JP6730300B2 - ファブリペロー干渉計のためのミラープレート、およびファブリペロー干渉計 - Google Patents
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Description
−シリコン(Si)を含む基板(50)を提供することと、
−基板(50)上に半透過性反射コーティング(110)を実施することと、
−基板(50)に複数の隙間(E1)をエッチングすること、および、隙間(E1)の表面を被覆することにより、基板(50)内および/または基板(50)上に被覆領域(70a)を形成することと、
−被覆領域(70a)の頂部上に第1のセンサ電極(G1a)を形成することと、
−基板(50)によって支持された第2のセンサ電極(G1b)を形成することと、を含む、方法が提供される。
−シリコンを含む基板50と、
−基板50上に実施された半透過性反射コーティング110と、
−基板50内および/または基板50上に形成された被覆領域70aと、
−被覆領域70aの頂部上に形成された第1のセンサ電極G1aと、
−第2のセンサ電極G1bと、を備え得る。
−エッチングにより、基板50に複数の隙間を形成することと、
−隙間の表面上に絶縁材料を提供することと、を含み得る。
−エッチングにより、基板50に複数の隙間を形成することと、
−隙間の表面を酸化させることと、を含み得る。
−エッチングにより、基板50に複数の隙間を形成することと、
−隙間の表面上に絶縁材料を堆積させることと、を含み得る。
−エッチングにより、シリコンを多孔性シリコンに変化させることと、
−多孔性シリコンの孔の表面を被覆することと、を含み得る。
−第1のミラープレート100および第2のミラープレート200を備えたファブリペロー干渉計300を組み立てることであって、ミラープレートが、静電容量CdがミラーギャップdFに依存するセンサコンデンサを形成する電極を備えている、組み立てることと、
−ファブリペロー干渉計300を通して検出器DET1にナローバンド光LB11を結合することと、
−ナローバンド光LB11の波長λMを変化させること、および/または、ミラーギャップdFを変化させることと、
−ファブリペロー干渉計300を通して透過された光の強度を監視することと、を含み得る。
Claims (13)
- ファブリペロー干渉計(300)のためのミラープレート(100)を製造するための方法であって、
−シリコン(Si)を含む基板(50)を提供することと、
−前記基板(50)上に半透過性反射コーティング(110)を実施することと、
−前記基板(50)に複数の隙間(E1)をエッチングで形成すること、および、複数の前記隙間(E1)の表面を被覆することにより、前記基板(50)内および/または前記基板(50)上に被覆領域(70a)を形成することと、
−前記被覆領域(70a)の頂部上に第1のセンサ電極(G1a)を形成することと、
−前記基板(50)によって支持された第2のセンサ電極(G1b)を形成することと、を含む、方法であって、
前記隙間(E1)の内側の幅(w E1 )が、横方向(SY)において、10μmより小であり、
前記隙間間の壁の幅(w S1 )が、横方向(SY)において、10μmより小であり、
前記被覆領域(70a)の導電率(σ 70 )が、25℃の温度における前記基板(50)の前記シリコンの導電率(σ Si )の20%よりも低い、ことを特徴とする方法。 - 前記被覆領域(70a)を形成することが、
−エッチングにより、前記基板(50)に複数の隙間(E1)を形成することと、
−前記隙間(E1)の前記表面上に絶縁材料(P1、E2)を形成することと、を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記被覆領域(70a)を形成することが、
−エッチングにより、前記基板(50)に複数の隙間(E1)を形成することと、
−前記隙間(E1)の前記表面を酸化させることと、を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記被覆領域(70a)を形成することが、
−エッチングにより、前記基板(50)に複数の隙間(E1)を形成することと、
−前記隙間(E1)の前記表面上に絶縁材料(P1)を堆積させることと、を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記被覆領域(70a)が被覆多孔性シリコン(PPS)を含み、
前記隙間(E1)は前記シリコンを多孔性シリコン(70a’)に変化させた多孔質部分であって、
前記被覆領域(70a)を形成することが、
−前記シリコンを前記多孔性シリコン(70a’)に変化させることと、
−前記多孔性シリコン(70a’)の前記隙間(E1)の表面を被覆することと、を含む、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の方法。 - 前記隙間(E1)が、溝、穴、チャネル、および/または孔である、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記被覆領域(70a)の厚さ(d70)が、10μmより大である、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の方法。
- ファブリペロー干渉計(300)のためのミラープレート(100)であって、
−シリコン(Si)を含む基板(50)と、
−前記基板(50)上に実施された半透過性反射コーティング(110)と、
−複数の隙間(E1)を形成する壁が絶縁材料で覆われている前記基板(50)内および/または前記基板(50)上に形成された被覆三次元微細構造を含む被覆領域(70a)と、
−前記被覆領域(70a)の頂部上に形成された第1のセンサ電極(G1a)と、
−前記基板(50)によって支持された第2のセンサ電極(G1b)と、を備えたミラープレート(100)であって、
前記隙間(E1)の内側の幅(w E1 )が、横方向(SY)において、10μmより小であり、
