってもよい。 The laminating method is not particularly limited, and examples thereof include a method of laminating using a multi-stage press, a vacuum press, a normal pressure laminator, and a laminator that heats and pressurizes under vacuum, and a method that uses a laminator that heats and pressurizes under vacuum is preferable. .. As a result, even if the inner layer circuit board 11 has a fine wiring circuit on the surface, there are no voids and the circuits can be embedded with resin. The laminating conditions are not particularly limited, but it is preferable that the crimping temperature is 70 to 130 ° C. and the crimping pressure is 1 to 11 kgf / cm 2 , and laminating is performed under reduced pressure or vacuum. The laminating may be a batch type or a continuous type in a roll.

内層回路基板11としては、特に限定されず、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等を使用することができる。内層回路基板11の樹脂フィルムが積層される面の回路表面は予め粗化処理されていてもよい。 The inner layer circuit board 11 is not particularly limited, and a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a heat-curable polyphenylene ether substrate, or the like can be used. The circuit surface of the surface on which the resin film of the inner layer circuit board 11 is laminated may be roughened in advance.

内層回路基板11の回路層数は限定されない。図1では6層の内層回路基板としたが、この層数に限定されず、例えば、ミリ波レーダー用の高多層印刷配線板を作製する場合、その設計に応じて2層〜80層等と自由に選択することができる。本実施形態の高多層印刷配線板は、ミリ波レーダーの作製へ応用することができる。すなわち、本実施形態の樹脂フィルムの硬化物を含む樹脂層と、回路層とを備える、ミリ波レーダー用の高多層印刷配線板を作製することができる。 The number of circuit layers of the inner layer circuit board 11 is not limited. In FIG. 1, a 6-layer inner-layer circuit board is used, but the number of layers is not limited to this. For example, when a high-multilayer printed wiring board for a millimeter-wave radar is manufactured, 2 to 80 layers or the like may be used depending on the design. You can choose freely. The high-multilayer printed wiring board of this embodiment can be applied to the fabrication of a millimeter-wave radar. That is, it is possible to manufacture a high-multilayer printed wiring board for a millimeter-wave radar, which includes a resin layer containing a cured product of the resin film of the present embodiment and a circuit layer.

後述するアンテナ回路層14をエッチングにより樹脂層12a上に形成する場合、樹脂フィルム12上に更に金属箔13を積層して金属層13aを形成してもよい。金属箔としては、例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、亜鉛等が挙げられ、導電性の観点からは銅が好ましい。金属箔は合金であってもよく、例えば、銅合金として、ベリリウム又はカドミウムを少量添加した高純度銅合金が挙げられる。金属箔の厚みは、3〜200μmが好ましく、5〜70μmがより好ましい。 When the antenna circuit layer 14 described later is formed on the resin layer 12a by etching, the metal foil 13 may be further laminated on the resin film 12 to form the metal layer 13a. Examples of the metal foil include copper, aluminum, nickel, zinc and the like, and copper is preferable from the viewpoint of conductivity. The metal foil may be an alloy, and examples of the copper alloy include high-purity copper alloys to which a small amount of beryllium or cadmium is added. The thickness of the metal foil is preferably 3 to 200 μm, more preferably 5 to 70 μm.

図1の(b)に示すように、工程(b)では、工程(a)で積層した内層回路基板11及び樹脂層12aを加熱加圧して熱硬化させる。条件は特に限定されないが、温度100℃〜250℃、圧力0.2〜10MPa、時間30〜120分間の範囲が好ましく、150℃〜220℃がより好ましい。 As shown in FIG. 1B, in the step (b), the inner layer circuit board 11 and the resin layer 12a laminated in the step (a) are heated and pressed to be thermoset. The conditions are not particularly limited, but the temperature is preferably in the range of 100 ° C. to 250 ° C., the pressure is 0.2 to 10 MPa, and the time is 30 to 120 minutes, and more preferably 150 ° C. to 220 ° C.

図1の(c)に示すように、工程(c)では、樹脂層12a上にアンテナ回路層14を形成する。アンテナ回路層14の形成方法は特に限定されず、例えば、サブトラクティブ法等のエッチング法、セミアディティブ法等によって形成してもよい。 As shown in FIG. 1 (c), in the step (c), the antenna circuit layer 14 is formed on the resin layer 12a. The method for forming the antenna circuit layer 14 is not particularly limited, and for example, the antenna circuit layer 14 may be formed by an etching method such as a subtractive method, a semi-additive method, or the like.

サブトラクティブ法は、金属層13aの上に、所望のパターン形状に対応した形状のエッチングレジスト層を形成し、その後の現像処理によって、レジストの除去された部分の金属層を薬液で溶解し除去することによって、所望の回路を形成する方法である。薬液としては、例えば、塩化銅溶液、塩化鉄溶液等を使用することができる。 In the subtractive method, an etching resist layer having a shape corresponding to a desired pattern shape is formed on the metal layer 13a, and the metal layer of the portion from which the resist has been removed is dissolved and removed with a chemical solution by a subsequent development process. This is a method of forming a desired circuit. As the chemical solution, for example, a copper chloride solution, an iron chloride solution or the like can be used.

セミアディティブ法は、無電解めっき法により樹脂層12aの表面に金属被膜を形成し、金属被膜上に所望のパターンに対応した形状のめっきレジスト層を形成し、次いで、電解めっき法によって金属層を形成した後、不要な無電解めっき層を薬液等で除去し、所望の回路層を形成する方法である。 In the semi-additive method, a metal film is formed on the surface of the resin layer 12a by an electroless plating method, a plating resist layer having a shape corresponding to a desired pattern is formed on the metal film, and then the metal layer is formed by an electroplating method. This is a method of forming a desired circuit layer by removing an unnecessary electroless plating layer with a chemical solution or the like after the formation.

また、樹脂層12aには、必要に応じてビアホール15等のホールを形成してもよい。ホールの形成方法は限定されないが、NCドリル、炭酸ガスレーザー、UVレーザー、YAGレーザー、プラズマ等を適用できる。 Further, holes such as via holes 15 may be formed in the resin layer 12a, if necessary. The method of forming holes is not limited, but NC drills, carbon dioxide lasers, UV lasers, YAG lasers, plasmas and the like can be applied.

