JP5964933B2 - Leakage inspection method, leakage inspection apparatus and program - Google Patents

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本発明は、漏洩検査方法、漏洩検査装置およびプログラムに関する。   The present invention relates to a leakage inspection method, a leakage inspection apparatus, and a program.

たとえば、特許文献１には、「検査対象である配管の容量を容易に計測でき、しかも、配管内の温度変化の影響を除去すること」を目的に、「圧力計測方法及び装置」の発明が開示されている。当該発明は、「気体を供給する配管に接続部１を介して接続され、該配管の内部圧力を圧力センサ４により計測する圧力計測方法において、該配管を閉塞状態に保持し、該配管内部をポンプ５により加圧する加圧工程と、該加圧工程終了後、該配管内の放置状態の圧力変化量を計測する工程とを有し、該加圧工程による配管内部圧力の加圧変化量と、加圧する際に該配管内部に供給した気体の流量を計測し、該加圧変化量と該気体の流量とに基づき、閉塞状態の配管容量を算出し、該配管容量と該放置状態の圧力変化量とに基づき、配管からの気体の漏洩量を算出することを特徴とする」ものとされている。   For example, Patent Document 1 discloses an invention of a “pressure measuring method and apparatus” for the purpose of “easily measuring the capacity of a pipe to be inspected and removing the influence of a temperature change in the pipe”. It is disclosed. The invention relates to “a pressure measurement method in which a gas supply pipe is connected via a connecting portion 1 and the internal pressure of the pipe is measured by a pressure sensor 4, the pipe is held in a closed state, A pressurizing step of pressurizing by the pump 5, and a step of measuring the amount of pressure change in the state of being left in the pipe after completion of the pressurizing step, , Measure the flow rate of the gas supplied to the inside of the pipe when pressurizing, calculate the closed pipe capacity based on the amount of change in pressure and the flow rate of the gas, and the pipe capacity and the pressure in the neglected state Based on the amount of change, the amount of gas leakage from the pipe is calculated. ”

特許文献２には、「配管などの容器の漏洩検査を効率良く行うと共に、容器内の温度変化の影響を効果的に除去すること」を目的に、「漏洩検査方法及び装置」の発明が開示されている。当該発明は、「漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する手段１５と、該容器内の圧力変化を計測する手段１４と、該容器の加減圧を所定の時間系列に従って実施する手段と、該圧力計測手段により得られた信号と、該時間系列に対応した参照信号との相関を算出する演算手段とを有し、該演算手段によって算出された相関に基いて、該容器の漏洩を検出することを特徴とする」ものとされている。   Patent Document 2 discloses an invention of “leakage inspection method and apparatus” for the purpose of “effectively inspecting leakage of containers such as pipes and effectively removing the influence of temperature changes in the container”. Has been. The invention includes: "Means 15 for pressurizing or depressurizing a container to be inspected for leakage; means 14 for measuring a pressure change in the container; means for performing pressurization and depressurization of the container according to a predetermined time sequence; A calculating means for calculating a correlation between the signal obtained by the pressure measuring means and a reference signal corresponding to the time series, and detecting leakage of the container based on the correlation calculated by the calculating means; It is said that it is characterized by

特許文献３には、「気流ライニング工法などによるパイプライン補修後のように、容器内の温度が指数関数的に低下しつつある期間にも実施可能」とし、「補修作業並びに補修後の検査作業の効率を向上」することを目的とした「容器検査方法及び装置」の発明が開示されている。当該発明は、「検査容器を容器外の圧力より高い圧力にて加圧又は減圧し、少なくとも３つの異なる時刻ｔｉ（ｉは、１，２，３とする）における容器外に対する該容器内の圧力の差Ｘｉ及び該容器内の圧力の時間変化率Ｙｉを計測し、該圧力状態計測工程で計測された該圧力差Ｘｉと該圧力時間変化率Ｙｉとを、Ｙ１＋ａＹ２＋ｂＹ３＝−Ｌ（Ｘ１＋ａＸ２＋ｂＸ３）（ただし、ａ＝γ／（１−γ），ｂ＝１／（γ−１）、ｔ３−ｔ１＝γ（ｔ２−ｔ１））に代入し、漏れに係る漏れ定数Ｌを計算し、該漏れ定数Ｌに基いて、該検査容器の漏れを検出する」ものとされている。 Patent Document 3 states that “it can be carried out even during a period when the temperature inside the container is decreasing exponentially, such as after pipeline repair by an airflow lining method”. An invention of a “container inspection method and apparatus” for the purpose of “improving efficiency” is disclosed. According to the invention, “the test container is pressurized or depressurized at a pressure higher than the pressure outside the container, and the inside of the container with respect to the outside of the container at at least three different times t i (i is 1, 2, 3). measures the time rate of change Y i of the pressure in the difference X i and said vessel pressure, the pressure difference measured by the pressure state measuring step X i and pressure time change rate Y i, Y 1 + aY 2 + BY 3 = −L (X 1 + aX 2 + bX 3 ) (where a = γ / (1−γ), b = 1 / (γ−1), t 3 −t 1 = γ (t 2 −t 1 ) ), The leakage constant L related to the leakage is calculated, and the leakage of the cuvette is detected based on the leakage constant L ”.

特許文献４には、「漏洩検査の作業効率を高め、漏洩検査の精度を向上させ」ることを目的とした「差圧計測方法及び装置」の発明が開示されている。当該発明は、「マスター容器とワーク容器との間の差圧を測定する差圧センサと、マスター容器とワーク容器とを大気圧の気体で封止する大気圧調整手段と、テスト圧力を付与するテスト圧力付与手段と、差圧センサの測定値を温度補償値で補正し、その結果に基づき、ワーク容器の漏洩を判断する制御手段とを有する差圧計測装置において、ワーク容器内圧力測定手段（ＷＰ）を有し、ワーク容器内圧力測定手段の測定値に基づき、温度補償値を測定する際の差圧センサによる測定タイミングを決定すると共に、大気圧に係る差圧値とテスト圧力に係る差圧値とに基づき、気体の密度変化を求め、温度補償値又はテスト圧力付与手段を動作し測定した差圧値のいずれか一方を密度変化により補正する」ものとされている。   Patent Document 4 discloses an invention of a “differential pressure measuring method and apparatus” for the purpose of “increasing work efficiency of leakage inspection and improving accuracy of leakage inspection”. The invention provides "a differential pressure sensor for measuring a differential pressure between a master container and a work container, an atmospheric pressure adjusting means for sealing the master container and the work container with an atmospheric pressure gas, and a test pressure. In a differential pressure measuring apparatus having a test pressure applying means and a control means for correcting a measured value of the differential pressure sensor with a temperature compensation value and determining leakage of the work container based on the result, the pressure measuring means in the work container ( WP) and determining the measurement timing by the differential pressure sensor when measuring the temperature compensation value based on the measurement value of the pressure measuring means in the work container, and the difference between the differential pressure value related to the atmospheric pressure and the test pressure Based on the pressure value, the density change of the gas is obtained, and either the temperature compensation value or the differential pressure value measured by operating the test pressure applying means is corrected by the density change ".

特許文献５には、「リーク試験時間を短縮」することを目的に、「リーク試験方法」の発明が開示されている。当該発明は、「マスタ容器とワーク容器とを大気圧で閉塞した状態でマスタ容器とワーク容器の内部圧力の差圧の変化を温度補正値として計測する温度補正値計測工程と，マスタ容器とワーク容器とを大気圧以外の試験圧力で閉塞した状態で前記差圧の変化を試験差圧値として計測する試験差圧変化計測工程とを行い，試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，補正された試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する温度補正計測モード工程を行う。さらに，温度補正計測モード工程での温度補正値計測工程で計測した差圧の変化が第１の基準値を超えない場合に，試験差圧変化計測工程を行い当該試験差圧変化計測工程で計測した試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する圧力計測モード工程に移行する。そして，圧力計測モード工程でリーク有りと判断された場合に，温度補正計測モード工程に戻る」ものとされている。   Patent Document 5 discloses an invention of “leak test method” for the purpose of “reducing leak test time”. The invention relates to “a temperature correction value measuring step of measuring a change in the pressure difference between the internal pressure of the master container and the work container as a temperature correction value in a state where the master container and the work container are closed at atmospheric pressure, A test differential pressure change measurement process is performed in which a change in the differential pressure is measured as a test differential pressure value while the container is closed with a test pressure other than atmospheric pressure, and the test differential pressure value is corrected based on the temperature correction value. Then, a temperature correction measurement mode process is performed to determine whether or not the work container has leaked based on the corrected test differential pressure value, and a change in the differential pressure measured in the temperature correction value measurement process in the temperature correction measurement mode process is performed. Pressure measurement mode step of determining whether or not there is a leak in the work container based on the test differential pressure value measured in the test differential pressure change measurement step when the pressure does not exceed the first reference value Migrate to That. When it is determined that there is leakage in the pressure measurement mode process, there is a return to the temperature correction measurement mode process "ones.

特許文献６には、「リーク試験時間を短縮」することを目的に、「リーク試験方法」の発明が開示されている。当該発明は、「マスタ容器とワーク容器とを大気圧で閉塞した状態でマスタ容器とワーク容器の内部圧力の差圧の変化を温度補正値として計測する。次にマスタ容器とワーク容器とを試験圧力で閉塞した状態で前記差圧の変化を試験差圧値として計測し，試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，ワーク容器のリークの有無を判断する。その後のワーク容器それぞれに対して，試験差圧変化計測し、試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，補正された試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する工程を繰り返す。ワーク容器がリーク有りと判断された場合に，同じワーク容器に対して，再度試験差圧値を計測し、この試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正してワーク容器のリークの有無を判断するリトライ工程を行う。ここでリーク有りと判断された場合には，最初の温度補正値の計測に戻る」ものとされている。   Patent Document 6 discloses an invention of “leak test method” for the purpose of “reducing leak test time”. According to the invention, “a change in the internal pressure between the master container and the work container is measured as a temperature correction value with the master container and the work container closed at atmospheric pressure. Next, the master container and the work container are tested. The change in the differential pressure is measured as a test differential pressure value in a state of being blocked by pressure, and the test differential pressure value is corrected based on the temperature correction value to determine whether there is a leak in the work container. On the other hand, the steps of measuring the test differential pressure change, correcting the test differential pressure value based on the temperature correction value, and determining the presence or absence of leakage in the work container based on the corrected test differential pressure value are repeated. When it is determined that the container has a leak, the test differential pressure value is measured again for the same work container, and the test differential pressure value is corrected based on the temperature correction value to determine whether the work container has a leak. Retra to judge A step. Here, if it is determined that there is leakage, the flow returns to the measurement of the initial temperature correction value "is assumed.

特開２００３−２２７７７３号公報JP 2003-227773 A 再表ＷＯ２００５／０８０９３５号公報Reissue WO2005 / 080935 特開２００６−３２２８６７号公報JP 2006-322867 A 特開２０１２−１２７７１０号公報JP 2012-127710 A 特開２０１３−０２４６３４号公報JP 2013-024634 A 特開２０１３−０２４６３５号公報JP 2013-024635 A

上記した従来技術により、配管等検査対象物の漏洩の有無を検査する方法あるいは装置において、検査中に検査対象物が外気温等の影響を受けて内部圧力に変動を生じるような場合であっても、当該変動分として大気圧状態での内部圧力を別途測定し、加圧状態での圧力測定値を補正して、外気温等の影響が排除された漏洩検査を実施できる。   In the method or apparatus for inspecting the presence or absence of leakage of inspection objects such as piping according to the above-described conventional technique, the inspection object is affected by the outside air temperature during the inspection and the internal pressure fluctuates. In addition, it is possible to separately measure the internal pressure in the atmospheric pressure state as the variation, correct the pressure measurement value in the pressurized state, and perform a leakage inspection in which the influence of the outside air temperature or the like is excluded.

しかし、従来技術においては、外気温等に変動がない場合であっても、補正のための大気圧における圧力測定が一律に実施され、結果的に補正のための圧力測定で得られたデータが不要になる場合がある。このような場合、本来不要な検査（測定）に時間が費やされることとなり、検査の効率を悪くする状況が生じていた。   However, in the prior art, even when there is no change in the outside air temperature or the like, the pressure measurement at the atmospheric pressure for correction is uniformly performed, and as a result, the data obtained by the pressure measurement for correction is obtained. May be unnecessary. In such a case, a time was spent on an originally unnecessary inspection (measurement), and a situation in which the efficiency of the inspection deteriorated occurred.

本発明の目的は、漏洩検査のための圧力測定値の取得中または取得完了後に、補正処理の要不要を判断し、補正処理が必要な場合には補正処理を実施し、補正処理が不要な場合は補正処理をすることなく漏洩を判定することとし、不要な補正処理を排除して、検査の効率を高めようとすることにある。また、本発明の目的は、補正処理が可であるか不可であるかを判断し、補正処理が不可である場合には補正処理を行わず、補正処理が可である場合にだけ補正処理を行うことで、計測精度を向上しようとすることにある。   The object of the present invention is to determine whether or not correction processing is necessary during or after the completion of acquisition of a pressure measurement value for a leak test. If correction processing is necessary, the correction processing is performed and correction processing is unnecessary. In this case, leakage is determined without performing correction processing, and unnecessary correction processing is eliminated to improve inspection efficiency. Further, an object of the present invention is to determine whether correction processing is possible or not. If the correction processing is impossible, the correction processing is not performed, and the correction processing is performed only when the correction processing is possible. This is to improve the measurement accuracy.

