JP6747121B2 - 透光性ジルコニア焼結体及びその製造方法並びにその用途 - Google Patents
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Description
ジルコニア(ZrO2) :80mol%以上、95mol%以下
安定化剤 :3mol%以上、8mol%以下
ランタン(La2O3) :0.2mol%以上、6.5mol%以下
ジルコニア(ZrO2) :85mol%以上、95mol%以下
安定化剤 :3.7mol%以上、7.7mol%以下
ランタン(La2O3) :4mol%以上、5mol%以下
上記式において、Dは各結晶の結晶子径(nm)、Kはシェラー定数(1.0)、λはCuKαの波長(0.15418nm)、βは半値幅(°)、Bは装置定数(0.1177°)、及び、θはXRDピークの回折角(°)である。半値幅を求める際のXRDピークは、正方晶が2θ=30.0±2°のXRDピーク、及び、立方晶が2θ=29.6±2°のXRDピークである。
ジルコニア(ZrO2) :80mol%以上、95mol%以下
安定化剤 :3mol%以上、8mol%以下
ランタン(La2O3) :0.2mol%以上、6.5mol%以下
ジルコニア(ZrO2) :85mol%以上、95mol%以下
安定化剤 :3.7mol%以上、7.7mol%以下
ランタン(La2O3) :4mol%以上、5mol%以下
アクリル酸系分散剤(A6114 東亞合成株式会社)を用いて、濃度が0.1重量%になるように原料混合粉末を水に投入した。次いで超音波ホモジナイザーを用いて300wの出力で超音波を1分間照射して得た懸濁液を測定試料とした。これをレーザー回折散乱法のベックマン・コールター社製LS130により粒子径分布を測定した。
焼結体試料の実測密度はアルキメデス法による水中重量を測定することにより求めた。
焼結体試料を平面研削した後、9μm、6μm及び1μmのダイアモンド砥粒を順に用いて鏡面研磨した。研磨面を1400℃で1時間保持し、熱エッチングした後、SEM観察し、得られたSEM観察図からプラニメトリック法により平均結晶粒径を求めた。
焼結体試料のXRD測定によって得られたXRDパターンを同定分析することで、各焼結体試料の結晶構造の同定、及び、不純物層の有無を確認した。XRD測定は、一般的な粉末X線回折装置(装置名:UltimaIII、リガク社製)を用い、鏡面研磨をした焼結体試料について行った。XRD測定の条件は以下のとおりである。
線源 : CuKα線(λ=0.15418nm)
測定モード : ステップスキャン
スキャン条件: 毎秒0.04°
発散スリット: 0.5deg
散乱スリット: 0.5deg
受光スリット: 0.3mm
計測時間 : 1.0秒
測定範囲 : 2θ=20°〜80°
XRDパターンの同定分析には、XRD解析ソフトウェア(商品名:JADE7、MID社製)を用いた。
結晶相の同定と同様な測定方法で得られたXRDパターンの2θ=27°〜30°の範囲について、シェラー式を使用して焼結体試料の平均結晶子径を求めた。
D=K×λ/((β−B)×cosθ)
上記式において、Dは平均結晶子径(nm)、Kはシェラー定数(1.0)、λはCuKαの波長(0.15418nm)、βは半値幅(°)、Bは装置定数(0.1177°)、及びθはメインピークの回折角(°)である。
なお、メインピークは、ジルコニアの立方晶(111)面に相当するピーク、及び、正方晶(111)面に相当するピークが重複するピークを単一ピークとみなした。
また、半値幅は、Rigaku社製Integral Analysis for Windows(Version 6.0)を用いて求めた。
結晶構造の同定と同様な測定方法で得られたXRDパターンをリートベルト解析することにより、焼結体試料中の立方晶及び正方晶の各結晶構造の割合、結晶子径、及び、格子定数を求めた。リートベルト解析は汎用のプログラム(Rietan−2000)を用いた。
得られた格子定数から、以下の式に基づいて正方晶中のY2O3濃度を求めた。
YO1.5=(1.0223−cf/af)/0.001319
Y2O3=100×YO1.5/(200−YO1.5)
上記式において、YO1.5はイットリア濃度、cf及びafは、それぞれ、リートベルト解析で求めた正方晶蛍石型構造のc軸及びa軸の格子定数である。
JIS K321−1の方法に準じた方法によって、試料の全光線透過率(以下、「TT」ともいう。)、拡散透過率(以下、「DF」ともいう。)、及び直線透過率(以下、「PT」ともいう。)を測定した。標準光D65を測定試料に照射し、当該測定試料を透過した光束を積分球によって検出することによって、光透過率を測定した。測定には一般的なヘーズメーター(装置名:ヘーズメーターNDH2000、NIPPON DENSOKU製)を用いた。
測定試料には直径16mm、厚さ1.0mmの円板状成形体を用いた。測定に先立ち、測定試料の両面を研磨し、表面粗さRaを0.02μm以下に鏡面研磨した。
焼結体試料の分光全光線透過率(以下、「S−TT」ともいう。)をUV−VISにより測定した。測定条件は以下のとおりである。