ここで、内層回路基板11は、図2に示す工程(p)〜(r)によって製造することもできる。図2は、内層回路基板の製造工程を模式的に示す図である。すなわち、本実施形態に係る多層印刷配線板の製造方法は、工程(p)、工程(q)、工程(r)、工程(a)、工程(b)及び工程(c)を有していてもよい。以下、工程(p)〜(r)について説明する。 Here, the inner layer circuit board 11 can also be manufactured by the steps (p) to (r) shown in FIG. FIG. 2 is a diagram schematically showing a manufacturing process of an inner layer circuit board. That is, the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present embodiment includes steps (p), steps (q), steps (r), steps (a), steps (b), and steps (c). May be good. Hereinafter, steps (p) to (r) will be described.

まず、図2の(p)に示すように、工程(p)では、コア基板41及びプリプレグ42を積層する。コア基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等を使用できる。プリプレグとしては、例えば、日立化成株式会社製「GWA−900G」、「GWA−910G」、「GHA−679G」、「GHA−679G(S)」、「GZA−71G」「GEA−75G」(いずれも商品名)等を使用することができる。 First, as shown in FIG. 2 (p), the core substrate 41 and the prepreg 42 are laminated in the step (p). As the core substrate, for example, a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, or the like can be used. Examples of the prepreg include "GWA-900G", "GWA-910G", "GHA-679G", "GHA-679G (S)", "GZA-71G" and "GEA-75G" manufactured by Hitachi Chemical Company, Ltd. Product name) etc. can be used.

次に、図2の(q)に示すように、工程(q)では、工程(p)で得られたコア基板41及びプリプレグ42の積層体を加熱加圧する。加熱する温度は、特に限定されないが、120〜230℃が好ましく、150〜210℃がより好ましい。また、加圧する圧力は、特に限定されないが、1〜5MPaが好ましく、2〜4MPaがより好ましい。加熱時間は特に限定されないが30〜120分が好ましい。これにより、誘電特性、高温多湿化での機械的、電気的接続信頼性に優れた内層回路基板を得ることができる。 Next, as shown in FIG. 2 (q), in the step (q), the laminate of the core substrate 41 and the prepreg 42 obtained in the step (p) is heated and pressed. The heating temperature is not particularly limited, but is preferably 120 to 230 ° C, more preferably 150 to 210 ° C. The pressure to pressurize is not particularly limited, but is preferably 1 to 5 MPa, more preferably 2 to 4 MPa. The heating time is not particularly limited, but is preferably 30 to 120 minutes. As a result, it is possible to obtain an inner layer circuit board having excellent dielectric properties, mechanical and electrical connection reliability at high temperature and high humidity.

さらに、図2の(r)に示すように、工程(r)では、必要に応じて内層回路基板にスルーホール43を形成する。スルーホール43の形成方法は特に限定されず、上述するアンテナ回路層を形成する工程と同一であってもよいし、公知の方法を用いてもよい。 Further, as shown in FIG. 2 (r), in the step (r), a through hole 43 is formed in the inner layer circuit board as needed. The method for forming the through hole 43 is not particularly limited, and may be the same as the step for forming the antenna circuit layer described above, or a known method may be used.

上記の工程により、本実施形態の高多層印刷配線板を製造できる。また、上記工程を経て製造された印刷配線板を内層回路基板として更に工程(a)〜(c)を繰り返してもよい。 By the above steps, the high-multilayer printed wiring board of the present embodiment can be manufactured. Further, the steps (a) to (c) may be further repeated using the printed wiring board manufactured through the above steps as an inner layer circuit board.

図3は、図1に示す工程により製造された多層印刷配線板を内層回路基板として用いた多層印刷配線板の製造工程を模式的に示す図である。図3の(a)と図1の(a)が、図3の(b)と図1の(b)が、図3の(c)と図1の(c)が、それぞれ対応する。 FIG. 3 is a diagram schematically showing a manufacturing process of a multilayer printed wiring board using the multilayer printed wiring board manufactured by the process shown in FIG. 1 as an inner layer circuit board. (A) and FIG. 1 (a) correspond to FIG. 3 (b) and FIG. 1 (b), and FIG. 3 (c) and FIG. 1 (c) correspond to each other.

具体的には、図3の(a)は、内層回路基板21に樹脂フィルム22を積層して樹脂層22sを形成し、必要に応じて金属箔23を樹脂フィルム22に積層して金属層23aを形成する工程である。図3の(b)は、樹脂層22aを加熱・加圧して硬化する工程であり、図3の(c)は硬化した樹脂層上にアンテナ回路層24を形成する工程である。 Specifically, in FIG. 3A, the resin film 22 is laminated on the inner layer circuit board 21 to form the resin layer 22s, and the metal foil 23 is laminated on the resin film 22 as needed to form the metal layer 23a. Is the process of forming. FIG. 3B is a step of heating and pressurizing the resin layer 22a to cure the resin layer 22a, and FIG. 3C is a step of forming the antenna circuit layer 24 on the cured resin layer.

図1及び図3では、アンテナ回路パターン等を形成する目的で内層回路基板上に積層する樹脂層の層数を1層又は2層としたが、これに限定されず、アンテナ回路設計に応じて3層又はそれ以上の層数としてもよい。アンテナ回路層を多層とすることで、広帯域特性を有するアンテナ及び使用周波数帯域でアンテナ放射パターンの角度変化が少ない(ビームチルトレス)アンテナの設計が容易となる。 In FIGS. 1 and 3, the number of resin layers laminated on the inner circuit board is set to one or two for the purpose of forming an antenna circuit pattern or the like, but the number is not limited to this, depending on the antenna circuit design. The number of layers may be three or more. By making the antenna circuit layer multi-layered, it becomes easy to design an antenna having a wide band characteristic and an antenna in which the angle change of the antenna radiation pattern is small (beam tiltless) in the frequency band used.

本実施形態に係る樹脂フィルムは、高多層印刷配線板を製造するために好適に用いることができる。本実施形態に係る高多層印刷配線板の製造方法では、マレイミド基、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和又は不飽和の2価の炭化水素基を有する化合物を含有する樹脂フィルムを用いて樹脂層を形成しているため、高周波特性に優れる層の他に接着層を設けずに積層体を作製することができる。これにより、工程の簡略化及び更なる高周波特性の向上効果が得られる。 The resin film according to this embodiment can be suitably used for manufacturing a high-multilayer printed wiring board. In the method for producing a high multilayer printed wiring board according to the present embodiment, a resin film containing a maleimide group, a divalent group having at least two imide bonds, and a compound having a saturated or unsaturated divalent hydrocarbon group is used. Since the resin layer is formed by using the resin layer, a laminated body can be produced without providing an adhesive layer in addition to the layer having excellent high frequency characteristics. As a result, the effect of simplifying the process and further improving the high frequency characteristics can be obtained.