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、（ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、を有する漏洩検査方法を提供する。   In order to solve the above problems, in the first aspect of the present invention, (a) a step of sealing the inside of the inspection object, and (b) measuring an internal pressure of the inspection object, a pressure measurement value (C) determining whether or not the pressure measurement value meets a correction requirement condition; (d) determining whether or not to correct the pressure measurement value; There is provided a leakage inspection method comprising: correcting a value to obtain a pressure correction value; and (e) determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value.

前記した漏洩検査方法において、（ｆ）前記（ｃ）ステップにおいて前記圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行するステップと、（ｇ）前記（ｂ）ステップ、前記（ｃ）ステップおよび前記（ｆ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、をさらに有することができる。前記（ｆ）ステップの補正準備処理が、（ｆ１）前記圧力測定値が前記要補正条件に合致したことを報知するステップ、を有することができる。   In the leakage inspection method described above, when it is determined in step (f) (c) that the measured pressure value matches the correction requirement, a step of executing correction preparation processing, (g) step (b) A step of repeating the step, the step (c) and the step (f) for a predetermined time or a predetermined number of times. The correction preparation process in step (f) may include (f1) notifying that the measured pressure value matches the correction required condition.

前記（ｆ）ステップの補正準備処理が、（ｆ２）漏洩検査を継続または中止する旨の入力を要求するステップと、（ｆ３）前記（ｆ２）ステップの要求に応じた入力が、継続する旨の入力である場合には処理を継続し、中止する旨の入力である場合には処理を中止するステップと、をさらに有することができる。ここで、前記（ｆ３）ステップにおいて処理を継続した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｆ２）ステップにおける前記要求とともに、前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値を表示することができる。   The correction preparation process in the step (f) includes (f2) a step of requesting an input to continue or stop the leakage inspection, and (f3) an input corresponding to the request in the (f2) step is continued. The process may further include a step of continuing the process if it is an input and canceling the process if the input is to cancel. Here, when the process is continued in the step (f3), it is determined that the pressure measurement value is corrected in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the step (e) In the step, leakage of the inspection object can be determined based on the pressure correction value. Along with the request in the step (f2), a plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (g) can be displayed.

前記（ｆ１）ステップの実行後、処理を継続し、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。   After the execution of the step (f1), the processing is continued, and it is determined that the pressure measurement value is corrected in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the step (e) The leakage of the inspection object can be determined based on the pressure correction value.

（ｈ１）前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップ、をさらに有することができ、この場合、前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値のうち何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。   (H1) The method may further include a step of determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (g) meet a correction unnecessary condition. In this case, in the step (h1) When it is determined that all of the plurality of pressure measurement values match the correction unnecessary condition, it is determined that the pressure measurement value is not corrected in the step (d), and the pressure measurement value is determined based on the pressure measurement value in the step (e). The leakage of the inspection object can be determined. When it is determined in step (h1) that any one of the plurality of pressure measurement values does not meet the correction unnecessary condition, it is determined that the pressure measurement value is corrected in step (d), The pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and in step (e), leakage of the inspection object can be determined based on the pressure correction value.

（ｈ１）前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、（ｈ２）前記（ｂ）ステップの前記測定を前記（ｇ）ステップにおいて繰り返す間に、温度変化が有ったか無かったかを判断するステップと、をさらに有することができ、この場合、前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｈ２）ステップにおいて前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値のうち何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、または、前記（ｈ２）ステップにおいて前記温度変化が有ったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。   (H1) determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (g) meet correction unnecessary conditions; (h2) performing the measurement in the step (b) ) Step of determining whether or not there was a temperature change during the repetition in the step, and in this case, in the (h1) step, all of the plurality of pressure measurement values are in the correction unnecessary condition. And in step (h2), the pressure measurement value is determined not to be corrected in step (d), and the pressure measurement is performed in step (e). Based on the value, leakage of the inspection object can be determined. When it is determined in step (h1) that any one of the plurality of pressure measurement values does not match the correction unnecessary condition, or it is determined that the temperature change has occurred in step (h2). If it is determined that the pressure measurement value is corrected in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the inspection object is obtained based on the pressure correction value in the step (e). Can be determined.

（ｉ）前記（ｂ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップ、をさらに有することができ、この場合、前記（ｃ）ステップにおいて、前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値のそれぞれについて、前記要補正条件に合致するかを判断し、何れか一つの圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。   (I) The step (b) may further include a step of repeating a predetermined time or a predetermined number of times, and in this case, in the step (c), a plurality of pressure measurements obtained by repeating the step (i) For each of the values, it is determined whether the correction required condition is satisfied, and if any one of the pressure measurement values is determined to match the correction required condition, it is determined that the pressure measurement value is corrected in the step (d). Then, the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and leakage of the inspection object can be determined based on the pressure correction value in the step (e).

（ｊ１）前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップ、をさらに有してもよく、この場合、前記（ｃ）ステップにおいて、前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断され、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて全ての圧力測定値が前記補正不要条件に合致すると判断された場合には、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｃ）ステップにおいて、前記複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断され、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断された場合には、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。   (J1) The method may further include a step of determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (i) meet the correction unnecessary condition. In this case, the step (c) In step (i), it is determined that all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (i) do not match the correction requirement condition, and in the step (j1), all pressure measurement values are determined as the correction unnecessary condition. If it is determined that the pressure measurement value is satisfied, it is determined that the pressure measurement value is not corrected in the step (d), and the leakage of the inspection object is determined based on the pressure measurement value in the step (e). it can. In step (c), it is determined that all of the plurality of pressure measurement values do not match the correction requirement, and in step (j1), any one pressure measurement value does not match the correction unnecessary condition. Is determined to correct the pressure measurement value in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the pressure correction value is converted to the pressure correction value in the step (e). Based on this, leakage of the inspection object can be determined.

（ｊ１）前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、（ｊ２）前記（ｂ）ステップの前記測定を前記（ｉ）ステップにおいて繰り返す間に、温度変化が有ったか無かったかを判断するステップと、をさらに有することができ、この場合、前記（ｃ）ステップにおいて前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断し、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて全ての圧力測定値が前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｊ２）ステップにおいて前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。前記（ｃ）ステップにおいて、前記複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断し、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、または、前記（ｊ２）ステップにおいて前記温度変化が有ったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定することができる。   (J1) determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (i) meet correction unnecessary conditions; (j2) performing the measurement in the step (b) ) Step of determining whether or not there was a temperature change during the repetition in the step, and in this case, in the step (c), in the step (c), a plurality of times obtained by repeating the step (i) It is determined that all of the pressure measurement values do not match the correction required condition, and it is determined that all the pressure measurement values match the correction unnecessary condition in the step (j1), and the pressure measurement value in the step (j2) When it is determined that there is no temperature change, it is determined that the pressure measurement value is not corrected in the step (d), and the pressure measurement value is determined in the step (e). It is possible to determine the leakage of the inspection object based. In step (c), it is determined that all of the plurality of pressure measurement values do not match the correction requirement, and any one pressure measurement value does not match the correction unnecessary condition in step (j1). Or when it is determined that the temperature change has occurred in the step (j2), the pressure measurement value is determined to be corrected in the step (d), and the pressure measurement value is corrected to correct the pressure. A correction value is obtained, and leakage of the inspection object can be determined based on the pressure correction value in the step (e).

前記要補正条件として、前記圧力測定値Ｐｍが、Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、を満足することが挙げられる。ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。   The correction required condition includes that the pressure measurement value Pm satisfies Pm <Pi−ΔPdec or Pm> Pi + ΔPinc. However, Pi is a starting pressure, ΔPdec is an allowable decrease range, and ΔPinc is an allowable increase range.

前記補正不要条件として、前記圧力測定値Ｐｍが、｜Ｐｍ−Ｐｉ｜≦ΔＰ、を満足することが挙げられる。ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰは許容変動幅である。   The correction unnecessary condition is that the pressure measurement value Pm satisfies | Pm−Pi | ≦ ΔP. However, Pi is a starting pressure, and ΔP is an allowable fluctuation range.

（ｋ）前記（ｂ）ステップで得た圧力測定値ごとに、前記圧力測定値が補正不可条件に合致するかを判断するステップと、（ｌ）前記（ｋ）において前記圧力測定値が前記補正不可条件に合致すると判断した場合、補正不可処理を実行するステップと、をさらに有することができる。前記（ｌ）ステップの補正不可処理が、（ｌ１）前記圧力測定値が前記補正不可条件に合致した旨の報知、または、再測定を促す旨の報知を含む報知ステップと、（ｌ２）測定を中止するステップと、を有してもよい。   (K) For each pressure measurement value obtained in the step (b), determining whether the pressure measurement value satisfies a condition that correction is impossible; (l) In the step (k), the pressure measurement value is corrected. If it is determined that the impossible condition is satisfied, a step of executing a correction impossible process may be further included. (L) Step of non-correction processing includes: (l1) a notification step including notification that the pressure measurement value matches the correction impossible condition, or notification of prompting re-measurement; and (l2) measurement. And a step of canceling.

前記補正不可条件として、Ｐｍ＞Ｐｍｉｎ＋ΔＰｕｐ、または、Ｐｍ＜Ｐｍａｘ−ΔＰｄｎ、を満足することが挙げられる。ただし、Ｐｉは開始圧力、Ｐｍｉｎは最小圧力、ΔＰｕｐは許容上昇幅、Ｐｍａｘは最大圧力、ΔＰｄｎは許容下降幅である。   The correction impossible condition includes satisfying Pm> Pmin + ΔPup or Pm <Pmax−ΔPdn. However, Pi is a start pressure, Pmin is a minimum pressure, ΔPup is an allowable increase width, Pmax is a maximum pressure, and ΔPdn is an allowable decrease width.

本発明の第２の態様においては、検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、前記コントローラが、前記検査対象物の内部を封止し、前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信する漏洩検査装置を提供する。   In the second aspect of the present invention, a connection body connected to the inspection object and a pressure pump connected to the connection body and pressurizing the inside of the connection object by pressurizing the inside of the connection body. A first valve disposed between the connection body and the pressurizing pump, a pressure sensor that measures an internal pressure of the connection body, a second valve that leaks inside the connection body, a controller, And the controller seals the inside of the inspection object, measures the internal pressure of the inspection object, obtains a pressure measurement value, and determines whether the pressure measurement value meets the necessary correction condition Determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value to obtain a pressure correction value when it is determined to correct, and based on the pressure measurement value or the pressure correction value, the inspection object So as to determine leakage of Flop, and controls the first valve and the second valve provides a leakage inspection apparatus for receiving a signal from the pressure sensor.

本発明の第３の態様においては、検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、前記コントローラに含まれるコンピュータに、前記検査対象物の内部を封止する機能と、前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、を実現させるためのプログラムを提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 In the third aspect of the present invention, a connection body connected to the inspection object and a pressure pump connected to the connection body and pressurizing the inside of the connection body to pressurize the inside of the inspection object. A first valve disposed between the connection body and the pressurizing pump, a pressure sensor that measures an internal pressure of the connection body, a second valve that leaks inside the connection body, and the pressurization And a controller for controlling the pump, the first valve, and the second valve, and receiving a signal from the pressure sensor. A function of sealing the inside of the inspection object, a function of measuring an internal pressure of the inspection object, obtaining a pressure measurement value, and a function of determining whether the pressure measurement value satisfies a correction condition; Above A function to obtain a pressure correction value by correcting the pressure measurement value when it is determined to correct, and based on the pressure measurement value or the pressure correction value, Provided is a program for realizing a function for determining leakage.
It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

