JP6732588B2 - Inorganic compound dispersing agent, slurry composition, ceramic green sheet, conductive paste and coating sheet - Google Patents

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Description

本発明は、無機化合物を分散させることで、分散性、保存安定性に優れたスラリー組成物を作製することができる無機化合物分散用剤、および該スラリー組成物に関する。また、セラミックスラリーとして用いてセラミックグリーンシートを作製した場合において、圧着時の接着性に優れ、圧着時の寸法変化も少なく、且つ、デラミネーションが生じにくいセラミックグリーンシートを作製することができるスラリー組成物、および該セラミックグリーンシートに関する。さらに、任意のセラミックグリーンシートに塗工して、塗工シートを作製した場合において、圧着時の接着性に優れ、且つ、デラミネーションが生じにくい塗工シートを作製することができる導電ペースト、及び該塗工シートに関する。また、任意の導電ペーストをセラミックグリーンシートに塗工して、塗工シートを作製した場合において、圧着時の接着性に優れ、且つ、デラミネーションが生じにくい塗工シートを作製することができるセラミックグリーンシート、及び該塗工シートに関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to an inorganic compound-dispersing agent capable of producing a slurry composition having excellent dispersibility and storage stability by dispersing an inorganic compound, and the slurry composition. In addition, when a ceramic green sheet is produced by using it as a ceramic slurry, it is possible to produce a ceramic green sheet which is excellent in adhesiveness during pressure bonding, has little dimensional change during pressure bonding, and is less likely to cause delamination. And a ceramic green sheet. Furthermore, when applied to any ceramic green sheet, in the case of producing a coated sheet, it is excellent in adhesiveness at the time of pressure bonding, and a conductive paste capable of producing a coated sheet in which delamination does not easily occur, and The present invention relates to the coated sheet. Further, when a ceramic green sheet is coated with an arbitrary conductive paste to produce a coated sheet, it is possible to produce a coated sheet which is excellent in adhesiveness at the time of pressure bonding and does not easily cause delamination. The present invention relates to a green sheet and the coated sheet.

ポリビニルアセタールは、強靭なフィルムが得られること、親水性のヒドロキシ基と疎水性のアセタール基を併せ持つユニークな構造であることなどから、種々のポリマーが提案されている。 Various polymers have been proposed for the polyvinyl acetal, since a tough film can be obtained and the polyvinyl acetal has a unique structure having both a hydrophilic hydroxy group and a hydrophobic acetal group.

中でも、ポリビニルブチラールは、セラミック成形用のバインダー、各種バインダーやフィルム等として広く用いられている。 Among them, polyvinyl butyral is widely used as a binder for ceramic molding, various binders, films and the like.

セラミック成形用のバインダーは、例えば、積層セラミックコンデンサやICチップの回路基板を製造する過程において、好適に使用される。積層セラミックコンデンサやICチップの回路基板は、セラミックグリーンシートに電極層を形成し、これを積み重ねて仮圧着し、本圧着をした後、電極とセラミックとを同時に焼成する方法などによって製造される。 The binder for ceramic molding is preferably used in the process of manufacturing a laminated ceramic capacitor or a circuit board of an IC chip, for example. A circuit board of a monolithic ceramic capacitor or an IC chip is manufactured by a method in which an electrode layer is formed on a ceramic green sheet, which are stacked and temporarily pressure-bonded, and after the main pressure-bonding, the electrode and the ceramic are simultaneously fired.

セラミック成形用のバインダーに要求される性能としては、分散性や保存安定性に優れたセラミックスラリーが得られること、焼成後に炭素残渣の量が少ないこと、熱圧着時の接着性に優れていることなどが挙げられる。セラミックスラリーの分散性や保存安定性が不十分である場合、得られるセラミックグリーンシートの密度、平滑性等が不十分になり、セラミックグリーンシート間の接着性が悪化することがある。焼成後のセラミック成形品中において炭素残渣の量が多い場合、セラミック成形品の電気特性等が不十分になることがある。 The performance required for a binder for ceramic molding is that a ceramic slurry with excellent dispersibility and storage stability can be obtained, the amount of carbon residue after firing is small, and the adhesiveness during thermocompression bonding is excellent. And so on. When the dispersibility or storage stability of the ceramic slurry is insufficient, the density, smoothness, etc. of the obtained ceramic green sheets may be insufficient, and the adhesiveness between the ceramic green sheets may deteriorate. When the amount of carbon residue in the ceramic molded product after firing is large, the electrical characteristics of the ceramic molded product may become insufficient.

また、ポリビニルアセタールは、積層セラミックコンデンサ等の製造に用いられる導電ペースト用のバインダーとしても用いられている。この電極層の形成工程には、セラミックグリーンシートに電極層を印刷する方法により直接形成する方法と、電極層を印刷等によりキャリアフィルム上に形成し、キャリアフィルムからセラミックグリーンシートに電極層を熱プレスにより転写する場合がある。 Further, polyvinyl acetal is also used as a binder for a conductive paste used for manufacturing a laminated ceramic capacitor or the like. This electrode layer forming step includes a method of directly forming the electrode layer on the ceramic green sheet by a method of printing the electrode layer and a method of forming the electrode layer on the carrier film by printing or the like, and heating the electrode layer from the carrier film to the ceramic green sheet. It may be transferred by pressing.

積層セラミックコンデンサとは、酸化チタンやチタン酸バリウムなどの誘電体と内部電極とを多層に積み重ねたチップタイプのセラミックコンデンサである。このような積層セラミックコンデンサは、例えばセラミックグリーンシートの表面に内部電極となる導電ペーストをスクリーン印刷等により塗布したものを複数枚積み重ね、加熱圧着して積層体を得た後、該積層体を加熱してバインダーを分解除去(脱脂)し、焼成することで製造できる。 The multilayer ceramic capacitor is a chip type ceramic capacitor in which dielectrics such as titanium oxide and barium titanate and internal electrodes are stacked in multiple layers. Such a monolithic ceramic capacitor is formed, for example, by stacking a plurality of ceramic green sheets coated with a conductive paste to be internal electrodes by screen printing or the like, heat-pressing them to obtain a laminate, and then heating the laminate. Then, the binder is decomposed and removed (degreasing), and then baked to be manufactured.

近年、電子機器の多機能化や小型化に伴い、積層セラミックコンデンサには大容量化、小型化が求められている。セラミックグリーンシートの薄膜化や積層セラミックコンデンサの層をさらに多層化することにより、これらの要求に対応する試みがなされている。例えば、薄膜化の方法として、セラミックグリーンシートに用いられるセラミック粉体としては、0.5μm以下の微細な粒子径のものが用いられ、5μm以下のような薄膜状で、剥離性の支持体上に塗工する試みがなされている。 2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices have become more multifunctional and more compact, multilayer ceramic capacitors have been required to have larger capacity and smaller size. Attempts have been made to meet these demands by thinning the ceramic green sheets and further increasing the layers of the laminated ceramic capacitors. For example, as a thinning method, the ceramic powder used for the ceramic green sheet has a fine particle diameter of 0.5 μm or less, and is a thin film of 5 μm or less on a peelable support. Attempts have been made to coat it.

しかしながら、薄膜化のために微細な粒子径のセラミック粉体を用いると、セラミック粉体の充填密度や表面積が増加するため、使用するバインダーの樹脂量が増加し、これに伴って、セラミックグリーンシート用スラリー組成物の粘度も増大することから、塗工が困難となったり、セラミック粉体自体の分散不良が発生したりすることがあった。また、スラリーとしたときの保存安定性やセラミックグリーンシートの寸法安定性についても十分でない場合がある。さらに、積層セラミックコンデンサの多層化に伴いセラミックグリーンシートの薄膜を多層に積層するため、脱脂時に樹脂の分解が一気に進むと上述と同様にデラミネーションと呼ばれる層間剥離を生じ、部品の信頼性が低下してしまうことがある。 However, when a ceramic powder with a fine particle size is used for thinning, the packing density and surface area of the ceramic powder increase, so the amount of resin in the binder used increases, and along with this, the ceramic green sheet Since the viscosity of the slurry composition for use also increases, coating may be difficult, or defective dispersion of the ceramic powder itself may occur. In addition, the storage stability of the slurry and the dimensional stability of the ceramic green sheet may not be sufficient. Furthermore, as multilayer ceramic multilayer capacitors are laminated with multiple layers of ceramic green sheets, if the resin decomposes rapidly at the time of degreasing, delamination called delamination will occur as described above, and the reliability of parts will deteriorate. I may end up doing it.

積層セラミックコンデンサの小型化には限界があり、積層セラミックコンデンサを大容量化、もしくは容量を保ったまま小型化するためには、セラミックグリーンシートの薄層化に加え、多層化も求められている。積層セラミックコンデンサは、セラミックグリーンシート上に電極層を形成し、電極層が形成されたセラミックグリーンシートや電極層が形成されていないセラミックグリーンシートを積層して、複合積層体とすることで得られる。 There is a limit to the miniaturization of monolithic ceramic capacitors, and in order to increase the capacity of monolithic ceramic capacitors or to miniaturize them while maintaining the capacity, in addition to thinning the ceramic green sheets, multi-layering is also required. .. A monolithic ceramic capacitor is obtained by forming an electrode layer on a ceramic green sheet, and laminating a ceramic green sheet having an electrode layer formed thereon or a ceramic green sheet having no electrode layer formed thereon to form a composite laminated body. ..

しかし、積層セラミックコンデンサを作製する際に、セラミックグリーンシートを仮圧着する工程において、圧着を強くするとセラミックグリーンシートや電極層に変形が生じ、積層セラミック部品に求められている高精度化が困難であった。一方で、圧着を弱くすると、従来の製造方法では、セラミックグリーンシート同士もしくはセラミックグリーンシートと電極層の接着力が弱く、上下のセラミックグリーンシートあるいはセラミックグリーンシートと電極層が密着しないことがあった。このような密着不良が発生してしまうと、接着面の位置ずれによる切断不良、セラミック積層体を焼成した後にデラミネーション等の欠陥が生じ、部品の信頼性が低下してしまう問題があった。また、接着性を向上させるために過剰の可塑剤を配合すると、圧着時に変形し、所望の積層シートが得られ難いという問題点があった。 However, in the process of temporarily press-bonding the ceramic green sheet when manufacturing the multilayer ceramic capacitor, if the pressure is increased, the ceramic green sheet and the electrode layer are deformed, which makes it difficult to achieve the high precision required for the multilayer ceramic component. there were. On the other hand, if the pressure bonding is weakened, the adhesive strength between the ceramic green sheets or between the ceramic green sheets and the electrode layer is weak in the conventional manufacturing method, and the upper and lower ceramic green sheets or the ceramic green sheet and the electrode layer may not adhere to each other. .. If such a poor adhesion occurs, there is a problem that cutting defects due to the displacement of the bonding surface and defects such as delamination after firing the ceramic laminated body occur, resulting in a decrease in the reliability of the component. In addition, when an excessive amount of plasticizer is added to improve the adhesiveness, it is deformed during pressure bonding, and it is difficult to obtain a desired laminated sheet.

また、電極層の形成工程には、セラミックグリーンシートに電極層を印刷する方法により直接形成する方法と、電極層を印刷等によりキャリアフィルム上に形成し、キャリアフィルムからセラミックグリーンシートに電極層を熱プレスにより転写する場合がある。 Further, in the step of forming the electrode layer, a method of directly forming the electrode layer on the ceramic green sheet by a method of forming the electrode layer on the carrier film by printing or a method of forming the electrode layer on the carrier film from the carrier film to the ceramic green sheet. It may be transferred by heat pressing.

キャリアフィルムからセラミックグリーンシートに電極層をプレスし、転写する工程においても、圧着を強くすると電極層に変形が生じ、積層セラミック部品に求められている高精度化が実現できない。一方、圧着を弱くすると、従来の製造方法では、セラミックグリーンシートと電極層の接着力が弱く、電極層とセラミックグリーンシートが密着しない。このような密着不良が発生してしまうと、電極層を形成できないばかりか、セラミック積層体を焼成した後に欠陥が生じることがあり、部品の信頼性が低下してしまう問題がある。 Even in the process of pressing and transferring the electrode layer from the carrier film to the ceramic green sheet, if the pressure is increased, the electrode layer is deformed and the high precision required for the laminated ceramic component cannot be realized. On the other hand, when the pressure bonding is weakened, in the conventional manufacturing method, the adhesive force between the ceramic green sheet and the electrode layer is weak and the electrode layer and the ceramic green sheet do not adhere to each other. When such a poor adhesion occurs, not only the electrode layer cannot be formed, but also a defect may occur after firing the ceramic laminated body, resulting in a problem that the reliability of the component deteriorates.

上記の課題を解決する試みとして、例えば特許文献1には、フタル酸系可塑剤およびグリコール系可塑剤および/またはアミノアルコール系可塑剤を含有するセラミックスラリーを用いることで、スラリーの調製作業性、熱圧着時の接着性に優れ、機械強度に優れたセラミックグリーンシートを得られることが記載されている。特許文献2には、可塑化効果が高く、適度な揮発性を含有するセラミックペーストが記載されている。 As an attempt to solve the above-mentioned problems, for example, in Patent Document 1, by using a ceramic slurry containing a phthalic acid-based plasticizer and a glycol-based plasticizer and/or an aminoalcohol-based plasticizer, slurry preparation workability, It is described that a ceramic green sheet having excellent adhesiveness during thermocompression bonding and excellent mechanical strength can be obtained. Patent Document 2 describes a ceramic paste having a high plasticizing effect and containing a suitable volatility.

特許文献3には、セラミック粉体と有機バインダを必須成分として含む複数のセラミックグリーンシートを準備する工程と、前記複数のセラミックグリーンシートのうち少なくとも一部のセラミックグリーンシートの表面に電極層を形成する工程と、前記複数のセラミックグリーンシートを積層し焼成する工程とを含む積層セラミック部品の製造方法であって、前記複数のセラミックグリーンシートを積層してなる積層体表面にオゾンによる表面処理を施した後、表面処理をした面にセラミックグリーンシートを積層する製造方法が記載されている。 Patent Document 3 discloses a step of preparing a plurality of ceramic green sheets containing ceramic powder and an organic binder as essential components, and forming an electrode layer on the surface of at least a part of the plurality of ceramic green sheets. And a step of laminating and firing the plurality of ceramic green sheets, wherein the surface of the laminate formed by laminating the plurality of ceramic green sheets is subjected to a surface treatment with ozone. After that, a manufacturing method of laminating a ceramic green sheet on the surface-treated surface is described.

特許文献4には、(メタ)アクリル酸エステル類を主成分とする重合性モノマーを、ポリビニルアセタール樹脂が分散されている水性媒体に添加してポリビニルアセタール樹脂中に浸透させた後、重合させることにより得られるポリビニルアセタール・(メタ)アクリル酸エステル複合樹脂を含有する導電ペースト用バインダー樹脂が記載されている。 In Patent Document 4, a polymerizable monomer containing a (meth)acrylic acid ester as a main component is added to an aqueous medium in which a polyvinyl acetal resin is dispersed so that the polyvinyl acetal resin is permeated into the aqueous medium and then polymerized. The binder resin for conductive paste containing the polyvinyl acetal/(meth)acrylic acid ester composite resin obtained by the above is described.

特開2001−106580号公報JP, 2001-106580, A 特開2006−027990号公報JP, 2006-027990, A 特開2003−95750号公報JP, 2003-95750, A 特開2005−15654号公報JP, 2005-15654, A

しかしながら、特許文献1、2には特定の可塑剤の組み合わせや、特定の可塑剤と熱可塑性樹脂の組み合わせによる組成物からなるセラミックグリーンシート、セラミックペーストが記載されているが、これらの特許文献にはセラミックグリーンシートの接着性あるいは、機械的強度の向上の記載はあるが、スラリー、ペーストの保存安定性の向上、コンデンサの品質向上においては未だ不十分な点があった。特許文献3にはセラミックグリーンシート表面にオゾンによる表面処理を施し、接着性を向上させる製造方法が記載されているが、いずれも、接着性の向上のみの記載であり、導電ペーストの保存安定性を向上することや、炭素残渣の量を少なくし、成型品の品質を向上することまでは言及していない。導電ペーストの保存安定性が不十分である場合は、セラミックグリーンシートの表面に導電ペーストを印刷する際の印刷適正が劣り、印刷表面の平滑性が悪くなり、炭素残渣の量が多い場合は、焼結体の電気特性等が不十分になったりする。特許文献4に記載の導電ペースト用バインダー樹脂を用いた導電ペーストは保存安定性が不十分であった。 However, Patent Documents 1 and 2 describe ceramic green sheets and ceramic pastes that are composed of a combination of a specific plasticizer or a composition of a combination of a specific plasticizer and a thermoplastic resin. Although there is a description of improving the adhesiveness or mechanical strength of the ceramic green sheet, there are still insufficient points in improving the storage stability of slurries and pastes and improving the quality of capacitors. Patent Document 3 describes a manufacturing method for improving adhesiveness by subjecting a surface of a ceramic green sheet to surface treatment with ozone, but all of them are described only for improving adhesiveness, and storage stability of the conductive paste is described. To improve the quality of the molded product by reducing the amount of carbon residue. If the storage stability of the conductive paste is insufficient, the printability when printing the conductive paste on the surface of the ceramic green sheet is poor, the smoothness of the printed surface is poor, and if the amount of carbon residue is large, The electrical properties of the sintered body may become insufficient. The storage stability of the conductive paste using the binder resin for conductive paste described in Patent Document 4 was insufficient.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、無機化合物の分散性に優れる無機化合物分散用剤を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an inorganic compound dispersing agent having excellent dispersibility of an inorganic compound.

また、本発明は、無機化合物分散用剤を用いてスラリー組成物を作製した場合に、該スラリー組成物が保存安定性に優れる無機化合物分散用剤を提供することを目的とする。 Another object of the present invention is to provide an inorganic compound dispersing agent, which is excellent in storage stability when the slurry composition is prepared using the inorganic compound dispersing agent.

また、本発明は、無機化合物分散用剤により得られるスラリー組成物を用いてセラミックグリーンシートを作製した場合に、該セラミックグリーンシートの圧着時の接着性に優れる無機化合物分散用剤を提供することを目的とする。 Further, the present invention provides an inorganic compound dispersing agent having excellent adhesiveness when pressure-bonding the ceramic green sheet when a ceramic green sheet is produced using a slurry composition obtained from the inorganic compound dispersing agent. With the goal.

また、本発明は、無機化合物分散用剤により得られるスラリー組成物を用いて導電ペーストを作製し、該導電ペーストを任意のセラミックグリーンシートへ塗工して得られる塗工シートを作製した場合に、圧着時の接着性に優れる無機化合物分散用剤を提供することを目的とする。また、本発明は、無機化合物分散用剤により得られるスラリー組成物を用いてセラミックグリーンシートを作製し、該セラミックグリーンシートに任意の導電ペーストを塗工して得られる塗工シートを作製した場合に、圧着時の接着性に優れる無機化合物分散用剤を提供することを目的とする。 Further, the present invention is a case where a conductive paste is prepared using a slurry composition obtained from an inorganic compound dispersing agent, and a coating sheet obtained by applying the conductive paste to any ceramic green sheet is prepared. An object of the present invention is to provide an agent for dispersing an inorganic compound, which has excellent adhesiveness during pressure bonding. Further, the present invention is a case where a ceramic green sheet is produced using a slurry composition obtained from an inorganic compound dispersing agent, and a coated sheet obtained by applying any conductive paste to the ceramic green sheet is produced. In addition, it is an object of the present invention to provide an agent for dispersing an inorganic compound, which has excellent adhesiveness during pressure bonding.

また、本発明は、セラミックグリーンシートおよび/または塗工シートを積層させ焼成体を作製した場合に、デラミネーションが生じにくいセラミックグリーンシートまたは塗工シートを提供することを目的とする。 Another object of the present invention is to provide a ceramic green sheet or a coated sheet that is less prone to delamination when a ceramic green sheet and/or a coated sheet is laminated to produce a fired body.

また、本発明の別の目的は、無機化合物分散用剤を用いて得られるセラミックグリーンシートおよび/または塗工シートを積層させた場合に、圧着時の寸法変化が起こりにくい無機化合物分散用剤を提供することを目的とする。 Another object of the present invention is to provide an inorganic compound dispersing agent that is less likely to undergo dimensional change during pressure bonding when ceramic green sheets and/or coating sheets obtained by using the inorganic compound dispersing agent are laminated. The purpose is to provide.

本発明によれば上記目的は、
[1]分子内に水酸基を有するバインダー樹脂(A)、下記一般式(1):

Figure 0006732588
(式中、R1およびR4は、それぞれ独立してエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基を表す。R2は、炭素数1〜20の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R3は、炭素数1〜4の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。mは0〜5の整数を表す。)で表される有機化合物(B)および有機溶剤(C)を含有する樹脂組成物からなる無機化合物分散用剤であって、該無機化合物分散用剤の酸価が5mgKOH/g以下である無機化合物分散用剤;
[2]有機化合物(B)の酸価が5mgKOH/g以下である、[1]の無機化合物分散用剤;
[3]R1および/またはR4がそれぞれ独立して、下記一般式(2):
Figure 0006732588
(式中、R5は炭素数1〜10の分岐を有してもよいアルキル基を表す。R6は炭素数1〜10の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R7は炭素数1〜4のアルキレン基を表す。nは0〜2の整数を表す。)で表されるエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基である、[1]または[2]の無機化合物分散用剤;
[4]バインダー樹脂(A)100質量部に対して、有機化合物(B)を1〜60質量部含有する、[1]〜[3]のいずれかの無機化合物分散用剤;
[5]バインダー樹脂(A)が、ポリビニルアセタール、エチルセルロースおよび(メタ)アクリル樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、[1]〜[4]のいずれかの無機化合物分散用剤;
[6]バインダー樹脂(A)がポリビニルアセタールを含み、該ポリビニルアセタールは、アセタール化度が50〜85モル%であり、ビニルエステル単量体単位の含有量が0.1〜20モル%であり、粘度平均重合度が200〜5000である、[5]の無機化合物分散用剤;
[7]無機化合物(D)および[1]〜[6]のいずれかの無機化合物分散用剤を含有するスラリー組成物;
[8]分子内に水酸基を有するバインダー樹脂(A)、下記一般式(1):
Figure 0006732588
(式中、R1およびR4は、それぞれ独立してエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基を表す。R2は、炭素数1〜20の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R3は、炭素数1〜4の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。mは0〜5の整数を表す。)で表される有機化合物(B)、有機溶剤(C)および無機化合物(D)を含有する樹脂組成物からなるスラリー組成物;
[9]無機化合物(D)がセラミック粉体である、[7]または[8]のスラリー組成物;
[10]前記セラミック粉体100質量部に対して、有機溶剤(C)を2〜200質量部含有する、[9]のスラリー組成物;
[11][9]または[10]のスラリー組成物を用いて作製されたセラミックグリーンシート;
[12]セラミックグリーンシートの少なくとも片面について、飛行時間型二次イオン分析装置で二次イオン分析を行った場合に、検出されるTi+イオンの強度に対する、検出されるBa+イオンの強度の比である(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)が、20<(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)<1000を満たす、[11]のセラミックグリーンシート。
[13]無機化合物(D)が導電粉末である、[7]または[8]のスラリー組成物;
[14]前記導電粉末100質量部に対して、バインダー樹脂(A)を1〜50質量部含有する、[13]のスラリー組成物;
[15]前記導電粉末100質量部に対して、有機溶剤(C)を5〜600質量部含有する、[13]または[14]のスラリー組成物;
[16][13]から[15]のいずれかのスラリー組成物からなる導電ペースト;
[17][11]または[12]のセラミックグリーンシートの少なくとも一方の面に、導電ペーストを乾燥させた層を配置してなる塗工シート;
[18][16]の導電ペーストを乾燥させた層を、セラミックグリーンシートの少なくとも一方の面に配置してなる塗工シート;
[19]少なくとも一部にプラズマ処理が施された、[11]または[12]のセラミックグリーンシート;
[20]塗工シートの表面の少なくとも一部にプラズマ処理が施された、[17]または[18]の塗工シート; According to the present invention, the above object is
[1] A binder resin (A) having a hydroxyl group in the molecule, the following general formula (1):
Figure 0006732588
(In the formula, R1 and R4 each independently represent an organic group having at least one ether bond. R2 represents an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and optionally having a branch. R3 represents carbon. From the resin composition containing the organic compound (B) and the organic solvent (C) represented by Formula 1 to 4 which may have a branched alkylene group, and m represents an integer of 0 to 5. An inorganic compound dispersing agent, wherein the inorganic compound dispersing agent has an acid value of 5 mgKOH/g or less;
[2] The inorganic compound dispersion agent according to [1], wherein the organic compound (B) has an acid value of 5 mgKOH/g or less;
[3] R1 and/or R4 are each independently the following general formula (2):
Figure 0006732588
(In the formula, R5 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which may have a branch. R6 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a branch. R7 represents 1 to 1 carbon atoms. 4 represents an alkylene group, and n represents an integer of 0 to 2), which is an organic group having at least one ether bond represented by the formula [1] or [2];
[4] The inorganic compound dispersion agent according to any one of [1] to [3], containing 1 to 60 parts by mass of the organic compound (B) with respect to 100 parts by mass of the binder resin (A);
[5] The inorganic compound dispersion agent according to any one of [1] to [4], wherein the binder resin (A) contains at least one selected from the group consisting of polyvinyl acetal, ethyl cellulose and (meth)acrylic resin;
[6] The binder resin (A) contains polyvinyl acetal, and the polyvinyl acetal has a degree of acetalization of 50 to 85 mol% and a content of vinyl ester monomer units of 0.1 to 20 mol %. An agent for dispersing an inorganic compound according to [5], which has a viscosity average degree of polymerization of 200 to 5,000;
[7] A slurry composition containing the inorganic compound (D) and the inorganic compound dispersing agent of any one of [1] to [6];
[8] A binder resin (A) having a hydroxyl group in the molecule, the following general formula (1):
Figure 0006732588
(In the formula, R1 and R4 each independently represent an organic group having at least one ether bond. R2 represents an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and optionally having a branch. R3 represents carbon. Represents an alkylene group which may have a branch number of 1 to 4, m represents an integer of 0 to 5), an organic compound (B), an organic solvent (C) and an inorganic compound (D). A slurry composition comprising the resin composition contained;
[9] The slurry composition of [7] or [8], wherein the inorganic compound (D) is a ceramic powder;
[10] The slurry composition of [9], which contains 2 to 200 parts by mass of an organic solvent (C) with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder;
[11] A ceramic green sheet produced by using the slurry composition of [9] or [10];
[12] This is the ratio of the detected Ba+ ion intensity to the detected Ti+ ion intensity when secondary ion analysis is performed on at least one side of the ceramic green sheet with a time-of-flight secondary ion analyzer. The ceramic green sheet of [11], wherein (Ba+ ion strength)/(Ti+ ion strength) satisfies 20<(Ba+ ion strength)/(Ti+ ion strength)<1000.
[13] The slurry composition of [7] or [8], wherein the inorganic compound (D) is a conductive powder;
[14] The slurry composition of [13], containing 1 to 50 parts by mass of the binder resin (A) with respect to 100 parts by mass of the conductive powder;
[15] The slurry composition according to [13] or [14], containing 5 to 600 parts by mass of an organic solvent (C) with respect to 100 parts by mass of the conductive powder;
[16] A conductive paste comprising the slurry composition according to any one of [13] to [15];
[17] A coated sheet obtained by arranging a layer obtained by drying a conductive paste on at least one surface of the ceramic green sheet of [11] or [12];
[18] A coated sheet obtained by arranging a layer obtained by drying the conductive paste according to [16] on at least one surface of a ceramic green sheet;
[19] The ceramic green sheet of [11] or [12], at least a part of which is subjected to plasma treatment;
[20] The coated sheet according to [17] or [18], wherein at least a part of the surface of the coated sheet is plasma-treated.

