JP6745766B2 - ガス供給設備制御システム - Google Patents

Description

本発明は、ガス供給設備制御システムに関する。

従来、半導体製造用の特殊材料ガスは、その大半が毒性、可燃性、腐食性といった反応性に富んだ物性を有している。そのため、このような特殊材料ガスを充填したガス容器の保管やガスの使用にあたっては第一に安全に十分考慮する必要がある。このような特殊材料ガスを充填したガス容器は、オートシリンダーボックス（以下「Ｃ／Ｃ」という）に格納される（例えば、特許文献１参照）。

また、Ｃ／Ｃを複数組み合わせた供給設備が知られている（例えば、特許文献２参照）。このような供給設備では、特殊材料ガス用の容器と、必要に応じて設置されるパージガス用の容器とをＣ／Ｃ内に収納し、連続的に特殊材料ガスを供給できるように配管や弁が形成されており、特殊材料ガス用の容器を交換する際の残ガス放出やパージ等の際の弁の開閉操作等を自動的に行うための制御装置が設けられている。これにより、ガス供給を安定した状態で行うことができ、作業員の負担も軽減でき、ガス供給量の変更にも容易に対応することができる。

特許第２５０１９１３号公報 特開平１１−２９４７００号公報

しかしながら、このようなＣ／Ｃには、Ｃ／Ｃ内の情報の表示及びＣ／Ｃ内の操作が可能な機能を有するタッチパネル式の操作画面が個々に搭載されているため、作業者は都度それぞれのＣ／Ｃに直接出向いてタッチパネル式の操作画面の確認やタッチパネル式の操作画面の操作を行わなければならない。そのため、作業効率が悪くなってしまうという問題があった。

上記事情に鑑み、本発明は、作業効率を向上させることができる技術の提供を目的としている。

本発明の一態様は、ガスを供給するシリンダーキャビネットと、前記シリンダーキャビネットを制御し、前記シリンダーキャビネットから得られる前記シリンダーキャビネット内の状態情報を送信する制御装置と、前記制御装置が送信した前記状態情報に基づく前記制御装置の動作の制御と、前記状態情報の表示を行う監視制御装置と、前記状態情報を表示する外部端末と、を備え、前記外部端末は、前記外部端末による前記制御装置の動作制御を許可する所定の条件が満たされた場合に、入力された指示に応じて前記制御装置の動作を制御し、前記監視制御装置は、前記外部端末が予め定められた位置に位置している場合、前記外部端末から特定のコード情報を受信した場合又は予め操作許可がなされている前記外部端末から制御の要求がなされた場合のいずれかの条件が満たされた場合に前記所定の条件が満たされたと判定するガス供給設備制御システムである。

本発明の一態様は、上記のガス供給設備制御システムであって、前記監視制御装置は、前記外部端末が、前記シリンダーキャビネットが備えられている場所を基準として予め設定された距離の範囲内に位置している場合に前記所定の条件が満たされたと判定する。
本発明の一態様は、上記のガス供給設備制御システムであって、前記シリンダーキャビネット内の計測機を撮像可能な撮像装置をさらに備え、前記監視制御装置は、前記撮像装置の操作指示がなされた後に前記制御装置における制御を操作可能にする。

本発明により、作業効率を向上させることが可能となる。

第１の実施形態におけるガス供給設備制御システム１００のシステム構成図である。 監視制御装置２０の機能構成を表す概略ブロック図である。 外部端末３０の機能構成を表す概略ブロック図である。 第１の実施形態におけるガス供給設備制御システム１００の処理の流れを示すシーケンス図である。 監視制御装置２０ａの機能構成を表す概略ブロック図である。 外部端末３０ａの機能構成を表す概略ブロック図である。 第２の実施形態におけるガス供給設備制御システム１００ａの処理の流れを示すシーケンス図である。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照しながら説明する。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態におけるガス供給設備制御システム１００のシステム構成図である。ガス供給設備制御システム１００は、複数のＣ／Ｃ１０−１〜１０−２、複数の制御装置１１−１〜１１−２、監視制御装置２０及び外部端末３０を備える。複数の制御装置１１−１〜１１−２と、監視制御装置２０とは、有線ケーブル４０を介して通信を行う。また、監視制御装置２０と、外部端末３０とは、無線通信により通信を行う。無線通信としては、どのような無線通信規格が用いられてもよい。例えば、無線通信として、無線ＬＡＮ（Local Area Network）が用いられてもよい。