前記隙間間の壁の幅(w S1 )が、横方向(SY)において、10μmより小であり、
前記被覆領域(70a)の導電率(σ 70 )が、25℃の温度における前記基板(50)の前記シリコンの導電率(σ Si )の20%よりも低い、ことを特徴とするミラープレート(100)。 - 前記被覆領域(70a)が、被覆多孔性シリコン(PPS)を備えている、請求項8に記載のミラープレート(100)。
- 前記被覆領域(70a)の厚さ(d70)が、前記第1のセンサ電極(G1a)と前記第2のセンサ電極(G1b)との間の、熱によって誘導されたリアクタンス(XPAR)の変化(ΔXPAR)が、前記基板(50)の温度が1℃だけ変化した際に、参照値XREFの0.1%より小さくなるように、選択されており、前記リアクタンス(XPAR)が、10kHzの周波数で判定され、前記参照値XREFが、以下の式に従って計算され、
- 第1のミラープレート(100)および第2のミラープレート(200)を備えたファブリペロー干渉計(300)であって、前記第1のミラープレート(100)が、
−シリコン(Si)を含む基板(50)と、
−前記基板(50)上に実施された半透過性反射コーティング(110)と、
−複数の隙間(E1)を形成する壁が絶縁材料で覆われている前記基板(50)内および/または前記基板(50)上に形成された被覆三次元微細構造を含む被覆領域(70a)と、
−前記被覆領域(70a)の頂部上に形成された第1のセンサ電極(G1a)と、
−前記基板(50)によって支持された第2のセンサ電極(G1b)と、を備え、
前記隙間(E1)の内側の幅(w E1 )が、横方向(SY)において、10μmより小であり、
前記隙間間の壁の幅(w S1 )が、横方向(SY)において、10μmより小であり、
前記被覆領域(70a)の導電率(σ 70 )が、25℃の温度における前記基板(50)の前記シリコンの導電率(σ Si )の20%よりも低く、
前記第2のミラープレート(200)が、第3のセンサ電極(G2a)および第4のセンサ電極(G2b)を備え、それにより、前記第1のセンサ電極(G1a)および前記第3のセンサ電極(G2a)が第1のセンサコンデンサ(C1)を形成し、前記第2のセンサ電極(G1b)および前記第4のセンサ電極(G2b)が第2のセンサコンデンサ(C2)を形成し、前記第1のセンサコンデンサ(C1)の静電容量(C1)が、前記ファブリペロー干渉計(300)のミラーギャップ(dF)を示すようになっている、干渉計(300)。 - 前記被覆領域(70a)の厚さ(d70)が、前記第1のセンサ電極(G1a)と前記第2のセンサ電極(G1b)との間の、熱によって誘導されたリアクタンスの相対変化(ΔXPAR/XPAR)が、前記基板(50)の温度が1℃だけ変化した際に、0.1%より小さくなるように、選択されている、請求項11に記載の干渉計(300)。
- 第1のミラープレート(100)および第2のミラープレート(200)を含むファブリペロー干渉計(300)であって、
前記第1のミラープレート(100)は、
−シリコン(Si)を含む基板(50)と、
−前記基板(50)に実施された半透明の反射コーティング(110)と、
−複数の隙間(E1)を形成する壁が絶縁材料で覆われている被覆三次元微細構造を含む1つ以上の被覆領域(70a、70b)と、
前記1つ以上の被覆領域(70a、70b)の上に形成された複数のセンサ電極(G1a 1 、G2 1 、G1b 1 、G1a 2 、G2 2 、G1b 2 )と、を備え、
前記隙間(E1)の内側の幅(w E1 )が、横方向(SY)において、10μmより小であり、
前記隙間間の壁の幅(w S1 )が、横方向(SY)において、10μmより小であり、
前記被覆領域(70a)の導電率(σ 70 )が、25℃の温度における前記基板(50)の前記シリコンの導電率(σ Si )の20%よりも低く、
前記第2のミラープレート(200)は、センサ電極(G2 1 、G2 2 )を含み、
前記第1のミラープレート(100)の第1センサ電極(G1a 1 )、前記第1のミラープレート(100)の第2センサ電極(G1b 1 )、および前記第2のミラープレート(200)の第1センサ電極(G2 1 )は、 第1のセンサ・コンデンサ・システムを形成し、
前記第1のミラープレート(100)の第3センサ電極(G1a 2 )、前記第1のミラープレート(100)の第4センサ電極(G1b 2 )、および前記第2のミラープレート(200)の第2センサ電極(G2 2 )は、第2のセンサ・コンデンサ・システムを形成し、
前記複数のセンサ電極(G1a 1 、G2 1 、G1b 1 、G1a 2 、G2 2 、G1b 2 )は、前記第1のミラープレート(100)に対する前記第2のミラープレート(200)の整列を監視するように配置されている
ことを特徴とするファブリペロー干渉計(300)。
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US6399405B1 (en) | 1998-12-21 | 2002-06-04 | Xerox Corporation | Process for constructing a spectrophotometer |
US20050032357A1 (en) * | 2002-01-17 | 2005-02-10 | Rantala Juha T. | Dielectric materials and methods for integrated circuit applications |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11796391B2 (en) * | 2019-10-09 | 2023-10-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device |
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