漏洩検査装置１００の概要を示すブロック図である。1 is a block diagram showing an outline of a leakage inspection apparatus 100. FIG. 漏洩検査方法２００を示すフローチャートである。5 is a flowchart showing a leakage inspection method 200. 漏洩検査方法２００における要補正の判断の一例を示すフローチャートである。5 is a flowchart showing an example of determination of correction required in the leakage inspection method 200. 要補正と判断される場合の具体例を示すグラフである。It is a graph which shows the specific example in case it is judged that correction is required. 要補正と判断される場合の具体例を示すグラフである。It is a graph which shows the specific example in case it is judged that correction is required. 漏洩検査方法２００における補正準備処理の一例を示すフローチャートである。5 is a flowchart illustrating an example of a correction preparation process in the leakage inspection method 200. 漏洩検査方法２００における補正処理の一例を示すフローチャートである。5 is a flowchart illustrating an example of correction processing in the leakage inspection method 200. 漏洩検査方法３００を示すフローチャートである。5 is a flowchart showing a leakage inspection method 300. 漏洩検査方法３００における補正不要の判断の一例を示すフローチャートである。5 is a flowchart illustrating an example of determination of no correction required in the leakage inspection method 300. 補正不要と判断される場合の具体例を示すグラフである。It is a graph which shows the specific example in case it is judged that correction | amendment is unnecessary. 漏洩検査方法３００における補正不要の判断の他の例を示すフローチャートである。12 is a flowchart showing another example of determination of no correction required in the leakage inspection method 300. 漏洩検査方法４００を示すフローチャートである。5 is a flowchart showing a leakage inspection method 400. 漏洩検査方法４００における補正不可の判断の一例を示すフローチャートである。10 is a flowchart illustrating an example of determination of non-correction in the leakage inspection method 400. 補正不可と判断される場合の具体例を示すグラフである。It is a graph which shows the specific example in case it is judged that correction | amendment is impossible. 漏洩検査方法４００における補正不可処理の一例を示すフローチャートである。10 is a flowchart illustrating an example of correction impossible processing in the leakage inspection method 400; 漏洩検査方法５００を示すフローチャートである。5 is a flowchart showing a leakage inspection method 500. 漏洩検査方法５００における補正処理の判断の一例を示すフローチャートである。10 is a flowchart illustrating an example of determination of correction processing in the leakage inspection method 500. 漏洩検査方法５００における補正処理の判断の他の例を示すフローチャートである。12 is a flowchart illustrating another example of determination of correction processing in the leakage inspection method 500. 漏洩検査方法６００を示すフローチャートである。5 is a flowchart showing a leakage inspection method 600.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

（実施形態１）
図１は、漏洩検査装置１００の概要を示すブロック図である。漏洩検査装置１００は、は、検査対象物１２０における漏洩の有無を検査する。漏洩検査装置１００は、接続体１０２と、接続フランジ１０４と、圧力センサ１０６と、加圧ポンプ１０８と、コントローラ１１０と、表示部１１２と、第１バルブ１１４と、第２バルブ１１６とを有する。検査対象物１２０として、ガス配管、水道管等の配管を例示することができる。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a block diagram showing an outline of the leakage inspection apparatus 100. The leakage inspection apparatus 100 inspects the inspection target 120 for leakage. The leakage inspection apparatus 100 includes a connection body 102, a connection flange 104, a pressure sensor 106, a pressurizing pump 108, a controller 110, a display unit 112, a first valve 114, and a second valve 116. Examples of the inspection object 120 include pipes such as gas pipes and water pipes.

接続体１０２は、接続フランジ１０４を介して検査対象物１２０に接続され、接続体１０２の内部は検査対象物１２０の内部と同じ圧力に維持される。接続体１０２には、圧力センサ１０６が接続され、第１バルブ１１４を介して加圧ポンプ１０８が接続される。接続体１０２は、内部の圧力が大気圧より高い加圧状態あるいは大気圧より低い減圧状態に維持できる限り、材質に限定はない。ステンレススチール等の金属、ポリカーボネート等のプラスチックを例示することができる。   The connection body 102 is connected to the inspection object 120 via the connection flange 104, and the inside of the connection body 102 is maintained at the same pressure as the inside of the inspection object 120. A pressure sensor 106 is connected to the connection body 102, and a pressurizing pump 108 is connected via a first valve 114. There is no limitation on the material of the connection body 102 as long as the internal pressure can be maintained in a pressurized state higher than atmospheric pressure or a reduced pressure lower than atmospheric pressure. Examples thereof include metals such as stainless steel and plastics such as polycarbonate.

接続フランジ１０４は、接続体１０２と検査対象物１２０とを気密に接続する気密部材である。接続フランジ１０４によって接続体１０２と検査対象物１２０とが気密に接続され、検査対象物１２０の内部と接続体１０２の内部が同じ圧力に維持される。   The connection flange 104 is an airtight member that hermetically connects the connection body 102 and the inspection object 120. The connection body 102 and the inspection object 120 are hermetically connected by the connection flange 104, and the inside of the inspection object 120 and the inside of the connection body 102 are maintained at the same pressure.

圧力センサ１０６は、接続体１０２の内部圧力を測定する。圧力センサ１０６の種類は限定されないが、測定した圧力値を容易に取り扱う観点から、出力が電気信号等で得られる形態の圧力センサが好ましい。   The pressure sensor 106 measures the internal pressure of the connection body 102. Although the kind of pressure sensor 106 is not limited, the pressure sensor of the form from which an output is obtained with an electrical signal etc. from a viewpoint of handling the measured pressure value easily is preferable.

加圧ポンプ１０８は、接続体１０２の内部を加圧することで検査対象物１２０の内部を昇圧する。加圧ポンプ１０８の種類に限定なない。加圧ポンプ１０８と接続体１０２との間には第１バルブ１１４が配置され、接続体１０２には第２バルブ１１６が接続されている。第２バルブ１１６を開くことで、接続体１０２の内部を大気開放することができる。第１バルブ１１４と第２バルブ１１６を閉じることで、接続体１０２の内部および検査対象物１２０の内部を封止することができる。   The pressurizing pump 108 pressurizes the inside of the connection object 102 to pressurize the inside of the inspection object 120. The type of the pressure pump 108 is not limited. A first valve 114 is disposed between the pressurizing pump 108 and the connection body 102, and a second valve 116 is connected to the connection body 102. By opening the second valve 116, the inside of the connection body 102 can be opened to the atmosphere. By closing the first valve 114 and the second valve 116, the inside of the connection body 102 and the inside of the inspection object 120 can be sealed.

コントローラ１１０は、加圧ポンプ１０８、第１バルブ１１４および第２バルブ１１６を制御し、圧力センサ１０６からの信号を受信する。コントローラ１１０は、加圧ポンプ１０８、第１バルブ１１４および第２バルブ１１６を制御することで、検査対象物１２０の内部を昇圧し封止し、検査対象物１２０の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に圧力測定値を補正して圧力補正値を得、圧力測定値または圧力補正値に基づき、検査対象物１２０の漏洩を判定する。なお、検査対象物１２０が加圧された状態にあり、加圧状態の検査対象物１２０に、接続体１０２を接続することが可能な場合には、加圧ポンプ１０８により昇圧しなくても、接続体１０２および検査対象物１２０の内部圧力を所定の加圧状態にすることができる場合がある。このような場合、封止前の昇圧は必ずしも必要ではない。   The controller 110 controls the pressurizing pump 108, the first valve 114 and the second valve 116 and receives a signal from the pressure sensor 106. The controller 110 controls the pressurizing pump 108, the first valve 114, and the second valve 116 to boost and seal the inside of the inspection target 120, measure the internal pressure of the inspection target 120, and measure the pressure. Obtain a value, determine whether the measured pressure value meets the required correction conditions, determine whether to correct the measured pressure value, and if it is determined to correct, correct the measured pressure value to obtain the corrected pressure value. Based on the measured value or the pressure correction value, the leakage of the inspection object 120 is determined. If the inspection object 120 is in a pressurized state and the connection body 102 can be connected to the inspection object 120 in a pressurized state, the pressure does not need to be increased by the pressure pump 108. In some cases, the internal pressure of the connection body 102 and the inspection object 120 can be set to a predetermined pressure state. In such a case, boosting before sealing is not always necessary.

表示部１１２は、コントローラ１１０によって制御され、コントローラ１１０が判定した検査対象物１２０の漏洩についての判定結果を表示する。表示部１１２として液晶表示装置が例示できるが、プリンタ等の印刷手段であってもよい。また、表示部１１２は、警告音等を発する音響出力装置を備えてもよい。   The display unit 112 is controlled by the controller 110 and displays a determination result regarding the leakage of the inspection object 120 determined by the controller 110. A liquid crystal display device can be exemplified as the display unit 112, but a printing unit such as a printer may be used. The display unit 112 may include a sound output device that emits a warning sound or the like.

図２は、本実施形態の漏洩検査方法２００を示すフローチャートである。漏洩検査方法２００は、上記した漏洩検査装置１００を用いて漏洩検査を実施することができる。   FIG. 2 is a flowchart showing a leakage inspection method 200 of the present embodiment. The leakage inspection method 200 can perform a leakage inspection using the leakage inspection apparatus 100 described above.

漏洩検査装置１００を検査対象物１２０に接続し（ステップ２０２）、加圧ポンプ１０８により検査対象物１２０の内部を大気圧より高い圧力に昇圧し、第１バルブ１１４を閉じて検査対象物１２０を封止する（ステップ２０４）。検査対象物１２０の内部を昇圧し封止した状態で、検査対象物１２０の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る（ステップ２０６）。なお、検査対象物１２０の内部が大気圧より高い加圧状態にある場合、前記したとおり、加圧ポンプ１０８による昇圧は必ずしも必要ではない。   The leakage inspection apparatus 100 is connected to the inspection object 120 (step 202), the inside of the inspection object 120 is increased to a pressure higher than the atmospheric pressure by the pressurizing pump 108, the first valve 114 is closed, and the inspection object 120 is moved. Seal (step 204). In a state where the inside of the inspection object 120 is pressurized and sealed, the internal pressure of the inspection object 120 is measured to obtain a pressure measurement value (step 206). When the inside of the inspection object 120 is in a pressurized state higher than the atmospheric pressure, as described above, the pressure increase by the pressure pump 108 is not necessarily required.

得られた圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し（ステップ２０８）、圧力測定値が要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行し（ステップ２１０）、次のステップ２１２に進む。ステップ２０８で圧力測定値が要補正条件に合致しないと判断した場合には、補正準備処理を実行することなく、次のステップ２１２に進む。なお、ステップ２１０の補正準備処理では、後に説明するステップ２１４（圧力測定値を補正するかの判断）における判断基準の具体例として補正フラグが例示でき、当該補正フラグをＯＮにして、要補正条件に合致したことを記録することができる。   It is determined whether or not the obtained pressure measurement value meets the necessary correction condition (step 208). If it is determined that the pressure measurement value meets the necessary correction condition, a correction preparation process is executed (step 210). Proceed to step 212. If it is determined in step 208 that the pressure measurement value does not meet the correction requirement condition, the process proceeds to the next step 212 without executing the correction preparation process. In the correction preparation process in step 210, a correction flag can be exemplified as a specific example of a determination criterion in step 214 (determination of whether to correct the pressure measurement value), which will be described later. Can be recorded.

ステップ２１２では、内部圧力の測定が、所定時間または所定回数繰り返されたかを判断し（ステップ２１２）、所定時間または所定回数繰り返されていなければステップ２０６に戻ってステップ２０６〜２１２を繰り返す。ステップ２１２で内部圧力の測定が所定時間または所定回数繰り返されたと判断した場合には、測定を終了し、次のステップ２１４に進む。   In step 212, it is determined whether the measurement of the internal pressure has been repeated for a predetermined time or a predetermined number of times (step 212). If not repeated for a predetermined time or a predetermined number of times, the process returns to step 206 and steps 206 to 212 are repeated. If it is determined in step 212 that the measurement of the internal pressure has been repeated for a predetermined time or a predetermined number of times, the measurement ends and the process proceeds to the next step 214.

ステップ２１４では、圧力測定値を補正するかの判断、具体的には補正フラグがＯＮであるかを判断し（ステップ２１４）、補正すると判断しなかった場合、具体的には補正フラグがＯＦＦであった場合には、圧力測定値に基づき検査対象物１２０の漏洩を判定する（ステップ２１６）。ステップ２１４の判断が、補正するとの判断であった場合、具体的には補正フラグがＯＮの場合、補正処理の実行すなわち圧力測定値を補正して圧力補正値を得（ステップ２１８）、補正処理で得られた圧力補正値に基づき検査対象物１２０の漏洩を判定する（ステップ２２０）。   In step 214, it is determined whether to correct the pressure measurement value, specifically whether the correction flag is ON (step 214). If it is not determined to correct, the correction flag is specifically OFF. If there is, the leakage of the inspection object 120 is determined based on the pressure measurement value (step 216). If the determination in step 214 is a determination to correct, specifically, if the correction flag is ON, the correction process is executed, that is, the pressure measurement value is corrected to obtain a pressure correction value (step 218), and the correction process is performed. The leakage of the inspection object 120 is determined based on the pressure correction value obtained in (Step 220).

ステップ２１６またはステップ２２０で行った漏洩判定の結果を、表示部１１２に表示し（ステップ２２２）、漏洩検査方法２００の処理を終了する（ステップ２２４）。   The result of the leakage determination performed in step 216 or step 220 is displayed on the display unit 112 (step 222), and the processing of the leakage inspection method 200 is terminated (step 224).

図３は、漏洩検査方法２００における要補正の判断（ステップ２０８）の一例を示すフローチャートである。要補正の判断は、取得された圧力測定値が、要補正条件に合致するか否かで判断する。要補正条件に合致する場合、補正準備処理（ステップ２１０）を実行する。以下、漏洩検査方法２００を説明する。なお、以下の説明において、Ｐｍは圧力測定値、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅を表す。   FIG. 3 is a flowchart showing an example of determination of correction required (step 208) in the leakage inspection method 200. Judgment of the necessity of correction is made based on whether or not the acquired pressure measurement value matches the correction required condition. If the correction condition is necessary, correction preparation processing (step 210) is executed. Hereinafter, the leakage inspection method 200 will be described. In the following description, Pm represents a pressure measurement value, Pi represents a starting pressure, ΔPdec represents an allowable decrease range, and ΔPinc represents an allowable increase range.

