JP6730169B2 - 速度推定システム - Google Patents

速度推定システム Download PDF

Info

Publication number
JP6730169B2
JP6730169B2 JP2016223045A JP2016223045A JP6730169B2 JP 6730169 B2 JP6730169 B2 JP 6730169B2 JP 2016223045 A JP2016223045 A JP 2016223045A JP 2016223045 A JP2016223045 A JP 2016223045A JP 6730169 B2 JP6730169 B2 JP 6730169B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adaptive
estimation
velocity
estimated
data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016223045A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017129565A (ja
Inventor
レイ・リュウ
カイル・エム・ブルース
Original Assignee
シモンズ・プレシジョン・プロダクツ・インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シモンズ・プレシジョン・プロダクツ・インコーポレイテッド filed Critical シモンズ・プレシジョン・プロダクツ・インコーポレイテッド
Publication of JP2017129565A publication Critical patent/JP2017129565A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6730169B2 publication Critical patent/JP6730169B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H1/00Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector
    • G01H1/003Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector of rotating machines
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M1/00Testing static or dynamic balance of machines or structures
    • G01M1/14Determining imbalance
    • G01M1/16Determining imbalance by oscillating or rotating the body to be tested
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M15/00Testing of engines
    • G01M15/04Testing internal-combustion engines
    • G01M15/12Testing internal-combustion engines by monitoring vibrations
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)
  • Navigation (AREA)
  • Control Of Velocity Or Acceleration (AREA)

