JP6734724B2 - Damage detection device for double container, damage detection method, and substrate processing device - Google Patents

Damage detection device for double container, damage detection method, and substrate processing device Download PDF

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Description

本発明は、密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する破損検出装置及び破損検出方法に関する。 The present invention relates to a damage detection device and a damage detection method for detecting damage to a double container including a sealed inner container and a sealed outer container accommodating the inner container.

半導体基板等の薬液処理に際しては、当該薬液を最適な温度に加熱すべく、赤外線の透過性が良く、耐薬品性に優れた石英ガラス製の管に電熱線を収容したヒーターを薬液中に配置している。このような薬液中にヒーターを配置した加熱では、石英ガラスの破損による薬液の汚染を防止するために、電熱線を収容した内管と、該内管を収容する外管とから成る二重管構造にすると共に、破損を検出する破損検出装置及びこの破損検出装置を設けたヒーターが開示されている(例えば、特許文献1、2参照)。 When processing chemicals on semiconductor substrates, etc., a heater containing a heating wire is placed in the chemicals in a quartz glass tube with excellent infrared transmission and chemical resistance to heat the chemicals to the optimum temperature. doing. In heating with a heater placed in such a chemical solution, in order to prevent contamination of the chemical solution due to breakage of quartz glass, a double tube consisting of an inner tube containing a heating wire and an outer tube containing the inner tube A damage detecting device having a structure and detecting damage and a heater provided with this damage detecting device are disclosed (for example, refer to Patent Documents 1 and 2).

特開平2−44681号公報JP-A-2-44681 特開平7−106053号公報JP, 7-106053, A

上記特許文献1、2に開示される破損検出装置を含めた従来のヒーター破損検出装置の一例の概略を図8に示す。図8において、半導体基板のエッチング工程で使用するリン酸を主成分としたエッチング剤101を貯留する貯留タンク102では、エッチング液101を薬液処理に最適な温度(例えば、160℃)に加熱すべく、貯留タンク102内に2重管構造のヒーター103が投入されている。このヒーター103は、全体形状が略L字型形状で、石英ガラスから成る内管105及び外管106の二重配管構造であり、一端側の一部をエッチング液101の液面から露出させ、電熱線108を収容した他端側を含む残りをエッチング液101の液中に浸漬させて加熱している。そして、内管105と外管106との間のスペース109に加圧気体供給部から加圧気体(例えば、N等)を導入して所定の圧力値とした後に、圧力センサ112により圧力値の変動を監視することでヒーター103の破損を検知するものである。例えば、ヒーター103の部分断面図である図9Aに示すように、外管106の破損(破損孔106a)により加圧気体がエッチング液101中に漏れたこと(図中鎖線で示す)によるスペース109内の圧力値の低下を検出することで、外管106に生じた破損を警報等で報知することができる。 FIG. 8 schematically shows an example of a conventional heater damage detecting device including the damage detecting devices disclosed in Patent Documents 1 and 2. In FIG. 8, in a storage tank 102 that stores an etching agent 101 containing phosphoric acid as a main component used in a semiconductor substrate etching process, the etching solution 101 should be heated to an optimum temperature (for example, 160° C.) for chemical treatment. A heater 103 having a double pipe structure is placed in the storage tank 102. The heater 103 has a substantially L-shaped overall shape and has a double piping structure of an inner tube 105 and an outer tube 106 made of quartz glass, and a part of one end side is exposed from the liquid surface of the etching solution 101. The rest including the other end side containing the heating wire 108 is immersed in the solution of the etching solution 101 and heated. Then, after introducing pressurized gas (for example, N 2 or the like) from the pressurized gas supply unit into the space 109 between the inner pipe 105 and the outer pipe 106 to a predetermined pressure value, the pressure value is detected by the pressure sensor 112. The damage of the heater 103 is detected by monitoring the fluctuation of For example, as shown in FIG. 9A, which is a partial cross-sectional view of the heater 103, a space 109 due to the pressurized gas leaking into the etching solution 101 (shown by a chain line in the figure) due to damage to the outer tube 106 (broken hole 106a). By detecting the decrease in the inner pressure value, it is possible to notify the damage caused in the outer pipe 106 by an alarm or the like.

ところで、上記圧力値の低下は、外管106の破損に限らず、図9Bに示すように内管105の破損(破損孔105a)によりスペース109内の気体が内管105内に漏れることによっても生じる。圧力値の低下が内管105の破損のみが原因であればエッチング液101の汚染に直結するものでなく、外管106の破損のように緊急な装置交換を要することがない。しかしながら、従来の破損検出装置では、内管105及び外管106のいずれが破損したか特定することができず、内管105のみの破損の場合にもエッチング工程を緊急的に停止してヒーター103全体の交換を行っていた。 By the way, the decrease of the pressure value is not limited to the damage of the outer pipe 106, and may be caused by the gas in the space 109 leaking into the inner pipe 105 due to the damage of the inner pipe 105 (broken hole 105a) as shown in FIG. 9B. Occurs. If the decrease in the pressure value is caused only by the breakage of the inner pipe 105, it will not be directly connected to the contamination of the etching solution 101, and urgent device replacement like the breakage of the outer pipe 106 is not required. However, the conventional damage detection device cannot identify which of the inner tube 105 and the outer tube 106 is damaged, and even when only the inner tube 105 is damaged, the etching process is urgently stopped and the heater 103 is damaged. The whole exchange was done.

本発明は、内管等の内容器及び外管等の外容器から成る二重容器において、内容器又は外容器のいずれに破損が発生したかを検出することができる二重容器の破損検出装置、破損検出方法の提供を目的とするものである。 The present invention relates to a double container breakage detection device capable of detecting which of an inner container and an outer container has been damaged in a double container including an inner container such as an inner pipe and an outer container such as an outer pipe. The purpose is to provide a damage detection method.

上記課題を解決するために本発明に係る二重容器の破損検出装置は、電熱線を収容する密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する二重容器の破損検出装置であって、前記外容器の内部の圧力を計測する第1の圧力計測部と、前記外容器の内部を第1の圧力値に調整する第1の圧力調整部と、前記内容器の内部の圧力を計測する第2の圧力計測部と、前記内容器の内部を第1の圧力値と異なる第2の圧力値に調整する第2の圧力調整部と、前記第1の圧力計測部及び前記第2の圧力計測部により計測された圧力値を取得する圧力値取得手段と、該圧力値取得手段により取得された前記第1の圧力値と前記第2の圧力値の関係に基づいて前記内容器に収容される前記電熱線への電力の供給を制御する制御部を有する構成である。 In order to solve the above-mentioned problems, a damage detection device for a double container according to the present invention is a damage to a double container including a sealed inner container that houses a heating wire and a sealed outer container that houses the inner container. A dual-container breakage detection device for detecting a pressure, comprising: a first pressure measuring unit for measuring a pressure inside the outer container; and a first pressure for adjusting the inside of the outer container to a first pressure value. An adjusting unit, a second pressure measuring unit that measures the pressure inside the inner container, and a second pressure adjusting unit that adjusts the inside of the inner container to a second pressure value different from the first pressure value. A pressure value acquisition unit that acquires the pressure value measured by the first pressure measurement unit and the second pressure measurement unit; and the first pressure value and the second pressure value acquired by the pressure value acquisition unit. And a control unit that controls the supply of electric power to the heating wire housed in the inner container based on the relationship of the pressure values .

更に、本発明に係る二重容器の破損検出装置は、電熱線が収容する密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する二重容器の破損検出方法であって、前記外容器の内部の圧力を第1の圧力値に、前記内容器の内部の圧力を第1の圧力値と異なる第2の圧力値に調整する圧力調整ステップと、前記外容器の内部の圧力と、前記内容器の内部の圧力とを計測する圧力計測ステップと、前記圧力計測ステップにより計測された前記第1の圧力値及び前記第2の圧力値を取得する圧力値取得ステップと、該圧力値取得ステップにより取得された前記第1の圧力値と前記第2の圧力値の関係に基づいて前記内容器に収容される前記電熱線への電力の供給を制御するステップを有する構成である。 Furthermore, the damage detecting device for a double container according to the present invention is a double container for detecting damage in a double container including a sealed inner container for containing a heating wire and a sealed outer container for containing the inner container. A method for detecting damage to a container, the pressure adjusting step adjusting the pressure inside the outer container to a first pressure value and adjusting the pressure inside the inner container to a second pressure value different from the first pressure value. And a pressure measuring step for measuring the pressure inside the outer container and the pressure inside the inner container, and obtaining the first pressure value and the second pressure value measured by the pressure measuring step. And a supply of electric power to the heating wire housed in the inner container based on the relationship between the pressure value acquisition step and the first pressure value and the second pressure value acquired by the pressure value acquisition step. This is a configuration having control steps .

また、本発明に係る二重容器の破損検出方法は、密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する二重容器の破損検出方法であって、前記外容器の内部の圧力を第1の圧力値に、前記内容器の内部の圧力を第の圧力値と異なる第2の圧力値に調整する圧力調整ステップと、前記外容器の内部の圧力と、前記内容器の内部の圧力とを計測する圧力計測ステップと、を有する構成である。 Further, a damage detecting method for a double container according to the present invention is a damage detecting method for a double container, which detects damage in a double container composed of a sealed inner container and a sealed outer container accommodating the inner container. A pressure adjusting step of adjusting the pressure inside the outer container to a first pressure value and the pressure inside the inner container to a second pressure value different from the first pressure value; The pressure measuring step measures the internal pressure and the internal pressure of the inner container.