以下の説明では、特に区別しない場合には、Ｃ／Ｃ１０−１〜１０−２をＣ／Ｃ１０と記載し、制御装置１１−１〜１１−２を制御装置１１と記載する。なお、Ｃ／Ｃ１０−１〜１０−２及び制御装置１１−１〜１１−２は、１台ずつであってもよいし、３台以上であってもよい。Ｃ／Ｃ１０−１〜１０−２及び制御装置１１−１〜１１−２は、シリンダーキャビネット室５０に設けられる。シリンダーキャビネット室５０は、監視制御装置２０が設置されている場所とは異なる場所である。また、外部端末３０は複数台であってもよい。

Ｃ／Ｃ１０は、半導体製造用の特殊材料ガスや窒素ガスを供給するガス供給装置である。Ｃ／Ｃ１０には、半導体製造用の特殊材料ガスや窒素ガスを充填したガス容器と、必要に応じて設置されるパージガス用の容器と、ガス容器内のガスを使用先に供給するガス供給経路と、各経路内のパージ等を行うためのパージ経路と、各経路を切換えるための複数の弁やセンサ等が備えられる。センサは、例えば温度センサ、圧力センサ、重量センサ等である。

制御装置１１は、Ｃ／Ｃ１０を制御する。制御装置１１は、Ｃ／Ｃ１０毎に設けられる。制御装置１１は、所定の手順に従ってＣ／Ｃ１０内の弁を開閉制御する。また、制御装置１１は、ガスの漏洩等の異常を検出した場合には所定の処理手順に従って異常対応の処理を行う。また、制御装置１１は、ガス供給経路情報（状態情報）を監視制御装置２０に送信する。ガス供給経路情報は、例えば弁の開閉、圧力情報、温度情報及び正常・異常の状態情報等である。制御装置１１は、定期的、又は、予め定められたタイミングでガス供給経路情報を監視制御装置２０に送信する。

監視制御装置２０は、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置を用いて構成される。監視制御装置２０は、制御装置１１全体の動作を制御する。また、監視制御装置２０は、外部端末３０との間で無線通信を行い、外部端末３０からの要求に応じてガス供給経路情報を外部端末３０に送信する。
外部端末３０は、例えばスマートフォン、携帯電話、タブレット端末、ノートパソコン、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置を用いて構成される。外部端末３０は、作業者が所持する端末である。外部端末３０は、作業者の操作に応じて、ガス供給経路情報を監視制御装置２０に要求する。

図２は、監視制御装置２０の機能構成を表す概略ブロック図である。
監視制御装置２０は、バスで接続されたＣＰＵ（Central Processing Unit）やメモリや補助記憶装置などを備え、監視制御プログラムを実行する。監視制御プログラムの実行によって、監視制御装置２０は、第一通信部２０１、第二通信部２０２、操作部２０３、表示部２０４、情報記憶部２０５、制御部２０６を備える装置として機能する。なお、監視制御装置２０の各機能の全て又は一部は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＰＬＤ（Programmable Logic Device）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等のハードウェアを用いて実現されてもよい。また、監視制御プログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されてもよい。コンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、例えばフレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置である。また、監視制御プログラムは、電気通信回線を介して送受信されてもよい。

第一通信部２０１は、制御装置１１との間で通信を行う。例えば、第一通信部２０１は、ガス供給経路情報を制御装置１１から受信する。また、例えば、第一通信部２０１は、Ｃ／Ｃ１０における制御指示を制御装置１１に送信する。
第二通信部２０２は、外部端末３０との間で通信を行う。例えば、第二通信部２０２は、ガス供給経路情報を外部端末３０に送信する。

操作部２０３は、キーボード、ポインティングデバイス（マウス、タブレット等）、タッチパネル、ボタン等の既存の入力装置を用いて構成される。操作部２０３は、ユーザの指示を監視制御装置２０に入力する際にユーザによって操作される。操作部２０３は、弁の開閉等の入力を受け付ける。また、操作部２０３は、入力装置を監視制御装置２０に接続するためのインタフェースであってもよい。この場合、操作部２０３は、入力装置においてユーザの入力に応じて生成された入力信号を監視制御装置２０に入力する。

表示部２０４は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ等の画像表示装置である。表示部２０４は、例えば、ガス供給経路情報を表示する。表示部２０４は、画像表示装置を監視制御装置２０に接続するためのインタフェースであってもよい。この場合、表示部２０４は、ガス供給経路情報を表示するための映像信号を生成し、自身に接続されている画像表示装置に映像信号を出力する。