Description

本開示は、振動信号処理システム及び方法に関連し、特に、振動システム用回転速度及び/またはアンバランス追跡に関する。
振動による回転速度の推定は、振動に基づく機械診断及び予知において、重要なステップである。故障シグネチャの多くが回転速度または基本周波数と相関性が高いため、振動データ分析及びアルゴリズム処理には、信頼性の高い速度推定が基本となる。振動分析での基礎的な物理現象では、アンバランスな回転に関連する振動に周期成分があるので、正確な速度推定によって、アンバランスによる振動を適切に特定及び測定し、それにより、タコメータを必要とせず適切な対策で、最小限にできる。
基本周波数の推定方法の多くは関連性の高い多様な分野で開発されてきたが、いずれにおいても、信号雑音比(SNR)が一度所定レベルまで低下すれば正確な結果が得られなかった。当該比からわかるように、SNRの低下には、ノイズ増加及び信号低下の、2つの潜在的な要因がある。ノイズ特性が既知であるか、ノイズを基準とし得る場合には、従来フィルタまたは適応フィルタを使って前者を対処することが多い。しかし、非定常的ノイズ(例えば、外部環境の急激な変化により出現したり消滅したりするノイズ)を効果的に減衰することはできない。後者の要因により悪化した場合、システム内部での動作状態変動(例えば、ランプアップ/ダウン及び荷重移動)によって誤った速度推定となり得る。過渡変化で起きる見かけ上の速度推定を、アンバランスとする前に識別し除外する必要があり、状態をアルゴリズム的に評価する。
そのような従来方法及びシステムは一般的に各用途を十分満たすとされてきた。しかし、当業界では、依然として速度推定システム及び方法の改良が必要とされる。本開示では、この必要性を満たす方法を提供する。
システムの回転速度の推定方法では、センサから振動データを受信し、振動データから速度を推定して推定速度データを生成し、推定速度データを適応的重み付けフィルタでフィルタリングして誤った速度推定を最小限にする。所定の実施形態において、当該方法では、フィルタリングされた推定速度を使って、システムの動作状態(例えば、バランスが取れているかアンバランスか)を(例えば、リアルタイムに)判断できる。
適応的重み付けフィルタでの推定速度データのフィルタリングでは、適応ウェイトを有するカルマンフィルタで推定速度データをフィルタリングできる。適応ウェイトを有するカルマンフィルタでの推定速度データのフィルタリングでは、カルマンゲインKを備えたカルマンフィルタで推定速度データをフィルタリングでき、以下を満たし、
ここで、Pk -は事前予測誤差分散であり、Rは測定ノイズの分散行列であり、wは適応ウェイトである。
適応ウェイトを有するカルマンフィルタでの推定速度データのフィルタリングでは、検定統計を使用し、現推定値の前推定値との偏差を測定し時間領域での継続性を強化することができる。検定統計の使用では、速度予測、標準得点、またはマハラノビス距離のうち少なくとも1つと速度推定との誤差を判断して、推定の正確性を判断し、誤った推定であると判断されれば適応ウェイトwを修正することができる。
適応ウェイトwの修正では、適応ウェイトwをリアルタイムで修正できる。適応ウェイトの修正では、マハラノビス距離Dを閾値Tと比較し、適応ウェイトwの値を以下を満たすよう設定できる。
回転システム用速度推定システムは、振動信号を出力するよう構成された1以上の振動センサ、振動センサに動作可能に接続され、振動信号を受信し、振動信号に基づき推定速度データを出力する速度推定モジュール、及び、推定速度データを受信するよう構成され、フィルタリングされた推定速度データを出力するよう構成された適応的重み付けフィルタモジュールを備えることができる。
適応的重み付けフィルタモジュールは、適応ウェイトを有するカルマンフィルタを備えることができる。カルマンフィルタは、カルマンゲインKを備えることができ、以下を満たし、
ここで、Pk -は事前予測誤差分散であり、Rは測定ノイズの分散行列であり、wは適応ウェイトである。
所定の実施形態において、当該システムは、回転システムへの1以上の入力を制御するコントローラの一部を構成するか、コントローラに動作可能に接続され、コントローラにフィードバックすることができる。
本開示のシステム及び方法のあらゆる特徴は、当業者には図と併せて詳述した内容から容易にわかるであろう。
本開示が属する分野の当業者であれば、不要な実験をせずとも本開示の装置及び方法の作成方法及び使用方法を容易に理解できるよう、所定の図を参考に、本実施形態の詳細を以下で説明する。