まず、得られた圧力測定値Ｐｍが最初の測定によるものかを判断し（ステップ２２６）、最初の測定である場合には、開始圧力Ｐｉに圧力測定値Ｐｍを代入する（ステップ２２８）。そうでない場合には次のステップに進む。   First, it is determined whether or not the obtained pressure measurement value Pm is based on the first measurement (step 226). If it is the first measurement, the pressure measurement value Pm is substituted for the start pressure Pi (step 228). If not, go to the next step.

次ステップでは、Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、すなわち圧力測定値Ｐｍが開始圧力Ｐｉから許容減少幅ΔＰｄｅｃを超えて低下したかを判断し（ステップ２３０）、真である場合には補正準備処理を実行する（ステップ２３２）。そうでない場合は次のステップに進む。   In the next step, it is determined whether Pm <Pi−ΔPdec, that is, the pressure measurement value Pm has decreased from the starting pressure Pi beyond the allowable decrease range ΔPdec (step 230). If true, correction preparation processing is executed. (Step 232). If not, go to the next step.

次のステップでは、Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、すなわち圧力測定値Ｐｍが開始圧力Ｐｉから許容増加幅ΔＰｉｎｃを超えて増加したかを判断し（ステップ２３４）、真である場合には補正準備処理を実行する（ステップ２３６）。そうでない場合は次のステップに進む。そうでない場合は、図２の処理に戻る（ステップ２４６）。   In the next step, it is determined whether Pm> Pi + ΔPinc, that is, whether the pressure measurement value Pm has increased beyond the allowable increase width ΔPinc from the starting pressure Pi (step 234). If true, correction preparation processing is executed (step 234). Step 236). If not, go to the next step. Otherwise, the process returns to the process of FIG. 2 (step 246).

図４および図５は、要補正と判断される場合の具体例を示すグラフである。図４および図５において、横軸は測定開始からの経過時間を示し、縦軸は測定圧力値を示す。   4 and 5 are graphs showing specific examples when it is determined that correction is necessary. 4 and 5, the horizontal axis indicates the elapsed time from the start of measurement, and the vertical axis indicates the measured pressure value.

図４に示すように、測定の開始時にＰｉであった圧力が、ｔ１の時点で許容減少幅ΔＰｄｅｃを超えて低下している。このような場合、測定圧力値の低下は、漏洩によるものか温度変化によるものか判然としない。このため、補正処理を行って温度変化に起因する圧力変動分を補正し、漏洩の有無を判断する必要がある。よって、ステップ２３０の判断のように、圧力測定値Ｐｍが開始圧力Ｐｉから許容減少幅ΔＰｄｅｃを超えて低下した場合には、要補正と判断することとした。   As shown in FIG. 4, the pressure that was Pi at the start of the measurement is decreased beyond the allowable decrease width ΔPdec at the time t <b> 1. In such a case, it is unclear whether the decrease in the measured pressure value is due to leakage or temperature change. For this reason, it is necessary to perform correction processing to correct the pressure fluctuation caused by the temperature change, and determine whether or not there is a leak. Therefore, when the pressure measurement value Pm decreases from the start pressure Pi beyond the allowable decrease width ΔPdec as in the determination in step 230, it is determined that correction is necessary.

図５に示すように、測定の開始時にＰｉであった圧力が、ｔ２の時点で許容増加幅ΔＰｉｎｃを超えて上昇している。測定中、検査対象物１２０の内部を加圧することはないので、このような測定圧力値の上昇は温度変化の影響を受けていると推察できるが、漏洩が存在するか否かは判然としない。このため、温度変化による圧力変動分を補正により差し引き、漏洩の有無を判断する必要がある。よって、ステップ２３４の判断のように、圧力測定値Ｐｍが開始圧力Ｐｉから許容増加幅ΔＰｉｎｃを超えて増加した場合には、要補正と判断することとした。   As shown in FIG. 5, the pressure that was Pi at the start of the measurement increases beyond the allowable increase width ΔPinc at the time t2. Since the inside of the test object 120 is not pressurized during the measurement, it can be assumed that such an increase in the measured pressure value is affected by the temperature change, but it is not clear whether there is a leak. . For this reason, it is necessary to subtract the pressure fluctuation due to temperature change by correction to determine the presence or absence of leakage. Therefore, when the pressure measurement value Pm increases beyond the allowable increase width ΔPinc from the starting pressure Pi as in the determination in step 234, it is determined that correction is necessary.

図４および図５で説明した、要補正と判断する場合の具体例は、あくまでも例示であって、これに限られるものではない。   The specific example in the case where it is determined that the correction is necessary described with reference to FIGS. 4 and 5 is merely an example, and is not limited thereto.

図６は、補正準備処理２１０の一例を示すフローチャートである。補正準備処理２１０を開始すると、まず、圧力測定値が要補正条件に合致したことの報知、たとえば警告音を発する（ステップ２４８）。報知は、警告音に限らず、たとえばＬＥＤ等光源の点滅や、装置の振動であってもよい。   FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of the correction preparation process 210. When the correction preparatory process 210 is started, first, a notification that the measured pressure value matches the required correction condition, for example, a warning sound is generated (step 248). The notification is not limited to a warning sound, and may be, for example, blinking of a light source such as an LED or vibration of the apparatus.

次に、ステップ２０６の繰り返しで得られた複数の圧力測定値を表示部１１２に表示し（ステップ２５０）、漏洩検査を継続するか中止するかの入力を要求する。当該要求に応じた入力が継続の旨か中止の旨かを判断し（ステップ２５２）、中止する旨の入力である場合には処理を中止する（ステップ２５４）。   Next, a plurality of pressure measurement values obtained by repeating Step 206 is displayed on the display unit 112 (Step 250), and an input is requested to continue or cancel the leak test. It is determined whether the input corresponding to the request is to be continued or cancelled (step 252). If the input is to cancel, the process is stopped (step 254).

ステップ２５２の判断が継続する旨の入力である場合には、処理を継続し、ステップ２５６に進む。ステップ２５６では、補正フラグをＯＮにし（ステップ２５６）、図２の処理に戻る（ステップ２５８）。   If the input in step 252 indicates that the determination is to be continued, the process is continued and the process proceeds to step 256. In step 256, the correction flag is turned ON (step 256), and the process returns to the process of FIG. 2 (step 258).

図７は、補正処理２１８の一例を示すフローチャートである。補正処理２１８を開始すると、まず、第２バルブ１１６を開いて、検査対象物１２０の内部を大気圧に減圧する（ステップ２６０）。次に、第２バルブ１１６を閉じ、検査対象物１２０の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る（ステップ２６２）。仮に検査対象物１２０に漏洩箇所があったとしても、大気圧状態では当該漏洩箇所からの漏洩は殆ど発生しないので、内部圧力の変動があると、温度変化に起因する圧力変動とみなすことができる。   FIG. 7 is a flowchart illustrating an example of the correction process 218. When the correction process 218 is started, first, the second valve 116 is opened, and the inside of the inspection object 120 is reduced to atmospheric pressure (step 260). Next, the second valve 116 is closed, the internal pressure of the inspection object 120 is measured, and a pressure measurement value is obtained (step 262). Even if there is a leakage point in the inspection object 120, since leakage from the leakage point hardly occurs in the atmospheric pressure state, if there is a variation in internal pressure, it can be regarded as a pressure variation due to a temperature change. .

内部圧力の測定が、所定時間または所定回数繰り返されたかを判断し（ステップ２６４）、所定時間または所定回数繰り返されていなければステップ２６２に戻って内部圧力の測定を繰り返す。ステップ２６４で内部圧力の測定が所定時間または所定回数繰り返されたと判断した場合には、測定を終了し、次のステップ２６６に進む。   It is determined whether the measurement of the internal pressure has been repeated for a predetermined time or a predetermined number of times (step 264). If the measurement has not been repeated for a predetermined time or the predetermined number of times, the process returns to step 262 to repeat the measurement of the internal pressure. If it is determined in step 264 that the measurement of the internal pressure has been repeated for a predetermined time or a predetermined number of times, the measurement is terminated and the process proceeds to the next step 266.

ステップ２６６では、大気圧における圧力測定値から温度変化による圧力変動値を算出する（ステップ２６６）。ステップ２６６で算出された圧力変動値を、昇圧時の圧力測定値から差し引き、圧力補正値を得る（ステップ２６８）。その後、図２の処理に戻る（ステップ２７０）。   In step 266, a pressure fluctuation value due to temperature change is calculated from the pressure measurement value at atmospheric pressure (step 266). The pressure fluctuation value calculated in step 266 is subtracted from the pressure measurement value during pressure increase to obtain a pressure correction value (step 268). Thereafter, the process returns to the process of FIG. 2 (step 270).

ステップ２６６で算出された圧力変動値は、温度変化による圧力変動とみなせるので、ステップ２６８で得られた圧力補正値は、温度変化による圧力変動の影響が取り除かれた値とみなすことができる。   Since the pressure fluctuation value calculated in step 266 can be regarded as a pressure fluctuation due to a temperature change, the pressure correction value obtained in step 268 can be regarded as a value from which the influence of the pressure fluctuation due to the temperature change is removed.

上記した漏洩検査装置１００および漏洩検査方法２００によれば、補正処理が必要な場合を要補正の判断ステップによって判断し、必要と判断した場合には確実に補正処理を施し、補正処理によって得た圧力補正値により漏洩有無の判定を行う。他方、補正処理が必要と判断されない場合は補正処理が必要でないと推定し、このような場合には補正処理を省略して検査時間の短縮を図ることができる。その結果、不要な補正処理を排除して、検査の効率を高めることが可能になる。   According to the leakage inspection apparatus 100 and the leakage inspection method 200 described above, a case where correction processing is necessary is determined by a determination step requiring correction, and when it is determined that correction is necessary, the correction processing is reliably performed and obtained by the correction processing. The presence or absence of leakage is determined based on the pressure correction value. On the other hand, when it is not determined that the correction process is necessary, it is estimated that the correction process is not necessary. In such a case, the correction process can be omitted to shorten the inspection time. As a result, unnecessary correction processing can be eliminated and inspection efficiency can be increased.

なお、上記ステップ２３０からステップ２３４の判断順序は例示であり、その順序を適宜入れ替えてもよい。   Note that the order of determination from step 230 to step 234 is an example, and the order may be appropriately changed.

（実施形態２）
図８は、本発明の他の実施形態である漏洩検査方法３００を示すフローチャートである。漏洩検査方法３００は、補正不要の判断（ステップ３０２）を有する以外は漏洩検査方法２００と同じである。漏洩検査方法２００と共通するステップについては説明を省略する。 (Embodiment 2)
FIG. 8 is a flowchart showing a leakage inspection method 300 according to another embodiment of the present invention. The leakage inspection method 300 is the same as the leakage inspection method 200 except that it has a determination that correction is unnecessary (step 302). Description of the steps common to the leakage inspection method 200 is omitted.

図８のステップ２１４の判断で補正フラグがＯＦＦであった場合（補正フラグがＯＮであるかの判断においてＮｏであった場合）、ステップ３０２に進み、ステップ３０２では補正不要の条件に合致するかを判断する（ステップ３０２）。ステップ３０２で補正不要と判断された場合、ステップ２１６に進んで圧力測定値に基づき漏洩判定を行い（ステップ２１６）、補正不要と判断されなかった場合、ステップ２１８に進んで補正処理を行い（ステップ２１８）、補正処理で得た圧力補正値に基づき漏洩判定を行う（ステップ２２０）。   If it is determined in step 214 of FIG. 8 that the correction flag is OFF (No in the determination of whether the correction flag is ON), the process proceeds to step 302. In step 302, whether a correction-unnecessary condition is met. Is determined (step 302). If it is determined in step 302 that correction is not necessary, the process proceeds to step 216 to perform leakage determination based on the pressure measurement value (step 216). If it is not determined that correction is not necessary, the process proceeds to step 218 and correction processing is performed (step 216). 218) Leakage determination is performed based on the pressure correction value obtained by the correction process (step 220).

すなわち、ステップ２０８で要補正と判断されず、ステップ３０２で補正不要とも判断されない場合、補正処理を行って漏洩判定する手順と補正処理を行わず漏洩判定する手順のどちらもとり得るが、検査の信頼性を高める観点からは、確実に補正が不要な場合のみ補正処理を省略し、何れとも判断できない場合は念のため補正処理を行うことが好ましいと考えられる。よって、本実施形態の漏洩検査方法３００では、補正が不要とも必要とも判断されない場合は、補正処理を行うこととしたものである。   That is, if it is not determined that the correction is required in step 208 and it is not determined that the correction is not necessary in step 302, both the procedure for determining leakage by performing correction processing and the procedure for determining leakage without performing correction processing can be taken. From the viewpoint of improving the performance, it is considered preferable to omit the correction process only when the correction is not absolutely necessary, and to perform the correction process just in case when neither can be determined. Therefore, in the leakage inspection method 300 of the present embodiment, correction processing is performed when it is not determined that correction is unnecessary or necessary.