以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、これらは本発明の説明のための例示であり、本発明の範囲をこれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態とは異なる種々の態様で実施することができる。 Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, these are examples for explaining the present invention, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The present invention can be carried out in various aspects different from the above embodiments without departing from the gist thereof.

以下、実施例及び比較例に基づいて、本発明を更に詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on Examples and Comparative Examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

[樹脂ワニスの調製]
下記手順に従って、各種の樹脂ワニスを調製した。調製例1〜8及び比較調製例1〜4の樹脂ワニスの調製に用いた各原材料の使用量(質量部)は、表1及び2にまとめて示す。
[Preparation of resin varnish]
Various resin varnishes were prepared according to the following procedure. The amounts (parts by mass) of the raw materials used for preparing the resin varnishes of Preparation Examples 1 to 8 and Comparative Preparation Examples 1 to 4 are summarized in Tables 1 and 2.

温度計、還流冷却管及び攪拌装置を備えた300mLの4つ口フラスコに、表1又は表2に示す各成分を投入し、25℃で1時間攪拌した後、#200ナイロンメッシュ(開口75μm)によりろ過し樹脂ワニスを調製した。 Each component shown in Table 1 or Table 2 is placed in a 300 mL four-necked flask equipped with a thermometer, a reflux condenser and a stirrer, and after stirring at 25 ° C. for 1 hour, # 200 nylon mesh (opening 75 μm). To prepare a resin flask.

なお、表1及び2における各材料の略号等は、以下の通りである。
((1)BMI−1500[Mw:約1500、Designer Molecules Inc.製、商品名]
(2)BMI−1700[Mw:約1700、Designer Molecules Inc.製、商品名]
(3)BMI−3000[Mw:約3000、Designer Molecules Inc.製、商品名]
(4)BMI−5000[Mw:約5000、Designer Molecules Inc.製、商品名]
(5)BMI−1000[ビス(4−マレイミドフェニル]メタン、大和化成工業株式会社製、商品名)
(6)BMI−4000[2,2−ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル)プロパン、大和化成工業株式会社製、商品名]
(7)B−3000[ブタジエンホモポリマー、Mn:約3000、日本曹達株式会社製、商品名]
(8)PPO640[ポリフェニレンエーテル、Mn:約16000、SABICイノベーティブプラスチックス社製、商品名]
(9)NC−3000H[ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、日本化薬株式会社製、商品名]
(10)BADCY[2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、ロンザ社製、商品名]
(11)KA1165[ノボラック型フェノール樹脂、DIC株式会社製、商品名]、
(12)PCP[p−クミルフェノール、和光純薬工業株式会社製、商品名]、
(13)H1041[Mn6万未満のスチレン−ブタジエン共重合体の水素添加物、スチレン含有比率:30%、Mn:58000、旭化成ケミカルズ株式会社製、商品名「タフテックH1041」]
(14)シリカスラリー[球状溶融シリカ、表面処理:フェニルアミノシランカップリング剤(1質量%/スラリー中の全固形分)、分散媒:メチルイソブチルケトン(MIBK)、固形分濃度:70質量%、平均粒子径:0.5μm、密度:2.2g/cm、株式会社アドマテックス製、商品名「SC−2050KNK」]
(15)パーヘキシン25B[2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、日油株式会社製、商品名]
(16)2E4MZ[2−エチル−4メチル−イミダゾール、四国化成工業株式会社製、商品名]
(17)ナフテン酸亜鉛[東京化成工業株式会社製]
The abbreviations and the like of each material in Tables 1 and 2 are as follows.
((1) BMI-1500 [Mw: about 1500, manufactured by Designer Moleculars Inc., trade name]
(2) BMI-1700 [Mw: Approximately 1700, Designer Moleculars Inc. Made, product name]
(3) BMI-3000 [Mw: Approximately 3000, Designer Moleculars Inc. Made, product name]
(4) BMI-5000 [Mw: Approximately 5000, Designer Moleculars Inc. Made, product name]
(5) BMI-1000 [bis (4-maleimidephenyl] methane, manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name)
(6) BMI-4000 [2,2-bis (4- (4-maleimide phenoxy) phenyl) propane, manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name]
(7) B-3000 [Butadiene homopolymer, Mn: about 3000, manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., trade name]
(8) PPO640 [Polyphenylene ether, Mn: Approximately 16000, manufactured by SABIC Innovative Plastics, trade name]
(9) NC-3000H [Biphenyl aralkyl type epoxy resin, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name]
(10) BADCY [2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, manufactured by Lonza, trade name]
(11) KA1165 [Novolak type phenolic resin, manufactured by DIC Corporation, trade name],
(12) PCP [p-cumylphenol, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., trade name],
(13) H1041 [Hydrogenated styrene-butadiene copolymer of less than Mn 60,000, styrene content ratio: 30%, Mn: 58000, manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd., trade name "Tough Tech H1041"]
(14) Silica slurry [Spherical molten silica, surface treatment: phenylaminosilane coupling agent (1% by mass / total solid content in the slurry), dispersion medium: methyl isobutyl ketone (MIBK), solid content concentration: 70% by mass, average Particle size: 0.5 μm, density: 2.2 g / cm 3 , manufactured by Admatex Co., Ltd., trade name "SC-2050KNK"]
(15) Perhexine 25B [2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane, manufactured by NOF CORPORATION, trade name]
(16) 2E4MZ [2-ethyl-4methyl-imidazole, manufactured by Shikoku Chemicals Corporation, trade name]
(17) Zinc naphthenate [manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.]

Figure 0006756107
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Figure 0006756107
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[樹脂フィルムの作製]
調製例1〜8及び比較調製例1〜4で得られた樹脂ワニスを、コンマコーターを用いて、支持基材として厚さ38μmのPETフィルム(商品名「G2−38」、帝人株式会社製)上に塗工し(乾燥温度:130℃)、厚さ50μmの半硬化状態の樹脂層を備えるPETフィルム付き樹脂フィルムを作製した。なお、調製例1〜8の樹脂ワニスを用いて作製した半硬化樹脂フィルムが実施例1〜8、比較調製例1〜4の樹脂ワニスを用いて作製した半硬化樹脂フィルムが比較例1〜4にそれぞれ相当する。
[Preparation of resin film]
Using a comma coater, the resin varnishes obtained in Preparation Examples 1 to 8 and Comparative Preparation Examples 1 to 4 were used as a supporting base material for a 38 μm-thick PET film (trade name “G2-38”, manufactured by Teijin Co., Ltd.). A resin film with a PET film having a semi-cured resin layer having a thickness of 50 μm was prepared by coating on the top (drying temperature: 130 ° C.). The semi-curable resin films prepared using the resin varnishes of Preparation Examples 1 to 8 are Examples 1 to 8, and the semi-curable resin films prepared using the resin varnishes of Comparative Preparation Examples 1 to 4 are Comparative Examples 1 to 4. Corresponds to each.