本開示によるシステムの実施形態の概略図である。 観察中の回転システムの揮発性動作状態の振動(例えば、1つのチャネル)から推定した速度チャート。 図2Aでの推定速度にカルマンフィルタを適用し結果を滑らかにしたチャート。 本開示による、図2Aでの推定速度に適応的重み付けカルマンフィルタを適用した後、除外を実施した速度推定チャート。
図を参照するが、同様の参照番号は、本開示での類似した構造特徴または態様を示す。限定のためではなく説明及び図示のため、本開示によるシステムの実施形態を図1に表し、全体として参照番号100で指定する。本開示の他の実施形態及び/または態様を図2A−2Cに表す。本明細書で説明するシステム及び方法は、より高精度な速度推定及び/またはその他好適な用途に使用可能である。
図1によると、回転システム(図に無い)用速度推定システム100は、振動信号を出力するよう構成された少なくとも1つの振動センサ101を備え得る。振動センサ101は、任意の好適なセンサ(例えば、加速度センサ)を含み得る。少なくとも1つのセンサ101は、任意の好適な位置に搭載され得る(例えば、コンプレッサのハウジングなど振動システムに外付けされる)。
システム100は、振動センサ101に動作可能に接続された速度推定モジュール103を備え、振動信号の受信、及び、振動信号に基づく推定速度データの出力が可能である。速度推定モジュール103は、回転システムの振動に基づき任意の好適な速度推定方法/モデル(例えば、以下に説明するような)により、速度推定が可能である。
また、システム100は、推定速度データを受信するよう構成され、フィルタリングした推定速度データを出力するよう構成された、適応的重み付けフィルタモジュール105を備える。適応的重み付けフィルタモジュール105は、任意の好適な方法/モデル(例えば、以下で説明する重み付けカルマンフィルタ)を使用した推定速度データのフィルタリングが可能である。所定の実施形態において、システム100は、回転システムへの1以上の入力を制御するコントローラ99の一部を構成するか、コントローラ99に動作可能に接続され、コントローラ99へのフィードバックが可能である。
機械システムにおいて回転速度のみが連続的に可変であることを利用し、継続して当該推定を追跡し、個々の推定の妥当性の判断基準に速度の継続性を使うことで、見かけ上の速度推定を除外してもよい。そのためには、推定結果よりも上位に時間領域における実施継続性を置く必要があり、カットオフ周波数が対象システムの物理的現象に適合可能なローパスフィルタゲートとみなし得る。このため、定期的にカルマンフィルタを使用して推定値と比較する予測値を提供し、信頼性の高い結果を得ることができる。
しかし、従来のカルマンフィルタによる予測値は、外れ値、つまり、以前の誤った速度推定値に大きく影響される。これは、カルマンフィルタが線形であり、正常であることを前提に構築されているからであり、1つの外れ値により多くのその後の予測値が損なわれる。速度推定における直接の結果では、誤った推定値の後に出る多くの正しい推定結果が間違いであると誤って識別され得る。高頻度に過渡ノイズ/変化が起こる場合はさらに悪く、フィルタからの出力が全く無い場合もある。
速度推定変化を追跡する離散時間モデルは、以下のように示すことができる。
この時、vは時刻kにおける推定速度ベクトル、vk−1は時刻k−1における速度ベクトル、uは時刻間の速度変化、wは、振動による速度測定での誤差またはノイズである。振動チャネルが1つであれば、モデルは単純な1変数式になる。
状態遷移行列及び観測行列の両行列を単位行列として設定し、さらに、速度変化uをプロセスノイズとすることで、簡単に当該モデルを標準カルマンフィルタモデルに並び替えることができる。明らかに、2つのノイズは互いに無関係であり、それぞれ一般的に、p(u)〜N(0,Q)及びp(w)〜N(0,R)と仮定される。
当該モデルには、強力な物理的根拠がある。一方、プロセスノイズQの分散は、土台の機械システムの仕様に直接関連し、簡単に定量化が可能である。つまり、通常の動作状態では、速度の最大許容変動量は仕様で限定され、確実にQとして使用できる。一方、測定ノイズの分散行列Rを、チャネルごとに独立しているとの仮定に基づき、対角行列にする。各振動チャネルでの分散またはRの対角要素を、さらに速度推定アルゴリズムの解で定量化してもよく、理論的には大抵可能である。全ての振動チャネルで同一のアルゴリズムを使用する一般的な適用において、Rの対角要素は同一であってもよい。
カルマンフィルタを使用し、現在速度推定及び前ステップからの予測により、速度予測を求めることができる。再帰的ステップは以下のように表現できる。