図９は、補正不要の判断３０２の一例を示すフローチャートである。補正不要の判断３０２を開始すると、ステップ２０６の繰り返し測定で得られた複数の圧力測定値について、最初のデータであるかを判断し（ステップ３０４）、最初のデータである場合、開始圧力Ｐｉに最初の圧力測定値Ｐｍを代入する（ステップ３０６）。そうでない場合は次のステップに進む。   FIG. 9 is a flowchart illustrating an example of determination 302 that does not require correction. When the correction-unnecessary determination 302 is started, it is determined whether or not the plurality of pressure measurement values obtained by the repeated measurement in step 206 is the first data (step 304), and if it is the first data, the start pressure Pi is set. The first measured pressure value Pm is substituted (step 306). If not, go to the next step.

次のステップ３０８では、圧力測定値Ｐｍが、｜Ｐｍ−Ｐｉ｜≦ΔＰの条件を満足するかを判断する（ステップ３０８）。ここでΔＰは許容変動幅である。ステップ３０８で条件を満足すると判断した場合は、次のステップ３１２に進み、満足しないと判断した場合は、直ちに補正不要ではないと判断する（ステップ３１０）。   In the next step 308, it is determined whether or not the pressure measurement value Pm satisfies a condition of | Pm−Pi | ≦ ΔP (step 308). Here, ΔP is an allowable fluctuation range. If it is determined in step 308 that the condition is satisfied, the process proceeds to the next step 312. If it is determined that the condition is not satisfied, it is immediately determined that correction is not necessary (step 310).

全データ（全ての圧力測定値）について判断したかを判断し（ステップ３１２）、全データの判断が未了である場合はステップ３０８からの処理を繰り返し、全データの判断を終了した場合には、補正不要と判断する（ステップ３１４）。   It is determined whether all data (all pressure measurement values) have been determined (step 312). If all data has not been determined, the processing from step 308 is repeated, and if all data has been determined, Then, it is determined that correction is unnecessary (step 314).

図１０は、補正不要と判断される場合の具体例を示すグラフである。所定の経過時間の間、開始圧力Ｐｉからの圧力測定値の変動は許容変動幅ΔＰの範囲内に納まっている。このような状況は、何の圧力変動も生じていない状況であり、漏洩による圧力低下と温度変化による圧力上昇がバランスしている可能性を排除することはできないが、そのような可能性は低いことから、漏洩による圧力低下も温度変化による圧力変動も発生していない状況であると推定し、補正不要と判断することにしたものである。   FIG. 10 is a graph showing a specific example when it is determined that correction is unnecessary. During a predetermined elapsed time, the variation of the pressure measurement value from the start pressure Pi is within the allowable variation range ΔP. Such a situation is a situation in which no pressure fluctuation occurs, and the possibility that the pressure drop due to leakage and the pressure increase due to temperature change are balanced cannot be excluded, but such possibility is low. Therefore, it is estimated that there is no pressure drop due to leakage and no pressure fluctuation due to temperature change, and it is determined that correction is unnecessary.

なお、漏洩による圧力低下と温度変化による圧力上昇が丁度バランスすることによる圧力無変動の可能性を解除する観点から、図１１に示すように、ステップ３１２のあとに、内部圧力測定中に温度変化が有ったか無かったかを判断するステップ（ステップ３２０）をさらに有することができる。温度変化が有ったか無かったかの判断は、たとえば、漏洩検査装置１００の部材や外気温の測定データ、検査対象物１２０の温度測定データ、気象庁等から提供される気温データ等により、あるいは、これらデータを総合的に勘案することにより、判断することが可能である。ステップ３２０において、内部圧力測定中に温度変化が無かったと判断された場合には補正不要と判断し（ステップ３１４）、温度変化が有った場合には補正不要ではないと判断する（ステップ３１０）。   In addition, from the viewpoint of canceling the possibility of no pressure fluctuation due to the balance between the pressure drop due to leakage and the pressure increase due to temperature change, as shown in FIG. It may further include a step (step 320) of determining whether or not there is. The determination as to whether or not there has been a temperature change is made, for example, based on the members of the leakage inspection apparatus 100, measurement data of the outside air temperature, temperature measurement data of the inspection object 120, temperature data provided by the Japan Meteorological Agency, or the like, or these data It is possible to make a judgment by comprehensively considering the above. If it is determined in step 320 that there is no temperature change during the internal pressure measurement, it is determined that correction is unnecessary (step 314), and if there is a temperature change, it is determined that correction is not necessary (step 310). .

漏洩検査方法３００によれば、補正が不要な場合を明確にし、このような場合には補正処理を省略することで、漏洩検査の効率を高めることができる。同時に、補正が必要であると判断されず、かつ補正が不要であるとも判断されないような、補正の要否が曖昧な場合、念のため補正処理を行うことで、漏洩検査の信頼性を高めることができる。よって、漏洩検査の信頼性を高めつつ、検査の効率を高めることができる。また、内部圧力測定中の温度変化の有無を判断することにより、さらに正確な漏洩検査を実施することができる。   According to the leakage inspection method 300, it is possible to clarify the case where the correction is unnecessary, and in such a case, the correction process can be omitted, thereby improving the efficiency of the leakage inspection. At the same time, if the necessity of correction is ambiguous if it is not determined that correction is necessary and it is not determined that correction is not necessary, the reliability of leak inspection is improved by performing correction processing just in case. be able to. Therefore, the efficiency of the inspection can be increased while improving the reliability of the leakage inspection. Further, a more accurate leakage inspection can be performed by determining whether there is a temperature change during the internal pressure measurement.

（実施形態３）
図１２は、本発明の他の実施形態である漏洩検査方法４００を示すフローチャートである。漏洩検査方法４００は、補正不可の判断（ステップ４０２）を有する以外は漏洩検査方法２００と同じである。漏洩検査方法２００と共通するステップについては説明を省略する。 (Embodiment 3)
FIG. 12 is a flowchart showing a leakage inspection method 400 according to another embodiment of the present invention. The leakage inspection method 400 is the same as the leakage inspection method 200 except that it has a determination that correction is not possible (step 402). Description of the steps common to the leakage inspection method 200 is omitted.

ステップ２０６で測定した内部圧力が、補正不可条件を満足するかを判断し（ステップ４０２）、補正不可条件に合致する場合には補正不可処理を実施し（ステップ４０４）、合致しない場合にはステップ２１２に進んで処理を継続する。   It is determined whether the internal pressure measured in step 206 satisfies the uncorrectable condition (step 402). If the internal pressure meets the uncorrectable condition, the uncorrectable process is performed (step 404). Proceed to 212 and continue processing.

図１３は、漏洩検査方法４００における補正不可の判断（ステップ４０２）の一例を示すフローチャートである。補正不可の判断は、取得された圧力測定値が、補正不可条件に合致するか否かで判断する。補正不可条件に合致する場合、補正不可処理（ステップ４０４）を実行する。なお、以下の説明において、Ｐｍは圧力測定値、Ｐｉは開始圧力、Ｐｍｉｎは最小圧力、ΔＰｕｐは許容上昇幅、Ｐｍａｘは最大圧力、ΔＰｄｎは許容下降幅を表す。   FIG. 13 is a flowchart showing an example of the determination that correction is not possible (step 402) in the leakage inspection method 400. Whether or not correction is possible is determined based on whether or not the acquired pressure measurement value matches the correction impossible condition. If the correction impossible condition is met, the correction impossible process (step 404) is executed. In the following description, Pm represents a pressure measurement value, Pi represents a starting pressure, Pmin represents a minimum pressure, ΔPup represents an allowable increase width, Pmax represents a maximum pressure, and ΔPdn represents an allowable decrease width.

まず、得られた圧力測定値Ｐｍが最初の測定によるものかを判断し（ステップ４０６）、最初の測定である場合には、最小圧力Ｐｍｉｎおよび最大圧力Ｐｍａｘに圧力測定値Ｐｍを代入する（ステップ４０８）。そうでない場合には次のステップに進む。   First, it is determined whether or not the obtained pressure measurement value Pm is based on the first measurement (step 406). If it is the first measurement, the pressure measurement value Pm is substituted for the minimum pressure Pmin and the maximum pressure Pmax (step 406). 408). If not, go to the next step.

次に、Ｐｍ＜Ｐｍｉｎであるかを判断し（ステップ４１０）、真である場合には最小圧力ＰｍｉｎにＰｍを代入する（ステップ４１２）。そうでない場合は次のステップに進む。次ステップでは、Ｐｍ＞Ｐｍｉｎ＋ΔＰｕｐ、すなわち圧力測定値Ｐｍが最小圧力Ｐｍｉｎから許容上昇幅ΔＰｕｐを超えて上昇したかを判断し（ステップ４１４）、真である場合には補正不可処理を実行する（ステップ４１６）。   Next, it is determined whether Pm <Pmin (step 410). If true, Pm is substituted for the minimum pressure Pmin (step 412). If not, go to the next step. In the next step, it is determined whether Pm> Pmin + ΔPup, that is, whether the pressure measurement value Pm has risen from the minimum pressure Pmin beyond the allowable increase width ΔPup (step 414). 416).

次に、Ｐｍ＞Ｐｍａｘであるかを判断し（ステップ４１８）、真である場合には最大圧力ＰｍａｘにＰｍを代入する（ステップ４２０）。そうでない場合は次のステップに進む。次ステップでは、Ｐｍ＜Ｐｍａｘ−ΔＰｄｎ、すなわち圧力測定値Ｐｍが最大圧力Ｐｍａｘから許容下降幅ΔＰｄｎを超えて下降したかを判断し（ステップ４２２）、真である場合には補正不可処理を実行する（ステップ４２４）。そうでない場合は、図１２の処理に戻る（ステップ２４６）。   Next, it is determined whether Pm> Pmax (step 418). If true, Pm is substituted for the maximum pressure Pmax (step 420). If not, go to the next step. In the next step, it is determined whether Pm <Pmax−ΔPdn, that is, the pressure measurement value Pm has fallen from the maximum pressure Pmax beyond the allowable drop width ΔPdn (step 422). If true, a correction impossible process is executed. (Step 424). Otherwise, the process returns to the process of FIG. 12 (step 246).

図１４は、補正不可と判断される場合の具体例を示すグラフである。図１４において、横軸は測定開始からの経過時間を示し、縦軸は測定圧力値を示す。図１４に示すように、測定の開始時にＰｉであった圧力が、ｔ３の時点で許容減少幅ΔＰｄｅｃを超えて低下し、さらにｔ４の時点で最小圧力Ｐｍｉｎまで低下した圧力が、一転上昇に転じ、ｔ５の時点で許容上昇幅ΔＰｕｐを超えて上昇している。当該挙動は明らかに異常な挙動であることから、再測定することが妥当である。このため、最小圧力Ｐｍｉｎまで低下した圧力が、許容上昇幅ΔＰｕｐを超えて上昇した場合、再測定のための補正不可処理（ステップ４０４）を実行することとした。なお、最大圧力Ｐｍａｘまで上昇した圧力が許容下降幅ΔＰｄｎを超えて下降した場合も同様である。図１４で説明した、補正不可と判断する場合の具体例は、あくまでも例示であって、これに限られるものではない。   FIG. 14 is a graph showing a specific example when it is determined that correction is impossible. In FIG. 14, the horizontal axis indicates the elapsed time from the start of measurement, and the vertical axis indicates the measured pressure value. As shown in FIG. 14, the pressure that was Pi at the start of the measurement decreased beyond the allowable decrease range ΔPdec at the time t3, and further decreased to the minimum pressure Pmin at the time t4. , T5 exceeds the allowable increase width ΔPup. Since this behavior is clearly abnormal behavior, it is appropriate to remeasure. For this reason, when the pressure that has decreased to the minimum pressure Pmin increases beyond the allowable increase width ΔPup, a correction impossible process for remeasurement (step 404) is executed. The same applies when the pressure that has risen to the maximum pressure Pmax falls below the allowable fall width ΔPdn. The specific example in the case where it is determined that correction is impossible, described with reference to FIG. 14 is merely an example, and is not limited thereto.

図１５は、補正不可処理（ステップ４０４）の一例を示したフローチャートである。補正不可処理４０４を開始すると、圧力測定値が補正不可条件に合致したことの報知として、警告音を発し（ステップ４２８）、続けて再測定を促す旨のメッセージを表示部１１２に表示する（ステップ４３０）。その後、測定を中止し（ステップ４３２）、処理を終了する（ステップ４３４）。なお、報知は警告音に限らず、たとえばＬＥＤ等光源の点滅や、装置の振動であってもよい。   FIG. 15 is a flowchart showing an example of the correction impossible process (step 404). When the correction impossible process 404 is started, a warning sound is emitted as a notification that the pressure measurement value matches the correction impossible condition (step 428), and a message prompting remeasurement is displayed on the display unit 112 (step 428). 430). Thereafter, the measurement is stopped (step 432), and the process is ended (step 434). The notification is not limited to a warning sound, and may be, for example, blinking of a light source such as an LED or vibration of the apparatus.