情報記憶部２０５は、磁気ハードディスク装置や半導体記憶装置などの記憶装置を用いて構成される。情報記憶部２０５は、ガス供給経路情報を記憶する。
制御部２０６は、各機能部を制御する。例えば、制御部２０６は、操作部２０３を介して入力された指示に応じて、ガス供給経路情報を表示部２０４に表示する。

図３は、外部端末３０の機能構成を表す概略ブロック図である。
外部端末３０は、バスで接続されたＣＰＵやメモリや補助記憶装置などを備え、プログラムを実行する。プログラムの実行によって、外部端末３０は、通信部３０１、操作部３０２、表示部３０３、情報記憶部３０４、制御部３０５を備える装置として機能する。なお、外部端末３０の各機能の全て又は一部は、ＡＳＩＣやＰＬＤやＦＰＧＡ等のハードウェアを用いて実現されてもよい。また、プログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されてもよい。コンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、例えばフレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置である。また、プログラムは、電気通信回線を介して送受信されてもよい。

通信部３０１は、監視制御装置２０との間で通信を行う。例えば、通信部３０１は、ガス供給経路情報を監視制御装置２０から受信する。
操作部３０２は、キーボード、ポインティングデバイス（マウス、タブレット等）、タッチパネル、ボタン等の既存の入力装置を用いて構成される。操作部３０２は、ユーザの指示を外部端末３０に入力する際にユーザによって操作される。また、操作部３０２は、入力装置を外部端末３０に接続するためのインタフェースであってもよい。この場合、操作部３０２は、入力装置においてユーザの入力に応じて生成された入力信号を外部端末３０に入力する。

表示部３０３は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ等の画像表示装置である。表示部３０３は、例えば、ガス供給経路情報を表示する。表示部３０３は、画像表示装置を外部端末３０に接続するためのインタフェースであってもよい。この場合、表示部３０３は、ガス供給経路情報を表示するための映像信号を生成し、自身に接続されている画像表示装置に映像信号を出力する。

情報記憶部３０４は、磁気ハードディスク装置や半導体記憶装置などの記憶装置を用いて構成される。情報記憶部３０４は、ガス供給経路情報を記憶する。
制御部３０５は、各機能部を制御する。例えば、制御部３０５は、操作部３０２を介して入力された指示に応じて、ガス供給経路情報を表示部３０３に表示する。

図４は、第１の実施形態におけるガス供給設備制御システム１００の処理の流れを示すシーケンス図である。
制御装置１１は、Ｃ／Ｃ１０内に備えられる機器（センサ等）からガス供給経路情報を取得する（ステップＳ１０１）。制御装置１１は、取得したガス供給経路情報を監視制御装置２０に送信する（ステップＳ１０２）。
監視制御装置２０の第一通信部２０１は、制御装置１１から送信されたガス供給経路情報を受信する。第一通信部２０１は、受信したガス供給経路情報を制御部２０６に出力する。制御部２０６は、第一通信部２０１から出力されたガス供給経路情報を情報記憶部２０５に保存する（ステップＳ１０３）。監視制御装置２０と、外部端末３０との通信が確立されたとする（ステップＳ１０４）。

外部端末３０の操作部３０２を介してガス供給経路情報の要求指示が入力されると、制御部３０５はガス供給経路情報要求を生成する。ガス供給経路情報要求は、ガス供給経路情報の送信を要求する通知である。制御部３０５は、通信部３０１を制御して、ガス供給経路情報要求を監視制御装置２０に送信する（ステップＳ１０５）。

監視制御装置２０の第二通信部２０２は、ガス供給経路情報要求を受信する。第二通信部２０２は、受信したガス供給経路情報要求を制御部２０６に出力する。制御部２０６は、出力されたガス供給経路情報要求に応じて、情報記憶部２０５に記憶されているガス供給経路情報を取得する。ここで、制御部２０６は、最新のガス供給経路情報を取得してもよいし、最新のガス供給経路情報を含む一定期間分のガス供給経路情報を取得してもよい。制御部２０６は、第二通信部２０２を制御して、取得したガス供給経路情報を、要求元である外部端末３０に送信する（ステップＳ１０６）。

外部端末３０の通信部３０１は、ガス供給経路情報を受信する。通信部３０１は、受信したガス供給経路情報を制御部３０５に出力する。制御部３０５は、出力されたガス供給経路情報を情報記憶部３０４に保存するとともに、ガス供給経路情報を表示部３０３に表示する（ステップＳ１０７）。例えば、制御部３０５は、最新のガス供給経路情報を表示部３０３に表示する。

