JP6723332B2 - 6自由度インプリントヘッドモジュールを有するナノインプリントリソグラフィ - Google Patents
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Description
Claims (17)
- インプリントリソグラフィーシステムのヘッドモジュールであって、
ベースと、
前記ベースに結合され、前記ベースに対して相対的に並進および回転をするように構成されたコントロールボディと、
前記ベースおよび前記コントロールボディに動作可能に結合され、第1軸に沿って前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に並進させ、かつ、前記第1軸に直交する第2軸の周りと前記第1軸および前記第2軸に直交する第3軸の周りとで前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に回転させる、第1の力を発生するように構成された第1組のアクチュエータと、
前記ベースおよび前記コントロールボディに動作可能に結合され、前記第2軸および前記第3軸によって定義される平面において前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に並進させ、かつ、前記第1軸の周りで前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に回転させる、第2の力を発生するように構成された第2組のアクチュエータと、
前記ベースおよび前記コントロールボディを結合するフレキシャーと、を備え、
前記フレキシャーのコンプライアンスは、前記第1の力および前記第2の力の少なくとも1つに応答する前記ベースに対する前記コントロールボディの相対的な変位に対応し、前記フレキシャーは、前記ベースに対する前記コントロールボディの並進および回転を制限するように構成されている、
ことを特徴とするヘッドモジュール。 - 前記フレキシャーの前記コンプライアンスは、
前記第1の力に応答する前記第1軸に沿った前記ベースに対する前記コントロールボディの相対的な変位に対応する第1成分と、
前記第2の力に応答する前記第2軸および前記第3軸によって定義される前記平面における前記ベースに対する前記コントロールボディの相対的な変位に対応する第2成分と、を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。 - 前記コンプライアンスの前記第1成分は、前記コンプライアンスの前記第2成分を超えている、
ことを特徴とする請求項2に記載のヘッドモジュール。 - 前記フレキシャーは、前記第1軸に直交する平面に配置され、
前記ベースの表面に結合された複数の端部と、
前記複数の端部の間に配置され、前記コントロールボディの表面に結合された中間部と、
前記中間部に結合された複数の接続部と、を含み、各接続部は、前記中間部と前記複数の端部の一つに結合され、
各接続部の幅は、前記第1軸に直交する前記平面における前記中間部の幅より小さい、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。 - 各端部は、前記コンプライアンスの少なくとも一部を提供する開口を画定し、
各端部は、
前記ベースの前記表面に結合された第1部分と、
前記第1部分と前記複数の接続部の1つとの間に配置され、前記開口を画定する第2部分と、を含み、
前記第2部分の厚さは、前記第1軸に平行な方向における前記第1部分の厚さより小さく、
前記中間部は、凹部の間において前記第1軸に対して平行に延びた突出部を含み、前記突出部は、前記コントロールボディの前記表面に結合されている、
ことを特徴とする請求項4に記載のヘッドモジュール。 - 前記第1組のアクチュエータは、前記ベースの中心軸の周りに配置された3つの第1アクチュエータを含み、前記中心軸は、前記第1軸に平行である、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。 - 前記3つの前記第1アクチュエータは、前記ベースの前記中心軸の周りに等間隔で配置され、前記ベースに対して前記コントロールボディを独立して相対的に並進および回転させるように構成されている、
ことを特徴とする請求項6に記載のヘッドモジュール。 - 前記第2組のアクチュエータは、前記ベースの中心軸の周りに配置された3つの第2アクチュエータを含み、前記中心軸は、前記第1軸に平行である、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。 - 前記3つの第2アクチュエータは、前記ベースの前記中心軸の周りに等間隔に配置され、前記ベースに対して前記コントロールボディを独立して相対的に並進および回転させるように構成されている、
ことを特徴とする請求項8に記載のヘッドモジュール。 - 複数対のアクチュエータが前記ベースの中心軸の周りに配置され、各対は、前記第1組のアクチュエータのアクチュエータと前記第2組のアクチュエータのアクチュエータとを含み、前記中心軸は、前記第1軸に平行であり、