漏洩検査方法４００によれば、補正不可条件によって、明らかに測定が異常な場合を検出し、その後の測定を中止することによって、無駄な測定の継続を避けることができる。これにより、漏洩検査の効率を高めることができる。   According to the leakage inspection method 400, it is possible to avoid the continuation of useless measurement by detecting a case where the measurement is clearly abnormal due to the correction impossible condition and stopping the subsequent measurement. Thereby, the efficiency of leak inspection can be increased.

（実施形態４）
図１６は、本発明のさらに他の実施形態である漏洩検査方法５００を示すフローチャートである。漏洩検査方法５００は、漏洩検査方法２００におけるステップ２０８およびステップ２１０を有さず、ステップ２０６の繰り返し測定で取得した全ての圧力測定値について補正処理の必要性を判断するステップ５０２を有する点で、漏洩検査方法２００と相違する。漏洩検査方法２００と共通するステップについては説明を省略する。 (Embodiment 4)
FIG. 16 is a flowchart showing a leakage inspection method 500 according to still another embodiment of the present invention. Leakage inspection method 500 does not include step 208 and step 210 in leakage inspection method 200, but includes step 502 that determines the necessity of correction processing for all pressure measurement values obtained in the repeated measurement of step 206. This is different from the leakage inspection method 200. Description of the steps common to the leakage inspection method 200 is omitted.

図１６のステップ２１２の判断で、測定が終了したと判断された場合、ステップ５０２に進み、補正処理の要否を判断する（ステップ５０２）。補正処理しないと判断された場合、ステップ２１６に進んで圧力測定値に基づき漏洩判定を行い（ステップ２１６）、補正処理すると判断された場合、ステップ２１８に進んで補正処理を行い（ステップ２１８）、補正処理で得た圧力補正値に基づき漏洩判定を行う（ステップ２２０）。   If it is determined in step 212 in FIG. 16 that the measurement has been completed, the process proceeds to step 502 to determine whether correction processing is necessary (step 502). If it is determined that the correction process is not performed, the process proceeds to step 216 to perform leakage determination based on the pressure measurement value (step 216). If it is determined to perform the correction process, the process proceeds to step 218 to perform the correction process (step 218). Leakage determination is performed based on the pressure correction value obtained by the correction process (step 220).

図１７は、漏洩検査方法５００における補正処理の判断５０２の一例を示すフローチャートである。ステップ５０２において要補正および補正不要の条件に合致するかを判断し、当該判断に基づき総合的に補正処理するまたは補正処理しないを判断する。   FIG. 17 is a flowchart illustrating an example of correction processing determination 502 in the leakage inspection method 500. In step 502, it is determined whether or not the conditions requiring correction and correction are required, and based on the determination, it is determined whether or not to perform correction processing comprehensively.

補正処理の判断５０２を開始すると、ステップ２０６の繰り返し測定で得られた複数の圧力測定値について、最初のデータであるかを判断し（ステップ５０４）、最初のデータである場合、開始圧力Ｐｉに最初の圧力測定値Ｐｍを代入し、補正不要フラグをＯＮにする（ステップ５０６）。そうでない場合は次のステップに進む。   When the determination 502 of the correction process is started, it is determined whether or not the plurality of pressure measurement values obtained by the repeated measurement in Step 206 is the first data (Step 504). If it is the first data, the start pressure Pi is set. The first pressure measurement value Pm is substituted, and the correction unnecessary flag is turned on (step 506). If not, go to the next step.

ステップ５０８では、｜Ｐｍ−Ｐｉ｜＞ΔＰであるかを判断し（ステップ５０８）、真である場合は補正不要フラグをＯＦＦにする（ステップ５１０）。そうでない場合は次のステップに進む。   In step 508, it is determined whether or not | Pm−Pi |> ΔP (step 508). If true, the correction unnecessary flag is turned off (step 510). If not, go to the next step.

ステップ５１２では、Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃであるかを判断し（ステップ５１２）、真である場合には直ちに補正処理すると判断する（ステップ５１４）。そうでない場合は次のステップに進む。   In step 512, it is determined whether Pm <Pi−ΔPdec is satisfied (step 512). If true, it is determined that correction processing is immediately performed (step 514). If not, go to the next step.

ステップ５１６では、Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃであるかを判断し（ステップ５１６）、真である場合には直ちに補正処理すると判断する（ステップ５１４）。そうでない場合は次のステップに進む。   In step 516, it is determined whether Pm> Pi + ΔPinc (step 516). If true, it is determined that correction processing is to be performed immediately (step 514). If not, go to the next step.

ステップ５１８では全データについて判断したかを判断し（ステップ５１８）、判断が未了のデータがある場合にはステップ５０８に戻って以降の処理を繰り返し、全データについて判断が終了した場合には、補正不要フラグがＯＮかＯＦＦかを判断し（ステップ５２０）、補正不要フラグがＯＦＦの場合、補正処理すると判断し（ステップ１５４）、補正不要フラグがＯＮの場合、補正処理しないと判断する（ステップ５２２）。   In step 518, it is determined whether all data has been determined (step 518). If there is undecided data, the process returns to step 508 and the subsequent processing is repeated. It is determined whether the correction unnecessary flag is ON or OFF (step 520). If the correction unnecessary flag is OFF, it is determined that correction processing is performed (step 154). If the correction unnecessary flag is ON, it is determined that correction processing is not performed (step 520). 522).

漏洩検査方法５００では、上記したように、要補正条件に合致せず、かつ、補正不要条件にも合致しない曖昧な場合は、補正処理するとして判断の基準を明確にした。漏洩検査方法５００によれば、補正処理の判断５０２により、補正処理するまたはしないの判断を、要補正条件および補正不要条件を総合的に勘案して明確に判断でき、漏洩検査の信頼性を高めるとともに漏洩検査の効率を高めることができる。   In the leakage inspection method 500, as described above, when the ambiguous condition does not match the necessary correction condition and does not meet the correction unnecessary condition, the determination criterion is clarified as the correction processing. According to the leakage inspection method 500, the determination of whether or not to perform the correction process can be clearly determined by comprehensively considering the necessary correction condition and the unnecessary correction condition by the correction processing determination 502, thereby improving the reliability of the leakage inspection. At the same time, the efficiency of leakage inspection can be increased.

なお、上記ステップ５０８からステップ５１６の判断順序は例示であり、その順序を適宜入れ替えてもよい。   Note that the order of determination from step 508 to step 516 is an example, and the order may be appropriately changed.

図１８に示すように、ステップ５２０で補正不要フラグがＯＮであると判断された場合に、さらに、内部圧力の測定中に温度変化が有ったか無かったかを判断するステップ（ステップ５３０）を有してもよい。ステップ５３０で温度変化が無かったと判断した場合、補正処理しないと判断し（ステップ５２２）、温度変化があった場合は補正処理すると判断する（ステップ５１４）。ステップ５３０で温度変化の有無を判断し、これを補正処理する、しないの判断に生かすことで、誤りのない漏洩検査を実施することができる。   As shown in FIG. 18, when it is determined in step 520 that the correction unnecessary flag is ON, there is further a step (step 530) for determining whether or not there is a temperature change during the measurement of the internal pressure. May be. If it is determined in step 530 that there is no temperature change, it is determined that correction processing is not performed (step 522), and if there is a temperature change, it is determined that correction processing is performed (step 514). By determining whether or not there is a temperature change in step 530 and making use of the determination of whether or not to perform correction processing, it is possible to perform an error-free leakage inspection.

以上、実施形態１〜４とその変更例では、本願発明を漏洩検査装置または漏洩検査方法として説明したが、本発明の漏洩検査方法は、そのような方法または機能を実現するプログラムとして把握することも可能である。   As described above, in the first to fourth embodiments and the modifications thereof, the present invention has been described as a leakage inspection apparatus or a leakage inspection method, but the leakage inspection method of the present invention should be understood as a program that realizes such a method or function. Is also possible.

また、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   Further, the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiments. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

たとえば、図１９に示すように、漏洩検査方法６００では、実施形態４で説明した漏洩検査方法５００の内部圧力の測定ステップ（ステップ２０６）の後に、実施形態３で説明した補正不可の判断ステップ（ステップ４０２）を有する。このように、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態１〜４とその変更例は、任意に組み合わせることが可能である。   For example, as shown in FIG. 19, in the leakage inspection method 600, after the internal pressure measurement step (step 206) of the leakage inspection method 500 described in the fourth embodiment, the correction impossible determination step described in the third embodiment ( Step 402). As described above, Embodiments 1 to 4 described above and modifications thereof can be arbitrarily combined without departing from the spirit of the invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラムおよび方法における動作、手順、ステップおよび段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書および図面中の動作フローに関して便宜上「まず」、「次に」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The execution order of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before”, “prior”, etc. It should be noted that it can be implemented in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Even if it is described using “first”, “next”, and the like for the sake of convenience regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, it does not mean that the operation is essential in this order.

１００…漏洩検査装置、１０２…接続体、１０４…接続フランジ、１０６…圧力センサ、１０８…加圧ポンプ、１１０…コントローラ、１１２…表示部、１１４…第１バルブ、１１６…第２バルブ、１２０…検査対象物、Ｐｉ…開始圧力、Ｐｍ…圧力測定値、Ｐｍａｘ…最大圧力、Ｐｍｉｎ…最小圧力、ΔＰ…許容変動幅、ΔＰｄｅｃ…許容減少幅、ΔＰｉｎｃ…許容増加幅、ΔＰｕｐ…許容上昇幅、ΔＰｄｎ…許容下降幅。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Leak inspection apparatus, 102 ... Connection body, 104 ... Connection flange, 106 ... Pressure sensor, 108 ... Pressure pump, 110 ... Controller, 112 ... Display part, 114 ... 1st valve, 116 ... 2nd valve, 120 ... Inspection object, Pi: start pressure, Pm: pressure measurement value, Pmax: maximum pressure, Pmin: minimum pressure, ΔP: allowable fluctuation range, ΔPdec: allowable decrease range, ΔPinc: allowable increase range, ΔPup: allowable increase range, ΔPdn ... allowable descent width.

Claims (29)

（ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、を有し、
前記要補正条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、
Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、
を満足する漏洩検査方法。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。 (A) sealing the inside of the inspection object;
(B) measuring an internal pressure of the inspection object to obtain a pressure measurement value;
(C) determining whether the pressure measurement value meets a correction requirement condition;
(D) determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value to determine a pressure correction value when it is determined to correct;
(E) based on said pressure measurement or the pressure correction value, have a, and determining a leakage of the test object,
The necessary correction condition is that the pressure measurement value Pm is
Pm <Pi−ΔPdec, or
Pm> Pi + ΔPinc,
Leak inspection method that satisfies the requirements.
However, Pi is a starting pressure, ΔPdec is an allowable decrease range, and ΔPinc is an allowable increase range. （ｆ）前記（ｃ）ステップにおいて前記圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行するステップと、
（ｇ）前記（ｂ）ステップ、前記（ｃ）ステップおよび前記（ｆ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、
をさらに有する請求項１に記載の漏洩検査方法。 (F) If it is determined in the step (c) that the measured pressure value matches the correction requirement, a step of executing a correction preparation process;
(G) repeating the step (b), the step (c) and the step (f) for a predetermined time or a predetermined number of times;
The leakage inspection method according to claim 1, further comprising: （ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、
（ｆ）前記（ｃ）ステップにおいて前記圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行するステップと、
（ｇ）前記（ｂ）ステップ、前記（ｃ）ステップおよび前記（ｆ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、
（ｈ１）前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、を有し、
前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
漏洩検査方法。 (A) sealing the inside of the inspection object;
(B) measuring an internal pressure of the inspection object to obtain a pressure measurement value;
(C) determining whether the pressure measurement value meets a correction requirement condition;
(D) determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value to determine a pressure correction value when it is determined to correct;
(E) determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
(F) If it is determined in the step (c) that the measured pressure value matches the correction requirement, a step of executing a correction preparation process;
(G) repeating the step (b), the step (c) and the step (f) for a predetermined time or a predetermined number of times;
(H1) have a, a step of said (g) all of the plurality of pressure measurements obtained by repeating the step to determine whether to match the correction required conditions,
If it is determined in the step (h1) that all of the plurality of pressure measurement values match the correction unnecessary condition, it is determined that the pressure measurement value is not corrected in the step (d), and the pressure measurement value is determined in the step (e). Determine leakage of the inspection object based on the pressure measurement
Leakage model test method. 前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値のうち何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項３に記載の漏洩検査方法。 When it is determined in step (h1) that any one of the plurality of pressure measurement values does not meet the correction unnecessary condition, it is determined that the pressure measurement value is corrected in step (d), The leakage inspection method according to claim 3 , wherein the pressure correction value is obtained by correcting the pressure measurement value, and leakage of the inspection object is determined based on the pressure correction value in the step (e). （ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、
（ｆ）前記（ｃ）ステップにおいて前記圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行するステップと、
（ｇ）前記（ｂ）ステップ、前記（ｃ）ステップおよび前記（ｆ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、
（ｈ１）前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、
（ｈ２）前記（ｂ）ステップの前記測定を前記（ｇ）ステップにおいて繰り返す間に、温度変化が有ったか無かったかを判断するステップと、を有し、
前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｈ２）ステップにおいて前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
漏洩検査方法。 (A) sealing the inside of the inspection object;
(B) measuring an internal pressure of the inspection object to obtain a pressure measurement value;
(C) determining whether the pressure measurement value meets a correction requirement condition;
(D) determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value to determine a pressure correction value when it is determined to correct;
(E) determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
(F) If it is determined in the step (c) that the measured pressure value matches the correction requirement, a step of executing a correction preparation process;
(G) repeating the step (b), the step (c) and the step (f) for a predetermined time or a predetermined number of times;
(H1) determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (g) meet the correction unnecessary condition;
(H2) said during repeated in (b) wherein the (g) step a measurement step, possess and determining if there was no or temperature change there, and
If it is determined in the (h1) step that all of the plurality of pressure measurement values match the correction unnecessary condition, and it is determined in the (h2) step that the temperature has not changed, the (d) step It is determined that the pressure measurement value is not corrected, and leakage of the inspection object is determined based on the pressure measurement value in the step (e).
Leakage model test method. 前記（ｈ１）ステップにおいて前記複数の圧力測定値のうち何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、または、前記（ｈ２）ステップにおいて前記温度変化が有ったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項５に記載の漏洩検査方法。 When it is determined in step (h1) that any one of the plurality of pressure measurement values does not match the correction unnecessary condition, or it is determined that the temperature change has occurred in step (h2). If it is determined that the pressure measurement value is corrected in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the inspection object is obtained based on the pressure correction value in the step (e). The leakage inspection method according to claim 5 , wherein leakage is determined. 前記（ｆ）ステップの補正準備処理が、
（ｆ１）前記圧力測定値が前記要補正条件に合致したことを報知するステップ、
を有する請求項１から請求項６の何れか一項に記載の漏洩検査方法。 The correction preparation process in the step (f)
(F1) a step of notifying that the measured pressure value matches the correction required condition;
The leakage inspection method according to any one of claims 1 to 6, further comprising : 前記（ｆ）ステップの補正準備処理が、
（ｆ２）漏洩検査を継続または中止する旨の入力を要求するステップと、
（ｆ３）前記（ｆ２）ステップの要求に応じた入力が、継続する旨の入力である場合には処理を継続し、中止する旨の入力である場合には処理を中止するステップと、
をさらに有する請求項７に記載の漏洩検査方法。 The correction preparation process in the step (f)
(F2) requesting an input to continue or cancel the leak inspection;
(F3) a step of continuing the process if the input in response to the request in the step (f2) is an input to continue;
The leakage inspection method according to claim 7 , further comprising: 前記（ｆ３）ステップにおいて処理を継続した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項８に記載の漏洩検査方法。 When the process is continued in the step (f3), it is determined that the pressure measurement value is corrected in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the pressure correction value is obtained in the step (e). The leakage inspection method according to claim 8 , wherein leakage of the inspection object is determined based on a pressure correction value. 前記（ｆ２）ステップにおける前記要求とともに、前記（ｇ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値を表示する
請求項８または請求項９に記載の漏洩検査方法。 The leak test method according to claim 8 or 9 , wherein a plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (g) are displayed together with the request in the step (f2). 前記（ｆ１）ステップの実行後、処理を継続し、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項７に記載の漏洩検査方法。 After the execution of the step (f1), the processing is continued, and it is determined that the pressure measurement value is corrected in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the step (e) The leakage inspection method according to claim 7 , wherein leakage of the inspection object is determined based on the pressure correction value. （ａ）検査対象物の内部を封止するステップと、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得るステップと、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断するステップと、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得るステップと、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定するステップと、
（ｉ）前記（ｂ）ステップを、所定時間または所定回数繰り返すステップと、
を有し、
前記（ｃ）ステップにおいて、前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値のそれぞれについて、前記要補正条件に合致するかを判断し、何れか一つの圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
漏洩検査方法。 (A) sealing the inside of the inspection object;
(B) measuring an internal pressure of the inspection object to obtain a pressure measurement value;
(C) determining whether the pressure measurement value meets a correction requirement condition;
(D) determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value to determine a pressure correction value when it is determined to correct;
(E) determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
(I) said step (b), the steps are repeated a predetermined time or a predetermined number of times,
I have a,
In the step (c), it is determined whether each of a plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (i) meets the required correction condition, and any one of the pressure measurement values is corrected. If it is determined that the condition is met, it is determined that the pressure measurement value is corrected in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the pressure correction value is converted in the step (e). Determine leakage of the inspection object based on
Leakage model test method. （ｊ１）前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップ、をさらに有し、
前記（ｃ）ステップにおいて、前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断され、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて全ての圧力測定値が前記補正不要条件に合致すると判断された場合には、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項１２に記載の漏洩検査方法。 (J1) further comprising the step of determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (i) meet the correction unnecessary condition,
In the step (c), it is determined that all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (i) do not meet the correction requirement, and all the pressure measurement values in the step (j1) Is determined not to be corrected, the pressure measurement value is determined not to be corrected in the step (d), and the inspection object is leaked based on the pressure measurement value in the step (e). The leakage inspection method according to claim 12. 前記（ｃ）ステップにおいて、前記複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断され、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断された場合には、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項１３に記載の漏洩検査方法。 In step (c), it is determined that all of the plurality of pressure measurement values do not match the correction requirement, and in step (j1), any one pressure measurement value does not match the correction unnecessary condition. Is determined to correct the pressure measurement value in the step (d), the pressure measurement value is corrected to obtain the pressure correction value, and the pressure correction value is converted to the pressure correction value in the step (e). The leakage inspection method according to claim 13, wherein leakage of the inspection object is determined based on the leakage. （ｊ１）前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断するステップと、
（ｊ２）前記（ｂ）ステップの前記測定を前記（ｉ）ステップにおいて繰り返す間に、温度変化が有ったか無かったかを判断するステップと、をさらに有し、
前記（ｃ）ステップにおいて前記（ｉ）ステップの繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断し、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて全ての圧力測定値が前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｊ２）ステップにおいて前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項１２に記載の漏洩検査方法。 (J1) determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (i) meet the correction unnecessary condition;
(J2) further comprising a step of determining whether or not there has been a temperature change while repeating the measurement in the step (b) in the step (i),
In the step (c), it is determined that all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating the step (i) do not meet the correction requirement, and in the step (j1), all the pressure measurement values are determined. If it is determined that the correction-unnecessary conditions are met and it is determined in step (j2) that the temperature has not changed, it is determined in step (d) that the pressure measurement value is not corrected, and step (e) The leakage inspection method according to claim 12, wherein leakage of the inspection object is determined based on the pressure measurement value. 前記（ｃ）ステップにおいて、前記複数の圧力測定値の全てが前記要補正条件に合致しないと判断し、かつ、前記（ｊ１）ステップにおいて何れか一つの圧力測定値が前記補正不要条件に合致しないと判断した場合、または、前記（ｊ２）ステップにおいて前記温度変化が有ったと判断した場合、前記（ｄ）ステップにおいて前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）ステップにおいて前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する
請求項１５に記載の漏洩検査方法。 In step (c), it is determined that all of the plurality of pressure measurement values do not match the correction requirement, and any one pressure measurement value does not match the correction unnecessary condition in step (j1). Or when it is determined that the temperature change has occurred in the step (j2), the pressure measurement value is determined to be corrected in the step (d), and the pressure measurement value is corrected to correct the pressure. The leakage inspection method according to claim 15, wherein a correction value is obtained, and leakage of the inspection object is determined based on the pressure correction value in the step (e). 前記補正不要条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
｜Ｐｍ−Ｐｉ｜≦ΔＰ、を満足する
請求項３から請求項１１、請求項１３から請求項１６の何れか一項に記載の漏洩検査方法。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰは許容変動幅である。 The correction unnecessary condition is that the pressure measurement value Pm is
| Pm-Pi | ≦ ΔP claim 11, claim 3 satisfying the leakage inspection method according to any one of claims 16 claim 13.
However, Pi is a starting pressure, and ΔP is an allowable fluctuation range. 前記要補正条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、
Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、
を満足する請求項３から請求項１７に記載の漏洩検査方法。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。 The necessary correction condition is that the pressure measurement value Pm is
Pm <Pi−ΔPdec, or
Pm> Pi + ΔPinc,
Leak inspection method according to claim 17 claim 3 which satisfies.
However, Pi is a starting pressure, ΔPdec is an allowable decrease range, and ΔPinc is an allowable increase range. （ｋ）前記（ｂ）ステップで得た圧力測定値ごとに、前記圧力測定値が補正不可条件に合致するかを判断するステップと、
（ｌ）前記（ｋ）において前記圧力測定値が前記補正不可条件に合致すると判断した場合、補正不可処理を実行するステップと、をさらに有する
請求項１から請求項１８の何れか一項に記載の漏洩検査方法。 (K) For each pressure measurement value obtained in the step (b), determining whether the pressure measurement value matches a non-correctable condition;
19. The method according to claim 1, further comprising a step of executing a correction impossible process when it is determined in (k) that the pressure measurement value matches the correction impossible condition. Leakage inspection method. 前記（ｌ）ステップの補正不可処理が、
（ｌ１）前記圧力測定値が前記補正不可条件に合致した旨の報知、または、再測定を促す旨の報知を含む報知ステップと、
（ｌ２）測定を中止するステップと、
を有する請求項１９に記載の漏洩検査方法。 The correction impossible processing in step (l) is
(L1) A notification step including a notification that the pressure measurement value matches the uncorrectable condition, or a notification that prompts re-measurement;
(L2) stopping the measurement;
The leakage inspection method according to claim 19. 前記補正不可条件が、
Ｐｍ＞Ｐｍｉｎ＋ΔＰｕｐ、または、
Ｐｍ＜Ｐｍａｘ−ΔＰｄｎ、
を満足する請求項１９または請求項２０に記載の漏洩検査方法。
ただし、Ｐｉは開始圧力、Ｐｍｉｎは最小圧力、ΔＰｕｐは許容上昇幅、Ｐｍａｘは最大圧力、ΔＰｄｎは許容下降幅である。 The correction impossible condition is
Pm> Pmin + ΔPup, or
Pm <Pmax−ΔPdn,
The leakage inspection method according to claim 19 or 20, which satisfies the following.
However, Pi is a start pressure, Pmin is a minimum pressure, ΔPup is an allowable increase width, Pmax is a maximum pressure, and ΔPdn is an allowable decrease width. 検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、
前記コントローラが、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止し、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する、
ように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信し、
前記要補正条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、
Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、
を満足する漏洩検査装置。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。 A connecting member connected to the test object, is connected before Symbol connector, a pressure pump for boosting the inside of the inspection object by pressurizing the interior of the connecting member, the front Symbol connector the pressurized having a first valve disposed between the pressure pump, a pressure sensor for measuring the internal pressure before Symbol connector, a second valve that leaks inside the pre-Symbol connector, and controller, and
The controller is
(A) sealing the inside of the inspection object;
(B) measuring the internal pressure of the inspection object, obtaining a pressure measurement value,
(C) Determine whether the pressure measurement value meets the correction requirement condition,
(D) Determine whether to correct the pressure measurement value, and correct the pressure measurement value when it is determined to correct, to obtain a pressure correction value,
(E) determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
Control the pressurizing pump, the first valve and the second valve, and receive a signal from the pressure sensor ;
The necessary correction condition is that the pressure measurement value Pm is
Pm <Pi−ΔPdec, or
Pm> Pi + ΔPinc,
Leak inspection device that satisfies the requirements.