[樹脂フィルムの評価]
実施例1〜8及び比較例1〜4の半硬化樹脂フィルムの外観及び取扱性を評価した。評価結果を表3に示す。
[Evaluation of resin film]
The appearance and handleability of the semi-cured resin films of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 4 were evaluated. The evaluation results are shown in Table 3.

外観は目視により評価し、樹脂フィルムの表面に多少なりともムラ、スジ等があり、表面平滑性に欠けるものを×、ムラ、スジ等がなく、均一なものを○とした。また取扱性は、25℃において表面に多少なりともべたつき(タック)があるもの又はカッターナイフで切断しても樹脂割れ又は粉落ちがあるものを×、それ以外を○とした。
[高多層印刷配線板]
回路パターンが形成されたガラス布基材エポキシ樹脂銅張積層板を内層回路基板とし、その両面に、PETフィルムを剥離した上記の樹脂フィルムを1枚乗せ、その上に厚さ12μmの電解銅箔(商品名「YGP−12」、日本電解製)を配置した後、その上に鏡板を乗せ、200℃/3.0MPa/70分のプレス条件で加熱加圧成形して、評価用の4層印刷配線板を作製した。
The appearance was visually evaluated, and those having some unevenness, streaks, etc. on the surface of the resin film and lacking surface smoothness were marked with x, and those without unevenness, streaks, etc. were marked with ◯. In terms of handleability, those having a slight stickiness (tack) on the surface at 25 ° C. or those having resin cracking or powder falling even when cut with a cutter knife were evaluated as x, and those other than that were evaluated as ◯.
[High multi-layer printed wiring board]
A glass cloth base material epoxy resin copper-clad laminate on which a circuit pattern is formed is used as an inner layer circuit board, and one of the above resin films from which the PET film has been peeled off is placed on both sides of the inner layer circuit board, and an electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm is placed therein. After arranging (trade name "YGP-12", manufactured by Nippon Denshi), a mirror plate is placed on it, and heat and pressure molding is performed under press conditions of 200 ° C./3.0 MPa/70 minutes, and four layers for evaluation are used. A printed wiring board was produced.

次いで、作製された4層印刷配線板の最外層の銅箔をエッチングし、回路埋め込み性(多層化成形性)を評価した。多層化成形性は目視により評価し、ボイド、カスレが多少なりともあるものを×、回路に均一に樹脂が充填されており均一なものを○とした。 Next, the copper foil of the outermost layer of the produced four-layer printed wiring board was etched, and the circuit embedding property (multilayer formability) was evaluated. The multi-layer moldability was visually evaluated, and those having some voids and blurring were evaluated as x, and those having a uniform resin filling in the circuit were evaluated as ◯.

[両面金属張硬化樹脂フィルム]
上述のPETフィルム付き樹脂フィルムからPETフィルムを剥離した樹脂フィルムを2枚重ね、その両面に、厚さ18μmのロープロファイル銅箔(M面Rz:3μm、商品名「F3−WS」、古河電気工業株式会社製)をその粗化面(M面)が接するように配置し、その上に鏡板を乗せ、200℃/3.0MPa/70分のプレス条件で加熱加圧成形して、両面金属張硬化樹脂フィルム(厚さ:0.1mm)を作製した。
[Double-sided metal-clad cured resin film]
Two resin films obtained by peeling the PET film from the above-mentioned resin film with PET film are stacked, and low profile copper foil with a thickness of 18 μm (M surface Rz: 3 μm, trade name “F3-WS”, Furukawa Denki Kogyo) is placed on both sides thereof. (Made by Co., Ltd.) is placed so that its roughened surface (M surface) is in contact, a mirror plate is placed on it, and heat and pressure molding is performed under pressing conditions of 200 ° C./3.0 MPa/70 minutes, and double-sided metal covering A cured resin film (thickness: 0.1 mm) was prepared.

上述の実施例1〜8及び比較例1〜4の両面金属張硬化樹脂フィルムについて、取扱性(耐折曲げ性)、誘電特性、銅箔引きはがし強さ、はんだ耐熱性、吸水率及び絶縁信頼性を評価した。その評価結果を表3に示す。両面金属張硬化樹脂フィルムの特性評価方法は以下のとおりである。 Regarding the double-sided metal-clad cured resin films of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 4 described above, handleability (bending resistance), dielectric properties, copper foil peeling strength, solder heat resistance, water absorption rate and insulation reliability. Gender was evaluated. The evaluation results are shown in Table 3. The method for evaluating the characteristics of the double-sided metal-clad cured resin film is as follows.

[耐折曲げ性]
耐折曲げ性は、両面金属張硬化樹脂フィルムの外層銅箔をエッチングしたものを180度折り曲げることにより評価した。折り曲げた際、割れ又はクラックが多少なりとも発生したものを×、折り曲げを止めた際、変化がなかったものを○とした。
[Bending resistance]
The bending resistance was evaluated by bending an etched outer layer copper foil of a double-sided metal-clad cured resin film by 180 degrees. Those in which some cracks or cracks were generated when bent were evaluated as x, and those in which there was no change when the bending was stopped were evaluated as ◯.