本発明によれば、内容器と外容器とから成る二重容器の破損検出において、内容器と外容器のいずれが破損したのかを容易に検出することができる。 According to the present invention, it is possible to easily detect which of the inner container and the outer container has been damaged in the damage detection of the double container including the inner container and the outer container.

本発明の第1の実施形態に係る二重管ヒーター(二重容器)の破損検出装置の気体流路の経路を示す概略図である。It is a schematic diagram showing a course of a gas channel of a damage detecting device of a double pipe heater (double container) concerning a 1st embodiment of the present invention. 図1に示す二重管ヒーターのA−A断面図である。It is an AA sectional view of the double tube heater shown in FIG. 本発明の第1の実施形態に係る二重管ヒーターの破損検出装置の制御系統を示すブロック構成図である。It is a block block diagram which shows the control system of the damage detection apparatus of the double pipe heater which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る二重管ヒーターの破損検出装置の制御部による制御手順を示すフローチャートである。It is a flow chart which shows a control procedure by a control part of a damage detection device of a double pipe heater concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施形態に係る二重管ヒーターの破損検出装置の制御部による制御手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the control procedure by the control part of the damage detection apparatus of the double-tube heater which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る二重管ヒーターの破損検出装置の気体流路の経路を示す概略図である。It is a schematic diagram showing a course of a gas channel of a damage detection device of a double pipe heater concerning a 3rd embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態に係る二重管ヒーターの破損検出装置を備えた基板処理装置の概略図である。1 is a schematic diagram of a substrate processing apparatus including a damage detection device for a double-tube heater according to a first embodiment of the present invention. 従来の二重管ヒーターの破損検出装置の気体流路の経路を示す概略図である。It is a schematic diagram showing a path of a gas channel of a conventional damage detecting device for a double-tube heater. 従来の二重管ヒーターの破損部分(外管)の部分拡大図(図8のY−Y断面)である。FIG. 9 is a partially enlarged view (Y-Y cross section of FIG. 8) of a damaged portion (outer tube) of the conventional double-tube heater. 従来の二重管ヒーターの破損部分(内管)の部分拡大図(図8のY−Y断面)である。FIG. 9 is a partially enlarged view (Y-Y cross section of FIG. 8) of a damaged portion (inner tube) of the conventional double-tube heater.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態に係る二重管ヒーター(二重容器)の破損検出装置を図1乃至図4を参照して説明する。
(First embodiment)
A damage detecting device for a double-tube heater (double container) according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4.

図1において、二重管ヒーター10の破損検出装置11は、電熱線16を収容する内管12と、内管12を収容する外管13とから成る二重管ヒーター10の破損を内管12と外管13の各圧力の計測に基づいて検出する装置である。破損検出の対象となる二重管ヒーター10は、全体形状が略L字型形状で、赤外線の透過性と耐薬品性に優れた石英ガラスから成る内管12、外管13の密閉された二重配管構造となっている。この二重管ヒーター10は、処理槽18に貯留される処理液17(リン酸溶液等)を半導体基板(不図示)の処理に適した温度(例えば、160℃)に調温する装置である。 In FIG. 1, the damage detection device 11 for the double-tube heater 10 includes a damage to the double-tube heater 10 including an inner tube 12 that houses the heating wire 16 and an outer tube 13 that houses the inner tube 12. And a device for detecting based on the measurement of each pressure of the outer tube 13. The double-tube heater 10, which is the target of damage detection, has a substantially L-shaped overall shape, and an inner tube 12 and an outer tube 13 made of quartz glass, which are excellent in infrared ray transparency and chemical resistance, are hermetically sealed. It has a heavy piping structure. The double-tube heater 10 is a device that adjusts the temperature of the processing liquid 17 (phosphoric acid solution or the like) stored in the processing tank 18 to a temperature (for example, 160° C.) suitable for processing a semiconductor substrate (not shown). ..

二重管ヒーター10の断面図である図2に示すように、二重管ヒーター10は外側の外管13と内側の内管12との二重構造で、内管12の外表面には周方向に沿って所定間隔を設けて突起部14a、14b、14cが設けられ、その先端が外管13の内表面の窪みに当接することで、内管12と外管13とが所定の間隙を維持し、内管12と外管13との間に所定の空間38(以下、「内外管スペース38」という)が形成される。また、内管12の内部には、電熱線16及び電熱線芯部16aと内管12との間に空間39(以下、「内管スペース39」という)が形成される。 As shown in FIG. 2, which is a cross-sectional view of the double-tube heater 10, the double-tube heater 10 has a double structure of an outer outer tube 13 and an inner inner tube 12, and the outer surface of the inner tube 12 has a peripheral structure. Protrusions 14a, 14b, 14c are provided at predetermined intervals along the direction, and the tips of the protrusions abut the depressions on the inner surface of the outer pipe 13, so that the inner pipe 12 and the outer pipe 13 form a predetermined gap. A predetermined space 38 (hereinafter, referred to as "inner/outer tube space 38") is formed between the inner tube 12 and the outer tube 13 while maintaining. A space 39 (hereinafter referred to as “inner tube space 39”) is formed inside the inner tube 12 between the heating wire 16 and the heating wire core portion 16a and the inner tube 12.

二重管ヒーター10の破損原因として、外管13の場合は、処理液17に浸漬された外管13の外表面へのエッチング作用による破損(割れ)が考えられる。外管13(内管12も含めて)は、耐薬品性に優れた石英ガラスから成るが、処理液17に長時間浸漬されることで、外表面へのエッチング作用により削られ、やがて、外管13の破損が発生するものと考えられる。一方、内管12の内部には電熱線16が設けられており、加熱時と非加熱時における電熱線16の伸縮が内管12の内側表面と摩擦を生じ、長時間にわたる電熱線16の繰り返し使用により内管12の内側表面が削られ、やがて、内管12の破損が発生するものと考えられる。 As a cause of damage to the double-tube heater 10, in the case of the outer tube 13, damage (cracking) due to etching action on the outer surface of the outer tube 13 immersed in the treatment liquid 17 is considered. The outer tube 13 (including the inner tube 12) is made of quartz glass having excellent chemical resistance, but when it is immersed in the treatment liquid 17 for a long time, it is scraped by the etching action on the outer surface, and eventually the outer tube 13 It is considered that the tube 13 is broken. On the other hand, the heating wire 16 is provided inside the inner tube 12, and the expansion and contraction of the heating wire 16 during heating and non-heating causes friction with the inner surface of the inner tube 12, and the heating wire 16 is repeatedly used for a long time. It is considered that the inner surface of the inner pipe 12 is scraped by use, and eventually the inner pipe 12 is damaged.

二重管ヒーター10は、その一端部を処理液17から突き出した状態にして処理液17中に浸漬されており、処理液17から突き出した一端部からさらに水平方向に伸長した部分が円柱2段形状のキャップ20で封止されている。そして、二重管ヒーター10の他端側の内管12に収容された電熱線16に電力を供給する配線が外部からキャップ20を貫通して内管12の内部に導入されている。破損検出装置11には、外管13内部の内外管スペース38に加圧気体を導入するための外管気体導入部21aと、内管12内部の内管スペース39に加圧気体を導入するための内管気体導入部21bとが設けられている。 The double-tube heater 10 is immersed in the treatment liquid 17 with one end thereof protruding from the treatment liquid 17, and the portion extending from the one end protruding from the treatment liquid 17 in the horizontal direction is a two-column cylinder. It is sealed with a shaped cap 20. Then, a wire for supplying electric power to the heating wire 16 housed in the inner tube 12 on the other end side of the double-tube heater 10 is introduced into the inner tube 12 from outside through the cap 20. In the damage detection device 11, in order to introduce the pressurized gas into the inner pipe space 39 inside the outer pipe 13, and the outer pipe gas introduction portion 21a for introducing the pressurized gas into the inner and outer pipe space 38 inside the outer pipe 13. And an inner tube gas introduction section 21b are provided.

