JP6731077B2 - 位相コントラスト撮像及び/又は暗視野撮像のための分析格子 - Google Patents
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Description
− 複数のウェファを構造化して、各ウェファに格子バーのアレイを得るステップと、
− 前記格子バーの間の空間をX線変換材料で充填して、複数のX線変換格子を得るステップと、
を有する。
− 第1ステップS1において、各ウェファにおいて格子バー14のアレイを得るために複数のウェファを構造化する。
− 第2ステップS2において、複数のX線変換格子10を得るために格子バー14の間の空間をX線変換材料により充填する。
Claims (13)
- 複数のX線変換格子を有する位相コントラスト撮像及び/又は暗視野撮像のための分析格子であって、
前記X線変換格子は入射X線放射線を光又は電荷に変換し、
前記複数のX線変換格子は、少なくとも第1X線変換格子及び第2X線変換格子を有し、
前記X線変換格子は、各々、格子バーのアレイを有し、
各X線変換格子内の前記格子バーは、入射X線放射線に直交する方向において、2つの隣接する格子バーの中心線の間の距離である固有の変位ピッチで互いから変位されて配置され、
前記第1X線変換格子の格子バーは、前記第2X線変換格子の格子バーから、前記入射X線放射線に直交する方向において互いに変位されて配置され、
前記第1X線変換格子及び前記第2X線変換格子が、入射X線放射線に平行な方向において部分的に重なり合っていて、
前記第1X線変換格子及び前記第2X線変換格子は2つの検出器の間に配置され、これら検出器は各X線変換格子により変換された光又は電荷を検出する、
分析格子。 - 前記第1X線変換格子の格子バーが、前記第2X線変換格子の格子バーから、入射X線放射線に直交する方向において、前記X線変換格子の数により除算された前記変位ピッチで互いに変位されて配置される、請求項1に記載の分析格子。
- 前記X線変換格子が入射X線放射線に平行な方向においてスペーサにより互いに隔てられる、請求項1又は請求項2に記載の分析格子。
- 複数のX線変換格子を有する位相コントラスト撮像及び/又は暗視野撮像のための分析格子であって、
前記X線変換格子は入射X線放射線を光又は電荷に変換し、
前記複数のX線変換格子は、少なくとも第1X線変換格子及び第2X線変換格子を有し、
前記X線変換格子は、各々、格子バーのアレイを有し、
各X線変換格子内の前記格子バーは、入射X線放射線に直交する方向において、2つの隣接する格子バーの中心線の間の距離である固有の変位ピッチで互いから変位されて配置され、
前記第1X線変換格子の格子バーは、前記第2X線変換格子の格子バーから、前記入射X線放射線に直交する方向において互いに変位されて配置され、
前記第1X線変換格子及び前記第2X線変換格子は2つの検出器の間に配置され、これら検出器は各X線変換格子により変換された光又は電荷を検出し、
前記第1X線変換格子及び前記第2X線変換格子は入射X線放射線に直交する方向において実質的に隣り合わせで配置され、前記X線変換格子は反射器壁を有し、前記X線変換格子の入射X線放射線に平行な方向における千鳥配列が、前記第1X線変換格子の上面側に配置されると共に下面側において省略される反射器壁により、且つ、前記第2X線変換格子の下面側に配置されると共に上面側において省略される反射器壁により実施される、分析格子。 - 複数のX線変換格子を有する位相コントラスト撮像及び/又は暗視野撮像のための分析格子であって、
前記X線変換格子は入射X線放射線を光又は電荷に変換し、
前記複数のX線変換格子は、少なくとも第1X線変換格子及び第2X線変換格子を有し、
前記X線変換格子は、各々、格子バーのアレイを有し、
各X線変換格子内の前記格子バーは、入射X線放射線に直交する方向において、2つの隣接する格子バーの中心線の間の距離である固有の変位ピッチで互いから変位されて配置され、
前記第1X線変換格子の格子バーは、前記第2X線変換格子の格子バーから、前記入射X線放射線に直交する方向において互いに変位されて配置され、
前記第1X線変換格子及び前記第2X線変換格子は2つの検出器の間に配置され、これら検出器は各X線変換格子により変換された光又は電荷を検出し、
前記複数のX線変換格子が第3X線変換格子を更に有し、これら3つのX線変換格子における各X線変化格子の格子バーが他の2つのX線変換格子の格子バーから前記変位ピッチの三分の1で互いに変位されて配置される、分析格子。 - 複数のX線変換格子を有する位相コントラスト撮像及び/又は暗視野撮像のための分析格子であって、
前記X線変換格子は入射X線放射線を光又は電荷に変換し、
前記複数のX線変換格子は、少なくとも第1X線変換格子及び第2X線変換格子を有し、
前記X線変換格子は、各々、格子バーのアレイを有し、
各X線変換格子内の前記格子バーは、入射X線放射線に直交する方向において、2つの隣接する格子バーの中心線の間の距離である固有の変位ピッチで互いから変位されて配置され、
前記第1X線変換格子の格子バーは、前記第2X線変換格子の格子バーから、前記入射X線放射線に直交する方向において互いに変位されて配置され、
前記第1X線変換格子及び前記第2X線変換格子は2つの検出器の間に配置され、これら検出器は各X線変換格子により変換された光又は電荷を検出し、