光源 :重水素ランプ、及び、ハロゲンランプ
測定波長 :200〜800nm
測定ステップ :1nm
測定試料には直径16mm、厚さ1.0mmの円板状成形体を用いた。測定に先立ち、測定試料の両面を研磨し、表面粗さRaを0.02μm以下に鏡面研磨した。
UV−VIS測定には、一般的なダブルビーム方式の分光光度計(装置名:V−650型、日本分光社製)を使用した。
JIS Z8722に準じた方法により、焼結体試料の色調を測定した。測定には、一般的な色差計(装置名:Spectrophotometer SD 3000、日本電色工業社製)を用いた。測定条件は以下のとおりである。
光源 : D65光源
視野角 : 10°
焼結体試料には両面鏡面研磨し、表面粗さRa=0.02μm以下とした厚み0.5mm又は1mmの焼結体としたものを用いた。当該焼結体試料を常用標準白色板上に設置し、これにD65光線を照射することで、焼結体試料を透過したD65光線を白色板で反射させ、再度、焼結体試料を透過した光から色調を測定した。
TEM観測により、結晶粒子中の元素分布を測定した。測定に先立ち、試料はFIB(集束イオンビーム)による薄片化加工した。加工後、イオンミリング仕上げ、及びカーボン蒸着をして測定試料とした。TEM観察は一般的なTEM(装置名:EM−2000FX、日本電子製)を用いて測定した。TEM観察における加速電圧は200kVとした。
ISO/DIS6872に準じた二軸曲げ強度測定によって、試料の二軸曲げ強度を測定した。測定試料の厚みは1mmとして、両面鏡面研磨した試料について測定した。
JIS R1607に準じた方法により、試料の破壊靱性を測定した。測定試料としては、表面粗さRaを0.02μm以下に鏡面研磨したものを試料に用いた。
押し込み加重 :5kgf
焼結体の弾性率 :205GPa
BET比表面積が7m2/gの4mol%イットリア含有ジルコニア粉末(商品名:TZ−4YS、東ソー製)に対するLa2O3粉末の重量割合が10重量%となるように、La2O3粉末をジルコニア粉末に添加し、これを混合して混合粉末を得た。混合に先立ち、La2O3粉末は含水空気中、12時間以上静置して、大気と十分に接触させ、その後、直径10mmのジルコニアボールを用いたボールミルにより、エタノール溶媒中で湿式混合することで行った。得られた混合粉末を大気中、80℃で乾燥し、原料粉末とした。得られた混合粉末中のジルコニア粉末の平均粒子径は0.09μm及びLa(OH)3含有La2O3粉末の平均粒子径は0.3μmであった。図1に原料粉末のXRDパターンを示す。原料粉末はジルコニア、水酸化ランタンの混合物からなっていることがわかる。
HIP処理後、焼結温度から室温まで降温しHIP処理体を得た。なお、HIP温度から1000℃までの降温速度は83℃/minであった。
HIP処理温度を1700℃としたこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。
HIP処理温度を1650℃としたこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。
原料のジルコニア粉末をBET比表面積が7m2/gの5mol%イットリア含有ジルコニア粉末(商品名:TZ−5YS、東ソー製)としたこと、及び、HIP処理温度を1700℃としたこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。
原料のジルコニア粉末をBET比表面積が7m2/gの5mol%イットリア含有ジルコニア粉末としたこと、及び、HIP処理温度を1650℃としたこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。
原料のジルコニア粉末をBET比表面積が7m2/gの5mol%イットリア含有ジルコニア粉末としたこと、L2O3添加量を1重量%としたこと、及び、HIP処理温度を1700℃としたこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。
原料のジルコニア粉末をBET比表面積が16m2/gの6mol%イットリア含有ジルコニア粉末(商品名:TZ−6Y、東ソー製)としたこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。本実施例のジルコニア焼結体の評価結果を表1に示す。
原料のジルコニア粉末をBET比表面積が7m2/gの8mol%イットリア含有ジルコニア粉末(商品名:TZ−8YS、東ソー製)としたこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。本実施例のジルコニア焼結体の評価結果を表1に示す。
原料のジルコニア粉末をBET比表面積が7m2/gの8mol%イットリア含有ジルコニア粉末としたこと、及び、HIP処理温度を1700℃としたこと以外は実施例8と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。本実施例のジルコニア焼結体の評価結果を表1に示す。