外管気体導入部21aには、加圧気体ボンベ等から成る加圧気体供給部26aから加圧気体を供給する配管25aが接続されており、配管25aの途中には外管気体導入部21側に圧力センサ27aが、加圧気体供給部26a側に電磁開閉弁28aが設けられている。内管気体導入部21bには、加圧気体ボンベ等から成る加圧気体供給部26bから加圧気体を供給する配管25bが接続されており、配管25bの途中には外管気体導入部21側に圧力センサ27bが、加圧気体供給部26b側に電磁開閉弁28bが設けられている。加圧気体導入部21、22、配管25a、25b、加圧気体供給部26a、26b、圧力センサ27a、27b、電磁開閉弁28a、28b、更に図6を参照して後述する制御部31、記憶部32、電磁開閉弁駆動回路33、警報発生部35を含めて破損検出装置11を構成する。圧力センサ27a、27bが第1の圧力計測部、第2の圧力計測部に相当する。加圧気体供給部26a、26bが第1の圧力調整部、第2の圧力調整部に相当する。なお、加圧気体供給部と後述する真空ポンプとの組み合わせにより第1の圧力設定部、第2の圧力設定部を構成することができる。 A pipe 25a for supplying a pressurized gas from a pressurized gas supply unit 26a such as a pressurized gas cylinder is connected to the outer pipe gas introduction unit 21a, and the outer pipe gas introduction unit 21 side is provided in the middle of the pipe 25a. Is provided with a pressure sensor 27a, and an electromagnetic valve 28a is provided on the side of the pressurized gas supply unit 26a. A pipe 25b for supplying pressurized gas from a pressurized gas supply unit 26b such as a pressurized gas cylinder is connected to the inner pipe gas introduction unit 21b, and the outer pipe gas introduction unit 21 side is provided in the middle of the pipe 25b. Further, a pressure sensor 27b is provided, and an electromagnetic opening/closing valve 28b is provided on the side of the pressurized gas supply unit 26b. Pressurized gas introduction units 21 and 22, pipes 25a and 25b, pressurized gas supply units 26a and 26b, pressure sensors 27a and 27b, electromagnetic on-off valves 28a and 28b, and a control unit 31, which will be described later with reference to FIG. The damage detection device 11 is configured to include the unit 32, the electromagnetic opening/closing valve drive circuit 33, and the alarm generation unit 35. The pressure sensors 27a and 27b correspond to the first pressure measuring unit and the second pressure measuring unit. The pressurized gas supply units 26a and 26b correspond to the first pressure adjusting unit and the second pressure adjusting unit. The first pressure setting unit and the second pressure setting unit can be configured by combining the pressurized gas supply unit and a vacuum pump described below.

加圧気体供給部26a、26bは、高圧の気体(窒素)を貯蔵した耐圧容器であり、後述するように電磁開閉弁28a、28bの開閉制御により高圧気体を導入することで、外管13内の内外管スペース38、内管12内の内管スペース39と、をそれぞれ所定の圧力値(例えば、内外管スペース38を20kPa、内管スペース39を40kPa)に設定することができる。なお、加圧気体として窒素(N2)を使用しているが、空気等の他の気体を使用することもできる。また、外管13内の内外管スペース38、内管12内の内管スペース39の両方に同じ種類の気体を導入する必要はなく、それぞれ違う種類の気体を導入しても良い。 The pressurized gas supply units 26a and 26b are pressure-resistant containers that store high-pressure gas (nitrogen), and by introducing high-pressure gas by controlling the opening/closing of electromagnetic opening/closing valves 28a and 28b, as described later, inside the outer pipe 13. The inner and outer pipe spaces 38 and the inner pipe space 39 in the inner pipe 12 can be set to predetermined pressure values (for example, the inner and outer pipe spaces 38 are 20 kPa and the inner pipe space 39 is 40 kPa). Although nitrogen (N2) is used as the pressurized gas, other gas such as air can be used. Further, it is not necessary to introduce the same type of gas into both the inner and outer tube spaces 38 in the outer tube 13 and the inner tube space 39 in the inner tube 12, but different kinds of gas may be introduced in each.

二重管ヒーター10の破損検出装置11の制御系統を示すブロック構成図である図3に示すように、破損検出装置11は、コンピュータユニット(例えば、CPU、ROM、RAM、I/Oインターフェース及びバス等)によって構成される制御部31を有する。制御部31は、外管13と内管12との隙間である内外管スペース38の圧力Px(変数)を計測する圧力センサ27aと、内管12の内部空間である内管スペース39の圧力Py(変数)を計測する圧力センサ27bとが接続されている。また、制御部31は、電磁開閉弁28a、28bを開閉させる電磁開閉弁駆動回路33と接続されており、電磁開閉弁駆動回路33を介して電磁開閉弁28a、28bを開閉制御することで、加圧気体供給部26a、26bから加圧気体を導入して内外管スペース38と内管スペース39とをそれぞれ所定の圧力値にすることができる。また、制御部31には所定の制御プログラム等が記憶された記憶部32(例えば、ハードディスク、フラッシュメモリ等)が接続されている。更に、制御部31には、音声等による警報を発生する警報発生部35が接続されており、二重管ヒーター10の破損個所(内管の破損、外管の破損、又は内管と外管の双方の破損)に応じた異なる種類の警報を発生することができる。 As shown in FIG. 3, which is a block diagram showing a control system of the damage detection device 11 of the double-tube heater 10, the damage detection device 11 includes a computer unit (for example, CPU, ROM, RAM, I/O interface, and bus). And the like). The control unit 31 measures the pressure Px (variable) of the inner/outer tube space 38, which is the gap between the outer tube 13 and the inner tube 12, and the pressure Py of the inner tube space 39, which is the inner space of the inner tube 12. The pressure sensor 27b for measuring (variable) is connected. Further, the control unit 31 is connected to an electromagnetic on-off valve drive circuit 33 that opens and closes the electromagnetic on-off valves 28a and 28b, and by controlling the opening and closing of the electromagnetic on-off valves 28a and 28b via the electromagnetic on-off valve drive circuit 33, Pressurized gas can be introduced from the pressurized gas supply units 26a and 26b to bring the inner and outer pipe spaces 38 and the inner pipe space 39 to predetermined pressure values. A storage unit 32 (for example, a hard disk, a flash memory, or the like) that stores a predetermined control program or the like is connected to the control unit 31. Further, the control unit 31 is connected to an alarm generation unit 35 that generates an alarm by voice or the like, and a damaged portion of the double-tube heater 10 (damage to the inner pipe, damage to the outer pipe, or inner and outer pipes). Different types of alarms can be generated according to the damage of both).

次に、図4を参照しつつ、本実施形態に係る破損検出装置11の制御部31による処理手順について説明する。図1に示す貯留槽18は、供給配管(不図示)を通じて貯留された処理液17により半導体基板(不図示)のエッチング処理等に使用するための処理液を貯留する容器である。薬液処理を開始するために、処理液17を所定温度(例えば、160℃)に調温すべく電熱線16に通電させて二重管ヒーター10を加熱状態し、制御部31による処理手順も開始する(S11)。処理ユニット31は、半導体基板の処理液17を用いた基板処理が開始されると、電磁開閉弁駆動回路33を介して電磁開閉弁28a、28bを開状態にする(S12)。そして、加圧気体供給部26a、26bから加圧気体(窒素)を、外管13と内管12との隙間である内外管スペース38と、内管12内部の内管スペース39とに供給する。内外管スペース38内の圧力Pxの圧力値をP1に、内管スペース39内の圧力Pyの圧力値をP2とする。この時の内外管スペース38の圧力値P1は、内管スペース39の圧力値P2より低い圧力(P1<P2)に設定されている(S13)。上記した圧力値P1、P2とするために、制御部31は、Px、Pyを上記圧力値にすべく、電磁開閉弁駆動回路33を通じて電磁開閉弁28a、28bの開閉を制御する。なお、圧力値P1と圧力値P2とは計測誤差の範囲内とならないように、所定以上の圧力差とする。本実施形態では、制御部31が、加圧気体供給部26a、26bにより加圧気体を内外管スペース38、内管スペース39に供給して圧力値をそれぞれP1、P2となるように加圧を継続するものであり、所定時間毎に加圧気体を供給して上記圧力値に維持制御するものである。なお、所定時間毎に加圧気体を供給するのではなく、常時加圧とすべく加圧気体の供給を行ってもよい。 Next, a processing procedure by the control unit 31 of the damage detection device 11 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. The storage tank 18 shown in FIG. 1 is a container for storing a processing liquid to be used for etching processing of a semiconductor substrate (not shown) by the processing liquid 17 stored through a supply pipe (not shown). In order to start the chemical treatment, the heating wire 16 is energized to heat the treatment liquid 17 to a predetermined temperature (for example, 160° C.), the double-tube heater 10 is heated, and the treatment procedure by the controller 31 is also started. Yes (S11). When the substrate processing using the processing liquid 17 for the semiconductor substrate is started, the processing unit 31 opens the electromagnetic opening/closing valves 28a and 28b via the electromagnetic opening/closing valve drive circuit 33 (S12). Then, the pressurized gas (nitrogen) is supplied from the pressurized gas supply units 26a and 26b to the inner and outer pipe spaces 38, which are the gaps between the outer pipe 13 and the inner pipe 12, and the inner pipe space 39 inside the inner pipe 12. .. The pressure value of the pressure Px in the inner and outer pipe spaces 38 is P1, and the pressure value of the pressure Py in the inner pipe space 39 is P2. The pressure value P1 of the inner and outer pipe spaces 38 at this time is set to a pressure lower than the pressure value P2 of the inner pipe space 39 (P1<P2) (S13). In order to obtain the pressure values P1 and P2 described above, the control unit 31 controls opening/closing of the electromagnetic opening/closing valves 28a and 28b through the electromagnetic opening/closing valve drive circuit 33 so as to set Px and Py to the above pressure values. The pressure difference between the pressure value P1 and the pressure value P2 is set to a predetermined value or more so as not to fall within the range of the measurement error. In the present embodiment, the control unit 31 supplies the pressurized gas to the inner and outer pipe spaces 38 and 39 by the pressurized gas supply units 26a and 26b so that the pressure values become P1 and P2, respectively. It continues, and pressurized gas is supplied every predetermined time to maintain and control the pressure value. It should be noted that the pressurized gas may be supplied so as to constantly pressurize, instead of supplying the pressurized gas every predetermined time.