この時、v~ kは現予測速度値、v~ k-1は前予測速度値、vは推定速度値、Kはカルマンゲインである。予測値と推定値の差異を測り、見かけ上の推定値の除外方法を提供する。しかし、前述したように、推定における1つの外れ値が複数の以後の予測値に影響する。これは、モデル(1)で簡略化され、以下の再帰式セットで表現されるカルマンゲインを検討することで、適正化が可能である。
この時、P- kは現在の事前予測誤差分散、P- k-1は前の事前予測誤差分散、Pk-1は前の事後予測誤差分散、Kk-1は前のカルマンゲイン、Rは測定ノイズの分散行列、Iは単位行列である。これらの式から、Q及びRがモデルごとに一定であれば、カルマンゲインK及び予測誤差分散Pはいずれも、長期にわたり安定し一定値に集束する。推定における外れ値について、Qの予測値への影響が徐々に消滅するようにモデルにおけるQの影響を無効にする。
信頼性及び精度を向上するために、以下のように適応ウェイトwを式(3)に導入して、カルマンゲインを変更する。
ノイズ分散が外れ値に応答して均等に増加することに着目して、上記を理解する。K及びPは一定値に集束することはなく、適応しない。そこで、外れ値が検出された場合、好適な適応ウェイトによりカルマンゲインの既定ノイズ分散Rに対する感度を低くし、外れ値が無くなれば、カルマンゲインを即時最適値に戻すことができるよう期待される。
外れ値を検出し適応ウェイトを規定するために、所定の検定統計を利用することができる。例えば、複数の振動チャネルではマハラノビス距離を利用することができる。検定統計により、速度推定と予測との間の誤差を定量化し、以下のように閾値Tとの比較が可能である。
振動チャネルが1つの場合、P- kが実際には予測誤差分散であることに着目すれば、マハラノビス距離Dは標準得点となる。この場合閾値Tの選択では、3が一般的な選択であるので、無視される。
図2A、2B及び2Cではそれぞれ、速度推定データについて、フィルタリング無しの実施形態(図2A)、従来のカルマンフィルタを使った実施形態(図2B)、及び、上記のように適応的重み付けカルマンフィルタを使った実施形態(図2C)を示す。図からわかるように、適応的重み付けカルマンフィルタを使った結果では、より精確で現実に即した速度推定を追跡している。
上記の方法及びシステムにおける好適な部分または全体を、好適なコンピュータハードウェア(例えば、マイクロプロセッサ、メモリ)またはソフトウェア(好適な言語で書かれた)で実施可能である。所定の実施形態において、上記の方法及びシステムの好適な部分または全体は、振動システム(例えば、コンプレッサ)に接続されたコントローラの一部を構成するか、コントローラと併せて動作可能にし、コントローラが振動システムへの1以上の入力(例えば、速度)を制御できるようにする。
上記のように、信頼性のある適応的重み付けフィルタ(例えば、上記の重み付けカルマンフィルタ)を有する速度推定システムを、誤った速度推定による悪影響を最小限にするよう設計することができる。予測、標準得点またはマハラノビス距離と速度推定との間の誤差についての検定統計を使って推定精度を判断し、誤推定であると判断されればフィルタ(例えば、カルマンフィルタゲイン)を修正することができる。検定統計により、現推定値の前ノイズ推定値との偏差が測定可能であり、時間領域における継続性の強化方法を提供することができる。一方、ゲインを修正することで、予測値が前の誤推定に影響されにくくなる。正確な速度推定結果を使って、リアルタイムに振動及びその他の状態表示装置(例えば、コンプレッサ、ファン、またはその他好適な装置)がアンバランスかどうかを判断することができる。
換言すると、回転速度は継続的にリアルタイムで追跡可能であり、速度測定及び関連した動作状態(例えば、アンバランスな振動)に悪影響が及ばないよう、早期での見かけ上の速度推定の除外が可能である。速度測定器またはタコメータが使用できない場合、実施形態により、こういった測定に密接に関係する故障シグネチャでのアーチファクト/ノイズを低減することができる。
上で記述し図で示すように、本開示の方法及びシステムにより、速度推定が改良された優れた速度推定システムを提供する。当該開示の装置及び方法を、実施形態を参考に図で示し記述してきたが、当業者であれば、当該開示の意図及び範囲から逸脱すること無く変更及び/または変形が可能なことは、容易に理解するであろう。
99 コントローラ
100 速度推定システム
101 振動センサ
103 速度推定モジュール
105 適応的重み付けフィルタモジュール