原料のジルコニア粉末をBET比表面積が7m2/gの8mol%イットリア含有ジルコニア粉末としたこと、及び、HIP処理温度を1650℃としたこと以外は実施例10と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。本実施例のジルコニア焼結体の評価結果を表1に示す。
4mol%イットリア含有ジルコニア粉末(BET比表面積が7m2/g、商品名:TZ−4YS、東ソー製)、酸化ランタン粉末及び酸化ネオジム(Nd2O3)粉末を以下の割合となるように混合し、混合粉末を得たこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。
4mol%イットリア含有ジルコニア粉末 :90重量%
酸化ランタン粉末 :9重量%
酸化ネオジム粉末 :1重量%
4mol%イットリア含有ジルコニア粉末(BET比表面積が7m2/g、商品名:TZ−4YS、東ソー製)、酸化ランタン粉末及び酸化セリウム(CeO2)粉末を以下の割合となるように混合し、混合粉末を得たこと以外は実施例1と同様な方法で本実施例のジルコニア焼結体を得た。
4mol%イットリア含有ジルコニア粉末 :90重量%
酸化ランタン粉末 :9重量%
酸化セリウム粉末 :1重量%
BET比表面積が7m2/gの3mol%イットリア含有ジルコニア粉末(商品名:3YS、東ソー製)を、本比較例の原料粉末とした。
BET比表面積が7m2/gの8mol%イットリア含有ジルコニア粉末(商品名:8YS、東ソー製)を、本比較例の原料粉末としたこと以外は比較例1と同様な方法で本比較例のジルコニア焼結体を得た。
BET比表面積が7m2/gの3mol%イットリア含有ジルコニア粉末(商品名:TZ−3YS、東ソー製)を使用したこと、イットリア含有ジルコニア粉末に対するLZO粉末の重量割合が20重量%となるように、LZO粉末をジルコニア粉末に添加したこと、及び、HIP処理における降温速度を1℃/minとしたこと以外は、比較例1と同様な条件で焼結体を作製した。
BET比表面積が14m2/gのジルコニア粉末(商品名:0Y、東ソー製)を使用したこと、イットリア含有ジルコニア粉末に対するLa2O3粉末(純度99.99%、和光純薬製)の重量割合が10重量%となるように、La2O3粉末をジルコニア粉末に添加したこと以外は、比較例1と同様な条件で本比較例のジルコニア焼結体を作製した。なお、当該ジルコニア粉末は安定化剤を含まないものである。
※ :La(OH)3に相当するXRDピーク
Claims (10)
- 立方晶ドメイン及び正方晶ドメインを有する結晶粒子を含み、安定化剤及びランタンを固溶し、なおかつ、CuKαを線源とする粉末X線回折パターンにおける2θ=30±2°のピークの半値幅から算出される平均結晶子径が255nm超であることを特徴とするジルコニア焼結体。
- ランタン含有量が0.1mol%以上、10mol%以下である請求項1に記載のジルコニア焼結体。
- 安定化剤が、イットリア、スカンジア、カルシア、及びマグネシアからなる群の少なくとも1種である請求項1又は2に記載のジルコニア焼結体。
- ランタン以外のランタノイド又は遷移金属の少なくとも1種を含む請求項1乃至3のいずれか一項に記載のジルコニア焼結体。
- ランタン以外のランタノイド又は遷移金属の少なくとも1種の含有量が0.01wt%以上5wt%以下である請求項4に記載のジルコニア焼結体。
- ランタン以外のランタノイド又は遷移金属の少なくとも1種が、セリウム、プラセオジム、ネオジム、ユーロピウム、ガドリウム、テルビウム、ジスプロジム、ホロニウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム及びルテチウムからなる群の少なくとも1種である請求項4又は5に記載のジルコニア焼結体。
- ジルコニア原料、安定化剤原料、及び、水酸化ランタンを含むランタン原料を混合して混合粉末を得る混合工程、得られた混合粉末を成形して成形体を得る成形工程、得られた成形体を1650℃以上の焼結温度で焼結して焼結体を得る焼結工程、及び、焼結温度から1000℃までを1℃/min超の降温速度で降温する降温工程、を含み、なおかつ、前記混合粉末におけるランタン原料の平均粒子径がジルコニア原料の平均粒子径よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のジルコニア焼結体の製造方法。
- 混合粉末が、さらにランタン以外のランタノイド原料又は遷移金属原料の少なくともいずれかを含む請求項7に記載の製造方法。
- 前記焼結工程が、1000℃以上1650℃未満で焼成して一次焼結体を得る一次焼結、及び、該一次焼結体を1650℃以上で焼結する二次焼結を含む請求項7又は8に記載の製造方法。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のジルコニア焼結体を含む部材。
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