制御部31は、内外管スペース38の圧力Pxと内管スペース39の圧力Pyとをそれぞれ異なる圧力値(P1<P2)に設定した後、所定時間経過後に圧力センサ27a、27bにより内外管スペース38の圧力Pxと内管スペース39の圧力Pyとを計測し、計測値を記憶部32に取得する(S14:圧力値取得手段)。所定時間経過後に計測するのは、内管12又は外管13に破損があったときの圧力変動が反映される時間を考慮したものであり、破損が微細孔の場合も考慮して所定時間の値を設定する。 The control unit 31 sets the pressure Px of the inner and outer pipe spaces 38 and the pressure Py of the inner pipe space 39 to different pressure values (P1<P2), respectively, and then uses the pressure sensors 27a and 27b to set the inner and outer pipe spaces 38 after a predetermined time elapses. And the pressure Py of the inner pipe space 39 are measured, and the measured value is acquired in the storage unit 32 (S14: pressure value acquisition means). The measurement after the lapse of a predetermined time takes into consideration the time in which the pressure fluctuation when the inner pipe 12 or the outer pipe 13 is broken is taken into consideration. Set the value.

制御部31は、取得した圧力計測値に基づいて、内管12と外管13の間隙である、内外管スペース38の圧力Pxが当初設定した圧力値P1より所定値以上上昇したか否かを判定する(S15:圧力値判定手段)。所定値以上としたのは、ヒーターの加熱により、内外管スペース38と内管スペース38に供給された気体が膨張するため、計測誤差等を考慮したものである。なお、所定値以上とは、例えば、所定値より5kPa以上とする。制御部31は、圧力Pxが圧力値P1より所定値以上上昇したと判定したとき(S15のYES)、二重管ヒーター10の内管12の破損による気体漏れが原因として、警報発生部35より警報Aを発生させる(S16:警報発生制御手段)。内管12の破損であるから、外管13の破損の場合と異なり、処理液17の二重管ヒーター10内への直接の侵入がないので、基板処理を直ぐに中止する必要がないことから、電熱線16電力の供給を続行することができる。よって、警報Aは、後述する警報Bよりも緊急度の低い警報Aを発生させるものである。例えば、警報Aは警報Bよりも警報音の音量を小さくする、又は異なる種類の警報音で区別する、更には警報音に加えて警報ランプの点灯する色等を異にすることで緊急度の高低さを表現する。なお、内管12の破損の場合は、高圧の内管スペース39から低圧の内外管スペース38への気体流出であるから、制御部31は、圧力Pxが圧力値P1より所定値以上上昇したか否かの判定を行うが、内管12の破損状態によっては、内管スペース39から内外管スペースへ流出すると内管スペース39内の圧力値P2が所定値より低下することも考えられる。よって、圧力Pyが圧力値P2より所定値以上低下したか否かの判定で行うこともできる。 Based on the acquired pressure measurement value, the control unit 31 determines whether or not the pressure Px in the inner/outer tube space 38, which is the gap between the inner tube 12 and the outer tube 13, has risen by a predetermined value or more from the initially set pressure value P1. Judgment (S15: pressure value judgment means). The reason why the predetermined value or more is set is that the measurement error or the like is taken into consideration because the heating of the heater expands the inner and outer tube spaces 38 and the gas supplied to the inner tube spaces 38. The predetermined value or more is, for example, 5 kPa or more than the predetermined value. When the control unit 31 determines that the pressure Px has risen above the pressure value P1 by a predetermined value or more (YES in S15), the alarm generation unit 35 causes the gas leakage due to the damage of the inner pipe 12 of the double-pipe heater 10 to occur. An alarm A is generated (S16: alarm generation control means). Since the inner tube 12 is damaged, unlike the case where the outer tube 13 is damaged, the processing liquid 17 does not directly enter the double-tube heater 10, so that it is not necessary to immediately stop the substrate processing. The power supply to the heating wire 16 can be continued. Therefore, the alarm A generates an alarm A having a lower degree of urgency than the alarm B described later. For example, the alarm A has a smaller volume of the alarm sound than the alarm B, or is distinguished by different kinds of alarm sounds. Further, in addition to the alarm sound, the color of the alarm lamp to be turned on is made different, thereby making it possible to determine the urgency level. Express the height. In the case of damage to the inner pipe 12, the gas flows out from the high-pressure inner pipe space 39 to the low-pressure inner/outer pipe space 38. Therefore, the control unit 31 determines whether the pressure Px is higher than the pressure value P1 by a predetermined value or more. Although it is determined whether or not the pressure value P2 in the inner pipe space 39 falls below a predetermined value when the inner pipe space 39 flows out to the inner and outer pipe spaces, depending on the damaged state of the inner pipe 12. Therefore, it can be determined whether or not the pressure Py is lower than the pressure value P2 by a predetermined value or more.

制御部31は、内外管スペース38の圧力Pxが所定値以上上昇しておらず、内管スペース39の圧力Pyも所定値以上低下していないとき(S15のNO)、更に内外管スペース38の圧力Pxが所定値以上低下し、内管スペース39の圧力Pyが一定であるか否かを判定する(S17:圧力値判定手段)。制御部31は、圧力Pxが所定値以上低下し、かつ圧力Pyが一定であると判定したときは(S15のYES)、二重管ヒーター10の外管13の破損によるものとして、警報Bを発生させる(S18:警報発生制御手段)。外管13の破損は二重管ヒーター10の内部への処理液17の浸入することとなり、加熱された内管12と処理液17との接触し、処理液17のエッチング作用による内管12の破損と、処理液17と電熱線16との接触による処理液17の金属汚染とを招くことから緊急性を要するため、上記した警報Aよりも緊急度の高い警報B(例えば、警報Aよりも音量を大きく、又は緊急性の高さを意味するサイレン等の音、緊急性の高い赤色等の警報ランプの点灯)を発生させるものである。よって、制御部31は、警報Bを発生させた後に、電熱線16電力の供給を停止させる(S21)。そして、後述するように基板処理室への処理液17の供給を停止させる。このとき、二重管ヒーター10の交換が行われる。 When the pressure Px in the inner/outer tube space 38 has not risen by a predetermined value or more and the pressure Py in the inner tube space 39 has not fallen by more than the predetermined value (NO in S15), the control unit 31 further determines the inner/outer tube space 38. It is determined whether or not the pressure Px decreases by a predetermined value or more and the pressure Py in the inner pipe space 39 is constant (S17: pressure value determination means). When the control unit 31 determines that the pressure Px decreases by a predetermined value or more and the pressure Py is constant (YES in S15), it is determined that the outer pipe 13 of the double-tube heater 10 is damaged, and the alarm B is issued. It is generated (S18: alarm generation control means). The breakage of the outer tube 13 results in the infiltration of the treatment liquid 17 into the inside of the double-tube heater 10, the heated inner pipe 12 comes into contact with the treatment liquid 17, and the inner pipe 12 is etched by the etching action of the treatment liquid 17. Since urgency is required because damage and metal contamination of the treatment liquid 17 due to contact between the treatment liquid 17 and the heating wire 16 are required, an alarm B having a higher degree of urgency than the above-mentioned alarm A (for example, alarm A than alarm A). The volume of the sound is high, or the sound of a siren or the like, which means a high degree of urgency, or the lighting of an alarm lamp of red or the like, which has a high degree of urgency, is generated. Therefore, the control unit 31 stops the supply of power to the heating wire 16 after generating the alarm B (S21). Then, as described later, the supply of the processing liquid 17 to the substrate processing chamber is stopped. At this time, the double-tube heater 10 is replaced.

制御部31は、圧力Pxが所定値以上の低下であってPyが一定であることが否定されたときは(S15のNO)、内外管スペース38の圧力Px及び内管39スペースの圧力Pyの双方が所定値以上低下したか否かを判定する(S19:圧力値判定手段)。制御部
31は、Px、Pyの双方が所定値以上低下したと判定したときは(S19のYES)、内管12及び外管13の双方の破損と判定できるので、警報Aと警報Bの双方を発生させ(S20)、電熱線16電力の供給を停止させる(S21)。内管12及び外管13の双方の破損であるから、処理液17の金属汚染を招くので、後述するように基板処理室への処理液17の供給を停止させる。そして、二重管ヒーター10の交換が行われる。
When it is denied that the pressure Px is a predetermined value or more and Py is constant (NO in S15), the control unit 31 controls the pressure Px of the inner and outer pipe spaces 38 and the pressure Py of the inner pipe 39 space. It is determined whether or not both have decreased by a predetermined value or more (S19: pressure value determination means). When the control unit 31 determines that both Px and Py have decreased by the predetermined value or more (YES in S19), it can determine that both the inner pipe 12 and the outer pipe 13 are damaged. Therefore, both the alarm A and the alarm B are detected. Is generated (S20), and the supply of electric power to the heating wire 16 is stopped (S21). Since the inner tube 12 and the outer tube 13 are both damaged, metal contamination of the processing liquid 17 is caused, so that the supply of the processing liquid 17 to the substrate processing chamber is stopped as described later. Then, the double-tube heater 10 is replaced.