本発明によれば、無機化合物の分散性に優れる無機化合物分散用剤を提供できる。 According to the present invention, an inorganic compound dispersing agent having excellent dispersibility of an inorganic compound can be provided.

また、本発明の無機化合物分散用剤を用いてスラリー組成物を作製した場合に、該スラリー組成物が保存安定性に優れる無機化合物分散用剤を提供できる。 Further, when a slurry composition is prepared using the inorganic compound dispersing agent of the present invention, it is possible to provide an inorganic compound dispersing agent having excellent storage stability of the slurry composition.

また、本発明の無機化合物分散用剤により得られるスラリー組成物を用いてセラミックグリーンシートを作製した場合に、該セラミックグリーンシートの圧着時の接着性に優れる無機化合物分散用剤を提供できる。 Further, when a ceramic green sheet is produced by using a slurry composition obtained from the inorganic compound dispersing agent of the present invention, it is possible to provide an inorganic compound dispersing agent having excellent adhesiveness when the ceramic green sheet is pressure-bonded.

また、本発明の無機化合物分散用剤により得られるスラリー組成物を用いて導電ペーストを作製し、該導電ペーストを任意のセラミックグリーンシートへ塗工して得られる塗工シートを作製した場合に、塗工シートの圧着時の接着性に優れる無機化合物分散用剤を提供できる。また、本発明の無機化合物分散用剤により得られるセラミックグリーンシートに任意の導電ペーストを塗工して得られる塗工シートを作製した場合に、圧着時の接着性に優れる無機化合物分散用剤を提供できる。 Further, in the case of producing a conductive paste using the slurry composition obtained by the inorganic compound dispersing agent of the present invention, in the case of producing a coating sheet obtained by applying the conductive paste to any ceramic green sheet, It is possible to provide an agent for dispersing an inorganic compound, which has excellent adhesiveness when a coated sheet is pressure-bonded. Further, when a ceramic green sheet obtained by applying the inorganic compound dispersing agent of the present invention to prepare a coated sheet obtained by coating any conductive paste, an inorganic compound dispersing agent excellent in adhesiveness at the time of pressure bonding is obtained. Can be provided.

また、本発明のセラミックグリーンシートおよび/または塗工シートを積層させ焼成体を作製した場合に、デラミネーションが生じにくいセラミックグリーンシートまたは塗工シートを提供できる。 Further, when a ceramic green sheet and/or a coating sheet of the present invention is laminated to produce a fired body, it is possible to provide a ceramic green sheet or a coating sheet in which delamination does not easily occur.

また、本発明の別の目的によれば、本発明のセラミックグリーンシートおよび/または塗工シートを積層させた場合に、圧着時の寸法変化が起こりにくい無機化合物分散用剤を提供できる。 Further, according to another object of the present invention, it is possible to provide an agent for dispersing an inorganic compound, which is less likely to cause a dimensional change during pressure bonding when the ceramic green sheet and/or the coating sheet of the present invention are laminated.

本発明の無機化合物分散用剤は、分子内に水酸基を有するバインダー樹脂(A)、下記一般式(1):

Figure 0006732588
(式中、R1およびR4は、それぞれ独立してエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基を表す。R2は、炭素数1〜20の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R3は、炭素数1〜4の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。mは0〜5の整数を表す。)で表される有機化合物(B)および有機溶剤(C)を含む無機化合物分散用剤であって、該無機化合物分散用剤の酸価が5mgKOH/g以下である無機化合物分散用剤に関するものである。 The agent for dispersing an inorganic compound of the present invention comprises a binder resin (A) having a hydroxyl group in the molecule, the following general formula (1):
Figure 0006732588
(In the formula, R1 and R4 each independently represent an organic group having at least one ether bond. R2 represents an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and optionally having a branch. R3 represents carbon. Represents an alkylene group which may have a branch number of 1 to 4, m represents an integer of 0 to 5), and an inorganic compound dispersing agent containing an organic compound (B) and an organic solvent (C). The present invention also relates to an inorganic compound dispersing agent having an acid value of 5 mgKOH/g or less.

[分子内に水酸基を有するバインダー樹脂(A)]
分子内に水酸基を有するバインダー樹脂(A)(以下「バインダー樹脂(A)」と略称する場合がある)としては、例えば、ポリビニルアセタール、エチルセルロース、メチルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、ポリビニルアルコール、水酸基を有する(メタ)アクリル樹脂、ポリアクリル酸、ポリアルキレンオキサイドなどが挙げられる。中でも、無機化合物分散用剤における無機化合物の分散性、並びにセラミックグリーンシートや塗工シートの柔軟性および接着性の点でポリビニルアセタール、エチルセルロース、水酸基を有する(メタ)アクリル樹脂が好ましく、ポリビニルアセタールがより好ましい。
[Binder resin (A) having a hydroxyl group in the molecule]
Examples of the binder resin (A) having a hydroxyl group in the molecule (hereinafter sometimes abbreviated as “binder resin (A)”) include polyvinyl acetal, ethyl cellulose, methyl cellulose, ethyl hydroxyethyl cellulose, polyvinyl alcohol, and a hydroxyl group ( Examples thereof include (meth)acrylic resin, polyacrylic acid, and polyalkylene oxide. Among them, polyvinyl acetal, ethyl cellulose, and a (meth)acrylic resin having a hydroxyl group are preferable in terms of dispersibility of the inorganic compound in the inorganic compound dispersing agent, and flexibility and adhesiveness of the ceramic green sheet or coating sheet, and polyvinyl acetal is preferable. More preferable.

バインダー樹脂(A)の酸価は、3mgKOH/g以下であることが好ましく、2mgKOH/g以下であることがより好ましく、1mgKOH/g以下であることがさらに好ましく、0.8mgKOH/g以下であることが特に好ましい。バインダー樹脂(A)の酸価が上記範囲を満たす場合には、無機化合物分散用剤を用いてスラリー組成物としたときの保存安定性に優れ、該スラリー組成物を用いてセラミックグリーンシートを作製した場合におけるデラミネーションの低減という観点から、また生産工程の腐食性を低減するという観点から好適である。 The acid value of the binder resin (A) is preferably 3 mgKOH/g or less, more preferably 2 mgKOH/g or less, further preferably 1 mgKOH/g or less, and 0.8 mgKOH/g or less. Is particularly preferable. When the acid value of the binder resin (A) satisfies the above range, the storage stability of the slurry composition using the inorganic compound dispersing agent is excellent, and a ceramic green sheet is produced using the slurry composition. This is preferable from the viewpoint of reducing delamination in the case of doing so and also from the viewpoint of reducing corrosiveness in the production process.

バインダー樹脂(A)として後述するポリビニルアセタールを用いる場合に、ポリビニルアセタールの酸価を3mgKOH/g以下とするためには、ポリビニルアセタールの原料であるポリビニルアルコールの水溶液に、アルデヒド類を先に添加した後に低温で触媒を添加したり、攪拌効率を高めたり、界面活性剤を使用するなどして、洗浄しやすい多孔質状のポリビニルアセタールを生成させる方法、反応後の水洗時に水溶性有機溶剤を併用する方法、エポキシ化合物などの酸と容易に反応する化合物を添加する方法、樹脂を溶剤に溶解して透析膜などを用いて精製する方法などが挙げられる。これらの中でも、工程簡略化の観点から、多孔質状のポリビニルアセタールを生成させる方法が特に好ましく、原料であるポリビニルアルコールの水溶液に、アルデヒド類を先に添加した後に低温で触媒を添加する方法が特に好適に採用される。なお、酸価の測定方法は、JIS K 6728:1977年の規定に記載の方法による。 In the case of using the polyvinyl acetal described below as the binder resin (A), in order to keep the acid value of the polyvinyl acetal at 3 mgKOH/g or less, the aldehydes were first added to the aqueous solution of polyvinyl alcohol as the raw material of the polyvinyl acetal. A method to generate a porous polyvinyl acetal that is easy to wash by adding a catalyst at a low temperature later, improving stirring efficiency, or using a surfactant, and using a water-soluble organic solvent when washing with water after the reaction Method, a method of adding a compound that easily reacts with an acid such as an epoxy compound, a method of dissolving a resin in a solvent and purifying it using a dialysis membrane or the like. Among these, from the viewpoint of process simplification, a method of generating a porous polyvinyl acetal is particularly preferable, and a method of adding a catalyst at a low temperature after first adding an aldehyde to an aqueous solution of polyvinyl alcohol as a raw material is a method. Particularly preferably adopted. The acid value is measured by the method described in JIS K 6728:1977.

(ポリビニルアセタール)
バインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、バインダー樹脂(A)中のポリビニルアセタールの含有量は5質量%以上であることが好ましく、30質量%以上であることがより好ましく、50質量%以上であることがさらに好ましく、70質量%以上であることが特に好ましく、100質量%であることが最も好ましい。
(Polyvinyl acetal)
When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A), the content of the polyvinyl acetal in the binder resin (A) is preferably 5% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, and 50% by mass. It is more preferably at least 70% by mass, particularly preferably at least 70% by mass, and most preferably 100% by mass.

前記ポリビニルアセタールのアセタール化度は50モル%以上であることが好ましく、55モル%以上であることがより好ましく、60モル%以上であることがさらに好ましく、65モル%以上であることが特に好ましい。また、ポリビニルアセタールのアセタール化度は85モル%以下であることが好ましく、82モル%以下であることがより好ましく、78モル%以下であることがさらに好ましく、75モル%以下であることが特に好ましい。 The degree of acetalization of the polyvinyl acetal is preferably 50 mol% or more, more preferably 55 mol% or more, further preferably 60 mol% or more, and particularly preferably 65 mol% or more. .. Further, the degree of acetalization of polyvinyl acetal is preferably 85 mol% or less, more preferably 82 mol% or less, further preferably 78 mol% or less, and particularly preferably 75 mol% or less. preferable.

前記ポリビニルアセタールのビニルエステル単量体単位の含有量は0.1モル%以上であることが好ましく、0.3モル%以上であることがより好ましく、0.5モル%以上であることがさらに好ましく、0.7モル%以上であることが特に好ましい。前記ポリビニルアセタールのビニルエステル単量体単位の含有量は20モル%以下であることが好ましく、18モル%以下であることがより好ましく、15モル%以下であることがさらに好ましく、13モル%以下であることが特に好ましい。 The content of the vinyl ester monomer unit of the polyvinyl acetal is preferably 0.1 mol% or more, more preferably 0.3 mol% or more, further preferably 0.5 mol% or more. It is preferably 0.7 mol% or more, and particularly preferably 0.7 mol% or more. The content of the vinyl ester monomer unit of the polyvinyl acetal is preferably 20 mol% or less, more preferably 18 mol% or less, further preferably 15 mol% or less, and 13 mol% or less. Is particularly preferable.

前記ポリビニルアセタールのビニルアルコール単量体単位の含有量は15モル%以上であることが好ましく、25モル%以上であることがより好ましい。前記ポリビニルアセタールのビニルアルコール単量体単位の含有量は50モル%以下であることが好ましく、40モル%以下であることがより好ましく、35モル%以下であることがさらに好ましい。なお、原料のPVA中のビニルアルコール単量体単位のうち、アセタール化されなかったものは、得られるポリビニルアセタール中において、ビニルアルコール単量体単位として残存する。 The content of the vinyl alcohol monomer unit in the polyvinyl acetal is preferably 15 mol% or more, and more preferably 25 mol% or more. The content of the vinyl alcohol monomer unit in the polyvinyl acetal is preferably 50 mol% or less, more preferably 40 mol% or less, and further preferably 35 mol% or less. Among the vinyl alcohol monomer units in the raw material PVA, those not acetalized remain as vinyl alcohol monomer units in the obtained polyvinyl acetal.

前記ポリビニルアセタール中の、アセタール化された単量体単位、ビニルエステル単量体単位およびビニルアルコール単量体単位以外の単量体単位の含有量は、20モル%以下であることが好ましく、10モル%以下であることがより好ましい。 The content of monomer units other than acetalized monomer units, vinyl ester monomer units and vinyl alcohol monomer units in the polyvinyl acetal is preferably 20 mol% or less. More preferably, it is at most mol %.

前記ポリビニルアセタールの粘度平均重合度は200以上であることが好ましく、5000以下であることが好ましい。より好適な範囲は後述する。なお、バインダー樹脂(A)に含有されるポリビニルアセタールの粘度平均重合度は、JIS K 6726:1994に準拠して測定される原料のポリビニルアルコール(以後「PVA」と略記する場合がある)の粘度平均重合度で表される。すなわち、PVAをけん化度99.5モル%以上に再けん化し、精製した後、30℃の水中で測定した極限粘度[η](l/g)から、数式(I):

Figure 0006732588
により求めることができる。PVAの粘度平均重合度と、それをアセタール化して得られるポリビニルアセタールの粘度平均重合度とは、実質的に同じである。 The viscosity average degree of polymerization of the polyvinyl acetal is preferably 200 or more, and preferably 5000 or less. A more suitable range will be described later. The viscosity average degree of polymerization of the polyvinyl acetal contained in the binder resin (A) is the viscosity of the raw material polyvinyl alcohol (hereinafter sometimes abbreviated as “PVA”) measured according to JIS K 6726:1994. It is represented by the average degree of polymerization. That is, after re-saponifying PVA to a saponification degree of 99.5 mol% or more and purifying it, from the intrinsic viscosity [η] (l/g) measured in water at 30°C, the formula (I):
Figure 0006732588
Can be obtained by The viscosity average degree of polymerization of PVA and the viscosity average degree of polymerization of polyvinyl acetal obtained by acetalizing it are substantially the same.

(ポリビニルアセタールの製造方法)
前記ポリビニルアセタールは、通常、PVAをアセタール化することにより製造される。
(Method for producing polyvinyl acetal)
The polyvinyl acetal is usually produced by acetalizing PVA.

原料PVAのけん化度は80モル%以上であることが好ましく、82モル%以上であることがより好ましく、85モル%以上であることがさらに好ましく、87モル%以上であることが最も好ましい。原料PVAのけん化度は99.9モル%以下であることが好ましく、99.7モル%以下であることがより好ましく、99.5モル%以下であることがさらに好ましく、99.3モル%以下であることが最も好ましい。 The saponification degree of the raw material PVA is preferably 80 mol% or more, more preferably 82 mol% or more, further preferably 85 mol% or more, and most preferably 87 mol% or more. The saponification degree of the raw material PVA is preferably 99.9 mol% or less, more preferably 99.7 mol% or less, further preferably 99.5 mol% or less, and 99.3 mol% or less. Is most preferable.

原料PVAのけん化度が99.9モル%を超える場合、PVAを安定に製造することができない場合がある。なお、PVAのけん化度はJIS K 6726:1994に準拠して測定される。 When the saponification degree of the raw material PVA exceeds 99.9 mol%, it may be impossible to stably produce PVA. The saponification degree of PVA is measured according to JIS K 6726:1994.

原料PVAは、従来公知の手法、すなわちビニルエステル系単量体を重合し、得られた重合体をけん化することによって得ることができる。ビニルエステル系単量体を重合する方法としては、溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法等、従来公知の方法を適用することができる。重合開始剤としては、重合方法に応じて、アゾ系開始剤、過酸化物系開始剤、レドックス系開始剤等が適宜選ばれる。けん化反応は、従来公知のアルカリ触媒または酸触媒を用いる加アルコール分解、加水分解等が適用でき、この中でもメタノールを溶剤とし苛性ソーダ(NaOH)触媒を用いるけん化反応が簡便であり最も好ましい。 The raw material PVA can be obtained by a conventionally known method, that is, by polymerizing a vinyl ester monomer and saponifying the obtained polymer. As a method for polymerizing the vinyl ester-based monomer, a conventionally known method such as a solution polymerization method, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method or an emulsion polymerization method can be applied. As the polymerization initiator, an azo-based initiator, a peroxide-based initiator, a redox-based initiator and the like are appropriately selected depending on the polymerization method. As the saponification reaction, alcoholysis or hydrolysis using a conventionally known alkali catalyst or acid catalyst can be applied. Among them, the saponification reaction using a caustic soda (NaOH) catalyst with methanol as a solvent is simple and most preferable.

前記ビニルエステル系単量体としては、例えば、ギ酸ビニル、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、イソ酪酸ビニル、ピバリン酸ビニル、バーサチック酸ビニル、カプロン酸ビニル、カプリル酸ビニル、ラウリル酸ビニル、パルミチン酸ビニル、ステアリン酸ビニル、オレイン酸ビニル、安息香酸ビニル等が挙げられるが、とりわけ酢酸ビニルが好ましい。 Examples of the vinyl ester-based monomer include vinyl formate, vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl isobutyrate, vinyl pivalate, vinyl versatate, vinyl caproate, vinyl caprylate, vinyl laurate, and palmitine. Examples thereof include vinyl acetate, vinyl stearate, vinyl oleate, and vinyl benzoate, with vinyl acetate being particularly preferred.

また、前記ビニルエステル系単量体を重合する際、本発明の趣旨を損なわない範囲で他の単量体と共重合させることもできる。したがって、本発明におけるポリビニルアルコールは、ビニルアルコール単位と他の単量体単位で構成される重合体も含む概念である。他の単量体の例としては、例えば、エチレン、プロピレン、n−ブテン、i−ブテン等のα−オレフィン;アクリル酸およびその塩;アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸n−プロピル、アクリル酸i−プロピル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸i−ブチル、アクリル酸t−ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸ドデシル、アクリル酸オクタデシル等のアクリル酸エステル類;メタクリル酸およびその塩;メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−プロピル、メタクリル酸i−プロピル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸i−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸ドデシル、メタクリル酸オクタデシル等のメタクリル酸エステル類;アクリルアミド、N−メチルアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、アクリルアミドプロパンスルホン酸およびその塩、アクリルアミドプロピルジメチルアミンおよびその酸塩または4級塩、N−メチロールアクリルアミドおよびその誘導体等のアクリルアミド誘導体;メタクリルアミド、N−メチルメタクリルアミド、N−エチルメタクリルアミド、メタクリルアミドプロパンスルホン酸およびその塩、メタクリルアミドプロピルジメチルアミンおよびその酸塩または4級塩、N−メチロールメタクリルアミドおよびその誘導体等のメタクリルアミド誘導体;メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、n−プロピルビニルエーテル、i−プロピルビニルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、i−ブチルビニルエーテル、t−ブチルビニルエーテル、ドデシルビニルエーテル、ステアリルビニルエーテル等のビニルエーテル類;アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のニトリル類;塩化ビニル、フッ化ビニル等のハロゲン化ビニル;塩化ビニリデン、フッ化ビニリデン等のハロゲン化ビニリデン;酢酸アリル、塩化アリル等のアリル化合物;マレイン酸およびその塩、エステルまたは無水物;ビニルトリメトキシシラン等のビニルシリル化合物;酢酸イソプロペニル等が挙げられる。これらの単量体は通常ビニルエステル系単量体に対して10モル%未満の割合で用いられる。 Further, when the vinyl ester-based monomer is polymerized, it may be copolymerized with another monomer within a range not impairing the gist of the present invention. Therefore, the polyvinyl alcohol in the present invention is a concept including a polymer composed of a vinyl alcohol unit and another monomer unit. Examples of other monomers include, for example, α-olefins such as ethylene, propylene, n-butene, i-butene; acrylic acid and salts thereof; methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, acrylic. Acrylic acid esters such as i-propyl acrylate, n-butyl acrylate, i-butyl acrylate, t-butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, dodecyl acrylate, octadecyl acrylate; methacrylic acid and its salts; methacrylic Methyl acid, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, i-propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, dodecyl methacrylate, octadecyl methacrylate. Methacrylic acid esters such as acrylamide, N-methyl acrylamide, N-ethyl acrylamide, N,N-dimethyl acrylamide, diacetone acrylamide, acrylamidopropanesulfonic acid and its salts, acrylamidopropyldimethylamine and its acid salts or quaternary salts , Acrylamide derivatives such as N-methylolacrylamide and its derivatives; methacrylamide, N-methylmethacrylamide, N-ethylmethacrylamide, methacrylamidepropanesulfonic acid and its salts, methacrylamidepropyldimethylamine and its acid salts or quaternary salts. , Methacrylamide derivatives such as N-methylol methacrylamide and its derivatives; methyl vinyl ether, ethyl vinyl ether, n-propyl vinyl ether, i-propyl vinyl ether, n-butyl vinyl ether, i-butyl vinyl ether, t-butyl vinyl ether, dodecyl vinyl ether, stearyl. Vinyl ethers such as vinyl ethers; nitriles such as acrylonitrile and methacrylonitrile; vinyl halides such as vinyl chloride and vinyl fluoride; vinylidene halides such as vinylidene chloride and vinylidene fluoride; allyl compounds such as allyl acetate and allyl chloride; Maleic acid and its salts, esters or anhydrides; vinylsilyl compounds such as vinyltrimethoxysilane; isopropenyl acetate and the like. These monomers are usually used in a proportion of less than 10 mol% based on the vinyl ester monomer.

他の単量体単位がα−オレフィン単位である場合、その含有量は、好ましい下限が1モル%、好ましい上限が20モル%である。1モル%未満であると、上記α−オレフィンを含有する効果が不十分となり、20モル%を超えると、疎水性が強くなりすぎてセラミック粉体の分散性が低下したり、ポリビニルアルコール樹脂の溶解性が低下するため、アセタール化反応が困難になったりする。 When the other monomer unit is an α-olefin unit, the content has a preferable lower limit of 1 mol% and a preferable upper limit of 20 mol %. If it is less than 1 mol %, the effect of containing the α-olefin becomes insufficient, and if it exceeds 20 mol %, the hydrophobicity becomes too strong and the dispersibility of the ceramic powder is lowered, or the polyvinyl alcohol resin Since the solubility decreases, the acetalization reaction becomes difficult.

本発明において、アセタール化反応に用いる酸触媒としては特に限定されず、有機酸および無機酸のいずれでも使用可能である。例えば、酢酸、パラトルエンスルホン酸、硝酸、硫酸、塩酸等が挙げられる。これらの中でも塩酸、硫酸、硝酸が好ましく用いられる。また、一般には、硝酸を用いた場合は、アセタール化反応の反応速度が速くなり、生産性の向上が望める一方、得られるポリビニルアセタールの粒子が粗大になりやすく、バッチ間のばらつきが大きくなる傾向があるため、特に塩酸が好ましい。 In the present invention, the acid catalyst used in the acetalization reaction is not particularly limited, and either an organic acid or an inorganic acid can be used. For example, acetic acid, paratoluenesulfonic acid, nitric acid, sulfuric acid, hydrochloric acid and the like can be mentioned. Among these, hydrochloric acid, sulfuric acid and nitric acid are preferably used. Further, in general, when nitric acid is used, the reaction rate of the acetalization reaction becomes faster, and improvement in productivity can be expected, while the particles of the polyvinyl acetal to be obtained tend to be coarse, and the variation between batches tends to increase. Therefore, hydrochloric acid is particularly preferable.