[誘電特性]
誘電特性である比誘電率及び誘電正接は、両面金属張硬化樹脂フィルムの外層銅箔をエッチングし、長さ60mm、幅2mm、厚み約1mmに切断したものを試験片として空洞共振器摂動法により測定した。測定器にはアジレントテクノロジー社製ベクトル型ネットワークアナライザE8364B、空洞共振器には株式会社関東電子応用開発製CP129(10GHz帯共振器)及びCP137(20GHz帯共振器)、測定プログラムにはCPMA−V2をそれぞれ使用した。条件は、周波数10GHz及び20GHz、測定温度25℃とした。
[Dielectric property]
The relative permittivity and dielectric loss tangent, which are the dielectric properties, are obtained by etching the outer layer copper foil of a double-sided metal-clad cured resin film and cutting it into a length of 60 mm, a width of 2 mm, and a thickness of about 1 mm as a test piece by the cavity resonator perturbation method. It was measured. Vector network analyzer E8364B manufactured by Agilent Technologies, CP129 (10 GHz band resonator) and CP137 (20 GHz band resonator) manufactured by Kanto Denshi Applied Development Co., Ltd. for the cavity resonator, and CPMA-V2 for the measurement program. I used each. The conditions were frequencies of 10 GHz and 20 GHz and a measurement temperature of 25 ° C.

[銅箔引きはがし強さの測定]
両面金属張硬化樹脂フィルムの銅箔引きはがし強さは、銅張積層板試験規格JIS−C−6481に準拠して測定した。測定温度は25℃とした。
[Measurement of copper foil peeling strength]
The copper foil peeling strength of the double-sided metal-clad cured resin film was measured in accordance with the copper-clad laminate test standard JIS-C-6481. The measurement temperature was 25 ° C.

[はんだ耐熱性]
はんだ耐熱性は、両面金属張硬化樹脂フィルムの片側の銅箔をエッチングし、50mm角に切断したものを試験片として、その常態及びプレッシャークッカーテスト(PCT)装置(条件:121℃、2.2気圧)において、所定時間(1、3、5時間)処理した後のものを、288℃の溶融はんだ上に20秒間フロートし、処理時間が異なる3枚の硬化樹脂フィルムのそれぞれの外観を目視で調べた。なお、フィルム内部及びフィルムと銅箔間に膨れ又はミーズリングの発生が認められない場合を○、フィルム内部及びフィルムと銅箔間に膨れ又はミーズリングの発生が見られる場合を×とした。
[Solder heat resistance]
For solder heat resistance, a copper foil on one side of a double-sided metal-clad cured resin film is etched and cut into 50 mm squares as a test piece, and the normal condition and pressure cooker test (PCT) device (condition: 121 ° C., 2.2) After being treated for a predetermined time (1, 3, 5 hours) at (pressure), the film is floated on molten solder at 288 ° C. for 20 seconds, and the appearance of each of the three cured resin films having different treatment times is visually observed. Examined. The case where no swelling or measling was observed inside the film or between the film and the copper foil was evaluated as ◯, and the case where the inside of the film and between the film and the copper foil was observed was evaluated as x.

[吸水率]
吸水率は、両面金属張硬化樹脂フィルムの両面の銅箔をエッチングし、50mm角に切断したものを試験片として、その常態及びプレッシャークッカーテスト(PCT)装置(条件:121℃、2.2気圧)中に所定時間(5時間)処理した後のものの質量差から算出した。
[Water absorption rate]
The water absorption rate is determined by etching the copper foil on both sides of the double-sided metal-clad cured resin film and cutting it into 50 mm squares as a test piece, and using the normal condition and pressure cooker test (PCT) device (condition: 121 ° C, 2.2 atm). ) Was treated for a predetermined time (5 hours) and then calculated from the mass difference.

Figure 0006756107
Figure 0006756107

表3に示した結果から明らかなように、実施例1〜8の樹脂フィルムによれば、比較例1〜4の樹脂フィルムと比較して、外観(表面均一性)、取扱性(タック性、割れ、粉落ち等)に問題がなく、多層化成形性も良好であることが確認された。 As is clear from the results shown in Table 3, according to the resin films of Examples 1 to 8, the appearance (surface uniformity) and the handleability (tackiness) are as compared with the resin films of Comparative Examples 1 to 4. It was confirmed that there was no problem with cracking, powder falling, etc.) and the multi-layer moldability was also good.

また、実施例1〜8の樹脂フィルムを硬化した硬化樹脂フィルムは、いずれも比誘電率3.0以下、誘電正接0.003以下と優れており、はんだ耐熱性、銅箔引きはがし強さ及び吸水率に関しても実用特性を満足していた。 Further, the cured resin films obtained by curing the resin films of Examples 1 to 8 are excellent in relative permittivity of 3.0 or less and dielectric loss tangent of 0.003 or less, and have excellent solder heat resistance, copper foil peeling strength and The water absorption rate also satisfied the practical characteristics.

一方、比較例1〜4では、外観性又は取り扱い性に問題があったり、実施例と比較して誘電特性、はんだ耐熱性、銅箔引きはがし強さ、吸水率、誘電特性の周波数ドリフト性等が比較的劣る結果が示された。 On the other hand, in Comparative Examples 1 to 4, there is a problem in appearance or handleability, and as compared with Examples, dielectric characteristics, solder heat resistance, copper foil peeling strength, water absorption rate, frequency drift property of dielectric characteristics, etc. Was shown to be relatively inferior.

[ミリ波レーダー用の高多層印刷配線板]
(実施例1)
図2に示す工程で内層回路基板11を作製した後、実施例1の樹脂フィルムを用いて図1に示す工程でミリ波アンテナ回路層を1層含む計7層構造のミリ波レーダー用の高多層印刷配線板を作製した。
[High-multilayer printed wiring board for millimeter-wave radar]
(Example 1)
After the inner layer circuit board 11 is manufactured in the step shown in FIG. 2, the height for a millimeter wave radar having a total of 7 layers including one millimeter wave antenna circuit layer in the step shown in FIG. 1 using the resin film of Example 1 A multi-layer printed wiring board was produced.

まず、工程(p)で、厚さ18μmの銅箔を両面に貼り合わせた厚さ0.1mmのガラス布基材エポキシ銅張積層板(日立化成株式会社製、商品名「MCL−E−75G」)の不要な銅箔をエッチング除去して内層回路基板を作製した後、0.1mmのガラス布基材エポキシプリプレグ(日立化成株式会社製、商品名「GEA−75G」)を銅張積層板間に重ねて配置し構造体を作製した。次いで、工程(q)で、工程(p)にて作製した構造体に対し、180℃/3.0MPa/60分のプレス条件で加熱加圧成形して一体化基板を形成した。そして、工程(r)で、工程(q)にて作製した一体化基板に対し、所望の位置にドリルにより穴を開け、ホール内に銅めっきを施して内層回路基板11を作製した。 First, in the step (p), a glass cloth base material epoxy copper-clad laminate with a thickness of 0.1 mm (manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name "MCL-E-75G") in which copper foils with a thickness of 18 μm are bonded on both sides. After etching and removing unnecessary copper foil to prepare an inner layer circuit board, a 0.1 mm glass cloth base epoxy prepreg (manufactured by Hitachi Kasei Co., Ltd., trade name "GEA-75G") is coated with a copper-clad laminate. A structure was prepared by arranging them on top of each other. Next, in step (q), the structure produced in step (p) was heat-press molded under press conditions of 180 ° C./3.0 MPa/60 minutes to form an integrated substrate. Then, in the step (r), a hole was drilled at a desired position in the integrated substrate produced in the step (q), and copper plating was performed in the hole to prepare the inner layer circuit board 11.