制御部31は、圧力Px及びPyが所定値以上の低下でないと判定したときは(S19のNO)、二重管ヒーター10に破損が生じていないとの判定になり、更に繰り返し二重管ヒーター10の破損検出を行うかの判定を行う(S22)。例えば、破損検出を所定時間毎に繰り返し行うとの設定がされているときは、破損検出を終了せずに(S22のNO)繰り返し圧力Px、Pyを計測して判定を行う(S14、S15等)。更なる破損検出を行わないときは(S22のYES)、破損検出を終了する。なお、警報Aの発生、電熱線16電力の供給を停止のときには破損検出を終了するが、これに限定するものではない。警報Aの後に二重管ヒーター10の加熱を停止してもよい。さらに、警報A、警報B、警報A,Bの発生後に、基板処理の一連の作動の停止等を制御部31が予め設定された手順により制御することができる。なお、圧力Px、Pyの計測において、所定値以上又は所定値以下であるか否かの判断では、所定値の範囲を破損検出の精度等の関係から適切な数値に設定する。 When the control unit 31 determines that the pressures Px and Py are not lower than the predetermined value (NO in S19), it is determined that the double-tube heater 10 is not damaged, and the double-tube heater 10 is repeatedly used. It is determined whether the damage detection of 10 is performed (S22). For example, when the damage detection is set to be repeated every predetermined time, the damage detection is not ended (NO in S22) and the repeated pressures Px and Py are measured to make a determination (S14, S15, etc.). ). When no further damage detection is performed (YES in S22), the damage detection ends. It should be noted that although the detection of damage is terminated when the alarm A is generated and the power supply to the heating wire 16 is stopped, the invention is not limited to this. The heating of the double tube heater 10 may be stopped after the alarm A. Furthermore, after the alarm A, the alarm B, and the alarms A and B are generated, the control unit 31 can control the stop of a series of operations of the substrate processing and the like by a preset procedure. In the measurement of the pressures Px and Py, in determining whether the pressure is equal to or more than a predetermined value or less than or equal to a predetermined value, the range of the predetermined value is set to an appropriate numerical value in consideration of the damage detection accuracy and the like.

このように、本実施形態に係る二重管ヒーター10の破損検出装置11によれば、加圧気体を内管12と外管13との隙間である内外管スペース38と、電熱線16及び電熱線芯部16aと内管12との隙間である内管スペース39とに供給して、内外管スペース38内の圧力PxをP1に、内管スペース39内の圧力PyをP2の異なる圧力値(P1<P2)にし、所定時間経過後にPx、Pyの圧力値を計測することで、内管12の破損、外管13の破損、内管12と外管13の双方破損とを区別して検出することができる。その結果、破損個所に応じた緊急性の度合いの判断ができるので、処理液の基板処理装置への供給の停止、二重管ヒーター10の交換、又は基板処理装置への薬液供給完了後の二重管ヒーター10の交換の選択が可能となる。 As described above, according to the damage detection device 11 of the double-tube heater 10 according to the present embodiment, the pressurized gas is supplied to the inner and outer tube spaces 38, which are the gaps between the inner tube 12 and the outer tube 13, the heating wire 16, and the electric wire. The pressure Px in the inner/outer tube space 38 is supplied to P1 and the pressure Py in the inner tube space 39 is supplied to the inner tube space 39, which is a gap between the heat wire core portion 16a and the inner tube 12, at different pressure values P2. By setting P1<P2) and measuring the pressure values of Px and Py after a lapse of a predetermined time, it is possible to detect the damage of the inner pipe 12, the damage of the outer pipe 13, and the damage of both the inner pipe 12 and the outer pipe 13 separately. be able to. As a result, it is possible to judge the degree of urgency according to the damaged portion, and therefore, the supply of the processing liquid to the substrate processing apparatus may be stopped, the double tube heater 10 may be replaced, or the chemical solution may be supplied to the substrate processing apparatus after the completion of the supply. The replacement of the heavy-tube heater 10 can be selected.

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態に係る二重管ヒーターの破損検出装置について、破損検出装置の制御部による制御手順を示すフローチャートである図5を参照して説明する。第1の実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通部分についての説明を適宜省略する。また、共通する構成部分の名称、符号は第1の実施形態と同一のものを使用する。
(Second embodiment)
Next, a damage detection device for a double-tube heater according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5, which is a flowchart showing a control procedure by a control unit of the damage detection device. The description will focus on the parts that differ from the first embodiment, and the description of the common parts will be omitted as appropriate. Moreover, the same names and reference numerals of the common components are the same as those in the first embodiment.

第1の実施形態では、二重管ヒーター10を加熱状態にさせ、処理液17を所定温度に調温して半導体基板の薬液処理中の破損を検出するものであったが、本実施形態では、二重管ヒーター10の加熱停止中(薬液処理停止中)における、処理液浸漬中の破損を検出するもので、破損検出装置は第1の実施形態の破損検出装置11と同一のものを使用する。 In the first embodiment, the double-tube heater 10 is heated and the treatment liquid 17 is adjusted to a predetermined temperature to detect the damage of the semiconductor substrate during the chemical treatment, but in the present embodiment, The damage detection device is the same as the damage detection device 11 of the first embodiment for detecting damage during immersion of the treatment liquid while heating of the double-tube heater 10 is stopped (during chemical treatment is stopped). To do.

図5において、半導体基板の薬液処理停止のため、二重管ヒーター10の加熱も停止させた状態で、処理液17に浸漬した状態の二重管ヒーターの破損検出を開始する。制御部31は、電磁開閉弁駆動回路33を介して電磁開閉弁28a、28bを開状態にさせ(S31)、加圧気体供給部26a、26bから加圧気体(窒素)を、外管13と内管12との隙間である内外管スペース38と、内管12内部の内管スペース39とに供給させて内外管スペース38内の圧力PxをP1に、内管スペース39内の圧力PyをP2の異なる圧力値(P1<P2、例えば、P1として20kPa、P2として40kPa)にする(S32)。 In FIG. 5, the detection of damage to the double-tube heater immersed in the treatment liquid 17 is started while the heating of the double-tube heater 10 is stopped to stop the chemical treatment of the semiconductor substrate. The control unit 31 opens the electromagnetic on-off valves 28a and 28b via the electromagnetic on-off valve drive circuit 33 (S31), and supplies pressurized gas (nitrogen) from the pressurized gas supply units 26a and 26b to the outer pipe 13. The pressure Px in the inner/outer tube space 38 is P1 and the pressure Py in the inner tube space 39 is P2 by supplying it to the inner/outer tube space 38 which is a gap between the inner tube 12 and the inner tube space 39 inside the inner tube 12. Different pressure values (P1<P2, for example, 20 kPa for P1 and 40 kPa for P2) (S32).

制御部31は、内外管スペース38の圧力Px、内管スペース39の圧力Pyがそれぞれ圧力値P1、P2となったときに、電磁開閉弁駆動回路33を介して電磁開閉弁28a、28bを閉状態にする(S33)。第1の実施形態では、内外管スペース38の圧力Pxを圧力値P1、内管スペース39の圧力Pyを圧力値P2の状態に継続させるために、例えば所定時間経過毎に加圧気体供給部26a、26bから加圧気体(窒素)を供給していたが(又は常時加圧)、本実施形態では、内外管スペース38の圧力Pxを圧力値P1、内管スペース39の圧力Pyを圧力値P2とした後は、電磁開閉弁28a、28bを閉じた状態にした後、所定時間経過後に圧力Px、Pyの計測値を求め、損傷を判断する点が相違する。 The control unit 31 closes the electromagnetic opening/closing valves 28a and 28b via the electromagnetic opening/closing valve drive circuit 33 when the pressure Px in the inner/outer tube space 38 and the pressure Py in the inner tube space 39 become pressure values P1 and P2, respectively. The state is set (S33). In the first embodiment, in order to keep the pressure Px of the inner and outer pipe spaces 38 at the pressure value P1 and the pressure Py of the inner pipe space 39 at the pressure value P2, for example, the pressurized gas supply unit 26a is maintained every predetermined time. 26b, the pressurized gas (nitrogen) is supplied (or is constantly pressurized), but in the present embodiment, the pressure Px in the inner and outer pipe spaces 38 is the pressure value P1, and the pressure Py in the inner pipe space 39 is the pressure value P2. The difference between the above is that after the electromagnetic on-off valves 28a and 28b are closed, the measured values of the pressures Px and Py are obtained after a lapse of a predetermined time and damage is determined.