アセタール化反応に用いるアルデヒドは特に限定されないが、公知の炭化水素基を有するアルデヒドが挙げられる。該炭化水素基を有するアルデヒドは、脂肪族アルデヒドとしては、ホルムアルデヒド(パラホルムアルデヒドを含む)、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ブチルアルデヒド、イソブチルアルデヒド、バレルアルデヒド、イソバレルアルデヒド、ヘキシルアルデヒド、2−エチルブチルアルデヒド、ピバルアルデヒド、オクチルアルデヒド、2−エチルヘキシルアルデヒド、ノニルアルデヒド、デシルアルデヒド、ドデシルアルデヒド等が、脂環族アルデヒドとしては、シクロペンタンアルデヒド、メチルシクロペンタンアルデヒド、ジメチルシクロペンタンアルデヒド、シクロヘキサンアルデヒド、メチルシクロヘキサンアルデヒド、ジメチルシクロヘキサンアルデヒド、シクロヘキサンアセトアルデヒド等が、環式不飽和アルデヒドとしては、シクロペンテンアルデヒド、シクロヘキセンアルデヒド等が、芳香族あるいは不飽和結合含有アルデヒドとしては、ベンズアルデヒド、メチルベンズアルデヒド、ジメチルベンズアルデヒド、メトキシベンズアルデヒド、フェニルアセトアルデヒド、フェニルプロピルアルデヒド、クミンアルデヒド、ナフチルアルデヒド、アントラアルデヒド、シンナムアルデヒド、クロトンアルデヒド、アクロレインアルデヒド、7−オクテン−1−アール等が、複素環アルデヒドとしては、フルフラールアルデヒド、メチルフルフラールアルデヒド等が挙げられる。これらのアルデヒドの中で、炭素数1〜8のアルデヒドが好ましく、炭素数4〜6のアルデヒドがより好ましく、n−ブチルアルデヒドが特に好ましく用いられる。本発明においては、アルデヒドを2種類以上併用して得られるポリビニルアセタールを使用することもできる。 The aldehyde used in the acetalization reaction is not particularly limited, and examples thereof include known aldehydes having a hydrocarbon group. The aldehyde having a hydrocarbon group is, as an aliphatic aldehyde, formaldehyde (including paraformaldehyde), acetaldehyde, propionaldehyde, butyraldehyde, isobutyraldehyde, valeraldehyde, isovaleraldehyde, hexylaldehyde, 2-ethylbutyraldehyde, Pivalaldehyde, octyl aldehyde, 2-ethylhexyl aldehyde, nonyl aldehyde, decyl aldehyde, dodecyl aldehyde, etc., and as alicyclic aldehydes, cyclopentane aldehyde, methyl cyclopentane aldehyde, dimethyl cyclopentane aldehyde, cyclohexane aldehyde, methyl cyclohexane aldehyde , Dimethyl cyclohexane aldehyde, cyclohexane acetaldehyde and the like, cyclic unsaturated aldehydes such as cyclopentene aldehyde and cyclohexene aldehyde, and aromatic or unsaturated bond-containing aldehydes such as benzaldehyde, methylbenzaldehyde, dimethylbenzaldehyde, methoxybenzaldehyde and phenylacetaldehyde. , Phenylpropyl aldehyde, cumin aldehyde, naphthyl aldehyde, anthra aldehyde, cinnam aldehyde, croton aldehyde, acrolein aldehyde, 7-octen-1-al and the like, and heterocyclic aldehydes include furfural aldehyde and methyl furfural aldehyde. Among these aldehydes, aldehydes having 1 to 8 carbon atoms are preferable, aldehydes having 4 to 6 carbon atoms are more preferable, and n-butyraldehyde is particularly preferable. In the present invention, it is also possible to use a polyvinyl acetal obtained by using two or more aldehydes in combination.

アセタール化反応に用いるアルデヒドは、炭化水素系以外のアルデヒドも用いる事ができる。例えば、アミノ基、エステル基、カルボニル基、ビニル基から選ばれる官能基を有するアルデヒドを用いてもよい。 As the aldehyde used for the acetalization reaction, an aldehyde other than a hydrocarbon type can be used. For example, an aldehyde having a functional group selected from an amino group, an ester group, a carbonyl group, and a vinyl group may be used.

アミノ基を官能基として有するアルデヒドとしては、アミノアセトアルデヒド、ジメチルアミノアセトアルデヒド、ジエチルアミノアセトアルデヒド、アミノプロピオンアルデヒド、ジメチルアミノプロピオンアルデヒド、アミノブチルアルデヒド、アミノペンチルアルデヒド、アミノベンズアルデヒド、ジメチルアミノベンズアルデヒド、エチルメチルアミノベンズアルデヒド、ジエチルアミノベンズアルデヒド、ピロリジルアセトアルデヒド、ピペリジルアセトアルデヒド、ピリジルアセトアルデヒドなどが挙げられ、アミノブチルアルデヒドが生産性の観点から好ましい。 As the aldehyde having an amino group as a functional group, aminoacetaldehyde, dimethylaminoacetaldehyde, diethylaminoacetaldehyde, aminopropionaldehyde, dimethylaminopropionaldehyde, aminobutyraldehyde, aminopentylaldehyde, aminobenzaldehyde, dimethylaminobenzaldehyde, ethylmethylaminobenzaldehyde, Examples thereof include diethylaminobenzaldehyde, pyrrolidylacetaldehyde, piperidylacetaldehyde, and pyridylacetaldehyde, and aminobutyraldehyde is preferable from the viewpoint of productivity.

エステル基を官能基として有するアルデヒドとしては、グリオキシル酸メチル、グリオキシル酸エチル、ホルミル酢酸メチル、ホルミル酢酸エチル、3−ホルミルプロピオン酸メチル、3−ホルミルプロピオン酸エチル、5−ホルミルペンタン酸メチル、5−ホルミルペンタン酸エチルなどが挙げられる。 As the aldehyde having an ester group as a functional group, methyl glyoxylate, ethyl glyoxylate, methyl formyl acetate, ethyl formyl acetate, methyl 3-formylpropionate, ethyl 3-formylpropionate, methyl 5-formylpentanoate, 5- Examples include ethyl formylpentanoate and the like.

カルボニル基を官能基として有するアルデヒドとしては、グリオキシル酸およびその金属塩あるいはアンモニウム塩、2−ホルミル酢酸およびその金属塩あるいはアンモニウム塩、3−ホルミルプロピオン酸およびその金属塩あるいはアンモニウム塩、5−ホルミルペンタン酸およびその金属塩あるいはアンモニウム塩、4−ホルミルフェノキシ酢酸およびその金属塩あるいはアンモニウム塩、2−カルボキシベンズアルデヒドおよびその金属塩あるいはアンモニウム塩、4−カルボキシベンズアルデヒドおよびその金属塩あるいはアンモニウム塩、2,4−ジカルボキシベンズアルデヒドおよびその金属塩あるいはアンモニウム塩などが挙げられる。 Examples of the aldehyde having a carbonyl group as a functional group include glyoxylic acid and its metal salt or ammonium salt, 2-formylacetic acid and its metal salt or ammonium salt, 3-formylpropionic acid and its metal salt or ammonium salt, and 5-formylpentane. Acid and its metal salt or ammonium salt, 4-formylphenoxyacetic acid and its metal salt or ammonium salt, 2-carboxybenzaldehyde and its metal salt or ammonium salt, 4-carboxybenzaldehyde and its metal salt or ammonium salt, 2,4- Examples include dicarboxybenzaldehyde and its metal salts or ammonium salts.

ビニル基を官能基として有するアルデヒドとしてはアクロレイン等が挙げられる。 Examples of the aldehyde having a vinyl group as a functional group include acrolein and the like.

また、本発明の特性を損なわない範囲で、複素環アルデヒド、アミド基を有するアルデヒド、水酸基を有するアルデヒド、スルホン酸基を有するアルデヒド、リン酸基を有するアルデヒド、シアノ基、ニトロ基または4級アンモニウム塩などを有するアルデヒド、ハロゲン原子を有するアルデヒドなどを使用してもよい。 Further, as long as the characteristics of the present invention are not impaired, heterocyclic aldehyde, aldehyde having an amide group, aldehyde having a hydroxyl group, aldehyde having a sulfonic acid group, aldehyde having a phosphoric acid group, cyano group, nitro group or quaternary ammonium. Aldehydes having salts and the like, aldehydes having halogen atoms and the like may be used.

(水酸基を有する(メタ)アクリル樹脂)
バインダー樹脂(A)として水酸基を有する(メタ)アクリル樹脂を用いる場合、例えば、水酸基を有する(メタ)アクリル樹脂としては水酸基を有する(メタ)アクリルモノマーと水酸基を有さない(メタ)アクリルモノマーとの共重合体を用いることができる。水酸基を有する(メタ)アクリルモノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、2,3−ジヒドロキシプロピルアクリレート、ポリエチレングリコールモノアクリレート、ポリプロピレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコール−ポリテトラメチレングリコールモノアクリレート、ポリプロピレングリコール−ポリテトラメチレングリコールモノアクリレート等のアクリレート;2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、2,3−ジヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールモノメタクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタクリレート、ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコールモノメタクリレート、ポリエチレングリコール−ポリテトラメチレングリコールモノメタクリレート、ポリプロピレングリコール−ポリテトラメチレングリコールモノメタクリレート等のメタクリレートが挙げられる。中でも焼結性の面から水酸基を有するメタクリレートが好ましく、具体的には、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールモノメタクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタクリレートが好ましい。
((Meth)acrylic resin having hydroxyl group)
When a (meth)acrylic resin having a hydroxyl group is used as the binder resin (A), for example, a (meth)acrylic monomer having a hydroxyl group and a (meth)acrylic monomer having no hydroxyl group are used as the (meth)acrylic resin having a hydroxyl group. Can be used. Examples of the (meth)acrylic monomer having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate and 2,3-dihydroxypropyl acrylate. Acrylate such as polyethylene glycol monoacrylate, polypropylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol-polypropylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol-polytetramethylene glycol monoacrylate, polypropylene glycol-polytetramethylene glycol monoacrylate; 2-hydroxyethyl methacrylate, 2- Hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, 2,3-dihydroxypropyl methacrylate, polyethylene glycol monomethacrylate, polypropylene glycol monomethacrylate, polyethylene glycol-polypropylene glycol monomethacrylate, polyethylene glycol -Methacrylates such as polytetramethylene glycol monomethacrylate and polypropylene glycol-polytetramethylene glycol monomethacrylate. Among them, methacrylate having a hydroxyl group is preferable from the viewpoint of sinterability, and specifically, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, polyethylene glycol monomethacrylate, and polypropylene glycol monomethacrylate are preferable.

また、水酸基を有さない(メタ)アクリルモノマーとしては、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチルアクリレート、sec−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、t−ブチルアクリレート、n−ヘキシルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、ラウリルアクリレート、イソデシルアクリレート、イソボロニルアクリレート、テトラヒドロフリルアクリレート等のアクリレート;エチルメタクリレート、n−プロピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、sec−ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート、n−ヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ラウリルメタクリレート、イソデシルメタクリレート、イソボロニルメタクリレート、テトラヒドロフリルメタクリレート等のメタクリレートが挙げられる。中でも焼結性の面からメタクリレートであることが好ましく、具体的には、エチルメタクリレート、n−プロピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、sec−ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート、n−ヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレートが好ましい。 Examples of the (meth)acrylic monomer having no hydroxyl group include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, isobutyl acrylate, t-butyl acrylate, n. -Acrylate such as hexyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, lauryl acrylate, isodecyl acrylate, isobornyl acrylate, tetrahydrofuryl acrylate; ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl Methacrylate, isobutyl methacrylate, t-butyl methacrylate, n-hexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, lauryl methacrylate, isodecyl methacrylate, isobornyl methacrylate, tetrahydrofuryl methacrylate, and other methacrylates can be mentioned. Among them, methacrylate is preferable from the viewpoint of sinterability, and specifically, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, t-butyl methacrylate, n-. Hexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate and 2-ethylhexyl methacrylate are preferred.

上記(メタ)アクリル樹脂中の水酸基を有する(メタ)アクリルモノマーに由来するセグメントの含有量は30質量%以下であることが好ましく、20質量%以下であることがさらに好ましい。水酸基を有する(メタ)アクリルモノマーに由来するセグメントの含有量が30質量%を超えると、焼結後の残留炭素が多くなる場合がある。水酸基を有する(メタ)アクリルモノマーに由来するセグメントの含有量は1質量%以上であることが好ましい。水酸基を有する(メタ)アクリルモノマーに由来するセグメントの含有量が1質量%未満であると、バインダー樹脂(A)として、ポリビニルアセタール樹脂とともに用いた場合に、ポリビニルアセタール樹脂との相溶性が悪くなることがある。 The content of the segment derived from the (meth)acrylic monomer having a hydroxyl group in the (meth)acrylic resin is preferably 30% by mass or less, and more preferably 20% by mass or less. When the content of the segment derived from the (meth)acrylic monomer having a hydroxyl group exceeds 30% by mass, the residual carbon after sintering may increase. The content of the segment derived from the (meth)acrylic monomer having a hydroxyl group is preferably 1% by mass or more. When the content of the segment derived from the (meth)acrylic monomer having a hydroxyl group is less than 1% by mass, the compatibility with the polyvinyl acetal resin is deteriorated when the binder resin (A) is used together with the polyvinyl acetal resin. Sometimes.

(その他)
バインダー樹脂(A)は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用して用いてもよい。2種以上を併用する場合、ポリビニルアセタールとその他バインダー樹脂(A)との混合物などを用いることができる。ポリビニルアセタールとその他バインダー樹脂(A)を混合する場合は、例えば、ポリビニルアセタールとその他バインダー樹脂(A)の質量比は5/95以上であることが好ましく、10/90以上であることがより好ましい。また、ポリビニルアセタールとその他バインダー樹脂(A)の質量比は、95/5以下であることが好ましく、90/10以下であることがより好ましい。その他バインダー樹脂(A)としては、エチルセルロースまたは水酸基を有する(メタ)アクリル樹脂が好ましく、エチルセルロースがより好ましい。ポリビニルアセタールとエチルセルロースを混合する場合は、ポリビニルアセタールとエチルセルロースの質量比は5/95以上であることが好ましく、10/90以上であることがより好ましい。また、ポリビニルアセタールとエチルセルロースの質量比は、95/5以下であることが好ましく、90/10以下であることがより好ましい。
(Other)
As the binder resin (A), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. When using 2 or more types together, the mixture etc. of polyvinyl acetal and other binder resin (A) can be used. When the polyvinyl acetal and the other binder resin (A) are mixed, for example, the mass ratio of the polyvinyl acetal and the other binder resin (A) is preferably 5/95 or more, more preferably 10/90 or more. .. The mass ratio of polyvinyl acetal to the other binder resin (A) is preferably 95/5 or less, more preferably 90/10 or less. As the other binder resin (A), ethyl cellulose or a (meth)acrylic resin having a hydroxyl group is preferable, and ethyl cellulose is more preferable. When mixing polyvinyl acetal and ethyl cellulose, the mass ratio of polyvinyl acetal and ethyl cellulose is preferably 5/95 or more, more preferably 10/90 or more. The mass ratio of polyvinyl acetal to ethyl cellulose is preferably 95/5 or less, more preferably 90/10 or less.

本発明の無機化合物分散用剤において、本発明の効果を損なわない範囲内でバインダー樹脂(A)の他、分子内に水酸基を有さないバインダー樹脂を含有してもよい。分子内に水酸基を有さないバインダー樹脂を用いる場合、その割合はバインダー樹脂(A)100質量部に対して0.01質量部以上であることが好ましく、0.1質量部以上であることがより好ましい。また、分子内に水酸基を有さないバインダー樹脂の割合は、バインダー樹脂(A)100質量部に対して80質量部以下であることが好ましく、50質量部以下であることがより好ましい。 In the agent for dispersing an inorganic compound of the present invention, a binder resin having no hydroxyl group in the molecule may be contained in addition to the binder resin (A) within a range that does not impair the effects of the present invention. When a binder resin having no hydroxyl group in the molecule is used, the proportion thereof is preferably 0.01 parts by mass or more, and preferably 0.1 parts by mass or more, relative to 100 parts by mass of the binder resin (A). More preferable. Further, the proportion of the binder resin having no hydroxyl group in the molecule is preferably 80 parts by mass or less, and more preferably 50 parts by mass or less, relative to 100 parts by mass of the binder resin (A).

[有機化合物(B)]
本発明の無機化合物分散用剤では、化学式(1):

Figure 0006732588
で示される有機化合物(B)を含有する。化学式(1)中のR2は、炭素数1〜20の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R2の炭素数は、15以下であることが好ましく、10以下であることがより好ましく、8以下であることがさらに好ましい。また、R2の炭素数は、2以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、4以上であることがさらに好ましい。R2の炭素数が上記範囲外であると、有機化合物(B)とバインダー樹脂(A)との相溶性が悪くなり、スラリー組成物の保存安定性、セラミックグリーンシートの接着性が低下する傾向にある。R3は、炭素数1〜4の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R3の炭素数は、3以下であることが好ましく、2以下であることがより好ましい。R2およびR3は直鎖構造であってもよく、分岐を有していてもよいが、R2およびR3はそれぞれ独立して直鎖構造であることが好ましい。 [Organic compound (B)]
The inorganic compound dispersion agent of the present invention has the chemical formula (1):
Figure 0006732588
The organic compound (B) represented by R2 in the chemical formula (1) represents an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms which may have a branch. The carbon number of R2 is preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and further preferably 8 or less. The carbon number of R2 is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and further preferably 4 or more. When the carbon number of R2 is out of the above range, the compatibility between the organic compound (B) and the binder resin (A) becomes poor, and the storage stability of the slurry composition and the adhesiveness of the ceramic green sheet tend to be deteriorated. is there. R3 represents an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms which may have a branch. The carbon number of R3 is preferably 3 or less, and more preferably 2 or less. R2 and R3 may have a linear structure or may have a branch, but it is preferable that R2 and R3 each independently have a linear structure.

mは0〜5の整数である。mは2以下であることが好ましく、1以下であることがより好ましく、0であることがさらに好ましい。mが上記範囲よりも大きくなると、有機化合物(B)の沸点が高くなり、焼成時のデラミネーションの原因となることがある。 m is an integer of 0-5. m is preferably 2 or less, more preferably 1 or less, and further preferably 0. When m is larger than the above range, the boiling point of the organic compound (B) becomes high, which may cause delamination during firing.

R1およびR4は、それぞれ独立してエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基である。R1およびR4は、それぞれ独立して複数のエーテル結合を有していてもよい。R1およびR4は、それぞれ独立してエーテル結合を少なくとも一つ有する炭化水素基であることが好ましい。R1およびR4は異なるものであってもよく、同一であってもよい。R1およびR4はそれぞれ、化学式(2):

Figure 0006732588
で示されるエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基であることが、バインダー樹脂(A)との相溶性の観点で好ましい。 R1 and R4 are each independently an organic group having at least one ether bond. R1 and R4 may each independently have a plurality of ether bonds. R1 and R4 are preferably each independently a hydrocarbon group having at least one ether bond. R1 and R4 may be different or the same. R1 and R4 are each represented by the chemical formula (2):
Figure 0006732588
The organic group having at least one ether bond represented by is preferable from the viewpoint of compatibility with the binder resin (A).

R5は、炭素数1〜10の分岐を有してもよいアルキル基を表す。R5の炭素数は、8以下であることが好ましく、6以下であることがより好ましく、4以下であることがさらに好ましい。R5の炭素数が上記範囲を超えると、有機化合物(B)とバインダー樹脂(A)との相溶性が悪くなり、スラリー組成物の保存安定性、セラミックグリーンシートの接着性が低下する傾向にある。R6は、炭素数1〜10の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R6の炭素数は、8以下であることが好ましく、6以下であることがより好ましく、4以下であることがさらに好ましい。R6の炭素数が上記範囲を超えると、有機化合物(B)とバインダー樹脂(A)との相溶性が悪くなり、スラリー組成物の保存安定性、セラミックグリーンシートの接着性が低下する傾向にある。R7は、炭素数1〜4の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R7の炭素数は、3以下であることが好ましく、2以下であることがより好ましい。R6およびR7はそれぞれ独立して直鎖構造であってもよく、分岐を有していてもよい。R6およびR7は直鎖構造であることが好ましい。複数のR7は同一であっても、異なっていてもよい。 R5 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which may have a branch. The carbon number of R5 is preferably 8 or less, more preferably 6 or less, and further preferably 4 or less. When the carbon number of R5 exceeds the above range, the compatibility between the organic compound (B) and the binder resin (A) becomes poor, and the storage stability of the slurry composition and the adhesiveness of the ceramic green sheet tend to be deteriorated. .. R6 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a branch. The carbon number of R6 is preferably 8 or less, more preferably 6 or less, and further preferably 4 or less. When the carbon number of R6 exceeds the above range, the compatibility between the organic compound (B) and the binder resin (A) becomes poor, and the storage stability of the slurry composition and the adhesiveness of the ceramic green sheet tend to be deteriorated. .. R7 represents an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms which may have a branch. The carbon number of R7 is preferably 3 or less, and more preferably 2 or less. R6 and R7 may each independently have a linear structure or may have a branch. R6 and R7 preferably have a linear structure. A plurality of R7 may be the same or different.

nは0〜2の整数である。nは0または1が好ましく、0であることがより好ましい。nが上記範囲を超えると、有機化合物(B)の沸点が高くなり、焼成時のデラミネーションの原因となることがある。 n is an integer of 0-2. n is preferably 0 or 1, and more preferably 0. When n exceeds the above range, the boiling point of the organic compound (B) becomes high, which may cause delamination during firing.

有機化合物(B)の酸価は、5mgKOH/g以下であることが好ましく、3mgKOH/g以下であることがより好ましく、1mgKOH/g以下であることがさらに好ましく、0.5mgKOH/g以下であることが特に好ましい。上述したように、上記範囲を満たす場合には、長期保管時の粘度などの品質の安定性(保存安定性)、脱脂時の急激な分解によるデラミネーションの低減という観点から、また、生産工程の腐食性を低減するという観点から好適である。ここで、有機化合物(B)に不純物が含まれる場合には、不純物込みの酸価を測定するものとする。 The acid value of the organic compound (B) is preferably 5 mgKOH/g or less, more preferably 3 mgKOH/g or less, further preferably 1 mgKOH/g or less, and 0.5 mgKOH/g or less. Is particularly preferable. As described above, when the above range is satisfied, from the viewpoint of stability of quality such as viscosity during long-term storage (storage stability) and reduction of delamination due to rapid decomposition during degreasing, It is preferable from the viewpoint of reducing corrosiveness. Here, when the organic compound (B) contains impurities, the acid value including impurities is to be measured.

有機化合物(B)の分子量は、200以上が好ましく、250以上がより好ましい。分子量が上記範囲未満であると、揮発性が高く、シート乾燥時に揮発し、十分な接着性が発現しない場合がある。また、本発明で用いられる有機化合物(B)の分子量は、500以下であることが好ましく、400以下であることがより好ましい。分子量が上記範囲より大きいと、有機化合物(B)の粘度が高くなる、あるいは固形化し、樹脂との相溶性が下がる傾向にある。 The molecular weight of the organic compound (B) is preferably 200 or more, more preferably 250 or more. When the molecular weight is less than the above range, the volatility is high, and when the sheet is dried, it volatilizes, and sufficient adhesiveness may not be exhibited. The molecular weight of the organic compound (B) used in the present invention is preferably 500 or less, more preferably 400 or less. When the molecular weight is larger than the above range, the viscosity of the organic compound (B) tends to be high or the organic compound (B) is solidified, and the compatibility with the resin tends to be lowered.

有機化合物(B)の構造としては、分子中に水酸基を含まないものが好ましい。有機化合物(B)に水酸基が含まれた場合、圧着時の界面での作用が低下する傾向に有り、十分な接着性が得られない場合がある。 The structure of the organic compound (B) is preferably one having no hydroxyl group in the molecule. When the organic compound (B) contains a hydroxyl group, the action at the interface at the time of pressure bonding tends to be lowered, and sufficient adhesiveness may not be obtained.

有機化合物(B)としては、例えば、アジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)、アジピン酸ビス(2−メトキシエチル)、アジピン酸ビス(2−エトキシエチル)、アジピン酸ビス[2−(2−ブトキシエトキシ)エチル]、アジピン酸ビス(3−メトキシ−3−メチルブチル)、セバシン酸ビス(2−メトキシエチル)、ジグリコール酸ビス(2−メトキシエチル)などが挙げられる。中でも、スラリー組成物の保存安定性に優れ、セラミックグリーンシートの接着性に優れ、適度な強度保持という点で、アジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)、アジピン酸ビス(2−メトキシエチル)が好ましい。 Examples of the organic compound (B) include bis(2-butoxyethyl) adipate, bis(2-methoxyethyl) adipate, bis(2-ethoxyethyl) adipate, and bis[2-(2-butoxy) adipate. Ethoxy)ethyl], bis(3-methoxy-3-methylbutyl) adipate, bis(2-methoxyethyl) sebacate, bis(2-methoxyethyl) diglycolate and the like. Among them, bis(2-butoxyethyl) adipate and bis(2-methoxyethyl) adipate are preferable in terms of excellent storage stability of the slurry composition, excellent adhesiveness of the ceramic green sheet, and moderate strength retention. ..

有機化合物(B)の含有量は特に限定されないが、バインダー樹脂(A)100質量部に対して1質量部以上であることが好ましく、5質量部以上であることがより好ましく、10質量部以上であることがさらに好ましい。有機化合物(B)の含有量が、1質量部未満となると、無機の分散性、スラリー組成物の保存安定性が悪くなる傾向にある。有機化合物(B)の含有量は、60質量部以下であることが好ましく、50質量部以下であることがより好ましく、40質量部以下であることがさらに好ましい。有機化合物(B)の含有量が、バインダー樹脂(A)100質量部に対して60質量部を超えると、スラリー組成物により得られるセラミックグリーンシートの強度が低下し、圧着時の寸法安定性が低下する傾向にある。 The content of the organic compound (B) is not particularly limited, but is preferably 1 part by mass or more, more preferably 5 parts by mass or more, and more preferably 10 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the binder resin (A). Is more preferable. When the content of the organic compound (B) is less than 1 part by mass, the inorganic dispersibility and the storage stability of the slurry composition tend to deteriorate. The content of the organic compound (B) is preferably 60 parts by mass or less, more preferably 50 parts by mass or less, and further preferably 40 parts by mass or less. When the content of the organic compound (B) exceeds 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the binder resin (A), the strength of the ceramic green sheet obtained from the slurry composition decreases, and the dimensional stability at the time of pressure bonding is reduced. It tends to decrease.