前記格子バーの少なくとも幾つかが入射X線放射線に平行な方向で見て不連続な断面を備える、分析格子。 - 前記X線変換格子が、CsI:T1, Ce添加ペロブスカイト, セリウム添加(イットリウム - ガドリニウム - ルテチウム)系(ガリウム - アルミニウム)ガーネット, ビスマス・ゲルマニウム塩, イットリウム・ガドリニウム酸化物, Eu3+が添加されたY, Gd及び/又はLuの固溶体, CsI:Na, NaI:TI並びにSrI2の群から選択される少なくとも1つの材料から形成される、請求項1ないし6の何れか一項に記載の分析格子。
- 前記第1X線変換格子は直接変換陽極を形成する一方、前記第2X線変換格子は直接変換陰極を形成し、前記第2X線変換格子の格子バーが検出器のための共通陰極を形成するために相互接続される、請求項1又は請求項2に記載の分析格子。
- 前記直接変換陽極及び前記直接変換陰極が、電気的に絶縁された壁により互いに分離された同一の材料から形成される、請求項8に記載の分析格子。
- 請求項1ないし9の何れか一項に記載の分析格子及び該分析格子のX線変換格子により変換された光又は電荷を検出する少なくとも1つの検出器を有する、位相コントラスト撮像及び/又は暗視野撮像のための検出器装置。
- X線源と、
請求項10に記載の検出器装置と、
を有し、前記X線源が前記検出器装置により検出されるべき関心被検体にX線放射線を供給する、X線撮像システム。 - 分析格子を製造する方法であって、
複数のウェファを構造化して、各ウェファに格子バーのアレイを得るステップと、
前記格子バーの間の空間をX線変換材料で充填して、請求項1ないし9の何れか一項に記載の分析格子を形成する複数のX線変換格子を得るステップと、
を有する、方法。 - 前記構造化及び充填が前記ウェファの第1側のみから実行され、前記構造化がエッチングを有する、請求項12に記載の方法。
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US8913714B2 (en) * | 2009-04-17 | 2014-12-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Detector arrangement and X-ray tomography device for performing phase-contrast measurements and method for performing a phase-contrast measurement |
WO2011070489A1 (en) * | 2009-12-10 | 2011-06-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Non- parallel grating arrangement with on-the-fly phase stepping, x-ray system and use |
CA2803683C (en) * | 2010-06-28 | 2020-03-10 | Paul Scherrer Institut | A method for x-ray phase contrast and dark-field imaging using an arrangement of gratings in planar geometry |
WO2012063169A1 (en) * | 2010-11-08 | 2012-05-18 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Grating for phase contrast imaging |
JP2012130503A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Fujifilm Corp | 放射線画像撮影用グリッド及びその製造方法、並びに放射線画像撮影システム |
US9486175B2 (en) * | 2011-07-04 | 2016-11-08 | Koninklijke Philips N.V. | Phase contrast imaging apparatus |
JP2014195481A (ja) * | 2011-07-27 | 2014-10-16 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮影装置 |
CN104582573B (zh) * | 2012-08-20 | 2018-09-28 | 皇家飞利浦有限公司 | 在微分相位对比成像中对齐源光栅到相位光栅距离以用于多阶相位调谐 |
DE102012224258A1 (de) | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenaufnahmesystem zur differentiellen Phasenkontrast-Bildgebung eines Untersuchungsobjekts mit Phase-Stepping sowie angiographisches Untersuchungsverfahren |
US20170355905A1 (en) * | 2014-11-19 | 2017-12-14 | The Regents Of The University Of California | Novel thallium doped sodium, cesium or lithium iodide scintillators |
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