工程(a)では、内層回路基板11の表面に、実施例1の樹脂組成物を用いて作製した半硬化樹脂フィルム(厚さ130μm)を真空ラミネーターにて仮接着し、更に厚さ18μmのロープロファイル銅箔(古河電気工業株式会社製、商品名「F3−WS」)を配置し構造体を作製した。次いで、工程(b)では、工程(a)にて作製した構造体の上に鏡板を乗せ、200℃/3.0MPa/70分のプレス条件で加熱加圧成形した。そして、工程(c)で、工程(b)にて作製した構造体に対し、所望の位置にレーザーにて不要な樹脂の除去及びビアホール(IVH)の形成を行った後、めっき及びエッチングを施してアンテナ回路層14を形成し、ミリ波アンテナ回路層を1層含む計7層構造の高多層印刷配線板を得た。 In the step (a), a semi-cured resin film (thickness 130 μm) prepared by using the resin composition of Example 1 is temporarily adhered to the surface of the inner layer circuit board 11 with a vacuum laminator, and further, a low layer having a thickness of 18 μm is temporarily adhered. A profile copper foil (manufactured by Furukawa Denki Kogyo Co., Ltd., trade name "F3-WS") was placed to prepare a structure. Next, in the step (b), a mirror plate was placed on the structure produced in the step (a), and heat and pressure molding was performed under press conditions of 200 ° C./3.0 MPa/70 minutes. Then, in step (c), the structure produced in step (b) is plated and etched after removing unnecessary resin and forming via holes (IVH) at desired positions with a laser. The antenna circuit layer 14 was formed, and a high-layer printed wiring board having a total of 7 layers including one millimeter-wave antenna circuit layer was obtained.

(実施例2)
実施例2の樹脂フィルムを用い、図3に示す工程でミリ波アンテナ回路層を2層含む計8層構造のミリ波レーダー用の高多層印刷配線板を作製した。
(Example 2)
Using the resin film of Example 2, a high-multilayer printed wiring board for a millimeter-wave radar having a total of eight layers including two millimeter-wave antenna circuit layers was produced in the process shown in FIG.

工程(a)では、実施例1にて作製したミリ波レーダー用の高多層印刷配線板を内層回路基板21として用い、その表面に実施例2の樹脂組成物を用いて作製した半硬化樹脂フィルム(厚さ130μm)を真空ラミネーターにて仮接着した後、「F3−WS」を配置し構造体を作製した。次いで、工程(b)で、工程(a)にて作製した構造体の上に鏡板を乗せ、200℃/3.0MPa/70分のプレス条件で加熱加圧成形した。そして、工程(c)で、工程(b)にて作製した構造体に対し、所望の位置にレーザーにて不要な樹脂の除去及びビアホール(IVH)の形成を行った後、めっき及びエッチングを施してアンテナ回路層24を形成し、ミリ波アンテナ回路を層2層含む計8層構造のミリ波レーダー用の高多層印刷配線板を得た。 In the step (a), the high-multilayer printed wiring board for millimeter-wave radar produced in Example 1 is used as the inner layer circuit board 21, and the semi-cured resin film produced by using the resin composition of Example 2 on the surface thereof. (Thickness 130 μm) was temporarily bonded with a vacuum laminator, and then “F3-WS” was placed to prepare a structure. Next, in the step (b), a mirror plate was placed on the structure produced in the step (a), and heat and pressure molding was performed under press conditions of 200 ° C./3.0 MPa/70 minutes. Then, in step (c), the structure produced in step (b) is plated and etched after removing unnecessary resin and forming via holes (IVH) at desired positions with a laser. The antenna circuit layer 24 was formed, and a high-multilayer printed wiring board for a millimeter-wave radar having a total of eight layers including two layers of millimeter-wave antenna circuits was obtained.

(比較例5)
実施例2の樹脂フィルムに代えて、フッ素系樹脂材料を用い、従来の手法である図4で示す工程でミリ波アンテナ回路層を2層含む計8層構造のミリ波レーダー用の高多層印刷配線板を作製した。
(Comparative Example 5)
High-multilayer printing for millimeter-wave radar with a total of eight layers including two millimeter-wave antenna circuit layers in the process shown in FIG. 4, which is a conventional method, using a fluororesin material instead of the resin film of Example 2. A wiring board was produced.

まず、図4の工程(a’)では、上記工程(p)〜(r)で作製した内層回路基板31上に、0.1mmのガラス布基材エポキシプリプレグ(GEA−75G)33及び0.13mmのフッ素系樹脂基材銅張積層板(Rogers Corporation製、商品名「RO−3003」)の不要な銅箔をエッチング除去した銅張積層板32を重ねて配置し構造体を作製した。次いで、工程(b’)で、工程(a’)にて作製した構造体に対し、180℃/3.0MPa/60分のプレス条件で加熱加圧成形し、アンテナ回路を1層含む計7層構造の多層配線板を作製した。次に、工程(c’)で、工程(b’)にて作製した多層配線板上に、0.1mmのガラス布基材エポキシプリプレグ(GEA−75G)33及び0.13mmのフッ素系樹脂基材銅張積層板(RO−3003)の不要な銅箔をエッチング除去した銅張積層板32を重ねて配置し構造体を作製した。そして、工程(d’)で、工程(c’)にて作製した構造体に対し、180℃/3.0MPa/60分のプレス条件で加熱加圧成形した後、スルーホール穴あけ〜めっき〜エッチングにより所望の回路を形成し、アンテナ回路を2層含む計8層構造のミリ波レーダー用の高多層印刷配線板を得た。 First, in the step (a') of FIG. 4, 0.1 mm glass cloth base material epoxy prepreg (GEA-75G) 33 and 0. are placed on the inner layer circuit board 31 produced in the above steps (p) to (r). A structure was produced by stacking and arranging copper-clad laminates 32 from which unnecessary copper foil of a 13 mm fluororesin-based copper-clad laminate (manufactured by Rogers Corporation, trade name "RO-3003") was removed by etching. Next, in step (b'), the structure produced in step (a') was heat-press molded under press conditions of 180 ° C./3.0 MPa/60 minutes, and a total of 7 including one layer of the antenna circuit was formed. A multi-layer wiring board with a layer structure was produced. Next, in the step (c'), a 0.1 mm glass cloth base material epoxy prepreg (GEA-75G) 33 and a 0.13 mm fluororesin group were placed on the multilayer wiring board produced in the step (b'). A structure was produced by stacking and arranging copper-clad laminates 32 from which unnecessary copper foil of the copper-clad laminate (RO-3003) was removed by etching. Then, in the step (d'), the structure produced in the step (c') is heat-press molded under the press conditions of 180 ° C./3.0 MPa/60 minutes, and then through-hole drilling-plating-etching. A desired circuit was formed by the above method, and a high-multilayer printed wiring board for a millimeter-wave radar having a total of eight layers including two layers of antenna circuits was obtained.