[有機溶剤(C)]
本発明の無機化合物分散用剤は、有機溶剤(C)を含有する。有機溶剤(C)は、その目的や用途に応じたものを適宜用いることができ、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−プロパノール、ブタノール等のアルコール;メチルセルソルブ、ブチルセルソルブ等のセルソルブ;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素;ジクロロメタン、クロロホルム等のハロゲン系炭化水素、酢酸エチル、酢酸メチル等のエステル、メンテン、メンタン、メントン、ミルセン、α−ピネン、α−テルピネン、γ−テルピネン、リモネン、ペリリルアセテート、メンチルアセテート、カルビルアセテート、ジヒドロカルビルアセテート、ペリリルアルコール、ジヒドロターピネオールアセテート、ターピネオールアセテート、ジヒドロターピネオール、ターピニルオキシエタノール、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルプロピオネート、イソボニルアセテート、イソボニルプロピオネート、イソボニルブチレート、イソボニルイソブチレート、ノビルアセテート、オクチルアセテート、ジメチルオクチルアセテート、ブチルカルビトールアセテート、アセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテート、ジヒドロカルベオール、2−エチルヘキシルグリコール、ベンジルグリコール、フェニルプロピレングリコール、メチルデカリン、アミルベンゼン、クメン、シメン、1,1−ジイソプロピルヘキサン、シトロネロール等が挙げられる。
[Organic solvent (C)]
The agent for dispersing an inorganic compound of the present invention contains an organic solvent (C). The organic solvent (C) may be appropriately used depending on its purpose and application, and examples thereof include alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-propanol, butanol; and cellsolves such as methyl cellosolve and butyl cellosolve; Ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; halogenated hydrocarbons such as dichloromethane and chloroform; esters such as ethyl acetate and methyl acetate; menten, menthane, menthone, myrcene, α-pinene, α- Terpinene, γ-terpinene, limonene, perillyl acetate, menthyl acetate, carbyl acetate, dihydrocarbyl acetate, perillyl alcohol, dihydroterpineol acetate, terpineol acetate, dihydroterpineol, terpinyloxyethanol, dihydroterpinyloxyethanol, Terpinyl methyl ether, dihydroterpinyl methyl ether, dihydroterpinyl propionate, isobonyl acetate, isobonyl propionate, isobonyl butyrate, isobonyl isobutyrate, novir acetate, octyl acetate, dimethyl octyl Acetate, butyl carbitol acetate, acetoxy-methoxyethoxy-cyclohexanol acetate, dihydrocarbeol, 2-ethylhexyl glycol, benzyl glycol, phenylpropylene glycol, methyldecalin, amylbenzene, cumene, cymene, 1,1-diisopropylhexane, citronellol Etc.

[無機化合物分散用剤]
本願において、「無機化合物分散用剤」とは無機化合物を分散させる際に分散媒体として機能する樹脂組成物である。無機化合物分散用剤としてあらかじめ調製しておくことにより、セラミックスラリーや導電ペースト等の作製が容易になり、短時間化、設備の簡略化が可能となる。
[Inorganic compound dispersing agent]
In the present application, the "inorganic compound dispersing agent" is a resin composition that functions as a dispersion medium when dispersing an inorganic compound. By preparing in advance as an inorganic compound dispersing agent, it becomes easy to produce a ceramic slurry, a conductive paste, etc., and it becomes possible to shorten the time and simplify the equipment.

本発明の無機化合物分散用剤に含まれるバインダー樹脂(A)の濃度は2質量%以上が好ましく、5質量%以上であることがより好ましい。2質量%未満であると、スラリー作製時に組成物を濃縮する必要があり、作業性が悪くなる可能性がある。さらに、上限は50質量%以下であることが好ましく、40質量%以下であることがより好ましく、30質量%以下であることがさらに好ましい。組成物中のバインダー樹脂(A)の濃度が50質量%よりも大きくなると、無機化合物分散用剤の粘度が著しく高くなり、保存時の粘度安定性、および取扱い時のハンドリング性が低下する虞がある。 The concentration of the binder resin (A) contained in the agent for dispersing an inorganic compound of the present invention is preferably 2% by mass or more, and more preferably 5% by mass or more. If it is less than 2% by mass, it is necessary to concentrate the composition at the time of preparing the slurry, and workability may be deteriorated. Further, the upper limit is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and further preferably 30% by mass or less. When the concentration of the binder resin (A) in the composition is more than 50% by mass, the viscosity of the inorganic compound dispersing agent becomes remarkably high, and the viscosity stability during storage and the handling property during handling may deteriorate. is there.

本発明の無機化合物分散用剤の酸価は5mgKOH/g以下であり、好適には3mgKOH/g以下、さらに好適には1mgKOH/g以下である。酸価が上記範囲を満たす場合には、無機化合物分散用剤に含まれるバインダー樹脂(A)の分解(加水分解など)が起こりにくいため、スラリー組成物の長期保管時の粘度などの品質の安定性、得られるセラミックグリーンシートの脱脂時の急激な分解によるデラミネーションの低減という観点から、また、生産工程の腐食性を低減するという観点から好適である。本発明の無機化合物分散用剤の酸価を上記範囲に調節するには、あらかじめ本発明に用いる無機化合物分散用剤に含まれる有機化合物(B)の酸価を低くする、あるいはバインダー樹脂(A)の酸価を低くする方法が好適である。 The acid value of the inorganic compound dispersing agent of the present invention is 5 mgKOH/g or less, preferably 3 mgKOH/g or less, and more preferably 1 mgKOH/g or less. When the acid value satisfies the above range, the binder resin (A) contained in the agent for dispersing an inorganic compound is less likely to be decomposed (hydrolyzed, etc.), so that the slurry composition has stable quality such as viscosity during long-term storage. Is preferable from the viewpoint of reducing the delamination due to rapid decomposition during degreasing of the obtained ceramic green sheet, and also from the viewpoint of reducing corrosiveness in the production process. In order to adjust the acid value of the agent for dispersing an inorganic compound of the present invention to the above range, the acid value of the organic compound (B) contained in the agent for dispersing an inorganic compound used in the present invention is lowered in advance, or the binder resin (A The method of lowering the acid value of) is preferable.

[スラリー組成物]
本発明の好適な態様は、無機化合物分散用剤と無機化合物(D)からなるスラリー組成物である。具体的には、無機化合物、分子内に水酸基を有するバインダー樹脂(A)、下記一般式(1):

Figure 0006732588
(式中、R1およびR4は、それぞれ独立してエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基を表す。R2は、炭素数1〜20の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R3は、炭素数1〜4の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。mは0〜5の整数を表す。)で示される有機化合物(B)および有機溶剤(C)を含むスラリー組成物である。 [Slurry composition]
A preferred embodiment of the present invention is a slurry composition comprising an inorganic compound dispersing agent and an inorganic compound (D). Specifically, an inorganic compound, a binder resin (A) having a hydroxyl group in the molecule, the following general formula (1):
Figure 0006732588
(In the formula, R1 and R4 each independently represent an organic group having at least one ether bond. R2 represents an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and optionally having a branch. R3 represents carbon. It represents an alkylene group which may have a branch of the formulas 1 to 4, m represents an integer of 0 to 5), and is a slurry composition containing the organic compound (B) and the organic solvent (C).

[無機化合物(D)]
本発明のスラリー組成物に含まれる無機化合物(D)は特に限定されないが、その目的や用途に応じて、例えば、セラミック粉体、導電粉末、ガラス粉末、蛍光体微粒子、珪素酸化物等が挙げられる。これらは単独、または2種類以上を併用して適宜用いることができる。
[Inorganic compound (D)]
The inorganic compound (D) contained in the slurry composition of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include ceramic powder, conductive powder, glass powder, phosphor fine particles, silicon oxide, etc., depending on its purpose and application. To be These can be used alone or in combination of two or more kinds as appropriate.

[セラミックスラリー]
本発明の無機化合物分散用剤はセラミック粉体の分散性に優れており、なおかつ保存安定性にも優れる。よってそれから得られるスラリー組成物をセラミックスラリーとして好適に用いることができる。このようなセラミックスラリーを成形して得られるセラミックグリーンシートは表面の平滑性に優れ、シート強度にも優れる。さらに、本セラミックグリーンシートは焼成後の炭素残渣の量が少ない。したがって、本発明のセラミックスラリーを用いれば、炭素残渣の量が少なく、高性能なセラミック成形品が得られる。セラミックスラリーの分散性、保存安定性が低下すると、セラミックグリーンシート表面が粗面化し、セラミックグリーンシートの接着性、その後の成型品、および焼成後の品質に悪影響を及ぼす虞がある。
[Ceramic slurry]
The agent for dispersing an inorganic compound according to the present invention is excellent in dispersibility of ceramic powder and is also excellent in storage stability. Therefore, the slurry composition obtained therefrom can be suitably used as a ceramic slurry. A ceramic green sheet obtained by molding such a ceramic slurry has excellent surface smoothness and sheet strength. Further, the present ceramic green sheet has a small amount of carbon residue after firing. Therefore, when the ceramic slurry of the present invention is used, a high-performance ceramic molded product having a small amount of carbon residue can be obtained. If the dispersibility of the ceramic slurry and the storage stability are lowered, the surface of the ceramic green sheet is roughened, which may adversely affect the adhesiveness of the ceramic green sheet, the subsequent molded product, and the quality after firing.

セラミックスラリーにおいて、セラミック粉体に対するバインダー樹脂(A)の量は、セラミックグリーンシートの使用目的によって異なるが、通常、セラミック粉体100質量部に対して3質量部以上であることが好ましく、5質量部以上であることがより好ましい。バインダー樹脂(A)の使用量は、セラミック粉体100質量部に対して20質量部以下であることが好ましく、15質量部以下であることがより好ましい。バインダー樹脂(A)の使用量が、セラミック粉体100質量部に対して3質量部未満となると、スラリーの分散性、保存安定性が悪くなる傾向にあり、さらに得られるセラミックグリーンシートの接着不良、および強度不足となる可能性がある。バインダー樹脂(A)の使用量が、セラミック粉体100質量部に対して、20質量部を超えると、セラミックグリーンシート中のセラミック粉体の密度が下がる為、最終製品となる積層セラミックコンデンサの品質低下の原因、さらに、焼結時の揮発成分の増加にともなう、デラミネーションの原因となる場合がある。 In the ceramic slurry, the amount of the binder resin (A) with respect to the ceramic powder varies depending on the purpose of use of the ceramic green sheet, but is usually preferably 3 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder, and 5 parts by mass. More preferably, it is at least part. The amount of the binder resin (A) used is preferably 20 parts by mass or less, and more preferably 15 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. When the amount of the binder resin (A) used is less than 3 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder, the dispersibility of the slurry and the storage stability tend to be poor, and the resulting ceramic green sheet has poor adhesion. , And the strength may be insufficient. When the amount of the binder resin (A) used exceeds 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder, the density of the ceramic powder in the ceramic green sheet decreases, so that the quality of the laminated ceramic capacitor as the final product is improved. In some cases, it may cause a decrease and further cause delamination due to an increase in volatile components during sintering.

セラミックスラリーに含まれるバインダー樹脂(A)の条件は前述した通りである。 The conditions for the binder resin (A) contained in the ceramic slurry are as described above.

セラミックスラリーに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、ポリビニルアセタールのアセタール化度の好適な条件は前述した通りであるが、アセタール化度が50モル%未満であると、本発明のセラミックスラリーの保存安定性が低下する傾向にある。一方、アセタール化度が85モル%を超えると、ポリビニルアセタール中の水酸基(ビニルアルコール単量体単位)含有量が低下し、本発明のセラミックスラリーを用いて得られるセラミックグリーンシートの強度、接着性や圧着時の寸法安定性が低下する傾向にあり、さらに、得られるセラミック成形品中において炭素残渣の量が増加する傾向にある。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the ceramic slurry, suitable conditions for the degree of acetalization of polyvinyl acetal are as described above, but when the degree of acetalization is less than 50 mol%, the present invention The storage stability of the ceramic slurry tends to decrease. On the other hand, when the degree of acetalization exceeds 85 mol%, the content of hydroxyl groups (vinyl alcohol monomer units) in polyvinyl acetal decreases, and the strength and adhesiveness of the ceramic green sheet obtained using the ceramic slurry of the present invention are reduced. Also, the dimensional stability during pressure bonding tends to decrease, and the amount of carbon residue in the obtained ceramic molded product tends to increase.

セラミックスラリーに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、ポリビニルアセタールのビニルアルコール単量体単位が前述した好適な範囲内であると、得られるセラミックグリーンシートの圧着時の寸法安定性がより優れる傾向にある。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the ceramic slurry, if the vinyl alcohol monomer unit of the polyvinyl acetal is within the preferable range described above, the dimensional stability of the obtained ceramic green sheet during pressure bonding Tend to be better.

セラミックスラリーに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、ポリビニルアセタールのビニルエステル単量体単位の含有量の好適な範囲は前述した通りであるが、ビニルエステル単量体単位の含有量が20モル%を超えると、前記ポリビニルアセタールを含有するセラミックスラリーの保存安定性が低下するとともに、得られるセラミック成形品中において炭素残渣の量が増加する傾向にある。さらに、シートの柔軟性が高くなり、得られるセラミックグリーンシートの強度が低下する傾向にある。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the ceramic slurry, the preferable range of the content of the vinyl ester monomer unit of the polyvinyl acetal is as described above, but the content of the vinyl ester monomer unit is contained. If the amount exceeds 20 mol %, the storage stability of the ceramic slurry containing the polyvinyl acetal will decrease, and the amount of carbon residue in the resulting ceramic molded article will tend to increase. Further, the flexibility of the sheet is increased, and the strength of the obtained ceramic green sheet tends to be reduced.

セラミックスラリーに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、ポリビニルアセタールの粘度平均重合度の好適な範囲は前述した通りであるが、粘度平均重合度が200に満たないと、得られるセラミックグリーンシートの強度が低下することがある。粘度平均重合度は、300以上が好ましく500以上がより好ましく、800以上がさらに好ましい。一方、粘度平均重合度が5000を超えると、セラミックグリーンシートを製造する際に調製されるセラミックスラリーの粘度が高くなりすぎ生産性が低下することがある。粘度平均重合度は、4500以下が好ましく、4000以下がより好ましく、3500以下がさらに好ましい。また、より一層圧着時のセラミックグリーンシートの寸法安定性を優れたものとする観点から、粘度平均重合度は1400以上が好ましく、1500以上がさらに好ましい。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the ceramic slurry, the preferable range of the viscosity average degree of polymerization of the polyvinyl acetal is as described above, but it is obtained when the viscosity average degree of polymerization is less than 200. The strength of the ceramic green sheet may decrease. The viscosity average degree of polymerization is preferably 300 or higher, more preferably 500 or higher, and even more preferably 800 or higher. On the other hand, if the viscosity average degree of polymerization exceeds 5,000, the viscosity of the ceramic slurry prepared when manufacturing the ceramic green sheet may be too high, and the productivity may be lowered. The viscosity average degree of polymerization is preferably 4500 or less, more preferably 4000 or less, still more preferably 3500 or less. In addition, the viscosity average degree of polymerization is preferably 1400 or more, and more preferably 1500 or more, from the viewpoint of further improving the dimensional stability of the ceramic green sheet during pressure bonding.

セラミックスラリーに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、原料PVAのけん化度の好適な範囲は前述した通りであるが、原料PVAのけん化度が80モル%未満であると、ポリビニルアセタールを含有するセラミックスラリーの分散性が低下するおそれがある。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the ceramic slurry, the preferable range of the saponification degree of the raw material PVA is as described above, but when the saponification degree of the raw material PVA is less than 80 mol%, The dispersibility of the ceramic slurry containing acetal may decrease.

セラミックスラリーに含まれる有機化合物(B)の好適な条件は前述した通りである。 Suitable conditions for the organic compound (B) contained in the ceramic slurry are as described above.

前記セラミックスラリーにおける有機化合物(B)の含有量は特に限定されないが、バインダー樹脂(A)100質量部に対して1質量部以上であることが好ましく、5質量部以上であることがより好ましく、10質量部以上であることがさらに好ましい。有機化合物(B)の含有量が、上記範囲未満となると、セラミックスラリーの分散性、保存安定性が悪くなる傾向にあり、さらに得られるセラミックグリーンシートの接着不良の原因となる可能性がある。有機化合物(B)の含有量は、60質量部以下であることが好ましく、50質量部以下であることがより好ましく、40質量部以下であることがさらに好ましい。有機化合物(B)の含有量が、バインダー樹脂(A)100質量部に対して上記範囲を超えると、セラミックグリーンシートの強度が低下し、圧着時の寸法安定性が低下する傾向にある。 The content of the organic compound (B) in the ceramic slurry is not particularly limited, but is preferably 1 part by mass or more, more preferably 5 parts by mass or more, relative to 100 parts by mass of the binder resin (A), It is more preferably 10 parts by mass or more. When the content of the organic compound (B) is less than the above range, the dispersibility of the ceramic slurry and the storage stability tend to be poor, and this may cause poor adhesion of the obtained ceramic green sheet. The content of the organic compound (B) is preferably 60 parts by mass or less, more preferably 50 parts by mass or less, and further preferably 40 parts by mass or less. When the content of the organic compound (B) exceeds the above range with respect to 100 parts by mass of the binder resin (A), the strength of the ceramic green sheet tends to decrease, and the dimensional stability during pressure bonding tends to decrease.

前記セラミックスラリーは、さらに有機化合物(B)以外の有機化合物を可塑剤として含有していてもよい。このような可塑剤は、本発明の効果を損なわず、なおかつバインダー樹脂(A)との相溶性に問題がなければ特に制限はない。可塑剤として、両末端に水酸基を有するオリゴアルキレングリコールとカルボン酸とのモノまたはジエステル、ジカルボン酸とアルコールとのジエステルなどを用いることができる。これらは単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。具体的には、トリエチレングリコール−ジ−2−エチルヘキサノエート、テトラエチレングリコール−ジ−2−エチルヘキサノエート、トリエチレングリコール−ジ−n−ヘプタノエート、テトラエチレングリコール−ジ−n−ヘプタノエート等のトリまたはテトラエチレングリコールなどの両末端に水酸基を有するオリゴアルキレングリコールとカルボン酸とのモノまたはジエステル;ジオクチルフタレート、ジブチルフタレート、ジオクチルアジペート、ジブチルアジペート等のジカルボン酸とアルコールとのジエステルが挙げられる。 The ceramic slurry may further contain an organic compound other than the organic compound (B) as a plasticizer. Such a plasticizer is not particularly limited as long as it does not impair the effects of the present invention and has no problem in compatibility with the binder resin (A). As the plasticizer, a mono- or diester of an oligoalkylene glycol having hydroxyl groups at both ends and a carboxylic acid, a diester of a dicarboxylic acid and an alcohol, or the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more. Specifically, triethylene glycol-di-2-ethylhexanoate, tetraethylene glycol-di-2-ethylhexanoate, triethylene glycol-di-n-heptanoate, tetraethylene glycol-di-n-heptanoate. Monoester or diester of oligoalkylene glycol having hydroxyl groups at both terminals such as tri- or tetraethylene glycol and carboxylic acid; diester of dicarboxylic acid such as dioctyl phthalate, dibutyl phthalate, dioctyl adipate, dibutyl adipate and alcohol ..

可塑剤を添加する場合、セラミックスラリー中において、バインダー樹脂(A)に対する可塑剤および有機化合物(B)の合計の質量比(可塑剤および有機化合物(B)の合計量/バインダー樹脂(A)の質量)は0.01以上であることが好ましく、0.05以上であることがより好ましい。上記質量比は2以下であることが好ましく、1.5以下であることがより好ましい。 When the plasticizer is added, the total mass ratio of the plasticizer and the organic compound (B) to the binder resin (A) in the ceramic slurry (the total amount of the plasticizer and the organic compound (B)/the binder resin (A)). The mass) is preferably 0.01 or more, and more preferably 0.05 or more. The mass ratio is preferably 2 or less, and more preferably 1.5 or less.

セラミックスラリーに含まれる有機溶剤(C)としては、前述した有機溶剤(C)の中でも、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−プロパノール、ブタノール等のアルコール;メチルセルソルブ、ブチルセルソルブ等のセルソルブ;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素;ジクロロメタン、クロロホルム等のハロゲン系炭化水素、酢酸エチル、酢酸メチル等のエステルなどが挙げられる。これらは単独でまたは2種以上併用しても良い。中でも、ブタノール、エタノール、トルエン、酢酸エチル、あるいはそれらの混合溶剤が揮発性、溶解性の観点から好ましい。 As the organic solvent (C) contained in the ceramic slurry, alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-propanol, butanol, etc. among the above-mentioned organic solvents (C); cellsolves such as methylcellsolve, butylcellsolve; acetone; , Ketones such as methyl ethyl ketone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; halogenated hydrocarbons such as dichloromethane and chloroform; esters such as ethyl acetate and methyl acetate. These may be used alone or in combination of two or more. Among them, butanol, ethanol, toluene, ethyl acetate, or a mixed solvent thereof is preferable from the viewpoint of volatility and solubility.

前記セラミックスラリーにおける有機溶剤(C)の含有量は特に限定されないが、セラミック粉体100質量部に対して2質量部以上であることが好ましく、3質量部以上であることがより好ましく、5質量部以上であることがさらに好ましく、10質量部以上であることが特に好ましい。有機溶剤(C)の含有量が上記範囲を下回ると、セラミックスラリーの粘度が高くなりすぎて混練性が低下する傾向にある。有機溶剤(C)の含有量は、セラミック粉体100質量部に対して、200質量部以下であることがより好ましく、150質量部以下であることがさらに好ましい。有機溶剤(C)の含有量が、上記範囲を超えると、セラミックスラリーの粘度が低くなりすぎて、セラミックグリーンシートを形成する際のハンドリング性が悪くなる傾向にある。なお、ここでの有機溶剤(C)の含有量は、例えば無機化合物分散用剤中の有機溶剤(C)、セラミック粉体を無機化合物分散用剤と合わせるときに使用した有機溶剤(C)等由来の、スラリー中に含まれる有機溶剤(C)の合計量を表す。 The content of the organic solvent (C) in the ceramic slurry is not particularly limited, but is preferably 2 parts by mass or more, more preferably 3 parts by mass or more, and 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. It is more preferably at least 10 parts by mass, and particularly preferably at least 10 parts by mass. When the content of the organic solvent (C) is less than the above range, the viscosity of the ceramic slurry tends to be too high and the kneading property tends to be lowered. The content of the organic solvent (C) is more preferably 200 parts by mass or less and even more preferably 150 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. When the content of the organic solvent (C) exceeds the above range, the viscosity of the ceramic slurry tends to be too low, and the handling property when forming the ceramic green sheet tends to deteriorate. The content of the organic solvent (C) here is, for example, the organic solvent (C) in the inorganic compound dispersing agent, the organic solvent (C) used when the ceramic powder is combined with the inorganic compound dispersing agent, etc. Denotes the total amount of the organic solvent (C) contained in the slurry.

セラミックスラリーに含まれるセラミック粉体としては、セラミックの製造に使用される金属または非金属の酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、または硫化物等の粉末が挙げられる。その具体例として、Li、K、Mg、B、Al、Si、Cu、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Ga、In、Y、ランタノイド、アクチノイド、Ti、Zr、Hf、Bi、V、Nb、Ta、W、Mn、Fe、Co、Ni等の酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、硫化物等が挙げられる。これらのセラミック粉体は、単独で用いても、あるいは2種類以上の混合物として用いてもよい。 Examples of the ceramic powder contained in the ceramic slurry include powders of metal or non-metal oxides, carbides, nitrides, borides, sulfides and the like used for producing ceramics. Specific examples thereof include Li, K, Mg, B, Al, Si, Cu, Ca, Sr, Ba, Zn, Cd, Ga, In, Y, lanthanoids, actinides, Ti, Zr, Hf, Bi, V, Nb. , Ta, W, Mn, Fe, Co, Ni, and other oxides, carbides, nitrides, borides, sulfides, and the like. These ceramic powders may be used alone or as a mixture of two or more kinds.

前記セラミックスラリーは、本発明の趣旨に反しない限り、バインダー樹脂(A)、有機化合物(B)、有機溶剤(C)、およびセラミック粉体のほかに、必要に応じて、解膠剤、密着促進剤、分散剤、粘着付与剤、保存安定剤、消泡剤、熱分解促進剤、酸化防止剤、界面活性剤、滑剤、接着性改良剤、その他従来から公知の添加剤を含んでいてもよい。また、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、バインダー樹脂(A)以外の樹脂を含有していてもかまわない。 The ceramic slurry contains, in addition to the binder resin (A), the organic compound (B), the organic solvent (C), and the ceramic powder, if necessary, a deflocculant, an adhesion agent, and the like, as long as they do not violate the spirit of the present invention. Accelerators, dispersants, tackifiers, storage stabilizers, defoamers, thermal decomposition accelerators, antioxidants, surfactants, lubricants, adhesion improvers, and other conventionally known additives Good. Further, a resin other than the binder resin (A) may be contained as long as the effect of the present invention is not impaired.

前記セラミックスラリーを作製する方法は特に限定されない。例えば、以下の方法により製造できる。セラミック粉体に所定量の有機溶剤(C)、添加剤を加え、セラミック粉体の分散液を得る。別途、有機溶剤(C)にバインダー樹脂を溶解させ、この溶液に有機化合物(B)、および必要に応じて添加剤を添加した後、攪拌して均一な無機化合物分散用剤を製造する。続いて、セラミック粉体の分散液に前述の無機化合物分散用剤を添加し、均一に分散させてセラミックスラリーを得ることができる。 The method for producing the ceramic slurry is not particularly limited. For example, it can be manufactured by the following method. A predetermined amount of the organic solvent (C) and additives are added to the ceramic powder to obtain a dispersion liquid of the ceramic powder. Separately, a binder resin is dissolved in an organic solvent (C), the organic compound (B) and, if necessary, an additive are added to the solution, and then stirred to produce a uniform inorganic compound dispersing agent. Then, the above-mentioned inorganic compound dispersing agent is added to the dispersion liquid of the ceramic powder and uniformly dispersed to obtain a ceramic slurry.

あるいは、有機溶剤(C)にバインダー樹脂(A)を溶解させ、この溶液に有機化合物(B)、および必要に応じて添加剤を添加した後、攪拌して均一な無機化合物分散用剤を製造する。この無機化合物分散用剤にセラミック粉体を添加した後、均一に分散させてセラミックスラリーを得る。分散させる方法としては、ビーズミル、ボールミル、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミルなどの媒体型分散機を用いる方法、固練り法、三本ロールを用いる方法など、種々の方法を用いることができる。なお、その際に分散剤としてイオン性基を含有する分散剤を用いてもよく、カルボン酸基、マレイン酸基、スルホン酸基、リン酸基等を分子内に有するアニオン系分散剤が好適に用いられ、特に金属イオンを含有しない「マリアリム」(日油社製)のようなアニオン系分散剤が好適に用いられる。 Alternatively, the binder resin (A) is dissolved in an organic solvent (C), the organic compound (B) and, if necessary, an additive are added to the solution, and then stirred to produce a uniform inorganic compound dispersion agent. To do. Ceramic powder is added to this inorganic compound dispersing agent and then uniformly dispersed to obtain a ceramic slurry. As a method for dispersing, various methods such as a method using a medium type dispersing machine such as a bead mill, a ball mill, an attritor, a paint shaker and a sand mill, a kneading method, a method using three rolls can be used. At that time, a dispersant containing an ionic group may be used as the dispersant, and an anionic dispersant having a carboxylic acid group, a maleic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group or the like in the molecule is suitable. An anionic dispersant such as "Marialim" (manufactured by NOF CORPORATION) containing no metal ion is preferably used.