制御部31は、所定時間経過後に圧力Px、Pyを計測し、記憶部32に取得する(S34:圧力値取得手段)。取得した圧力計測値に基づいて、内管12と外管13の間隙である、内外管スペース38の圧力Pxが当初設定した圧力値P1より所定値以上上昇したか否かを判定する(S35:圧力値判定手段)。第1の実施形態と同様に所定値以上としたのは、電熱線16の加熱により、内外管スペース38と内管スペース38に供給された気体が膨張するため、計測誤差等を考慮したものである。なお、所定値以上とは、例えば、所定値より5kPa以上とする。制御部31は、圧力Pxが圧力値P1より所定値以上上昇したと判定したとき(S35のYES)、二重管ヒーター10の内管12の破損による気体漏れが原因として、第1の実施形態と同様に警報発生部35より警報Aを発生させる(S36:警報発生制御手段)。内管12の破損であるから、警報Aは、後述する警報Bよりも緊急度の低い警報Aを発生させるものである。なお、第1の実施形態と同様に、内管12の破損の場合は、高圧の内管スペース39から低圧の内外管スペース38への気体流出であるから、制御部31は、圧力Pxが圧力値P1より所定値以上上昇したか否かの判定を行うが、内管12の破損状態によっては、内管スペース39から内外管スペースへ流出すると内管スペース39内の圧力値P2が所定値より低下することも考えられる。よって、圧力Pyが圧力値P2より所定値以上低下したか否かの判定で行うこともできる。 The control unit 31 measures the pressures Px and Py after the lapse of a predetermined time, and acquires the pressures Px and Py in the storage unit 32 (S34: pressure value acquisition means). Based on the acquired pressure measurement value, it is determined whether or not the pressure Px in the inner/outer tube space 38, which is the gap between the inner tube 12 and the outer tube 13, has risen by a predetermined value or more from the initially set pressure value P1 (S35: Pressure value determination means). The reason why the predetermined value or more is set as in the first embodiment is that heating of the heating wire 16 causes the gas supplied to the inner and outer tube spaces 38 and the inner tube space 38 to expand, so that a measurement error or the like is taken into consideration. is there. The predetermined value or more is, for example, 5 kPa or more than the predetermined value. When the control unit 31 determines that the pressure Px has risen above the pressure value P1 by a predetermined value or more (YES in S35), the gas leakage due to the damage to the inner pipe 12 of the double-tube heater 10 causes the first embodiment. Similarly to the above, the alarm A is generated from the alarm generation unit 35 (S36: alarm generation control means). Since the inner pipe 12 is damaged, the alarm A causes an alarm A having a lower degree of urgency than an alarm B described later. As in the case of the first embodiment, when the inner pipe 12 is damaged, the gas flows out from the high-pressure inner pipe space 39 to the low-pressure inner/outer pipe space 38. It is determined whether or not the pressure P1 has risen by a predetermined value or more, but the pressure value P2 in the inner pipe space 39 exceeds the predetermined value when the inner pipe space 39 flows out to the inner and outer pipe spaces depending on the damaged state of the inner pipe 12. It may be lowered. Therefore, it can be determined whether or not the pressure Py is lower than the pressure value P2 by a predetermined value or more.

制御部31は、内外管スペース38の圧力Pxが所定値以上上昇しておらず、内管スペース39の圧力Pyも所定値以上低下していないとき(S35のNO)、更に内外管スペース38の圧力Pxが所定値以上低下し、かつ内管スペース39の圧力Pyが一定であるか否かを判定する(S37:圧力値判定手段)。制御部31は、圧力Pxが所定値以上低下し、かつ圧力Pyが一定であると判定したときは(S37のYES)、二重管ヒーター10の外管13の破損によるものとして、警報Bを発生させる(S38:警報発生制御手段)。外管13の破損は二重管ヒーター10の内部への処理液17の浸入となり、加熱された内管12との接触による内管12の破損と、処理液17の汚染とを招くことから緊急性を要するため、第1の実施形態と同様に、上記した警報Aよりも緊急度の高い警報Bを発生させるものである。このとき、二重管ヒーター10の交換が行われる。 When the pressure Px in the inner/outer tube space 38 has not risen by a predetermined value or more and the pressure Py in the inner tube space 39 has not fallen by more than the predetermined value (NO in S35), the control unit 31 further determines the inner/outer tube space 38. It is determined whether or not the pressure Px decreases by a predetermined value or more and the pressure Py in the inner pipe space 39 is constant (S37: pressure value determination means). When the control unit 31 determines that the pressure Px decreases by a predetermined value or more and the pressure Py is constant (YES in S37), it is determined that the outer tube 13 of the double-tube heater 10 is damaged, and the alarm B is issued. It is generated (S38: alarm generation control means). The breakage of the outer pipe 13 results in the infiltration of the treatment liquid 17 into the inside of the double-tube heater 10, which causes damage to the inner pipe 12 due to contact with the heated inner pipe 12 and contamination of the treatment liquid 17, which is an emergency. Therefore, as in the first embodiment, the alarm B having a higher degree of urgency than the alarm A described above is generated. At this time, the double-tube heater 10 is replaced.

制御部31は、圧力Pxが所定値以上の低下であってPyが一定であることが否定されたときは(S37のNO)、内外管スペース38の圧力Px及び内管39スペースの圧力Pyの双方が所定値以上低下したか否かを判定する(S39:圧力値判定手段)。制御部31は、Px、Pyの双方が所定値以上低下したと判定したときは(S39のYES)、内管12及び外管13の双方の破損と判定できるので、警報Aと警報Bの双方を発生させる(S40)。内管12及び外管13の双方の破損であり、処理液17の金属汚染を招くので、警報A、Bを発生させるものである。そして、二重管ヒーター10の交換が行われる。 When it is denied that the pressure Px is a predetermined value or more and Py is constant (NO in S37), the control unit 31 controls the pressure Px of the inner and outer pipe spaces 38 and the pressure Py of the inner pipe 39 space. It is determined whether or not both have decreased by a predetermined value or more (S39: pressure value determination means). When the control unit 31 determines that both Px and Py have decreased by the predetermined value or more (YES in S39), it can determine that both the inner pipe 12 and the outer pipe 13 are damaged. Therefore, both the alarm A and the alarm B are detected. Is generated (S40). Both the inner pipe 12 and the outer pipe 13 are damaged, which causes metal contamination of the treatment liquid 17, so that the alarms A and B are generated. Then, the double-tube heater 10 is replaced.

制御部31は、圧力Px及びPyが所定値以上の低下でないと判定したときは(S39のNO)、二重管ヒーター10に破損が生じていないとの判定となる。そして、更に繰り返し二重管ヒーター10の破損検出を行うかの判定を行う(S41)。例えば、破損検出を所定時間毎に繰り返し行うとの設定がされているときは、破損検出を終了せずに(S41のNO)繰り返し、開弁(S31)、気体供給(S32)、閉弁(S33)、圧力Px、Pyを計測して破損の有無の判定を行う(S31〜S35等)。更なる破損検出を行わないときは(S41のYES)、破損検出を終了する。
なお、警報Aの発生(S36)、警報Bの発生(S38)、及び警報A、Bの発生(S40)の行った後は破損検出を終了するが、これに限定するものではない。例えば、警報Aの発生(S36)の後、破損検出の工程(S31〜S35等)を繰り返し行ってもよい。このような処理手順は、制御部31が予め設定されたプログラムにより制御することができる。なお、圧力Px、Pyの計測において、所定値以上又は所定値以下であるか否かの判断では、所定値の範囲を破損検出の精度等の関係から適切な数値に設定する。
When it is determined that the pressures Px and Py are not lower than the predetermined value (NO in S39), the control unit 31 determines that the double tube heater 10 is not damaged. Then, it is further determined repeatedly whether damage to the double-tube heater 10 is detected (S41). For example, when the damage detection is set to be repeated at predetermined time intervals, the damage detection is repeated without ending (NO in S41), the valve is opened (S31), the gas is supplied (S32), and the valve is closed ( S33), the pressures Px and Py are measured to determine the presence or absence of damage (S31 to S35, etc.). When no further damage detection is performed (YES in S41), the damage detection ends.
Note that the damage detection is terminated after the alarm A is generated (S36), the alarm B is generated (S38), and the alarms A and B are generated (S40), but the invention is not limited to this. For example, after the alarm A is generated (S36), the damage detection process (S31 to S35, etc.) may be repeated. Such a processing procedure can be controlled by the control unit 31 by a preset program. In the measurement of the pressures Px and Py, in determining whether the pressure is equal to or more than a predetermined value or less than or equal to a predetermined value, the range of the predetermined value is set to an appropriate numerical value in consideration of the damage detection accuracy and the like.

このように、本実施形態によれば、加圧気体の供給後に電磁開閉弁を閉じての圧力計測であるから、外管13、内管12に生じた微細な孔であっても圧力の変動を生じるので、内管12、外管13の破損検出をそれぞれ容易に検出することができる。二重管ヒーター10の不使用時であっても、所定時間毎に破損検出を行うことで、薬液処理を開始したときに二重管ヒーター10を安全に使用することができる。本実施形態では、二重管ヒーター1による加熱を停止しての破損検出であったが、二重管ヒーター10の加熱中及び薬液処理中に行うことが可能であることを記載する。特に、第1実施形態と異なり加圧を継続しないので、圧力値の変動を反映しやすく、微細な孔による破損も検出することができる。
As described above, according to the present embodiment, since the pressure is measured by closing the electromagnetic on-off valve after the supply of the pressurized gas, the pressure fluctuation is caused even in the fine holes formed in the outer pipe 13 and the inner pipe 12. Therefore, it is possible to easily detect the breakage of the inner pipe 12 and the outer pipe 13. Even when the double-tube heater 10 is not used, the double-tube heater 10 can be safely used when the chemical solution processing is started by detecting the damage at predetermined time intervals. In the present embodiment, although a breakage detection of stopping the heating by the double pipe heater 1 0 describes that it is possible to carry out during heating and during chemical processing of the double pipe heater 10. Especially, unlike the first embodiment, since the pressurization is not continued, it is easy to reflect the fluctuation of the pressure value and it is possible to detect the damage due to the fine holes.