以上のように構成されたガス供給設備制御システム１００によれば、作業効率を向上させることができる。具体的には、ガス供給設備制御システム１００では、シリンダーキャビネット室５０と離れた位置に備えられる監視制御装置２０において、シリンダーキャビネット室５０に備えられているＣ／Ｃ１０の様子を把握することができる。また、監視制御装置２０において、シリンダーキャビネット室５０に備えられているＣ／Ｃ１０の制御を行うことができる。さらに、監視制御装置２０は、要求に応じて外部端末３０に対してガス供給経路情報を送信するため、監視制御装置２０付近にいない作業者も自身が所持している端末にてＣ／Ｃ１０の様子を把握することができる。このように、作業者は、Ｃ／Ｃ１０の設置場所にいなくてもＣ／Ｃ１０の様子を把握することができるため、現地に出向く必要が無く無駄な作業を行わなくて済む。そのため、作業効率を向上させることができる。

＜変形例＞
監視制御装置２０は、外部端末３０からの要求ではなく、定期的にガス供給経路情報を外部端末３０に送信するように構成されてもよい。
本実施形態では、監視制御装置２０から外部端末３０に対してガス供給経路情報を送信する構成を示したが、制御装置１１から外部端末３０に対してガス供給経路情報を送信するように構成されてもよい。このように構成される場合、制御装置１１は、無線通信により外部端末３０との間で通信を行う機能を有する。そして、制御装置１１は、ガス供給経路情報を監視制御装置２０に送信するとともに、ガス供給経路情報を外部端末３０に送信する。

センサ等に不良が発生すると、監視制御装置２０が取得するガス供給経路情報の精度が悪くなってしまう。このような状況下において、作業者が監視制御装置２０を操作して制御装置１１を制御すると、安全性が低下してしまうおそれもある。そこで、ガス供給設備制御システム１００において、Ｃ／Ｃ１０内の機械式の計測器（例えば、圧力計、温度計等）を撮像可能な位置に撮像装置（例えば、カメラ）を設置し、監視制御装置２０から撮像装置の操作指示がなされた場合に監視制御装置２０による制御装置１１のその他の制御（例えば、弁の開閉）を可能にするように構成されてもよい。このように構成される場合、監視制御装置２０の制御部２０６は、操作部２０３を介して撮像装置の操作指示（例えば、ＯＮ）が入力されると、第一通信部２０１を制御して、制御装置１１に撮像装置の操作指示（例えば、ＯＮ）を送信する。制御装置１１は、操作指示に従って、Ｃ／Ｃ１０内に設置されている撮像装置をＯＮ状態にする。これにより、撮像装置によって撮像された映像が取得可能になる。制御装置１１は、取得した映像を監視制御装置２０に送信する。監視制御装置２０の制御部２０６は、映像が取得されると、取得された映像を表示部２０４に表示する。その後、制御部２０６は、制御装置１１のその他の制御の指示を受け付ける。
このように構成されることによって、より安全性が高い状態で制御を行うことができる。

（第２の実施形態）
第２の実施形態では、外部端末が監視制御装置に対して制御装置の制御を要求し、監視制御装置が外部端末による制御を許可するか否かを判定する。第２の実施形態では、その他の処理については第１の実施形態と同様である。以下、相違点についてのみ説明する。
第２の実施形態におけるガス供給設備制御システム１００ａは、複数のＣ／Ｃ１０−１〜１０−２、複数の制御装置１１−１〜１１−２、監視制御装置２０ａ及び外部端末３０ａを備える。制御装置１１と、監視制御装置２０ａとは、有線ケーブル４０を介して通信を行う。また、監視制御装置２０ａと、外部端末３０ａとは、無線通信により通信を行う。

監視制御装置２０ａは、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置を用いて構成される。監視制御装置２０ａは、制御装置１１の動作を制御する。また、監視制御装置２０ａは、外部端末３０との間で無線通信を行い、外部端末３０ａからの要求に応じてガス供給経路情報を外部端末３０ａに送信する。また、監視制御装置２０ａは、外部端末３０ａが所定の条件を満たしているか否かに応じて、外部端末３０ａによる制御を許可するか否かを判定する。所定の条件とは、外部端末３０ａによる制御装置１１の動作制御を許可する条件であり、例えば外部端末３０ａがシリンダーキャビネット室５０を基準として予め設定された距離の範囲内に位置していることである。