[セラミックグリーンシート] 本発明の好適な実施態様は、前記セラミックスラリーを用いて得られるセラミックグリーンシートである。本発明のセラミックスラリーを用いることにより、圧着時の接着性に優れ、且つ、圧着時の寸法変化も少ないセラミックグリーンシートを得ることができる。また、焼成時におけるセラミックグリーンシートの積層体の急激な脱バインダーが抑制され、積層型セラミックコンデンサ作製時のデラミネーションが抑制される。 [Ceramic Green Sheet] A preferred embodiment of the present invention is a ceramic green sheet obtained by using the ceramic slurry. By using the ceramic slurry of the present invention, it is possible to obtain a ceramic green sheet which is excellent in adhesiveness during pressure bonding and has less dimensional change during pressure bonding. In addition, rapid debinding of the ceramic green sheet laminate during firing is suppressed, and delamination during production of the multilayer ceramic capacitor is suppressed.

セラミックグリーンシートの少なくとも片面を、飛行時間型二次イオン分析装置で二次イオン分析(TOF−SIMS分析)を行った場合に、検出されるTi+イオンの強度に対する、検出されるBa+イオンの強度の比である(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)が、20<(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)<1000を満たすセラミックグリーンシートであることが好ましい。本発明のセラミックグリーンシートを用いることにより、圧着時の接着性に優れ、且つ、圧着時の寸法変化も少ないセラミックグリーンシートを得ることができる。また、(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)が上記の範囲であると、セラミックグリーンシートを焼成した際に、バインダー成分の積層体からの急激な焼失を抑制することができ、積層セラミックコンデンサ作製時のデラミネーションが抑制される。 When at least one surface of the ceramic green sheet is subjected to secondary ion analysis (TOF-SIMS analysis) with a time-of-flight secondary ion analyzer, the intensity of detected Ba+ ions is different from that of Ti+ ions detected. It is preferable that the ratio of (Ba+ ion strength)/(Ti+ ion strength) be 20<(Ba+ ion strength)/(Ti+ ion strength)<1000. By using the ceramic green sheet of the present invention, it is possible to obtain a ceramic green sheet which is excellent in adhesiveness at the time of pressure bonding and has less dimensional change at the time of pressure bonding. When (Ba+ ion strength)/(Ti+ ion strength) is within the above range, when the ceramic green sheet is fired, rapid burnout of the binder component from the laminated body can be suppressed, and the laminated body can be suppressed. Delamination at the time of manufacturing a ceramic capacitor is suppressed.

(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)は20より大きいことが好ましく、100より大きいことがより好ましく、150より大きいことがさらに好ましい。また、(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)は1000より大きいことが好ましく、700より小さいことがより好ましく、500より小さいことがさらに好ましい。 The (Ba+ ion intensity)/(Ti+ ion intensity) is preferably more than 20, more preferably more than 100, and even more preferably more than 150. Further, (Ba+ ion strength)/(Ti+ ion strength) is preferably larger than 1000, more preferably smaller than 700, and further preferably smaller than 500.

セラミックグリーンシートについてTOF−SIMS分析を行うことで、二次イオンとして測定されるBa+イオン、Ti+イオンは、セラミック粉体として用いられるチタン酸バリウム中のBa原子とTi原子に由来するものである。TOF−SIMS分析を行った場合に、(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)が上記の範囲となるセラミックグリーンシートを得る方法としては、特に限定されないが、例えば、化学式(1)で示される有機化合物(B)を含み、且つ、セラミック粉体としてチタン酸バリウムを用いたセラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを作製し、プラズマ処理を実施する方法があげられる。 By performing TOF-SIMS analysis on the ceramic green sheet, Ba+ ions and Ti+ ions measured as secondary ions are derived from Ba atoms and Ti atoms in barium titanate used as the ceramic powder. The method for obtaining a ceramic green sheet in which (Ba+ ion strength)/(Ti+ ion strength) is in the above range when a TOF-SIMS analysis is performed is not particularly limited, but, for example, by the chemical formula (1), A method of producing a ceramic green sheet using a ceramic slurry containing the organic compound (B) shown and using barium titanate as the ceramic powder and performing the plasma treatment can be mentioned.

ところで、セラミックグリーンシート中における、有機化合物(B)や、有機化合物(B)以外の有機化合物(可塑剤)の含有量を少なくすると、セラミックグリーンシートが硬くなり、圧着時の寸法安定性が向上する一方で、圧着時の接着性が低下する傾向にある。そのため、寸法安定性と接着性を両立することは、一般的には難しいものである。本発明では、(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)を上記の範囲とすることで、有機化合物(B)や、有機化合物(B)以外の有機化合物(可塑剤)の含有量を少なくした場合でも、圧着時の寸法安定性だけでなく、圧着時の接着性に優れたセラミックグリーンシートを得ることができる。 By the way, when the content of the organic compound (B) or an organic compound (plasticizer) other than the organic compound (B) in the ceramic green sheet is reduced, the ceramic green sheet becomes hard and the dimensional stability during pressure bonding is improved. On the other hand, the adhesiveness at the time of pressure bonding tends to decrease. Therefore, it is generally difficult to achieve both dimensional stability and adhesiveness. In the present invention, the content of the organic compound (B) or the organic compound (plasticizer) other than the organic compound (B) is controlled by setting (Ba+ ion strength)/(Ti+ ion strength) within the above range. Even when the amount is reduced, it is possible to obtain a ceramic green sheet which is excellent not only in dimensional stability during pressure bonding but also in adhesiveness during pressure bonding.

本発明のセラミックグリーンシートは、各種電子部品の材料として好適に使用される。とりわけチップタイプの積層セラミックコンデンサ、およびICチップの回路基板などの材料として好適に使用される。これらは、セラミックグリーンシート上に電極を形成し、積み重ねて圧着した後、焼成することにより製造される。 The ceramic green sheet of the present invention is suitably used as a material for various electronic components. Particularly, it is preferably used as a material for a chip type multilayer ceramic capacitor, a circuit board of an IC chip, and the like. These are manufactured by forming electrodes on a ceramic green sheet, stacking and pressing the electrodes, and then firing.

セラミックグリーンシートの製造方法としては、例えば、片面離型処理を施した支持フィルム上にセラミックスラリーを塗工した後、有機溶剤(C)を乾燥させてシート状に成形する方法を挙げることができる。セラミックスラリーの塗工には、ロールコーター、ブレードコーター、ダイコーター、スクイズコーター、カーテンコーター等を用いることができる。 Examples of the method for manufacturing the ceramic green sheet include a method in which a ceramic slurry is applied onto a support film that has been subjected to a one-side release treatment, and then the organic solvent (C) is dried to form a sheet. .. A roll coater, a blade coater, a die coater, a squeeze coater, a curtain coater, or the like can be used for coating the ceramic slurry.

セラミックグリーンシートを製造する際に用いる支持フィルムとしては、耐熱性および耐溶剤性を有し、なおかつ可撓性を有する樹脂からなるものが好ましい。支持フィルムが可撓性を有する樹脂からなることで、支持フィルム上に前記セラミックスラリーを塗工し、得られたセラミックグリーンシートが形成されたフィルムをロール状に巻回した状態で保存し、必要に応じて供給することができる。 As the support film used when producing the ceramic green sheet, one made of a resin having heat resistance and solvent resistance and having flexibility is preferable. Since the supporting film is made of a resin having flexibility, the ceramic slurry is applied onto the supporting film, and the film on which the obtained ceramic green sheet is formed is stored in a roll and is required. Can be supplied according to.

支持フィルムを構成する樹脂は特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリフロロエチレン等の含フッ素樹脂、ナイロン、セルロース等が挙げられる。上記支持フィルムの厚みは特に限定されず、20μm以上の厚さであることが好ましく、100μm以下の厚さであることが好ましい。また、支持フィルムの表面には離型処理が施されていることが好ましい。支持フィルムの表面に離型処理が施されていることにより、転写工程において、支持フィルムの剥離操作を容易に行うことができる。支持フィルムの好ましい具体例としては、シリコーンコートPETフィルムが挙げられる。 The resin constituting the support film is not particularly limited, and examples thereof include polyethylene terephthalate, polyester, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyimide, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, fluorine-containing resins such as polyfluoroethylene, nylon, and cellulose. .. The thickness of the support film is not particularly limited and is preferably 20 μm or more, and preferably 100 μm or less. Moreover, it is preferable that the surface of the support film is subjected to a release treatment. Since the surface of the support film is subjected to the release treatment, the support film can be easily peeled off in the transfer step. A preferred specific example of the support film is a silicone-coated PET film.

セラミックグリーンシートの厚さは、その使用目的によって異なるため、一概に規定することができないが、0.1μm以上であることが好ましく、300μm以下であることが好ましい。また、キャリアーフィルム上に形成された塗膜を乾燥する際の乾燥温度は、セラミックグリーンシートの厚さなどによって異なるため、これを一概に規定することはできないが、25℃以上であることが好ましく、200℃以下であることが好ましい。 The thickness of the ceramic green sheet varies depending on the purpose of use and cannot be unconditionally specified, but it is preferably 0.1 μm or more, and preferably 300 μm or less. Further, the drying temperature at the time of drying the coating film formed on the carrier film varies depending on the thickness of the ceramic green sheet and the like, and thus cannot be unconditionally specified, but is preferably 25° C. or higher. It is preferably 200° C. or lower.

[TOF−SIMS分析]
TOF−SIMS分析は、測定対象物の表面を走査して、測定対象物に含まれる成分の分布状態を観察できる測定手法である。例えば、測定対象物の表面の50〜500μm四方の領域を0.1〜3μm四方の微小な領域に区切って一次イオンを照射し、この微小な領域から飛び出す二次イオンを観測することにより、各微小な領域中の成分の種類の同定および二次イオンの強度を測定することができる。この微小な領域を一次イオン照射点という。Ti+イオンの強度に対するBa+イオンの強度の比である(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)は、Ba+の強度を、Ti+二次イオンの強度で除した値である。
[TOF-SIMS analysis]
The TOF-SIMS analysis is a measurement method capable of observing the distribution state of components included in the measurement target by scanning the surface of the measurement target. For example, a region of 50 to 500 μm square on the surface of the measurement object is divided into minute regions of 0.1 to 3 μm square, primary ions are irradiated, and secondary ions protruding from this minute region are observed, It is possible to identify the type of the component in the minute region and measure the intensity of the secondary ion. This minute area is called a primary ion irradiation point. The ratio of the intensity of Ba+ ions to the intensity of Ti+ ions (intensity of Ba+ ions)/(intensity of Ti+ ions) is a value obtained by dividing the intensity of Ba+ by the intensity of Ti+ secondary ions.

セラミックグリーンシートの表面についてプラズマ処理を施した場合は、プラズマ照射後の保存状態によっては、セラミックグリーンシートの表面状態は変化する可能性があるため、TOF−SIMS分析による表面測定は、プラズマ照射後、速やかに行うことが好ましい。プラズマ照射後からTOF−SIMS分析による表面測定までの時間は、12時間以内であることが好ましく、3時間以内であることがより好ましく、1時間以内であることがさらに好ましく、プラズマ照射直後に表面測定を行うことが最も好ましい。塗工後のシートの分析の場合は、塗工面のセラミックグリーンシートの部分の表面分析を行う。 When plasma treatment is performed on the surface of the ceramic green sheet, the surface state of the ceramic green sheet may change depending on the storage state after plasma irradiation. Therefore, the surface measurement by TOF-SIMS analysis is performed after plasma irradiation. It is preferable to carry out promptly. The time from plasma irradiation to surface measurement by TOF-SIMS analysis is preferably 12 hours or less, more preferably 3 hours or less, further preferably 1 hour or less, and the surface immediately after plasma irradiation is measured. Most preferably, measurements are taken. In the case of analysis of the coated sheet, the surface analysis of the ceramic green sheet portion of the coated surface is performed.

また、TOF−SIMS分析による測定中に、セラミックグリーンシートの表面の成分が揮発することを抑制するため、例えば、−100℃〜−200℃に冷却したうえで、真空下で、TOF−SIMS分析を実施することが好ましい。 Moreover, in order to suppress volatilization of components on the surface of the ceramic green sheet during measurement by TOF-SIMS analysis, for example, after cooling to −100° C. to −200° C., TOF-SIMS analysis under vacuum is performed. Is preferably carried out.

[導電ペースト]
本発明のスラリー組成物は、導電ペーストとしても好適に用いられる。本発明の導電ペーストは、バインダー樹脂(A)、一般式(1)で示される有機化合物(B)、有機溶剤(C)および無機化合物(D)として導電粉末を含む。
[Conductive paste]
The slurry composition of the present invention is also suitably used as a conductive paste. The conductive paste of the present invention contains a conductive powder as a binder resin (A), an organic compound (B) represented by the general formula (1), an organic solvent (C) and an inorganic compound (D).

本発明の無機化合物分散用剤は導電粉末の分散性に優れており、なおかつ保存安定性にも優れる。よってそれから得られるスラリー組成物を導電ペーストとして好適に用いることができる。このようにして得られる導電ペーストは、導電粉末の分散性に優れており、保存安定性にも優れている。セラミックグリーンシート表面に印刷する際の印刷適正に優れて、印刷表面が平滑になる。前記導電ペーストを用いることにより、炭素残渣の量が少なく、さらにデラミネーションの少ない焼結体が得られる。導電ペーストの保存安定性が低下すると、所望の印刷厚みにならなかったり、印刷後の表面が荒れ、焼結体の電気特性等に悪影響を及ぼすおそれがある。 The inorganic compound dispersing agent of the present invention is excellent in dispersibility of the conductive powder and also excellent in storage stability. Therefore, the slurry composition obtained therefrom can be suitably used as a conductive paste. The conductive paste thus obtained has excellent dispersibility of the conductive powder and excellent storage stability. The printability is excellent when printing on the surface of the ceramic green sheet, and the printed surface becomes smooth. By using the conductive paste, a sintered body having a small amount of carbon residue and less delamination can be obtained. If the storage stability of the conductive paste is reduced, the desired print thickness may not be obtained, or the surface after printing may be roughened, which may adversely affect the electrical characteristics of the sintered body.

前記導電ペーストにおけるバインダー樹脂(A)の含有量は特に限定されないが、導電粉末100質量部に対して1質量部以上であることが好ましく、3質量部以上であることがより好ましい。バインダー樹脂の含有量が、上記範囲未満である場合、導電ペーストを印刷したときの成膜性が不十分となるおそれがある。バインダー樹脂の含有量は、50質量部以下であることが好ましく、25質量部以下であることがより好ましく、10質量部以下が特に好ましい。一方、バインダー樹脂(A)の含有量が、上記範囲を超える場合、得られる焼結体中の炭素残渣の量が多くなるおそれがある。 The content of the binder resin (A) in the conductive paste is not particularly limited, but is preferably 1 part by mass or more, and more preferably 3 parts by mass or more, relative to 100 parts by mass of the conductive powder. When the content of the binder resin is less than the above range, the film forming property when printing the conductive paste may be insufficient. The content of the binder resin is preferably 50 parts by mass or less, more preferably 25 parts by mass or less, and particularly preferably 10 parts by mass or less. On the other hand, when the content of the binder resin (A) exceeds the above range, the amount of carbon residue in the obtained sintered body may increase.

導電ペーストに含まれるバインダー樹脂(A)の条件は前述した通りである。 The conditions for the binder resin (A) contained in the conductive paste are as described above.

導電ペースト用のバインダー樹脂(A)には、ポリビニルアセタールが含まれることが好ましい。導電ペースト用のバインダー樹脂(A)中のポリビニルアセタールの含有量は、30質量%以上であることが好ましく、50質量%以上であることがより好ましく、70質量%以上であることがさらに好ましい。 The binder resin (A) for the conductive paste preferably contains polyvinyl acetal. The content of polyvinyl acetal in the binder resin (A) for the conductive paste is preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, and further preferably 70% by mass or more.

導電ペーストに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、ポリビニルアセタールのアセタール化度の好適な条件は前述した通りであるが、アセタール化度が50モル%未満であると、前記ポリビニルアセタールを含有する導電ペーストの保存安定性が低下する傾向にある。一方、アセタール化度が85モル%を超えると、アセタール化反応の効率が著しく低下し、生産性が著しく悪化し、商業性に欠ける傾向にある。さらに、導電ペーストを加熱した後の炭素残渣の量が多くなり、得られる焼結体の電気特性等が不十分になる傾向にある。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the conductive paste, suitable conditions for the degree of acetalization of polyvinyl acetal are as described above, but when the degree of acetalization is less than 50 mol%, the polyvinyl The storage stability of the conductive paste containing acetal tends to decrease. On the other hand, when the degree of acetalization exceeds 85 mol %, the efficiency of the acetalization reaction is remarkably reduced, the productivity is remarkably deteriorated, and the commerciality tends to be poor. Furthermore, the amount of carbon residue after heating the conductive paste increases, and the electrical properties of the obtained sintered body tend to be insufficient.

導電ペーストに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、ポリビニルアセタールのビニルエステル単量体単位の含有量の好適な範囲は前述した通りであるが、ビニルエステル単量体単位の含有量が20モル%を超える場合には、前記ポリビニルアセタールを含有する導電ペーストの保存安定性が低下する傾向にある。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the conductive paste, the preferable range of the content of the vinyl ester monomer unit of the polyvinyl acetal is as described above, but the content of the vinyl ester monomer unit is included. When the amount exceeds 20 mol %, the storage stability of the conductive paste containing the polyvinyl acetal tends to decrease.

導電ペーストに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、ポリビニルアセタールの粘度平均重合度の好適な範囲は前述した通り200以上が好ましい。粘度平均重合度は、250以上であることがより好ましく、300以上であることがさらに好ましく、350以上であることが特に好ましい。粘度平均重合度が上記範囲未満である場合、導電ペーストを塗工して形成した塗膜の強度が低下し、表面にクラックが発生する傾向にある。一方、粘度平均重合度は、5000以下であることが好ましく、4500以下であることがより好ましく、4000以下であることがさらに好ましく、3500以下であることが特に好ましく、2500以下であることが最も好ましい。粘度平均重合度が上記範囲を超える場合、導電ペーストの粘度が高くなりすぎて印刷適正が低下する傾向にある。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the conductive paste, the suitable range of the viscosity average degree of polymerization of polyvinyl acetal is preferably 200 or more as described above. The viscosity average degree of polymerization is more preferably 250 or more, further preferably 300 or more, and particularly preferably 350 or more. When the viscosity average degree of polymerization is less than the above range, the strength of the coating film formed by applying the conductive paste is lowered, and cracks tend to occur on the surface. On the other hand, the viscosity average degree of polymerization is preferably 5000 or less, more preferably 4500 or less, further preferably 4000 or less, particularly preferably 3500 or less, and most preferably 2500 or less. preferable. When the viscosity average degree of polymerization exceeds the above range, the viscosity of the conductive paste tends to be too high and the printability tends to deteriorate.

導電ペーストに含まれるバインダー樹脂(A)としてポリビニルアセタールが含まれる場合、原料PVAのけん化度の好適な範囲は前述した通りであるが、原料PVAのけん化度が80モル%未満であると、導電ペーストにおける導電粉末の分散性が低下するおそれがある。また、ポリビニルアセタールを含有する導電ペーストの保存安定性が低下するおそれがある。 When polyvinyl acetal is contained as the binder resin (A) contained in the conductive paste, the preferable range of the saponification degree of the raw material PVA is as described above, but when the saponification degree of the raw material PVA is less than 80 mol%, The dispersibility of the conductive powder in the paste may decrease. In addition, the storage stability of the conductive paste containing polyvinyl acetal may decrease.

導電ペーストに含まれる有機化合物(B)の好適な条件は前述した通りである。 Suitable conditions for the organic compound (B) contained in the conductive paste are as described above.

前記導電ペーストにおける有機化合物(B)の含有量は特に限定されないが、バインダー樹脂100質量部に対して1質量部以上であることが好ましい。バインダー樹脂100質量部に対して1質量部未満となると、接着性が低下する傾向となる。有機化合物(B)の含有量が、バインダー樹脂100質量部に対して50質量部以下であることが好ましい。有機化合物(B)の含有量が50質量部を超えると、圧着時の寸法安定性が低下する傾向にある。 The content of the organic compound (B) in the conductive paste is not particularly limited, but is preferably 1 part by mass or more based on 100 parts by mass of the binder resin. If the amount is less than 1 part by mass with respect to 100 parts by mass of the binder resin, the adhesiveness tends to decrease. The content of the organic compound (B) is preferably 50 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the binder resin. When the content of the organic compound (B) exceeds 50 parts by mass, the dimensional stability at the time of pressure bonding tends to decrease.

前記導電ペーストは有機化合物(B)以外の有機化合物を可塑剤として含有していてもよい。このような可塑剤は、本発明の効果を損なわず、なおかつバインダー樹脂(A)との相溶性に問題がなければ特に制限はない。可塑剤としては、セラミックスラリーにおいて用いられる可塑剤として例示したものが挙げられる。 The conductive paste may contain an organic compound other than the organic compound (B) as a plasticizer. Such a plasticizer is not particularly limited as long as it does not impair the effects of the present invention and has no problem in compatibility with the binder resin (A). Examples of the plasticizer include those exemplified as the plasticizer used in the ceramic slurry.

導電ペーストに含まれる有機溶剤(C)としては、バインダー樹脂(A)を溶解し得るものであれば特に限定されず、例えば、メンテン、メンタン、メントン、ミルセン、α−ピネン、α−テルピネン、γ−テルピネン、リモネン、ペリリルアセテート、メンチルアセテート、カルビルアセテート、ジヒドロカルビルアセテート、ペリリルアルコール、ジヒドロターピネオールアセテート、ターピネオールアセテート、ジヒドロターピネオール、ターピニルオキシエタノール、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルプロピオネート、イソボニルアセテート、イソボニルプロピオネート、イソボニルブチレート、イソボニルイソブチレート、ノビルアセテート、オクチルアセテート、ジメチルオクチルアセテート、ブチルカルビトールアセテート、アセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテート、ジヒドロカルベオール、2−エチルヘキシルグリコール、ベンジルグリコール、フェニルプロピレングリコール、メチルデカリン、アミルベンゼン、クメン、シメン、1,1−ジイソプロピルヘキサン、シトロネロール等が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。中でも、ジヒドロターピネオールアセテート、ターピネオールアセテート、ターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルメチルエーテル等に代表される水酸基等の極性の高い置換基を有しないテルペン類およびそれらの水添物が好ましく、特にシートアタック性の観点から、ジヒドロターピネオールアセテートが好ましい。 The organic solvent (C) contained in the conductive paste is not particularly limited as long as it can dissolve the binder resin (A), and examples thereof include Menten, menthane, menthone, myrcene, α-pinene, α-terpinene, γ. -Terpinene, limonene, perillyl acetate, menthyl acetate, carbyl acetate, dihydrocarbyl acetate, perillyl alcohol, dihydroterpineol acetate, terpineol acetate, dihydroterpineol, terpinyloxyethanol, dihydroterpinyloxyethanol, terpinyl Methyl ether, dihydroterpinyl methyl ether, dihydroterpinyl propionate, isobonyl acetate, isobonyl propionate, isobonyl butyrate, isobonyl isobutyrate, novir acetate, octyl acetate, dimethyl octyl acetate, butyl Carbitol acetate, acetoxy-methoxyethoxy-cyclohexanol acetate, dihydrocarbeol, 2-ethylhexyl glycol, benzyl glycol, phenylpropylene glycol, methyldecalin, amylbenzene, cumene, cymene, 1,1-diisopropylhexane, citronellol and the like. To be These may be used alone or in combination of two or more. Among them, dihydroterpineol acetate, terpineol acetate, terpinyl methyl ether, terpenes not having a highly polar substituent such as a hydroxyl group represented by dihydroterpinyl methyl ether and hydrogenated products thereof are preferable, and particularly a sheet From the viewpoint of attack property, dihydroterpineol acetate is preferable.

前記導電ペーストにおける有機溶剤(C)の含有量は特に限定されないが、導電粉末100質量部に対して5質量部以上であることが好ましく、10質量部以上であることがより好ましい。前記導電ペーストにおける有機溶剤(C)の含有量は、導電粉末100質量部に対して600質量部以下であることが好ましく、150質量部以下であることがより好ましい。導電ペーストにおける有機溶剤(C)の含有量が上記範囲を外れると、導電ペーストの塗工性が低下したり、導電粉末を分散させることが困難となったりすることがある。なお、ここでの有機溶剤(C)の含有量は、例えば、無機化合物分散用剤中の有機溶剤(C)、導電粉末を無機化合物分散用剤と合わせるときに使用した有機溶剤(C)等由来の、ペースト中に含まれる有機溶剤(C)の合計量を表す。 The content of the organic solvent (C) in the conductive paste is not particularly limited, but is preferably 5 parts by mass or more, and more preferably 10 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the conductive powder. The content of the organic solvent (C) in the conductive paste is preferably 600 parts by mass or less, and more preferably 150 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the conductive powder. If the content of the organic solvent (C) in the conductive paste is out of the above range, the coatability of the conductive paste may be reduced, or it may be difficult to disperse the conductive powder. The content of the organic solvent (C) here is, for example, the organic solvent (C) in the inorganic compound dispersing agent, the organic solvent (C) used when the conductive powder is combined with the inorganic compound dispersing agent, etc. Denotes the total amount of the organic solvent (C) contained in the paste.

導電ペーストに含まれる導電粉末としては、例えば、ニッケル、パラジウム、白金、金、銀等の導電性の高い金属の粉末の他、これら金属の合金の粉末、こられらの酸化物等が使用される。また、カルボキシル基、アミノ基、アミド基等との吸着特性が良好で酸化されやすい銅や鉄等の金属も好適に用いることができる。これらの導電粉末は、単独、または2種類以上を組み合わせて用いてもかまわない。 As the conductive powder contained in the conductive paste, for example, in addition to powders of highly conductive metals such as nickel, palladium, platinum, gold and silver, powders of alloys of these metals, oxides of these and the like are used. It Further, a metal such as copper or iron, which has good adsorption properties with a carboxyl group, an amino group, an amide group, etc. and is easily oxidized, can be preferably used. These conductive powders may be used alone or in combination of two or more kinds.