比較例5の方法によれば、フッ素系樹脂基材銅張積層板を用いても多層構造のアンテナ回路を形成可能であるが、フッ素系樹脂の間にプリプレグ等の接着層が必要となる。その際、一般的なプリプレグ等の接着層はミリ波帯での比誘電率及び誘電正接がフッ素系樹脂材料と比較して悪いため、フッ素系樹脂間の接着層存在により、多層構造のアンテナ回路特性は劣化し易い。 According to the method of Comparative Example 5, an antenna circuit having a multi-layer structure can be formed by using a copper-clad laminate with a fluorine-based resin base material, but an adhesive layer such as a prepreg is required between the fluorine-based resins. At that time, since the adhesive layer such as a general prepreg has a poor relative permittivity and dielectric loss tangent in the millimeter wave band as compared with the fluororesin material, the presence of the adhesive layer between the fluororesins causes an antenna circuit having a multi-layer structure. The characteristics are easily deteriorated.

これに対して、実施例2の方法では、ミリ波帯での比誘電率及び誘電正接に優れた材料のみで多層構造のアンテナ回路が構成されるため、比較例5と比べて特性に優れた多層構造のアンテナ回路を形成できる。 On the other hand, in the method of Example 2, since the antenna circuit having a multilayer structure is composed only of the material having excellent relative permittivity and dielectric loss tangent in the millimeter wave band, the characteristics are excellent as compared with Comparative Example 5. An antenna circuit having a multi-layer structure can be formed.

本発明の高多層印刷配線板製造用樹脂フィルムは、ビルドアップ配線板の製造に適したフィルム形成能及び取り扱い性を保持しつつ、無機充填剤入りフッ素樹脂基板材料と同等レベルである、約3.0以下の比誘電率を有し、且つ誘電正接も低く、また液晶ポリマーよりも良好な誘電特性を示すことから、ミリ波帯を超えるような高周波帯域でも伝送損特性を発現し、且つ良好な低吸湿性、はんだ耐熱性、銅箔引きはがし強さを兼ね備えている。したがって、1GHz以上の高周波信号を扱う移動体通信機器及びその基地局装置、サーバー、ルーター等のネットワーク関連電子機器及び大型コンピュータ等の各種電気・電子機器などに使用される印刷配線板の部材・部品用途として有用である。 The resin film for manufacturing a high-multilayer printed wiring board of the present invention has a film forming ability and handleability suitable for manufacturing a build-up wiring board, and is at the same level as a fluororesin substrate material containing an inorganic filler. Since it has a specific dielectric constant of .0 or less, has a low dielectric loss tangent, and exhibits better dielectric properties than liquid crystal polymers, it exhibits transmission loss characteristics even in high frequency bands exceeding the millimeter wave band and is good. It has excellent low moisture absorption, solder heat resistance, and copper foil peeling strength. Therefore, members and parts of printed wiring boards used for mobile communication equipment that handles high-frequency signals of 1 GHz or higher, network-related electronic equipment such as base station equipment, servers, routers, and various electrical and electronic equipment such as large computers. It is useful as an application.

11,21,31…内層回路基板、12,22…樹脂フィルム、12a,22a…樹脂層、13,23…金属箔、13a,23a…金属層、14,24…アンテナ回路層、15…ビアホール、32…銅張積層板、33,42…プリプレグ、41…コア基板、43…スルーホール。 11,21,31 ... Inner layer circuit board, 12,22 ... Resin film, 12a, 22a ... Resin layer, 13,23 ... Metal foil, 13a, 23a ... Metal layer, 14,24 ... Antenna circuit layer, 15 ... Via hole, 32 ... Copper-clad laminate, 33, 42 ... Prepreg, 41 ... Core substrate, 43 ... Through hole.

Claims (9)

マレイミド基、少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基及び飽和の2価の炭化水素基を有する化合物を含有する高多層印刷配線板製造用の樹脂フィルムであって、
前記少なくとも2つのイミド結合を有する2価の基が下記式(III)、(IV)又は式(V)で表される基であり、前記飽和の2価の炭化水素基の炭素数が8〜100であり、
当該樹脂フィルム中の前記化合物の含有量が、前記樹脂フィルムの全質量に対して10〜90質量%であり、
当該樹脂フィルムを硬化した硬化樹脂フィルムの比誘電率が、3.0以下である、樹脂フィルム。
Figure 0006756107
Maleimide group, a resin film of a high multi-layer printed wiring board prepared containing a compound having a divalent divalent hydrocarbon group group and saturated having at least two imide bond,
The divalent group having at least two imide bond is represented by the following formula (III), a group represented by (IV) or Formula (V), at the number of carbon atoms of the divalent hydrocarbon group of the saturated 8 ~ 100,
The content of the compound of the resin film is, Ri 10-90% by mass relative to the total weight of the resin film,
A resin film having a relative permittivity of 3.0 or less of a cured resin film obtained by curing the resin film.
Figure 0006756107
前記飽和の2価の炭化水素基が下記式(II)で表される基である、請求項に記載の樹脂フィルム。
Figure 0006756107

[式(II)中、R及びRは各々独立に炭素数4〜50のアルキレン基を示し、Rは炭素数4〜50のアルキル基を示し、Rは炭素数2〜50のアルキル基を示す。]
Divalent hydrocarbon group of the saturated is a group represented by the following formula (II), the resin film according to claim 1.
Figure 0006756107