However, Pi is a starting pressure, ΔPdec is an allowable decrease range, and ΔPinc is an allowable increase range. 検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、  A connection body connected to the inspection object, a pressure pump connected to the connection body and pressurizing the inside of the connection object by pressurizing the inside of the connection body, and the connection body and the pressure pump A first valve disposed between, a pressure sensor that measures an internal pressure of the connection body, a second valve that leaks inside the connection body, and a controller,
前記コントローラが、  The controller is
（ａ）前記検査対象物の内部を封止し、  (A) sealing the inside of the inspection object;
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、  (B) measuring the internal pressure of the inspection object, obtaining a pressure measurement value,
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、  (C) Determine whether the pressure measurement value meets the correction requirement condition,
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、  (D) Determine whether to correct the pressure measurement value, and correct the pressure measurement value when it is determined to correct, to obtain a pressure correction value,
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定し、  (E) determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
（ｆ）前記（ｃ）の判断において合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行し、  (F) If it is determined in the determination of (c) that the data match, correction preparation processing is executed,
（ｇ）前記（ｂ）、前記（ｃ）および前記（ｆ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返し、  (G) The operations of (b), (c) and (f) are repeated for a predetermined time or a predetermined number of times,
（ｈ１）前記（ｇ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断し、  (H1) Determine whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating (g) above meet the correction unnecessary condition,
前記（ｈ１）の判断において前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）の判定において前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、  When it is determined in the determination of (h1) that all of the plurality of pressure measurement values match the correction unnecessary condition, the determination of the pressure measurement value is determined not to be corrected in the determination of (d), and In the determination, the leakage of the inspection object is determined based on the pressure measurement value.
ように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信する漏洩検査装置。  As described above, the leakage inspection apparatus controls the pressurizing pump, the first valve, and the second valve, and receives a signal from the pressure sensor. 検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、  A connection body connected to the inspection object, a pressure pump connected to the connection body and pressurizing the inside of the connection object by pressurizing the inside of the connection body, and the connection body and the pressure pump A first valve disposed between, a pressure sensor that measures an internal pressure of the connection body, a second valve that leaks inside the connection body, and a controller,
前記コントローラが、  The controller is
（ａ）前記検査対象物の内部を封止し、  (A) sealing the inside of the inspection object;
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、  (B) measuring the internal pressure of the inspection object, obtaining a pressure measurement value,
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、  (C) Determine whether the pressure measurement value meets the correction requirement condition,
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、  (D) Determine whether to correct the pressure measurement value, and correct the pressure measurement value when it is determined to correct, to obtain a pressure correction value,
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定し、  (E) determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
（ｆ）前記（ｃ）の判断において合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行し、  (F) If it is determined in the determination of (c) that the data match, correction preparation processing is executed,
（ｇ）前記（ｂ）、前記（ｃ）および前記（ｆ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返し、  (G) The operations of (b), (c) and (f) are repeated for a predetermined time or a predetermined number of times,
（ｈ１）前記（ｇ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断し、  (H1) Determine whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating (g) above meet the correction unnecessary condition,
（ｈ２）前記（ｂ）の前記測定が前記（ｇ）で繰り返される間、温度変化が有ったか無かったかを判断し、  (H2) While the measurement in (b) is repeated in (g), it is determined whether or not there was a temperature change;
前記（ｈ１）の判断において前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｈ２）の判断において前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）の判定において前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、  When it is determined in the determination of (h1) that all of the plurality of pressure measurement values match the correction unnecessary condition, and it is determined in the determination of (h2) that the temperature change has not occurred, It is determined that the pressure measurement value is not corrected in the determination, and the leakage of the inspection object is determined based on the pressure measurement value in the determination of (e).
ように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信する漏洩検査装置。  As described above, the leakage inspection apparatus controls the pressurizing pump, the first valve, and the second valve, and receives a signal from the pressure sensor. 検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、コントローラと、を有し、  A connection body connected to the inspection object, a pressure pump connected to the connection body and pressurizing the inside of the connection object by pressurizing the inside of the connection body, and the connection body and the pressure pump A first valve disposed between, a pressure sensor that measures an internal pressure of the connection body, a second valve that leaks inside the connection body, and a controller,
前記コントローラが、  The controller is
（ａ）前記検査対象物の内部を封止し、  (A) sealing the inside of the inspection object;
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得、  (B) measuring the internal pressure of the inspection object, obtaining a pressure measurement value,
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断し、  (C) Determine whether the pressure measurement value meets the correction requirement condition,
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得、  (D) Determine whether to correct the pressure measurement value, and correct the pressure measurement value when it is determined to correct, to obtain a pressure correction value,
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定し、  (E) determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
（ｉ）前記（ｂ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返し、  (I) The operation of (b) is repeated for a predetermined time or a predetermined number of times,
前記（ｃ）の判断において、前記（ｉ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値のそれぞれについて前記要補正条件に合致するかを判断し、何れか一つの圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）の判定において前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、  In the determination of (c), it is determined whether each of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating (i) meets the correction requirement, and any one pressure measurement value is the correction requirement. If the pressure measurement value is determined to match the pressure measurement value in the determination of (d), the pressure correction value is corrected to obtain the pressure correction value, and the pressure correction value is determined in the determination of (e). Determining leakage of the inspection object based on
ように、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信する漏洩検査装置。  As described above, the leakage inspection apparatus controls the pressurizing pump, the first valve, and the second valve, and receives a signal from the pressure sensor. 検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、
前記コントローラに含まれるコンピュータに、
（ａ）前記検査対象物の内部を封止する機能と、
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、を実現させ、
前記要補正条件は、前記圧力測定値Ｐｍが、
Ｐｍ＜Ｐｉ−ΔＰｄｅｃ、または、
Ｐｍ＞Ｐｉ＋ΔＰｉｎｃ、
を満足するプログラム。
ただし、Ｐｉは開始圧力、ΔＰｄｅｃは許容減少幅、ΔＰｉｎｃは許容増加幅である。 A connecting member connected to the test object, is connected before Symbol connector, a pressure pump for boosting the inside of the inspection object by pressurizing the interior of the connecting member, the front Symbol connector the pressurized first valve and a pressure sensor for measuring the internal pressure before Symbol connector, a second valve that leaks inside the pre-Symbol connector, before KiKa圧pump arranged between the pressure pump, the first a program for controlling leakage inspection apparatus having control valves and the second valve, and a controller for receiving a signal from the pressure sensor, and
In the computer included in the controller,
(A) a function of sealing the inside of the inspection object;
(B) a function of measuring an internal pressure of the inspection object and obtaining a pressure measurement value;
(C) a function for determining whether the pressure measurement value meets a correction requirement condition;
(D) determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value when it is determined to correct, to obtain a pressure correction value;
(E) based on said pressure measurement or the pressure correction value, is realized, and determining function leakage of the test object,
The necessary correction condition is that the pressure measurement value Pm is
Pm <Pi−ΔPdec, or
Pm> Pi + ΔPinc,
Satisfying program.
However, Pi is a starting pressure, ΔPdec is an allowable decrease range, and ΔPinc is an allowable increase range. 検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、  A connection body connected to the inspection object, a pressure pump connected to the connection body and pressurizing the inside of the connection object by pressurizing the inside of the connection body, and the connection body and the pressure pump A pressure sensor that measures the internal pressure of the connection body, a second valve that leaks inside the connection body, the pressurizing pump, the first valve, and the second valve. A program for controlling a leak test apparatus having a controller for controlling a valve and receiving a signal from the pressure sensor,
前記コントローラに含まれるコンピュータに、  In the computer included in the controller,
（ａ）前記検査対象物の内部を封止する機能と、  (A) a function of sealing the inside of the inspection object;
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、  (B) a function of measuring an internal pressure of the inspection object and obtaining a pressure measurement value;
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、  (C) a function for determining whether the pressure measurement value meets a correction requirement condition;
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、  (D) determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value when it is determined to correct, to obtain a pressure correction value;
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、  (E) a function of determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
（ｆ）前記（ｃ）の判断において合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行する機能と、  (F) a function of executing correction preparation processing when it is determined in the determination of (c) that;
（ｇ）前記（ｂ）、前記（ｃ）および前記（ｆ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返す機能と、  (G) a function of repeating the operations of (b), (c) and (f) for a predetermined time or a predetermined number of times;
（ｈ１）前記（ｇ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断する機能と、を実現させ、  (H1) realizing a function of determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating (g) above meet the correction unnecessary condition;
前記（ｈ１）の判断において前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）の判定において前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する  When it is determined in the determination of (h1) that all of the plurality of pressure measurement values match the correction unnecessary condition, the determination of the pressure measurement value is determined not to be corrected in the determination of (d), and In the determination, leakage of the inspection object is determined based on the pressure measurement value.
プログラム。  program. 検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、  A connection body connected to the inspection object, a pressure pump connected to the connection body and pressurizing the inside of the connection object by pressurizing the inside of the connection body, and the connection body and the pressure pump A pressure sensor that measures the internal pressure of the connection body, a second valve that leaks inside the connection body, the pressurizing pump, the first valve, and the second valve. A program for controlling a leak test apparatus having a controller for controlling a valve and receiving a signal from the pressure sensor,
前記コントローラに含まれるコンピュータに、  In the computer included in the controller,
（ａ）前記検査対象物の内部を封止する機能と、  (A) a function of sealing the inside of the inspection object;
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、  (B) a function of measuring an internal pressure of the inspection object and obtaining a pressure measurement value;
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、  (C) a function for determining whether the pressure measurement value meets a correction requirement condition;
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、  (D) determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value when it is determined to correct, to obtain a pressure correction value;
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、  (E) a function of determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
（ｆ）前記（ｃ）の判断において合致すると判断した場合には、補正準備処理を実行する機能と、  (F) a function of executing correction preparation processing when it is determined in the determination of (c) that;
（ｇ）前記（ｂ）、前記（ｃ）および前記（ｆ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返す機能と、  (G) a function of repeating the operations of (b), (c) and (f) for a predetermined time or a predetermined number of times;
（ｈ１）前記（ｇ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値の全てが補正不要条件に合致するかを判断する機能と、  (H1) a function of determining whether all of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating (g) above meet the correction unnecessary condition;
（ｈ２）前記（ｂ）の前記測定が前記（ｇ）で繰り返される間、温度変化が有ったか無かったかを判断する機能と、を実現させ、  (H2) realizing a function of determining whether or not there was a temperature change while the measurement of (b) is repeated in (g),
前記（ｈ１）の判断において前記複数の圧力測定値の全てが前記補正不要条件に合致すると判断し、かつ、前記（ｈ２）の判断において前記温度変化が無かったと判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正しないと判断し、前記（ｅ）の判定において前記圧力測定値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、  When it is determined in the determination of (h1) that all of the plurality of pressure measurement values match the correction unnecessary condition, and it is determined in the determination of (h2) that the temperature change has not occurred, It is determined that the pressure measurement value is not corrected in the determination, and the leakage of the inspection object is determined based on the pressure measurement value in the determination of (e).
プログラム。  program. 検査対象物に接続される接続体と、前記接続体に接続され、前記接続体の内部を加圧することで前記検査対象物の内部を昇圧する加圧ポンプと、前記接続体と前記加圧ポンプの間に配置された第１バルブと、前記接続体の内部圧力を測定する圧力センサと、前記接続体の内部をリークする第２バルブと、前記加圧ポンプ、前記第１バルブおよび前記第２バルブを制御し、前記圧力センサからの信号を受信するコントローラと、を有する漏洩検査装置を制御するためのプログラムであって、  A connection body connected to the inspection object, a pressure pump connected to the connection body and pressurizing the inside of the connection object by pressurizing the inside of the connection body, and the connection body and the pressure pump A pressure sensor that measures the internal pressure of the connection body, a second valve that leaks inside the connection body, the pressurizing pump, the first valve, and the second valve. A program for controlling a leak test apparatus having a controller for controlling a valve and receiving a signal from the pressure sensor,
前記コントローラに含まれるコンピュータに、  In the computer included in the controller,
（ａ）前記検査対象物の内部を封止する機能と、  (A) a function of sealing the inside of the inspection object;
（ｂ）前記検査対象物の内部圧力を測定し、圧力測定値を得る機能と、  (B) a function of measuring an internal pressure of the inspection object and obtaining a pressure measurement value;
（ｃ）前記圧力測定値が要補正条件に合致するかを判断する機能と、  (C) a function for determining whether the pressure measurement value meets a correction requirement condition;
（ｄ）前記圧力測定値を補正するかを判断し、補正すると判断した場合に前記圧力測定値を補正して圧力補正値を得る機能と、  (D) determining whether to correct the pressure measurement value, and correcting the pressure measurement value when it is determined to correct, to obtain a pressure correction value;
（ｅ）前記圧力測定値または前記圧力補正値に基づき、前記検査対象物の漏洩を判定する機能と、  (E) a function of determining leakage of the inspection object based on the pressure measurement value or the pressure correction value;
（ｉ）前記（ｂ）の動作を、所定時間または所定回数繰り返す機能と、を実現させ、  (I) realizing the function of repeating the operation of (b) for a predetermined time or a predetermined number of times;
前記（ｃ）の判断において、前記（ｉ）の繰り返しで得られた複数の圧力測定値のそれぞれについて前記要補正条件に合致するかを判断し、何れか一つの圧力測定値が前記要補正条件に合致すると判断した場合、前記（ｄ）の判断において前記圧力測定値を補正すると判断し、前記圧力測定値を補正して前記圧力補正値を得、前記（ｅ）の判定において前記圧力補正値に基づき前記検査対象物の漏洩を判定する、  In the determination of (c), it is determined whether each of the plurality of pressure measurement values obtained by repeating (i) meets the correction requirement, and any one pressure measurement value is the correction requirement. If the pressure measurement value is determined to match the pressure measurement value in the determination of (d), the pressure correction value is corrected to obtain the pressure correction value, and the pressure correction value is determined in the determination of (e). Determining leakage of the inspection object based on
プログラム。  program.
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