前記導電ペーストは、本発明の趣旨に反しない限り、バインダー樹脂(A)、有機化合物(B)、有機溶剤(C)および導電粉末、のほかに、必要に応じて、セラミックスラリーの説明で例示した公知の添加剤や、バインダー樹脂(A)以外の樹脂を含有していてもよい。 The conductive paste is exemplified by the description of the ceramic slurry, in addition to the binder resin (A), the organic compound (B), the organic solvent (C) and the conductive powder, as long as it does not violate the spirit of the present invention. The known additives described above and resins other than the binder resin (A) may be contained.

前記導電ペーストは、例えば、以下の方法により製造できる。有機溶剤(C)にバインダー樹脂を溶解させ、この溶液に有機化合物(B)、および必要に応じて添加剤を添加した後、攪拌して均一な無機化合物分散用剤を製造する。この無機化合物分散用剤に導電粉末および必要に応じて添加剤を添加した後、均一に分散させて導電ペーストを得る。分散させる方法としては、ブレンダーミル、ビーズミル、ボールミル、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミルなどの媒体型分散機を用いる方法、固練り法、三本ロールを用いる方法など、種々の方法を用いることができる。なお、その際に分散剤としてイオン性基を含有する分散剤を用いてもよく、カルボン酸基、マレイン酸基、スルホン酸基、リン酸基等を分子内に有するアニオン系分散剤が好適に用いられ、特に金属イオンを含有しない「マリアリム」(日油社製)のようなアニオン系分散剤が好適に用いられる。 The conductive paste can be manufactured, for example, by the following method. A binder resin is dissolved in an organic solvent (C), the organic compound (B) and, if necessary, an additive are added to the solution, followed by stirring to produce a uniform inorganic compound dispersing agent. A conductive powder and, if necessary, an additive are added to the agent for dispersing an inorganic compound and then uniformly dispersed to obtain a conductive paste. As a method for dispersing, various methods such as a method using a medium type disperser such as a blender mill, a bead mill, a ball mill, an attritor, a paint shaker and a sand mill, a kneading method and a method using three rolls can be used. At that time, a dispersant containing an ionic group may be used as the dispersant, and an anionic dispersant having a carboxylic acid group, a maleic acid group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group or the like in the molecule is suitable. An anionic dispersant such as "Marialim" (manufactured by NOF CORPORATION) containing no metal ion is preferably used.

[塗工シート]
本発明の好適な実施態様は、上述した本発明のセラミックグリーンシートの表面に導電ペーストが塗工されてなる塗工シートである。該導電ペーストは、本発明のセラミックグリーンシートと組み合わせて用いる場合は、本発明の導電ペーストであってもよいし、それ以外の一般的に用いられる導電ペーストであってもよい。また、本発明の好適な別の実施態様は、セラミックグリーンシートの表面に本発明の導電ペーストが塗工されてなる塗工シートであってもよい。該セラミックグリーンシートは、本発明の導電ペーストと組み合わせて用いる場合は、本発明のセラミックグリーンシートであってもよいし、それ以外の一般的に用いられるセラミックグリーンシートであってもよい。
[Coating sheet]
A preferred embodiment of the present invention is a coated sheet obtained by coating the surface of the above-mentioned ceramic green sheet of the present invention with a conductive paste. When used in combination with the ceramic green sheet of the present invention, the conductive paste may be the conductive paste of the present invention or any other commonly used conductive paste. Further, another preferred embodiment of the present invention may be a coated sheet obtained by coating the surface of a ceramic green sheet with the conductive paste of the present invention. When the ceramic green sheet is used in combination with the conductive paste of the present invention, it may be the ceramic green sheet of the present invention or any other commonly used ceramic green sheet.

導電ペーストを塗工する方法は特に限定されず、例えば、スクリーン印刷法、ダイコート印刷法、オフセット印刷法、グラビア印刷法、インクジェット印刷法等が挙げられる。導電ペーストをセラミックグリーンシートの表面に塗工することによって、セラミックグリーンシート表面の少なくとも一部に導電ペースト被膜を有する塗工シートが得られる。 The method of applying the conductive paste is not particularly limited, and examples thereof include a screen printing method, a die coating printing method, an offset printing method, a gravure printing method, an inkjet printing method and the like. By coating the surface of the ceramic green sheet with the conductive paste, a coated sheet having a conductive paste film on at least a part of the surface of the ceramic green sheet can be obtained.

[プラズマ処理]
本発明のセラミックグリーンシートは、セラミックグリーンシートの少なくとも片面の少なくとも一部にプラズマ処理が施された状態であることが好ましい。すなわち、その製造において、セラミックグリーンシートの表面または裏面の少なくとも片面にプラズマ処理を施す工程を備えることが好ましい。こうして得られたセラミックグリーンシートも本発明の好適な実施態様である。セラミックグリーンシート表面または裏面の少なくとも片面にプラズマ処理を施し、プラズマ処理された面と、他のセラミックグリーンシートの表面とが接するように積層する。こうして得られた積層体は、表面にプラズマ処理を施さなかったセラミックグリーンシートを用いて積層体を作製した場合と比べて、良好な接着性を有する。
[Plasma treatment]
The ceramic green sheet of the present invention is preferably in a state in which at least a part of at least one surface of the ceramic green sheet is subjected to plasma treatment. That is, in the production, it is preferable to include a step of performing plasma treatment on at least one surface of the front surface and the back surface of the ceramic green sheet. The ceramic green sheet thus obtained is also a preferred embodiment of the present invention. At least one of the front and back surfaces of the ceramic green sheet is subjected to plasma treatment, and the ceramic-treated surface and the other ceramic green sheet are laminated so that they are in contact with each other. The laminate thus obtained has good adhesiveness as compared with the case where the laminate is produced by using a ceramic green sheet whose surface is not subjected to plasma treatment.

また、本発明の塗工シートは、塗工シート表面の少なくとも片面の少なくとも一部にプラズマ処理が施された状態のものが好ましい。すなわち、その製造において、塗工シート表面の少なくとも片面にプラズマ処理を施す工程を備えることが好ましい。塗工シートの表面の少なくとも片面の少なくとも一部にプラズマ処理が施されていればよく、導電ペーストを塗工する前のセラミックグリーンシートにプラズマ処理を施す方法や、セラミックグリーンシートに導電ペーストを塗工した後の塗工シートにプラズマ処理を施す方法のいずれの方法によっても得ることができる。 Further, the coated sheet of the present invention is preferably in a state in which at least a part of at least one surface of the coated sheet is subjected to plasma treatment. That is, in the production, it is preferable to include a step of performing plasma treatment on at least one surface of the coated sheet. It suffices that at least a part of at least one surface of the coated sheet is subjected to plasma treatment.A method of performing plasma treatment on the ceramic green sheet before coating the conductive paste or coating the conductive paste on the ceramic green sheet It can be obtained by any of the methods of subjecting the coated sheet after processing to plasma treatment.

塗工シートにおいて導電ペーストが塗工された面にプラズマ処理を施し、プラズマ処理された面と、他の塗工シートの片面とが接するように積層する。こうして得られた積層体は、表面にプラズマ処理が施されていない塗工シートを用いて積層体を作製した場合と比べて、良好な接着性を示す。 The surface of the coated sheet coated with the conductive paste is subjected to plasma treatment, and the plasma-treated surface and one surface of another coating sheet are laminated so as to be in contact with each other. The laminate thus obtained exhibits good adhesiveness as compared with the case where the laminate is produced by using a coated sheet whose surface is not subjected to plasma treatment.

プラズマ処理を施す面は、導電ペーストが塗工された面(導電ペースト面)でもよいし、塗工シートの裏面(セラミックグリーンシート面)でもよいし、塗工シートの表裏面でもよい。複数枚の塗工シートを積み重ねて積層セラミックコンデンサを製造する場合、導電ペースト面にプラズマ処理を施し、この面と他の塗工シートにおけるセラミックグリーンシート面とが接するように積層することができる。こうして得られる積層体は良好な接着性を示す。 The surface to which the plasma treatment is applied may be the surface coated with the conductive paste (conductive paste surface), the back surface of the coating sheet (ceramic green sheet surface), or the front and back surfaces of the coating sheet. When a laminated ceramic capacitor is manufactured by stacking a plurality of coated sheets, the surface of the conductive paste can be subjected to plasma treatment and laminated so that this surface is in contact with the ceramic green sheet surface of another coated sheet. The laminate thus obtained exhibits good adhesion.

また、セラミックグリーンシート面にプラズマ処理を施し、この面と他の塗工シートにおける導電ペースト面とが接するように積層することができる。こうして得られる積層体も良好な接着性を示す。この場合の塗工シートとしては、本発明のセラミックグリーンシートの表面に一般的に用いられる導電ペーストが塗工されてなる塗工シート、または、本発明のセラミックグリーンシートの表面に本発明の導電ペーストが塗工されてなる塗工シートが好適に用いられる。さらに、塗工シートの表面または裏面にプラズマ処理を施し、これらのプラズマ処理が施された面と他の塗工シートにおけるセラミックグリーンシート面または導電ペースト面とが接するように積層する。こうして得られる積層体も良好な接着性を示す。 Alternatively, the surface of the ceramic green sheet may be subjected to plasma treatment, and the ceramic green sheet may be laminated so that this surface is in contact with the surface of the conductive paste of another coating sheet. The laminate thus obtained also exhibits good adhesion. As the coating sheet in this case, a coating sheet obtained by coating a conductive paste generally used on the surface of the ceramic green sheet of the present invention, or a conductive sheet of the present invention on the surface of the ceramic green sheet of the present invention. A coated sheet formed by applying a paste is preferably used. Further, the front surface or the back surface of the coated sheet is subjected to plasma treatment, and the plasma treated surface and the ceramic green sheet surface or the conductive paste surface of the other coated sheet are laminated so as to be in contact with each other. The laminate thus obtained also exhibits good adhesion.

また、セラミックグリーンシートにおいてプラズマ処理を施し、プラズマ処理された面に、導電ペーストを塗工してもよい。プラズマ処理が施され、且つ、導電ペーストが塗工された面と、他の塗工シートの片面とが接するように積層する。こうして得られた積層体は、表面にプラズマ処理を施さなかった塗工シートを用いて積層体を作製した場合と比べて、良好な接着性を示す。この場合の塗工シートとしては、本発明のセラミックグリーンシートの表面に一般的に用いられる導電ペーストが塗工されてなる塗工シート、または本発明のセラミックグリーンシートの表面に本発明の導電ペーストが塗工されてなる塗工シートが好適に用いられる。 Alternatively, the ceramic green sheet may be subjected to plasma treatment, and the plasma-treated surface may be coated with a conductive paste. It is laminated so that the surface that has been subjected to the plasma treatment and coated with the conductive paste is in contact with one surface of another coating sheet. The laminate thus obtained exhibits good adhesiveness as compared with the case where the laminate is produced by using a coated sheet whose surface is not subjected to plasma treatment. As the coating sheet in this case, a coating sheet obtained by coating a conductive paste generally used on the surface of the ceramic green sheet of the present invention, or the conductive paste of the present invention on the surface of the ceramic green sheet of the present invention A coated sheet obtained by coating is preferably used.

本発明で用いられるプラズマ処理の方法は特に限定されないが、例えば、低圧プラズマ、高圧プラズマ、コロナ放電処理、大気圧プラズマなどの処理等が挙げられる。処理方法は、本発明の性質を損なわない限り、適当な処理方法を用いることができるが、低圧プラズマは真空状態で施す必要があり、インラインでの製造が難しい。コロナ処理は高エネルギーになる為、表面形状の変化や、処理面が不意均一になる事がある。一方で、大気圧プラズマ処理は真空状態で施す必要がなく、またエネルギーも高低選択できる。生産性、性能の観点から処理方法としては大気圧プラズマが特に好ましい。 The method of plasma treatment used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include low pressure plasma, high pressure plasma, corona discharge treatment, atmospheric pressure plasma and the like. As a processing method, an appropriate processing method can be used as long as the properties of the present invention are not impaired, but the low-pressure plasma needs to be applied in a vacuum state, and in-line production is difficult. Since corona treatment requires high energy, the surface shape may change and the treated surface may become unexpectedly uniform. On the other hand, it is not necessary to perform the atmospheric pressure plasma treatment in a vacuum state, and energy can be selected high or low. From the viewpoint of productivity and performance, atmospheric pressure plasma is particularly preferable as a treatment method.

大気圧プラズマ処理には、種々の大気圧プラズマ装置を用いることができる。例えば、誘電体で覆われた電極間に大気圧近傍の圧力の不活性気体を通じつつ間欠放電を行うことにより低温プラズマを発生させることができる装置等が好ましく、いずれの装置も用いることができ、使用目的等に応じて種々の変型例を選択できる。本発明における「大気圧プラズマ」における「大気圧近傍の圧力」とは、70kPa以上130kPa以下の範囲を指し、好ましくは90kPa以上110kPa以下の範囲である。大気圧プラズマ処理を行う際の温度と湿度は特に制限されず、適宜変更することが可能であるが、常温、常湿で大気圧プラズマ処理を行うことが好ましい。 Various atmospheric pressure plasma devices can be used for the atmospheric pressure plasma treatment. For example, a device capable of generating low-temperature plasma by performing intermittent discharge while passing an inert gas having a pressure near atmospheric pressure between electrodes covered with a dielectric is preferable, and any device can be used, Various modified examples can be selected according to the purpose of use and the like. The “pressure near atmospheric pressure” in the “atmospheric pressure plasma” in the present invention refers to a range of 70 kPa or more and 130 kPa or less, and preferably 90 kPa or more and 110 kPa or less. The temperature and humidity at the time of performing atmospheric pressure plasma treatment are not particularly limited and can be appropriately changed, but it is preferable to perform atmospheric pressure plasma treatment at room temperature and normal humidity.

大気圧プラズマの生成時に用いられる放電ガスとしては、窒素、酸素、水素、二酸化炭素、ヘリウム、およびアルゴンのいずれかのガス、またはこれらの2種以上の混合ガスを利用することができる。不活性気体であるHeおよびAr等の希ガス、あるいは窒素ガスを用いることが好ましく、ArまたはHeの希ガスが特に好ましい。例えば、窒素ガスと空気の混合ガスを用いる場合は、窒素ガスを流速10L/分以上で、500L/分以下で供給することが好ましい。また、ドライエアーを流速0.1L/分以上で、3L/分以下で供給することが好ましい。 As the discharge gas used when generating the atmospheric pressure plasma, any gas of nitrogen, oxygen, hydrogen, carbon dioxide, helium, and argon, or a mixed gas of two or more of these can be used. A rare gas such as He and Ar, which is an inert gas, or a nitrogen gas is preferably used, and a rare gas such as Ar or He is particularly preferable. For example, when a mixed gas of nitrogen gas and air is used, it is preferable to supply the nitrogen gas at a flow rate of 10 L/min or more and 500 L/min or less. Further, it is preferable to supply dry air at a flow rate of 0.1 L/min or more and 3 L/min or less.

大気圧プラズマ装置を用いてプラズマを生成するために、電極間に印加する電圧は5kv以上であることが好ましく、15kv以下であることが好ましい。電極間距離は、1mm以上であることが好ましく、2mm以上であることがより好ましい。また、電極間距離は、10mm以下であることが好ましく、5mm以下であることがより好ましい。 In order to generate plasma using the atmospheric pressure plasma device, the voltage applied between the electrodes is preferably 5 kv or more, and preferably 15 kv or less. The distance between the electrodes is preferably 1 mm or more, more preferably 2 mm or more. In addition, the distance between the electrodes is preferably 10 mm or less, more preferably 5 mm or less.

例えば、プラズマ処理の対象となるセラミックグリーンシートの表面がプラズマの照射方向に垂直な状態を維持したまま、プラズマの照射方向に垂直な方向に沿ってセラミックグリーンシートを移動させることで、セラミックグリーンシートに対してプラズマ処理を行うことができる。この際のセラミックグリーンシートが照射口の直下を通過する時間は、0.1秒以上であることが好ましく、0.5秒以上でることがより好ましい。また、40秒以下であることが好ましく、20秒以下であることがより好ましい。なお、照射口の直下周辺もプラズマ雰囲気になっていてもよい。 For example, by moving the ceramic green sheet along a direction perpendicular to the plasma irradiation direction while the surface of the ceramic green sheet to be plasma-treated is kept perpendicular to the plasma irradiation direction, Plasma treatment can be performed on the. At this time, the time for which the ceramic green sheet passes immediately below the irradiation port is preferably 0.1 seconds or more, more preferably 0.5 seconds or more. Further, it is preferably 40 seconds or less, and more preferably 20 seconds or less. It should be noted that the area immediately below the irradiation port may also have a plasma atmosphere.

電極間に印加する電圧、電極間距離、または、セラミックグリーンシートの移動速度が、上記の範囲外となると、(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)の値が、20未満となったり、或いは、1000より大きくなりやすくなる傾向にある。 When the voltage applied between the electrodes, the distance between the electrodes, or the moving speed of the ceramic green sheet is out of the above range, the value of (Ba+ion intensity)/(Ti+ion intensity) becomes less than 20. Or, it tends to be larger than 1000.

以下、実施例および比較例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、以下の実施例および比較例において、「重合度」は「粘度平均重合度」を意味する。また、以下の実施例および比較例において、「セラミックグリーンシート」は支持フィルムであるポリエステルフィルムを含まない部分を意味する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples. In addition, in the following Examples and Comparative Examples, the "degree of polymerization" means "the viscosity average degree of polymerization". Moreover, in the following Examples and Comparative Examples, the "ceramic green sheet" means a portion that does not include the polyester film that is the supporting film.

[評価方法]
(1.ポリビニルアセタールの測定)
実施例および比較例で用いるポリビニルアセタールの酢酸ビニル単量体単位の含有量(モル%)、アセタール化度(モル%)およびビニルアルコール単量体単位の含有量(モル%)はJIS K 6728:1977に準拠して測定した。ポリビニルアセタールの粘度平均重合度は、JIS K 6726:1994に準拠して測定される原料のPVAの粘度平均重合度で示した。
[Evaluation method]
(1. Measurement of polyvinyl acetal)
The content (mol %) of vinyl acetate monomer units, the degree of acetalization (mol %), and the content (mol %) of vinyl alcohol monomer units of polyvinyl acetal used in Examples and Comparative Examples are JIS K 6728: It measured based on 1977. The viscosity average degree of polymerization of polyvinyl acetal is shown by the viscosity average degree of polymerization of the raw material PVA measured according to JIS K 6726:1994.

(2.有機化合物および無機化合物分散用剤の酸価の測定)
実施例および比較例で用いる有機化合物および無機化合物分散用剤の酸価はJIS K 6728:1977に準拠して測定した。より具体的には、約1gの各有機化合物又は各無機化合物分散用剤を共栓付き三角フラスコに投入し、エチルアルコール30mlを加えて溶解した。フェノールフタレインを指示薬とし、得られた溶液に対し、N/50水酸化カリウムを用いて滴定し、30秒以上微紅色を保つ点までの滴定量をa(mL)とした。これとは別に、エチルアルコール30mlに対して同様の滴定を行い、微紅色を保つ点までの滴定量をb(mL)とし、下記数式(II)により、酸価を算出した。

Figure 0006732588
(2. Measurement of Acid Value of Organic Compound and Inorganic Compound Dispersing Agent)
The acid value of the organic compound and the inorganic compound dispersing agent used in Examples and Comparative Examples was measured according to JIS K 6728:1977. More specifically, about 1 g of each organic compound or each inorganic compound dispersion agent was placed in an Erlenmeyer flask with a stopper, and 30 ml of ethyl alcohol was added and dissolved. Phenolphthalein was used as an indicator, and the obtained solution was titrated with N/50 potassium hydroxide, and the titration amount up to the point of maintaining a slightly crimson color for 30 seconds or more was defined as a (mL). Separately, the same titration was performed on 30 ml of ethyl alcohol, and the titer until the point of maintaining a slightly reddish color was b (mL), and the acid value was calculated by the following mathematical formula (II).
Figure 0006732588

(3.セラミックグリーンシート表面のTOF−SIMS分析)
測定中にセラミックグリーンシートの表面の成分が揮発することを抑制するため、飛行時間型二次イオン質量分析(TOF−SIMS)は冷却測定を実施した。製造例で得られたセラミックグリーンシートの表面に大気圧プラズマ処理を行った後、セラミックグリーンシートを−150℃まで冷却し、その後、真空下で、直ちに飛行時間型二次イオン質量分析(TOF−SIMS)による分析を実施した。飛行時間型二次イオン質量分析計(TOF−SIMS)はION−TOF社製TOF−SIMS5を用いた。一次イオン源にはビスマスクラスターイオン源(Bi3++)を使用し、電流値0.2ピコアンペア、加速電圧25キロボルトとし、測定モードは高質量分解能通常モード(バンチングモード)を選択した。セラミックグリーンシートの平面(セラミックグリーンシートの最も面積の広い面のいずれか一方の面)の任意500μm×500μmを測定領域とし、該測定領域を128x128ピクセルに測定範囲を区切りイオンビームの照射モードはランダムラスターモードとして測定領域を走査し、スキャン数は64スキャンとした。測定により得られたマススペクトルからTi+イオンの強度、Ba+イオンの強度を算出し、Ti+イオンの強度に対する、Ba+イオンの強度の割合を計算した。結果を表2−1、表2−2、表3に示す。プラズマ照射後のシートの表面状態は保存状態により変化する可能性があるため、プラズマ照射後の表面分析の測定はプラズマ照射後、速やかに測定を実施した。
(3. TOF-SIMS analysis of the surface of the ceramic green sheet)
In order to suppress volatilization of components on the surface of the ceramic green sheet during measurement, time-of-flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) performed cooling measurement. After performing the atmospheric pressure plasma treatment on the surface of the ceramic green sheet obtained in Production Example, the ceramic green sheet was cooled to -150°C, and then immediately under vacuum, time-of-flight secondary ion mass spectrometry (TOF- SIMS) analysis was performed. As the time-of-flight secondary ion mass spectrometer (TOF-SIMS), TOF-SIMS5 manufactured by ION-TOF was used. A bismuth cluster ion source (Bi3++) was used as the primary ion source, the current value was 0.2 picoamperes, the accelerating voltage was 25 kilovolts, and the measurement mode was the high mass resolution normal mode (bunching mode). An arbitrary 500 μm×500 μm of the plane of the ceramic green sheet (one of the faces having the largest area of the ceramic green sheet) is set as a measurement region, and the measurement region is divided into 128×128 pixels and the ion beam irradiation mode is random. The measurement area was scanned in the raster mode, and the number of scans was 64. The intensity of Ti+ ions and the intensity of Ba+ ions were calculated from the mass spectrum obtained by the measurement, and the ratio of the intensity of Ba+ ions to the intensity of Ti+ ions was calculated. The results are shown in Table 2-1, Table 2-2 and Table 3. Since the surface state of the sheet after the plasma irradiation may change depending on the storage state, the surface analysis measurement after the plasma irradiation was performed immediately after the plasma irradiation.

(4−1.セラミックスラリーの保存安定性)
実施例および比較例で用いるセラミックスラリーの保存安定性は、当該セラミックスラリーの製造直後の粘度ηと製造後1ヶ月の粘度ηとの比率によって評価した。評価基準は以下のとおりである。
評価A:0.95<η/η<1.05
評価B:0.85<η/η≦0.95 あるいは、1.05≦η/η<1.15
評価C:η/η≦0.85 あるいは、1.15≦η/η
(4-1. Storage stability of ceramic slurry)
The storage stability of the ceramic slurries used in Examples and Comparative Examples was evaluated by the ratio of the viscosity η 0 immediately after the production of the ceramic slurries to the viscosity η 1 one month after the production. The evaluation criteria are as follows.
Evaluation A: 0.95<η 10 <1.05
Evaluation B: 0.85<η 10 ≦0.95 or 1.05≦η 10 <1.15
Evaluation C: η 10 ≦0.85 or 1.15≦η 10

セラミックスラリーの粘度は、回転レオメータ(TA INSTRUMENT社製;ARES G2)を用いて、以下の測定条件で測定した。 The viscosity of the ceramic slurry was measured under the following measurement conditions using a rotary rheometer (TA INSTRUMENT, ARES G2).

<測定条件>
FLOW SWEEPモード
shear rate:100(1/sec)
回転する円盤の直径:40mm
回転する円盤(上側):平板
回転する円盤(下側)のコーンアングル:0.02rad
Truncation gap:0.0262mm
<Measurement conditions>
FLOW SWEEP mode shear rate: 100 (1/sec)
Diameter of rotating disk: 40mm
Rotating disc (upper side): Flat plate Rotating disc (lower side) cone angle: 0.02 rad
Truncation gap: 0.0262mm

(4−2.導電ペーストの保存安定性)
セラミックスラリーの代わりに実施例および比較例で用いる導電ペーストを用いた以外は、「4−1.セラミックスラリーの保存安定性」に記載の方法に従って保存安定性の評価を行った。
(4-2. Storage stability of conductive paste)
The storage stability was evaluated according to the method described in "4-1. Storage stability of ceramic slurry" except that the conductive paste used in Examples and Comparative Examples was used instead of the ceramic slurry.

(5−1.セラミックグリーンシートの接着性評価)
下記条件で大気圧プラズマ処理された、実施例および比較例で用いるセラミックグリーンシートと、大気圧プラズマ処理されていない実施例および比較例で用いるセラミックグリーンシートとを積層して、熱プレス機を用い下記の条件で熱圧着試験を行った。このとき、大気圧プラズマ処理された面が、他のセラミックグリーンシートの大気圧プラズマ処理されていない表面に接するように積層し、積層体を得た。
(5-1. Evaluation of adhesiveness of ceramic green sheet)
Atmospheric pressure plasma treatment under the following conditions, ceramic green sheets used in Examples and Comparative Examples, and ceramic green sheets used in Examples and Comparative Examples not subjected to atmospheric pressure plasma treatment were laminated, and a hot press machine was used. A thermocompression bonding test was performed under the following conditions. At this time, the surface subjected to the atmospheric pressure plasma treatment was laminated so as to contact the surface of the other ceramic green sheet which was not subjected to the atmospheric pressure plasma treatment to obtain a laminated body.