[In formula (II), R 2 and R 3 each independently represent an alkylene group having 4 to 50 carbon atoms, R 4 represents an alkyl group having 4 to 50 carbon atoms, and R 5 has 2 to 50 carbon atoms. Indicates an alkyl group. ]
前記化合物の重量平均分子量が、500〜10000である、請求項1又は2に記載の樹脂フィルム。 The resin film according to claim 1 or 2, wherein the weight average molecular weight of the compound is 500 to 10000. 無機充填剤を更に含有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の樹脂フィルム。 The resin film according to any one of claims 1 to 3, further containing an inorganic filler. 触媒を更に含有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の樹脂フィルム。 The resin film according to any one of claims 1 to 4, further containing a catalyst. 請求項1〜いずれか一項に記載の樹脂フィルムと、支持基材とを有する、高多層印刷配線板製造用の支持体付き樹脂フィルム。 A resin film with a support for manufacturing a high-multilayer printed wiring board, comprising the resin film according to any one of claims 1 to 5 and a support base material. 請求項1〜いずれか一項に記載の樹脂フィルムと、シート状繊維補強基材とを有する、高多層印刷配線板製造用のプリプレグ。 A prepreg for manufacturing a high-multilayer printed wiring board, comprising the resin film according to any one of claims 1 to 5 and a sheet-shaped fiber reinforced base material. 請求項1〜のいずれか一項に記載の樹脂フィルムの硬化物を含む樹脂層と、導体層とを有する、高多層用金属張積層板。 A high-multilayer metal-clad laminate having a resin layer containing a cured product of the resin film according to any one of claims 1 to 5 and a conductor layer. 請求項1〜のいずれか一項に記載の樹脂フィルムの硬化物を含む樹脂層と、回路層とを備える、高多層印刷配線板。
A high-multilayer printed wiring board comprising a resin layer containing a cured product of the resin film according to any one of claims 1 to 5 and a circuit layer.
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6550872B2 (en) * 2015-04-03 2019-07-31 住友ベークライト株式会社 Resin composition for printed wiring board, prepreg, resin substrate, metal-clad laminate, printed wiring board, and semiconductor device
CN107848261A (en) * 2015-07-24 2018-03-27 拓自达电线株式会社 The copper foil and printed circuit board (PCB) of resin
WO2018016489A1 (en) * 2016-07-19 2018-01-25 日立化成株式会社 Resin composition, laminate sheet, and multilayer printed wiring board
JP7442255B2 (en) * 2016-12-06 2024-03-04 三菱瓦斯化学株式会社 Resin composition for electronic materials
KR102467955B1 (en) 2017-01-27 2022-11-16 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Curable resin composition, adhesive, imide oligomer, imide oligomer composition, and curing agent
JP6992333B2 (en) * 2017-09-06 2022-01-13 味の素株式会社 Resin composition
US20190225762A1 (en) 2018-01-19 2019-07-25 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Quartz glass fiber-containing prepreg, quartz glass fiber-containing film and quartz glass fiber-containing substrate
WO2019189466A1 (en) * 2018-03-28 2019-10-03 積水化学工業株式会社 Resin material and multilayer printed wiring board
JP2019173009A (en) * 2018-03-28 2019-10-10 積水化学工業株式会社 Cured body, resin material and multilayer printed board
JP6999487B2 (en) 2018-05-01 2022-01-18 信越化学工業株式会社 Quartz glass fiber-containing substrate
WO2019225000A1 (en) * 2018-05-25 2019-11-28 日立化成株式会社 Method for producing circuit board and moisture-proofing material
JP6984579B2 (en) * 2018-11-29 2021-12-22 信越化学工業株式会社 Epoxy resin compositions, and adhesive films, prepregs, multilayer printed wiring boards, and semiconductor devices manufactured using the resin compositions.
JP2020084109A (en) * 2018-11-29 2020-06-04 信越化学工業株式会社 Epoxy resin composition, and adhesive film, prepreg, multilayer printed wiring board, and semiconductor device manufactured using the resin composition
JP7474064B2 (en) * 2019-02-18 2024-04-24 積水化学工業株式会社 Resin materials and multilayer printed wiring boards
JP2020138996A (en) * 2019-02-26 2020-09-03 味の素株式会社 Resin composition
JP2020169291A (en) * 2019-04-05 2020-10-15 信越化学工業株式会社 Slurry composition, cured product thereof, and substrate, film, and prepreg using the cured product
JP2021031530A (en) * 2019-08-20 2021-03-01 信越化学工業株式会社 Thermosetting resin composition, and adhesive, film, prepreg, laminate, circuit board and printed wiring board using the same
JP7248000B2 (en) * 2020-11-05 2023-03-29 味の素株式会社 resin composition
JP7467014B2 (en) 2021-03-25 2024-04-15 信越化学工業株式会社 Adhesive composition for flexible printed wiring boards (FPCs), and thermosetting resin films, prepregs, and FPC boards containing said composition
TW202323439A (en) 2021-11-01 2023-06-16 日商信越化學工業股份有限公司 Heat-curable maleimide resin composition, film, prepreg, laminate and printed-wiring board

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04239637A (en) * 1991-01-23 1992-08-27 Chisso Corp Flexible double-side metal clad substrate and manufacture thereof
JP5166364B2 (en) * 2009-06-30 2013-03-21 三井化学株式会社 Polyimide resin composition and metal laminate using the same
JP5463117B2 (en) * 2009-10-20 2014-04-09 株式会社日立製作所 Low loss wiring board, multilayer wiring board, copper foil and laminated board used therefor
EP2589626A4 (en) * 2011-03-07 2014-01-29 Mitsubishi Gas Chemical Co Resin composition for printed circuit board
JP2013083958A (en) * 2011-09-26 2013-05-09 Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd Photosensitive resin composition, and cured product and semiconductor element using the same
JP2013211348A (en) * 2012-03-30 2013-10-10 Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd Chip protection coat formation film
JP2014001289A (en) * 2012-06-18 2014-01-09 Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd Semiconductor sealing resin composition
JP6074943B2 (en) * 2012-08-08 2017-02-08 日立化成株式会社 Thermosetting resin composition, and prepreg and laminate using the same
JP5869458B2 (en) * 2012-09-27 2016-02-24 新日鉄住金化学株式会社 Polyamic acid composition, polyimide composition, laminate, circuit board, method of using the same, laminate production method, and circuit board production method

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