Claims (5)

  1. システムの回転速度の推定方法であって、
    センサから振動データを受信し、
    前記振動データから速度を推定して推定速度データを生成し、
    前記推定速度データを適応的重み付けフィルタでフィルタリングして誤った速度推定を最小限にする、ことを備え、
    前記適応的重み付けフィルタでの前記推定速度データのフィルタリングでは、適応ウェイトを有するカルマンフィルタで前記推定速度データをフィルタリングし、
    適応ウェイトを有するカルマンフィルタでの前記推定速度データのフィルタリングでは、カルマンゲインK k を備えた前記カルマンフィルタで前記推定速度データをフィルタリングし、以下を満たし、
    ここで、P - は事前予測誤差分散であり、Rは測定ノイズの分散行列であり、wは前記適応ウェイトであり、
    適応ウェイトを有するカルマンフィルタでの前記推定速度データのフィルタリングでは、検定統計を使用し、現推定値の前推定値との偏差を測定し時間領域での継続性を強化し、
    前記検定統計の使用では、速度予測、標準得点、またはマハラノビス距離のうち少なくとも1つと速度推定との誤差を判断して、推定の正確性を判断し、誤った推定であると判断されれば前記適応ウェイトwを修正する、方法。
  2. 前記適応ウェイトwの修正では、前記適応ウェイトwをリアルタイムで修正する、請求項に記載の方法。
  3. 前記適応ウェイトの修正では、マハラノビス距離Dを閾値Tと比較し、前記適応ウェイトwの値を以下を満たすよう設定する、請求項に記載の方法。
  4. 回転システム用速度推定システムであって、
    振動信号を出力するよう構成された振動センサ、
    前記振動センサに動作可能に接続され、前記振動信号を受信し、前記振動信号に基づき推定速度データを出力する速度推定モジュール、及び
    前記推定速度データを受信するよう構成され、フィルタリングされた推定速度データを出力するよう構成された適応的重み付けフィルタモジュールを備え
    前記適応的重み付けフィルタモジュールは、適応ウェイトを有するカルマンフィルタを備え、
    前記カルマンフィルタは、カルマンゲインK k を備え、以下を満たし、
    ここで、P - は事前予測誤差分散であり、Rは測定ノイズの分散行列であり、wは前記適応ウェイトであり、
    前記適応的重み付けフィルタモジュールは、検定統計を使用し、現推定値の前推定値との偏差を測定して、時間領域での継続性を強化するように構成され、
    前記適応的重み付けフィルタモジュールは、速度予測、標準得点、またはマハラノビス距離のうち少なくとも1つと速度推定との誤差を判断して、推定の正確性を判断し、誤った推定であると判断されれば前記適応ウェイトwを修正する、ように構成された、システム。
  5. 前記システムは、前記回転システムへの1以上の入力を制御するコントローラの一部を構成するか、前記コントローラに動作可能に接続され、前記コントローラにフィードバックする、請求項に記載のシステム。
JP2016223045A 2016-01-20 2016-11-16 速度推定システム Active JP6730169B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/002,364 US10379133B2 (en) 2016-01-20 2016-01-20 Speed estimation systems
US15/002,364 2016-01-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017129565A JP2017129565A (ja) 2017-07-27
JP6730169B2 true JP6730169B2 (ja) 2020-07-29

Family

ID=57860696

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016223045A Active JP6730169B2 (ja) 2016-01-20 2016-11-16 速度推定システム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10379133B2 (ja)
EP (1) EP3196657B1 (ja)
JP (1) JP6730169B2 (ja)
BR (1) BR102016027164B1 (ja)
CA (1) CA2955515C (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108108335B (zh) * 2017-12-26 2020-07-17 北京邮电大学 一种野值剔除方法及装置
US10895495B2 (en) 2018-03-20 2021-01-19 Simmonds Precision Products, Inc. Vibration signal analysis for determining rotational speed
JP6962893B2 (ja) * 2018-10-04 2021-11-05 株式会社神戸製鋼所 振動抑制装置、振動抑制方法及びプログラム
JP7180507B2 (ja) * 2019-04-01 2022-11-30 株式会社島津製作所 材料試験機、及び材料試験機の制御方法
CN110018322B (zh) * 2019-04-18 2022-03-04 北京先见智控科技有限公司 一种基于深度学习的转速检测方法及系统
GB202103633D0 (en) * 2021-03-16 2021-04-28 Page White & Farrer Filtering noisy observations
DE102021204884A1 (de) * 2021-05-12 2022-11-17 SKF (China) Co Ltd Vorrichtung zur Messung eines indikativen Parameters der Drehgeschwindigkeit eines Bauteils
CN117647251A (zh) * 2024-01-30 2024-03-05 山东科技大学 基于观测噪声协方差矩阵的抗差自适应组合导航方法
CN117879540A (zh) * 2024-03-12 2024-04-12 西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所) 基于改进卡尔曼滤波的磁罗盘传感器自适应信号滤波方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2827669C2 (de) 1978-06-23 1980-08-14 Gebr. Hofmann Gmbh & Co Kg, Maschinenfabrik, 6100 Darmstadt Verfahren zur Ermittlung der Größe und Phasenlage von durch Meßwertaufnehmer erfaßten Schwingungen, insbesondere in der Auswuchttechnik
US7133801B2 (en) 2002-06-07 2006-11-07 Exxon Mobil Research And Engineering Company System and methodology for vibration analysis and condition monitoring
US8985068B2 (en) 2010-07-22 2015-03-24 Robert Bosch Gmbh Systems and methods for avoiding resonances excited by rotating components
GB2488805A (en) 2011-03-09 2012-09-12 Rolls Royce Plc Shaft break detection
KR101372406B1 (ko) 2012-11-26 2014-03-07 부산대학교 산학협력단 회전축 분석 장치
US9606848B2 (en) 2013-03-12 2017-03-28 Raytheon Company Iterative Kalman filtering
GB2530093B (en) * 2014-09-15 2017-02-01 Ge Aviat Systems Ltd Assembly and method of component monitoring