<プラズマ照射>
実施例および比較例で用いるセラミックグリーンシート(ポリエステルフィルム上)を、ポリエステルフィルムと共に10cm×10cmの大きさに切断した。該セラミックグリーンシートをポリエステルフィルムから剥がした後、セラミックグリーンシートの表面に、大気圧プラズマ装置を用いて、常温、常湿にて、窒素ガスが流速150L/分、ドライ純エアーが流速0.5L/分の混合ガスを用い、電極間の電圧11kV、電極間距離2mm、サンプル(セラミックグリーンシート)移動速度10mm/秒で、セラミックグリーンシートが幅2cmの照射口の直下を通過する時間が2秒(10cm×10cmのセラミックグリーンシート全体に対して10秒)となる条件で大気圧プラズマ処理を施した。
<Plasma irradiation>
The ceramic green sheets (on the polyester film) used in Examples and Comparative Examples were cut together with the polyester film into a size of 10 cm×10 cm. After peeling the ceramic green sheet from the polyester film, nitrogen gas at a flow rate of 150 L/min and dry pure air at a flow rate of 0.5 L are formed on the surface of the ceramic green sheet using an atmospheric pressure plasma device at room temperature and normal humidity. Using a mixed gas/minute, the voltage between electrodes is 11 kV, the distance between electrodes is 2 mm, the moving speed of the sample (ceramic green sheet) is 10 mm/sec, and the time for which the ceramic green sheet passes directly under the irradiation opening of 2 cm in width is 2 seconds. The atmospheric pressure plasma treatment was performed under the condition of (10 seconds for the entire 10 cm×10 cm ceramic green sheet).

<熱プレス条件>
プレス温度 45℃
圧力 1MPa
時間 5秒
<Heat press conditions>
Press temperature 45℃
Pressure 1 MPa
Time 5 seconds

得られた積層体を5mm×5mmに切断し、100個を任意で抽出した。任意で抽出した積層体の接着面を目視で観察し、セラミックグリーンシート同士の接着性を下記の5段階で評価した。
A:全く層間剥離が認められず、強固に接着している。
(層間剥離している積層体の個数/任意の積層体=0/100)
B:層間剥離がわずかに認められたが、強固に接着している。
(層間剥離している積層体の個数/任意の積層体=1〜10/100)
C:層間剥離が一部認められたが、接着している。
(層間剥離している積層体の個数/任意の積層体=11〜30/100)
D:層間剥離がかなり多く認められ、ほとんど接着性を示さなかった。
(層間剥離している積層体の個数/任意の積層体=31〜99/100)
E:接着性を示さなかった。
(層間剥離している積層体の個数/任意の積層体=100/100)
The obtained laminated body was cut into 5 mm×5 mm, and 100 pieces were arbitrarily extracted. The adhesive surface of the arbitrarily selected laminate was visually observed, and the adhesiveness between the ceramic green sheets was evaluated according to the following 5 grades.
A: Delamination was not observed at all, and they were firmly bonded.
(Number of delaminated laminates/Any laminate=0/100)
B: Delamination was slightly observed, but the layers were firmly bonded.
(Number of delaminated laminates/arbitrary laminate=1 to 10/100)
C: Delamination was partially observed, but adhered.
(Number of delaminated laminates/arbitrary laminates=11 to 30/100)
D: Delamination was considerably observed, and almost no adhesiveness was exhibited.
(Number of delaminated laminates/arbitrary laminates=31 to 99/100)
E: No adhesion was shown.
(Number of delaminated laminates/arbitrary laminate=100/100)

(5−2.塗工シートの接着性評価)
セラミックグリーンシートの代わりに実施例および比較例で用いる塗工シートを用いた以外は、「5−1.セラミックグリーンシートの接着性評価」に記載の方法に従って、接着性の評価を行った。このとき、大気圧プラズマ処理は、導電ペーストが塗工された面に行い、大気圧プラズマ処理された面が、他の塗工シートの大気圧プラズマ処理されていない面(導電ペーストが塗工されていない面)に接するように積層した。
(5-2. Adhesion evaluation of coated sheet)
Adhesiveness was evaluated according to the method described in "5-1. Evaluation of adhesiveness of ceramic green sheet" except that the coated sheet used in Examples and Comparative Examples was used instead of the ceramic green sheet. At this time, the atmospheric pressure plasma treatment is performed on the surface coated with the conductive paste, and the surface subjected to the atmospheric pressure plasma treatment is the surface of the other coating sheet which is not subjected to the atmospheric pressure plasma treatment (the conductive paste is coated). It was laminated so that it touched the surface (which was not exposed).

(6−1.セラミックグリーンシートの寸法安定性評価)
実施例および比較例で用いる、乾燥(常温で1時間風乾後、熱風乾燥器にて80℃2時間、続いて120℃2時間乾燥)後の膜厚が2μmであるセラミックグリーンシートに対し、前記と同様にプラズマ処理を施した。このシートを5cm角に切断し、2枚を重ね合わせた後、45℃でプレスを行い(プレス圧:3MPa)、変形率(プレス後の面積/プレス前の面積×100)を求めた。このとき、大気圧プラズマ処理された面が、他のセラミックグリーンシートの大気圧プラズマ処理されていない表面に接するように積層した。
A:シート変形率が2%未満
B:シート変形率が2%以上4%未満
C:シート変形率が4%以上
の3段階で評価した。
(6-1. Evaluation of dimensional stability of ceramic green sheet)
For the ceramic green sheets having a film thickness of 2 μm after drying (air drying at room temperature for 1 hour, followed by drying at 80° C. for 2 hours and then 120° C. for 2 hours) used in Examples and Comparative Examples, Plasma treatment was performed in the same manner as in. This sheet was cut into 5 cm squares, two sheets were superposed, and then pressed at 45° C. (pressing pressure: 3 MPa) to obtain a deformation rate (area after pressing/area before pressing×100). At this time, the surface treated with the atmospheric pressure plasma was laminated so as to contact the surface of the other ceramic green sheet not treated with the atmospheric pressure plasma.
A: Sheet deformation rate is less than 2% B: Sheet deformation rate is 2% or more and less than 4% C: Sheet deformation rate is 4% or more.

(6−2.塗工シートの寸法安定性評価)
セラミックグリーンシートの代わりに実施例および比較例で用いる塗工シートを用いた以外は、「6−1.セラミックグリーンシートの寸法安定性評価」と同様の方法で寸法安定性評価を行った。このとき、大気圧プラズマ処理は、導電ペーストが塗工された面に行い、大気圧プラズマ処理された面が、他の塗工シートの大気圧プラズマ処理されていない面(導電ペーストが塗工されていない面)に接するように積層した。
(6-2. Evaluation of dimensional stability of coated sheet)
Dimensional stability was evaluated by the same method as "6-1. Evaluation of dimensional stability of ceramic green sheet" except that the coated sheet used in Examples and Comparative Examples was used instead of the ceramic green sheet. At this time, the atmospheric pressure plasma treatment is performed on the surface coated with the conductive paste, and the surface subjected to the atmospheric pressure plasma treatment is the surface of the other coating sheet which is not subjected to the atmospheric pressure plasma treatment (the conductive paste is coated). It was laminated so that it touched the surface (which was not exposed).

(7−1.セラミックグリーンシート積層体における焼成体のデラミネ−ション評価)
実施例および比較例で用いるセラミックグリーンシート(ポリエステルフィルム上)を10cm角に切断したものを100枚用意した。切断されたセラミックグリーンシートをポリエステルフィルムから剥がした後、それぞれの片面に「5−1.セラミックグリーンシートの接着性評価」と同様の方法で大気圧プラズマ処理を施し、大気圧プラズマ処理された面と大気圧プラズマ処理されていない面が重なる様に100枚積重ね、グリーンシートの積層体を得た。続いて、温度70℃、圧力150kg/cmで10分間加熱圧着し、積層体を得た。得られた積層体を5mm×5mmに切断し、切断した積層体から100個を任意で抽出し、窒素雰囲気下、昇温速度15℃/分で400℃まで昇温し、5時間保持した後、さらに昇温速度5℃/分で1350℃まで昇温し、10時間保持することにより、セラミック焼成体を得た。
(7-1. Evaluation of delamination of fired body in ceramic green sheet laminate)
100 pieces of 10 cm square ceramic green sheets (on a polyester film) used in Examples and Comparative Examples were prepared. After peeling the cut ceramic green sheet from the polyester film, each side is subjected to atmospheric pressure plasma treatment in the same manner as in "5-1. Evaluation of adhesiveness of ceramic green sheet", and the surface subjected to atmospheric pressure plasma treatment And 100 sheets were stacked so that the surfaces not subjected to the atmospheric pressure plasma treatment were overlapped to obtain a green sheet laminate. Then, the laminate was obtained by thermocompression bonding at a temperature of 70° C. and a pressure of 150 kg/cm 2 for 10 minutes. The obtained laminated body was cut into 5 mm×5 mm, 100 pieces were arbitrarily extracted from the cut laminated body, and the temperature was raised to 400° C. at a heating rate of 15° C./min in a nitrogen atmosphere, and after holding for 5 hours Further, the temperature was raised to 1350° C. at a heating rate of 5° C./minute, and the temperature was maintained for 10 hours to obtain a ceramic fired body.

得られた焼成体を常温まで冷却した後、焼成体の断面を電子顕微鏡で観察し、セラミック層間のデラミネーションの有無を以下の4段階で評価した。
A:デラミネーションなし。
(デラミネーションした焼成体の個数/任意の焼成体=0〜2/100)
B:デラミネーションが僅かに見られる。
(デラミネーションした焼成体の個数/任意の焼成体=3〜7/100)
C:デラミネーションが一部あり。
(デラミネーションした焼成体の個数/任意の焼成体=8〜20/100)
D:デラミネーションが多数あり。
(デラミネーションした焼成体の個数/任意の焼成体=21〜100/100)
After cooling the obtained fired body to room temperature, the cross section of the fired body was observed with an electron microscope, and the presence or absence of delamination between the ceramic layers was evaluated in the following four stages.
A: No delamination.
(Number of delaminated fired bodies/arbitrary fired bodies=0 to 2/100)
B: Delamination is slightly observed.
(Number of delaminated fired bodies/arbitrary fired bodies=3 to 7/100)
C: There is some delamination.
(Number of delaminated fired bodies/arbitrary fired bodies=8 to 20/100)
D: There are many delaminations.
(Number of delaminated fired bodies/arbitrary fired bodies=21 to 100/100)

(7−2.塗工シート積層体における焼成体のデラミネ−ション評価)
実施例および比較例で用いる、塗工シートを10cm角に切断したものを100枚用意した。導電ペーストが塗工された面に「5−2.塗工シートの接着性評価」と同様の方法で大気圧プラズマ処理を施し、大気圧プラズマ処理された面と大気圧プラズマ処理されていない面が重なる様に100枚積重ね、塗工シートの積層体を得た。続いて、温度70℃、圧力150kg/cmで10分間加熱圧着し、積層体を得た。得られた積層体を5mm×5mmに切断し、切断した積層体から100個を任意で抽出し、窒素雰囲気下、昇温速度15℃/分で400℃まで昇温し、5時間保持した後、さらに昇温速度5℃/分で1350℃まで昇温し、10時間保持することにより、セラミック焼成体を得た。
(7-2. Evaluation of delamination of fired body in coated sheet laminate)
100 pieces of the coated sheet used in Examples and Comparative Examples were cut into 10 cm square pieces, and 100 sheets were prepared. The surface coated with the conductive paste is subjected to the atmospheric pressure plasma treatment in the same manner as in "5-2. Evaluation of adhesiveness of coated sheet", and the surface treated with the atmospheric pressure plasma and the surface not treated with the atmospheric pressure plasma. 100 sheets were stacked so as to overlap with each other to obtain a laminate of coated sheets. Then, the laminate was obtained by thermocompression bonding at a temperature of 70° C. and a pressure of 150 kg/cm 2 for 10 minutes. The obtained laminated body was cut into 5 mm×5 mm, 100 pieces were arbitrarily extracted from the cut laminated body, and the temperature was raised to 400° C. at a heating rate of 15° C./min in a nitrogen atmosphere, and after holding for 5 hours Further, the temperature was raised to 1350° C. at a heating rate of 5° C./minute, and the temperature was maintained for 10 hours to obtain a ceramic fired body.

得られた焼成体を常温まで冷却した後、焼成体の断面を電子顕微鏡で観察し、セラミック層同士およびセラミック層と電極層間のデラミネーションの有無を以下の4段階で評価した。
A:デラミネーションなし。
(デラミネーションした焼成体の個数/任意の焼成体=0〜2/100)
B:デラミネーションが僅かに見られる。
(デラミネーションした焼成体の個数/任意の焼成体=3〜7/100)
C:デラミネーションが一部あり。
(デラミネーションした焼成体の個数/任意の焼成体=8〜20/100)
D:デラミネーションが多数あり。
(デラミネーションした焼成体の個数/任意の焼成体=21〜100/100)
After cooling the obtained fired body to room temperature, the cross section of the fired body was observed with an electron microscope, and the presence or absence of delamination between the ceramic layers and between the ceramic layers and the electrode layers was evaluated according to the following four grades.
A: No delamination.
(Number of delaminated fired bodies/arbitrary fired bodies=0 to 2/100)
B: Delamination is slightly observed.
(Number of delaminated fired bodies/arbitrary fired bodies=3 to 7/100)
C: There is some delamination.
(Number of delaminated fired bodies/arbitrary fired bodies=8 to 20/100)
D: There are many delaminations.
(Number of delaminated fired bodies/arbitrary fired bodies=21 to 100/100)

[バインダー樹脂(A)]
(合成例1)
還流冷却器、温度計、イカリ型攪拌翼を備えた10リットルのガラス製容器に、イオン交換水を7280gと重合度1700、けん化度98.4モル%のポリビニルアルコール(以下、PVA−1と記載)を720g仕込み(PVA濃度9.0質量%)、内容物を95℃に昇温してPVAを完全に溶解させた。次に内容物を120rpmで攪拌しながら、10℃まで約30分かけて徐々に冷却した後、前記容器にn−ブチルアルデヒド400gと20質量%の塩酸830mLを添加し、ブチラール化反応を150分間行った。その後90分かけて70℃まで昇温し、70℃にて120分間保持した後、室温まで冷却した。析出した樹脂をイオン交換水で洗浄後、過剰量の水酸化ナトリウム水溶液を添加して中和した。引き続き、イオン交換水で樹脂を再洗浄した後、乾燥してポリビニルブチラール(PVB−1)を得た。
[Binder resin (A)]
(Synthesis example 1)
In a 10-liter glass container equipped with a reflux condenser, a thermometer, and an Ikari type stirring blade, 7280 g of ion-exchanged water, a polymerization degree of 1700, and a polyvinyl alcohol having a saponification degree of 98.4 mol% (hereinafter referred to as PVA-1). 720 g) (PVA concentration 9.0% by mass), and the content was heated to 95° C. to completely dissolve PVA. Next, the contents were gradually cooled to 10° C. over about 30 minutes while stirring at 120 rpm, and then 400 g of n-butyraldehyde and 830 mL of 20 mass% hydrochloric acid were added to the container, and the butyralization reaction was performed for 150 minutes. went. After that, the temperature was raised to 70° C. over 90 minutes, held at 70° C. for 120 minutes, and then cooled to room temperature. The precipitated resin was washed with ion-exchanged water, and an excessive amount of sodium hydroxide aqueous solution was added to neutralize the resin. Subsequently, the resin was rewashed with ion-exchanged water and then dried to obtain polyvinyl butyral (PVB-1).

(合成例2)
PVA−1に代わって、表1に示す重合度とけん化度を有するPVAを用い、n−ブチルアルデヒドを336g用いた以外は合成例1と同様にして、ポリビニルブチラール(PVB−2)を得た。
(Synthesis example 2)
Polyvinyl butyral (PVB-2) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that PVA having a polymerization degree and a saponification degree shown in Table 1 was used instead of PVA-1, and 336 g of n-butyraldehyde was used. ..

(合成例3)
PVA−1に代わって、表1に示す重合度とけん化度を有するPVAを用い、n−ブチルアルデヒドを388g用いた以外は合成例1と同様にして、ポリビニルブチラール(PVB−3)を得た。
(Synthesis example 3)
Polyvinyl butyral (PVB-3) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that PVA having the degree of polymerization and the degree of saponification shown in Table 1 was used instead of PVA-1 and 388 g of n-butyraldehyde was used. ..

(合成例4)
PVA−1に代わって、表1に示す重合度とけん化度を有するPVAを用い、n−ブチルアルデヒドを453g用いた以外は合成例1と同様にして、ポリビニルブチラール(PVB−4)を得た。
(Synthesis example 4)
Polyvinyl butyral (PVB-4) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that PVA having the degree of polymerization and the degree of saponification shown in Table 1 was used instead of PVA-1, and 453 g of n-butyraldehyde was used. ..

(合成例5)
PVA−1に代わって、表1に示す重合度とけん化度を有するPVAを用い、n−ブチルアルデヒドを511g用いた以外は合成例1と同様にして、ポリビニルブチラール(PVB−5)を得た。
(Synthesis example 5)
Polyvinyl butyral (PVB-5) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that PVA having a polymerization degree and a saponification degree shown in Table 1 was used instead of PVA-1, and 511 g of n-butyraldehyde was used. ..

(合成例6)
PVA−1に代わって、表1に示す重合度とけん化度を有するPVAを用い、n−ブチルアルデヒドを398g用いた以外は合成例1と同様にして、ポリビニルブチラール(PVB−6)を得た。
(Synthesis example 6)
Polyvinyl butyral (PVB-6) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that PVA having a polymerization degree and a saponification degree shown in Table 1 was used in place of PVA-1, and 398 g of n-butyraldehyde was used. ..

(合成例7)
PVA−1に代わって、表1に示す重合度とけん化度を有するPVAを用い、n−ブチルアルデヒドを405g用いた以外は合成例1と同様にして、ポリビニルブチラール(PVB−7)を得た。
(Synthesis example 7)
Polyvinyl butyral (PVB-7) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that PVA having a degree of polymerization and a degree of saponification shown in Table 1 was used instead of PVA-1, and 405 g of n-butyraldehyde was used. ..

(合成例8)
PVA−1に代わって、表1に示す重合度とけん化度を有するPVAを用い、n−ブチルアルデヒドを399g用いた以外は合成例1と同様にして、ポリビニルブチラール(PVB−8)を得た。
(Synthesis example 8)
Polyvinyl butyral (PVB-8) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that PVA having the degree of polymerization and the degree of saponification shown in Table 1 was used instead of PVA-1, and 399 g of n-butyraldehyde was used. ..

(合成例9)
PVA−1の代わりに、表1に示すように、重合度2400でけん化度98.8モル%のPVAと、重合度500でけん化度98.8モル%のPVAとを70/30の質量比で用い、n−ブチルアルデヒドを399g用いた以外は、合成例1と同様の操作を行って、ポリビニルブチラール(PVB−9)を得た。
(Synthesis example 9)
Instead of PVA-1, as shown in Table 1, PVA having a degree of polymerization of 2400 and a degree of saponification of 98.8 mol% and PVA having a degree of polymerization of 500 and a degree of saponification of 98.8 mol% were used in a mass ratio of 70/30. In the same manner as in Synthesis Example 1, except that 399 g of n-butyraldehyde was used, polyvinyl butyral (PVB-9) was obtained.

(合成例10)
合成例1において、n−ブチルアルデヒドを用いてブチラール化をする代わりに、イソブチルアルデヒドを用いてアセタール化をした以外は、合成例1と同様の操作を行って、ポリビニルブチラール(PVB−10)を得た。
(Synthesis example 10)
Polyvinyl butyral (PVB-10) was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1 except that isobutyraldehyde was used for acetalization instead of n-butyraldehyde for butyralization. Obtained.

(合成例11)
合成例1において、n−ブチルアルデヒドを用いてブチラール化をする代わりに、アセトアルデヒドとn−ブチルアルデヒドを重量比100/64で用いて、アセタール化をした以外は、合成例1と同様の操作を行って、ポリビニルブチラール(PVB−11)を得た。
(Synthesis example 11)
Instead of performing butyralization with n-butyraldehyde in Synthesis Example 1, acetaldehyde and n-butyraldehyde were used at a weight ratio of 100/64 to perform acetalization, and the same operation as in Synthesis Example 1 was performed. It carried out and obtained polyvinyl butyral (PVB-11).

PVB−1〜PVB−11について、前記評価方法「1.ポリビニルアセタールの測定」に記載された方法に従って、重合度、酢酸ビニル単量体単位の含有量、ブチラール化度およびビニルアルコール単量体単位の含有量を測定した。測定結果を表1に示す。 Regarding PVB-1 to PVB-11, the degree of polymerization, the content of vinyl acetate monomer units, the degree of butyralization, and the vinyl alcohol monomer units are measured according to the method described in "1. Measurement of polyvinyl acetal" described above. Was measured. The measurement results are shown in Table 1.

Figure 0006732588
Figure 0006732588

[セラミックグリーンシートの製造]
(製造例1)
<無機化合物分散用剤の調製>
トルエン30質量部とエタノール30質量部の混合溶剤にPVB−1を10質量部加えた後、攪拌してPVB−1を溶解させ、当該溶液に、アジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)を100質量部のPVB−1に対して、38質量部になるように加え、攪拌して無機化合物分散用剤を調製した。
[Manufacture of ceramic green sheets]
(Production Example 1)
<Preparation of Inorganic Compound Dispersing Agent>
After 10 parts by mass of PVB-1 was added to a mixed solvent of 30 parts by mass of toluene and 30 parts by mass of ethanol, PVB-1 was dissolved by stirring, and 100 parts by mass of bis(2-butoxyethyl) adipate was added to the solution. To 38 parts by mass of PVB-1 was added and stirred to prepare an inorganic compound dispersing agent.

<セラミックスラリーの製造>
セラミック粉体であるチタン酸バリウム(「BT−02」、堺化学工業株式会社製、平均粒子径0.2μm)100質量部にトルエン15質量部とエタノール15質量部を加え、ボールミルで15時間混合し、セラミック粉体の分散液を得た。続いてセラミック粉体100質量部に対し、PVB−1が7.5質量部になるように前記セラミック粉体の分散液に前記無機化合物分散用剤を加え、ボールミルで24時間混合し、セラミックスラリーを得た。
<Production of ceramic slurry>
15 parts by mass of toluene and 15 parts by mass of ethanol were added to 100 parts by mass of barium titanate (“BT-02”, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., average particle size: 0.2 μm), which is a ceramic powder, and mixed in a ball mill for 15 hours. Then, a dispersion liquid of ceramic powder was obtained. Subsequently, the inorganic compound dispersing agent was added to the ceramic powder dispersion so that PVB-1 was 7.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder, and the mixture was mixed by a ball mill for 24 hours to obtain a ceramic slurry. Got

<セラミックグリーンシートの製造>
得られたセラミックスラリーを、離形処理したポリエステルフィルム上に、乾燥膜厚が2〜3μmとなるようにバーコーターを用いて塗工し、常温で1時間、風乾した後、熱風乾燥機にて80℃にて2時間、続いて120℃で2時間乾燥させ、ポリエステルフィルム上にセラミックグリーンシートGS−1を得た。
<Manufacture of ceramic green sheets>
The obtained ceramic slurry was coated on a polyester film subjected to mold release treatment using a bar coater so that the dry film thickness was 2 to 3 μm, air-dried at room temperature for 1 hour, and then dried with a hot air dryer. It was dried at 80° C. for 2 hours and then at 120° C. for 2 hours to obtain a ceramic green sheet GS-1 on the polyester film.

(製造例2〜8)
PVB−1の代わりにPVB−2〜PVB−8をそれぞれ用いたこと以外は、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−2〜GS−8を作製した。
(Production Examples 2 to 8)
Ceramic green sheets GS-2 to GS-8 were produced in the same manner as in Production Example 1 except that PVB-2 to PVB-8 were used instead of PVB-1.

(製造例9〜14)
アジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)の代わりに、表2−1に示す有機化合物を用いたこと以外は、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−9〜GS−14を作製した。
(Production Examples 9 to 14)
Ceramic green sheets GS-9 to GS-14 were produced in the same manner as in Production Example 1 except that the organic compounds shown in Table 2-1 were used instead of bis(2-butoxyethyl adipate).

(製造例15〜18)
アジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)を、バインダー樹脂(A)に対して、表2−2に示す割合で添加したこと以外は、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−15〜GS−18を作製した。
(Production Examples 15 to 18)
Ceramic green sheets GS-15 to GS were prepared in the same manner as in Production Example 1 except that bis(2-butoxyethyl) adipate was added to the binder resin (A) in the proportions shown in Table 2-2. -18 was produced.

(製造例19〜21)
PVB−1の代わりにPVB−9〜PVB−11を用い、表2−2に示す有機化合物を用いたこと以外は、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−19〜GS−21を作製した。
(Production Examples 19 to 21)
Ceramic green sheets GS-19 to GS-21 were prepared in the same manner as in Production Example 1 except that PVB-9 to PVB-11 were used instead of PVB-1 and the organic compounds shown in Table 2-2 were used. It was made.

(製造例22)
表2−2に示すように、100質量部のPVB−1に対して、アジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)19質量部とトリエチレングリコールジ2−エチルヘキサノエート19質量部を添加した以外は、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−22を作製した。
(Production Example 22)
As shown in Table 2-2, except that 19 parts by mass of bis(2-butoxyethyl) adipate and 19 parts by mass of triethylene glycol di2-ethylhexanoate were added to 100 parts by mass of PVB-1. Produced a ceramic green sheet GS-22 in the same manner as in Production Example 1.

(製造例23〜25)
表2−2に示す有機化合物を添加したこと以外は、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−23〜GS−25を作製した。
(Production Examples 23 to 25)
Ceramic green sheets GS-23 to GS-25 were produced in the same manner as in Production Example 1 except that the organic compounds shown in Table 2-2 were added.