外部端末３０ａは、例えばスマートフォン、携帯電話、タブレット端末、ノートパソコン、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置を用いて構成される。外部端末３０ａは、ユーザの操作に応じて、ガス供給経路情報を監視制御装置２０ａに要求する。また、外部端末３０ａは、所定の条件を満たした場合に制御装置１１の動作を制御する。

図５は、監視制御装置２０ａの機能構成を表す概略ブロック図である。
監視制御装置２０ａは、バスで接続されたＣＰＵやメモリや補助記憶装置などを備え、監視制御プログラムを実行する。監視制御プログラムの実行によって、監視制御装置２０ａは、第一通信部２０１、第二通信部２０２、操作部２０３、表示部２０４、情報記憶部２０５、制御部２０６ａを備える装置として機能する。なお、監視制御装置２０ａの各機能の全て又は一部は、ＡＳＩＣやＰＬＤやＦＰＧＡ等のハードウェアを用いて実現されてもよい。また、監視制御プログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されてもよい。コンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、例えばフレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置である。また、監視制御プログラムは、電気通信回線を介して送受信されてもよい。

監視制御装置２０ａは、制御部２０６に代えて制御部２０６ａを備える点で監視制御装置２０と構成が異なる。監視制御装置２０ａは、他の構成については監視制御装置２０と同様である。そのため、監視制御装置２０ａ全体の説明は省略し、制御部２０６ａについて説明する。

制御部２０６ａは、各機能部を制御する。例えば、制御部２０６ａは、操作部２０３を介して入力された指示に応じて、ガス供給経路情報を表示部２０４に表示する。また、例えば、制御部２０６ａは、外部端末３０から送信された要求に応じて、所定の条件が満たされているか否か判定する。

図６は、外部端末３０ａの機能構成を表す概略ブロック図である。
外部端末３０ａは、バスで接続されたＣＰＵやメモリや補助記憶装置などを備え、プログラムを実行する。プログラムの実行によって、外部端末３０ａは、通信部３０１、操作部３０２、表示部３０３、情報記憶部３０４、制御部３０５ａ、位置情報取得部３０６を備える装置として機能する。なお、外部端末３０ａの各機能の全て又は一部は、ＡＳＩＣやＰＬＤやＦＰＧＡ等のハードウェアを用いて実現されてもよい。また、プログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されてもよい。コンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、例えばフレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置である。また、プログラムは、電気通信回線を介して送受信されてもよい。

外部端末３０ａは、制御部３０５に代えて制御部３０５ａを備える点、位置情報取得部３０６を新たに備える点で外部端末３０と構成が異なる。外部端末３０ａは、他の構成については外部端末３０と同様である。そのため、外部端末３０ａ全体の説明は省略し、制御部３０５ａ及び位置情報取得部３０６について説明する。

位置情報取得部３０６は、位置情報を取得する。例えば、位置情報取得部３０６は、ＧＰＳ（Global Positioning System）によって位置情報を取得する。なお、位置情報取得部３０６は、自装置の位置情報を取得することができれば、ＧＰＳ以外の手法（例えば、PlaceEngine）で位置情報を取得してもよい。
制御部３０５ａは、各機能部を制御する。例えば、制御部３０５ａは、操作部３０２を介して入力された指示に応じて、ガス供給経路情報を表示部３０３に表示する。また、例えば、制御部３０５ａは、操作部３０２を介して入力された指示に応じて、通信部３０１を制御して、制御要求を監視制御装置２０に送信させる。制御要求には、位置情報が含まれる。

図７は、第２の実施形態におけるガス供給設備制御システム１００ａの処理の流れを示すシーケンス図である。図７において、図４と同様の処理については図４と同様の符号を付して説明を省略する。
外部端末３０ａの位置情報取得部３０６は、位置情報を取得する（ステップＳ２０１）。例えば、位置情報取得部３０６は、ＧＰＳから送信される電波を受信することによって位置情報を取得する。位置情報取得部３０６は、定期的に位置情報を取得する。位置情報取得部３０６は、取得した位置情報を制御部３０５ａに出力する。制御部３０５ａは、位置情報取得部３０６から出力された位置情報を不図示のメモリ等に保存する。

外部端末３０ａの操作部３０２を介して制御装置１１の制御の要求指示が入力されると、制御部３０５ａは制御要求を生成する。制御要求は、外部端末３０ａにおいて制御装置１１の動作の制御を要求する通知である。制御部３０５ａは、制御要求を生成する際、メモリ等に保存されている最新の位置情報をデータ内に含める。制御部３０５ａは、通信部３０１を制御して、制御要求を監視制御装置２０ａに送信する（ステップＳ２０２）。