(第3の実施形態)
次に、図6を参照して第3の実施形態について説明する。図6は二重管ヒーターの破損検出装置の気体流路の経路を示す概略図である。本実施形態に係る破損検出装置は、第1の実施形態の破損検出装置に真空ポンプを追加した構成となっている。具体的には、第1の実施形態の加圧気体供給部25aを真空ポンプ30に換えたものである。真空ポンプの使用により排気による所定の圧力値設定を可能としたものである。第1の実施形態と相違する部分を中心に説明し、共通部分についての説明を適宜省略する。また、共通する構成部分の名称、符号は第1の実施形態と同一のものを使用する。
(Third Embodiment)
Next, a third embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a schematic view showing the path of the gas flow path of the damage detection device for the double-tube heater. The damage detection device according to the present embodiment has a structure in which a vacuum pump is added to the damage detection device of the first embodiment. Specifically, the pressurized gas supply unit 25a of the first embodiment is replaced with a vacuum pump 30. By using a vacuum pump, it is possible to set a predetermined pressure value by exhausting. The description will focus on the parts that differ from the first embodiment, and the description of the common parts will be omitted as appropriate. Moreover, the same names and reference numerals of the common components are the same as those in the first embodiment.

上記構成と成る本実施形態の破損検出装置11aは、第1の実施形態と同様に処理液17に浸漬された二重配管ヒーター10の破損を検出する装置である。第1の実施形態と相違する点は、内外管スペース38の圧力Pxと、内管スペース39の圧力Pyを、それぞれP1、P2(P1<P2)と設定する際に、加圧気体の供給による他に真空ポンプによる排気を利用して設定することができる点である。一方を排気、他方を供給とすることで迅速に所定の圧力に設定することができる。例えば、内外管スペース38の圧力Pxを−30kPa、内管スペース39の圧力Pyを20kPaとすることができる。Px、Pyとも加圧と排気とを使用して圧力差を大きくとることができる。加圧のみで圧力差を設ける場合と比較して、本実施形態では少しの圧力で所定の圧力差を出すことができる。本実施形態に係る破損検出装置11aは、第1の実施形態における二重管ヒーター10の加熱中(薬液処理中)、又は第2の実施形態における二重管ヒーター10の加熱停止中(薬液処理停止中)のいずれにおいても内管12、外管13、及びこれら双方の破損検出を行うことができる。 The damage detection device 11a of the present embodiment having the above configuration is a device that detects damage to the double pipe heater 10 immersed in the treatment liquid 17 as in the first embodiment. The difference from the first embodiment is that the pressurized gas is supplied when the pressure Px of the inner and outer pipe spaces 38 and the pressure Py of the inner pipe space 39 are set to P1 and P2 (P1<P2), respectively. Another point is that it can be set by using the exhaust from a vacuum pump. It is possible to quickly set the predetermined pressure by exhausting one and supplying the other. For example, the pressure Px of the inner and outer pipe spaces 38 can be set to -30 kPa, and the pressure Py of the inner pipe space 39 can be set to 20 kPa. Both Px and Py can use the pressurization and the exhaust to obtain a large pressure difference. Compared with the case where the pressure difference is provided only by the pressurization, the predetermined pressure difference can be obtained with a little pressure in the present embodiment. The damage detection device 11a according to the present embodiment is in the process of heating the double-tube heater 10 in the first embodiment (during chemical treatment) or stopping the heating of the double-tube heater 10 in the second embodiment (chemical treatment). It is possible to detect breakage of the inner pipe 12, the outer pipe 13, and both of them in any of (while stopped).

なお、他の実施形態として、第1乃至第3の実施形態における二重管ヒーター10に換えて、二重管冷却部(装置)とすることができる。二重管冷却部は、第1乃至第3の実施形態で説明した二重管ヒーター10と同様の構成であり、相違する点は内管内に収容する電熱線の代わりに配管をコイル状に巻回した冷却部を収容し、キャップを貫通した配管を、内管内を通じて冷却部に接続したものである。外部から冷媒を冷却部に導入し冷却後に外部に戻すように構成されている。この変形例では、処理液に浸漬された二重配管冷却部の破損を検出する装置である。第3の実施形態と同様に、内外管スペースの圧力Pxと、内管スペースの圧力Pyを、それぞれP1、P2(P1<P2)と設定する際に、加圧気体の供給による他に真空ポンプによる排気を利用して設定することができ、さらに一方を排気、他方を供給とすることができる。本実施形態に係る破損検出装置は、二重管冷却部の冷却中(薬液処理中)、又は二重管冷却部の冷却停止中(薬液処理停止中)のいずれにおいても内管、外管の破損検出をそれぞれ迅速かつ的確に行うことができる。 As another embodiment, the double tube heater 10 in the first to third embodiments may be replaced with a double tube cooling unit (device). The double-tube cooling unit has the same structure as the double-tube heater 10 described in the first to third embodiments, except that the pipe is wound in a coil shape instead of the heating wire housed in the inner pipe. A pipe that accommodates the rotated cooling unit and penetrates the cap is connected to the cooling unit through the inside of the inner pipe. The cooling medium is introduced from the outside into the cooling unit and returned to the outside after cooling. This modification is an apparatus for detecting damage to the double pipe cooling section immersed in the treatment liquid. Similarly to the third embodiment, when the pressure Px of the inner and outer pipe spaces and the pressure Py of the inner pipe space are set to P1 and P2 (P1<P2), respectively, a vacuum pump is provided in addition to the supply of the pressurized gas. It is possible to set it by using the exhaust gas by the above, and further, one of the exhaust gas and the other can be supplied. The damage detection device according to the present embodiment is configured to detect the inner pipe and the outer pipe both during cooling of the double pipe cooling part (during chemical treatment) or during cooling stop of the double pipe cooling part (during chemical treatment stop). Damage detection can be performed quickly and accurately.

上記した各実施形態では、制御部30により圧力値の設定、圧力計測、計測値判定、警報発生制御等を行っているが、制御部30によらず、手動により開閉弁の開閉、加圧操作、目視による圧力計測値を取得し、圧力計測値に基づく判定により破損検出を行ってもよい。また、第1乃至第4の実施形態では、破損検出の対象である二重管ヒーター10、二重管冷却部10aを処理液17、17aに浸漬させた状態で破損検出しているが、処理液17、17aに浸漬させず、大気中に置いても破損検出が可能である。 In each of the above-described embodiments, the control unit 30 performs pressure value setting, pressure measurement, measurement value determination, alarm generation control, and the like. Alternatively, damage detection may be performed by visually obtaining a pressure measurement value and making a determination based on the pressure measurement value. In addition, in the first to fourth embodiments, damage detection is performed in a state in which the double-tube heater 10 and the double-tube cooling unit 10a, which are targets of damage detection, are immersed in the processing liquids 17 and 17a. The damage can be detected even if the liquid 17 or 17a is not immersed in the liquid and placed in the atmosphere.

更に、第1の実施形態に係る二重管ヒーター10の破損検出装置11を備えた基板処理装置51を図7に示す。二重管ヒーター10により所定温度に調温された貯留槽18の処理液17が管路52を通じて基板処理装置51に供給される。基板処理装置51では、基板55を載置する回転テーブル56と、回転テーブル56を回転させる回転駆動部58と、回転する基板55から飛散する処理液17を受ける液受け部57と、管路52から供給される処理液17を基板55に供給するノズル59と、液受け部57で受けた処理液17を排出する排出管60を備えている。この構成により、所定の温度に調温された処理液17により基板55を薬液処理することができる。このとき、破損検出装置11により、内管12、外管13、内管及び外管13の破損の検出ができるので、検出箇所に応じた対応が可能である。例えば、内管12の破損のときは処理液17の金属汚染に直結しないので、工程中の基板処理を継続後に停止させて二重管ヒーター10の交換を行い、外管13の破損、外管13及び内管12の破損のときは、金属汚染に直結するので薬液搬送の停止(ヒーター加熱停止)、二重管ヒーター10の交換を行うことができる。 Further, FIG. 7 shows a substrate processing apparatus 51 including the breakage detecting device 11 for the double-tube heater 10 according to the first embodiment. The processing liquid 17 in the storage tank 18 whose temperature is adjusted to a predetermined temperature by the double-tube heater 10 is supplied to the substrate processing apparatus 51 through the pipe line 52. In the substrate processing apparatus 51, a rotary table 56 on which the substrate 55 is placed, a rotary drive unit 58 that rotates the rotary table 56, a liquid receiving unit 57 that receives the processing liquid 17 scattered from the rotating substrate 55, and a conduit 52. A nozzle 59 for supplying the processing liquid 17 supplied from the substrate to the substrate 55 and a discharge pipe 60 for discharging the processing liquid 17 received by the liquid receiving portion 57 are provided. With this configuration, the substrate 55 can be chemically treated with the treatment liquid 17 whose temperature has been adjusted to a predetermined temperature. At this time, the breakage detection device 11 can detect breakage of the inner pipe 12, the outer pipe 13, and the inner pipe and the outer pipe 13, and therefore, it is possible to deal with the detected location. For example, when the inner tube 12 is damaged, it is not directly connected to the metal contamination of the processing liquid 17, so the double tube heater 10 is replaced by stopping the substrate processing during the process and then the outer tube 13 is damaged, When the inner tube 13 and the inner tube 12 are damaged, the metal tube is directly contaminated, so that the chemical solution transfer (heater heating stop) and the double tube heater 10 can be replaced.