Also Published As

Publication number Publication date
EP3196657A1 (en) 2017-07-26
CA2955515C (en) 2023-12-19
BR102016027164B1 (pt) 2022-05-24
US10379133B2 (en) 2019-08-13
BR102016027164A2 (pt) 2017-07-25
JP2017129565A (ja) 2017-07-27
CA2955515A1 (en) 2017-07-20
US20170205439A1 (en) 2017-07-20
EP3196657B1 (en) 2019-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6730169B2 (ja) 速度推定システム
US10496515B2 (en) Abnormality detection apparatus, abnormality detection method, and non-transitory computer readable medium
RU2501063C2 (ru) Устройство и способ анализа остатка для обнаружения системных ошибок в поведении системы воздушного судна
JP7029362B2 (ja) 異常検出装置、異常検出方法、及びプログラム
JP2017129583A (ja) 振動監視システム
US20200285531A1 (en) Abnormality detecting apparatus, rotating machine, abnormality detection method, and non-transitory computer readable medium
US11360113B2 (en) Method for measuring the speed of rotation of an aircraft engine shaft, taking into account the measurement noise
US20210080436A1 (en) Liquid chromatograph
KR102384742B1 (ko) 센서 데이터를 이용한 이상 감지 장치 및 방법
US9857460B2 (en) Waveform estimation device and waveform estimation method
CN111245304B (zh) 补偿方法、补偿装置、电机和存储介质
CN110350886A (zh) 一种永磁伺服系统的谐振频率检测方法、系统及装置
CN114019182B (zh) 零速状态检测方法、装置及电子设备
JP2021006975A (ja) 異常検出装置、異常検出方法、及びプログラム
CN115183832A (zh) 旋涡流量计用流量信号干扰诊断及处理方法、装置和设备
US20210270973A1 (en) System and methods for fault detection in kalman filter estimation
US9746961B2 (en) Background signal processing system and background signal processing method
US20210033450A1 (en) Vibration Waveform DC Disturbance Removal
CN113076826B (zh) 一种传感器的滤波方法和装置
JP6880992B2 (ja) 評価方法、評価装置および評価プログラム
CN113822329B (zh) 一种水电机组主轴摆度信号处理方法及装置
Dietel et al. Fault detection in rotating machinery using spectral modeling
WO2018176212A1 (en) Method, apparatus and system for monitoring industrial robot
US20230288394A1 (en) Crop condition monitoring system and crop condition monitoring method using the same
KR102251454B1 (ko) 세탁기 소음 제어 방법 및 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20180118

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20180118

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20180123

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20180118

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190517

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200212

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200212

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200512

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200602

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200702

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6730169

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250