監視制御装置２０ａの第二通信部２０２は、制御要求を受信する。第二通信部２０２は、受信した制御要求を制御部２０６ａに出力する。制御部２０６ａは、出力された制御要求に基づいて、制御要求の送信元の外部端末３０ａが所定の条件を満たしているか否か判定する（ステップＳ２０３）。具体的には、まず制御部２０６ａは、制御要求に含まれる位置情報から外部端末３０ａの位置を把握する。次に、制御部２０６ａは、把握した外部端末３０ａが、シリンダーキャビネット室５０を基準として予め設定された距離の範囲内に位置しているか否か判定する。そして、制御部２０６ａは、把握した外部端末３０ａが、シリンダーキャビネット室５０を基準として予め設定された距離の範囲内に位置している場合に所定の条件を満たしていると判定し、シリンダーキャビネット室５０を基準として予め設定された距離の範囲外に位置している場合に所定の条件を満たしていないと判定する。図７では、制御要求の送信元の外部端末３０ａが所定の条件を満たしているものとする。

制御部２０６ａは、第二通信部２０２を制御して、判定結果（例えば、所定の条件を満たしていることを示す“ＯＫ”）を外部端末３０ａに送信する（ステップＳ２０４）。
外部端末３０ａの通信部３０１は、判定結果を受信する。通信部３０１は、受信した判定結果を制御部３０５ａに出力する。制御部３０５ａは、出力された判定結果に応じた処理を行う。例えば、判定結果が所定の条件を満たしていない旨を示している場合、制御部３０５ａは表示部３０３を制御して所定の条件を満たしていない旨（例えば、“制御できません”等の表示）を表示する。一方、判定結果が所定の条件を満たしている旨を示している場合、制御部３０５ａは表示部３０３を制御して所定の条件を満たしている旨（例えば、“制御できます”等の表示）を表示する。

判定結果が所定の条件を満たしている旨を示している場合に、操作部３０２を介して制御内容（例えば、弁の開放、弁の閉止等）が入力されると、制御部３０５ａは制御内容含む制御指示を生成する。制御部３０５ａは、通信部３０１を制御して、制御指示を監視制御装置２０ａに送信する（ステップＳ２０５）。

監視制御装置２０ａの第二通信部２０２は、制御指示を受信する。第二通信部２０２は、受信した制御指示を制御部２０６ａに出力する。制御部２０６ａは、出力された制御指示に応じた制御を実行する。例えば、制御部２０６ａは、制御指示に含まれている制御内容を実行する指示を含む実行指示を生成する。そして、制御部２０６ａは、第一通信部２０１を制御して、生成した実行指示を対象となる制御装置１１に送信する（ステップＳ２０６）。
制御装置１１は、実行指示を受信する。そして、制御装置１１は、受信した実行指示に含まれている制御内容を実行する（ステップＳ２０７）。

以上のように構成されたガス供給設備制御システム１００ａによれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、ガス供給設備制御システム１００ａでは、所定の条件を満たした外部端末３０ａにおいて制御装置１１の制御を行うことができる。これにより、Ｃ／Ｃ１０に異常が生じた場合に移動中であったとしても制御装置１１の制御ができる。

また、監視制御装置２０ａは、外部端末３０ａが、シリンダーキャビネット室５０を基準として予め設定された距離の範囲内に位置している場合に外部端末３０ａによる制御を許可する。これにより、シリンダーキャビネット室５０に近い外部端末３０ａによる制御のみを許可することができる。したがって、シリンダーキャビネット室５０からより遠くに位置している外部端末３０ａからの操作が行われない。そのため、外部端末３０ａによる制御を行った後に異常が発生した場合であっても早急に現場に向かって対応することができる。

＜変形例＞
第２の実施形態は、第１の実施形態と同様に変形されてもよい。
監視制御装置２０ａの制御部２０６ａは、Ｃ／Ｃ１０に異常が発生した場合に、第二通信部２０２を制御して、シリンダーキャビネット室５０に近い位置にある外部端末３０ａにＣ／Ｃ１０で異常が発生している旨を通知するように構成されてもよい。例えば、制御部２０６ａは、制御装置１１からＣ／Ｃ１０における異常を示す情報が取得された場合に第二通信部２０２を制御して、シリンダーキャビネット室５０に近い位置にある外部端末３０ａにＣ／Ｃ１０で異常が発生している旨を通知する。
これにより、シリンダーキャビネット室５０の近くに位置している作業者に異常が発生している旨を通知することができるため、早急にトラブルに対応することができる。