前記複数対のアクチュエータの各アクチュエータは、前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に独立して並進させ、かつ、前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に回転させるように構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。 - 前記第1組のアクチュエータおよび前記第2組のアクチュエータの各アクチュエータは、各アクチュエータに供給される電流に基づいて力を生成するように構成されたボイスコイルを含み、
前記ボイスコイルは、
前記コントロールボディおよび前記ベースの一方に連結された移動コイルと、
前記コントロールボディおよび前記ベースのうちの他方に結合された磁石と、を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。 - 前記ベースまたは前記コントロールボディの少なくとも一方に結合された複数のエンコーダユニットをさらに備え、
各エンコーダユニットは、前記第1軸に沿った前記ベースに対する前記コントロールボディの相対的な第1変位、および、前記第2軸および前記第3軸によって定義される前記平面における前記ベースに対する前記コントロールボディの相対的な第2変位を評価するように構成される、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。 - 各エンコーダユニットは、前記ベースに結合され、前記第1軸に平行な平面内に配置され、前記第1軸に対して傾斜した複数のエンコーダを含む、
ことを特徴とする請求項12に記載のヘッドモジュール。 - 各エンコーダユニットは、前記コントロールボディに結合されたエンコーダスケールを含み、
前記複数のエンコーダは、前記エンコーダスケールに向かって光を放射し、前記エンコーダスケールからの回折光を受光するように構成され、
前記エンコーダスケールは、光学格子を含み、前記光学格子は、前記光学格子の周期および前記光の波長に基づいて、前記エンコーダユニットによって放射された光を回折するように構成され、
各エンコーダユニットは、前記光学格子からの回折光に基づいて前記ベースに対する相対的な前記コントロールボディの前記第1変位および前記第2変位を評価するように構成されている、
ことを特徴とする請求項13に記載のヘッドモジュール。 - 前記コントロールボディは、インプリントリソグラフィテンプレートを保持するように構成され、
前記第1組のアクチュエータは、前記インプリントリソグラフィテンプレートを基板に接触させるように前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に並進および回転させるように構成され、
前記第2組のアクチュエータは、前記インプリントリソグラフィテンプレートを前記基板に位置合わせするように前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に並進および回転させるように構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。 - 前記コントロールボディに対する前記インプリントリソグラフィテンプレートのテンプレート配置誤差を評価するように構成された1つ以上の変位センサをさらに備え、
前記第1組のアクチュエータおよび前記第2組のアクチュエータは、前記コントロールボディに対する前記インプリントリソグラフィテンプレートの前記テンプレート配置誤差に基づいて前記コントロールボディを並進および回転させるようにさらに構成されている、
ことを特徴とする請求項15に記載のヘッドモジュール。 - インプリントリソグラフィーシステムであって、
基板を保持する基板ステージと、
テンプレートを保持し、前記基板に対して前記テンプレートを相対的に並進させるように構成されたインプリントヘッドモジュールと、を備え、前記インプリントヘッドモジュールは、
ベースと、
前記ベースに結合され、前記ベースに対して相対的に並進および回転をするように構成されたコントロールボディと、
前記ベースおよび前記コントロールボディに動作可能に結合され、第1軸に沿って前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に並進させ、かつ、前記第1軸に直交する第2軸の周りと前記第1軸および前記第2軸に直交する第3軸の周りとで前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に回転させる、第1の力を発生するように構成された第1組のアクチュエータと、
前記ベースおよび前記コントロールボディに動作可能に結合され、前記第2軸および前記第3軸によって定義される平面において前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に並進させ、かつ、前記第1軸の周りで前記ベースに対して前記コントロールボディを相対的に回転させる、第2の力を発生するように構成された第2組のアクチュエータと、
前記ベースおよび前記コントロールボディを結合するフレキシャーと、を含み、
前記フレキシャーのコンプライアンスは、前記第1の力および前記第2の力の少なくとも1つに応答する前記ベースに対する前記コントロールボディの相対的な変位に対応し、前記フレキシャーは、前記ベースに対する前記コントロールボディの並進および回転を制限するように構成されている、
ことを特徴とするインプリントリソグラフィーシステム。
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