(製造例26)
製造例1で得られた10質量部のPVB−1をトルエン30質量部とエタノール30質量部の混合溶剤に加えた後、攪拌してPVB−1を溶解させ、当該溶液に、表2−2に示すアジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)を、100質部のPVB−1に対して38質量部になるように加え、さらに分散剤として「マリアリムAKM−0531」(日油社性)を100質部のPVB−1に対して11重量部添加し、攪拌して無機化合物分散用剤を調製した。セラミック粉体としてチタン酸バリウム(「BT−02」、堺化学工業株式会社製、平均粒子径0.2μm)100質量部にトルエン15質量部とエタノール15質量部を加えたのち、ボールミルで15時間混合し、セラミック粉体の分散液を得た。続いてセラミック100質量部に対し、PVB−1が7.5質量部になるように前記セラミックの分散液に無機化合物分散用剤を加え、ボールミルで24時間混合し、セラミックスラリーを得た。また、得られたセラミックスラリーを用いて、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS26を作製した。
(Production Example 26)
After adding 10 parts by mass of PVB-1 obtained in Production Example 1 to a mixed solvent of 30 parts by mass of toluene and 30 parts by mass of ethanol, PVB-1 was dissolved by stirring, and Table 2-2 was added to the solution. Bis(2-butoxyethyl) adipate shown in is added so as to be 38 parts by mass with respect to 100 parts by mass of PVB-1. 11 parts by weight was added to PVB-1 in parts by mass and stirred to prepare an agent for dispersing an inorganic compound. 15 parts by mass of toluene and 15 parts by mass of ethanol were added to 100 parts by mass of barium titanate (“BT-02”, manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., average particle diameter 0.2 μm) as a ceramic powder, and then 15 hours by a ball mill. The mixture was mixed to obtain a dispersion liquid of ceramic powder. Subsequently, an inorganic compound dispersing agent was added to the ceramic dispersion liquid such that PVB-1 was 7.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic, and the mixture was mixed by a ball mill for 24 hours to obtain a ceramic slurry. Further, using the obtained ceramic slurry, a ceramic green sheet GS26 was produced in the same manner as in Production Example 1.

(製造例27)
「マリアリムAKM−0531」を100質量部のPVB−1に対して34質量部添加した以外は、製造例26と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−27を作製した。
(Production Example 27)
A ceramic green sheet GS-27 was produced in the same manner as in Production Example 26 except that 34 parts by mass of “Marialim AKM-0531” was added to 100 parts by mass of PVB-1.

(製造例28)
表2−2に示した有機化合物を用い、「マリアリムAKM−0531」を100質量部のPVB−1に対して68質量部添加した以外は、製造例26と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−28を作製した。
(Production Example 28)
Using the organic compounds shown in Table 2-2, except that 68 parts by mass of "Marialim AKM-0531" was added to 100 parts by mass of PVB-1, a ceramic green sheet GS- was prepared in the same manner as in Production Example 26. 28 was produced.

(製造例A〜H)
アジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)の代わりに、表3に示す有機化合物を用いたこと以外は、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−A〜GS−Hを作製した。
(Production Examples A to H)
Ceramic green sheets GS-A to GS-H were produced in the same manner as in Production Example 1 except that the organic compounds shown in Table 3 were used instead of bis(2-butoxyethyl adipate).

(製造例I)
表3に示すように、アジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)を用いなかったこと以外は、製造例1と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−Iを作製した。
(Production Example I)
As shown in Table 3, a ceramic green sheet GS-I was produced in the same manner as in Production Example 1 except that bis(2-butoxyethyl) adipate was not used.

(製造例J)
「マリアリムAKM−0531」の添加量を100質部のPVB−1に対して79重量部に変更した以外は、製造例26と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−Jを作製した。
(Production Example J)
A ceramic green sheet GS-J was produced in the same manner as in Production Example 26 except that the amount of "Marialim AKM-0531" added was changed to 79 parts by weight with respect to 100 parts by mass of PVB-1.

(製造例K)
表3に示した有機化合物を用い、「マリアリムAKM−0531」の添加量を100質部のPVB−1に対して70重量部に変更した以外は、製造例26と同様の方法でセラミックグリーンシートGS−Kを作製した。
(Production Example K)
A ceramic green sheet was produced in the same manner as in Production Example 26, except that the organic compounds shown in Table 3 were used and the addition amount of "Marialim AKM-0531" was changed to 70 parts by weight with respect to 100 parts by mass of PVB-1. GS-K was produced.

得られたセラミックグリーンシートGS−A〜GS−Kについて、前記評価方法「2.有機化合物および無機化合物分散用剤の酸価の測定」に記載された方法に従って、それぞれのセラミックグリーンシート製造時に用いた有機化合物および無機化合物分散用剤の酸価を測定した。表3に測定結果を示す。 Regarding the obtained ceramic green sheets GS-A to GS-K, each of the ceramic green sheets was manufactured according to the method described in the above-mentioned evaluation method “2. Measurement of acid value of organic compound and inorganic compound dispersing agent”. The acid values of the organic compound and the inorganic compound dispersing agent were measured. Table 3 shows the measurement results.

得られたセラミックグリーンシートGS−1〜GS−28、GS−A〜GS−Kについて、前記評価方法「2.有機化合物および無機化合物分散用剤の酸価の測定」に記載された方法に従って、それぞれのセラミックグリーンシート製造時に用いた有機化合物および無機化合物分散用剤の酸価を測定した。表2−1、表2−2および表3に測定結果を示す。 Regarding the obtained ceramic green sheets GS-1 to GS-28 and GS-A to GS-K, according to the method described in the above evaluation method "2. Measurement of acid value of agent for dispersing organic compound and inorganic compound". The acid value of the organic compound and the inorganic compound dispersing agent used at the time of manufacturing each ceramic green sheet was measured. The measurement results are shown in Table 2-1, Table 2-2 and Table 3.

Figure 0006732588
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[導電ペースト、塗工シートおよび積層体の製造]
(作製例1)
<導電ペーストの作製>
攪拌機、冷却器、温度計、湯浴および窒素ガス導入口を備えた2Lセパラブルフラスコに、エチルセルロース(ダウケミカル社製、STD−45)、ジヒドロターピニルアセテートとを加えた。次いで、導電粉末としてニッケル粉(「NFP201」、JFEミネラル株式会社製)を混合し、さらに市販の平均粒径0.1μmのチタン酸バリウム粉末をニッケル粉末に対して20質量部添加し、三本ロールに数回通して導電ペーストを得た。なお、導電ペースト中の組成比率は、バインダー樹脂(A)が3質量%、ニッケル粉が50質量%、チタン酸バリウムが10質量%、その他が有機溶剤となるよう調製した。
[Production of conductive paste, coated sheet and laminate]
(Production Example 1)
<Preparation of conductive paste>
To a 2 L separable flask equipped with a stirrer, a cooler, a thermometer, a hot water bath and a nitrogen gas inlet, ethyl cellulose (STD-45 manufactured by Dow Chemical Co.) and dihydroterpinyl acetate were added. Next, nickel powder (“NFP201”, manufactured by JFE Mineral Co., Ltd.) was mixed as a conductive powder, and 20 parts by mass of a commercially available barium titanate powder having an average particle diameter of 0.1 μm was added to the nickel powder, and three powders were added. It was passed through a roll several times to obtain a conductive paste. The composition ratio in the conductive paste was adjusted so that the binder resin (A) was 3% by mass, the nickel powder was 50% by mass, the barium titanate was 10% by mass, and the others were organic solvents.

<塗工シートの作製>
製造例1で得られたグリーンシートGS−1を10cm×10cmの大きさに切断し、前記評価方法「5−1.セラミックグリーンシートの接着性評価」に記載の方法に従って、大気圧プラズマ処理を施した。大気圧プラズマ処理が施された面に、上述した導電ペーストをスクリーン印刷機(ニューロング精密工業株式会社製DP−320)によってスクリーン印刷し、120℃で1時間乾燥させることにより、10mm角、ペースト間距離(余白)2.5mm、膜厚2μmの導電ペースト皮膜を形成し塗工シートTS−1を得た。
<Preparation of coated sheet>
The green sheet GS-1 obtained in Production Example 1 was cut into a size of 10 cm×10 cm, and subjected to atmospheric pressure plasma treatment in accordance with the method described in the evaluation method “5-1. Evaluation of adhesiveness of ceramic green sheet”. gave. The above-mentioned conductive paste was screen-printed on the surface subjected to the atmospheric pressure plasma treatment by a screen printing machine (DP-320 manufactured by New Long Precision Co., Ltd.), and dried at 120° C. for 1 hour to form a 10 mm square paste. A conductive paste film having a distance (margin) of 2.5 mm and a film thickness of 2 μm was formed to obtain a coated sheet TS-1.

(作製例2)
GS−1に大気圧プラズマ処理を行わなかった以外は作製例1と同様の方法で、塗工シートTS−2を得た。
(Production Example 2)
A coated sheet TS-2 was obtained in the same manner as in Preparation Example 1 except that GS-1 was not subjected to atmospheric pressure plasma treatment.

(作製例3)
グリーンシートGS−1の代わりに、GS−Cを用いたこと以外は、作製例2と同様の方法で塗工シートTS−3を得た。
(Production Example 3)
A coated sheet TS-3 was obtained in the same manner as in Production Example 2 except that GS-C was used instead of the green sheet GS-1.

(作製例4)
攪拌機、冷却器、温度計、湯浴および窒素ガス導入口を備えた2Lセパラブルフラスコに、PVB−4とジヒドロターピニルアセテートとを加え、さらにアジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)を100質量部のPVB−4に対して20質量部となるように添加し、80℃の温度で4時間攪拌して無機化合物分散用剤を得た。得られた無機化合物分散用剤を用い、作製例1と同様の方法で導電ペーストを作製した。次いで、得られた導電ペーストを用い、GS−Dの上に塗工した以外は作製例1と同様の方法で塗工し、塗工シートTS−4を得た。
(Production Example 4)
PVB-4 and dihydroterpinyl acetate were added to a 2 L separable flask equipped with a stirrer, a cooler, a thermometer, a hot water bath and a nitrogen gas inlet, and 100 parts by mass of bis(2-butoxyethyl) adipate was added. To 20 parts by mass of PVB-4 was added, and the mixture was stirred at a temperature of 80° C. for 4 hours to obtain an inorganic compound dispersion agent. A conductive paste was prepared in the same manner as in Preparation Example 1 using the obtained inorganic compound dispersing agent. Next, using the obtained conductive paste, coating was performed in the same manner as in Preparation Example 1 except that coating was performed on GS-D to obtain a coated sheet TS-4.

(作製例5)
PVB−4に代えて、エチルセルロース(ダウケミカル社製、STD−45)100質量部を用いたこと以外は、作製例4と同様の方法で、無機化合物分散用剤および導電ペーストを製造した。得られた導電ペーストを用いた以外は、作製例4と同様の方法で塗工シートTS−5を得た。
(Production Example 5)
An inorganic compound dispersing agent and a conductive paste were produced in the same manner as in Production Example 4 except that 100 parts by mass of ethyl cellulose (STD-45 manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.) was used instead of PVB-4. A coated sheet TS-5 was obtained in the same manner as in Production Example 4 except that the obtained conductive paste was used.

[作製例6]
100質量部のPVB−4に代えて、50質量部のPVB−4および50質量部のエチルセルロース(ダウケミカル社製、STD−200)を用いたこと以外は、作製例4と同様の方法で、無機化合物分散用剤および導電ペーストを製造した。得られた導電ペーストを用いた以外は、作製例4と同様の方法で塗工シートTS−6を得た。
[Production Example 6]
Instead of 100 parts by mass of PVB-4, 50 parts by mass of PVB-4 and 50 parts by mass of ethyl cellulose (STD-200, manufactured by Dow Chemical Co.) were used in the same manner as in Preparation Example 4, An inorganic compound dispersing agent and a conductive paste were manufactured. A coated sheet TS-6 was obtained in the same manner as in Production Example 4 except that the obtained conductive paste was used.

[作製例7]
PVB−4に代えて、エチルセルロース(ダウケミカル社製、STD−45)100質量部を用い、さらにアジピン酸ビス(2−ブトキシエチル)に代えて、トリエチレングリコールジ2−エチルヘキサノエート20質量部を用いたこと以外は、作製例4と同様の方法で、無機化合物分散用剤および導電ペーストを製造した。得られた導電ペーストを用いた以外は、作製例4と同様の方法で塗工シートTS−7を得た。
[Production Example 7]
Instead of PVB-4, 100 parts by mass of ethyl cellulose (manufactured by Dow Chemical Co., STD-45) was used. Further, instead of bis(2-butoxyethyl) adipate, 20 parts by mass of triethylene glycol di-2-ethylhexanoate was used. An inorganic compound dispersing agent and a conductive paste were produced in the same manner as in Production Example 4, except that the parts were used. A coated sheet TS-7 was obtained in the same manner as in Production Example 4 except that the obtained conductive paste was used.

TS−1〜TS−3について表4−1に示す。 Table 4-1 shows TS-1 to TS-3.

塗工シートTS−4〜TS−7について、塗工シートの作製に用いた導電ペーストにおいて、有機化合物および無機化合物分散用剤について前記評価方法「2.有機化合物および無機化合物分散用剤の酸価の測定」に記載された方法に従って酸価を測定した。測定結果を表4−2に示す。 Regarding the coated sheets TS-4 to TS-7, in the conductive paste used for producing the coated sheet, the evaluation method "2. Acid value of the organic compound and the inorganic compound dispersing agent" was used for the organic compound and the inorganic compound dispersing agent. The acid value was measured according to the method described in "Measurement of". The measurement results are shown in Table 4-2.

Figure 0006732588
Figure 0006732588

Figure 0006732588
Figure 0006732588

[実施例]
(実施例1〜28)
グリーンシートGS−1〜GS−28のそれぞれについて、該グリーンシート作製前のセラミックスラリーの保存安定性、該グリーンシートの圧着時の寸法安定性、該グリーンシートの接着性および該グリーンシートを用いて得られる焼成体のデラミネーションについて、前記評価方法に記載された方法に従って評価を行った。評価結果を表5に示す。
[Example]
(Examples 1-28)
For each of the green sheets GS-1 to GS-28, the storage stability of the ceramic slurry before the production of the green sheet, the dimensional stability of the green sheet during pressure bonding, the adhesiveness of the green sheet, and the green sheet were used. The delamination of the obtained fired body was evaluated according to the method described in the above evaluation method. The evaluation results are shown in Table 5.

(実施例29)
GS−1に大気圧プラズマ処理を実施せずに圧着時の接着性評価を行った以外は、実施例1と同様に評価を行った。評価結果を表5に示す。
(Example 29)
The evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the GS-1 was not subjected to the atmospheric pressure plasma treatment but was subjected to the adhesiveness evaluation during pressure bonding. The evaluation results are shown in Table 5.

(実施例30)
大気圧プラズマ処理された塗工シートTS−1と、大気圧プラズマ処理されていない塗工シートTS−1(つまり、グリーンシートGS−1を10cm×10cmの大きさに切断したもの)を積層した以外は、実施例1と同様の方法で、熱圧着試験を行い、接着性を評価した。このとき、大気圧プラズマ処理された面が、他の塗工シートTS−1の大気圧プラズマ処理されていない表面(導電ペーストが塗工されていない面)に接するように積層した。また、得られた積層体PS−1について、実施例1と同様の方法で寸法安定性、焼成体のデラミネーションの評価を行った。評価結果を表5に示す。
(Example 30)
The atmospheric pressure plasma-treated coated sheet TS-1 and the atmospheric pressure plasma-untreated coated sheet TS-1 (that is, the green sheet GS-1 cut into a size of 10 cm×10 cm) were laminated. A thermocompression bonding test was performed in the same manner as in Example 1 except for the above, and the adhesiveness was evaluated. At this time, the surface subjected to the atmospheric pressure plasma treatment was laminated so as to contact the surface of the other coating sheet TS-1 which was not subjected to the atmospheric pressure plasma treatment (the surface which was not coated with the conductive paste). Further, the obtained laminated body PS-1 was evaluated for dimensional stability and delamination of the fired body in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 5.

(実施例31)
塗工シートTS−2について、TS−2の圧着時の寸法安定性およびTS−2の接着性について、前記評価方法に記載された方法に従って評価を行った。評価結果を表7に示す。
(Example 31)
The coated sheet TS-2 was evaluated for the dimensional stability of the TS-2 during pressure bonding and the adhesion of the TS-2 according to the method described in the above evaluation method. The evaluation results are shown in Table 7.

(実施例32〜34)
塗工シートTS−4〜TS−6について、導電ペーストのスラリー保存安定性、該塗工シートの圧着時の寸法安定性、該塗工シートの接着性およびを用いて得られる焼成体のデラミネーションについて、前記評価方法に記載された方法に従って評価を行った。評価結果を表8に示す。
(Examples 32 to 34)
Regarding the coated sheets TS-4 to TS-6, the slurry storage stability of the conductive paste, the dimensional stability of the coated sheet during pressure bonding, the adhesiveness of the coated sheet, and the delamination of the fired body obtained by using Was evaluated according to the method described in the above evaluation method. The evaluation results are shown in Table 8.

[比較例]
(比較例1〜11)
グリーンシートGS−A〜GS−Kのそれぞれについて、該グリーンシート作製前のセラミックスラリーの保存安定性、該グリーンシートの圧着時の寸法安定性、該グリーンシートの接着性および該グリーンシートを用いて得られる焼成体のデラミネーションについて、前記評価方法に記載された方法に従って評価を行った。評価結果を表6に示す。
[Comparative example]
(Comparative Examples 1 to 11)
For each of the green sheets GS-A to GS-K, the storage stability of the ceramic slurry before the production of the green sheet, the dimensional stability of the green sheet at the time of pressure bonding, the adhesiveness of the green sheet and the green sheet were used. The delamination of the obtained fired body was evaluated according to the method described in the above evaluation method. The evaluation results are shown in Table 6.

(比較例12)
塗工シートTS−3について、TS−3の圧着時の寸法安定性およびTS−3の接着性について、前記評価方法に記載された方法に従って評価を行った。評価結果を表7に示す。
(Comparative Example 12)
With respect to the coated sheet TS-3, the dimensional stability of the TS-3 during pressure bonding and the adhesiveness of the TS-3 were evaluated according to the method described in the above evaluation method. The evaluation results are shown in Table 7.

(比較例13)
塗工シートTS−7について、導電ペーストのスラリー保存安定性、TS−7の圧着時の寸法安定性、TS−7の接着性およびTS−7を用いて得られる焼成体のデラミネーションについて、前記評価方法の通りに評価を行った。評価結果を表8に示す。
(Comparative Example 13)
Regarding the coated sheet TS-7, the slurry storage stability of the conductive paste, the dimensional stability of the TS-7 during pressure bonding, the adhesion of the TS-7, and the delamination of the fired body obtained by using the TS-7 are described above. The evaluation was performed according to the evaluation method. The evaluation results are shown in Table 8.

Figure 0006732588
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Figure 0006732588
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Figure 0006732588
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Claims (20)

分子内に水酸基を有するバインダー樹脂(A)、下記一般式(1):
Figure 0006732588
(式中、R1およびR4は、それぞれ独立してエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基を表す。R2は、炭素数1〜20の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R3は、炭素数1〜4の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。mは0〜5の整数を表す。)で表される有機化合物(B)および有機溶剤(C)を含有する樹脂組成物からなる無機化合物分散用剤であって、該無機化合物分散用剤の酸価が5mgKOH/g以下である無機化合物分散用剤。
Binder resin (A) having a hydroxyl group in the molecule, the following general formula (1):
Figure 0006732588
(In the formula, R1 and R4 each independently represent an organic group having at least one ether bond. R2 represents an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and optionally having a branch. R3 represents carbon. From the resin composition containing the organic compound (B) and the organic solvent (C) represented by Formula 1 to 4 which may have a branched alkylene group, and m represents an integer of 0 to 5. An inorganic compound dispersing agent according to claim 1, wherein the inorganic compound dispersing agent has an acid value of 5 mgKOH/g or less.
有機化合物(B)の酸価が5mgKOH/g以下である、請求項1に記載の無機化合物分散用剤。 The agent for dispersing an inorganic compound according to claim 1, wherein the acid value of the organic compound (B) is 5 mgKOH/g or less. R1および/またはR4がそれぞれ独立して、下記一般式(2):
Figure 0006732588
(式中、R5は炭素数1〜10の分岐を有してもよいアルキル基を表す。R6は炭素数1〜10の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R7は炭素数1〜4のアルキレン基を表す。nは0〜2の整数を表す。)で表されるエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基である、請求項1または2に記載の無機化合物分散用剤。
R1 and/or R4 are each independently the following general formula (2):
Figure 0006732588
(In the formula, R5 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which may have a branch. R6 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a branch. R7 represents 1 to 1 carbon atoms. 4 represents an alkylene group, and n represents an integer of 0 to 2), The agent for dispersing an inorganic compound according to claim 1 or 2, which is an organic group having at least one ether bond.
バインダー樹脂(A)100質量部に対して、有機化合物(B)を1〜60質量部含有する、請求項1〜3のいずれかに記載の無機化合物分散用剤。 The inorganic compound dispersing agent according to any one of claims 1 to 3, which contains 1 to 60 parts by mass of the organic compound (B) with respect to 100 parts by mass of the binder resin (A). バインダー樹脂(A)が、ポリビニルアセタール、エチルセルロースおよび(メタ)アクリル樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、請求項1〜4のいずれかに記載の無機化合物分散用剤。 The agent for dispersing an inorganic compound according to claim 1, wherein the binder resin (A) contains at least one selected from the group consisting of polyvinyl acetal, ethyl cellulose and (meth)acrylic resin. バインダー樹脂(A)がポリビニルアセタールを含み、該ポリビニルアセタールは、アセタール化度が50〜85モル%であり、ビニルエステル単量体単位の含有量が0.1〜20モル%であり、粘度平均重合度が200〜5000である、請求項5に記載の無機化合物分散用剤。 The binder resin (A) contains polyvinyl acetal, and the polyvinyl acetal has an acetalization degree of 50 to 85 mol %, a content of vinyl ester monomer units of 0.1 to 20 mol %, and a viscosity average. The agent for dispersing an inorganic compound according to claim 5, having a degree of polymerization of 200 to 5,000. 無機化合物(D)および請求項1〜6のいずれかに記載の無機化合物分散用剤を含有するスラリー組成物。 A slurry composition containing an inorganic compound (D) and the agent for dispersing an inorganic compound according to any one of claims 1 to 6. 分子内に水酸基を有するバインダー樹脂(A)、下記一般式(1):
Figure 0006732588
(式中、R1およびR4は、それぞれ独立してエーテル結合を少なくとも一つ有する有機基を表す。R2は、炭素数1〜20の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。R3は、炭素数1〜4の分岐を有してもよいアルキレン基を表す。mは0〜5の整数を表す。)で表される有機化合物(B)、有機溶剤(C)および無機化合物(D)を含有する樹脂組成物からなるスラリー組成物。
Binder resin (A) having a hydroxyl group in the molecule, the following general formula (1):
Figure 0006732588
(In the formula, R1 and R4 each independently represent an organic group having at least one ether bond. R2 represents an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms and optionally having a branch. R3 represents carbon. Represents an alkylene group which may have a branch number of 1 to 4, m represents an integer of 0 to 5), an organic compound (B), an organic solvent (C) and an inorganic compound (D). A slurry composition comprising the resin composition contained.
無機化合物(D)がセラミック粉体である、請求項7または8に記載のスラリー組成物。 The slurry composition according to claim 7 or 8, wherein the inorganic compound (D) is a ceramic powder. 前記セラミック粉体100質量部に対して、有機溶剤(C)を2〜200質量部含有する、請求項9に記載のスラリー組成物。 The slurry composition according to claim 9, which contains 2 to 200 parts by mass of the organic solvent (C) with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. 請求項9または10に記載のスラリー組成物を用いて作製されたセラミックグリーンシート。 A ceramic green sheet produced using the slurry composition according to claim 9. セラミックグリーンシートの少なくとも片面について、飛行時間型二次イオン分析装置で二次イオン分析を行った場合に、検出されるTi+イオンの強度に対する、検出されるBa+イオンの強度の比である(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)が、20<(Ba+イオンの強度)/(Ti+イオンの強度)<1000を満たす、請求項11に記載のセラミックグリーンシート。 This is the ratio of the intensity of Ba+ ions detected to the intensity of Ti+ ions detected when secondary ion analysis is performed on at least one side of the ceramic green sheet with a time-of-flight secondary ion analyzer (Ba+ ions). (Strength of Ti)/(strength of Ti+ ion) satisfies 20<(strength of Ba+ ion)/(strength of Ti+ ion)<1000. 無機化合物(D)が導電粉末である、請求項7または8に記載のスラリー組成物。 The slurry composition according to claim 7 or 8, wherein the inorganic compound (D) is a conductive powder. 前記導電粉末100質量部に対して、バインダー樹脂(A)を1〜50質量部含有する、請求項13に記載のスラリー組成物。 The slurry composition according to claim 13, which contains 1 to 50 parts by mass of the binder resin (A) with respect to 100 parts by mass of the conductive powder. 前記導電粉末100質量部に対して、有機溶剤(C)を5〜600質量部含有する、請求項13または14に記載のスラリー組成物。 The slurry composition according to claim 13 or 14, which contains 5 to 600 parts by mass of the organic solvent (C) with respect to 100 parts by mass of the conductive powder. 請求項13〜15のいずれかに記載のスラリー組成物からなる導電ペースト。 A conductive paste comprising the slurry composition according to claim 13. 請求項11または12に記載のセラミックグリーンシートの少なくとも一方の面に、導電ペーストを乾燥させた層を配置してなる塗工シート。 A coated sheet comprising a ceramic green sheet according to claim 11 and a layer of dried conductive paste disposed on at least one surface thereof. 請求項16に記載の導電ペーストを乾燥させた層を、セラミックグリーンシートの少なくとも一方の面に配置してなる塗工シート。 A coated sheet obtained by disposing the layer obtained by drying the conductive paste according to claim 16 on at least one surface of a ceramic green sheet. 少なくとも一部にプラズマ処理が施された、請求項11または12に記載のセラミックグリーンシート。 The ceramic green sheet according to claim 11 or 12, at least a part of which is plasma-treated. 塗工シートの表面の少なくとも一部にプラズマ処理が施された、請求項17または18に記載の塗工シート。 The coated sheet according to claim 17, wherein at least a part of the surface of the coated sheet is subjected to plasma treatment.
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