制御部２０６ａは、所定の条件を満たしている外部端末３０ａと、シリンダーキャビネット室５０との距離に応じて、制御内容を制限するように構成されてもよい。例えば、制御部２０６ａは、制御内容毎に予めレベルが設定され、外部端末３０ａと、シリンダーキャビネット室５０との距離が短いほどレベルの高い制御内容の制御を外部端末３０ａに許可し、外部端末３０ａと、シリンダーキャビネット室５０との距離が遠いほどレベルの低い制御内容の制御のみを外部端末３０ａに許可する（すなわち、レベルの高い制御内容の制御は許可しない）。
これにより、所定の条件を満たしている外部端末３０ａによる制御を制限することができる。

所定の条件は、上記の条件に限定される必要はない。例えば、所定の条件は、以下のような条件であってもよい。
・外部端末３０ａが位置情報を含んだコード情報（例えば、バーコード、ＱＲコード（登録商標））を読み取って、コード情報が一致すること。
・特定の操作権限を有する外部端末３０ａから制御要求がなされること。
・外部端末３０ａが特定の装置と通信を行うこと。
上記の所定の条件の場合の処理について詳細に説明する。

（所定の条件が、外部端末３０ａが位置情報を含んだコード情報を読み取って、コード情報が一致することである場合）
外部端末３０ａは、コード情報を読み取る読取装置をさらに備える。読取装置は、例えばカメラ、スキャナ、バーコードリーダ等である。コード情報は、例えば所定の部屋の入口（例えば、シリンダーキャビネット室５０の入口、シリンダーキャビネット室５０付近の部屋の入口）に貼り付けられる。外部端末３０ａを所持している作業者が、読取装置によりコード情報を読み取ると、読取装置は読み取ったコード情報を制御部３０５ａに出力する。制御部３０５ａは、通信部３０１を制御して、出力されたコード情報を監視制御装置２０ａに送信する。
監視制御装置２０ａの第二通信部２０２は、コード情報を受信する。第二通信部２０２は、受信したコード情報を制御部２０６ａに出力する。制御部２０６ａは、出力されたコード情報と、予め記憶しているコード情報とを比較し、一致する場合には所定の条件が満たされたと判定する。一方、制御部２０６ａは、出力されたコード情報と、予め記憶しているコード情報とを比較し、一致しない場合には所定の条件が満たされていないと判定する。

（所定の条件が、特定の操作権限を有する外部端末３０ａから制御要求がなされることである場合）
予め外部端末３０ａ毎に操作権限の有無が設定される。操作権限とは、外部端末３０ａによる制御装置１１の制御を行う権限である。操作権限の設定の一例として、例えば、役職を有する又は所定の役職以上の作業者が所持している外部端末３０ａは操作権限があり、その他の作業者が所持している外部端末３０ａは操作権限がないと設定される。なお、操作権限の設定は、これに限らず適宜設定されてもよい。外部端末３０ａ毎の操作権限の有無の情報は、各外部端末３０ａの識別情報に対応付けて監視制御装置２０ａに記憶される。外部端末３０ａの識別情報は、例えば、個体識別番号、ＭＡＣアドレス及びＩＰアドレスである。外部端末３０ａは、制御要求に識別情報を付与して、制御要求を監視制御装置２０ａに送信する。そして、監視制御装置２０ａの制御部２０６ａは、制御要求を行った外部端末３０ａの識別情報を参照し、記憶している操作権限の有無の情報が“有”である場合には所定の条件が満たされたと判定し、記憶している操作権限の有無の情報が“無”である場合には所定の条件が満たされていないと判定か否か判定する。
これにより、作業者のうち特定の作業者のみが制御を行うことができる。したがって、不慣れな作業者による制御によってトラブルが生じてしまうといった不都合を減少させることができる。