以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。 Although the embodiment of the present invention and the modification of each part have been described above, the modification of this embodiment and each part are presented as an example, and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments described above can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and their modifications are included in the scope and spirit of the invention and also included in the invention described in the claims.

10 二重管ヒーター
11、11a 破損検出装置
12 内管
13 外管
16 電熱線
17,17a 処理液
18 処理槽
20 キャップ
21a 外管気体導入部
21b 内管気体導入部
25a、25b、25c、25d 配管
26a、26b 加圧気体供給部
27a、27b 圧力センサ
28a、28b、28c、28d 電磁開閉弁
30 冷却部
31 制御部
32 記憶部
33 電磁開閉弁駆動回路
35 警報発生部
51 基板処理装置
10 Double-pipe heater 11, 11a Damage detection device 12 Inner pipe 13 Outer pipe 16 Heating wire 17, 17a Treatment liquid 18 Treatment tank 20 Cap 21a Outer pipe gas introduction part 21b Inner pipe gas introduction part 25a, 25b, 25c, 25d Piping 26a, 26b Pressurized gas supply section 27a, 27b Pressure sensor 28a, 28b, 28c, 28d Electromagnetic on-off valve 30 Cooling section 31 Control section 32 Storage section 33 Electromagnetic on-off valve drive circuit 35 Alarm generation section 51 Substrate processing apparatus

Claims (7)

電熱線を収容する密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する二重容器の破損検出装置であって、
前記外容器の内部の圧力を計測する第1の圧力計測部と、
前記外容器の内部を第1の圧力値に調整する第1の圧力調整部と、
前記内容器の内部の圧力を計測する第2の圧力計測部と、
前記内容器の内部を第1の圧力値と異なる第2の圧力値に調整する第2の圧力調整部と、
前記第1の圧力計測部及び前記第2の圧力計測部により計測された圧力値を取得する圧力値取得手段と、
該圧力値取得手段により取得された前記第1の圧力値と前記第2の圧力値の関係に基づいて前記内容器に収容される前記電熱線への電力の供給を制御する制御部を有する二重容器の破損検出装置。
A damage detection device for a double container for detecting damage to a double container consisting of a sealed inner container containing a heating wire and a sealed outer container containing the inner container,
A first pressure measuring unit for measuring the pressure inside the outer container;
A first pressure adjusting unit for adjusting the inside of the outer container to a first pressure value;
A second pressure measuring unit for measuring the pressure inside the inner container;
A second pressure adjusting unit for adjusting the inside of the inner container to a second pressure value different from the first pressure value;
Pressure value acquisition means for acquiring the pressure values measured by the first pressure measurement unit and the second pressure measurement unit,
A control unit that controls the supply of electric power to the heating wire accommodated in the inner container based on the relationship between the first pressure value and the second pressure value acquired by the pressure value acquisition means. Heavy container damage detection device.
前記圧力値取得手段により取得された前記圧力値に基づいた所定の判定をする圧力値判定手段と、を有し、
前記圧力値判定手段による判定結果に応じて所定の警報を警報発生部により発生させる警報発生制御手段と、を有する請求項1に記載の二重容器の破損検出装置。
A pressure value determination means for making a predetermined determination based on the pressure value acquired by the pressure value acquisition means,
The damage detection device for a double container according to claim 1, further comprising: an alarm generation control unit that causes a warning generation unit to generate a predetermined alarm according to the determination result by the pressure value determination unit .
前記外容器と第1の圧力調整部との間の第1の配管を開閉する第1の開閉部と、
前記内容器と第2の圧力調整部との間の第2の配管を開閉する第2の開閉部と、
第1の開閉部と第2の開閉部開閉を制御する開閉制御部と、を有し、
前記開閉制御部は、第1の圧力調整部により前記外容器の内部が第1の圧力値に調整された後に、第1の開閉部により第1の配管を閉じ、第2の圧力調整部により前記内容器の内部が第2の圧力値に調整された後に、第2の開閉部により第2の配管を閉じる請求項1又はのいずれかに記載の二重容器の破損検出装置。
A first opening/closing unit for opening/closing a first pipe between the outer container and the first pressure adjusting unit;
A second opening/closing unit for opening/closing a second pipe between the inner container and the second pressure adjusting unit;
A first opening/closing unit and an opening/closing control unit that controls opening/closing of the second opening/closing unit;
The opening/closing control unit closes the first pipe by the first opening/closing unit after the inside of the outer container is adjusted to the first pressure value by the first pressure adjusting unit, and the second pressure adjusting unit by the second pressure adjusting unit. wherein after the internal of the inner container is adjusted to the second pressure value, the double container breakage detection device according to claim 1 or 2 by the second closing part closes the second pipe.
電熱線が収容する密閉された内容器と該内容器を収容する密閉された外容器とから成る二重容器の破損を検出する二重容器の破損検出方法であって、
前記外容器の内部の圧力を第1の圧力値に、前記内容器の内部の圧力を第1の圧力値と異なる第2の圧力値に調整する圧力調整ステップと、
前記外容器の内部の圧力と、前記内容器の内部の圧力とを計測する圧力計測ステップと、
前記圧力計測ステップにより計測された前記第1の圧力値及び前記第2の圧力値を取得する圧力値取得ステップと、
該圧力値取得ステップにより取得された前記第1の圧力値と前記第2の圧力値の関係に基づいて前記内容器に収容される前記電熱線への電力の供給を制御するステップを有する二重容器の破損検出方法。
A method for detecting damage to a double container for detecting damage to a double container consisting of a sealed inner container containing a heating wire and a sealed outer container containing the inner container,
A pressure adjusting step of adjusting the pressure inside the outer container to a first pressure value and adjusting the pressure inside the inner container to a second pressure value different from the first pressure value;
A pressure measuring step for measuring the pressure inside the outer container and the pressure inside the inner container;
A pressure value acquisition step of acquiring the first pressure value and the second pressure value measured by the pressure measurement step,
Duplex having a step of controlling the supply of electric power to the heating wire accommodated in the inner container based on the relationship between the first pressure value and the second pressure value acquired by the pressure value acquisition step. Container damage detection method.
請求項1乃至のいずれかに記載の二重容器の破損検出装置と、
前記二重容器を収容し、処理液を貯留する貯留槽と、
前記処理液を、基板を処理する基板処理装置へ供給する管路と、
を有し、
前記二重容器の破損検出装置は、前記二重容器における前記内容器又は前記外容器、もしくは、前記内容器及び前記外容器の破損を判定するものであって、
前記内容器のみが破損したと判定されたとき、処理中の前記基板の処理が終了した後に前記内容器に収容された電熱線への電力の供給を停止させる制御部とを備えた基板処理装置。
A damage detection device for a double container according to any one of claims 1 to 3 ,
A storage tank that stores the double container and stores the processing liquid,
A conduit for supplying the processing liquid to a substrate processing apparatus for processing a substrate;
Have
The damage detection device for the double container is for determining damage to the inner container or the outer container in the double container, or the inner container and the outer container,
When it is determined that only the inner container is damaged, a substrate processing apparatus including a control unit that stops the supply of power to the heating wire accommodated in the inner container after the processing of the substrate being processed is completed. ..
前記二重容器の破損検出装置により、前記二重容器における前記外容器のみ又は前記内容器及び前記外容器が破損と判定されたとき、By the damage detection device of the double container, when it is determined that only the outer container or the inner container and the outer container in the double container is damaged,
前記制御部は、前記内容器に収容された電熱線への電力を直ちに停止させる請求項5に記載の基板処理装置。The substrate processing apparatus according to claim 5, wherein the control unit immediately stops the electric power to the heating wire housed in the inner container.
前記二重容器の破損検出装置により、前記二重容器における前記外容器のみ又は前記内容器及び前記外容器が破損と判定されたとき、By the damage detection device of the double container, when it is determined that only the outer container or the inner container and the outer container in the double container is damaged,
前記制御部は、前記処理液を前記基板処理装置への供給を停止させる請求項5又は6に記載の基板処理装置。The substrate processing apparatus according to claim 5, wherein the control unit stops the supply of the processing liquid to the substrate processing apparatus.
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JPH0845647A (en) * 1994-07-28 1996-02-16 Nec Kansai Ltd Immersion heater and its crack sensing method
JPH10321528A (en) * 1997-05-22 1998-12-04 Hitachi Ltd Semiconductor processor and using method therefor
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