（所定の条件が、外部端末３０ａが特定の装置と通信を行うことである場合）
外部端末３０ａは、近距離無線通信（例えば、ＮＦＣ（Near field radio communication））機能をさらに備える。また所定の部屋の入口（例えば、シリンダーキャビネット室５０の入口、シリンダーキャビネット室５０付近の部屋の入口）には、近距離無線通信機能を備える装置（以下「近距離無線装置」という。）が備えられる。外部端末３０ａを所持している作業者が、外部端末３０ａを近距離無線装置に近づけると、外部端末３０ａと近距離無線装置との間で通信が行われる。外部端末３０ａの通信部３０１は、近距離無線装置の識別情報を近距離無線装置から受信し、受信した近距離無線装置の識別情報を監視制御装置２０ａに送信する。
監視制御装置２０ａの第二通信部２０２は、近距離無線装置の識別情報を受信する。第二通信部２０２は、受信した近距離無線装置の識別情報を制御部２０６ａに出力する。制御部２０６ａは、出力された近距離無線装置の識別情報と、予め記憶している近距離無線装置の識別情報とを比較し、一致する場合には所定の条件が満たされたと判定する。一方、制御部２０６ａは、出力された近距離無線装置の識別情報と、予め記憶している近距離無線装置の識別情報とを比較し、一致しない場合には所定の条件が満たされていないと判定する。

また、上記では、外部端末３０ａを所持する作業者がＣ／Ｃ１０から離れた位置に位置している場合について説明したが、作業者がＣ／Ｃ１０に直接対面して操作する場合には以下の制御が行われてもよい。例えば、各Ｃ／Ｃ１０には事前に識別番号を割り当てておく。そして、外部端末３０ａが、各Ｃ／Ｃ１０から識別番号を取得する。外部端末３０ａが、各Ｃ／Ｃ１０から識別番号を取得する方法としては、外部端末３０ａが、非接触ＩＣから読み取る、又は、ＮＦＣによる取得、又は、ＲＦＩＤ（Radio Frequency IDentifier）から読み取る、又は、コード情報（例えば、バーコード、ＱＲコード（登録商標））からの読み取る方法のいずれであってもよい。外部端末３０ａは、取得した識別番号を監視制御装置２０ａに送信する。
監視制御装置２０ａの第二通信部２０２は、識別番号を受信する。第二通信部２０２は、受信した識別番号を制御部２０６ａに出力する。制御部２０６ａは、出力された識別番号と、予め記憶している識別番号とを比較し、一致する場合には所定の条件が満たされたと判定する。この場合、制御部２０６ａは、識別番号の送信元である外部端末３０ａに足して、識別番号で識別されるＣ／Ｃ１０のみの動作制御を許可する。一方、制御部２０６ａは、出力された識別番号と、予め記憶している識別番号とを比較し、一致しない場合には所定の条件が満たされていないと判定する。

以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。

１０（１０−１、１０−２）…Ｃ／Ｃ， １１（１１−１、１１−２）…制御装置， ２０、２０ａ…監視制御装置， ３０、３０ａ…外部端末， ２０１…第一通信部， ２０２…第二通信部， ２０３…操作部， ２０４…表示部， ２０５…情報記憶部， ２０６、２０６ａ…制御部， ３０１…通信部， ３０２…操作部， ３０３…表示部， ３０４…情報記憶部， ３０５、３０５ａ…制御部， ３０６…位置情報取得部

Claims (3)

1. ガスを供給するシリンダーキャビネットと、
   前記シリンダーキャビネットを制御し、前記シリンダーキャビネットから得られる前記シリンダーキャビネット内の状態情報を送信する制御装置と、
   前記制御装置が送信した前記状態情報に基づく前記制御装置の動作の制御と、前記状態情報の表示を行う監視制御装置と、
   前記状態情報を表示する外部端末と、
   を備え、
   前記外部端末は、前記外部端末による前記制御装置の動作制御を許可する所定の条件が満たされた場合に、入力された指示に応じて前記制御装置の動作を制御し、
   前記監視制御装置は、前記外部端末が予め定められた位置に位置している場合、前記外部端末から特定のコード情報を受信した場合又は予め操作許可がなされている前記外部端末から制御の要求がなされた場合のいずれかの条件が満たされた場合に前記所定の条件が満たされたと判定するガス供給設備制御システム。
2. 前記監視制御装置は、前記外部端末が、前記シリンダーキャビネットが備えられている場所を基準として予め設定された距離の範囲内に位置している場合に前記外部端末が予め定められた位置に位置している条件が満たされたと判定する、請求項１に記載のガス供給設備制御システム。
3. 前記シリンダーキャビネット内の計測機を撮像可能な撮像装置をさらに備え、
   前記監視制御装置は、前記撮像装置の操作指示がなされた後に前記制御装置における制御を操作可能にする、請求項１又は２に記載のガス供給設備制御システム。

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